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JP3281390B2 - 「光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法」 - Google Patents

「光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法」

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JP3281390B2
JP3281390B2 JP53819299A JP53819299A JP3281390B2 JP 3281390 B2 JP3281390 B2 JP 3281390B2 JP 53819299 A JP53819299 A JP 53819299A JP 53819299 A JP53819299 A JP 53819299A JP 3281390 B2 JP3281390 B2 JP 3281390B2
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disk
bonding
vacuum suction
adhesive
optical
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健 宮野
昇 村上
裕一 藤田
正明 佐野
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Original Assignee
Global Machinery Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 この発明は、二枚の光ディスクの貼り合わせ装置及び
貼り合わせ方法に関し、更に詳細には、ディスクテーブ
ルに載置された接着剤塗布済みのディスクに対して、ア
ームに吸着保持されたもう一枚のディスクを重ね合わせ
たときに、二枚のディスク間に閉塞空間が形成されるよ
うに構成し、この閉塞空間を真空吸引することによっ
て、前記接着剤に気泡を混入させることなく、かつ平坦
に、ディスクを貼り合わせるができる、光ディスク貼り
合わせ装置及び貼り合わせ方法に関する。
背景技術 従来から、二枚の光ディスクを貼り合わせるための装
置又は貼り合わせる方法に関しては、貼り合わせ装置自
体を囲むように設けられたチャンバー内の空気を真空吸
引することによって行なう種々の技術が、提案されてい
る。
例えば、特開平８−273213号報に開示された第１の従
来技術、特開平９−198720号報に開示された第２の従来
技術が挙げられる。以下、これらの従来技術について、
具体的に説明する。
図７に示す第１の従来技術（特開平８−273213号報）
は、保護膜によって、ディスク外周部が厚くなることの
ないようにするために開発された技術である。
即ち、貼り合せるべき一対の片面ディスク21、22それ
ぞれのピット面の反射膜上に保護膜を形成し、少なくと
もいずれか一方の片面ディスクの貼り合わせ面に接着剤
を塗布した後、この一対の片面ディスク21,22の接着面
同士を突き合わせて圧着プレスするようにした貼り合わ
せディスクの製造方法と装置20において、圧着テーブル
25,26をお覆うような大きさの真空槽26を用いて、図示
しない真空ポンプで真空チャンバー26内の空間28を真空
吸引して真空状態とする。その後、ロッド29に固着され
た圧着テーブル24を下降させることにより、上下の圧着
テーブル23、24のプレス面に形成されたリング状突起2
5、26でディスク21,22の外周部27をまず圧着プレスし、
次いでディスク21,22の全面を貼り合わせていく、とい
う技術である。
図８に示す第２の従来技術（特開平８−21706号報）
は、重ね合せたディスク31の接着剤中或いはディスク31
間中に混入する気泡をより良好に除去する等を目的とし
て開発された技術である。
即ち、重ね合わせディスク31の貼り合わせ方法におい
て、加圧装置30に、チャンバー32により覆われて形成さ
れた密閉空間33内に、軸部39に固着された上部プレス板
37と下部プレス板38の間に挟まれて重ね合わされたディ
スク31を位置させ、この密閉空間33を真空引管34で真空
引きした際、この密閉空間33を形成する剛体のチャンバ
ー33に対して加わる外部からの圧力によって、チャンバ
ー32をシールしているＯリング35を変形させ、このＯリ
ング35の変形に伴うシール間隔36の小さくなる分だけ重
ね合わせディスク31を加圧する。それによって、上記真
空引きによる空気吸引が上記重ね合わせディスク31の接
着剤内の気泡を外部へ吸引せしめるという技術である。
また、図９に示す特開平３−245331号報に開示され
た、第３の従来技術は、接着剤層中の気泡を排除すると
ともに、接着剤層の厚みが均一になるように工夫して、
ディスク43、44の平面性を良好に維持するために開発さ
れた技術である。
即ち、一対のディスク43、44の少なくとも一枚に接着
剤を塗布し、上記一対のディスク43、44を上記接着剤が
塗布された面が内側となるように相対向させ、少なくと
も一方のディスク44を中心部が他方のディスク43側に膨
出するように反らせて変形させ、上記一対のディスク4
3,44を中心部より外周部側に向かって順次接合させる。
