JP3656627B2 - 企業間の情報共有方法及びシステム、並びにコンピュータプログラム - Google Patents
企業間の情報共有方法及びシステム、並びにコンピュータプログラム Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は情報共有方法に関し、特に製品処理をアウトソーシングし、依頼先との情報を共有できる製品加工企業と製品検査企業との間の情報共有方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造を実施し顧客企業に対して製品を提供する場合、顧客企業に対して製品の品質（歩留まり）を最大限に高めることを求められる。また、このような環境において、半導体の前工程製造を外注に依託する場合があり、プロセス外注先及び発注元の担当者間で、メール（Ｅ−メール）やＦＡＸ（ファクシミリ）などで情報の開示やＰ検査（Ｐｒｏｂｅ検査）のフィードバックを行っていた。また、従来は検査結果情報をオートハンドラーに転送し、次の検査工程に利用していた（例、特許文献１及び２参照）が、データベースを用いた双方向性のある検査結果の情報処理はしていなかった。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−７４８９９号公報
【特許文献２】
特開平５−７４９００号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術には以下に掲げる問題点があった。
従来技術のように、一つの企業（工場内）で生産工程と検査工程とを処理せず、一部工程をアウトソーシングする場合、企業間におけるデータの送受信について、ＦＡＸやメールは、特定の人間しか把握できず、担当者が変わると引継ぎが困難であった。また、依頼元の流動的な人事がある場合対応が困難であった。外注先の人事異動についても同様である。即ち発注元及びプロセス外注先のスタッフ双方が同じ環境レベルでの状況を認識できなかった。特に、ＬＯＴ番号など依頼元の企業によって異なるので、ＬＯＴの判別に混乱・誤りを起こしやすかった。更に、ＬＯＴ処理の進捗状況の把握など、統一システム化されていないので、運送会社の依託などに無駄があった。
【０００５】
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、前工程で処理（製造）された製品の品質を効果的に向上させるために、歩留まり検査の情報を関係企業間で共有することで、フィードバックできる製品加工企業と製品検査企業との間の情報共有方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに関する技術を提供する点にある。
【０００６】
本願発明の製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法は、前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品検査企業の生産品質データベース格納手段へ、前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが送信され、前記製品の前記製品検査企業における製品番号と紐付けされて格納される第１のステップと、前記製品加工企業において加工された前記製品が、前記製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報と前記製品番号とが、前記製品検査企業の検査データベース格納手段に格納される第２のステップと、前記検査データベース格納手段に格納された前記製品の検査結果情報が製品番号と共に引き出され、該製品番号に基づいて前記生産品質データベース格納手段に格納された前記製品の製造番号が引当され、前記検査結果情報の製品番号が製造番号に番号変換され、番号変換済み検査データファイルとして番号変換済み検査データベース格納手段に格納される第３のステップと、前記番号変換済み検査データファイルが前記番号変換済み検査データベース格納手段から前記製品加工企業データベース格納手段に送信される第４のステップと、を有することを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、さらに、前記第１のステップは、前記製品品質情報と前記製造番号から第１の暗号情報が作成されるステップと、該第１の暗号情報が前記製品検査企業のＦＴＰサーバーに送信され、格納されるステップと、前記ＦＴＰサーバーに格納された前記第１の暗号情報は複合化手段へ送信され、復号化されるステップとを含むことを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、さらに、企業間の情報共有方法であって、前記第３のステップは、暗号化手段により前記製造番号と前記検査結果情報から第２の暗号情報が作成されるステップと、前記第２の暗号情報が前記ＦＴＰサーバーに送信され、格納されるステップと、前記ＦＴＰサーバーに格納された前記第２の暗号情報が前記製品加工企業へ送信され、復号化されるステップとを含むことを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、企業間の情報共有方法であって、前記第２のステップは、前記検査結果情報から歩留まり率が計算され、予定歩留まり率との比較が行われるステップと、前記歩留まり率が前記予定歩留まり率より低い場合は、不足製品数が予測計算されるステップとを含み、前記第４のステップは、予測計算された前記不足製品数を含む情報が、送信されるステップを含むことに関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法であって、前記製品加工企業において、製品に関する製造番号が発番されるステップと、製品加工企業データベース格納手段から製品検査企業データベース格納手段へ製品品質情報と製造番号とが送信されるステップと、前記製品検査企業において、製品について製品番号が発番され、前記製造番号と前記製品番号とが紐付けされるステップと、
前記製品加工企業において加工された製品が前記製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報が取得されるステップと、前記検査結果情報と前記製造番号とが紐付けされるステップと、紐付けされた前記検査結果情報と前記製造番号とは、前記製品検査企業から前記製品加工企業へネットワークを介して送信されるステップとを有することに関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、複数の製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法であって、製品加工企業において、製品について製造番号が発番されるステップと、製品加工企業データベース格納手段から生産品質データベース格納手段へ製品品質情報と前記製造番号とが送信されるステップと、製品検査企業において、前記製造番号に基づき、複数の製品加工企業の中から製品を加工した製品加工企業が識別され、該当する製品加工企業を識別する情報を含む製品番号が発番されるステップと、前記製造番号と前記製品番号とが紐付けされるステップと、製品加工企業において加工された製品が前記製品検査企業が検査された場合、前記製品の検査結果情報が取得されるステップと、
前記検査結果情報と前記製品番号と前記製造番号とが紐付けされ、ＦＴＰサーバーに送信されるステップと、前記製品番号から識別された製品加工企業に対し、前記ＦＴＰサーバーに格納された当該製品の検査結果情報と製造番号を含む情報へのアクセス権が設定された場合、前記ＦＴＰサーバーにおいて前記アクセス権を設定された製品加工企業へ当該製品の検査結果情報と製造番号とがネットワークを介して送信されるステップとを有することを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有システムは、製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有システムであって、製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品加工企業データベース格納手段と、前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する検査結果情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記検査結果情報と前記製造番号とを送信する手段とを備えることを特徴とする企業間の情報共有システムに関係する。
