Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP3902558B2 - Silicone rubber sheet for thermocompression bonding - Google Patents

Silicone rubber sheet for thermocompression bonding Download PDF

Info

Publication number
JP3902558B2
JP3902558B2 JP2003061136A JP2003061136A JP3902558B2 JP 3902558 B2 JP3902558 B2 JP 3902558B2 JP 2003061136 A JP2003061136 A JP 2003061136A JP 2003061136 A JP2003061136 A JP 2003061136A JP 3902558 B2 JP3902558 B2 JP 3902558B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicone rubber
weight
component
thermocompression bonding
rubber sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003061136A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2004273669A (en
Inventor
郁男 櫻井
武男 吉田
久治 山口
毅 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2003061136A priority Critical patent/JP3902558B2/en
Priority to KR1020040014903A priority patent/KR101010765B1/en
Priority to TW093105918A priority patent/TW200420701A/en
Priority to CNB2004100282108A priority patent/CN1247375C/en
Publication of JP2004273669A publication Critical patent/JP2004273669A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3902558B2 publication Critical patent/JP3902558B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B25/00—Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber
    • B32B25/04—Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising rubber as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B25/042—Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising rubber as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of natural rubber or synthetic rubber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B25/00—Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber
    • B32B25/20—Layered products comprising a layer of natural or synthetic rubber comprising silicone rubber
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18—Manufacture of films or sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/02—Elements
    • C08K3/04—Carbon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/10—Metal compounds
    • C08K3/14—Carbides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/18—Oxygen-containing compounds, e.g. metal carbonyls
    • C08K3/20—Oxides; Hydroxides
    • C08K3/22—Oxides; Hydroxides of metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/28—Nitrogen-containing compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L83/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon only; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L83/04—Polysiloxanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2383/00—Characterised by the use of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Derivatives of such polymers
    • C08J2383/04—Polysiloxanes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K2201/00—Specific properties of additives
    • C08K2201/002—Physical properties
    • C08K2201/006—Additives being defined by their surface area
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L2203/00—Applications
    • C08L2203/16—Applications used for films
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
    • H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/75301—Bonding head
    • H01L2224/75314—Auxiliary members on the pressing surface
    • H01L2224/75315—Elastomer inlay

