JP3937433B2 - 平面回路−導波管接続構造 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面回路と導波管との間で信号の変換を行なうための接続構造に関し、特にマイクロ波帯からミリ波帯において好適な平面回路−導波管接続構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
マイクロ波帯の回路基板は、損失の小さい導波管フィルタや、導波管入力を持つアンテナなどに接続されることが多い。そこで、平面回路である回路基板と立体構造である導波管をいかに接続するかが、マイクロ波回路モジュールを設計・製造する際の主要な課題の1つとなる。
【0003】
従来の平面回路基板と導波管との接続構造として、回路基板の誘電体層の実効誘電率を調整して導波路とのインピーダンス整合を図る接続構造が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。図11は、この従来例の接続構造の平面図である。図12(a)は、図11のX−X線に沿う断面図、図12(b)は、図12(a)のY−Y線に沿う断面図である。全図を通じて、同一部分には同一符号が付されている。回路基板115は2層の誘電体層を備えており、上層の誘電体層101aの上面、下層の誘電体層101bの下面には、それぞれ、グランド導体層102a、102bが形成されている。また、誘電体層101aと101bとの間に、信号導体層103が形成されている。信号導体層103には、アンテナパターン114が接続されている。グランド導体層102aには、開口部106aが形成されており、開口部106aの真下の誘電体層101bには、キャビティ116が形成されている。誘電体層101a、101bを貫通し、開口部106aを囲むように形成されたビアホール列104を介して、グランド導体層102a、102bが電気的に接続されている。グランド導体層102a、102bを接地電位にすると、ビアホール列104によって囲まれた領域は、ビアホール列104によってシールドされ、アンテナパターン114の上方、下方に、それぞれ、誘電体、キャビティによる垂直方向に延びる導波管構造が構成される。信号導体層103は、アンテナパターン114を介してビアホール列104によって囲まれた誘電体導波管構造105に接続される。アンテナパターン114の上層の誘電体層101aには、複数個のホール113が形成されている。ホール113の個数やその大きさを調整することによって、上層部の誘電体導波管構造105の特性インピーダンスを調整することができる。また、誘電体導波管構造105の長さ、即ち、誘電体層101aの厚さt1は、使用される信号の誘電体導波管構造105における管内波長の1/4倍とされる。アンテナパターン114の下方のキャビティの長さ、即ち、誘電体層101bの厚さは、使用される信号のキャビティ116における管内波長の1/4倍とされる。
【0004】
【特許文献1】
特開平8−274513号公報 (第5頁、図1)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来例の構造では、高周波になるほど誘電体導波管構造の寸法が小さくなる。例えば、V帯(50〜75GHz)で標準的に使用される金属導波管WR−15の寸法から換算して、60GHz帯では、誘電体層として誘電率10.1のアルミナを用いた場合、誘電体導波管構造の横断面の寸法は、約1.2×0.6mm2程度となる。したがって、誘電体導波管構造の中に複数のホールを形成することが製造上難しく、所望の特性インピーダンスを得ることが困難になるという課題があった。また、複数のホールを形成したとしても、誘電体導波管構造領域の機械的強度が低くなるという課題があった。さらに、1/4波長インピーダンス変換器を構成するため、誘電体層の厚さが管内波長の1/4倍の値に制限されるという課題があった。
【0006】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、信号周波数が数10GHzで、誘電体導波管構造の横断面の各辺の寸法がmm以下の場合においても、平面回路と金属導波管とのインピーダンスの整合が容易で、かつ、誘電体導波管構造領域の機械的強度を低くすることなく、また、誘電体層の厚さが制限されない平面回路−導波管接続構造を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明によれば、平面回路と導波管とが電磁界結合している平面回路−導波管接続構造であって、前記平面回路が少なくとも1層の誘電体層を有し、最上層の誘電体層の導波管側の表面に、前記導波管が結合される開口部を有する最上層導体層が形成され、該開口部の下の前記最上層の誘電体層に窪みが形成されており、前記最上層の誘電体層の導波管側の表面と反対側の表面または前記最上層の誘電体層以外の誘電体層の1表面に、前記開口部に対向して導波管−高周波伝送路変換部が形成されており、少なくとも前記最上層の誘電体層を貫通し、前記最上層導体層から少なくとも前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面に達する複数のビアホールが、前記導波管−高周波伝送路変換部を囲むように形成され、前記導波管の内部に誘電体基板が挿入されていることを特徴とする平面回路−導波管接続構造、が提供される。