また、本願発明の情報共有システムは、製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有システムであって、製品に関する製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品品質データベース格納手段と、前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する製品検査情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、前記製品加工企業データベース格納手段に格納されている前記製品品質情報と前記製造番号とを第１の暗号情報にする手段と、前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記第１の暗号情報を送信する手段と、前記製品検査企業データベース格納手段に格納されている前記製品検査情報と前記製造番号とを第２の暗号情報にする手段と、前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記第２の暗号情報を送信する手段とを備えることを特徴とする企業間の情報共有システムに関係する。
また、本願発明の情報共有システムは、製品加工企業と製品検査企業と製品注文企業とにおける企業間の情報共有システムであって、製品に関する製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品加工企業データベース格納手段と、前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する製品検査情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ製品検査情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記ＦＴＰサーバーから前記製品加工企業データベース格納手段へ前記製品検査情報と前記製造番号とを送信する手段と、
前記ＦＴＰサーバーから前記製品検査企業データベース格納手段へ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記ＦＴＰサーバーから製品注文企業データベース格納手段へ前記製品品質情報と前記製品検査情報とのうちの少なくとも一方の情報と前記製造番号とを送信する手段とを備えることを特徴とする企業間の情報共有システムに関係する。
また、本願発明の情報処理システムは、製品加工企業と情報共有を行う製品検査企業の情報処理システムであって、前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが前記製品検査企業へ送信された場合、前記製造番号と前記製品検査企業における製品番号とが紐付けされて格納される生産品質データベース格納手段と、前記製品加工企業において加工された前記製品が製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報が格納される検査データベース格納手段と、前記検査データベース格納手段に格納された前記製品の検査結果情報を製品番号と共に引き出し、該製品番号に基づいて前記生産品質データベース格納手段に格納された前記製品の前記製品番号を引当し、前記検査結果情報の製品番号を製造番号に番号変換した番号変換済み検査データファイルが格納される番号変換済み検査データベース格納手段と、前記番号変換済み検査データファイルを前記番号変換済み検査データベース格納手段から前記製品加工企業データベース格納手段へ送信するデータ転送処理手段と、を有することを特徴とする情報処理システムに関係する。
また、本願発明の情報処理システムは、前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが暗号化されて送信された場合、前記製品品質情報と前記製造番号とを復号し前記製品品質データベース格納手段に転送する複合化手段と、を含むことを特徴とする情報処理システムに関係する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る複数の企業間の情報共有システムの概略構成を示す図である。
図１に示すように、本実施の形態に係る複数の企業間の情報共有システムは、インターネット１００などのネットワークを介してデータの送受信を行う製品検査企業（検査企業、第１の企業）１０の情報処理手段１２と製品加工企業（製造企業、第２の企業）２０の製品加工企業サーバー群（第２のサーバー）を含む製品加工企業データベース格納手段２２とで概略構成される。
【０００８】
情報処理手段１２は、製品検査企業データベース格納手段（データ管理システム）１２ａと、検査結果格納手段と、サーバー部（第１のサーバー、サーバー）１３とを備える。ここで、製品検査企業が製品加工企業から受け入れた製品に対してＰｒｏｂｅ検査を行い、そのＰｒｏｂｅ検査結果は検査結果格納手段に格納される。また、サーバー部１３はネットワークに接続されたクライアントとの間でファイル交換可能なＦＴＰサーバーが望ましい。
【０００９】
情報処理手段１２と製品加工企業データベース格納手段２２（サーバー群を含む）とは、インターネット１００及びＷＥＢ技術を利用して、製品加工企業２０と製品検査企業１０との間の情報交換を実現する。ここで、サーバー部１３及び製品加工企業データベース格納手段２２は、ＷＥＢサーバー機能も有し、また、ＷＥＢブラウザーを有するネット端末を接続することで、インターネット１００上で用いられるＸＭＬなどのマークアップ言語形式のデータを効率的に送受信する構成としても良い。また、データ秘匿のためサーバー部１３に格納する情報及びサーバー部１３が送受信する情報は暗号情報とすることが望ましい。そのため、情報処理手段１２及び製品加工企業データベース格納手段２２はそれぞれ暗号化手段及び復号化手段を有することが望ましい。
【００１０】
製品加工企業２０において加工された製品は、製品検査企業１０へ送られる。一方、製品についての流動情報（生産情報：ロット進捗・納期、在庫）及び品質情報（生産品質情報：品質データ、不良数量）などの製品品質情報と製品製造番号情報は、製品加工企業データベース格納手段から暗号情報（ａ）（第１の暗号情報）に暗号化された後、サーバー部１３へ送信され格納される。ここで、暗号情報（ａ）はＸＭＬフォーマットなどのマークアップ言語フォーマットとすることもできる。
【００１１】
また、サーバー部１３にローディングされた製品品質情報と製品製造番号情報は、専用回線またはインターネットを介して暗号情報（ａ）として製品検査企業データベース格納手段１２ａへデータ送信され、復号化ＣＤ０１され、格納される。なお、アクセス権を設定し、顧客や関係者へも同様にデータ送信、復号化、データベースに格納する構成としても良い。
【００１２】
製品加工企業２０で作成された製品は、製品検査企業１０で受け入れられる。製品検査企業１０では、製品番号を発番するが、製品番号と製品加工企業２０で発番された製造番号とリレーションをとって製品企業データベース格納手段１２ａに格納する。また、製造番号から製品加工企業１０を識別し、当該製品について製品加工企業１０を識別できる製品番号とすることが望ましい。
【００１３】
次に、製品に対してＰｒｏｂｅ検査などの製品検査を実施する。製品番号と検査結果情報は、Ｐｒｏｂｅ検査部１２ｂ内にある検査結果格納手段に格納され、次に製品企業データベース格納手段１２ａに送信され、格納される。次に当該製品についての検査結果と、製品番号情報とリレーションをとった製造番号情報とが暗号情報（ｂ）（第２の暗号情報）に暗号化ＣＤ０２され、サーバー部１３に送信され格納される。
【００１４】
サーバー部１３にローディングされた暗号情報（ｂ）は、インターネット１００を介して製品加工企業データベース格納手段２２へデータ送信され、製造番号情報と検査結果情報とに復号化される。復号化された製造番号情報と検査結果情報と製品品質情報とをリレーションをとって格納される。また、複数の製品加工企業が存在する場合、製造番号情報から製品加工企業を識別し、当該製品を加工した企業に対してアクセス権を設定し、暗号情報（ｂ）をデータ送信を許可する構成としても良い。顧客や関係者へも同様に暗号情報（ｂ）のデータ送信、復号化、データベースに格納するとする構成としても良い。
【００１５】
図２は、図１における各構成要素とデータフローの詳細を示す図である。
以下、データの流れを一例をあげて説明する。
