JP3390713B2 - Magneto-optical recording medium - Google Patents
Magneto-optical recording mediumInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は高密度光磁気記録媒
体に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high density magneto-optical recording medium.
【0002】光磁気ディスクは高密度記録媒体として知
られているが、情報量の増大に伴いさらなる高密度化が
要望されている。高密度化は記録マークの間隔を詰める
ことによって実現できるが、その記録、再生は、媒体上
の光ビームの大きさ(ビームスポット)によって制限さ
れる。Although a magneto-optical disk is known as a high density recording medium, a higher density is demanded as the amount of information increases. Higher density can be realized by narrowing the intervals of recording marks, but recording and reproduction thereof are limited by the size of the light beam (beam spot) on the medium.
【0003】ビームスポット内に一つの記録マークしか
存在しないように設定した場合、記録マークがあるかな
いかによって“1”,“0”に対応する出力波形が再生
信号として観測できる。When it is set that only one recording mark exists in the beam spot, output waveforms corresponding to "1" and "0" can be observed as a reproduction signal depending on whether or not there is a recording mark.
【0004】しかし、記録マークの間隔を詰めてビーム
スポット内に複数個存在するようにすると、媒体上のビ
ームスポットが移動しても再生出力に変化が生じないた
め、出力波形は直線となって記録マークの有り無しを識
別できなくなる。However, if the recording marks are closely spaced so that a plurality of recording marks are present in the beam spot, the reproduction output does not change even if the beam spot on the medium moves, so that the output waveform becomes a straight line. The presence or absence of recording marks cannot be identified.
【0005】このようなビームスポット以下の周期を持
つ小さな記録マークを再生するためには、ビームスポッ
トを小さく絞れば良いが、ビームスポットの大きさは光
源の波長λと対物レンズの開口数NAとで制約され、十
分に小さく絞ることはできない。In order to reproduce a small recording mark having a period less than such a beam spot, the beam spot may be narrowed down. The size of the beam spot depends on the wavelength λ of the light source and the numerical aperture NA of the objective lens. It is restricted by and cannot be narrowed down sufficiently.
【0006】[0006]
【従来の技術】最近、現行の光学系をそのまま利用して
ビームスポット以下の記録マークを再生する磁気誘導超
解像技術を利用した再生方法が提案されている。これ
は、ビームスポット内の一つのマークを再生していると
き他のマークをマスクすることで再生分解能を上げた再
生方法である。2. Description of the Related Art Recently, there has been proposed a reproducing method using a magnetic induction super-resolution technique for reproducing a recording mark below a beam spot by using the existing optical system as it is. This is a reproducing method in which one mark in the beam spot is reproduced while another mark is masked to improve the reproducing resolution.
【0007】このため超解像ディスク媒体には、マーク
を記録するための記録層以外に信号再生時に一つのマー
クのみが再生されるように他のマークを隠しておくため
のマスク層又は再生層が最低必要となる。Therefore, in the super-resolution disc medium, in addition to the recording layer for recording marks, a mask layer or reproducing layer for hiding other marks so that only one mark is reproduced at the time of signal reproduction. Is the minimum required.
【0008】再生層に垂直磁化膜を用いた光磁気記録媒
体が特開平3−88156号で提案されている。しか
し、この公開公報に記載された従来技術では、再生層を
初期化するために数キロエールステッド程度の初期化磁
界が必要であるため、装置を小型化できないという問題
がある。A magneto-optical recording medium using a perpendicularly magnetized film as a reproducing layer is proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-88156. However, the conventional technique described in this publication has a problem that the device cannot be miniaturized because an initializing magnetic field of about several kilo Oersted is required to initialize the reproducing layer.
【0009】一方、再生層に室温で面内方向に磁化容易
軸を有し所定温度以上では垂直方向の磁化容易軸を有す
る磁性膜を用いた光磁気記録媒体が特開平5−8171
7号で提案されている。On the other hand, a magneto-optical recording medium using a magnetic film in the reproducing layer which has an easy axis of in-plane magnetization at room temperature and a perpendicular easy axis of magnetization at a predetermined temperature or higher is disclosed in JP-A-5-8171.
Proposed in No. 7.
【0010】この従来技術の再生原理を図7を参照して
簡単に説明する。図7(C)に示すように、光磁気ディ
スク2は透明基板4上に磁性再生層6及び磁性記録層8
を積層して構成されている。The reproducing principle of this prior art will be briefly described with reference to FIG. As shown in FIG. 7C, the magneto-optical disk 2 includes a magnetic reproducing layer 6 and a magnetic recording layer 8 on a transparent substrate 4.
Are laminated.
【0011】磁性再生層6は室温では面内方向に磁化容
易軸を有しているが、再生パワーが照射されて所定温度
以上になると磁化容易軸が垂直方向に変化する。磁性記
録層8は垂直磁化膜である。符号10は光ビームを示し
ている。At room temperature, the magnetic reproducing layer 6 has an easy axis of magnetization in the in-plane direction, but when the reproducing power is applied and the temperature exceeds a predetermined temperature, the easy axis of magnetization changes in the vertical direction. The magnetic recording layer 8 is a perpendicular magnetization film. Reference numeral 10 indicates a light beam.
【0012】光ビームの強度分布は図7(A)に示すよ
うにガウス分布をしているため、ディスクが静止してい
る場合にはディスク上の温度分布も中心部分が周辺部分
よりも高温となっている。Since the intensity distribution of the light beam has a Gaussian distribution as shown in FIG. 7A, when the disc is stationary, the temperature distribution on the disc is higher in the central portion than in the peripheral portion. Has become.
【0013】しかし実際には、ディスク2が矢印R方向
に回転しているため、ディスク上の温度分布は図7
(B)に示すようにビームスポット内のディスク移動方
向前方側が高温となっている。However, since the disk 2 actually rotates in the direction of arrow R, the temperature distribution on the disk is as shown in FIG.
As shown in (B), the front side of the beam spot in the disc movement direction has a high temperature.
【0014】このように温度分布が生じているため、ビ
ームスポット内の温度が低い領域では磁性再生層6の磁
化容易軸が面内方向を向いているので、反射光のカー回
転角は殆ど零となる。高温領域では、磁性再生層6の磁
化容易軸は面内方向から垂直方向へと変化する。Since the temperature distribution is generated in this way, the easy axis of magnetization of the magnetic reproducing layer 6 is directed in the in-plane direction in a region where the temperature in the beam spot is low, so that the Kerr rotation angle of the reflected light is almost zero. Becomes In the high temperature region, the easy axis of magnetization of the magnetic reproducing layer 6 changes from the in-plane direction to the perpendicular direction.
