JP3270224B2 - Method and apparatus for bonding display panel substrates - Google Patents
Method and apparatus for bonding display panel substratesInfo
- Publication number
- JP3270224B2 JP3270224B2 JP31533893A JP31533893A JP3270224B2 JP 3270224 B2 JP3270224 B2 JP 3270224B2 JP 31533893 A JP31533893 A JP 31533893A JP 31533893 A JP31533893 A JP 31533893A JP 3270224 B2 JP3270224 B2 JP 3270224B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pressure
- substrates
- display panel
- bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 295
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 68
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 86
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 67
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 47
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims description 12
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 61
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 21
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 4
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、表示パネルであって
その構成上第一および第二の基板をこれら間に所定の空
隙を設けた状態で貼り合わせる必要のある表示パネルの
製造方法及びその実施に好適な装置、並びに液晶注入方
法に関するもので、特に第一および第二の基板の貼り合
わせ方法とその実施に好適な装置、並びにスペーサレス
のセルに液晶を注入する際に好適な液晶注入方法に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a display panel which requires the first and second substrates to be bonded together with a predetermined gap provided therebetween, and a method of manufacturing the display panel. The present invention relates to a device suitable for implementation, and a liquid crystal injection method, particularly a method for bonding first and second substrates and a device suitable for the implementation, and a liquid crystal injection suitable for injecting liquid crystal into a spacerless cell. It is about the method.
【0002】[0002]
【従来の技術】表示パネルの一種である液晶パネルは、
簡易な表示装置として多用され、また、CRT(陰極線
管)に代わる表示装置の有力候補の一つとして期待され
ている。このような液晶パネルを製造する際には、種々
の部品の形成が済んだ第一および第二の基板を、これら
基板間に所定空隙を維持した状態でシール材によって貼
り合わせ、さらに、この空隙内に液晶材料を充填する必
要がある。この第一および第二の基板の貼り合わせは、
液晶パネルの特性を左右する重要な要素の一つであるた
め、所定の精度で行う必要がある。そのため、第一およ
び第二の基板を貼り合わせるための方法が従来から種々
提案されている。2. Description of the Related Art A liquid crystal panel, which is a type of display panel,
It is frequently used as a simple display device, and is expected as one of the leading candidates for a display device to replace a CRT (cathode ray tube). When manufacturing such a liquid crystal panel, the first and second substrates on which various components have been formed are bonded together with a sealing material while maintaining a predetermined gap between the substrates. Needs to be filled with a liquid crystal material. The bonding of the first and second substrates is as follows.
Since it is one of the important factors that affect the characteristics of the liquid crystal panel, it is necessary to perform the operation with a predetermined accuracy. Therefore, various methods for bonding the first and second substrates have been conventionally proposed.
【0003】液晶パネル形成用の第一および第二の基板
を貼り合わせる従来方法の代表的なものとして、いわゆ
るホットプレス法と光プレス法とを挙げることができ
る。これら方法は、例えばこの出願の出願人に係る文献
I(電子材料((株)工業調査会発行),1992年1
2月号,pp.57−58)に開示されている。A typical conventional method of bonding the first and second substrates for forming a liquid crystal panel includes a so-called hot press method and an optical press method. These methods are described, for example, in Document I (published by the Industrial Research Institute, Ltd.) of the applicant of this application, January 1992.
February issue, pp. 57-58).
【0004】前者のホットプレス法は、図8(A)に示
したように、(1).先ず、液晶パネル形成用の第一の基板
11および第二の基板13をスペーサ15を介しかつ所
定部分に熱硬化性のシール材17を塗布した状態で対向
させることにより貼り合わせ対象の構造体19を得、
(2).次に、この構造体19を、両基板11、13側から
機械的なプレス装置21によって加圧し、(3).次にこの
加圧状態でシール材17を加熱硬化させて両基板11、
13を貼り合わせるという方法である。なお、このホッ
トプレス法において、多数個の液晶パネルのための基板
貼り合わせを一度に行いたい場合は、図8(B)に示し
たように、上記構造体19を多数個順次に或いは、各構
造体19間に適当なスペーサ(図示せず)を介在させた
状態で順次に積層させたものを、その上下から機械的な
プレス装置21によって加圧し、この加圧状態でこの積
層物を加熱する方法がとられる。In the former hot press method, as shown in FIG. 8 (A), (1). First, a first substrate 11 and a second substrate 13 for forming a liquid crystal panel are interposed by a spacer 15 at a predetermined position. By facing each other with the thermosetting sealing material 17 applied to the portion, a structure 19 to be bonded is obtained,
(2) Next, the structure 19 is pressed from both substrates 11 and 13 by a mechanical pressing device 21. (3) Next, the sealing material 17 is heated and cured in this pressed state. Substrate 11,
13 is bonded. Note that, in this hot press method, when it is desired to perform substrate bonding for a large number of liquid crystal panels at once, as shown in FIG. The layers sequentially laminated with a suitable spacer (not shown) interposed between the structures 19 are pressed from above and below by a mechanical press device 21 and the laminate is heated in this pressed state. There is a way to do it.
【0005】また、後者の光プレス法は、図9に示した
ように、(1).先ず、液晶パネル形成用の第一の基板11
および第二の基板13をスペーサ15を介しかつ所定部
分に紫外線硬化性のシール材23を塗布した状態で対向
させることにより貼り合わせ対象の構造体25を得、
(2).次に、この構造体25を、石英製の上板27側に機
械的なプレス装置21によって押し当てて加圧し、(3).
次に、この加圧状態で石英製の上板27上方からこの上
板27を通して紫外線29をシール材23に照射しこの
シール材23を硬化させて両基板11、13を貼り合わ
せるという方法である。In the latter optical pressing method, as shown in FIG. 9, (1) first, a first substrate 11 for forming a liquid crystal panel is formed.
And the second substrate 13 is opposed to the second substrate 13 with the ultraviolet-curing sealing material 23 applied to a predetermined portion via the spacer 15 to obtain a structure 25 to be bonded,
(2) Next, the structure 25 is pressed against the quartz upper plate 27 by the mechanical press device 21 to apply pressure (3).
Next, in this pressurized state, ultraviolet rays 29 are irradiated onto the sealing material 23 from above the quartz upper plate 27 through the upper plate 27 to cure the sealing material 23 and bond the substrates 11 and 13 together. .
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板貼り合わせ方法では以下に説明するような問題点が
あった。However, the conventional substrate bonding method has the following problems.
【0007】(1)先ず、従来のホットプレス法では、
貼り合わせ対象の構造体19(図8(A)参照)を機械
的なプレス装置21で加圧していたので、特に多数組の
基板貼り合わせを一度に行う場合必然的に図8(B)を
用いて説明したように構造体19を多数積層してそれを
加圧する方法をとることとなるが、その場合、加圧状態
および加熱状態共に各構造体19毎で異なるものとなり
易いという問題点がある。加圧状態および加熱状態が各
構造体19毎で異なると基板の貼り合わせ状態が不均一
になるので液晶パネルの品質低下および製造歩留り低下
を招き、一方、液晶セル製造工程のスループットを向上
させるには多数組の基板貼り合わせを同時に行うことは
必須であるので、上記問題点を解決できる貼り合わせ方
法が望まれる。(1) First, in the conventional hot press method,
Since the structure 19 to be bonded (see FIG. 8A) is pressurized by the mechanical press device 21, it is inevitable that FIG. As described above, a method of laminating a large number of structures 19 and pressing them is adopted, but in this case, there is a problem that both the pressurized state and the heated state tend to be different for each structure 19. is there. If the pressing state and the heating state are different for each of the structures 19, the bonding state of the substrates becomes non-uniform, thereby lowering the quality of the liquid crystal panel and lowering the manufacturing yield, while improving the throughput of the liquid crystal cell manufacturing process. Since it is essential to simultaneously bond a large number of sets of substrates, a bonding method capable of solving the above problem is desired.
【0008】(2)また、従来の光プレス法では、貼り
合わせ対象の構造体25(図9参照)を機械的なプレス
装置で加圧しつつシール材23に紫外線を照射できるよ
うにする必要があるため、プレス装置の一方の加圧部材
は紫外線を透過できる材料(上述の例でいえば石英)か
ら成る上板27で構成する必要があった。そして石英製
の上板は絶縁物でありかつ液晶パネル用の第一の基板1
1もガラス基板(絶縁物)であるため、貼り合わせ作業
中に構造体25に、液晶パネルの構成部品(例えば薄膜
トランジスタ)を破壊させる原因となるほどの量の静電
気が生じ易いという問題点があった。(2) In the conventional optical pressing method, it is necessary to irradiate the sealing member 23 with ultraviolet rays while pressing the structure 25 to be bonded (see FIG. 9) with a mechanical pressing device. For this reason, one pressing member of the pressing device has to be constituted by the upper plate 27 made of a material that can transmit ultraviolet rays (quartz in the above example). The upper plate made of quartz is an insulator, and is a first substrate 1 for a liquid crystal panel.
1 is also a glass substrate (insulating material), and thus has a problem in that a large amount of static electricity is likely to be generated in the structure 25 during the bonding operation, which may cause the components (eg, thin film transistors) of the liquid crystal panel to be destroyed. .
【0009】(3)また、ホットプレス法、光プレス法
にかかわらずいずれの従来方法においても、第一の基板
と第二の基板との間の間隙を所定値とするためスペーサ
を用いていた。しかし、スペーサを両基板間に均一に散
布することは容易でなく、また、スペーサを用いない方
が画質の向上や製造工程の簡略化等の利点が得られると
考えられるから、第一及び第二の基板をスペーサを用い
ることなく所望の間隙をもって貼り合わせる技術が確立
されれば有用と考えられる。(3) In any conventional method regardless of the hot press method or the optical press method, a spacer is used to set a gap between the first substrate and the second substrate to a predetermined value. . However, it is not easy to uniformly disperse the spacers between the two substrates, and it is considered that the use of no spacers can provide advantages such as improvement in image quality and simplification of the manufacturing process. It would be useful if a technique for bonding the two substrates together with a desired gap without using a spacer was established.
【0010】この出願はこのような点に鑑みなされたも
のであり、したがってこの出願の第一発明の目的は、上
述の(1)及び(2)の問題点を解決できる基板貼り合
わせ方法を提供することにある。また、この出願の第二
発明の目的は上述の第一発明の実施に好適な基板貼り合
わせ装置を提供することにある。また、この出願の第三
発明の目的は少なくとも上述の(3)の問題点を解決で
きる基板貼り合わせ方法を提供することにある。また、
この出願の第四発明の目的は第三発明の実施に好適な装
置を提供することにある。また、この出願の第五発明の
目的は、表示パネル用の第一及び第二の基板をスペーサ
を介在させないで所定空隙を維持した状態で貼り合わせ
た構造体の前記空隙に液晶を良好に注入する方法を提供
することにある。The present application has been made in view of such a point, and an object of the first invention of the present application is to provide a method of bonding substrates which can solve the above problems (1) and (2). Is to do. Another object of the second invention of this application is to provide a substrate bonding apparatus suitable for carrying out the first invention. It is another object of the third invention of the present application to provide a substrate bonding method capable of solving at least the above-mentioned problem (3). Also,
An object of the fourth invention of this application is to provide an apparatus suitable for implementing the third invention. Further, an object of the fifth invention of this application is to satisfactorily inject liquid crystal into the voids of a structure in which the first and second substrates for a display panel are bonded together with a predetermined void maintained without a spacer. It is to provide a way to do it.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】この第一発明の目的の達
成を図るため、この出願の第一発明によれば、表示パネ
ル形成用の第一の基板及び第二の基板をこれら基板間に
所定空隙を維持した状態でシール材によって貼り合わせ
る方法において、第一及び第二の基板をシール材を介し
対向させ構成した貼り合わせ対象の構造体における、前
述の第一の基板および第二の基板それぞれの、他方の基
板と対向する面とは反対面側を、任意の第一の圧力に設
定し得る気体雰囲気と接触させ、かつ、前述の第一の基
板、前述の第二の基板および前述のシール材で囲われる
空隙を、前述の第一の圧力に設定される気体雰囲気と遮
断されていて前述の第一の圧力より低い任意の第二の圧
力に設定し得る気体雰囲気に接続し、前述の第一の圧力
および第二の圧力の双方または一方を調整することによ
り前述の第一および第二の基板を加圧し、該加圧状態で
前述のシール材を硬化させることを特徴とする。According to the first aspect of the present invention, a first substrate and a second substrate for forming a display panel are provided between the substrates. In the method of bonding with a sealing material while maintaining a predetermined gap, the first substrate and the second substrate in the structure to be bonded, in which the first and second substrates are configured to face each other with the sealing material interposed therebetween. Each, the surface opposite to the surface facing the other substrate, is brought into contact with a gas atmosphere that can be set to any first pressure, and the first substrate, the second substrate, and the The gap surrounded by the seal material is connected to a gas atmosphere that is cut off from the gas atmosphere set to the first pressure and can be set to any second pressure lower than the first pressure, First pressure and second pressure as described above Pressurizing the first and second substrates described above by adjusting either or both, and wherein the curing the aforementioned sealing material in the pressurizing state.
