JP3348484B2 - Leak test method and leak test device - Google Patents
Leak test method and leak test deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、被試験体内にトレーサ
ガス（Ｈｅ等）を導入し、トレーサガスの漏れの有無又
は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定する漏洩試験
方法及び漏洩試験装置に関し、被試験体をチャンバ内に
装入し被試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を
所定の範囲内に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャ
ンバ内を排気することにより、強度が低い容器等の被試
験体の変形、破損及び漏洩の拡大を防止できる漏洩試験
方法方法及び漏洩試験装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak test method and a leak test method, in which a tracer gas (He or the like) is introduced into a test object to determine whether or not the tracer gas leaks or whether or not the leak exceeds an allowable limit. Regarding the test apparatus, by loading the device under test into the chamber and exhausting the device under test and the chamber while maintaining the pressure difference between the pressure in the device under test and the pressure in the chamber within a predetermined range. The present invention relates to a leak test method and a leak test apparatus capable of preventing deformation, breakage, and expansion of leak of a test object such as a container having low strength.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、漏洩試験装置（リークテスタ）と
しては、以下に示すものがある。即ち、図４に示す真空
吹き付け式漏洩試験装置においては、被試験体１の内部
に導通可能にリークディテクタ２を接続すると共に、被
試験体１の内部を真空排気する粗引ポンプ３を被試験体
１に接続する。そして、Ｈｅ（ヘリウム）ガスボンベ４
に接続されたＨｅガス吹き付け管５から被試験体１にＨ
ｅガスを吹き付けることができるようになっている。2. Description of the Related Art Conventionally, there are the following leak test devices (leak testers). That is, in the vacuum spray type leak test apparatus shown in FIG. 4, the leak detector 2 is connected to the inside of the DUT 1 so as to be able to conduct, and the roughing pump 3 for evacuating the inside of the DUT 1 is tested. Connect to body 1. And a He (helium) gas cylinder 4
From the He gas spray pipe 5 connected to the
e gas can be blown.
【０００３】この装置においては、ポンプ３により被試
験体１内を真空に排気した後、リークディテクタ２を被
試験体１の内部に連結し、吹き付け管５を介してＨｅガ
スを被試験体１に吹き付ける。そうすると、被試験体１
に漏洩箇所があれば、その漏洩箇所からＨｅガスが被試
験体１中に入り、リークディテクタ２に検出される。In this apparatus, after evacuating the inside of the device under test 1 by a pump 3, a leak detector 2 is connected to the inside of the device under test 1, and He gas is blown through a spray pipe 5. Spray. Then, the DUT 1
If there is a leak location, He gas enters the device under test 1 from the leak location and is detected by the leak detector 2.
【０００４】図５に示す真空フード式漏洩試験装置にお
いては、図４の場合と同様に被試験体１の内部とリーク
ディテクタ２及び粗引ポンプ３とを選択的に連結できる
ように接続し、更に被試験体１を容器内に挿入する等し
て被試験体１をフード６で覆うようになっている。In the vacuum hood type leak test apparatus shown in FIG. 5, the inside of the test object 1 is connected to the leak detector 2 and the roughing pump 3 so as to be selectively connected, as in the case of FIG. Further, the DUT 1 is covered with a hood 6 by inserting the DUT 1 into a container or the like.
【０００５】この装置においては、ポンプ３により被試
験体１の内部を真空に排気し、次いで、フード６内にＨ
ｅガスを充填する。そうすると、被試験体１に漏洩箇所
があれば、その部分を介してＨｅガスがリークディテク
タ２に入り、Ｈｅが検出される。この装置によれば、被
試験体１の全体のリークの有無を検出し、全体のリーク
量の判定を行うことができる。In this apparatus, the inside of the device under test 1 is evacuated by a pump 3 to a vacuum, and
Fill with e gas. Then, if there is a leak location in the DUT 1, He gas enters the leak detector 2 via the leak location, and He is detected. According to this device, it is possible to detect the presence or absence of the entire leak of the device under test 1 and determine the entire leak amount.
【０００６】図６に示す真空内圧法においては、チャン
バ７内に、予めＨｅガスを封入した被試験体１を装入
し、ポンプ３によりチャンバ７内を排気する。そうする
と、被試験体１に漏洩箇所がある場合に、そこからＨｅ
ガスが漏出してリークディテクタ２に検出される。In the vacuum internal pressure method shown in FIG. 6, a test object 1 in which He gas is sealed in advance is charged into a chamber 7, and the inside of the chamber 7 is evacuated by a pump 3. Then, if there is a leak in the DUT 1, He
The gas leaks and is detected by the leak detector 2.
【０００７】また、図７に示すスニファー法による漏洩
試験装置においては、Ｈｅガスを加圧した被試験体１の
周囲をスニファープローブ４により探索し、被試験体１
の漏洩箇所から漏れてきたＨｅガスをリークディテクタ
２により検出する。In the leak test apparatus according to the sniffer method shown in FIG. 7, a sniffer probe 4 is used to search around the test piece 1 pressurized with He gas, and
He gas leaked from the leaked portion is detected by the leak detector 2.
【０００８】更に、図８に示す積分法による漏洩検出装
置においては、Ｈｅガスを加圧圧入した被試験体１を容
量が既知のフード８内に装入し、フード８内をポンプ３
により排気した後、長時間放置し、その間に被試験体１
から漏れてくるＨｅガスによるＨｅ濃度の変化を測定
し、これを積分することにより微少リーク量を検出す
る。Further, in the leak detecting device based on the integration method shown in FIG. 8, a test object 1 into which a He gas is pressurized and press-fitted is charged into a hood 8 having a known capacity, and the inside of the hood 8 is pumped by a pump 3.
And then leave it for a long time.
