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JP3408464B2 - Clean oven - Google Patents

Clean oven

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Publication number
JP3408464B2
JP3408464B2 JP23232699A JP23232699A JP3408464B2 JP 3408464 B2 JP3408464 B2 JP 3408464B2 JP 23232699 A JP23232699 A JP 23232699A JP 23232699 A JP23232699 A JP 23232699A JP 3408464 B2 JP3408464 B2 JP 3408464B2
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JP
Japan
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constant temperature
opening
inner tank
clean oven
tank
Prior art date
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Inventor
南海雄 宮崎
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九州日本電気株式会社
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、温風循環型のクリ
ーンオーブンに関し、より詳細には、内部フィルタで循
環温風が、常に清浄化されて恒温槽内に循環されている
クリーンオーブンに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hot air circulation type clean oven, and more particularly to a clean oven in which circulating hot air is always cleaned by an internal filter and circulated in a constant temperature bath. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、研究室での試験検体や、製造
工程における製品等を所定の温度下で、加熱処理又は乾
燥するに際して、大小の恒温槽が、広く使用されてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, large and small constant temperature baths have been widely used when heat-treating or drying test samples in a laboratory or products in a manufacturing process at a predetermined temperature.

【0003】このような恒温槽にあって、通常、検体や
製品を恒温下に処理する恒温内槽には、従来から、温風
を循環させる形式が、一般的である。また、多くの場
合、その恒温雰囲気が、常に清浄化されている、いわゆ
るクリーンオーブン型である。
[0003] In such a constant temperature bath, a type in which warm air is circulated has conventionally been generally used in a constant temperature inner bath for treating a sample or a product at a constant temperature. In many cases, the constant temperature atmosphere is of a so-called clean oven type, which is always cleaned.

【0004】また、このようなクリーンオーブンの使用
温度は、その多くは100〜350℃程度の温度範囲で
使用され、そのために、通常、内部ヒーターで加温され
た高温の温風が、恒温内槽へ循環されていることにな
る。
Most of the clean ovens are used in a temperature range of about 100 to 350 ° C., and therefore, the high temperature hot air heated by the internal heater is usually kept at a constant temperature. It is being circulated to the tank.

【0005】また、この循環温風を、通常、装填されて
いる内部フィルタに通過させて、大気中に含まれる、例
えば、粒子径0.01〜100μm範囲の粉塵等を捕集
除去させて清浄化(クリーン化)させる。
Further, the circulating hot air is normally passed through an internal filter loaded to collect and remove dust and the like contained in the atmosphere, for example, having a particle size of 0.01 to 100 μm. Make (clean).

【0006】この種のフィルタとして、通常、吹出し速
度0.5m/sで、0.15μm径粒子を、99.97
%以上の捕集率で清浄化できる耐熱性を有するガラス繊
維フィルタが広く使用されている。
[0006] As a filter of this type, normally, particles having a diameter of 0.15 µm and 99.97 at a blowing speed of 0.5 m / s are used.
A glass fiber filter having heat resistance that can be cleaned with a collection rate of not less than 10% is widely used.

【0007】そこで、従来の恒温槽(又はクリーンオー
ブン)として、特開平10−185427号公報や、実
開平2−20323号公報に、外槽内に恒温内槽がセッ
トされ、内部フィルタとヒーター(内部ヒーター又は外
部ヒーター)を介して、循環ファンで、清浄化された温
風を恒温内槽に送風・循環させてなるクリーンオーブン
が記載されている。
Therefore, as a conventional constant temperature oven (or clean oven), in JP-A-10-185427 and Japanese Utility Model Laid-Open No. 2-20323, a constant temperature inner vessel is set in an outer vessel, and an internal filter and a heater ( There is described a clean oven in which purified hot air is blown and circulated through a constant temperature inner tank by a circulation fan via an internal heater or an external heater.

