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JP3843983B2 - 圧電振動子 - Google Patents

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Description

本発明は、圧電振動子に係り、特にパッケージの底部外面に4つの外部電極が設けられた圧電振動子と、これを利用した圧電発振器に関する。
圧電振動子は、通信機や電子計算機などをはじめとして各種の電子機器に広く用いられている。圧電振動子は、一般に水晶などの圧電材料からなる圧電振動片をパッケージ内に収容した構造をなしている。そして、圧電振動子は、電子機器の小型化、薄型化に対応して小型、薄型化が進められ、近年、表面実装型が普及している。この表面実装型の圧電振動子は、セラミックなどからなる絶縁性のパッケージの底部外面に、電子機器の基板に設けたパターンに接合する外部電極を備えている。
従来、表面実装型の圧電振動子(以下、単に圧電振動子という)は、圧電振動片に設ける一対の接続電極を、圧電振動片の長手方向一側に形成し、圧電振動片を片持ち梁状にパッケージ内に実装している。そして、圧電振動子は、基板に実装したときに、実装による電気的な方向性が生じないように、パッケージの長手方向両端部に外部電極を形成し、これらの外部電極に圧電振動片の接続電極を電気的に接続するようにしている(例えば、特許文献1)。また、従来の圧電振動子として、パッケージの底部外面の四隅のそれぞれに外部電極を形成し、底部外面の対角線上に位置する一対の外部電極のそれぞれに、圧電振動片の接続電極を電気的に接続したものもある(特許文献2)。この4つの外部電極は、4つの外部電極を基板に設けたパターンに接合することにより、基板への実装強度を向上させ、またパッケージの蓋体が金属である場合に、圧電振動片を接続していない他の一対の外部電極を基板のグランドに接続するとともに、蓋体に電気的に接続してパッケージ内を電磁的にシールドするようにしている。
図10は、従来の外部電極を4つ設けた圧電振動子を示す図であって、(1)は蓋体を省略した平面図であり、(2)は(1)のB−B線に沿った蓋体を有する状態の断面図、(3)は底面図である。
図10(1)に示したように、圧電振動子10は、パッケージ12の内部に圧電振動片14が収容してある。圧電振動片14は、例えばATカット水晶板などの圧電材料からなり、上下面の中央部に励振電極16a、16b(励振電極16bは図示せず)が設けてある。また、圧電振動片14は、長手方向の一側に一対の接続電極18(18a、18b)を有する。各接続電極18は、圧電振動片14の上下の面に連続させて形成してあって、対応する励振電極16(16a、16b)に電気的に接続してあって、上下面の各電極が対称に形成してある。
パッケージ12の内部には、接続電極18に対応して一対のマウント電極20(20a、20b)が設けてある。これらのマウント電極20には、図10(2)に示したように、対応する接続電極18が導電性接着剤22によって固着される。圧電振動子10は、パッケージ12の底部外面の四隅部のそれぞれに外部電極24(24a〜24d)を有する。そして、パッケージ12内の一方のマウント電極20aは、図示しないスルーホールなどを介して外部電極24aに電気的に接続してある。また、他方のマウント電極20bは、図10(1)に示した接続配線部26を介して外部電極24cに電気的に接続してある(図10(3)参照)。すなわち、圧電振動片14の一対の電極は、パッケージ12の対角線上に位置する一対の外部電極24a、24cに電気的に接続される。そして、他の一対の外部電極24b、24cは、基板のグランドに接続するとともに、蓋体に電気的に接続してパッケージ内を電磁的にシールドするようにしている。圧電振動子10は、図10(2)に示したように、パッケージ12の上端を蓋体28によって封止してある。
特開平7−74581号公報 特開平11−214950号公報
上記の圧電振動子10は、各外部電極24が図11に模式的に示したように、基板に設けたパターン(2つは図示せず)32に接合される。そして、圧電振動子10は、パッケ―ジ12の内部に実装した圧電振動片14の一対の接続電極18が、外部電極24、パタ―ン32を介して基板に設けた発振回路を構成しているIC30に電気的に接続される。
上記したように、従来の4つの外部電極24を有する圧電振動子10は、対角線上にある一対の外部電極24a、24cに、圧電振動片14の各接続電極18を接続するようになっている。このため、圧電振動子10をIC30に接続する場合、一方の接続電極18aを接続した外部電極24aはIC30の近くに配設することが可能である。しかし、他方の接続電極18bを接続した外部電極24cは、IC30から遠い位置に配置せざるを得ない。したがって、IC30と他方の外部電極24cを電気的に接続するための配線パターン34を圧電振動子10に沿って形成する必要がある。このため、圧電振動子10の小型化を行なったとしても、配線パターン34の存在によって実質的な実装面積を小さくすることが困難で、電子機器の小型化の障害となる。また、圧電振動子10の近くに配線パターン34を引き回すことによって、圧電振動子10の寄生容量が増大する。