【0008】
そして、本発明においては、前記窪みの深さと、前記導波管内に挿入された前記誘電体基板の厚さを調整することにより、インピーダンス変換されている。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
〔第1の実施の形態〕
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の平面図である。図2(a)は、図1のA−A線に沿う断面図、図2(b)は、図2(a)のB−B線に沿う断面図である。全図を通じて、同一部分には同一符号が付されている。回路基板15は3層の誘電体層を備えており、最上層の誘電体層1aの上面、最下層の誘電体層1cの下面、および、最上層の誘電体層1aと中間の誘電体層1bとの間に、それぞれ、グランド導体層2a、2d、2bが形成されている。グランド導体層2a、2bには、それぞれ、開口部6a、6bが形成されている。図2(b)に示すように、中間の誘電体層1bと最下層の誘電体層1cとの間には導体層22が形成されており、導体層22には、紙面左端からグランド導体層2a、2bの開口部6a、6bの真下の領域まで延び、開口部6a、6bの真下の領域で直角に曲がる2本のスロット21aと、開口部6a、6bの真下の領域で2本のスロット21aと対向するスロット21bとが設けられている。対向するスロット21aとスロット21bとの長さはLである。
【0010】
誘電体層1a、1b、1cを貫通して、開口部6a、6bを囲むようにビアホール列4が形成されている。このとき、ビアホール列4は、図2(b)に示すように、導体層22においてスロット21aとスロット21bとが対向し合う部分を取り巻くように形成されるが、導体層22のうちのスロット21aとスロット21bとそれらの対向する端点を結ぶ直線とで囲まれる部分の導体層〔以後、「信号導体層」という〕3の外側の導体層〔以後、「グランド導体層」という〕2cだけを通るように形成される。また、図2(a)に示すように、誘電体層1aだけを貫通する1個以上のビアホール4’を形成してもよい。ビアホール4’は、信号導体層3の真上に形成されてもよい。ビアホール列4およびビアホール4’〔以後、「ビアホール4’」を省略する〕の各々の孔の内部には銅等の導電材料が充填されており、これによって、グランド導体層2a、2b、2c、2dが相互に電気的に接続されている。したがって、グランド導体層2a、2b、2c、2dを接地電位に接続すると、ビアホール列4によって囲まれる誘電体層領域はビアホール列4によってシールドされることになり、ビアホール列4、および、ビアホール列4によって囲まれる誘電体層領域は、図2(a)の紙面垂直方向に延びる誘電体導波管構造5を構成する。信号導体層3の左端から高周波信号を入力させると、その高周波信号は、入力端から接地されているグランド導体層2cに伝送されていく途中の主としてスロット21aとスロット21bとが対向し合う領域で、少なくともその一部が誘電体導波管構造5内に電磁波として放出される。したがって、領域10は、誘電体導波管−高周波伝送路変換部を構成している。長さLを調整することによって入力高周波信号の帯域と伝送路の伝送帯域との整合を調整することが可能である。
【0011】
ビアホール列4によるシールドを効果的にするには、ビアホール列4は、各ビアホール間の間隔が誘電体導波管構造5内を伝播する電磁波の管内波長の1/2倍以下になるように配列されることが望ましい。ビアホール列4によるシールド効果をより完全にするためには、各ビアホール間の間隔をさらに狭く、例えば、管内波長の1/4倍以下、あるいは、1/8倍以下にすることがさらに望ましい。
信号導体層3に高周波信号が入力されたときに信号導体層3の上方に生じる電界は、その一部がグランド導体層2bに終端する。グランド導体層2bが存在しない場合には、この電界はグランド導体層2aに終端することになり、開口部6aに電界の乱れが生じ、誘電体導波管構造5と金属導波管9との接続特性に影響を与える。したがって、グランド導体層2bは、このような望ましくない電界の乱れを防止する効果を有する。さらに、グランド導体層2bは、誘電体導波管構造5を伝播する電磁波が、誘電体導波管構造5の外側に放射されることを防止する効果も有する。この効果を有効にするためには、グランド導体層間の間隔が、誘電体導波管構造5を伝播する電磁波の管内波長の1/2倍以下であることが望ましい。したがって、回路基板15の最上層のグランド導体層2aと信号導体層3を有する導体層22との間には、1層のグランド導体層2bのみではなく、複数のグランド導体層が形成されていてもよい。
【0012】
図2(b)に示すように、紙面上下方向に信号導体層3を挟むように、ビアホール列23が、誘電体層1b、1cを貫通して形成されており、グランド導体層2b、2c、2dを電気的に接続している。このビアホール列23は、信号導体層3に印加された信号が、グランド導体層2cの直上、直下の誘電体層1b、1cに電磁波として放射されることを防止するものであって、誘電体層内における信号の波長の1/2倍以下の間隔で信号導体層3に平行に少なくとも2列に形成されている。ビアホール列23は、誘電体層1aも貫通し、グランド導体層2aにも接続するように形成されてもよい。