【0008】図4に示すクリーンオーブンは、上記実開
平2−20323号公報に提案されているクリーンオー
ブンであり、外槽48と内槽41にそれぞれ自動ダンパ
ーをもつ吸気口と排気口があり、槽内にガスセンサを備
えて、吸気口と排気口の自動ダンパーを開閉させて、可
燃性ガスの濃度が設定値以下になるようにした後、密閉
型で使用する爆発・燃焼等を防止することを目的とする
清浄化温風を循環させるクリーンオーブンである。
The clean oven shown in FIG. 4 is the clean oven proposed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 2-20323 mentioned above, in which the outer tank 48 and the inner tank 41 each have an intake port and an exhaust port with automatic dampers. Install a gas sensor in the tank and open / close the automatic dampers at the intake and exhaust ports to keep the concentration of combustible gas below the set value, and then prevent explosion / combustion when used in a sealed type. It is a clean oven that circulates purified warm air for the purpose.

【0009】図4に示す従来例における温風の循環路
は、恒温内槽41の底部の吸気口(又は換気口)から、
循環ファン46で吸引−送風させて、内部ヒーター45
で加温されて、次いで内部フィルタ43を通過させて、
清浄化された温風が、恒温内槽41に導入されるように
なっている。
The warm air circulation path in the conventional example shown in FIG. 4 is formed from an intake port (or a ventilation port) at the bottom of the constant temperature inner tank 41.
A circulation fan 46 sucks and blows air into the internal heater 45.
And then passed through the internal filter 43,
The purified warm air is introduced into the constant temperature inner tank 41.

【0010】また、図4では、恒温内槽の下方部に直結
させたダンパ付き排気口から排気され、また、図示して
いないが、特開平10−185427号公報の提案で
は、恒温内槽と外槽との間の温風路に直結する外槽の上
方側部にダンパ−を有する排気ダクトが設けられてい
る。
Further, in FIG. 4, the gas is exhausted from an exhaust port with a damper which is directly connected to the lower part of the constant temperature inner tank, and although not shown, in the proposal of JP-A-10-185427, An exhaust duct having a damper is provided on the upper side of the outer tub which is directly connected to the warm air passage between the outer tub and the outer tub.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】以上のような状況下に
あって、このクリーンオーブンを取り扱うに際して、試
験検体や製品を出し入れする場合に、その利用者が、密
閉されている恒温内槽の開閉扉をオープンさせなければ
ならない。
Under the circumstances as described above, when handling the clean oven, when the test sample or product is taken in and out, the user opens and closes the closed constant temperature inner tank. You have to open the door.

【0012】ところが、既に上述する如く、高温で使用
され、しかも、恒温内槽へ温風が、吹込むようにして循
環されている従来からのクリーンオーブンでは、常に、
この開閉扉をオープンさせると、高温の温風に、まとも
に利用者が曝されることになる。
However, as already described above, in the conventional clean oven which is used at a high temperature and is circulated by blowing hot air into the constant temperature inner tank,
When this opening / closing door is opened, the user is properly exposed to the hot air.

【0013】また、利用目的によっては、この温風は、
種々の有害又は異臭性を有する高温の気体流であって、
労働安全衛生の立場から無視できない。よって、このよ
うな作業においては、防護手袋、防護メガネやマスク等
の防護具一式の着用が、義務づけられているのが実状で
ある。
Further, depending on the purpose of use, this warm air is
A high temperature gas stream with various harmful or offensive odors,
It cannot be ignored from the viewpoint of occupational safety and health. Therefore, in such a work, it is actually required to wear a set of protective equipment such as protective gloves, protective glasses and a mask.