▲１▼製品加工企業２０の半導体ウェハ製造工程において作成された生産品質情報をデータファイル（品質データ）は、暗号化ツールで暗号化され、インターネット１００を介し製品検査企業１０のサーバー部（ＩｎｔｅｒｎｅｔＦＴＰＳｅｒｖｅｒ）１３にファイル転送される。図２において、製品加工企業２０では、このＬＯＴをＬＯＴ＃（ロットナンバー）００９６として運用している。また、ウェハを出荷するにあたり、処理を引き継ぐ製品検査企業１０において対応するＬＯＴ＃Ａ−１２を紐付けてデータ作成する。ＬＯＴ＃について、物理的には「００９６」と「Ａ−１２」は同一ロットを示す。
【００１６】
▲２▼製品検査企業１０のサーバー部１３に暗号化されたファイルが生産品質データＤＢ０１に格納される。また、暗号化ツールによってデータファイルが復号化ＣＤ０１される。
【００１７】
(3)製品検査企業１０の製品検査企業データベース格納手段１２ａにおいて、以下の処理が行われる。
（３−１）データロード処理：サーバー部１３に格納されている生産品質に関するデータ（品質データ）を製品検査企業データベース格納手段１２ａの生産品質データＤＢ０１に格納する。
（３−２）生産品質データＤＢ０１：データフォーマットＦＭ１は製品検査企業１０と製品加工企業２０間のデータフローに利用される。品質データは、製品検査企業１０のＬＯＴ＃（例Ａ−１２）と製品加工企業２０のＬＯＴ＃（例００９６）が紐付けされて格納される。
（３−３）データロード処理：製品検査企業１０におけるＰｒｏｂｅ検査部１２ｂでテストされたＬＯＴの検査データを製品検査企業データベース格納手段１２ａのＰ検査データＤＢ０２に格納する。
（３−４）Ｐ検査データ：データフォーマットＦＭ２は製品検査企業１０と製品加工企業２０間でのデータフローに利用される。データは、製品検査企業１０のＬＯＴ＃（例Ａ−１２）で格納されている。
（３−５）ＬＯＴ＃変換データ抽出処理：Ｐ検査データＤＢ０２のＰ検査データを引き出し、生産品質データＤＢ０１における製品検査企業１０のＬＯＴ＃と製品加工企業２０のＬＯＴ＃とを引当し、新たに、ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データとして、ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データＤＢ０３に格納する。
（３−６）ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データ：データフォーマットは製品検査企業１０と製品加工企業２０間のデータフローに利用される。データは、製品加工企業２０のＬＯＴ＃（例００９６）で格納されている。
（３−７）データロード処理：製品検査企業データベース格納手段１２ａで作成したＬＯＴ＃変換済みＰ検査データＤＢ０３の検査データをサーバー部１３に格納する。
【００１８】
▲４▼製品加工企業２０で作成し出荷されたウェハＬＯＴ（例００９６：Ａ−１２）を製品検査企業１０が受け入れて、顧客に製品として出荷する。その間にＰ検査テスター（Ｐ検査テスト装置）１２ｂｔで検査してＰ検査サーバー１２ｂｓでデータを収集する。
【００１９】
(5)製品検査企業１０のサーバー部１３に、ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データＤＢ０３のＬＯＴ＃変換済みＰ検査データファイルが格納される。製品加工企業２０にファイル転送される
【００２０】
▲６▼製品加工企業２０において、製品検査企業１０から受け取った暗号化されたＬＯＴ＃変換済みＰ検査データファイルを暗号ツールで復号化し、製品加工企業２０で作成したウェハＬＯＴの歩留まり（歩留まり率）を把握し、また、今後の半導体製造のアクションとしてフィードバックして品質を向上させる。
【００２１】
なお、本実施の形態において、顧客企業（第３の企業、図示せず）が図１のサーバー部１３に相当するデータ共有部を備えることで、この第３の企業が製品検査企業１０及び製品加工企業２０に各工程の処理を依頼するというシステムを形成することもできる。また、第３の企業が図１のサーバー部１３に自社の要求する処理規格を第３のサーバー部（図示せず）送信し、この処理規格に基づき製造企業２０が製造（処理）を行い、検査企業１０は、この処理規格に従い検査データを作成することで情報の共有化が進められる。
【００２２】
また、処理規格に基づくＰｒｏｂｅ検査により、予め設定された歩留まり（予定歩留まり率）が達成されない場合や、納入契約の範囲内において、不足製品数を予想されるとき、製品加工企業２０における第２のサーバー２２に予想不足製品数の情報を送信し、製品の増産を促すこともできる。更に、顧客企業の指示に基づき、Ｐｒｏｂｅ検査における検査基準を変更して歩留まりが高くなるようにするなど、納入契約の範囲内で変更可能な要素（パラメータ）変更し、顧客企業の要望をきめ細かく取り入れることができる。
【００２３】
更に、本実施の形態における製品検査企業１０を自社とし、製品加工企業２０をアウトソース企業（工場）として運用することもできる。
また、上記した顧客企業を自社（主体企業）とすることで、製品検査企業１０及び製品加工企業２０をアウトソース企業として運用することもできる。
流動情報（流動データ）を含む製品データ（生産管理データ）にＰ／Ｏ（ＰｕｒｃｈａｓｅＯｒｄｅｒ）データ（Ｐ．Ｏ＃、発注日、機種、ロット、数量、納期）、ＷＩＰ（ＷａｆｅｒＩｎＰｒｏｃｅｓｓ）データ（機種、ロット、数量、仕掛工程、納期）、不良・分割データ（機種、ロット、発生工程、枚数、発生原因）が含まれる。その他、工程データ（ロット、工程、枚数、開始時刻、終了時刻）などを含めることもできる。
品質データ（品質管理データ）には、プロセスデータ（機種、ロット、数量、Ｗａｆｅｒ＿ＩＤ、仕掛工程、測定項目、測定値）、Ｅ−ＴＥＳＴデータ（機種、ロット、数量、Ｗａｆｅｒ＿ＩＤ、仕掛工程、測定項目、測定値）、ＥＤＰデータ（Ｐ検査）が含まれる。
【００２４】
図３は、図１における企業間で利用されるＷＥＢ画面の一例を示す図である。図１における第１のサーバー１３にＷＥＢサーバーを備え、第２の企業２０及び第３の企業系にＷＥＢブラウザーを有するネット端末を備えることで、ＸＭＬフォーマットを利用したデータの共有化（閲覧、開示）が簡単にできる。
【００２５】
第１のサーバー１３、第２のサーバー２２及び第３のサーバー部に各々ＷＥＢサーバー機能を設けることで、ＸＭＬなどのマークアップ言語を用いて相互にデータ送信をすることができる。
【００２６】
図３に示すように、進捗情報、発注情報、不良ウェハ情報を含む生産管理Ｍ３１、品質情報（プロセス）、品質情報（Ｅ−ＴＥＳＴ）を含むプロセス、Ｐ検（Ｐ検査）Ｍ３３、ロット情報、ロット投入実績を含むステータスＭ３４などのメニューが選択される。
【００２７】
図４は、図１における企業間で利用されるデータ表示画面の一例を示す図である。
図４に示すように、ウェハマップデータＭ４１もＸＭＬ形式を利用して容易にデータ送受することができる。その他、総チップ数、良品チップ数、座標、カテゴリなどもＸＭＬデータとして処理することができる。
【００２８】
なお、本実施の形態において、ネットワークドライブ（ｎｅｔｗｏｒｋ ｄｒｉｖｅ）を共有ディレクトリとして利用することもできる。このネットワークドライブは、ネットワーク経由で利用できるサーバー上の外部記憶装置である。ネットワーク機能を持つクライアントは、ネットワークに公開されたサーバーの各種資源を利用することができる。この機能により、サーバーがネットワーク上に公開している外部記憶装置のことをネットワークドライブと呼ぶ。通常はクライアントから読み書き可能なハードディスクであることが多いが、ＣＤ−ＲＯＭなどの読み出し専用デバイスや、サーバーがソフトウェアで仮想的に構築した記憶装置（クライアントからは外部記憶装置に見える）がネットワークドライブになることもある。このように、必ずしも物理的なデバイスが対応しないこともあるため、一般にはクライアントから利用できるネットワークディスクは共有ディレクトリと呼ばれる。
また、本実施の形態において記載された「データベース」は、何らかの情報を網羅的に収集し、蓄積したもの。またはそうした目的にそって蓄積されつつある情報である。これは、情報の追加や削除、更新、検索を確実／高速に処理するための構造を持っており、データベースの管理用ソフトウェアによって管理される。また、「マークアップ言語」は、文書中にタグを付けて、文書構造や修飾情報などを追加するための言語仕様である。例えば文書中の見出しに＜ＴＩＴＬＥ＞などのタグを付けて、それが見出しであることが分かるようにする。マークアップ言語を利用した文書の特徴は、データはあくまでテキストであり、通常のテキストエディタで操作することはもちろん、ＵＮＩＸ（登録商標）環境などで多数開発されている、さまざまなテキスト変換ソフトウェアなどを利用して操作できることである。マークアップ言語の代表的な存在としては、ＳＧＭＬやＨＴＭＬ、ＸＭＬなどがある。