【0012】また、この出願の第二発明によれば、表示
パネル形成用の第一の基板及び第二の基板をこれら基板
間に所定空隙を維持した状態でシール材によって貼り合
わせるための装置において、第一及び第二の基板をシー
ル材を介し対向させ構成した貼り合わせ対象の構造体に
おける前述の第一の基板および第二の基板それぞれの他
方の基板と対向する面とは反対面側に接触される、任意
の第一の圧力の気体雰囲気を形成するための、室と、前
述の第一の基板、前述の第二の基板および前述のシール
材で囲われる空隙を、前述の室と遮断されていて前述の
第一の圧力より低い任意の第二の圧力の気体雰囲気に接
続するための、接続機構と、前述の室内の圧力および前
述の室外の前述の第二の圧力の双方または一方の圧力
を、前述の第一及び第二基板を所定圧で加圧できる圧力
となるように調整するための、圧力調整機構と前述のシ
ール材にそれを硬化させるためのエネルギーを供給する
ための、エネルギー供給機構とを具えたことを特徴とす
る。According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for bonding a first substrate and a second substrate for forming a display panel with a sealing material while maintaining a predetermined gap between the substrates. In the structure to be bonded, in which the first and second substrates are opposed to each other with a sealant interposed therebetween, on the side opposite to the surface of the first substrate and the second substrate facing the other substrate, respectively. A chamber for forming a gas atmosphere of any first pressure to be contacted, and a space surrounded by the first substrate, the second substrate, and the sealing material, and the chamber described above. A connection mechanism for connecting to a gas atmosphere of any second pressure that is shut off and lower than the first pressure, and / or both the pressure in the chamber and the second pressure in the outdoor. One of the pressures is equal to the first and A pressure adjusting mechanism for adjusting the two substrates to a pressure at which the substrate can be pressurized at a predetermined pressure, and an energy supply mechanism for supplying energy for curing the sealing material to the sealing material. Features.
【0013】なお、これら第一および第二発明において
表示パネルとは、その構成上第一および第二の基板をこ
れら間に所定の空隙を設けた状態で貼り合わせる必要の
ある表示パネルを広く意味するものとし、例えば液晶パ
ネル、プラズマディスプレイパネルなどであることがで
きる(以下の第三及び第四発明において同様。)。ま
た、第二発明の表示装置の基板の貼り合わせ装置におい
て、圧力調整機構は、加圧装置(たとえばコンプレッ
サ)およびまたは減圧装置(たとえば排風装置や真空装
置)と、圧力調整器とを含む構成とすることができる
(以下の第四発明において同様。)。In the first and second aspects of the present invention, the term "display panel" broadly means a display panel which requires the first and second substrates to be bonded together with a predetermined gap provided therebetween. For example, a liquid crystal panel, a plasma display panel, or the like can be used (the same applies to the following third and fourth inventions). Further, in the substrate bonding device of the display device of the second invention, the pressure adjusting mechanism includes a pressure device (for example, a compressor) and / or a pressure reducing device (for example, an exhaust device or a vacuum device) and a pressure regulator. (Similarly in the following fourth invention).
【0014】また、これら第一及び第二発明において、
貼り合わせ対象の構造体における第一及び第二の基板の
双方を第一の圧力の気体雰囲気に接触させる代わりにい
ずれか一方の基板のみを該気体雰囲気に接触させるよう
にしても良い。この場合は、第一の圧力の気体雰囲気に
接触させない側の基板は、例えば下板等(ここでいう下
板には加圧室の底面等も含む。)に接触させた状態とす
るか或は、他の好適な加圧手段(油圧、水圧、空圧など
によるもの)により加圧するのが良い。また、片側の基
板のみ気体雰囲気に接触させる場合は、静電気防止効果
の点で有利な側、例えば一方から紫外線を照射する場合
などであれば該紫外線照射に当たる基板を気体雰囲気で
加圧するようにするのが良い。片側の基板のみ気体雰囲
気に接触させる具体的な方法として、例えば後述の図6
に示した構成において第一の室71及び第二の室73の
いずれか一方を用いずそれの代わりに下板等を用いる構
成が挙げられる。もちろん、他の好適な手段をとっても
良い。In the first and second inventions,
Instead of bringing both the first and second substrates in the structure to be bonded into contact with the gas atmosphere at the first pressure, only one of the substrates may be brought into contact with the gas atmosphere. In this case, the substrate on the side that is not brought into contact with the gas atmosphere at the first pressure is, for example, in a state of being brought into contact with a lower plate or the like (the lower plate mentioned here also includes the bottom surface of the pressurizing chamber). Is preferably pressurized by other suitable pressurizing means (by hydraulic, hydraulic, pneumatic, etc.). When only one of the substrates is brought into contact with the gaseous atmosphere, the substrate which is exposed to the ultraviolet rays is pressurized in the gaseous atmosphere when the ultraviolet rays are irradiated from one side which is advantageous in terms of the effect of preventing static electricity. Is good. As a specific method for bringing only one substrate into contact with the gas atmosphere, for example, FIG.
In the configuration shown in (1), one of the first chamber 71 and the second chamber 73 is not used, and a lower plate or the like is used instead. Of course, other suitable means may be taken.
【0015】また、この出願の第三発明の目的の達成を
図るためこの出願に係る発明者は鋭意研究を続けた。そ
の結果、図10を参照して説明するように、第一の基板
11及び第二の基板13間にスペーサ材を介在させるこ
となくこれら基板11、13を上板21a,21bによ
り加圧しながら単に貼り合わせた場合、貼り合わせの終
了した試料の基板面に顕著な干渉縞(図示せず)が観察
されることが分かった。これは、第一及び第二の基板1
1,13に対するシール材17からの反発力PR の影響
で第一及び第二の基板11,13がたわみ、さらに、こ
のたわんだ状態のまま(換言すれば両基板の各所で両基
板間隔がばらついたまま)両基板が貼り合わされてしま
うことが原因と考えられる。[0015] The inventor of the present application has intensively studied to achieve the third object of the present invention. As a result, as described with reference to FIG. 10, these substrates 11 and 13 are simply pressed while being pressed by the upper plates 21 a and 21 b without interposing a spacer material between the first substrate 11 and the second substrate 13. In the case of bonding, it was found that remarkable interference fringes (not shown) were observed on the substrate surface of the bonded sample. This is the first and second substrates 1
The first and second substrates 11 and 13 bend under the influence of the repulsive force P R from the sealing material 17 on the first and second substrates 13 and 13 and, furthermore, remain in this bent state (in other words, the distance between the two substrates at each location of the two substrates). It is considered that the cause is that both substrates are stuck together (with variation).
【0016】そこで、この出願の第三発明によれば、表
示パネル形成用の第一の基板及び第二の基板をシール材
を介し対向させ構成した貼り合わせ対象の構造体を、第
一及び第二の基板の互いが対向する面とは反対面から加
圧しかつ両基板間に所定空隙を維持した状態で貼り合わ
せる方法において、前記所定空隙を維持することを、前
記第一の基板、第二の基板およびシール材で囲われる空
隙に前記基板面加圧力に対向する適正な圧力の気体を供
給することにより行なうことを特徴とする。なお、この
第三発明の実施に当たり、前記基板面に加えられる前記
加圧力及び前記空隙に供給される前記気体圧力と共に、
該気体圧力に対向する第3の適正な圧力を前記シール材
に加えるのが好適である。Therefore, according to the third invention of the present application, the first and second substrates to be bonded, in which the first substrate and the second substrate for forming the display panel are opposed to each other via a sealing material, are formed. In a method in which the two substrates are pressed from a surface opposite to a surface facing each other and bonded together while maintaining a predetermined gap between the two substrates, maintaining the predetermined gap is performed by maintaining the first substrate and the second substrate. By supplying a gas having an appropriate pressure opposite to the substrate surface pressure into a gap surrounded by the substrate and the sealing material. In the implementation of the third invention, together with the pressure applied to the substrate surface and the gas pressure supplied to the gap,
Preferably, a third appropriate pressure opposing the gas pressure is applied to the sealing material.
【0017】また、この出願の第四発明によれば、表示
パネル形成用の第一の基板及び第二の基板をこれら基板
間に所定空隙を維持した状態でシール材によって貼り合
わせるための装置において、第一及び第二の基板の互い
が対向する面とは反対面からこれら基板を加圧するため
の基板加圧部と、前記第一の基板、第二の基板およびシ
ール材で囲われる空隙に前記基板加圧部からの加圧力に
対向する任意の圧力の気体を供給するための気体供給部
と、前記基板加圧部及び気体供給部の圧力の双方または
一方を調整するための圧力調整機構と前記シール材にそ
れを硬化させるためのエネルギーを供給するためのエネ
ルギー供給機構とを具えたことを特徴とする。なお、こ
の第三発明の実施に当たり、前記気体供給部から供給さ
れる気体圧力に対向する第3の圧力を前記シール材に対
し供給するためのシール材加圧部をさらに具えるのが好
適である。According to the fourth invention of this application, there is provided an apparatus for bonding a first substrate and a second substrate for forming a display panel with a sealing material while maintaining a predetermined gap between the substrates. A substrate pressing portion for pressing these substrates from a surface opposite to a surface of the first and second substrates facing each other, and a gap surrounded by the first substrate, the second substrate, and a sealing material. A gas supply unit for supplying gas at an arbitrary pressure opposite to the pressing force from the substrate pressing unit, and a pressure adjusting mechanism for adjusting both or one of the pressures of the substrate pressing unit and the gas supply unit And an energy supply mechanism for supplying energy for curing the sealing material to the sealing material. In the implementation of the third invention, it is preferable that the apparatus further includes a seal member pressurizing unit for supplying a third pressure, which is opposite to the gas pressure supplied from the gas supply unit, to the seal member. is there.
【0018】なお、この第三発明における基板面を加圧
する方法、及び第四発明における基板加圧部の構成は、
基板面を加圧できる手段であれば特に限定されず、従来
公知の機械的な加圧方法や第一発明でいうところの気体
雰囲気を用いる方法など、設計に応じた任意の方法及び
構成と出来る。The method of pressing the substrate surface in the third invention and the structure of the substrate pressing section in the fourth invention are as follows.
The method is not particularly limited as long as it can press the substrate surface, and can be any method and configuration according to the design, such as a conventionally known mechanical pressing method and a method using a gas atmosphere referred to in the first invention. .