【0014】従って、既に上述する従来例では、開閉ダ
ンパーを有する排気口又は排気ダクトを設けているもの
の、何れにおいても、一旦、ヒーター電源を切り、温度
低下を待って、開閉扉を開けて、目的処理体を出し入れ
することになり、エネルギーコストを高めたり、利用効
率又は生産性を低下させてしまうのが実状である。
Therefore, in the above-mentioned conventional example, although the exhaust port or the exhaust duct having the opening / closing damper is provided, the heater power is once turned off, the temperature is lowered, the opening / closing door is opened, It is the actual situation that the target processing body is taken in and out, which raises the energy cost and lowers the utilization efficiency or the productivity.

【0015】そこで、本発明の目的は、このようなクリ
ーンオーブンを利用するに際して、利用者が、上述する
ような防護具一式を身に装着する作業上の煩雑さもな
く、高温熱風や、有害又は異臭熱風に顔、手等を曝すこ
となく、労働安全衛生等に優れ、しかも、利用効率を向
上させることができるクリーンオーブンを提供すること
である。
Therefore, an object of the present invention is to provide a clean oven without the user having to wear the above-mentioned set of protective equipment on his / her body, and to avoid high-temperature hot air, harmful harmful or harmful air. It is an object of the present invention to provide a clean oven which is excellent in occupational safety and health without exposing the face and hands to the odorous hot air and which can improve the utilization efficiency.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、上
記課題に鑑みて、鋭意検討した結果、内部ヒーターや、
循環ファン等の配置や、恒温部となる内槽の形態等に着
目することにより、外槽に設ける恒温槽の開閉扉の開時
又は閉時に対応させて、恒温内槽に効果的に高温温風を
送風させ、しかも、上述する従来からの課題を解消でき
る循環方法を見出して、本発明を完成させるに至った。
In view of the above-mentioned problems, the present inventor has diligently studied and found that the internal heater and
By paying attention to the layout of the circulation fan and the shape of the inner tank that serves as the constant temperature part, the constant temperature inside tank can be effectively heated to a high temperature by opening or closing the opening / closing door of the constant temperature tank installed in the outer tank. The present invention has been completed by finding a circulation method that can blow the air and can solve the above-mentioned conventional problems.

【0017】すなわち、本発明によれば、恒温部を有す
る内槽と外槽からなり、恒温内槽内を高温の温風を循環
させて、各種の試験検体や各種の製品を所定の恒温下に
加温処理又は乾燥させるクリーンオーブン(又は密閉型
恒温槽)であって、特に、利用者が、試験検体や、製品
を恒温内槽に出し入れするに際して、恒温槽の開閉扉を
オープンさせても、利用者が、従来のように高温の熱風
等に曝されないことを特徴とするクリーンオーブンを提
供する。
That is, according to the present invention, it comprises an inner bath having a constant temperature part and an outer bath, and hot hot air is circulated in the constant temperature inner bath to keep various test samples and various products under a predetermined constant temperature. It is a clean oven (or closed type constant temperature chamber) that heats or dries, especially when the user opens and closes the constant temperature chamber when the test sample or the product is put in or taken out of the constant temperature inner chamber. A clean oven characterized in that a user is not exposed to high-temperature hot air or the like as in the conventional case.

【0018】すなわち、このクリーンオーブンは、内槽
の恒温部に導入させる循環温風を清浄化させる内部フィ
ルタを有している。
That is, this clean oven has an internal filter for cleaning the circulating hot air introduced into the constant temperature part of the inner tank.

【0019】また、外槽の内側と内槽の恒温部との間に
は、内部ヒーターと循環ファンとを有し、しかも、この
内部フィルタに対面するようにして、恒温内槽へ温風を
送風又は遮断させる開閉式シャッターを設けている。
Further, an internal heater and a circulation fan are provided between the inside of the outer tank and the thermostat of the inner tank, and hot air is supplied to the thermostat inner tank so as to face the internal filter. An openable shutter is provided to blow or block air.

【0020】更には、この外槽の上位方向部位に、開閉
式の排気ダンパーを付けた排気ダクトを設けている。
Further, an exhaust duct provided with an openable exhaust damper is provided in the upper part of the outer tank.

