JP3069084B2 - Catadioptric system and method of manufacturing the same - Google Patents
Catadioptric system and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロマシン等
に用いられるマイクロ視覚機構(例えば、細い管内を自
走し、管内に生じている傷の状況等の環境を認識するシ
ステムで使用されるCCDカメラの反射屈折光学系に用
いた機構)の反射屈折光学系において、反射屈折光学レ
ンズを使用した場合に発生しやすいフレア(迷光)によ
る、CCDカメラ等の画像性能の低下を防止した反射屈
折光学系に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micro-visual mechanism used in a micro-machine or the like (for example, a CCD camera used in a system which runs in a thin tube and recognizes an environment such as a situation of a wound generated in the tube). The mechanism used in the catadioptric system of (1), in which the deterioration of the image performance of a CCD camera or the like is prevented by flare (stray light) which is likely to occur when a catadioptric optical lens is used. About.
【0002】[0002]
【従来の技術】マイクロマシン等に用いられるマイクロ
視覚機構の反射屈折光学系とその反射屈折光学レンズ
は、一般的には図13に示すように一方の面が凹面に形
成され、これと反対面が凸面に形成された光学部材31
(メニスカスレンズ)が用いられている。2. Description of the Related Art Generally, a catadioptric optical system and a catadioptric optical lens of a micro vision mechanism used in a micromachine or the like have one surface formed as a concave surface as shown in FIG. Optical member 31 formed on a convex surface
(Meniscus lens) is used.
【0003】この光学部材31の凸面には第1反射面3
2が形成され、凹面には第2反射面33が形成されてい
る。これら凹凸面上の反射面の形成されていない残りの
面は、凹面側において第1屈折面34が形成され、凸面
側において第2屈折面35が形成されている。The convex surface of the optical member 31 has a first reflecting surface 3
2 are formed, and the second reflection surface 33 is formed on the concave surface. The remaining surface of the uneven surface where the reflection surface is not formed has the first refraction surface 34 formed on the concave surface side and the second refraction surface 35 formed on the convex surface side.
【0004】このような構成であれば、入射光36は、
第1屈折面31から入射して第1反射面32に至り、こ
の第1反射面32と第2反射面33とで反射し、第2屈
折面35から出射される。そして、この出射光37は、
例えばCCDカメラ等のセンサ38に入射する。なお、
図13に示す第1屈折面34と第2反射面32、第2屈
折面33と第1反射面34は、それぞれ、同一の曲率半
径と非球面係数で形成されている。With such a configuration, the incident light 36 is
The light enters from the first refraction surface 31 and reaches the first reflection surface 32, is reflected by the first reflection surface 32 and the second reflection surface 33, and is emitted from the second refraction surface 35. And this outgoing light 37 is
For example, the light enters a sensor 38 such as a CCD camera. In addition,
The first refraction surface 34 and the second reflection surface 32 and the second refraction surface 33 and the first reflection surface 34 shown in FIG. 13 are formed with the same radius of curvature and aspheric coefficient, respectively.
【0005】そして、これら屈折面34、35及び反射
面32、33を球面で形成することが可能であるので、
光学部材としては、研磨したガラス等が使用可能てあ
り、また、全長を短く形成することができる。特に、反
射面同士の位置精度が球面レンズの偏心精度(透過偏角
で2秒程度)て位置合わせできるので、反射面32、3
3の位置ずれに起因する像の劣化が少ないという利点が
あるため、しばしば用いられている。Since the refraction surfaces 34, 35 and the reflection surfaces 32, 33 can be formed as spherical surfaces,
As the optical member, polished glass or the like can be used, and the entire length can be reduced. In particular, since the positional accuracy between the reflecting surfaces can be adjusted with the eccentricity of the spherical lens (about 2 seconds in transmission declination), the reflecting surfaces 32, 3
3 is often used because it has the advantage of less deterioration of the image due to the displacement.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
反射屈折光学レンズでは、光が第2屈折面35を通過す
るとき、光軸を外れた光は、第2反射面33の縁でけら
れてしまい。ここで反射して迷光(フレア)成分とな
り、像のコントラストを低下させてしまう。However, in the above-described catadioptric optical lens, when light passes through the second refraction surface 35, light off the optical axis is cut off at the edge of the second reflection surface 33. Sisters. Here, the light is reflected and becomes a stray light (flare) component, which lowers the contrast of the image.
【0007】このように反射屈折マイクロ光学レンズに
おいて、迷光が発生すると、図14に示すように撮像さ
れたカメラ画像に白色のバックグラウンドノイズが現
れ、画像が見えにくくなる欠点がある。As described above, when stray light is generated in the catadioptric micro-optical lens, white background noise appears in a captured camera image as shown in FIG.
【0008】特に、マイクロマシンの開発分野や内視鏡
の開発分野においては、直径数φmmオーダの微小レン
ズを数枚用いた視覚機構の技術が行われおり、例えば、
直径φ3mmの反射屈折光学レンズを用いた場合は、反
射屈折光学レンズの10mm先にある20μm程度の大
きさの傷の観察可能性を追求しており、反射屈折光学レ
ンズの光の通り抜け、反射屈折光学レンズ内での多重反
射などによる迷光がその最大の障害になっている。In particular, in the field of development of micromachines and endoscopes, the technology of visual mechanisms using several microlenses having a diameter on the order of several mm has been carried out.
When a catadioptric optical lens with a diameter of φ3 mm is used, the possibility of observing a flaw of about 20 μm 10 mm ahead of the catadioptric optical lens is pursued. Stray light due to multiple reflections in the optical lens is the biggest obstacle.