【0015】このとき磁性再生層6の垂直磁化は、磁性
記録層8の磁化と交換力によって結合し磁性記録層8の
磁化方向に揃うため、磁性記録層8に記録した磁化を磁
性再生層6に転写することができる。この転写領域の広
さは、再生レーザビームパワー或いはディスクの回転に
よって変えることができる。At this time, the perpendicular magnetization of the magnetic reproducing layer 6 is coupled with the magnetization of the magnetic recording layer 8 by the exchange force and is aligned in the magnetization direction of the magnetic recording layer 8. Therefore, the magnetization recorded in the magnetic recording layer 8 is aligned. Can be transferred to. The size of this transfer area can be changed by the reproduction laser beam power or the rotation of the disk.
【0016】このように磁性再生層のマスクの大きさを
一つの記録マークだけを再生できるように制御すること
によって、ビームスポットの面積を実質的に縮小したの
と同じ効果を得ることができ、解像度が向上し高密度記
録・再生を実現できる。By controlling the size of the mask of the magnetic reproducing layer in such a manner that only one recording mark can be reproduced, the same effect as that of substantially reducing the area of the beam spot can be obtained. The resolution is improved and high density recording / playback can be realized.
【0017】[0017]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、ディ
スク2に照射されるレーザビーム10の強度分布はガウ
ス分布をしており、ディスク2は矢印R方向に回転して
いるため、磁性再生層6上には低温領域と高温領域が生
じ、高温領域はディスク上に形成されたビームスポット
の下流側即ち後方側にシフトする。As described above, the intensity distribution of the laser beam 10 with which the disk 2 is irradiated has a Gaussian distribution, and since the disk 2 is rotating in the direction of arrow R, the magnetic reproducing layer is formed. A low temperature region and a high temperature region are generated on the disk 6, and the high temperature region is shifted to the downstream side or rear side of the beam spot formed on the disk.
【0018】このように情報を再生するビームスポット
内の高温領域が下流側にシフトするため、レーザビーム
の強度が相対的に弱くなり、特開平5−81717号に
記載された従来技術では大きな光磁気信号を得られない
という問題がある。As described above, since the high temperature region in the beam spot for reproducing information is shifted to the downstream side, the intensity of the laser beam becomes relatively weak, and in the prior art described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-81717, a large light beam is emitted. There is a problem that a magnetic signal cannot be obtained.
【0019】また、光学マスクがビームスポット内の上
流側にのみ形成されるので、情報を再生する開口部の大
きさを余り小さく絞ることができない。Further, since the optical mask is formed only on the upstream side within the beam spot, the size of the opening for reproducing information cannot be reduced to a very small size.
【0020】よって本発明の目的は、従来よりもより一
層小さなマークを正確に記録し、且つ従来より大きな光
磁気信号で再生することが可能な高密度光磁気記録媒体
を提供することである。Therefore, an object of the present invention is to provide a high-density magneto-optical recording medium capable of accurately recording a smaller mark than the conventional one and reproducing with a larger magneto-optical signal than the conventional one.
【0021】[0021]
【課題を解決するための手段】本発明によると、希土類
金属と遷移金属を主成分とする多層磁性膜からなる光磁
気記録媒体であって、膜面に対して垂直方向の磁化容易
軸を有する再生層と、該再生層上に設けられた室温で面
内方向に磁化容易軸を示し、希土類の磁気モーメントが
優勢で、かつ少なくとも希土類金属としてGdを含み遷
移金属としてFeを含みキュリー温度まで補償温度を有
さず、さらにSiからなる非磁性材料を10〜60at
%含む制御層と、該制御層上に設けられた膜面に対して
垂直方向の磁化容易軸を有する記録層とを具備し、前記
再生層、制御層、記録層のキュリー温度をそれぞれTc
1,Tc2,Tc3とし、室温における前記再生層及び
記録層の保磁力をそれぞれHc1,Hc3とするとき、
各磁性層のキュリー温度が、Tc1>Tc2,Tc3>
Tc2の関係を満たし、前記再生層と前記記録層の室温
における保磁力が、Hc3>Hc1の関係を満たす光磁
気記録媒体が提供される。According to the present invention, there is provided a magneto-optical recording medium comprising a multilayer magnetic film containing a rare earth metal and a transition metal as main components and having an easy axis of magnetization perpendicular to the film surface. A reproducing layer and an easy axis of magnetization in the in-plane direction provided on the reproducing layer at room temperature, the magnetic moment of rare earth is dominant, and at least Gd as a rare earth metal, Fe as a transition metal, and compensation up to the Curie temperature It has no temperature and is made of non-magnetic material consisting of Si at 10 to 60 at
% Control layer and a recording layer having an easy axis of magnetization perpendicular to the film surface provided on the control layer, and the Curie temperatures of the reproducing layer, the control layer and the recording layer are respectively Tc.
1, Tc2 and Tc3, and the coercive forces of the reproducing layer and the recording layer at room temperature are Hc1 and Hc3, respectively,
Curie temperature of each magnetic layer is Tc1> Tc2, Tc3>
Provided is a magneto-optical recording medium satisfying the relationship of Tc2 and coercive forces of the reproducing layer and the recording layer at room temperature satisfying the relationship of Hc3> Hc1.
【0022】再生層、制御層及び記録層を有する本発明
の光磁気記録媒体に記録された情報を再生する場合、記
録媒体上に形成されたビームスポット内で生じる温度勾
配を利用し、より小さなマークを正確に再生することを
特徴としている。When reproducing the information recorded on the magneto-optical recording medium of the present invention having the reproducing layer, the control layer and the recording layer, the temperature gradient generated in the beam spot formed on the recording medium is used to make The feature is that the mark is reproduced accurately.
【0023】ビームスポット内で温度が低い領域では再
生層の磁化は再生バイアス磁界方向を向いてアップスピ
ンマスク又はダウンスピンマスクが形成され、制御層の
キュリー温度以上の高温領域では制御層の磁化が消滅
し、再生層の磁化が再生バイアス磁界方向を向いてアッ
プスピンマスク又はダウンスピンマスクが形成される。In the region where the temperature is low in the beam spot, the magnetization of the reproducing layer is oriented in the direction of the reproducing bias magnetic field to form an up-spin mask or a down-spin mask, and in the high temperature region above the Curie temperature of the control layer, the magnetization of the control layer is The magnetization of the reproducing layer disappears and the magnetization of the reproducing layer faces the reproducing bias magnetic field to form an up-spin mask or a down-spin mask.
