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JP3893068B2 - Solution concentration meter and concentration measuring method - Google Patents

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JP3893068B2
JP3893068B2 JP2002046272A JP2002046272A JP3893068B2 JP 3893068 B2 JP3893068 B2 JP 3893068B2 JP 2002046272 A JP2002046272 A JP 2002046272A JP 2002046272 A JP2002046272 A JP 2002046272A JP 3893068 B2 JP3893068 B2 JP 3893068B2
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solution
concentration
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義公 湯原
昌樹 田中
隆章 矢田
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Horiba Ltd
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Horiba Ltd
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶液濃度計および濃度測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
溶液中に含まれる複数の成分(含有物)の濃度を測定する方法(以下、単に濃度測定方法という)の一つに、光源からの光を、溶液および参照試料(例えば大気)を透過させて、試料スペクトルと参照スペクトルを求め、これらのスペクトルから吸光度スペクトルを求め、さらに、この吸光度スペクトルを、多変量解析法などの手法によりデータ処理することにより、測定対象溶液に含まれる複数の成分の濃度を求める方法がある。
【0003】
は従来より用いられている溶液濃度計30の全体的な構成の一例を示す図である。図において、2はハロゲンランプなどの光源、3は測定対象溶液Sが流れるライン、4はライン3上に形成されたフローセル、5はフローセル4を透過した光を分光する分光手段、6は分光された透過光の光量を検出する平面上のリニアセンサの検出器、7は検出器6によって検出された光量を入力して演算処理する演算処理部、8は演算結果を表示する表示部である。
【0004】
従って、前記溶液濃度計30は、ライン3内を流れる測定対象溶液Sに光を照射し、この溶液Sの透過光の分光スペクトル(波長ごとの光量)を検出器6によって検出する。次いで、前記演算処理部7は、検出器6によって検出された分光スペクトルを例えば空気などの比較試料を透過した場合の分光スペクトルと比較して、その変化量から溶液Sによる吸光度スペクトルを算出し、この吸光度スペクトルを用いて溶液Sに含まれる成分の濃度を求めることが可能である。
【0005】
ところが、前記測定対象溶液Sとして薬液などを用い、その吸光度スペクトルを測定するとき、気泡が含まれていると、検出器の出力信号にその気泡によって光の過剰透過や散乱が生じるので、実測定対象溶液とは異なる吸光度スペクトルとなることがあった。これによって、溶液中の含有物の成分濃度を算出して求められる濃度値には誤差が含まれることがあった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来の溶液濃度計では、気泡除去のために大がかりな気泡除去装置を用いることになり、コストの増大を招くなど、製造コストを引き上げる原因となっていた。さらに、温度変化などによって発泡する、例えばアンモニア水や過酸化水素水および水の混合溶液などの溶液(以後、溶液Sという)に対しては効果が少ないという問題もあった。
【0007】
そこで、本出願人は、既に特開平9−203706号公報にて、溶液S中に含まれる成分の濃度の合計値が100%に対して所定の範囲外であるときに、溶液S内に気泡が混入していると見なすことを特徴とする濃度分析方法を提案している。これによって、より効果的に気泡判定を行うことができ、より正確な溶液の濃度測定を行うことが可能となった。
【0008】
ところが、上述の特許において提案した濃度分析方法を実施しても、図に示すように、溶液Sに混入した気泡による影響が小さい場合には、これが検出できない場合も生じていた。すなわち、測定対象溶液Sとなる薬液の中には、気泡による影響で一つの成分の濃度が増加すると別の成分の濃度がそれぞれ減少して、全体として合計がほぼ100%になってしまうこともあり、このような誤差を完全には検出できないことがあった。
【0009】
加えて、異常値が生じる原因は気泡だけに限られるものではなく、電磁波などのその他のノイズが突発的に測定値を異常にさせることがあるが、従来の方法では何れもこのような突発的な異常値を判断することができなかった。
【0010】
また、気泡によって生じる異常値を減衰させるための別の方法として、演算結果を幾らか積算して、移動平均処理を行なうことも考えられる。しかしながら、これによって異常値のピークは抑えることができても、その影響は残るという問題があった。さらに、移動平均処理に長時間をかければかけるほど、応答性が悪くなるという問題もあった。
【0011】
本発明はこのような実状を考慮に入れてなされたものであって、測定対象溶液中の気泡が含まれていたとしても、気泡その他のノイズによる誤差の影響を可能な限り確実に取り除くことができる溶液濃度計および濃度測定方法を提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の溶液濃度計は、測定対象溶液に光を照射する光源と、この溶液を透過した光の分光スペクトルを検出する検出器と、検出されたスペクトルおよび比較試料を透過した光のスペクトルから溶液による吸光度または光量スペクトルを算出し、このスペクトルを用いて溶液に含まれる成分の濃度を求める演算処理部とを有する溶液濃度計において、前記演算処理部が、今回算出されたスペクトルと前回算出したスペクトルとの差を算出し、この差の絶対値の平均または分散を所定の閾値と比較することにより、今回算出されたスペクトルが気泡の影響を受けているかどうかを判断し、気泡の影響を受けていると判断されたスペクトルは除外して気泡の影響を受けていないと判断されたスペクトルを用いて、溶液の濃度を算出する気泡影響除去機能を有することを特徴としている。
【0013】
【0014】
【0015】