A change in the He concentration due to He gas leaking from the sensor is measured, and a minute leak amount is detected by integrating the change.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の漏洩検出装置には、いずれも以下に示す問題点
がある。即ち、Ｈｅ等のトレーサガスの漏れ量を高精度
に測定できる検出器は、一般的に、真空に近い圧力下
（例えば、１０ｍｂ以下）でないと動作させることがで
きない。図４，５に示す装置は、被試験体１内を真空排
気し、この被試験体１内の内部をリークディテクタに連
結するのでこのような検出器を使用することができる
が、被試験体１の内側と外側で約１気圧の圧力差が生じ
て、例えば、燃料タンク及びドラム缶等のように強度が
低い容器（以下、軟弱な容器という）等の漏洩試験を実
施しようとすると、被試験体が変形又は破損してしま
う。また、これらの装置を例えばエンジン本体からのリ
ーク量の測定に適用すると、漏れが著しく増大し、所謂
大漏れが発生する。図６，８に示す漏洩検出装置は、Ｈ
ｅガスを被試験体内に圧入した後、排気状態の外部に漏
出してくるＨｅガスを検出することにより漏洩を検知す
るが、この場合も、被試験体の内部と外部との圧力差が
大きく、軟弱な容器等に適用することができない。図７
に示すスニファー法においては、被試験体の外側は大気
圧であると共に被試験体内にＨｅガスを圧入するので、
被試験体の内側と外側との差圧が小さく、軟弱な容器等
の漏洩試験に適用することが可能である。しかし、この
スニファー法においては、被試験体の周囲の漏れが予想
される箇所にプローブを近づけてポイント−ポイントで
漏れを探索する必要があるため、１個の被試験体を検査
するのに長時間を必要とし、煩雑であるという欠点があ
る。However, all of these conventional leak detection devices have the following problems. That is, a detector capable of measuring the leakage amount of a tracer gas such as He with high accuracy cannot generally be operated unless the pressure is close to a vacuum (for example, 10 mb or less). The apparatus shown in FIGS. 4 and 5 evacuates the device under test 1 and connects the inside of the device under test 1 to a leak detector, so that such a detector can be used. When a pressure difference of about 1 atm is generated between the inside and outside of the container 1 and a leak test is performed on a low-strength container (hereinafter referred to as a soft container) such as a fuel tank or a drum can, for example, The body is deformed or damaged. In addition, when these devices are applied to, for example, measurement of the amount of leakage from the engine body, the leakage increases significantly, so-called large leakage occurs. The leak detection device shown in FIGS.
After the e gas is injected into the test object, the leak is detected by detecting the He gas leaking to the outside in the exhaust state. In this case, too, the pressure difference between the inside and the outside of the test object is large. It cannot be applied to soft containers and the like. FIG.
In the sniffer method shown in (1), since the outside of the test object is at atmospheric pressure and He gas is injected into the test object,
The differential pressure between the inside and the outside of the test object is small, and it can be applied to a leak test of a soft container or the like. However, in this sniffer method, it is necessary to approach the probe to a location where leakage is expected around the DUT and search for the leakage point-to-point, so that it is a long time to inspect one DUT. There is a disadvantage that it requires time and is complicated.
【００１０】なお、被試験体の変形又は破損が予想され
る場合に、被試験体に補強部材を取り付けて被試験体の
変形及び破損を回避する方法もある。しかし、この方法
は、被試験体の形状に応じた補強部材が必要であるた
め、試験コストの増大を招来すると共に、被試験体の形
状毎に異なる補強部材を用意する必要があり、煩雑であ
る。In the case where deformation or breakage of the test object is expected, there is a method of attaching a reinforcing member to the test object to avoid deformation and breakage of the test object. However, this method requires a reinforcing member corresponding to the shape of the DUT, so that the test cost is increased, and it is necessary to prepare a different reinforcing member for each shape of the DUT, which is complicated. is there.
【００１１】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、燃料タンク及びドラム缶等の軟弱な容器並
びにエンジン本体等のように許容差圧以上の圧力を印加
すると大漏れが発生する虞れがある被試験体の漏洩試験
に適用することができる漏洩試験方法及び漏洩試験装置
を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such a problem, and a large leak may occur when a pressure higher than an allowable differential pressure is applied to a soft container such as a fuel tank or a drum or an engine body. It is an object of the present invention to provide a leak test method and a leak test apparatus that can be applied to a leak test of an object under test.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明に係る漏洩試験方
法は、被試験体内にトレーサガスを導入しこの被試験体
からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験方法にお
いて、前記被試験体をチャンバ内に格納する工程と、前
記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧を
検出しこの差圧を前記被試験体に応じて設定された所定
の範囲内に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャンバ
内を排気する工程と、前記被試験体内の圧力と前記チャ
ンバ内の圧力との差圧を検出しこの差圧を前記被試験体
に応じて設定された所定の範囲内に維持しつつ前記被試
験体内に前記トレーサガスを導入する工程と、前記被試
験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧を検出し
この差圧を前記被試験体に応じて設定された所定の範囲
内に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャンバ内に空
気を導入する工程とを有することを特徴とする。A leak test method according to the present invention is directed to a leak test method for introducing tracer gas into a device under test and detecting trace gas leakage from the device under test. Storing the pressure in the chamber, and a differential pressure between the pressure in the test object and the pressure in the chamber.
Detecting a step of exhausting the tested body and said chamber while maintaining the pressure difference within a predetermined range set according to the test object, wherein the pressure in the body the tested Cha
The differential pressure from the pressure in the
Introducing said tracer gas the into the body under test while being maintained within a predetermined range set in accordance with, the object to be trial
Detecting the pressure difference between the pressure in the test specimen and the pressure in the chamber;
This differential pressure is set in a predetermined range set according to the test object.
Inside the chamber under test and inside the chamber while maintaining
And a step of introducing air .
