JP3248323B2 - 粒子加速器のビームモニタ装置 - Google Patents
粒子加速器のビームモニタ装置Info
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- JP3248323B2 JP3248323B2 JP30840793A JP30840793A JP3248323B2 JP 3248323 B2 JP3248323 B2 JP 3248323B2 JP 30840793 A JP30840793 A JP 30840793A JP 30840793 A JP30840793 A JP 30840793A JP 3248323 B2 JP3248323 B2 JP 3248323B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器において、蓄積リングからビームラインに出射
される放射光をモニタするためのビームモニタ装置に関
するものである。
子加速器において、蓄積リングからビームラインに出射
される放射光をモニタするためのビームモニタ装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、シンクロトロン等の粒子加速器か
ら放射される放射光（シンクロトロン放射光、ＳＯＲ光
あるいはＳＲ光と略称される）を取り出し、それを光源
として例えば超ＬＳＩの製造、医療分野における診断、
分子解析、構造解析といった様々な分野において利用し
ようとする気運があり、そのための施設が開発されつつ
ある。
ら放射される放射光（シンクロトロン放射光、ＳＯＲ光
あるいはＳＲ光と略称される）を取り出し、それを光源
として例えば超ＬＳＩの製造、医療分野における診断、
分子解析、構造解析といった様々な分野において利用し
ようとする気運があり、そのための施設が開発されつつ
ある。
【０００３】図３は放射光利用のためのシンクロトロン
の概要を示すものである。このシンクロトロンでは、電
子銃等の電子発生装置１で発生させた電子ビームを直線
加速器２（ライナック）で光速度近くにまで加速し、偏
向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して蓄積リ
ング５に入射する。蓄積リング５に入射した電子ビーム
は高周波加速空洞６によりエネルギを与えられながら収
束電磁石７で収束され、偏向電磁石８で偏向されて蓄積
リング５内を周回し続ける。そして、偏向電磁石８で偏
向される際にその接線方向に放射光が放射され、それが
光取り出しラインであるビームライン９を介して例えば
露光装置１０に出射されて利用されるのである。
の概要を示すものである。このシンクロトロンでは、電
子銃等の電子発生装置１で発生させた電子ビームを直線
加速器２（ライナック）で光速度近くにまで加速し、偏
向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介して蓄積リ
ング５に入射する。蓄積リング５に入射した電子ビーム
は高周波加速空洞６によりエネルギを与えられながら収
束電磁石７で収束され、偏向電磁石８で偏向されて蓄積
リング５内を周回し続ける。そして、偏向電磁石８で偏
向される際にその接線方向に放射光が放射され、それが
光取り出しラインであるビームライン９を介して例えば
露光装置１０に出射されて利用されるのである。
【０００４】また、粒子加速器におけるビームラインに
は、このビームラインを通して取り出す放射光をモニタ
してその光軸の位置や広がりの範囲を正確に検出し、必
要に応じてアライメントを行なうためのビームモニタ装
置が備えられる。ビームモニタ装置としてはワイヤモニ
タと称される型式のものが一般に採用されている。ワイ
ヤモニタは、電流を流したタングステンワイヤに放射光
を照射すると光電効果により電流値が変化することを利
用したもので、一対のタングステンワイヤをビームライ
ンを横断するようにスキャンさせた際の電流値の変化の
状況から、放射光の光軸位置や広がりの範囲を検出する
ようにしたものである。
は、このビームラインを通して取り出す放射光をモニタ
してその光軸の位置や広がりの範囲を正確に検出し、必
要に応じてアライメントを行なうためのビームモニタ装
置が備えられる。ビームモニタ装置としてはワイヤモニ