また、近年は、実装技術が向上するとともに、電子機器の高性能化に伴って、圧電振動子を基板に実装する場合、圧電振動子の向きを一定にして実装するようになっている。そして、圧電振動子を出荷する場合、圧電振動子の向きを揃えて出荷している。このため、近年は、圧電振動子を実装したときの電気的な方向性に対する配慮が緩和されている。
本発明は、上記の実情に鑑みてなされたもので、実質的な実装面積を小さくすることを目的としている。
上記の目的は、第1の発明によれば、圧電振動片を収容したパッケージの底部外面に、基板側のパターンに接合する4つ以上の外部電極が設けられた圧電振動子において、前記各外部電極のうちの隣接する一対を前記圧電振動片の電極に電気的に接続し、他方の一対の外部電極の少なくともひとつの外部電極を異形に形成するとともに前記パッケージの外縁に沿った位置にのみ形成し、前記他方の一対の外部電極の前記少なくともひとつの外部電極の近傍に、電気的には接続されないダミー端子である外部電極が設けてある圧電振動子により、達成される。
第1の発明の構成によれば、圧電振動片の一対の接続電極を接続する外部電極を、4つ以上設けられた外部電極のうちの隣接する外部電極としたことにより、これらの一対の外部電極を基板に設けたICの近くに配置することができる。したがって、基板のICと圧電振動子の外部電極とを電気的に接続するために、圧電振動片に沿って配線パターンを形成する必要がなく、圧電振動子の実質的な実装面積を小さくすることができ、電子機器の小型化に対応することができる。また、圧電振動子に沿って配線パターンを設ける必要がないため、圧電振動子の寄生容量を小さくすることができ、発振特性を改善することができる。また、前記一対の外部電極と、前記他方の外部電極とが外形により区別されるので、実装の際の方向性に関して、明確な手がかりを与えることができる。また、前記外部電極が前記パッケージの外縁に沿った位置にのみ形成されていると、パッケージの底面に発振回路素子などを実装しようとする場合などにおいて、不要な短絡などを生じることなく、実装のためのスペースもより広く確保できる利点がある。更にまた、前記他方の一対の外部電極の少なくともひとつの外部電極の近傍に、電気的には接続されないダミー端子である外部電極が設けてあると、不要な短絡などを生じることなく、圧電振動子を実装する際の実装強度を確保することができる。
本発明に係る圧電振動子の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図1は、本発明に係る圧電振動子の説明図であって、(1)は蓋体を省略した平面図であり、(2)は(1)のA−A線に沿った蓋体を有する状態の断面図であり、(3)は底面図である。図1において、圧電振動子40は、パッケージ42の内部に圧電振動片44を収容した構造をなしている。パッケージ42は、図1(2)に示したように、パッケージ本体46と蓋体48とを有する。パッケージ本体46は、底部を形成する平板状のベースシート50と、このベースシート50の上に積層した枠状シート52とから構成した2層構造となっている。ベースシート50と枠状シート52とは、絶縁体からなり、実施形態の場合、セラミックによって形成してある。そして、パッケージ42は、パッケージ本体46の上面に、金属封止リング54などを介して蓋体48が接合され、内部が気密に封止される。蓋体48は、セラミックやガラス板などの絶縁体、または金属板によって形成してある。
パッケージ42の内部に収容した圧電振動片44は、水晶のATカット板などの圧電材料によって形成してある。この圧電振動片44は、図1(1)に示したように、上下両面の中央部に励振電極56a、56b(下面側の励振電極56bは、図示せず)が形成してある。また、圧電振動片44は、長手方向の一側に一対の接続電極58(58a、58b)を有する。これらの接続電極58は、圧電振動片44の上下面に連続させて形成してある。そして、圧電振動片44は、上下面の各電極が対称に形成してあって、上面側の励振電極56aが一方の接続電極58aに接続してあり、下面側の励振電極56bが他方の接続電極58bに接続してある。
パッケージ42は、内部となるベースシート50の上面に一対のマウント電極60(60a、60b)が設けてある。これらのマウント電極60は、圧電振動片44の接続電極58に対応していて、パッケージ42の長手方向一側に設けてある。そして、圧電振動片44は、図1(2)に示したように、各接続電極58が導電性接着剤62により対応するマウント電極60に接合されることにより、パッケージ42の内部に実装される。