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱を伝えると共に均一に圧力をかける目的で使用される熱圧着用シリコーンゴムシートに関し、特に表面離形性に優れ、周囲の装置部品や被圧着物に貼り付かない熱圧着用シートとして使用する、積層板やフレキシブルプリント基板の成形時、或は液晶パネル等に接続された電極とフレキシブルプリント基板のリード電極とを、異方導電性接着剤を介して電気的及び機械的に接続するときなどに使用する、熱圧着用シリコーンゴムシートに関する。
【０００２】
【従来技術】
近年、携帯用コンピューター、ワープロ、ビデオカメラ、ナビゲイションシステム、携帯テレビ、薄型テレビ、壁掛けテレビ等のディスプレイとして、液晶パネルを用いることが増えている。この液晶パネルの製造に際しては、液晶を駆動させるために液晶パネルに接続された電極と駆動用ＬＳＩが搭載されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）のリード電極とを、異方導電性接着剤を介在して熱圧着し、電気的及び機械的に接続することが行われている。
【０００３】
この場合、加圧ツールとＦＰＣの間に挟んで、加圧ツールから異方導電性接着剤に熱を伝えると共に均一な圧力を加える目的で、熱圧着用シートが用いられている。この熱圧着用シートとしては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムを用いる場合もあるが、さらに圧力を均一にかけるために、低弾性で柔軟性があるのと同時に熱伝導性の良い、シリコーンゴムシートを使用することが一般的になっている。
【０００４】
しかしながら、シリコーンゴムシートはフッ素樹脂フィルムに比べてシート表面に粘着性があり、シートが加熱・加圧ツールやＦＰＣに密着して貼り付き、圧着工程の作業性が著しく低下するとともに、剥がす際にシートが劣化し、耐久性が悪くなることがある。また、熱圧着用シートは、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤に直接接触することがあるため、この異方導電性接着剤に対して非接着であることが必要となるが、従来の熱圧着用シリコーンゴムシートは異方導電性接着剤に対しての非接着性が十分ではなく、耐久性に問題があった。
【０００５】
熱圧着用シリコーンゴムシートとして、例えば、▲１▼ではシリコーンゴムに窒化ホウ素を配合しガラスクロスで補強したもの、▲２▼ではシリコーンゴムに窒化ホウ素と導電性物質を配合し、ガラスクロスで補強して帯電防止性を付与したもの、▲３▼ではシリコーンゴムに、セラミックや金属などの良熱伝導性物質を配合したもの、▲４▼ではシリコーンゴムに、水分を除いた揮発分が０．５％以下であるカーボンブラックを配合し耐熱性を改良したもの等が知られている（特許文献１〜４参照）。しかしながら、これらのものは、シート表面の粘着性の問題や、異方導電性接着剤に対しての非接着性についての問題は改善されていない。
このような問題に対して、シリコーンゴムシートの表面にタルクなどの鱗片状の粉をムラなく打粉してから、余分な粉を水で洗浄することにより除去した熱圧着シリコーンゴムシートが提案されている（特許文献５）。このシートの場合には、シート表面の粘着性は改善されているが、異方導電性接着剤に対する非接着性についての問題は改善されていない。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−１９８３４４号公報
【特許文献２】
特開平６−３６８５３号公報
【特許文献３】
特開平６−２８９３５２号公報
【特許文献４】
特開平７−１１０１０号公報
【特許文献５】
特開平１０−２１９１９９号公報
【０００７】
前記シート表面の粘着性の問題と異方導電性接着剤に対する非接着性についての問題を解決するため、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムとシリコーンゴムシートを別々に準備し、これら２種類のシートを重ねて使用することも行なわれているが、この方法では、２種類のシートを必要とするためにコストが高くなるし、２種類のシートを供給する装置がそれぞれ必要となるため、製造装置のコストアップにも繋がる。
【０００８】
また、シリコーンゴムシートと耐熱性樹脂フィルムを積層・複合化することによりシート表面の粘着性をなくすとともに、強度に優れた熱圧着用シリコーンゴム複合シートが提案されている（特許文献６〜８）。しかしながら、このシートを使用した場合には、シリコーンゴムが耐熱性樹脂フィルムと接着しているので、ゴム単体より柔軟性がなくなる。従って加圧時に均一に圧力がかかりにくくなり、加圧力を大きくする必要があるが、被圧着体の強度に限界があり、問題となる場合がある上、耐熱性樹脂フィルムが比較的高価なため、コストアップに繋がるという欠点があった。
【０００９】
【特許文献６】
特開平８−１７４７６５号公報
【特許文献７】
特開２００１−１８３３０号公報
【特許文献８】
特開平７−２１４７２８号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明者等は、表面離形性に優れ、加熱・加圧ツールなどの周囲の装置部品、ＦＰＣなど被圧着物に貼り付かず、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤にも接着しない、高耐久性の熱圧着シリコーンゴムシートを得る為に鋭意検討した結果、従来の熱圧着シリコーンゴムシートの表面に、無機充填材の充填量が少なく離型性に優れたシリコーンゴム層を積層することにより良好な結果が得られることを見出し、本発明に到達した。
従って本発明の目的は、表面離型性に優れ、周囲の装置部品や被圧着物への貼り付きがない上、異方導電性接着剤に接着せず耐久性に優れ、なおかつ高耐熱性であると共に高強度で、均一に加圧力を伝えることができる柔軟性を兼ね備えた、熱圧着用シリコーンゴムシートを安価に提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記の目的は、第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、該第一のシリコーンゴム層とは組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートであって、前記第一のシリコーンゴム層が、（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラック、（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上である微粉末シリカ、（Ｄ）成分として金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択された少なくとも一種０〜１，６００重量部、及び、（Ｅ）硬化剤からなり、前記（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００重量部であると共に、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０重量部であるシリコーンゴム組成物を成形した層であり、前記第二のシリコーンゴム層が、（Ｆ）平均重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｇ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上である微粉末シリカ０〜１００重量部、及び、（Ｈ）硬化剤からなるシリコーンゴム組成物を、常圧熱気加硫して成形した層であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシートによって達成された。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明における、（Ａ）成分である平均重合度２００以上のオルガノポリシロキサンは、平均組成式Ｒ１ ａＳｉＯ（４−ａ）／２（ａは１．９５〜２．０５の正数）で表され、その平均重合度は３，０００〜２０，０００であることが好ましい。式中のＲ１は置換または非置換の一価炭化水素基を表す。その具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基あるいはこれらの水素原子が部分的に塩素原子、フッ素原子などで置換されたハロゲン化炭化水素基等があげられる。本発明においては、Ｒ１の０．００１〜５モル％、特に０．０１〜１モル％がアルケニル基であることが好ましい。
【００１３】
上記オルガノポリシロキサンは、主鎖がジメチルシロキサン単位からなるものあるいはこのオルガノポリシロキサンの主鎖にビニル基、フェニル基、トリフルオロプロピル基などを導入したものが好ましい。また分子鎖末端がトリオルガノシリル基または水酸基で封鎖されたものであればよく、このトリオルガノシリル基としては、トリメチルシリル基、ジメチルビニルシリル基、トリビニルシリル基などが例示される。なお、（Ａ）成分の２５℃における粘度は１０，０００ｃｓ以上であることが好ましい。また、重合度が２００以下では、硬化後の機械的強度が劣り脆くなる。
【００１４】
（Ｂ）成分の、水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラックは、複合シートの耐熱性及び熱伝導性を向上させるだけでなく機械的強度を向上させると共に、シリコーンゴムシートを導電化して帯電防止性を付与するものである。一般に、シリコーンゴムの耐熱性は、組成物中のｐＨ、水分あるいは不純物の影響を受けるために、添加剤の選定には充分注意する必要がある。カーボンブラックは、シリコーンゴムの耐熱性を向上させることができるが、その不純物および揮発分を考慮する必要がある。カーボンブラックの揮発分は表面に化学的に吸着している酸素化合物（カルボキシル、キノン、ラクトン、ヒドロキシル等の酸性成分）の重量に該当するが、加熱することによりこの酸素化合物が表面から気化するため、シリコーンゴムの耐熱性に悪影響を与える。従って、揮発分が０．５重量％以下のカーボンブラックを用いることにより、３００℃以上の高温下でも使用可能な耐熱性を実現することができる。
【００１５】
本発明における揮発分の測定方法はＪＩＳＫ６２２１の“ゴム用カーボンブラック試験方法”に記載されている。具体的には、るつぼの中にカーボンブラックを規定量入れ、９５０℃で７分間加熱した後の揮発減量を測定するものである。カーボンブラックはその製造方法により、ファーネスブラック、チャンネルブラック、サーマルブラック、アセチレンブラック等に分類されるが、揮発分が０．５重量％以下のカーボンブラックとしては、アセチレンブラックや導電性カーボンブラック等が好適である（例えば特開平１−２７２６６７号公報の第３頁、第３６〜４０行目）。比表面積が大きいカーボンブラックほど耐熱性を向上させ、高温時の機械的強度の低下を抑制する効果が大きい。本発明においては、ＢＥＴ比表面積が３０ｍ２／ｇ以上のものが好ましく、特に５０ｍ２／ｇ以上のものが好ましく、更には１００ｍ２／ｇ以上のカーボンブラックを使用することが好ましい。
【００１６】
（Ｃ）成分の、ＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上である微粉末シリカは、シリコーンゴムの補強成分として使われるものである。この微粉末シリカは、親水性のものでも疎水性のものでも良いが、補強性の面からはＢＥＴ比表面積が５０〜８００ｍ２／ｇであることが好ましく、特に１００〜５００ｍ２／ｇのものが良い。比表面積が５０ｍ２／ｇ未満では、補強効果が十分得られない。
【００１７】
本発明の（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分は、ともにシリコーンゴムを補強する役割を有する。（Ｂ）成分である水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラックの方が、（Ｃ）成分であるＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上である微粉末シリカよりも、耐熱性向上への寄与はより大きいものの、室温での強度への寄与はより小さい。これら２種類の補強成分は、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートの使用温度に応じて、調整して使用することができる。（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量は、（Ａ）成分１００重量部に対して０〜１５０重量部、特に１０〜１２０重量部であることが好ましく、２０〜１００重量部の範囲で使用することが最も好ましい。１５０重量部以上になると配合が困難になる上、成形加工性が悪くなる。
【００１８】
（Ｄ）成分は金属、（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択される少なくとも１種であり、本発明のシリコーンゴムシートに熱伝導性を付与するものである。これらの具体例としては、金属では銀粉、銅粉、鉄粉、ニッケル粉、アルミニウム粉など、金属酸化物では亜鉛、マグネシウム、アルミニウム、珪素、鉄等の酸化物、金属窒化物ではホウ素、アルミニウム、珪素等の窒化物、金属炭化物では珪素、ホウ素等の炭化物等が例示される。
【００１９】
（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分１００重量部に対して０〜１，６００重量部であるが、特に０〜１，０００重量部の範囲で使用することが好ましい。１，６００重量部以上になると配合が困難になる上成形加工性が悪くなる。本発明における（Ｂ）成分と（Ｃ）成分と（Ｄ）成分の合計配合量は１０〜１，６００重量部であるが、２０〜１，２００重量部であることが好ましく、特に３０〜１，０００重量部の範囲で使用することが好ましい。また、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートのゴム強度や耐熱性を重視する場合には、（Ｂ）成分であるカーボンブラックや（Ｃ）成分である微粉末シリカの配合部数を（Ｄ）成分に対して相対的に多くすることが好ましい。具体的には（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量が３０〜１００重量部、（Ｄ）成分が０〜５０重量部であることが好ましい。熱伝導性を重視する場合には、（Ｄ）成分である熱伝導付与材の配合部数を（Ｂ）成分や（Ｃ）成分に対して相対的に多くすることが好ましい。具体的には、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計の配合量が１０〜５０重量部、（Ｄ）成分が５０〜１，０００重量部であることが好ましい。
【００２０】
（Ｅ）成分としての硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている公知の硬化剤の中から適宜選択することができる。これらの硬化剤の例としては、ラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン、ジクミルパーオキサイドなどの有機過酸化物、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンがアルケニル基を２個以上有する場合に対しては、付加反応硬化剤として、ケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジエンポリシロキサンと白金系触媒とからなるもの、（Ａ）成分のオルガノポリシロキサンがシラノール基を２個以上含有する場合に対しては、縮合反応硬化剤として、アルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を２個以上有する有機ケイ素化合物等が挙げられる。本発明においては、ラジカル反応及び／又は付加反応で硬化させることが好ましい。
【００２１】
これらの硬化剤の添加量は通常のシリコーンゴムの場合と同様にすればよいが、ラジカル反応の場合には有機過酸化物を（Ａ）成分１００重量部に対して０．１〜１０重量部、付加反応の場合にはオルガノハイドロジェンポリシロキサンのＳｉＨ基が（Ａ）成分のアルケニル基に対して０．５〜５モルとなる量及び白金系触媒が１〜２，０００ｐｐｍとなる量使用することが好ましい。
【００２２】
本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じてクレイ、炭酸カルシウム、けいそう土、二酸化チタン等の充填剤、低分子シロキサンエステル、シラノール等の分散剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着付与剤、難燃性を付与させる白金族金属系触媒、ゴムコンパウンドのグリーン強度を上げるテトラフルオロポリエチレン粒子などを第一のシリコーンゴム層中のその他の成分として添加してもよい。
【００２３】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシート中、第二のシリコーンゴム層は、主に表面離型性を改善し、異方導電性接着剤との接着防止を目的として設けられるものである。この第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分である平均重合度が１００以上のオルガノポリシロキサンとしては、例えば一般式Ｒ２ ｂＳｉＯ（４−ｂ）／２で示されるものが挙げられる。ここでＲ２はメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などのアルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基などのアルケニル基、フェニル基、トリル基、キシリル基などのアリール基、ベンジル基、２−フェニルエチル基などのアラルキル基、あるいはこれらの基の炭素原子に結合している水素原子の一部または全部を、ハロゲン原子、シアノ基などで置換したクロロメチル基、トリフルオロプロピル基、シアノエチル基などから選択される同一または異種の、炭素数１〜１０、好ましくは炭素数１〜８の非置換または置換１価炭化水素基である。ｂは１．９〜２．４の正数である。このオルガノポリシロキサンは、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を含んだものであっても良いし、一分子中に少なくとも２個のシラノール基を含んだものであっても良い。
【００２４】
このオルガノポリシロキサンは基本的に直鎖状のジオルガノポリシロキサンであるが、分子中にＲ２ＳｉＯ３／２単位、ＳｉＯ２単位などの分岐構造を一部含有するものであってもよく、２５℃における粘度が０．１〜１，０００Ｐａ・ｓであることが好ましい。上記粘度が０．１Ｐａ・ｓ未満では、硬化物の機械的強度が使用に十分満足するものとならない場合がある。一方、１，０００Ｐａ・ｓより大きいと得られる組成物が高粘稠物となって２層構造に成形しずらくなる。また、けい素原子に結合した置換基Ｒ２は基本的に上記したいずれのものであってもよいが、アルケニル基としてはビニル基、その他の置換基としてはメチル基が好ましく、特に耐溶剤性が必要な場合にはトルフルオロプロピル基が好ましい。また、重合度が１００以下では、硬化後の機械的強度が劣り脆くなる。
【００２５】
本発明の熱圧着シリコーンゴムシートにおいては、機械的強度向上のために、上記オルガノポリシロキサンに加えてシリコーンレジンを使用しても良い。シリコーンレジンとしては、Ｒ２ ３ＳｉＯ０．５単位（Ｍ単位）とＳｉＯ２単位（Ｑ単位）、あるいは、Ｍ単位とＱ単位およびＲ２ＳｉＯ１．５単位（Ｔ単位）および／またはＲ２ ２ＳｉＯ単位（Ｄ単位）とからなる、ＭＱレジン、ＭＴＱレジン、ＭＤＱレジンまたはＭＤＴＱレジンがあり、どれを使用しても良いが、基本的にはＭ単位とＱ単位を主成分とするものが好ましい。また、必要に応じて（ＣＨ２＝ＣＨ）（ＣＨ３）２ＳｉＯ０．５単位や（ＣＨ２＝ＣＨ）（ＣＨ３）ＳｉＯ単位を含むビニル基含有シリコーンレジンを使用することもできる。具体的には、（ＣＨ３）３ＳｉＯ０．５単位、（ＣＨ２＝ＣＨ）（ＣＨ３）２ＳｉＯ０．５単位及びＳｉＯ２単位からなるレジンや、（ＣＨ３）３ＳｉＯ０．５単位、（ＣＨ２＝ＣＨ）（ＣＨ３）ＳｉＯ単位及びＳｉＯ２単位からなるレジンを使用することが好ましい。
【００２６】
このシリコーンレジンの含有量は、（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサン１００重量部に対して３〜５０重量部であり、好ましくは５〜３０重量部である。３重量部未満ではシリコーンレジンの機械的強度を向上させる効果が十分ではなく、５０重量部を超えるとシリコーンゴムが脆くなり引裂き強度が弱くなる。
【００２７】
（Ｇ）成分であるＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上である微粉末シリカは、第二のシリコーンゴム層の機械的強度を改善する目的で使用するものである。その具体例としては、親水性又は疎水性のヒュームドシリカ（乾式シリカ）や沈降シリカ（湿式シリカ）、結晶性シリカ、石英などが挙げられ、これらは単独で用いることも２種以上を組み合わせて用いることもできる。ヒュームドシリカや沈降シリカは、補強性の点からＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上であることが必要であるが、通常は、５０〜８００ｍ２／ｇ、特に１００〜５００ｍ２／ｇ程度のものを使用するのが良い。比表面積が５０ｍ２／ｇ未満では、補強効果が十分得られない。
【００２８】
このようなシリカのうち、市販されている親水性のシリカとしては、Ａｅｒｏｓｉｌ１３０，２００，３００（日本アエロジル社又はＤｅｇｕｓｓａ社製の商品名）、ＣａｂｏｓｉｌＭＳ−５，ＭＳ−７（Ｃａｂｏｔ社製の商品名）、ＲｈｅｏｒｏｓｉｌＱＳ−１０２，１０３（トクヤマ（株）製の商品名）、ＮｉｐｓｉｌＬＰ（日本シリカ製の商品名）等が挙げられる。また、疎水性シリカとしては、ＡｅｒｏｓｉｌＲ−８１２，Ｒ−８１２Ｓ，Ｒ−９７２，Ｒ−９７４（Ｄｅｇｕｓｓａ社製の商品名）、ＲｈｅｏｒｏｓｉｌＭＴ−１０（トクヤマ（株）製の商品名）、ＮｉｐｓｉｌＳＳシリーズ（日本シリカ製の商品名）などが挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００２９】
微粉末シリカの配合量は、（Ｆ）成分１００重量部に対して０〜１００重量部であるが５〜５０重量部であることが好ましく、特に１０〜３０重量部であることが好ましい。１００重量部を超えると離型性が十分でなくなり、異方導電性接着剤と接着し易くなる。
このような微粉末シリカの中でも、本発明においては、第二のシリコーンゴム層の機械的強度と表面離型性を両立させるため、疎水性シリカを使用することが好ましい。
【００３０】
上記疎水性シリカは、本質的にはジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシラン、ヘキサメチルジシラザンまたはその混合物などの表面処理剤で、あるいはこれら表面処理剤と水とを用いて親水性の微粉末シリカを熱処理して得た、その表面が（ＣＨ３）３ＳｉＯ１／２、（ＣＨ３）２ＳｉＯ２／２、ＣＨ３ＳｉＯ３／２、好ましくは（ＣＨ３）２ＳｉＯ２／２とＣＨ３ＳｉＯ３／２で処理され、疎水化されたシリカであればよいが、特にＣＨ３ＳｉＯ３／２基で処理されたものが好ましい。このようにして表面処理された疎水性シリカは、通常、シリカ全体に対して０．５重量％以上の炭素を含有する。
【００３１】
本発明においては、疎水性の微粉末シリカを、さらにオルガノシラザン化合物で表面処理しても良い。この場合には、上記した（Ｆ）成分としてのオルガノポリシロキサンに（Ｇ）成分としての疎水性シリカを添加した混合物を混合機中で加熱混練するときに、オルガノシラザン化合物を加えると共に必要に応じて少量の水を加えて加熱処理すればよく、このように処理するとシリカ表面のシラノールが処理されるので、この組成物から作られたシリコーンゴムが離型耐久性のすぐれたものになる。
【００３２】
このようなオルガノシラザン化合物としては、例えば、（ＣＨ３）３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ３）３、（ＣＨ３）３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ３）２ＮＨＳｉ（ＣＨ３）３、（ＣＨ３）２（ＣＦ３ＣＨ２ＣＨ２）ＳｉＮＨＳｉ（ＣＦ３ＣＨ２ＣＨ２）（ＣＨ３）２等のアルキル基、アリール基、置換アルキル基等を有するヘキサオルガノシラザン、オクタオルガノトリシラザン等の、炭素官能性基（例えば、アルケニル基）を有しないオルガノシラザン化合物、（ＣＨ３）２（ＣＨ２＝ＣＨ）ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ３）２ＮＨＳｉ（ＣＨ＝ＣＨ２）（ＣＨ３）２、（ＣＨ３）３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ３）（ＣＨ２＝ＣＨ）［ＯＳｉ（ＣＨ３）２］ｎＮＨＳｉ（ＣＨ３）３、ＣＨ２＝ＣＨＳｉ［ＮＨＳｉ（ＣＨ３）３］３等の、ビニル基等のアルケニル基含有オルガノシラザン化合物等を挙げることができる。これらのオルガノシラザン化合物は、炭素官能性基を有しないオルガノシラザン化合物のみを用いても、アルケニル基含有オルガノシラザン化合物のみで用いても良いし、両者を併用しても良い。特に、最も汎用であるヘキサメチルジシラザン（ＣＨ３）３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ３）３を使用することで、安価且つ簡便に効果を得ることができる。
【００３３】
このオルガノシラザン化合物の配合量は（Ｇ）成分としての微粉末シリカ１００重量部に対して１〜１００重量部、好ましくは１〜５０重量部とする。１重量部未満であると離型性を向上させる効果が顕著でない。また、１００重量部より多くしてもこれらの効果に大きな改良性がみらないばかりか、硬化後のシリコーンゴムの機械的強度に悪影響を及ぼす上、実際の使用に当って、これらシラザンが反応する際に生ずるアンモニアによる危険性が大きくなる。
【００３４】
第二のシリコーン層中の（Ｈ）成分としての硬化剤は、通常シリコーンゴムの硬化に使用されている公知のものの中から適宜選択することができる。これらの硬化剤の例としては、ラジカル反応に使用されるジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）へキサン、ジクミルパーオキサイドなどの有機過酸化物、（Ｆ）成分のオルガノポリシロキサンがアルケニル基を２個以上有する場合に対しては、付加反応硬化剤としてケイ素原子に結合した水素原子を１分子中に２個以上含有するオルガノハイドロジエンポリシロキサンと白金系触媒とからなるもの、（Ｆ）成分のオルガノポリシロキサンがシラノール基を２個以上含有する場合に対しては、縮合反応硬化剤としてアルコキシ基、アセトキシ基、ケトオキシム基、プロペノキシ基などの加水分解性の基を２個以上有する有機ケイ素化合物等が例示される。本発明においては、有機過酸化物硬化または／及び付加反応硬化が加工性の面から好ましい。
【００３５】
これら硬化剤の添加量は通常のシリコーンゴムの場合と同様にすればよいが、ラジカル反応の場合には有機過酸化物を（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜１０重量部、付加反応の場合にはオルガノハイドロジェンポリシロキサンのＳｉＨ基が（Ｆ）成分のアルケニル基に対して０．４〜４．０モルとなる量及び白金系触媒が１〜２，０００ｐｐｍとなる量使用することが好ましい。
【００３６】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第二のシリコーンゴム層中には、離型性向上を目的として、下記一般式（１）及び／又は（２）で表されるブリードアウト成分を添加しても良い。
式中のＲ３は水酸基または炭素数１〜８の置換または非置換の一価炭化水素基である。Ｒ４は同一でも異なっていてもよく、置換または非置換の一価炭化水素基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基、イソプロペニル基等のアルケニル基、フェニル基、キシリル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基、及びこれらの基の水素原子の全部もしくは一部がハロゲン原子等で置換された基、例えばクロロメチル基、３，３，３−トリフルオロプロピル基等を挙げることができる。ｎは１〜３，０００の数である。
【００３７】
Ｒ５は、同一でも異なっていてもよく、置換または非置換の一価炭化水素基、ｎは１〜３，０００の数であり、Ｍは、Ｌｉ、Ｋ等のアルカリ金属を表す。上記の一価炭化水素基Ｒ５としては、前記Ｒ４と同じものを挙げることができる。
【００３８】
上記一般式（１）及び（２）で表わされるブリードアウト成分の効果を高めるためには、（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサンの全有機基の９５％以上がメチル基であり、前記平均組成式（１）、（２）からなるブリードアウト成分のＲ４及びＲ５の３〜９０モル％がフェニル基または３，３，３−トリフルオロプロピル基であることが好ましい。Ｒ４およびＲ５のフェニル基または３，３，３−トリフルオロプロピル基含量が３モル％未満では、ブリード速度が遅くなるため、ブリードアウト成分を大量に添加することが必要になるので、シリコーンゴムの機械的強度が劣化する。また、前記平均組成式（１）からなるブリードアウト成分のＲ３及びＲ４をすべてメチル基とした、直鎖状のジメチルシリコーンオイルもブリード成分として有効である。特に粘度が３０Ｐａ・ｓ以上のものがより効果的である。
【００３９】
一般式（１）及び/又は（２）で表されるブリードアウト成分の（Ｆ）成分１００重量部に対する添加量は、０．１〜２０重量部であることが好ましく、さらには０．３〜１０重量部であることが好ましい。０．１重量部未満の添加量では、ブリードアウト成分のシリコーンゴム表面へのブリードアウトによる離型性向上への効果が十分ではなく、２０重量部を超える添加量では、シリコーンゴムの機械的強度が劣化するとともに、被圧着物を汚染する恐れがある。
【００４０】
第二のシリコーンゴム層中には、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて非反応性オルガノポリシロキサン、末端がヒドロキシシリルジメチル基で封鎖されたオルガノポリシロキサン等の、粘度及び硬さを調節するための希釈剤、コバルトブルー等の無機顔料、有機染料等の着色剤、炭酸亜鉛、炭酸マンガン、ベンガラ、酸化チタン、カーボンブラック等の耐熱性、難燃性向上剤や金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物等の熱伝導率向上剤を添加することもできる。ただし、無機充填材の添加は、異方導電性接着剤との非接着性を阻害するものであるため、添加量を少なくしたほうが良い。
【００４１】
このようにして得られる第二のシリコーンゴム層の組成物は、２５℃における粘度が０．１〜１０，０００Ｐａ・ｓであることが好ましく、特に１〜１，０００Ｐａ・ｓであることが好ましい。０．１Ｐａ・ｓ未満では十分な機械的強度を得ることが困難であるし、１０，０００Ｐａ・ｓを超えると流動性が悪くなるため加工し難くなる。
硬化後の第二のシリコーンゴム層のＪＩＳ Ａ硬度は２０以上であることが好ましく、特に２５〜９５であることが好ましい。硬度が２０未満であると、圧着時に、各被圧着部材に密着しやすくなる。
【００４２】
本発明においては、第一のシリコーンゴム層及び／または第二のシリコーンゴム層に、更に酸化セリウム粉末を添加することにより耐熱性を向上させることができる。上記酸化セリウムの添加量は、（Ａ）成分及び／または（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜５重量部の範囲であることが好ましい。５重量部を越えると反って耐熱性が低下してくる。また、この酸化セリウム粉末としては、ＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上という比較的大きな比表面積を有するものを用いることが好ましい。
尚、本発明の第一のシリコーンゴム層及び第二のシリコーンゴム層の組成物の配合は、上記成分をプラネタリーミキサー、ニーダー、二本ロール、バンバリーミキサー等の混合機を用いて混練りすればよいが、硬化剤は使用する直前に添加することが好ましい。
【００４３】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを成型する方法としては、以下のような方法があるが、これらに限定されるものではない。
（１）第一のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をコーティング成型・加熱硬化する方法。
（２）第一のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をスプレーコーティング成型・加熱硬化する方法。
（３）第一のシリコーンゴム層の組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化し、キャリアフィルム上にコーティング成型・溶剤除去・加熱硬化させた後、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をコーティング成型・加熱硬化させる方法。
（４）第一のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型・加熱硬化させた後、第二のシリコーンゴム層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型して、未硬化のまま第一のシリコーンゴム層の硬化物上に圧着・ラミネートして加熱硬化する方法。
（５）第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層の両層の組成物を、カレンダーあるいは押し出し成型し、未硬化のまま両層を圧着・ラミネートして両層を同時に加熱硬化する方法。
（６）第一のシリコーンゴム層の組成物をトルエン等の溶剤に溶解して液状化した後キャリアフィルム上にコーティング成型し、溶剤分を除去して未硬化のままとしておき、その上に第二のシリコーンゴム層の組成物をコーティング成型して溶剤分を除去した後、両層を加熱硬化する方法。
（７）第一のシリコーンゴム層及び第二のシリコーンゴム層の組成物それぞれを、カレンダーあるいは押し出し成型やコーティング成型した後、加熱硬化させておき、硬化済みの両層の間に接着剤層や粘着剤層を設けて貼りあわせる方法。
【００４４】
本発明においては、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層間の接着を強固にするため、適宜プライマー処理などの方法を用いても良い。また、第一のシリコーンゴム層の両面に第二のシリコーンゴム層を設け、３層構造とすることもできるが、この場合、２層ある第二のシリコーンゴム層の材質は異なるものであっても、同じものであっても良い。
【００４５】
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、ガラス転移温度が２００℃以上である樹脂からなるクロス、またはガラスクロスからなる補強材により補強することができる。
本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは２５０℃以上の温度でも使用されるため、上記補強用クロスは高温において機械的強度に優れている必要がある。従って、ガラス転移点が２００℃以上である芳香族ポリイミド、ポリアミドイミド、芳香族ポリアミド、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド等の樹脂繊維からなるクロス、又はガラスクロスが利用できる。これらの中でもガラスクロスは熱伝導性に優れており好ましい。
【００４６】
補強材の厚さは、熱伝導率の面から薄いほうが好ましく、０．０３〜１．０ｍｍ、特に０．０５〜０．５ｍｍであることが好ましい。
これらの補強材の位置は、第一のシリコーンゴム層の内部及び/又は第二のシリコーンゴム層の内部に含まれていれば良く、特に限定されるものではない。補強材を設ける方法としては、硬化前のシリコーンゴム組成物の粘度を小さくして流動性を持たせるか、トルエンなどの溶剤に溶解して液状物とし、補強材クロスにコーティングする方法や、補強材クロスをこれらの液に浸漬する方法などがあるが、特にこれらに限定されるものではない。
【００４７】
このようにして成形した本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの表面のうち、少なくとも一方の表面をエンボス加工することにより、各部材との接触面積を小さくすることができ、離型性をさらに向上させることができる。表面エンボスの程度は、中心線平均粗さで０．５〜５μｍの範囲が好ましい。０．５μｍ未満ではエンボスによる離型性向上の効果が十分ではなく、５μｍより大きくなると、圧着時の圧力の伝わり方が不均一になるので好ましくない。
【００４８】
シリコーンゴムシート表面にエンボスを付与する方法としては、以下のような方法があるが、これらに限定されるものではない。（１）カレンダー成型の場合は、エンボス形状の表面を持つプラスチックフィルム上に硬化前のシリコーンゴム組成物を分出して、エンボス形状を転写させるか、硬化前のシート表面にエンボスの付いたロールを押し付けてエンボスを転写させる方法。（２）コーティング成型の場合にも、カレンダー成型と同様に、エンボス形状の表面を持つプラスチックフィルム上にコーティングして、エンボス形状を転写させる方法。（３）レべリング性の悪い材料をスプレーコーティングする方法。（４）硬化の終わったシリコーンゴムシートをサンドブラストなどにより粗す方法。
【００４９】
このようにして成形した本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートは、第二のシリコーンゴム層の厚さが０．５〜３００μｍであり、前記第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１〜１０ｍｍであることが好ましく、特に第二のシリコーンゴム層の厚さが３〜１００μｍであり、前記第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２〜１ｍｍであることが好ましい。第二のシリコーンゴム層の厚さが０．５μｍ未満では十分な離型性が発現しないし、３００μｍを超えると熱伝導性が悪くなる。また、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１ｍｍ未満では、被圧着体に充分追従できないので圧力のかかり方が不均一になるし、１０ｍｍを超えると熱伝導性が悪くなる。
【００５０】
さらに離型性を向上させるために、以上のようにして作製した本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの表面に鱗片状の粉をムラなく打粉してから、シートを水で洗浄し、余分な粉を除去しても良い。打粉して粘着性を低減させる粉の形状は鱗片状である必要がある。鱗片状以外の形状の粉では、シートに塗布した際の伸びが悪く、塗りムラが生じやすい。また水で洗浄した後の鱗片状の粉は、シート表面との接触面が広いので圧着工程時に脱落しにくくなる。
【００５１】
鱗片状の粉としては、タルクおよびマイカを使用することができる。タルクの成分は含水ケイ酸マグネシウムからなるもので、酸化鉄等の不純物を若干含有している。マイカは天然産の雲母を粉砕したもので、アルミニウム、カリウム、マグネシウム等のケイ酸化合物である。その他、鱗片状の粉としてグラファイト、二硫化モリブデンがあるが、色が黒色のため汚れが目立ちやすいという欠点がある。タルク粉およびマイカ粉の平均粒径は０．５〜３０μｍの範囲が好ましい。０．５μｍ以下の粒径では粒子が凝集し易くなり、これがシートに付くと平滑性が悪くなるので均一に加圧できなくなる。粒径が３０μｍを越えても同様の問題が生じる。タルク粉およびマイカ粉はそれぞれ単独で使用することも、混合して使用することもできる。
【００５２】
シリコーンゴムシート表面に粉を打粉する方法としては、１）ガーゼ、スポンジ、ブラシ等に粉を含ませ機械的に擦り付ける方法、２）粉を空気中で流動させこの中にシートを通す方法、３）粉を水に分散させこの中にシートを通す方法等がある。また、シートに付着した余分な粉を水で洗浄する方法としては、１）水中でガーゼ、スポンジ、ブラシ等で機械的に擦する方法、２）シートにシャワー状に水を吹き付ける方法、３）水中で超音波洗浄する方法等があげられる。最後に水を乾燥して、熱圧着用シリコーンゴムシートとして使用できる形態になる。このシートは表面に粉が極薄い層で付着しているので、加圧ツールや被圧着物からの離形性が良く、さらに粉が脱落しにくいので周囲を汚染し難い。
本発明においては、１５０℃で３時間加熱した時の揮発分を０．２重量％以下、好ましくは０．１重量％以下にするために、高温でシリコーンゴムシートを熱処理することが好ましく、乾燥機や連続加熱炉の中で、１５０℃以上の温度で熱処理することが好ましい。
【００５３】
【発明の効果】
本発明の熱圧着シリコーンゴムシートは、表面離形性に優れ、加熱・加圧ツールなどの周囲の装置部品、ＦＰＣなどの被圧着物に貼り付かず、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤にも接着しないので、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂フィルムを重ねて使用する必要がなく、熱圧着シート単体での使用が可能となり、繰り返し使用回数も大幅に増える。また、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートは、従来の熱圧着シリコーンゴムシートの表面に、無機充填材の充填量が少なく離型性に優れたシリコーンゴム層を積層するという比較的安価な方法で達成できるため、結果的に熱圧着工程のコスト低減にも寄与できる。
【００５４】
【実施例】
以下、本発明を実施例によって更に詳述するが、本発明はこれによって限定されるものではない。
実施例１．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径２３ｎｍ、揮発分０．１０％でＢＥＴ比表面積が１３０ｍ２／ｇのアセチレンブラック５０重量部およびＢＥＴ比表面積が１２０ｍ２／ｇである疎水性シリカ（アエロジルＲ−９７２：商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）５重量部および比表面積が１４０ｍ２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００５５】
このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に対して塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部、および下記式（３）
で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を添加し、二本ロールでよく混練りして第一のシリコーンゴム層となる硬化性シリコーンゴムコンパウンドを調整した。
【００５６】