【0019】[0019]
【0020】[0020]
【0021】[0021]
【0022】[0022]
【作用】この第一発明の構成によれば、貼り合わせ対象
の構造体における第一及び第二の基板それぞれの、他方
の基板と対向する面とは反対面側は、第一の圧力とされ
た雰囲気と接し、また、この構造体における第一の基
板、第二の基板およびシール材によって囲われる空隙は
第二の圧力とされた雰囲気に接続される。そしてこの
際、第一の圧力と第二の圧力との大小関係は、第一の圧
力>第二の圧力であるので、第一および第二の基板は互
いが近づくように加圧される。この基板の加圧具合は第
一の圧力および第二の圧力の双方または一方を調整する
ことにより調整できる。したがって、第一および第二の
基板を気体を介し(機械的プレスで必要であった加圧板
を除去した状態で)所定圧力で加圧できる。According to the structure of the first aspect, the first pressure is applied to the first and second substrates in the structure to be bonded, which are opposite to the surfaces facing the other substrate. The space surrounded by the first substrate, the second substrate, and the sealant in the structure is connected to the second pressured atmosphere. At this time, since the magnitude relation between the first pressure and the second pressure is first pressure> second pressure, the first and second substrates are pressurized so as to approach each other. The degree of pressing of the substrate can be adjusted by adjusting one or both of the first pressure and the second pressure. Therefore, the first and second substrates can be pressurized at a predetermined pressure via gas (in a state where the necessary pressurizing plate is removed by a mechanical press).
【0023】また、第二発明の構成によれば、第一発明
を容易に実施できる。Further, according to the configuration of the second invention, the first invention can be easily implemented.
【0024】また、第三発明の構成によれば、第一の基
板、第二の基板およびシール材で囲われる空間に適正な
圧力の気体を供給しながら第一及び第二の基板を貼り合
わせる。ここで供給される適正な圧力の気体は、シール
材による基板面に対する局部的な反発力を緩和して第一
及び第二の基板のシール材がない部分の空隙を所定値に
維持する役割を果たすと考えられるので、従来用いられ
ていたスペーサの役割を果たすと考えられる。しかも、
貼り合わせ終了後にこの気体を除去することにより、結
果的に、スペーサレスの表示パネルが得られる。Further, according to the structure of the third invention, the first and second substrates are bonded together while supplying gas at an appropriate pressure to the space surrounded by the first substrate, the second substrate, and the sealing material. . The gas of the appropriate pressure supplied here has a role of relaxing the local repulsive force of the sealant against the substrate surface to maintain the gap of the first and second substrates where the sealant is not present at a predetermined value. Therefore, it is considered that it plays a role of a conventionally used spacer. Moreover,
By removing the gas after the bonding, a spacer-less display panel is obtained as a result.
【0025】また、第三発明において第3の圧力により
シール材を加圧する構成では、第一の基板、第二の基板
およびシール材で囲われる空間に適性圧力の気体を入れ
た際にシール材が該気体圧力により外部(基板加圧力と
直交する方向)に移動しそうになっても第3の圧力がこ
の移動を阻止するので基板貼り合わせ精度がより確保さ
れ易い。In the third aspect of the present invention, in the configuration in which the sealing material is pressurized by the third pressure, when a gas at an appropriate pressure is introduced into a space surrounded by the first substrate, the second substrate, and the sealing material, Even when the third pressure is likely to move outward (in a direction orthogonal to the substrate pressing force) due to the gas pressure, the third pressure prevents this movement, so that the accuracy of bonding the substrates can be more easily secured.
【0026】[0026]
【0027】[0027]
【実施例】以下、図面を参照して第一発明〜第五発明の
各実施例について説明する。しかしながら、説明に用い
る各図はこれらの発明を理解できる程度に各構成成分の
形状、寸法および配置関係を概略的に示してある。ま
た、以下の説明に用いる各図において同様な構成成分に
ついては同一の符号を付して示す。またそれら同様な構
成成分の重複説明を省略する場合もある。なお、以下の
実施例では表示パネルを液晶パネルとした例を説明す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the first to fifth inventions will be described below with reference to the drawings. However, the drawings used in the description schematically show the shapes, dimensions, and arrangement relations of the components so that these inventions can be understood. In each of the drawings used in the following description, the same components are denoted by the same reference numerals. In addition, duplicate description of those similar components may be omitted. In the following embodiment, an example in which the display panel is a liquid crystal panel will be described.
【0028】1.第一及び第二発明の説明 1−1.第1実施例 1−1−1.主に装置構成の説明 図1(A)は第1実施例の説明に供する上面図、図1
(B)は前述の上面図に示したものの、(A)図でのI
−I線における断面図を含む側面図である。両図とも、
貼り合わせ対象となる構造体43(以下、「構造体4
3」と略称することもある。)を、第1実施例の基板貼
り合わせ装置の室45に装着した状態を示したものであ
る。なお、貼り合わせ対象の構造体43は、この場合、
図示しない必要な構成部品(例えば、スイッチング素
子、電極、配向膜など)の形成された第一および第二の
基板31,33を、スペーサ35を介しかつ所定部分に
シール材37を塗布した状態で対向させ、しかも、両基
板31、33を固定具39および接続機構41(いずれ
も詳細は後述する)で仮固定することにより準備される
ものである。1. Description of First and Second Inventions 1-1. First embodiment 1-1-1. Description of Main Apparatus Configuration FIG. 1A is a top view for explaining a first embodiment, and FIG.
(B) is shown in the above top view, but I in FIG.
FIG. 4 is a side view including a cross-sectional view taken along line -I. In both figures,
The structure 43 to be bonded (hereinafter referred to as “structure 4
3 ". 1) shows a state where the substrate is mounted in the chamber 45 of the substrate bonding apparatus of the first embodiment. Note that, in this case, the structure 43 to be bonded is
The first and second substrates 31 and 33 on which necessary components (not shown) (for example, switching elements, electrodes, alignment films, etc.) are formed are placed in a state where a sealing material 37 is applied to a predetermined portion via a spacer 35. They are prepared by facing each other and temporarily fixing the substrates 31 and 33 with a fixture 39 and a connection mechanism 41 (both will be described in detail later).
【0029】ここで、シール材37は第一および第二の
基板31,33のいずれかに例えばスクリーン印刷法な
どの好適な方法により所定パターン(例えば図1(A)
に示したパターン)となるように塗布してある。具体的
には、第一および第二の基板の縁部に沿って塗布され、
かつ、後に液晶を充填するため基板縁部の一部はシール
材が塗布されないように塗布してある。このシール材3
7が塗布されていない部分37aは、第一および第二の
基板31、33とシール材37とで囲まれる空隙をこの
発明でいう第2の圧力とし得る気体雰囲気に接続する際
の連絡口として後に使用する(詳細は後述する)。Here, the sealing material 37 is applied to one of the first and second substrates 31 and 33 by a suitable method such as a screen printing method (for example, FIG. 1A).
(The pattern shown in FIG. 3). Specifically, it is applied along the edges of the first and second substrates,
Further, in order to fill the liquid crystal later, a part of the edge of the substrate is applied so that the sealing material is not applied. This sealing material 3
The portion 37a not coated with 7 serves as a communication port for connecting a gap surrounded by the first and second substrates 31, 33 and the sealing material 37 to a gas atmosphere which can be set to the second pressure in the present invention. It will be used later (details will be described later).
【0030】また、接続機構41および固定具39の構
成はこの場合以下に説明するようなものとしてあり、ま
た、これらはこの場合以下のように使用できる。これら
の説明を図1、図2(A)および(B)を参照して行
う。ここで、図2(A)は構造体49を形成する手順の
説明図であり、図2(B)は第1実施例の接続機構41
をそれの第一および第二の基板31、33と接触させる
面側から見て示した平面図である。The structure of the connecting mechanism 41 and the fixing tool 39 is as described below in this case, and these can be used as follows in this case. These will be described with reference to FIGS. 1, 2A and 2B. Here, FIG. 2A is an explanatory diagram of a procedure for forming the structure 49, and FIG. 2B is a connection mechanism 41 of the first embodiment.
FIG. 4 is a plan view showing the device viewed from the side where it comes into contact with the first and second substrates 31 and 33 thereof.
【0031】この第1実施例の場合の接続機構41は、
図1(B)または図2(B)に示したように、シール材
37が塗布されていない部分37a(図1(A)参照)
と対向する部分において第一および第二の基板31、3
3間にわたって取りつけられるものとしてある。そし
て、この接続機構41は、第一及び第二の基板31,3
3を挟みこれら基板を仮固定するための挟持部41a
と、第一および第二の基板31、33、シール材37で
囲まれた連絡口(空隙ともいう)37a(図2(A)参
照)を室45の外部に接続するための管状部41bとを
有する構成としてある。挟持部41aは第一および第二
基板31,33をそれらの厚さ方向で挟むことができ
(図1(B)の状態)、かつ、例えば作業者の行為で挟
持姿勢を解除(図2(A)の状態)できる構成(例えば
洗濯ばさみのような構成)としてある。また、管状部4
1bはそれの基板と接触する側の部分に、管状部41b
と基板側の空隙37aとを気密性良く接続する目的の気
密保持部材(パッキン)41c(図2(B)中斜線を付
して示す。)を設けた構成としてある。また、固定具3
9は、第一および第二の基板31,33の、接続機構4
1を固定した位置とは別のバランスの良い位置に設けら
れるものである。この固定具39は、もちろん接続機構
41を流用できるがそもそも管状部41bや気密保持部
材41cはこの固定具39の目的からして不要であるの
で、この場合は接続機構41の構成から気密保持部材4
1cを除きかつ管状部の中空部分を中実としたものとし
ている。The connection mechanism 41 in the case of the first embodiment comprises:
As shown in FIG. 1B or FIG. 2B, a portion 37a to which the sealing material 37 is not applied (see FIG. 1A)
And the first and second substrates 31 and 3
It is intended to be installed over three spaces. The connection mechanism 41 is connected to the first and second substrates 31 and 3.
3 and a holding portion 41a for temporarily fixing these substrates.
And a tubular portion 41b for connecting a communication port (also referred to as a gap) 37a (see FIG. 2A) surrounded by the first and second substrates 31, 33 and the sealing material 37 to the outside of the chamber 45. Is provided. The holding portion 41a can hold the first and second substrates 31 and 33 in their thickness direction (the state of FIG. 1B), and releases the holding posture by, for example, an action of an operator (FIG. 2 ( (A)) (for example, a configuration like a clothespin). In addition, the tubular portion 4
1b has a tubular portion 41b
An airtight holding member (packing) 41c (shown with diagonal lines in FIG. 2B) for the purpose of airtightly connecting the air gap 37a on the substrate side with the air gap 37a is provided. In addition, fixture 3
9 is a connection mechanism 4 for the first and second substrates 31 and 33.
It is provided at a well-balanced position different from the position where 1 is fixed. The fixing device 39 can of course use the connection mechanism 41, but the tubular portion 41b and the airtight holding member 41c are unnecessary for the purpose of the fixing device 39 in the first place. 4
Except for 1c, the hollow portion of the tubular portion is made solid.
【0032】そして、第一および第二の基板31、33
の双方または一方に所定通りシール材37を塗布し、か
つ、これら基板をスペーサ35を介して対向させたもの
に、上述の固定具39および接続機構41をその挟持部
41aが広げられた状態で接触させ、その後、挟持部4
1aを挟持状態の位置に戻す。これにより、構造体43
が得られる。Then, the first and second substrates 31, 33
The fixing member 39 and the connection mechanism 41 are applied to a state in which the sealing material 37 is applied to both or one of them as predetermined, and the substrates are opposed to each other via the spacer 35 in a state where the holding portion 41a is spread. Contact, and then the holding portion 4
1a is returned to the position of the holding state. Thereby, the structure 43
Is obtained.
【0033】なお、固定具39および接続機構41は導
電性材料で構成するのが好適である。そして、固定具3
9および接続機構41を接地しておくのが良い。それ
は、基板の貼り合わせ作業中に構造体43に静電気が生
じる場合がありこの静電気が液晶パネルの構成部品(例
えば薄膜トランジスタ)を破損する原因となるので、こ
の静電気を極力排除するためである。もっとも、この発
明の貼り合わせ方法の場合、第一および第二の基板3
1、33の加圧を気体の圧力によって行える(詳細は後
述する)ので、図9を用いて説明したプレス上板を石英
板とするような場合と比べると静電気の発生は著しく低
減されると考えられるから、固定具39および接続機構
41を導電性材料で構成したりこれらを接地することは
必ずしも必須ではないとも考えられる。It is preferable that the fixing tool 39 and the connection mechanism 41 are made of a conductive material. And the fixture 3
9 and the connection mechanism 41 are preferably grounded. The reason is that static electricity may be generated in the structure 43 during the bonding operation of the substrates, and this static electricity may cause damage to the components (for example, thin film transistors) of the liquid crystal panel. However, in the case of the bonding method of the present invention, the first and second substrates 3
Since pressurization of 1, 33 can be performed by the pressure of gas (details will be described later), the generation of static electricity is significantly reduced as compared with the case where the upper plate of the press is a quartz plate described with reference to FIG. Therefore, it is considered that it is not always necessary to configure the fixing tool 39 and the connection mechanism 41 with a conductive material or ground them.