【0021】そこで、恒温内槽に目的物を出し入れする
使用時には、先ず、この排気ダンパーを開放させた後、
次いで、開閉式シャッターを遮断させてから、外槽に設
ける恒温槽の開閉扉を開けて、目的物を出し入れする。
Therefore, when the object is put in or taken out of the constant temperature inner tank, first, after opening the exhaust damper,
Then, after closing the open / close shutter, the opening / closing door of the constant temperature bath provided in the outer bath is opened, and the target object is taken in and out.

【0022】また、目的物を恒温処理又は乾燥させる使
用時には、この開閉扉を閉めて、開閉式シャッターを開
けて、排気ダンパーを遮断させることを特徴とするクリ
ーンオーブンである。
Further, in use, when the object is subjected to constant temperature treatment or drying, the open / close door is closed and the open / close shutter is opened to shut off the exhaust damper.

【0023】これにより、利用者が、試験検体や、製品
を恒温内槽に出し入れするに際して、恒温槽の開閉扉を
オープンさせても、高温の熱風は、恒温部内に送風され
ずに、外槽の上方向に設ける排気ダクトから排出されて
いるので、利用者が、従来の恒温槽のようにこの高温の
熱風又は異臭及び有害な熱風に曝されることがない。
As a result, even when the user opens and closes the open / close door of the thermostatic chamber when the test sample or the product is put in or taken out of the thermostat internal bath, the hot hot air is not blown into the thermostatic chamber and the outer bath is opened. Since it is discharged from the exhaust duct provided in the upper direction, the user is not exposed to this high-temperature hot air or strange odor and harmful hot air as in the conventional constant temperature bath.

【0024】従って、作業の安全性、労働衛生等に優れ
たクリーンオーブンであり、従来のように利用者が、防
護具一式を装着する作業上の煩雑さもなく、しかも、熱
エネルギコストを低下させ、且つ利用効率を向上させる
ことが可能なクリーンオーブンを提供できる。
Therefore, the clean oven is excellent in work safety and occupational hygiene, and the user does not have to take the trouble of installing a set of protective equipment as in the prior art, and the heat energy cost is reduced. It is also possible to provide a clean oven capable of improving utilization efficiency.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下に、図1〜図3を参照して、
本発明によるクリーンオーブンの実施形態について、更
に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, referring to FIGS.
The embodiment of the clean oven according to the present invention will be further described.

【0026】そこで、本発明において、使用される内部
フィルタとしては、耐熱性であって、恒温処理をする検
体や製品にもよるが、通常の大気中に含有する粒子径
が、0.01〜100μm範囲の粉塵を、例えば、吹出
し速度0.5M/sで、捕集率が99.97〜99.9
9998%であるガラス繊維製のエアフィルタが適宜好
適に使用される。
Therefore, in the present invention, the internal filter to be used has a heat resistance and, depending on the sample or product to be subjected to the isothermal treatment, the particle size contained in the normal atmosphere is 0.01 to Dust in the range of 100 μm, for example, at a blowing rate of 0.5 M / s and a collection rate of 99.97 to 99.9.
An air filter made of glass fiber of 9998% is suitably used.

【0027】また、これらのエアフィルタは、通常、捕
集率のグレードによって、MEPAフィルタ、HEPA
フィルタ、ULPAフィルタとして、クリーンルーム
や、ユニット用のエアフィルタとして使用されており、
また、必要に応じて、活性炭フィルタや、不織布等のプ
レフィルタを組合わせて使用することができる。
These air filters are usually MEPA filters, HEPA filters, depending on the collection rate grade.
It is used as an air filter for clean rooms and units as filters and ULPA filters.
If necessary, an activated carbon filter or a prefilter such as a non-woven fabric can be used in combination.

