JP3399270B2 - Transparent conductive film and composition for forming the same - Google Patents
Transparent conductive film and composition for forming the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ブラウン管などの
透明基体に帯電防止、電磁波シールド、映り込みの防止
などの機能を付与するのに適した、低反射性で低抵抗の
透明導電膜に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transparent conductive film having low reflectivity and low resistance, which is suitable for imparting functions such as antistatic, electromagnetic wave shield, and reflection prevention to a transparent substrate such as a cathode ray tube.
【0002】[0002]
【従来の技術】TVや各種ディスプレイ用CRTを含む
ブラウン管の画像表示部であるフロントパネルのガラル
表面には、静電気によりほこりが付着し易く、また表面
が高反射性であるため、スクリーンへの外部の光の反射
や外部映像の映り込みにより画像が不明瞭になるといっ
た問題点がある。また、最近ではブラウン管から出る電
磁波の人体に対する影響が懸念されるようになり、低周
波の漏洩電磁波に対する規格も各国で制定されるように
なってきた。2. Description of the Related Art Dust is apt to adhere to static electricity on the gallar surface of the front panel, which is an image display portion of a cathode ray tube including a CRT for TVs and various displays, and the surface is highly reflective, so that it is not external to the screen. There is a problem that the image becomes unclear due to the reflection of light and the reflection of an external image. Recently, there has been concern about the influence of electromagnetic waves emitted from the cathode ray tube on the human body, and standards for low-frequency leakage electromagnetic waves have been established in each country.
【0003】ほこりの付着防止や電磁波の漏洩防止に
は、帯電防止効果や電磁波シールド効果のある透明導電
膜をスクリーン外面に形成する手段が一般に採用されて
いる。映り込みの防止対策としては、スクリーンのガラ
ス表面をフッ酸等を用いて微細凹凸処理して光を散乱さ
せるノングレアー処理が一般に行われてきた。しかし、
ノングレアー処理は画像の解像度を悪化させ、視認性が
低下するという問題がある。To prevent dust from adhering and electromagnetic waves from leaking, a means for forming a transparent conductive film having an antistatic effect and an electromagnetic wave shielding effect on the outer surface of the screen is generally adopted. As a measure for preventing glare, a non-glare treatment has been generally performed in which the glass surface of the screen is subjected to fine unevenness treatment using hydrofluoric acid or the like to scatter light. But,
The non-glare processing deteriorates the resolution of the image and reduces the visibility.
【0004】そのため、最近では高屈折率の透明導電膜
の上に低屈折率の透明オーバーコート膜を形成した2層
膜によって、帯電防止(ほこり付着防止)と映り込み防
止の両方の機能を付与することが試みられている。この
ような2層膜では、高屈折率膜と低屈折率膜の屈折率差
が大きければ、上層の低屈折率膜表面からの反射光が下
層の高屈折率膜との界面からの反射光の干渉によって打
ち消され、結果として映り込みが防止される。この透明
導電膜の導電性が高い場合には、電磁波シールド効果も
同時に付与される。Therefore, recently, a two-layer film in which a transparent overcoat film having a low refractive index is formed on a transparent conductive film having a high refractive index, imparts both functions of antistatic (prevention of dust adhesion) and reflection of glare. Is being attempted. In such a two-layer film, if the refractive index difference between the high refractive index film and the low refractive index film is large, the reflected light from the surface of the upper low refractive index film is reflected from the interface with the lower high refractive index film. Are canceled by the interference of, and as a result, glare is prevented. When the conductivity of this transparent conductive film is high, an electromagnetic wave shielding effect is also provided.
【0005】例えば、特開平5−290634号公報には、Sb
ドープ酸化錫 (ATO) 微粉末を界面活性剤を用いて分
散させたアルコール分散液をガラス基体に塗布し、乾燥
して、高屈折率の導電膜を形成し、その上にフッ化マグ
ネシウムを含有していてもよいアルコキシシランから形
成されたシリカの低屈折率膜を形成することによって、
反射率を0.7 %まで低減させた2層膜が提案されてい
る。For example, Japanese Patent Laid-Open No. 5-290634 discloses Sb.
Dope tin oxide (ATO) fine powder dispersed with a surfactant is applied to an alcohol dispersion liquid, which is then dried to form a conductive film having a high refractive index and magnesium fluoride contained thereon. By forming a low refractive index film of silica formed from optionally alkoxysilane,
A two-layer film having a reflectance reduced to 0.7% has been proposed.
【0006】特開平6−12920 号公報には、基体上に形
成した高屈折率層−低屈折率層の光学的膜厚nd (n:
膜厚、d:屈折率)をそれぞれ 1/2λ−1/4λ (λ=入
射光の波長) とした場合に低反射性となることが記載さ
れている。この公報によれば、高屈折率層はATOまた
はSnドープ酸化インジウム (ITO) 微粉末を含有する
シリカ質の膜であり、低屈折率層はシリカ膜である。In JP-A-6-12920, the optical thickness nd (n: n of high refractive index layer-low refractive index layer) formed on a substrate is described.
It is described that when the film thickness and d: refractive index) are respectively set to 1 / 2λ-1 / 4λ (λ = wavelength of incident light), low reflectivity is achieved. According to this publication, the high refractive index layer is a siliceous film containing ATO or Sn-doped indium oxide (ITO) fine powder, and the low refractive index layer is a silica film.
【0007】特開平6−234552号公報にもITO含有シ
リケート高屈折率導電膜−シリケートガラス低屈折率膜
からなる2層膜が開示されている。特開平5−107403号
公報には、導電性微粉末とTi塩を含有する液を塗布して
形成した高屈折率導電膜と低屈折率膜との2層膜が記載
されている。Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 6-234552 also discloses a two-layer film composed of an ITO-containing silicate high refractive index conductive film-silicate glass low refractive index film. Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-107403 describes a two-layer film including a high refractive index conductive film and a low refractive index film formed by applying a liquid containing conductive fine powder and a Ti salt.
【0008】特開平6−344489号公報には、ATO微粉
末と黒色導電性微粉末 (好ましくはカーボンブラック微
粉末) とからなる、固形分が密に充填された高屈折率の
第1層膜と、その上に形成したシリカ質の低屈折率膜と
からなる、黒色味を帯びた2層膜が開示されている。Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 6-344489 discloses a first layer film of ATO fine powder and black electroconductive fine powder (preferably carbon black fine powder) which is densely packed with solid content and has a high refractive index. And a blackish two-layer film composed of a siliceous low-refractive index film formed thereon.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかし、ATOやIT
Oといった半導体性の導電性粉末を使用した透明導電膜
では、電磁波シールド効果を生ずるように低抵抗化する
ことが困難であるか、或いは電磁波シールド効果を生ず
るように低抵抗化できても、それにより透明性が著しく
阻害される。特に最近では、ブラウン管からの漏洩電磁
波に対する規格がより厳しくなり、上述した従来技術で
は電磁波シールド効果が不十分で対応が困難になってお
り、より低抵抗で電磁波シールド効果の大きい透明導電
膜が求められている。[Problems to be Solved by the Invention] However, ATO and IT
In the case of a transparent conductive film using a semiconductor conductive powder such as O, it is difficult to reduce the resistance so as to produce the electromagnetic wave shielding effect, or even if the resistance can be reduced so as to produce the electromagnetic wave shielding effect. This significantly impairs transparency. Particularly in recent years, the standards for leaked electromagnetic waves from cathode ray tubes have become stricter, and the above-mentioned conventional techniques have an insufficient electromagnetic wave shielding effect, which makes it difficult to cope with them. Therefore, a transparent conductive film having a lower resistance and a large electromagnetic wave shielding effect is required. Has been.
【0010】本発明の目的は、高度の電磁波シールド効
果を発揮するように低抵抗化され、しかもブラウン管の
視認性を阻害しない高い透明性と低ヘーズ値を保持し、
ブラウン管に外部映像の映り込み防止機能を付与するこ
とができる低反射性を備えた、透明導電膜を提供するこ
とである。An object of the present invention is to reduce the resistance so as to exhibit a high electromagnetic wave shielding effect, and to maintain high transparency and a low haze value which do not impair the visibility of a cathode ray tube.
It is an object of the present invention to provide a transparent conductive film having low reflectivity capable of imparting a function of preventing reflection of an external image on a cathode ray tube.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、ブラウン
管の電磁波シールド性に対する最近の厳しい規格を考慮
すると、透明導電膜に使用する導電性粉末として、AT
OやITOといった半導体性の無機微粉末ではなく、よ
り導電性が高い金属微粉末の使用が望ましいとの結論に
達し、さらに検討を進めた結果、金属微粉末を含有する
下層の透明導電膜にシリカ質の低屈折率の上層皮膜を設
けた2層膜がこの目的に適していることが判明した。In view of the recent severe standards for the electromagnetic wave shielding properties of cathode ray tubes, the present inventors have proposed AT as an electrically conductive powder used for a transparent electrically conductive film.
It was concluded that it is desirable to use metal fine powder having higher conductivity rather than semiconducting inorganic fine powder such as O or ITO, and as a result of further study, it was found that the lower transparent conductive film containing the metal fine powder was used. It has been found that a two-layer film provided with an upper layer film of siliceous low refractive index is suitable for this purpose.