このシリコーンゴムコンパウンドをカレンダー成形機を用いて厚さ０．２０ｍｍに分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された厚さ１００μｍポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した後、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００５７】
分子鎖両末端がビニルジメチルシリル基で封鎖された、平均重合度が５１０のジメチルポリシロキサン１００重量部に、式（ＣＨ３）３ＳｉＯ０．５単位４２．５モル％、（ＣＨ２＝ＣＨ）（ＣＨ３）２ＳｉＯ０．５単位７．５モル％及びＳｉＯ２単位５０モル％よりなるシリコーンレジン（ＭＱレジン）１０重量部とＢＥＴ比表面積が約２００ｍ２／ｇである疎水性シリカ（アエロジルＲ−８１２：日本アエロジル株式会社製商品名）２０重量部とを加え、更にヘキサメチルジシラザン５部と水２部を加えたものを、ニーダー中で１時間、室温で混合した後、１６０℃、４時間加熱処理し、常温まで温度を下げた。次いで、ブリードアウト成分である下記式（４）
で表されるリチウムシリコネートを、ジメチルポリシロキサン１００重量部に対して０．６重量部と、塩化白金酸をジメチルポリシロキサンに対して白金重量で５０ｐｐｍ添加した。
【００５８】
ついで、このようにして得た組成物１００重量部に、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および下記式（５）
で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン５重量部を加え、均一に混練して第二のシリコーンゴム層となる組成物を作製した。この第二のシリコーンゴム層組成物の２５℃における粘度は４０Ｐａ・ｓであり、１５０℃で５分間加熱・硬化後のＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は４０であった。
【００５９】
第一のシリコーンゴム層上に、上記第二のシリコーンゴム層の未硬化組成物をナイフコーターにより厚さ３０μｍとなるようにコーティング成型した後、１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍであって、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００６０】
実施例２．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末アルミナＡＬ−４５（昭和電工（株）製）４００重量部、比表面積が２００ｍ２／ｇであるシリカ微粉末アエロジル２００（日本アエロジル（株）製）３０重量部、並びに式（６）で示されるα，ω−ジヒドロキシメチルポリシロキサン５重量部をニーダーを用いて均一に混練りし、１５０℃で２時間熱処理した。
【００６１】
冷却後、このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、比表面積が１４０ｍ２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部と硬化剤として有機過酸化物Ｃ−２３（信越化学工業（株）製）１．５重量部を、二本ロールを用いて添加混合した後、カレンダー成形機を用いて厚さが０．３０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された厚さ３０μｍのＰＥＴフィルム上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００６２】
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法は実施例１と同じとして、第二のシリコーンゴム層の厚さを３０μｍ、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さを０．３３ｍｍとして、積層構造のシリコーンゴムシートを作製した。次にシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、平均粒径１３μｍのタルク粉を、ガーゼを用いてシートに擦り付け、ムラなく塗布した後、流水中でスポンジで擦りながら洗浄して余分な粉を除去した。水を乾燥させた後、乾燥機中で２００℃で４時間熱処理し、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００６３】
実施例３．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径３５ｎｍ、揮発分０．１０％でＢＥＴ比表面積が６９ｍ２／ｇのアセチレンブラック２５重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ２／ｇである疎水性シリカＡｅｒｏｓｉｌ Ｒ−９７２（商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）２５重量部および比表面積が１４０ｍ２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００６４】
得られたシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を加え、均一に混練した。次に、カレンダー成形機を用いて厚さが０．２０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００６５】
第一のシリコーンゴム層上に、実施例１の第二のシリコーンゴム層と同じ組成の未硬化組成物を、ナイフコーターにより厚さが３０μｍとなるようにコーティング成型した後、表面にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）層を配置したロールに接触させて第二のシリコーンゴム層表面をエンボス形状とした。次いで１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた後、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。第二のシリコーンゴムシートの中心線表面粗さを触針式の表面形状測定機にて測定したところ、１．８μｍであった。
【００６６】
実施例４．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径２３ｎｍで、揮発分０．１０％、ＢＥＴ比表面積が１３０ｍ２／ｇのアセチレンブラック１０重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ２／ｇである疎水性シリカＡｅｒｏｓｉｌ Ｒ−９７２（商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）５０重量部および比表面積が１４０ｍ２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００６７】
このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を加え、均一に混練した。次に、カレンダー成形機を用いて厚さが０．２０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍで片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上に転写し、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００６８】
第二のシリコーンゴム層の組成を実施例１と同じにして、スプレーコーティング法により、前記第一のシリコーンゴム層上に厚さが１０μｍとなるように成型した後、１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが１０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２１ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００６９】
実施例５．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径２３ｎｍで、揮発分０．１０％、ＢＥＴ比表面積が１３０ｍ２／ｇのアセチレンブラック２０重量部と、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末アルミナＡＬ−４５（昭和電工（株）製）４００重量部および比表面積が１４０ｍ２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部を二本ロールで配合し、混練りして均一化した。
【００７０】
このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に対して、塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．０重量部と有機過酸化物Ｃ−８（信越化学工業（株）製）０．８重量部を添加した。二本ロールでよく混練りして、第一のシリコーンゴム層となる硬化性シリコーンゴムコンパウンドを調整した。
【００７１】
得られたシリコーンゴムコンパウンドを、カレンダー成形機を用いて厚さが０．２０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した。次いで１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００７２】
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法を実施例１と同じにして、最後に２００℃で２時間ポストキュアーし、第二のシリコーンゴム層の厚さが１００μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．３０ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７３】
実施例６．
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部に、平均粒径３５ｎｍで、揮発分０．１０％、ＢＥＴ比表面積が６９ｍ２／ｇのアセチレンブラック１０重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ２／ｇである疎水性シリカＡｅｒｏｓｉｌ Ｒ−９７２（商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）１０重量部、良熱伝導性充填剤として酸化アルミニウム粉末アルミナＡＬ−４５（昭和電工（株）製）４００重量部及び（６）で表されるα，ω−ジヒドロキシメチルポリシロキサン５重量部をニーダーを用いて均一に混練りし、１５０℃で２時間熱処理した。
【００７４】
冷却後、得られたシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に、比表面積が１４０ｍ２／ｇの酸化セリウム粉末０．５重量部、硬化剤として塩化白金酸のイソプロピルアルコール溶液（白金量２重量％）０．１重量部、反応抑制剤であるエチニルシクロヘキサノール０．１重量部、および式（３）で表されるメチルハイドロジェンポリシロキサン１．２重量部を加えた。二本ロールで添加混合した後、キシレンに溶解して６０％キシレン溶液とし、コンマコーターで中心線表面粗さが０．７μｍの、片面エンボス加工された厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上にコーテイングした後キシレンを８０℃で乾燥した。次いで１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートの第一のシリコーンゴム層を作製した。
【００７５】
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法を実施例１と同じにして、最後に２００℃で２時間ポストキュアーし、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７６】
実施例７．
実施例５と同じ組成、同じ方法で、厚さ０．２０ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
分子鎖両末端がビニルジメチルシリル基で封鎖された、平均重合度が７５０のジメチルポリシロキサン１００重量部に、式（ＣＨ３）３ＳｉＯ１／２単位、ＳｉＯ２単位および（ＣＨ２＝ＣＨ）ＣＨ３ＳｉＯ単位よりなり、（ＣＨ３）３ＳｉＯ１／２／ＳｉＯ２＝０．８（モル比）でビニル基含有量が０．０８モル／１００ｇであるシリコーンレジン（ＭＤＱレジン）３０重量部をプラネタリーミキサー中で１５０℃に加熱し、２時間加熱処理したのち常温まで温度を下げ、塩化白金酸をジメチルポリシロキサンに対して白金重量で５０ｐｐｍ添加した。ついで、このようにして得た組成物１００重量部に反応抑制剤であるエチニルヘキサノール０．１重量部、および式Ｈ（ＣＨ３）２ＳｉＯ１／２単位およびＳｉＯ２単位よりなり、Ｈ（ＣＨ３）２ＳｉＯ１／２／ＳｉＯ２＝０．６５（モル比）でＳｉ−Ｈ含有量が０．９モル／１００ｇであるシリコーンレジン（ＭＱレジン）６重量部を加え、均一に混練して第二のシリコーンゴム層となる組成物を作製した。この第二のシリコーンゴム層組成物の２５℃における粘度は６０Ｐａ・ｓであり、１５０℃で５分間加熱・硬化させた後のＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験におけるタイプＡ硬度は５０であった。
【００７７】
第一のシリコーンゴム層上に上記第二のシリコーンゴム層の未硬化組成物をナイフコーターにより厚さ３０μｍとなるようにコーティング成型した後、１５０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２３ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７８】
実施例８．
実施例７の第二のシリコーンゴム層を形成する組成物中に、ブリードアウト成分として、主鎖の繰り返し単位がジメチルポリシロキサン単位及びジフェニルポリシロキサン単位からなり、フェニル基含有量が２８モル％で、両末端がトリメチルシロキシ基で封鎖された粘度が０．４Ｐａ・ｓのメチルフェニルポリシロキサンを５重量部添加したこと以外は、実施例７と同様にして、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００７９】
実施例９．
実施例２の第一のシリコーンゴム層と同じ組成物を実施例２と同じ条件で成型し、未硬化のままとして、厚さが０．２０ｍｍの未硬化の第一のシリコーンゴム層を作製した。
ジメチルシロキサン単位９９．８５モル％及びメチルビニルシロキサン単位０．１５モル％からなる、平均重合度が８，０００のメチルビニルポリシロキサン１００重量部、ＢＥＴ比表面積が１２０ｍ２／ｇである疎水性シリカ（アエロジル Ｒ−９７２：商品名、Ｄｅｇｕｓｓａ社製）６０重量部、および実施例２で使用した式（６）で表されるα，ω−ジヒドロキシメチルポリシロキサン５重量部をニーダーを用いて均一に混練りし、１５０℃で２時間熱処理した。
【００８０】
冷却後、このシリコーンゴムコンパウンド１００重量部に硬化剤として有機過酸化物Ｃ−２３（信越化学工業（株）製）１．５重量部を二本ロールで添加混合した。次いで、キシレンに溶解して３０％キシレン溶液とし、中心線表面粗さ０．７μｍの片面エンボス加工された厚さが１００μｍのＰＥＴフィルム上にコンマコーターを用いてコーテイングした後、キシレンを８０℃で乾燥し、厚さが５０μｍの第二のシリコーンゴム層の未硬化物を作製した。この第二のシリコーンゴム層組成物の、１６０℃で５分間加熱・硬化させた後におけるＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験によるタイプＡ硬度は７０であった。
【００８１】
未硬化の第一のシリコーンゴム層と未硬化の第二のシリコーンゴム層を、両層間に空気が入らないようにラミネートし、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次いで、２層構造のシリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが５０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２５ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８２】
実施例１０．
実施例２の第一のシリコーンゴム層と同じ未硬化の組成物をキシレンに溶解して６０％キシレン溶液とし、厚さが５０μｍのガラスクロスの片面にコンマコーターで塗布した後キシレンを８０℃で乾燥し、次いでもう一方の面にも同様に塗布して乾燥した後、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させ、厚さが０．２５ｍｍの第一のシリコーンゴム層を作製した。
第二のシリコーンゴム層の組成および成型方法を実施例１と同じにし、最後に２００℃で２時間ポストキュアーして、第二のシリコーンゴム層の厚さが３０μｍで、第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．２８ｍｍである、本発明の熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８３】
比較例１．
実施例１の第一のシリコーンゴム層と同じシリコーンゴムコンパウンドを使用し、カレンダー成形機を用いて厚さが０．３０ｍｍとなるように分出ししてから、エンボスのない、厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した。１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた後、２００℃で２時間ポストキュアーした。次いで、シリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８４】
比較例２．
比較例１で作製したシリコーンゴムシートに、さらに平均粒径１３μｍのタルク粉をガーゼによりシートに擦り付けてムラなく塗布し、乾燥機中で、２００℃で４時間熱処理した後、このシートを流水中でスポンジで擦りながら洗浄し、余分な粉を除去してから水を乾燥させ、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８５】
比較例３．
実施例１の第一のシリコーンゴム層と同じシリコーンゴムコンパウンドを、カレンダー成形機を用いて厚さが０．３０ｍｍとなるように分出ししてから、中心線表面粗さが０．７μｍで片面エンボス加工された、厚さが１００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に転写した。次いで、中心線表面粗さが３．５μｍのエンボスロールをＰＥＴフィルムと反対側の面に押し付け、シリコーンゴムの表面にエンボスを転写させた後、１６０℃の加熱炉の中を５分間通して硬化させた。次に、シリコーンゴムシートをＰＥＴフィルムから剥離し、２００℃で２時間ポストキュアーして、熱圧着用シリコーンゴムシートを作製した。
【００８６】
（圧着試験）
熱圧着用シートは、熱圧着時にはみ出した異方導電性接着剤に直接接触することがある。そこで、この異方導電性接着剤に対しての接着性を見るため、実施例１〜１０及び比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの下に、厚さ２２μｍの異方導電性接着剤を直接配し、その下に１００μｍ厚のポリイミドフィルムをはさむように圧着機に設置し、２４０℃に加熱した加圧ツールを用い、４０ｋｇｆ／ｃｍ２の押し圧力で２０秒間圧着した。熱圧着用シリコーンゴムシートは、２層構造のシートの場合、加圧ツール側に第一のシリコーンゴム層が、異方導電性接着剤側に第二のシリコーンゴム層が配置するようにセットした。１回の圧着終了後、異方導電性接着剤を新しい物に代え、熱圧着用シリコーンゴムシートはそのまま同じ物を使用してこの圧着を繰り返し、異方導電性接着剤が熱圧着用シリコーンゴムシート側に接着するまでの回数を測定した。
【００８７】
また、異方導電性接着剤への非接着性以外の耐久性を見るため、実施例１〜１０、比較例１〜３で作製した熱圧着用シリコーンゴムシートの下に、２５μｍピッチの銅電極を設けた２枚のＦＰＣで厚さが２２μｍの異方導電性接着剤をはさんだもの（上下の銅電極の位置を合わせる）を置いてから圧着機に設置し、３４０℃に加熱した加圧ツールを用い、４０ｋｇｆ／ｃｍ２の押し圧力で２０秒間圧着した。本試験では、異方導電性接着剤と熱圧着シートとの接着評価を前記のとおり別に評価するため、圧着時に２枚のＦＰＣの間から異方導電性接着剤がはみ出さないような構造とした。熱圧着用シリコーンゴムシートは、２層構造のシートの場合、加圧ツール側に第一のシリコーンゴム層が、ＦＰＣ側に第二のシリコーンゴム層が配置するようにセットした。この圧着を繰り返し、加圧ツールへのシートの密着状態、および均一な圧力で異方導電性接着剤を加熱硬化できなくなるまでの回数を測定した。この回数は上下のＦＰＣの銅電極の導通により確認した。また、加圧ツールの汚れを目視により評価した。
【００８８】
表１に結果をまとめた。実用上の繰り返し耐久性は、はみ出した異方導電性接着剤が熱圧着シートに接触することから、異方導電性接着剤が接着するまでの繰り返し回数と、均一な圧力で異方導電性接着剤を加熱硬化できなくなるまでの回数のうち、少ないほうの回数ということになる。本発明による実施例１〜１０の熱圧着シートを比較例１〜３と比較することにより、本発明の熱圧着シリコーンゴムシートが、特に異方導電性接着剤に対する非接着性に優れるとともに、周囲の装置部品や被圧着物への貼り付きがなく、耐久性に優れることがわかる。
【表１】
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a silicone rubber sheet for thermocompression bonding that is used for the purpose of transferring heat and uniformly applying pressure, and in particular, a sheet for thermocompression bonding that is excellent in surface releasability and does not stick to surrounding device parts or objects to be bonded. When forming a laminated board or flexible printed circuit board, or electrically connecting the electrode connected to the liquid crystal panel or the like and the lead electrode of the flexible printed circuit board with an anisotropic conductive adhesive The present invention relates to a silicone rubber sheet for thermocompression bonding that is used when, for example.
[0002]
[Prior art]
In recent years, liquid crystal panels are increasingly used as displays for portable computers, word processors, video cameras, navigation systems, portable televisions, flat-screen televisions, wall-mounted televisions, and the like. When manufacturing this liquid crystal panel, an anisotropic conductive adhesive is interposed between the electrode connected to the liquid crystal panel to drive the liquid crystal and the lead electrode of the flexible printed circuit board (FPC) on which the driving LSI is mounted. Thus, thermocompression bonding and electrical and mechanical connection are performed.
[0003]
In this case, a thermocompression bonding sheet is used for the purpose of transferring heat from the pressure tool to the anisotropic conductive adhesive and applying a uniform pressure between the pressure tool and the FPC. In some cases, a fluororesin film such as polytetrafluoroethylene (PTFE) is used as the thermocompression-bonding sheet. However, in order to apply pressure more uniformly, it has low elasticity and flexibility, and at the same time has thermal conductivity. It is common to use good silicone rubber sheets.
[0004]
  However, the silicone rubber sheet is more sticky on the sheet surface than the fluororesin film, and the sheet adheres to and adheres to the heating / pressurizing tool or FPC, and the workability of the crimping process is significantly reduced, and when peeling off. The sheet may deteriorate and durability may deteriorate. In addition, the thermocompression bonding sheet may come into direct contact with the anisotropic conductive adhesive that protrudes during thermocompression bonding.Anisotropic conductivityAlthough it is necessary to be non-adhesive to the adhesive, the conventional silicone rubber sheet for thermocompression bonding is not sufficiently non-adhesive to the anisotropic conductive adhesive and has a problem in durability. .
[0005]
As a silicone rubber sheet for thermocompression bonding, for example, in (1), silicon rubber is compounded with boron nitride and reinforced with glass cloth, and in (2), silicon rubber is compounded with boron nitride and a conductive material and reinforced with glass cloth. In the case of (3), a silicone rubber is blended with a good heat conductive material such as ceramic or metal, and in (4), the silicone rubber has a volatile content excluding moisture of 0. The thing etc. which mix | blended carbon black which is 5% or less and improved heat resistance are known (refer patent documents 1-4). However, these materials have not improved the problem of stickiness on the sheet surface and the problem of non-adhesiveness to the anisotropic conductive adhesive.
In order to solve this problem, a thermocompression silicone rubber sheet has been proposed in which scaly powder such as talc is uniformly ground on the surface of the silicone rubber sheet and then the excess powder is removed by washing with water. (Patent Document 5). In the case of this sheet, the tackiness of the sheet surface is improved, but the problem of non-adhesiveness to the anisotropic conductive adhesive is not improved.
[0006]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 5-198344
[Patent Document 2]
JP-A-6-36853
[Patent Document 3]
JP-A-6-289352
[Patent Document 4]
Japanese Patent Laid-Open No. 7-11010
[Patent Document 5]
JP-A-10-219199
[0007]
In order to solve the problem of the tackiness of the sheet surface and the problem of non-adhesiveness to the anisotropic conductive adhesive, a fluororesin film such as polytetrafluoroethylene (PTFE) and a silicone rubber sheet are separately prepared. Although two types of sheets are used in an overlapping manner, this method requires two types of sheets, which increases the cost and requires an apparatus for supplying the two types of sheets. Therefore, it leads to the cost increase of a manufacturing apparatus.
[0008]
In addition, a silicone rubber composite sheet for thermocompression bonding having excellent strength has been proposed while the adhesiveness of the sheet surface is eliminated by laminating / compositing a silicone rubber sheet and a heat resistant resin film (Patent Documents 6 to 8). . However, when this sheet is used, since the silicone rubber is bonded to the heat resistant resin film, the sheet is less flexible than the rubber alone. Therefore, it is difficult to apply pressure uniformly during pressurization, and it is necessary to increase the applied pressure. However, there is a limit to the strength of the object to be bonded, which may cause problems, and the heat resistant resin film is relatively expensive. There was a disadvantage that it led to cost increase.
[0009]
[Patent Document 6]
JP-A-8-174765
[Patent Document 7]
JP 2001-18330 A
[Patent Document 8]
JP-A-7-214728
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
  Therefore, the present inventors have excellent surface releasability, do not stick to surrounding equipment parts such as heating / pressurizing tools, and FPCs such as FPC, and adhere to anisotropic conductive adhesives that protrude during thermocompression bonding. As a result of intensive studies to obtain a highly durable thermocompression-bonded silicone rubber sheet, a silicone rubber layer with a small amount of inorganic filler and excellent releasability was laminated on the surface of a conventional thermocompression-bonded silicone rubber sheet Good results byButGainIsThe present invention was reached.
  Therefore, the object of the present invention is to have excellent surface releasability, no sticking to surrounding device parts and to-be-bonded objects, excellent durability without adhering to anisotropic conductive adhesive, and high heat resistance. Another object of the present invention is to provide a silicone rubber sheet for thermocompression bonding at a low cost that has high strength and flexibility capable of uniformly transmitting pressure.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
  The object of the present invention is to provide a multilayer silicone rubber layer in which a second silicone rubber layer having a composition different from that of the first silicone rubber layer is provided on at least one surface of the first silicone rubber layer. The first silicone rubber layer is (A) 100 parts by weight of an organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 200 or more, and (B) the volatile content excluding moisture is 0.5% by weight or less. Carbon black, (C) BET specific surface area is 50m2Fine powdered silica that is not less than / g, metal as component (D), metal oxide other than component (C), metal nitride, metal carbide, at least one selected from 0 to 1,600 parts by weight, and ( E) It consists of a curing agent, and the total blending amount of the components (B), (C) and (D) is 10 to 1,600 parts by weight, and the total blending amount of the (B) component and the (C) component is A layer formed from 0 to 150 parts by weight of a silicone rubber composition, wherein the second silicone rubber layer comprises (F) 100 parts by weight of an organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 100 or more, and (G) a BET specific surface area. Is 50m2A silicone rubber composition comprising 0 to 100 parts by weight of finely divided silica which is at least / g, and (H) a curing agent., Normal pressure hot air vulcanizationThis was achieved by a silicone rubber sheet for thermocompression bonding, characterized by being a molded layer.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  In the present invention, the organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 200 or more, which is the component (A), has an average composition formula R1 aSiO(4-a) / 2(A is a positive number of 1.95 to 2.05), and the average degree of polymerization is preferably 3,000 to 20,000. R in the formula1Represents a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group. Specific examples thereof include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, and propyl group, cycloalkyl groups such as cyclopentyl group and cyclohexyl group, alkenyl groups such as vinyl group and allyl group, and aryl groups such as phenyl group and tolyl group. Group or a halogenated hydrocarbon group in which these hydrogen atoms are partially substituted with a chlorine atom, a fluorine atom or the like.BookIn the invention, R1It is preferable that 0.001 to 5 mol%, particularly 0.01 to 1 mol% of the alkenyl group.
[0013]