【００１３】本発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を
気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気
可能のチャンバ内排気手段と、前記被試験体内を排気可
能の被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレ
ーサガスを導入可能のトレーサガス導入手段と、前記チ
ャンバに連結されてチャンバ内のトレーサガスを検出す
るトレーサガス検出手段と、前記被試験体内の圧力と前
記チャンバ内の圧力との差圧を検出する差圧検出手段
と、この差圧検出手段による差圧検出結果に基づき前記
チャンバ内及び前記被試験体内を排気するとき並びに前
記被試験体内に前記トレーサガスを導入するときの前記
被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧を予
め設定された範囲内に調整する差圧調整手段と、を有す
ることを特徴とする。この場合に、前記差圧調整手段
は、更に、漏洩試験後に前記被試験体及び前記チャンバ
内に空気を導入するときの前記被試験体内の圧力と前記
チャンバ内の圧力との差圧を予め設定された範囲内に調
整するものであることが好ましい。 A leak test apparatus according to the present invention comprises a chamber capable of hermetically storing a test object, an exhaust means in the chamber capable of exhausting the inside of the chamber, and an exhaust gas in the test object capable of exhausting the test object. Means, a tracer gas introducing means capable of introducing a tracer gas into the device under test, a tracer gas detecting device connected to the chamber to detect a tracer gas in the chamber, a pressure in the device under test, A differential pressure detecting means for detecting a pressure difference between the pressure in the chamber and a pressure difference between the chamber and the device under test based on a result of the pressure difference detection by the pressure difference detecting device; Pressure adjusting means for adjusting a differential pressure between the pressure in the test object and the pressure in the chamber when introducing the pressure into a range set in advance. In this case, the differential pressure adjusting means
Further, after the leak test, the test object and the chamber
The pressure in the test object when introducing air into the
Adjust the pressure difference between the chamber pressure and the pressure within a preset range.
It is preferable that it be adjusted.
【００１４】[0014]
【作用】本発明に係る漏洩試験方法においては、被試験
体をチャンバ内に格納した後、被試験体内の圧力とチャ
ンバ内の圧力との差圧を所定の範囲内に維持しつつ、前
記被試験体内及び前記チャンバ内の両方を排気して減圧
状態にする。つまり、本発明においては、被試験体内及
びチャンバ内の圧力差を、被試験体に変形、破損又は大
漏れ等の不都合が発生しないように予め設定された所定
の範囲内に維持しつつ、被試験体内及びチャンバ内を排
気して減圧状態にする。これにより、被試験体の変形及
び破損等を防止しつつ、チャンバ内を、例えば高精度の
ガス検出器が使用可能の高真空（例えば、１０ｍｂ以
下）にすることができる。その後、前記被試験体内にト
レーサガスを導入し、漏洩試験を実施する。本発明にお
いては、このように被試験体をチャンバ内に格納し、被
試験体の全体の漏洩の有無を検出して全体の漏洩量を判
定するので、漏洩が予想される箇所に検出器を近づける
スニファー法と異なり、測定に要する時間を短縮できる
と共に漏洩量を正確に判定でき、更に労力を軽減でき
る。In the leak test method according to the present invention, after the device under test is stored in the chamber, the pressure difference between the pressure in the device under test and the pressure in the chamber is maintained within a predetermined range. Both the test body and the chamber are evacuated to a reduced pressure. That is, in the present invention, the pressure difference between the test object and the chamber is maintained within a predetermined range that is set in advance so that the test object does not cause inconvenience such as deformation, breakage, or large leakage. The test body and the chamber are evacuated to a reduced pressure. Thus, the inside of the chamber can be made into a high vacuum (for example, 10 mb or less) in which a high-precision gas detector can be used, while preventing deformation and breakage of the test object. Thereafter, a tracer gas is introduced into the test object, and a leak test is performed. In the present invention, the device under test is stored in the chamber as described above, and the presence or absence of the entire device under test is detected to determine the total amount of leakage. Unlike the sniffer method of approaching, the time required for measurement can be reduced, the amount of leakage can be accurately determined, and the labor can be further reduced.
【００１５】一方、本発明に係る漏洩試験装置において
は、チャンバ内に被試験体を格納し、チャンバ内排気手
段及び被試験体内排気手段により夫々チャンバ内及び被
試験体内を排気する。また、トレーサガス導入手段によ
り、前記被試験体内にトレーサガスを導入する。このと
き、差圧検出手段は被試験体内の圧力とチャンバ内の圧
力との差圧を検出する。そして、その検出結果に基づい
て、差圧調整手段が例えばバルブの開閉等を制御し、被
試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を予め設定
された範囲内に調整する。これにより、被試験体の内側
と外側との差圧が大きくなることを防止できて、軟弱容
器等の変形及び破損並びに被試験体からの大漏れの発生
を回避できる。On the other hand, in the leak test apparatus according to the present invention, the device under test is stored in the chamber, and the inside of the chamber and the device under test are evacuated by the exhaust means in the chamber and the exhaust device in the device under test, respectively. Further, a tracer gas is introduced into the test object by a tracer gas introduction means. At this time, the differential pressure detecting means detects a differential pressure between the pressure in the device under test and the pressure in the chamber. Then, based on the detection result, the differential pressure adjusting means controls, for example, the opening and closing of the valve, and adjusts the differential pressure between the pressure in the test object and the pressure in the chamber within a preset range. Accordingly, it is possible to prevent the pressure difference between the inside and the outside of the test object from increasing, and it is possible to avoid the deformation and breakage of the soft container and the like and the occurrence of a large leak from the test object.
【００１６】[0016]
【実施例】次に、本発明の実施例について、添付の図面
を参照して説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
【００１７】図１は、本発明の第１の実施例に係る漏洩
試験装置を示す模式図である。真空チャンバ１２はその
内側に被試験体１１を気密的に格納可能になっている。
この被試験体１１はパイプ１７に連結されており、この
パイプ１７はチャンバ１２の外側に気密的に導出されて
いる。そして、このパイプ１７はバルブＶ２を介して排
気ポンプ１６に連結されている。また、このパイプ１７
に接続されたバルブＶ４及びバルブＶ５を介して、被試
験体１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス
（Ｈｅ等）が導入可能になっている。FIG. 1 is a schematic diagram showing a leak test apparatus according to a first embodiment of the present invention. The vacuum chamber 12 is capable of hermetically storing the device under test 11 therein.
The DUT 11 is connected to a pipe 17, and the pipe 17 is led out of the chamber 12 in an airtight manner. The pipe 17 is connected to the exhaust pump 16 via a valve V2. Also, this pipe 17
The air (air) and the tracer gas (He or the like) can be respectively introduced into the device under test 11 via the valve V4 and the valve V5 connected to.