すなわち、本発明は、気泡によって生じる吸光度または光量スペクトルの歪みを前回の吸光度または光量スペクトルとの差分を取ることにより検出している。ここで、測定対象溶液の成分濃度は短時間に急激に変化するものではないので、前記差スペクトルの波長方向における絶対値の平均または分散は、気泡などのノイズによるものであり、その大きさは気泡などのノイズの大きさを表わしている。したがって、本発明の溶液濃度計は極めて容易かつ正確に気泡やその他のノイズ(例えば雷ノイズなど)による影響を受けたと判断されたスペクトルを成分濃度演算から外して気泡の影響を受けていないと判断されたスペクトルを用いて溶液の濃度を算出することができる。これによって容易に溶液濃度計の精度向上を達成できる。また、算出したスペクトルが気泡(またはノイズ)の影響を受けているかどうかの判断は、光量を検出した瞬間におこなうことができるものであるから、高速応答性を得ることができる。
【0016】
【0017】
【0018】
さらに、本発明において、前記気泡影響除去機能は演算処理部によって実行可能なプログラムによって実現できるものであるから、ハードウェアに特別な構成を必要としておらず、製造コストの引下げを行うことができる。なお、前記気泡影響の判断に用いるスペクトルは、検出器からの出力そのまま用いても、検出器の出力を吸光度スペクトルに変換したものを用いてもよい
【0019】
【0020】
【0021】
【0022】
本発明の濃度測定方法は、測定対象溶液に光を照射した状態で、測定対象溶液を透過した光の分光スペクトルを検出し、その検出された分光スペクトルおよび比較試料を透過した光の分光スペクトルから溶液による吸光度または光量スペクトルを算出し、この算出されたスペクトルと前回算出したスペクトルとの差を算出し、この差の絶対値の平均または分散を所定の閾値と比較することにより、今回算出されたスペクトルが気泡の影響を受けているかどうかを判断し、気泡の影響を受けていると判断されたスペクトルは除外して気泡の影響を受けていないと判断されたスペクトルを用いて、溶液の濃度を算出することを特徴としている。
【0023】
【0024】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の溶液濃度計および濃度測定方法の好ましい実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の溶液濃度計1の全体的な構成を示す図である。なお、図1において示すハードウェア構成は基本的に従来例において説明した図と同じであるから、同一の符号を付すことによりその重複説明を避ける。
【0025】
図1において、9は演算処理部7(以下、CPUという)によって読み書き可能な半導体メモリなどの記憶部、10は上位コンピュータ11などに接続される例えばEIA232などの所定の規格に従ったインターフェース、12は測定の濃度値をアナログ信号に変換して出力するD/Aコンバータ、13は測定された濃度値を基に出力される各種アラーム信号の接点出力部とこの接点出力が必要であるかどうかを入力する入力部を有するパラレル入出力部、14はアラーム用のブザーである。
【0026】
15は前記ライン3内のセル4よりも上流側に設けられた脱泡槽であり、この脱泡槽15は測定対象溶液Sの流速および粘度などの特性に従って適宜の容量を有する密閉容器16からなる。なお、この詳細な構成は特許第3031834号に明示されている。また、22はセル4の下流側のライン3に形成された流路絞り弁である。
【0027】
前記光源2は例えばハロゲンランプであるが、本発明は光源の種類を限定するものではない。すなわち、測定対象溶液Sの測定対象成分によって吸収される波長の光を強く発光することができるものであれば任意の光源を用いることができる。また、本例のセル4はフローセルである例を示しているが、測定対象溶液Sを収容でき、光源2からの光を透過するものであればよい。さらに、分光器5は例えばスリットと回折格子を用いたものであることが望ましいが、回折レンズを用いたものであってもよい。
【0028】
本例の検出器6は分光器5によって分光された透過光の光量を検出する平面状のリニアセンサである例を示している。すなわち、分光器5によって波長毎に分光された各波長の光量を、検出器6の各部の検出素子が連続的かつ一度に検出し、これを複数のチャンネルに分けられたデータとして出力することができる。しかしながら、検出器6は各波長ごとの透過光の光量を別々に測定する複数の検出器からなっていてもよい。
【0029】
図1に示すシステム構成は本発明を限定するものではない。たとえば、CPU7とは別体として記載している記憶部9は、CPU7内に内蔵されていてもよい。同様にインターフェース10、D/Aコンバータ12、パラレル入出力部13もCPU7に内蔵されていてもよい。
【0030】
また、本例では表示部8を設けることにより、溶液濃度計1をインラインモニタとして使用することができる。しかしながら、本発明は溶液濃度計1は表示部8を有していることを限定するものではない。すなわち、濃度出力は濃度データの送信、蓄積記憶、記録紙に対する記録など、種々の出力方法が考えられる。
【0031】
記憶部9に記憶される内容は例えば、溶液濃度計1の動作を指示するための濃度測定プログラムPと、この濃度測定プログラムPによって一時的な記憶として用いられるスペクトルデータSpと、スペクトルデータの積算に用いられる積算データSt(λ)と、所定時間内のスペクトルデータの平均値Sa(λ)と、この平均値Sa(λ) を用いて算出した濃度データC1 と、濃度データC1 の所定時間内における移動平均データC2 と、各成分の濃度のアラーム値を記憶するアラーム設定データCaなどである。
【0032】
上位コンピュータ11は一つのコンピュータに限られるものではなく、ネットワークを介して複数のコンピュータに接続されていてもよい。また、通信プロトコルも種々に選択可能であることはいうまでもない。
【0033】
また、本例に示す溶液濃度計1は、脱泡槽15を用いることにより、密封容器16内に導入された気泡まじりの測定対象溶液Sは、密封容器16内で気泡だけが上昇して気相Gと液相とに分離し、測定対象溶液S中の気泡が除去される。これによってほとんど気泡が混入していない容器底部のサンプル液をフローセル4内に導入することができる。
【0034】
なお、本例の場合、セル4の下流側の流路絞り弁22を絞って、セル4内を加圧することにより、セル4内における測定対象溶液Sの発泡を抑えることが可能であるが、本発明はこの構成を限定するものではない。
【0035】
図2は記憶部9に記憶された濃度測定プログラムPの動作の一例を示す図である。以下、図2および図1を用いて、本発明の濃度測定方法の例を説明する。
【0036】
S1は前記検出器6を用いて透過光の各波長毎の光量スペクトルを読み込んで吸光度スペクトルを算出するステップである。ここで、検出器6によって検出された光量スペクトルをI(λ)とし、空気を透過したときの光量スペクトルをI0 (λ)とすると、以下の式(1)に示す演算が行われて、吸光度スペクトルA(λ)が算出される。
