JP3363851B2

JP3363851B2 - マスター情報担体および磁気記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JP3363851B2
Application number: JP31749999A
Authority: JP
Inventors: 伸一山本; 展之古村; 達朗石田; 領内　　博
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1999-11-08
Filing date: 1999-11-08
Publication date: 2003-01-08
Anticipated expiration: 2019-11-08
Also published as: JP2001134935A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録再生装置
に用いられる大容量、高記録密度の磁気記録媒体に、情
報信号を記録するマスター情報坦体に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型化かつ
大容量化を実現するために、高記録密度化の傾向にあ
る。代表的な磁気記録媒体であるハードディスクドライ
ブの分野においては、すでに面記録密度が、約１．５５
Ｇｂｉｔ／ｃｍ²（１０Ｇｂｉｔ／ｉｎ²）を超える装置
が商品化されており、数年後には、約３．１〜６．２Ｇ
ｂｉｔ／ｃｍ²（２０〜４０Ｇｂｉｔ／ｉｎ²）の実用化
が議論されるほどの急激な技術進歩が認められる。

【０００３】このような高記録密度化が可能となった技
術的背景には、媒体性能の向上、読み取りヘッド・ディ
スクインターフェース性能の向上、パーシャルレスポン
スなどの新規な信号処理方式の採用による低出力の信号
の読み取り性能の向上などがある。

【０００４】しかし、近年、トラック密度の増加傾向が
線記録密度の増加傾向を大きく上回り、面記録密度向上
の主たる要因となっている。これは、従来の誘導型磁気
ヘッドに比べ、再生出力性能がはるかに優れた磁気抵抗
素子型ヘッドが実用化されたことによる。現在、磁気抵
抗素子型ヘッドの実用化により、わずか数μｍのトラッ
ク幅信号をＳＮ比（ＳｉｇｎａｌＮｏｉｓｅｒａｔ
ｉｏ）良く再生することが可能となっている。一方、今
後さらなるヘッド性能の向上にともない、近い将来には
トラックピッチがサブミクロン領域に達するものと予想
されている。

【０００５】このように狭化の一途をたどるトラックを
ヘッドが正確に走査し、信号をＳＮ比良く再生するため
に、ヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果
たしている。このようなトラッキングサーボ技術に関し
ては、例えば、”山口：磁気ディスク装置の高精度サー
ボ技術、日本応用磁気学会誌、Vol.20, No.3, pp.77
1, (1996)”に詳細な内容が示されている。上記文献に
よれば、現在のハードディスクドライブでは、ディスク
の１周、すなわち角度にして３６０度中において、一定
の角度間隔でトラッキング用サーボ信号やアドレス情報
信号、再生クロック信号等が（以下、「プリフォーマッ
ト信号」と呼び、プリフォーマット信号を記録すること
を「プリフォーマット記録」と呼ぶ）記録された領域を
設けている。磁気ヘッドは、一定間隔でこれらの信号を
再生することにより、ヘッドの位置を確認、修正しなが
ら正確にトラック上を走査することができる。

【０００６】既述のトラッキング用サーボ信号やアドレ
ス情報信号、再生クロック信号等は、ヘッドが正確にト
ラック上を走査するための基準信号となるものなので、
その記録時には、正確な位置決め精度が要求される。例
えば、”植松、他：メカ・サーボ、HDI技術の現状と展
望、日本応用磁気学会第９回研究会資料、93-5, pp.35
(1996)”に記載された内容によれば、現在のハードデ
ィスクドライブでは、ディスクをドライブに組み込んだ
後、専用のサーボ記録装置を用いて厳密に位置制御され
た磁気ヘッドによりプリフォーマット記録が行われる。

【０００７】このようなサーボ信号、アドレス情報信
号、および、再生クロック信号のプリフォーマット信号
の記録は、近年商品化された大容量フレキシブルディス
クや、ディスクカートリッジが着脱可能なリムーバブル
ハードディスク用媒体においても同様に、専用のサーボ
記録装置を用いて、磁気ヘッドにより行われている。

【０００８】専用のサーボ記録装置を用いたプリフォー
マット記録は、磁気ヘッドのトラック毎にシリアルな動
作で行われるために、１つの磁気記録媒体に対してプリ
フォーマット記録するために数時間を費やしており、生
産性向上の大きな障害となり、引いては磁気記録媒体の
生産コストの増加につながっている。

