JP3049996B2 - 反射型液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
反射型液晶表示装置及びその製造方法Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は反射型液晶表示装置とそ
の製造方法に関し、特に光源の位置によらず視野角を拡
大すると共に優れた表示画面で画面表示の信頼性を向上
させた反射型液晶表示装置とその製造方法に関する。
の製造方法に関し、特に光源の位置によらず視野角を拡
大すると共に優れた表示画面で画面表示の信頼性を向上
させた反射型液晶表示装置とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、一般に、透明電極を備
える二枚の電極板の間に液晶を挟持させて構成されるも
ので、この透明電極間に電圧を印加して液晶を駆動させ
て、この液晶を透過する光の変更面を制御し、偏光膜に
よってその透過・不透過を制御して画面表示するもので
ある。
える二枚の電極板の間に液晶を挟持させて構成されるも
ので、この透明電極間に電圧を印加して液晶を駆動させ
て、この液晶を透過する光の変更面を制御し、偏光膜に
よってその透過・不透過を制御して画面表示するもので
ある。
【0003】そして、このような液晶表示装置の表示に
充分な明るさを得るため、液晶表示装置の面ないし側面
に光源(ランプ)を配置したバックライト型やライトガ
イド型のランプ内蔵式の透過型液晶表示装置が広く利用
されている。
充分な明るさを得るため、液晶表示装置の面ないし側面
に光源(ランプ)を配置したバックライト型やライトガ
イド型のランプ内蔵式の透過型液晶表示装置が広く利用
されている。
【0004】この透過型液晶表示装置は、ランプによる
電力の消費が大きく、液晶表示装置以外の他の表示装置
(CRT、PDP等)と大差ない消費電力となってお
り、低消費電力で、しかも携帯可能であるという液晶表
示装置本来の特徴を損なっている。
電力の消費が大きく、液晶表示装置以外の他の表示装置
(CRT、PDP等)と大差ない消費電力となってお
り、低消費電力で、しかも携帯可能であるという液晶表
示装置本来の特徴を損なっている。
【0005】一方、反射型液晶表示装置は、液晶表示装
置の透過光として室内光や外来光を使用するもので、ラ
ンプを内蔵しておらず、低消費電力の理想的な表示装置
となっており、軽量で携帯用としても便利なものであ
る。
置の透過光として室内光や外来光を使用するもので、ラ
ンプを内蔵しておらず、低消費電力の理想的な表示装置
となっており、軽量で携帯用としても便利なものであ
る。
【0006】このような反射型液晶表示装置において
は、この表示装置を観察する観察者の位置とは反対側の
電極板(走査側電極板)の基板上の全面に一様に上記室
内光や外来光の反射する金属薄膜を備えるか、あるいは
反射膜を別の基板上の全面に一様に設けて上記基板裏面
に配置することが普通である。例えば、カラー表示液晶
ディスプレイにおいては、上記走査側電極板の基板上に
金属反射膜を設け、この金属反射膜上に、透過光を着色
するカラーフィルター層を介して透明電極を設けて上記
走査側電極板としていた。
は、この表示装置を観察する観察者の位置とは反対側の
電極板(走査側電極板)の基板上の全面に一様に上記室
内光や外来光の反射する金属薄膜を備えるか、あるいは
反射膜を別の基板上の全面に一様に設けて上記基板裏面
に配置することが普通である。例えば、カラー表示液晶
ディスプレイにおいては、上記走査側電極板の基板上に
金属反射膜を設け、この金属反射膜上に、透過光を着色
するカラーフィルター層を介して透明電極を設けて上記
走査側電極板としていた。
【0007】また、金属反射膜を、液晶駆動のための上
記電極と同一パターンに構成し、この液晶駆動用電極と
して利用する方法も提案されている。
記電極と同一パターンに構成し、この液晶駆動用電極と
して利用する方法も提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、走査
側電極板の基板上の全面に一様に金属反射膜を備える背
面電極板においては、上記カラーフィルター層の微小欠
陥を通して金属反射膜と透明電極との導通が生じやす
く、複数の透明電極が金属反射膜と導通した場合にはそ
の一方の電極に電圧を印加すると、上記金属反射膜を介
して他方の電極も駆動されて表示欠陥を生じるという問
題点を有していた。
側電極板の基板上の全面に一様に金属反射膜を備える背
面電極板においては、上記カラーフィルター層の微小欠
陥を通して金属反射膜と透明電極との導通が生じやす
く、複数の透明電極が金属反射膜と導通した場合にはそ
の一方の電極に電圧を印加すると、上記金属反射膜を介
して他方の電極も駆動されて表示欠陥を生じるという問
題点を有していた。
【0009】また、走査側電極板の裏面に金属反射膜を
形成した場合にも、電極板の製造工程や液晶表示装置の
製造工程でこの金属反射膜に傷が付きやすく、この傷が
表示欠陥の原因となっていた。
形成した場合にも、電極板の製造工程や液晶表示装置の
製造工程でこの金属反射膜に傷が付きやすく、この傷が
表示欠陥の原因となっていた。
【0010】また、金属反射膜を、液晶駆動のための上
記電極と同一パターンに構成し、この液晶駆動用電極と