A(λ)=log10{I0 (λ)/I(λ)} … 式(1)
但し、λは波長を示している。
【0037】
S2は今回検出し算出された吸光度スペクトルA(λ)から前回検出し算出した吸光度スペクトルデータSpを減算して、差スペクトルを算出するステップである。すなわち、前回の光量読み込みから今回の光量読み込みまでの短い微小時間内に変化した吸光度スペクトルが差スペクトルとなるので、ここで求められる差スペクトル(すなわち、両スペクトルの形状の違い)は、非常に小さい値になることが予想される。特に前記微小時間が測定対象溶液Sの流速に対して十分に短い場合には、差スペクトルに現れる値は気泡その他のノイズなどの変動しやすい因子の大きさを表わしている。
【0038】
S3はステップS2で求めた前記差スペクトルを用いて気泡判定を行なうステップである。すなわち、例えば差スペクトルの波長方向における分散を求める。この分散は、今回検出し算出した吸光度スペクトルにどの程度の気泡その他のノイズの影響が含まれているかを示すものであるから、その大きさによって気泡判定を行うことができる。なお、ステップS3における気泡判定において、この差スペクトルの分散に代えて、差スペクトルの絶対値の平均を求めてもよい。
【0039】
ステップS3において許容範囲内(OK)であると判断した場合にはステップS4に進み、許容範囲外(NG)であると判断した場合にはステップS5にジャンプする。
【0040】
なお、この許容範囲は各波長λごとに設定し、各波長λごとに許容範囲の設定値に基づく重み付けを行ってもよい。この場合、波長ごとに気泡による濃度値への影響を考慮した気泡判定を行うことができるので、より正確な濃度値が得られる。
【0041】
S4は今回読み込んだ吸光度スペクトルを積算データSt(λ)に積算するステップである。また、同時に積算回数N’を計数する。
【0042】
S5は吸光度スペクトル読込みが終了したかどうかを判断するステップである。本例では例えば5回を設定している。すなわち、前記ステップS1〜S4によって形成されるループ処理は例えば5回繰り返されることにより、吸光度スペクトルを適宜に丸めることができる。なお、本発明はループ処理の繰り返し回数を5回に限定するものではないことはいうまでもない。また、吸光度スペクトルを丸めない場合にはループ処理を行なう必要はない。
【0043】
S6は前記S1〜S5のループ処理を終了したときに実行される処理であり、読み込み回数に対する積算回数N’を判断するステップである。本例では読み込み回数をNとするとこのステップS6における判断基準として例えば、積算回数N’と読み込み回数Nとの比rが、1/2<r≦1の範囲内(本例では最適条件として3/4≦r≦1の範囲内)であるときに、有効であるとする。
【0044】
S7は濃度算出を行なうステップである。このステップ7における濃度算出は、例えば前記積算データSt(λ)を積算できた回数で除算して吸光度スペクトルデータの平均値Sa(λ)を求め、さらにこの吸光度スペクトルの平均値を多変量解析法などのデータ処理法によってデータ処理して、測定対象成分の各濃度データC1 に変換するものである。
【0045】
S8は算出された濃度を前回算出された濃度(移動平均データC2 など)と比較するステップであって、今回算出した濃度C1 と現在表示している濃度C2 との偏差を求め、この差がある一定値以上(所定の範囲外)になった場合、濃度急変と判断する。濃度がなだらかに変化する場合(有効)には続くステップS9が実行され、濃度が急変すると判断する場合にはステップS12にジャンプする。
【0046】
S9は所定の時間内における濃度データC1 の測定値を用いて移動平均データC2 を算出するステップである。したがって、移動平均データC2 は求められた濃度測定値C1 を用いて丸められるので、よりノイズの影響が少なくなる。この移動平均時間は上位コンピュータ11からの命令などによって任意に変更可能とすることが望ましい。
【0047】
一方、前記ステップS6において、積算回数が少なく、積算データSt(λ)が無効であると判断された場合には、ステップS10の処理が実行される。
ステップS10の処理において積算無効が所定回数以上連続して生じているかどうかを判断する。そして、積算無効が単発である場合(すなわち、積算無効が所定回数未満の場合)には、ステップS1に戻ってもう一度光量読込み処理を行い、それでも積算無効が所定回数以上に連続する場合には濃度を算出するステップS11に処理を進める。
【0048】
なお、ステップS10の処理において積算無効が所定回数以上連続して生じているときには、例えば前記ブザー14等を用いてアラームを出力したり表示部8などを用いてアラーム表示Daを行なう。つまり、所定回数以上に連続して積算無効が続く場合には、何らかのノイズが混入しているか、光学系その他の故障などの異常であると判断され、これがアラームとして出力されると共に濃度算出ステップS11に進む。
【0049】
S12は前記ステップS8において濃度が急変したと判断されるときに実行され、濃度急変(すなわち濃度無効)が連続しているかどうかを判断するステップである。そして、濃度無効が単発であると判断した場合には、もう一度ステップS1に戻って濃度計算を行ない、濃度無効が所定回数以上連続していると判断した場合には次のステップS13を実行する。
【0050】
すなわち、連続して濃度急変が生じている場合、何らかの予期できない問題によって濃度値が異常となっているのではなく、実際に濃度が急変したことによると判断し、新たな移動平均値として、現在の濃度値が設定される。すなわち、不採用濃度値が一定の回数まで連続して起こった場合には、最終回に得られた濃度値から移動平均値(濃度)を算出する。これによって薬液交換などによって急変する濃度を的確に表示することができる。
【0051】
S13はステップS1〜S12の処理によって算出された移動平均データC2 を用いて例えば表示部8に濃度表示Dcとして出力するステップである。なお、このステップS13の処理における濃度出力には、表示部8による濃度表示に加えて、濃度値データの出力や記録が含まれていてもよい。また、求められた濃度値をアラーム設定データCaに設定された適正値と比較することによりアラーム表示Daを出力することやアラームランプLaを点灯することも含まれていてもよい。
【0052】
前記ステップS1〜S13による一連の処理が終了すると、もう一度ステップS1にジャンプして上記処理を繰り返すことにより、ライン3を流れる測定対象溶液Sの各成分の濃度表示Dcを連続的に行なうことができ、溶液濃度計1は濃度値を連続的に出力するインライン濃度モニタとして機能する。
【0053】
なお、濃度出力として測定時間と濃度値を種々の記録媒体に記録する場合には、前記ステップS12による判断に関係なく、算出された濃度値を全て記録することも可能である。
【0054】