なお、本実施の形態においては、ＸＭＬ形式のデータ送受信（開示、閲覧）を基本としたが、通常のＦＴＰを用いたデータトランスファーの併用や仮想マシーン（ＭＶＳ）を利用したデータ転送システムでも構築できる。
また、本実施の形態においては、本発明はそれに限定されず、本発明を適用する上で好適な製品加工企業と製品検査企業との間の情報共有方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに適用することができる。
また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。
なお、各図において、同一構成要素には同一符号を付している。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されているので、以下に掲げる効果を奏する。
品質データや検査データなどの情報を依頼元（Ｐｒｏｂｅ検査企業）及び製品加工企業（前工程製造企業）で共有できることにより、生産効率が向上する。その結果、前工程製造企業の製造したウェハの品質を迅速かつ誤りなく把握することで、より早い製造のフィードバックに対応できる。前工程製造企業としては、前工程で管理しているＬＯＴ＃に変換されたＰ検査の結果を運用でき、ＬＯＴ処理は効率的に行われる。また、前工程のウェハ製造過程においてフィードバックをかけやすく、生産効率を上げることができる。
また、多数の前工程製造企業における流動（生産状況）を把握できるようになることにより、物流（運送会社）の選択を容易にし、コストを削減できる。Ｐ検査企業としては、多数の前工程製造企業にも対応できＬＯＴ管理もＰ検査企業独自のＬＯＴ＃を振ることができる。
更に、検査データ、品質データ及び流動データを含む製品データを、製品の最終納入先である顧客企業（製品注文企業）のサーバーに転送（開示）することで、歩留まり低下や生産遅れに対応する顧客からの適切な指示（規格設定変更など）を受けることができる。
また、前工程製造企業やＰｒｏｂｅ検査企業をアウトソース工場として運用する場合にも、インターネット及びインターネットで利用されるＸＭＬなどマークアップ言語と暗号化・復号化技術を利用することで、送受信データの守秘性を容易に確立することができる。
また、ロットを出荷する企業以外の企業（Ｐ検査企業や顧客企業）が製品の輸送を担当する場合も流動データ（生産状況）を把握しているため、効率的な輸送業者の手配をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る複数の企業間の情報共有システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１における各構成要素とデータフローの詳細を示す図である。
【図３】図１における企業間で利用されるＷＥＢ画面の一例を示す図である。
【図４】図１における企業間で利用されるデータ表示画面の一例を示す図である。
【符号の説明】
１０ 製品検査企業（検査企業、第１の企業）
１２ 情報処理手段
１２ａ 製品検査企業データベース格納手段（データ管理システム）
１２ｂ Ｐｒｏｂｅ検査部（検査部）
１２ｂｓ Ｐ検査サーバー
１２ｂｔ Ｐ検査テスター（Ｐ検査テスト装置）
１３ サーバー部（第１のサーバー、ＩｎｔｅｒｎｅｔＦＴＰＳｅｒｖｅｒ、サーバー）
２０ 製品加工企業（製造企業、処理企業、第２の企業）
２２ 製品加工企業データベース格納手段（第２のサーバー）
１００ インターネット
（ａ） 暗号情報（第１の暗号情報）
（ｂ） 暗号情報（第２の暗号情報）
ＣＤ０１ 復号化
ＣＤ０２ 暗号化
ＤＢ０１ 生産品質データ
ＤＢ０２ Ｐ検査データ
ＤＢ０３ ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データ
ＦＭ１ データフォーマット
ＦＭ２ データフォーマット
Ｍ３１ 生産管理
Ｍ３３ Ｐ検（Ｐ検査）
Ｍ３４ ステータス
Ｍ４１ ウェハマップデータ
【発明の属する技術分野】
本発明は情報共有方法に関し、特に製品処理をアウトソーシングし、依頼先との情報を共有できる製品加工企業と製品検査企業との間の情報共有方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造を実施し顧客企業に対して製品を提供する場合、顧客企業に対して製品の品質（歩留まり）を最大限に高めることを求められる。また、このような環境において、半導体の前工程製造を外注に依託する場合があり、プロセス外注先及び発注元の担当者間で、メール（Ｅ−メール）やＦＡＸ（ファクシミリ）などで情報の開示やＰ検査（Ｐｒｏｂｅ検査）のフィードバックを行っていた。また、従来は検査結果情報をオートハンドラーに転送し、次の検査工程に利用していた（例、特許文献１及び２参照）が、データベースを用いた双方向性のある検査結果の情報処理はしていなかった。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−７４８９９号公報
【特許文献２】
特開平５−７４９００号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術には以下に掲げる問題点があった。
従来技術のように、一つの企業（工場内）で生産工程と検査工程とを処理せず、一部工程をアウトソーシングする場合、企業間におけるデータの送受信について、ＦＡＸやメールは、特定の人間しか把握できず、担当者が変わると引継ぎが困難であった。また、依頼元の流動的な人事がある場合対応が困難であった。外注先の人事異動についても同様である。即ち発注元及びプロセス外注先のスタッフ双方が同じ環境レベルでの状況を認識できなかった。特に、ＬＯＴ番号など依頼元の企業によって異なるので、ＬＯＴの判別に混乱・誤りを起こしやすかった。更に、ＬＯＴ処理の進捗状況の把握など、統一システム化されていないので、運送会社の依託などに無駄があった。
【０００５】
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、前工程で処理（製造）された製品の品質を効果的に向上させるために、歩留まり検査の情報を関係企業間で共有することで、フィードバックできる製品加工企業と製品検査企業との間の情報共有方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに関する技術を提供する点にある。
【０００６】
本願発明の製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法は、前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品検査企業の生産品質データベース格納手段へ、前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが送信され、前記製品の前記製品検査企業における製品番号と紐付けされて格納される第１のステップと、前記製品加工企業において加工された前記製品が、前記製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報と前記製品番号とが、前記製品検査企業の検査データベース格納手段に格納される第２のステップと、前記検査データベース格納手段に格納された前記製品の検査結果情報が製品番号と共に引き出され、該製品番号に基づいて前記生産品質データベース格納手段に格納された前記製品の製造番号が引当され、前記検査結果情報の製品番号が製造番号に番号変換され、番号変換済み検査データファイルとして番号変換済み検査データベース格納手段に格納される第３のステップと、前記番号変換済み検査データファイルが前記番号変換済み検査データベース格納手段から前記製品加工企業データベース格納手段に送信される第４のステップと、を有することを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、さらに、前記第１のステップは、前記製品品質情報と前記製造番号から第１の暗号情報が作成されるステップと、該第１の暗号情報が前記製品検査企業のＦＴＰサーバーに送信され、格納されるステップと、前記ＦＴＰサーバーに格納された前記第１の暗号情報は複合化手段へ送信され、復号化されるステップとを含むことを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、さらに、企業間の情報共有方法であって、前記第３のステップは、暗号化手段により前記製造番号と前記検査結果情報から第２の暗号情報が作成されるステップと、前記第２の暗号情報が前記ＦＴＰサーバーに送信され、格納されるステップと、前記ＦＴＰサーバーに格納された前記第２の暗号情報が前記製品加工企業へ送信され、復号化されるステップとを含むことを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、企業間の情報共有方法であって、前記第２のステップは、前記検査結果情報から歩留まり率が計算され、予定歩留まり率との比較が行われるステップと、前記歩留まり率が前記予定歩留まり率より低い場合は、不足製品数が予測計算されるステップとを含み、前記第４のステップは、予測計算された前記不足製品数を含む情報が、送信されるステップを含むことに関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法であって、前記製品加工企業において、製品に関する製造番号が発番されるステップと、製品加工企業データベース格納手段から製品検査企業データベース格納手段へ製品品質情報と製造番号とが送信されるステップと、前記製品検査企業において、製品について製品番号が発番され、前記製造番号と前記製品番号とが紐付けされるステップと、