【0028】そこで、図1を参照して、本発明によるク
リーンオーブンを構成する実施形態を説明すると、外槽
13内に、恒温内槽1が設けられている。この恒温内槽
1には内部フィルタ3を通して、温風が送風される。こ
の場合、内部フィルタ3の背面に設ける開閉シャッター
4が、引き揚げられてオープンになっており、また、外
槽の上部に設けられている排気ダクト8は、閉じた状態
である。また、恒温内槽1の下部には、内部ヒーター5
が設けられ、更には、この恒温内槽1の下部には吸気口
15が設けられ、この吸気口に対面するように循環ファ
ン6が設置されている。また、この循環ファンは、外部
モータ7に連動されている。
An embodiment of the clean oven according to the present invention will be described with reference to FIG. 1. The constant temperature inner tank 1 is provided in the outer tank 13. Hot air is blown to the constant temperature inner tank 1 through an internal filter 3. In this case, the opening / closing shutter 4 provided on the back surface of the internal filter 3 is pulled up and opened, and the exhaust duct 8 provided at the upper portion of the outer tank is in a closed state. At the bottom of the constant temperature inner tank 1, an internal heater 5
Further, an intake port 15 is provided in the lower portion of the constant temperature inner tank 1, and a circulation fan 6 is installed so as to face the intake port. The circulation fan is linked to the external motor 7.

【0029】また、本発明によるクリーンオーブンに
は、外部に設けられている乾燥空気弁12を介して、導
管16を通じて槽内に乾燥空気を導入できるし、また、
必要に応じて、窒素ガスや、アルゴンガスを窒素ガス弁
14を介して、同様に導管16を通じて槽内に導入させ
て、槽内を不活性雰囲気にパージ(置換)させることが
できる。
Further, in the clean oven according to the present invention, dry air can be introduced into the tank through the conduit 16 through the dry air valve 12 provided outside.
If necessary, nitrogen gas or argon gas can be introduced into the tank through the nitrogen gas valve 14 and similarly through the conduit 16 to purge (replace) the tank with an inert atmosphere.

【0030】また、本発明においては、図1に示す内部
フィルタ3の設置は、恒温内槽1の後部面部位(図1参
照)であってもよく、又はこの恒温内槽1の側面部位に
設けられていてもよく、その設置部位による効果の差
は、特に無いものと奏される。
In the present invention, the internal filter 3 shown in FIG. 1 may be installed in the rear surface portion of the constant temperature inner tank 1 (see FIG. 1), or in the side surface portion of the constant temperature inner tank 1. It may be provided, and there is no particular difference in effect depending on the installation site.

【0031】また、図1に示す如く、内部フィルタ3に
対面させて設けられている開閉式シャッター4を、外槽
に設けられている恒温槽の扉である開閉扉10に向かっ
て、縦方向か又は横方向の何れかの出し入れ方式で、温
風の送風又は遮断をさせることができる。本発明におい
ては、好ましくは、図1に図示する縦方向の方式より
は、図示されていないが、横方向に出し入れする方式
が、作業の容易さから好ましい。また、開閉が、必ずし
も出し入れ方式に限定されるものではなく、例えば、ブ
ラインド方式であっても好適である。
Further, as shown in FIG. 1, the opening / closing shutter 4 provided facing the internal filter 3 is vertically oriented toward the opening / closing door 10 which is a door of a constant temperature bath provided in the outer bath. The hot air can be blown or blocked by either the horizontal or horizontal direction. In the present invention, although not shown in the drawings, it is preferable to use the horizontal method for taking the articles in and out, rather than the vertical method shown in FIG. The opening and closing is not necessarily limited to the opening and closing method, and for example, a blind method is also suitable.

【0032】また、外槽13の上位方向部位に設ける排
気ダンパー8付きの排気ダクト9は、既に上述する外槽
13の上部(図1参照)に設けるか、又は、同じく上位
方向部位の側部に設けてもよく、好ましくは、排気しや
すい観点から、外槽13の上部に設けることが好適であ
る。
Further, the exhaust duct 9 with the exhaust damper 8 provided in the upper direction portion of the outer tub 13 is provided in the upper part of the outer tub 13 (see FIG. 1) already mentioned above, or the side portion of the upper direction portion is also provided. It may be provided on the outer tank 13 and is preferably provided on the upper portion of the outer tank 13 from the viewpoint of easy exhaust.

【0033】また、本発明において、循環ファンが、内
部ヒーターから温風を吸引させて、内部フィルタの背面
部に温風を効果的に送風されるに際して、図2に示す如
く、本発明においては、好ましくは、内槽を、上段と下
段の2段に仕切るこのが好適である。この上段部が恒温
内槽1であり、仕切られた下段部2の内槽には、内部ヒ
ーター5を設置することができ、これにより、比較的に
酸化劣化による錆等の剥離異物を発生しやすいヒーター
部を、常に清浄であることが求められる上段部の恒温内
槽1と完全に隔絶させることができる。
Further, in the present invention, when the circulating fan sucks warm air from the internal heater and effectively sends the hot air to the back surface of the internal filter, as shown in FIG. It is preferable that the inner tank is partitioned into two stages, an upper stage and a lower stage. This upper part is a constant temperature inner tank 1, and an internal heater 5 can be installed in the inner tank of the partitioned lower part 2, which causes peeling foreign matters such as rust due to oxidative deterioration. The easy heater part can be completely isolated from the constant temperature inner tank 1 in the upper part, which is always required to be clean.

【0034】また、これにより、図2に示す如く、下段
部の底部には、コニカルに絞り込んだ吸気口15を設け
ることができ、しかも、この吸気口に対面するようにし
て循環ファン6を設置することができる。
As a result, as shown in FIG. 2, a conically narrowed intake port 15 can be provided at the bottom of the lower stage, and the circulation fan 6 is installed so as to face the intake port. can do.

【0035】そこで、開閉扉10を閉じた使用時に、温
風を循環させるに際して、排気ダンパー8を閉じて、開
閉シャッター4を引き揚げてオープンにすることで、温
風を内部ヒーター5−吸気口16を介して循環ファン6
−内部フィルタ3−恒温内槽の上段部1−内部ヒーター
5の順路で循環させることができる。
Therefore, when the hot air is circulated when the open / close door 10 is closed, the exhaust damper 8 is closed and the open / close shutter 4 is pulled open to open the hot air to the internal heater 5-intake port 16. Circulation fan 6 through
-Internal filter 3-It can be circulated in the regular path of the upper part of the constant temperature inner tank 1-internal heater 5.

【0036】更にはまた、図3に示す如く、高温の温風
が循環している恒温内槽に目的処理体を出し入れするに
際し、すなわち、開閉扉10が開いた使用時には、本発
明においては、排気ダンパー8を開放し、次いで開閉式
シャッタ4を引き下げることで、温風が遮断されるの
で、次いで、開閉扉10を開く等の手順を適宜実施させ
ることができる。
Furthermore, as shown in FIG. 3, when the object treatment object is put in or taken out from the constant temperature inner tank in which high temperature hot air is circulated, that is, when the opening / closing door 10 is used, in the present invention, The warm air is shut off by opening the exhaust damper 8 and then pulling down the open / close shutter 4, so that a procedure such as opening the open / close door 10 can be appropriately performed.