以上詳述した濃度測定方法では、ステップS1〜S5に示す処理において検出器によって検出され算出された吸光度スペクトルAの積算を行い、ステップS6〜S12に示す処理によって濃度値の移動平均を行なっているので、ソフトウェア上で気泡その他のノイズの影響を受けた吸光度スペクトルを濃度演算から容易かつ確実に外すことができる。したがって、ハードウェア構成を変えなくても気泡やノイズによる影響のない溶液濃度の測定を行うことができ、製造コストをほとんど引き上げることなくより正確な濃度測定を行なうことができる溶液濃度計を提供できる。
【0055】
また、気泡その他のノイズを含む異常データを的確に判断して、破棄することにより、単なる積算や移動平均処理に比べ、より正しい測定値を得ることが可能となる。さらに、上述したステップS3〜S5に示すように異常データの判断は検出器6から光量データが一回入力されるたびに行われるので、応答性が極めて良好であり、異常データの排除を行いながら高速応答を可能としている。
【0056】
図3〜5は本発明によって得られる効果を確認するために測定した測定値を示す図であって、図3は気泡の発生しやすい混合溶液(アンモニア・過酸化水素水)を用いて、気泡による異常データを排除することなく各成分(NH3 ,H22 )の濃度値を出力した場合の出力例を示している。また、図4はライン3中に脱泡槽15と流路絞り弁22を設けて気泡の発生を抑えて、異常データを排除することなく同成分の濃度値を出力した場合の出力例を示している。そして、図5はライン3中に脱泡槽15と流路絞り弁22を設け、かつ異常データを排除する濃度測定プログラムPを実行した場合の出力例を示している。何れも横軸は時間を示し、縦軸は濃度を示している。
【0057】
図3〜5を比較すると明らかなように、本発明の濃度測定計1では濃度測定方法を実現する濃度測定プログラムPによって、気泡によるノイズのみならず種々のノイズによる影響をほぼ完全に取り除くことができ、正確な測定値を出力することができる。
【0058】
また、とりわけ本例の場合には、ライン3上のセル4より上流側に簡単な構成の脱泡槽15を設けることにより、セル4に流れる測定対象溶液Sから気泡を取り除き、セル4の下流側に流路絞り弁22を設けてセル4内で発泡することを防止しているので、検出器6によって検出される透過光量の分光スペクトルに含まれる気泡の影響を小さくしている。したがって、前記濃度測定プログラムPによって破棄されるスペクトルを少なくすることができ、さらに正確な測定結果を得ることが可能となる。
【0059】
本例の場合、脱泡槽15や流路絞り弁22などの圧力調節手段はセル4内における気泡の量を少なくすることができれば十分であるから、従来のように気泡をほゞ完全に取り除くための大型脱泡装置や高圧ポンプなどの大掛かりな装置を必要としておらず、小型で製造コストを下げた高精度の溶液濃度計を提供することができる。なお、本発明は脱泡槽15の構造を限定するものではなく、種々の形状の脱泡槽15を用いることが可能である。同様に、流路絞り弁22を設けることに限定するものではないことはいうまでもない。さらに、脱泡槽15や流路絞り弁22を設けなくてもよい。
【0060】
【0061】
【0062】
【0063】
【0064】
【0065】
【0066】
【0067】
【0068】
【0070】
【0071】
【0072】
【0073】
【0074】
なお、上述したにおいては、溶液に含まれる複数成分の濃度を検出する例を示しているが、本発明は単一の成分の濃度を検出することも可能である。
【0075】
また、以上詳述した各例において、ライン3中に脱気槽15を介在させて測定対象溶液の中から気泡をある程度除去することにより、濃度測定プログラムPによって破棄される異常データの数を少なくしており、これによって、濃度測定値の精度向上と応答性の向上を図っているが、本発明はこの点を限定するものではない。
【0076】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の溶液濃度計および濃度測定方法によれば、測定に供するサンプル液内に気泡が含まれる場合であっても、気泡その他のノイズの影響を受けることなく溶液濃度を正確に測定することができる。特に、気泡混入などによって生じる異常データを正常データとソフトウェア処理によって正確に識別することができるので、製造コストの削減を図りつつ、確実な気泡影響の除去を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の溶液濃度計の好ましい一実施例を示す構成説明図である。
【図2】 前記溶液濃度計における濃度測定方法の一例を説明する図である。
【図3】 本発明の効果を検証する為の比較用の測定結果を示す図である。
【図4】 別の比較用の測定結果を示す図である。
【図5】 本発明の効果を検証する測定結果を示す図である。
【図6】 従来例を示す構成説明図である。
【図7】 従来例の問題点を説明する図である。
【符号の説明】
1…溶液濃度計、2…光源、6…検出器、7…演算処理部、C1 …溶液の濃度、C2 …移動平均データ、S…測定対象溶液、St…スペクトルの積算値、Sp…スペクトル、Sa…平均スペクトル。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a solution concentration meter and a concentration measurement method.
[0002]
[Prior art]
One of the methods for measuring the concentration of a plurality of components (inclusions) contained in a solution (hereinafter simply referred to as a concentration measurement method) is to transmit light from a light source through a solution and a reference sample (for example, the atmosphere). The sample spectrum and the reference spectrum are obtained, the absorbance spectrum is obtained from these spectra, and the concentration of a plurality of components contained in the solution to be measured is obtained by processing this absorbance spectrum using a method such as multivariate analysis. There is a way to ask.