【0013】
金属導波管9が、グランド導体層2aと電気的に接続されている。ここで、開口部6aの下の誘電体層1aには、窪み7が設けられている。また、金属導波管9内に、誘電体基板8が挿入されている。誘電体層1aに窪み7が設けられておらず、また、金属導波管9内に誘電体基板8が挿入されていない状態では、誘電体導波管構造5の特性インピーダンスZ1は低インピーダンスであり、金属導波管9の特性インピーダンスZWGは高インピーダンスであるので、金属導波管9と誘電体導波管構造5とを単純に接続しただけではインピーダンス整合をとることができない。そこで、インピーダンス整合をとるために、上述のように、第1に、誘電体層1aに深さtaの窪み7を設けて、誘電体導波管構造5内に高インピーダンスの区間を形成し、第2に、金属導波管9内に厚さtdの誘電体基板8を挿入して、金属導波管9内に低インピーダンスの区間を形成している。
【0014】
図3は、深さta、および、厚さtdを変化させた際に、誘電体導波管構造5の特性インピーダンスZ1から、金属導波管9の特性インピーダンスZWGに変換されるまでのインピーダンスの変化をスミス図表上(金属導波管9の特性インピーダンスZWGで規格化)の軌跡として表わしたものである。図3に示されるように、深さta、厚さtdを調整することによって、誘電体導波管構造5の特性インピーダンスZ1と金属導波管9の特性インピーダンスZWGとを整合させることが可能である。誘電体層1a、1b、1cの誘電率あるいは/および誘電体基板8の誘電率を変化させることによって、インピーダンス整合する深さta、厚さtdも変化する。
【0015】
図4は、誘電体層1a、1b、1cに比誘電率が7.1であるガラスセラミックス、誘電体基板8に比誘電率が4である石英を用い、窪み7の深さtaを0.32mmとしたときに、誘電体基板8の種々の厚さtdにおいて、金属導波管9から信号を入力したときの金属導波管9から見た反射特性の計算結果を示している。反射率が低くなるほど、インピーダンス整合の度合が高くなる。図4に示されるように、中心周波数60GHzにおいて最適化された誘電体基板8の厚さtdは0.4mmである。また、厚さtdを0.35mmと薄くすると、整合する周波数は高くなり、0.45mmと厚くすると、整合する周波数は低くなる。したがって、窪み7の深さtaを一定にしておいて、誘電体基板8の厚さtdを変化させることによって、インピーダンス整合のとれる周波数を調整することが可能である。
【0016】
図5は、本発明の第1の実施の形態に係る別の平面回路−導波管接続構造における信号導体層を有する導体層の平面図である。平面回路−導波管接続構造の他の部分の構成は、図2(a)に示した構成と同様である。図5において、図2(b)に示した部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。図5に示すように、この平面回路−導波管接続構造の導体層22は、コプレーナ線路を構成しており、高周波においては、信号導体層3に信号が入力された際、図2(b)に示した線路と同様に動作する。なお、誘電体導波管−高周波伝送路変換部10の紙面上端部または下端部のいずれかにおいて、信号導体層3とグランド導体層2cとが連続していてもよい。
【0017】
以上説明したように、本実施の形態の平面回路−導波管接続構造においては、平面回路15の誘電体層1aに窪み7が、金属導波管9に誘電体基板8が設けられており、それぞれの深さta、厚さtdを調整することにより、平面回路と金属導波管との整合をとることが可能である。また、本実施の形態の平面回路−導波管接続構造においては、回路基板15の各誘電体層の厚さに関係なく、窪み7の任意の深さtaに対して、誘電体基板8の厚さtdまたは/および誘電率を調節することによってインピーダンス整合をとることが可能であるから、回路基板15の各誘電体層の厚さは、波長の1/4倍に制限されない。さらに、本発明の平面回路−導波管接続構造は、平面回路15の最上層の誘電体層1aに窪み7を設けるものであるから、誘電体導波管構造5の横断面の各辺の寸法がmm以下の場合においても、容易に作製可能である。さらに、本発明の平面回路−導波管接続構造は、窪み7の深さtaを一定にしておいて誘電体基板8の厚さtdを変化させることによってインピーダンス整合のとれる周波数が変化するものであるから、金属導波管9内に挿入する誘電体基板8を種々の異なる厚さのものに変更することだけによって、同一の回路基板1を用いて広い周波数帯をカバーすることが可能となる。
【0018】
なお、誘電体基板8としては、石英に限らず、例えば、誘電体損失が小さいアルミナ等のセラミック材料も用いられる。また、誘電体層1cの厚さは、誘電体導波管−高周波伝送路変換部10から誘電体層1c側に放射される電磁波を誘電体導波管構造5側に有効に反射させるために、誘電体層1c内における電磁波の波長の1/4倍にするのが望ましい。場合によっては、誘電体層1cおよびグランド導体層2dは省略される。
【0019】
〔第2の実施の形態〕
