JP3892578B2 - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、複数枚のウエハが収容された石英ボートを吊支した状態で、上記石英ボートとともにウエハを高温加熱炉まで搬送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
通常、半導体チップは、シリコンなどのウエハの表面に様々な工程を経て複数の回路素子を形成した後に、ウエハを各回路素子毎に分割することによって形成される。上記した工程としては、ウエハ表面に酸化膜を形成する工程、レジストを形成するためのフォトリソ工程、不純物の拡散工程、あるいは電極形成工程などがある。これらの各工程は、それぞれ所定の装置を用いて行われるが、各装置間におけるウエハの移動は、金属製などのカセット内に複数枚のウエハが収容された状態で行われる。
【０００３】
周知の通り、拡散工程は、ウエハの表面から内部に不純物を拡散させ、不純物が拡散させられた領域をＰ型、あるいはＮ型とする工程である。拡散速度は、高温ほど大きいことから、不純物をウエハの内部に良好に拡散させるためには、数百度から千度程度（不純物の種類などによっても異なる）の高温の状態で行わなければならない。一方、ウエハの酸化膜の表面に何らかの金属、たとえばナトリウムなどが付着している場合には、高温の拡散工程においては付着物が酸化膜内に取り込まれてしまうといった不具合が生じる。このような不具合を回避するために、不純物の拡散は、石英などによって形成された高温拡散炉内において行われている。また、金属製などのカセットでは、ウエハにナトリウムなどが付着して拡散してしまうことが懸念されるため、石英などのボートにウエハを移載し、石英ボートとともにウエハを高温拡散炉内に搬入することによって拡散処理が行われている。
【０００４】
ところで、複数枚のウエハが収容された石英ボートは、図８に示すようなウエハ搬送装置によって高温拡散炉の近傍まで搬送される。上記ウエハ搬送装置１は、装置本体１０からＹ軸方向に突出する長手状とされているとともにＸ軸方向およびＺ軸方向に移動可能とされたエレベーションアーム２と、このエレベーションアーム２の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結される一対のハンド３，４と、を備えている。これらのハンド３，４は、上記エレベーションアーム２からＸ軸方向に突出するようにしてそれぞれ連結されており、その先端部には石英製の保持部３０，４０がそれぞれ設けられている。これらの保持部３０，４０の上面には、Ｘ軸方向に延びるとともに下方に凹入した溝部３１，４１が形成されている。すなわち、これらの溝部３１，４１に上記石英ボート５の設けられた把手５０を保持して上記石英ボート５を上記各ハンド３，５間に橋渡すような恰好とし、この状態において上記石英ボート５が搬送される。
【０００５】
上述したように、上記石英ボート５には、カセットに収容されたウエハ１１が移載されるが、ウエハの移載は、たとえばウエハを挟持できるハンドを有する移載装置（図示略）などによって自動的に行われる。このため、移載装置によってカセットから石英ボート５にウエハ１１を移載できるようにするためには、所定の場所に石英ボート５およびカセットをそれぞれ位置決めした状態で置いておく必要がある。通常、拡散処理を施すべきウエハ１１が収容されたカセットは、たとえば上記移載装置に隣接する棚などに板状のトレイなどに載置された状態で収納されている。このため、棚などからトレイとともにカセットを取り出し、これを所定の場所に位置決めして置く必要がある。
【０００６】
このような作業は、作業者の手作業によって行われ、あるいは所定の装置によって自動的に行われる。しかしながら、人力では、作業効率が極めて悪い一方、所定の装置を用いれば作業効率は改善されるが、上記したウエハ搬送装置とは異なる新たな装置を必要とすることから、コスト的に不利である。
【０００７】
本願発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、作業効率の改善を図るとともに、コスト的に有利にウエハを搬送できるようにすることをその課題としている。
【０００８】
【発明の開示】
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
【０００９】