【0012】しかし、金属微粉末は可視光を反射するた
め、得られた2層膜の透明性が低くなるが、金属微粉末
の二次粒子を網目構造を形成するように分散させて皮膜
化すると、網目構造内の空孔を可視光が透過できるた
め、透明性が大きく向上し、上記目的を達成することが
できることを見出した。However, since the fine metal powder reflects visible light, the transparency of the obtained two-layer film is low, but secondary particles of the fine metal powder are dispersed to form a network structure to form a film. Then, it has been found that the visible light can pass through the holes in the mesh structure, so that the transparency is greatly improved and the above-mentioned object can be achieved.
【0013】ここに、本発明は、透明基体の表面に設け
たシリカ質マトリックス中に金属微粉末を含有する下層
と、その上に設けたシリカ質の上層とからなる、2層構
造の透明導電膜であって、該下層内において、該金属微
粉末の二次粒子が、内部に金属微粉末を含まない空孔を
持った二次元網目構造を形成するように分布しているこ
とを特徴とする、低反射性で低抵抗の透明導電膜であ
る。Here, the present invention is a transparent conductive film having a two-layer structure comprising a lower layer containing fine metal powder in a siliceous matrix provided on the surface of a transparent substrate, and a siliceous upper layer provided thereon. The film is characterized in that, in the lower layer, the secondary particles of the metal fine powder are distributed so as to form a two-dimensional network structure having pores containing no metal fine powder inside. It is a transparent conductive film having low reflectivity and low resistance.
【0014】好適態様にあっては、前記網目構造の空孔
の平均面積が 2,500〜30,000 nm2の範囲内であり、該空
孔が膜の全面積の30〜70%を占める。かかる金属微粉末
の二次粒子の網目構造は、例えば、平均一次粒子径が2
〜30 nm の金属微粉末を、1〜30wt%のプロピレングリ
コールメチルエーテル、1〜30wt%のイソプロピルグリ
コール、および1〜10wt%の4−ヒドロキシ−4−メチ
ル−2−ペンタノンの少なくとも1つを含む溶媒中に分
散剤を用いて分散させた塗料を用いて形成することがで
きる。In a preferred embodiment, the average area of the pores in the mesh structure is in the range of 2,500 to 30,000 nm 2 , and the pores occupy 30 to 70% of the total area of the membrane. The network structure of the secondary particles of the fine metal powder has, for example, an average primary particle diameter of 2
~ 30 nm fine metal powder containing at least one of 1-30 wt% propylene glycol methyl ether, 1-30 wt% isopropyl glycol, and 1-10 wt% 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone It can be formed by using a paint that is dispersed by using a dispersant in a solvent.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】本発明の透明導電膜を形成する透
明基体は特に制限されず、低反射性と電磁波シールド性
を付与することが望ましい任意の透明基体でよい。代表
的な透明基体はガラスであるが、透明プラスチック等の
基体上に本発明の透明導電膜を形成することもできる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The transparent substrate on which the transparent conductive film of the present invention is formed is not particularly limited and may be any transparent substrate for which it is desired to impart low reflectivity and electromagnetic wave shielding property. A typical transparent substrate is glass, but the transparent conductive film of the present invention can be formed on a substrate such as transparent plastic.
【0016】前述したように、低反射性と電磁波シール
ド性の付与が特に求められている透明基体は、TVやコ
ンピュータ等の表示装置として使用されるブラウン管の
フロントパネルガラスである。本発明の透明導電膜は、
低反射性と電磁波シールド性(低抵抗) に加えて、反射
スペクトルが平坦で、従来のある種の透明導電膜のよう
に青〜紫味または赤〜黄色味を帯びておらず、無色であ
り、視感度がよいという特徴を持つ。従って、この導電
膜をブラウン管の画面表示部の表面に形成すると、健康
に有害でコンピュータの誤動作の原因ともなる電磁波の
漏洩、ほこりの付着、および外部映像の映り込みを防止
ないし低減でき、膜の透明性 (可視光透過率) とヘーズ
が良好で、反射光が無色であるため、映像の視感度が良
好に保持される。As described above, the transparent substrate that is particularly required to have low reflectivity and electromagnetic wave shielding property is a front panel glass of a cathode ray tube used as a display device for TVs, computers and the like. The transparent conductive film of the present invention is
In addition to low reflectivity and electromagnetic wave shielding property (low resistance), it has a flat reflection spectrum, does not have a blue-purple or red-yellowish tint like some conventional transparent conductive films, and is colorless. , Has the characteristic of good visibility. Therefore, when this conductive film is formed on the surface of the screen display part of the cathode ray tube, it is possible to prevent or reduce electromagnetic wave leakage, dust adhesion, and external image reflection that are harmful to health and cause computer malfunction. The transparency (visible light transmittance) and haze are good, and the reflected light is colorless, so the visibility of the image is kept good.
【0017】本発明の透明導電膜は、シリカ質マトリッ
クス中に導電性粉末として金属微粉末を含有する下層
(導電層) と、粉末を含有しないシリカ質の上層とから
なる2層膜である。下層は金属微粉末を密に含有するた
め屈折率が高いのに対し、上層は低屈折率である。この
2層膜構成により、本発明の透明導電膜は、低反射性と
低抵抗という特性を有し、上記の機能を発揮することが
できる。The transparent conductive film of the present invention is a lower layer containing a fine metal powder as a conductive powder in a siliceous matrix.
It is a two-layer film consisting of a (conductive layer) and a silica-based upper layer containing no powder. The lower layer has a high refractive index because it contains the fine metal powder densely, while the upper layer has a low refractive index. With this two-layer film structure, the transparent conductive film of the present invention has characteristics of low reflectivity and low resistance, and can exhibit the above-mentioned functions.
【0018】本発明の透明導電膜において、下層の導電
層のシリカ質マトリックスと、シリカ質の上層は、いず
れもアルコキシシラン (より広義には、加水分解性シラ
ン化合物) から形成することができる。In the transparent conductive film of the present invention, both the siliceous matrix of the lower conductive layer and the siliceous upper layer can be formed of alkoxysilane (in a broader sense, a hydrolyzable silane compound).
【0019】アルコキシシランとしては、少なくとも1
個、好ましくは2個以上、さらに好ましくは3個以上の
アルコキシル基を有する任意の1種または2種以上のシ
ラン化合物が使用できる。加水分解性の基としてハロゲ
ンを含有するハロシラン類も、アルコキシシランと一緒
に、またはアルコキシシランに代えて使用することがで
きる。As the alkoxysilane, at least 1
Any one or two or more silane compounds having one, preferably two or more, and more preferably three or more alkoxyl groups can be used. Halosilanes containing halogens as hydrolyzable groups can also be used with or instead of alkoxysilanes.
【0020】アルコキシシランの具体例としては、テト
ラエトキシシラン (=エチルシリケート) 、テトラプロ
ポキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジ
メトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、クロル
トリメトキシシラン、各種のシランカップリング剤
(例、ビニルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシ
シラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシラン、 N−フェニ
ル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、 N−β−
(アミノエチル) −γ−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリ
メトキシシラン) などが挙げられる。好ましいのは、最
も安価で容易に加水分解するエチルシリケートである。Specific examples of the alkoxysilane include tetraethoxysilane (= ethyl silicate), tetrapropoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, chlorotrimethoxysilane and various silane coupling agents.
(Example, vinyltriethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane,
γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β-
(Aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane) and the like. Preferred is ethyl silicate, which is the cheapest and easiest to hydrolyze.
【0021】アルコキシシランからなる皮膜は、加水分
解を受けるとアルコールが脱離し、生成したOH基同士
が縮合して、シリカゾルになる。このゾルを加熱して焼
付けると、縮合がさらに進んで最終的に硬質のシリカ
(SiO2) 皮膜になる。従って、アルコキシシランは、無
機皮膜形成剤としてシリカ質皮膜を形成するのに利用で
き、粉末と一緒に皮膜化した場合には、粉末を結合する
無機バインダーとして機能して、皮膜のマトリックスを
構成することになる。なお、ハロシランも加水分解によ
り同様に最終的にシリカ皮膜を形成できるが、以下では
アルコキシシランを使用する場合について説明する。When a coating made of alkoxysilane is hydrolyzed, alcohol is eliminated and the generated OH groups are condensed with each other to form a silica sol. When this sol is heated and baked, condensation proceeds further and finally hard silica
(SiO 2 ) It becomes a film. Therefore, the alkoxysilane can be used as an inorganic film forming agent to form a siliceous film, and when formed into a film together with a powder, it functions as an inorganic binder that binds the powder to form a film matrix. It will be. Similarly, halosilane can be finally formed into a silica film by hydrolysis, but the case of using alkoxysilane will be described below.
【0022】下層導電層
本発明の透明導電膜の下層導電層は、シリカ質マトリッ
クス中に金属微粉末を含有する。シリカ質マトリックス
は、前述したように、アルコキシシランから形成するこ
とができる。 Lower Conductive Layer The lower conductive layer of the transparent conductive film of the present invention contains fine metal powder in a siliceous matrix. The siliceous matrix can be formed from an alkoxysilane, as described above.