【００１８】一方、真空チャンバ１２はパイプ１８に連
結されており、このパイプ１８はバルブＶ１を介して排
気ポンプ１５に連結されている。また、このパイプ１８
に接続されたバルブＶ３を介して、チャンバ１２内にエ
アーを導入可能になっている。差圧計１４は、パイプ１
７及びパイプ１８に接続されており、被試験体１１内の
圧力とチャンバ１２内の圧力との差圧を検出する。ま
た、チャンバ１２には、トレーサガス検知器１３が連結
されている。On the other hand, the vacuum chamber 12 is connected to a pipe 18, and this pipe 18 is connected to an exhaust pump 15 via a valve V1. Also, this pipe 18
The air can be introduced into the chamber 12 via a valve V3 connected to the valve. The differential pressure gauge 14 is
7 and a pipe 18 to detect a differential pressure between the pressure in the test object 11 and the pressure in the chamber 12. Further, a tracer gas detector 13 is connected to the chamber 12.
【００１９】次に、このように構成された本実施例に係
る漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明す
る。なお、予め、被試験体の強度等に応じて、変形、破
損及び大漏れが生じない差圧の最大許容値が求められて
いるとする。Next, a description will be given of a leak test method using the leak test apparatus according to the present embodiment configured as described above. In addition, it is assumed that the maximum allowable value of the differential pressure that does not cause deformation, breakage, and large leak is determined in advance according to the strength of the test object.
【００２０】先ず、チャンバ１２内に被試験体１１を装
入し、被試験体１１とパイプ１７とを連結する。次に、
排気ポンプ１５，１６を駆動し、バルブＶ１，Ｖ２を開
にして、チャンバ１２内及び被試験体１１内を排気す
る。このとき、被試験体１１の内側の圧力が外側の圧力
（即ち、チャンバ１２内の圧力）よりも大きくその差圧
が前記最大許容値に近い場合は、バルブＶ２を閉じて差
圧を小さくする。逆に、被試験体１１の外側の圧力が内
側の圧力よりも大きくその差圧が最大許容値に近い場合
は、バルブＶ１を閉じて差圧を小さくする。差圧が小さ
くなれば、バルブＶ２又はバルブＶ１を再度開にする。
このようにして、被試験体１１の内側と外側との差圧を
最大許容値以下に維持しつつ、チャンバ１２内の圧力を
トレーサガス検知器１３が正常に動作する圧力（例え
ば、１０ｍｂ以下）にする。その後、バルブＶ１，Ｖ２
を閉じ、バルブＶ５を開いて、被試験体１１の内側と外
側との差圧を最大許容値以下に維持しつつ、被試験体１
１内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス
検知器１３により被試験体１１から漏れて出たトレーサ
ガスを検出する。First, the DUT 11 is loaded into the chamber 12 and the DUT 11 and the pipe 17 are connected. next,
The exhaust pumps 15 and 16 are driven, the valves V1 and V2 are opened, and the inside of the chamber 12 and the inside of the device under test 11 are exhausted. At this time, if the pressure inside the test object 11 is larger than the pressure outside (ie, the pressure inside the chamber 12) and the differential pressure is close to the maximum allowable value, the valve V2 is closed to reduce the differential pressure. . Conversely, when the pressure outside the test object 11 is larger than the pressure inside the test object 11 and the differential pressure is close to the maximum allowable value, the valve V1 is closed to reduce the differential pressure. When the differential pressure decreases, the valve V2 or the valve V1 is opened again.
In this manner, while maintaining the pressure difference between the inside and the outside of the DUT 11 at or below the maximum allowable value, the pressure in the chamber 12 is increased to a pressure at which the tracer gas detector 13 operates normally (for example, 10 mb or less). To Then, the valves V1 and V2
Is closed, the valve V5 is opened, and the pressure difference between the inside and outside of the test object 11 is maintained at or below the maximum allowable value, and
1 introduces tracer gas. Then, the tracer gas leaked from the device under test 11 is detected by the tracer gas detector 13.
【００２１】測定終了後は、以下のようにして大気圧ま
で戻す。先ず、バルブＶ３，Ｖ４を開く。そして、被試
験体１１の内側の圧力が外側の圧力よりも大きく、差圧
が最大許容値に近い場合は、バルブＶ４を閉じる。逆
に、被試験体１１の外側の圧力が内側の圧力よりも大き
く、差圧が最大許容値に近い場合は、バルブＶ３を閉じ
る。これにより、差圧を小さくすることができる。差圧
が小さくなれば、バルブＶ３又はＶ４を再度開く。この
ようにして、差圧を最大許容値以下に維持しつつ、バル
ブＶ３，Ｖ４を開閉して、被試験体１１及びチャンバ１
２内の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ１２
内から被試験体１１を取り出す。After the measurement is completed, the pressure is returned to the atmospheric pressure as follows. First, the valves V3 and V4 are opened. When the pressure inside the test object 11 is higher than the pressure outside the test object 11 and the differential pressure is close to the maximum allowable value, the valve V4 is closed. Conversely, when the pressure outside the test object 11 is higher than the pressure inside the test object 11 and the differential pressure is close to the maximum allowable value, the valve V3 is closed. Thereby, the differential pressure can be reduced. When the differential pressure decreases, the valve V3 or V4 is opened again. In this way, while maintaining the differential pressure at or below the maximum allowable value, the valves V3 and V4 are opened and closed, and the DUT 11 and the chamber 1 are opened.
The pressure in 2 is returned to atmospheric pressure. Then, the chamber 12
The test object 11 is taken out from the inside.
【００２２】本実施例においては、被試験体１１の内側
の圧力と外側の圧力との差圧が被試験体の強度等に基づ
いて設定された最大許容値以下になるように各バルブを
操作して、被試験体内及びチャンバ内を排気するので、
被試験体が軟弱な容器等又はエンジン本体であっても、
被試験体の変形、破損及び大漏れの発生を回避できる。In the present embodiment, each valve is operated so that the differential pressure between the pressure inside and outside the test object 11 is less than the maximum allowable value set based on the strength of the test object. Then, the test object and the chamber are evacuated,
Even if the test object is a soft container or the engine body,
Deformation, breakage and large leakage of the test object can be avoided.