【０００９】プリフォーマット記録に費やす時間的な障
害は、磁気記録媒体のトラック密度が向上するほど深刻
となる。これは、ディスク径方向のトラック数が増加す
ることのみに起因するものではない。ヘッドの正確な位
置決めのために必要となるプリフォーマット記録の記録
間隔は、ヘッドが移動するトラック上の物理的な距離に
より決まるのではなく、ヘッダが読み取る情報量によっ
て決定されるので、ヘッダが一定量の情報を読み取る毎
にプリフォーマット記録によるサーボ信号などの情報が
必要となる。

【００１０】したがって、トラック密度が向上するほど
ヘッドの位置決めを必要とする一定の情報量が記録され
るトラック上の物理的間隔が狭くなる。このために、デ
ィスクの１周、すなわち３６０度中において、トラッキ
ング用サーボ信号等が記録するサーボ領域を設ける角度
間隔を狭くしなければならない。

【００１１】このように、高記録密度の磁気記録媒体ほ
ど、ディスクにプリフォーマット記録すべき信号量が多
くなり、プリフォーマット記録にさらに多くの時間が必
要となる。

【００１２】ヘッドをトラック毎にシリアルに動作させ
て行なうプリフォーマット記録方法では、どのような方
式によっても、記録時間が長くなるという問題を解消す
ることができない。そのため今後は、磁気転写技術を用
いて、面接触によるプリフォーマット記録方法に移行し
ていくものと考えられる。この面接触によるプリフォー
マット記録方法は、非磁性材料により形成された非磁性
基体の表面に、サーボ信号などの情報信号配列に対応す
るパターン状に強磁性薄膜を堆積したマスター情報担体
を用い、マスター情報担体の強磁性薄膜とプリフォーマ
ット記録を行う磁気記録媒体に密着させ、強磁性薄膜を
磁化させることにより、磁気記録媒体にマスター情報担
体上のサーボ信号などの情報信号の記録を行う。この面
接触によるプリフォーマット記録方法については、特開
平１０−４０５４４号公報に詳細に述べられている。ま
た、マスター情報担体と磁気記録媒体との間に良好な密
着性を実現する技術は、特開平１０−２６９５６６号公
報に開示されている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平１０−
４０５４４号公報、および、特開平１０−２６９５６６
号公報に開示されているような面接触により転写記録す
るプリフォーマット記録方法は、以下のような問題点が
いまだ解決されないままとなっている。

【００１４】転写記録するプリフォーマット記録方法で
は、マスター情報担体を用いて磁気記録媒体にプリフォ
ーマット信号を記録する際に、磁気記録媒体とマスター
情報担体表面に設けられた強磁性薄膜が加圧密着され、
プリフォーマット記録の終了後に磁気記録媒体から強磁
性薄膜が引き離される。この加圧密着および引き離し
が、プリフォーマット記録の作業毎に繰り返されるた
め、マスター情報担体の非磁性基体表面からの強磁性薄
膜の剥離が生じる。この問題は、磁気記録媒体の記録密
度が向上するほど強磁性薄膜の個々が小さくなり、非磁
性基体との接触面積も狭くなり、強磁性薄膜の基板への
付着力が小さくなるので、磁気記録媒体の記録密度が向
上するほど、深刻となる。

【００１５】強磁性薄膜の剥離が容易に起こると、磁気
記録媒体に転写されたプリフォーマット信号に欠陥が生
じるだけでなく、１つのマスター情報担体でプリフォー
マット記録が行える磁気記録媒体のディスク枚数が少な
くなり、生産性の低下を招き、引いては磁気記録媒体の
コスト高につながる。

【００１６】本発明は、このような問題を解決するべく
なされたものであり、非磁性基体との強磁性材料との間
の結合力を高めることにより、信頼性・耐久性を向上さ
せたマスター情報担体を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明のマスター情報担
体は、非磁性材料で形成された非磁性基体と、該非磁性
基体の表面に強磁性材料が堆積された複数の強磁性部と
を備え、該複数の強磁性部が信号配列の形状パターンを
形成し、磁気記録媒体に表面を密着させた該各強磁性部
を磁化することにより、該磁気記録媒体に該各強磁性部
が形成する信号配列による情報信号を記録するマスター
情報担体であって、該非磁性基体の該各強磁性部との界
面の中心線平均粗さが、該非磁性基体の該界面以外の面
の中心線平均粗さよりも大きくなっており、このことに
より上記課題が解決される。