すなわち、本願発明により提供されるウエハ搬送装置は、装置本体からＹ軸方向に突出する長手状とされているとともに、少なくともＸ軸方向およびＺ軸方向に移動可能とされたエレベーションアームと、このエレベーションアームの長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備えたウエハ搬送装置であって、上記第１ハンドおよび第２ハンドには、複数枚のウエハが収容された石英ボートが上記各ハンド間を橋渡すようにして吊支される石英ボート吊支部がそれぞれ設けられているとともに、複数枚のウエハが収容されたカセットが載置されたカセットトレイを上記各ハンド間を橋渡すようにして載置するトレイ載置部がそれぞれ設けられていることを特徴としている。
【００１０】
上記構成では、従来と同様に上記各ハンドの石英ボート吊支部間に石英ボートを橋渡すような状態として石英ボートの搬送が可能である。しかも、上記各ハンドには、トレイ載置部がそれぞれ設けられていることから、これらのトレイ載置部間を橋渡すようにして上記トレイを載置することによってトレイの搬送を行うこともできる。上述したように、上記カセットは、上記トレイに載置された状態で棚などに収容されていることがあることから、この場合には上記ウエハ搬送装置によってトレイに載置されたカセットを取り出して搬送することができる。
【００１１】
このように、上記ウエハ搬送装置では、石英ボートばかりでなくカセットの搬送も行うことができる。このため、棚などに収納されたカセットを人力によって取り出すまでもなく自動的に行うことができ、作業効率の改善を図ることができる。また、高温拡散炉などの近傍に石英ボートを搬送する装置によって棚などからのカセットの取り出し・搬送を行うことができるため、棚などからカセットを取り出して搬送するための装置を別途設けるまでもない。このため、上記ウエハ搬送装置では、製造コストの低減を図ることができる。
【００１２】
本願発明の好ましい実施の形態においては、上記第１ハンドおよび第２ハンドは、Ｌ字状、Ｖ字状またはＵ字状とされているとともに、Ｚ軸周りに回転可能とされており、また、上記各ハンドの石英ボート吊支部がそれぞれ上記エレベーションアームからＸ軸方向に突出させられ、これらの石英ボート吊支部によって上記石英ボートが吊支されて上記石英ボートとともにウエハを搬送する状態と、上記各ハンドのトレイ載置部が上記エレベーションアームからそれぞれＸ軸方向に突出させられ、これらのトレイ載置部によって上記トレイが載置されて上記トレイとともにウエハを搬送する状態とを選択可能なように構成することもできる。
【００１３】
上記構成では、上記各ハンドが回転可能なＬ字状、Ｖ字状またはＵ字状とされているため、上記各ハンドを回転させるだけで、上記各ハンドの石英ボート吊支部がそれぞれ上記エレベーションアームからＸ軸方向に突出した状態と、上記各トレイ載置部が上記エレベーションアームからそれぞれＸ軸方向に突出した状態とを選択することができる。
【００１４】
また、上記各ハンドがＬ字状、Ｖ字状またはＵ字状とされていることから、上記各石英ボート吊支部を上記エレベーションアームから突出させた状態では、平面視において上記各トレイ載置部が上記エレベーションアームの下部に隠された恰好とされる。一方、上記各トレイ載置部が突出した状態では、上記各石英ボート吊支部が上記エレベーションアームに隠された恰好とされる。このように、上記ウエハ搬送装置では、上記各ハンドの石英ボート吊支部およびトレイ載置部の両方が上記エレベーションアームの両側部から突出するといった状態とはならず、使用をする一方のみが突出する状態とされる。
【００１５】
このため、上記ウエハ搬送装置では、使用時における上記エレベーションアームからＸ軸方向に突出する部分を最小限とすることができ、上記ウエハ搬送装置周りのスペース効率を改善することができる。すなわち、たとえば上記石英ボートを所定の場所から取り上げたり、あるいは所定の場所に置いたりする場合を考えれば、使用していないハンドの部分が上記カセット、カセットが収納された棚、あるいは高温拡散炉に石英ボートを搬入するためのアームなどに干渉しないようにするために、カセットや棚などを大きく離間させる必要はない。また、上記ウエハ搬送装置の周りのスペース効率を改善できることから、上記エレベーションアームの移動させるべき距離も小さく設定することができる。このため、上記ウエハ搬送装置の小型化を実現することができる。
【００１６】