[0003]
FIG. 6 is a diagram showing an example of the overall configuration of a solution concentration meter 30 conventionally used. In FIG. 6 , 2 is a light source such as a halogen lamp, 3 is a line through which the solution S to be measured flows, 4 is a flow cell formed on the line 3, 5 is a spectroscopic means for splitting light transmitted through the flow cell 4, and 6 is spectroscopic. The detector of the linear sensor on the plane which detects the light quantity of the transmitted light, 7 is the arithmetic processing part which inputs and calculates the light quantity detected by the detector 6, and 8 is a display part which displays a calculation result. .
[0004]
Therefore, the solution concentration meter 30 irradiates the measurement target solution S flowing in the line 3 with light, and the detector 6 detects the spectral spectrum (the light amount for each wavelength) of the transmitted light of the solution S. Next, the arithmetic processing unit 7 compares the spectral spectrum detected by the detector 6 with the spectral spectrum when transmitted through a comparative sample such as air, and calculates the absorbance spectrum due to the solution S from the amount of change, It is possible to obtain the concentration of the component contained in the solution S using this absorbance spectrum.
[0005]
However, when a chemical solution or the like is used as the measurement target solution S and the absorbance spectrum thereof is measured, if bubbles are included, excessive transmission or scattering of light occurs in the detector output signal due to the bubbles. In some cases, the absorbance spectrum was different from the target solution. As a result, an error may be included in the concentration value obtained by calculating the component concentration of the inclusion in the solution.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional solution concentration meter described above, a large bubble removing device is used for removing bubbles, leading to an increase in manufacturing cost and the like. Furthermore, there is also a problem that the effect is small with respect to a solution (hereinafter, referred to as a solution S) such as a mixed solution of ammonia water, hydrogen peroxide solution, and water that foams due to a temperature change or the like.
[0007]
In view of this, the present applicant already disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-203706, when the total concentration of the components contained in the solution S is outside a predetermined range with respect to 100%, Has proposed a concentration analysis method characterized in that it is considered to be contaminated. As a result, the bubble can be determined more effectively, and the solution concentration can be measured more accurately.
[0008]
However, even if the concentration analysis method proposed in the above-mentioned patent is carried out, as shown in FIG. 7 , if the influence of bubbles mixed in the solution S is small, this may not be detected. That is, in the chemical solution that is the measurement target solution S, when the concentration of one component increases due to the influence of bubbles, the concentration of another component decreases, and the total becomes almost 100% as a whole. In some cases, such errors cannot be detected completely.
[0009]
In addition, the cause of abnormal values is not limited to bubbles, but other noises such as electromagnetic waves may suddenly cause abnormal measurement values. An abnormal value could not be determined.
[0010]
Further, as another method for attenuating abnormal values caused by bubbles, it is conceivable to perform a moving average process by accumulating some calculation results. However, there is a problem that even if the peak of the abnormal value can be suppressed by this, the effect remains. Furthermore, there is a problem that the longer the moving average process is, the worse the response becomes.
[0011]
The present invention has been made in consideration of such a situation, and even if bubbles in the solution to be measured are included, the influence of errors due to bubbles and other noises can be removed as reliably as possible. An object of the present invention is to provide a solution concentration meter and a concentration measurement method.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the solution concentration meter of the present invention comprises a light source for irradiating light to a solution to be measured, a detector for detecting a spectral spectrum of light transmitted through the solution, a detected spectrum and a comparative sample. In the solution concentration meter having an arithmetic processing unit that calculates the absorbance or light amount spectrum of the solution from the spectrum of the transmitted light and obtains the concentration of the component contained in the solution using the spectrum , the arithmetic processing unit is calculated this time. It was calculated the difference between the spectrum and the spectrum previously calculated, by comparing the average or variance of the absolute value of the difference with a predetermined threshold, to determine whether the spectrum that has been calculated this time is affected by bubbles Exclude the spectrum determined to be affected by bubbles and exclude the spectrum determined to be unaffected by bubbles. It is characterized by having a bubble effect removal function of calculating a degree.
[0013]
[0014]
[0015]
That is, in the present invention, the distortion of the absorbance or light amount spectrum caused by the bubbles is detected by taking the difference from the previous absorbance or light amount spectrum. Here, since the component concentration of the solution to be measured does not change abruptly in a short time, the average or dispersion of absolute values in the wavelength direction of the difference spectrum is due to noise such as bubbles, the size of which is It represents the magnitude of noise such as bubbles. Therefore, the solution concentration meter of the present invention is not affected by bubbles by removing the spectrum determined to be affected by bubbles and other noises (for example, thunder noise) from the component concentration calculation very easily and accurately. The concentration of the solution can be calculated using the determined spectrum . This can easily improve the accuracy of the solution concentration meter. Further, since it is possible to determine whether or not the calculated spectrum is affected by bubbles (or noise) at the moment when the amount of light is detected, high-speed response can be obtained.
[0016]
[0017]
[0018]
Furthermore, in the present invention, since the bubble effect removal function can be realized by a program that can be executed by the arithmetic processing unit, no special configuration is required for hardware, and the manufacturing cost can be reduced. Incidentally, the spectrum used for determination of the bubble effect, be used as it is output from the detector may be used that converts the output of the detector to the absorbance spectrum.
[0019]
[0020]
[0021]
[0022]
The concentration measurement method of the present invention detects a spectral spectrum of light transmitted through the measurement target solution in a state where the measurement target solution is irradiated with light, and detects the detected spectral spectrum and the spectral spectrum of light transmitted through the comparative sample. Calculate the absorbance or light intensity spectrum by the solution, calculate the difference between this calculated spectrum and the previously calculated spectrum , and compare the average or variance of the absolute value of this difference with a predetermined threshold value. spectrum to determine whether under the influence of air bubbles, spectrum is determined that the influence of bubbles by using the spectrum is determined not affected by air bubbles are excluded, the concentration of the solution It is characterized by calculating.
[0023]
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the solution concentration meter and the concentration measuring method of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a solution concentration meter 1 of the present invention. Since the hardware configuration shown in FIG. 1 is basically the same as that of FIG. 6 described in the conventional example, the same reference numerals are used to avoid redundant description.