【００１８】前記非磁性基体は、凹部を有し、前記各強
磁性部の少なくとも一部は、該凹部内に形成されていて
もよい。

【００１９】前記界面の中心線平均粗さと、該界面以外
の面の中心線平均粗さとの比が、１．５以上であっても
よい。

【００２０】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１は、本
願発明の第１の実施の形態のハードディスク用のマスタ
ー情報担体の概要図である。この図に示すように、本発
明の第１の実施の形態のマスター情報担体１は、非磁性
材料によってディスク状に形成された非磁性基体２と、
磁気記録媒体であるハードディスクにプリフォーマット
記録されるトラッキング用サーボ信号などが、強磁性材
料によって形成されている複数の信号領域３…３とを備
えている。

【００２１】プリフォーマット記録の対象となるハード
ディスクを、読み取りヘッダで読み取る際には、一定量
の情報を読み取る毎にヘッダの位置を確認するためにプ
リフォーマット記録されたトラッキング用サーボ信号な
どが必要となる。ハードディスクの各トラック毎の記録
容量は同一であり、ディスクの中心側ほどトラックの記
録密度が高くなっているので、ディスクの中心側のトラ
ックほどトラッキング用サーボ信号などが必要になるト
ラック上の物理的間隔が狭くなる。そのため、ハードデ
ィスクにプリフォーマット記録を行うマスター情報担体
１の信号領域３相互のトラック上の間隔も外周側から中
心側に向かうほど狭くなっている。なお、実際のマスタ
ー情報担体には、ハードディスクとの位置決めを行うた
めのマーカなどが設けられているが、図１においては省
略している。

【００２２】図２は、図１における信号領域３の領域Ａ
の範囲の拡大図である。この図に示すように、非磁性基
体１上のハードディスクのデータ領域に対応する部分の
間に、ハードディスクに対してプリフォーマット記録さ
れるプリフォーマット信号が強磁性材料４によって形成
されている。プリフォーマット信号には、トラッキング
サーボ信号の他に、アドレス情報信号やクロック信号な
どが含まれる。なお、非磁性基体２の材料としてはシリ
コン（Ｓｉ）が適用でき、強磁性材料４の材料としては
コバルト（Ｃｏ）が適用できる。

【００２３】図３は、図２のＢ−Ｂ線に沿った断面を示
している。この図に示すように、プリフォーマット信号
は、非磁性基体２に設けられた凹部５に強磁性材料４が
堆積されて、薄膜を形成している。凹部５の寸法は、深
さが約５００ｎｍ程度、幅が約８００〜約２０００ｎｍ
程度であることが望ましい。

【００２４】凹部５は、非磁性基体２の表面をドライエ
ッチング加工することにより形成されている。強磁性材
料４を凹部５に堆積する方法としては、スパッタリング
法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、
メッキ法など従来から行われている一般的な薄膜成形方
法を用いることができる。

【００２５】非磁性基体２が備える凹部５の強磁性材料
４との界面となる底面５ａは、表面の粗さが中心線平均
粗さ（「算術平均粗さ」とも呼ばれる）Ｒ（ａ）で０．
９ｎｍとなるように、ドライエッチング加工時に意図的
に粗く形成されている。また、非磁性基体２の表面２ａ
は、後述するように、表面の中心線平均粗さＲ（ａ）が
０．８ｎｍとなるように形成されており、強磁性材料４
との界面となる底面５ａの中心線平均粗さＲ（ａ）が、
非磁性基体２の表面２ａの中心線平均粗さＲ（ａ）より
も大きくなっている。

【００２６】このように、強磁性材料４と非磁性基体２
との界面である底面５ａを意図的に粗く形成して、強磁
性材料４と非磁性基体２との接触面積を大きくすること
により、強磁性材料４により形成された薄膜と非磁性基
体２との結合力を高めることが可能となる。強磁性材料
４の薄膜と非磁性基体２との結合力が高まることによ
り、マスター情報担体を用いた磁気記録媒体へのプリフ
ォーマット記録の繰り返しにより強磁性材料４の薄膜が
非磁性基体２から容易に剥離することを防止できるの
で、マスター情報担体の寿命を延ばすことが可能とな
る。