The organopolysiloxane preferably has a main chain composed of dimethylsiloxane units, or has a vinyl group, phenyl group, trifluoropropyl group or the like introduced into the main chain of the organopolysiloxane. Moreover, the molecular chain terminal should just be blocked | blocked with the triorganosilyl group or the hydroxyl group, and a trimethylsilyl group, a dimethylvinylsilyl group, a trivinylsilyl group etc. are illustrated as this triorganosilyl group. In addition, it is preferable that the viscosity in 25 degreeC of (A) component is 10,000 cs or more. On the other hand, when the degree of polymerization is 200 or less, the mechanical strength after curing becomes inferior and becomes brittle.
[0014]
Carbon black having a volatile content excluding moisture of 0.5% by weight or less of the component (B) not only improves the heat resistance and thermal conductivity of the composite sheet, but also improves the mechanical strength, and is a silicone rubber. The sheet is made conductive to impart antistatic properties. In general, since the heat resistance of silicone rubber is affected by pH, moisture or impurities in the composition, it is necessary to pay close attention to the selection of additives. Although carbon black can improve the heat resistance of silicone rubber, it is necessary to consider its impurities and volatile components. The volatile matter of carbon black corresponds to the weight of oxygen compounds (acidic components such as carboxyl, quinone, lactone, and hydroxyl) that are chemically adsorbed on the surface, but this oxygen compound vaporizes from the surface when heated. Adversely affects the heat resistance of silicone rubber. Therefore, by using carbon black having a volatile content of 0.5% by weight or less, heat resistance that can be used even at a high temperature of 300 ° C. or higher can be realized.
[0015]
The method for measuring the volatile content in the present invention is described in “Testing method of carbon black for rubber” of JISK6221. Specifically, a specified amount of carbon black is put into a crucible, and the volatilization loss after heating at 950 ° C. for 7 minutes is measured. Carbon black is classified into furnace black, channel black, thermal black, acetylene black, etc., depending on the production method. Carbon black with a volatile content of 0.5% by weight or less includes acetylene black and conductive carbon black. It is suitable (for example, page 3 of JP-A-1-272667, lines 36 to 40). Carbon black with a larger specific surface area has a greater effect of improving heat resistance and suppressing a decrease in mechanical strength at high temperatures. In the present invention, the BET specific surface area is 30 m.2/ G or more is preferable, especially 50 m2/ G or more is preferable, and further 100 m2/ G or more of carbon black is preferably used.
[0016]
Component (C) has a BET specific surface area of 50 m.2Fine powdered silica having a weight of at least / g is used as a reinforcing component for silicone rubber. The fine powder silica may be hydrophilic or hydrophobic, but has a BET specific surface area of 50 to 800 m from the viewpoint of reinforcement.2/ G, particularly 100 to 500 m2/ G is good. Specific surface area is 50m2If it is less than / g, a sufficient reinforcing effect cannot be obtained.
[0017]
Both the component (B) and the component (C) of the present invention have a role of reinforcing the silicone rubber. The carbon black having a volatile content of 0.5% by weight or less excluding moisture as the component (B) has a BET specific surface area of 50 m as the component (C).2Although the contribution to the improvement of heat resistance is larger than that of finely divided silica of / g or more, the contribution to the strength at room temperature is smaller. These two kinds of reinforcing components can be adjusted and used according to the use temperature of the thermocompression-bonded silicone rubber sheet of the present invention. The total amount of the component (B) and the component (C) is preferably 0 to 150 parts by weight, particularly preferably 10 to 120 parts by weight, with respect to 100 parts by weight of the component (A). Most preferably used in a range. If it is 150 parts by weight or more, blending becomes difficult, and molding processability deteriorates.
[0018]
The component (D) is at least one selected from metals, metal oxides other than the component (C), metal nitrides, and metal carbides, and imparts thermal conductivity to the silicone rubber sheet of the present invention. Specific examples of these include silver powder, copper powder, iron powder, nickel powder, aluminum powder, etc. for metals, zinc oxide, metal oxides such as magnesium, aluminum, silicon, iron, boron, aluminum for metal nitrides, Examples of nitrides such as silicon and metal carbides include carbides such as silicon and boron.
[0019]
(D) Although the compounding quantity of a component is 0-1,600 weight part with respect to 100 weight part of (A) component, it is preferable to use in the range of 0-1,000 weight part especially. If it is 1,600 parts by weight or more, blending becomes difficult, and moldability becomes worse. The total blending amount of the component (B), the component (C) and the component (D) in the present invention is 10 to 1,600 parts by weight, preferably 20 to 1,200 parts by weight, particularly 30 to 1 It is preferable to use in the range of 1,000 parts by weight. In addition, when emphasizing the rubber strength and heat resistance of the thermocompression-bonded silicone rubber sheet of the present invention, the blending number of carbon black as component (B) and fine powder silica as component (C) is used as component (D) On the other hand, it is preferable to make it relatively large. Specifically, it is preferable that the total amount of the component (B) and the component (C) is 30 to 100 parts by weight and the component (D) is 0 to 50 parts by weight. When importance is attached to thermal conductivity, it is preferable to increase the number of blended parts of the thermal conductivity imparting material as component (D) relative to component (B) or component (C). Specifically, the total blending amount of the component (B) and the component (C) is preferably 10 to 50 parts by weight, and the component (D) is preferably 50 to 1,000 parts by weight.
[0020]
(E) The hardening | curing agent as a component can be suitably selected from the well-known hardening | curing agents normally used for hardening of silicone rubber. Examples of these curing agents include di-t-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, dicumyl peroxide and the like used for radical reactions. When the organic peroxide or the organopolysiloxane of component (A) has two or more alkenyl groups, it contains two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms in one molecule as an addition reaction curing agent. Condensation reaction curing agents for those composed of an organohydropolyenepolysiloxane and a platinum-based catalyst, or when the organopolysiloxane of component (A) contains two or more silanol groups, alkoxy groups, acetoxy groups, ketoximes And organosilicon compounds having two or more hydrolyzable groups such as a group and a propenoxy group. In the present invention, it is preferable to cure by radical reaction and / or addition reaction.
[0021]
The addition amount of these curing agents may be the same as in the case of ordinary silicone rubber, but in the case of radical reaction, 0.1 to 10 parts by weight of organic peroxide is added to 100 parts by weight of component (A). In addition, in the case of addition reaction, the amount of SiH group of the organohydrogenpolysiloxane is 0.5 to 5 moles relative to the alkenyl group of the component (A) and the amount of platinum catalyst is 1 to 2,000 ppm. It is preferable.
[0022]
As long as the object of the present invention is not impaired, a filler such as clay, calcium carbonate, diatomaceous earth, titanium dioxide, a dispersing agent such as low molecular siloxane ester and silanol, a silane coupling agent, and a titanium coupling agent. An adhesive imparting agent such as a platinum group metal catalyst that imparts flame retardancy, tetrafluoropolyethylene particles that increase the green strength of the rubber compound, and the like may be added as other components in the first silicone rubber layer.
[0023]
In the silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention, the second silicone rubber layer is provided mainly for the purpose of improving the surface releasability and preventing adhesion with the anisotropic conductive adhesive. Examples of the organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 100 or more as the component (F) in the second silicone rubber layer include, for example, the general formula R2 bSiO(4-b) / 2The thing shown by is mentioned. Where R2Is an alkyl group such as methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, alkenyl group such as vinyl group, allyl group, propenyl group, butenyl group, hexenyl group, aryl group such as phenyl group, tolyl group, xylyl group, benzyl Group, an aralkyl group such as 2-phenylethyl group, or a chloromethyl group or trifluoropropyl group in which part or all of the hydrogen atoms bonded to the carbon atoms of these groups are substituted with a halogen atom, a cyano group or the like , An unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, preferably 1 to 8 carbon atoms, which is the same or different and selected from a cyanoethyl group and the like. b is a positive number of 1.9 to 2.4. This organopolysiloxane may contain at least two alkenyl groups in one molecule, or may contain at least two silanol groups in one molecule.
[0024]
This organopolysiloxane is basically a linear diorganopolysiloxane, but R in the molecule2SiO3/2Unit, SiO2A part of the branched structure such as a unit may be contained, and the viscosity at 25 ° C. is preferably 0.1 to 1,000 Pa · s. If the viscosity is less than 0.1 Pa · s, the mechanical strength of the cured product may not be sufficiently satisfactory for use. On the other hand, if it exceeds 1,000 Pa · s, the resulting composition becomes highly viscous and difficult to form into a two-layer structure. In addition, the substituent R bonded to the silicon atom2May basically be any of those described above, but the alkenyl group is preferably a vinyl group, and the other substituents are preferably a methyl group, and a trifluoropropyl group is particularly preferred when solvent resistance is required. . On the other hand, when the degree of polymerization is 100 or less, the mechanical strength after curing becomes inferior and becomes brittle.
[0025]
In the thermocompression-bonded silicone rubber sheet of the present invention, a silicone resin may be used in addition to the organopolysiloxane for improving the mechanical strength. As silicone resin, R2 3SiO0.5Unit (M unit) and SiO2Unit (Q unit) or M unit and Q unit and R unit2SiO1.5Unit (T unit) and / or R2 2There are MQ resin, MTQ resin, MDQ resin or MDTQ resin consisting of SiO units (D units), and any of them may be used, but basically those having M units and Q units as main components are preferred. . If necessary, (CH2= CH) (CH3)2SiO0.5Unit or (CH2= CH) (CH3It is also possible to use vinyl group-containing silicone resins containing SiO units. Specifically, (CH3)3SiO0.5Unit, (CH2= CH) (CH3)2SiO0.5Unit and SiO2Resin consisting of units, (CH3)3SiO0.5Unit, (CH2= CH) (CH3) SiO units and SiO2It is preferable to use a resin consisting of units.
[0026]
Content of this silicone resin is 3-50 weight part with respect to 100 weight part of organopolysiloxane which is (F) component, Preferably it is 5-30 weight part. If it is less than 3 parts by weight, the effect of improving the mechanical strength of the silicone resin is not sufficient, and if it exceeds 50 parts by weight, the silicone rubber becomes brittle and the tear strength is weakened.
[0027]
(G) Component BET specific surface area is 50 m2/ G or more fine powdered silica is used for the purpose of improving the mechanical strength of the second silicone rubber layer. Specific examples thereof include hydrophilic or hydrophobic fumed silica (dry silica), precipitated silica (wet silica), crystalline silica, quartz, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. It can also be used. Fumed silica and precipitated silica have a BET specific surface area of 50 m from the viewpoint of reinforcement.2/ G or more, usually 50-800m2/ G, especially 100-500m2It is good to use a thing of about / g. Specific surface area is 50m2If it is less than / g, a sufficient reinforcing effect cannot be obtained.
[0028]
Among such silicas, commercially available hydrophilic silicas include Aerosil 130, 200, 300 (trade names manufactured by Aerosil Japan or Degussa), Cabosil MS-5, MS-7 (trade names manufactured by Cabot). ), Rheorosil QS-102,103 (trade name, manufactured by Tokuyama Corporation), Nipsil LP (trade name, manufactured by Nippon Silica), and the like. Further, as hydrophobic silica, Aerosil R-812, R-812S, R-972, R-974 (trade name made by Degussa), Rheorosil MT-10 (trade name made by Tokuyama Corporation), Nipsil SS series (Japan) (Trade name made of silica) and the like, but is not limited thereto.
[0029]
The compounding amount of the fine powder silica is 0 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the component (F), but is preferably 5 to 50 parts by weight, and particularly preferably 10 to 30 parts by weight. If it exceeds 100 parts by weight, the releasability is not sufficient and it becomes easy to adhere to the anisotropic conductive adhesive.
Among such fine powder silicas, in the present invention, hydrophobic silica is preferably used in order to achieve both the mechanical strength and surface releasability of the second silicone rubber layer.
[0030]
The hydrophobic silica is essentially a surface treatment agent such as dimethyldichlorosilane, methyltrichlorosilane, hexamethyldisilazane or a mixture thereof, or hydrophilic fine powder silica using these surface treatment agent and water. The surface obtained by heat treatment is (CH3)3SiO1/2, (CH3)2SiO2/2, CH3SiO3/2, Preferably (CH3)2SiO2/2And CH3SiO3/2Any silica that has been treated with and hydrophobized can be used.3SiO3/2Those treated with groups are preferred. The surface-treated hydrophobic silica usually contains 0.5% by weight or more of carbon based on the entire silica.
[0031]
In the present invention, hydrophobic fine powder silica may be further surface-treated with an organosilazane compound. In this case, when the mixture obtained by adding hydrophobic silica as the component (G) to the organopolysiloxane as the component (F) is heated and kneaded in a mixer, the organosilazane compound is added as necessary. Then, a small amount of water may be added and heat-treated. By such treatment, silanol on the silica surface is treated, so that the silicone rubber made from this composition has excellent mold release durability.
[0032]
Examples of such organosilazane compounds include (CH3)3SiNHSi (CH3)3, (CH3)3SiNHSi (CH3)2NHSi (CH3)3, (CH3)2(CF3CH2CH2) SiNHSi (CF3CH2CH2) (CH3)2Organosilazane compounds having no carbon functional group (for example, alkenyl group), such as hexaorganosilazan and octaorganotrisilazane having alkyl group, aryl group, substituted alkyl group and the like, (CH3)2(CH2= CH) SiNHSi (CH3)2NHSi (CH = CH2) (CH3)2, (CH3)3SiNHSi (CH3) (CH2= CH) [OSi (CH3)2]nNHSi (CH3)3, CH2= CHSi [NHSi (CH3)3]3And alkenyl group-containing organosilazane compounds such as vinyl groups. These organosilazane compounds may be used only with an organosilazane compound having no carbon functional group, or may be used only with an alkenyl group-containing organosilazane compound, or both may be used in combination. In particular, the most commonly used hexamethyldisilazane (CH3)3SiNHSi (CH3)3The effect can be obtained inexpensively and easily.
[0033]
  The amount of the organosilazane compound is 1 to 100 parts by weight, preferably 1 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of finely divided silica as the component (G). If it is less than 1 part by weight, the effect of improving the releasability is not remarkable. Further, if the amount is more than 100 parts by weight, not only does these effects not greatly improve, but the mechanical strength of the cured silicone rubber is adversely affected.WhenIn use, the danger due to ammonia generated when these silazanes react is increased.
[0034]
The curing agent as the component (H) in the second silicone layer can be appropriately selected from known ones usually used for curing silicone rubber. Examples of these curing agents include di-t-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, dicumyl peroxide and the like used for radical reactions. For organic peroxides and organopolysiloxanes of component (F) having two or more alkenyl groups, organo containing two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms as an addition reaction curing agent in one molecule For those composed of a hydrodiene polysiloxane and a platinum-based catalyst, and when the organopolysiloxane of component (F) contains two or more silanol groups, an alkoxy group, acetoxy group, ketoxime group, Examples include organosilicon compounds having two or more hydrolyzable groups such as propenoxy groups. In the present invention, organic peroxide curing and / or addition reaction curing are preferable from the viewpoint of workability.
[0035]
The addition amount of these curing agents may be the same as in the case of normal silicone rubber, but in the case of radical reaction, the organic peroxide is 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of component (F), In the case of addition reaction, the amount of SiH group of organohydrogenpolysiloxane is 0.4 to 4.0 moles with respect to the alkenyl group of component (F) and the amount of platinum catalyst is 1 to 2,000 ppm. It is preferable to do.
[0036]
In the second silicone rubber layer of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention, a bleed-out component represented by the following general formula (1) and / or (2) is added for the purpose of improving releasability. May be.
R in the formula3Is a hydroxyl group or a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. R4May be the same or different and is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group, for example, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or a butyl group, a cycloalkyl group such as a cyclohexyl group, a vinyl group, Alkyl groups such as allyl groups and isopropenyl groups, aryl groups such as phenyl groups and xylyl groups, aralkyl groups such as benzyl groups and phenylethyl groups, and all or part of the hydrogen atoms of these groups are substituted with halogen atoms, etc. And the like, for example, chloromethyl group, 3,3,3-trifluoropropyl group and the like. n is a number from 1 to 3,000.
[0037]
R5May be the same or different and is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group, n is a number from 1 to 3,000, and M represents an alkali metal such as Li or K. The above monovalent hydrocarbon group R5As said R4The same thing can be mentioned.
[0038]