一方、パッケージ42の底部外面となるベースシート50の下面には、パッケージ42の四隅部のそれぞれに、基板に形成したパターンに接合させる外部電極64(64a〜64d)が設けてある。そして、実施形態の場合、4つの外部電極64のうち、隣接する一対の外部電極64が圧電振動片44に設けた一対の接続電極58に電気的に接続するようになっていて、パッケージの蓋体が金属である場合には、圧電振動片を接続していない他の一対の外部電極のうち少なくとも一方を基板のグランドに接続するとともに、蓋体に電気的に接続してパッケージ内を電磁的にシールドするようにしている。
すなわち、実施形態の場合、パッケージ42の長手方向一側の短片に沿って設けた一対の外部電極64a、64bが接続電極58に電気的に接続される。これらの外部電極64a、64bは、マウント電極60a、60bと対応した位置に形成され、図示しないスル―ホールなどを介して対応するマウント電極60に電気的に接続してある。
このようになっている実施形態の圧電振動子40は、図2に模式的に示したように、各外部電極64のそれぞれが、図示しない基板に設けたパターン32(32a〜32d)に接合される。そして、実施形態の圧電振動子40は、パッケージ42の短辺に沿って設けた隣接する一対の外部電極64a、64bに、マウント電極60を介して圧電振動片44に設けた一対の接続電極58が電気的に接続してある。したがって、圧電振動子40の圧電振動片44を基板に設けた発振回路用のIC30に接続する場合、接続電極58に電気的に接続してある外部電極64a、64bを、IC30に近接して設けたパターン32a、32bに接合すればよい。このため、実施形態の圧電振動子40は、圧電振動子40に沿った配線パターンを設ける必要がなく、圧電振動子40とIC30とを接続する配線パターン66(66a、66b)を短くすることができ、圧電振動子40の実質的な実装面積を小さくすることができる。また、圧電振動子40は、圧電振動子40に沿った配線パターンを必要としないため、圧電振動子40を基板に実装した際の寄生容量を小さくすることが可能で、振動特性を向上することができる。
また、実施形態の圧電振動子40は、パッケージ42の底部外面に4つの外部電極64を有するため、これらの外部電極64を基板に設けたパターン32に接合することにより、実装強度を向上することができる。そして、圧電振動子40の蓋体48を金属によって形成した場合、外部電極64c、64dのうち少なくとも一方を蓋体に電気的に接続するとともに、基板のグランドに接続することが望ましい。これにより、蓋体が電磁シールドとして作用し、圧電振動子40の外部のノイズに起因する発振周波数の変動を抑制することができる。
図3と図4は、上述の実施形態に関する変形例をそれぞれ示しており、図3は変形例1,図4は変形例2について、それぞれ図1(3)に対応する箇所を示している。
図3の変形例1では、外部電極64d−1と外部電極64c−1がともにグランド端子(G)とされており、圧電振動子40の蓋体48を金属によって形成して、これら外部電極64d−1と外部電極64c−1を蓋体48に電気的に接続するとともに、実装基板のグランドに接続するようにしたものである。
図4の変形例2では、外部電極64c−1がグランド端子とされており、圧電振動子40の蓋体48を金属によって形成して、この外部電極64c−1を蓋体48に電気的に接続しているが、外部電極64d−2は、蓋体48には電気的に接続されていない構成とされたダミー端子(NC)となっている。
図5は、図10(3)で説明した従来の圧電振動子10を実装するための実装基板K1を模式的に示しており、従来の実装基板K1では、圧電振動片と接続される給電用の端子が、基板表面において、図示するように対角線上に位置して設けられている。これに対して、図6は本発明の実施形態の圧電振動子40を実装するために用意される実装基板K2を示しており、図示するように左側に並んだ一対の端子が圧電振動片への給電用の端子とされている。このような実装基板K2上に、本発明の実施形態の圧電振動子40が実装される様子が図2の模式図に対応している。
以上のような圧電振動子と実装基板の構造上の対応を前提として、図4の変形例2は、変形例3に対して、次のような点で、より有利な場合がある。
変形例1の圧電振動子40−1は、これを誤って従来の実装基板K1に実装してしまうと、実装基板K1の給電用の端子(X)のひとつと、圧電振動子40−1の外部電極64d−1が接続されてしまう。この外部電極64d−1は、本来グランド端子であるが、金属製の蓋体48と接続されている。このため、図1(2)のパッケージ42の内部では、金属製の蓋体48と圧電振動片44とは近接して位置していることから、電気的に短絡が生じ、誤動作が生じることがある。
これに対して、図4の変形例2の圧電振動子40−2を従来の実装基板K1に誤って実装された場合においても、実装基板K1の一方の給電用の端子に接続される外部電極64d−2は、ダミー端子であるから、上述のような短絡を生じるおそれがない。
