JP3100918B2 - カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドにより基板に向けてインクを吐出して、各画素を複
数の吐出インクで着色することによりカラーフィルタを
製造するためのカラーフィルタの製造方法及び製造装置
及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。

【０００３】第１の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って代わりつつある。この方法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得る。更にこの工程を
３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層
を形成する。一方、第２の方法が染色法である。染色法
は、ガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材
料を塗布し、これをフオトリソグラフィー工程により所
望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染
色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回
繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形
成する。

【０００４】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。第
４の方法としては印刷法がある。この方法は、熱硬化型
の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰り返すことによ
りＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させること
により着色層を形成するものである。また、いずれの方
法においても着色層上に保護層を形成するのが一般的で
ある。

【０００５】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用困難で
ある。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファ
インピッチのパターンは形成困難である。

【０００６】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有する着色液をインクジェット
方式で光透過性の基板上に吐出し、各着色液を乾燥させ
て着色画素部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行
うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコス
トダウン効果を得ることが出来る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、一般の液晶
表示装置等に用いられるカラーフィルタにおいては、各
画素を仕切るためのブラックマトリクスの開口部（すな
わち画素）は長方形であり、これに対しインクジェット
ヘッドから吐出されるインクの形状は、略円形であるた
め、１つの画素において必要なインク量を一度に吐出
し、且つブラックマトリクスの開口部全体に均一にイン
クを広げることは困難である。そのため、インクジェッ
トヘッドを画素を形成する基板に対して走査させなが
ら、各画素に複数のインクを吐出して着色することが行
われる。この際、単に複数のインクを各画素に画一的に
吐出したのでは、例えばインクジェットヘッドの経時変
化によりインクの吐出量が変動し、走査方向に着色を進
めるにしたがって複数の画素の間に濃度ムラが発生して
しまうことがある。すなわち、主に走査の初期に着色し
た画素と後半に着色した画素の間で濃度が異なってしま
うことがある。

【０００８】また、走査方向と略直交する方向に複数の
インク吐出ノズルを有するマルチヘッドでカラーフィル
タを着色する場合には、各ノズル毎にインク吐出量にバ
ラつきがあり、走査方向と略直交する方向に並ぶ画素間
で濃度ムラが発生してしまうことがある。このような問
題は、上記のカラーフィルタの製造ばかりでなく、イン
クジェットヘッドを用いる通常の印刷においても同様に
発生することがある。

【０００９】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、濃度ムラ
の少ない良質なカラーフィルタを製造することが出来る
カラーフィルタの製造方法及び製造装置、及びそれらの
方法、装置により製造されたカラーフィルタを用いた表
示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法
を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のイン
ク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対
し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並
ぶ複数の吐出インクで着色することによりカラーフィル
タを製造する方法であって、前記複数の吐出インクで形
成される各画素の着色状態をモニターするモニター工程
と、前記モニター工程においてモニターした結果に応じ
て、配列する夫々の画素毎あるいは画素群毎にインクの
吐出間隔を設定する設定工程と、前記設定工程により設
定されたインク吐出間隔でインクを吐出して前記画素を
着色する着色工程と、を備えることを特徴としている。

【００１１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、配列する夫々の画素毎あるいは画素
群毎にインク吐出体積を設定する工程をさらに備えるこ
とを特徴としている。

【００１２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インク吐出間隔は、前記走査方
向に略直交する方向に並んだ画素毎あるいは画素群毎に
変化させることを特徴としている。

【００１３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐
出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対し相
対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並ぶ複
数の吐出インクで着色することによりカラーフィルタを
製造する方法であって、配列するそれぞれの画素毎ある
いは画素群毎にインクの吐出パターンを変更して着色す
る工程を備え、前記吐出パターンの変更は、各画素内で
のインクの吐出間隔を調整することにより前記各画素へ
のインク投入量を調整し、各吐出インクの体積を調整す
ることにより前記各画素へのインク投入量をさらに微調
整することを特徴としている。

【００１４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。

【００１５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐
出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対し相
対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並ぶ複
数の吐出インクで着色することによりカラーフィルタを
製造する装置であって、前記複数の吐出インクで形成さ
れる各画素の着色状態をモニターするためのモニター手
段と、前記モニター手段においてモニターした結果に応
じて、配列する夫々の画素毎あるいは画素群毎にインク
の吐出間隔を設定するための設定手段と、前記設定手段
により設定されたインク吐出間隔でインクを吐出して前
記画素を着色するように前記インクジェットヘッドを制
御するための制御手段と、を備えることを特徴としてい
る。

【００１６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、配列する夫々の画素毎あるいは画素
群毎にインク吐出体積を設定するための手段をさらに備
えることを特徴としている。

【００１７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インク吐出間隔は、前記走査方
向に略直交する方向に並んだ画素毎あるいは画素群毎に
変化させることを特徴としている。