【0009】本発明はこれらの事情にもとづいて成され
たもので、迷光成分の影響を受けない反射屈折光学レン
ズを用いた反射屈折光学系を提供することを目的とす
る。The present invention has been made based on these circumstances, and has as its object to provide a catadioptric optical system using a catadioptric optical lens which is not affected by stray light components.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明による手
段によれば、一方の面が凹面に形成され、これと反対側
が凸面に形成され、かつこれらの凹凸面上の前記凸面に
は第1反射面が形成され、また、前記凹面には第2反射
面が形成され、一方、前記反射面の形成されていない残
りの面には、前記凹面側において第1屈折面が形成さ
れ、また、前記凸面側において第2屈折面が形成されて
いる反射屈折光学レンズと、この反射屈折光学レンズの
前記凹面側の光軸上の離間位置に設けられた微小な遮光
体と、前記反射屈折光学レンズの外径部に密接して設け
られている遮光体円筒とを有する反射屈折光学系におい
て、前記反射屈折光学レンズは、前記第1屈折面と第2
反射面、及び第1反射面と第2屈折面がそれぞれ1つの
非球面式で共通に形成されている場合、第1屈折面のパ
ワーを−Φ1、第2屈折面のパワーを+Φ2とした場合
に、各反射面のパワーが、第1反射面Φ3が+6Φ2で
あり、第2反射面Φ4が−6Φ2の関係が成立する。但
し、 Φ2>Φ1であり、かつ、Ngを合成石英ガラス
を用いたときの屈折率、Naを周囲の屈折率とした際
に、Φ1=(Ng−Na)/R1=0.5/R1、Φ2
=2Ng/R2=3/R2、Φ3=2Ng/R1=3/
R1およびΦ4=(Na−Ng)/R2 =−0.5/
R2である。ことを特徴とする反射屈折光学系である。According to the first aspect of the present invention, one surface is formed as a concave surface, the other side is formed as a convex surface, and the convex surface on these concave and convex surfaces is formed with a convex surface. 1 reflection surface is formed, a second reflection surface is formed on the concave surface, while a first refraction surface is formed on the concave surface side on the other surface where the reflection surface is not formed; A catadioptric optical lens having a second refraction surface formed on the convex surface side, a minute light shielding body provided at a distance on the optical axis on the concave surface side of the catadioptric optical lens; In a catadioptric optical system having a light-shielding cylinder provided in close contact with an outer diameter portion of the lens, the catadioptric optical lens includes a first refracting surface and a second refracting surface.
When the reflecting surface and the first reflecting surface and the second refracting surface are each commonly formed by one aspherical surface, the power of the first refracting surface is -Φ 1 , and the power of the second refracting surface is + Φ 2 . when the power of each reflection surface, the first reflecting surface [Phi 3 is + 6Fai is 2, the second reflecting surface [Phi 4 relationship -6Fai 2 is established. However, .phi.2> is .phi.1, and the refractive index when the Ng using synthetic quartz glass, upon the refractive index of the surroundings Na, Φ 1 = (Ng- Na) / R 1 = 0.5 / R 1 , Φ 2
= 2Ng / R 2 = 3 / R 2 , Φ 3 = 2Ng / R 1 = 3 /
R 1 and Φ 4 = (Na−Ng) / R 2 = −0.5 /
R 2 . A catadioptric optical system characterized in that:
【0011】また、請求項2の発明による手段によれ
ば、前記遮光体は、透明円盤の中央部の穴の中に埋め込
まれ、この透明円盤が前記遮光体円筒に固定されること
によって前記反射屈折光学レンズの光軸上に支持されて
いることを特徴とする反射屈折光学系である。According to the second aspect of the present invention, the light-shielding member is embedded in a hole at the center of the transparent disk, and the transparent disk is fixed to the light-shielding member cylinder so that the reflection of the light-shielding member is achieved. A catadioptric optical system is supported on the optical axis of a refractive optical lens.
【0012】また請求項3の発明による手段によれば、
前記遮光体は、中央部を遮光した薄い透明遮光体を複数
枚重ね合わせて形成され、前記遮光体円筒に固定される
ことによって前記反射屈折光学レンズの光軸上に支持さ
れていることを特徴とする反射屈折光学系である。According to the third aspect of the present invention,
The light-shielding body is formed by laminating a plurality of thin transparent light-shielding bodies having a light-shielded central portion, and is supported on the optical axis of the catadioptric optical lens by being fixed to the light-shielding body cylinder. Is a catadioptric optical system.
【0013】また請求項4の発明による手段によれば、
前記遮光体は、少なくとも先端部が黒色処理された微小
円柱をレンズ中央から光軸上に突起状に設けて形成さ
れ、前記反射屈折光学レンズの光軸上に支持されている
ことを特徴とする反射屈折光学系である。According to the fourth aspect of the present invention,
The light-shielding body is formed by providing a micro column having at least a tip portion that is black-treated in a protruding shape on the optical axis from the center of the lens, and supported on the optical axis of the catadioptric optical lens. It is a catadioptric optical system.
【0014】また請求項5の発明による手段によれば、
前記遮光体は、先端部分に遮光体のついた透明構造体を
遮光体円筒の前部から装入固定して形成され、前記遮光
体円筒に固定されることによって前記反射屈折光学レン
ズの光軸上に支持されていることを特徴とする反射屈折
光学系である。[0014] According to the means of claim 5,
The light shield is formed by inserting and fixing a transparent structure having a light shield at the tip from the front of the light shield cylinder, and being fixed to the light shield cylinder, the optical axis of the catadioptric optical lens. A catadioptric optical system characterized by being supported above.
【0015】また請求項6の発明による手段によれば、
一方の面が凹面に形成され、これと反対側が凸面に形成
され、また、これらの凹凸面上の前記反射屈折レンズの
前記凸面には第1反射面が形成され、かつ、前記凹面に
は第2反射面が形成され、一方、前記反射面の形成され
ていない残りの面には、前記凹面側において第1屈折面
が形成され、また、前記凸面側において第2屈折面が形
成された前記反射屈折光学レンズは、前記第1屈折面と
第2反射面、及び第1反射面と第2屈折面がそれぞれ1
つの非球面式で共通に形成されている場合、前記第1屈
折面のパワーを−Φ1、第2屈折面のパワーを+Φ2と
した場合に、各反射面のパワーが、第1反射面Φ3が+
6Φ2であり、第2反射面Φ4が−6Φ2の関係が、Φ
2>Φ1であり、かつ、Ngを合成石英ガラスを用いた
ときの屈折率、Naを周囲の屈折率とした際に、Φ1=
(Ng−Na)/R1=0.5/R1、Φ2=2Ng/
R2=3/R2、Φ3=2Ng/R1=3/R1および
Φ4=(Na−Ng)/R2 =−0.5/R2の条件
で成立する反射屈折光学レンズを内面が黒色の遮光体円
筒の内径に密着固定するレンズ固定工程と、前記反射屈
折光学レンズの凹面側の光軸上に離間して遮光体を固定
する遮光体固定工程とを有することを特徴とする反射屈
折光学系の製造方法である。According to the means of the invention of claim 6,
One surface is formed as a concave surface, and the opposite side is formed as a convex surface, and a first reflective surface is formed on the convex surface of the catadioptric lens on these uneven surfaces, and a second reflective surface is formed on the concave surface. A second refraction surface is formed on the concave surface side, and a second refraction surface is formed on the convex surface side on the other surface where the reflection surface is not formed. In the catadioptric optical lens, the first refractive surface and the second reflective surface, and the first reflective surface and the second refractive surface are each one.