In order to enhance the effect of the bleed-out component represented by the general formulas (1) and (2), 95% or more of all organic groups of the organopolysiloxane (F) component are methyl groups, and the average composition R of the bleed-out component consisting of equations (1) and (2)4And R5It is preferable that 3 to 90 mol% of is a phenyl group or a 3,3,3-trifluoropropyl group. R4And R5When the content of phenyl group or 3,3,3-trifluoropropyl group is less than 3 mol%, the bleed speed becomes slow, so it is necessary to add a large amount of bleed out component. Deteriorates. Further, the bleed-out component R comprising the average composition formula (1)3And R4A straight-chain dimethyl silicone oil in which all are methyl groups is also effective as a bleed component. In particular, those having a viscosity of 30 Pa · s or more are more effective.
[0039]
The addition amount of the bleed-out component represented by the general formula (1) and / or (2) with respect to 100 parts by weight of the component (F) is preferably 0.1 to 20 parts by weight, more preferably 0.3 to The amount is preferably 10 parts by weight. If the addition amount is less than 0.1 parts by weight, the effect of improving the releasability by bleeding out of the bleed-out component to the silicone rubber surface is not sufficient, and if the addition amount exceeds 20 parts by weight, the mechanical strength of the silicone rubber is increased. May deteriorate and the object to be bonded may be contaminated.
[0040]
In the second silicone rubber layer, the viscosity and hardness of the non-reactive organopolysiloxane, the organopolysiloxane whose end is blocked with a hydroxysilyldimethyl group, etc., as necessary, are within the range not impairing the object of the present invention. Diluents for adjusting the thickness, inorganic pigments such as cobalt blue, colorants such as organic dyes, heat resistance and flame retardants such as zinc carbonate, manganese carbonate, bengara, titanium oxide, carbon black, metals, metals Thermal conductivity improvers such as oxides, metal nitrides and metal carbides can also be added. However, the addition of the inorganic filler inhibits the non-adhesiveness with the anisotropic conductive adhesive, so it is better to reduce the addition amount.
[0041]
The composition of the second silicone rubber layer thus obtained preferably has a viscosity at 25 ° C. of 0.1 to 10,000 Pa · s, particularly preferably 1 to 1,000 Pa · s. . If it is less than 0.1 Pa · s, it is difficult to obtain a sufficient mechanical strength, and if it exceeds 10,000 Pa · s, the fluidity deteriorates and it becomes difficult to process.
The JIS A hardness of the second silicone rubber layer after curing is preferably 20 or more, particularly preferably 25 to 95. When the hardness is less than 20, it is easy to adhere to each member to be bonded at the time of pressure bonding.
[0042]
In the present invention, heat resistance can be improved by further adding cerium oxide powder to the first silicone rubber layer and / or the second silicone rubber layer. It is preferable that the addition amount of the said cerium oxide is 0.1-5 weight part with respect to 100 weight part of (A) component and / or (F) component. If it exceeds 5 parts by weight, the heat resistance will be lowered. The cerium oxide powder has a BET specific surface area of 50 m.2It is preferable to use one having a relatively large specific surface area of at least / g.
In addition, the composition of the composition of the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer of the present invention is obtained by kneading the above components using a mixer such as a planetary mixer, a kneader, a two-roll, a Banbury mixer. The curing agent is preferably added immediately before use.
[0043]
Examples of a method for molding the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention include the following methods, but are not limited thereto.
(1) A method in which the composition of the first silicone rubber layer is calendered or extruded and heat-cured, and then the composition of the second silicone rubber layer is coated and heat-cured thereon.
(2) A method in which the composition of the first silicone rubber layer is calendered or extruded and heat-cured, and then the composition of the second silicone rubber layer is spray-coated and heat-cured thereon.
(3) The composition of the first silicone rubber layer is dissolved in a solvent such as toluene, and liquefied. After coating molding, solvent removal, and heat curing on the carrier film, the second silicone rubber layer is formed thereon. A method of coating and heat-curing the composition.
(4) After the composition of the first silicone rubber layer is calendered or extruded and heat cured, the composition of the second silicone rubber layer is calendered or extruded and left uncured A method of heat-curing by pressing and laminating on a cured silicone rubber layer.
(5) A method of calendering or extruding the composition of both the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer, pressing and laminating both layers uncured, and simultaneously heating and curing both layers .
(6) The composition of the first silicone rubber layer is dissolved in a solvent such as toluene and liquefied, and then coated on the carrier film, removed from the solvent and left uncured. A method of coating and molding the composition of the second silicone rubber layer to remove the solvent, and then heat-curing both layers.
(7) Each composition of the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer is calendered or extruded or coated, and then heat-cured, and between the cured layers, an adhesive layer or A method in which an adhesive layer is provided and bonded together.
[0044]
In the present invention, a method such as primer treatment may be used as appropriate in order to strengthen the adhesion between the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer. In addition, a second silicone rubber layer may be provided on both sides of the first silicone rubber layer to form a three-layer structure. In this case, the materials of the two second silicone rubber layers are different. May be the same.
[0045]
The silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention can be reinforced with a cloth made of a resin having a glass transition temperature of 200 ° C. or higher, or a reinforcing material made of a glass cloth.
Since the silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention is used even at a temperature of 250 ° C. or higher, the reinforcing cloth needs to have excellent mechanical strength at high temperatures. Therefore, cloth made of resin fibers such as aromatic polyimide, polyamideimide, aromatic polyamide, polyethersulfone, polyetherimide, or the like having a glass transition point of 200 ° C. or higher, or glass cloth can be used. Among these, glass cloth is preferable because of its excellent thermal conductivity.
[0046]
The thickness of the reinforcing material is preferably thinner from the viewpoint of thermal conductivity, and is preferably 0.03 to 1.0 mm, particularly 0.05 to 0.5 mm.
The positions of these reinforcing materials are not particularly limited as long as they are included in the first silicone rubber layer and / or the second silicone rubber layer. As a method of providing a reinforcing material, the viscosity of the silicone rubber composition before curing is reduced to give fluidity, or it is dissolved in a solvent such as toluene to form a liquid material and coated on the reinforcing material cloth, Although there is a method of immersing a material cloth in these liquids, it is not particularly limited thereto.
[0047]
By embossing at least one of the surfaces of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention formed in this way, the contact area with each member can be reduced, and the releasability is further improved. Can be made. The degree of surface embossing is preferably in the range of 0.5 to 5 μm in terms of centerline average roughness. If the thickness is less than 0.5 μm, the effect of improving the releasability by embossing is not sufficient, and if it is larger than 5 μm, the way of transmitting pressure at the time of pressure bonding is not preferable.
[0048]
Examples of methods for embossing the silicone rubber sheet surface include the following methods, but are not limited thereto. (1) In the case of calendar molding, the silicone rubber composition before curing is dispensed onto a plastic film having an embossed surface, and the embossed shape is transferred or a roll with embossed on the surface of the sheet before curing. A method to transfer emboss by pressing. (2) In the case of coating molding as well as calendar molding, a method of coating on a plastic film having an embossed surface and transferring the embossed shape. (3) A method of spray coating a material having poor leveling properties. (4) A method of roughening the cured silicone rubber sheet by sandblasting or the like.
[0049]
The silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention thus molded has a thickness of the second silicone rubber layer of 0.5 to 300 μm, and the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer are combined. The total thickness of the combined silicone rubber sheet is preferably 0.1 to 10 mm, particularly the thickness of the second silicone rubber layer is 3 to 100 μm, and the first silicone rubber layer and the second silicone The total thickness of the silicone rubber sheet including the rubber layer is preferably 0.2 to 1 mm. If the thickness of the second silicone rubber layer is less than 0.5 μm, sufficient releasability is not exhibited, and if it exceeds 300 μm, the thermal conductivity is deteriorated. In addition, if the total thickness of the silicone rubber sheet including the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer is less than 0.1 mm, the pressure cannot be applied sufficiently and the pressure is not uniform. If it exceeds 10 mm, the thermal conductivity becomes poor.
[0050]
Further, in order to improve the releasability, the scaly powder is uniformly ground on the surface of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention produced as described above, and then the sheet is washed with water to remove excess. Powder may be removed. The shape of the powder that is dusted to reduce tackiness needs to be scaly. When the powder has a shape other than the scale shape, the elongation when applied to the sheet is poor, and uneven coating tends to occur. Moreover, since the scaly powder after washing with water has a wide contact surface with the sheet surface, it is difficult to fall off during the crimping process.
[0051]
As scale-like powder, talc and mica can be used. The talc component is composed of hydrous magnesium silicate and contains some impurities such as iron oxide. Mica is a pulverized natural mica and is a silicate compound such as aluminum, potassium, and magnesium. In addition, there are graphite and molybdenum disulfide as scaly powders, but there is a drawback that dirt is easily noticeable because the color is black. The average particle size of talc powder and mica powder is preferably in the range of 0.5 to 30 μm. If the particle diameter is 0.5 μm or less, the particles are likely to aggregate, and if this adheres to the sheet, the smoothness becomes worse and uniform pressing cannot be performed. Similar problems occur even if the particle size exceeds 30 μm. Talc powder and mica powder can be used alone or in combination.
[0052]
As a method for dusting the surface of the silicone rubber sheet, 1) a method in which powder is put in gauze, sponge, brush, etc. and mechanically rubbed, 2) a method in which the powder is made to flow in air and a sheet is passed through this, 3 ) There is a method of dispersing powder in water and passing a sheet through this. In addition, as a method for washing excess powder adhering to the sheet with water, 1) a method of mechanically rubbing with water with gauze, sponge, brush, etc. 2) a method of spraying water on the sheet in a shower-like manner 3) For example, a method of ultrasonic cleaning in water. Finally, the water is dried to form a silicone rubber sheet for thermocompression bonding. Since this sheet has a very thin layer of powder attached to the surface, it has good releasability from the pressing tool and the object to be pressed, and it is difficult for the powder to fall off, so the surroundings are not easily contaminated.
In the present invention, it is preferable to heat-treat the silicone rubber sheet at a high temperature to reduce the volatile content when heated at 150 ° C. for 3 hours to 0.2% by weight or less, preferably 0.1% by weight or less. It is preferable to heat-treat at a temperature of 150 ° C. or higher in a machine or a continuous heating furnace.
[0053]
【The invention's effect】
The thermocompression-bonded silicone rubber sheet of the present invention has excellent surface releasability, and does not stick to surrounding equipment parts such as heating / pressurizing tools, FPCs, etc., and anisotropically conductive adhesive that protrudes during thermocompression bonding Since it does not adhere to the agent, it is not necessary to use a fluororesin film such as polytetrafluoroethylene (PTFE) in layers, and the thermocompression sheet can be used alone, and the number of repeated use is greatly increased. In addition, the thermocompression-bonded silicone rubber sheet of the present invention is a relatively inexpensive method in which a silicone rubber layer with a small amount of inorganic filler and excellent releasability is laminated on the surface of a conventional thermocompression-bonded silicone rubber sheet. As a result, it can contribute to the cost reduction of the thermocompression bonding process.
[0054]
【Example】
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in full detail, this invention is not limited by this.
Example 1.
100 parts by weight of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000, comprising 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, with an average particle size of 23 nm and a volatile content of 0.10% BET specific surface area is 130m2/ G 50 parts by weight of acetylene black and a BET specific surface area of 120 m2/ G of hydrophobic silica (Aerosil R-972: trade name, manufactured by Degussa) and a specific surface area of 140 m20.5 parts by weight of cerium oxide powder / g was blended with two rolls and kneaded to make uniform.
[0055]
0.1 parts by weight of an isopropyl alcohol solution of chloroplatinic acid (platinum amount 2% by weight), 0.1 part by weight of ethynylcyclohexanol as a reaction inhibitor, and 100 parts by weight of the silicone rubber compound, and the following formula (3)
Then, 1.2 parts by weight of methyl hydrogen polysiloxane represented by the formula (1) was added and kneaded well with two rolls to prepare a curable silicone rubber compound to be the first silicone rubber layer.
[0056]
This silicone rubber compound was dispensed to a thickness of 0.20 mm using a calender molding machine, and then transferred onto a 100 μm thick polyethylene terephthalate (PET) film embossed on one side with a center line surface roughness of 0.7 μm. Then, it was cured by passing through a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes to produce a first silicone rubber layer of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention.
[0057]
To 100 parts by weight of dimethylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 510 and having both molecular chain ends blocked with vinyldimethylsilyl groups, the formula (CH3)3SiO0.5Unit 42.5 mol%, (CH2= CH) (CH3)2SiO0.57.5 mol% unit and SiO210 parts by weight of a silicone resin (MQ resin) consisting of 50 mol% and a BET specific surface area of about 200 m2/ G of hydrophobic silica (Aerosil R-812: Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name) and 20 parts by weight of hexamethyldisilazane and 2 parts of water are added in a kneader for 1 hour. After mixing at room temperature, heat treatment was performed at 160 ° C. for 4 hours, and the temperature was lowered to room temperature. Next, the following formula (4) which is a bleed-out component
Was added in an amount of 0.6 parts by weight with respect to 100 parts by weight of dimethylpolysiloxane, and chloroplatinic acid was added at 50 ppm by weight of platinum with respect to dimethylpolysiloxane.
[0058]
Next, 100 parts by weight of the composition thus obtained was added to 0.1 part by weight of ethynylcyclohexanol as a reaction inhibitor and the following formula (5):
5 parts by weight of methylhydrogenpolysiloxane represented by the above formula was added and uniformly kneaded to prepare a composition that would be the second silicone rubber layer. The viscosity of this second silicone rubber layer composition at 25 ° C. was 40 Pa · s, and the type A hardness was 40 according to the JIS K 6253 durometer hardness test after heating and curing at 150 ° C. for 5 minutes.
[0059]
On the first silicone rubber layer, the uncured composition of the second silicone rubber layer was formed by coating with a knife coater so as to have a thickness of 30 μm, and then cured in a heating furnace at 150 ° C. for 5 minutes. I let you. Next, the two-layered silicone rubber sheet is peeled off from the PET film, post-cured at 200 ° C. for 2 hours, and the second silicone rubber layer has a thickness of 30 μm. A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention in which the total thickness of the silicone rubber sheet combined with the silicone rubber layer was 0.23 mm was produced.
[0060]
Example 2
100 parts by weight of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000, comprising 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, and aluminum oxide powder alumina AL- as a good heat conductive filler 45 (manufactured by Showa Denko KK) 400 parts by weight, specific surface area 200 m230 parts by weight of silica fine powder Aerosil 200 (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) and 5 parts by weight of α, ω-dihydroxymethylpolysiloxane represented by the formula (6) are uniformly kneaded using a kneader. And heat treatment at 150 ° C. for 2 hours.
[0061]
After cooling, 100 parts by weight of this silicone rubber compound has a specific surface area of 140 m.2After adding and mixing 0.5 parts by weight of cerium oxide powder / g and 1.5 parts by weight of organic peroxide C-23 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a curing agent using two rolls, a calender Using a molding machine, it is dispensed to a thickness of 0.30 mm, and then transferred onto a 30 μm thick PET film embossed on one side with a centerline surface roughness of 0.7 μm and heated at 160 ° C. The first silicone rubber layer of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention was produced by curing in a furnace for 5 minutes.
[0062]
The composition and molding method of the second silicone rubber layer are the same as in Example 1, and the thickness of the second silicone rubber layer is 30 μm, and the silicone rubber sheet in which the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer are combined A total thickness of 0.33 mm was used to produce a silicone rubber sheet having a laminated structure. Next, the silicone rubber sheet is peeled off from the PET film, and talc powder having an average particle size of 13 μm is rubbed against the sheet using gauze, applied evenly, and then washed by rubbing with a sponge in running water to remove excess powder. did. After drying the water, heat treatment was carried out at 200 ° C. for 4 hours in a dryer to produce a silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention.