【００１８】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐
出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対し相
対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並ぶ複
数の吐出インクで着色することによりカラーフィルタを
製造する装置であって、配列するそれぞれの画素毎ある
いは画素群毎にインクの吐出パターンを変更して着色す
るように前記インクジェットヘッドを制御するための制
御手段を備え、前記吐出パターンの変更は、各画素内で
のインクの吐出間隔を調整することにより前記各画素へ
のインク投入量を調整し、各吐出インクの体積を調整す
ることにより前記各画素へのインク投入量をさらに微調
整することを特徴としている。

【００１９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。

【００２０】また、本発明に係わる表示装置の製造方法
は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズ
ルを有するインクジェットヘッドを基板に対し相対的に
走査させながら、各画素を前記走査方向に並ぶ複数の吐
出インクで着色することにより製造されるカラーフィル
タを備える表示装置の製造方法であって、上記の製造方
法によりカラーフィルタを製造する工程と、前記製造さ
れたカラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段
とを一体化する工程と、を備えることを特徴としてい
る。

【００２１】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置の製造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のイ
ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に
対し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に
並ぶ複数の吐出インクで着色することにより製造される
カラーフィルタを有する表示装置を備えた装置の製造方
法であって、上記の製造方法により表示装置を製造する
工程と、前記製造された表示装置に画像信号を供給する
画像信号供給手段を、前記製造された表示装置に備える
工程と、を有することを特徴としている。

【００２２】

【００２３】

【００２４】

【００２５】

【００２６】

【００２７】

【００２８】

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は
カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成を示す概
略図である。図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,
Ｇ（緑）,Ｂ（青）のインクジェットヘッド、５８はカ
ラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するコント
ローラ、５９はコントローラの表示部であるところのテ
ィーチングペンダント（パーソナルコンピュータ）、６
０はティーチングペンダント５９の操作部であるところ
のキーボードを示している。

【００３０】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。５８はカ
ラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するところ
のコントローラ、６５はティーチングペンダント５９と
のデータの受け渡しを行うインタフェース、６６はカラ
ーフィルタ製造装置９０の制御を行うＣＰＵ、６７はＣ
ＰＵ６６を動作させるための制御プログラムを記憶して
いるＲＯＭ、６８は生産情報等を記憶するＲＡＭ、７０
はカラーフィルタの各画素内へのインクの吐出を制御す
る吐出制御部、７１はカラーフィルタ製造装置９０のＸ
Ｙθステージ５２の動作を制御するステージ制御部、９
０はコントローラ５８に接続され、その指示に従って動
作するカラーフィルタ製造装置を示している。

【００３１】次に、図３は、上記のカラーフィルタ製造
装置９０に使用されるインクジェットヘッド５５の構造
を示す図である。図１においては、インクジェットヘッ
ドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられているが、
これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図
３にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表
して示している。

【００３２】図３において、インクジェットヘッド５５
は、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成
された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボ
ード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構
成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８が
形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出口
１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されて
いる。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔
絶されている。各液路１１０は、その後方において１つ
のインク液室１１４に共通に接続されており、インク液
室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが供
給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路
１１０に供給される。

【００３３】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクに膜沸騰が生じて気泡を
形成し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０
８から押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２
に加える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御
することにより気泡の大きさを調整することが可能であ
り、吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコント
ロールすることができる。

【００３４】図４は、このようにヒータに加える電力を
変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するた
めの図である。この実施形態では、インクの吐出量を調
整するために、ヒータ１０２に２種類の定電圧パルスを
印加する様になされている。２つのパルスとは、図４に
示す様にプレヒートパルスとメインヒートパルス（以
下、単にヒートパルスという）である。プレヒートパル
スは、実際にインクを吐出するに先立ってインクを所定
温度に暖めるためのパルスであり、インクを吐出するた
めに必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも短い値に設定され
ている。従って、このプレヒートパルスによりインクが
吐出されることはない。プレヒートパルスをヒータ１０
２に加えるのは、インクの初期温度を、一定の温度にま
で上昇させておくことにより、後に一定のヒートパルス
を印加したときのインク吐出量を常に一定にするためで
ある。また、逆にプレヒートパルスの長さを調節するこ
とにより、予めインクの温度を調節しておき、同じヒー
トパルスが印加された場合でも、インクの吐出量を異な
らせることも可能である。また、ヒートパルスの印加に
先立ってインクを暖めておくことにより、ヒートパルス
を印加した時のインク吐出の時間的な立ち上がりを早め
て応答性を良くする働きも持っている。

【００３５】一方、ヒートパルスは、実際にインクを吐
出させるためのパルスであり、上記のインクを吐出する
ために必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも長く設定されて
いる。ヒータ１０２が発生するエネルギーは、ヒートパ
ルスの幅（印加時間）に比例するものであるため、この
ヒートパルスの幅を調節することにより、ヒータ１０２
の特性のばらつきを調整することが可能である。