図6は、本発明の第2の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図である。図6において、図2(a)に示した第1の実施の形態の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施の形態が図2(a)に示した第1の実施の形態と異なる点は、回路基板15が、グランド導体層2aの上に、金属導波管9を挿入できる開口部を持つ誘電体層1dを配置された構造となっているという点である。
【0020】
本実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造が、第1の実施の形態の平面回路−導波管接続構造と同様の効果を有することは明らかである。本実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造は、さらに、金属導波管9と誘電体導波管構造5との位置合わせが容易になるという効果を有する。
【0021】
〔第3の実施の形態〕
図7は、本発明の第3の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図である。図7において、図2(a)に示した第1の実施の形態の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。
本実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の製造工程を以下に説明する。まず、第1の実施の形態の場合と同様な金属導波管と、その金属導波管の横断面の外周より狭く、内周より広い外周を有する誘電体基板8を用意する。次に、金属導波管の一方の端部の内壁全体に渡って、誘電体基板8が嵌合する切削領域を形成して、金属導波管9Aを得る。また、誘電体基板8の一方の主面の外周部上に導体パターン12を形成した後、導体パターン12にAu−Sn共晶、Pb−Sn共晶などのろう材(はんだ)等を塗布する。次いで、誘電体基板8の導体パターン12が形成された主面が内側になるように、誘電体基板8を金属導波管9Aの切削領域に嵌合させた後、加熱して両者を接合させる。続いて、金属導波管9Aの誘電体基板8を嵌合させた側の面と回路基板15の最上層のグランド導体層2aとをろう材等で接合して本実施の形態の製造工程を完了して、図7に示す平面回路−導波管接続構造を得る。
【0022】
本実施の形態においては、誘電体基板8が金属導波管9Aに接合されるので、回路基板15への取り付けが容易になる。
【0023】
〔第4の実施の形態〕
図8は、本発明の第4の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図である。図8において、図2(a)に示した第1の実施の形態の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施の形態が図2(a)に示した第1の実施の形態と異なる点は、金属導波管9の内部に挿入される誘電体基板8が誘電率の異なる複数(本実施の形態においては2層)の誘電体層8a、8bの積層構造により構成されているという点である。
【0024】
本実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造においては、誘電率の異なる誘電体層8a、8bの種類の組み合わせおよび/または厚さの組み合わせを変化させることによって、誘電体基板8の誘電率を実効的に変化させることが可能である。更に、例えば、1層目の誘電体層8aをセラミックス等として金属導波管9内に挿入した後、その上に2層目の誘電体層8bとして熱硬化性の樹脂等を注入することにより、周波数特性の微調整を行うことが可能になる。
【0025】
〔第5の実施の形態〕
図9は、本発明の第5の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図である。図9において、図2(a)に示した第1の実施の形態の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施の形態が図2(a)に示した第1の実施の形態と異なる点は、誘電体層1aに設けられた窪み内に、誘電体層1aの誘電率よりも低い誘電率を持つ誘電体層1a’が、少なくとも部分的に充填されているという点である。
【0026】
本実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造は、誘電体導波管構造5の窪みにおける機械的強度を向上させることが可能になるとともに、誘電体導波管構造5の特性インピーダンスを調整することも可能になるという特徴を有する。
【0027】
〔第6の実施の形態〕
図10(a)は、本発明の第6の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図、図10(b)は、図10(a)のC−C線に沿う断面図である。図10において、図2に示した第1の実施の形態の部分と同等の部分には同一の参照符号を付し重複する説明を適宜省略する。本実施の形態が図2(a)に示した第1の実施の形態と異なる点は、図10(a)に示すように、信号導体層3とグランド導体層2b、2dとがトリプレート線路を構成しているという点である。また、図10(b)に示すように、誘電体導波管−高周波伝送路変換部がマイクロストリップで構成されている。しかしながら、誘電体導波管−高周波伝送路変換部は、マイクロストリップに限られるわけではない。