When the power of the first refraction surface is -Φ 1 and the power of the second refraction surface is + Φ 2 , the power of each reflection surface is equal to the first reflection surface. Φ 3 is +
A 6Fai 2, the second reflecting surface [Phi 4 is the relationship -6Φ 2, Φ
2> Φ1, and when Ng is the refractive index when using synthetic quartz glass and Na is the surrounding refractive index, Φ 1 =
(Ng-Na) / R 1 = 0.5 / R 1 , Φ 2 = 2Ng /
A catadioptric optical lens that satisfies the conditions of R 2 = 3 / R 2 , Φ 3 = 2 Ng / R 1 = 3 / R 1 and Φ 4 = (Na−Ng) / R 2 = −0.5 / R 2 A lens fixing step of closely fixing the inner surface to the inner diameter of the black light-shielding body cylinder, and a light-shielding body fixing step of fixing the light-shielding body separately on the concave optical axis of the catadioptric lens. This is a method for manufacturing a catadioptric optical system.
【0016】また請求項7の発明による手段によれば、
前記遮光体固定工程は、前記遮光体円筒に支持された構
造体に前記遮光体が設けられていることを特徴とする反
射屈折光学系の製造方法である。Further, according to the means of the invention of claim 7,
The light shielding body fixing step is a method for manufacturing a catadioptric optical system, wherein the light shielding body is provided on a structure supported by the light shielding body cylinder.
【0017】また請求項8の発明による手段によれば、
前記遮光体固定工程は、前記反射屈折光学レンズに支持
された構造体に前記遮光体が設けられていることを特徴
とする請求項6記載の反射屈折光学系の製造方法であ
る。Further, according to the means of the present invention,
7. The method of manufacturing a catadioptric optical system according to claim 6, wherein the light-shielding body fixing step includes providing the light-shielding body on a structure supported by the catadioptric optical lens.
【0018】[0018]
【0019】[0019]
【0020】[0020]
【0021】[0021]
【0022】[0022]
【0023】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明の第1の実施の形態
について図面を参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0024】図1は、反射屈折光学系に用いるレンズで
ある反射屈折光学レンズ1の構成図である。FIG. 1 is a structural view of a catadioptric optical lens 1 which is a lens used in a catadioptric optical system.
【0025】この反射屈折光学レンズ1は、一方の面が
凹面に形成され、これと反対面が凸面に形成されたメニ
スカスレンズ(光学部材)2が用いられている。The catadioptric optical lens 1 uses a meniscus lens (optical member) 2 having one surface formed as a concave surface and the other surface formed as a convex surface.
【0026】この光学部材2の凸面には第1反射面3が
形成され、凹面には第2反射面4が形成されている。こ
れら凹凸面上の反射面の形成されていない残りの面に
は、凹面側において第1屈折面5が形成され、凸面側に
おいて第2屈折面6が形成されている。A first reflecting surface 3 is formed on the convex surface of the optical member 2, and a second reflecting surface 4 is formed on the concave surface. A first refraction surface 5 is formed on the concave side and a second refraction surface 6 is formed on the convex side on the remaining surface of the uneven surface where the reflection surface is not formed.
【0027】ここで、第1屈折面5と第2反射面4、及
び第1反射面3と第2屈折面6がそれぞれ1つの非球面
式で共通に形成されている場合、第1屈折面5のパワー
を−Φ1、第2屈折面6のパワーを+Φ2とすると、各
面のパワーは、図2に示す通り表される。すなわち、 第1屈折面 : −Φ1 第1反射面 : +6Φ2 第2反射面 : −6Φ2 第2屈折面 : +Φ2 となる。Here, when the first refraction surface 5 and the second reflection surface 4 and the first reflection surface 3 and the second refraction surface 6 are commonly formed by one aspherical surface, respectively, the first refraction surface is formed. Assuming that the power of No. 5 is −Φ 1 and the power of the second refraction surface 6 is + Φ 2 , the power of each surface is represented as shown in FIG. That is, the first refractive surface: - [Phi] 1 first reflecting surface: + 6Φ 2 second reflecting surface: -6Fai 2 second refractive surface: + [Phi 2 become.
【0028】但し、 Φ1=(Ng−Na)/R1=0.5/R1 …(1) Φ2=2Ng/R2=3/R2 …(2) Φ3=2Ng/R1=3/R1 …(3) Φ4=(Na−Ng)/R2 =−0.5/R2 …(4) である。なお、Ngは光学部材として合成石英ガラスを
用いたときの屈折率(例えば1.5以下)であり、Na
は周囲の屈折率(例えば1.0以下)である。Where Φ 1 = (Ng−Na) / R 1 = 0.5 / R 1 (1) Φ 2 = 2 Ng / R 2 = 3 / R 2 (2) Φ 3 = 2 Ng / R 1 = 3 / R 1 (3) Φ 4 = (Na-Ng) / R 2 = −0.5 / R 2 (4) Ng is a refractive index (for example, 1.5 or less) when synthetic quartz glass is used as the optical member.
Is the surrounding refractive index (for example, 1.0 or less).
【0029】全体として凸レンズのパワーを有する必要
から、各面を薄肉レンズ、レンズ厚さを0とした密着系
近似で、この反射屈折光学レンズ1全体のパワーΦは、 Φ=7(Φ2−Φ1) =6(Φ2−Φ1)+(Φ2−Φ1) …(5) このパワーΦを表す式(5)から分かるように、結像す
るための凸レンズ作用として Φ2>Φ1 …(6) の条件が必要である。Since it is necessary to have the power of the convex lens as a whole, the power Φ of the entire catadioptric optical lens 1 is Φ = 7 (Φ 2 − Φ 1 ) = 6 (Φ 2 −Φ 1 ) + (Φ 2 −Φ 1 ) (5) As can be seen from the expression (5) representing this power Φ, Φ 2 > Φ 1 as a convex lens action for imaging. The condition of (6) is required.
【0030】本発明の実施の形態を示す反射屈折光学系
は、図3に示すように、図1で示した反射屈折光学レン
ズ1の光軸上の前方に、この反射屈折光学レンズ1と光
軸に対して同心に、反射屈折光学レンズ1の外径に接す
るように、内面が光の反射光を減衰させるために黒塗り
処理された遮光体円筒7aを、また、光軸上の後方に反
射屈折光学レンズ1と光軸に対して同心に、反射屈折光
学レンズ1の外径に接するように内面が黒塗りされた遮
光体円筒7bを配置する。As shown in FIG. 3, the catadioptric optical system according to the embodiment of the present invention is arranged such that the catadioptric optical lens 1 and the optical system are arranged in front of the catadioptric optical lens 1 shown in FIG. A light-shielding cylinder 7a whose inner surface is blackened so as to attenuate the reflected light of the light so as to be in contact with the outer diameter of the catadioptric optical lens 1 concentrically with respect to the axis, and A light-shielding cylinder 7b whose inner surface is painted black is arranged concentrically with the catadioptric optical lens 1 so as to be in contact with the outer diameter of the catadioptric optical lens 1.
【0031】また、反射屈折光学レンズ1の光軸上の前
方に黒塗りされた円柱体の遮光体8を配置する。さら
に、反射屈折光学レンズ1の側面部および側面部近傍に
黒塗り処理を施す。なお、遮光体円筒7aと遮光体円筒
7bを別個に設けなくとも、一体に形成された遮光体円
筒7を用いても差し支えない。この場合は反射屈折光学
レンズ1の側面部も、内面が黒塗りの遮光体円筒7が接
しているので、反射屈折光学レンズ1自体への黒塗り処
理は行なわなくてもよい。In addition, a black cylindrical light shield 8 is disposed in front of the catadioptric optical lens 1 on the optical axis. Further, a black coating process is performed on the side surface portion and the vicinity of the side surface portion of the catadioptric optical lens 1. The light-shielding cylinder 7a and the light-shielding cylinder 7b need not be separately provided, and the light-shielding cylinder 7 formed integrally may be used. In this case, since the side wall of the catadioptric optical lens 1 is also in contact with the light-shielding body cylinder 7 whose inner surface is painted black, the catadioptric optical lens 1 itself does not need to be blackened.
【0032】反射屈折光学レンズ1を使用した際に留意
すべきフレアは大別すると、反射屈折光学レンズ1の反
射面間を通り抜けレンズ面を通過する通抜け光と、反射
屈折光学レンズ1内で多重反射して生ずる多重反射光の
2つが存在するので、この双方のフレアの光がCCD素
子に入射するのを防止する対策が必要である。Flares to be noted when using the catadioptric optical lens 1 can be roughly classified into light passing through between the reflecting surfaces of the catadioptric optical lens 1 and passing through the lens surface, and inside the catadioptric optical lens 1. Since there are two types of multi-reflected light generated by multi-reflection, it is necessary to take measures to prevent the light of both flares from being incident on the CCD element.
【0033】まず、通抜け光(フレア)の低減化の原理
を図4にもとづいて説明すると、基本的には通抜け光9
の低減化は遮光体円筒7で遮光することにより行うもの
で、遮光するための遮光体円筒7の長さを調節して適切
な長さに設定して、反射屈折光学レンズ1の通抜け光9
の防止を行っている。すなわち、反射屈折光学レンズ1
の凹面の光軸上から10mm離間したところに物体を設
置して、光軸上の反射屈折光学レンズ1の凹面の位置か
ら、光軸上の後方への遮光体円筒7(7a)の筒長を、
5mm、4mm及び3mmにそれぞれ変更して行って確
認した結果、筒長が5mmのときの通抜け光9のフレア
量(フレア量=バックグラウンドノイズ/信号)を基準
値とすると、遮光体円筒7の筒長が4mmのときの通抜
け光9は基準値の1.6倍であり、また、筒長が3mm
のときの通抜け光9は基準値の2.8倍であった。First, the principle of the reduction of the passing light (flare) will be described with reference to FIG.
This is achieved by shading the light with the light-shielding cylinder 7. The length of the light-shielding cylinder 7 for shading is adjusted to an appropriate length, and the light passing through the catadioptric lens 1 is reduced. 9
Prevention. That is, the catadioptric optical lens 1
The object is placed at a position 10 mm away from the optical axis of the concave surface, and the length of the light-shielding cylinder 7 (7a) extending rearward on the optical axis from the position of the concave surface of the catadioptric lens 1 on the optical axis. To
As a result of confirming by changing to 5 mm, 4 mm and 3 mm respectively, assuming that the flare amount of the through light 9 when the tube length is 5 mm (flare amount = background noise / signal) is a reference value, Is 9 times as large as the reference value when the cylinder length is 4 mm, and the cylinder length is 3 mm.
In this case, the passing light 9 was 2.8 times the reference value.
【0034】なお、反射屈折光学レンズ1の側面を黒塗
りしたのは、レンズの側面からの外部の光の入射を防止
するためであり、また、光軸上の後方に反射屈折光学レ
ンズ1と光軸に対して同心に、反射屈折光学レンズ1の
外径に接するように内面が黒塗りされた遮光体円筒7b
を配置したのは、外部からの光が直接CCDへ入射する
のを防止するためである。The reason why the side surface of the catadioptric optical lens 1 is painted black is to prevent external light from entering from the side surface of the lens. A light-shielding cylinder 7b whose inner surface is blackened so as to be in contact with the outer diameter of the catadioptric optical lens 1 concentrically with respect to the optical axis.
The reason for disposing is to prevent external light from directly entering the CCD.
【0035】次に、反射屈折光学レンズ1内での多重反
射光の低減化について図5にもとづいて説明すると、反
射屈折光学レンズ1の光軸上の後方に微小な円柱状物体
である遮光体8を設置して、反射屈折光学レンズ1に広
角で入射する光をカットすことで、反射屈折光学レンズ
1内での仕様限度以上に多重反射される多重反射光10
の発生を防止している。遮光体8は広角で入射する光を
カットする一方で、物体からの光線が反射屈折光学レン
ズ1へ入射するのを阻害してはならないため、その大き
さと光軸上の設置位置を十分配慮して配置する必要があ
る。例えば、反射屈折光学レンズ1の反射面の光軸上の
前方10mmの位置に1mmの物体を設置した場合の、
円筒状の遮光体の直径はφ0.28mmであり長さは、
0.5mmであった。Next, the reduction of multiple reflected light in the catadioptric optical lens 1 will be described with reference to FIG. 5. A light-shielding body, which is a minute columnar object on the optical axis of the catadioptric optical lens 1, is described. 8 is installed to cut light incident on the catadioptric optical lens 1 at a wide angle, so that multiple reflected light 10 that is multi-reflected beyond the specification limit in the catadioptric optical lens 1
The occurrence of is prevented. While the light shield 8 cuts the light incident at a wide angle, the light from the object must not prevent the light from entering the catadioptric lens 1. Therefore, the size and the installation position on the optical axis should be carefully considered. Need to be placed. For example, when an object of 1 mm is set at a position 10 mm forward on the optical axis of the reflection surface of the catadioptric lens 1,
The diameter of the cylindrical light shield is φ0.28 mm and the length is
0.5 mm.
【0036】これについて、以下の3つの場合を実験に
より確認した。(イ)遮光体円筒7aは無しで、光軸上
に遮光体8を配置しない場合、(ロ)遮光体円筒7aの
筒長が5mmで、光軸上に遮光体8を配置しない場合、
(ハ)遮光体円筒7aの筒長が5mmで、光軸上に遮光
体8を配置した場合。その結果、(ハ)の場合が最もフ
レアが少ないことが確認できた。特に、画像の輪郭部で
のフレアが大幅に減少した。Regarding this, the following three cases were confirmed by experiments. (A) When the light-shielding cylinder 8a is not provided and the light-shielding body 8 is not arranged on the optical axis, (b) When the light-shielding cylinder 7a has a cylinder length of 5 mm and the light-shielding body 8 is not arranged on the optical axis,
(C) A case where the light-shielding body cylinder 7a has a cylinder length of 5 mm and the light-shielding body 8 is arranged on the optical axis. As a result, it was confirmed that the flare was smallest in the case of (c). In particular, the flare at the outline of the image was greatly reduced.
【0037】次に、微小な遮光体8を光軸上の後方の所
定位置に配置する各種配置手段について、以下、図面を
参照して説明する。Next, various arranging means for arranging the minute light shield 8 at a predetermined position on the optical axis at the rear will be described with reference to the drawings.
【0038】図6(a)に示す手段では、遮光体円筒7
aに反射屈折光学レンズ1と微小な円柱状物体である遮
光体8を設置するため環状の段部11を設け、この段部
11に、図6(b)に示すように3本の細い支持梁12
で中央に微小な遮光体8が支持された環状体13を挿入
後、スリーブ11aをに挿入して環状体13を固定す
る。スリーブ11aは内径が段部の径小部と同じで、外
径が径大部と同じに形成され、内面に黒塗り処理が施さ
れている。つまり、環状体13は、遮光体円筒7aの内
壁側に、あたかも環状の溝が設けられ、その溝の中に挿
入固定されたのと同様な構造になっている。従って、ス
リーブ11aを用いなくても同様な作用が得られる構
造、例えば、遮光体円筒7aを環状体13の挿入部で分
離する等を任意に選択することができる。図6(c)は
環状体13の図6(b)におけるA−A´断面の断面図
である。The means shown in FIG.
In FIG. 6A, an annular step 11 is provided for installing the catadioptric optical lens 1 and the light shielding body 8 as a minute columnar object, and the step 11 has three thin supporting members as shown in FIG. Beam 12
After inserting the annular body 13 in which the minute light-shielding body 8 is supported at the center, the sleeve 11a is inserted into the annular body 13 to fix the annular body 13. The sleeve 11a has the same inner diameter as the small diameter portion of the step portion, the same outer diameter as the large diameter portion, and has its inner surface subjected to black coating. That is, the annular body 13 has a structure similar to that in which an annular groove is provided on the inner wall side of the light-shielding body cylinder 7a and inserted and fixed in the groove. Therefore, it is possible to arbitrarily select a structure that can achieve the same operation without using the sleeve 11a, for example, separating the light shielding body cylinder 7a at the insertion portion of the annular body 13. FIG. 6C is a cross-sectional view of the ring 13 taken along the line AA ′ in FIG. 6B.
【0039】なお、支持梁12の本数は特に3本に限定
する必要はないが、保持位置の安定性を考慮すると複数
本であることが好ましい。また、1本でも安定した位置
が保持できれば構わないが、その場合、あまり支持梁1
2の太さが太すぎて物体からの光を遮断するような光学
的な悪影響の出るものは避けなければならない。また、
遮光体8を形成するの黒体としては、黒鉛棒を切断した
ものか、ステンレスの丸棒を切断して、それに黒塗りし
たものを用いている。The number of the support beams 12 does not need to be particularly limited to three, but is preferably plural in consideration of the stability of the holding position. In addition, it is sufficient if a stable position can be maintained even with one beam.
It is necessary to avoid an object having an optically adverse effect such as blocking the light from the object due to the thickness of 2 being too large. Also,
As the black body for forming the light shielding body 8, a black rod obtained by cutting a graphite rod or a black rod obtained by cutting a stainless steel round rod is used.
【0040】図7(a)に示す手段では、遮光体円筒7
aに反射屈折光学レンズ1と微小な遮光体8を設置する
ための環状の段部11を設け、この段部11に、図7
(b)に示すような円盤状のガラス等の透明体14の中
央部に設けられた孔15に微小な遮光体8を埋め込んだ
構造体16を挿入後、前述のスリーブ11aで固定す
る。図7(c)は構造体16の図7(b)におけるA−
A´断面の断面図である。The means shown in FIG.
7A is provided with an annular step 11 for installing the catadioptric optical lens 1 and the minute light shield 8.
As shown in (b), a structure 16 in which a minute light shielding body 8 is embedded is inserted into a hole 15 provided at the center of a transparent body 14 such as a disc-shaped glass or the like, and then fixed with the above-mentioned sleeve 11a. FIG. 7C shows the structure 16 taken along line A- in FIG.
It is sectional drawing of A 'cross section.
【0041】図8(a)に示す手段では、遮光体円筒7
aに反射屈折光学レンズ1と微小な遮光体8を設置する
ため環状の段部11を設け、この段部11に、図8
(b)に示すような中央部に遮光用の微小面積の黒塗り
部20を有する薄いガラス板を張り合わせた構造体18
を形成し、この構造体18を挿入後、前述のスリーブ1
1aで固定する。図8(c)は構造体18の図8(b)
におけるA−A´断面の断面図である。。なお、図8
(d)に示す側面図のように、厚めのガラス19の両面
に遮光用の微小面積の黒塗り部20を設けたものを用い
ることもできる。The means shown in FIG.
8A is provided with an annular step 11 for installing the catadioptric optical lens 1 and the minute light shield 8.
A structure 18 in which a thin glass plate having a blackened portion 20 having a small area for light shielding is attached to the central portion as shown in FIG.
After the structure 18 is inserted, the above-described sleeve 1 is inserted.
Fix at 1a. FIG. 8C shows the structure 18 shown in FIG.
3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ in FIG. . FIG.
As shown in the side view shown in FIG. 3D, a thick glass 19 provided with a blackened portion 20 having a small area for light shielding on both sides can be used.
【0042】図9(a)に示す手段では、反射屈折光学
レンズ1の先端部に黒色処理を施した円柱状構造体21
を設けている。なお、黒色処理は先端部だけでなく、円
柱状構造体21の全長か或いは先端部から任意の長さを
行ったものでもよい。また、円柱状構造体21を反射屈
折光学レンズ1からの片持ちにせずに、図10に示すよ
うに円柱状構造体21の先端部に保持用の透明円盤22
を設けて両持ち構造にすれば、円柱状構造体21の先端
部の位置がより安定する。In the means shown in FIG. 9 (a), a columnar structure 21 having a front end portion of a catadioptric optical lens 1 subjected to black processing is used.
Is provided. The black processing may be performed not only at the tip but also at the entire length of the columnar structure 21 or at any length from the tip. Further, instead of making the columnar structure 21 cantilever from the catadioptric lens 1, as shown in FIG.
Is provided to form a double-sided structure, the position of the distal end of the columnar structure 21 is more stable.
【0043】図11(a)示す手段では、図11(b)
に示すようなガラス、ポリカーボネート又はエポキシ等
の透明体の一側面の中央部に同心状に突起した円柱状の
遮光体8を有する透明構造体23形成し、この透明構造
体23を遮光体円筒7の前方から遮光体円筒7aの内部
に嵌合させて設置した構造である。図11(c)は透明
構造体23の側面図である。In the means shown in FIG.
A transparent structure 23 having a cylindrical light shield 8 protruding concentrically at the center of one side of a transparent material such as glass, polycarbonate or epoxy as shown in FIG. From the front of the light shielding body cylinder 7a. FIG. 11C is a side view of the transparent structure 23.
【0044】なお、上述の各実施の形態では、遮光体8
として微小円柱を用いたが、光学的に同様な作用が得ら
れるものであれば、微小円中に限らず、図12(a)に
示す円錐状又は図12(b)に示す球状、その他の種々
の形状を任意に選択して用いることができる。In each of the above embodiments, the light shielding member 8 is used.
Although a micro-column is used as the light-emitting element, not only a micro-circle but also a conical shape shown in FIG. 12A, a spherical shape shown in FIG. Various shapes can be arbitrarily selected and used.
【0045】上述の構成により、物体光以外から反射屈
折光学レンズ1に入射する(散乱)光を反射屈折光学レ
ンズ1前方および後方に配置された遮光体円筒7およ
び、反射屈折光学レンズ1前方に配置された遮光体8に
よって、幾何光学的に迷光を除去できる。With the above-described configuration, the light (scattered) incident on the catadioptric optical lens 1 from other than the object light is transmitted to the light-shielding body cylinder 7 disposed in front and rear of the catadioptric optical lens 1 and to the front of the catadioptric optical lens 1. The stray light can be geometrically removed by the arranged light shield 8.
【0046】また、反射屈折光学レンズ1の前方にある
遮光体円筒7aは、主に観察物体から大きく離れた地点
から反射屈折光学レンズ1に入射して通抜ける光(迷
光)の防止を行い、また、反射屈折光学レンズ1後方に
ある遮光体円筒7bは、外部からCCDカメラに直接入
射する光(迷光)を除去する作用を果たす。The light-shielding cylinder 7a in front of the catadioptric optical lens 1 mainly prevents light (stray light) that enters the catadioptric optical lens 1 from a point far away from the object to be observed and passes through. Further, the light-shielding body cylinder 7b behind the catadioptric lens 1 functions to remove light (stray light) directly incident on the CCD camera from the outside.
【0047】また、反射屈折光学レンズ1の前方に配置
する微小な遮光体8は反射屈折光学レンズ1に広角(例
えば、10.2度)で入射し、レンズ内で多重反射する
光(迷光)を防止することができる。The minute light shield 8 disposed in front of the catadioptric lens 1 is incident on the catadioptric lens 1 at a wide angle (for example, 10.2 degrees), and is light (stray light) that is multiply reflected within the lens. Can be prevented.
【0048】なお、上述の各実施の形態では反射屈折光
学レンズ1で、入射光の反射と屈折の両方を行ったが、
屈折のみを行う場合にもレンズを通抜けてしまう迷光の
対策として遮光円筒は有効である。また、楔状の溝をレ
ンズに加工することで通抜け光9のフレア防止を行うこ
ともできる。In each of the above embodiments, both the reflection and refraction of the incident light are performed by the catadioptric optical lens 1.
Even when only refraction is performed, a light-shielding cylinder is effective as a measure against stray light that passes through the lens. Further, by processing the wedge-shaped groove into the lens, it is possible to prevent flare of the light 9 passing therethrough.
【0049】[0049]
【発明の効果】本発明によれば、反射屈折光学系におい
て反射屈折光学レンズを用いるに際して、物体から出る
光以外の散乱光によるフレアの発生を低減化できる。According to the present invention, when a catadioptric optical lens is used in a catadioptric optical system, the occurrence of flare due to scattered light other than light emitted from an object can be reduced.
【図1】反射屈折光学系に用いる反射屈折光学レンズの
構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of a catadioptric optical lens used in a catadioptric optical system.
【図2】反射屈折光学レンズの各面のパワーの説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram of the power of each surface of a catadioptric optical lens.
【図3】本発明の実施の形態を示す反射屈折光学系の概
要図。FIG. 3 is a schematic diagram of a catadioptric optical system showing an embodiment of the present invention.
【図4】通抜け光(フレア)の低減化原理の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of a principle of reducing light passing through (flare).
【図5】多重反射光(フレア)の低減化原理の説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram of a principle of reducing multiple reflection light (flare).
【図6】(a)本発明の実施の形態の一例を示す遮光体
の配置手段の説明図、(b)遮光体の支持部を示す正面
図、(c)遮光体の支持部を示す(b)におけるA−A
´断面の断面図。FIG. 6A is an explanatory view of a light-shielding member arranging means showing an example of an embodiment of the present invention, FIG. 6B is a front view showing a light-shielding member support portion, and FIG. 6C shows a light-shielding member support portion. AA in b)
Sectional view of the 'section.
【図7】(a)本発明の実施の形態の一例を示す遮光体
の配置手段の説明図、(b)遮光体の支持部を示す正面
図、(c)遮光体の支持部を示す(b)におけるA−A
´断面の断面図。FIG. 7A is an explanatory view of a light-shielding member arranging means showing an example of an embodiment of the present invention, FIG. 7B is a front view showing a light-shielding member support portion, and FIG. AA in b)
Sectional view of the 'section.
【図8】(a)本発明の実施の形態の一例を示す遮光体
の配置手段の説明図、(b)遮光体の支持部を示す正面
図、(c)遮光体の支持部を示す(b)におけるA−A
´断面の断面図。(d)遮光体の支持部変形例のを示す
側面図。8A is an explanatory view of a light-shielding member arranging means showing an example of an embodiment of the present invention, FIG. 8B is a front view showing a light-shielding member support portion, and FIG. 8C is a light-shielding member support portion. AA in b)
Sectional view of the 'section. (D) The side view which shows the example of a support part modification of a light shielding body.
【図9】(a)本発明の実施の形態の一例を示す遮光体
の配置手段の説明図、(b)遮光体の支持部を示す斜視
図。FIG. 9A is an explanatory view of a light-shielding member arranging means showing an example of an embodiment of the present invention, and FIG. 9B is a perspective view showing a support part of the light-shielding member.
【図10】遮光体の支持部変形例のを示す側面図。FIG. 10 is a side view showing a modification of the supporting portion of the light shielding body.
【図11】(a)本発明の実施の形態の一例を示す遮光
体の配置手段の説明図、(b)遮光体の支持部を示す正
面図、(c)遮光体の支持部を示す側面図。11A is an explanatory view of a light-shielding member arranging means showing an example of an embodiment of the present invention, FIG. 11B is a front view showing a light-shielding member support portion, and FIG. 11C is a side view showing a light-shielding member support portion. FIG.
【図12】(a)遮光体の変形例の斜視図、(b)遮光
体の別の変形例の斜視図。12A is a perspective view of a modified example of the light shielding body, and FIG. 12B is a perspective view of another modified example of the light shielding body.
【図13】従来の反射屈折光学系の概略図。FIG. 13 is a schematic diagram of a conventional catadioptric optical system.
【図14】バックグラウンドノイズの説明図。FIG. 14 is an explanatory diagram of background noise.
1…反射屈折光学レンズ、3…第1反射面、4…第2反
射面、5…第1屈折面、6…第2屈折面、7、7a、7
b…遮光体円筒、8…遮光体、9…通抜け光、10…多
重反射光、DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... catadioptric optical lens, 3 ... 1st reflection surface, 4 ... 2nd reflection surface, 5 ... 1st refraction surface, 6 ... 2nd refraction surface, 7, 7a, 7
b: light shielding cylinder, 8: light shielding, 9: light passing through, 10: multiple reflection light,
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村井 誠一郎 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株式会社東芝 生産技術研究所内 (56)参考文献 特開 平9−68604(JP,A) 特開 平8−122641(JP,A) 特開 平6−214154(JP,A) 特開 平10−206986(JP,A) 特開 昭63−141013(JP,A) 特開 平10−39218(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 9/00 - 17/08 G02B 21/02 - 21/04 G02B 25/00 - 25/04 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Seiichiro Murai 33, Shinisogo-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Pref. Toshiba Corporation (56) References JP-A-9-68604 (JP, A) JP-A-8-122641 (JP, A) JP-A-6-214154 (JP, A) JP-A-10-206986 (JP, A) JP-A-63-141013 (JP, A) JP-A-10-39218 (JP , A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 9/00-17/08 G02B 21/02-21/04 G02B 25/00-25/04
Claims (8)
側が凸面に形成され、かつこれらの凹凸面上の前記凸面
には第1反射面が形成され、また、前記凹面には第2反
射面が形成され、一方、前記反射面の形成されていない
残りの面には、前記凹面側において第1屈折面が形成さ
れ、また、前記凸面側において第2屈折面が形成されて
いる反射屈折光学レンズと、この反射屈折光学レンズの
前記凹面側の光軸上の離間位置に設けられた微小な遮光
体と、前記反射屈折光学レンズの外径部に密接して設け
られている遮光体円筒とを有する反射屈折光学系におい
て、前記反射屈折光学レンズは前記第1屈折面と第2反射
面、及び第1反射面と第2屈折面がそれぞれ1つの非球
面式で共通に形成されている場合、第1屈折面のパワー
を−Φ 1 、第2屈折面のパワーを+Φ 2 とした場合に、
各反射面のパワーが、第1反射面Φ 3 が+6Φ 2 であ
り、第2反射面Φ 4 が−6Φ 2 の関係が成立する 但し、 Φ2>Φ1であり、かつ、Ngを合成石英ガラ
スを用いたときの屈折率、Naを周囲の屈折率とした際
に、Φ1=(Ng−Na)/R1=0.5/R1、Φ2
=2Ng/R2=3/R2、Φ3=2Ng/R1=3/
R1およびΦ4=(Na−Ng)/R2 =−0.5/
R2である。ことを特徴とする反射屈折光学系。1. One surface is formed as a concave surface, the opposite side is formed as a convex surface, and a first reflective surface is formed on the convex surface on these uneven surfaces, and a second reflective surface is formed on the concave surface. A reflection surface is formed, while the other surface where the reflection surface is not formed has a first refraction surface formed on the concave surface side and a second refraction surface formed on the convex surface side. A refractive optical lens, a minute light shield provided at a spaced position on the concave-side optical axis of the catadioptric optical lens, and a light shield provided in close contact with an outer diameter portion of the catadioptric optical lens In a catadioptric optical system having a cylinder, the catadioptric lens has a first refracting surface and a second reflecting surface.
Surface, and the first reflecting surface and the second refracting surface are each aspheric.
In the case of a common surface type, the power of the first refraction surface
Is -Φ 1 , and the power of the second refraction surface is + Φ 2 ,
Power of each reflection surface, the first reflecting surface [Phi 3 is + 6Φ 2 der
Therefore , when the second reflecting surface Φ 4 satisfies the relationship of −6 Φ 2 , where Φ 2 > Φ 1 and Ng is the refractive index when using synthetic quartz glass, and Na is the surrounding refractive index. , Φ 1 = (Ng−Na) / R 1 = 0.5 / R 1 , Φ 2
= 2Ng / R 2 = 3 / R 2 , Φ 3 = 2Ng / R 1 = 3 /
R 1 and Φ 4 = (Na−Ng) / R 2 = −0.5 /
R 2 . A catadioptric optical system characterized in that:
中に埋め込まれ、この透明円盤が前記遮光体円筒に固定
されることによって前記反射屈折光学レンズの光軸上に
支持されていることを特徴とする請求項1記載の反射屈
折光学系。 2. The light-shielding body has a hole at the center of a transparent disk.
This transparent disk is embedded in the light shield cylinder
The optical axis of the catadioptric lens
2. The reflection bending member according to claim 1, wherein the reflection bending member is supported.
Folding optical system.
明遮光体を複数枚重ね合わせて形成され、前記遮光体円
筒に固定されることによって前記反射屈折光学レンズの
光軸上に支持されていることを特徴とする請求項1記載
の反射屈折光学系。 3. The light-shielding body has a light- transmitting thin film whose central part is shielded from light.
A plurality of light-shielding members are formed by superposing a plurality of light-shielding members,
The catadioptric optical lens is fixed to the cylinder.
2. The device according to claim 1, which is supported on an optical axis.
Catadioptric system.
処理された微小円柱をレンズ中央から光軸上に突起状に
設けて形成され、前記反射屈折光学レンズの光軸上に支
持されていることを特徴とする請求項1記載の反射屈折
光学系。 4. The light-shielding body has a black end at least.
The processed micro cylinder is projected on the optical axis from the center of the lens
Provided on the optical axis of the catadioptric lens.
2. The catadioptric according to claim 1, wherein
Optical system.
た透明構造体を遮光体円筒の前部から装入固定して形成
され、前記遮光体円筒に固定されることによって前記反
射屈折光学レンズの光軸上に支持されていることを特徴
とする請求項1記載の反射屈折光学系。 5. The light-shielding body has a light-shielding body at a tip portion.
Transparent structure is inserted and fixed from the front of the light shield cylinder
Is fixed to the light-shielding body cylinder,
It is supported on the optical axis of the refraction optical lens
2. The catadioptric optical system according to claim 1, wherein:
側が凸面に形成され、また、これらの凹凸面上の前記反
射屈折レンズの前記凸面には第1反射面が形成され、か
つ、前記凹面には第2反射面が形成され、一方、前記反
射面の形成されていない残りの面には、前記凹面側にお
いて第1屈折面が形成され、また、前記凸面側において
第2屈折面が形成された前記反射屈折光学レンズは、前
記第1屈折面と第2反射面、及び第1反射面と第2屈折
面がそれぞれ1つの非球面式で共通に形成されている場
合、前記第1屈折面のパワーを−Φ 1 、第2屈折面のパ
ワーを+Φ 2 とした場合に、各反射面のパワーが、第1
反射面Φ 3 が+6Φ 2 であり、第2反射面Φ 4 が−6Φ
2 の関係が、Φ2>Φ1であり、かつ、Ngを合成石英
ガラスを用いたときの屈折率、Naを周囲の屈折率とし
た際に、Φ 1 =(Ng−Na)/R 1 =0.5/R 1 、
Φ 2 =2Ng/R 2 =3/R 2 、Φ 3 =2Ng/R 1 =
3/R 1 およびΦ 4 =(Na−Ng)/R 2 =−0.
5/R 2 の条件で成立する反射屈折光学レンズを内面が
黒色の遮光体円筒の内径に密着固定するレンズ固定工程
と、前記反射屈折光学レンズの凹面側の光軸上に離間し
て遮光体を固定する遮光体固定工程とを有することを特
徴とする反射屈折光学系の製造方法。 6. One surface is formed as a concave surface, and the opposite surface is formed.
Side is formed as a convex surface, and the above-mentioned counter surface on these uneven surfaces is formed.
A first reflecting surface is formed on the convex surface of the projection lens,
A second reflecting surface is formed on the concave surface, while a second reflecting surface is formed on the concave surface;
On the remaining surface where the projection surface is not formed, the concave surface side
To form a first refraction surface, and on the convex surface side
The catadioptric optical lens having the second refraction surface formed thereon is
The first refraction surface and the second reflection surface, and the first reflection surface and the second refraction
When the surfaces are commonly formed by one aspheric surface
In this case, the power of the first refracting surface is -Φ 1 and the power of the second refracting surface is
In the case where the word + [Phi 2 and, the power of the reflecting surfaces, the first
Reflecting surface [Phi 3 is + 6Fai is 2, the second reflecting surface [Phi 4 is -6Φ
2 is Φ2> Φ1 and Ng is synthetic quartz
The refractive index when glass is used, and Na is the refractive index around
Φ 1 = (Ng−Na) / R 1 = 0.5 / R 1 ,
Φ 2 = 2Ng / R 2 = 3 / R 2 , Φ 3 = 2Ng / R 1 =
3 / R 1 and Φ 4 = (Na-Ng) / R 2 = -0.
The inner surface of the catadioptric optical lens that is satisfied under the condition of 5 / R 2
Lens fixing process to fix tightly to the inner diameter of the black light shielding cylinder
A distance on the optical axis on the concave side of the catadioptric optical lens.
And a light-shielding body fixing step of fixing the light-shielding body by
A method of manufacturing a catadioptric optical system.
に支持された構造体に前記遮光体が設けられていること
を特徴とする請求項6記載の反射屈折光学系の製造方
法。 7. The light-shielding body fixing step, wherein the light-shielding body cylinder is provided.
That the light-shielding body is provided on a structure supported by
7. The method of manufacturing a catadioptric optical system according to claim 6, wherein
Law.
学レンズに支持された構造体に前記遮光体が設けられて
いることを特徴とする請求項6記載の反射屈折光学系の
製造方法。 8. The light-shielding body fixing step includes the step of:
The light-shielding body is provided on a structure supported by a scientific lens.
The catadioptric optical system according to claim 6,
Production method.
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