【００２７】ここで、中心線平均粗さとは、ＪＩＳ規格
により定められた測定物表面の粗さを表す数量であり、
数１に示す数式で与えられる。

【００２８】

【数１】

【００２９】数１において、Ｌは測定長さを、ｙ（ｘ）
は測定する２次元プロファイル（断面曲線）をそれぞれ
示している。ｙ（ｘ）は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、
走査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）など様々な方法により測
定することができる。本願明細書において記載する中心
線平均粗さの数値は、任意の１０点において、ＡＦＭに
より探針の先端曲率半径が比較的小さいＳｉ製カンチレ
バーを用いてタッピングモードで観測したＲ（ａ）の平
均値である。なお、測定長さＬは２μｍとした。また、
ＡＦＭの探針は、先端曲率半径が５０ｎｍ以下の市販の
ものが望ましい。

【００３０】強磁性材料４と非磁性基体２との界面であ
る底面５ａを意図的に粗く形成することにより、強磁性
材料４の薄膜と非磁性基体２との結合力が高まることを
確認するために、以下のような実験を行った。

【００３１】図３に示したマスター情報担体１と同じ方
法を用いて、図４に示すような比較実験用マスター情報
担体を製造した（以下これを「マスター情報担体１０」
とする）。比較実験用のマスター情報担体１０は、強磁
性材料４が堆積される凹部１５の底面１５ａの形状のみ
が、マスター情報担体１と異なっている。比較実験用の
マスター情報担体１０は、図４に示すように、凹部１５
の底面１５ａがマスター情報担体１に比べて滑らかにな
っている。底面５ａおよび底面１５ａの中心線平均粗さ
Ｒ（ａ）はそれぞれ、０．９ｎｍ、０．８ｎｍである。

【００３２】凹部５および凹部１５にそれぞれ同じ方法
により強磁性材料４を堆積した後に、マスター情報担体
１およびマスター情報担体１０のそれぞれの表面に対し
てＣＭＰ（ＣｈｅｍｉｃａｌＭｅｃｈａｎｉｃａｌ
Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）による研磨を行い、それぞれの非
磁性基体２および強磁性材料４の表面の中心線平均粗さ
Ｒ（ａ）が０．８ｎｍとなるようにした。

【００３３】このように強磁性材料４が堆積される凹部
の底面の粗さのみ異なる比較実験用マスター情報担体１
０とともにプリフォーマット信号の連続転写を行うこと
により、マスター情報担体１の強磁性材料４の薄膜と非
磁性基体２との結合力が従来のマスター情報担体よりも
高められていることを確認することができる。

【００３４】連続転写の方法の詳細は、特開平１０−２
６９５６６号公報に述べられており、本実施の形態にお
いてもこの方法を踏襲した。当該公報に述べられている
連続転写方法の概要は以下の通りである。プリフォーマ
ット信号を記録するハードディスクの記録面をマスター
情報担体の強磁性材料４側に密着させ、更にマスター情
報担体とハードディスクとの間の空気を排気して真空に
することにより両者を更に密着させる。ハードディスク
と密着したマスター情報担体に磁界をかけることにより
強磁性材料４が磁化し、磁化した複数の強磁性材料４が
形成する信号パターンがプリフォーマット信号としてハ
ードディスクに記録される。

【００３５】上述の方法により、マスター情報担体１と
比較実験用マスター情報担体１０とについてそれぞれ１
万回の連続転写の実験を行った。

【００３６】この結果、非磁性基体２の強磁性材料４と
界面の中心線平均粗さＲ（ａ）が、０．８ｎｍと小さい
比較実験用マスター情報担体１０においては、複数の箇
所において非磁性基体２からの強磁性材料４の薄膜の剥
離が起こっていた。

【００３７】一方、凹部５の底面５ａを意図的に粗くし
て、非磁性基体２の強磁性材料４と界面の中心線粗さＲ
（ａ）を、０．９ｎｍとした本発明の第１の実施の形態
のマスター情報担体１においては、強磁性材料４の剥離
は見られなかった。