本願発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【００１８】
図１は本願発明に係るウエハ搬送装置の一例を表す斜視図であり、図２は上記ウエハ搬送装置の平面図であり、図３（ａ）および（ｂ）は上記ウエハ搬送装置の動作を説明するための要部斜視図である。なお、本実施形態を説明するために参照する図面においては、従来例を説明するために参照した図面に描かれている部材や要素などと同等のものには同一の符号を付してある。
【００１９】
図１に示すように、上記ウエハ搬送装置１は、装置本体１０からＹ軸方向に突出する長手状とされたエレベーションアーム２と、このエレベーションアーム２の長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結される第１ハンド３および第２ハンド４と、を備えて大略構成されている。そして、図２に良く表れているように、上記ウエハ搬送装置１では、上記各ハンド３，４間に石英ボート５を吊支した状態と、カセットトレイ６を載置した状態とを選択できるようになされている。
【００２０】
図１に良く表れているように、上記エレベーションアーム２は、上記装置本体１０に対してＺ軸方向にスライド移動可能とされたスライダ１２に、Ｘ軸方向にスライド移動可能に連結されている。すなわち、上記エレベーションアーム２は、上記装置本体１０に対してＸ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれに移動可能とされている。
【００２１】
図１および図２に良く表れているように、上記第１ハンド３は、石英ボート吊支部３２およびトレイ載置部３３を有するＬ字状とされており、そのコーナ部を中心としてＺ軸周りに回転可能に上記エレベーションアーム２に連結されている。
【００２２】
上記石英ボート吊支部３２には、石英製などの保持部材３０が取り付けられている。この保持部材３０には、上記石英ボート吊支部３２の長手方向に延びるとともに下方に凹入した溝部３１が形成されており、この溝部３１に石英ボート５に設けられた把手５０が保持される。一方、上記トレイ載置部３３には、上記カセットトレイ６に形成された位置決め穴６１に嵌め込まれる位置決めピン３４が形成されている。
【００２３】
図２および図３に示すように、上記第１ハンド３は、第１回転機構７によってＺ軸周りに回転可能とされている。図３（ａ）および（ｂ）に良く表れているように、上記第１回転機構７は、上記エレベーションアーム２の先端部においてＺ軸周りに回転可能に挿通保持された第１回転軸７０と、この第１回転軸７０の上端部にその一端部が一体的に連結された長円形状の第１回動部材７１と、この第１回動部材７１の他端部に設けられた軸部７１ａに対して回動可能に連結されるとともにシリンダ７２内を摺動してＹ軸方向に伸縮可能とされたピストン７３と、このピストン７３を伸縮させる駆動源（図示略）と、を有して構成されている。
【００２４】
上記第１回転機構７では、上記回転軸７０の下端部が上記第１ハンド３のコーナ部において一体的に連結されており、上記第１ハンド３が上記第１回転軸７０と一体的に回転するようになされている。すなわち、上記第１回転軸７０は、上記第１回動部材７１と一体化されていることから、ピストン７３を伸縮させて上記第１回動部材７１を回動させれば上記第１回転軸７０が回転し、結局、上記第１ハンド３が回転させられるようになされている。なお、本実施形態では、ピストン７３が縮められた場合には、図３（ａ）に示すような上記トレイ載置部３３が上記エレベーションアーム２からＸ軸の正方向に突出した状態とされ、ピストン７３が伸ばされた場合には、図３（ｂ）に示すような上記石英ボート吊支部３２が上記エレベーションアーム２からＸ軸の負方向に突出した状態とされるようになされている。
【００２５】
図１および図２に良く表れているように、上記第２ハンド４は、上記第１ハンド３と同様に石英ボート吊支部４２およびトレイ載置部４３を有するＬ字状とされている。そして、上記第２ハンド４では、上記第１ハンド３における石英ボート吊支部３２に対応する部分がトレイ載置部４３とされている一方、石英トレイ載置部３３に対応する部分がボート吊支部４２とされている。すなわち、上記第１ハンド３と上記第２ハンド４とは、平面視において対象なものとされている。もちろん、上記石英ボート吊支部４２には溝部４１が形成された保持部材４０が取り付けられており、上記トレイ載置部４３には位置決めピン４４が形成されている。