前記製品加工企業において加工された製品が前記製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報が取得されるステップと、前記検査結果情報と前記製造番号とが紐付けされるステップと、紐付けされた前記検査結果情報と前記製造番号とは、前記製品検査企業から前記製品加工企業へネットワークを介して送信されるステップとを有することに関係する。
また、本願発明の情報共有方法は、複数の製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法であって、製品加工企業において、製品について製造番号が発番されるステップと、製品加工企業データベース格納手段から生産品質データベース格納手段へ製品品質情報と前記製造番号とが送信されるステップと、製品検査企業において、前記製造番号に基づき、複数の製品加工企業の中から製品を加工した製品加工企業が識別され、該当する製品加工企業を識別する情報を含む製品番号が発番されるステップと、前記製造番号と前記製品番号とが紐付けされるステップと、製品加工企業において加工された製品が前記製品検査企業が検査された場合、前記製品の検査結果情報が取得されるステップと、
前記検査結果情報と前記製品番号と前記製造番号とが紐付けされ、ＦＴＰサーバーに送信されるステップと、前記製品番号から識別された製品加工企業に対し、前記ＦＴＰサーバーに格納された当該製品の検査結果情報と製造番号を含む情報へのアクセス権が設定された場合、前記ＦＴＰサーバーにおいて前記アクセス権を設定された製品加工企業へ当該製品の検査結果情報と製造番号とがネットワークを介して送信されるステップとを有することを特徴とする企業間の情報共有方法に関係する。
また、本願発明の情報共有システムは、製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有システムであって、製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品加工企業データベース格納手段と、前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する検査結果情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記検査結果情報と前記製造番号とを送信する手段とを備えることを特徴とする企業間の情報共有システムに関係する。
また、本願発明の情報共有システムは、製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有システムであって、製品に関する製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品品質データベース格納手段と、前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する製品検査情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、前記製品加工企業データベース格納手段に格納されている前記製品品質情報と前記製造番号とを第１の暗号情報にする手段と、前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記第１の暗号情報を送信する手段と、前記製品検査企業データベース格納手段に格納されている前記製品検査情報と前記製造番号とを第２の暗号情報にする手段と、前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記第２の暗号情報を送信する手段とを備えることを特徴とする企業間の情報共有システムに関係する。
また、本願発明の情報共有システムは、製品加工企業と製品検査企業と製品注文企業とにおける企業間の情報共有システムであって、製品に関する製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品加工企業データベース格納手段と、前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する製品検査情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ製品検査情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記ＦＴＰサーバーから前記製品加工企業データベース格納手段へ前記製品検査情報と前記製造番号とを送信する手段と、
前記ＦＴＰサーバーから前記製品検査企業データベース格納手段へ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、前記ＦＴＰサーバーから製品注文企業データベース格納手段へ前記製品品質情報と前記製品検査情報とのうちの少なくとも一方の情報と前記製造番号とを送信する手段とを備えることを特徴とする企業間の情報共有システムに関係する。
また、本願発明の情報処理システムは、製品加工企業と情報共有を行う製品検査企業の情報処理システムであって、前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが前記製品検査企業へ送信された場合、前記製造番号と前記製品検査企業における製品番号とが紐付けされて格納される生産品質データベース格納手段と、前記製品加工企業において加工された前記製品が製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報が格納される検査データベース格納手段と、前記検査データベース格納手段に格納された前記製品の検査結果情報を製品番号と共に引き出し、該製品番号に基づいて前記生産品質データベース格納手段に格納された前記製品の前記製品番号を引当し、前記検査結果情報の製品番号を製造番号に番号変換した番号変換済み検査データファイルが格納される番号変換済み検査データベース格納手段と、前記番号変換済み検査データファイルを前記番号変換済み検査データベース格納手段から前記製品加工企業データベース格納手段へ送信するデータ転送処理手段と、を有することを特徴とする情報処理システムに関係する。
また、本願発明の情報処理システムは、前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが暗号化されて送信された場合、前記製品品質情報と前記製造番号とを復号し前記製品品質データベース格納手段に転送する複合化手段と、を含むことを特徴とする情報処理システムに関係する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係る複数の企業間の情報共有システムの概略構成を示す図である。
図１に示すように、本実施の形態に係る複数の企業間の情報共有システムは、インターネット１００などのネットワークを介してデータの送受信を行う製品検査企業（検査企業、第１の企業）１０の情報処理手段１２と製品加工企業（製造企業、第２の企業）２０の製品加工企業サーバー群（第２のサーバー）を含む製品加工企業データベース格納手段２２とで概略構成される。
【０００８】
情報処理手段１２は、製品検査企業データベース格納手段（データ管理システム）１２ａと、検査結果格納手段と、サーバー部（第１のサーバー、サーバー）１３とを備える。ここで、製品検査企業が製品加工企業から受け入れた製品に対してＰｒｏｂｅ検査を行い、そのＰｒｏｂｅ検査結果は検査結果格納手段に格納される。また、サーバー部１３はネットワークに接続されたクライアントとの間でファイル交換可能なＦＴＰサーバーが望ましい。
【０００９】