【0024】中間温度領域(開口部)では、記録層の磁
化方向が制御層を介して再生層に転写され、記録層に記
録された情報を再生することができる。In the intermediate temperature region (opening), the magnetization direction of the recording layer is transferred to the reproducing layer via the control layer, and the information recorded in the recording layer can be reproduced.
【0025】即ち、磁気光学的出力を差動検出した場
合、ビームスポット内において温度の低い領域と高い領
域はマスクとして働き、この部分での光磁気信号を読み
出すことはなく、中間温度領域だけの光磁気信号を読み
出すことができる。従って、レーザ波長の回折限界以下
の大きさのマークを正確に読み出すことができる。That is, when the magneto-optical output is differentially detected, a region having a low temperature and a region having a high temperature in the beam spot act as a mask, and the magneto-optical signal at this portion is not read out. The magneto-optical signal can be read. Therefore, it is possible to accurately read a mark having a size smaller than the diffraction limit of the laser wavelength.
【0026】[0026]
【発明の実施の形態】図1を参照して、本発明実施形態
の光磁気記録媒体の構成を説明する。12dは光磁気記
録媒体であり、通常はディスク形状をしている。ガラス
等の透明基板14上に例えばスパッタリングによりSi
N等からなる誘電体層16が積層されている。誘電体層
16はその上に積層される磁性層の酸化及び腐食を防止
する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The structure of a magneto-optical recording medium according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Reference numeral 12d is a magneto-optical recording medium, which is usually disk-shaped. Si is formed on the transparent substrate 14 such as glass by, for example, sputtering.
A dielectric layer 16 made of N or the like is laminated. The dielectric layer 16 prevents oxidation and corrosion of the magnetic layer laminated thereon.
【0027】透明基板14としては、ポリカーボネー
ト、ポリメチルメタクリレート、アモルファスポリオレ
フィン等の樹脂が採用可能である。また、誘電体層16
としては、AlN等の金属窒化物、SiO2,Al2O
3等の金属酸化物及びZnS等の金属硫化物が採用可能
である。As the transparent substrate 14, resins such as polycarbonate, polymethylmethacrylate, amorphous polyolefin and the like can be adopted. In addition, the dielectric layer 16
As the metal nitride such as AlN, SiO2, Al2O
A metal oxide such as 3 and a metal sulfide such as ZnS can be used.
【0028】誘電体層16上にはGdFeCo等の希土
類−遷移金属非晶質合金膜から形成された磁性再生層1
8′が積層されている。磁性再生層18′は基板14に
対して垂直方向に磁化容易軸を有している。On the dielectric layer 16, a magnetic reproducing layer 1 made of a rare earth-transition metal amorphous alloy film such as GdFeCo.
8'is stacked. The magnetic reproducing layer 18 ′ has an easy axis of magnetization in the direction perpendicular to the substrate 14.
【0029】磁性再生層18′上にはGdFeCo等の
希土類−遷移金属非晶質合金膜から形成された磁性制御
層20′が積層されている。磁性制御層20′は、室温
では面内方向に磁化容易軸を有している。A magnetic control layer 20 'formed of a rare earth-transition metal amorphous alloy film such as GdFeCo is laminated on the magnetic reproducing layer 18'. The magnetic control layer 20 'has an easy axis of magnetization in the in-plane direction at room temperature.
【0030】磁性制御層20´上にはTbFeCo等の
希土類−遷移金属非晶質合金膜から形成された磁性記録
層22が積層されている。磁性記録層22は基板14に
対して垂直方向に磁化容易軸を有している。A magnetic recording layer 22 made of a rare earth-transition metal amorphous alloy film such as TbFeCo is laminated on the magnetic control layer 20 '. The magnetic recording layer 22 has an easy axis of magnetization in the direction perpendicular to the substrate 14.
【0031】再生層18′,制御層20′及び記録層2
2のキュリー温度をそれぞれTc1,Tc2,Tc3と
すると、各磁性層のキュリー温度はTc2<Tc1及び
Tc2<Tc3の関係を満たしている。Reproducing layer 18 ', control layer 20' and recording layer 2
When the Curie temperatures of 2 are Tc1, Tc2, and Tc3, the Curie temperatures of the magnetic layers satisfy the relationships of Tc2 <Tc1 and Tc2 <Tc3.
【0032】また再生層18′及び記録層22の室温に
おける保磁力をHc1及びHc3とすると、Hc1<H
c3の関係を満たす必要がある。When the coercive forces of the reproducing layer 18 'and the recording layer 22 at room temperature are Hc1 and Hc3, Hc1 <H
It is necessary to satisfy the relationship of c3.
【0033】再生層18′はTbGdFeCoの非晶質
合金膜から形成することができ、制御層20′はGdF
eの非晶質合金膜から形成することが可能である。ま
た、好ましくは、制御層20′にはSi,Al,Tiか
らなる群から選択される非磁性材料が添加される。The reproducing layer 18 'can be formed of an amorphous alloy film of TbGdFeCo, and the control layer 20' is GdF.
It is possible to form the amorphous alloy film of e. Further, preferably, a non-magnetic material selected from the group consisting of Si, Al and Ti is added to the control layer 20 '.
【0034】磁性記録層22上には保護膜24が積層さ
れて光磁気記録媒体12dが完成する。この保護膜24
は、空気中からの水や酸素或いはハロゲン元素のような
物質の侵入を防止し、磁性記録層22を保護する目的で
設けられる。A protective film 24 is laminated on the magnetic recording layer 22 to complete the magneto-optical recording medium 12d. This protective film 24
Is provided for the purpose of preventing entry of water, oxygen, or a substance such as a halogen element from the air and protecting the magnetic recording layer 22.
【0035】保護膜24は、SiN,AlN等の金属窒
化物、SiO2,Al2O3等の金属酸化物及びZnS
等の金属硫化物から形成される。The protective film 24 is made of metal nitride such as SiN or AlN, metal oxide such as SiO2 or Al2O3, and ZnS.
And the like are formed from metal sulfides.
【0036】図2を参照すると、本発明の情報の再生方
法に採用可能な光磁気ディスク装置の概略図が示されて
いる。光磁気ディスク30は透明基板14上に3層膜の
磁性層28を積層して構成されている。光磁気ディスク
30はスピンドルモータ32により回転される。Referring to FIG. 2, there is shown a schematic diagram of a magneto-optical disk device which can be used in the information reproducing method of the present invention. The magneto-optical disk 30 is configured by laminating a three-layer magnetic layer 28 on a transparent substrate 14. The magneto-optical disk 30 is rotated by a spindle motor 32.