【００２６】
また、上記第１ハンド３は、上記第１回転機構７と同様な構成を有する第２回転機構８によってＺ軸周りを回転可能とされている。すなわち、上記第２回転機構８は、ピストン８３の伸縮によって回動させられる第２回動部材８１を有しており、上記第２ハンド４は上記第２回動部材８１と第２回転軸８０を介して連結されて上記第２回動部材８１によって回転させられるようになされている。
【００２７】
図２に良く表れているように、上記構成のウエハ搬送装置１では、上記各ピストン７３，８３の伸縮によって各ハンド３，４が回転させられて、上記各ハンド３，４の石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベーションアーム２からＸ軸方向に突出する状態と、上記各トレイ載置部３３，４３が突出する状態を選択できるようになされている。なお、図２に良く表れているように、上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベーションアーム２から突出する状態では、上記各トレイ載置部３３，４３が上記エレベーションアーム２の下部に隠された恰好とされおり、上記各トレイ載置部３３，４３が上記エレベーションアーム２から突出する状態では、上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベーションアーム２の下部に隠された恰好とされている。
【００２８】
上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベーションアーム２からそれぞれＸ軸方向に突出する状態では、上記石英ボート５の両端部に設けられた把手５０，５０が、それぞれ上記各石英ボート吊支部３２，４２の保持部材３０，４０に保持され、上記各石英ボート吊支部３２，４２間を上記石英ボート５が橋渡すようにして吊支した恰好で上記石英ボート５が搬送される。このとき、上記石英ボート５内にウエハ１１が収容されていれば、ウエハ１１が搬送されることになる。一方、上記各トレイ載置部４３が突出した状態では、上記位置決めピン３４，４４がカセットトレイ６の両端部に形成された位置決め穴６１，６１に嵌め込まれ、上記各トレイ載置部３３，４３の間に上記カセットトレイ６を橋渡すようにして載置した恰好で上記カセットトレイ６が搬送される。
【００２９】
次に、上記ウエハ搬送装置１の使用状態を図４ないし図７を参照しつつ説明する。なお、図４は上記ウエハ搬送装置の周りのレイアウトを表す図であり、図５は上記ウエハ搬送装置によってカセットトレイを持ち上げる状態を説明するための図であり、図６は上記ウエハ搬送装置によって石英ボートを持ち上げる状態を説明するための図であり、図７は上記ウエハ搬送装置による搬送対象の切り替えを説明するための図であって、図４の矢印Ａ方向に見た状態に相当する図である。
【００３０】
本実施形態における上記ウエハ搬送装置１は、棚８に収納されたカセット６０を取り出すとともに、カセット６０からウエハ１１が移載された石英ボート５を高温拡散炉９の近傍に配置された板状アーム部材９０にまで搬送する装置である（図４参照）。なお、上記板状アーム部材９０に載置された石英ボート５は、上記板状アーム部材９０のＹ軸方向への移動によって上記高温拡散炉９内に搬入され、また拡散処理が終了すれば搬出されるようになされている。
【００３１】
上記カセット６０には、複数枚のウエハ１１が収容されており、計３個のカセット６０が一組とされ、これらのカセット６０がカセットトレイ６に載置された状態で棚８に収納されている。図５に示すように、上記カセットトレイ６は、１対のけた６２，６２間を橋渡すような恰好で収納されている。すなわち、上記カセットトレイ６の下部には空間６５が形成されている。この空間６５の上下寸法は、上記各ハンド３，４のトレイ載置部３３，４３が差し込めるように、上記各トレイ載置部３３，４３の上下寸法（位置決めピン３４，４４の寸法を含む）よりも大きく設定されている。すなわち、上記各けた６２，６２の上下寸法は、各トレイ載置部３３，４３の上下寸法に応じて設定される。なお、上記各けた６２，６２は、棚８に設けられていていもよく、また上記カセットトレイ６に一体的に取り付けられていてもよい。
【００３２】