【００３６】なお、プレヒートパルスとヒートパルスと
の間隔を調整して、プレヒートパルスによる熱の拡散状
態を制御することによってもインクの吐出量を調整する
ことが可能となる。上記の説明から分かる様に、インク
の吐出量は、プレヒートパルスとヒートパルスの印加時
間を調節することによって制御することも可能である
し、またプレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を
調節することによっても可能である。従って、プレヒー
トパルス及びヒートパルスの印加時間やプレヒートパル
スとヒートパルスの印加間隔を必要に応じて調整するこ
とにより、インクの吐出量やインクの吐出の印加パルス
に対する応答性を自在に調節することが可能となる。

【００３７】次に、このインクの吐出量の調整について
具体的に説明する。例えば、図４に示す様に吐出口（ノ
ズル）１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃが、同じエネルギ
ーを加えた時のインクの吐出量が異なっている場合につ
いて説明する。詳しくは、一定温度で、一定エネルギー
を印加したときに、ノズル１０８ａのインク吐出量が３
６ｐｌ（ピコリットル）、ノズル１０８ｂのインク吐出
量が４０ｐｌ、ノズル１０８ｃのインク吐出量が４０ｐ
ｌであり、ノズル１０８ａに対応するヒータ１０２ａ及
びノズル１０８ｂに対応するヒータ１０２ｂの抵抗値が
２００Ω、ノズル１０８ｃに対応するヒータ１０２ｃの
抵抗値が２１０Ωであるものとする。そして、それぞれ
のノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃの吐出量を全て
４０ｐｌに合わせたいものとする。

【００３８】それぞれのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１
０８ｃの吐出量を同じ量に調整するためには、プレヒー
トパルスとヒートパルスの幅を調整すれば良いのである
が、このプレヒートパルスとヒートパルスの幅の組み合
わせには種々のものが考えられる。ここでは、ヒートパ
ルスにより発生するエネルギーの量を３つのノズルで同
じになる様に設定し、吐出量の調整は、プレヒートパル
スの幅を調整することにより行なうものとする。

【００３９】まず、ノズル１０８ａのヒータ１０２ａと
ノズル１０８ｂのヒータ１０２ｂの抵抗値は同じ２００
Ωであるので、ヒートパルスにより発生するエネルギー
を同じにするには、ヒータ１０２ａ，１０２ｂに同じ幅
の電圧パルスを印加すればよい。ここでは、電圧パルス
の幅を前述したｔ5 よりも長いｔ3 に設定する。一方、
ノズル１０８ａと１０８ｂとは、同じエネルギーを加え
た時の吐出量が、３６ｐｌと４０ｐｌと異なるため、ノ
ズル１０８ａの吐出量を多くするために、ヒータ１０２
ａには、ヒータ１０２ｂのプレヒートパルスの幅ｔ1 よ
りも長いｔ2 のプレヒートパルスを加える。このように
すれば、ノズル１０８ａと１０８ｂの吐出量を同じ４０
ｐｌにそろえることができる。

【００４０】一方、ノズル１０８ｃのヒータ１０２ｃの
抵抗値は、他の２つのヒータ１０２ａ，１０２ｂの抵抗
値よりも高い２１０Ωであるため、ヒータ１０２ｃか
ら、他の２つのヒータと同じエネルギーを発生させるた
めには、ヒートパルスの幅を長くする必要がある。その
ため、ここでは、ヒートパルスの幅を前述したｔ3 より
も長いｔ4 に設定している。また、プレヒートパルスの
幅に関しては、一定エネルギーを加えた時のノズル１０
８ｂと１０８ｃの吐出量が同じであるため、ヒータ１０
２ｂと同じにすればよく、ｔ1 の幅のプレヒートパルス
を加える。

【００４１】以上の様にして、抵抗値と一定エネルギー
を加えた時のインク吐出量の異なる３つのノズル１０８
ａ，１０８ｂ，１０８ｃから同じ量のインクを吐出させ
ることができる。また、同じ手法により、インクの吐出
量を意識的に異ならせることも可能である。なお、プレ
ヒートパルスを利用するのは、ノズルごとの吐出のバラ
つきを低減するためである。

【００４２】次に、図５はカラーフィルタの製造工程を
示した図である。図５を参照してカラーフィルタ５４の
製造工程を説明する。図５（ａ）は、光透過部９と遮光
部１０を構成するブラックマトリックス２を備えたガラ
ス基板１を示す。まず、ブラックマトリックス２の形成
された基板１上に、それ自身はインク受容性に富んでい
るが、ある条件下（例えば光照射、または光照射と加
熱）でインク受容性が低下すると共に、ある条件下で硬
化する特性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じて
プリベークを行って樹脂組成物層３を形成する（図５
（ｂ））。樹脂組成物層３の形成には、スピンコート、
ロールコート、バーコート、スプレーコート、ディップ
コート等の塗布方法を用いることができ、特に限定され
るものではない。