[0063]
Example 3
100 parts by weight of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000, comprising 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, with an average particle size of 35 nm and a volatile content of 0.10% BET specific surface area is 69m2/ G acetylene black 25 parts by weight, BET specific surface area 120m2/ G hydrophobic silica Aerosil R-972 (trade name, manufactured by Degussa) and a specific surface area of 140 m20.5 parts by weight of cerium oxide powder / g was blended with two rolls and kneaded to make uniform.
[0064]
In 100 parts by weight of the obtained silicone rubber compound, 0.1 part by weight of an isopropyl alcohol solution of chloroplatinic acid (platinum amount 2% by weight), 0.1 part by weight of ethynylcyclohexanol which is a reaction inhibitor and formula (3) 1.2 parts by weight of the represented methyl hydrogen polysiloxane was added and uniformly kneaded. Next, using a calender molding machine, it was dispensed to a thickness of 0.20 mm, and then transferred onto a PET film with a thickness of 100 μm that was embossed on one side with a centerline surface roughness of 0.7 μm. Then, it was cured by passing through a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes to produce a first silicone rubber layer of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention.
[0065]
On the first silicone rubber layer, an uncured composition having the same composition as that of the second silicone rubber layer of Example 1 was coated and molded with a knife coater so as to have a thickness of 30 μm. The surface of the second silicone rubber layer was made embossed by contacting with a roll on which an ethylene (PTFE) layer was disposed. Next, after being cured by passing through a heating furnace at 150 ° C. for 5 minutes, the two-layer silicone rubber sheet was peeled off from the PET film and post-cured at 200 ° C. for 2 hours to obtain the thickness of the second silicone rubber layer. A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention having a thickness of 30 μm and a total thickness of the silicone rubber sheet including the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer of 0.23 mm was prepared. The center line surface roughness of the second silicone rubber sheet was measured by a stylus type surface shape measuring instrument, and found to be 1.8 μm.
[0066]
Example 4
100 parts by weight of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000 and comprising 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, an average particle size of 23 nm, and a volatile content of 0.10% , 10 parts by weight of acetylene black having a BET specific surface area of 130 m 2 / g, and a BET specific surface area of 120 m2/ G hydrophobic silica Aerosil R-972 (trade name, manufactured by Degussa) and a specific surface area of 140 m20.5 parts by weight of cerium oxide powder / g was blended with two rolls and kneaded to make uniform.
[0067]
In 100 parts by weight of this silicone rubber compound, 0.1 part by weight of an isopropyl alcohol solution of chloroplatinic acid (platinum amount 2% by weight), 0.1 part by weight of ethynylcyclohexanol, which is a reaction inhibitor, and the formula (3) 1.2 parts by weight of methyl hydrogen polysiloxane was added and kneaded uniformly. Next, using a calender molding machine, it was dispensed to a thickness of 0.20 mm, and then transferred onto a 100 μm thick PET film that was embossed on one side with a centerline surface roughness of 0.7 μm. Then, it was cured by passing through a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes to produce a first silicone rubber layer of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention.
[0068]
The composition of the second silicone rubber layer was made the same as in Example 1, and after molding the first silicone rubber layer to a thickness of 10 μm by the spray coating method, Was allowed to cure for 5 minutes. Next, the two-layered silicone rubber sheet is peeled from the PET film, post-cured at 200 ° C. for 2 hours, and the second silicone rubber layer has a thickness of 10 μm. A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention in which the total thickness of the silicone rubber sheet combined with the rubber layer was 0.21 mm was produced.
[0069]
Example 5 FIG.
100 parts by weight of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000 and comprising 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, an average particle size of 23 nm, and a volatile content of 0.10% , BET specific surface area is 130m220 parts by weight of acetylene black / g, 400 parts by weight of aluminum oxide powder alumina AL-45 (manufactured by Showa Denko KK) as a good heat conductive filler, and a specific surface area of 140 m20.5 parts by weight of cerium oxide powder / g was blended with two rolls and kneaded to make uniform.
[0070]
With respect to 100 parts by weight of the silicone rubber compound, 0.1 part by weight of an isopropyl alcohol solution of chloroplatinic acid (platinum amount 2% by weight), 0.1 part by weight of ethynylcyclohexanol as a reaction inhibitor and Formula (3) 1.0 weight part of methyl hydrogen polysiloxane represented and 0.8 weight part of organic peroxide C-8 (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added. The curable silicone rubber compound which becomes the first silicone rubber layer was prepared by kneading well with two rolls.
[0071]
The obtained silicone rubber compound was dispensed to a thickness of 0.20 mm using a calender molding machine, and then embossed on one side with a center line surface roughness of 0.7 μm, with a thickness of 100 μm. Transferred onto polyethylene terephthalate (PET) film. Subsequently, it was cured by passing through a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes to produce a first silicone rubber layer of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention.
[0072]
The composition and molding method of the second silicone rubber layer were the same as in Example 1, and finally the post-curing was performed at 200 ° C. for 2 hours. The thickness of the second silicone rubber layer was 100 μm, and the first silicone rubber layer A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention in which the total thickness of the silicone rubber sheet including the first and second silicone rubber layers is 0.30 mm was produced.
[0073]
Example 6
100 parts by weight of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000, comprising 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, an average particle size of 35 nm, and a volatile content of 0.10% , BET specific surface area is 69m2/ G acetylene black 10 parts by weight, BET specific surface area 120m210 parts by weight of hydrophobic silica Aerosil R-972 (trade name, manufactured by Degussa), 400 parts by weight of aluminum oxide powder alumina AL-45 (manufactured by Showa Denko KK) as a good heat conductive filler, 6 parts by weight of α, ω-dihydroxymethylpolysiloxane represented by 6) was uniformly kneaded using a kneader and heat-treated at 150 ° C. for 2 hours.
[0074]
After cooling, the specific surface area is 140 m to 100 parts by weight of the obtained silicone rubber compound.2/ G of cerium oxide powder of 0.5 g, 0.1 part by weight of an isopropyl alcohol solution of chloroplatinic acid (platinum amount of 2% by weight) as a curing agent, 0.1 part by weight of ethynylcyclohexanol as a reaction inhibitor, and 1.2 parts by weight of methyl hydrogen polysiloxane represented by the formula (3) was added. After adding and mixing with two rolls, it was dissolved in xylene to form a 60% xylene solution, which was coated on a PET film having a center line surface roughness of 0.7 μm and a single-side embossed thickness of 100 μm with a comma coater. The xylene was then dried at 80 ° C. Subsequently, it was cured by passing through a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes to produce a first silicone rubber layer of the silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention.
[0075]
The composition and molding method of the second silicone rubber layer were the same as in Example 1, and finally the post-curing was performed at 200 ° C. for 2 hours. The thickness of the second silicone rubber layer was 30 μm, and the first silicone rubber layer A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention in which the total thickness of the silicone rubber sheet including the first and second silicone rubber layers is 0.23 mm was prepared.
[0076]
Example 7
A first silicone rubber layer having a thickness of 0.20 mm was produced by the same composition and the same method as in Example 5.
To 100 parts by weight of dimethylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 750 having both molecular chain ends blocked with vinyldimethylsilyl groups, the formula (CH3)3SiO1/2Unit, SiO2Unit and (CH2= CH) CH3Consists of SiO units, (CH3)3SiO1/2/ SiO2= 30 parts by weight of a silicone resin (MDQ resin) having a vinyl group content of 0.08 mol / 100 g at a molar ratio of 0.88, heated to 150 ° C. in a planetary mixer, and heated at room temperature for 2 hours. The temperature was lowered to 50 ppm and chloroplatinic acid was added at 50 ppm by weight of platinum with respect to dimethylpolysiloxane. Next, 100 parts by weight of the composition thus obtained was added to 0.1 part by weight of ethynylhexanol as a reaction inhibitor, and the formula H (CH3)2SiO1/2Unit and SiO2Unit, H (CH3)2SiO1/2/ SiO2= 0.65 (molar ratio) and 6 parts by weight of a silicone resin (MQ resin) having a Si-H content of 0.9 mol / 100 g is added and kneaded uniformly to form a second silicone rubber layer Was made. The viscosity of this second silicone rubber layer composition at 25 ° C. was 60 Pa · s, and the type A hardness in the JIS K 6253 durometer hardness test after heating and curing at 150 ° C. for 5 minutes was 50.
[0077]
After coating the uncured composition of the second silicone rubber layer on the first silicone rubber layer with a knife coater to a thickness of 30 μm, it is cured by passing through a heating furnace at 150 ° C. for 5 minutes. It was. Next, the two-layer structure silicone rubber sheet is peeled from the PET film, post-cured at 200 ° C. for 2 hours, and the second silicone rubber layer has a thickness of 30 μm. A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention in which the total thickness of the silicone rubber sheet combined with the rubber layer was 0.23 mm was produced.
[0078]
Example 8 FIG.
In the composition for forming the second silicone rubber layer of Example 7, as a bleed-out component, the repeating unit of the main chain consists of a dimethylpolysiloxane unit and a diphenylpolysiloxane unit, and the phenyl group content is 28 mol%. The silicone rubber sheet for thermocompression bonding of the present invention was the same as in Example 7 except that 5 parts by weight of methylphenylpolysiloxane having both ends blocked with trimethylsiloxy groups and having a viscosity of 0.4 Pa · s was added. Was made.
[0079]
Example 9
The same composition as that of the first silicone rubber layer of Example 2 was molded under the same conditions as in Example 2, and the uncured first silicone rubber layer having a thickness of 0.20 mm was produced while remaining uncured. .
100 parts by weight of methylvinylpolysiloxane having an average degree of polymerization of 8,000, comprising 99.85 mol% of dimethylsiloxane units and 0.15 mol% of methylvinylsiloxane units, and a BET specific surface area of 120 m2/ G of hydrophobic silica (Aerosil R-972: trade name, manufactured by Degussa) and 5 parts by weight of α, ω-dihydroxymethylpolysiloxane represented by the formula (6) used in Example 2 Was kneaded uniformly using a kneader and heat-treated at 150 ° C. for 2 hours.
[0080]
After cooling, 1.5 parts by weight of an organic peroxide C-23 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a curing agent was added to and mixed with 100 parts by weight of this silicone rubber compound with two rolls. Next, it was dissolved in xylene to form a 30% xylene solution. After coating on a PET film having a center line surface roughness of 0.7 μm and embossed on one side using a comma coater, xylene was heated at 80 ° C. It dried and the uncured material of the 2nd silicone rubber layer whose thickness is 50 micrometers was produced. This second silicone rubber layer composition had a type A hardness of 70 according to the JIS K 6253 durometer hardness test after heating and curing at 160 ° C. for 5 minutes.
[0081]
The uncured first silicone rubber layer and the uncured second silicone rubber layer were laminated so that air did not enter between the two layers, and cured in a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes. Next, the two-layered silicone rubber sheet is peeled from the PET film, post-cured at 200 ° C. for 2 hours, and the second silicone rubber layer has a thickness of 50 μm. A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention in which the total thickness of the silicone rubber sheet combined with the rubber layer was 0.25 mm was produced.
[0082]
Example 10
The same uncured composition as the first silicone rubber layer of Example 2 was dissolved in xylene to form a 60% xylene solution, and applied to one side of a glass cloth having a thickness of 50 μm with a comma coater. After drying, the other side was coated and dried in the same manner, and then cured in a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes to produce a first silicone rubber layer having a thickness of 0.25 mm. .
The composition of the second silicone rubber layer and the molding method were the same as in Example 1. Finally, the second silicone rubber layer was post-cured at 200 ° C. for 2 hours, and the thickness of the second silicone rubber layer was 30 μm. A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to the present invention in which the total thickness of the silicone rubber sheet including the first and second silicone rubber layers is 0.28 mm was prepared.
[0083]
Comparative Example 1
Using the same silicone rubber compound as the first silicone rubber layer of Example 1, using a calender molding machine, it was dispensed to a thickness of 0.30 mm, and then a thickness of 100 μm without embossing. Transferred onto polyethylene terephthalate (PET) film. After curing in a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes, post-curing was performed at 200 ° C. for 2 hours. Next, the silicone rubber sheet was peeled from the PET film to produce a silicone rubber sheet for thermocompression bonding.
[0084]
Comparative Example 2
The silicone rubber sheet produced in Comparative Example 1 was further coated with talc powder having an average particle size of 13 μm by rubbing against the sheet with gauze and heat treated at 200 ° C. for 4 hours in a drier. Then, it was washed while rubbing with a sponge to remove excess powder, and then water was dried to prepare a silicone rubber sheet for thermocompression bonding.
[0085]
Comparative Example 3
The same silicone rubber compound as the first silicone rubber layer of Example 1 was dispensed using a calendering machine so that the thickness would be 0.30 mm, and then the center line surface roughness was 0.7 μm on one side. It was transferred onto an embossed polyethylene terephthalate (PET) film having a thickness of 100 μm. Next, an embossing roll with a center line surface roughness of 3.5 μm was pressed against the surface opposite to the PET film to transfer the embossing to the surface of the silicone rubber, and then cured in a heating furnace at 160 ° C. for 5 minutes. I let you. Next, the silicone rubber sheet was peeled from the PET film and post-cured at 200 ° C. for 2 hours to produce a silicone rubber sheet for thermocompression bonding.
[0086]
(Crimping test)
  The sheet for thermocompression bonding may be in direct contact with the anisotropic conductive adhesive that protrudes during thermocompression bonding. So thisAnisotropic conductivityIn order to see the adhesiveness to the adhesive, under the silicone rubber sheet for thermocompression bonding produced in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 3, a thickness of 22 μmAnisotropic conductivityAdhesive is directly placed, and a 100 μm-thick polyimide film is placed underneath the crimping machine. Using a pressure tool heated to 240 ° C., 40 kgf / cm2The pressure was pressed for 20 seconds. If the silicone rubber sheet for thermocompression bonding is a two-layer structure sheet, the first silicone rubber layer is on the pressure tool side.Anisotropic conductivityThe second silicone rubber layer was set on the adhesive side. After one crimping,Anisotropic conductivityReplace the adhesive with a new one and repeat the crimping using the same silicone rubber sheet for thermocompression bonding.Anisotropic conductivityThe number of times until the adhesive was bonded to the thermocompression bonding silicone rubber sheet side was measured.
[0087]
  Also,Anisotropic conductivityIn order to see durability other than non-adhesiveness to the adhesive, two sheets of copper electrodes with a 25 μm pitch were provided under the thermocompression-bonding silicone rubber sheets prepared in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 3. The thickness is 22μm by FPCAnisotropic conductivityAfter placing an adhesive (positioning the upper and lower copper electrodes), place it on the crimping machine and use a pressure tool heated to 340 ° C, 40 kgf / cm2The pressure was pressed for 20 seconds. In this exam,Anisotropic conductivityIn order to evaluate the adhesive evaluation between the adhesive and the thermocompression-bonded sheet separately as described above, it is possible to start from between two FPCs at the time of crimping.Anisotropic conductivityThe structure was such that the adhesive did not protrude. In the case of a two-layer structure, the thermocompression-bonding silicone rubber sheet was set so that the first silicone rubber layer was disposed on the pressure tool side and the second silicone rubber layer was disposed on the FPC side. Repeat this crimping to ensure that the sheet is in close contact with the pressure tool and at a uniform pressure.Anisotropic conductivityThe number of times until the adhesive could not be cured by heating was measured. This number of times was confirmed by conduction between the upper and lower FPC copper electrodes. Moreover, the dirt of the pressure tool was visually evaluated.
[0088]
  Table 1 summarizes the results. Practical repeated durability protrudedAnisotropic conductivityBecause the adhesive contacts the thermocompression bonding sheet,Anisotropic conductivityThe number of repetitions until the adhesive is bonded and the uniform pressureAnisotropic conductivityThis is the smaller number of times until the adhesive cannot be cured by heating. By comparing the thermocompression-bonding sheets of Examples 1 to 10 with Comparative Examples 1 to 3 according to the present invention, the thermocompression-bonding silicone rubber sheet of the present invention is particularlyAnisotropic conductivityExcellent non-adhesiveness to adhesive and surrounding equipment partsAndIt can be seen that there is no sticking to the object to be bonded and the durability is excellent.
[Table 1]