タと称される型式のものが一般に採用されている。ワイ
ヤモニタは、電流を流したタングステンワイヤに放射光
を照射すると光電効果により電流値が変化することを利
用したもので、一対のタングステンワイヤをビームライ
ンを横断するようにスキャンさせた際の電流値の変化の
状況から、放射光の光軸位置や広がりの範囲を検出する
ようにしたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年開発が
進められている大型加速器、あるいはアンジュレータや
ウィグラー等の挿入光源を導入したシンクロトロン等に
おいては、高輝度、すなわち高エネルギーの放射光を発
生させる場合がある。このような粒子加速器にワイヤモ
ニタを用いた従来のビームモニタ装置を適用すると、放
射光が照射されたときに発生する熱によりワイヤが熱的
破壊を起こす恐れがあった。したがって、ビームライン
中に高エネルギーの放射光が出射される場合であって
も、放射光の光軸位置や広がりの範囲を確実にモニタす
ることが可能なビームモニタ装置の提供が望まれてい
た。
進められている大型加速器、あるいはアンジュレータや
ウィグラー等の挿入光源を導入したシンクロトロン等に
おいては、高輝度、すなわち高エネルギーの放射光を発
生させる場合がある。このような粒子加速器にワイヤモ
ニタを用いた従来のビームモニタ装置を適用すると、放
射光が照射されたときに発生する熱によりワイヤが熱的
破壊を起こす恐れがあった。したがって、ビームライン
中に高エネルギーの放射光が出射される場合であって
も、放射光の光軸位置や広がりの範囲を確実にモニタす
ることが可能なビームモニタ装置の提供が望まれてい
た。
【０００６】本発明は、前記の課題を解決するためにな
されたものであって、シンクロトロン等の粒子加速器に
おいて、ビームラインに出射される放射光を確実にモニ
タすることが可能なビームモニタ装置を提供することを
目的とする。
されたものであって、シンクロトロン等の粒子加速器に
おいて、ビームラインに出射される放射光を確実にモニ
タすることが可能なビームモニタ装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明の粒子加速器のビームモニタ装置は、異な
る２種類の金属である第１の金属、第２の金属が接合さ
れて形成されるとともに、冷却機構が備えられ、ビーム
ライン内に前記第１、第２の金属の接合界面を放射光の
入射方向に向けて該放射光に対して進入、退出自在に設
けられた受光ブロックと、該受光ブロックを前記放射光
に対して進入、退出させるための駆動機構と、前記受光
ブロックに接続され、前記受光ブロックの接合界面に前
記放射光が照射されたときに光電効果により前記第１の
金属と第２の金属の間に発生する光起電力を測定するた
めの測定器と、前記駆動機構、および前記測定器からの
情報に基づいて前記放射光の光軸位置を判断する判断・
制御部とが具備されていることを特徴とするものであ
る。
めに、本発明の粒子加速器のビームモニタ装置は、異な
る２種類の金属である第１の金属、第２の金属が接合さ
れて形成されるとともに、冷却機構が備えられ、ビーム
ライン内に前記第１、第２の金属の接合界面を放射光の
入射方向に向けて該放射光に対して進入、退出自在に設
けられた受光ブロックと、該受光ブロックを前記放射光
に対して進入、退出させるための駆動機構と、前記受光
ブロックに接続され、前記受光ブロックの接合界面に前
記放射光が照射されたときに光電効果により前記第１の
金属と第２の金属の間に発生する光起電力を測定するた
めの測定器と、前記駆動機構、および前記測定器からの
情報に基づいて前記放射光の光軸位置を判断する判断・
制御部とが具備されていることを特徴とするものであ
る。
【０００８】
【作用】本発明の粒子加速器のビームモニタ装置におい
ては、異なる２種類の金属で形成された受光ブロックに
光電効果が生じ、第１、第２の金属の間には放射光の強
度に応じた光起電力が発生する。そこで、駆動機構を作
動させて受光ブロックを放射光の軌道に向けて進入させ
ていき光起電力を測定器により測定しつつ、受光ブロッ
クを放射光の軌道に対して進入、退出させることによ
り、判断・制御部は、駆動機構からの受光ブロックの位
置情報、および測定器からの光起電力情報を受けて、最