【００４３】次に、フォトマスク４を使用して遮光部１
０上の樹脂層に予めパターン露光を行うことにより樹脂
層を一部インク受容性を低下させて（図５（ｃ））、樹
脂組成物層３にインク受容性部分６とインク受容性の低
下した部分５を形成する（図５（ｄ））。また、インク
ジェットヘッドが基板上を相対的に複数回走査しながら
インクを吐出する際、インクジェットヘッドを固定して
基板を移動させることにより相対的走査を行う場合と、
基板を固定してインクジェットヘッドを移動させること
により相対的走査を行う場合のいずれも可能である。

【００４４】その後インクジェット方式によりＲ
（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色インクを樹脂組成物
層３に吐出して一度に着色し（図５（ｅ））、必要に応
じてインクの乾燥を行う。インクジェット方式として
は、熱エネルギーによる方式あるいは機械エネルギーに
よる方式が挙げられるが、いずれの方式も好適に用いる
ことができる。使用するインクとしては、インクジェッ
ト用として用いることができるものであれば特に限られ
るものではなく、インクの着色剤としては、各種染料あ
るいは顔料のなかから、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素に要求され
る透過スペクトルに適合したものが適宜選択される。な
お、インクジェットヘッドから吐出されるインクは樹脂
組成物層３に付着される時点で滴状になっていてもよい
が、インクジェットヘッドから滴状に分離せず、柱状の
形態で付着することが好ましい。

【００４５】次いで、光照射または光照射と加熱処理を
行って着色された樹脂組成物層３を硬化させ、必要に応
じて保護層８を形成する（図５（ｆ））。この樹脂組成
物層３を硬化させるには先の親インク化処理における条
件とは異なる条件、例えば光照射における露光量を大き
くするか、加熱条件を厳しくするか、もしくは光照射と
加熱処理を併用する等の方法が採用できる。

【００４６】図６及び図７は上記のカラーフィルタを組
み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面
図である。カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフィ
ルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物１
８を封入することにより形成される。液晶表示装置の一
方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transistor)
（不図示）と透明な画素電極２０がマトリクス状に形成
される。また、もう一方の基板１の内側には、画素電極
に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラーフ
ィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極（共通
電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリクス２
は、通常カラーフィルター基板１側に形成されるが（図
６参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレイタイ
プの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側に形成
される（図７参照）。さらに、両基板の面内には配向膜
１９が形成されており、これをラビング処理することに
より液晶分子を一定方向に配列させることができる。ま
た、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１１,２２
が接着されており、液晶化合物１８は、これらのガラス
基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バ
ックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図
示）の組み合わせが一般的に用いられており、液晶化合
物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッター
として機能させることにより表示を行うこのような液晶
表示装置を情報処理装置に適用した場合の例を図８乃至
図１０を参照して説明する。

【００４７】図８は上記の液晶表示装置をワードプロセ
ッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複
写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場
合の概略構成を示すブロック図である。図中、１８０１
は装置全体の制御を行う制御部で、マイクロプロセッサ
等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポートを備え、各部に制御信号
やデータ信号等を出力したり、各部よりの制御信号やデ
ータ信号を入力して制御を行っている。１８０２はディ
スプレイ部で、この表示画面には各種メニューや文書情
報及びイメージリーダ１８０７で読み取ったイメージデ
ータ等が表示される。１８０３はディスプレイ部１８０
２上に設けられた透明な感圧式のタッチパネルで、指等
によりその表面を押圧することにより、ディスプレイ部
１８０２上での項目入力や座標位置入力等を行うことが
できる。

【００４８】１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ
変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気
信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。
プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。

【００４９】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。１８０８はイメージリーダ部１８０７
で読取った原稿データのファクシミリ送信や、送られて
きたファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ
（ＦＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース
機能を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話
機能等の各種電話機能を有する電話部である。

【００５０】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外
部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含む
メモリ部である。１８１１は文書情報や各種コマンド等
を入力するキーボード部である。

【００５１】１８１２はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置１８１２には文書情報や音楽あるいは音声情報、
ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。
図９は図８に示す情報処理装置の模式的概観図である。
図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利用したフラッ
トパネルディスプレイで、各種メニューや図形情報及び
文書情報等を表示する。このディスプレイ１９０１上で
はタッチパネル１８０３の表面は指等で押圧することに
より座標入力や項目指定入力を行うことができる。１９
０２は装置が電話機として機能するときに使用されてい
るハンドセットである。キーボード１９０３は本体と着
脱可能にコードを介して接続されており、各種文書機能
や各種データ入力を行うことができる。また、このキー
ボード１９０３には各種機能キー１９０４等が設けられ
ている。１９０５は外部記憶装置１８１２へのフロッピ
ーディスクの挿入口である。

【００５２】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。上記情報処理装置をパーソナルコンピュータ
やワードプロセッサとして機能する場合、キーボード部
１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１によ
り所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１８
０６に画像として出力される。