Claims (22)

第一のシリコーンゴム層の少なくとも一方の面に、該第一のシリコーンゴム層とは組成の異なる第二のシリコーンゴム層が設けられた複層のシリコーンゴム層からなるシリコーンゴムシートであって、前記第一のシリコーンゴム層が、（Ａ）平均重合度が２００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｂ）水分を除いた揮発分が０．５重量％以下であるカーボンブラック、（Ｃ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上である微粉末シリカ、（Ｄ）成分として金属、前記（Ｃ）成分以外の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物から選択された少なくとも一種０〜１，６００重量部、及び、（Ｅ）硬化剤からなり、前記（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）成分の合計配合量が１０〜１，６００重量部であると共に、（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が０〜１５０重量部であるシリコーンゴム組成物を成形した層であり、前記第二のシリコーンゴム層が、（Ｆ）平均重合度が１００以上のオルガノポリシロキサン１００重量部、（Ｇ）ＢＥＴ比表面積が５０ｍ２／ｇ以上である微粉末シリカ０〜１００重量部、及び、（Ｈ）硬化剤からなるシリコーンゴム組成物を、常圧熱気加硫して成形した層であることを特徴とする熱圧着用シリコーンゴムシート。A silicone rubber sheet comprising a plurality of silicone rubber layers provided with a second silicone rubber layer having a composition different from that of the first silicone rubber layer on at least one surface of the first silicone rubber layer, The first silicone rubber layer comprises (A) 100 parts by weight of an organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 200 or more, (B) carbon black having a volatile content of 0.5% by weight or less excluding moisture, (C) Fine powder silica having a BET specific surface area of 50 m 2 / g or more, metal as (D) component, metal oxide other than component (C), metal nitride, metal carbide, at least one kind of 0 to 1,600 And (E) a curing agent, and the total blending amount of the components (B), (C) and (D) is 10 to 1,600 parts by weight, and the component (B) and (C) Total of ingredients A layer obtained by molding a silicone rubber composition having a total amount of 0 to 150 parts by weight, wherein the second silicone rubber layer is (F) 100 parts by weight of an organopolysiloxane having an average degree of polymerization of 100 or more, (G) It is a layer formed by molding a silicone rubber composition comprising 0 to 100 parts by weight of fine powder silica having a BET specific surface area of 50 m 2 / g or more and (H) a curing agent by atmospheric pressure hot air vulcanization. Silicone rubber sheet for thermocompression bonding. 前記第一のシリコーンゴム層中の（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が３０〜１００重量部であると共に、（Ｄ）成分が０〜５０重量部である、請求項１に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The total blending amount of the component (B) and the component (C) in the first silicone rubber layer is 30 to 100 parts by weight, and the component (D) is 0 to 50 parts by weight. Silicone rubber sheet for thermocompression bonding. 前記第一のシリコーンゴム層中の（Ｂ）成分と（Ｃ）成分の合計配合量が１０〜５０重量部であると共に、（Ｄ）成分が５０〜１０００重量部である、請求項１に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The total blending amount of the component (B) and the component (C) in the first silicone rubber layer is 10 to 50 parts by weight, and the component (D) is 50 to 1000 parts by weight. Silicone rubber sheet for thermocompression bonding. 前記第一のシリコーンゴム層中の（Ｂ）成分のＢＥＴ比表面積が１００ｍ２／ｇ以上である、請求項１〜３の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。The BET specific surface area of the first component (B) of the silicone rubber layer is 100 m 2 / g or more, thermocompression bonding silicone rubber sheet according to claim 1. 前記第二のシリコーンゴム層中における、（Ｇ）成分としての微粉末シリカが疎水性シリカである、請求項１〜４の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 4, wherein the fine powder silica as the component (G) in the second silicone rubber layer is hydrophobic silica. 前記第二のシリコーンゴム層中の疎水性の微粉末シリカの表面が、さらにオルガノシラザン化合物で処理されている、請求項５に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 5, wherein a surface of the hydrophobic fine powder silica in the second silicone rubber layer is further treated with an organosilazane compound. 前記オルガノシラザン化合物が式（ＣＨ３）３ＳｉＮＨＳｉ（ＣＨ３）３で表されるヘキサメチルジシラザンである、請求項６に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 6, wherein the organosilazane compound is hexamethyldisilazane represented by the formula (CH 3 ) 3 SiNHSi (CH 3 ) 3 . 前記第二のシリコーンゴム層中に、（Ｆ）成分１００重量部に対してシリコーンレジン３〜５０重量部が更に含まれる、請求項１〜７の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 7, wherein the second silicone rubber layer further comprises 3 to 50 parts by weight of a silicone resin with respect to 100 parts by weight of the component (F). . 前記シリコーンレジンが、（ＣＨ３）３ＳｉＯ０．５単位、（ＣＨ２＝ＣＨ）（ＣＨ３）２ＳｉＯ０．５単位、並びにＳｉＯ２単位、及び／又は（ＣＨ３）３ＳｉＯ０．５単位、（ＣＨ２＝ＣＨ）（ＣＨ３）ＳｉＯ単位、並びにＳｉＯ２単位からなる、請求項８に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。The silicone resin, (CH 3) 3 SiO 0.5 units, (CH 2 = CH) ( CH 3) 2 SiO 0.5 units, and SiO 2 units, and / or (CH 3) 3 SiO 0. The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 8, comprising 5 units, (CH 2 ═CH) (CH 3 ) SiO units, and SiO 2 units. 前記第二のシリコーンゴム層が、更に、（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜２０重量部の下記平均組成式（１）及び／または（２）からなるブリードアウト成分を含有する、請求項１〜９の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。
式中のＲ３は、水酸基または炭素数１〜８の置換または非置換の一価炭化水素基である。Ｒ４及びＲ５は同一でも異なっていてもよく、置換または非置換の一価炭化水素基であり、ｎは１〜３，０００の数、Ｍはアルカリ金属を表す。The second silicone rubber layer further contains 0.1 to 20 parts by weight of a bleed-out component having the following average composition formula (1) and / or (2) with respect to 100 parts by weight of the component (F) A silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 9.
R 3 in the formula is a hydroxyl group or a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. R 4 and R 5 may be the same or different and are substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon groups, n is a number from 1 to 3,000, and M represents an alkali metal. 前記第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分であるオルガノポリシロキサンの全有機基のうち、９５％以上がメチル基であり、前記平均組成式（１）、（２）からなるブリードアウト成分のＲ４及びＲ５の３〜９０モル％がフェニル基または３，３，３−トリフルオロプロピル基である、請求項１０に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。A bleedout component comprising 95% or more of all organic groups of the organopolysiloxane which is the component (F) in the second silicone rubber layer is a methyl group, and comprising the average composition formulas (1) and (2). The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 10, wherein 3 to 90 mol% of R 4 and R 5 is a phenyl group or a 3,3,3-trifluoropropyl group. 前記平均組成式（１）からなるブリードアウト成分のＲ３及びＲ４がすべてメチル基である、請求項１０に記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 10, wherein R 3 and R 4 of the bleed-out component comprising the average composition formula (1) are all methyl groups. 前記第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分が、１分子中に少なくとも２個以上のアルケニル基を含有するジオルガノポリシロキサンを５０重量％以上含むと共に、（Ｈ）成分が、（Ｆ）成分中のアルケニル基に対するけい素原子に直結した水素原子のモル比が０．４〜４．０となる量の、１分子中に少なくとも２個のけい素原子に直結した水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンと、触媒量の白金または白金族化合物から成る、請求項１〜１２の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The component (F) in the second silicone rubber layer contains 50% by weight or more of diorganopolysiloxane containing at least two or more alkenyl groups in one molecule, and the component (H) is (F) Organohydro having hydrogen atoms directly bonded to at least two silicon atoms in one molecule in an amount such that the molar ratio of hydrogen atoms directly bonded to silicon atoms to alkenyl groups in the component is 0.4 to 4.0. The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 12, comprising genepolysiloxane and a catalytic amount of platinum or a platinum group compound. 前記第二のシリコーンゴム層中の（Ｆ）成分が、１分子中に少なくとも２個以上のアルケニル基を含有するジオルガノポリシロキサンを５０重量％以上含むと共に、（Ｈ）成分が有機過酸化物から成る、請求項１〜１３の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The component (F) in the second silicone rubber layer contains 50% by weight or more of diorganopolysiloxane containing at least 2 or more alkenyl groups in one molecule, and the component (H) is an organic peroxide. The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to claim 1, comprising: 前記第二のシリコーンゴム層の硬化前の組成物の２５℃における粘度が０．１〜１０，０００Ｐａ・ｓである、請求項１〜１４の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 14, wherein a viscosity of the composition before curing of the second silicone rubber layer at 25 ° C is 0.1 to 10,000 Pa · s. 前記第二のシリコーンゴム層の硬化後のＪＩＳ Ｋ ６２５３ デュロメーター硬さ試験 タイプＡ硬度が２０以上である、請求項１〜１５の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 15, wherein the JIS K 6253 durometer hardness test after curing of the second silicone rubber layer has a type A hardness of 20 or more. 前記第一のシリコーンゴム層が、更に、（Ａ）成分１００重量部に対して０．１〜５重量部の酸化セリウム粉末を含有し、及び／または前記第二のシリコーンゴム層が、更に、（Ｆ）成分１００重量部に対して０．１〜５重量部の酸化セリウム粉末を含有する、請求項１〜１６の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The first silicone rubber layer further contains 0.1 to 5 parts by weight of cerium oxide powder with respect to 100 parts by weight of component (A), and / or the second silicone rubber layer further comprises The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 16, comprising 0.1 to 5 parts by weight of cerium oxide powder with respect to 100 parts by weight of component (F). 積層構造であるシリコーンゴムシート表面のうち少なくとも一方の表面が、中心線表面粗さＲａで０．１〜５μｍのエンボス表面である、請求項１〜１７の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The silicone for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 17, wherein at least one of the surfaces of the silicone rubber sheet having a laminated structure is an embossed surface having a center line surface roughness Ra of 0.1 to 5 µm. Rubber sheet. 積層構造であるシリコーンゴムシートが、ガラス転移温度が２００℃以上である樹脂からなるクロス、またはガラスクロスからなる補強材により補強されている、請求項１〜１８の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 18, wherein the silicone rubber sheet having a laminated structure is reinforced by a cloth made of a resin having a glass transition temperature of 200 ° C or higher, or a reinforcing material made of a glass cloth. Silicone rubber sheet for use. 前記第二のシリコーンゴム層の厚さが０．５〜３００μｍであり、前記第一のシリコーンゴム層と第二のシリコーンゴム層を合わせたシリコーンゴムシート全体の厚さが０．１〜１０ｍｍである、請求項１〜１９の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The thickness of the second silicone rubber layer is 0.5 to 300 μm, and the total thickness of the silicone rubber sheet including the first silicone rubber layer and the second silicone rubber layer is 0.1 to 10 mm. The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 19. 積層構造であるシリコーンゴムシートの表面に鱗片状の粉をムラなく打粉した後、該シートを水で洗浄して余分な粉を除去した、請求項１〜２０の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。The thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 20, wherein the surface of the silicone rubber sheet having a laminated structure is uniformly powdered with scaly powder, and then the sheet is washed with water to remove excess powder. Silicone rubber sheet for use. １５０℃で３時間加熱した時の揮発分が０．２重量％以下である、請求項１〜２１の何れかに記載された熱圧着用シリコーンゴムシート。  The silicone rubber sheet for thermocompression bonding according to any one of claims 1 to 21, wherein a volatile content when heated at 150 ° C for 3 hours is 0.2% by weight or less.
JP2003061136A 2003-03-07 2003-03-07 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding Expired - Fee Related JP3902558B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003061136A JP3902558B2 (en) 2003-03-07 2003-03-07 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
KR1020040014903A KR101010765B1 (en) 2003-03-07 2004-03-05 Silicone Rubber Sheets for Thermocompression
TW093105918A TW200420701A (en) 2003-03-07 2004-03-05 Silicone rubber sheet for thermo compression bonding
CNB2004100282108A CN1247375C (en) 2003-03-07 2004-03-08 Silicon rubber sheets for hot compression