情報処理手段１２と製品加工企業データベース格納手段２２（サーバー群を含む）とは、インターネット１００及びＷＥＢ技術を利用して、製品加工企業２０と製品検査企業１０との間の情報交換を実現する。ここで、サーバー部１３及び製品加工企業データベース格納手段２２は、ＷＥＢサーバー機能も有し、また、ＷＥＢブラウザーを有するネット端末を接続することで、インターネット１００上で用いられるＸＭＬなどのマークアップ言語形式のデータを効率的に送受信する構成としても良い。また、データ秘匿のためサーバー部１３に格納する情報及びサーバー部１３が送受信する情報は暗号情報とすることが望ましい。そのため、情報処理手段１２及び製品加工企業データベース格納手段２２はそれぞれ暗号化手段及び復号化手段を有することが望ましい。
【００１０】
製品加工企業２０において加工された製品は、製品検査企業１０へ送られる。一方、製品についての流動情報（生産情報：ロット進捗・納期、在庫）及び品質情報（生産品質情報：品質データ、不良数量）などの製品品質情報と製品製造番号情報は、製品加工企業データベース格納手段から暗号情報（ａ）（第１の暗号情報）に暗号化された後、サーバー部１３へ送信され格納される。ここで、暗号情報（ａ）はＸＭＬフォーマットなどのマークアップ言語フォーマットとすることもできる。
【００１１】
また、サーバー部１３にローディングされた製品品質情報と製品製造番号情報は、専用回線またはインターネットを介して暗号情報（ａ）として製品検査企業データベース格納手段１２ａへデータ送信され、復号化ＣＤ０１され、格納される。なお、アクセス権を設定し、顧客や関係者へも同様にデータ送信、復号化、データベースに格納する構成としても良い。
【００１２】
製品加工企業２０で作成された製品は、製品検査企業１０で受け入れられる。製品検査企業１０では、製品番号を発番するが、製品番号と製品加工企業２０で発番された製造番号とリレーションをとって製品企業データベース格納手段１２ａに格納する。また、製造番号から製品加工企業１０を識別し、当該製品について製品加工企業１０を識別できる製品番号とすることが望ましい。
【００１３】
次に、製品に対してＰｒｏｂｅ検査などの製品検査を実施する。製品番号と検査結果情報は、Ｐｒｏｂｅ検査部１２ｂ内にある検査結果格納手段に格納され、次に製品企業データベース格納手段１２ａに送信され、格納される。次に当該製品についての検査結果と、製品番号情報とリレーションをとった製造番号情報とが暗号情報（ｂ）（第２の暗号情報）に暗号化ＣＤ０２され、サーバー部１３に送信され格納される。
【００１４】
サーバー部１３にローディングされた暗号情報（ｂ）は、インターネット１００を介して製品加工企業データベース格納手段２２へデータ送信され、製造番号情報と検査結果情報とに復号化される。復号化された製造番号情報と検査結果情報と製品品質情報とをリレーションをとって格納される。また、複数の製品加工企業が存在する場合、製造番号情報から製品加工企業を識別し、当該製品を加工した企業に対してアクセス権を設定し、暗号情報（ｂ）をデータ送信を許可する構成としても良い。顧客や関係者へも同様に暗号情報（ｂ）のデータ送信、復号化、データベースに格納するとする構成としても良い。
【００１５】
図２は、図１における各構成要素とデータフローの詳細を示す図である。
以下、データの流れを一例をあげて説明する。
▲１▼製品加工企業２０の半導体ウェハ製造工程において作成された生産品質情報をデータファイル（品質データ）は、暗号化ツールで暗号化され、インターネット１００を介し製品検査企業１０のサーバー部（ＩｎｔｅｒｎｅｔＦＴＰＳｅｒｖｅｒ）１３にファイル転送される。図２において、製品加工企業２０では、このＬＯＴをＬＯＴ＃（ロットナンバー）００９６として運用している。また、ウェハを出荷するにあたり、処理を引き継ぐ製品検査企業１０において対応するＬＯＴ＃Ａ−１２を紐付けてデータ作成する。ＬＯＴ＃について、物理的には「００９６」と「Ａ−１２」は同一ロットを示す。
【００１６】
▲２▼製品検査企業１０のサーバー部１３に暗号化されたファイルが生産品質データＤＢ０１に格納される。また、暗号化ツールによってデータファイルが復号化ＣＤ０１される。
【００１７】
(3)製品検査企業１０の製品検査企業データベース格納手段１２ａにおいて、以下の処理が行われる。
（３−１）データロード処理：サーバー部１３に格納されている生産品質に関するデータ（品質データ）を製品検査企業データベース格納手段１２ａの生産品質データＤＢ０１に格納する。
（３−２）生産品質データＤＢ０１：データフォーマットＦＭ１は製品検査企業１０と製品加工企業２０間のデータフローに利用される。品質データは、製品検査企業１０のＬＯＴ＃（例Ａ−１２）と製品加工企業２０のＬＯＴ＃（例００９６）が紐付けされて格納される。
（３−３）データロード処理：製品検査企業１０におけるＰｒｏｂｅ検査部１２ｂでテストされたＬＯＴの検査データを製品検査企業データベース格納手段１２ａのＰ検査データＤＢ０２に格納する。
（３−４）Ｐ検査データ：データフォーマットＦＭ２は製品検査企業１０と製品加工企業２０間でのデータフローに利用される。データは、製品検査企業１０のＬＯＴ＃（例Ａ−１２）で格納されている。
（３−５）ＬＯＴ＃変換データ抽出処理：Ｐ検査データＤＢ０２のＰ検査データを引き出し、生産品質データＤＢ０１における製品検査企業１０のＬＯＴ＃と製品加工企業２０のＬＯＴ＃とを引当し、新たに、ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データとして、ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データＤＢ０３に格納する。
（３−６）ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データ：データフォーマットは製品検査企業１０と製品加工企業２０間のデータフローに利用される。データは、製品加工企業２０のＬＯＴ＃（例００９６）で格納されている。
（３−７）データロード処理：製品検査企業データベース格納手段１２ａで作成したＬＯＴ＃変換済みＰ検査データＤＢ０３の検査データをサーバー部１３に格納する。
【００１８】
▲４▼製品加工企業２０で作成し出荷されたウェハＬＯＴ（例００９６：Ａ−１２）を製品検査企業１０が受け入れて、顧客に製品として出荷する。その間にＰ検査テスター（Ｐ検査テスト装置）１２ｂｔで検査してＰ検査サーバー１２ｂｓでデータを収集する。
【００１９】
(5)製品検査企業１０のサーバー部１３に、ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データＤＢ０３のＬＯＴ＃変換済みＰ検査データファイルが格納される。製品加工企業２０にファイル転送される
【００２０】
▲６▼製品加工企業２０において、製品検査企業１０から受け取った暗号化されたＬＯＴ＃変換済みＰ検査データファイルを暗号ツールで復号化し、製品加工企業２０で作成したウェハＬＯＴの歩留まり（歩留まり率）を把握し、また、今後の半導体製造のアクションとしてフィードバックして品質を向上させる。
【００２１】
なお、本実施の形態において、顧客企業（第３の企業、図示せず）が図１のサーバー部１３に相当するデータ共有部を備えることで、この第３の企業が製品検査企業１０及び製品加工企業２０に各工程の処理を依頼するというシステムを形成することもできる。また、第３の企業が図１のサーバー部１３に自社の要求する処理規格を第３のサーバー部（図示せず）送信し、この処理規格に基づき製造企業２０が製造（処理）を行い、検査企業１０は、この処理規格に従い検査データを作成することで情報の共有化が進められる。
【００２２】
また、処理規格に基づくＰｒｏｂｅ検査により、予め設定された歩留まり（予定歩留まり率）が達成されない場合や、納入契約の範囲内において、不足製品数を予想されるとき、製品加工企業２０における第２のサーバー２２に予想不足製品数の情報を送信し、製品の増産を促すこともできる。更に、顧客企業の指示に基づき、Ｐｒｏｂｅ検査における検査基準を変更して歩留まりが高くなるようにするなど、納入契約の範囲内で変更可能な要素（パラメータ）変更し、顧客企業の要望をきめ細かく取り入れることができる。
【００２３】
更に、本実施の形態における製品検査企業１０を自社とし、製品加工企業２０をアウトソース企業（工場）として運用することもできる。
また、上記した顧客企業を自社（主体企業）とすることで、製品検査企業１０及び製品加工企業２０をアウトソース企業として運用することもできる。
流動情報（流動データ）を含む製品データ（生産管理データ）にＰ／Ｏ（ＰｕｒｃｈａｓｅＯｒｄｅｒ）データ（Ｐ．Ｏ＃、発注日、機種、ロット、数量、納期）、ＷＩＰ（ＷａｆｅｒＩｎＰｒｏｃｅｓｓ）データ（機種、ロット、数量、仕掛工程、納期）、不良・分割データ（機種、ロット、発生工程、枚数、発生原因）が含まれる。その他、工程データ（ロット、工程、枚数、開始時刻、終了時刻）などを含めることもできる。