も放射光の強度が高い位置、すなわち放射光の光軸位置
を判断する。
ては、異なる２種類の金属で形成された受光ブロックに
光電効果が生じ、第１、第２の金属の間には放射光の強
度に応じた光起電力が発生する。そこで、駆動機構を作
動させて受光ブロックを放射光の軌道に向けて進入させ
ていき光起電力を測定器により測定しつつ、受光ブロッ
クを放射光の軌道に対して進入、退出させることによ
り、判断・制御部は、駆動機構からの受光ブロックの位
置情報、および測定器からの光起電力情報を受けて、最
も放射光の強度が高い位置、すなわち放射光の光軸位置
を判断する。
【０００９】また、受光ブロックに放射光が照射された
ときに発生する熱は受光ブロック全体に拡散されるとと
もに、冷却機構が受光ブロックを冷却して受光ブロック
が高温、過熱状態となることを防止する。
ときに発生する熱は受光ブロック全体に拡散されるとと
もに、冷却機構が受光ブロックを冷却して受光ブロック
が高温、過熱状態となることを防止する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の粒子加速器のビームモニタ装
置の一実施例を図面を参照して説明する。本実施例のビ
ームモニタ装置は、ビームライン内における放射光の水
平方向の光軸位置を検出する水平検出部と、鉛直方向の
光軸位置を検出する垂直検出部とで構成されている。
置の一実施例を図面を参照して説明する。本実施例のビ
ームモニタ装置は、ビームライン内における放射光の水
平方向の光軸位置を検出する水平検出部と、鉛直方向の
光軸位置を検出する垂直検出部とで構成されている。
【００１１】図１は本実施例のビームモニタ装置１１に
おける水平検出部１２を示す図である。水平検出部１２
は、放射光Ｓの軌道を挟んで水平方向に対向配置された
一対の受光ブロック１３、１３と、各受光ブロック１３
を放射光Ｓの光軸１４方向に向けて前進、または後退さ
せるための駆動機構１５と、各受光ブロック１３に発生
する光起電力を検出する電圧計１６（測定器）と、駆動
機構１５および電圧計１６からの情報を受けて放射光Ｓ
の光軸位置を判断するとともに、駆動機構１５を制御す
る判断・制御部１７とから構成されている。
おける水平検出部１２を示す図である。水平検出部１２
は、放射光Ｓの軌道を挟んで水平方向に対向配置された
一対の受光ブロック１３、１３と、各受光ブロック１３
を放射光Ｓの光軸１４方向に向けて前進、または後退さ
せるための駆動機構１５と、各受光ブロック１３に発生
する光起電力を検出する電圧計１６（測定器）と、駆動
機構１５および電圧計１６からの情報を受けて放射光Ｓ
の光軸位置を判断するとともに、駆動機構１５を制御す
る判断・制御部１７とから構成されている。
【００１２】受光ブロック１３の各々は、タングステン
１８（第１の金属）とタングステン・モリブデン合金１
９（モリブデン比２５％）（第２の金属）とが接合され
て、その全体は基端部側を直方体状に、先端部側をくさ
び形状に成形したものである。そして、前記２層の接合
界面２０は、くさび形状先端の角部に沿って位置するよ
うになっている。また、受光ブロック１３の中央部には
冷却水流通路２１（冷却機構）が形成され、この冷却水
流通路２１がビームライン９外部から引き込まれた図示
しない冷却水配管と連結され、その内部に冷却水が通さ
れることにより受光ブロック１３全体が冷却されるよう
になっている。したがって、この機構により受光ブロッ
ク１３に高エネルギーの放射光Ｓが照射されても、受光
ブロック１３の高温過熱が防止されるようになってい
る。
１８（第１の金属）とタングステン・モリブデン合金１
９（モリブデン比２５％）（第２の金属）とが接合され
て、その全体は基端部側を直方体状に、先端部側をくさ
び形状に成形したものである。そして、前記２層の接合
界面２０は、くさび形状先端の角部に沿って位置するよ
うになっている。また、受光ブロック１３の中央部には
冷却水流通路２１（冷却機構）が形成され、この冷却水
流通路２１がビームライン９外部から引き込まれた図示
しない冷却水配管と連結され、その内部に冷却水が通さ
れることにより受光ブロック１３全体が冷却されるよう
になっている。したがって、この機構により受光ブロッ
ク１３に高エネルギーの放射光Ｓが照射されても、受光
ブロック１３の高温過熱が防止されるようになってい