【0028】
上述の全ての実施の形態において、誘電体層1aの窪み7を、誘電体層1aを彫り込むことによって形成することができるが、多層セラミック技術を用いれば、より簡単に形成することができる。例えば、窪み7に相当する位置に穴を開けたグリーンシートと開けていないグリーンシートとを、合計の厚さが誘電体層1aの厚さになるだけ用意し、それらを貼り合わせて焼成することによって窪み7を備えた誘電体層1aを作製する。このとき、穴を開けたグリーンシートと開けていないグリーンシートとの構成比を変えることによって、窪み7の深さtaを調整することが可能である。また、グリーンシートのセラミック材料として、ガラスセラミックス等の低温焼成材料を使用すれば、信号導体層等の導体層に金、銀、銅等の低抵抗導体を使用することができ、回路の低損失化が可能となる。さらに、誘電体層1a、1b、1cは、誘電率の異なる誘電体で形成されてもよい。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の平面回路−導波管接続構造は、平面回路に窪みが、または/および、金属導波管に誘電体基板が、設けられるものであるから、窪みの深さ、または/および、誘電体基板の厚さを調整することにより、平面回路と導波管との整合をとることが可能である。
また、本発明の平面回路−導波管接続構造は、回路基板の各誘電体層の厚さに関係なく誘電体導波管構造と金属導波管9とをインピーダンス整合させるものであるから、平面回路の各誘電体層の厚さが、波長の1/4倍に制限されない。
また、本発明の平面回路−導波管接続構造は、平面回路の最上層の誘電体層に窪みを設けものであるから、誘電体導波管構造5の横断面の各辺の寸法がmm以下の場合においても、容易に作製可能なものである。
また、本発明の平面回路−導波管接続構造は、その1つの実施の形態によれば、平面回路の窪みに回路基板と異なる誘電率を持つ誘電体を充填するものであるから、機械的強度の低下を防止することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の平面図。
【図2】 図1のA−A線に沿う断面図〔(a)〕、B−B線に沿う断面図〔(b)〕。
【図3】 図2(a)の誘電体導波管構造の特性インピーダンスから金属導波管の特性インピーダンスへ変換されるまでの軌跡を示すスミス図表。
【図4】 図2(a)の平面回路−導波管接続構造からの電磁波の反射特性図。
【図5】 本発明の第1の実施の形態に係る別の平面回路−導波管接続構造の信号導体層を有する導体層の平面図。
【図6】 本発明の第2の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図。
【図7】 本発明の第3の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図。
【図8】 本発明の第4の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図。
【図9】 本発明の第5の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図。
【図10】 本発明の第6の実施の形態に係る平面回路−導波管接続構造の断面図〔(a)〕と、C−C線に沿う断面図〔(b)〕。
【図11】 従来例の平面回路−導波管接続構造の平面図
【図12】 図10のX−X線に沿う断面図〔(a)〕と、Y−Y線に沿う断面図〔(b)〕。
【符号の説明】
1a、1b、1c、1d、1a’ 誘電体層
2a、2b、2c、2d グランド導体層
3 信号導体層
4、23 ビアホール列
4’ ビアホール
5 誘電体導波管構造
6a、6b 開口部
7 窪み
8、8a、8b 誘電体基板
9、9A 金属導波管
10 誘電体導波管−高周波伝送路変換部
12 導体パターン
15 回路基板
21a、21b スロット
22 導体層
101a、101b 誘電体層
102a、102b グランド導体層
103 信号導体層
104 ビアホール列
105 誘電体導波管構造
106a 開口部
109 金属導波管
113 ホール
114 アンテナパターン
115 回路基板
116 キャビティ
Claims (17)
- 平面回路と導波管とが電磁界結合している平面回路−導波管接続構造であって、前記平面回路が少なくとも1層の誘電体層を有し、最上層の誘電体層の導波管側の表面に、前記導波管が結合される開口部を有する最上層導体層が形成され、該開口部の下の前記最上層の誘電体層に窪みが形成されており、前記最上層の誘電体層の導波管側の表面と反対側の表面または前記最上層の誘電体層以外の誘電体層の1表面に、前記開口部に対向して導波管−高周波伝送路変換部が形成されており、少なくとも前記最上層の誘電体層を貫通し、前記最上層導体層から少なくとも前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面に達する複数のビアホールが、前記導波管−高周波伝送路変換部を囲むように形成され、前記導波管の内部に誘電体基板が挿入されていることを特徴とする平面回路−導波管接続構造。