【００５３】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。また、複写装置として機
能する場合、イメージリーダ部１８０７によって原稿を
読取り、読取られた原稿データが制御部１８０１を介し
てプリンタ部１８０６に複写画像として出力される。な
お、ファクシミリ装置の受信機として機能する場合、イ
メージリーダ部１８０７によって読取られた原稿データ
は、制御部１８０１により所定のプログラムに従って送
信処理された後、ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信
回線に送信される。

【００５４】なお、上述した情報処理装置は図１０に示
すようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体
型としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高め
ることが可能となる。同図において、図９と同一機能を
有する部分には、対応する符号を付す。次に、カラーフ
ィルタの各画素の濃度ムラを軽減する代表的な２つの方
法について説明する。

【００５５】図１１乃至図１３は複数のインク吐出ノズ
ルを有するインクジェットヘッドＩＪＨの各ノズル間の
インク吐出量の差を補正する方法（以下ビット補正と呼
ぶ）を示した図である。まず、図１１に示すようにイン
クジェットヘッドＩＪＨの例えば３つのノズルであるノ
ズル１,ノズル２,ノズル３からインクを所定の基板上に
吐出させ、夫々のノズルから吐出されるインクが基板Ｐ
上に形成するインクドットの大きさを測定し、各ノズル
からのインク吐出量を測定する。このとき、各ノズルの
ヒータに加えるヒートパルス（図４参照）を一定幅と
し、既に説明したようにプレヒートパルス（図４参照）
の幅を変化させる。これにより図１２に示すようなプレ
ヒートパルス幅（図１２に加熱時間として示す）とイン
ク吐出量の関係を示す曲線が得られる。ここで、例え
ば、各ノズルからのインク吐出量を全て２０ｎｇに統一
したいとすると、図１２に示す曲線から、ノズル１に加
えるプレヒートパルスの幅は１.０μｓ、ノズル２では
０.５μｓ、ノズル３では０.７５μｓであることがわか
る。従って、各ノズルのヒータに、これらの幅のプレヒ
ートパルスを加えることにより、図１３に示すように各
ノズルからのインク吐出量を全て２０ｎｇに揃えること
ができる。このようにして、各ノズルからのインク吐出
量を補正することをビット補正と呼ぶ。本実施形態で
は、プレヒートパルスの幅を４段階に変化させ、約３０
％の補正幅を実現している。また補正の分解能は２〜３
％である。

【００５６】次に、図１４乃至図１６は、各インク吐出
ノズルからのインク吐出密度を調整することにより、イ
ンクジェットヘッドの走査方向の濃度ムラを補正する方
法（以下シェーディング補正と呼ぶ）を示す図である。
例えば、図１４に示すように、インクジェットヘッドの
ノズル３のインク吐出量を基準としたときに、ノズル１
のインク吐出量が−１０％、ノズル２のインク吐出量が
＋２０％であったとする。このとき、インクジェットヘ
ッドＩＪＨを走査させながら、図１５に示すように、ノ
ズル１のヒータには基準クロックの９回に１回ずつヒー
トパルスを加え、ノズル２のヒータには基準クロックの
１２回に１回ずつヒートパルスを加え、ノズル３のヒー
タには基準クロックの１０回に１回ずつヒートパルスを
加える。このようにすることにより、走査方向のインク
吐出数を各ノズル毎に変化させ、図１６に示すようにカ
ラーフィルタの画素内の走査方向のインク密度を一定に
することができ、各画素の濃度ムラを防止することがで
きる。このようにして、走査方向のインク吐出密度を補
正することをシェーディング補正と呼ぶ。本実施形態で
は、この補正により約４０％の補正幅を実現している。
また、補正の分解能については、細かく無制限に制御す
ることは可能であるが、データが大きくなってスピード
が遅くなるという制約があり、実際上は１０％程度が好
ましい。

【００５７】次に、本実施形態の特徴的な部分である、
上記のビット補正とシェーディング補正を組み合わせ
て、画素毎の着色濃度差をさらに低減する方法について
説明する。上記のビット補正では、既に述べたように、
濃度補正の分解能は高いが補正幅が小さく、逆にシェー
ディング補正では、濃度補正の幅は大きいが、補正の分
解能が低いという特性があるため、本実施形態では、各
画素の濃度差が１０％程度となるまでシェーディング補
正で追い込み、それ以後の補正をビット補正を用いて行
うことにより、各画素の濃度差を２.５％以下にすると
いう方法を用いる。

【００５８】まず、ビット補正及びシェーディング補正
を行うためには、既に述べたように、インクジェットヘ
ッド５５の各吐出ノズルのインク吐出量のバラつきを検
査する必要があるため、図１７に示すようにインクジェ
ットヘッド５５をヘッド検査機２０４にかけ、各吐出ノ
ズルの吐出量を測定するとともに、各吐出ノズルの吐出
量とプレヒートパルス及びヒートパルスの幅との関係の
データを作成する。そして、検査の終わったインクジェ
ットヘッド５５をカラーフィルタの製造装置９０に取り
付けるとともに、作成したデータをコントローラ５８に
送る。