【0023】金属微粉末としては、アルコキシシランの
皮膜形成性に悪影響を及ぼさない限り、任意の金属もし
くは合金の粉末、または金属および/もしくは合金粉末
の混合物が使用できる。金属微粉末の材質として好まし
いのは、Fe、Co、Ni、Cr、W、Al、In、Zn、Pb、Sb、B
i、Sn、Ce、Cd、Pd、Cu、Pt、AgおよびAuよりなる群か
ら選ばれた1種もしくは2種以上の金属、ならびに/ま
たはこれらの金属の合金、ならびに/またはこれらの金
属および/もしくは合金の混合物である。これらの中で
特に好ましい金属種は、Ni、W、In、Zn、Sn、Pd、Cu、
Pt、Ag、BiおよびAuであり、最も好ましいのは低抵抗の
Agである。好ましい合金は、Cu−Ag、Ni−Ag、Ag−Pd、
Ag−Sn、Ag−PbなどのAg合金であるが、これに限定され
るものではない。また、Agと他の金属(例、W、Pb、C
u、In、Sn、Bi) との混合物も金属微粉末として好まし
い。As the metal fine powder, powder of any metal or alloy or a mixture of metal and / or alloy powder can be used as long as it does not adversely affect the film-forming property of alkoxysilane. Fe, Co, Ni, Cr, W, Al, In, Zn, Pb, Sb, B are preferable as the material of the metal fine powder.
One or more metals selected from the group consisting of i, Sn, Ce, Cd, Pd, Cu, Pt, Ag and Au, and / or alloys of these metals, and / or these metals and / or Alternatively, it is a mixture of alloys. Among them, particularly preferable metal species are Ni, W, In, Zn, Sn, Pd, Cu,
Pt, Ag, Bi and Au, most preferred having a low resistance
It is Ag. Preferred alloys are Cu-Ag, Ni-Ag, Ag-Pd,
It is an Ag alloy such as Ag-Sn or Ag-Pb, but is not limited to this. Also, Ag and other metals (eg W, Pb, C
A mixture with u, In, Sn, Bi) is also preferable as the fine metal powder.
【0024】金属微粉末には、P、B、C、N、Sなど
の1種もしくは2種以上の非金属、またはNa、Kなどの
アルカリ金属および/もしくはMg、Caなどのアルカリ土
類金属の1種もしくは2種以上が固溶していてもよい。The fine metal powder includes one or more non-metals such as P, B, C, N and S, alkali metals such as Na and K, and / or alkaline earth metals such as Mg and Ca. One or more of the above may be solid-dissolved.
【0025】金属微粉末は、平均一次粒子径が2〜30 n
m の範囲内の微粒子状のものが好ましい。平均一次粒子
径がこの範囲外であると、本発明の特徴である、金属微
粉末の二次粒子の網目構造を形成することが困難とな
る。平均一次粒子径はより好ましくは5〜25 nm であ
る。このような微粒子状の金属微粉末は、コロイド生成
の手法 (例、保護コロイドの存在下で金属化合物を適当
な還元剤により金属に還元させる) を利用して製造する
ことができる。The fine metal powder has an average primary particle diameter of 2 to 30 n.
Fine particles within the range of m are preferred. If the average primary particle diameter is outside this range, it becomes difficult to form the network structure of the secondary particles of the fine metal powder, which is a feature of the present invention. The average primary particle diameter is more preferably 5 to 25 nm. Such finely divided metal fine powder can be produced by utilizing a method of colloid generation (eg, reducing a metal compound to a metal with an appropriate reducing agent in the presence of a protective colloid).
【0026】前述したように、本発明の2層構造の透明
導電膜においては、導電性粉末として下層に存在する金
属微粉末が特定の分布状態を取る。即ち、サブミクロン
の微粒子は、一般に一次粒子 (個々の粒子) が凝集した
二次粒子の形態を取る傾向があるが、本発明において
は、図1に模式的に示すように、金属微粉末の二次粒子
が二次元的に連結することにより形成された二次元網目
構造をとり、この網目構造の中に空孔が存在する。この
ような網目構造は、後述する方法により形成することが
できる。As described above, in the two-layered transparent conductive film of the present invention, the fine metal powder present in the lower layer as the conductive powder has a specific distribution state. That is, submicron fine particles generally tend to take the form of secondary particles in which primary particles (individual particles) are aggregated, but in the present invention, as shown schematically in FIG. It has a two-dimensional network structure formed by two-dimensionally connecting secondary particles, and pores are present in this network structure. Such a mesh structure can be formed by the method described later.
【0027】空孔はほぼ完全にシリカ質マトリックスだ
けで充填されており、金属微粉末はほとんど存在しな
い。従って、下層のこの空孔部分は実質的に透明であ
り、この空孔部分の位置で透明導電膜に入射した可視光
線の多くは、この空孔を透過することができる。その結
果、可視光の透過率が増大し、透明導電膜の透明性が向
上する。The pores are almost completely filled with the siliceous matrix only and there is almost no fine metal powder. Therefore, this void portion of the lower layer is substantially transparent, and most of the visible light that has entered the transparent conductive film at the position of this void portion can pass through this void. As a result, the transmittance of visible light is increased and the transparency of the transparent conductive film is improved.
【0028】一方、網目構造の空孔以外の部分 (金属微
粉末の二次粒子が連結することにより密に充填されてい
る部分) の位置に入射した可視光は、金属微粉末により
反射する。しかし、この部分の透明導電膜においては、
下層は金属微粉末の存在により高屈折率であり、シリカ
質で低屈折率の上層との屈折率差が大きい。そのため、
この部分の透明導電膜に入射した可視光は、従来の2層
膜と同様に、上層と下層の屈折率差により低反射性とな
る。On the other hand, the visible light incident on the position of the portion other than the pores of the mesh structure (the portion densely filled by the secondary particles of the fine metal powder being connected) is reflected by the fine metal powder. However, in this part of the transparent conductive film,
The lower layer has a high refractive index due to the presence of fine metal powder, is siliceous, and has a large difference in refractive index from the upper layer having a low refractive index. for that reason,
The visible light incident on the transparent conductive film in this portion has low reflectivity due to the difference in refractive index between the upper layer and the lower layer, as in the conventional two-layer film.
【0029】このように、内部に空孔を多数有する網目
構造となるように金属微粉末の二次粒子を下層内に分布
させることにより、2層膜に固有の低反射性を保持しな
がら、空孔の存在によって透明導電膜の透明性を高くす
ることができる。この効果を確実に得るには、空孔の平
均面積が 2,500〜30,000 nm2の範囲内であり、空孔が膜
の全面積の30〜70%を占めるようにすることが好まし
い。By thus distributing the secondary particles of the metal fine powder in the lower layer so as to form a network structure having a large number of pores inside, while maintaining the low reflectivity peculiar to the two-layer film, The presence of the holes can increase the transparency of the transparent conductive film. In order to reliably obtain this effect, it is preferable that the average area of the pores is in the range of 2,500 to 30,000 nm 2 , and the pores occupy 30 to 70% of the total area of the membrane.
【0030】導電性粉末として、金属微粉末に加えて、
ITOやATOなどの無機酸化物系の透明導電性微粉末
(平均一次粒子径が0.2 μm以下、好ましくは0.1 μm
以下のもの) を併用することもできる。その場合でも、
導電性粉末の50重量%以上が金属微粉末となるようにす
ることが好ましく、より好ましくは導電性微粉末の60重
量%以上が金属微粉末からなる。As a conductive powder, in addition to the fine metal powder,
Inorganic oxide-based transparent conductive fine powder such as ITO and ATO
(Average primary particle size is 0.2 μm or less, preferably 0.1 μm
The following) can also be used together. Even then,
It is preferable that 50% by weight or more of the electrically conductive powder is fine metal powder, and more preferably 60% by weight or more of the electrically conductive fine powder is fine metal powder.
【0031】下層の導電層におけるシリカ質マトリック
スの量は、金属微粉末を結合するのに十分な量であれば
よい。この導電層はシリカ質の上層で被覆されるので、
特に高い膜強度や硬度を必要としない。好ましくは、シ
リカ質マトリックスの量は5〜30重量%である。The amount of the siliceous matrix in the lower conductive layer may be an amount sufficient to bind the fine metal powder. Since this conductive layer is covered with a siliceous top layer,
It does not require particularly high film strength or hardness. Preferably, the amount of siliceous matrix is 5 to 30% by weight.
【0032】透明導電膜の形成方法
本発明の2層構造の透明導電膜の形成方法は特に制限さ
れるものではないが、例えば、以下に説明する方法を採
用することができる。 Method for Forming Transparent Conductive Film The method for forming the transparent conductive film having a two-layer structure of the present invention is not particularly limited, but for example, the method described below can be adopted.
【0033】まず、透明基体の上に、下層形成用の塗料
を塗布して、金属微粉末の二次粒子が前述した網目構造
をとるように分布した膜を形成する。この下層形成用の
塗料は、一般に、分散剤を含有する溶媒中に金属微粒子
を分散させた分散液からなる。この塗料は、焼付け後に
シリカ質マトリックスとなるアルコキシシランを含有し
ていても、含有していなくてもよい。First, a coating material for forming a lower layer is applied on a transparent substrate to form a film in which secondary particles of fine metal powder are distributed so as to have the above-mentioned network structure. The coating material for forming the lower layer generally comprises a dispersion liquid in which fine metal particles are dispersed in a solvent containing a dispersant. This coating may or may not contain an alkoxysilane that becomes a siliceous matrix after baking.