【００２３】なお、上述の実施例ではバルブＶ１〜Ｖ４
の開閉を繰り返すことにより差圧を所定の範囲内に維持
したが、例えば各バルブに段階的に開度を設定し、バル
ブ開度を調整することにより差圧を調整してもよい。ま
た、図３に示すように１本のパイプに複数のバルブ
ＶA，ＶB，ＶCを並列に設け、これらのバルブを選択的
に開閉することにより差圧を調整するようにしてもよ
い。In the above embodiment, the valves V1 to V4
The differential pressure is maintained within a predetermined range by repeating the opening and closing of the valve. However, for example, the differential pressure may be adjusted by setting the opening of each valve stepwise and adjusting the valve opening. Further, a plurality of valves V A to the one pipe as shown in FIG. 3, V B, a V C provided in parallel, it may be adjusted to the pressure difference by selectively opening and closing these valves .
【００２４】図２は本発明の第２の実施例に係る漏洩試
験装置を示す模式図である。真空チャンバ１２はその内
側に被試験体１１を気密的に格納可能になっている。被
試験体１１は、その内部が例えば１／４インチ径の銅製
パイプＰ１に連結される。このパイプＰ１は、真空チャ
ンバ１２の外側に気密的に導出され、パイプＰ４を介し
てバルブネットワーク制御装置２６に連結されている。
このパイプＰ４には、その途中にバルブＶ７が設けられ
ている。バルブネットワーク制御装置２６は、ラインレ
ギュレター３１及びバルブＶ８を介してＨｅガスのボン
ベ２４に接続されている。また、このバルブネットワー
ク制御装置２６は、パイプＰ５を介して排気装置２２に
接続されている。そして、このバルブネットワーク制御
装置２６は、後述する制御信号発生器２２及び排気制御
装置２５からの信号により、パイプＰ４をＨｅガスボン
ベ２４、排気ポンプ３３又は大気中に選択的に連通させ
る。FIG. 2 is a schematic view showing a leak test apparatus according to a second embodiment of the present invention. The vacuum chamber 12 is capable of hermetically storing the device under test 11 therein. The inside of the DUT 11 is connected to a copper pipe P1 having a diameter of, for example, 1/4 inch. This pipe P1 is led out of the vacuum chamber 12 in an airtight manner, and is connected to the valve network control device 26 via a pipe P4.
The pipe P4 is provided with a valve V7 in the middle thereof. The valve network control device 26 is connected to the He gas cylinder 24 via the line regulator 31 and the valve V8. Further, the valve network control device 26 is connected to the exhaust device 22 via a pipe P5. The valve network control device 26 selectively connects the pipe P4 to the He gas cylinder 24, the exhaust pump 33, or the atmosphere in accordance with signals from the control signal generator 22 and the exhaust control device 25 described later.
【００２５】真空チャンバ１２は、パイプＰ７を介して
真空排気装置２８に連結されている。このパイプＰ７に
は主バルブ（電動制御型可変コンダクタンス弁）ＶＲが
介装されている。また、この真空チャンバ１２にはバル
ブ（電動制御型可変コンダクタンス弁）Ｖ６が取り付け
られており、このバルブＶ６を介して真空チャンバ１２
内にエアーを導入可能になっている。更に、真空チャン
バ１２には、バルブＶｓが取り付けられており、このバ
ルブＶｓにはパイプＰ８を介してリークディテクタ２９
が連結されている。このリークディテクタ２９はＨｅガ
スを検出してこれを電気信号に変換し、その検出信号を
配線３０を介して漏洩判定装置（図示せず）に出力す
る。The vacuum chamber 12 is connected to an evacuation device 28 via a pipe P7. A main valve (electrically-controlled variable conductance valve) VR is interposed in the pipe P7. A valve (electrically-controlled variable conductance valve) V6 is attached to the vacuum chamber 12, and the vacuum chamber 12 is connected to the vacuum chamber 12 through the valve V6.
Air can be introduced inside. Further, a valve Vs is attached to the vacuum chamber 12, and the valve Vs is connected to the leak detector 29 via a pipe P8.
Are connected. The leak detector 29 detects the He gas, converts it into an electric signal, and outputs the detection signal to a leak determination device (not shown) via the wiring 30.
【００２６】真空チャンバ１２内の圧力は、圧力ゲージ
２７により表示される。また、本装置には、真空チャン
バ１２内の圧力と被試験体１１内の圧力との差圧を検出
する差圧計２１が設けられており、この差圧計２１から
は両者の差圧に応じた電気信号が出力される。この信号
は制御信号発生器２２に与えられる。この制御信号発生
器２２は、差圧計２１から与えられた信号と、差圧設定
器２３から与えられた信号とに基づいて、エアー導入制
御装置３２、排気制御装置２５及びバルブネットワーク
制御装置２６に制御信号を出力する。差圧設定器２３に
は、被試験体１１に変形、破損及び大漏れ等が生じない
差圧の最大許容値よりも若干小さな値が設定される。エ
アー導入制御装置３２は、制御信号発生器２２からの信
号に基づいて、バルブＶ６を制御する。また、排気制御
装置２５も、制御信号発生器２２からの信号に基づい
て、主バルブＶＲを制御する。更に、排気制御装置２５
には外部から排気制御指令信号が与えられ、エアー導入
制御装置３２及びバルブネットワーク制御装置２６には
外部からチャンバ内エアー導入指令信号が与えられるよ
うになっている。The pressure in the vacuum chamber 12 is indicated by a pressure gauge 27. Further, the present apparatus is provided with a differential pressure gauge 21 for detecting a differential pressure between the pressure in the vacuum chamber 12 and the pressure in the device under test 11, and the differential pressure gauge 21 responds to the differential pressure between the two. An electric signal is output. This signal is provided to the control signal generator 22. The control signal generator 22 sends an air introduction control device 32, an exhaust control device 25, and a valve network control device 26 based on a signal given from the differential pressure gauge 21 and a signal given from the differential pressure setting device 23. Outputs control signal. In the differential pressure setting unit 23, a value slightly smaller than the maximum allowable value of the differential pressure that does not cause deformation, breakage, large leakage, or the like of the test object 11 is set. The air introduction control device 32 controls the valve V6 based on a signal from the control signal generator 22. The exhaust control device 25 also controls the main valve VR based on a signal from the control signal generator 22. Further, the exhaust control device 25
Is externally supplied with an exhaust control command signal, and the air introduction control device 32 and the valve network control device 26 are externally supplied with an air introduction command signal in the chamber.