【００５９】また、インクジェットヘッド５５の経過時
間に対する各ノズルの吐出量の変化を検出する必要があ
るため、図１８に示すように例えばインクジェットヘッ
ドの温度を検出するセンサ２０２等をヘッドに取り付け
ておき、このセンサ２０２からの信号をコントローラ５
８でモニターしながら、インクジェットヘッド５５の各
ヒータに加えるプレヒートパルス及びヒートパルスの印
加間隔を制御する。インクジェットヘッドの各ノズルの
吐出量と温度検出器等のセンサ２０２の検出信号値との
関係は、やはり図１７に示すヘッド検査機２０４により
予め測定しておく。

【００６０】また、実際のカラーフィルタの着色にあた
っては、図１９及び図２０に示すように、上記のように
して求められたインクジェットヘッドの吐出量とプレヒ
ートパルス及びヒートパルスとの関係、吐出密度のデー
タ、及び吐出量と経過時間の関係（加熱時間テーブル、
吐出密度テーブル、及び吐出量と経過時間の関係テーブ
ル）に基づいて、一定条件、すなわちシェーディング補
正により各画素の濃度ムラが１０％以内になり、ビット
補正により各画素の濃度ムラが２.５％以内になるよう
な条件で、着色を行う（ステップＳ２）。このようにし
て着色を行ったカラーフィルタをサンプルとしてムラ検
査機にかけ、色ムラの検査を行う（ステップＳ４）。な
お、この着色状態の検査は抜き取り検査で行なってもよ
い。この検査において、実際に着色されたカラーフィル
タの色ムラの程度が２.５％以内になっていれば（ステ
ップＳ５ＹＥＳ）、上記の条件のまま次のカラーフィル
タの製造を続けて行う。もし、このサンプルのカラーフ
ィルタの色ムラの程度が許容値を越えていた場合には
（ステップＳ５ＮＯ）、この検査結果に基づいて、シェ
ーディング補正とビット補正の実施データにさらに補正
をかけるように補正テーブルを作成する（ステップＳ
６）。そして、このようにさらに補正をかけられたデー
タに基づいて、シェーディング補正とビット補正を行
い、製品としてのカラーフィルタの着色を行う（ステッ
プＳ８）。以上のようにして、色ムラの精度のよいカラ
ーフィルタを製造することができる。

【００６１】なお、ステップＳ６とステップＳ８の間に
仮着色の工程を設けて、ステップＳ４の着色状態の検査
を再び実行し、未だに色むらが認められる場合には補正
テーブルの作成ステップ（ステップＳ６）を所定回数、
あるいは色むらが認められなくなるまで繰返すようにし
てもよい。次に、上記のようにシェーディング補正とビ
ット補正を組み合わせた場合の色ムラの改善の程度につ
いてシミュレーションを行った結果について説明する。

【００６２】まず、シェーディング補正を行った後の各
画素間の吸光度のバラつきのシミュレーションについて
説明する。１つのノズルに１つの画素（セル）を対応さ
せて着色することを想定する。ここで、 インクジェットヘッドのノズル数：Ｎ 第ｎ番目のノズルのインク吐出量：Ｖn(ｎｇ) 全ノズルの平均吐出量：Ｖave＝（ΣＶn／Ｎ）(ｎｇ) Ｖn＝Ｖaveのノズルで吐出すべき標準吐出ピッチ：Ｐs
（μｍ／dot） ピッチ調整解像度：Ｐr（μｍ） とすると、シェーディング補正を行うためのｎ番目のノ
ズルの吐出ピッチＰnは、 Ｐn＝MROUND（Ｖn／Ｖave・Ｐs , Ｐr） となる。

【００６３】ただし、MROUND（ａ,ｂ）は、ａの値を切
り上げ、又は切り捨てて１番近いｂの倍数になるような
値を求める関数とする。このときのシェーディング補正
後の各画素間の吸光度バラつき率Ｈ（ｎ）は、次の式で
シミュレートすることができる。 Ｈ（ｎ）＝（Ｐn／Ｐs）・（Ｖn／Ｖave） そして、横軸にノズル番号をとり、縦軸にこのＨ（ｎ）
をとって示したものが、図２１におけるシェーディング
補正のみの曲線である。

【００６４】次に、ビット補正を行った後の各画素（セ
ル）間の吸光度のバラつきのシミュレーションについて
説明する。測定済みのヒート時間に対する各ノズルの吐
出量の関数Ｖn（ｔ）に対して、 Ｖn（ｔ）の最小２乗近似直線の傾き：ａn Ｖn（ｔ）の最小２乗近似直線のＹ切片：ｂn ヒート時間調整分解能：Ｔr とすると、ビット補正を行い吐出量目標値Ｖsにあわせ
るためのｎ番目のノズルのヒート時間Ｔnは、 Ｔn＝MROUND（（Ｖs−ｂn）／ａn , Ｔr） となる。ただし、MROUNDは既に述べた関数である。