【0034】下層形成用の塗料がバインダーとなるアル
コキシシランを含有しない場合には、この塗料を塗布
し、乾燥して溶媒を蒸発させると、実質的に金属微粉末
のみからなる皮膜が基体表面に形成される。金属微粉末
がサブミクロンの微粒子からなり、凝集性が強いため、
バインダーが存在しなくても皮膜化できる。その後、上
層形成用のアルコキシシランの溶液からなる塗料を塗布
すると、塗布した溶液の一部は下層の金属微粉末の粒子
間の空隙や、前述した網目構造の空孔に浸透し、金属微
粉末を結合するバインダーとして機能する。この上層形
成用の塗料の塗布は、下層皮膜中に浸透しきれなかった
塗料が下層皮膜の上に残るように行う。When the coating material for forming the lower layer does not contain an alkoxysilane serving as a binder, when this coating material is applied, dried and the solvent is evaporated, a film consisting essentially of fine metal powder is formed on the surface of the substrate. It is formed. The fine metal powder consists of submicron fine particles and has strong cohesiveness,
Can be formed into a film without the presence of a binder. After that, when a coating material composed of a solution of the alkoxysilane for forming the upper layer is applied, a part of the applied solution permeates into the voids between the particles of the metal fine powder in the lower layer and the pores of the above-mentioned network structure to form the metal fine powder. It functions as a binder that binds. The coating material for forming the upper layer is applied so that the coating material that has not completely penetrated into the lower layer film remains on the lower layer film.
【0035】次いで加熱して皮膜を焼付けると、アルコ
キシシランはシリカ質皮膜に変化し、下層の粒子間に浸
透したアルコキシシランは、粒子間の空隙や空孔を埋め
るシリカ質マトリックスとなり、浸透しきれなかったア
ルコキシシランは上層のシリカ質皮膜を形成し、本発明
の2層構造の透明導電膜が得られる。Next, when the coating is heated and baked, the alkoxysilane changes into a siliceous coating, and the alkoxysilane that has penetrated between the particles in the lower layer becomes a siliceous matrix that fills the voids and pores between the particles and penetrates. The alkoxysilane that cannot be formed forms an upper siliceous film, and the transparent conductive film having a two-layer structure of the present invention can be obtained.
【0036】この方法では、時間とエネルギーコストの
かかる焼付け工程が1回で済み、製造工程が単純化され
る。即ち、この方法では、塗料の塗布は2回行うが、ス
ピンコート法で塗布すれば、1台のスピンコーター上で
順に下層用塗料と上層用塗料を滴下することにより連続
的に塗布を実施でき、その後に一度に焼付けを行うた
め、実質的には1回の塗布と同様の単純な作業工程で2
層膜を形成することができる。また、最初に形成した金
属微粉末の皮膜にバインダーが存在しないため、金属微
粉末が直接接触した状態にあり、この状態がアルコキシ
シランを含浸させた後でも保持されるため、皮膜がより
低抵抗化する点でも有利である。This method requires only one baking process, which requires time and energy, and simplifies the manufacturing process. That is, in this method, the coating material is applied twice, but if it is applied by the spin coating method, the coating material for the lower layer and the coating material for the upper layer can be successively applied on one spin coater to continuously perform the coating. However, since baking is performed at a time after that, it is possible to carry out the same simple working process as that of one application in two steps.
Layer films can be formed. In addition, since there is no binder in the film of the fine metal powder that is formed first, the fine metal powder is in direct contact, and this state is maintained even after impregnation with the alkoxysilane. It is also advantageous in terms of conversion.
【0037】下層形成用の塗料がアルコキシシランを含
有する場合には、この塗料を透明基体に塗布した後、塗
膜を焼付けてアルコキシシランをシリカ質マトリックス
に転化させ、下層の導電層を形成する。その後、アルコ
キシシラン溶液からなる上層用塗料を塗布し、再び焼付
ける。従って、2回の焼付け工程が必要である。When the coating material for forming the lower layer contains an alkoxysilane, the coating material is applied to a transparent substrate and then the coating film is baked to convert the alkoxysilane into a siliceous matrix to form a lower conductive layer. . After that, an upper layer coating material composed of an alkoxysilane solution is applied and baked again. Therefore, two baking steps are required.
【0038】いずれの場合でも、下層形成用の塗料は、
この塗料を基体表面に塗布した時に、金属微粉末の二次
粒子が網目構造に分布するように調整する。塗料を塗布
した時の塗料中の金属微粉末の二次粒子の分布状態は、
金属微粉末の平均一次粒子径、塗料の粘度、溶媒の表面
張力などの因子に依存する。従って、溶媒種、金属微粉
末の平均一次粒子径、金属微粉末の濃度などのパラメー
タを、塗布後に金属微粉末の二次粒子の網目構造の分布
状態が得られるように選択すればよく、これは当業者で
あれば実験により可能である。In any case, the paint for forming the lower layer is
When this coating material is applied to the surface of the substrate, the secondary particles of the fine metal powder are adjusted so as to be distributed in a network structure. When the paint is applied, the distribution state of the secondary particles of the fine metal powder in the paint is
Depends on factors such as the average primary particle size of the fine metal powder, the viscosity of the paint, and the surface tension of the solvent. Therefore, the solvent species, the average primary particle diameter of the fine metal powder, parameters such as the concentration of the fine metal powder may be selected so as to obtain the distribution state of the network structure of the secondary particles of the fine metal powder after coating. Those skilled in the art can perform the experiment.
【0039】例えば、下層形成用の塗料がバインダーと
なるアルコキシシランを含まない、即ち、分散剤を含有
する溶媒中に金属微粉末を分散させた分散液からなる場
合、金属微粉末の平均一次粒子径が2〜30 nm であっ
て、溶媒が1〜30wt%のプロピレングリコールメチルエ
ーテル、1〜30wt%のイソプロピルグリコール、および
1〜10wt%の4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタ
ノンの少なくとも1種を含んでいると、塗料を塗布した
時に金属微粉末の二次粒子が網目構造を形成し易い。For example, when the coating material for forming the lower layer does not contain an alkoxysilane serving as a binder, that is, is composed of a dispersion liquid in which fine metal powder is dispersed in a solvent containing a dispersant, the average primary particle of fine metal powder is At least one of propylene glycol methyl ether having a diameter of 2 to 30 nm and 1 to 30 wt% of solvent, 1 to 30 wt% of isopropyl glycol, and 1 to 10 wt% of 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone. When it contains a seed, the secondary particles of the fine metal powder easily form a network structure when the coating material is applied.
【0040】溶媒の残りの部分は、水および/またはメ
タノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール
などの低級アルコールから構成することが好ましい。し
かし、溶媒はこれに限定されるものではなく、塗料を塗
布した時に上記の網目構造を形成することができれば、
任意の溶媒を用いて塗料を作製することができる。使用
しうる他の溶媒としては、アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソ
ホロン等のケトン類;トルエン、キシレン、ヘキサン、
シクロヘキサン等の炭化水素類;N,N-ジメチルホルムア
ミド、N,N-ジメチルアセトアミドなどのアミド類;ジメ
チルスルホキシドなどのスルホキシド類などが挙げられ
る。The remainder of the solvent is preferably composed of water and / or a lower alcohol such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol. However, the solvent is not limited to this, and if the above network structure can be formed when the coating material is applied,
The paint can be prepared using any solvent. Other solvents that can be used include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, and isophorone; toluene, xylene, hexane,
Hydrocarbons such as cyclohexane; amides such as N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide; sulfoxides such as dimethyl sulfoxide.
【0041】下層形成用の塗料がバインダーとしてアル
コキシシランを含有する場合にも、前述したプロピレン
グリコールメチルエーテル、イソプロピルグリコール、
4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンの3種類
の溶媒の使用は、網目構造の形成に有効であるが、その
量は変更する必要があるかも知れない。いずれにして
も、使用溶媒は実験により決定すればよい。Even when the coating material for forming the lower layer contains an alkoxysilane as a binder, the above-mentioned propylene glycol methyl ether, isopropyl glycol,
The use of three solvents, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, is effective in forming the network structure, but its amount may need to be changed. In any case, the solvent used may be determined experimentally.
【0042】下層形成用の塗料は、チタネート系もしく
はアルミニウム系カップリング剤、高分子分散剤、およ
び界面活性剤の1種もしくは2種以上を含有することが
好ましい。チタネート系もしくはアルミニウム系カップ
リング剤の例としては、イソプロピルトリイソステアロ
イルチタネート、イソプロピルトリデシルベンゼンスル
ホニルチタネート、イソプロピルトリス (ジオクチルパ
イロホスフェート) チタネート、テトライソプロピルビ
ス (ジオクチルホスファイト) チタネート、テトラオク
チルビス (ジトリデシルホスファイト) チタネート、テ
トラ(2,2−ジアリルオキシメチル−1−ブチル) ビス
(ジ−トリデシル) ホスファイトチタネート、ビス (ジ
オクチルパイロホスフェート) オキシアセテートチタネ
ート、トリス (ジオクチルパイロホスフェート) エチレ
ンチタネート、アセトアルコキシアルミニウムジイソプ
ロピレートなどが挙げられる。高分子分散剤の例は、ポ
リビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリエチ
レングリコール−モノ−p−ノニルフェニルエーテル等
である。界面活性剤はノニオン系、カチオン系、アニオ
ン系のいずれでもよく、その例としては、p−アミノベ
ンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルベンゼンスルホ
ン酸ナトリウム、長鎖アルキルトリメチルアンモニウム
塩 (例、ステアリルトリメチルアンモニウムクロリド)
などがある。これらの添加剤の添加量は、例えば、分散
液 (塗料) の 0.001〜0.200 重量%の範囲内の少量でよ
い。The coating material for forming the lower layer preferably contains one or more titanate or aluminum coupling agents, polymer dispersants, and surfactants. Examples of titanate-based or aluminum-based coupling agents include isopropyl triisostearoyl titanate, isopropyl tridecylbenzenesulfonyl titanate, isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate, tetraisopropyl bis (dioctyl phosphite) titanate, tetraoctyl bis (ditrityl). Decyl phosphite) titanate, tetra (2,2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis
(Di-tridecyl) phosphite titanate, bis (dioctyl pyrophosphate) oxyacetate titanate, tris (dioctyl pyrophosphate) ethylene titanate, and acetoalkoxyaluminum diisopropylate. Examples of polymer dispersants are polyvinylpyrrolidone, polyvinyl alcohol, polyethylene glycol-mono-p-nonylphenyl ether and the like. The surfactant may be nonionic, cationic, or anionic, and examples thereof include sodium p-aminobenzenesulfonate, sodium dodecylbenzenesulfonate, long-chain alkyltrimethylammonium salt (eg, stearyltrimethylammonium chloride).
and so on. The amount of these additives to be added may be, for example, a small amount within the range of 0.001 to 0.200% by weight of the dispersion liquid (paint).