品質データ（品質管理データ）には、プロセスデータ（機種、ロット、数量、Ｗａｆｅｒ＿ＩＤ、仕掛工程、測定項目、測定値）、Ｅ−ＴＥＳＴデータ（機種、ロット、数量、Ｗａｆｅｒ＿ＩＤ、仕掛工程、測定項目、測定値）、ＥＤＰデータ（Ｐ検査）が含まれる。
【００２４】
図３は、図１における企業間で利用されるＷＥＢ画面の一例を示す図である。図１における第１のサーバー１３にＷＥＢサーバーを備え、第２の企業２０及び第３の企業系にＷＥＢブラウザーを有するネット端末を備えることで、ＸＭＬフォーマットを利用したデータの共有化（閲覧、開示）が簡単にできる。
【００２５】
第１のサーバー１３、第２のサーバー２２及び第３のサーバー部に各々ＷＥＢサーバー機能を設けることで、ＸＭＬなどのマークアップ言語を用いて相互にデータ送信をすることができる。
【００２６】
図３に示すように、進捗情報、発注情報、不良ウェハ情報を含む生産管理Ｍ３１、品質情報（プロセス）、品質情報（Ｅ−ＴＥＳＴ）を含むプロセス、Ｐ検（Ｐ検査）Ｍ３３、ロット情報、ロット投入実績を含むステータスＭ３４などのメニューが選択される。
【００２７】
図４は、図１における企業間で利用されるデータ表示画面の一例を示す図である。
図４に示すように、ウェハマップデータＭ４１もＸＭＬ形式を利用して容易にデータ送受することができる。その他、総チップ数、良品チップ数、座標、カテゴリなどもＸＭＬデータとして処理することができる。
【００２８】
なお、本実施の形態において、ネットワークドライブ（ｎｅｔｗｏｒｋ ｄｒｉｖｅ）を共有ディレクトリとして利用することもできる。このネットワークドライブは、ネットワーク経由で利用できるサーバー上の外部記憶装置である。ネットワーク機能を持つクライアントは、ネットワークに公開されたサーバーの各種資源を利用することができる。この機能により、サーバーがネットワーク上に公開している外部記憶装置のことをネットワークドライブと呼ぶ。通常はクライアントから読み書き可能なハードディスクであることが多いが、ＣＤ−ＲＯＭなどの読み出し専用デバイスや、サーバーがソフトウェアで仮想的に構築した記憶装置（クライアントからは外部記憶装置に見える）がネットワークドライブになることもある。このように、必ずしも物理的なデバイスが対応しないこともあるため、一般にはクライアントから利用できるネットワークディスクは共有ディレクトリと呼ばれる。
また、本実施の形態において記載された「データベース」は、何らかの情報を網羅的に収集し、蓄積したもの。またはそうした目的にそって蓄積されつつある情報である。これは、情報の追加や削除、更新、検索を確実／高速に処理するための構造を持っており、データベースの管理用ソフトウェアによって管理される。また、「マークアップ言語」は、文書中にタグを付けて、文書構造や修飾情報などを追加するための言語仕様である。例えば文書中の見出しに＜ＴＩＴＬＥ＞などのタグを付けて、それが見出しであることが分かるようにする。マークアップ言語を利用した文書の特徴は、データはあくまでテキストであり、通常のテキストエディタで操作することはもちろん、ＵＮＩＸ（登録商標）環境などで多数開発されている、さまざまなテキスト変換ソフトウェアなどを利用して操作できることである。マークアップ言語の代表的な存在としては、ＳＧＭＬやＨＴＭＬ、ＸＭＬなどがある。
なお、本実施の形態においては、ＸＭＬ形式のデータ送受信（開示、閲覧）を基本としたが、通常のＦＴＰを用いたデータトランスファーの併用や仮想マシーン（ＭＶＳ）を利用したデータ転送システムでも構築できる。
また、本実施の形態においては、本発明はそれに限定されず、本発明を適用する上で好適な製品加工企業と製品検査企業との間の情報共有方法及びそのシステム、並びにコンピュータプログラムに適用することができる。
また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。
なお、各図において、同一構成要素には同一符号を付している。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されているので、以下に掲げる効果を奏する。
品質データや検査データなどの情報を依頼元（Ｐｒｏｂｅ検査企業）及び製品加工企業（前工程製造企業）で共有できることにより、生産効率が向上する。その結果、前工程製造企業の製造したウェハの品質を迅速かつ誤りなく把握することで、より早い製造のフィードバックに対応できる。前工程製造企業としては、前工程で管理しているＬＯＴ＃に変換されたＰ検査の結果を運用でき、ＬＯＴ処理は効率的に行われる。また、前工程のウェハ製造過程においてフィードバックをかけやすく、生産効率を上げることができる。
また、多数の前工程製造企業における流動（生産状況）を把握できるようになることにより、物流（運送会社）の選択を容易にし、コストを削減できる。Ｐ検査企業としては、多数の前工程製造企業にも対応できＬＯＴ管理もＰ検査企業独自のＬＯＴ＃を振ることができる。
更に、検査データ、品質データ及び流動データを含む製品データを、製品の最終納入先である顧客企業（製品注文企業）のサーバーに転送（開示）することで、歩留まり低下や生産遅れに対応する顧客からの適切な指示（規格設定変更など）を受けることができる。
また、前工程製造企業やＰｒｏｂｅ検査企業をアウトソース工場として運用する場合にも、インターネット及びインターネットで利用されるＸＭＬなどマークアップ言語と暗号化・復号化技術を利用することで、送受信データの守秘性を容易に確立することができる。
また、ロットを出荷する企業以外の企業（Ｐ検査企業や顧客企業）が製品の輸送を担当する場合も流動データ（生産状況）を把握しているため、効率的な輸送業者の手配をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る複数の企業間の情報共有システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１における各構成要素とデータフローの詳細を示す図である。
【図３】図１における企業間で利用されるＷＥＢ画面の一例を示す図である。
【図４】図１における企業間で利用されるデータ表示画面の一例を示す図である。
【符号の説明】
１０ 製品検査企業（検査企業、第１の企業）
１２ 情報処理手段
１２ａ 製品検査企業データベース格納手段（データ管理システム）
１２ｂ Ｐｒｏｂｅ検査部（検査部）
１２ｂｓ Ｐ検査サーバー
１２ｂｔ Ｐ検査テスター（Ｐ検査テスト装置）
１３ サーバー部（第１のサーバー、ＩｎｔｅｒｎｅｔＦＴＰＳｅｒｖｅｒ、サーバー）
２０ 製品加工企業（製造企業、処理企業、第２の企業）
２２ 製品加工企業データベース格納手段（第２のサーバー）
１００ インターネット
（ａ） 暗号情報（第１の暗号情報）
（ｂ） 暗号情報（第２の暗号情報）
ＣＤ０１ 復号化
ＣＤ０２ 暗号化
ＤＢ０１ 生産品質データ
ＤＢ０２ Ｐ検査データ
ＤＢ０３ ＬＯＴ＃変換済みＰ検査データ
ＦＭ１ データフォーマット
ＦＭ２ データフォーマット
Ｍ３１ 生産管理
Ｍ３３ Ｐ検（Ｐ検査）
Ｍ３４ ステータス
Ｍ４１ ウェハマップデータ
Claims (11)
- 製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法であって、
前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品検査企業の生産品質データベース格納手段へ、前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが送信され、前記製品の前記製品検査企業における製品番号と紐付けされて格納される第１のステップと、
前記製品加工企業において加工された前記製品が、前記製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報と前記製品番号とが、前記製品検査企業の検査データベース格納手段に格納される第２のステップと、
前記検査データベース格納手段に格納された前記製品の検査結果情報が製品番号と共に引き出され、該製品番号に基づいて前記生産品質データベース格納手段に格納された前記製品の製造番号が引当され、前記検査結果情報の製品番号が製造番号に番号変換され、番号変換済み検査データファイルとして番号変換済み検査データベース格納手段に格納される第３のステップと、
前記番号変換済み検査データファイルが前記番号変換済み検査データベース格納手段から前記製品加工企業データベース格納手段に送信される第４のステップと、を有することを特徴とする企業間の情報共有方法。 - 請求項１記載の企業間の情報共有方法であって、