【００６５】このときのビット補正後の各画素間の吸光
度バラつき率Ｂ（ｎ）は、次の式でシミュレートされ
る。 Ｂ（ｎ）＝（Ｔn・ａn＋ｂn）／Ｖs ここで、ビット補正のみ行うときは、Ｖs＝Ｖaveとす
る。このシミュレーション結果を示したものが、図２１
におけるビット補正のみの曲線である。

【００６６】また、シェーディング補正とビット補正を
組み合わせる場合は、 Ｖs＝Ｖave／Ｈ（ｎ） としてシミュレーションを行った。この結果を示したも
のが、図２１におけるシェーディング補正＋ビット補正
の曲線である。図２１からわかるように、シェーディン
グ補正とビット補正を組み合わせることにより、シェー
ディング補正のみ、あるいはビット補正のみの場合に比
較して画素間の濃度ムラが低減される。なお、以上述べ
た実施例においてはインクを画素の長手方向に連続して
ライン状に着色する例について説明したが、画素が独立
した多数のセルから構成される場合は、各セル毎に断続
的にインクを付与することで本発明を適用してもよい。

【００６７】上記実施形態では図１３あるいは図１６に
示す様に同一色を画素長手方向にライン状に着色した
が、液晶パネルのＲＧＢ配置が千鳥型やデルタ型の場合
は図２２に示す様に画素２４８毎にインク打ち込み位置
を変えてもよい。なお、図２２において画素２４８中の
実線の円で示した部分がインクドットである。以上説明
したように、上記の実施形態によれば、配列するそれぞ
れの画素毎あるいは画素群毎にインクの吐出パターンを
変えて着色し、画素毎あるいは画素群毎に付与されるイ
ンクの体積及び／又は単位面積当りの吐出数すなわち吐
出密度を変えて着色することができるので、画素間の着
色濃度ムラを高度に低減して、高品位なカラーフィルタ
を製造することができる。

【００６８】なお、本発明は、その趣旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。本発明は、特にインクジェット記録方式の中
でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネルギ
ーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱変
換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーによりイ
ンクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につい
て説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、高
精細化が達成できる。

【００６９】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００７０】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。記録ヘ
ッドの構成としては、上述の各明細書に開示されている
ような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ構成
（直線状液流路または直角液流路）の他に熱作用面が屈
曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第
４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９６００号
明細書を用いた構成も本発明に含まれるものである。加
えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスロット
を電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５
９−１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収
する開口を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５
９−１３８４６１号公報に基づいた構成としても良い。

【００７１】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。加えて、装置本体に装着され
ることで、装置本体との電気的な接続や装置本体からの
インクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記
録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的にインクタ
ンクが設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用
いてもよい。

【００７２】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。

【００７３】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。加えて、積極的に熱エネル
ギーによる昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するため、またはインクの蒸発を防止するため、放
置状態で固化し加熱によって液化するインクを用いても
良い。いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた
付与によってインクが液化し、液状インクが吐出される
ものや、記録媒体に到達する時点では既に固化し始める
もの等のような、熱エネルギーの付与によって初めて液
化する性質のインクを使用する場合も本発明は適用可能
である。このような場合インクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状
または固形物として保持された状態で、電気熱変換体に
対して対向するような形態としてもよい。本発明におい
ては、上述した各インクに対して最も有効なものは、上
述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００７４】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、カ
ラーフィルタを構成する複数の画素のうち、１つの画素
毎、あるいは１つの画素群毎にインクの吐出状態を変え
ることにより、色ムラの少ない高品位なカラーフィルタ
を製造することが可能となる。また、色ムラの粗補正を
シェーディング補正で行い、微調整をビット補正で行う
ことにより、色ムラが極めて少ないカラーフィルタを製
造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成
を示す概略図である。

【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。

【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。

【図４】ヒータに加える電力を変化させてインクの吐出
量を制御する方法を説明するための図である。

【図５】カラーフィルタの製造工程を示した図である。

【図６】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。

【図７】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。

【図８】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図９】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図１０】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【図１１】各ノズル毎の吐出量の差を補正する方法を説
明するための図である。

【図１２】各ノズル毎の吐出量の差を補正する方法を説
明するための図である。

【図１３】各ノズル毎の吐出量の差を補正する方法を説
明するための図である。

【図１４】インクの吐出密度を変更する方法を説明する
ための図である。

【図１５】各ノズル毎の吐出量の差を補正する方法を説
明するための図である。

【図１６】各ノズル毎の吐出量の差を補正する方法を説
明するための図である。

【図１７】ヘッド検査機とカラーフィルタの製造装置の
関係を示す図である。

【図１８】ヘッドに設けられたセンサを示す図である。

【図１９】カラーフィルタの色ムラを製造装置にフィー
ドバックする様子を示す図である。

【図２０】カラーフィルタの色ムラを製造装置にフィー
ドバックするフローチャートである。

【図２１】シェーディング補正とビット補正とを組み合
わせた場合の各画素の色ムラの程度のシミュレーション
結果を示した図である。

【図２２】カラーフィルタを着色する他の例を説明する
ための図である。

【符号の説明】

５２ ＸＹθステージ ５３ ガラス基板 ５４ カラーフィルタ ５５ 着色ヘッド ５８ コントローラ ５９ ティーチングペンダント ６０ キーボード

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横井 英人 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平７−270608（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−242004（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−318723（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−290695（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−31936（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 5/20 101 B41J 2/12 B41J 2/21