【0043】下層形成用の塗料の粘度は好ましくは 0.8
〜10 cps、より好ましくは 0.9〜5cpsである。塗料中
の金属微粉末の量は、塗料の 0.1〜15重量%、特に 0.3
〜10重量%の範囲内が適当である。アルコキシシランを
含有する場合には、アルコキシシランの量 (SiO2に換算
した量) は、金属微粉末との合計量に対して1〜18重量
%の範囲内が好ましい。The viscosity of the coating material for forming the lower layer is preferably 0.8.
-10 cps, more preferably 0.9-5 cps. The amount of fine metal powder in the paint should be 0.1-15% by weight of the paint, especially 0.3
A range of up to 10% by weight is suitable. When the alkoxysilane is contained, the amount of the alkoxysilane (the amount converted to SiO 2 ) is preferably within the range of 1 to 18% by weight with respect to the total amount of the fine metal powder.
【0044】アルコキシシランは予め加水分解させて、
塗料に使用することもできる。それにより、塗布後の焼
付けを短時間で完了させることができる。この場合の加
水分解は、反応を促進させるため、酸触媒 (例、塩酸な
どの無機酸、またはp−トルエンスルホン酸などの有機
酸) と水の存在下で行うことが好ましい。アルコキシシ
ランの加水分解は、室温ないし加熱下で行うことがで
き、好ましい反応温度は20〜80℃の範囲内である。The alkoxysilane is hydrolyzed in advance,
It can also be used in paints. Thereby, baking after application can be completed in a short time. In this case, the hydrolysis is preferably carried out in the presence of an acid catalyst (eg, an inorganic acid such as hydrochloric acid or an organic acid such as p-toluenesulfonic acid) and water in order to accelerate the reaction. The hydrolysis of the alkoxysilane can be carried out at room temperature or under heating, and the preferred reaction temperature is within the range of 20 to 80 ° C.
【0045】下層形成用の塗料の塗布は、スプレー法、
スピンコート法、浸漬法などによって行うことができる
が、成膜精度の点からスピンコート法が好ましい。塗布
は、乾燥後に10〜200 nm、特に25〜150 nmの範囲の膜厚
の下層導電層が形成されるように行うことが好ましい。
膜厚が10 nm 未満では導電性や低反射性を十分に付与で
きず、200 nmより厚くなると金属微粉末の二次粒子の網
目構造の形成が困難となる。The coating for forming the lower layer is carried out by a spray method,
It can be performed by a spin coating method, a dipping method, or the like, but the spin coating method is preferable from the viewpoint of film formation accuracy. The coating is preferably performed so that the lower conductive layer having a thickness of 10 to 200 nm, particularly 25 to 150 nm is formed after drying.
If the film thickness is less than 10 nm, sufficient conductivity and low reflectivity cannot be imparted, and if it exceeds 200 nm, it becomes difficult to form a network structure of secondary particles of fine metal powder.
【0046】下層形成用の塗料がアルコキシシランを含
有する場合には、塗料の塗布後に塗膜を加熱して、アル
コキシシランをシリカに転化させる。それにより、シリ
カ質マトリックス中に金属微粉末の二次粒子が網目構造
状に分布している、導電性の下層塗膜が形成される。こ
の焼付け条件は、後述する上層形成用塗料の塗布後の焼
付けと同様でよい。When the coating material for forming the lower layer contains an alkoxysilane, the coating film is heated after the coating material is applied to convert the alkoxysilane to silica. Thereby, a conductive lower layer coating film in which secondary particles of fine metal powder are distributed in a network structure in the siliceous matrix is formed. The baking conditions may be the same as the baking after the application of the upper layer forming coating material described later.
【0047】塗料がアルコキシシランを含有しない場合
には、塗膜から適宜手段で溶媒を蒸発させ、実質的に金
属微粉末のみからなる皮膜を基体上に形成する。この溶
媒の蒸発は、使用した溶媒の沸点に応じて、無加熱また
は加熱により実施することができる。例えば、塗布をス
ピンコート法で行う場合には、溶媒の種類にもよるが、
回転時間を十分にとれば、加熱せずに回転中に溶媒を蒸
発させることができる。なお、溶媒の蒸発は完全に行う
必要はなく、溶媒が一部残っていてもよい。When the coating material does not contain alkoxysilane, the solvent is evaporated from the coating film by an appropriate means to form a coating film consisting essentially of fine metal powder on the substrate. This evaporation of the solvent can be carried out without heating or with heating, depending on the boiling point of the solvent used. For example, when the coating is performed by the spin coating method, depending on the type of solvent,
If the rotation time is sufficient, the solvent can be evaporated during the rotation without heating. It is not necessary to completely evaporate the solvent, and the solvent may partially remain.
【0048】こうして形成された下層皮膜の上に、上層
形成用のアルコキシシラン溶液からなる塗料を塗布し、
焼付けてシリカ質皮膜を形成する。この塗料中のアルコ
キシシランは、塗布後のアルコキシシランの加水分解を
促進させるため、予め加水分解した、シリカゾルと呼ば
れるものでもよい。シリカゾルは、アルコキシシラン溶
液を酸触媒 (好ましくは塩酸または硝酸) の存在下で室
温または加熱下に加水分解することにより調製できる。On the lower layer film thus formed, a coating material comprising an alkoxysilane solution for forming the upper layer is applied,
Bake to form a siliceous film. The alkoxysilane in this paint may be a so-called silica sol that has been previously hydrolyzed in order to accelerate the hydrolysis of the alkoxysilane after coating. The silica sol can be prepared by hydrolyzing an alkoxysilane solution in the presence of an acid catalyst (preferably hydrochloric acid or nitric acid) at room temperature or under heating.
【0049】シリカゾルを使用する場合、上層形成用の
塗料中のシリカゾル濃度は、SiO2換算で 0.5〜2.5 重量
%の範囲内が好ましい。この塗料の粘度は好ましくは
0.8〜10 cps、より好ましくは 1.0〜4.0 cps である。
シリカゾル濃度が低すぎると、下層の粉末の結合や上層
の膜厚が不十分となり、高すぎると成膜精度が低下し、
上層の膜厚の制御が困難となる。また、この塗料の粘度
が高すぎると、シリカゾルが下層の粉末粒子間の間隙に
十分に含浸しなくなり、導電性が低下する上、成膜精度
が低下して、上層の膜厚の制御も困難となる。When silica sol is used, the concentration of silica sol in the coating material for forming the upper layer is preferably in the range of 0.5 to 2.5% by weight in terms of SiO 2 . The viscosity of this paint is preferably
It is 0.8 to 10 cps, more preferably 1.0 to 4.0 cps.
If the silica sol concentration is too low, the bonding of the powder in the lower layer and the film thickness of the upper layer will be insufficient, and if it is too high, the film forming accuracy will decrease,
It becomes difficult to control the film thickness of the upper layer. If the viscosity of this paint is too high, the silica sol will not be sufficiently impregnated into the gaps between the powder particles in the lower layer, which will lower the conductivity and the film forming accuracy, making it difficult to control the film thickness of the upper layer. Becomes
【0050】この塗料の塗布後の焼付けは、特に透明基
体がブラウン管である場合には、ブラウン管の寸法精
度、蛍光体の脱落防止のため、250 ℃以下、好ましくは
200 ℃、さらに好ましくは180 ℃以下に加熱することに
より行う。透明基体がブラウン管以外のものである場合
には、その基体材質に許される範囲内でこれより高い乾
燥温度を採用してもよい。The baking after the coating of this coating material is carried out at 250 ° C. or less, preferably 250 ° C. or less, particularly when the transparent substrate is a cathode ray tube in order to prevent the dimensional accuracy of the cathode ray tube and the fluorescent substance from falling off.
It is performed by heating to 200 ° C, more preferably 180 ° C or less. When the transparent substrate is other than a cathode ray tube, a drying temperature higher than this may be adopted within the range allowed by the substrate material.
【0051】下層皮膜をアルコキシシランを含まない塗
料から形成した場合には、前述したように、上層塗料の
塗布により、この塗料中のアルコキシシラン (またはそ
の加水分解物、特にシリカゾル) が、金属微粉末の二次
粒子が網目構造状に分布している下層皮膜の金属微粉末
粒子間の空隙や網目構造の空孔内に浸透して、これらの
空隙や空孔を充填し、焼付け後にシリカ質マトリックス
を形成する。一方、浸透しきれなかった塗料は、焼付け
後にシリカ質の上層を形成する。この場合、浸透性の調
整のための界面活性剤などの添加剤を、塗料に添加して
もよい。When the lower layer coating is formed from a coating containing no alkoxysilane, the coating of the upper coating causes the alkoxysilane (or its hydrolyzate, especially silica sol) in the coating to be a metal fine particle as described above. Secondary particles of powder are distributed in a network structure. Fine particles of metal in the lower layer coating penetrate into the spaces between the particles and the pores of the network structure to fill these spaces and pores, and after baking, siliceous material. Form a matrix. On the other hand, the paint that has not completely penetrated forms a siliceous upper layer after baking. In this case, an additive such as a surfactant for adjusting the permeability may be added to the paint.
【0052】金属微粉末を含有しないシリカ質の上層
は、金属微粉末を含有する下層に比べて屈折率が低く、
それにより従来の導電性2層膜と同様に、低反射性の2
層膜が得られる。この機能に好ましい上層皮膜の膜厚は
20〜150 nm、より好ましくは50〜120 nm、最も好ましく
は60〜100 nmである。上層形成用塗料の塗布方法は、下
層の場合と同様でよいが、膜厚が非常に薄いため、膜厚
の制御が容易なスピンコート法が特に好ましい。The siliceous upper layer containing no fine metal powder has a lower refractive index than the lower layer containing fine metal powder,
As a result, as with the conventional conductive double-layer film,
A layer film is obtained. The preferable thickness of the upper layer film for this function is
20-150 nm, more preferably 50-120 nm, most preferably 60-100 nm. The method for applying the coating material for forming the upper layer may be the same as in the case of the lower layer, but since the film thickness is very thin, the spin coating method is particularly preferable because the film thickness can be easily controlled.
【0053】本発明の2層膜構造の透明導電膜の厚み方
向の断面を調査した結果、下層形成用の塗料がアルコキ
シシランを含有しなかった場合には、下層の導電層にお
ける粉末の含有率が、上層との界面から急激な増大を見
せるのではなく、緩やかに増大することが判明した。こ
のような2層膜構造は、下層の導電層の膜厚が変動した
時の可視光最低反射率の変動が少ないという特徴があ
る。即ち、反射率は、膜厚(nm)×屈折率の値がλ/4
(λは入射光線の波長<nm>) に等しい時に最低になる
が、下層の膜厚がこの値から大きく外れても、可視光最
低反射率を低く保つことができる。As a result of investigating the cross section in the thickness direction of the transparent conductive film having the two-layer film structure of the present invention, when the coating material for forming the lower layer does not contain alkoxysilane, the content ratio of the powder in the lower conductive layer is However, it was found that the increase did not occur suddenly from the interface with the upper layer, but increased gradually. Such a two-layer film structure is characterized in that the minimum visible light reflectance does not fluctuate when the film thickness of the lower conductive layer changes. That is, as for the reflectance, the value of film thickness (nm) × refractive index is λ / 4
It becomes the minimum when (λ is equal to the wavelength <nm> of the incident light ray), but the minimum visible light reflectance can be kept low even if the film thickness of the lower layer deviates greatly from this value.
【0054】一方、下層形成用の塗料がアルコキシシラ
ンを含有していた場合には、下層の導電性の粉末の含有
率は、上層との界面から急激に増大する。この場合に
は、各層ごとの膜厚の制御が容易であり、可視光最低反
射率が最も低くなるように上層と下層の膜厚を容易に制
御できるという特徴がある。On the other hand, when the coating material for forming the lower layer contains alkoxysilane, the content ratio of the conductive powder in the lower layer sharply increases from the interface with the upper layer. In this case, it is easy to control the film thickness of each layer, and it is possible to easily control the film thickness of the upper layer and the lower layer so that the minimum visible light reflectance is minimized.
【0055】いずれの方法で形成しても、本発明の2層
構造の透明導電膜は、反射光が青みを帯びず、無色に近
く、透明性が高く、低反射性という光学的特徴を持つ。
具体的には、可視光透過率が60%以上、好ましくは70%
以上、さらに好ましくは75%以上と高く、ヘーズは1%
以下と低い。可視光反射率は、最低反射率が1%と低い
上、反射スペクトルが平坦であり、従来の2層導電膜の
反射光の青みの原因であった短波長側 (例、400 nm) で
の反射率の増大が、長波長側(例、800 nm) とそれほど
違わないレベルの抑えられている。そのため、反射光は
青みがなく、実質的に無色であり、映像の視感度が高ま
る。Whichever method is used, the transparent conductive film having a two-layer structure of the present invention has optical characteristics that reflected light is not bluish, is almost colorless, has high transparency, and has low reflectivity. .
Specifically, the visible light transmittance is 60% or more, preferably 70%
Above, more preferably above 75%, haze is 1%
Low as below. As for the visible light reflectance, the minimum reflectance is as low as 1%, and the reflection spectrum is flat. On the short wavelength side (eg 400 nm), which was the cause of the bluish reflected light of the conventional two-layer conductive film. The increase in reflectance is suppressed to a level not much different from that on the long wavelength side (eg, 800 nm). Therefore, the reflected light has no bluish color and is substantially colorless, and the visibility of the image is improved.
【0056】この透明導電膜は、導電性粉末である金属
微粉末の二次粒子が網目構造を形成するように連結して
いて、この金属微粉末の連結構造を伝わって電気が流れ
るため、金属微粉末の充填度が比較的低い (空孔があ
る) にもかかわらず、表面抵抗が 102〜103 Ω/□台と
いう低抵抗を示し、電磁波シールド機能を十分に果たす
ことができる。In this transparent conductive film, secondary particles of metal fine powder which is conductive powder are connected so as to form a network structure, and electricity flows through the connection structure of the metal fine powder, so that metal Despite the relatively low degree of filling of fine powder (with pores), it has a low surface resistance of the order of 10 2 to 10 3 Ω / □, and can sufficiently fulfill the electromagnetic wave shielding function.
【0057】[0057]
【実施例】下層形成用の塗料
界面活性剤または高分子分散剤を含む溶媒中に金属微粉
末を加え、直径0.3 mmのジルコニアビーズを用いてペイ
ントシェーカーで混合することにより金属微粉末を溶媒
中に分散させて、アルコキシシランを含有しない下層形
成用の塗料を調製した。使用した金属微粉末、添加剤お
よび溶媒の種類と塗料中のそれぞれの量(%は重量%)
は表1に示す通りであった。金属微粉末は、コロイド的
手法 (保護コロイドの存在下で金属化合物を還元剤と反
応させて還元する) により調製したものであり、その平
均一次粒子径も表1に示す。表1に示した添加剤および
溶媒 (かっこ内は重量比) の記号の意味は次の通りであ
る。Example: Paint for forming lower layer Metal fine powder is added to a solvent containing a surfactant or polymer dispersant, and mixed with a paint shaker using zirconia beads having a diameter of 0.3 mm to mix the metal fine powder in the solvent. To prepare a lower layer-forming coating material containing no alkoxysilane. Type of fine metal powder, additives and solvents used and their amounts in paint (% is% by weight)
Was as shown in Table 1. The fine metal powder was prepared by a colloidal method (reducing a metal compound by reacting with a reducing agent in the presence of protective colloid), and the average primary particle size is also shown in Table 1. The symbols of additives and solvents (weight ratio in parentheses) shown in Table 1 have the following meanings.
【0058】添加剤:
A=ステアリルトリメチルアンモニウムクロライド
B=ドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウム
C=ポリビニルピロリドン (関東化学製K-30)
溶媒:
水/プロピレングリコールメチルエーテル/4−ヒド
ロキシ−4−メチル−2−ペンタノン (85/10/5) 、
メタノール/イソプロピルグリコール (71/29) 、
水/プロピレングリコールメチルエーテル (98.5/1.
5)、
エタノール/イソプロピルグリコール/プロピレング
リコールメチルエーテル/4−ヒドロキシ−4−メチル
−2−ペンタノン (84/1.5 /5/9.5)、
エタノール (100)、
水/プロピレングリコールメチルエーテル (68/32)
。Additive: A = stearyltrimethylammonium chloride B = sodium dodecylbenzene sulfonate C = polyvinylpyrrolidone (K-30 manufactured by Kanto Kagaku) Solvent: water / propylene glycol methyl ether / 4-hydroxy-4-methyl-2- Pentanone (85/10/5), methanol / isopropyl glycol (71/29), water / propylene glycol methyl ether (98.5 / 1.
5), ethanol / isopropyl glycol / propylene glycol methyl ether / 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone (84 / 1.5 / 5 / 9.5), ethanol (100), water / propylene glycol methyl ether (68/32)
.