る。
【００１３】駆動機構１５は、受光ブロック１３の基端
部と連結されて受光ブロック１３を水平方向に移動可能
に支持するためのアーム２２と、このアーム２２をビー
ムライン９内部に所定のピッチで前進、または後退させ
るためのステッピングモータ２３とが備えられたもので
ある。したがって、対向配置されている一対の受光ブロ
ック１３、１３は、ステッピングモータ２３が作動する
ことにより放射光Ｓに対して微小距離ずつ進入、または
退出するようになっている。
部と連結されて受光ブロック１３を水平方向に移動可能
に支持するためのアーム２２と、このアーム２２をビー
ムライン９内部に所定のピッチで前進、または後退させ
るためのステッピングモータ２３とが備えられたもので
ある。したがって、対向配置されている一対の受光ブロ
ック１３、１３は、ステッピングモータ２３が作動する
ことにより放射光Ｓに対して微小距離ずつ進入、または
退出するようになっている。
【００１４】電圧計１６は、その端子の一方が受光ブロ
ック１３のタングステン１８に、他方がタングステン・
モリブデン合金１９に接続されており、受光ブロック１
３に放射光Ｓが照射されたときにタングステン１８とタ
ングステン・モリブデン合金１９との間に発生する光起
電力を測定するようになっている。
ック１３のタングステン１８に、他方がタングステン・
モリブデン合金１９に接続されており、受光ブロック１
３に放射光Ｓが照射されたときにタングステン１８とタ
ングステン・モリブデン合金１９との間に発生する光起
電力を測定するようになっている。
【００１５】判断・制御部１７は、各受光ブロック１３
に接続された電圧計１６からの光起電力値を随時取り込
み、いずれの受光ブロック１３における光起電力値の変
化量が大きいか、または双方の受光ブロック１３に光起
電力値の差が生じているかといった検出を行なうととも
に、受光ブロック１３がビームライン９内部で前進、後
退する際の移動量を記憶しておき、一対の受光ブロック
１３、１３の離間距離を算出するように構成されてい
る。したがって、判断・制御部１７は、一対の受光ブロ
ック１３、１３の光起電力値が一致したことを確認する
と、一対の受光ブロック１３、１３の離間距離からこれ
らの中間位置、すなわち、光軸１４の位置を算出するこ
とができる。さらに、判断・制御部１７は、一方の受光
ブロック１３における光起電力値の変化量が他方に比べ
てある程度以上大きいと判断したときには、駆動機構１
５に対して一対の受光ブロック１３、１３を後退させる
べく信号を送り、その後、一対の受光ブロック１３、１
３を交互に微小距離ずつ前進させるべく信号を送ること
によって駆動機構１５を制御するように構成されてい
る。
に接続された電圧計１６からの光起電力値を随時取り込
み、いずれの受光ブロック１３における光起電力値の変
化量が大きいか、または双方の受光ブロック１３に光起
電力値の差が生じているかといった検出を行なうととも
に、受光ブロック１３がビームライン９内部で前進、後
退する際の移動量を記憶しておき、一対の受光ブロック
１３、１３の離間距離を算出するように構成されてい
る。したがって、判断・制御部１７は、一対の受光ブロ
ック１３、１３の光起電力値が一致したことを確認する
と、一対の受光ブロック１３、１３の離間距離からこれ
らの中間位置、すなわち、光軸１４の位置を算出するこ
とができる。さらに、判断・制御部１７は、一方の受光
ブロック１３における光起電力値の変化量が他方に比べ
てある程度以上大きいと判断したときには、駆動機構１
５に対して一対の受光ブロック１３、１３を後退させる
べく信号を送り、その後、一対の受光ブロック１３、１
３を交互に微小距離ずつ前進させるべく信号を送ること
によって駆動機構１５を制御するように構成されてい
る。
【００１６】以上、放射光Ｓの水平方向の光軸１４位置
を検出する水平検出部１２について説明したが、鉛直方
向の光軸位置を検出する垂直検出部も同様の構成となっ
ている。
を検出する水平検出部１２について説明したが、鉛直方
向の光軸位置を検出する垂直検出部も同様の構成となっ
ている。
【００１７】前記構成のビームモニタ装置１１によりビ
ームライン９中の放射光Ｓの光軸１４位置をモニタする
際には、まず、一対の受光ブロック１３、１３を放射光
Ｓの近傍まで進入させた後、双方を微小距離づつビーム
ライン９の中心方向に前進させていく。そして、受光ブ
ロック１３の接合界面２０に放射光Ｓの一部が照射され
ると、光電効果により受光ブロック１３のタングステン
１８とタングステン・モリブデン合金１９との間に光起
電力が発生するので、電圧計１６がこれを測定し、判断
・制御部１７がこの光起電力値データを受信する。
ームライン９中の放射光Ｓの光軸１４位置をモニタする
際には、まず、一対の受光ブロック１３、１３を放射光
Ｓの近傍まで進入させた後、双方を微小距離づつビーム
ライン９の中心方向に前進させていく。そして、受光ブ
ロック１３の接合界面２０に放射光Ｓの一部が照射され
ると、光電効果により受光ブロック１３のタングステン
１８とタングステン・モリブデン合金１９との間に光起
電力が発生するので、電圧計１６がこれを測定し、判断
・制御部１７がこの光起電力値データを受信する。
【００１８】ここで、いずれかの受光ブロック１３にお
いて急激な光起電力値の増加を検知した場合には、判断
・制御部１７は駆動機構１５に対して後退信号を送り、
一旦、双方の受光ブロック１３、１３を微小距離だけ後
退させる。
いて急激な光起電力値の増加を検知した場合には、判断
・制御部１７は駆動機構１５に対して後退信号を送り、
一旦、双方の受光ブロック１３、１３を微小距離だけ後
退させる。
【００１９】ついで、判断・制御部１７は双方の駆動機
構１５、１５に対して交互に前進信号を送ることにより
一対の受光ブロック１３、１３を微小距離ずつ交互に前
進させつつ、光起電力の測定を行ない、双方の受光ブロ
ック１３、１３における光起電力値が一致したときに
は、判断・制御部１７が一対の受光ブロック１３、１３
の離間距離からこれらの中心位置、すなわち光軸１４の
位置を算出する。そして、この結果に基づき必要に応じ
て光軸１４のアライメントを行なう。
構１５、１５に対して交互に前進信号を送ることにより
一対の受光ブロック１３、１３を微小距離ずつ交互に前
進させつつ、光起電力の測定を行ない、双方の受光ブロ
ック１３、１３における光起電力値が一致したときに
は、判断・制御部１７が一対の受光ブロック１３、１３
の離間距離からこれらの中心位置、すなわち光軸１４の
位置を算出する。そして、この結果に基づき必要に応じ
て光軸１４のアライメントを行なう。
【００２０】本実施例のビームモニタ装置１１では、受
光ブロック１３に発生する光起電力に基づいて光軸１４
位置を検出するとともに、受光ブロック１３が冷却水流
通路２１を備えた構成となっており、受光ブロック１３
に放射光Ｓが照射されたときに発生する熱が受光ブロッ
ク１３全体に拡散され、かつ冷却水流通路２１により受
光ブロック１３が冷却されるので、細いタングステンワ
イヤに熱が集中して熱的破壊が生じていた従来のワイヤ
モニタ装置に比べて、高い耐熱性をもって確実に放射光
Ｓのモニタを行なうことができる。したがって、本実施
例のビームモニタ装置１１は、高エネルギーの放射光を
出射する粒子加速器に対しても好適なものである。
光ブロック１３に発生する光起電力に基づいて光軸１４
位置を検出するとともに、受光ブロック１３が冷却水流
通路２１を備えた構成となっており、受光ブロック１３
に放射光Ｓが照射されたときに発生する熱が受光ブロッ
ク１３全体に拡散され、かつ冷却水流通路２１により受
光ブロック１３が冷却されるので、細いタングステンワ
イヤに熱が集中して熱的破壊が生じていた従来のワイヤ
モニタ装置に比べて、高い耐熱性をもって確実に放射光
Ｓのモニタを行なうことができる。したがって、本実施
例のビームモニタ装置１１は、高エネルギーの放射光を
出射する粒子加速器に対しても好適なものである。
【００２１】また、他の例として、受光ブロック１３に
生じる温度変化を熱電対により検出する構成の装置も考
えられるが、その場合には、受光ブロック１３の熱容量
による温度変化の遅れ、あるいは放射光Ｓの照射による
熱電対の誤差等の不具合が生じるので、応答性が悪く、
精度も低いものとなる。これに対して、本実施例のビー
ムモニタ装置１１では、光軸１４位置をモニタする原理
として２種類の異なる金属を組み合わせた受光ブロック
１３に生じる光電効果を利用する、すなわち受光ブロッ
ク１３に発生する光起電力を直接検出する構成としてい
るので、高い応答性、高い精度を有することができる。