して利用する場合には、室内光や外来光がパターン状の
金属反射膜で正反射し、金属反射膜の存在しない部位で
は反射光を生じないため、その入射角度と観察者の位置
によって反射光が観察できず表示画面が暗くなる場合が
あり、この結果視野角が制限されるという問題点を有し
ていた。また、金属反射膜として安価なアルミニウム薄
膜を利用する場合には、このアルミニウムが水和物や酸
化物を作って表示欠陥を生じやすいため、耐湿性等の点
で信頼性に欠けるものであった。
記電極と同一パターンに構成し、この液晶駆動用電極と
して利用する場合には、室内光や外来光がパターン状の
金属反射膜で正反射し、金属反射膜の存在しない部位で
は反射光を生じないため、その入射角度と観察者の位置
によって反射光が観察できず表示画面が暗くなる場合が
あり、この結果視野角が制限されるという問題点を有し
ていた。また、金属反射膜として安価なアルミニウム薄
膜を利用する場合には、このアルミニウムが水和物や酸
化物を作って表示欠陥を生じやすいため、耐湿性等の点
で信頼性に欠けるものであった。
【0011】更にまた、反射膜が観察者の位置とは反対
側の走査側電極板上に設けられているため、液晶によっ
て形成された画面が上記反射膜に映って二重に見えると
いう問題点をも有していた。
側の走査側電極板上に設けられているため、液晶によっ
て形成された画面が上記反射膜に映って二重に見えると
いう問題点をも有していた。
【0012】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、本発明の課題とするところは、光源の位置
に係わらず視野角が広く、しかも優れた表示画面で表示
欠陥の生じ難い信頼性の高い反射型液晶表示装置とその
製造方法を提供することにある。
れたもので、本発明の課題とするところは、光源の位置
に係わらず視野角が広く、しかも優れた表示画面で表示
欠陥の生じ難い信頼性の高い反射型液晶表示装置とその
製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の請求
項1に係る発明は、液晶を駆動するための走査側電極を
基板上に配設した走査側電極板と、信号側電極を基板上
に配設したもう一方の信号側電極板と、前記両電極が対
向するよう向かい合わせた両電極板の間に挟持された液
晶とから構成される反射型液晶表示装置において、上記
走査側電極が、基板上に設けた平面視ストライプ状若し
くは矩形状パターンの光反射性金属薄膜と、この金属薄
膜を覆って液晶側に配置された透明導電薄膜からなる平
面視ストライプ状パターンの透明電極との2層構成の電
極であり、他方、上記信号側電極が、少なくとも透明基
板上に設けた透明樹脂と該透明樹脂中に分散される非晶
質材料とからなる光散乱材により形成された光散乱層上
に前記走査側電極と直交する方向に配置された平面視ス
トライプ状パターンの透明導電薄膜からなる電極である
ことを特徴とする反射型液晶表示装置である。
項1に係る発明は、液晶を駆動するための走査側電極を
基板上に配設した走査側電極板と、信号側電極を基板上
に配設したもう一方の信号側電極板と、前記両電極が対
向するよう向かい合わせた両電極板の間に挟持された液
晶とから構成される反射型液晶表示装置において、上記
走査側電極が、基板上に設けた平面視ストライプ状若し
くは矩形状パターンの光反射性金属薄膜と、この金属薄
膜を覆って液晶側に配置された透明導電薄膜からなる平
面視ストライプ状パターンの透明電極との2層構成の電
極であり、他方、上記信号側電極が、少なくとも透明基
板上に設けた透明樹脂と該透明樹脂中に分散される非晶
質材料とからなる光散乱材により形成された光散乱層上
に前記走査側電極と直交する方向に配置された平面視ス
トライプ状パターンの透明導電薄膜からなる電極である
ことを特徴とする反射型液晶表示装置である。
【0014】次に本発明の請求項2に係る発明は、上記
請求項1に係る発明の反射型液晶表示装置において、前
記信号側電極板の基板と前記光散乱層との間に、透過光
を着色する赤、緑、青、又はシアン、マゼンタ、イエロ
ーの三色のカラーフィルター層を備えることを特徴とす
る反射型液晶表示装置である。
請求項1に係る発明の反射型液晶表示装置において、前
記信号側電極板の基板と前記光散乱層との間に、透過光
を着色する赤、緑、青、又はシアン、マゼンタ、イエロ
ーの三色のカラーフィルター層を備えることを特徴とす
る反射型液晶表示装置である。
【0015】次に本発明の請求項3に係る発明は、上記
請求項1に係る発明の反射型液晶表示装置において、前
記光散乱層が、透過光を赤、緑、青、又はシアン、マゼ
ンタ、イエローの三色毎に着色する色材を含有すること
を特徴とする反射型液晶表示装置である。
請求項1に係る発明の反射型液晶表示装置において、前
記光散乱層が、透過光を赤、緑、青、又はシアン、マゼ
ンタ、イエローの三色毎に着色する色材を含有すること
を特徴とする反射型液晶表示装置である。
【0016】次に本発明の請求項4に係る発明は、上記
請求項1〜3のいずれか1項に係る発明の反射型液晶表
示装置において、前記光散乱層を構成する透明樹脂の屈
折率と光散乱材の屈折率とを異ならせたことを特徴とす
る反射型液晶表示装置である。
請求項1〜3のいずれか1項に係る発明の反射型液晶表
示装置において、前記光散乱層を構成する透明樹脂の屈
折率と光散乱材の屈折率とを異ならせたことを特徴とす
る反射型液晶表示装置である。
【0017】次に本発明の請求項5に係る発明は、上記
請求項4に係る発明の反射型液晶表示装置において、前
記光散乱材が、径1μm以下の微粒子からなることを特
徴とする反射型液晶表示装置である。
請求項4に係る発明の反射型液晶表示装置において、前
記光散乱材が、径1μm以下の微粒子からなることを特
徴とする反射型液晶表示装置である。
【0018】次に本発明の請求項6に係る発明は、上記
請求項1〜5のいずれか1項に係る発明の反射型液晶表
示装置において、 光反射性金属薄膜の成膜後に形成する
透明導電薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄膜であるこ
とを特徴とする反射型液晶表示装置である。
請求項1〜5のいずれか1項に係る発明の反射型液晶表
示装置において、 光反射性金属薄膜の成膜後に形成する
透明導電薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄膜であるこ
とを特徴とする反射型液晶表示装置である。
【0019】次に本発明の請求項7に係る発明は、液晶
を駆動するための走査側電極を基板上に配設した走査側
電極板と、信号側電極を少なくとも透明基板上に配設し
たもう一方の信号側電極板とを製造し、前記両電極を対
向するよう向かい合わせた両電極板の間に液晶を挟持し
て製造する反射型液晶表示装置の製造方法において、
基板の片面上に光反射性金属薄膜を成膜し、この金属薄
膜上に透明導電薄膜を成膜し、次いでフォトリソグラフ
ィ法によりこれら透明導電薄膜と前記光反射性金属薄膜
を順次パターンエッチングし て、平面視ストライプ状の
透明導電薄膜と、平面視ストライプ状若しくは矩形状の
光反射性金属薄膜との二層による走査側電極をパターン
形成して走査側電極板を製造し、他方、別の透明基板の
片面上に、必要に応じてカラーフィルター層をパターン
形成した後に、透明樹脂と該透明樹脂中に分散される非
晶質材料とからなる光散乱材を用いて光散乱層を形成
し、該光散乱層上に前記走査側電極の平面視ストライプ
状パターンの透明導電薄膜と直交する方向に平面視スト
ライプ状の透明な信号側電極をパターン形成して信号側
電極板を製造し、こうして得られた前記走査側電極板の
走査側電極面と信号側電極板の信号側電極面との間に液
晶を挟持することを特徴とする反射型液晶表示装置の製
造方法である。
を駆動するための走査側電極を基板上に配設した走査側
電極板と、信号側電極を少なくとも透明基板上に配設し
たもう一方の信号側電極板とを製造し、前記両電極を対
向するよう向かい合わせた両電極板の間に液晶を挟持し
て製造する反射型液晶表示装置の製造方法において、
基板の片面上に光反射性金属薄膜を成膜し、この金属薄
膜上に透明導電薄膜を成膜し、次いでフォトリソグラフ
ィ法によりこれら透明導電薄膜と前記光反射性金属薄膜
を順次パターンエッチングし て、平面視ストライプ状の
透明導電薄膜と、平面視ストライプ状若しくは矩形状の
光反射性金属薄膜との二層による走査側電極をパターン
形成して走査側電極板を製造し、他方、別の透明基板の
片面上に、必要に応じてカラーフィルター層をパターン
形成した後に、透明樹脂と該透明樹脂中に分散される非
晶質材料とからなる光散乱材を用いて光散乱層を形成
し、該光散乱層上に前記走査側電極の平面視ストライプ
状パターンの透明導電薄膜と直交する方向に平面視スト
ライプ状の透明な信号側電極をパターン形成して信号側
電極板を製造し、こうして得られた前記走査側電極板の
走査側電極面と信号側電極板の信号側電極面との間に液
晶を挟持することを特徴とする反射型液晶表示装置の製
造方法である。
【0020】次に本発明の請求項8に係る発明は、上記
請求項7に係る発明の反射型液晶表示装置の製造方法に
おいて、光反射性金属薄膜の成膜後に形成する透明導電
薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄膜であることを特徴
とする反射型液晶表示装置の製造方法である。
請求項7に係る発明の反射型液晶表示装置の製造方法に
おいて、光反射性金属薄膜の成膜後に形成する透明導電
薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄膜であることを特徴
とする反射型液晶表示装置の製造方法である。
【0021】次に本発明の請求項9に係る発明は、上記
請求項7又は請求項8に係る発明の反射型液晶表示装置
の製造方法において、光反射性金属薄膜の成膜後に形成
する透明導電薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄膜であ
って、そのパターン形成後に加熱を行うことを特徴とす
る反射型液晶表示装置の製造方法である。
請求項7又は請求項8に係る発明の反射型液晶表示装置
の製造方法において、光反射性金属薄膜の成膜後に形成
する透明導電薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄膜であ
って、そのパターン形成後に加熱を行うことを特徴とす
る反射型液晶表示装置の製造方法である。
【0022】
【発明の実施の形態】 上記請求項1に係る発明による反
射型液晶表示装置においては、室内光や外来光等の入射
光は上記平面視ストライプ状若しくは矩形状パターンと
した光反射性金属薄膜で反射され、信号側基板の光散乱
層で散乱されて出射する。このため、入射光源の位置に
よらず上記散乱光を観察可能となり、視野角が著しく増
大するものである。
射型液晶表示装置においては、室内光や外来光等の入射
光は上記平面視ストライプ状若しくは矩形状パターンと
した光反射性金属薄膜で反射され、信号側基板の光散乱
層で散乱されて出射する。このため、入射光源の位置に
よらず上記散乱光を観察可能となり、視野角が著しく増
大するものである。
【0023】また、この光反射性金属薄膜は透明薄膜に
より被覆されているため、金属薄膜が劣化することがな
く、従って表示欠陥を生じることもなく、著しく液晶表
示装置の信頼性を増大させることが可能となる。尚、こ
の他、透明導電薄膜が光反射性金属薄膜と接触導通して
いるため、その抵抗値を著しく低下させることが可能と
なり、電極間のクロストークを防止して表示の均質性を
向上させることも可能となる。
より被覆されているため、金属薄膜が劣化することがな
く、従って表示欠陥を生じることもなく、著しく液晶表
示装置の信頼性を増大させることが可能となる。尚、こ
の他、透明導電薄膜が光反射性金属薄膜と接触導通して
いるため、その抵抗値を著しく低下させることが可能と
なり、電極間のクロストークを防止して表示の均質性を
向上させることも可能となる。
【0024】上記請求項1〜3に係る発明において、走
査側電極板の基板としてはガラス、セラミック、プラス
チックフィルム、プラスチックボード等が利用でき、透
明であってもよく、黒色、白色その他の色に着色させた
ものであってもよい。尚、基板として黒色のものを利用
すれば、ブラックストライプ(ブラックマトリクス)を
形成することなく、上記光反射性金属薄膜の存在しない
部位に入射した光線の反射を防止して表示画面のコント
ラストの向上を図ることが可能となる。特に、光反射性
金属薄膜が画素と同じ矩形パターンに形成されている場
合には、この画素以外の部位からの反射光を完全に防止
することが可能となる。また、室内光の少ない暗い暗室
で使用する場合に備えて反射型液晶表示装置内部にラン
プを内蔵する半透過型の反射型液晶表示装置の場合に
は、透明なものが好ましい。
査側電極板の基板としてはガラス、セラミック、プラス
チックフィルム、プラスチックボード等が利用でき、透
明であってもよく、黒色、白色その他の色に着色させた
ものであってもよい。尚、基板として黒色のものを利用
すれば、ブラックストライプ(ブラックマトリクス)を
形成することなく、上記光反射性金属薄膜の存在しない
部位に入射した光線の反射を防止して表示画面のコント
ラストの向上を図ることが可能となる。特に、光反射性
金属薄膜が画素と同じ矩形パターンに形成されている場
合には、この画素以外の部位からの反射光を完全に防止
することが可能となる。また、室内光の少ない暗い暗室
で使用する場合に備えて反射型液晶表示装置内部にラン
プを内蔵する半透過型の反射型液晶表示装置の場合に
は、透明なものが好ましい。
【0025】また、上記請求項1〜3に係る発明におい
て、金属薄膜としては、単層のものの他、二種以上の金
属を積層して構成される多層構造の薄膜が利用可能であ
る。単層の薄膜を構成する金属としては、安価なアルミ
ニウムの他、銀、アルミニウム合金、マグネシウム、ニ
ッケル合金等の可視光の反射率の高い金属薄膜が利用で
きる。また、上記アルミニウム薄膜上にクロム等の薄膜
を積層して、透明薄膜との密着性を向上させることも可
能である。
て、金属薄膜としては、単層のものの他、二種以上の金
属を積層して構成される多層構造の薄膜が利用可能であ
る。単層の薄膜を構成する金属としては、安価なアルミ
ニウムの他、銀、アルミニウム合金、マグネシウム、ニ
ッケル合金等の可視光の反射率の高い金属薄膜が利用で
きる。また、上記アルミニウム薄膜上にクロム等の薄膜
を積層して、透明薄膜との密着性を向上させることも可
能である。
【0026】また、請求項1〜3に係る発明において、
光散乱層としては、透明樹脂と、この透明樹脂中に分散
され且つこの透明樹脂と屈折率の異なる屈折率を有する
散乱材とを主成分として含有するものが利用でき、この
光散乱層に入射した光線は透明樹脂と散乱材との界面で
屈折と反射とを生じてその出射方向を変化させる。そし
て、微粒子状の散乱材が透明樹脂中に分散されている場
合には、この屈折と反射とが繰り返されるため、全体と
してあらゆる方向に実質的に均一に出射されるのであ
る。特に、請求項4〜5に係る発明は、このような上記
技術的背景に基づいてなされたものである。
光散乱層としては、透明樹脂と、この透明樹脂中に分散
され且つこの透明樹脂と屈折率の異なる屈折率を有する
散乱材とを主成分として含有するものが利用でき、この
光散乱層に入射した光線は透明樹脂と散乱材との界面で
屈折と反射とを生じてその出射方向を変化させる。そし
て、微粒子状の散乱材が透明樹脂中に分散されている場
合には、この屈折と反射とが繰り返されるため、全体と
してあらゆる方向に実質的に均一に出射されるのであ
る。特に、請求項4〜5に係る発明は、このような上記
技術的背景に基づいてなされたものである。
【0027】請求項4又は5に係る発明において、透明
樹脂としては、液晶表示装置製造時の熱等に耐え、可視
光透過率の高い樹脂が望ましく、例えば、アクリル系、
エポキシ系、ウレタン系の樹脂等が使用でき、具体的に
はポリメチルアクリレート樹脂が利用できる。また、後
述するように、この光散乱層中に色材を含む場合にはフ
ォトリソグラフィの手法でパターニングできることが望
ましく、このような樹脂としては感光性を付与したアク
リル系やエポキシ系の樹脂が例示できる。
樹脂としては、液晶表示装置製造時の熱等に耐え、可視
光透過率の高い樹脂が望ましく、例えば、アクリル系、
エポキシ系、ウレタン系の樹脂等が使用でき、具体的に
はポリメチルアクリレート樹脂が利用できる。また、後
述するように、この光散乱層中に色材を含む場合にはフ
ォトリソグラフィの手法でパターニングできることが望
ましく、このような樹脂としては感光性を付与したアク
リル系やエポキシ系の樹脂が例示できる。
【0028】本発明の反射型液晶表示装置においては、
光散乱層を、透明樹脂と、非晶質材料からなり前記透明
樹脂中に分散される光散乱材とからなることを特徴とし
ている。
光散乱層を、透明樹脂と、非晶質材料からなり前記透明
樹脂中に分散される光散乱材とからなることを特徴とし
ている。
【0029】この光散乱材としては、透明樹脂の屈折率
と異なる屈折率を有する非晶質材料よりなる樹脂微粒子
等が使用できる。
と異なる屈折率を有する非晶質材料よりなる樹脂微粒子
等が使用できる。
【0030】これにより、この光散乱材と透明樹脂との
界面で屈折して光散乱材中を透過する光の偏光面が回転
して液晶表示装置の表示品位を低下させる(偏光面の回
転により表示装置前面の偏光膜の光透過率が変化し、画
面のコントラストが低下する)ことを防止できる。
界面で屈折して光散乱材中を透過する光の偏光面が回転
して液晶表示装置の表示品位を低下させる(偏光面の回
転により表示装置前面の偏光膜の光透過率が変化し、画
面のコントラストが低下する)ことを防止できる。
【0031】このような非晶質材料としては、例えば、
ポリビニルベンゼン、ポリ4フッ化エチレン等が例示で
きる。
ポリビニルベンゼン、ポリ4フッ化エチレン等が例示で
きる。
【0032】本発明における上記請求項1に係る発明の
反射型液晶表示装置において、カラー表示する場合に
は、透過光を着色するカラーフィルター層を上記信号側
電極板に備えればよい。例えば、上記請求項2に係る発
明のように、光散乱層と透明基板との間に光散乱層とは
別にカラーフィルター層を設けることもできるし、上記
請求項3に係る発明のように、上記光散乱層に色材を添
加して光散乱層をそのままカラーフィルター層として機
能させることも可能である。
反射型液晶表示装置において、カラー表示する場合に
は、透過光を着色するカラーフィルター層を上記信号側
電極板に備えればよい。例えば、上記請求項2に係る発
明のように、光散乱層と透明基板との間に光散乱層とは
別にカラーフィルター層を設けることもできるし、上記
請求項3に係る発明のように、上記光散乱層に色材を添
加して光散乱層をそのままカラーフィルター層として機
能させることも可能である。
【0033】請求項2に係る発明において、カラーフィ
ルター層は、周知のカラーフィルター層が適用できる。
例えば、有機顔料を分散した感光性樹脂とフォトリソグ
ラフィプロセスを利用して形成した顔料分散法カラーフ
ィルター、染料で樹脂を染色して形成した染色法カラー
フィルター、オフセット印刷法や凹版オフセット印刷法
あるいはフレキソ印刷法等の印刷法で形成した印刷法カ
ラーフィルター等である。尚、必要に応じてこのカラー
フィルター層上に有機樹脂や酸化珪素等のオーバーコー
ト層を形成してもよい。
ルター層は、周知のカラーフィルター層が適用できる。
例えば、有機顔料を分散した感光性樹脂とフォトリソグ
ラフィプロセスを利用して形成した顔料分散法カラーフ
ィルター、染料で樹脂を染色して形成した染色法カラー
フィルター、オフセット印刷法や凹版オフセット印刷法
あるいはフレキソ印刷法等の印刷法で形成した印刷法カ
ラーフィルター等である。尚、必要に応じてこのカラー
フィルター層上に有機樹脂や酸化珪素等のオーバーコー
ト層を形成してもよい。
【0034】また、請求項3に係る発明において、色材
としては、従来カラーフィルター層に適用されていた周
知の有機顔料が適用でき、例えば、緑色顔料としてフタ
ロシアニングリーン等が使用できる。
としては、従来カラーフィルター層に適用されていた周
知の有機顔料が適用でき、例えば、緑色顔料としてフタ
ロシアニングリーン等が使用できる。
【0035】また、請求項2及び3に係る発明におい
て、色材又はカラーフィルター層は、光の三原色である
赤色、緑色、青色の三色を利用することができるが、こ
の他、シアン、マゼンタ、イエロー等の三色(上記光の
三原色の補色)でもよく、またこれらにホワイトを加え
た4色もしくはそれ以上の色数のものを利用することも
できる。
て、色材又はカラーフィルター層は、光の三原色である
赤色、緑色、青色の三色を利用することができるが、こ
の他、シアン、マゼンタ、イエロー等の三色(上記光の
三原色の補色)でもよく、またこれらにホワイトを加え
た4色もしくはそれ以上の色数のものを利用することも
できる。
【0036】また、請求項1〜6に係る発明において、
透明導電薄膜としては酸化インジウムの中にドーバント
として酸化錫を添加して成るITO薄膜、酸化インジウ
ムの中に酸化ジルコニウムや酸化チタン、又は酸化マグ
ネシウム等を添加して成る薄膜、あるいは酸化亜鉛の中
に酸化アルミニウムを添加した薄膜、あるいは酸化イン
ジウム薄膜と上記ITOとを積層した多層薄膜等が利用
できる。そして、これら光反射性金属薄膜と透明導電薄
膜とを成膜した後、フォトリソプロセスに従ってエッチ
ングしてパターニングすることにより上記電極形状に加
工することができる。尚、光反射性金属薄膜と透明導電
薄膜とを成膜した後、これら金属薄膜と透明導電薄膜と
をエッチングすると、金属薄膜のエッチング速度が透明
導電薄膜のエッチング速度より速いため、金属薄膜がよ
り大きくエッチングされて、所定のエッチングパターン
が得られない場合がある。これを避けて目的とするパタ
ーンの光反射性金属薄膜と透明導電薄膜とを精度良く形
成するため、光反射性金属薄膜上に形成する透明導電薄
膜は、エッチング速度が速い実質的に非晶質の透明導電
薄膜にて成膜することが望ましく、透明導電薄膜の成膜
にあたっては、基板温度を180℃以下の低温に保って
エッチング速度が速く且つ実質的に非晶質の透明導電薄
膜を成膜し、次いでこの透明導電薄膜をエッチングして
パターニングし、次いで、こうしてパターニングされた
透明導電薄膜をエッチングレジストとして光反射性金属
薄膜をエッチングしてパターニングすることが望まし
い。尚、こうして形成された透明導電薄膜は、電極パタ
ーンにパターニングした後、加熱して酸化させることに
より導電率と可視光線透過率を向上させることができ
る。
透明導電薄膜としては酸化インジウムの中にドーバント
として酸化錫を添加して成るITO薄膜、酸化インジウ
ムの中に酸化ジルコニウムや酸化チタン、又は酸化マグ
ネシウム等を添加して成る薄膜、あるいは酸化亜鉛の中
に酸化アルミニウムを添加した薄膜、あるいは酸化イン
ジウム薄膜と上記ITOとを積層した多層薄膜等が利用
できる。そして、これら光反射性金属薄膜と透明導電薄
膜とを成膜した後、フォトリソプロセスに従ってエッチ
ングしてパターニングすることにより上記電極形状に加
工することができる。尚、光反射性金属薄膜と透明導電
薄膜とを成膜した後、これら金属薄膜と透明導電薄膜と
をエッチングすると、金属薄膜のエッチング速度が透明
導電薄膜のエッチング速度より速いため、金属薄膜がよ
り大きくエッチングされて、所定のエッチングパターン
が得られない場合がある。これを避けて目的とするパタ
ーンの光反射性金属薄膜と透明導電薄膜とを精度良く形
成するため、光反射性金属薄膜上に形成する透明導電薄
膜は、エッチング速度が速い実質的に非晶質の透明導電
薄膜にて成膜することが望ましく、透明導電薄膜の成膜
にあたっては、基板温度を180℃以下の低温に保って
エッチング速度が速く且つ実質的に非晶質の透明導電薄
膜を成膜し、次いでこの透明導電薄膜をエッチングして
パターニングし、次いで、こうしてパターニングされた
透明導電薄膜をエッチングレジストとして光反射性金属
薄膜をエッチングしてパターニングすることが望まし
い。尚、こうして形成された透明導電薄膜は、電極パタ
ーンにパターニングした後、加熱して酸化させることに
より導電率と可視光線透過率を向上させることができ
る。
【0037】請求項6に係る発明は、請求項1〜5に係
る反射型液晶表示装置の製造方法に係るものであり、そ
の製造方法の一例は、下記の実施例にて説明する。
る反射型液晶表示装置の製造方法に係るものであり、そ
の製造方法の一例は、下記の実施例にて説明する。
【0038】尚、請求項1〜6に係る発明において、走
査側電極板の電極である透明導電薄膜や信号側電極板の
透明電極上に、絶縁膜としてSiO2 、MgO、MgF
2 、ZrO2 、CeO2 等の無機酸化物膜を形成しても
よい。
査側電極板の電極である透明導電薄膜や信号側電極板の
透明電極上に、絶縁膜としてSiO2 、MgO、MgF
2 、ZrO2 、CeO2 等の無機酸化物膜を形成しても
よい。
【0039】
【作用】請求項1〜6に係る発明によれば、上記走査側
電極板が、基板上に光反射性金属薄膜とこの金属薄膜を
覆って配置された透明導電薄膜との二層からなる電極を
備え、他方、上記信号側電極板が、基板上に透明電極と
光散乱層との二層を備えるため、室内光や外来光等の入
射光は上記パターン状光反射性金属薄膜で反射され、信
号側電極板の光散乱層で散乱されて出射する。このた
め、入射光源の位置によらず上記散乱光を観察可能とな
り、視野角が著しく増大する。
電極板が、基板上に光反射性金属薄膜とこの金属薄膜を
覆って配置された透明導電薄膜との二層からなる電極を
備え、他方、上記信号側電極板が、基板上に透明電極と
光散乱層との二層を備えるため、室内光や外来光等の入
射光は上記パターン状光反射性金属薄膜で反射され、信
号側電極板の光散乱層で散乱されて出射する。このた
め、入射光源の位置によらず上記散乱光を観察可能とな
り、視野角が著しく増大する。
【0040】また、この光反射性金属薄膜は透明導電薄
膜により被覆されているため、その金属薄膜が劣化する
ことがなく、従って表示欠陥を生じることもなく、著し
く反射型液晶表示装置の信頼性を増大させることが可能
となる。尚、この他、透明導電薄膜による電極が光反射
性金属薄膜と接触導通しているため、その抵抗値を著し
く低下させることが可能となり、電極間のクロストーク
を防止して表示の均質性を向上させることも可能とな
る。
膜により被覆されているため、その金属薄膜が劣化する
ことがなく、従って表示欠陥を生じることもなく、著し
く反射型液晶表示装置の信頼性を増大させることが可能
となる。尚、この他、透明導電薄膜による電極が光反射
性金属薄膜と接触導通しているため、その抵抗値を著し
く低下させることが可能となり、電極間のクロストーク
を防止して表示の均質性を向上させることも可能とな
る。
【0041】次に、請求項6に係る発明によれば、走査
側電極板の基板上に光反射性金属薄膜を成膜し、この金
属薄膜上に実質的に非晶質の透明導電薄膜を成膜し、次
いでフォトリソグラフィ法により、これら透明導電薄膜
とその下層の光反射性金属薄膜とを順次エッチングし、
パターニングして、走査側電極をパターン形成して走査
側電極板を製造するため、目的とするパターンの光反射
性金属薄膜と透明導電薄膜とによる電極を精度良く形成
することが可能となる。
側電極板の基板上に光反射性金属薄膜を成膜し、この金
属薄膜上に実質的に非晶質の透明導電薄膜を成膜し、次
いでフォトリソグラフィ法により、これら透明導電薄膜
とその下層の光反射性金属薄膜とを順次エッチングし、
パターニングして、走査側電極をパターン形成して走査
側電極板を製造するため、目的とするパターンの光反射
性金属薄膜と透明導電薄膜とによる電極を精度良く形成
することが可能となる。
【0042】
【実施例】以下に本発明の具体的実施例を示す。
【0043】<実施例1> この実施例1に係る反射型液晶表示装置は、図1に示す
ように、走査側電極板4を、厚さ0.7mmのガラス基
板11と、このガラス基板11上に幅310μm、ピッ
チ330μmのストライプパターン状に設けられた厚さ
0.1μmのアルミニウム薄膜による光反射性金属薄膜
12と、この光反射性金属薄膜12と同一パターンで且
つこの光反射性金属薄膜12に位置整合して積層された
厚さ0.24μmの透明導電薄膜13(透明電極)とか
ら構成し、一方、信号側電極板2を、厚さ0.7mmの
ガラス基板21と、このガラス基板21上の画素以外の
部位に25μmのストライプ状に設けられた厚さ1.0
μmの有機ブラックストライプ22(ブラックマトリク
ス)と、それぞれ赤色、緑色、青色に着色され上記有機
ブラックストライプの間に(但し端部は上記ブラックス
トライプ上に重ねられている)ストライプ状に設けられ
た印刷法カラーフィルター層23R、23G、23B
と、上記走査側電極板1の光反射性金属薄膜12パター
ンと同一パターンのストライプ状に設けられた光散乱層
24と、幅95μm、ピッチ110μmのストライプ状
(上記走査側電極板1の光反射性金属薄膜12パターン
と直交する方向)に設けられた厚さ0.24μmの透明
電極25とから構成し、これら走査側電極板1と信号側
電極板2とを両者の間に液晶3を介在させて周辺部でシ
ールして一体化させたものである。
ように、走査側電極板4を、厚さ0.7mmのガラス基
板11と、このガラス基板11上に幅310μm、ピッ
チ330μmのストライプパターン状に設けられた厚さ
0.1μmのアルミニウム薄膜による光反射性金属薄膜
12と、この光反射性金属薄膜12と同一パターンで且
つこの光反射性金属薄膜12に位置整合して積層された
厚さ0.24μmの透明導電薄膜13(透明電極)とか
ら構成し、一方、信号側電極板2を、厚さ0.7mmの
ガラス基板21と、このガラス基板21上の画素以外の
部位に25μmのストライプ状に設けられた厚さ1.0
μmの有機ブラックストライプ22(ブラックマトリク
ス)と、それぞれ赤色、緑色、青色に着色され上記有機
ブラックストライプの間に(但し端部は上記ブラックス
トライプ上に重ねられている)ストライプ状に設けられ
た印刷法カラーフィルター層23R、23G、23B
と、上記走査側電極板1の光反射性金属薄膜12パター
ンと同一パターンのストライプ状に設けられた光散乱層
24と、幅95μm、ピッチ110μmのストライプ状
(上記走査側電極板1の光反射性金属薄膜12パターン
と直交する方向)に設けられた厚さ0.24μmの透明
電極25とから構成し、これら走査側電極板1と信号側
電極板2とを両者の間に液晶3を介在させて周辺部でシ
ールして一体化させたものである。
【0044】尚、上記光散乱層24は、フェノールノボ
ラックエポキシ樹脂を骨格とするネガ型の感光性樹脂中
に光散乱材として粒径0.3μm以下のポリ4フッ化エ
チレン微粒子を分散させたものである。
ラックエポキシ樹脂を骨格とするネガ型の感光性樹脂中
に光散乱材として粒径0.3μm以下のポリ4フッ化エ
チレン微粒子を分散させたものである。
【0045】この実施例1に係る反射型液晶表示装置は
以下のような工程で製造したものである。すなわち、ま
ず、走査側電極板1の基板11上に、スパッタリングに
より厚さ0.1μmのアルミニウム薄膜による光反射性
金属薄膜12と厚さ0.24μmのITO薄膜による透
明導電薄膜13とを全面一様に成膜した。尚、この際、
基板11は加熱することなく、ほぼ室温で連続的に成膜
した。次に、公知のフォトリソプロセスに従った、上記
透明導電薄膜13上に走査側電極パターン状にレジスト