【0034】一方、室45は、これに限られないが、例
えば図3に斜視図をもって示したように、箱体であって
上側部分45aと下側部分45dとをヒンジ手段45e
を介し接続した箱体で構成できる。上側部分45aおよ
び下側部分45dは、両者の対向部分側に気密保持部材
(パッキン)45bまたは45cを有し、かつ、所定部
に上記固定具39若しくは接続機構41の一部がはめ合
わされる凹部45fを有し、しかも、両部分45a、4
5dを作業時に固定し室45の内部を外部から実質密閉
された系とすることができるよう固定手段を45gを有
した構成としてある。基板貼り合わせの試料の入れ替え
は、固定手段45gを解除して上側部分45aを上方に
移動させて室45を開けた状態にすることで行える。On the other hand, the chamber 45 is not limited to this. For example, as shown in a perspective view in FIG. 3, the upper part 45a and the lower part 45d are a box body and hinge means 45e.
It can be composed of a box connected via a. The upper part 45a and the lower part 45d have airtight holding members (packing) 45b or 45c on the opposing part side thereof, and a concave part in which a part of the fixing tool 39 or the connection mechanism 41 is fitted in a predetermined part. 45f, and both parts 45a,
5d is fixed at the time of work, and 45 g of fixing means is provided so that the inside of the chamber 45 can be made a substantially closed system from the outside. The replacement of the sample to be bonded to the substrate can be performed by releasing the fixing means 45g and moving the upper portion 45a upward to open the chamber 45.
【0035】図1〜図3を用いて説明した第1実施例の
構成では、室45の室内がこの発明でいう任意の第一の
圧力に設定し得る気体雰囲気となり得、また、この室4
5外部が第一の圧力より低い任意の第二の圧力に設定し
得る気体雰囲気となり得る。そこでこの実施例の場合
は、室45内を任意の第一の圧力に設定するためにこの
室45に圧力調整機構51を接続してある。そして、こ
の実施例では、圧力調整機構51を、圧力制御弁など好
適な圧力調整機能を有したコンプレッサ51aと、この
コンプレッサ51aおよび室45間を接続する配管51
bとで構成してある。コンプレッサ51aはそれが出力
する気体を加熱できる構成とすると、基板貼り合わせに
用いるシール材が熱硬化性のものの場合など便宜である
ので、気体を加熱できる能力を付加したものとするのが
好適である。また、配管51bは室45の上側部分45
aの開閉を行うことを考えるとフレキシブルのものとす
るのが良い。なお、第二の圧力を大気圧以下にする必要
がある場合は、圧力調整機構51に接続機構41に接続
される排気装置を加えても良い。In the configuration of the first embodiment described with reference to FIGS. 1 to 3, the interior of the chamber 45 can be a gas atmosphere which can be set to an arbitrary first pressure according to the present invention.
5 The outside can be a gaseous atmosphere that can be set to any second pressure lower than the first pressure. Therefore, in the case of this embodiment, a pressure adjusting mechanism 51 is connected to the chamber 45 in order to set the inside of the chamber 45 to an arbitrary first pressure. In this embodiment, the pressure adjusting mechanism 51 is provided with a compressor 51a having a suitable pressure adjusting function such as a pressure control valve, and a pipe 51 connecting the compressor 51a and the chamber 45.
b. If the compressor 51a is configured to be able to heat the gas output from the compressor 51a, it is convenient, for example, when the sealing material used for bonding the substrates is a thermosetting material. is there. Further, the pipe 51b is connected to the upper part 45 of the chamber 45.
Considering the opening and closing of a, it is preferable to make it flexible. When the second pressure needs to be lower than the atmospheric pressure, an exhaust device connected to the connection mechanism 41 may be added to the pressure adjustment mechanism 51.
【0036】また、この実施例では室45内部であっ
て、第一の基板31の上方および第二の基板33の下方
それぞれに当たる好適位置(この例では室45の壁)
に、シール材37硬化させるためのエネルギーをそれに
供給するためのエネルギー供給機構53を設けてある。
エネルギー供給機構53は、シール材37の種類に応じ
好適なエネルギー源を有するものとすれば良い。シール
材37が熱硬化形のものであればヒータを含むもの(ヒ
ータそのものの場合やヒータを埋め込んだ板など任意の
もの。以下同じ。)とでき、シール材37が紫外線硬化
形のものであれば紫外線ランプおよび必要に応じヒータ
を含むものとできる。In this embodiment, a suitable position (the wall of the chamber 45 in this example) which is inside the chamber 45 and which is above the first substrate 31 and below the second substrate 33, respectively.
Further, an energy supply mechanism 53 for supplying energy for curing the sealing material 37 to the sealing material 37 is provided.
The energy supply mechanism 53 may have a suitable energy source according to the type of the sealing material 37. If the sealing material 37 is of a thermosetting type, the sealing material 37 may include a heater (arbitrary things such as a heater itself or a plate in which a heater is embedded; the same applies hereinafter), and the sealing material 37 may be of an ultraviolet curing type. For example, it may include an ultraviolet lamp and a heater as necessary.
【0037】なお、この第1実施例における装置構成は
図1〜図3を用いた例に限られない。例えば、図4
(A)に示したように、室45の壁を、シール材37を
硬化させるためのエネルギーを透過させ得る材料で構成
した場合は、当該エネルギー供給機構53を室45の外
部の好適位置に設けることも可能である。また、図4
(B)に示したように、室45自体を、貼り合わせ対象
の構造体43全体が収納可能な構成で、かつ、室45の
壁に室45の内外を連絡するフレキシブルな管61を有
している構成の部屋とすることもできる。なお、図4
(B)において63は構造体43を載せるための台座で
ある。この図4(B)の構成の場合は、室45に収納さ
れた貼り合わせ対象の構造体における接続機構の管状部
41bを上記フレキシブルな管61と接続することで、
第一および第二の基板31、33とシール材37とで囲
まれる空隙37a(図2(A)参照)を室45外部に接
続できる。The configuration of the apparatus according to the first embodiment is not limited to the example shown in FIGS. For example, FIG.
As shown in (A), when the wall of the chamber 45 is made of a material that can transmit energy for curing the sealing material 37, the energy supply mechanism 53 is provided at a suitable position outside the chamber 45. It is also possible. FIG.
As shown in (B), the chamber 45 itself is configured to be able to store the entire structure 43 to be bonded, and has a flexible tube 61 that connects the inside and outside of the chamber 45 to the wall of the chamber 45. It is also possible to use a room with a different configuration. FIG.
In (B), 63 is a pedestal on which the structure 43 is placed. In the case of the configuration shown in FIG. 4B, by connecting the tubular portion 41b of the connection mechanism in the structure to be bonded accommodated in the chamber 45 to the flexible tube 61,
A space 37 a (see FIG. 2A) surrounded by the first and second substrates 31 and 33 and the sealing material 37 can be connected to the outside of the chamber 45.
【0038】 1−1−2.主に貼り合わせ方法の原理説明 この第1実施例の構成においては、貼り合わせ対象の構
造体43における第一および第二の基板31、33とシ
ール材37とで囲まれる空隙37a(図2(A)参照)
は、接続機構41によって(図4(B)の例では接続機
構41およびフレキシブルな管61によって)室45の
外部と接続されているので空隙37a内の圧力ほぼ大気
圧になる。一方、圧力調整機構51のコンプレッサ51
aによって気体例えば空気を室45内に送ると室45は
実質的に気密状態であるので室45の内部圧力が高まり
室内の圧力は大気圧より高い圧力となる。よって、室4
5内と空隙37a内とに圧力差が生じるので、この圧力
差により、貼り合わせ対象の構造体43における第一お
よび第二の基板31,33は互いが近づくように加圧さ
れる。この圧力差を調整することにより第一および第二
の基板31、33間の距離を制御できる。このようにこ
の発明では貼り合わせ対象の構造体43における両基板
31、33を、気体の圧力によって加圧できる。すなわ
ち、加圧板を第一および第二の基板31、33に機械的
に接触させるようなことを行うことなく両基板31、3
3を加圧できる。1-1-2. Mainly Principle Description of Bonding Method In the configuration of the first embodiment, in the structure 43 to be bonded, a gap 37 a surrounded by the first and second substrates 31 and 33 and the sealing material 37 (FIG. A))
Is connected to the outside of the chamber 45 by the connection mechanism 41 (in the example of FIG. 4B, by the connection mechanism 41 and the flexible pipe 61), so that the pressure in the gap 37a becomes almost atmospheric pressure. On the other hand, the compressor 51 of the pressure adjusting mechanism 51
When a gas, for example, air is sent into the chamber 45 by a, the chamber 45 is in a substantially airtight state, so that the internal pressure of the chamber 45 increases and the pressure in the chamber becomes higher than the atmospheric pressure. Therefore, room 4
5 and the gap 37a, a pressure difference is generated between the first and second substrates 31 and 33 in the structure 43 to be bonded. By adjusting this pressure difference, the distance between the first and second substrates 31, 33 can be controlled. As described above, according to the present invention, both the substrates 31 and 33 in the structure 43 to be bonded can be pressurized by the gas pressure. That is, both the substrates 31 and 3 are pressed without mechanically bringing the pressing plate into contact with the first and second substrates 31 and 33.
3 can be pressurized.
【0039】このことは、多数組の基板の貼り合わせを
同時にする場合、例えば、図5に示したように、室45
を多数個の構造体43(多数組の基板)が収納できるよ
うな大型のものとし、この室45の内部に構造体43を
互いが孤立した状態で設置しても(つまり図8(B)で
説明したように積層状態にすることなく)各構造体43
それぞれの基板貼り合わせができることを意味する。し
たがって、図8(B)の場合に比べ、各構造体43毎の
第一および第二の基板をそれぞれほぼ同じ条件で加圧で
きる。さらに、この図5において各構造体43で用いて
いるシール材が熱硬化性のものであるとすると室45内
に温風を供給することで各構造体を加熱でき、しかも、
図8(B)の場合に比べ各構造体それぞれをほぼ同じ加
熱条件で加熱することができる。This is because when a large number of sets of substrates are simultaneously bonded, for example, as shown in FIG.
Is large enough to accommodate a large number of structures 43 (many sets of substrates), and even if the structures 43 are installed in an isolated state inside the chamber 45 (that is, FIG. 8B). Each of the structures 43 is not stacked (as described in the above).
It means that each substrate can be bonded. Therefore, compared to the case of FIG. 8B, the first and second substrates of each structure 43 can be pressed under substantially the same conditions. Further, assuming that the sealing material used in each structure 43 in FIG. 5 is a thermosetting material, each structure can be heated by supplying warm air into the chamber 45, and
Each structure can be heated under substantially the same heating conditions as compared to the case of FIG.
【0040】1−2.第2実施例 上述の第1実施例では、構造体43を第一の圧力とし得
る室45内に実質全体収納する例を説明した。しかし、
この発明は、この第1実施例の例に限られず、表示パネ
ル形成用の第一および第二の基板の、他方の基板と対向
する面とは反対面のみを、第一の圧力とし得る気体雰囲
気に接触させる構成としてももちろん良い。この第2実
施例はその具体例である。図6はその説明に供する図で
あり図1(B)と同様な状態で示した側面図である。1-2. Second Embodiment In the above-described first embodiment, an example in which the structure 43 is substantially entirely housed in the chamber 45 that can be set to the first pressure has been described. But,
The present invention is not limited to the example of the first embodiment, and the first and second substrates for forming a display panel can be set to the first pressure only on the surface opposite to the surface facing the other substrate. Of course, a configuration in which it is brought into contact with the atmosphere may be used. The second embodiment is a specific example. FIG. 6 is a diagram provided for the explanation, and is a side view shown in a state similar to FIG.