生じる温度変化を熱電対により検出する構成の装置も考
えられるが、その場合には、受光ブロック１３の熱容量
による温度変化の遅れ、あるいは放射光Ｓの照射による
熱電対の誤差等の不具合が生じるので、応答性が悪く、
精度も低いものとなる。これに対して、本実施例のビー
ムモニタ装置１１では、光軸１４位置をモニタする原理
として２種類の異なる金属を組み合わせた受光ブロック
１３に生じる光電効果を利用する、すなわち受光ブロッ
ク１３に発生する光起電力を直接検出する構成としてい
るので、高い応答性、高い精度を有することができる。
【００２２】なお、本実施例のビームモニタ装置１１に
おいては、受光ブロック１３におけるタングステン１８
とタングステン・モリブデン合金１９との接合界面２０
を受光ブロック１３先端の角部に沿って位置するように
構成したが、この構成に代えて、図２に示すように、接
合界面２０ａを受光ブロック１３ａにおける放射光Ｓの
照射面側に位置させるようにしてもよい。この場合に
は、前記実施例における接合界面２０が角部に位置した
場合に比べて、放射光Ｓによる熱が接合界面２０ａの近
傍に集中する度合が少なく、照射面側から広い範囲に拡
散されるので、受光ブロック１３ａの耐熱性はさらに良
好なものとなる。
おいては、受光ブロック１３におけるタングステン１８
とタングステン・モリブデン合金１９との接合界面２０
を受光ブロック１３先端の角部に沿って位置するように
構成したが、この構成に代えて、図２に示すように、接
合界面２０ａを受光ブロック１３ａにおける放射光Ｓの
照射面側に位置させるようにしてもよい。この場合に
は、前記実施例における接合界面２０が角部に位置した
場合に比べて、放射光Ｓによる熱が接合界面２０ａの近
傍に集中する度合が少なく、照射面側から広い範囲に拡
散されるので、受光ブロック１３ａの耐熱性はさらに良
好なものとなる。
【００２３】また、本実施例では、水平方向、鉛直方向
それぞれに一対の受光ブロックを放射光を挟んで対向す
るように設けた構成としたが、水平方向、鉛直方向それ
ぞれに１個の受光ブロックを前進、後退自在に設け、そ
の１個の受光ブロックにおける光起電力値の変化の度合
により判断・制御部が光軸位置を判断するように構成し
てもよい。さらに、受光ブロック１３における２種の金
属の組み合わせは、タングステン１８とタングステン・
モリブデン合金１９に限るものではなく、種々の金属を
組み合わせて使用することができるし、受光ブロック１
３の形状についても種々の変更が可能である。
それぞれに一対の受光ブロックを放射光を挟んで対向す
るように設けた構成としたが、水平方向、鉛直方向それ
ぞれに１個の受光ブロックを前進、後退自在に設け、そ
の１個の受光ブロックにおける光起電力値の変化の度合
により判断・制御部が光軸位置を判断するように構成し
てもよい。さらに、受光ブロック１３における２種の金
属の組み合わせは、タングステン１８とタングステン・
モリブデン合金１９に限るものではなく、種々の金属を
組み合わせて使用することができるし、受光ブロック１
３の形状についても種々の変更が可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
粒子加速器のビームモニタ装置においては、冷却機構を
備えた受光ブロックを放射光に対して進入、退出させ、
受光ブロックに放射光が照射されたときに発生する光起
電力を検知することにより放射光の光軸位置を判断する
ように構成されているので、細いタングステンワイヤに
熱が集中して熱的破壊が生じていた従来のワイヤモニタ
装置に比べて、高い耐熱性をもって確実に放射光のモニ
タを行なうことができる。したがって、高エネルギーの
放射光を出射する粒子加速器に対して好適なものとする
ことができる。
粒子加速器のビームモニタ装置においては、冷却機構を
備えた受光ブロックを放射光に対して進入、退出させ、
受光ブロックに放射光が照射されたときに発生する光起
電力を検知することにより放射光の光軸位置を判断する
ように構成されているので、細いタングステンワイヤに
熱が集中して熱的破壊が生じていた従来のワイヤモニタ
装置に比べて、高い耐熱性をもって確実に放射光のモニ
タを行なうことができる。したがって、高エネルギーの
放射光を出射する粒子加速器に対して好適なものとする
ことができる。