図7は、変形例3を示している。図7の圧電振動子40−3では、ひとつの外部電極64c−3が、他の外部電極の形状と外観的に異なる形状として、異形に形成されている。すなわち、外部電極64c−3は、例えば、この場合、パッケージ42の外縁に沿って、細いパターンがほぼ英文字のL字形状、もしくはカギ形になるような形状とされている。また、外部電極64d−1は、実線であらわされているように、他の外部電極と同じ形状としてもよいし、点線で64d−2として示されているように、外部電極64c−3と同じ異形に形成されていてもよい。
この変形例3においては、ひとつの外部電極64c−3が異形に形成されていることから、圧電振動子40−3はその方向性に関して、外観的に区別できる手がかりを備えている。このため、図6で説明した実装基板K2に圧電振動子40−3を実装しようとする場合に、外部電極64c−3を外観的に容易に認識することができるから、この外部電極を誤って実装基板K2のXで示す給電端子側に接続することを有効に防止することができる。
図8は、変形例4を示している。図8の圧電振動子40−3では、ひとつの外部電極64c−3が、他の外部電極の形状と外観的に異なる形状として、異形に形成されている。と同時に、ダミー端子である外部電極64c−4も設けられている。また、外部電極64d−1は、実線であらわされているように、他の外部電極と同じ形状としてもよいし、点線で64d−2として示されているように、外部電極64c−3と同じ異形に形成されていてもよい。さらに、点線で64d−3として示されているように、外部端子64c−4と同様な形状に形成されていても良い。
この変形例4においては、外部端子64c−4が設けられているから、圧電振動子を実装する際の実装強度を確保することができる。また、外部端子64c−4はダミー端子であることから、不要な短絡などを生じることがない。
図9は、本発明の実施形態としての圧電発振器を示す概略断面図である。図において、圧電発振器70は、上述の実施形態の圧電振動子40またはその各変形例を利用して構成されている。つまり、圧電発振器70は、圧電振動子40―3の第1のパッケージ42の下に第2のパッケージ71を半田76により接合して構成されている。
圧電発振器70の第2のパッケージ71は、例えば、第1のパッケージ42と同様にセラミックなどの絶縁性材料を成形して形成されており、内側に内部空間S2を有している。
第2のパッケージ71の内側底部には、発振回路素子72をダイボンディングにより取り付けるようにされている。この発振回路素子72は、例えば、集積回路(IC)により、形成されており、第2のパッケージ71の底面に設けられた実装端子73,74に対して、接続されているとともに、圧電振動子40―3の外部電極64a等を介して、圧電振動片44と電気的に接続されている。そして、発振回路素子72は、ボンディングワイヤ75により、第2のパッケージ71内の導電パターンとワイヤボンディングにより接続されている。すなわち、第2のパッケージ71内に導電スルーホール等を形成して点線で示すように、導電パターンを引き回したり、あるいは、図1(1)のパッケージ42の四隅に1/4円として表れているキャスタレーション部の外面に導電ペーストを塗布して形成した導電パターンなどにより、このような電気的接続がなされている。
ここで、圧電振動子40−3の底面に外部電極は、図7で説明したように、少なくともひとつの外部電極64c−3が、第2のパッケージ71の外縁に沿った形状とされている。
このため、ボンディングワイヤが、圧電振動子40−3の底面に形成された外部電極と接触しにくくなっている。
このため、外部電極の少なくとも一部、好ましくは、複数の外部電極を、第2のパッケ―ジ71の外縁に沿った形状とすることで、ボンディングワイヤが外部電極と触れることを極力回避することができる。
なお、前記実施形態においては、圧電振動子40がATカット振動片である場合について説明したが、圧電振動片は逆メサ型ATカット圧電振動片や音叉型振動片などであってもよい。そして、前記実施形態においては、パッケージ42が2層構造である場合について説明したが、3層以上の層構造としてもよい。
実施の形態に係る圧電振動子の説明図である。 実施の形態に係る圧電振動子の実装状態を説明する模式図である。 実施の形態に係る圧電振動子の変形例1の概略底面図である。 実施の形態に係る圧電振動子の変形例2の概略底面図である。 従来の実装電極の表面部の模式図である。 実装電極の表面部の模式図である。 実施の形態に係る圧電振動子の変形例3の概略底面図である。 実施の形態に係る圧電振動子の変形例4の概略底面図である。 実施の形態に係る圧電発振器の概略断面図である。 従来の圧電振動子の説明図である。 従来の圧電振動子の実装状態を説明する模式図である。
符号の説明
30・・・IC、32a〜32d・・・パターン、40・・・圧電振動子、42・・・パッケージ、44・・・圧電振動片、46・・・パッケージ本体、48・・・蓋体、56a、56b・・・励振電極、58a、58b・・・接続電極、60a、60b・・・マウント電極、64a〜64d・・・外部電極。

Claims (1)

  1. 圧電振動片を収容したパッケージの底部外面に、基板側のパターンに接合する4つ以上の外部電極が設けられた圧電振動子において、