【0041】この第2実施例では、第一および第二の室
71、73を用意する。それぞれの室71、73は箱体
を半分から割ったような構造のものとしている。そし
て、第一の基板31の第二の基板33と対向する面とは
反対側の面に第一の室71の内部空間が接触するように
この第一の室71を気密保持部材75を介してこの第一
の基板31上に設置する。また、第二の基板33の第一
の基板31と対向する面とは反対側の面に第二の室73
の内部空間が接触するようにこの第二の室73を気密保
持部材75を介してこの第二の基板33上に設置する。
第一の室71および第二の室73は、これらの壁の縁が
第一の基板31若しくは第二の基板33に気密保持部材
75を介して良好に接触するように、例えば、バンド状
の固定手段77で固定しておく。そして、圧力調整機構
51を動作させて第一および第二の室71、73内の圧
力を大気圧以上の所定圧力とする。この第2実施例の場
合も第1実施例同様に室71、73内の圧力と貼り合わ
せ対象の構造体43における空隙37a内の圧力とに差
が生じるので、貼り合わせ対象の構造体における第一お
よび第二の基板31、33を気体によって加圧できる。
なお、図6では基板31、33に接続機構41を接続し
た例を示しているが、この第2実施例ではこの接続機構
41はかならずしも必要でなくこの部分に固定具39を
用いても良い。それは、この第2実施例では、基板3
1、33の特定面のみ室71または室73内に収納され
た構成となっているので、空隙37aはすでに室71や
室73外部に露出されているからである。むしろ、この
第2実施例では、第一および第二の室71、73の大き
さとこれら室の壁と気密保持部材75とで、接続機構4
1が構成されているといえる。In the second embodiment, first and second chambers 71 and 73 are prepared. Each of the chambers 71 and 73 has a structure in which a box is split from half. Then, the first chamber 71 is interposed via the airtight holding member 75 so that the internal space of the first chamber 71 contacts the surface of the first substrate 31 opposite to the surface facing the second substrate 33. The lever is placed on the first substrate 31. Further, a second chamber 73 is provided on the surface of the second substrate 33 opposite to the surface facing the first substrate 31.
The second chamber 73 is set on the second substrate 33 via the airtight holding member 75 so that the internal space of the second substrate 73 comes into contact.
The first chamber 71 and the second chamber 73 are, for example, band-shaped so that the edges of these walls are in good contact with the first substrate 31 or the second substrate 33 via the airtight holding member 75. It is fixed by fixing means 77. Then, the pressure adjusting mechanism 51 is operated to set the pressure in the first and second chambers 71 and 73 to a predetermined pressure equal to or higher than the atmospheric pressure. Also in the case of the second embodiment, similarly to the first embodiment, there is a difference between the pressure in the chambers 71 and 73 and the pressure in the gap 37a in the structure 43 to be bonded. The first and second substrates 31, 33 can be pressurized by gas.
FIG. 6 shows an example in which the connection mechanism 41 is connected to the substrates 31 and 33. However, in the second embodiment, the connection mechanism 41 is not always necessary, and the fixture 39 may be used in this portion. In the second embodiment, the substrate 3
This is because only the specific surfaces 1 and 33 are housed in the room 71 or the room 73, so that the gap 37a is already exposed to the outside of the room 71 or the room 73. Rather, in the second embodiment, the size of the first and second chambers 71 and 73, the walls of these chambers, and the airtight holding member 75 make the connection mechanism 4
1 can be said to be configured.
【0042】上述においてはこの発明の表示パネルの基
板の貼り合わせ方法およびその実施に好適な装置の実施
例について併せて説明したが、この発明は上述の実施例
に限られない。In the above description, the embodiment of the method for bonding the substrates of the display panel of the present invention and the apparatus suitable for carrying out the method have been described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment.
【0043】例えば、上述の実施例では第一の圧力を大
気圧より高い圧力とし、第二の圧力を大気圧としていた
が、これら圧力はこの例に限られない。たとえば、第二
の圧力を大気圧より低い適当な圧力とすることもでき
る。また場合によっては、第一及び第二の圧力双方を大
気圧以下に設定しても良い。For example, in the above-described embodiment, the first pressure is set to a pressure higher than the atmospheric pressure, and the second pressure is set to the atmospheric pressure. However, these pressures are not limited to this example. For example, the second pressure can be an appropriate pressure lower than the atmospheric pressure. In some cases, both the first and second pressures may be set to be equal to or lower than the atmospheric pressure.
【0044】また、固定具39、接続機構41、室4
5、圧力調整機構51のそれぞれの形状および構成は実
施例に限られず、設計に応じた任意好適なものとでき
る。The fixing device 39, the connection mechanism 41, the chamber 4
5. The shape and configuration of each of the pressure adjusting mechanisms 51 are not limited to those in the embodiment, but may be any suitable ones according to the design.
【0045】また、上述の実施例では、第一および第二
の基板が1個の表示パネル形成用のものである例を示し
たが、図7に示したように第一および第二の基板が多数
個(図7の例では4個)の表示セルを得るようなものの
場合本来のシール材37のパターンとは別途に、図1
(A)に示した1個取りの場合のシール材のパターンに
相当する第2のパターン81を第一および第二の基板間
に設けるのが良い。その理由は、表示パネルを多数個と
る場合は第一および第二の基板31,33間に各表示パ
ネル毎の空隙37v,37w,37x,37zが構成さ
れこれら空隙を第二の圧力の雰囲気に接続することが大
変になるが、第2のパターン81を設けると、各表示セ
ル用の上記空隙37v〜37zを第1実施例の場合の要
領で第二の圧力の気体雰囲気に容易に接続できるように
なるからである。In the above embodiment, the first and second substrates are used for forming one display panel. However, as shown in FIG. 7, the first and second substrates are formed as shown in FIG. In the case where a large number of display cells are obtained (four in the example of FIG. 7), the pattern of the sealing material 37 is different from the original pattern of the sealing material 37.
It is preferable to provide a second pattern 81 corresponding to the pattern of the sealing material in the case of single-piece as shown in (A) between the first and second substrates. The reason is that when a large number of display panels are used, gaps 37v, 37w, 37x, 37z for each display panel are formed between the first and second substrates 31, 33, and these gaps are exposed to an atmosphere of a second pressure. Although the connection is difficult, if the second pattern 81 is provided, the gaps 37v to 37z for each display cell can be easily connected to the gas atmosphere of the second pressure in the manner of the first embodiment. That is because
【0046】また、上述の第1実施例ではシール材37
の横方向からも第一の圧力が及ぶのでシール材37が基
板の縁部側から基板の中央部に向かって押される危険性
がある。これを回避する必要がある場合は、貼り合わせ
対象の構造体43の縁部の周囲(接続機構41、固定具
39の部分は除く)を何らかの方法で覆うようにしても
良い。In the first embodiment, the sealing material 37 is used.
Since the first pressure is applied also from the lateral direction, there is a risk that the sealing material 37 is pushed from the edge of the substrate toward the center of the substrate. If it is necessary to avoid this, the periphery of the edge of the structure 43 to be bonded (excluding the connection mechanism 41 and the fixing tool 39) may be covered by some method.
【0047】2.第三及び第四発明の説明 次に、第一の基板及び第二の基板間に所定間隙を維持し
つつ両基板を貼り合わせることを両基板間にスペーサを
介在させることなく行なえる方法(第三発明)及び装置
(第四発明)の各実施例について、併せて説明する。図
11はその説明に供する図であり、第四発明の一実施例
に相当する貼り合わせ装置100の構成を貼り合わせ対
象の構造体150と共に示した平面図及びそのI−I線
における断面図である。ただし、平面図においては断面
図に示した構成成分の一部例えば基板加圧部の上板等の
図示を省略している。また、第一発明における貼り合わ
せ対象の構造体43がスペーサを両基板間に介在させて
いたのに対し、第三発明の貼り合わせ対象の構造体15
0は、スペーサを用いることなく、表示パネル形成用の
第一の基板31及び第二の基板33をシール材37を介
し対向させたものである。シール材37の塗布位置は第
一発明の構造体と同様である。したがって、構造体15
0は、第一発明の場合同様、液晶封入の目的のため、シ
ール材37を介在させない部分37aを有したものであ
る。2. Description of Third and Fourth Inventions Next, a method of bonding both substrates while maintaining a predetermined gap between the first substrate and the second substrate without interposing a spacer between the two substrates (No. Embodiments of the (third invention) and the apparatus (fourth invention) will be described together. FIG. 11 is a diagram provided for the description, and is a plan view showing a configuration of a bonding apparatus 100 corresponding to an embodiment of the fourth invention together with a structure 150 to be bonded, and a cross-sectional view taken along line II. is there. However, in the plan view, some of the components shown in the cross-sectional view, such as the upper plate of the substrate pressing unit, are not shown. Further, while the structure 43 to be bonded in the first invention has a spacer interposed between the two substrates, the structure 15 to be bonded in the third invention has
Numeral 0 indicates that the first substrate 31 and the second substrate 33 for forming the display panel are opposed to each other via the sealing material 37 without using a spacer. The application position of the sealing material 37 is the same as that of the structure of the first invention. Therefore, the structure 15
0 has a portion 37a in which the sealing material 37 is not interposed for the purpose of enclosing the liquid crystal, as in the case of the first invention.
【0048】この実施例の貼り合わせ装置100は、貼
り合わせ対象の構造体150の第一の基板31及び第二
の基板33の互いが対向する面とは反対面からこれら基
板31、33を加圧するための基板加圧部102と、前
記第一の基板、第二の基板およびシール材で囲われる空
隙Sに前記基板加圧部からの加圧力に対向する任意の圧
力の気体を供給するための気体供給部104と、基板加
圧部102及び気体供給部104の圧力の双方または一
方を調整するための圧力調整機構102c,104bと
前記シール材37にそれを硬化させるためのエネルギー
を供給するためのエネルギー供給機構106とを具えて
いる。さらに、この実施例の貼り合わせ装置100は、
気体供給部104から供給される気体圧力に対向する第
3の圧力を前記シール材37に対し供給するためのシー
ル材加圧部108を具える。The bonding apparatus 100 of this embodiment adds the substrates 31 and 33 from the surface of the structure 150 to be bonded from the surface opposite to the surface of the first substrate 31 and the second substrate 33 facing each other. A substrate pressurizing unit 102 for pressurizing, and a gas at an arbitrary pressure opposite to a pressing force from the substrate pressurizing unit to a gap S surrounded by the first substrate, the second substrate, and the sealant. And a pressure adjusting mechanism 102c, 104b for adjusting one or both of the pressures of the substrate pressurizing unit 102 and the gas supplying unit 104, and the energy for curing the sealant 37. And an energy supply mechanism 106. Further, the bonding apparatus 100 of this embodiment
There is provided a sealing member pressurizing unit 108 for supplying a third pressure to the sealing member 37 opposite to the gas pressure supplied from the gas supply unit 104.
【0049】ここで、基板加圧部102は、この場合、
貼り合わせ対象の構造体150を置くための下板102
b、貼り合わせた対象の構造体を加圧する上板102a
と、上板102aに所定圧力を印加しながら該上板10
2aを駆動する圧力調整機構102cとで構成してい
る。もしシール材37として紫外線硬化型の接着材を用
いる場合は上板102aを紫外線透過率の高い材料例え
ば石英で構成するのが良い。また、圧力調整機構は例え
ば油圧、水圧、空圧などを用いたプレス装置で構成出来
る。或は、上板102aを移動するためのモータ等と、
該上板102aの貼り合わせ対象の構造体150に対す
る圧力を感知する圧力センサ及びまたは構造体150に
おける第一及び第二の基板の間隔を検出する位置センサ
とを有し、上板102aを構造体150に適性に押し当
てることができる構成のものでも良い。勿論、基板加圧
部102を第一発明の加圧方法(気体雰囲気を利用した
方法)を実施出来る装置(第二発明の装置)としても良
い。Here, in this case, the substrate pressing unit 102
Lower plate 102 for placing structure 150 to be bonded
b, upper plate 102a for pressing the bonded structure
While applying a predetermined pressure to the upper plate 102a.