【図１】本発明の一実施例として示す粒子加速器のビー
ムモニタ装置の断面図である。
ムモニタ装置の断面図である。
【図２】同装置における受光ブロックの他の例を示す断
面図である。
面図である。
【図３】粒子加速器の一例を示す平面図である。
Ｓ 放射光 ５ 蓄積リング ９ ビームライン １１ ビームモニタ装置 １３、１３ａ 受光ブロック １５ 駆動機構 １６ 電圧計（測定器） １７ 判断・制御部 １８ タングステン（第１の金属） １９ タングステン・モリブデン合金（第２の金属） ２０、２０ａ 接合界面 ２１ 冷却水流通路（冷却機構）
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−249248（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−134291（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−297148（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−307085（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−15096（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−323035（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−229997（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−73898（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−19590（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−239561（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−136779（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−216254（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−96899（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−189680（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01T 1/29 H05H 13/04
Claims (1)
- 【請求項１】 粒子加速器におけるビームラインの途中
に設けられ、蓄積リングから該ビームラインに出射され
る放射光をモニタするためのビームモニタ装置であっ
て、 異なる２種類の金属である第１の金属、第２の金属が接
合されて形成されるとともに、冷却機構が備えられ、前
記ビームライン内に前記第１、第２の金属の接合界面を
前記放射光の入射方向に向けて該放射光に対して進入、
退出自在に設けられた受光ブロックと、 該受光ブロックを前記放射光に対して進入、退出させる
ための駆動機構と、 前記受光ブロックに接続され、前記受光ブロックの接合
界面に前記放射光が照射されたときに光電効果により前
記第１の金属と第２の金属の間に発生する光起電力を測
定するための測定器と、 前記駆動機構、および前記測定器からの情報に基づいて
前記放射光の光軸位置を判断する判断・制御部とが具備
されていることを特徴とする粒子加速器のビームモニタ
装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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| JP30840793A JP3248323B2 (ja) | 1993-12-08 | 1993-12-08 | 粒子加速器のビームモニタ装置 |
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-
1993
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