【0059】上層形成用塗料
エトキシシラン (エチルシリケート) を、少量の塩酸と
水を含有するエタノール中で60℃に1時間加熱して加水
分解させ、シリカゾルを合成した。得られたシリカゾル
溶液を、エタノール/イソプロパノール/ブタノールの
重量比5:8:1の混合溶媒で希釈して、SiO2換算濃度
が 1.0重量%、粘度が1.65 cpsの塗料を調製した。 Coating material for forming the upper layer Ethoxysilane (ethyl silicate) was hydrolyzed by heating at 60 ° C. for 1 hour in ethanol containing a small amount of hydrochloric acid and water to synthesize silica sol. The obtained silica sol solution was diluted with a mixed solvent of ethanol / isopropanol / butanol at a weight ratio of 5: 8: 1 to prepare a coating material having a SiO 2 conversion concentration of 1.0% by weight and a viscosity of 1.65 cps.
【0060】成膜方法
100 mm×100 mm×厚さ3mmの寸法のソーダライムガラス
(青板ガラス) からなる基体の片面に、スピンコーター
を用いて、下層形成用塗料と上層形成用塗料を順に滴下
して成膜した。各塗料とも、滴下量は5〜10g、回転数
は 140〜180rpm、回転時間は60〜150 秒の範囲内であっ
た。その後、基体を大気中において170℃に30分間加熱
して塗膜を焼付け、ガラス基体上に透明導電膜を形成し
た。得られた膜の特性を次のようにして評価し、それら
の結果を表1に一緒に示した。 Film forming method Soda lime glass with dimensions of 100 mm × 100 mm × thickness 3 mm
A lower layer-forming coating material and an upper layer-forming coating material were sequentially dropped onto a single surface of a (blue plate glass) substrate using a spin coater to form a film. For each paint, the dripping amount was 5 to 10 g, the rotation speed was 140 to 180 rpm, and the rotation time was 60 to 150 seconds. Then, the substrate was heated in air at 170 ° C. for 30 minutes to bake the coating film, thereby forming a transparent conductive film on the glass substrate. The characteristics of the obtained film were evaluated as follows, and the results are shown together in Table 1.
【0061】膜特性の評価
金属微粉末二次粒子の網目構造の空孔の平均面積と占有
率:膜上面のTEM写真から測定した。
膜厚:各層の膜厚はSEM断面により測定した。
密着性:ライオン社製の消しゴムER-20Rを用い、荷重1
kgf/cm2 、ストローク幅5cm、往復50回後、キズの状態
を目視で観察した。○はキズなし、×はキズ認められ
る、を意味する。 Evaluation of Membrane Properties Average Area and Occupancy Ratio of Voids in Network Structure of Secondary Particles of Metallic Fine Powder: Measured from a TEM photograph of the upper surface of the membrane. Film thickness: The film thickness of each layer was measured by SEM cross section. Adhesion: Eraser ER-20R made by Lion Corp., load 1
After 50 times of reciprocation, kgf / cm 2 , stroke width 5 cm, the state of scratches was visually observed. ○ means that there is no scratch, and × means that scratches are recognized.
【0062】表面抵抗:四探針法 (ロレスタAP:三菱油
化製) により測定した。
光透過率 (全可視光線透過率) :自記分光光度計 (U-40
00型:日立製作所製)により測定した。
ヘーズ:ヘーズメーター (HGM-3D:スガ試験機製) によ
り測定した。Surface resistance: Measured by the four-point probe method (Loresta AP: manufactured by Mitsubishi Yuka). Light transmittance (total visible light transmittance): Self-recording spectrophotometer (U-40
Type 00: manufactured by Hitachi, Ltd.). Haze: Measured with a haze meter (HGM-3D: manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.).
【0063】可視光反射率:ガラス基体の背面に、黒色
ビニールテープ (No.21:日東電工)を貼り、50℃で30分
保温してブラックマスクを形成した後、自記分光光度計
によって12°の正反射による可視域波長の反射スペクト
ルを測定した。この反射スペクトルから反射率の最小値
(最低反射率) と400 nmおよび800 nmでの反射率とを求
め、最低反射率となった波長と一緒に表1に示した。Visible light reflectance: Black vinyl tape (No. 21: Nitto Denko) was attached to the back surface of the glass substrate, and the temperature was kept at 50 ° C. for 30 minutes to form a black mask, which was then measured by a spectrophotometer at 12 °. The reflection spectrum in the visible wavelength range due to the regular reflection was measured. The minimum value of reflectance from this reflection spectrum
The (minimum reflectance) and the reflectance at 400 nm and 800 nm were determined and shown in Table 1 together with the wavelength at which the minimum reflectance was obtained.
【0064】また、試験No. 2の本発明例の透明導電膜
の表面のTEM写真を図2に、その透過スペクトルおよ
び反射スペクトルを図3(a) および(b) に、試験No.11
の比較例の透明導電膜の表面のTEM写真を図4に、そ
の透過スペクトルおよび反射スペクトルを図5(a) およ
び(b) に示す。Further, a TEM photograph of the surface of the transparent conductive film of the invention of Test No. 2 is shown in FIG. 2, its transmission spectrum and reflection spectrum are shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), and Test No. 11 is used.
A TEM photograph of the surface of the transparent conductive film of Comparative Example is shown in FIG. 4, and its transmission spectrum and reflection spectrum are shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b).
【0065】[0065]
【表1】 [Table 1]
【0066】表1からわかるように、本発明例では、平
均一次粒子径が2〜30 nm の金属微粉末を特定の条件を
満たす溶媒中に分散剤を用いて分散させた塗料を用いた
結果、下層の導電層において、例えば、図2のTEM写
真に示すように、金属微粉末の二次粒子が網目構造を形
成するように分布し、この網目構造内に空孔が存在して
いた。As can be seen from Table 1, in the examples of the present invention, the results obtained by using the coating material prepared by dispersing the fine metal powder having the average primary particle diameter of 2 to 30 nm in the solvent satisfying the specific conditions by using the dispersant are shown. In the lower conductive layer, for example, as shown in the TEM photograph of FIG. 2, the secondary particles of the fine metal powder were distributed so as to form a network structure, and voids were present in this network structure.
【0067】但し、本発明の透明導電膜の形成方法は、
実施例に示した方法に限定されるものではなく、同じよ
うな網目構造が生成するのであれば、どのような方法で
膜を形成してもよい。また、金属微粉末が下層内に一様
に分布せず、二次粒子の網目構造を形成しているにもか
かわらず、膜の密着性は良好であった。However, the method of forming the transparent conductive film of the present invention is
The method is not limited to the method shown in the embodiment, and any method may be used to form the film as long as a similar network structure is generated. Further, the fine metal powder was not evenly distributed in the lower layer, and although the network structure of secondary particles was formed, the adhesion of the film was good.
【0068】これに対して、比較例では、溶媒の種類ま
たは金属微粉末の平均一次粒子径が不適切であったた
め、金属微粉末の二次粒子は網目構造を形成せず、図4
に示すように比較的バラバラに分布していた。また、特
に平均一次粒子径が60nmと規定よりもはるかに大きい場
合 (No.12)には、膜の可視光透過率と密着性が著しく低
下し、ヘーズも高いため、実用に耐える密着性が得られ
なかった。On the other hand, in the comparative example, the type of the solvent or the average primary particle diameter of the fine metal powder was inappropriate, so that the secondary particles of the fine metal powder did not form a network structure, and the secondary structure of FIG.
As shown in, the distribution was relatively uneven. Further, particularly when the average primary particle size is much larger than the prescribed value of 60 nm (No. 12), the visible light transmittance and the adhesiveness of the film are remarkably lowered, and the haze is high, so that the adhesiveness for practical use is not sufficient. I couldn't get it.
【0069】本発明例では、下層導電層の膜厚が28nmか
ら146 nmと広い範囲にわたっている(λ/4から大きく
はずれる場合がある) にもかかわらず、得られた導電膜
は1%以下の可視光最低反射率、1%以下のヘーズ、60
%以上、多くは70%以上の全可視光線透過率を示し、画
像の映り込みを防止することができる低反射性で、かつ
映像の視認性を妨害しない十分な透明性を有しているこ
とがわかる。In the example of the present invention, although the film thickness of the lower conductive layer covers a wide range from 28 nm to 146 nm (may deviate from λ / 4 in some cases), the obtained conductive film has a thickness of 1% or less. Minimum visible light reflectance, haze less than 1%, 60
% Or more, most of which is 70% or more of total visible light transmittance, low reflectance that can prevent glare of images, and sufficient transparency that does not interfere with image visibility. I understand.
【0070】また、400 nmおよび800 nmでの反射率を最
低反射率と比較すると、いずれの透明導電膜も400 nmで
の反射率の方が高くなったが、その反射率の値は比較的
小さく、図3(b) に示すように、反射スペクトルは比較
的平坦であった。即ち、低反射性である上に、反射光に
青みがなく、映像の視感度に優れていることがわかる。
さらに、図3(a) に示すように、透過スペクトルも非常
に平坦であり、膜自体も無色である。When the reflectances at 400 nm and 800 nm were compared with the minimum reflectance, the reflectance at 400 nm was higher for all transparent conductive films, but the reflectance values were relatively high. It was small and the reflection spectrum was relatively flat, as shown in FIG. 3 (b). That is, it can be seen that, in addition to having low reflectivity, the reflected light has no bluish color and the visual sensitivity of the image is excellent.
Further, as shown in FIG. 3 (a), the transmission spectrum is also very flat and the film itself is colorless.
【0071】これに対し、比較例では、全可視光線透過
率が低く、膜の透明性に劣る上、最低反射率は低いもの
の、図5(b) に示すように特に短波長側における反射ス
ペクトルの増大が大きく (反射スペクトルが平坦ではな
く) 、400 nmでの反射率が本発明例に比べて大きくなっ
た。そのため、反射光は青みを帯び、映像の視感度に悪
影響が出る。On the other hand, in the comparative example, the total visible light transmittance is low, the transparency of the film is inferior, and the minimum reflectance is low, but as shown in FIG. Is large (the reflection spectrum is not flat), and the reflectance at 400 nm is larger than that of the examples of the present invention. Therefore, the reflected light is bluish and adversely affects the visibility of the image.
【0072】導電性を見ると、本発明例の透明導電膜の
表面抵抗は、 102〜103 Ω/□台であり、電磁波シール
ド性を十分に付与することができる高い導電性を有す
る。これに対し、比較例の透明導電膜では、金属微粉末
を同じような量で使用しているにもかかわらず、金属微
粉末が網目構造で連結しておらず、ばらばらに分布して
いるため、表面抵抗値が 104〜105 Ω/□台と導電性が
大きく低下した。From the viewpoint of conductivity, the surface resistance of the transparent conductive film of the present invention is on the order of 10 2 to 10 3 Ω / □, and it has high conductivity capable of sufficiently imparting electromagnetic wave shielding property. On the other hand, in the transparent conductive film of the comparative example, even though the metal fine powders were used in the same amount, the metal fine powders were not connected in the mesh structure and were distributed in a random manner. , The surface resistance value was 10 4 to 10 5 Ω / □, and the conductivity was greatly reduced.
【0073】[0073]
【発明の効果】本発明の2層構造の透明導電膜は、金属
微粉末の充填度が比較的低いにもかかわらず、表面抵抗
が 102〜103 Ω/□台と低抵抗であるので、特にパソコ
ン用CRTおよび大型TV用ブラウン管で問題となって
いる電磁波の漏洩を防止できる電磁波シールド性をブラ
ウン管に付与できる。The two-layer structure transparent conductive film of the present invention has a low surface resistance of 10 2 to 10 3 Ω / □ even though the filling degree of the fine metal powder is relatively low. In particular, the cathode ray tube can be provided with an electromagnetic wave shielding property capable of preventing the leakage of electromagnetic waves, which is a problem particularly in CRTs for personal computers and cathode ray tubes for large TVs.
【0074】また、この透明導電膜は、金属微粉末を含
有するにもかかわらず、可視光最低反射率が1%以下、
ヘーズが1%以下、全可視光線透過率が60%以上、好ま
しくは70%以上という、低反射性と十分な透明性を備え
ている。その上、この透明導電膜は、従来より問題にな
っていた紫〜青味または赤〜黄色味の反射光が少なく、
反射光が実質的に無色である。Further, this transparent conductive film has a minimum visible light reflectance of 1% or less, despite containing fine metal powder.
It has low reflectivity and sufficient transparency with a haze of 1% or less and a total visible light transmittance of 60% or more, preferably 70% or more. Moreover, this transparent conductive film has less purple-bluish or red-yellowish reflected light, which has been a problem in the past.
The reflected light is substantially colorless.
【0075】従って、本発明の透明導電膜をブラウン管
の画像表示部に形成した場合、反射による外部映像の映
り込みが防止できると同時に、映像の色調を変化させる
ことがないので、画像の視認性が大きく向上する。従っ
て、本発明の透明導電膜は、映像を見やすくする上、電
磁波の漏洩による人体への悪影響やコンピュター誤動作
の防止にも役立つ。Therefore, when the transparent conductive film of the present invention is formed in the image display portion of the cathode ray tube, the reflection of an external image due to reflection can be prevented, and at the same time, the color tone of the image is not changed, so that the image visibility is improved. Is greatly improved. Therefore, the transparent conductive film of the present invention makes it easy to see an image, and also helps prevent adverse effects on the human body due to leakage of electromagnetic waves and malfunction of a computer.
【図1】本発明の2層構造の透明導電膜の下層における
金属微粉末の二次元網目構造を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing a two-dimensional network structure of fine metal powder in a lower layer of a transparent conductive film having a two-layer structure of the present invention.
【図2】実施例で作製した本発明の透明導電膜のTEM
写真である。FIG. 2 is a TEM of a transparent conductive film of the present invention manufactured in an example.
It is a photograph.
【図3】図3(a) は実施例で作製した本発明の透明導電
膜の透過スペクトル、図3(b)は同じく反射スペクトル
を示す。FIG. 3 (a) shows a transmission spectrum of the transparent conductive film of the present invention produced in the example, and FIG. 3 (b) shows a reflection spectrum thereof.
【図4】実施例で作製した比較例の透明導電膜のTEM
写真である。FIG. 4 is a TEM of a transparent conductive film of a comparative example manufactured in an example.
It is a photograph.
【図5】図5(a) は実施例で作製した比較例の透明導電
膜の透過スペクトル、図5(b)は同じく反射スペクトル
を示す。FIG. 5 (a) shows a transmission spectrum of a transparent conductive film of a comparative example produced in the example, and FIG. 5 (b) shows a reflection spectrum of the same.
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G09F 9/00 318 H01B 1/22 B H01B 1/22 5/14 A 5/14 H01J 9/20 A H01J 9/20 29/88 29/88 H04N 5/64 541D H04N 5/64 541 H05K 9/00 V H05K 9/00 G02B 1/10 A (56)参考文献 特開 平8−77832(JP,A) 特開 昭63−160140(JP,A) 特開 平8−290943(JP,A) 特開 平8−295513(JP,A) 特開 平10−1777(JP,A) 中嶋恵治 他,EMC指令、電磁環境 悪化に対するこれからの電磁波シールド 材 CRT電磁波低減湿式コーティン グ,工業材料,1996年 8月 1日,v ol.44 No.9,p68−71 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03C 15/00 - 23/00 B32B 1/00 - 35/00 C09D 1/00 - 10/00 H01B 1/00 - 1/24 JOISContinuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI G09F 9/00 318 H01B 1/22 B H01B 1/22 5/14 A 5/14 H01J 9/20 A H01J 9/20 29/88 29 / 88 H04N 5/64 541D H04N 5/64 541 H05K 9/00 V H05K 9/00 G02B 1/10 A (56) Reference JP-A-8-77832 (JP, A) JP-A-63-160140 (JP, A) JP8-290943 (JP, A) JP8-295513 (JP, A) JP10-1777 (JP, A) Nakajima Keiji et al., EMC directive, future electromagnetic wave shield against electromagnetic environment deterioration Materials CRT electromagnetic wave reduction wet coating, industrial materials, August 1, 1996, vol. 44 No. 9, p68-71 (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) C03C 15/00-23/00 B32B 1/00-35/00 C09D 1/00-10/00 H01B 1/00- 1/24 JOIS
Claims (4)
ックス中に金属微粉末を含有する下層と、その上に設け
たシリカ質の上層とからなる、2層構造の透明導電膜で
あって、該下層内において、該金属微粉末の二次粒子
が、内部に金属微粉末を含まない空孔を持った二次元網
目構造を形成するように分布し、該網目構造の空孔の平
均面積が 2,500〜30,000 nm 2 の範囲であり、該空孔が膜
の全面積の30〜70%を占めることを特徴とする、低反射
性で低抵抗の透明導電膜。1. A two-layered transparent conductive film comprising a lower layer containing fine metal powder in a siliceous matrix provided on the surface of a transparent substrate, and a siliceous upper layer provided thereon. In the lower layer, the secondary particles of the fine metal powder are distributed so as to form a two-dimensional network structure having pores that do not contain the fine metal powder, and the flat particles of the pores of the network structure are distributed.
The uniform area is in the range of 2,500 to 30,000 nm 2 , and the pores are
30 to 70% of the total area of the transparent conductive film with low reflectivity and low resistance.
l、In、Zn、Pb、Sb、Bi、Sn、Ce、Cd、Pd、Cu、Pt、Ag
およびAuよりなる群から選ばれた1種もしくは2種以上
の金属、ならびに/またはこれらの金属の合金、ならび
に/またはこれらの金属および/もしくは合金の混合物
からなる請求項1記載の透明導電膜。2. The fine metal powder is Fe, Co, Ni, Cr, W, A.
l, In, Zn, Pb, Sb, Bi, Sn, Ce, Cd, Pd, Cu, Pt, Ag
The transparent conductive film according to claim 1, which comprises one or more metals selected from the group consisting of and Au, and / or alloys of these metals, and / or mixtures of these metals and / or alloys.
る請求項1または2に記載の透明導電膜。3. The transparent conductive film according to claim 1, wherein the transparent substrate is a cathode ray tube image display section.
子径が2〜30 nm の金属微粉末を分散剤を含有する溶媒
に分散させた分散液からなり、該溶媒が1〜30wt%のプ
ロピレングリコールメチルエーテル、1〜30wt%のイソ
プロピルグリコール、および1〜10wt%の4−ヒドロキ
シ−4−メチル−2−ペンタノンの少なくとも1種を含
む、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の透明導電
膜。4. The coating material used for forming the lower layer comprises a dispersion liquid in which fine metal powder having an average primary particle diameter of 2 to 30 nm is dispersed in a solvent containing a dispersant, and the solvent is 1 to 30 wt%. 4. Propylene glycol methyl ether, 1 to 30 wt% isopropyl glycol, and 1 to 10 wt% 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone at least one of claims 1 to 3. Transparent conductive film.
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