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003061136A JP3902558B2 (en) 2003-03-07 2003-03-07 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004273669A JP2004273669A (en) 2004-09-30
JP3902558B2 true JP3902558B2 (en) 2007-04-11

Family

ID=33123432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003061136A Expired - Fee Related JP3902558B2 (en) 2003-03-07 2003-03-07 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP3902558B2 (en)
KR (1) KR101010765B1 (en)
CN (1) CN1247375C (en)
TW (1) TW200420701A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100114470A (en) 2009-04-15 2010-10-25 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
KR20180012700A (en) 2016-07-27 2018-02-06 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Thermal conductive composite sheet for thermocompression bonding and process for preparing the same

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006080445A1 (en) * 2005-01-31 2006-08-03 Nitto Denko Corporation Release sheet for compression bonding
JP2006281670A (en) * 2005-04-01 2006-10-19 Shin Etsu Chem Co Ltd Sheet for thermo-compression bonding
JP4561989B2 (en) * 2005-04-22 2010-10-13 信越化学工業株式会社 Multi-layer rubber sheet for thermocompression bonding
JP4572243B2 (en) * 2008-03-27 2010-11-04 信越化学工業株式会社 Thermally conductive laminate and method for producing the same
JP5386200B2 (en) * 2008-04-30 2014-01-15 中興化成工業株式会社 Composite sheet
JP5058938B2 (en) * 2008-10-22 2012-10-24 信越化学工業株式会社 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
KR101594973B1 (en) * 2009-03-11 2016-02-17 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Connection sheet for solar battery cell electrode, process for manufacturing solar cell module, and solar cell module
JP5581764B2 (en) * 2010-03-24 2014-09-03 信越化学工業株式会社 Silicone rubber composition and method for improving compression set resistance of cured antistatic silicone rubber
JP5363401B2 (en) * 2010-04-13 2013-12-11 信越化学工業株式会社 Silicone rubber laminated sheet for thermocompression bonding and method for producing the same
JP2013175492A (en) * 2010-06-14 2013-09-05 Panasonic Corp Semiconductor device and method of manufacturing the same
CN101879820B (en) * 2010-06-24 2012-01-25 中国乐凯胶片集团公司 Ink-jet recording material used for full-face spray light box film
CN102529230B (en) * 2010-10-19 2015-04-22 信越化学工业株式会社 Silicon rubber sheet for thermal compression and method for joining electrical and/or electronic device members
JP5673444B2 (en) * 2010-10-19 2015-02-18 信越化学工業株式会社 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding and joining method of electrical / electronic equipment parts
JP5381964B2 (en) * 2010-11-17 2014-01-08 信越化学工業株式会社 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JP5679211B2 (en) * 2011-12-02 2015-03-04 信越ポリマー株式会社 Transfer sheet for transfer printing and manufacturing method thereof
KR101641561B1 (en) 2014-10-01 2016-07-21 한국전기연구원 Conductive silicon coating agent for connector and a method of manufacturing thereof
TWI756181B (en) * 2015-08-28 2022-03-01 日商昭和電工材料股份有限公司 Composition for cushioning sheet and cushioning sheet
WO2018026035A1 (en) * 2016-08-04 2018-02-08 (주)피코팩 Semiconductor packaging structure comprising metal plate and manufacturing method therefor
FR3058148A1 (en) * 2016-10-31 2018-05-04 Compagnie Generale Des Etablissements Michelin RUBBER COMPOSITION COMPRISING A SPECIFIC REINFORCING LOAD
CN108172436A (en) * 2018-01-29 2018-06-15 苏州市信天游光电材料有限公司 A kind of mobile phone side key panel and preparation method thereof
JP7139281B2 (en) * 2019-04-24 2022-09-20 信越化学工業株式会社 thermally conductive composite tape
CN110920178B (en) * 2019-12-05 2022-03-15 北京航空材料研究院有限公司 Variable-rigidity conductive composite material and preparation method thereof
KR102650410B1 (en) * 2022-01-20 2024-03-25 박현배 Manufacturing method of hot lamination type cushion pad and manufacturing method of flexible printed circuit board using thereof
KR102650400B1 (en) * 2022-01-20 2024-03-26 박현배 A hot lamination type cushion pad and manufacturing method of flexible printed circuit board
CN115160790A (en) * 2022-07-12 2022-10-11 苏州昌和应用材料有限公司 Sintered iron plate for press and manufacturing method thereof

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2631771B2 (en) * 1991-01-18 1997-07-16 信越化学工業株式会社 Release silicone rubber composition and cured product thereof
JPH1076606A (en) * 1996-09-02 1998-03-24 Shin Etsu Chem Co Ltd Silicone rubber laminate and manufacture thereof
JPH10219199A (en) * 1997-02-05 1998-08-18 Shin Etsu Chem Co Ltd Silicone rubber sheet for thermal contact bonding
JP3734243B2 (en) * 2000-01-28 2006-01-11 信越化学工業株式会社 Adhesive silicone rubber sheet

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100114470A (en) 2009-04-15 2010-10-25 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
KR20180012700A (en) 2016-07-27 2018-02-06 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 Thermal conductive composite sheet for thermocompression bonding and process for preparing the same

Also Published As

Publication number Publication date
CN1247375C (en) 2006-03-29
JP2004273669A (en) 2004-09-30
KR101010765B1 (en) 2011-01-25
TWI307659B (en) 2009-03-21
KR20040078908A (en) 2004-09-13
CN1526547A (en) 2004-09-08
TW200420701A (en) 2004-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3902558B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JP2005297234A (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding and method for manufacturing the same
JP4301468B2 (en) Heat-resistant and heat-conductive silicone rubber composite sheet and method for producing the same
JP5381964B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
KR101190940B1 (en) Multi-layered Rubber Sheet for Thermocompression Bonding
JP6686420B2 (en) Wiring board, electronic device, and method for manufacturing wiring board
JP4086222B2 (en) Heat resistant and heat conductive silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JP6680034B2 (en) Electronic equipment
TW202031853A (en) Thermally conductive silicone rubber sheet having thermally conductive adhesive layer
JP4353451B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JP5419265B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding and manufacturing method thereof
JP2018056462A (en) Wiring board and electronic device
JP5363401B2 (en) Silicone rubber laminated sheet for thermocompression bonding and method for producing the same
JP3041213B2 (en) Heat resistant heat conductive silicone rubber composite sheet
JP2006281670A (en) Sheet for thermo-compression bonding
JP4627071B2 (en) Silicone rubber sheet for thermocompression bonding
JPH10219199A (en) Silicone rubber sheet for thermal contact bonding
JP2013103341A (en) Method for manufacturing glass cloth composite silicone rubber sheet

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041227

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060808

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060818

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061016

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061222

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20061228

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3902558

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160112

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees