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JP3025551B2 - DC characteristics test circuit - Google Patents

DC characteristics test circuit

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JP3025551B2
JP3025551B2 JP3135038A JP13503891A JP3025551B2 JP 3025551 B2 JP3025551 B2 JP 3025551B2 JP 3135038 A JP3135038 A JP 3135038A JP 13503891 A JP13503891 A JP 13503891A JP 3025551 B2 JP3025551 B2 JP 3025551B2
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JP
Japan
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output
circuit
signal
semiconductor device
input
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義博 前崎
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Fujitsu Ltd
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイス試験の
内、直流特性試験を容易に行なう方式に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for easily performing a DC characteristic test among semiconductor device tests.

【0002】半導体デバイス試験は、直流特性試験と交
流特性試験とに分けることができる。その内、直流特性
試験には、入力電流テスト、VOH・VOLテスト、ICC
ストなどがある。
[0002] Semiconductor device tests can be divided into DC characteristic tests and AC characteristic tests. Among them, the DC characteristics test includes an input current test, a VOH / VOL test, an ICC test, and the like.

【0003】VOH・VOLテストを行なうには、半導体デ
バイスの各端子に“H”または“L”の電位を設定しな
ければならないが、近年の半導体デバイスの高集積化と
共にその設定が複雑かつ困難になってきた。そのため、
各端子に“H”または“L”の電位を容易に設定するた
めの有効な手段が望まれている。
In order to perform a V OH · V OL test, an “H” or “L” potential must be set to each terminal of a semiconductor device. However, the setting is complicated with the recent high integration of semiconductor devices. And it's getting harder. for that reason,
Effective means for easily setting the “H” or “L” potential to each terminal is desired.

【0004】[0004]

【従来の技術】試験対象の半導体デバイスが有するある
出力端子に、“H”または“L”の電位を設定するに
は、まず入力端子に対して予め決められたタイミング及
び波形モードを設定する。それから、半導体デバイス毎
に特有の測定パターンを次々と流すことによって、目的
の出力端子を“H”または“L”の電位にさせていく。
OH・VOLテストでは、この“H”または“L”の状態
における電圧値を測定して、規程内であるかを検証す
る。
2. Description of the Related Art Some semiconductor devices to be tested have
To set the “H” or “L” potential to the output terminal
First, a predetermined timing and
And waveform mode. Then, for each semiconductor device
By flowing measurement patterns unique to each other,
Are set to the “H” or “L” potential.
V OH・ VOLIn the test, this "H" or "L" state
Measure the voltage value at and verify that it is within regulation
You.

【0005】また、別の出力端子に、“H”または
“L”の電位を設定するには、再び試験に係る半導体デ
バイスに特有の測定パターンを次々と流す。すなわち、
出力端子が変わるたびに個々の測定パターンを流して出
力端子の電位を設定する。
In order to set an "H" or "L" potential to another output terminal, measurement patterns unique to the semiconductor device to be tested are flown again one after another. That is,
Each time the output terminal changes, each measurement pattern is flown to set the potential of the output terminal.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
1つの出力端子ごとに、半導体デバイスの入力側の設定
をいろいろと変化させながら、VOH・VOLテストを行な
っていた。そのため、入力端子数が増加すると、目的の
出力端子を設定するための条件が複雑になる。同時に、
出力端子数が増加すると、“H”または“L”の電位の
設定時間が増加数だけ余計にかかる。そして、特に、近
年の半導体デバイスの高集積化により、V OH・VOLテス
トに要する時間が飛躍的に増大しているという問題点が
ある。
As described above, conventionally,
For each output terminal, set the input side of the semiconductor device
While changing in various waysOH・ VOLTest
I was Therefore, as the number of input terminals increases,
The conditions for setting the output terminal are complicated. at the same time,
When the number of output terminals increases, the potential of “H” or “L”
It takes extra time for the set time. And especially near
Years of high integration of semiconductor devices, V OH・ VOLTess
The problem is that the time required for
is there.

【0007】本発明は、このような従来の問題点に鑑
み、半導体デバイスの出力端子に“H”または“L”の
電位を容易に設定するための有効な手段を提供すること
を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide an effective means for easily setting an "H" or "L" potential to an output terminal of a semiconductor device. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、上述の
目的は前記特許請求の範囲に記載の手段により達成され
る。すなわち、本発明は、半導体デバイス試験におい
て、半導体デバイスの内部回路部と出力部との間に設け
られ、入力信号に対して予め定められた信号を出力する
試験回路であって、2つの制御信号を受けて、1の制御
信号のパルスを検出した時に初期化状態となり、内部回
路部から受ける入力信号がどのようなものであるかにか
かわらず、高レベルあるいは低レベルのいずれか定めら
れた方の信号を出力部へ出力すると共に、他の制御信号
のパルスを検出するごとに、出力部への出力を高レベル
から低レベルへあるいは低レベルから高レベルへ反転す
る直流特性試験回路である。
According to the present invention, the above objects are achieved by the means as set forth in the appended claims. That is, the present invention relates to a test circuit which is provided between an internal circuit unit and an output unit of a semiconductor device and outputs a predetermined signal in response to an input signal in a semiconductor device test. In response to this, when a pulse of one control signal is detected, the state is initialized, and a high level or a low level is determined regardless of the type of an input signal received from the internal circuit section. Is a DC characteristic test circuit that outputs the signal to the output unit and inverts the output to the output unit from a high level to a low level or from a low level to a high level every time a pulse of another control signal is detected.

【0009】[0009]

【作用】図1は、本発明の原理説明図である。図1
(a)は、本発明による直流特性試験回路1を示してお
り、これは、2つの制御信号CaおよびCbを受ける端
子と、入力信号Ia〜Inを受ける端子と、入力信号I
a〜Inに対する出力信号Oa〜Onを送出する端子と
を有する。
FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention. FIG.
1A shows a DC characteristic test circuit 1 according to the present invention, which includes terminals for receiving two control signals Ca and Cb, terminals for receiving input signals Ia to In, and input signal Ia.
and terminals for sending output signals Oa to On for a to In.

【0010】図1(b)は、図1(a)の直流特性試験
回路1の動作を説明するためのタイミングチャートの図
である。図1(b)において、2つの制御信号が共に
“L”の間は、入力信号Ia,Ibがそのまま出力信号
Oa,Obとなって表われている。また、2つの制御信
号が共に“H”になると、出力信号Oa,Obはその時
の直流特性試験回路1の状態によって定まり、ここでは
“H”か“L”かは不定である。
FIG. 1B is a timing chart for explaining the operation of the DC characteristic test circuit 1 of FIG. 1A. In FIG. 1B, while the two control signals are both "L", the input signals Ia and Ib are directly output as the output signals Oa and Ob. When the two control signals both become "H", the output signals Oa and Ob are determined by the state of the DC characteristic test circuit 1 at that time, and here whether "H" or "L" is undefined.

【0011】図1(b)の英字符T1で示すタイミング
で、制御信号Caにパルスが表われている。この時、直
流特性試験回路1は初期状態となり、各出力信号Oa〜
Onを強制的に“H”あるいは“L”とする。図2
(b)では、出力信号Oa,Obをみてわかるとおり、
初期状態では“L”になっている。また、続いて他の制
御信号Cbにパルスが表われるたびに、各出力信号Oa
〜Onは“H”から“L”または“L”から“H”に強
制的に反転している。図1(b)の英字符T2で示すタ
イミングで、出力信号Oa,Obは“L”から“H”に
反転し、英字符T3で示すタイミングで出力信号Oa,
Obは“H”から“L”に反転している。
At the timing indicated by the alphabetical character T1 in FIG. 1B, a pulse appears in the control signal Ca. At this time, the DC characteristic test circuit 1 is in the initial state, and the output signals Oa to
On is forcibly set to “H” or “L”. FIG.
In (b), as can be seen from the output signals Oa and Ob,
It is "L" in the initial state. Subsequently, each time a pulse appears in another control signal Cb, each output signal Oa
On is forcibly inverted from “H” to “L” or from “L” to “H”. The output signals Oa and Ob are inverted from "L" to "H" at the timing indicated by the alphabetical letter T2 in FIG.
Ob is inverted from “H” to “L”.

【0012】当然のことながら、図1(b)のタイミン
グチャートにおいて、制御信号CaおよびCbの論理を
逆にしても回路構成をその逆論理に合わせれば、入力信
号と出力信号との間に同一の関係を容易に生じさせるこ
とができるのは言うまでもない。
As a matter of course, in the timing chart of FIG. 1B, even if the logic of the control signals Ca and Cb is reversed, if the circuit configuration is adjusted to the reverse logic, the same between the input signal and the output signal. Needless to say, the above relationship can be easily generated.

【0013】[0013]

【実施例】図2は、本発明の実施例について説明する図
である。図2(a)は、半導体デバイス内のどこに本発
明による直流特性試験回路9を設けるのかを説明してい
る。半導体デバイスを入力ピンを含む入力部7と出力ピ
ンを含む出力部10と、内部回路部8とに大きく分けた
場合において、図2(a)に示すように、直流特性試験
回路9は出力部10の前段に設ける。
FIG. 2 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention. FIG. 2A illustrates where in the semiconductor device the DC characteristic test circuit 9 according to the present invention is provided. When the semiconductor device is roughly divided into an input section 7 including an input pin, an output section 10 including an output pin, and an internal circuit section 8, as shown in FIG. It is provided in a stage preceding to 10.

【0014】図2(b)は、本発明による直流特性試験
回路9の構成例と、半導体デバイスであるLSI11の
概略構成とを示している。直流特性試験回路9へは、2
つの入力ピン12,13から2つの制御信号が、内部回
路部8から4つの入力信号が送られていると同時に、直
流特性試験回路9から出力ピン14〜17へ、各入力信
号に対する出力信号が送出されている。
FIG. 2B shows a configuration example of the DC characteristic test circuit 9 according to the present invention and a schematic configuration of the LSI 11 which is a semiconductor device. 2 to the DC characteristic test circuit 9
At the same time as two control signals are sent from the two input pins 12 and 13 and four input signals are sent from the internal circuit unit 8, output signals for each input signal are sent from the DC characteristic test circuit 9 to the output pins 14 to 17. Has been sent.

【0015】2つの制御信号が共に“L”の場合は、A
ND回路20の出力が“1”、AND回路21の出力が
“0”なので、直流特性試験回路9への入力信号は、そ
のまま出力信号となる。また、2つの制御信号が共に
“H”となり、その後入力ピン12へ“L”のパルス信
号が伝わると、2つのFF回路18,19がクリアされ
て初期状態となる。このとき、AND回路20の出力が
“0”なので4つのAND回路22〜25の出力は
“0”であり、同時にAND回路21の出力も“0”な
ので、結局4つのOR回路26〜29の出力も“0”で
ある。
When the two control signals are both "L", A
Since the output of the ND circuit 20 is “1” and the output of the AND circuit 21 is “0”, the input signal to the DC characteristic test circuit 9 becomes the output signal as it is. Further, when both of the control signals become “H” and a pulse signal of “L” is transmitted to the input pin 12 thereafter, the two FF circuits 18 and 19 are cleared to be in an initial state. At this time, since the output of the AND circuit 20 is "0", the outputs of the four AND circuits 22 to 25 are "0", and at the same time, the output of the AND circuit 21 is also "0". The output is also "0".

【0016】以後、2つの制御信号が共に“L”になら
ない限りAND回路20の出力が“1”とならないの
で、4つのAND回路22〜25の出力は“0”の状態
を保つ。そのため、直流特性試験回路9の出力信号を決
めるのはAND回路21の出力となる。
Since the output of the AND circuit 20 does not become "1" unless the two control signals both become "L", the outputs of the four AND circuits 22 to 25 maintain the state of "0". Therefore, the output signal of the DC characteristic test circuit 9 is determined by the output of the AND circuit 21.

【0017】図示するように、2つのFF回路18,1
9の反転動作によってAND回路21は、出力を“0”
から“1”にまたは“1”から“0”に変化する。2つ
のFF回路18,19は入力ピン13に加えられるパル
ス信号を受けるたびに反転するので、直流特性試験回路
9の各出力信号は、入力ピン13にパルス信号を伝える
ことにより、“H”または“L”にすることができる。
As shown, two FF circuits 18, 1
9, the AND circuit 21 sets the output to “0”.
From “1” to “1” or from “1” to “0”. Since each of the two FF circuits 18 and 19 is inverted each time a pulse signal applied to the input pin 13 is received, each output signal of the DC characteristic test circuit 9 is set to “H” or “H” by transmitting the pulse signal to the input pin 13. It can be "L".

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体デバイスの出力端子に“H”レベルおよび“L”
レベルの電位を容易に設定することができるので、VOH
・VOL試験を容易かつ短時間で行なうことができるとい
う利点がある。
As described above, according to the present invention,
"H" level and "L" level are applied to the output terminal of the semiconductor device.
Since the level potential can be easily set, V OH
There is an advantage that the VOL test can be performed easily and in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の原理説明図である。FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention.

【図2】本発明の実施例について説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2,18,19 FF回路 3〜5,20〜25 AND回路 6,26〜29 OR回路 7 入力部 8 内部回路部 9 直流特性試験回路 10 出力部 11 LSI 12,13 入力ピン 14〜17 出力ピン 1, 2, 18, 19 FF circuit 3 to 5, 20 to 25 AND circuit 6, 26 to 29 OR circuit 7 Input unit 8 Internal circuit unit 9 DC characteristics test circuit 10 Output unit 11 LSI 12, 13 Input pin 14 to 17 Output pin

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 半導体デバイス試験において、半導体デ
バイスの内部回路部と出力部との間に設けられ、入力信
号に対して予め定められた信号を出力する試験回路であ
って、2つの制御信号を受けて、1の制御信号のパルス
を検出した時に初期化状態となり、内部回路部から受け
る入力信号がどのようなものであるかにかかわらず、高
レベルあるいは低レベルのいずれか定められた方の信号
を出力部へ出力すると共に、他の制御信号のパルスを検
出するごとに、出力部への出力を高レベルから低レベル
へあるいは低レベルから高レベルへ反転することを特徴
とする直流特性試験回路。
In a semiconductor device test, a test circuit is provided between an internal circuit unit and an output unit of a semiconductor device and outputs a predetermined signal in response to an input signal. In response, when a pulse of one control signal is detected, the state becomes an initialization state. Regardless of what kind of input signal is received from the internal circuit unit, a high level or a low level is determined. A DC characteristic test characterized by outputting a signal to an output unit and inverting an output from the output unit from a high level to a low level or from a low level to a high level each time a pulse of another control signal is detected. circuit.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2008120702A1 (en) 2007-03-30 2008-10-09 Kuraray Co., Ltd. Leather-like sheet bearing grain finish and process for producing the same

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WO2008120702A1 (en) 2007-03-30 2008-10-09 Kuraray Co., Ltd. Leather-like sheet bearing grain finish and process for producing the same

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