【0037】符号34は電磁石駆動回路36により駆動
される電磁石であり、所定方向のバイアス磁界を光磁気
ディスク30に印加する。バイアス磁界の方向は電磁石
34に流す電流の方向によって上向きと下向きの間で切
り替えられる。Reference numeral 34 is an electromagnet driven by an electromagnet drive circuit 36, and applies a bias magnetic field in a predetermined direction to the magneto-optical disk 30. The direction of the bias magnetic field is switched between upward and downward depending on the direction of the current flowing through the electromagnet 34.
【0038】或いは、34は、数百エルステッド程度の
磁界を発生する小型の永久磁石で代用することも可能で
ある。この場合、バイアス磁界の方向は磁石のS,N極
を180°回転させることによって切り替えられる。Alternatively, 34 may be replaced with a small permanent magnet that generates a magnetic field of about several hundred Oersteds. In this case, the direction of the bias magnetic field is switched by rotating the S and N poles of the magnet by 180 °.
【0039】信号発生回路38で書き込むべきデータ信
号が発生され、レーザ駆動回路40に入力される。これ
により、レーザ駆動回路40はレーザダイオード42を
データ信号に応じて変調駆動する。A data signal to be written is generated by the signal generation circuit 38 and input to the laser drive circuit 40. As a result, the laser drive circuit 40 modulates and drives the laser diode 42 according to the data signal.
【0040】レーザダイオード42で発生されたレーザ
ビームはコリメータレンズ44でコリメートされてか
ら、ビームスプリッタ46を透過して対物レンズ48に
より光磁気ディスク30の磁性層28上にフォーカスさ
れる。The laser beam generated by the laser diode 42 is collimated by the collimator lens 44, transmitted through the beam splitter 46, and focused on the magnetic layer 28 of the magneto-optical disk 30 by the objective lens 48.
【0041】電磁石34により所定方向にバイアス磁界
を印加しながら、レーザダイオード42を駆動してレー
ザビームを光磁気ディスク30の磁性層28に照射する
ことにより、データ信号がディスク30に書き込まれ
る。While applying a bias magnetic field in a predetermined direction by the electromagnet 34, the laser diode 42 is driven to irradiate the laser beam on the magnetic layer 28 of the magneto-optical disk 30, whereby a data signal is written on the disk 30.
【0042】一方、光磁気ディスク30に記録された情
報(データ信号)を再生する場合には、電磁石34で所
定方向のバイアス磁界を印加しながら、レーザダイオー
ド42を駆動して光磁気ディスク30に再生ビームパワ
ーを照射する。On the other hand, when reproducing the information (data signal) recorded on the magneto-optical disk 30, the laser diode 42 is driven on the magneto-optical disk 30 while applying the bias magnetic field in the predetermined direction by the electromagnet 34. Irradiate the playback beam power.
【0043】光磁気ディスク30からの反射光は対物レ
ンズ48でコリメートされてから、ビームスプリッタ4
6で反射され、検光子50を通過してレンズ52により
光検出器54に集光され、光磁気ディスク30に記録さ
れた情報が電気信号として再生される。The reflected light from the magneto-optical disk 30 is collimated by the objective lens 48, and then the beam splitter 4
The information reflected by 6 passes through the analyzer 50, is focused on the photodetector 54 by the lens 52, and the information recorded on the magneto-optical disk 30 is reproduced as an electric signal.
【0044】次に図3を参照して、本実施形態のデータ
の消去方法を説明する。バイアス磁界Hbを下向きに印
加しながらレーザビームを記録媒体に照射し、記録層2
2のキュリー温度以上に昇温することによって記録層2
2の磁化方向を下向きにする。Next, the data erasing method of this embodiment will be described with reference to FIG. The recording medium is irradiated with the laser beam while applying the bias magnetic field Hb downward.
The recording layer 2 is heated by raising the temperature to the Curie temperature of 2
The magnetization direction of 2 is set downward.
【0045】レーザビームから遠ざかると、記録媒体は
室温まで降温される。室温では制御層20′は面内磁化
膜となり、再生層18′と記録層22は磁気的に結合し
ていない状態になる。従って、再生層18′の磁化は消
去用バイアス磁界程度の小さな磁界で下向きに揃う。When the recording medium is moved away from the laser beam, the temperature of the recording medium is lowered to room temperature. At room temperature, the control layer 20 'becomes an in-plane magnetized film, and the reproducing layer 18' and the recording layer 22 are not magnetically coupled. Therefore, the magnetization of the reproducing layer 18 'is aligned downward with a magnetic field as small as the erasing bias magnetic field.
【0046】次に図4を参照して、本実施形態のデータ
の書き込み方法について説明する。バイアス磁界Hbを
消去方向とは逆向き、即ち上向きに印加しながら、記録
部分にのみ強いレーザビームを照射すると、データが記
録された部分の磁化のみ上向きになる。Next, with reference to FIG. 4, a data writing method of this embodiment will be described. When the bias magnetic field Hb is applied in the direction opposite to the erasing direction, that is, in the upward direction, only the recording portion is irradiated with the strong laser beam, and only the magnetization in the portion where the data is recorded is upward.
【0047】レーザビームから遠ざかると、記録媒体は
室温まで降温される。室温では、制御層20′は面内磁
化膜となり、再生層18′と記録層22は磁気的に結合
していない状態になる。従って、再生層18′の磁化は
バイアス磁界程度の小さな磁界で上向きに揃う。When the recording medium is moved away from the laser beam, the temperature of the recording medium is lowered to room temperature. At room temperature, the control layer 20 'becomes an in-plane magnetized film, and the reproducing layer 18' and the recording layer 22 are not magnetically coupled. Therefore, the magnetization of the reproducing layer 18 'is aligned upward with a magnetic field as small as the bias magnetic field.
【0048】次に図5を参照して、本実施形態における
データのシングルマスク再生方法について説明する。ト
ラック64上に照射されたビームスポット58内には温
度がTcopy以下の低温領域と、Tcopy以上で制御層2
0′のキュリー温度Tc2以下の高温領域が形成され
る。Next, with reference to FIG. 5, a data single mask reproducing method in the present embodiment will be described. In the beam spot 58 irradiated on the track 64, a low temperature region having a temperature of Tcopy or lower and a control layer 2 having a temperature of Tcopy or higher.
A high temperature region below the Curie temperature Tc2 of 0'is formed.