[0025]
In FIG. 1, 9 is a storage unit such as a semiconductor memory that can be read and written by an arithmetic processing unit 7 (hereinafter referred to as CPU), 10 is an interface according to a predetermined standard such as EIA232 connected to the host computer 11, and the like. Is a D / A converter that converts the measured density value into an analog signal and outputs it, and 13 is a contact output section for various alarm signals that are output based on the measured density value and whether this contact output is necessary. A parallel input / output unit 14 having an input unit for inputting is an alarm buzzer.
[0026]
15 is a defoaming tank provided on the upstream side of the cell 4 in the line 3, and this defoaming tank 15 is formed from a sealed container 16 having an appropriate capacity according to characteristics such as a flow rate and viscosity of the solution S to be measured. Become. This detailed configuration is disclosed in Japanese Patent No. 3031834. Reference numeral 22 denotes a flow path throttle valve formed in the line 3 on the downstream side of the cell 4.
[0027]
The light source 2 is, for example, a halogen lamp, but the present invention does not limit the type of light source. That is, any light source can be used as long as it can strongly emit light having a wavelength absorbed by the measurement target component of the measurement target solution S. Moreover, although the cell 4 of this example shows the example which is a flow cell, what can accommodate the measuring object solution S and permeate | transmit the light from the light source 2 should just be used. Further, the spectroscope 5 is desirably a slit and a diffraction grating, but may be a diffraction lens.
[0028]
In this example, the detector 6 is a planar linear sensor that detects the amount of transmitted light spectrally separated by the spectroscope 5. That is, the amount of light of each wavelength separated by the spectroscope 5 for each wavelength can be detected continuously and at once by the detection elements in each part of the detector 6 and output as data divided into a plurality of channels. it can. However, the detector 6 may include a plurality of detectors that separately measure the amount of transmitted light for each wavelength.
[0029]
The system configuration shown in FIG. 1 does not limit the present invention. For example, the storage unit 9 described as a separate body from the CPU 7 may be built in the CPU 7. Similarly, the interface 10, the D / A converter 12, and the parallel input / output unit 13 may be built in the CPU 7.
[0030]
In this example, the solution concentration meter 1 can be used as an inline monitor by providing the display unit 8. However, the present invention does not limit that the solution concentration meter 1 has the display unit 8. That is, various output methods such as transmission of density data, storage and storage, and recording on recording paper can be considered for density output.
[0031]
The contents stored in the storage unit 9 include, for example, a concentration measurement program P for instructing the operation of the solution concentration meter 1, spectrum data Sp used as temporary storage by the concentration measurement program P, and integration of spectrum data Integrated data St (λ) used in the above, an average value Sa (λ) of spectrum data within a predetermined time, density data C 1 calculated using this average value Sa (λ), and predetermined density data C 1 These are the moving average data C 2 within the time and the alarm setting data Ca for storing the alarm value of the concentration of each component.
[0032]
The host computer 11 is not limited to a single computer, and may be connected to a plurality of computers via a network. It goes without saying that various communication protocols can be selected.
[0033]
In addition, the solution concentration meter 1 shown in this example uses the defoaming tank 15, so that the measurement target solution S of the bubble wrap introduced into the sealed container 16 has only bubbles rising in the sealed container 16. The gas is separated into the phase G and the liquid phase, and the bubbles in the measurement target solution S are removed. As a result, the sample liquid at the bottom of the container in which almost no bubbles are mixed can be introduced into the flow cell 4.
[0034]
In the case of this example, it is possible to suppress foaming of the measurement target solution S in the cell 4 by constricting the flow path throttle valve 22 on the downstream side of the cell 4 and pressurizing the inside of the cell 4, The present invention does not limit this configuration.
[0035]
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the operation of the concentration measurement program P stored in the storage unit 9. Hereinafter, an example of the concentration measuring method of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0036]
S1 is a step of calculating an absorbance spectrum by reading a light amount spectrum for each wavelength of transmitted light using the detector 6. Here, assuming that the light amount spectrum detected by the detector 6 is I (λ) and the light amount spectrum transmitted through the air is I 0 (λ), the calculation shown in the following equation (1) is performed, and the absorbance is obtained. A spectrum A (λ) is calculated.
A (λ) = log 10 {I 0 (λ) / I (λ)} Expression (1)
However, (lambda) has shown the wavelength.
[0037]
S2 is a step of calculating a difference spectrum by subtracting the absorbance spectrum data Sp detected and calculated last time from the absorbance spectrum A (λ) detected and calculated this time. That is, since the absorbance spectrum that has changed within a short minute from the previous light amount reading to the current light amount reading becomes a difference spectrum, the difference spectrum obtained here (that is, the difference in the shape of both spectra) is very small. Expected to be value. In particular, when the minute time is sufficiently short with respect to the flow rate of the solution S to be measured, the value appearing in the difference spectrum represents the size of a variable factor such as a bubble or other noise.
[0038]
S3 is a step of performing bubble determination using the difference spectrum obtained in step S2. That is, for example, the dispersion in the wavelength direction of the difference spectrum is obtained. Since this dispersion indicates how much bubbles and other noise influences are included in the absorbance spectrum detected and calculated this time, bubble determination can be performed based on the size of the dispersion. In the bubble determination in step S3, an average of absolute values of the difference spectrum may be obtained instead of the variance of the difference spectrum.
[0039]
If it is determined in step S3 that the value is within the allowable range (OK), the process proceeds to step S4. If it is determined that the value is outside the allowable range (NG), the process jumps to step S5.
[0040]
The permissible range may be set for each wavelength λ, and weighting based on the set value of the permissible range may be performed for each wavelength λ. In this case, it is possible to perform bubble determination in consideration of the influence of the bubbles on the concentration value for each wavelength, so that a more accurate concentration value can be obtained.
[0041]
S4 is a step of integrating the absorbance spectrum read this time into the integrated data St (λ). At the same time, the number of integration N ′ is counted.