上記カセットトレイ６は、上記ウエハ搬送装置１によって以下のようにして棚８から取り出される。まず、上記ウエハ搬送装置１の各ハンド３，４の各トレイ載置部３３，４３を上記エレベーションアーム２からＹ軸の正方向に突出した恰好としておく。この状態は、上記第１および第２回転機構７，８によって上記各ハンド３，４を回転させることによって選択される。
【００３３】
つぎに、上記下部空間６５が形成された領域のＺ軸方向の高さに応じて上記スライダ１２をＺ軸方向に移動させて上記エレベーションアーム２をＺ軸方向に移動させるとともに、上記エレベーションアーム２をＸ軸の正方向に移動させることによって上記各トレイ載置部３３，４３を上記下部空間６５に差し込む。このとき、上記各トレイ載置部３３，４３に形成された位置決めピン３４，４４が上記カセットトレイ６の形成された位置決め穴６１，６１に対応した部位にとなるように上記エレベーションアーム２をＸ軸の正方向に移動させて図５に実線で示した状態とする。
【００３４】
そして、上記エレベーションアーム２をＺ軸の正方向に移動させることによって、上記位置決めピン３４，４４を上記位置決め穴６１，６１に係合しつつ上記カセットトレイ６を所定の高さまで持ち上げる。この状態において上記エレベーションアーム２をＸ軸の負方向に移動させれば、上記カセットトレイ６が棚から取り出される。
【００３５】
このようにして取り出されたカセットトレイ６は、上記エレベーションアーム２のＺ軸の負方向に移動させることによって棚８に隣接する所定の部位に載置される（図４および図７参照）。この状態においても、けた６３，６３によって上記カセットトレイ６の下部に空間が形成されるようにする。
【００３６】
上記ウエハ搬送装置１においては、上記各トレイ載置部３３，４３が上記エレベーションアーム２から突出した状態では、上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベーションアーム２の下部に隠された恰好とされているので、上記各ハンド３，４における使用していない部分（石英ボート吊支部３２，４２）が上記石英ボート５など干渉することを懸念する必要はない。このため、上記石英ボート５に極めて近接した部位に上記カセットトレイ６を配置することができ、上記ウエハ搬送装置１の周りのスペース効率が改善される。これにともない、上記ウエハ搬送装置１のエレベーションアーム２を移動させるべき距離を小さくすることができるため、上記ウエハ搬送装置１の小型化を実現することができる。
【００３７】
上述したように、上記カセットトレイ６には、複数枚のウエハ１１が収容されたカセット６０が載置されており、これらのカセット６０に収容されたウエハ１１は、上記カセットトレイ６に隣接して配置された石英ボート５に移載される。なお、ウエハ１１の移載は、図示されていない所定の装置によって行われる。この装置としては、たとえばウエハ１１を挟持可能なクランプを有するものなどが採用される。
【００３８】
図７に良く表れているように、上記カセット６０から上記石英ボート５にウエハ１１が移載されている間に、上記各ハンド３，４をＺ軸周りに回転させ、上記各石英ボート吊支部３２，４２が上記エレベーションアーム２からＸ軸の負方向に突出した状態とする。このとき、上記各石英ボート吊支部３２，４２の保持部材３０，４０が上記石英ボート５の各把手５０，５０と対応するように上記石英ボート５を配置しておくことが望ましい。すなわち、図６および図７に示すように、上記各ハンド３，４を回転させれば、上記各保持部３０，４０が上記各把手５０，５０の下方位置になるように上記石英ボート５を配置し、上記エレベーションアーム２をＺ軸の正方向に移動させれば上記各ハンド３，４によって上記石英ボート５が持ち上げれるようにしておくことが望ましい。
【００３９】
ウエハ１１が移載された石英ボート５は、上記ウエハ搬送装置１によって上記高温拡散炉９の近傍にまで搬送され、高温拡散炉９の近傍に配置された板状アーム部材９０上に載置される。具体的には、図７および図８に良く表れているように、上記エレベーションアーム２をＺ軸の正方向に移動させて上記石英ボート５を持ち上げ、上記エレベーションアーム２をＸ軸の負方向に移動させるとともに、さらに上記エレベーションアーム２をＺ軸の負方向に移動させることによって上記石英ボート５が上記板状アーム部材９０上に載置される。
【００４０】