そして、全面にわたって接合された上記一対のディスク
43,44に対して加圧して貼り合わせるという技術であ
る。
しかしながら、前記した従来技術にあっては、以下の
ような課題があった。
即ち、第１、第２の従来技術では、いずれもディスク
プレートを覆うような大きな容積の真空チャンバー26,3
2を採用しているため、装置自体が大掛かりとなって、
装置のコストが高くなる。また、この種の真空チャンバ
ー26、32では、内部体積が大きいことから、真空吸引す
る吸引力を大きくする必要があるとともに、所定の圧力
条件にするための吸引時間も長く、作業効率も悪かっ
た。
また、第３の技術では、一方のディスク44を反らせて
ディスク43,44を貼り合わせる手段を採用することによ
り、ディスク43、44間の空気を外側に追い出すことに関
しては一定の効果を得たが、接着剤上に混入する気泡を
有効に除去するという点においては、ディスク44がディ
スク43に重なる時間が遅いこと、ディスク43、44の周辺
に空気が十分に存在すること等に起因して、充分とは言
えなかった。
そこで、本発明の目的は、ディスク貼り合わせ技術に
おける真空吸引技術の有効性に鑑み、この真空吸引を簡
易な構成で実現するとともに、接着剤への気泡の混入を
確実に防止できる光ディスク貼り合わせ装置及び貼り合
わせ方法を提供することにある。
発明の開示 以上の目的を達成するため、以下の発明を採用する。
請求の範囲第１項に係る光ディスク貼り合わせ装置で
は、接着剤が塗布された第１ディスクに対して第２ディ
スクを重ね合わせて、二枚の光ディスクを貼り合わせる
装置において、前記第２ディスクを、該第２ディスクに
対向する前記第１ディスク側方向と反対方向へ膨出する
ように湾曲させて吸着保持しつつ、前記第１ディスクに
重ね合わせる構成とする。そして、前記第１ディスクと
前記第２ディスクの互いの外側領域が当接されることに
よって両ディスク間に形成される閉塞空間を、前記第１
ディスクの中央孔及び第２ディスクの中央孔に嵌入する
センターピンに形成された真空吸引孔から真空吸引す
る。
この発明では、第２ディスクの第１ディスクに対向す
る面を、この第１ディスクと反対側へ膨出するように湾
曲させて吸着保持しながら、第２ディスクをディスクテ
ーブルに配置されて待機している第１ディスクに重ね合
わせることによって、第１ディスクと第２ディスクの間
に、皿を伏せたような形状の空間を形成できる。
この空間を周囲から閉塞して、該空間内の空気を、第
１ディスクの中央孔及び第２ディスクの中央孔に嵌入し
閉塞空間内部に臨んでいるセンターピンに形成された真
空吸引孔から真空吸引すれば、この閉塞空間は、真空チ
ャンバー同様の作用を発揮するため、第２ディスクは、
第１ディスク側に吸引されて、第１ディスク上に塗布さ
れた接着剤上に接着させることができる。しかも、この
閉塞空間は、従来の真空チャンバー内の容積と比較し
て、極めて少容積であるので、真空吸引を短時間で行な
うことができる。
また、この第１ディスクと第２ディスクの間に形成さ
れた閉塞空間の真空吸引によれば、第２ディスクが、第
１ディスク上の接着剤に極めて速やかに着接するので、
接着剤に気泡を混入することがなくなる。
更に、ディスクを載置するテーブルや保持するアーム
等のなどのディスク周辺部材全体を囲んで形成する、大
掛かりな真空チャンバーを形成する必要が全くなくな
る。
請求の範囲第２項に係る光ディスク貼り合わせ装置で
は、請求の範囲第１項に記載された第２ディスクを、該
第２ディスクの外側領域に当接するリング状の凸部と、
前記第２のディスクの中央孔近傍領域を吸引するリング
状の第２ディスク吸着部と、が形成されたディスク保持
部を備えたアームによって吸着保持して、前記第１ディ
スクに重ね合わせる構成とする。そして、前記第２ディ
スク吸着部の端面を、前記凸部端面よりも引き込んだ位
置で前記第２ディスクを吸着することで、該第２ディス
クに対向する第１ディスク側方向と反対方向へ膨出させ
る。
この発明では、第２ディスクを吸着保持して第１ディ
スクに重ね合わせる役割を果たすアームのディスク保持
部が、前記第２ディスクを、該第２ディスクに対向する
第１ディスクと反対側へ膨出するように湾曲させる作用
を有効に果たしている。
即ち、このディスク保持部に設けられたリング状の凸
部が、第２ディスクの外側領域に当接して、第２ディス
クの外周部位置を維持するように作用するとともに、同
ディスク保持部に設けられたリング状の第２ディスク吸
着部が、第２ディスクの内側領域をアーム側に引き込ん
で吸着する作用を果たすことによって、第２ディスク
を、皿に伏せたような形状に湾曲させる。
請求の範囲第３項に係る発明では、湾曲された請求の
範囲第１項又は第２項に記載された、前記ディスク保持
部に吸着保持された前記第２ディスクの中央孔の内周壁
面を、前記第１ディスクを載置するディスクテーブルの
中央に形成され、該第１ディスクの中央孔に嵌入される
センターピンの外周部に当接させて、前記閉塞空間を形
成する。
この発明では、第２ディスクの中央孔の内周壁面を、
第１ディスクを載置するディスクテーブルの中央に形成
され、該第１ディスクの中央孔に嵌入されるセンターピ
ンの外周部に隙間なく当接させることで、第１ディスク
と前記第２ディスクの間に形成される閉塞空間を確実に
密閉する。これにより、閉塞空間の少容積下と密閉性を
確保することができるので、ディスクテーブルの従来形