    前記各外部電極のうちの隣接する一対を前記圧電振動片の電極に電気的に接続し、
    他方の一対の外部電極の少なくともひとつの外部電極を異形に形成するとともに前記パッケージの外縁に沿った位置にのみ形成し、
    前記他方の一対の外部電極の前記少なくともひとつの外部電極の近傍に、電気的には接続されないダミー端子である外部電極が設けてあることを特徴とする圧電振動子。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4534032B2 (ja) * 2003-06-30 2010-09-01 並木精密宝石株式会社 多機能型振動アクチュエータの回路基板実装構造
JP4692722B2 (ja) * 2004-01-29 2011-06-01 セイコーエプソン株式会社 電子部品用パッケージおよび電子部品
US7990025B1 (en) * 2004-09-01 2011-08-02 Pablo Ferreiro Silicon package with embedded oscillator
JP2006245098A (ja) * 2005-03-01 2006-09-14 Seiko Epson Corp 電子部品及びその製造方法、並びに電子機器
JP2007006149A (ja) * 2005-06-23 2007-01-11 Hosiden Corp 電子部品
US7378780B2 (en) * 2005-11-09 2008-05-27 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Surface mount type crystal oscillator
US7602107B2 (en) * 2005-11-30 2009-10-13 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Surface mount type crystal oscillator
JP2009100353A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶デバイス
US7915791B2 (en) * 2007-10-18 2011-03-29 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Quartz crystal device accomodating crystal blanks of multiple shapes and sizes
JP2009141455A (ja) * 2007-12-04 2009-06-25 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶デバイス
JP4695636B2 (ja) * 2007-12-04 2011-06-08 日本電波工業株式会社 表面実装用の水晶振動子
JP5113818B2 (ja) * 2008-11-10 2013-01-09 日本電波工業株式会社 表面実装用の水晶発振器
JP4843012B2 (ja) * 2008-11-17 2011-12-21 日本電波工業株式会社 圧電デバイスとその製造方法
JP5362643B2 (ja) * 2009-06-30 2013-12-11 日本電波工業株式会社 積層型の水晶振動子
JP5058321B2 (ja) * 2009-11-11 2012-10-24 日本電波工業株式会社 表面実装水晶振動子及びその製造方法
JP5002696B2 (ja) * 2009-12-09 2012-08-15 日本電波工業株式会社 表面実装水晶振動子及びその製造方法
JP5120385B2 (ja) * 2010-01-08 2013-01-16 富士通株式会社 圧電振動子及び圧電発振器
CN102185580A (zh) * 2010-01-18 2011-09-14 精工爱普生株式会社 电子装置、基板的制造方法以及电子装置的制造方法
JP5452264B2 (ja) * 2010-02-05 2014-03-26 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動子及びこれを用いた発振器
JP4982602B2 (ja) * 2010-03-09 2012-07-25 日本電波工業株式会社 表面実装水晶振動子及びその製造方法
TWI466437B (zh) * 2010-03-29 2014-12-21 Kyocera Kinseki Corp Piezoelectric vibrator
JP5731880B2 (ja) * 2010-10-15 2015-06-10 日本電波工業株式会社 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法