【００３８】これにより、強磁性材料４と非磁性基体２
との界面である底面５ａを意図的に粗く形成して、強磁
性材料４の薄膜と非磁性基体２との接触面積を増加させ
た本発明の第１の実施の形態のマスター情報担体１で
は、従来のマスター情報担体に比べて強磁性材料４と非
磁性基体２との結合力が高められていることが証明され
た。

【００３９】したがって、本発明の第１の実施の形態の
マスター情報担体１は、従来のマスター情報担体よりも
連続転写回数に対する寿命が長く、１つのマスター情報
担体１でより多くの磁気記録媒体に対して連続転写でき
るので、ハードディスクなどの磁気記録媒体の生産コス
トを低減することができる。

【００４０】（第２の実施の形態）第２の実施の形態に
おけるマスター情報担体（以下、「マスター情報担体
６」とする）の構成概要は、第１の実施の形態にて説明
した図１および図２に示す構成と同じである。マスター
情報担体６が、第１の実施の形態のマスター情報担体１
と異なる点は、図５に示すように、非磁性基体２に設け
られた強磁性体４を堆積する凹部７の底面７ａの中心線
平均粗さをさらに粗くし、強磁性体４の表面を堆積時の
ままにして研磨しない点である。

【００４１】マスター情報担体６の図５に示す構造は以
下のような手順により製作される。まず、ドライエッチ
ング加工により凹部７を形成し、底面７ａの中心線平均
粗さＲ（ａ）が１．２ｎｍになるように非磁性基体２を
加工する。

【００４２】つぎに、スパッタリング法、真空蒸着法、
イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、メッキ法などを用
いて凹部７に強磁性材料４を堆積して厚さ約２００ｎｍ
の薄膜を形成する。表面が粗くなった底面７ａに上記の
方法で強磁性材料４の薄膜を形成すると、強磁性材料４
の表面にも底面７ａの粗さに応じた凹凸が形成される。
図５に示すように、底面７ａの中心線平均粗さＲ（ａ）
が１．２ｎｍの場合には、強磁性材料４の表面に現れる
凹凸の中心線平均粗さＲ（ａ）は、４．０ｎｍとなる。

【００４３】つぎに、強磁性材料４の構成材料に影響を
与えず、非磁性基体２の構成材料のみに影響を与えるよ
うに配合されたスラリーを用いて、非磁性基体２の表面
を研磨して中心線平均粗さＲ（ａ）を０．８ｎｍにす
る。

【００４４】こうして、非磁性基体２の表面の中心線平
均粗さＲ（ａ）と底面７ａの中心線平均粗さＲ（ａ）と
の比が１．５であるマスター情報担体６を製造する。

【００４５】このように構成されたマスター情報担体６
によれば、強磁性材料４と非磁性基体２との接触面がさ
らに増大して強磁性材料４と非磁性基体２との結合力が
大きくなって強磁性材料４が非磁性基体２から剥離しに
くくなるだけでなく、プリフォーマット記録時に密着す
る強磁性材料４と磁気記録媒体との接触面積が小さいの
で、マスター情報担体６から磁気記録媒体を引き離す際
の力が少なくて済み、強磁性材料４がさらに非磁性基体
２から剥離しにくくなる。

【００４６】上記の効果を確認するために以下のような
実験を行った。

【００４７】図６に示すように、強磁性体４を堆積する
凹部１７の底面１７ａの中心線平均粗さＲ（ａ）が１．
０ｎｍである非磁性基体２に、マスター情報担体６と同
一の方法によって、強磁性材料４を厚さ約２００ｎｍの
薄膜を形成した、比較実験用マスター情報担体（以下こ
れを「マスター情報担体２０」とする）を作成する。底
面７ａの中心線平均粗さＲ（ａ）が１．０ｎｍである場
合には、強磁性体４の表面の中心線平均粗さＲ（ａ）は
２．０ｎｍとなる。

【００４８】このマスター情報担体２０の表面を、非磁
性基体２の表面のみを研磨するように配合された上述の
スラリーを用いて、中心線平均粗さＲ（ａ）が０．８ｎ
ｍになるように研磨する。したがって、比較実験用マス
ター情報担体２０における非磁性基体２の表面の中心線
平均粗さＲ（ａ）と底面１７ａの中心線平均粗さＲ
（ａ）との比は１．２５となる。なお、本発明の第２の
実施の形態におけるマスター情報担体６についてはこの
比が１．５である。

【００４９】マスター情報担体６と比較実験用マスター
情報担体２０との底面７ａ、底面１７ａおよび強磁性材
料４の表面のそれぞれの中心線平均粗さＲ（ａ）は、そ
れぞれ、１．２ｎｍ、１．０ｎｍ、４．０ｎｍ、２．０
ｎｍである。また、強磁性材料４が堆積されない非磁性
基体２の表面の中心線平均粗さＲ（ａ）は、ともに０．
８ｎｍである。

【００５０】このように強磁性材料４が堆積される凹部
７、１７の底面７ａ、１７ａの粗さと、強磁性材料４の
表面の粗さのみ異なる比較実験用マスター情報担体２０
とともにプリフォーマット信号の連続転写を行うことに
より、マスター情報担体６の強磁性材料４の薄膜と非磁
性基体２との結合力が従来のマスター情報担体よりも高
められていることを確認することができる。

【００５１】連続転写の方法は、第１の実施の形態と同
じく、特開平１０−２６９５６６号公報に述べられてい
る方法を用いる。この方法により、マスター情報担体６
と比較実験用マスター情報担体２０とについてそれぞれ
１０万回の連続転写の実験を行った。

【００５２】この結果、非磁性基体２の表面の中心線平
均粗さＲ（ａ）と底面１７ａの中心線平均粗さＲ（ａ）
との比が１．２５である、比較実験用マスター情報担体
２０では、多くの箇所で非磁性基体２からの強磁性材料
４の薄膜の剥離が見られた。一方、非磁性基体２の表面
の中心線平均粗さＲ（ａ）と底面７ａの中心線平均粗さ
Ｒ（ａ）との比が１．５である、本発明の第２の実施の
形態におけるマスター情報担体６では、非磁性基体２か
らの強磁性材料４の薄膜の剥離が全く見られなかった。

【００５３】非磁性基体２の表面の中心線平均粗さＲ
（ａ）と底面７ａの中心線平均粗さＲ（ａ）との比をさ
まざまに変更して同様の実験を繰り返した結果、Ｒ
（ａ）の比が１．５以上の場合には、１０万回の連続転
写を行っても強磁性材料４の剥離が見られなかった。し
かし、非磁性基体２の表面の中心線平均粗さＲ（ａ）と
底面７ａの中心線平均粗さＲ（ａ）との比が１．５より
小さい場合には、１万回以上の連続転写を行うと強磁性
材料４の剥離が多少見られた。なお、非磁性基体２の表
面の中心線平均粗さＲ（ａ）と底面７ａの中心線平均粗
さＲ（ａ）との比を変更する際に、非磁性基体２の表面
の中心線平均粗さＲ（ａ）は０．８ｎｍに固定とした。

【００５４】以上の実験により、非磁性基体２の表面の
中心線平均粗さＲ（ａ）と底面７ａの中心線平均粗さＲ
（ａ）との比を１．５以上とした本発明の第２の実施の
形態におけるマスター情報担体６では、従来のマスター
情報担体に比べて、非磁性基体２からの強磁性材料４の
剥離が格段に低減されることが証明された。

【００５５】したがって、本発明の第２の実施の形態の
マスター情報担体６は、従来のマスター情報担体よりも
連続転写回数に対する寿命が長く、１つのマスター情報
担体６でより多くの磁気記録媒体に対して連続転写でき
るので、ハードディスクなどの磁気記録媒体の生産コス
トを低減することができる。

【００５６】本発明の実施の形態は、上述のものに限ら
ず種々変更して実施が可能である。例えば、強磁性材料
を堆積する非磁性基体に設ける凹部において、底面部の
みの中心線平均粗さを意図的に大きくしたが、底面部に
限らず凹部の側面についても適宜、中心線平均粗さを大
きくしてもよい。

【００５７】また、上述の実施の形態では強磁性材料の
上面が非磁性基体に設けた凹部の上端に一致するかもし
くは上端付近に位置するように強磁性材料を堆積した
が、これに替えて、図７に示すように強磁性材料４の上
面が非磁性基体２の凹部８の上端から突出するようにし
てもよい。さらに、図８に示すように、平坦な非磁性基
体２の表面２ａの一部を加工して中心線平均粗さを意図
的に大きくした粗面部９を設け、この粗面部９上に強磁
性材料４を堆積するようにしてもよい。