2a. If an ultraviolet-curable adhesive is used as the sealing material 37, the upper plate 102a is preferably made of a material having a high ultraviolet transmittance, for example, quartz. The pressure adjusting mechanism can be constituted by a press device using, for example, hydraulic pressure, hydraulic pressure, pneumatic pressure, or the like. Or, a motor or the like for moving the upper plate 102a,
A pressure sensor for sensing the pressure of the upper plate 102a against the structure 150 to be bonded and / or a position sensor for detecting the distance between the first and second substrates in the structure 150; It may have a configuration capable of appropriately pressing the substrate 150. Of course, the substrate pressing unit 102 may be a device (a device of the second invention) capable of performing the pressing method of the first invention (a method using a gas atmosphere).
【0050】また、気体供給部104は、例えば不活性
ガス等の好適なガス源および圧力調整弁さらには空隙S
に一度導入した気体を排気するための排気装置などを有
した構成の圧力調整機構104bと、該機構104bを
貼り合わせ対象の構造体150におけるシール材37を
設けていない部分37aを介し基板間の空隙Sに供給す
ることを確実に行なうための接続機構104aとを具え
たものとしている。接続機構104aは任意好適な構成
とできる。The gas supply unit 104 is provided with a suitable gas source such as an inert gas, a pressure regulating valve, and a gap S.
A pressure adjusting mechanism 104b having an exhaust device for exhausting the gas once introduced to the substrate, and a substrate 37 via a portion 37a of the structure 150 to which the sealing member 37 is not provided with the sealing material 37 provided with the mechanism 104b. A connection mechanism 104a for surely supplying the air to the gap S is provided. The connection mechanism 104a can have any suitable configuration.
【0051】また、エネルギ供給機構は用いるシール材
の種類に応じ任意のものと出来る。シール材を紫外線硬
化型の接着剤とする場合は紫外線源とすれば良い。Further, the energy supply mechanism can be optional depending on the type of sealing material used. When an ultraviolet-curable adhesive is used as the sealing material, an ultraviolet light source may be used.
【0052】また、シール材加圧部108は、この場
合、シール材37に対し側方から第3の圧力を印加出来
るようにするために貼り合わせ対象の構造体150の側
方を覆うための覆い部材108aと、ベローズ108b
と、シール部108cと、第3の圧力を調整する圧力調
整機構108dとを具える。圧力調整機構108dは例
えば不活性ガス等の好適なガス源および圧力調整弁など
を有したもので構成している。覆い部材108aは、そ
の一部に圧力調整機構108dから供給される気体を覆
い部材108a内に供給するための開口部108eを有
したものとしている。ベローズ108bは、基板加圧部
102の上板の上下動を考慮して設けてある。また、シ
ール部108cは覆い部材108a内の気密を維持する
目的で設けてある。Further, in this case, the sealing member pressing section 108 is for covering the side of the structure 150 to be bonded so that the third pressure can be applied to the sealing member 37 from the side. Cover member 108a, bellows 108b
, A seal portion 108c, and a pressure adjusting mechanism 108d for adjusting the third pressure. The pressure adjusting mechanism 108d includes a suitable gas source such as an inert gas and a pressure adjusting valve. The covering member 108a has an opening 108e for supplying gas supplied from the pressure adjusting mechanism 108d to the inside of the covering member 108a. The bellows 108b is provided in consideration of the vertical movement of the upper plate of the substrate pressing unit 102. Further, the seal portion 108c is provided for the purpose of maintaining airtightness in the cover member 108a.
【0053】この第三発明の実施例の貼り合わせ方法で
は、貼り合わせ対象の構造体150を、第一及び第二の
基板31、33間に所定空隙を維持しながら貼り合わせ
る際に、前記所定空隙を維持することを、第一の基板3
1、第二の基板33およびシール材37で囲われる空隙
Sに気体加圧部104により適正な圧力の気体を供給す
ることにより行なう。その手順は種々のものが考えられ
るが、例えば以下の手順がとれる。In the bonding method according to the third embodiment of the present invention, when bonding the structure 150 to be bonded while maintaining a predetermined gap between the first and second substrates 31 and 33, Maintaining the air gap is the first substrate 3
First, gas is supplied to the gap S surrounded by the second substrate 33 and the sealing material 37 by the gas pressurizing unit 104 at an appropriate pressure. Although various procedures are conceivable, for example, the following procedure can be adopted.
【0054】先ず、第一及び第二の基板31、33間の
間隔が所定値となるように、基板加圧部102の上板1
02aに圧力調整機構102cにより圧力を加えて第一
及び第二の基板31、33を加圧する。また、基板加圧
部102による加圧の後に、或は、基板加圧部102の
加圧と平行して、気体供給部104を動作させて、両基
板31、33及びシール材37で囲われる空隙S内に不
活性ガスなどの好適な気体を所定圧力及び流量で供給す
る。この条件は、両基板にたわみが生じることを防止し
両基板間の間隙を所定値とできるよう設定されるもので
あり、パネルの規模や形状等に応じ予め条件出しをして
おくのが好適である。また、この実施例ではシール材加
圧部108を適性に動作させることにより、気体供給部
104の圧力に対向する圧力を生じさせることが出来
る。気体供給部104から空隙S内に供給された気体の
圧力PA (図11参照)は、場合によってはシール材3
7を空隙S側から横方向に移動させてしまう場合が生じ
これにより第一及び第二の基板の位置ずれが生じる危険
がある。このようなとき、シール材加圧部108を動作
させて該シール材加圧部108から第三の圧力PB を供
給するとシール材37の横方向の移動を停止出来るので
好適である。First, the upper plate 1 of the substrate pressing section 102 is set so that the distance between the first and second substrates 31 and 33 becomes a predetermined value.
The first and second substrates 31 and 33 are pressurized by applying pressure to 02a by the pressure adjusting mechanism 102c. After the pressurization by the substrate pressurization unit 102 or in parallel with the pressurization of the substrate pressurization unit 102, the gas supply unit 104 is operated to be surrounded by the substrates 31 and 33 and the sealing material 37. A suitable gas such as an inert gas is supplied into the gap S at a predetermined pressure and flow rate. This condition is set so as to prevent the occurrence of bending in both substrates and to set the gap between both substrates to a predetermined value, and it is preferable to determine the conditions in advance according to the scale and shape of the panel. It is. Further, in this embodiment, a pressure opposing the pressure of the gas supply unit 104 can be generated by appropriately operating the sealant pressing unit 108. The pressure P A of the gas supplied from the gas supply unit 104 into the gap S (see FIG. 11) may be changed depending on the case.
7 may be moved laterally from the gap S side, and there is a risk that the first and second substrates may be displaced. In such a case, it is preferable because by operating the sealing member pressing 108 can stop the movement of the transverse sealing material 37 is supplied to the third pressure P B from the sealing material pressurizing portion 108.
【0055】両基板31、33間の間隔が所定値からず
れた場合等、必要に応じ、基板加圧部102と気体供給
部104との圧力を調整する。If the distance between the substrates 31 and 33 deviates from a predetermined value, the pressure between the substrate pressing unit 102 and the gas supply unit 104 is adjusted as needed.
【0056】次に、エネルギ供給機構106を必要時間
動作させてシール材37を硬化させる。シール材37を
硬化させる際にもし発熱などの影響で空隙Sの内圧等が
変動し両基板31、33間の間隔を変動させる危険があ
る場合は、圧力調整機構104bにより空隙S内の圧力
を速やかに制御する。Next, the energy supply mechanism 106 is operated for a required time to cure the sealing material 37. When the sealing material 37 is cured, if the internal pressure of the gap S fluctuates due to the influence of heat generation or the like and there is a danger that the gap between the substrates 31 and 33 fluctuates, the pressure in the gap S is reduced by the pressure adjusting mechanism 104b. Control promptly.
【0057】シール材37の硬化が終了したら、空隙S
内に導入しておいた気体を圧力調整機構104bに備わ
る排気装置により排気する。なぜなら、シール材37を
塗布していない部分37aは一般に狭い面積であるので
空隙S内に導入した気体は強制的に排除しないと外部に
除去されにくいからである。その後、基板加圧部102
による基板加圧を終了する。When the curing of the sealing material 37 is completed, the gap S
The gas introduced inside is exhausted by an exhaust device provided in the pressure adjusting mechanism 104b. This is because the portion 37a to which the sealing material 37 is not applied has a generally small area, so that the gas introduced into the gap S is not easily removed to the outside unless forcedly removed. Then, the substrate pressing unit 102
The substrate pressurization by is ended.
【0058】貼り合わせの終了した試料を装置100か
ら取り出すには、この装置100の場合、図12(A)
に示したように、シール部108cを下板102bから
外し、上板102a及び覆い部材108a、接続機構1
04a等を下板102bから離す。そして、図12
(B)に示すように試料を取れば良い。新たな貼り合わ
せ対象の構造体の貼り合わせ装置100への設置は上記
取り外し手順の逆の手順で行なえば良い。In order to take out the bonded sample from the apparatus 100, in the case of this apparatus 100, FIG.
As shown in the figure, the seal portion 108c is removed from the lower plate 102b, and the upper plate 102a, the cover member 108a, and the connection mechanism 1
04a and the like are separated from the lower plate 102b. And FIG.
A sample may be taken as shown in FIG. The installation of a new structure to be bonded to the bonding apparatus 100 may be performed in a procedure reverse to the above-described removal procedure.
【0059】上述においては、第三及び第四発明の実施
例について説明したが、これら発明は上述の実施例に限
られない。Although the third and fourth embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments.
【0060】上記第三及び第四発明の実施例では、気体
供給部104の圧力に対向する第三の圧力をシール材加
圧部108により供給する例を説明したが、シール材の
種類やシール材の塗布面積によってはシール材の横方向
移動の危険がない場合もある。その場合はシール材を第
3の圧力で加圧する必要はない。その場合シール材加圧
部108を貼り合わせ装置から除去しても良い。図13
にその例を示した。In the third and fourth embodiments of the present invention, an example has been described in which the third pressure opposing the pressure of the gas supply unit 104 is supplied by the sealing material pressing unit 108. Depending on the application area of the material, there is a case where there is no danger of lateral movement of the sealing material. In that case, there is no need to pressurize the sealing material with the third pressure. In that case, the sealing member pressurizing section 108 may be removed from the bonding apparatus. FIG.
An example is shown below.
【0061】また上述の第三発明の実施例で示した貼り
合わせの手順は単なる例示である。したがって、基板加
圧部102による加圧、気体供給部104による加圧、
シール材加圧部108による加圧のタイミング、また、
貼り合わせ後の空隙Sからの気体の排気タイミングなど
は上述の例に限られず、表示パネルの設計等に応じ変更
出来る。The bonding procedure described in the third embodiment of the present invention is merely an example. Therefore, pressurization by the substrate pressurization unit 102, pressurization by the gas supply unit 104,
Timing of pressurization by the sealing material pressurizing unit 108,
The timing of exhausting the gas from the gap S after bonding is not limited to the above example, and can be changed according to the design of the display panel and the like.
【0062】また、第四発明の実施例において説明した
基板加圧部102、気体供給部104、エネルギ供給機
構106、シール材加圧部108の具体的な構成は設計
等に応じ変更できることは明らかである。Further, it is apparent that the specific configurations of the substrate pressing unit 102, the gas supply unit 104, the energy supply mechanism 106, and the sealing material pressing unit 108 described in the fourth embodiment of the present invention can be changed according to the design or the like. It is.