JP2012169879A (ja) * 2011-02-15 2012-09-06 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電デバイス
JP2012209937A (ja) * 2011-03-15 2012-10-25 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電デバイス
JP6155551B2 (ja) * 2012-04-10 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器および電子デバイスの製造方法
WO2013190749A1 (ja) * 2012-06-19 2013-12-27 株式会社大真空 表面実装型圧電発振器
JP6248539B2 (ja) * 2013-10-28 2017-12-20 株式会社大真空 電子部品用パッケージのベース、電子部品用パッケージ
CN107615652B (zh) * 2015-05-27 2020-06-23 株式会社村田制作所 压电振动元件搭载用基板以及压电振子及其制造方法
EP3896847A4 (en) * 2018-12-14 2022-02-09 Daishinku Corporation PIEZOELECTRIC VIBRATION DEVICE

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US568585A (en) * 1896-09-29 Weighing-machine
DE9205955U1 (de) * 1992-05-02 1993-09-09 Wilkinson Sword Gmbh, 42659 Solingen Rasierapparatekopf, insbesondere Rasierklingeneinheit eines Naßrasierapparates
JPH0774581A (ja) 1993-08-30 1995-03-17 Daishinku Co 圧電振動子
JPH10173475A (ja) 1996-12-06 1998-06-26 Nec Corp 圧電振動子
US6035537A (en) * 1997-09-30 2000-03-14 The Gillette Company Razor cartridge with metal clip retaining blades
JP3702632B2 (ja) 1998-01-22 2005-10-05 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
JP3285847B2 (ja) 1998-08-31 2002-05-27 京セラ株式会社 表面実装型水晶発振器
IL129210A (en) * 1999-03-29 2002-03-10 Rozenkranc Menachem Shaver
JP2001358559A (ja) 2000-06-14 2001-12-26 Murata Mfg Co Ltd ラダー型フィルタ
US6349471B1 (en) * 2000-07-19 2002-02-26 The Gillette Company Razor cartridge with painted and drawn retaining clip
CN1531198A (zh) * 2000-07-25 2004-09-22 Tdk��ʽ���� 压电谐振器、压电谐振器器件及其制造方法
JP2002141771A (ja) * 2000-08-21 2002-05-17 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波フィルタ装置
JP2003133887A (ja) 2001-10-30 2003-05-09 Kyocera Corp 水晶発振子
US6868610B2 (en) * 2001-11-15 2005-03-22 The Gillette Company Shaving razors and razor cartridges
US6839968B2 (en) * 2002-05-09 2005-01-11 The Gillette Company Shaving systems
JP2004007092A (ja) 2002-05-30 2004-01-08 Kyocera Corp 水晶発振子
JP4222147B2 (ja) * 2002-10-23 2009-02-12 セイコーエプソン株式会社 圧電発振器及び圧電発振器を利用した携帯電話装置および圧電発振器を利用した電子機器
US7164222B2 (en) * 2003-06-26 2007-01-16 Intel Corporation Film bulk acoustic resonator (FBAR) with high thermal conductivity

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