【００２７】次に、このように構成された本実施例に係
る漏洩試験装置の動作について説明する。先ず、真空チ
ャンバ１２内に被試験体１１を装入し、パイプＰ１と被
試験体１１とを連結する。また、差圧設定器２３に、被
試験体１１に応じた差圧を設定する。その後、排気ポン
プ２８，３３を駆動する。外部（例えば、制御盤等）か
ら排気制御指令信号が与えられると、排気制御装置２５
はバルブＶＲを駆動して、チャンバ１２の内部空間を排
気ポンプ２８に連通させる。また、バルブネットワーク
制御装置２６は、被試験体１１の内部空間を排気ポンプ
３３に連通させる。これにより、被試験体１１内及びチ
ャンバ１２内から排気される。このとき、差圧計２１は
被試験体１１内の圧力とチャンバ１２内の圧力との差圧
を検出しており、その結果を制御信号発生器２２に出力
している。制御信号発生器２２は、差圧計２１から与え
られる信号と差圧設定器２３から与えられる信号とに基
づいて、制御信号を発生し、排気制御装置２５、エアー
導入制御装置３２及びバルブネットワーク制御装置２６
に出力する。例えば、被試験体１１内の圧力がチャンバ
１２内の圧力よりも高く、その差圧が設定された値を超
えた場合、制御信号発生器２２はバルブＶＲの開度を小
さくすべく排気制御装置２５に信号を出力し、排気制御
装置２５はこの信号によってバルブＶＲの開度を小さく
する。一方、被試験体１１内の圧力がチャンバ１２内の
圧力よりも低くその差圧が設定された値を超えた場合
は、制御信号発生器２２の出力に基づき、排気制御装置
２５はバルブＶＲの開度を大きくし、バルブネットワー
ク２６はその内部のバルブの開度を小さくする。このよ
うにして、被試験体１１内の圧力とチャンバ１２内の圧
力との差圧を設定値以下に維持しつつ、被試験体１１内
及びチャンバ１２内を排気する。Next, the operation of the leakage test apparatus according to the present embodiment having the above configuration will be described. First, the device under test 11 is loaded into the vacuum chamber 12, and the pipe P1 and the device under test 11 are connected. Further, the differential pressure setting unit 23 sets a differential pressure according to the DUT 11. Thereafter, the exhaust pumps 28 and 33 are driven. When an exhaust control command signal is given from outside (for example, a control panel or the like), the exhaust control device 25
Drives the valve VR to communicate the internal space of the chamber 12 with the exhaust pump 28. Further, the valve network control device 26 makes the internal space of the device under test 11 communicate with the exhaust pump 33. As a result, the air is exhausted from the test object 11 and the chamber 12. At this time, the differential pressure gauge 21 has detected the differential pressure between the pressure in the device under test 11 and the pressure in the chamber 12, and outputs the result to the control signal generator 22. The control signal generator 22 generates a control signal based on a signal provided from the differential pressure gauge 21 and a signal provided from the differential pressure setting device 23, and controls the exhaust control device 25, the air introduction control device 32, and the valve network control device. 26
Output to For example, when the pressure in the device under test 11 is higher than the pressure in the chamber 12 and the pressure difference exceeds a set value, the control signal generator 22 controls the exhaust control device to reduce the opening of the valve VR. A signal is output to the exhaust control device 25, and the exhaust control device 25 decreases the opening degree of the valve VR based on the signal. On the other hand, when the pressure in the device under test 11 is lower than the pressure in the chamber 12 and the differential pressure exceeds a set value, the exhaust control device 25 controls the valve VR based on the output of the control signal generator 22. The opening is increased, and the valve network 26 reduces the opening of the valve therein. In this way, the inside of the test object 11 and the inside of the chamber 12 are evacuated while maintaining the pressure difference between the pressure in the test object 11 and the pressure in the chamber 12 at or below the set value.
【００２８】次に、バルブネットワーク制御装置２６
は、外部から排気制御装置２５を介して与えられるトレ
ーサガス置換制御指令信号Ｓに基づき、内部のバルブを
切り替えて、パイプＰ４をＨｅガスボンベ２４に連結す
る。これにより、被試験体１１内にＨｅガスが充填され
る。このようにして、被試験体１１の内側の圧力と外側
の圧力との差圧を被試験体１１に破損が生じない程度
（例えば、１気圧以下：約１００ｋＰａ以下）に維持し
つつ、チャンバ１２内の圧力をＨｅリークディテクタ２
９が稼動可能な圧力（例えば、１０ｍｂ以下）まで低下
したときに、バルブＶＲを閉じ、バルブＶｓを開にす
る。なお、このとき、バルブＶＲを閉にしないで、真空
チャンバ１２内の排気を継続していてもよい。Next, the valve network control device 26
Connects the pipe P4 to the He gas cylinder 24 by switching an internal valve based on a tracer gas replacement control command signal S externally given via the exhaust control device 25. Thus, the test object 11 is filled with the He gas. In this manner, while maintaining the pressure difference between the inner pressure and the outer pressure of the DUT 11 at a level that does not cause damage to the DUT (for example, 1 atm or less: about 100 kPa or less), the chamber 12 Pressure inside the He leak detector 2
When the pressure decreases to a level at which 9 can operate (for example, 10 mb or less), the valve VR is closed and the valve Vs is opened. At this time, the evacuation of the vacuum chamber 12 may be continued without closing the valve VR.