【0049】ビームスポット58内の低温領域ではアッ
プスピンマスク60が形成され、高温領域では開口部6
2が形成される。この状態は上述した特開平5−817
17号のデータ再生時の状態に類似しており、開口部6
2を介して光磁気信号を読み出すことができる。The up-spin mask 60 is formed in the low temperature region in the beam spot 58, and the opening 6 is formed in the high temperature region.
2 is formed. This state is described in the above-mentioned JP-A-5-817.
Similar to the state of No. 17 during data reproduction, the opening 6
The magneto-optical signal can be read out via 2.
【0050】再生レーザパワーを更に上げると、図6に
示したようにビームスポット58内に再生層18′の磁
化が再生バイアス磁界Hr方向を向く低温領域と、記録
層22の磁化が交換結合によって制御層20′及び再生
層18′に転写される中間温度領域と、制御層20′の
キュリー温度Tc2以上の高温領域が形成される。When the reproducing laser power is further increased, as shown in FIG. 6, the magnetization of the reproducing layer 18 ′ in the beam spot 58 is oriented toward the reproducing bias magnetic field Hr and the magnetization of the recording layer 22 is exchange-coupled by exchange coupling. An intermediate temperature region transferred to the control layer 20 'and the reproduction layer 18' and a high temperature region of the Curie temperature Tc2 or higher of the control layer 20 'are formed.
【0051】低温領域及び高温領域では、再生層18′
の磁化方向がバイアス磁界Hrに揃うアップスピンマス
ク60,68が形成され、2つのアップスピンマスク6
0,68の間の中間温度領域に開口部62が形成され
る。In the low temperature region and the high temperature region, the reproduction layer 18 '
Up spin masks 60 and 68 whose magnetization directions are aligned with the bias magnetic field Hr are formed, and the two up spin masks 6 are formed.
The opening 62 is formed in the intermediate temperature region between 0 and 68.
【0052】アップスピンマスク部68では、記録媒体
が制御層20′のキュリー温度Tc2以上に加熱されて
いるため、制御層20′の磁化が無くなり、再生層1
8′と記録層22は磁気的に結合していない状態であ
る。In the up-spin mask portion 68, since the recording medium is heated to the Curie temperature Tc2 or higher of the control layer 20 ', the magnetization of the control layer 20' disappears and the reproducing layer 1
8'and the recording layer 22 are not magnetically coupled.
【0053】従って、再生層18′は室温で保磁力が小
さいことからその磁化方向は再生用バイアス磁界Hrの
方向を向くことになる。即ち、制御層20′のキュリー
温度以上の温度領域では、再生層18′の磁化は常に上
向きとなり、光磁気信号は出力されず一種のマスクとし
て機能する。Therefore, since the reproducing layer 18 'has a small coercive force at room temperature, its magnetization direction is oriented in the direction of the reproducing bias magnetic field Hr. That is, in the temperature region above the Curie temperature of the control layer 20 ', the magnetization of the reproducing layer 18' is always upward, and no magneto-optical signal is output, which functions as a kind of mask.
【0054】従って、特開平5−81717号に記載さ
れた従来方法に比較して非常に小さな開口部62を形成
することができる。更に、ビームスポットの端に比べて
相対的にレーザ強度が強いビームスポット中心部に開口
部62が形成されるので、大きな光磁気信号を得ること
ができる。Therefore, it is possible to form a very small opening 62 as compared with the conventional method described in JP-A-5-81717. Further, since the opening 62 is formed at the center of the beam spot where the laser intensity is relatively stronger than the edge of the beam spot, a large magneto-optical signal can be obtained.
【0055】実施例1
スパッタリング装置内にTbFeCo、第1のGdFe
Co、第2のGdFeCo及びSiのターゲットと1.
2μmのトラックピッチを有するポリカーボネート基板
をセットし、スパッタリング装置のチャンバー内を10
-5Paまで真空引きした。Example 1 TbFeCo and first GdFe were placed in a sputtering apparatus.
Co, a second GdFeCo and Si target and 1.
A polycarbonate substrate having a track pitch of 2 μm was set, and the inside of the chamber of the sputtering device was set to 10
It was evacuated to -5 Pa.
【0056】次に、以下の条件で基板上に膜厚70nm
の窒化珪素をDCスパッタリング法で製膜した。この膜
は磁性層を酸化から保護する役目だけでなく、光磁気信
号を増大させるエンハンス効果も有している。Next, a film thickness of 70 nm is formed on the substrate under the following conditions.
Was formed into a film by the DC sputtering method. This film not only has the function of protecting the magnetic layer from oxidation, but also has the enhancing effect of increasing the magneto-optical signal.
【0057】
ガス圧:0.3Pa
スパッタガス:アルゴン、窒素
分圧:アルゴン:窒素=6:4
投入電力:0.8kW
次に、再びチャンバー内を10-5Paまで真空引きし、
以下の条件で上記窒化珪素膜の上に第1のGdFeC
o、第2のGdFeCo、TbFeCoの順にDCスパ
ッタリング法で連続的に製膜した。Gas pressure: 0.3 Pa Sputtering gas: Argon, Nitrogen partial pressure: Argon: Nitrogen = 6: 4 Input power: 0.8 kW Next, the chamber was evacuated again to 10 −5 Pa,
A first GdFeC film is formed on the silicon nitride film under the following conditions.
o, the second GdFeCo, and TbFeCo were successively formed in this order by the DC sputtering method.
【0058】
ガス圧:0.5Pa
スパッタガス:アルゴン
投入電力:1kW
各磁性層の組成、膜厚及び磁気特性は表1に示す通りで
ある。Gas pressure: 0.5 Pa Sputtering gas: Argon input power: 1 kW The composition, film thickness and magnetic characteristics of each magnetic layer are as shown in Table 1.
【0059】[0059]
【表1】 [Table 1]
【0060】表1で補償温度「−」はキュリー温度以下
に補償温度を有していないことを示している。In Table 1, the compensation temperature "-" indicates that the compensation temperature is not below the Curie temperature.
【0061】更に、記録層の上に100nmの膜厚を有
する窒化珪素膜を上記と同様の方法で製膜した。窒化珪
素膜は磁性膜を酸化から防止する役目をする。Further, a silicon nitride film having a film thickness of 100 nm was formed on the recording layer by the same method as described above. The silicon nitride film serves to prevent the magnetic film from being oxidized.
【0062】このようにして製造した光磁気ディスクの
記録特性を図2に示した装置を用いて調べた。使用した
レーザの波長は780nmである。まず、光磁気ディス
クを全面消去、即ち初期化した。このときのレーザパワ
ーは9mWとし、下向きのバイアス磁界を印加した。The recording characteristics of the magneto-optical disk manufactured as described above were examined by using the apparatus shown in FIG. The wavelength of the laser used is 780 nm. First, the entire surface of the magneto-optical disk was erased, that is, initialized. At this time, the laser power was 9 mW and a downward bias magnetic field was applied.
【0063】情報の記録はディスクを線速3m/sec
で回転させながら初期化のときと反対方向の上向きのバ
イアス磁界を印加して、記録パワー4mW、周波数7.
5MHz、発光デューティ比26%で行った。ディスク
上に記録されたマークの長さは約0.4μmである。Information is recorded on the disc at a linear velocity of 3 m / sec.
While rotating at, apply an upward bias magnetic field in the direction opposite to that at the time of initialization, write power 4 mW, frequency 7.
It was performed at 5 MHz and a light emission duty ratio of 26%. The length of the mark recorded on the disc is about 0.4 μm.
【0064】次に、この光磁気ディスクの再生特性を調
べた。このとき印加する再生用バイアス磁界は上向きと
した。再生パワー1.5mWでは、先に記録された信号
に対する光磁気信号の出力は得られなかった。これは再
生層18′の全域がアップスピンマスクを形成している
ためと思われる。Next, the reproducing characteristics of this magneto-optical disk were examined. The reproducing bias magnetic field applied at this time was directed upward. With a reproducing power of 1.5 mW, the output of the magneto-optical signal with respect to the previously recorded signal was not obtained. This is probably because the entire reproducing layer 18 'forms an up-spin mask.
【0065】再生パワー1.6mWでは、記録層22の
磁化方向が制御層20′を介して再生層18′に転写さ
れ、光磁気信号の出力を得ることができた。これは、ビ
ームスポット内で記録層22の磁化方向が制御層20′
を介して再生層18′に転写される温度以上の領域がで
きたために、アップスピンマスクと開口部が形成された
ためと思われる。このときの信号とノイズの比(C/
N)は42dBであった。With a reproducing power of 1.6 mW, the magnetization direction of the recording layer 22 was transferred to the reproducing layer 18 'via the control layer 20', and a magneto-optical signal output could be obtained. This is because the magnetization direction of the recording layer 22 within the beam spot is the control layer 20 '.
It is considered that the up-spin mask and the opening were formed because a region having a temperature equal to or higher than the temperature transferred to the reproduction layer 18 ′ was formed. Signal-to-noise ratio (C /
N) was 42 dB.
【0066】再生パワー1.7mWでは、記録層22の
磁化はバイアス磁界の方向、即ち上方向に向き、制御層
20′が記録層22と交換結合する領域(開口部)の直
径が0.4μm程度となったために、46dBのC/N
を得ることができた。At a reproducing power of 1.7 mW, the magnetization of the recording layer 22 is oriented in the direction of the bias magnetic field, that is, in the upward direction, and the diameter of the region (opening) where the control layer 20 ′ is exchange-coupled with the recording layer 22 is 0.4 μm. C / N of 46 dB due to
I was able to get
【0067】次に、再生層18′の組成を他の組成でも
十分使用できるか否かについて検討を行った。その結
果、再生層18′がTbFeCoまたはDyFeCoか
らなる材料では、保磁力が大きくなるため、バイアス磁
界程度の大きさでは再生層18′の磁化方向を初期化で
きず、超解像再生を行うことができなかった。Next, it was examined whether or not the composition of the reproducing layer 18 'could be sufficiently used with other compositions. As a result, in the case where the reproducing layer 18 'is made of TbFeCo or DyFeCo, the coercive force becomes large, so that the magnetization direction of the reproducing layer 18' cannot be initialized with a magnitude of the bias magnetic field and super-resolution reproduction is performed. I couldn't.
【0068】実施例2
実施例1では再生層18′としてGdFeCoからなる
材料を使用した。しかし、GdFeCo膜は垂直磁気異
方性を示す組成マージンは広くなく、組成制御が難しい
場合がある。そこで本実施例では、GdFeCoに垂直
磁気異方性を大きくできるTbをわずかに添加すること
を試みた。実験は以下のように行った。Example 2 In Example 1, a material made of GdFeCo was used for the reproducing layer 18 '. However, the composition margin of the GdFeCo film showing the perpendicular magnetic anisotropy is not wide, and it may be difficult to control the composition. Therefore, in this example, an attempt was made to add a small amount of Tb capable of increasing the perpendicular magnetic anisotropy to GdFeCo. The experiment was conducted as follows.
【0069】スパッタリング装置内にTbFeCo、T
bGdFeCo、GdFeCo及びSiのターゲットと
1.2μmのトラックピッチを有するポリカーボネート
基板をセットし、スパッタリング装置のチャンバー内を
10-5Paまで真空引きした。TbFeCo, T in the sputtering device
A bGdFeCo, GdFeCo, and Si target and a polycarbonate substrate having a track pitch of 1.2 μm were set, and the inside of the chamber of the sputtering apparatus was evacuated to 10 −5 Pa.
【0070】次に、以下の条件で基板上に膜厚70nm
の窒化珪素をDCスパッタリング法で製膜した。この膜
は磁性膜を酸化から保護する役目だけでなく、光磁気信
号を増大させるエンハンス効果も有している。Next, a film thickness of 70 nm is formed on the substrate under the following conditions.
Was formed into a film by the DC sputtering method. This film not only has the function of protecting the magnetic film from oxidation, but also has the enhancing effect of increasing the magneto-optical signal.
【0071】
ガス圧:0.3Pa
スパッタガス:アルゴン、窒素
分圧:アルゴン:窒素=6:4
投入電力:0.8kW
次に、再びチャンバー内を10-5Paまで真空引きし、
以下の条件で上記窒化珪素膜の上にTbGdFeCo、
GdFeCo、TbFeCoの順にDCスパッタリング
法で連続的に製膜した。Gas pressure: 0.3 Pa Sputtering gas: Argon, Nitrogen partial pressure: Argon: Nitrogen = 6: 4 Input power: 0.8 kW Next, the chamber was evacuated again to 10 −5 Pa,
TbGdFeCo on the silicon nitride film under the following conditions,
GdFeCo and TbFeCo were successively formed in this order by the DC sputtering method.
【0072】
ガス圧:0.5Pa
スパッタガス:アルゴン
投入電力:1kW
各磁性層の組成、膜厚及び磁気特性は表2に示す通りで
ある。Gas pressure: 0.5 Pa Sputtering gas: Argon input power: 1 kW Table 2 shows the composition, film thickness and magnetic characteristics of each magnetic layer.
【0073】[0073]
【表2】 [Table 2]
【0074】更に、記録層の上に100nmの膜厚を有
する窒化珪素膜を上記と同様の方法で製膜した。この窒
化珪素膜は磁性膜を酸化から防止する役目をする。Further, a silicon nitride film having a film thickness of 100 nm was formed on the recording layer by the same method as described above. This silicon nitride film serves to prevent the magnetic film from being oxidized.
【0075】このようにして製造した光磁気ディスクの
再生特性を実施例1と同様な条件で調べた。この時印加
した再生用バイアス磁界は上向きとした。再生パワー
1.4mWでは、先に記録された信号に対する光磁気信
号の出力は得られなかった。これは、再生層18′全域
がアップスピンマスクを形成しているためと思われる。The reproducing characteristics of the magneto-optical disk thus manufactured were examined under the same conditions as in Example 1. The reproducing bias magnetic field applied at this time was directed upward. With a reproducing power of 1.4 mW, the output of the magneto-optical signal with respect to the previously recorded signal was not obtained. This is probably because the entire reproducing layer 18 'forms an upspin mask.
【0076】再生パワー1.5mWでは、記録層22の
磁化方向が制御層20′を介して再生層18′に転写さ
れ、光磁気信号の出力を得ることができた。これは、ビ
ームスポット内で記録層22の磁化方向が制御層20′
を介して再生層18′に転写される温度以上の領域がで
きたために、アップスピンマスクと開口部が形成された
ためと思われる。このときの信号とノイズの比(C/
N)は42dBであった。With a reproducing power of 1.5 mW, the magnetization direction of the recording layer 22 was transferred to the reproducing layer 18 'through the control layer 20', and a magneto-optical signal output could be obtained. This is because the magnetization direction of the recording layer 22 within the beam spot is the control layer 20 '.
It is considered that the up-spin mask and the opening were formed because a region having a temperature equal to or higher than the temperature transferred to the reproduction layer 18 ′ was formed. Signal-to-noise ratio (C /
N) was 42 dB.
【0077】再生パワー1.6mWでは、再生層18′
の磁化はバイアス磁界の方向、即ち上方向に向き、制御
層20′が記録層22と交換結合する領域(開口部)の
直径が0.4μm程度となったために46dBのC/N
を得ることができた。At a reproducing power of 1.6 mW, the reproducing layer 18 '
Is directed in the direction of the bias magnetic field, that is, in the upward direction, and the diameter of the region (opening) where the control layer 20 ′ is exchange-coupled with the recording layer 22 is about 0.4 μm.
I was able to get
【0078】このC/Nは実施例1とは変わらなかっ
た。これは、再生層18′にTbを添加することによっ
て、磁気異方性が増大しノイズが低減した反面、GdF
eCoにTbを添加したことで磁気光学効果が低下した
ためと考えられる。This C / N was the same as in Example 1. This is because the addition of Tb to the reproducing layer 18 'increases the magnetic anisotropy and reduces the noise, while the GdF
It is considered that the magneto-optical effect was lowered by adding Tb to eCo.
【0079】そして、これらの効果が相殺して実施例1
と同様な結果が得られたためと思われる。しかし、Tb
を添加することによって、再生層18′の組成マージン
を広げることができる。Then, these effects are canceled out, and the first embodiment is shown.
Probably because the same result as was obtained. However, Tb
By adding, the composition margin of the reproducing layer 18 'can be widened.
【0080】実施例3
制御層20′の組成を検討するために、制御層20′の
組成をそれぞれ面内磁化を示すTbFeCo、DyFe
Co、GdFeCoと変化させた三層膜記録媒体を試作
し、その記録再生特性を調べた。ここで、記録条件は実
施例1と同様である。その結果を表3に示す。Example 3 In order to study the composition of the control layer 20 ', the composition of the control layer 20' was TbFeCo or DyFe showing in-plane magnetization.
A three-layer film recording medium in which Co and GdFeCo were changed was manufactured as a prototype, and its recording / reproducing characteristics were examined. Here, the recording conditions are the same as those in the first embodiment. The results are shown in Table 3.
【0081】[0081]
【表3】 [Table 3]
【0082】これは、制御層20′をTbFeCo又は
DyFeCoから形成した場合、記録再生特性がよくな
いことを示しており、制御層20′の組成としてGdF
eCoが適していることが判明した。This indicates that when the control layer 20 'is made of TbFeCo or DyFeCo, the recording / reproducing characteristics are not good, and the composition of the control layer 20' is GdF.
It has been found that eCo is suitable.
【0083】更に、制御層20′に適しているGdFe
Co組成を検討した。制御層20′をGdFeCoとし
た時の、Coの含有量を変化させた場合の再生特性を実
施例12と同様な方法で測定を行った。その結果を表4
に示す。Further, GdFe suitable for the control layer 20 '
The Co composition was examined. When the control layer 20 ′ was made of GdFeCo, the reproduction characteristics when the Co content was changed were measured by the same method as in Example 12. The results are shown in Table 4.
Shown in.
【0084】[0084]
【表4】 [Table 4]
【0085】この結果から、Coの含有量が0〜5at
%でC/Nがよくなっていることがわかる。これは、制
御層20′のキュリー温度が低下し、レーザビームのス
ポットの後縁にもマスクが形成されたためにダブルマス
クとなり、分解能が上がったためであると考えられる。From these results, the Co content is 0 to 5 at.
It can be seen that the C / N is improved in%. It is considered that this is because the Curie temperature of the control layer 20 'was lowered and a mask was formed also on the trailing edge of the spot of the laser beam to form a double mask and the resolution was increased.
【0086】実施例4
実施例3から制御層20′のキュリー温度を下げるとダ
ブルマスクが形成され、C/Nが向上することが判明し
た。そこで、制御層20′のキュリー温度を下げること
を目的として制御層20′に非磁性金属を添加すること
を試みた。Example 4 From Example 3, it was found that when the Curie temperature of the control layer 20 'was lowered, a double mask was formed and C / N was improved. Therefore, an attempt was made to add a nonmagnetic metal to the control layer 20 'for the purpose of lowering the Curie temperature of the control layer 20'.
【0087】GdFeCoに非磁性元素を添加した制御
層20′を有する光磁気記録媒体を試作し、再生特性を
調べた。再生特性は実施例1と同様な方法で測定を行っ
た。その結果を表5に示す。A magneto-optical recording medium having a control layer 20 'in which a non-magnetic element was added to GdFeCo was manufactured as a prototype and its reproducing characteristic was examined. The reproduction characteristics were measured by the same method as in Example 1. The results are shown in Table 5.
【0088】[0088]
【表5】 [Table 5]
【0089】以上の結果から制御層20′に非磁性材料
を添加することが有効であることが判明した。次に、制
御層20′に添加する非磁性材料をSiとし、Siの添
加量の変化に対する再生特性の変化について検討した。From the above results, it was proved effective to add a non-magnetic material to the control layer 20 '. Next, the non-magnetic material added to the control layer 20 'was Si, and changes in the reproducing characteristics with respect to changes in the amount of Si added were examined.
【0090】ここで、再生層18′、制御層20′及び
記録層22の組成や膜厚は実施例1と同様である。即
ち、制御層20′の組成はGd39Fe56Co5 で
ある。この組成にSiを添加することにした。Siの量
はGdFeCoからなる制御層20′のターゲット上に
置くSiチップの数を変えることによって行った。その
結果を表6に示す。The composition and film thickness of the reproducing layer 18 ', the control layer 20' and the recording layer 22 are the same as in Example 1. That is, the composition of the control layer 20 'is Gd39Fe56Co5. It was decided to add Si to this composition. The amount of Si was determined by changing the number of Si chips placed on the target of the control layer 20 'made of GdFeCo. The results are shown in Table 6.
【0091】[0091]
【表6】 [Table 6]
【0092】この結果から、Siの含有量が10〜60
at%の広い範囲で高いC/Nが得られることが判明し
た。また、Siの含有量が70at%以上では、再生層
18′と記録層22の交換結合力が小さくなるためにC
/Nが低下する。From this result, the Si content is 10 to 60.
It was found that a high C / N can be obtained in a wide range of at%. Further, when the Si content is 70 at% or more, the exchange coupling force between the reproducing layer 18 'and the recording layer 22 becomes small, so that C
/ N decreases.
【0093】[0093]
【発明の効果】本発明によると、高密度記録が可能な光
磁気記録媒体を提供することができ、さらに再生すべき
マークに隣接するマークを完全にマスクして再生出力の
向上を図ることができるという効果を奏する。また、ク
ロストークも改善される。According to the present invention, it is possible to provide a magneto-optical recording medium capable of high-density recording, and to further improve the reproduction output by completely masking the mark adjacent to the mark to be reproduced. It has the effect of being able to. Also, crosstalk is improved.
【図1】本発明実施形態の光磁気記録媒体の構成図であ
る。FIG. 1 is a configuration diagram of a magneto-optical recording medium according to an embodiment of the present invention.
【図2】光磁気ディスク装置の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a magneto-optical disk device.
【図3】データの消去を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating data erasing.
【図4】データの書き込みを説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating writing of data.
【図5】シングルマスク再生方法を説明する図であり、
(A)が平面図を、(B)が記録媒体の縦断面図をそれ
ぞれ示している。FIG. 5 is a diagram illustrating a single mask reproducing method,
(A) is a plan view and (B) is a longitudinal sectional view of the recording medium.
【図6】実施形態のデータの再生方法を説明する図であ
り、(A)が平面図を、(B)が記録媒体の縦断面図を
それぞれ示している。6A and 6B are diagrams illustrating a data reproducing method according to an embodiment, in which FIG. 6A is a plan view and FIG. 6B is a longitudinal sectional view of a recording medium.
【図7】従来例の再生原理を説明する図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a reproduction principle of a conventional example.
14 透明基板 16 誘電体層 18′ 再生層 20′ 制御層 22 記録層 24 保護膜 58 ビームスポット 60 アップスピンマスク 62 開口部 68 アップスピンマスク 14 Transparent substrate 16 Dielectric layer 18 'playback layer 20 'control layer 22 recording layer 24 Protective film 58 beam spot 60 upspin mask 62 opening 68 Up Spin Mask
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−182269(JP,A) 特開 平5−205336(JP,A) 特開 平7−14230(JP,A) 特開 平7−85516(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 11/105 Continuation of the front page (56) Reference JP-A-5-182269 (JP, A) JP-A-5-205336 (JP, A) JP-A-7-14230 (JP, A) JP-A-7-85516 (JP , A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 11/105
Claims (3)
層磁性膜からなる光磁気記録媒体であって、 膜面に対して垂直方向の磁化容易軸を有する再生層と、 該再生層上に設けられた室温で面内方向に磁化容易軸を
示し、希土類の磁気モーメントが優勢で、かつ少なくと
も希土類金属としてGdを含み遷移金属としてFeを含
みキュリー温度まで補償温度を有さず、さらにSiから
なる非磁性材料を10〜60at%含む制御層と、 該制御層上に設けられた膜面に対して垂直方向の磁化容
易軸を有する記録層とを具備し、 前記再生層、制御層、記録層のキュリー温度をそれぞれ
Tc1,Tc2,Tc3とし、室温における前記再生層
及び記録層の保磁力をそれぞれHc1,Hc3とすると
き、 各磁性層のキュリー温度が、 Tc1>Tc2 Tc3>Tc2 の関係を満たし、前記再生層と前記記録層の室温におけ
る保磁力が、 Hc3>Hc1 の関係を満たす光磁気記録媒体。1. A magneto-optical recording medium comprising a multilayer magnetic film containing a rare earth metal and a transition metal as main components, comprising: a reproducing layer having an easy axis of magnetization perpendicular to the film surface; and a reproducing layer on the reproducing layer. provided the room temperature showed an easy axis of magnetization in-plane direction, the magnetic moment of the rare earth is dominant, and has no compensation temperature up to the Curie temperature include Fe as the transition metal comprises Gd least as rare earth metals, from more Si
Comprising a control layer of non-magnetic material containing 10~60At%, comprising a recording layer having an easy axis of magnetization in the direction perpendicular to the film surface provided on the control layer, the reproducing layer, the control layer, the recording When the Curie temperatures of the layers are Tc1, Tc2, and Tc3, and the coercive forces of the reproducing layer and the recording layer at room temperature are Hc1 and Hc3, respectively, the Curie temperatures of the magnetic layers have a relationship of Tc1> Tc2 Tc3> Tc2. A magneto-optical recording medium satisfying the above conditions, and the coercive forces of the reproducing layer and the recording layer at room temperature satisfy the relationship of Hc3> Hc1.
分とする請求項1記載の光磁気記録媒体。2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the composition of the reproducing layer contains GdFeCo as a main component.
する請求項1記載の光磁気記録媒体。3. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the composition of the control layer contains GdFe as a main component.
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