このように、上記ウエハ搬送装置１では、石英ボート５ばかりでなくカセット６０の搬送も行うことができる。このため、棚８に収納されたカセット６０を人力によって取り出すまでもなく自動的に行うことができ、作業効率の改善を図ることができる。また、高温拡散炉９などの近傍に石英ボート５を搬送する装置１によって棚８からのカセットの取り出し・搬送を行うことができるため、棚などからカセット６０を取り出して搬送するための装置を別途設けるまでもない。このため、上記ウエハ搬送装置１では、製造コストの低減を図ることができる。
【００４１】
上記板状アーム部材９０に載置された石英ボート５は、上記板状アーム部材９０の移動により高温拡散炉９内に搬入されて、ウエハ１１に拡散処理が施される。一方、ウエハ１１の拡散処理が行われている間に、ウエハ１１が移載されて空になったカセット６０を上記エレベーションアーム２を適宜移動させて取り除くとともに空の石英ボート５を新たに配置して、棚８に収容されたカセット６０を取り出して上記石英ボート５にウエハ１１を移載できる状態としておく。
【００４２】
なお、拡散処理が終了したウエハ１１は、石英ボート５からカセット６０に移載されて次の工程を行うべき場所に搬送される。このときに使用するカセット６０としては、先の空にされたカセット６０であってもよく、新たにカセット６０を用意してもよい。
【００４３】
もちろん、本願発明は上述した実施形態には限定されず様々に設計変更可能である。たとえば、上記各ハンド３，４は、本実施形態ではＬ字状とされていたが、これには限定されず、石英ボート吊支部３２，４２およびトレイ載置部３３，４３が形成されているものであればよい。すなわち、上記各ハンド３，４は、Ｖ字状であってもよく、その他の形状であってもよい。
【００４４】
また、上記各ハンド３，４を回転させる機構も適宜変更可能である。たとえば、所定の回転力を上記各ハンド３，４に伝達して上記各ハンド３，４を回転させるように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明に係るウエハ搬送装置の一例を表す斜視図である。
【図２】上記ウエハ搬送装置の平面図である。
【図３】上記ウエハ搬送装置の動作を説明するための要部斜視図である。
【図４】上記ウエハ搬送装置の周りのレイアウトを表す図である。
【図５】上記ウエハ搬送装置によってカセットトレイを持ち上げる状態を説明するための図である。
【図６】上記ウエハ搬送装置によって石英ボートを持ち上げる状態を説明するための図である。
【図７】上記ウエハ搬送装置による搬送対象の切り替えを説明するための図であり、図４の矢印Ａ方向に見た状態に相当する図である。
【図８】従来のウエハ搬送装置の一例を表す斜視図である。
【符号の説明】
１ ウエハ搬送装置
２ エレベーションアーム
３ 第１ハンド
４ 第２ハンド
５ 石英ボート
６ カセット
１０ 装置本体
１１ ウエハ
３０ 石英ボート吊支部（第１ハンドの）
３２ トレイ載置部（第１ハンドの）
４０ 石英ボート吊支部（第２ハンドの）
４２ トレイ載置部（第２ハンドの）

Claims (3)

1. 装置本体からＹ軸方向に突出する長手状とされているとともに、少なくともＸ軸方向およびＺ軸方向に移動可能とされたエレベーションアームと、このエレベーションアームの長手方向に一定距離隔ててそれぞれ連結される第１ハンドおよび第２ハンドと、を備えたウエハ搬送装置であって、
   上記第１ハンドおよび第２ハンドには、複数枚のウエハが収容された石英ボートが上記各ハンド間を橋渡すようにして吊支される石英ボート吊支部がそれぞれ設けられているとともに、複数枚のウエハが収容されたカセットが載置されたカセットトレイを上記各ハンド間を橋渡すようにして載置するトレイ載置部がそれぞれ設けられていることを特徴とする、ウエハ搬送装置。
2. 上記第１ハンドおよび第２ハンドは、Ｌ字状、Ｖ字状またはＵ字状とされているとともに、Ｚ軸周りに回転可能とされている、請求項１に記載のウエハ搬送装置。
3. 上記各ハンドの石英ボート吊支部がそれぞれ上記エレベーションアームからＸ軸方向に突出させられ、これらの石英ボート吊支部によって上記石英ボートが吊支されて上記石英ボートとともにウエハを搬送する状態と、上記各ハンドのトレイ載置部が上記エレベーションアームからそれぞれＸ軸方向に突出させられ、これらのトレイ載置部によって上記トレイが載置されて上記トレイとともにウエハを搬送する状態とを選択可能とされている、請求項２に記載のウエハ搬送装置。

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