【００２９】被試験体１１に漏洩箇所がある場合は、被
試験体１１内に導入されたＨｅガスがこの漏洩箇所を介
して被試験体１１から排出され、真空チャンバ１２内の
空間に出てくる。そして、真空チャンバ１２内のＨｅガ
ス濃度がリークディテクタ２９により検出される。この
検出信号は配線３０を介して判定装置に送出される。こ
のようにして、被試験体１１に対する漏洩試験を実施す
ることができる。If there is a leak in the DUT 11, the He gas introduced into the DUT 11 is discharged from the DUT 11 through the leak and exits into the space in the vacuum chamber 12. come. Then, the He gas concentration in the vacuum chamber 12 is detected by the leak detector 29. This detection signal is sent to the determination device via the wiring 30. In this manner, a leak test can be performed on the device under test 11.
【００３０】漏洩試験終了後は、被試験体１１の内側と
外側との差圧を設定値以下に維持しつつ、被測定体１１
及びチャンバ１２内に空気を導入する。即ち、外部から
与えられるチャンバ内エアー導入指令信号により、エア
ー導入制御装置３２はバルブＶ６を開にして、チャンバ
１２内にエアーを導入する。また、バルブネットワーク
制御装置２６は、チャンバ内エアー導入指令信号により
その内部のバルブを切り替えて、被試験体１１内にエア
ーを導入する。このとき、差圧計２１の出力に基づいて
制御信号発生器２２から信号が出力され、この信号に応
じてエアー導入制御装置３２及びバルブネットワーク制
御装置２６が作動し、バルブＶ６及びバルブネットワー
ク制御装置２６内のバルブ開度が調整される。これによ
り、被試験体１１内の圧力とチャンバ１２内の圧力との
差圧が差圧設定器２３に設定された値以下に維持され
る。このようにして、被試験体１１内及びチャンバ１２
内の圧力が大気圧になった後、被試験体１１をチャンバ
１２から取り出す。After the end of the leak test, the pressure difference between the inside and outside of the test object 11 is maintained at a set value or less, and
And introducing air into the chamber 12. That is, the air introduction control device 32 opens the valve V6 and introduces air into the chamber 12 in response to an in-chamber air introduction command signal given from the outside. Further, the valve network control device 26 switches the internal valve according to the air introduction command signal in the chamber, and introduces air into the device under test 11. At this time, a signal is output from the control signal generator 22 based on the output of the differential pressure gauge 21, and the air introduction control device 32 and the valve network control device 26 operate according to this signal, and the valve V6 and the valve network control device 26 The valve opening inside is adjusted. As a result, the pressure difference between the pressure in the device under test 11 and the pressure in the chamber 12 is maintained at or below the value set in the pressure difference setting device 23. In this way, the inside of the DUT 11 and the chamber 12
After the internal pressure reaches the atmospheric pressure, the device under test 11 is taken out of the chamber 12.
【００３１】本実施例においては、被試験体１１の内側
と外側との差圧を被試験体の強度等に応じて設定された
設定値以下に維持しつつ被試験体１１内及びチャンバ１
２内を減圧するから、被試験体１１の変形、破損及び大
漏れの発生を回避しつつ、被試験体１１の漏洩試験を実
施することができる。また、差圧の調整は、差圧計の出
力の基き、バルブネットワーク制御装置２６、エアー導
入制御装置３２及び排気制御装置２５がバルブの開度を
制御することにより行うので、作業者による操作が不要
であり、作業性が優れている。更に、本実施例装置は、
漏洩が予想される部分の近傍にディテクタを配置して漏
洩を調べる従来のスニファー式の漏洩試験装置と異な
り、被試験体１１からの漏洩を全体的に調べることがで
きるため、漏洩試験の信頼性が高いと共に、１個の被試
験体の試験に要する時間が短く、大量の被試験体を試験
する場合に好適である。更に、漏洩試験の自動化も容易
である。In the present embodiment, the pressure difference between the inside and outside of the test object 11 is maintained while maintaining the pressure difference between the inside and the outside of the test object 11 at or below a set value set according to the strength of the test object.
Since the inside of the test piece 2 is decompressed, a leak test of the test piece 11 can be performed while avoiding the deformation, breakage and large leakage of the test piece 11. Further, the adjustment of the differential pressure is performed by controlling the opening degree of the valve by the valve network control device 26, the air introduction control device 32, and the exhaust control device 25 based on the output of the differential pressure gauge. And workability is excellent. Further, the apparatus of this embodiment is
Unlike a conventional sniffer-type leak test apparatus in which a detector is arranged near a portion where a leak is expected to check for leaks, the leak from the DUT 11 can be checked as a whole. Is high and the time required for testing one test object is short, which is suitable for testing a large number of test objects. Further, automation of the leak test is easy.
【００３２】なお、上述の実施例においては、被試験体
の内側と外側との差圧の検出を差圧計により行う場合に
ついて説明したが、その外に、差圧スイッチにより差圧
を検出してもよいし、被試験体の内側と外側との圧力を
２つの圧力計を用いて個別的に測定しその両方の圧力計
の出力から差圧を求めてもよい。In the above-described embodiment, the case where the differential pressure between the inside and the outside of the test object is detected by the differential pressure gauge has been described. In addition, the differential pressure is detected by the differential pressure switch. Alternatively, the pressures inside and outside the test object may be individually measured using two pressure gauges, and the differential pressure may be obtained from the output of both pressure gauges.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、被
試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を所定値以
下に維持しつつ前記被試験体内及びチャンバ内を排気
し、その後前記チャンバ内にトレーサガスを導入するか
ら、燃料タンク及びドラム等の軟弱な容器並びにエンジ
ン本体等の漏洩試験に適用しても、被試験体の変形、破
損及び大漏れの発生を回避することができる。As described above, according to the present invention, the device under test and the chamber are evacuated while maintaining the pressure difference between the pressure in the device under test and the pressure in the chamber below a predetermined value. Since the tracer gas is introduced into the chamber, even when applied to a leak test of a soft container such as a fuel tank and a drum and an engine body, it is possible to avoid the deformation, breakage, and occurrence of a large leak of the test object. it can.
【００３４】また、本発明装置によれば、差圧検出手段
が被試験体内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を検出
し、その検出結果に基づいて、差圧調整手段が被試験体
内の圧力とチャンバ内の圧力との差圧を調整するから、
上述の方法を実現することができて、被試験体の変形、
破損及び大漏れの発生を防止することができる。According to the apparatus of the present invention, the differential pressure detecting means detects the differential pressure between the pressure in the test object and the pressure in the chamber, and based on the detection result, the differential pressure adjusting means detects the differential pressure in the test object. To adjust the pressure difference between the pressure in the chamber and the pressure in the chamber.
The above-mentioned method can be realized, and the deformation of the test object,
The occurrence of breakage and large leakage can be prevented.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】 本発明の第１の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a leak test apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の第２の実施例に係る漏洩試験装置を
示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a leak test apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図３】 並列に設けられたバルブを示す模式図であ
る。FIG. 3 is a schematic view showing valves provided in parallel.
【図４】 従来の真空吹き付け式漏洩検出装置を示す模
式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a conventional vacuum spray type leak detection device.
【図５】 従来の真空フード式漏洩試験装置を示す模式
図である。FIG. 5 is a schematic view showing a conventional vacuum hood type leak test apparatus.
【図６】 従来の真空内圧式漏洩試験装置を示す模式図
である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a conventional vacuum internal pressure type leak test apparatus.
【図７】 従来のスニファー式漏洩試験装置を示す模式
図である。FIG. 7 is a schematic view showing a conventional sniffer type leak test apparatus.
【図８】 従来の積分式漏洩試験装置を示す模式図であ
る。FIG. 8 is a schematic view showing a conventional integral type leak test apparatus.
１，１１…被試験体、２，２９…リークディテクタ、
３，１５，１６，２８，３３…ポンプ、４，２４…Ｈｅ
ボンベ、１２…チャンバ、１３…トレーサガス検知器、
１４，２１…差圧計、２２…制御信号発生器、２３…差
圧設定器1, 11: test object, 2, 29: leak detector,
3,15,16,28,33 ... pump, 4,24 ... He
Cylinder, 12 ... chamber, 13 ... tracer gas detector,
14, 21: Differential pressure gauge, 22: Control signal generator, 23: Differential pressure setting device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−122234（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−124782（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/32 G01M 3/20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-122234 (JP, A) JP-A-5-122482 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01M 3/32 G01M 3/20
Claims (3)
被試験体からのトレーサガスの漏れを検出する漏洩試験
方法において、前記被試験体をチャンバ内に格納する工
程と、前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力と
の差圧を検出しこの差圧を前記被試験体に応じて設定さ
れた所定の範囲内に維持しつつ前記被試験体内及び前記
チャンバ内を排気する工程と、前記被試験体内の圧力と
前記チャンバ内の圧力との差圧を検出しこの差圧を前記
被試験体に応じて設定された所定の範囲内に維持しつつ
前記被試験体内に前記トレーサガスを導入する工程と、
前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との差圧
を検出しこの差圧を前記被試験体に応じて設定された所
定の範囲内に維持しつつ前記被試験体内及び前記チャン
バ内に空気を導入する工程とを有することを特徴とする
漏洩試験方法。In a leak test method for introducing a tracer gas into a device under test and detecting a leak of the tracer gas from the device under test, a step of storing the device under test in a chamber; Detecting a pressure difference between a pressure and a pressure in the chamber, and exhausting the test object and the chamber while maintaining the pressure difference within a predetermined range set in accordance with the test object; The pressure in the test object and
Detecting a pressure difference between the pressure in the chamber and the pressure difference;
A step of introducing the tracer gas into the test object while maintaining it within a predetermined range set according to the test object ;
Differential pressure between the pressure in the test object and the pressure in the chamber
Is detected, and the differential pressure is set at a location set according to the test object.
The test object and the chamber are maintained within a predetermined range.
A step of introducing air into the chamber.
と、このチャンバ内を排気可能のチャンバ内排気手段
と、前記被試験体内を排気可能の被試験体内排気手段
と、前記被試験体の内部にトレーサガスを導入可能のト
レーサガス導入手段と、前記チャンバに連結されてチャ
ンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段
と、前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との
差圧を検出する差圧検出手段と、この差圧検出手段によ
る差圧検出結果に基づき前記チャンバ内及び前記被試験
体内を排気するとき並びに前記被試験体内に前記トレー
サガスを導入するときの前記被試験体内の圧力と前記チ
ャンバ内の圧力との差圧を予め設定された範囲内に調整
する差圧調整手段と、を有することを特徴とする漏洩試
験装置。2. A chamber capable of hermetically storing a device under test, exhaust means in the chamber capable of exhausting the inside of the chamber, exhaust device exhausting the device under test capable of exhausting the device under test, and the device under test A tracer gas introducing means capable of introducing a tracer gas into the chamber; a tracer gas detecting means connected to the chamber for detecting a tracer gas in the chamber; and a difference between a pressure in the test object and a pressure in the chamber. A pressure difference detecting means for detecting pressure; and a pressure sensor for evacuating the chamber and the device under test based on a result of the pressure difference detection by the pressure difference detecting device, and for introducing the tracer gas into the device under test. A leak test apparatus comprising: a differential pressure adjusting unit that adjusts a differential pressure between a pressure in a test body and a pressure in the chamber within a predetermined range.
に前記被試験体及び前記チャンバ内に空気を導入すると
きの前記被試験体内の圧力と前記チャンバ内の圧力との
差圧を予め設定された範囲内に調整することを特徴とす
る請求項２に記載の漏洩試験装置。 3. The method according to claim 2, wherein said differential pressure adjusting means further comprises :
When air is introduced into the test object and the chamber
Between the pressure in the test object and the pressure in the chamber
The differential pressure is adjusted within a preset range.
The leak test apparatus according to claim 2.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP25189793A JP3348484B2 (en) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | Leak test method and leak test device |
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| JPH07103845A JPH07103845A (en) | 1995-04-21 |
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