状を利用した簡易な手段で真空吸引を速やかに行うこと
ができる。
請求の範囲第４項に係る発明では、請求の範囲第３項
に記載された第２ディスク吸着部で取り囲まれた内側空
間が、前記第２ディスクの中央孔の内周壁面が前記セン
ターピンの外周に当接したときに、密閉されるように形
成する。
この発明では、アームで保持された第２ディスクの中
央孔の内周壁面が、センターピンの外周部に当接された
際に、該当接部分に万が一隙間が形成された場合であっ
ても、該隙間に連通する、第２ディスク吸着部で取り囲
まれた内側空間を閉塞させておくことによって、第１デ
ィスクと第２ディスクの間に形成される閉塞空間の密閉
性を担保して、真空吸引を確実に行なうことができるよ
うにする。
請求の範囲第５項に係る発明では、第２ディスクを吸
着する、アームの第２ディスク吸着部のディスク吸引力
に対する、センターピンの負圧吸引孔からの真空吸引力
の大きさを調整するための制御手段を設ける。
この発明では、閉塞空間を介して第１ディスクに対向
する第２ディスクが、閉塞空間の真空吸引によって第２
ディスク吸着部を離れ、第１ディスク側に移動する際の
速度、時間、第１ディスク上の接着剤に対する加圧力
を、簡易な手段で調整することが可能になる。
即ち、第２ディスク吸着部によるディスク吸引力を一
定に維持しながら、真空吸引力のみを変化させるという
簡易な手段により、ディスク吸引力に対する真空吸引力
の大きさを自在に変化させることができる。
請求の範囲第６項に係る発明では、接着剤が塗布され
た第１ディスクに対して第２ディスクを重ねて二枚の光
ディスクを貼り合わせる方法において、 第２ディスクを対向する前記第１ディスク側と反対方
向へ膨出させるように湾曲させて、前記第２ディスクを
アームで吸着保持する第２ディスク保持工程と、吸着保
持された第２ディスクの外側領域を、前記第１ディスク
の外側領域に当接させるディスク重ね合わせ工程と、前
記第１ディスクと第２ディスクの間に形成された閉塞空
間の空気を吸引する真空吸引工程と、前記真空吸引工程
によって前記第２ディスクが、前記第１ディスク上に塗
布され接着剤に着接するディスク接着工程と、から構成
する。
この発明では、第１ディスクと第２ディスクの間に閉
塞空間を形成する工程に続き、この少容積の閉塞空間を
真空吸引する工程を採用しているため、第２ディスクを
第１ディスク上に塗布された接着剤上に速やかに着接さ
せることが可能となる。
請求の範囲第７項に係る発明では、請求の範囲第６項
に記載の真空吸引工程を、前記第１ディスクに嵌入して
前記閉塞空間内に臨んでいる、前記ディスクテーブルの
前記センターピンの外周部に開口形成された真空吸引項
を介して、真空吸引する。
この発明では、閉塞空間内に臨むディスクテーブルの
センターピンの外周部を有効に活用し、該外周部に真空
吸引項を設けて、閉塞空間の真空吸引を行なう構成とし
たため、より簡易な構成の光ディスク貼り合わせ方法を
提供できる。
請求の範囲第８項に係る発明では、請求の範囲第７項
に記載の真空吸引工程において、前記第２ディスクのデ
ィスク吸引力に対する、前記真空吸引項からの真空吸引
力を調整するための制御工程を設ける。
この発明では、真空吸引工程において、真空吸引力の
強さを調整することにより、第１ディスクに対向する第
２ディスクが、閉塞空間の真空吸引によって第２ディス
ク吸着部を離れて第１ディスク側に移動する際の速度、
時間、第１ディスク上の接着剤に対する加圧力等を、簡
易な手段で調整することが可能になる。
請求の範囲第９項に係る手段では、請求の範囲第６項
から第８項のいずれかに記載の光ディスク貼り合わせ方
法のディスク接着工程においては、前記第２ディスクが
前記接着剤に着接するときに、前記アームを、前記ディ
スクテーブルから離れるように移動させる。
この発明により、第２ディスクが、第１ディスク上の
接着剤上に着接したときに、アーム部材の干渉を回避し
て、第２ディスクの平面性を確保する。
請求の範囲第10項に係る発明では、請求の範囲第９項
に記載のディスク接着工程で、前記第２ディスクが前記
接着剤に着接するときに、前記ディスクテーブルを回転
させる。
この発明により、ディスクテーブルを回転により生ず
る遠心力が、接着剤を広げるように作用するため、接着
剤の厚みが一定化されて、ディスクの平面性が確保でき
るようになる。
図面の簡単な説明 図１は、光ディスクの貼り合わせ及び接着工程の流れ
を、簡潔に示す図、図２は、本発明に係る光ディスク貼
り合わせ装置１の略全体を示す縦断面図、図３は、同装
置の第２ディスクを保持するアーム３と第１ディスクを
固定するディスクプレート２の周辺を示す図で、アーム
３が第２ディスクを保持してディスクプレート２の上方
に位置している様子を示す図、図４は、アーム３の部分
断面図、図５は、アーム３が第２ディスクを保持してデ
ィスクプレート２の上方に近接し、第１ディスクD1と第
２ディスクD2の外側領域が当接し、両ディスクD1,D2間
に閉塞空間５を形成している様子を示す図，図６は、デ
ィスクプレート２に固定された第１ディスクD1上に接着
剤を介して第２ディスクD2が重ね合わされるとともに、
第２ディスクD2を離したアーム３が上昇している様子を
示す図、である。
発明を実施するための最良の形態 以下、本発明の好ましい実施の態様につき、添付図面
を参照して詳細に説明する。
DVD（デジタルビデオディスク）等の光ディスク製造
工程は、ディスク成型、冷却工程、スパッターリング工
程（記録膜及び反射膜形成工程）に続く、光ディスク貼
り合わせ工程、ディスク接着工程（接着剤硬化工程）、
検査工程を経て行われる。本発明は、上記光ディスク製
造工程の中の、光ディスク貼り合わせ工程に関するもの
である。
まず、光ディスク貼り合わせ工程周辺の光ディスク製
造工程の流れを、図１に基づいて、簡略に説明する。
図示しないスパッターリング工程を終えた光ディスク
（以下「ディスク」という。）は、並設されたディスク
スタックポール14a、14bに対して、それぞれ二枚一組単
位のディスクD0とされて、積層されている。
このディスクD0は、ディスクの読み取り面側がともに
上方に向くように重ね合わされた上下二枚一組のディス
クであって、ディスク間には小円板のスペーサＳが介装
されたものである。尚、スペーサＳは、該スペーサＳの
厚みで、重ね合わされた上下のディスクを離間させる役
割を果たす。これにより、上下のディスクが接触等で傷
つかないようにするとともに、ディスクを一枚ずつ吸着
して、後続の搬送工程（U2,T2）へ移載し易くする。
スタックボール14a、14bに積層された各ディスクD0の
ディスクは、読み取り面を上側にしたままの状態で、各
スタックポール14a、14bに隣接されたディスク搬送テー
ブル（図示せず）に移載される。そして、図示しない搬
送レール上を、後続のディスク貼り合わせ装置１に向け
て搬送されていくことになる（搬送工程U2,T2）。
ここで、搬送工程T2では、接着剤４が塗布される第２
ディスクをディスク貼り合わせ装置１に供給する工程で
あることから、該工程T2の途中において、ディスクの読
み取り面が下側（記録面が上側）になるように反転させ
られ（符号T3に示すディスク反転工程）、接着剤塗布工
程T4に至るようにされている。即ち、読み取り面側に接
着剤４が塗布されないようにされている。
このように、搬送工程T2によって搬送供給されるディ
スクは、後続のディスク貼り合わせ装置１において、接
着剤４がディスク上面に塗布されて下側に待機する第１
ディスクD1とされ、搬送工程U2によって搬送供給される
ディスクは、同貼り合わせ装置１において、前記第１デ
ィスクの上方から所定方向（後述）で重ね合わされるこ
とになる第２ディスクD2とされる。
尚、各ディスクD0のスペーサＳは、スタックポール14
a、14bから等距離位置に配設された専用のスペーサスタ
ックポール13に対して、図示しない所定のアームで吸着
移載されて、順次積層されていくようにされている（符
号U1、T1で示す工程）。
次に、接着剤塗布工程T4では、所定のノズル15によっ
て、第１ディスクD1をゆっくり回転させながら、第１デ
ィスクD1の上面（記録面）に周状に接着剤４が塗布され
る。尚、接着剤４は、適宜選択できるが、本実施例で
は、紫外線硬化性樹脂製の接着剤を採用している。
接着剤４が塗布された第１ディスクD1は、図示しない
移載アームによって、ディスク貼り合わせ装置１を構成
するディスクテーブル２に載置されて（符号T5で示すデ
ィスク移載工程）、第２ディスクD2が来るのを待機す
る。
一方、第２ディスクD2は、図示しない搬送レールによ
って行われるディスク搬送工程U2を経て、ディスク貼り
合わせ装置１を構成するアーム２によって、所定形状
（後述）に吸着保持され、第１ディスクD1が載置された
ディスクテーブル２上に移動してくる。
そして、後に詳述するディスク貼り合わせ工程P1を経
て形成され、第１ディスクD1と第２ディスクが接着剤４
を介装して貼り合わされた状態のディスクD3は、接着剤
硬化用テーブル16に移載（符号P2で示す移載工程）され
て、紫外線照射ランプ17の下方に至る。
ディスクD3は、ディスクの平面性を確保しながら、互
いに圧着等されることにより、ディスクD1,D2間に介装
された接着剤４が広がるとともに、ランプ17で紫外線照
射されて、接着剤４を硬化され、接着固定される（符号
P3で示す紫外線照射工程）。
二枚のディスクが接着固定されているディスクD4は、
読み取り面が上になるように反転されて（符号P4で示す
反転工程）、検査工程P5に入る。検査工程P5では、二枚
のディスクD1,D2の接着度合いや平面性を判断して、良
否を見極め、良品ディスクD6と不良品ディスクD7を、そ
れぞれ載置テーブル18a、18bに振り分ける。
以下、ディスク貼り合わせ工程P1における、本発明に
係るディスク貼り合わせ装置および貼り合わせ方法の好
適な実施形態について詳述する。
まず、図２は、ディスク貼り合わせ装置１の全体構成
を、縦断面図で示しており、本装置１は、下側に配置さ
れる断面略Ｔ字状のディスクテーブル２と、該ディスク
テーブル２の上方に配置されたアーム３と、から構成さ
れている。
前記ディスクテーブル２の平坦なテーブル上面202の
中央には、偏平な略円柱状のセンターピン201が突設さ
れている。このセンターピン201が、接着剤４が塗布さ
れて移載されてくる第１ディスクD1の中央孔305に嵌入
することによって位置決めされて、テーブル上面202に
第１ディスクD1が載置される。
センターピン201の外周部2011下部に、具体的には、
外周部2011下部の少なくとも第１ディスクD1の厚み分よ
り上方側に臨む部分に開口するように、真空吸引孔23が
周方向等間隔に複数（図2,3,5では、４個所）設けられ
ている。この各真空吸引孔23は、ディスクテーブル２を
支持するシャフト10内部に、上下方向に円筒状に形成さ
れた吸引路７に連通されている。
ここで、符号８は、吸引路７に連設する吸引部材、符
号９は、テーブル上面202に開口するディスク固定用吸
引孔204から空気を吸引するための吸引部材を示しい
る。真空吸引孔23を介して閉塞空間５の真空吸引と、デ
ィスク固定用吸引孔204からの吸引は、図示しない別個
の真空センサによって真空度を計測する構成とされ、真
空吸引孔23の真空吸引力を単独で調整し易いように工夫
されている。
尚、符号12は、シャフト10を保持するハウジングを、
符号11は、シャフト10を回転可能に支持するベアリング
を、符号205は、テーブル取り付け用ビスを示してい
る。
続いて、図３は、アーム３が第２ディスクD2を吸着保
持して、第１ディスクD1が載置されたディスクプレート
２の上方に対向している様子を拡大して示している。
アーム３は、略逆Ｔ字状の形状を備え、該アーム３の
略円盤状に広がる下端部304の下面側には、第２ディス
クD2を吸着保持する役割を果たすディスク保持部306
が、ディスクプレート２のディスク載置面202に対向す
るように形成されている。
ディスク保持部306の最外周部には、リング状に形成
された凸部301が、下方側に向けて突設されている。ま
た、ディスク保持部306の中心方向内側には、リング状
に突起する第２ディスク吸着部302が形成されている。
この第２ディスク吸着部302には、第２ディスクD2の
中央孔305やや外側領域の上面D2bを負圧吸引するリング
状の吸引孔303が、上下方向に貫通して形成されてい
る。
ここで、第２ディスク吸着部302の端面3021は、前記
凸部301の端面3011と同じ高さ位置H0から、更に上方側
に引き込んだ位置H1へ移動できるようにアーム３に支持
されて配設されている。上方側に引き込んだ位置H1で
は、図４に示すように、各端面3011、3021の高さは、符
号Ｌで示す長さ分だけの段差が形成されることになる。
符号Ｌの長さの設定は、適宜選択できるものである
が、本実施形態では、Ｌ＝1.5mmになるように設定して
いる。これは、第２ディスクD2に余分な負荷をかけすぎ
ないようにして、ディスクD2の変形を極力防止するとと
もに、かつ適度な容積の閉塞空間５（後述）を形成する
ために、好適な長さだからである。
尚、第２ディスク吸着部302の上下移動（図４、符号
Ｙで示す矢印参照）は、符号Ｌの長さを最大3mmまで確
保できるように構成され、閉塞空間５の容積を調整でき
るように工夫されている。
上記したディスク保持部306の構成により、第２ディ
スクD2は、該第２ディスクD2に対向する第１ディスクD1
側と反対方向（図３に示す矢印Ｘ方向）へ膨出するよう
に湾曲された形態で、ディスク保持部306に吸着保持さ
れている。
更に詳細には、第２ディスクD2の最外側の上面D2a
が、凸部301に当接されるとともに、第２ディスクD2の
中央孔305やや外側領域の上面D2bが、第２ディスク吸着
部302で吸引されることによって、第２ディスクD2の内
側領域部分が上方に吸い上げられて、皿を伏せたような
形態に一時変形されている。尚、本発明で使用する第２
ディスクD2は、記録膜が形成されたものと記録膜が形成
されていないものの、いずれにも適用できる。
次に、ディスクテーブル２に載置されて、待機してい
る第１ディスクD1の上面には、紫外線硬化性樹脂性の接
着剤４が、周状に塗布されている。この接着剤４上に第
２ディスクD2が着接するときに、周囲の空気を抱き込ん
で気泡が混入してしまうと、レーザー光による記録面の
読み取りの障害になることから、本発明では、以下に説
明するディスク貼り合わせ方法を採用する。
即ち、図５に示すように、アーム３で上方に膨出され
て保持された第２ディスクD2を、第１ディスクD1の中心
位置に合わせて重ね合わせ、両ディスクD1、D2の外側部
分D1a、D2aのみを当接させ、ディスク内側領域には、符
号５で示す皿を伏せたような形状の閉塞空間を形成す
る。
このとき、第２ディスクの中央孔305の内周壁面3051
は、センターピン201が外周部2011に密接し、隙間を形
成しないようにされている。
具体的には、第２ディスク吸着部302に取り囲まれた
内側領域においては、第２ディスクD2は平面性を維持し
ているため、センターピン201に第２ディスクD2の中央
孔305が正円形状を保ったまま装着されることになる、
これにより、内周壁面3051とセンターピン201の外周部2
011の間には、隙間が形成されない。
尚、閉塞空間５が形成されたときには、センターピン
201上方領域に、第２ディスク吸着部302に取り囲まれよ
うにして形成される空間６は、密閉されているため、万
が一、中央孔305内周壁面3051とセンターピン201の外周
部2011の間に隙間が形成するようなことがあっても、最
終的には、閉塞空間５の密閉性を維持できるように担保
されている。
閉塞空間５内部に臨んでいるセンターピン201の外周
部2011下部に形成された真空吸引孔203から真空吸引を
行なうため、閉塞空間５内部は即座に負圧状態となって
真空状態を形成する。そして、真空吸引孔203による真
空吸引力が、第２ディスク吸着部302の吸引力に打ち勝
つようになると、第２ディスクは、第１ディスクD1側に
引き付けられ、接着剤４の上面に着接する。
ここで、貼り合わせ装置１には、アーム３の第２ディ
スク吸着部302のディスク吸引力に対する、負圧吸引孔2
3の真空吸引力の大きさを調整するための、図示しない
レギュレータを設ける。
このレギュレータを設け、真空吸引力の大きさを調整
するという簡易な手段を採用することによって、閉塞空
間５を介して第１ディスクD1に対向する第２ディスクD2
が、閉塞空間５の真空吸引によって第２ディスク吸着部
302を離れて第１ディスクD1側に移動する際の、速度、
時間、接着剤４に対する加圧力を容易に調整することが
可能になる。
尚、第２ディスクD2が、第１ディスクD1側に引き付け
られ、接着剤４の上面に着接する時、第２ディスク吸着
部302の吸引力の変化を所定の信号検出手段で読み取っ
て、アーム３を上方に速やかに移動させる。
これにより、アーム３の外側の凸部301による第２デ
ィスクD2への干渉を回避して、第１ディスクD1上の接着
剤４上に、第２ディスクD2が平面性を確保しながら着接
することができるようにし、二枚のディスクD1,D2が平
行に対向する貼り合わせディスクD3を得易くする。
ここで、第２ディスクD2が接着剤４に着接した瞬間
は、接着剤４は、自らの表面張力によって、接着剤４中
心方向に集まろうとする性質があるため、これに何ら手
段を講じないと、ディスクの平面性確保の障害になるお
それがある。
そこで、第２ディスク吸着部302から第２ディスクD2
が離れて接着剤４に着接する瞬間から、ディスクテーブ
ル２を高速回転させ、その遠心力により、接着剤４を、
図６に示す程度の一定巾の領域にまで広げて、接着剤４
の厚みを一定にする。
上記した光ディスク貼り合わせ方法では、真空吸引す
べき閉塞空間５の容積が極めて少ないため、真空吸引効
果が速やかに発揮されるとともに、接着剤４に予め近接
された位置から第２ディスクD2を引き込んで接着剤４上
に着接させることができるため、接着剤４上に気泡が混
入することがなくなるとともに、ディスクの平面性を確
保できる。
産業上の利用可能性 以上の説明から明らかなように、本発明に係る光ディ
スク貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法は、接着剤上に
気泡を混入させることがない上に、ディスクの平面性を
確実に確保できるので、レーザー光による読み取り精度
の高い、高品質の光ディスクを提供することができる。
また、二枚のディスク間に形成された閉塞空間を利用
して、真空吸引を行なう極めて簡易な装置および方法を
採用しているので、大掛かりな真空チャンバーを使用す
る必要が全くないため、低コストでメンテナンスが容易
な光ディスク貼り合わせ装置を提供できる。
そして、真空吸引すべき閉塞空間が極めて少容積であ
ることから、該閉塞空間に真空吸引効果を速やかに生ぜ
しめることができるため、光ディスク貼り合わせ工程全
体の工程時間を大幅に短縮することができるので、光デ
ィスク製造効率の向上にも寄与する。
更に、第１ディスクに塗布される接着剤には、気泡が
混入せず、一定の厚みで広げられて、二枚のディスク間
に介装されることから、接着剤の塗布量を必要最低限に
抑えることができるので、製造コストの低下にも貢献す
る。
従って、本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置及び
貼り合わせ方法は、光ディスク製造産業の発達に寄与す
るとともに、高品質な光ディスクの提供に貢献するもの
である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−273213（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−273163（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−198720（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−44917（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−20713（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−293131（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−320132（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/26 G11B 7/24

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】接着剤が塗布された第１ディスクに対して
    第２ディスクを重ね合わせて、二枚の光ディスクを貼り
    合わせる装置において、前記第２ディスクを、該第２デ
    ィスクに対向する前記第１ディスク側方向と反対方向へ
    膨出するように湾曲させつつ、前記第２ディスクを前記
    第１ディスクに重ね合わせる構成であって、前記第１デ
    ィスクと前記第２ディスクの互いの外側領域が当接され
    ることによって両ディスク間に形成される閉塞空間を、
    前記第１ディスクの中央孔及び第２ディスクの中央孔に
    嵌入するセンターピンに形成された真空吸引孔から真空
    吸引することを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。