[0042]
S5 is a step for determining whether or not the reading of the absorbance spectrum is completed. In this example, for example, 5 times are set. That is, the loop process formed by steps S1 to S4 is repeated five times, for example, so that the absorbance spectrum can be appropriately rounded. Needless to say, the present invention does not limit the number of loop processing iterations to five. Further, when the absorbance spectrum is not rounded, it is not necessary to perform a loop process.
[0043]
S6 is a process executed when the loop process of S1 to S5 is completed, and is a step of determining the number of times of integration N ′ with respect to the number of times of reading. In this example, if the number of readings is N, the determination r in step S6 is, for example, that the ratio r between the number of integrations N ′ and the number of readings N is within a range of 1/2 <r ≦ 1 (in this example, 3 as the optimum condition). / 4 ≦ r ≦ 1) is effective.
[0044]
S7 is a step for calculating density. The concentration calculation in step 7 is performed by, for example, dividing the integrated data St (λ) by the number of times of integration to obtain an average value Sa (λ) of the absorbance spectrum data, and further calculating the average value of the absorbance spectrum by a multivariate analysis method. The data is processed by a data processing method such as the above, and converted into each concentration data C 1 of the measurement target component.
[0045]
S8 is a step of comparing the calculated density with the previously calculated density (such as moving average data C 2 ), and obtains the deviation between the density C 1 calculated this time and the currently displayed density C 2. When the difference exceeds a certain value (outside the predetermined range), it is determined that the concentration is suddenly changed. When the density changes gently (valid), the following step S9 is executed, and when it is determined that the density changes suddenly, the process jumps to step S12.
[0046]
S9 is a step of calculating the moving average data C 2 using the measured value of the density data C 1 within a predetermined time. Therefore, the moving average data C 2 is rounded by using the obtained density measurement value C 1 , so that the influence of noise is further reduced. It is desirable that this moving average time can be arbitrarily changed by a command from the host computer 11 or the like.
[0047]
On the other hand, if it is determined in step S6 that the number of integrations is small and the integration data St (λ) is invalid, the process of step S10 is executed.
In step S10, it is determined whether integration invalidation has occurred continuously for a predetermined number of times or more. If the integration invalidation is a single shot (that is, if the integration invalidation is less than the predetermined number), the process returns to step S1 and the light quantity reading process is performed again. If the integration invalidation continues even more than the predetermined number of times, the density The process proceeds to step S11 for calculating.
[0048]
Note that, in the process of step S10, when the integration invalidation has continuously occurred for a predetermined number of times or more, for example, an alarm is output using the buzzer 14 or the like, or an alarm display Da is performed using the display unit 8 or the like. In other words, if the integration invalidation continues continuously for a predetermined number of times or more, it is determined that some noise is mixed in or an abnormality such as an optical system or other failure, and this is output as an alarm and the concentration calculation step S11. Proceed to
[0049]
S12 is executed when it is determined in step S8 that the concentration has suddenly changed, and it is determined whether or not the concentration sudden change (that is, the concentration is invalid) continues. If it is determined that the invalidity of the density is single, the process returns to step S1 again to calculate the density. If it is determined that the invalidity of the density has continued for a predetermined number of times, the next step S13 is executed.
[0050]
That is, if the concentration suddenly changes continuously, the concentration value is not abnormal due to some unforeseen problem, but it is determined that the concentration has actually changed suddenly. Density value is set. That is, when the non-adopted density value occurs continuously up to a certain number of times, a moving average value (density) is calculated from the density value obtained at the last time. This makes it possible to accurately display the concentration that suddenly changes due to the exchange of chemicals.
[0051]
S13. A step of outputting as the concentration displayed Dc in the display unit 8, for example using a moving average data C 2 calculated by the processing of step S1 to S12. The density output in the process of step S13 may include density value data output and recording in addition to the density display by the display unit 8. Moreover, outputting the alarm display Da and lighting the alarm lamp La by comparing the obtained density value with an appropriate value set in the alarm setting data Ca may be included.
[0052]
When the series of processes in steps S1 to S13 is completed, the process of jumping to step S1 once again and repeating the above process allows the concentration display Dc of each component of the measurement target solution S flowing on the line 3 to be continuously performed. The solution concentration meter 1 functions as an in-line concentration monitor that continuously outputs concentration values.
[0053]
When the measurement time and the density value are recorded on various recording media as the density output, it is possible to record all the calculated density values regardless of the determination in step S12.
[0054]
In the concentration measuring method described in detail above, the absorbance spectrum A detected and calculated by the detector in the processing shown in steps S1 to S5 is integrated, and the moving average of the concentration values is performed in the processing shown in steps S6 to S12. Therefore, the absorbance spectrum affected by bubbles and other noises can be easily and reliably removed from the concentration calculation on the software. Therefore, it is possible to provide a solution concentration meter that can measure the solution concentration without being affected by bubbles and noise without changing the hardware configuration, and can perform more accurate concentration measurement with almost no increase in manufacturing cost. .
[0055]
In addition, by accurately determining and discarding abnormal data including bubbles and other noises, it is possible to obtain a more accurate measurement value compared to simple integration and moving average processing. Furthermore, as shown in steps S3 to S5 described above, the determination of abnormal data is performed every time the light amount data is input from the detector 6, so that the responsiveness is very good and the abnormal data is eliminated. High-speed response is possible.
[0056]
3 to 5 are diagrams showing measured values measured in order to confirm the effect obtained by the present invention. FIG. 3 shows a bubble using a mixed solution (ammonia / hydrogen peroxide solution) in which bubbles are easily generated. An output example in the case where the concentration value of each component (NH 3 , H 2 O 2 ) is output without eliminating abnormal data due to the above is shown. FIG. 4 shows an output example when the defoaming tank 15 and the flow restrictor 22 are provided in the line 3 to suppress the generation of bubbles and output the concentration value of the same component without eliminating abnormal data. ing. FIG. 5 shows an output example when the defoaming tank 15 and the flow path throttle valve 22 are provided in the line 3 and the concentration measurement program P for eliminating abnormal data is executed. In either case, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents concentration.