- 前記窪みの深さと、前記導波管内に挿入された前記誘電体基板の厚さを調整することにより、インピーダンス変換されていることを特徴とする請求項1に記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記複数のビアホールの隣接し合うビアホール間の間隔が、前記複数のビアホールによって囲まれる誘電体層を伝搬する電磁波の波長の1/2倍以下であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記最上層導体層と前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面との間に複数の誘電体層が積層され、該複数の誘電体層のおのおのの間に、前記最上層導体層に設けられた開口部に対向する開口部を有する導体層が形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記窪みの底面が、前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面の直上の前記導体層まで達していないことを特徴とする請求項4に記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記最上層導体層と前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面とそれらの間に形成されている前記1層以上の導体層との隣接し合う層間または層と面との間の間隔が、前記誘電体層を伝播する電磁波の波長の1/2倍以下であることを特徴とする請求項4または5に記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面に、2つ以上のスロットを備えたプレーナ線路が形成されており、該2つ以上のスロットで囲まれた領域が、前記導波管−高周波伝送路変換部、および、前記導波管−高周波伝送路変換部に高周波信号を入出力させる高周波信号入出力線を構成しており、前記2つ以上のスロットで囲まれた領域以外の領域に前記ビアホールが接続されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面に、前記ビアホールが接続された導体層と該ビアホールが接続された導体層によって囲まれた導体層とから成るコプレーナ線路が形成されており、該ビアホールが接続された導体層によって囲まれた導体層が、前記導波管−高周波伝送路変換部、および、高周波信号入出力線を構成することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面に、ストリップ導体が形成されており、該ストリップ導体が、前記導波管−高周波伝送路変換部、および、高周波信号入出力線を構成することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記高周波信号入出力線を挟んで少なくとも2列のビアホール列が形成されており、その各列内のビアホール間の間隔が、前記高周波信号入出力線からその上または下の誘電体層に放出される電磁波の波長の1/2倍以下であることを特徴とする請求項7から9のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面の下に誘電体層が形成されており、該誘電体層の前記導波管−高周波伝送路変換部が形成されている面と反対側の面に導体層が形成されており、該導体層に前記ビアホールが接続されていることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記最上層の誘電体層の誘電率と異なる誘電率を有する誘電体が、前記窪みの少なくとも一部分に充填されていることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記最上層導体層の上に、前記導波管を囲むように誘電体層が形成されていることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記導波管に挿入された誘電体基板が、誘電率の異なる複数の誘電体層により構成されていることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記導波管に挿入された誘電率の異なる複数の誘電体層のうちの最上層の誘電体層が、熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項14に記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記導波管に挿入された誘電体基板が、前記導波管に固着されていることを特徴とする請求項1から15のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
- 前記平面回路の最上層の誘電体層が、開口を有するセラミックス材料のグリーンシートと平坦なセラミックス材料のグリーンシートとを貼り合わせた後、焼成して製作されていることを特徴とする請求項1から16のいずれかに記載の平面回路−導波管接続構造。
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