前記第１のステップは、
前記製品品質情報と前記製造番号から第１の暗号情報が作成されるステップと、
該第１の暗号情報が前記製品検査企業のＦＴＰサーバーに送信され、格納されるステップと、
前記ＦＴＰサーバーに格納された前記第１の暗号情報は複合化手段へ送信され、復号化されるステップとを含むことを特徴とする企業間の情報共有方法。 - 請求項２記載の企業間の情報共有方法であって、
前記第４のステップは、暗号化手段により前記製造番号と前記検査結果情報から第２の暗号情報が作成されるステップと、
前記第２の暗号情報が前記ＦＴＰサーバーに送信され、格納されるステップと、
前記ＦＴＰサーバーに格納された前記第２の暗号情報が前記製品加工企業へ送信され、復号化されるステップとを含むことを特徴とする企業間の情報共有方法。 - 請求項１乃至３のいずれかに記載の企業間の情報共有方法であって、
前記第２のステップは、前記検査結果情報から歩留まり率が計算され、予定歩留まり率との比較が行われるステップと、前記歩留まり率が前記予定歩留まり率より低い場合は、
不足製品数が予測計算されるステップとを含み、
前記第４のステップは、予測計算された前記不足製品数を含む情報が、送信されるステップを含む
ことを特徴とする企業間の情報共有方法。 - 製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法であって、
前記製品加工企業において、製品に関する製造番号が発番されるステップと、
製品加工企業データベース格納手段から製品検査企業データベース格納手段へ製品品質情報と製造番号とが送信されるステップと、
前記製品検査企業において、製品について製品番号が発番され、前記製造番号と前記製品番号とが紐付けされるステップと、
前記製品加工企業において加工された製品が前記製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報が取得されるステップと、
前記検査結果情報と前記製造番号とが紐付けされるステップと、
紐付けされた前記検査結果情報と前記製造番号とは、前記製品検査企業から前記製品加工企業へネットワークを介して送信されるステップとを有する
ことを特徴とする企業間の情報共有方法。 - 複数の製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有方法であって、
製品加工企業において、製品について製造番号が発番されるステップと、
製品加工企業データベース格納手段から生産品質データベース格納手段へ製品品質情報と前記製造番号とが送信されるステップと、
製品検査企業において、前記製造番号に基づき、複数の製品加工企業の中から製品を加工した製品加工企業が識別され、該当する製品加工企業を識別する情報を含む製品番号が発番されるステップと、
前記製造番号と前記製品番号とが紐付けされるステップと、
製品加工企業において加工された製品が前記製品検査企業が検査された場合、前記製品の検査結果情報が取得されるステップと、
前記検査結果情報と前記製品番号と前記製造番号とが紐付けされ、ＦＴＰサーバーに送信されるステップと、
前記製品番号から識別された製品加工企業に対し、前記ＦＴＰサーバーに格納された当該製品の検査結果情報と製造番号を含む情報へのアクセス権が設定された場合、
前記ＦＴＰサーバーにおいて前記アクセス権を設定された製品加工企業へ当該製品の検査結果情報と製造番号とがネットワークを介して送信されるステップとを有することを特徴とする企業間の情報共有方法。 - 製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有システムであって、
製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品加工企業データベース格納手段と、
前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する検査結果情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、
ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、
前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、
前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記検査結果情報と前記製造番号とを送信する手段とを備えることを特徴とする企業間の情報共有システム。 - 製品加工企業と製品検査企業とにおける企業間の情報共有システムであって、
製品に関する製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品品質データベース格納手段と、
前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する製品検査情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、
ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、
前記製品加工企業データベース格納手段に格納されている前記製品品質情報と前記製造番号とを第１の暗号情報にする手段と、
前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記第１の暗号情報を送信する手段と、
前記製品検査企業データベース格納手段に格納されている前記製品検査情報と前記製造番号とを第２の暗号情報にする手段と、
前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記第２の暗号情報を送信する手段とを備える
ことを特徴とする企業間の情報共有システム。 - 製品加工企業と製品検査企業と製品注文企業とにおける企業間の情報共有システムであって、
製品に関する製品品質情報と製造番号とを関連付けて格納する前記製品加工企業の製品加工企業データベース格納手段と、
前記製品品質情報と前記製造番号と製品に関する製品検査情報と製品番号とを関連付けて格納する前記製品検査企業の製品検査企業データベース格納手段と、
ネットワークに接続されたＦＴＰサーバーと、
前記製品加工企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、
前記製品検査企業データベース格納手段から前記ＦＴＰサーバーへ製品検査情報と前記製造番号とを送信する手段と、
前記ＦＴＰサーバーから前記製品加工企業データベース格納手段へ前記製品検査情報と前記製造番号とを送信する手段と、
前記ＦＴＰサーバーから前記製品検査企業データベース格納手段へ前記製品品質情報と前記製造番号とを送信する手段と、
前記ＦＴＰサーバーから製品注文企業データベース格納手段へ前記製品品質情報と前記製品検査情報とのうちの少なくとも一方の情報と前記製造番号とを送信する手段とを備える
ことを特徴とする企業間の情報共有システム。 - 製品加工企業と情報共有を行う製品検査企業の情報処理システムであって、
前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが前記製品検査企業へ送信された場合、前記製造番号と前記製品検査企業における製品番号とが紐付けされて格納される生産品質データベース格納手段と、
前記製品加工企業において加工された前記製品が製品検査企業において検査された場合、前記製品の検査結果情報が格納される検査データベース格納手段と、
前記検査データベース格納手段に格納された前記製品の検査結果情報を製品番号と共に引き出し、該製品番号に基づいて前記生産品質データベース格納手段に格納された前記製品の前記製品番号を引当し、前記検査結果情報の製品番号を製造番号に番号変換した番号変換済み検査データファイルが格納される番号変換済み検査データベース格納手段と、
前記番号変換済み検査データファイルを前記番号変換済み検査データベース格納手段から前記製品加工企業データベース格納手段へ送信するデータ転送処理手段と、
を有することを特徴とする情報処理システム。 - 請求項１０記載の情報処理システムであって、
前記製品加工企業データベース格納手段から前記製品加工企業において加工された製品の製品品質情報と製造番号とが暗号化されて送信された場合、前記製品品質情報と前記製造番号とを復号し前記製品品質データベース格納手段に転送する複合化手段と、
を含むことを特徴とする情報処理システム。
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