【0037】これにより、従来のように、例えば、ヒー
ターの電源を切り、更にファンの電源も切り、排気弁1
1から温風を排出させながら、しばらく放置させて適度
に温度が低下してから、目的処理体の出し入れをする
か、又は、既に上述する如く、手、顔等に防護具一式を
装着して、作業を行う等の煩雑な手順等を完全に無くす
ことができるのである。
As a result, as in the prior art, for example, the heater is turned off, the fan is also turned off, and the exhaust valve 1
While discharging hot air from 1 and leaving it for a while to lower the temperature appropriately, put in or take out the target treatment object, or, as already mentioned above, attach a set of protective equipment to hands, face, etc. It is possible to completely eliminate complicated procedures such as work.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上から、本発明によれば、恒温内槽に
設ける内部フィルタに対面させて、循環温風を送風又は
遮断させる開閉シャッターを設けることにより、排気ダ
ンパー付き排気ダクトとの連係により、試験検体や、製
品の出し入れ時に、利用者が、恒温槽からの高温熱風
や、異臭及び有害成分を含有する熱風に曝されることが
防止され、また、従来のように防護具一式を装着するこ
となく、作業の安全性を確保することができる。
As described above, according to the present invention, the opening / closing shutter for blowing or blocking the circulating hot air is provided so as to face the internal filter provided in the constant temperature inner tank, so that the exhaust duct with the exhaust damper is linked. The user is prevented from being exposed to high-temperature hot air from a constant temperature bath or hot air containing offensive odors and harmful components when putting in or taking out test samples or products, and also equipped with a set of protective equipment as in the past. It is possible to secure the safety of work without doing.

【0039】また、内槽を2段に仕切り、下段部に内部
ヒーターを設置でき、しかも、ヒーター部を上段部の恒
温内槽と完全に隔絶させて設置されることにより、従来
よりヒーターの酸化劣化異物の混入が低減されて、循環
温風の清浄化を容易にさせると共に、また、下段部の底
部に設ける吸気口を介して、温風循環又は温風排気の順
路が単純化されて、無理なくスムーズに循環又は排気さ
れる。
Further, since the inner tank can be divided into two stages and an internal heater can be installed in the lower part, and the heater part is completely isolated from the constant temperature inner tank in the upper part, the heater can be oxidized more than before. The mixture of deteriorated foreign matter is reduced, and the cleaning of circulating hot air is facilitated.Also, through the intake port provided at the bottom of the lower stage, the route of warm air circulation or warm air exhaust is simplified, Circulates or is exhausted smoothly without difficulty.

【0040】更にはまた、従来のように利用者が、防護
具一式を装着する作業上の煩雑さがなく、しかも、目的
処理体の出し入れに時に、従来のようにヒーター電源を
切り、温度低下の待ち時間がなくなることから、熱エネ
ルギコストを低下させ、且つ利用効率を向上させること
を可能にするクリーンオーブンを提供できる。
Furthermore, unlike the prior art, the user does not have to carry out the work of mounting a set of protective equipment, and when the target processing body is taken in and out, the heater power is turned off as in the prior art to lower the temperature. Since there is no waiting time, it is possible to provide a clean oven that can reduce heat energy cost and improve utilization efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるクリーンオーブンの実施形態を示
す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a clean oven according to the present invention.

【図2】本発明によるクリーンオーブンの温風循環の実
施形態を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an embodiment of warm air circulation in a clean oven according to the present invention.

【図3】本発明によるクリーンオーブンの開閉扉の開き
時の開示実施形態を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a disclosed embodiment when the opening / closing door of the clean oven according to the present invention is opened.

【図4】従来のクリーンオーブンの一例を示す断面図で
ある。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a conventional clean oven.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,41 内層の恒温部 2 内槽下段部 3,43 内部フィルタ 4 開閉式シャッター 5,45 内部ヒーター 6,46 循環ファン 7,47 外部モーター 8 開閉式排気ダンパー 9 排気ダクト 10 開閉式扉 11 排気弁 12 乾燥空気弁 13,48 外槽 14 窒素弁 15 吸気口 16 導管 1,41 Inner layer constant temperature part 2 Lower part of inner tank 3,43 Internal filter 4 openable shutter 5,45 Internal heater 6,46 Circulation fan 7,47 External motor 8 Open / close type exhaust damper 9 exhaust duct 10 openable door 11 Exhaust valve 12 Dry air valve 13,48 outer tank 14 Nitrogen valve 15 air intake 16 conduits

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】恒温部を有する内槽と外槽とからなり、前
記内槽内を温風を循環させ、前記外槽には開閉扉を設け
る密閉型恒温槽において、 前記内槽内に導入する循環温風を清浄化させる内部フィ
ルタを有し、 前記外槽の内側と前記内槽の恒温部との間には、内部ヒ
ーターと循環ファンとを有し、 前記内部フィルタの表面に対面させて設ける前記内槽へ
温風を送風又は遮断させる開閉式シャッターを有し、 前記外槽の上位方向部位に、排気ダンパーを設ける排気
ダクトを有し、 使用時には前記開閉扉の開時又は閉時に対応させて、前
記排気ダンパーを開放又は遮断させ、更に前記開閉式シ
ャッターを遮断又は開放させることを特徴とするクリー
ンオーブン。
1. A closed type constant temperature tank comprising an inner tank having a constant temperature section and an outer tank, wherein hot air is circulated in the inner tank, and an opening / closing door is provided in the outer tank, which is introduced into the inner tank. Having an internal filter for cleaning the circulating hot air, and having an internal heater and a circulation fan between the inner side of the outer tub and the constant temperature part of the inner tub, facing the surface of the inner filter. There is an openable shutter that blows or blocks hot air to the inner tank, and an exhaust duct that installs an exhaust damper is provided in the upper direction part of the outer tank, and when the opening and closing door is opened or closed during use. Correspondingly, a clean oven characterized in that the exhaust damper is opened or shut off, and the openable shutter is shut off or opened.
【請求項2】前記内部フィルタを、前記開閉扉に向かっ
て、前記内槽の恒温部の後部面又は側面に設けることを
特徴とする請求項1に記載のクリーンオーブン。
2. The clean oven according to claim 1, wherein the internal filter is provided on a rear surface or a side surface of a constant temperature portion of the inner tank toward the opening / closing door.
【請求項3】前記開閉シャッターを、前記開閉扉に向か
って、横又は縦方向に平行に出し入れさせて、前記内槽
へ温風を送風又は遮断させることを特徴とする請求項1
又は2に記載のクリーンオーブン。
3. The opening / closing shutter is moved in and out in parallel in a horizontal or vertical direction toward the opening / closing door to blow or block warm air to the inner tank.
Or the clean oven according to 2.
【請求項4】前記内槽が、上段部の恒温部と下段部に仕
切られて、且つ前記下段部に前記内部ヒーターを設けて
いることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のク
リーンオーブン。
4. The inner tank is partitioned into an upper temperature-controlled part and a lower temperature part, and the lower heater is provided with the internal heater. Clean oven.
【請求項5】前記開閉扉を閉じて温風を循環させるに際
して、前記排気ダンパーを閉じて、前記温風を、前記内
部ヒーター−前記循環ファン−前記内部フィルタ−前記
内槽の恒温部−前記内部ヒーターの順路で循環させるこ
とを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のクリーン
オーブン。
5. When the opening / closing door is closed and hot air is circulated, the exhaust damper is closed and the hot air is passed through the internal heater-the circulation fan-the internal filter-the constant temperature part of the inner tank-the above-mentioned. The clean oven according to any one of claims 1 to 4, wherein the clean oven is circulated in a normal path of an internal heater.
【請求項6】前記開閉扉を開いて前記内槽の恒温部に目
的処理体を出し入れするに際して、前記排気ダンパーを
開放し、次いで前記開閉式シャッターを遮断させた後、
前記開閉扉を開くことを特徴とする請求項1〜4の何れ
かに記載のクリーンオーブン。
6. When the opening / closing door is opened and the target processing body is put in or taken out from the constant temperature part of the inner tank, the exhaust damper is opened, and then the opening / closing shutter is shut off.
The clean oven according to claim 1, wherein the opening / closing door is opened.
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