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走査方向と略直交する方向に複数のイン
   ク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対
   し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並
   ぶ複数の吐出インクで着色することによりカラーフィル
   タを製造する方法であって、 前記複数の吐出インクで形成される各画素の着色状態を
   モニターするモニター工程と、 前記モニター工程においてモニターした結果に応じて、
   配列する夫々の画素毎あるいは画素群毎にインクの吐出
   間隔を設定する設定工程と、 前記設定工程により設定されたインク吐出間隔でインク
   を吐出して前記画素を着色する着色工程と、 を備えることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. 【請求項２】 配列する夫々の画素毎あるいは画素群毎
   にインク吐出体積を設定する工程をさらに備えることを
   特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造方法。
3. 【請求項３】 前記インク吐出間隔は、前記走査方向に
   略直交する方向に並んだ画素毎あるいは画素群毎に変化
   させることを特徴とする請求項１又は２に記載のカラー
   フィルタの製造方法。
4. 【請求項４】 走査方向と略直交する方向に複数のイン
   ク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対
   し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並
   ぶ複数の吐出インクで着色することによりカラーフィル
   タを製造する方法であって、 配列するそれぞれの画素毎あるいは画素群毎にインクの
   吐出パターンを変更して着色する工程を備え、 前記吐出パターンの変更は、各画素内でのインクの吐出
   間隔を調整することにより前記各画素へのインク投入量
   を調整し、各吐出インクの体積を調整することにより前
   記各画素へのインク投入量をさらに微調整することを特
   徴とするカラーフィルタの製造方法。
5. 【請求項５】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
   ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
   クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
   発生体を備えていることを特徴とする請求項１乃至４の
   いずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
6. 【請求項６】 走査方向と略直交する方向に複数のイン
   ク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対
   し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並
   ぶ複数の吐出インクで着色することによりカラーフィル
   タを製造する装置であって、 前記複数の吐出インクで形成される各画素の着色状態を
   モニターするためのモニター手段と、 前記モニター手段においてモニターした結果に応じて、
   配列する夫々の画素毎あるいは画素群毎にインクの吐出
   間隔を設定するための設定手段と、 前記設定手段により設定されたインク吐出間隔でインク
   を吐出して前記画素を着色するように前記インクジェッ
   トヘッドを制御するための制御手段と、 を備えることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
7. 【請求項７】 配列する夫々の画素毎あるいは画素群毎
   にインク吐出体積を設定するための手段をさらに備える
   ことを特徴とする請求項に６記載のカラーフィルタの製
   造装置。
8. 【請求項８】 前記インク吐出間隔は、前記走査方向に
   略直交する方向に並んだ画素毎あるいは画素群毎に変化
   させることを特徴とする請求項６又は７に記載のカラー
   フィルタの製造装置。
9. 【請求項９】 走査方向と略直交する方向に複数のイン
   ク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対
   し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に並
   ぶ複数の吐出インクで着色することによりカラーフィル
   タを製造する装置であって、 配列するそれぞれの画素毎あるいは画素群毎にインクの
   吐出パターンを変更して着色するように前記インクジェ
   ットヘッドを制御するための制御手段を備え、 前記吐出パターンの変更は、各画素内でのインクの吐出
   間隔を調整することにより前記各画素へのインク投入量
   を調整し、各吐出インクの体積を調整することにより前
   記各画素へのインク投入量をさらに微調整することを特
   徴とするカラーフィルタの製造装置。
10. 【請求項１０】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項６乃至９
    のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造装置。
11. 【請求項１１】 走査方向と略直交する方向に複数のイ
    ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に
    対し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に
    並ぶ複数の吐出インクで着色することにより製造される
    カラーフィルタを備える表示装置の製造方法であって、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の製造方法により
    カラーフィルタを製造する工程と、 前記製造されたカラーフィルタと、光量を可変とする光
    量可変手段とを一体化する工程と、 を備えることを特徴とする表示装置の製造方法。
12. 【請求項１２】 走査方向と略直交する方向に複数のイ
    ンク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に
    対し相対的に走査させながら、各画素を前記走査方向に
    並ぶ複数の吐出インクで着色することにより製造される
    カラーフィルタを有する表示装置を備えた装置の製造方
    法であって、請求項１１に記載の製造方法により表示装置を製造する
    工程と、 前記製造された 表示装置に画像信号を供給する画像信号
    供給手段を、前記製造された表示装置に備える工程と、 を有することを特徴とする、表示装置を備えた装置の製
    造方法。