【００５８】また、上述の実施の形態では、主にディス
ク状の磁気記録媒体に主眼をおいて説明を行ったが、磁
気カードや磁気テープ等の磁気記録媒体においても応用
可能であり、上記と同様の顕著な作用効果を得ることが
できる。

【００５９】さらに、磁気記録媒体にプリフォーマット
記録される情報信号に関し、トラッキング用サーボ信号
やアドレス情報信号、再生クロック信号等のプリフォー
マット信号に主眼をおいて記述を行った。しかし、本発
明の構成により記録が可能な情報信号は、上記に限られ
たものではなく、様々なデータ信号やオーディオ、ビデ
オ信号の記録を行うことも可能である。この場合には、
本発明のマスター情報坦体とこれを用いた磁気記録媒体
への記録方法によって、ソフトディスク媒体の大量複写
生産を効率的に行うことができ、安価に提供することが
可能である。

【００６０】上記のような様々な本発明の応用の形態
が、その特徴に応じて変更された様々な構成の形態とと
もに、本発明の範疇に属することはいうまでもない。

【００６１】

【発明の効果】本発明のマスター情報担体によれば、プ
リフォーマット信号を非磁性基体上に形成する強磁性材
料の剥離の抑制効果が比較的に高まるので、マスター情
報担体の連続使用に対する寿命が長くなり、１つのマス
ター情報担体でより多くの磁気記録媒体に対してプリフ
ォーマット信号の連続転写が行え、ハードディスクなど
の磁気記録媒体の生産コストを低減することが可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】マスター情報担体を示す概要図。

【図２】図１の領域Ａの拡大図で、プリフォーマット信
号の形成例を示す図。

【図３】図２のＢ-Ｂ線に沿った断面図で、本発明の第
１の実施の形態におけるマスター情報担体の概要を示す
断面図。

【図４】本発明の第１の実施の形態におけるマスター情
報担体との比較実験を行う比較実験用マスター情報担体
の概要を示す断面図。

【図５】図２のＢ-Ｂ線に沿った断面図で、本発明の第
２実施の形態におけるマスター情報担体の概要を示す断
面図。

【図６】本発明の第２実施の形態におけるマスター情報
担体との比較実験を行う比較実験用マスター情報担体の
概要を示す断面図。

【図７】本発明に係るマスター情報担体のその他の実施
の形態の１例を示す図。

【図８】本発明に係るマスター情報担体のその他の実施
の形態の１例を示す図。

【符号の説明】

１マスター情報担体２非磁性基体２ａ表面３信号領域４強磁性材料５、７、８凹部５ａ、７ａ、８ａ底面９粗面部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者領内博大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (56)参考文献特開平10−40544（ＪＰ，Ａ) 特開平10−269566（ＪＰ，Ａ) 特開2000−195046（ＪＰ，Ａ) 特開平10−320768（ＪＰ，Ａ) 特開平11−273070（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/62 - 5/86

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性基体と、前記非磁性基体の表面に、信号配列に対応する形状パタ
ーンを形成するように堆積された複数の強磁性材料とを
備え、前記非磁性基体は、前記強磁性材料が堆積されていない
第１表面と、前記各強磁性材料が堆積されて各強磁性材
料との界面をなす第２表面とを有し、前記第２表面にお
ける中心線平均粗さが、前記第１表面における中心線平
均粗さよりも大きいことを特徴とするマスター情報担
体。
【請求項２】前記第２表面における中心線平均粗さ
が、０．９ｎｍ以上である請求項１に記載のマスター情
報担体。
【請求項３】前記第２表面における中心線平均粗さ
が、前記第１表面における中心線平均粗さの１．５倍以
上である請求項１に記載のマスター情報担体。
【請求項４】請求項１に記載されたマスター情報担体
を、磁気記録媒体表面に密着させて、前記各強磁性材料
を磁化させることにより、前記各強磁性材料が形成する
信号配列による情報信号を前記磁気記録媒体に記録する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】前記第２表面における中心線平均粗さ
が、０．９ｎｍ以上である請求項４に記載の磁気記録媒
体の製造方法。
【請求項６】前記第２表面における中心線平均粗さ
が、前記第１表面における中心線平均粗さの１．５倍以
上である請求項５に記載の磁気記録媒体の製造方法。