【0063】[0063]
【0064】[0064]
【0065】[0065]
【0066】[0066]
【0067】[0067]
【0068】[0068]
【0069】[0069]
【0070】[0070]
【0071】[0071]
【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この
出願の第一発明の表示パネルの基板の貼り合わせ方法に
よれば、貼り合わせ対象の構造体における第一および第
二の基板の少なくとも一方を、気体を介し(機械的プレ
スで必要であった加圧板を除去した状態で)加圧でき
る。このため、多数個の貼り合わせ対象の構造体を同時
の貼り合わせ作業で処理したい場合でも各構造体を図8
(B)を用い説明した積層構成とすることなく孤立させ
た状態で加圧できるから、各試料をそれぞれ従来よ均一
な圧力で加圧でき、さらに各試料を従来より均一に加熱
できることが期待できる。また、紫外線硬化形のシール
材を用いる場合でも石英製の上板を用いることなく試料
を加圧できるので、従来問題とされていた静電気の問題
も防止若しくは従来より低減できると期待できる。As is apparent from the above description, according to the method for bonding substrates of a display panel of the first invention of this application, at least one of the first and second substrates in the structure to be bonded. Can be pressurized via a gas (with the press plate required by a mechanical press removed). For this reason, even when it is desired to process a large number of structures to be bonded by a simultaneous bonding operation, each of the structures is processed as shown in FIG.
Since it is possible to apply pressure in an isolated state without using the laminated structure described with reference to (B), it can be expected that each sample can be pressed with a uniform pressure as compared with the related art, and that each sample can be heated more uniformly than before. . Further, even when an ultraviolet-curable sealing material is used, the sample can be pressurized without using a quartz upper plate, so that the problem of static electricity, which has been a problem in the past, can be expected to be prevented or reduced as compared with the conventional case.
【0072】また、この出願の第二発明の装置によれ
ば、第一発明の貼り合わせ方法を容易に実施することが
できる。Further, according to the device of the second invention of this application, the bonding method of the first invention can be easily implemented.
【0073】また、この出願の第三発明の表示パネルの
基板の貼り合わせ方法によれば、第一の基板、第二の基
板およびシール材で囲われる空間に適正な圧力の気体を
供給しながら第一及び第二の基板を貼り合わせる。ここ
で供給される適正な圧力の気体は従来用いられていたス
ペーサの役割を果たす。そして、貼り合わせ終了後にこ
の気体は除去できる。このため、スペーサレスの表示パ
ネルが得られる。Further, according to the method of bonding the substrates of the display panel of the third invention of the present application, while supplying gas at an appropriate pressure to the space surrounded by the first substrate, the second substrate and the sealing material. The first and second substrates are bonded together. The gas of the appropriate pressure supplied here plays the role of a conventionally used spacer. Then, after the bonding is completed, this gas can be removed. For this reason, a spacer-less display panel can be obtained.
【0074】また、この出願の第四発明の装置によれ
ば、第三発明の貼り合わせ方法を容易に実施することが
できる。Further, according to the device of the fourth invention of this application, the bonding method of the third invention can be easily implemented.
【0075】[0075]
【図1】(A)および(B)は第一及び第二発明の第1
実施例の説明に供する図(その1)であり、貼り合わせ
対象の構造体と貼り合わせ装置との関係などを示した上
面図および、一部断面図を用いた側面図である。1 (A) and 1 (B) show the first and second aspects of the present invention.
It is a figure (the 1) used for explanation of an example, and is a top view showing the relation between a structure to be pasted, a pasting device, etc., and a side view using a partial sectional view.
【図2】(A)および(B)は第一及び第二発明の第1
実施例の説明に供する図(その2)であり、貼り合わせ
対象の構造体の準備手順の説明図および接続機構41の
説明図である。FIG. 2 (A) and (B) are the first and second aspects of the present invention.
FIG. 9 is a diagram (part 2) used for explaining the embodiment, and is an explanatory diagram of a procedure for preparing a structure to be bonded and an explanatory diagram of the connection mechanism 41.
【図3】第一及び第二発明の第1実施例の説明に供する
図(その3)であり、貼り合わせ装置に備わる室の説明
に供する斜視図である。FIG. 3 is a diagram (part 3) for explaining the first embodiment of the first and second inventions, and is a perspective view for explaining a chamber provided in the bonding apparatus.
【図4】(A)および(B)は第一及び第二発明の第1
実施例の説明に供する図(その4)であり、変形例の説
明図である。FIG. 4 (A) and (B) are the first and second aspects of the invention.
It is FIG. (4) provided for description of an Example, and is an explanatory view of a modification.
【図5】第一及び第二発明の第1実施例の説明に供する
図(その5)であり、多数組の基板貼り合わせを行う例
を示した図である。FIG. 5 is a diagram (No. 5) used to explain the first embodiment of the first and second inventions, and is a diagram showing an example in which a large number of sets of substrates are bonded.
【図6】第一及び第二発明の第2実施例の説明に供する
図である。FIG. 6 is a diagram provided for explanation of a second embodiment of the first and second inventions.
【図7】第一及び第二発明の変形例の説明図であり、第
一および第二の基板を貼り合わせたものから多数個の表
示パネルをとる場合のシール材の好適なパターン例を示
した平面図である。FIG. 7 is an explanatory view of a modified example of the first and second inventions, and shows a preferred pattern example of a sealing material when a large number of display panels are formed from the first and second substrates bonded together. FIG.
【図8】(A)および(B)は従来のホットプレス法に
よる基板貼り合わせ方法の説明に供する図である。FIGS. 8A and 8B are diagrams for explaining a conventional method of bonding substrates by a hot press method.
【図9】従来の光プレス法による基板貼り合わせ方法の
説明に供する図である。FIG. 9 is a diagram provided for explanation of a conventional substrate bonding method using an optical pressing method.
【図10】従来技術(従来の貼り合わせ方法)でスペー
サレスとした場合(スペーサを用いない場合)の問題点
の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a problem in a case where a spacer is not used (a case where a spacer is not used) in a conventional technique (a conventional bonding method).
【図11】第三及び第四発明の実施例の説明に供する説
明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining an embodiment of the third and fourth inventions.
【図12】(A)及び(B)は第三発明の作業手順例を
示す図である。FIGS. 12A and 12B are diagrams showing an example of a work procedure according to the third invention.
【図13】第三及び第四発明の他の例の説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram of another example of the third and fourth inventions.
31:第一の基板 33:第二の基板 35:スペーサ 37:シール材 37a:連絡口(シール材がない部分) 37v〜37z:空隙 39:固定具 41:接続機構 41a:挟持部 41b:管状部 41c:気密保持部材 43:貼り合わせ対象の構造体 45:室 45a:室の上側部分 45b,45c:気密保持部材 45d:室の下側部分 45e:ヒンジ手段 45f:凹部 45g:固定手段 51:圧力調整機構 51a:コンプレッサ 51b:配管 53:エネルギー供給機構 61:フレキシブルな管 71:第一の室 73:第二の室 75:気密保持部材 77:固定手段 81:シール材の第2のパターン 100:第四発明の貼り合わせ装置 102:基板加圧部 104:気体供給部 106:エネルギ供給機構 108:シール材加圧部 31: First substrate 33: Second substrate 35: Spacer 37: Sealing material 37a: Communication port (portion without sealing material) 37v to 37z: Void 39: Fixing tool 41: Connection mechanism 41a: Clamping part 41b: Tubular Part 41c: Airtight holding member 43: Structure to be bonded 45: Chamber 45a: Upper part of the chamber 45b, 45c: Airtight holding member 45d: Lower part of the chamber 45e: Hinge means 45f: Recess 45g: Fixing means 51: Pressure adjusting mechanism 51a: Compressor 51b: Piping 53: Energy supply mechanism 61: Flexible pipe 71: First chamber 73: Second chamber 75: Airtight holding member 77: Fixing means 81: Second pattern of sealing material 100 : Bonding device of the fourth invention 102: Substrate pressing unit 104: Gas supply unit 106: Energy supply mechanism 108: Sealing material pressing unit
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−57221(JP,A) 特開 平1−257824(JP,A) 特開 昭63−163423(JP,A) 特開 平1−248132(JP,A) 特開 平2−124525(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/13 Continuation of front page (56) References JP-A-59-57221 (JP, A) JP-A-1-257824 (JP, A) JP-A-63-163423 (JP, A) JP-A-1-248132 (JP, A) , A) JP-A-2-124525 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02F 1/13
Claims (14)
の基板をシール材を介し対向させ構成した貼り合わせ対
象の構造体を、第一及び第二の基板の互いが対向する面
とは反対面側から加えられる第一の圧力により加圧し、
かつ両基板間に所定空隙を維持した状態で貼り合わせる
方法において、 前記所定空隙を維持することを、前記第一の基板、第二
の基板およびシール材で囲われる空間に前記基板面加圧
力に対向する適正な第二の圧力を加えること、並びに該
第二の圧力に対向する適正な第三の圧力を前記シール材
に加えることにより行うことを特徴とする表示パネルの
基板の貼り合わせ方法。1. A structure to be bonded, in which a first substrate and a second substrate for forming a display panel are opposed to each other with a sealant interposed therebetween, is attached to a surface of the first and second substrates facing each other. Is pressurized by the first pressure applied from the opposite side,
And in the method of bonding while maintaining a predetermined gap between both substrates, maintaining the predetermined gap, the first substrate, the second substrate and the space surrounded by the sealing material to the substrate surface pressing force A method of attaching a substrate for a display panel, comprising: applying an appropriate second pressure opposing the second pressure; and applying an appropriate third pressure opposing the second pressure to the sealing material.
の基板をこれら基板間に所定空隙を維持した状態でシー
ル材によって貼り合わせる方法において、 第一及び第二の基板をシール材を介し対向させ構成した
貼り合わせ対象の構造体における、前記第一の基板およ
び第二の基板それぞれの、他方の基板と対向する面とは
反対面側を、任意の第一の圧力に設定し得る気体雰囲気
と接触させ、 前記第一の基板、前記第二の基板および前記シール材で
囲われる空隙を、前記第一の圧力に設定される気体雰囲
気と遮断されていて前記第一の圧力より低い任意の第二
の圧力に設定し得る気体雰囲気に接続し、 前記第一の圧力および第二の圧力の双方または一方を調
整することにより前記第一および第二の基板を加圧し、
かつ、 前記第二の圧力に対向する適正な第三の圧力を前記シー
ル材に加え、 該加圧状態で前記シール材を硬化させることを特徴とす
る表示パネルの基板の貼り合わせ方法。2. A method for bonding a first substrate and a second substrate for forming a display panel with a sealing material while maintaining a predetermined gap between the substrates, wherein the first and second substrates are bonded with the sealing material. In the structure to be bonded and configured to face each other, the first substrate and the second substrate can be set to an arbitrary first pressure on the side opposite to the surface facing the other substrate. The first substrate, the second substrate and the gap surrounded by the sealing material are in contact with a gas atmosphere, and are cut off from the gas atmosphere set to the first pressure and lower than the first pressure. Connect to a gas atmosphere that can be set to any second pressure, pressurize the first and second substrates by adjusting both or one of the first pressure and the second pressure,
In addition, an appropriate third pressure opposite to the second pressure is applied to the sealing material, and the sealing material is cured in the pressurized state.
り合わせ方法において、 前記第一の圧力の気体雰囲気は、前記貼り合わせ対象の
構造体を収納し得る加圧室によって形成し、 前記第二の圧力の気体雰囲気は、前記空隙を前記加圧室
の外部の雰囲気と接続することによって形成することを
特徴とする表示パネルの基板の貼り合わせ方法。3. The method for bonding substrates of a display panel according to claim 2, wherein the gas atmosphere of the first pressure is formed by a pressurized chamber capable of storing the structure to be bonded. A method of bonding substrates for a display panel, wherein the gas atmosphere of the second pressure is formed by connecting the gap to an atmosphere outside the pressurizing chamber.
り合わせ方法において、 前記第一の圧力の気体雰囲気は、前記貼り合わせ対象の
構造体における第一及び第二の基板それぞれの、他方の
基板と対向する面とは反対面側を、それぞれ独立に気体
雰囲気に接触させることによって、形成することを特徴
とする表示パネルの基板の貼り合わせ方法。4. The method for bonding substrates of a display panel according to claim 2, wherein the first pressure gas atmosphere is the other of the first and second substrates in the structure to be bonded. A method for bonding a substrate of a display panel, the method comprising: independently contacting a surface opposite to a surface facing a substrate with a gas atmosphere.
り合わせ方法において、 第一および第二の基板をそれぞれ独立に気体雰囲気に接
触させる場合、第一の基板と接触する気体雰囲気と第二
の基板に接触する気体雰囲気との圧力を異ならせること
を特徴とする表示パネルの基板の貼り合わせ方法。5. The method for bonding a substrate of a display panel according to claim 4, wherein the first and second substrates are independently brought into contact with a gas atmosphere, respectively. A method for bonding substrates of a display panel, wherein the pressure is different from a gas atmosphere in contact with the two substrates.
示パネルの基板の貼り合わせ方法において、 前記第一の圧力を大気圧より高い圧力とし、前記第二の
圧力を大気圧若しくはそれより低い圧力とすることを特
徴とする表示パネルの基板の貼り合わせ方法。6. The method for bonding a substrate of a display panel according to claim 2, wherein the first pressure is higher than the atmospheric pressure, and the second pressure is the atmospheric pressure or the atmospheric pressure. A method for bonding a substrate of a display panel, wherein the pressure is lower than that.
示パネルの基板の貼り合わせ方法において、 前記第一および第二の基板を接地しておくことを特徴と
する表示パネルの基板の貼り合わせ方法。7. The display panel substrate according to claim 2, wherein the first and second substrates are grounded. 7. The display panel substrate according to claim 2, wherein the first and second substrates are grounded. Bonding method.
り合わせ方法において、 前記第一及び第二の基板双方を前記第一の圧力の気体雰
囲気に接触させる代わりに、いずれか一方を該気体雰囲
気に接触させることを特徴とする表示パネルの基板の貼
り合わせ方法。8. The method for bonding substrates of a display panel according to claim 2, wherein instead of bringing both the first and second substrates into contact with the gas atmosphere at the first pressure, one of the first and second substrates is attached to the other. A method for attaching a substrate of a display panel, wherein the substrate is brought into contact with a gas atmosphere.
の基板をこれら基板間に所定空隙を維持した状態でシー
ル材によって貼り合わせるための装置において、 第一及び第二の基板の互いが対向する面とは反対面側か
らこれら基板を加圧する第一の圧力のための基板加圧部
と、 前記第一の基板、第二の基板およびシール材で囲われる
空隙に前記基板加圧部からの加圧力に対向する任意の第
二の圧力のための気体を供給するための気体供給部と、 前記基板加圧部及び気体供給部の圧力の双方または一方
を調整するための圧力調整機構と、 前記気体供給部から供給される気体圧力に対向する第三
の圧力を前記シール材に対し供給するためのシール材加
圧部と、 前記シール材を硬化させるためのエネルギーを供給する
ためのエネルギー供給機構とを具えたことを特徴とする
表示パネルの基板の貼り合わせ装置。9. An apparatus for bonding a first substrate and a second substrate for forming a display panel with a sealing material while maintaining a predetermined gap between the substrates, wherein the first and second substrates are bonded to each other. A substrate pressing portion for a first pressure for pressing these substrates from a surface opposite to a surface facing the substrate, and pressing the substrate into a gap surrounded by the first substrate, the second substrate, and a sealing material. A gas supply unit for supplying gas for an arbitrary second pressure opposite to the pressing force from the unit, and a pressure adjustment for adjusting both or one of the pressures of the substrate pressurizing unit and the gas supply unit. A mechanism, a sealing member pressurizing unit for supplying a third pressure opposite to the gas pressure supplied from the gas supply unit to the sealing member, and an energy for curing the sealing member. Energy supply mechanism and Bonding apparatus of the substrate of the display panel, characterized in that comprises.
貼り合わせ装置において、 前記エネルギー供給機構を、ヒータ、熱風装置および紫
外線源から前記シール材の種類に応じ選ばれる1種以上
のものを含む機構としたことを特徴とする表示パネルの
基板の貼り合わせ装置。10. The bonding apparatus for a display panel substrate according to claim 9, wherein the energy supply mechanism is at least one selected from a heater, a hot air device, and an ultraviolet light source according to the type of the sealing material. A bonding device for a substrate of a display panel, wherein the bonding device includes a mechanism including:
二の基板をこれら基板間に所定空隙を維持した状態でシ
ール材によって貼り合わせるための装置において、 第一及び第二の基板をシール材を介し対向させ構成した
貼り合わせ対象の構造体における前記第一の基板および
第二の基板それぞれの他方の基板と対向する面とは反対
面側に接触される、任意の第一の圧力の気体雰囲気を形
成するための、室と、 前記第一の基板、前記第二の基板および前記シール材で
囲われる空隙を前記室と遮断されていて前記第一の圧力
より低い任意の第二の圧力の気体雰囲気に接続するため
の、接続機構と、 前記室内の前記第一の圧力および前記室外の前記第二の
圧力の双方または一方の圧力を、前記第一及び第二基板
を所定圧で加圧できる圧力となるように調整するため
の、圧力調整機構と、 前記第二の圧力に対向する第三の圧力を前記シール材に
対し供給するためのシール材加圧部と、 前記シール材を硬化させるためのエネルギーを供給する
ための、エネルギー供給機構とを具えたことを特徴とす
る表示パネルの基板の貼り合わせ装置。11. An apparatus for bonding a first substrate and a second substrate for forming a display panel with a sealing material while maintaining a predetermined gap between the substrates, wherein the first and second substrates are sealed. The first substrate and the second substrate in the structure to be bonded are configured to face each other via a material, and are brought into contact with surfaces of the first substrate and the second substrate that are opposite to the other substrate, respectively. A chamber for forming a gaseous atmosphere, and any second lower than the first pressure, wherein a gap surrounded by the first substrate, the second substrate, and the sealant is shut off from the chamber. A connection mechanism for connecting to a gaseous atmosphere of pressure, and a pressure of both or one of the first pressure inside the room and the second pressure outside the room at a predetermined pressure. So that it can be pressurized A pressure adjusting mechanism for adjusting the pressure, a sealant pressing unit for supplying a third pressure opposite to the second pressure to the sealant, and an energy for curing the sealant. An apparatus for bonding a substrate of a display panel, comprising an energy supply mechanism for supplying the substrate.
の貼り合わせ装置において、 前記接続機構は、第一及び第二の基板を挟みこれら基板
を仮固定するための挟持部と、前記空隙を前記室外の前
記第二の圧力の気体雰囲気に接続するための管状部とを
有する構成としてあることを特徴とする表示パネルの基
板の貼り合わせ装置。12. The bonding apparatus for a substrate of a display panel according to claim 11, wherein the connection mechanism sandwiches the first and second substrates and a holding portion for temporarily fixing the substrates, and the gap includes: And a tubular portion for connecting to the gas atmosphere of the second pressure outside the room.
ルの基板の貼り合わせ装置において、 前記接続機構の少なくとも前記第一の基板または第二の
基板と接する部分を導電性材料で構成してあることを特
徴とする表示パネルの基板の貼り合わせ装置。13. The apparatus for bonding substrates of a display panel according to claim 11, wherein at least a portion of the connection mechanism that is in contact with the first substrate or the second substrate is made of a conductive material. An apparatus for bonding a substrate of a display panel, comprising:
の貼り合わせ装置において、 前記室を、前記第一及び第二の基板の一方のみを前記第
一の圧力の気体雰囲気に接触させる室としたことを特徴
とする表示パネルの基板の貼り合わせ装置。14. The apparatus for bonding substrates of a display panel according to claim 11, wherein the chamber is a chamber for bringing only one of the first and second substrates into contact with the gas atmosphere at the first pressure. An apparatus for bonding a substrate of a display panel.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31533893A JP3270224B2 (en) | 1993-04-22 | 1993-12-15 | Method and apparatus for bonding display panel substrates |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9626693 | 1993-04-22 | ||
JP5-96266 | 1993-04-22 | ||
JP31533893A JP3270224B2 (en) | 1993-04-22 | 1993-12-15 | Method and apparatus for bonding display panel substrates |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH075405A JPH075405A (en) | 1995-01-10 |
JP3270224B2 true JP3270224B2 (en) | 2002-04-02 |
Family
ID=26437487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31533893A Expired - Fee Related JP3270224B2 (en) | 1993-04-22 | 1993-12-15 | Method and apparatus for bonding display panel substrates |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3270224B2 (en) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3024609B2 (en) * | 1997-10-09 | 2000-03-21 | 日本電気株式会社 | Liquid crystal display cell sealing device |
JP2000206545A (en) * | 1999-01-13 | 2000-07-28 | Ran Technical Service Kk | Liquid crystal end-sealing device |
JP4587242B2 (en) * | 2000-04-11 | 2010-11-24 | スタンレー電気株式会社 | Manufacturing method of liquid crystal device |
JP2002169135A (en) * | 2000-09-07 | 2002-06-14 | Seiko Epson Corp | Cell gap adjusting device, pressure sealing device, and liquid crystal display device manufacturing method |
JP4485042B2 (en) * | 2000-10-30 | 2010-06-16 | エーユー オプトロニクス コーポレイション | Gap width adjusting method, gap width adjusting device and display panel manufacturing method |
JP3742000B2 (en) | 2000-11-30 | 2006-02-01 | 富士通株式会社 | Press machine |
US6565914B2 (en) * | 2001-07-11 | 2003-05-20 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Method for controlling deposited polymer on a substrate |
US7698833B2 (en) | 2002-03-15 | 2010-04-20 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for hardening a sealant located between a pair bonded substrates of liquid crystal display device |
KR100965410B1 (en) * | 2006-07-12 | 2010-06-24 | 엘아이지에이디피 주식회사 | Substrate Bonding Device and Bonding Method of Liquid Crystal Display Device |
-
1993
- 1993-12-15 JP JP31533893A patent/JP3270224B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH075405A (en) | 1995-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3024609B2 (en) | Liquid crystal display cell sealing device | |
US6128066A (en) | Method of manufacturing liquid crystal panels with simultaneously evacuating and pressurizing and manufacturing apparatus | |
JP3953767B2 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus for liquid crystal display device | |
JP2001051284A (en) | Liquid crystal display device manufacturing equipment | |
JP3270224B2 (en) | Method and apparatus for bonding display panel substrates | |
JP3639656B2 (en) | LCD panel manufacturing equipment | |
JP2003005197A (en) | Method and device for producing liquid crystal display element | |
JP3022809B2 (en) | Method and apparatus for sealing liquid crystal display cell | |
JP3112221B2 (en) | Liquid crystal cell gap setting method | |
JP3150023B2 (en) | Liquid crystal cell gap setting device | |
JP3294557B2 (en) | Liquid crystal sealing device | |
JP3105497B1 (en) | Liquid crystal sealing device | |
JP4113002B2 (en) | Liquid crystal display manufacturing equipment | |
JP3216551B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing liquid crystal panel | |
JPH07218886A (en) | Production of liquid crystal panel and apparatus therefor | |
JPH09304780A (en) | Pressing device for liquid crystal cell and manufacture of liquid crystal cell | |
JPH0921988A (en) | Method for sticking liquid crystal cell and device therefor | |
JP2002296606A (en) | Liquid crystal-injection sealing method and device therefor | |
JP3462204B2 (en) | Liquid crystal sealing device | |
JPH08201747A (en) | Production of liquid crystal panel and device therefor | |
JPH10115830A (en) | Sticking device of liquid crystal cells | |
JPH0720480A (en) | Method and device for injecting liquid crystal and method and device for sealing liquid crystal | |
JP2002072225A (en) | Liquid crystal sealing method and liquid crystal | |
JP3462203B2 (en) | Liquid crystal sealing device | |
JPH10115832A (en) | Method and device for pressurizing and sealing display panel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020108 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080118 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090118 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090118 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100118 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100118 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110118 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120118 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |