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JP3559176B2 - Substrate holding device and substrate processing device - Google Patents

Substrate holding device and substrate processing device Download PDF

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JP3559176B2
JP3559176B2 JP27121598A JP27121598A JP3559176B2 JP 3559176 B2 JP3559176 B2 JP 3559176B2 JP 27121598 A JP27121598 A JP 27121598A JP 27121598 A JP27121598 A JP 27121598A JP 3559176 B2 JP3559176 B2 JP 3559176B2
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を保持する基板保持装置およびそれを備えた基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の基板に種々の処理を行うために基板処理装置が用いられている。例えば、基板表面にレジスト液を塗布するために、回転式の塗布装置が用いられている。
【０００３】
図１１は従来の塗布装置の概略断面図である。
図１１において、基板保持装置３１は、円形板状のスピンベース３２を備える。スピンベース３２はモータ３の回転軸２の先端部に水平に固定され、鉛直方向の軸の周りで回転駆動される。
【０００４】
スピンベース３２の上面には環状支持部３３が固定され、この環状支持部３３に基板Ｗの裏面を支持する複数の支持ピン３４が設けられている。また、スピンベース３２には、基板Ｗの水平位置を規制する複数の回転式保持ピン３５および複数の固定式支持ピン４５が設けられている。
【０００５】
各回転式保持ピン３５は、ピン部材３６およびピン支持部３７を備え、ピン支持部３７は軸受３８によりスピンベース３２に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付けられている。ピン部材３６は、ピン支持部３７の回動中心に対して偏心してピン支持部の３７の上面に圧入等により固定されている。各回転式保持ピン３５の下部には棒状の永久磁石３９が取り付けられている。
【０００６】
また、各固定式保持ピン４５は、ピン部材４６およびピン支持部４７を備え、ピン部材４６はピン支持部４７に圧入等により固定されている。
【０００７】
ピン部材３６，４６の材質としてはＳｉＣが多く用いられ、ピン支持部４７の材質としてはポリプロピレンが多く用いられる。
【０００８】
スピンベース３２の下方に複数の昇降ピン４８が配設されている。昇降ピン４８は、駆動装置（図示せず）により上下動自在に設けられている。スピンベース３２には、複数の昇降ピン４８が貫通可能な複数の貫通孔４４が設けられている。
【０００９】
また、スピンベース３２の下方には環状磁石４１が配設されている。この環状磁石４１は、駆動装置（図示せず）により上下動自在に設けられた磁石支持部材４２に固定されている。
【００１０】
基板保持装置３１の上方には、レジスト液を吐出するレジストノズル４３が上下方向および水平方向に移動可能に設けられている。このレジストノズル４３は、レジスト液の塗布処理前および塗布処理後に基板Ｗの上方から外れた位置に待機し、塗布処理時に基板Ｗの中心部の上方に移動する。
【００１１】
レジスト液の塗布処理時には、環状磁石４１が上昇して複数の回転式保持ピン３５が回転する。これにより、基板Ｗは、複数の回転式保持ピン３５のピン部材３６および複数の固定式保持ピン４５のピン部材４６により水平方向に保持される。
【００１２】
その後、モータ３により基板保持装置３１が回転駆動され、基板Ｗが鉛直方向の軸の周りで低速回転する。この状態で、レジストノズル４３から基板Ｗ上にレジスト液が吐出される。基板Ｗの回転によりレジスト液は基板Ｗの表面の全体に均一に塗り広げられる。
【００１３】
塗布処理後、環状磁石４１が下降することにより複数の回転式保持ピン３５が回転し、基板Ｗからピン部材３６が離れ、基板Ｗは解放状態となる。次に、複数の昇降ピン４８が上昇し、基板Ｗを持ち上げ、次の工程へ移行する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
環状磁石４１が下降し、回転式保持ピン３５のピン部材３６が基板Ｗから離れた状態となっても、固定式保持ピン４５のピン部材４６と基板Ｗとは依然接触していることが多い。このため、基板Ｗが持ち上げられる際、固定式保持ピン４５のピン部材４６には基板Ｗとの接触による上方向の力が作用する。このとき、ピン部材４６がピン支持部４７から外れないようにピン部材４６はピン支持部４７に圧入等により強固に固定されている。
【００１５】
ピン支持部３７，４７にそれぞれ固定されたピン部材３６，４６は、基板Ｗとの接触を繰り返している間に、多少磨耗する。そのため、ピン部材３６，４６を交換する必要がある。しかし、ピン部材３６，４６はピン支持部３７，４７にそれぞれ強固に固定されているため、交換の際は、ピン部材３６，４６のみならずピン支持部３７，４７をも交換しなくてはならない。そのため、コストが高くなり、交換作業も困難なものになる。
【００１６】
本発明の目的は、ピン部材がピン支持部から抜けることを防止するとともに、ピン部材を容易に交換することができる基板保持装置およびそれを備えた基板処理装置を提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
第１の発明に係る基板保持装置は、基板を保持する基板保持装置であって、回転駆動される回転部材と、回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、複数の保持部材の各々は、回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、基板の外周端部に当接可能に支持部の穴に挿入され、係止部により係止される被係止部を有する保持部とを備え、支持部は、回転部材上に回動可能に取り付けられ、穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、保持部は、支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように支持部の穴に挿入され、支持部の係止部は、穴の内周面に設けられた螺旋状の溝部であり、保持部の被係止部は、溝部に係合する突起状またはねじ状の係合部であり、保持部が一方向と逆の方向へ回動したときに保持部が支持部に締めつけられるように螺旋状の溝部が形成されたものである。
【００１８】
第１の発明に係る基板保持装置においては、複数の保持部材により回転部材上に載置された基板の位置が規制される。それにより、回転部材上で基板が保持される。複数の保持部材の各々は保持部および支持部を備える。保持部は支持部の穴に挿入され、保持部の被係止部が支持部の穴の係止部により係止される。それにより、基板を上方向に持ち上げる際、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部の穴から抜けることはない。また、保持部の被係止部を支持部の穴の係止部から外すことにより、保持部を支持部から抜き取ることが可能となる。これにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００１９】
また、支持部の穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられている。そのため、支持部の穴に挿入されて係止された保持部は、支持部の一方向への回動により基板の外周端部に当接し、逆方向ヘの回動により外周端部から離間する。これにより、基板の位置の規制および基板の解放が可能となる。
【００２０】
さらに、保持部の突起状またはねじ状の係合部を支持部の穴の内周面に設けられた螺旋状の溝部に螺合させ、保持部を一方向に回してねじ込むことにより、保持部を支持部に固定することができる。それにより、基板を上方向に持ち上げる際に、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部から抜けることはない。また、保持部を逆方向に回すことより、保持部を支持部から抜き取ることができる。それにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００２１】
その上、支持部の一方向への回動と逆の方向に保持部が回動する場合に、保持部は支持部に締めつけられる。支持部が一方向へ回動すると、基板の外周端部から保持部に逆方向の力が作用する。この場合、保持部は支持部にさらに強固に固定される。
【００２２】
第２の発明に係る基板保持装置は、基板を保持する基板保持装置であって、回転駆動される回転部材と、回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、複数の保持部材の各々は、回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、基板の外周端部に当接可能に支持部の穴に挿入され、係止部により係止される被係止部を有する保持部とを備え、支持部は、回転部材上に回動可能に取り付けられ、穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、保持部は、支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように支持部の穴に挿入され、支持部の係止部は、穴の内周面の上端から下方に縦方向に延びかつ横方向に延びる溝部であり、保持部の被係止部は溝部に係合する突起状の係合部であり、保持部が一方向と逆の方向へ回動したときに保持部の係合部が溝部に係止されるように溝部が形成されたものである。
【００２３】
第２の発明に係る基板保持装置においては、複数の保持部材により回転部材上に載置された基板の位置が規制される。それにより、回転部材上で基板が保持される。複数の保持部材の各々は保持部および支持部を備える。保持部は支持部の穴に挿入され、保持部の被係止部が支持部の穴の係止部により係止される。それにより、基板を上方向に持ち上げる際、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部の穴から抜けることはない。また、保持部の被係止部を支持部の穴の係止部から外すことにより、保持部を支持部から抜き取ることが可能となる。これにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００２４】
また、支持部の穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられている。そのため、支持部の穴に挿入されて係止された保持部は、支持部の一方向への回動により基板の外周端部に当接し、逆方向ヘの回動により外周端部から離間する。これにより、基板の位置の規制および基板の解放が可能となる。
【００２５】
さらに、保持部の突起状の係合部を支持部の穴の縦方向の溝部に係合させて保持部を支持部の穴内に挿入した後、保持部を一方向に回すことにより、保持部の係合部が支持部の穴の横方向の溝部に係止される。それにより、基板を上方向に持ち上げる際に、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部から抜けることはない。また、保持部を逆方向に回すことにより、保持部を支持部から抜き取ることができる。それにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００２６】
その上、支持部の一方向への回動と逆の方向に保持部が回動する場合に、保持部は支持部に係止される。支持部が一方向へ回動すると、基板の外周端部から保持部に逆方向の力が作用する。この場合、保持部は支持部にさらに強固に固定される。
【００２７】
第３の発明に係る基板保持装置は、第１または第２の発明に係る基板保持装置の構成に おいて、支持部は、回転部材上に固定されたものである。
【００２８】
この場合、保持部は支持部を介して回転部材上に固定されている。保持部の被係止部が支持部の穴の係止部により係止されているので、基板を持ち上げる際に保持部に上方向の力が作用しても保持部が支持部から抜けることがない。
【００２９】
第４の発明に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、回転可能に設けられた回転部材と、回転部材を回転駆動する駆動手段と、回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、複数の保持部材の各々は、回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、基板の外周端部に当接可能に支持部の穴に挿入され、係止部により係止される被係止部を有する保持部とを備え、支持部は、回転部材上に回動可能に取り付けられ、穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、保持部は、支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように支持部の穴に挿入され、支持部の係止部は、穴の内周面に設けられた螺旋状の溝部であり、保持部の被係止部は、溝部に係合する突起状またはねじ状の係合部であり、保持部が一方向と逆の方向へ回動したときに保持部が支持部に締めつけられるように螺旋状の溝部が形成されたものである。
【００３０】
本発明に係る基板処理装置においては、回転部材上に載置された基板の位置が複数の保持部材により規制される。それにより、回転部材上で基板が保持される。その状態で、駆動手段により基板が回転駆動され、所定の処理が行われる。
【００３１】
複数の保持部材の各々は保持部および支持部を備える。保持部は支持部の穴に挿入され、保持部の被係止部が支持部の穴の係止部により係止される。それにより、基板を上方向に持ち上げる際、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部の穴から抜けることはない。また、保持部の被係止部を支持部の穴の係止部から外すことにより、保持部を支持部から抜き取ることが可能となる。これにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００３２】
また、支持部の穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられている。そのため、支持部の穴に挿入されて係止された保持部は、支持部の一方向への回動により基板の外周端部に当接し、逆方向ヘの回動により外周端部から離間する。これにより、基板の位置の規制および基板の解放が可能となる。
【００３３】
さらに、保持部の突起状またはねじ状の係合部を支持部の穴の内周面に設けられた螺旋状の溝部に螺合させ、保持部を一方向に回してねじ込むことにより、保持部を支持部に固定することができる。それにより、基板を上方向に持ち上げる際に、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部から抜けることはない。また、保持部を逆方向に回すことより、保持部を支持部から抜き取ることができる。それにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００３４】
その上、支持部の一方向への回動と逆の方向に保持部が回動する場合に、保持部は支持部に締めつけられる。支持部が一方向へ回動すると、基板の外周端部から保持部に逆方向の力が作用する。この場合、保持部は支持部にさらに強固に固定される。
【００３５】
第５の発明に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、回転可能に設けられた回転部材と、回転部材を回転駆動する駆動手段と、回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、複数の保持部材の各々は、回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、基板の外周端部に当接可能に支持部の穴に挿入され、係止部により係止される被 係止部を有する保持部とを備え、支持部は、回転部材上に回動可能に取り付けられ、穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、保持部は、支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように支持部の穴に挿入され、支持部の係止部は、穴の内周面の上端から下方に縦方向に延びかつ横方向に延びる溝部であり、保持部の被係止部は溝部に係合する突起状の係合部であり、保持部が一方向と逆の方向へ回動したときに保持部の係合部が溝部に係止されるように溝部が形成されたものである。
【００３６】
本発明に係る基板処理装置においては、回転部材上に載置された基板の位置が複数の保持部材により規制される。それにより、回転部材上で基板が保持される。その状態で、駆動手段により基板が回転駆動され、所定の処理が行われる。
【００３７】
複数の保持部材の各々は保持部および支持部を備える。保持部は支持部の穴に挿入され、保持部の被係止部が支持部の穴の係止部により係止される。それにより、基板を上方向に持ち上げる際、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部の穴から抜けることはない。また、保持部の被係止部を支持部の穴の係止部から外すことにより、保持部を支持部から抜き取ることが可能となる。これにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００３８】
また、支持部の穴は支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられている。そのため、支持部の穴に挿入されて係止された保持部は、支持部の一方向への回動により基板の外周端部に当接し、逆方向ヘの回動により外周端部から離間する。これにより、基板の位置の規制および基板の解放が可能となる。
【００３９】
さらに、保持部の突起状の係合部を支持部の穴の縦方向の溝部に係合させて保持部を支持部の穴内に挿入した後、保持部を一方向に回すことにより、保持部の係合部が支持部の穴の横方向の溝部に係止される。それにより、基板を上方向に持ち上げる際に、基板により保持部に上方向の力が作用しても、保持部が支持部から抜けることはない。また、保持部を逆方向に回すことにより、保持部を支持部から抜き取ることができる。それにより、容易に保持部のみを交換することができる。
【００４０】
その上、支持部の一方向への回動と逆の方向に保持部が回動する場合に、保持部は支持部に係止される。支持部が一方向へ回動すると、基板の外周端部から保持部に逆方向の力が作用する。この場合、保持部は支持部にさらに強固に固定される。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る基板処理装置の一例として回転式の塗布装置について説明する。
【００４２】
図１は本発明の一実施例における基板保持装置を用いた塗布装置の概略断面図、図２は図１の基板保持装置の概略平面図である。
【００４３】
図１および図２において、基板保持装置１は円形板状のスピンベース１１を備える。スピンベース１１はモータ３の回転軸２の先端に取り付け部材１２を介して水平に固定され、鉛直方向の軸の周りで回転駆動される。スピンベース１１の上面には、環状支持部１３が設けられており、この環状支持部１３の上面には、基板Ｗの裏面を支持する複数の支持ピン１４が設けられている。
【００４４】
図２に示すように、環状支持部１３の外周部には複数の切欠き部１３ａ，１３ｂが設けられている。環状支持部１３の各切欠き部１３ａ，１３ｂには、基板Ｗの水平位置を規制する固定式保持ピン２６および回転式保持ピン１５がそれぞれ配設されている。
【００４５】
固定式保持ピン２６はスピンベース１１に固定されている。また、回転式保持ピン１５はスピンベース１１に鉛直方向の軸の周りで回動可能に取り付けられている。この固定式保持ピン２６および回転式保持ピン１５の構造については後述する。
【００４６】
図１に示すように、スピンベース１１の下方には環状磁石６が配設されている。この環状磁石６は、駆動装置（図示せず）により上下動自在に設けられた磁石支持部材７に固定されている。
【００４７】
スピンベース１１の下方には、複数の昇降ピン２７が配設されている。昇降ピン２７は駆動装置（図示せず）により上下動自在に設けられている。スピンベース１１には、複数の昇降ピン２７がそれぞれ貫通可能な複数の貫通孔２８が設けられている。
【００４８】
モータ３の回転軸２は中空軸により構成され、その内部に基板Ｗの裏面洗浄用のバックリンスノズル９（図２参照）が挿入されている。このバックリンスノズル９は、取り付け部材１２を貫通して基板Ｗの裏面側に突出している。バックリンスノズル９の先端には、円錐台状のキャップ８が取り付けられている。キャップ８はバックリンスノズル９から吐出される純水等のリンス液が回転軸２の内部に侵入することを防止するために設けられている。
【００４９】
基板保持装置１の上方には、レジスト液等の処理液を基板Ｗに吐出する処理液供給手段であるレジストノズル１０が上下方向および水平方向に移動可能に設けられている。このレジストノズル１０は、レジスト液の塗布処理前および塗布処理後に基板Ｗの上方から離れた位置に待機し、塗布処理時に基板Ｗの中心部の上方に移動する。
【００５０】
さらに、基板保持装置１の周囲を取り囲むように中空のカップ４が配設されている。カップ４は上下方向に移動可能な上カップ４ａと、上カップ４ａの下方に固定された下カップ４ｂとを備える。下カップ４ｂの下部には、上方からカップ４内に下降される清浄な空気の下降流（ダウンフロー）を排気するための排気口４ｃが設けられている。
【００５１】
図３は固定式保持ピンの軸方向断面図、図４（ａ），（ｂ）は図３の固定式保持ピンにおけるピン部材のそれぞれ平面図および側面図である。
【００５２】
図３に示すように、固定式保持ピン２６は、ピン部材２９およびピン支持部３０を備える。ピン部材２９はＳｉＣ等のセラミックスにより形成される。ピン支持部３０の上面には穴部３０ａが設けられている。穴部３０ａの内周面には、螺旋状溝３０ｂが形成されている。
【００５３】
図４（ｂ）に示すように、ピン部材２９の外周面の下部側には、ピン支持部３０の螺旋状溝３０ｂに係合する複数の台形状の突起部２９ａが形成されている。複数の突起部２９ａは、図４（ａ）に示すように、互いに対向する位置に設けられている。
【００５４】
図３に示すように、ピン部材２９の突起部２９ａをピン支持部３０の螺旋状溝３０ａに螺合させ、ピン部材２９を穴部３０ａにねじ込むより、ピン部材２９がピン支持部３０に固定される。
【００５５】
図５は図２中のＸ−Ｘ線断面図、図６は図１の塗布装置の回転式保持ピンの分解斜視図である。
【００５６】
図５および図６において、回転式保持ピン１５は、ピン部材１６、ほぼ円柱状のピン支持部１７、取り付け部材１８および磁石収納部２１を備える。
【００５７】
ピン支持部１７は、蓋状部１７ａと、後述する取り付け部材１８のベアリング２０内に挿入される挿入部１７ｂと、磁石収納部２１に連結される連結部１７ｃとを備える。ピン支持部１７の上面には、穴部１７ｄがピン支持部１７の中心に対して偏心して設けられている。穴部１７ｄの内周面には、螺旋状溝１７ｅが形成されている。ピン部材１６の外周面の下部側には、ピン支持部１７の螺旋状溝１７ｅに係合する複数の台形状の突起部１６ａが対向する位置に形成されている。
【００５８】
ピン部材１６の突起部１６ａをピン支持部１７の螺旋状溝１７ｅに螺合させてピン部材１６を穴部１７ｄにねじ込むことにより、ピン部材１６がピン支持部１７に固定される。
【００５９】
磁石収納部２１は、棒状の永久磁石２２を収納する収納部２１ａと、ピン支持部１７の連結部１７ｃに図５のねじ２５によって固定される連結部２１ｂとを備える。
【００６０】
取り付け部材１８は、スピンベース１１に固定される固定部１８ａと、スピンベース１１の取り付け孔に挿入される円筒状の挿入部１８ｂと、スピンベース１１の上方に突出する円筒状の突出部１８ｃとを有する。挿入部１８ｂおよび突出部１８ｃの内側には、ベアリング２０が収納されており、また、そのベアリング２０の脱落を防止するベアリング支持部材２４が挿入されている（図５参照）。
【００６１】
取り付け部材１８の固定部１８ａには、一対の取り付け孔１９が形成されており、ねじ（図示せず）を取り付け孔１９に挿入することにより固定部１８ａがスピンベース１１に固定される。
【００６２】
取り付け部材１８の突出部１８ｃはスピンベース１１の上面から上方に突出する。取り付け部材１８の突出部１８ｃの内側に挿入されたベアリング２０内にはピン支持部１７の挿入部１７ｂが挿入される。また、ベアリング２０内には取り付け部材１８の下端側から磁石収納部２１の連結部２１ｂが挿入され、図５のねじ２５によりピン支持部１７と磁石収納部２１とが連結される。これにより、ピン支持部１７および磁石収納部２１が一体化され、ベアリング２０により回動可能にスピンベース１１に支持される。
【００６３】
本実施例においては、スピンベース１１が回転部材に相当し、モータ３が駆動手段に相当し、回転式保持ピン１５および固定式保持ピン２６が保持部材に相当する。また、回転式保持ピン１５におけるピン支持部１７が支持部に相当し、ピン部材１６が保持部に相当し、穴部１７ｄが穴に相当し、螺旋状溝１７ｅが係止部に相当し、突起部１６ａが被係止部に相当する。固定式保持ピン２６のピン支持部３０が支持部に相当し、ピン部材２９が保持部に相当し、穴部３０ａが穴に相当し、螺旋状溝３０ｂが係止部に相当し、突起部２９ａが被係止部に相当する。
【００６４】
図７は基板を保持する際に回転式保持ピンのピン部材に作用する力を示す平面図である。図７において、一点鎖線が基板Ｗを保持する前の状態（解放状態）を示し、実線が基板Ｗを回転式保持ピン１５により保持した状態を示している。
【００６５】
図７に示すように、回転式保持ピン１５が矢印Ｍの方向に回転することにより、ピン部材１６が基板Ｗの外周端部に当接する。これにより、基板Ｗには矢印Ｎで示す方向の力が作用する。逆に、ピン部材１６には矢印Ｆ１で示す方向の回転力が作用する。そのため、矢印Ｆ１で示す方向にピン部材１６が回転したときにピン部材１６がピン支持部１７の穴部１７ｄにねじ込まれるように、穴部１７ｄの螺旋状溝１７ｅを形成する（図５および図６）。これにより、回転式保持ピン１５で基板Ｗを保持した際にピン部材１６がピン支持部１７により強固に固定される。
【００６６】
なお、基板Ｗを保持する際に回転式保持ピン１５が矢印Ｍと逆方向に回転するように設定されている場合、矢印Ｆ１と逆方向にピン部材１６が回転したときにピン部材１６がピン支持部１７の穴部１７ｄにねじ込まれるように、穴部１７ｄの螺旋状溝１７ｅを形成する。
【００６７】
次に、上記構造を有する塗布装置におけるレジスト液の塗布処理工程を順に説明する。
【００６８】
まず、図１において、基板Ｗが基板保持装置１の支持ピン１４上に載置される。次に、環状磁石６が上昇して複数の回転式保持ピン１５が回転し、複数の固定式保持ピン２６および複数の回転式保持ピン１５によって基板Ｗが水平方向に保持される。
【００６９】
レジスト液の塗布処理時、モータ３により基板保持装置１が低速で回転駆動されつつ、レジストノズル１０から基板Ｗ上にレジスト液が吐出される。吐出されたレジスト液は基板Ｗの全面に均一に塗り広げられる。
【００７０】
塗布処理後、環状磁石６が下降することにより、基板Ｗから回転式保持ピン１５のピン部材１６が離れ、基板Ｗは解放状態となる。このとき、固定式保持ピン２６のピン部材２９は基板Ｗと接触したままである。複数の昇降ピン２７が上昇し、スピンベース１１に設けた複数の貫通孔２８を通過することにより基板Ｗが持ち上げられる。そして、基板Ｗは次の工程に移行する。
【００７１】
基板Ｗが持ち上げられる際、基板Ｗと固定式保持ピン２６のピン部材２９とは接触しているため、ピン部材２９には上向きの力が作用する。しかし、ピン部材２９の突起部２９ａがピン支持部３０の穴部３０ａの螺旋状溝３０ｂに螺合しているため、ピン部材２９がピン支持部３０から抜けることはない。
【００７２】
基板Ｗと回転式保持ピン１５のピン部材１６および固定式保持ピン２６のピン部材２９とが接触を繰り返すことによりピン部材１６，２９が磨耗しても、ピン部材１６，２９をピン支持部１７，３０から取り外すことによりピン部材１６，２９のみを交換することができる。したがって、保守に必要なコストが低くなり、交換作業も容易となる。
【００７３】
図８（ａ），（ｂ）は回転式保持ピンのピン支持部の他の例を示す平面図および軸方向断面図である。
【００７４】
図８（ａ）および（ｂ）に示すように、ピン支持部１７に穴部５２が設けられている。この穴部５２には、図５のピン部材１６が挿入される。
【００７５】
穴部５２の内周面には、ピン部材１６の突起部１６ａが嵌合するＬ字形の鉤状溝５２ｃが形成されている。鉤状溝５２ｃは縦溝部５２ａおよび横溝部５２ｂを有する。横溝部５２ｂは、縦溝部５２ａの下端から矢印Ｆ２で示す円周方向に延びている。
【００７６】
ピン部材１６の突起部１６ａを穴部５２の鉤状溝５２ｃの縦溝部５２ａに嵌合させてピン部材１６を穴部５２内に挿入した後、ピン部材１６を矢印Ｆ２の方向に回してピン部材１６の突起部１６ａを横溝部５２ｂに係止させることにより、ピン部材１６をピン支持部１７に固定することができる。
【００７７】
この場合、鉤状溝５２ｃの横溝部５２ｂを縦溝部５２ａの下端から矢印Ｆ２の方向に形成することにより、図７に示したように、基板Ｗを保持する際にピン支持部１７に取り付けられたピン部材１６に矢印Ｆ１で示す方向の力が作用しても、ピン部材１６の突起部１６ａがピン支持部１７の横溝部５２ｂから抜けることはない。また、ピン部材１６を矢印Ｆ１の方向と逆の方向に回すことにより、ピン部材１６の突起部１６ａを横溝部５２ｂから外してピン部材１６をピン支持部１７の穴部５２から抜き取ることができる。このようにして、ピン部材１６をピン支持部１７から取り外すことによりピン部材１６のみを交換することができる。したがって、保守に必要なコストが低くなり、交換作業も容易となる。
【００７８】
本実施例においては、穴部５２が穴に相当し、鉤状溝５２ｃが係止部に相当する。
【００７９】
図９（ａ），（ｂ）は、固定式保持ピンのピン支持部の他の例を示す平面図および軸方向断面図である。
【００８０】
図９（ａ）および（ｂ）に示すように、ピン支持部３０には、穴部５１が設けられている。この穴部５１には、図４のピン部材２９が挿入される。
【００８１】
穴部５１の内周面には、ピン部材２９の突起部２９ａが嵌合するＬ字型の鉤状溝５１ｃが形成されている。鉤状溝５１ｃは縦溝部５１ａおよび横溝部５１ｂを有する。横溝部５１ｂは、縦溝部５１ａの下端から矢印Ｆ３で示す円周方向に延びている。
【００８２】
ピン部材２９の突起部２９ａを穴部５１の鉤状溝５１ｃの縦溝部５１ａに嵌合させてピン部材２９を穴部５１内に挿入した後、ピン部材２９を矢印Ｆ３の方向に回してピン部材２９の突起部２９ａを横溝部５１ｂに係止させることにより、ピン部材２９をピン支持部３０に固定することができる。
【００８３】
この場合、基板Ｗが上昇する際にピン部材２９に上向きの力が作用しても、ピン部材２９がピン支持部３０から抜けることはない。また、ピン部材１６を矢印Ｆ３の方向と逆の方向に回すことにより、ピン部材１６の突起部１６ａを横溝部５１ｂから外してピン部材２９をピン支持部３０の穴部５１から抜き取ることができる。このようにして、ピン部材２９をピン支持部３０から取り外すことにより、ピン部材２９のみを交換することができる。したがって、保守に必要なコストが低くなり、交換作業も容易となる。
【００８４】
本実施例においては、穴部５１が穴に相当し、鉤状溝５１ｃが係止部に相当する。
【００８５】
図１０は回転式保持ピンのピン部材の他の例を示す側面図である。
図１０に示すように、ピン部材６１の外周面の下部側にねじ部６１ａが形成されている。ピン部材６１のねじ部６１ａは、図５および図６に示すピン支持部１７の穴部１７ｄの螺旋状溝１７ｅと螺合するように形成されている。ピン部材６１をピン支持部１７の穴部１７ｄにねじ込むことにより、ピン部材６１をピン支持部１７に固定することができる。
【００８６】
この場合、図７に示したように、基板Ｗを保持する際にピン支持部１７に取り付けられたピン部材６１に矢印Ｆ１で示す方向の力が作用しても、ピン部材６１がピン支持部１７から抜けることはない。また、ピン部材６１を矢印Ｆ１で示す方向と逆の方向に回すことにより、ピン部材６１をピン支持部１７の穴部１７ｄから抜き取ることができる。このようにして、ピン部材６１をピン支持部１７から取り外すことによりピン部材６１のみを交換することができる。したがって、保守に必要なコストが低くなり、交換作業も容易となる。
【００８７】
本実施例においては、ピン部材６１が保持部に相当し、ネジ部６１ａが被係止部に相当する。
【００８８】
なお、図１０のピン部材６１を図３の固定式保持ピン２６のピン部材２９の代わりに用いてもよい。
【００８９】
上記実施例では、本発明を回転式の塗布装置に適用した場合を説明したが、本発明は、現像装置等の他の基板処理装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における基板保持装置を用いた塗布装置の概略断面図である。
【図２】図１の基板保持装置の概略平面図である。
【図３】図１の固定式保持ピンの軸方向の断面図である。
【図４】図３の固定式保持ピンにおけるピン部材の平面図および側面図である。
【図５】図２中のＸ−Ｘ線断面図である。
【図６】図１の塗布装置の回転式保持ピンの分解斜視図である。
【図７】基板を保持する際に回転式保持ピンのピン部材に作用する力を示す平面図である。
【図８】回転式保持ピンのピン支持部の他の例を示す平面図および軸方向断面図である。
【図９】固定式保持ピンのピン支持部の他の例を示す平面図および軸方向断面図である。
【図１０】回転式保持ピンのピン部材の他の例を示す側面図である。
【図１１】従来の塗布装置の概略断面図である。
【符号の説明】
１ 基板保持装置
３ モータ
１０ レジストノズル
１１ スピンベース
１５ 回転式保持ピン
１６ ピン部材
１６ａ 突起部
１７ ピン支持部
１７ｄ 穴部
１７ｅ 螺旋状溝
２６ 固定式保持ピン
２９ ピン部材
２９ａ 突起部
３０ ピン支持部
３０ａ 穴部
３０ｂ 螺旋状溝
５１ 穴部
５１ａ 縦溝部
５１ｂ 横溝部
５１ｃ 鉤状溝
５２ 穴部
５２ａ 縦溝部
５２ｂ 横溝部
５２ｃ 鉤状溝
６１ ピン部材
６１ａ ねじ部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate holding device for holding a substrate and a substrate processing apparatus provided with the same.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Substrate processing apparatuses are used to perform various processes on substrates such as semiconductor wafers, glass substrates for liquid crystal display devices, glass substrates for photomasks, and glass substrates for optical disks. For example, a rotary type coating apparatus is used to apply a resist solution to a substrate surface.
[0003]
FIG. 11 is a schematic sectional view of a conventional coating apparatus.
In FIG. 11, the substrate holding device 31 includes a circular plate-shaped spin base 32. The spin base 32 is horizontally fixed to the tip of the rotating shaft 2 of the motor 3 and is driven to rotate about a vertical axis.
[0004]
An annular support 33 is fixed to the upper surface of the spin base 32, and a plurality of support pins 34 for supporting the back surface of the substrate W are provided on the annular support 33. Further, the spin base 32 is provided with a plurality of rotary holding pins 35 and a plurality of fixed support pins 45 for regulating the horizontal position of the substrate W.
[0005]
Each rotary holding pin 35 includes a pin member 36 and a pin support 37, and the pin support 37 is attached to the spin base 32 by a bearing 38 so as to be rotatable around a vertical axis. The pin member 36 is eccentric with respect to the center of rotation of the pin support 37 and is fixed to the upper surface of the pin support 37 by press fitting or the like. A rod-shaped permanent magnet 39 is attached to the lower part of each rotary holding pin 35.
[0006]
Further, each fixed holding pin 45 includes a pin member 46 and a pin support portion 47, and the pin member 46 is fixed to the pin support portion 47 by press fitting or the like.
[0007]
As the material of the pin members 36 and 46, SiC is often used, and as the material of the pin support portion 47, polypropylene is often used.
[0008]
A plurality of elevating pins 48 are arranged below the spin base 32. The elevating pin 48 is provided to be vertically movable by a driving device (not shown). The spin base 32 is provided with a plurality of through holes 44 through which a plurality of lifting pins 48 can pass.
[0009]
An annular magnet 41 is provided below the spin base 32. The annular magnet 41 is fixed to a magnet support member 42 provided to be vertically movable by a driving device (not shown).
[0010]
Above the substrate holding device 31, a resist nozzle 43 for discharging a resist liquid is provided so as to be movable in the vertical and horizontal directions. The resist nozzle 43 waits at a position deviated from above the substrate W before and after the coating process of the resist liquid, and moves above the central portion of the substrate W during the coating process.
[0011]
During the coating process of the resist solution, the ring-shaped magnet 41 rises and the plurality of rotary holding pins 35 rotate. Thus, the substrate W is horizontally held by the pin members 36 of the plurality of rotary holding pins 35 and the pin members 46 of the plurality of fixed holding pins 45.
[0012]
Thereafter, the substrate holding device 31 is rotationally driven by the motor 3, and the substrate W rotates at a low speed around the vertical axis. In this state, the resist liquid is discharged onto the substrate W from the resist nozzle 43. By the rotation of the substrate W, the resist solution is spread uniformly over the entire surface of the substrate W.
[0013]
After the coating process, the plurality of rotary holding pins 35 rotate as the annular magnet 41 descends, the pin members 36 separate from the substrate W, and the substrate W is released. Next, the plurality of elevating pins 48 move up, lift the substrate W, and shift to the next step.
[0014]
[Problems to be solved by the invention]
Even when the annular magnet 41 is lowered and the pin member 36 of the rotary holding pin 35 is separated from the substrate W, the pin member 46 of the fixed holding pin 45 and the substrate W are often still in contact with each other. . Therefore, when the substrate W is lifted, an upward force due to the contact with the substrate W acts on the pin member 46 of the fixed holding pin 45. At this time, the pin member 46 is firmly fixed to the pin support portion 47 by press fitting or the like so that the pin member 46 does not come off from the pin support portion 47.
[0015]
The pin members 36 and 46 fixed to the pin support portions 37 and 47 are slightly worn while repeating contact with the substrate W. Therefore, the pin members 36 and 46 need to be replaced. However, since the pin members 36, 46 are firmly fixed to the pin support portions 37, 47, respectively, not only the pin members 36, 46 but also the pin support portions 37, 47 need to be replaced. No. Therefore, the cost increases and the replacement operation becomes difficult.
[0016]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate holding device capable of preventing a pin member from coming off a pin support portion and easily replacing the pin member, and a substrate processing apparatus including the same.
[0017]
Means for Solving the Problems and Effects of the Invention
A substrate holding device according to a first aspect of the present invention is a substrate holding device for holding a substrate, wherein the rotating member is rotatably driven, and is disposed along an outer peripheral portion of the substrate placed on the rotating member. And a plurality of holding members each of which is provided on the rotating member and abuts on a supporting portion having a hole in which a locking portion is formed and an outer peripheral end of the substrate. A holding portion having a locked portion that is inserted into the hole of the support portion and is locked by the locking portion, the support portion is rotatably mounted on a rotating member, and the hole is formed in the support portion. The holding portion is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation, and the holding portion is inserted into a hole of the support portion so as to abut on the outer peripheral end of the substrate with the rotation of the support portion in one direction. The locking portion is a spiral groove provided on the inner peripheral surface of the hole, and the locked portion of the holding portion has a projection engaged with the groove. A Jo or a screw-like engagement portion, in which the holding portion is spiral groove so that the holding portion when rotated in one direction and the opposite direction is clamped to the support portion is formed.
[0018]
In the substrate holding device according to the first invention, the position of the substrate placed on the rotating member is regulated by the plurality of holding members. Thereby, the substrate is held on the rotating member. Each of the plurality of holding members includes a holding unit and a support unit. The holding portion is inserted into the hole of the support portion, and the locked portion of the holding portion is locked by the locking portion of the hole of the support portion. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not fall out of the hole of the support portion. Further, by detaching the locked portion of the holding portion from the locking portion of the hole of the support portion, the holding portion can be removed from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0019]
The hole of the support is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation of the support. Therefore, the holding portion inserted and locked in the hole of the supporting portion abuts on the outer peripheral end of the substrate by rotating in one direction of the supporting portion, and separates from the outer peripheral end by rotating in the opposite direction. . Thus, it is possible to regulate the position of the substrate and release the substrate.
[0020]
Further, the protrusion or the screw-shaped engaging portion of the holding portion is screwed into a spiral groove provided on the inner peripheral surface of the hole of the support portion, and the holding portion is turned in one direction and screwed into the holding portion. Can be fixed to the support. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not come off from the support portion. Further, by turning the holding portion in the opposite direction, the holding portion can be pulled out from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0021]
In addition, when the holding unit turns in a direction opposite to the rotation of the support unit in one direction, the holding unit is fastened to the support unit. When the support part rotates in one direction, a force in the opposite direction acts on the holding part from the outer peripheral end of the substrate. In this case, the holding section is further firmly fixed to the support section.
[0022]
A substrate holding device according to a second aspect of the present invention is a substrate holding device for holding a substrate, wherein the rotating member is rotatably driven, and is disposed along an outer peripheral portion of the substrate placed on the rotating member. And a plurality of holding members each of which is provided on the rotating member and abuts on a supporting portion having a hole in which a locking portion is formed and an outer peripheral end of the substrate. A holding portion having a locked portion that is inserted into the hole of the support portion and is locked by the locking portion, the support portion is rotatably mounted on a rotating member, and the hole is formed in the support portion. The holding portion is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation, and the holding portion is inserted into a hole of the support portion so as to abut on the outer peripheral end of the substrate with the rotation of the support portion in one direction. The locking portion is a groove that extends vertically and horizontally from the upper end of the inner peripheral surface of the hole, The stop portion is a projection-like engaging portion that engages with the groove portion, and the groove portion is formed so that the engaging portion of the holding portion is locked in the groove portion when the holding portion rotates in a direction opposite to one direction. It was done.
[0023]
In the substrate holding device according to the second invention, the position of the substrate placed on the rotating member is regulated by the plurality of holding members. Thereby, the substrate is held on the rotating member. Each of the plurality of holding members includes a holding unit and a support unit. The holding portion is inserted into the hole of the support portion, and the locked portion of the holding portion is locked by the locking portion of the hole of the support portion. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not fall out of the hole of the support portion. Further, by detaching the locked portion of the holding portion from the locking portion of the hole of the support portion, the holding portion can be removed from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0024]
The hole of the support is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation of the support. Therefore, the holding portion inserted and locked in the hole of the supporting portion abuts on the outer peripheral end of the substrate by rotating in one direction of the supporting portion, and separates from the outer peripheral end by rotating in the opposite direction. . Thus, it is possible to regulate the position of the substrate and release the substrate.
[0025]
Furthermore, after the protrusion-shaped engaging portion of the holding portion is engaged with the vertical groove of the hole of the supporting portion, and the holding portion is inserted into the hole of the supporting portion, the holding portion is turned in one direction. Is locked in the lateral groove of the hole of the support. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not come off from the support portion. Further, by turning the holding portion in the opposite direction, the holding portion can be pulled out from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0026]
In addition, when the holding unit rotates in a direction opposite to the rotation of the support unit in one direction, the holding unit is locked to the support unit. When the support part rotates in one direction, a force in the opposite direction acts on the holding part from the outer peripheral end of the substrate. In this case, the holding section is further firmly fixed to the support section.
[0027]
A substrate holding device according to a third aspect of the present invention has a configuration similar to that of the substrate holding device according to the first or second aspect. Here, the support portion is fixed on the rotating member.
[0028]
In this case, the holding section is fixed on the rotating member via the support section. Since the locked portion of the holding portion is locked by the locking portion of the hole of the support portion, the holding portion may come off from the support portion even when an upward force acts on the holding portion when lifting the substrate. Absent.
[0029]
A substrate processing apparatus according to a fourth aspect of the present invention is a substrate processing apparatus that performs a predetermined process on a substrate, the rotatable member being rotatably provided, a driving unit that drives the rotatable member to rotate, and a substrate mounted on the rotatable member. A plurality of holding members arranged along the outer peripheral portion of the substrate to be placed and regulating the position of the substrate, wherein each of the plurality of holding members is provided on a rotating member, and a locking portion is formed. A supporting portion having a hole, and a holding portion having a locked portion which is inserted into the hole of the supporting portion so as to be able to contact an outer peripheral end portion of the substrate and is locked by the locking portion. The hole is provided rotatably on the member, the hole is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation of the support portion, and the holding portion is provided at the outer peripheral end of the substrate with the rotation of the support portion in one direction. It is inserted into the hole of the support part so as to abut, and the locking part of the support part is a helical spiral formed on the inner peripheral surface of the hole. The locked portion of the holding portion is a projecting or screw-shaped engaging portion that engages with the groove, and the holding portion is the supporting portion when the holding portion rotates in a direction opposite to one direction. A spiral groove is formed so as to be tightened.
[0030]
In the substrate processing apparatus according to the present invention, the position of the substrate placed on the rotating member is regulated by the plurality of holding members. Thereby, the substrate is held on the rotating member. In this state, the substrate is rotationally driven by the driving unit, and a predetermined process is performed.
[0031]
Each of the plurality of holding members includes a holding unit and a support unit. The holding portion is inserted into the hole of the support portion, and the locked portion of the holding portion is locked by the locking portion of the hole of the support portion. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not fall out of the hole of the support portion. Further, by detaching the locked portion of the holding portion from the locking portion of the hole of the support portion, the holding portion can be removed from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0032]
The hole of the support is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation of the support. Therefore, the holding portion inserted and locked in the hole of the supporting portion abuts on the outer peripheral end of the substrate by rotating in one direction of the supporting portion, and separates from the outer peripheral end by rotating in the opposite direction. . Thus, it is possible to regulate the position of the substrate and release the substrate.
[0033]
Further, the protrusion or the screw-shaped engaging portion of the holding portion is screwed into a spiral groove provided on the inner peripheral surface of the hole of the support portion, and the holding portion is turned in one direction and screwed into the holding portion. Can be fixed to the support. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not come off from the support portion. Further, by turning the holding portion in the opposite direction, the holding portion can be pulled out from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0034]
In addition, when the holding unit turns in a direction opposite to the rotation of the support unit in one direction, the holding unit is fastened to the support unit. When the support part rotates in one direction, a force in the opposite direction acts on the holding part from the outer peripheral end of the substrate. In this case, the holding section is further firmly fixed to the support section.
[0035]
A substrate processing apparatus according to a fifth aspect of the present invention is a substrate processing apparatus for performing a predetermined process on a substrate, comprising: a rotatable member rotatably provided; a driving unit for driving the rotatable member to rotate; A plurality of holding members arranged along the outer peripheral portion of the substrate to be placed and regulating the position of the substrate, wherein each of the plurality of holding members is provided on a rotating member, and a locking portion is formed. A supporting portion having a hole, and a member to be inserted into the hole of the supporting portion so as to be able to abut on the outer peripheral end of the substrate and locked by the locking portion. A holding portion having a locking portion, wherein the supporting portion is rotatably mounted on the rotating member, the hole is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation of the supporting portion, and the holding portion is Is inserted into the hole of the supporting portion so as to contact the outer peripheral end of the substrate with the rotation in one direction, and the locking portion of the supporting portion extends vertically downward from the upper end of the inner peripheral surface of the hole. And a groove extending in the lateral direction, the locked portion of the holding portion is a projection-like engaging portion that engages with the groove, and engages with the holding portion when the holding portion rotates in a direction opposite to one direction. The groove is formed such that the joint is locked in the groove.
[0036]
In the substrate processing apparatus according to the present invention, the position of the substrate placed on the rotating member is regulated by the plurality of holding members. Thereby, the substrate is held on the rotating member. In this state, the substrate is rotationally driven by the driving unit, and a predetermined process is performed.
[0037]
Each of the plurality of holding members includes a holding unit and a support unit. The holding portion is inserted into the hole of the support portion, and the locked portion of the holding portion is locked by the locking portion of the hole of the support portion. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not fall out of the hole of the support portion. Further, by detaching the locked portion of the holding portion from the locking portion of the hole of the support portion, the holding portion can be removed from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0038]
The hole of the support is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation of the support. Therefore, the holding portion inserted and locked in the hole of the supporting portion abuts on the outer peripheral end of the substrate by rotating in one direction of the supporting portion, and separates from the outer peripheral end by rotating in the opposite direction. . Thus, it is possible to regulate the position of the substrate and release the substrate.
[0039]
Furthermore, after the protrusion-shaped engaging portion of the holding portion is engaged with the vertical groove of the hole of the supporting portion, and the holding portion is inserted into the hole of the supporting portion, the holding portion is turned in one direction. Is locked in the lateral groove of the hole of the support. Accordingly, when the substrate is lifted upward, even if an upward force acts on the holding portion by the substrate, the holding portion does not come off from the support portion. Further, by turning the holding portion in the opposite direction, the holding portion can be pulled out from the support portion. Thereby, only the holding portion can be easily replaced.
[0040]
In addition, when the holding unit rotates in a direction opposite to the rotation of the support unit in one direction, the holding unit is locked to the support unit. When the support part rotates in one direction, a force in the opposite direction acts on the holding part from the outer peripheral end of the substrate. In this case, the holding section is further firmly fixed to the support section.
[0041]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a rotary coating apparatus will be described as an example of the substrate processing apparatus according to the present invention.
[0042]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a coating apparatus using a substrate holding device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view of the substrate holding device of FIG.
[0043]
1 and 2, the substrate holding device 1 includes a circular plate-shaped spin base 11. The spin base 11 is horizontally fixed to the tip of the rotating shaft 2 of the motor 3 via a mounting member 12, and is driven to rotate around a vertical axis. An annular support portion 13 is provided on the upper surface of the spin base 11, and a plurality of support pins 14 for supporting the back surface of the substrate W are provided on the upper surface of the annular support portion 13.
[0044]
As shown in FIG. 2, a plurality of notches 13a and 13b are provided on the outer peripheral portion of the annular support portion 13. In each of the notches 13a and 13b of the annular support portion 13, a fixed holding pin 26 and a rotary holding pin 15 for regulating the horizontal position of the substrate W are provided, respectively.
[0045]
The fixed holding pin 26 is fixed to the spin base 11. The rotary holding pin 15 is attached to the spin base 11 so as to be rotatable around a vertical axis. The structures of the fixed holding pin 26 and the rotary holding pin 15 will be described later.
[0046]
As shown in FIG. 1, an annular magnet 6 is provided below the spin base 11. The annular magnet 6 is fixed to a magnet support member 7 provided to be vertically movable by a driving device (not shown).
[0047]
Below the spin base 11, a plurality of elevating pins 27 are arranged. The elevating pin 27 is provided to be vertically movable by a driving device (not shown). The spin base 11 is provided with a plurality of through holes 28 through which the plurality of lifting pins 27 can respectively pass.
[0048]
The rotating shaft 2 of the motor 3 is constituted by a hollow shaft, and a back rinse nozzle 9 (see FIG. 2) for cleaning the back surface of the substrate W is inserted therein. The back rinse nozzle 9 penetrates through the mounting member 12 and protrudes to the back surface side of the substrate W. At the tip of the back rinse nozzle 9, a truncated conical cap 8 is attached. The cap 8 is provided to prevent a rinse liquid such as pure water discharged from the back rinse nozzle 9 from entering the inside of the rotating shaft 2.
[0049]
Above the substrate holding device 1, a resist nozzle 10 serving as a processing liquid supply unit for discharging a processing liquid such as a resist liquid onto the substrate W is provided so as to be movable in the vertical and horizontal directions. The resist nozzle 10 waits at a position separated from above the substrate W before and after the coating process of the resist liquid, and moves above the center of the substrate W during the coating process.
[0050]
Further, a hollow cup 4 is provided so as to surround the periphery of the substrate holding device 1. The cup 4 includes an upper cup 4a that can move in a vertical direction, and a lower cup 4b fixed below the upper cup 4a. An exhaust port 4c for exhausting a downward flow (downflow) of clean air descending into the cup 4 from above is provided below the lower cup 4b.
[0051]
FIG. 3 is an axial sectional view of the fixed holding pin, and FIGS. 4A and 4B are a plan view and a side view of a pin member of the fixed holding pin of FIG.
[0052]
As shown in FIG. 3, the fixed holding pin 26 includes a pin member 29 and a pin support 30. The pin member 29 is formed of ceramics such as SiC. A hole 30a is provided on the upper surface of the pin support 30. A spiral groove 30b is formed on the inner peripheral surface of the hole 30a.
[0053]
As shown in FIG. 4B, a plurality of trapezoidal protrusions 29 a that engage with the spiral grooves 30 b of the pin support 30 are formed on the lower side of the outer peripheral surface of the pin member 29. The plurality of protrusions 29a are provided at positions facing each other as shown in FIG.
[0054]
As shown in FIG. 3, the protrusion 29 a of the pin member 29 is screwed into the spiral groove 30 a of the pin support 30, and the pin member 29 is fixed to the pin support 30 rather than screwing the pin 29 into the hole 30 a. Is done.
[0055]
5 is a sectional view taken along line XX in FIG. 2, and FIG. 6 is an exploded perspective view of a rotary holding pin of the coating apparatus in FIG.
[0056]
In FIGS. 5 and 6, the rotary holding pin 15 includes a pin member 16, a substantially cylindrical pin support 17, a mounting member 18, and a magnet housing 21.
[0057]
The pin support 17 includes a lid 17 a, an insertion part 17 b inserted into a bearing 20 of a mounting member 18 described below, and a connection part 17 c connected to the magnet storage part 21. A hole 17 d is provided on the upper surface of the pin support 17 eccentrically with respect to the center of the pin support 17. A spiral groove 17e is formed on the inner peripheral surface of the hole 17d. A plurality of trapezoidal protrusions 16a that engage with the spiral groove 17e of the pin support 17 are formed at positions facing the lower part of the outer peripheral surface of the pin member 16.
[0058]
The pin 16 is fixed to the pin support 17 by screwing the projection 16a of the pin 16 into the spiral groove 17e of the pin support 17 and screwing the pin 16 into the hole 17d.
[0059]
The magnet storage section 21 includes a storage section 21a for storing a rod-shaped permanent magnet 22, and a connection section 21b fixed to the connection section 17c of the pin support section 17 with the screw 25 in FIG.
[0060]
The mounting member 18 includes a fixing portion 18a fixed to the spin base 11, a cylindrical insertion portion 18b inserted into a mounting hole of the spin base 11, and a cylindrical protrusion 18c protruding above the spin base 11. Having. A bearing 20 is housed inside the insertion portion 18b and the protruding portion 18c, and a bearing support member 24 for preventing the bearing 20 from dropping is inserted (see FIG. 5).
[0061]
A pair of mounting holes 19 are formed in the fixing portion 18 a of the mounting member 18, and the fixing portion 18 a is fixed to the spin base 11 by inserting a screw (not shown) into the mounting hole 19.
[0062]
The protrusion 18c of the mounting member 18 protrudes upward from the upper surface of the spin base 11. The insertion portion 17b of the pin support 17 is inserted into the bearing 20 inserted inside the protrusion 18c of the mounting member 18. The connecting portion 21b of the magnet housing 21 is inserted into the bearing 20 from the lower end side of the mounting member 18, and the pin support 17 and the magnet housing 21 are connected by the screw 25 in FIG. As a result, the pin support portion 17 and the magnet housing portion 21 are integrated, and are rotatably supported by the spin base 11 by the bearing 20.
[0063]
In the present embodiment, the spin base 11 corresponds to a rotating member, the motor 3 corresponds to a driving unit, and the rotary holding pin 15 and the fixed holding pin 26 correspond to a holding member. Further, the pin support portion 17 of the rotary holding pin 15 corresponds to a support portion, the pin member 16 corresponds to a holding portion, the hole portion 17d corresponds to a hole, the spiral groove 17e corresponds to a locking portion, The protrusion 16a corresponds to a locked portion. The pin support portion 30 of the fixed holding pin 26 corresponds to a support portion, the pin member 29 corresponds to a holding portion, the hole portion 30a corresponds to a hole, the spiral groove 30b corresponds to a locking portion, and the projection portion. 29a corresponds to a locked portion.
[0064]
FIG. 7 is a plan view showing the force acting on the pin member of the rotary holding pin when holding the substrate. In FIG. 7, a dashed line indicates a state before the substrate W is held (released state), and a solid line indicates a state where the substrate W is held by the rotary holding pins 15.
[0065]
As shown in FIG. 7, when the rotary holding pin 15 rotates in the direction of the arrow M, the pin member 16 comes into contact with the outer peripheral end of the substrate W. As a result, a force in the direction indicated by the arrow N acts on the substrate W. Conversely, a rotational force acts on the pin member 16 in the direction indicated by the arrow F1. Therefore, the spiral groove 17e of the hole 17d is formed so that the pin member 16 is screwed into the hole 17d of the pin support 17 when the pin member 16 rotates in the direction indicated by the arrow F1 (see FIGS. 5 and 5). 6). Thus, when the substrate W is held by the rotary holding pins 15, the pin members 16 are firmly fixed by the pin support portions 17.
[0066]
When the rotary holding pin 15 is set to rotate in the direction opposite to the arrow M when holding the substrate W, the pin member 16 rotates when the pin member 16 rotates in the direction opposite to the arrow F1. The spiral groove 17e of the hole 17d is formed so as to be screwed into the hole 17d of the support portion 17.
[0067]
Next, the coating process of the resist liquid in the coating apparatus having the above structure will be described in order.
[0068]
First, in FIG. 1, the substrate W is placed on the support pins 14 of the substrate holding device 1. Next, the ring magnet 6 is raised, and the plurality of rotary holding pins 15 rotate, and the substrate W is held in the horizontal direction by the plurality of fixed holding pins 26 and the plurality of rotary holding pins 15.
[0069]
During the coating process of the resist liquid, the resist liquid is discharged from the resist nozzle 10 onto the substrate W while the substrate holding device 1 is rotated at a low speed by the motor 3. The discharged resist liquid is uniformly spread over the entire surface of the substrate W.
[0070]
After the coating process, the pin member 16 of the rotary holding pin 15 is separated from the substrate W by the lowering of the annular magnet 6, and the substrate W is released. At this time, the pin member 29 of the fixed holding pin 26 remains in contact with the substrate W. The plurality of elevating pins 27 move up and pass through the plurality of through holes 28 provided in the spin base 11, whereby the substrate W is lifted. Then, the substrate W moves to the next step.
[0071]
When the substrate W is lifted, the substrate W and the pin member 29 of the fixed holding pin 26 are in contact with each other, so that an upward force acts on the pin member 29. However, since the projection 29 a of the pin member 29 is screwed into the spiral groove 30 b of the hole 30 a of the pin support 30, the pin member 29 does not fall out of the pin support 30.
[0072]
Even if the substrate W and the pin members 16 of the rotary holding pin 15 and the pin member 29 of the fixed holding pin 26 are repeatedly contacted, the pin members 16 and 29 are worn even if the pin members 16 and 29 are worn. , 30, only the pin members 16, 29 can be replaced. Therefore, the cost required for maintenance is reduced, and replacement work is also facilitated.
[0073]
FIGS. 8A and 8B are a plan view and an axial sectional view showing another example of the pin support of the rotary holding pin.
[0074]
As shown in FIGS. 8A and 8B, a hole 52 is provided in the pin support 17. The pin member 16 of FIG. 5 is inserted into the hole 52.
[0075]
An L-shaped hook-shaped groove 52c into which the projection 16a of the pin member 16 is fitted is formed on the inner peripheral surface of the hole 52. The hook-shaped groove 52c has a vertical groove 52a and a horizontal groove 52b. The horizontal groove 52b extends in the circumferential direction indicated by the arrow F2 from the lower end of the vertical groove 52a.
[0076]
After the protrusion 16a of the pin member 16 is fitted into the vertical groove 52a of the hook-shaped groove 52c of the hole 52 and the pin member 16 is inserted into the hole 52, the pin member 16 is turned in the direction of arrow F2 to rotate the pin. The pin member 16 can be fixed to the pin support 17 by engaging the protrusion 16a of the member 16 with the lateral groove 52b.
[0077]
In this case, the horizontal groove 52b of the hook-shaped groove 52c is formed in the direction of arrow F2 from the lower end of the vertical groove 52a, so that the horizontal groove 52b is attached to the pin support 17 when holding the substrate W as shown in FIG. Even if a force in the direction indicated by the arrow F1 acts on the pin member 16, the protrusion 16 a of the pin member 16 does not fall out of the lateral groove 52 b of the pin support 17. Further, by turning the pin member 16 in the direction opposite to the direction of the arrow F1, the projection 16a of the pin member 16 can be removed from the lateral groove 52b, and the pin member 16 can be removed from the hole 52 of the pin support portion 17. . In this way, by removing the pin member 16 from the pin support 17, only the pin member 16 can be replaced. Therefore, the cost required for maintenance is reduced, and replacement work is also facilitated.
[0078]
In the present embodiment, the hole 52 corresponds to a hole, and the hook-shaped groove 52c corresponds to a locking portion.
[0079]
FIGS. 9A and 9B are a plan view and an axial sectional view showing another example of the pin support portion of the fixed holding pin.
[0080]
As shown in FIGS. 9A and 9B, a hole 51 is provided in the pin support 30. The pin member 29 of FIG. 4 is inserted into the hole 51.
[0081]
An L-shaped hook-shaped groove 51c into which the projection 29a of the pin member 29 fits is formed on the inner peripheral surface of the hole 51. The hook-shaped groove 51c has a vertical groove 51a and a horizontal groove 51b. The horizontal groove 51b extends from the lower end of the vertical groove 51a in the circumferential direction indicated by the arrow F3.
[0082]
After the protrusion 29a of the pin member 29 is fitted into the vertical groove 51a of the hook-shaped groove 51c of the hole 51 and the pin member 29 is inserted into the hole 51, the pin member 29 is turned in the direction of arrow F3 to rotate the pin. The pin member 29 can be fixed to the pin support 30 by engaging the protrusion 29a of the member 29 with the lateral groove 51b.
[0083]
In this case, even when an upward force is applied to the pin member 29 when the substrate W is lifted, the pin member 29 does not fall out of the pin support 30. Further, by turning the pin member 16 in the direction opposite to the direction of the arrow F3, the projection 16a of the pin member 16 can be removed from the lateral groove 51b, and the pin member 29 can be removed from the hole 51 of the pin support 30. . In this manner, by removing the pin member 29 from the pin support 30, only the pin member 29 can be replaced. Therefore, the cost required for maintenance is reduced, and replacement work is also facilitated.
[0084]
In this embodiment, the hole 51 corresponds to a hole, and the hook-shaped groove 51c corresponds to a locking portion.
[0085]
FIG. 10 is a side view showing another example of the pin member of the rotary holding pin.
As shown in FIG. 10, a screw portion 61a is formed on the lower side of the outer peripheral surface of the pin member 61. The screw portion 61a of the pin member 61 is formed so as to screw with the spiral groove 17e of the hole 17d of the pin support portion 17 shown in FIGS. The pin member 61 can be fixed to the pin support 17 by screwing the pin member 61 into the hole 17 d of the pin support 17.
[0086]
In this case, as shown in FIG. 7, even when a force in the direction indicated by arrow F1 is applied to the pin member 61 attached to the pin support portion 17 when holding the substrate W, the pin member 61 There is no escape from 17. Further, by rotating the pin member 61 in the direction opposite to the direction indicated by the arrow F1, the pin member 61 can be pulled out from the hole 17d of the pin support portion 17. In this way, by removing the pin member 61 from the pin support 17, only the pin member 61 can be replaced. Therefore, the cost required for maintenance is reduced, and replacement work is also facilitated.
[0087]
In the present embodiment, the pin member 61 corresponds to a holding portion, and the screw portion 61a corresponds to a locked portion.
[0088]
The pin member 61 of FIG. 10 may be used instead of the pin member 29 of the fixed holding pin 26 of FIG.
[0089]
In the above embodiment, the case where the present invention is applied to a rotary type coating apparatus has been described. However, the present invention can be applied to other substrate processing apparatuses such as a developing apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic sectional view of a coating apparatus using a substrate holding device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view of the substrate holding device of FIG.
3 is an axial sectional view of the fixed holding pin of FIG. 1. FIG.
FIG. 4 is a plan view and a side view of a pin member of the fixed holding pin of FIG. 3;
FIG. 5 is a sectional view taken along line XX in FIG. 2;
FIG. 6 is an exploded perspective view of a rotary holding pin of the coating device of FIG. 1;
FIG. 7 is a plan view showing a force acting on a pin member of a rotary holding pin when holding a substrate.
8A and 8B are a plan view and an axial sectional view showing another example of the pin support of the rotary holding pin.
FIG. 9 is a plan view and an axial sectional view showing another example of the pin support portion of the fixed holding pin.
FIG. 10 is a side view showing another example of the pin member of the rotary holding pin.
FIG. 11 is a schematic sectional view of a conventional coating apparatus.
[Explanation of symbols]
1 Substrate holding device
3 Motor
10. Resist nozzle
11 Spin Base
15 Rotary holding pin
16 pin member
16a protrusion
17 pin support
17d hole
17e spiral groove
26 Fixed holding pin
29 Pin member
29a Projection
30 pin support
30a hole
30b spiral groove
51 hole
51a Vertical groove
51b Horizontal groove
51c Hook-shaped groove
52 hole
52a Vertical groove
52b horizontal groove
52c hook groove
61 Pin member
61a screw part

Claims (5)

基板を保持する基板保持装置であって、
回転駆動される回転部材と、
前記回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、
前記複数の保持部材の各々は、
前記回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、
基板の外周端部に当接可能に前記支持部の前記穴に挿入され、前記係止部により係止される被係止部を有する保持部とを備え、
前記支持部は、前記回転部材上に回動可能に取り付けられ、前記穴は前記支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、前記保持部は、前記支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように前記支持部の前記穴に挿入され、
前記支持部の前記係止部は、前記穴の内周面に設けられた螺旋状の溝部であり、前記保持部の前記被係止部は、前記溝部に係合する突起状またはねじ状の係合部であり、
前記保持部が前記一方向と逆の方向へ回動したときに前記保持部が前記支持部に締めつけられるように前記螺旋状の溝部が形成されたことを特徴とする基板保持装置。 A substrate holding device for holding a substrate,
A rotating member that is driven to rotate,
A plurality of holding members that are arranged along the outer peripheral portion of the substrate placed on the rotating member and regulate the position of the substrate,
Each of the plurality of holding members,
A support portion provided on the rotating member and having a hole in which a locking portion is formed;
A holding portion having a locked portion locked by the locking portion, the holding portion being inserted into the hole of the support portion so as to be in contact with an outer peripheral end of the substrate ,
The support portion is rotatably mounted on the rotating member, the hole is provided at a position eccentric with respect to the center of rotation of the support portion, and the holding portion is provided in one direction of the support portion. Inserted into the hole of the support portion so as to contact the outer peripheral end of the substrate with the rotation,
The locking portion of the support portion is a spiral groove provided on the inner peripheral surface of the hole, and the locked portion of the holding portion has a protrusion or a screw shape that engages with the groove. Engaging portion,
The substrate holding device, wherein the spiral groove is formed so that the holding portion is fastened to the support portion when the holding portion rotates in a direction opposite to the one direction. 基板を保持する基板保持装置であって、A substrate holding device for holding a substrate,
回転駆動される回転部材と、A rotating member that is driven to rotate,
前記回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、A plurality of holding members that are arranged along the outer peripheral portion of the substrate placed on the rotating member and regulate the position of the substrate,
前記複数の保持部材の各々は、Each of the plurality of holding members,
前記回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、A support portion provided on the rotating member and having a hole in which a locking portion is formed;
基板の外周端部に当接可能に前記支持部の前記穴に挿入され、前記係止部により係止される被係止部を有する保持部とを備え、A holding portion having a locked portion that is inserted into the hole of the support portion so as to be in contact with an outer peripheral end portion of the substrate and locked by the locking portion;
前記支持部は、前記回転部材上に回動可能に取り付けられ、前記穴は前記支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、前記保持部は、前記支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように前記支持部の前記穴に挿入され、The support portion is rotatably mounted on the rotating member, the hole is provided at a position eccentric with respect to a rotation center of the support portion, and the holding portion is provided in one direction of the support portion. Inserted into the hole of the support portion so as to contact the outer peripheral end of the substrate with the rotation,
前記支持部の前記係止部は、前記穴の内周面の上端から下方に縦方向に延びかつ横方向に延びる溝部であり、前記保持部の前記被係止部は前記溝部に係合する突起状の係合部であり、The locking portion of the support portion is a groove portion extending vertically and horizontally from an upper end of the inner peripheral surface of the hole, and the locked portion of the holding portion is engaged with the groove portion. A projection-like engaging portion,
前記保持部が前記一方向と逆の方向へ回動したときに前記保持部の前記係合部が前記溝部に係止されるように前記溝部が形成されたことを特徴とする基板保持装置。The substrate holding device, wherein the groove portion is formed such that the engaging portion of the holding portion is locked in the groove portion when the holding portion rotates in a direction opposite to the one direction. 前記支持部は、前記回転部材上に固定されたことを特徴とする請求項１または２記載の基板保持装置。The substrate holding device according to claim 1, wherein the support portion is fixed on the rotating member. 基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、A substrate processing apparatus that performs predetermined processing on a substrate,
回転可能に設けられた回転部材と、A rotating member rotatably provided;
前記回転部材を回転駆動する駆動手段と、Driving means for driving the rotating member to rotate,
前記回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、A plurality of holding members that are arranged along the outer peripheral portion of the substrate placed on the rotating member and regulate the position of the substrate,
前記複数の保持部材の各々は、Each of the plurality of holding members,
前記回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、A support portion provided on the rotating member and having a hole in which a locking portion is formed;
基板の外周端部に当接可能に前記支持部の前記穴に挿入され、前記係止部により係止される被係止部を有する保持部とを備え、A holding portion having a locked portion that is inserted into the hole of the support portion so as to be in contact with an outer peripheral end portion of the substrate and locked by the locking portion;
前記支持部は、前記回転部材上に回動可能に取り付けられ、前記穴は前記支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、前記保持部は、前記支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように前記支持部の前記穴に挿入され、The support portion is rotatably mounted on the rotating member, the hole is provided at a position eccentric with respect to a rotation center of the support portion, and the holding portion is provided in one direction of the support portion. Inserted into the hole of the support portion so as to contact the outer peripheral end of the substrate with the rotation,
前記支持部の前記係止部は、前記穴の内周面に設けられた螺旋状の溝部であり、前記保持部の前記被係止部は、前記溝部に係合する突起状またはねじ状の係合部であり、The locking portion of the support portion is a spiral groove provided on the inner peripheral surface of the hole, and the locked portion of the holding portion has a protrusion or a screw shape that engages with the groove. Engaging portion,
前記保持部が前記一方向と逆の方向へ回動したときに前記保持部が前記支持部に締めつWhen the holding unit rotates in a direction opposite to the one direction, the holding unit fastens to the support unit. けられるように前記螺旋状の溝部が形成されたことを特徴とする基板処理装置。The substrate processing apparatus, wherein the spiral groove is formed so as to be cut. 基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、A substrate processing apparatus that performs predetermined processing on a substrate,
回転可能に設けられた回転部材と、A rotating member rotatably provided;
前記回転部材を回転駆動する駆動手段と、Driving means for driving the rotating member to rotate,
前記回転部材上に載置される基板の外周部に沿うように配置され、基板の位置を規制する複数の保持部材とを備え、A plurality of holding members that are arranged along the outer peripheral portion of the substrate placed on the rotating member and regulate the position of the substrate,
前記複数の保持部材の各々は、Each of the plurality of holding members,
前記回転部材上に設けられ、係止部が形成された穴を有する支持部と、A support portion provided on the rotating member and having a hole in which a locking portion is formed;
基板の外周端部に当接可能に前記支持部の前記穴に挿入され、前記係止部により係止される被係止部を有する保持部とを備え、A holding portion having a locked portion that is inserted into the hole of the support portion so as to be in contact with an outer peripheral end portion of the substrate and locked by the locking portion;
前記支持部は、前記回転部材上に回動可能に取り付けられ、前記穴は前記支持部の回動中心に対して偏心した位置に設けられ、前記保持部は、前記支持部の一方向への回動に伴って基板の外周端部に当接するように前記支持部の前記穴に挿入され、The support portion is rotatably mounted on the rotating member, the hole is provided at a position eccentric with respect to a rotation center of the support portion, and the holding portion is provided in one direction of the support portion. Inserted into the hole of the support portion so as to contact the outer peripheral end of the substrate with the rotation,
前記支持部の前記係止部は、前記穴の内周面の上端から下方に縦方向に延びかつ横方向に延びる溝部であり、前記保持部の前記被係止部は前記溝部に係合する突起状の係合部であり、The locking portion of the support portion is a groove portion extending vertically and horizontally from an upper end of the inner peripheral surface of the hole, and the locked portion of the holding portion is engaged with the groove portion. A projection-like engaging portion,
前記保持部が前記一方向と逆の方向へ回動したときに前記保持部の前記係合部が前記溝部に係止されるように前記溝部が形成されたことを特徴とする基板処理装置。The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the groove is formed such that the engaging portion of the holder is locked in the groove when the holder rotates in a direction opposite to the one direction.
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