[0057]
As is apparent from a comparison of FIGS. 3 to 5, in the concentration meter 1 of the present invention, the influence of various noises as well as noise caused by bubbles can be almost completely eliminated by the concentration measurement program P that realizes the concentration measurement method. And accurate measurement values can be output.
[0058]
Further, particularly in the case of this example, by providing a defoaming tank 15 having a simple configuration upstream of the cell 4 on the line 3, bubbles are removed from the measurement target solution S flowing in the cell 4, and downstream of the cell 4. Since the flow restrictor 22 is provided on the side to prevent foaming in the cell 4, the influence of bubbles included in the spectrum of the transmitted light amount detected by the detector 6 is reduced. Therefore, the spectrum discarded by the concentration measurement program P can be reduced, and a more accurate measurement result can be obtained.
[0059]
In the case of this example, it is sufficient for the pressure adjusting means such as the defoaming tank 15 and the flow path throttle valve 22 to reduce the amount of bubbles in the cell 4, so that the bubbles are almost completely removed as in the prior art. Therefore, a large-scale defoaming device or a high-pressure pump is not required, and a high-precision solution concentration meter that is small in size and reduced in manufacturing cost can be provided. In addition, this invention does not limit the structure of the defoaming tank 15, It is possible to use the defoaming tank 15 of various shapes. Similarly, it goes without saying that the present invention is not limited to the provision of the flow restrictor 22. Furthermore, it is not necessary to provide the defoaming tank 15 or the flow restrictor 22.
[0060]
[0061]
[0062]
[0063]
[0064]
[0065]
[0066]
[0067]
[0068]
[0070]
[0071]
[0072]
[0073]
[0074]
In the example described above, an example in which the concentration of a plurality of components contained in a solution is detected is shown, but the present invention can also detect the concentration of a single component.
[0075]
Further, in each example described in detail above, the number of abnormal data discarded by the concentration measurement program P is reduced by removing bubbles to some extent from the solution to be measured by interposing the deaeration tank 15 in the line 3. Thus, the accuracy of the concentration measurement value and the response are improved, but the present invention does not limit this point.
[0076]
【The invention's effect】
As described above, according to the solution concentration meter and the concentration measurement method of the present invention, even when bubbles are included in the sample liquid used for measurement, the solution concentration can be adjusted without being affected by bubbles or other noise. It can be measured accurately. In particular, since abnormal data generated due to bubble contamination can be accurately identified by normal data and software processing, it is possible to reliably eliminate the influence of bubbles while reducing the manufacturing cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a preferred embodiment of a solution concentration meter according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram for explaining an example of a concentration measuring method in the solution concentration meter.
FIG. 3 is a diagram showing a measurement result for comparison for verifying the effect of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing another comparison measurement result.
FIG. 5 is a diagram showing measurement results for verifying the effects of the present invention.
FIG. 6 is a configuration explanatory view showing a conventional example.
FIG. 7 is a diagram illustrating a problem of a conventional example.
[Explanation of symbols]
1 ... The solution densitometer, 2 ... light source, 6 ... detector, 7 ... arithmetic processing unit, a concentration of C 1 ... solution, C 2 ... moving average data, S ... test liquid, St ... integrated value of the spectrum, Sp ... Spectrum, Sa ... average spectrum.

Claims (2)

測定対象溶液に光を照射する光源と、この溶液を透過した光の分光スペクトルを検出する検出器と、検出されたスペクトルおよび比較試料を透過した光のスペクトルから溶液による吸光度または光量スペクトルを算出し、このスペクトルを用いて溶液に含まれる成分の濃度を求める演算処理部とを有する溶液濃度計において、前記演算処理部が、今回算出されたスペクトルと前回算出したスペクトルとの差を算出し、この差の絶対値の平均または分散を所定の閾値と比較することにより、今回算出されたスペクトルが気泡の影響を受けているかどうかを判断し、気泡の影響を受けていると判断されたスペクトルは除外して気泡の影響を受けていないと判断されたスペクトルを用いて、溶液の濃度を算出する気泡影響除去機能を有することを特徴とする溶液濃度計。The light source that irradiates light to the solution to be measured, the detector that detects the spectral spectrum of the light that has passed through this solution, and the absorbance or light intensity spectrum of the solution is calculated from the detected spectrum and the spectrum of the light that has passed through the comparative sample. In the solution concentration meter having an arithmetic processing unit for obtaining the concentration of the component contained in the solution using this spectrum , the arithmetic processing unit calculates a difference between the spectrum calculated this time and the spectrum calculated last time, By comparing the average or variance of the difference with a predetermined threshold, it is determined whether the calculated spectrum is affected by bubbles, and the spectrum determined to be affected by bubbles is excluded. It has a bubble effect removal function that calculates the concentration of the solution using a spectrum determined not to be affected by bubbles. Solution concentration meter to be. 測定対象溶液に光を照射した状態で、測定対象溶液を透過した光の分光スペクトルを検出し、その検出された分光スペクトルおよび比較試料を透過した光の分光スペクトルから溶液による吸光度または光量スペクトルを算出し、この算出されたスペクトルと前回算出したスペクトルとの差を算出し、この差の絶対値の平均または分散を所定の閾値と比較することにより、今回算出されたスペクトルが気泡の影響を受けているかどうかを判断し、気泡の影響を受けていると判断されたスペクトルは除外して気泡の影響を受けていないと判断されたスペクトルを用いて、溶液の濃度を算出することを特徴とする濃度測定方法。Detects the spectrum of the light that has passed through the solution to be measured while irradiating the solution to be measured, and calculates the absorbance or light intensity spectrum of the solution from the detected spectrum and the spectrum of the light that has passed through the comparative sample. and, calculating a difference between the calculated spectrum and spectrum previously calculated, by comparing the average or variance of the absolute value of the difference with a predetermined threshold, the spectrum that has been calculated this time is affected by the bubbles A concentration determined by calculating whether the concentration of the solution is calculated using a spectrum determined not to be affected by bubbles, excluding the spectrum determined to be affected by bubbles. Measuring method.
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