  2. 【請求項２】前記第２ディスクは、該第２ディスクの外
    側領域に当接するリング状の凸部と、前記第２ディスク
    の中央孔近傍領域を吸引するリング状の第２ディスク吸
    着部と、が形成されたディスク保持部を備えたアームに
    よって吸着保持されて、前記第１ディスクに重ね合わさ
    れる構成であって、前記第２ディスク吸着部の端面が、
    前記凸部端面よりも引き込んだ位置で吸着された前記第
    ２ディスクは、前記第１ディスク側方向と反対方向へ膨
    出するように湾曲されることを特徴とする請求の範囲第
    １項記載の光ディスク貼り合わせ装置。
  3. 【請求項３】前記ディスク保持部に吸着保持された前記
    第２ディスクの中央孔の内周壁面が、前記第１ディスク
    を載置するディスクテーブルの中央に形成され、該第１
    ディスクの中央孔に嵌入される前記センターピンの外周
    部に当接することによって、前記閉塞空間を形成するこ
    とを特徴とする請求の範囲第１項又は第２項に記載の光
    ディスク貼り合わせ装置。
  4. 【請求項４】前記第２ディスク吸着部で取り囲まれた内
    側空間が、前記第２ディスクの中央孔の内周壁面が前記
    センターピンの外周部に当接したときに、密閉されるよ
    うに形成されたことを特徴とする請求の範囲第３項に記
    載の光ディスク貼り合わせ装置。
  5. 【請求項５】前記第２ディスク吸着部のディスク吸引力
    に対する前記真空吸引孔の真空吸引力の大きさを調整す
    るための制御手段が設けられたことを特徴とする請求の
    範囲第１項から第４項のいずれかに記載の光ディスク貼
    り合わせ装置。
  6. 【請求項６】接着剤が塗布された第１ディスクに対し
    て、第２ディスクを重ねて二枚の光ディスクを貼り合わ
    せる方法において、 第２ディスクを対向する前記第１ディスク側と反対方向
    へ膨出させるように湾曲させて、前記第２ディスクをア
    ームで吸着保持する第２ディスク保持工程と、吸着保持
    された第２ディスクの外側領域を、前記第１ディスクの
    外側領域に当接させるディスク重ね合わせ工程と、 前記第１ディスクと第２ディスクの間に形成された閉塞
    空間の空気を吸引する真空吸引工程と、 前記真空吸引工程によって前記第２ディスクが、前記第
    １ディスク上に塗布された接着剤に着接するディスク接
    着工程と、 から構成されたことを特徴とする光ディスク貼り合わせ
    方法。
  7. 【請求項７】前記真空吸引工程は、前記第１ディスクに
    嵌入して前記閉塞空間内に臨んでいる、前記センターピ
    ンの外周部に開口形成された真空吸引孔を介して、真空
    吸引することを特徴とする請求の範囲第６項記載の光デ
    ィスク貼り合わせ方法。
  8. 【請求項８】前記真空吸引工程には、前記第２ディスク
    のディスク吸引力に対する、前記真空吸引孔から真空吸
    引力を調整する制御工程が設けられたことを特徴とする
    請求の範囲第７項に記載の光ディスク貼り合わせ方法。
  9. 【請求項９】前記ディスク接着工程では、前記第２ディ
    スクが前記接着剤に着接するときに、前記アームが前記
    第１ディスクを載置するディスクテーブルから離れるよ
    うに移動することを特徴とする請求の範囲第６項から第
    ８項のいずれかに記載の光ディスク貼り合わせ方法。
  10. 【請求項１０】前記ディスク接着工程では、前記第２デ
    ィスクが前記接着剤に着接するときに、前記ディスクテ
    ーブルを回転させることを特徴とする請求の範囲第９項
    に記載の光ディスク貼り合わせ方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007507050A (ja) * 2003-08-22 2007-03-22 ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト ディスク状基板の結合のための方法およびこの方法を実行するための装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1152407A3 (en) * 2000-04-25 2006-10-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical disk, method for producing the same, and apparatus for producing the same
DE10317886B4 (de) * 2003-04-17 2005-05-04 Singulus Technologies Ag Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Verbundsubstraten
KR100890693B1 (ko) * 2003-12-05 2009-03-26 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 접합 장치 및 접합 방법
US8885251B2 (en) 2005-04-04 2014-11-11 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Apparatus for conforming a planar film on an optical lens, method for functionalizing an optical lens by means of said apparatus, the optical lens so-obtained
FR2883984B1 (fr) 2005-04-04 2007-06-22 Essilor Int Appareil pour conformer un film plan sur une lentille optique, procedes de fonctionnalisation d'une lentille optique au moyen dudit appareil, et lentille ainsi obtenue
DE102005029502A1 (de) * 2005-06-24 2006-12-28 Steag Hamatech Ag Substrataufnahme
FR2897693B1 (fr) 2006-02-23 2008-11-21 Essilor Int Element optique polarisant comprenant un film polariseur et procede de farbrication d'un tel element
WO2013120082A1 (en) 2012-02-10 2013-08-15 Kassab Ghassan S Methods and uses of biological tissues for various stent and other medical applications
AU2014214700B2 (en) 2013-02-11 2018-01-18 Cook Medical Technologies Llc Expandable support frame and medical device

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02308444A (ja) * 1989-05-23 1990-12-21 Seiko Epson Corp 光記録媒体の製造方法
JPH03245331A (ja) 1990-02-22 1991-10-31 Sony Corp ディスク貼合わせ方法
JPH0520713A (ja) * 1991-07-11 1993-01-29 Sharp Corp 光デイスクの製造方法
JPH0520714A (ja) 1991-07-15 1993-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光デイスク製造方法及び製造装置
JP2777552B2 (ja) 1995-03-31 1998-07-16 東芝イーエムアイ株式会社 貼り合わせディスクの製造方法およびその装置
JP3498816B2 (ja) * 1995-04-20 2004-02-23 日本政策投資銀行 光ディスクの製造方法
JPH0944917A (ja) * 1995-05-20 1997-02-14 Kitano Eng Kk 光ディスクの製造方法およびその製造方法に使用される載置基台
EP0744739B1 (en) * 1995-05-20 2002-01-02 Kitano Engineering Co., Ltd. Method of manufacturing an optical disc and a placing platform to be used by the same
JP3018276B2 (ja) * 1996-01-12 2000-03-13 株式会社ホロン 光学式記録情報媒体の貼り合わせ方法及びその装置
JP3469713B2 (ja) * 1996-05-31 2003-11-25 株式会社リコー 光ディスクメディアの製造方法
EP0866450B1 (en) * 1997-03-17 1999-06-30 TAPEMATIC S.p.A. Device and process for gluing disc halves for manufacturing data-storage optical discs
JP4068187B2 (ja) 1997-08-25 2008-03-26 松下電器産業株式会社 光ディスク製造方法
JPH1166645A (ja) 1997-08-25 1999-03-09 Origin Electric Co Ltd 光ディスク貼り合わせ方法及び装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007507050A (ja) * 2003-08-22 2007-03-22 ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト ディスク状基板の結合のための方法およびこの方法を実行するための装置
JP4777067B2 (ja) * 2003-08-22 2011-09-21 ジングルス・テヒノロギース・アクチェンゲゼルシャフト ディスク状基板の結合のための方法およびこの方法を実行するための装置

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