膜を形成し、25℃の希塩酸でITO薄膜による上記透
明導電薄膜13を約1分間でエッチングしてパターニン
グした。40℃のリン酸/酢酸/硝酸の混酸でアルミニ
ウム薄膜による光反射性金属薄膜12を上記透明導電薄
膜13と同一パターンにエッチングした。そして、この
後250℃、1時間の加熱処理を行って、上記透明導電
薄膜13を酸化した。この加熱処理により透明導電薄膜
13の抵抗値が低下して面積抵抗が約0.4Ω/□とな
り、加熱処理前の上記ITO薄膜による透明導電薄膜1
3単層の場合の1/20以下となった。またこれと共に
上記透明導電薄膜13の可視光線透過率が向上し、また
結晶化が生じた。またこの加熱処理に伴ってアルミニウ
ム薄膜による光反射性金属薄膜12の端部に酸化アルミ
ニウムが形成され、その耐食性が向上した。
以下のような工程で製造したものである。すなわち、ま
ず、走査側電極板1の基板11上に、スパッタリングに
より厚さ0.1μmのアルミニウム薄膜による光反射性
金属薄膜12と厚さ0.24μmのITO薄膜による透
明導電薄膜13とを全面一様に成膜した。尚、この際、
基板11は加熱することなく、ほぼ室温で連続的に成膜
した。次に、公知のフォトリソプロセスに従った、上記
透明導電薄膜13上に走査側電極パターン状にレジスト
膜を形成し、25℃の希塩酸でITO薄膜による上記透
明導電薄膜13を約1分間でエッチングしてパターニン
グした。40℃のリン酸/酢酸/硝酸の混酸でアルミニ
ウム薄膜による光反射性金属薄膜12を上記透明導電薄
膜13と同一パターンにエッチングした。そして、この
後250℃、1時間の加熱処理を行って、上記透明導電
薄膜13を酸化した。この加熱処理により透明導電薄膜
13の抵抗値が低下して面積抵抗が約0.4Ω/□とな
り、加熱処理前の上記ITO薄膜による透明導電薄膜1
3単層の場合の1/20以下となった。またこれと共に
上記透明導電薄膜13の可視光線透過率が向上し、また
結晶化が生じた。またこの加熱処理に伴ってアルミニウ
ム薄膜による光反射性金属薄膜12の端部に酸化アルミ
ニウムが形成され、その耐食性が向上した。
【0046】<実施例2> この実施例2に係る反射型液晶表示装置は、図2に示す
ように、走査側電極板4を、厚さ0.7mmのガラス基
板41(透明又は黒色着色、白色着色)と、このガラス
基板41上に310μm×95μmの矩形パターン状に
設けられた厚さ0.15μmのアルミニウム薄膜による
光反射性金属薄膜42と、この金属薄膜42を覆って幅
320μm、ピッチ330μmのストライプパターン状
に設けられた厚さ0.24μmの透明導電薄膜43(透
明電極)とから構成し、一方、信号側電極板4を、厚さ
0.7mmのガラス基板51(透明)と、このガラス基
板51上に幅約110μmのストライプ状に設けられた
カラーフィルター層としての膜厚約2μmの着色光散乱
層53R、53G、53Bと、幅100μm、ピッチ1
10μmのストライプ状(上記走査側電極板4の光反射
性金属薄膜42パターンと直交する方向)に設けられた
厚さ0.2μmの透明電極55とから構成し、これら走
査側電極板1と信号側電極板2とを、両者の間に液晶3
を介在させて周辺部でシールして一体化させたものであ
る。
ように、走査側電極板4を、厚さ0.7mmのガラス基
板41(透明又は黒色着色、白色着色)と、このガラス
基板41上に310μm×95μmの矩形パターン状に
設けられた厚さ0.15μmのアルミニウム薄膜による
光反射性金属薄膜42と、この金属薄膜42を覆って幅
320μm、ピッチ330μmのストライプパターン状
に設けられた厚さ0.24μmの透明導電薄膜43(透
明電極)とから構成し、一方、信号側電極板4を、厚さ
0.7mmのガラス基板51(透明)と、このガラス基
板51上に幅約110μmのストライプ状に設けられた
カラーフィルター層としての膜厚約2μmの着色光散乱
層53R、53G、53Bと、幅100μm、ピッチ1
10μmのストライプ状(上記走査側電極板4の光反射
性金属薄膜42パターンと直交する方向)に設けられた
厚さ0.2μmの透明電極55とから構成し、これら走
査側電極板1と信号側電極板2とを、両者の間に液晶3
を介在させて周辺部でシールして一体化させたものであ
る。
【0047】尚、上記着色光散乱層53R、53G、5
3Bは、有機顔料を10〜30重量%と、光散乱材とし
て粒径0.3μm以下のポリ4フッ化エチレン微粒子を
約4重量%とを分散して含有する印刷インキから構成さ
れている。また、上記透明導電薄膜43(透明電極)の
実効面積抵抗は約1Ω/□である。
3Bは、有機顔料を10〜30重量%と、光散乱材とし
て粒径0.3μm以下のポリ4フッ化エチレン微粒子を
約4重量%とを分散して含有する印刷インキから構成さ
れている。また、上記透明導電薄膜43(透明電極)の
実効面積抵抗は約1Ω/□である。
【0048】
【発明の効果】本発明の請求項1〜6に係る発明よれ
ば、入射光源の位置によらず上記散乱光を観察可能とな
り、視野角が著しく増大し、また反射型液晶表示装置の
信頼性を増大させることが可能となる。
ば、入射光源の位置によらず上記散乱光を観察可能とな
り、視野角が著しく増大し、また反射型液晶表示装置の
信頼性を増大させることが可能となる。
【0049】また、この光反射性金属薄膜は透明導電薄
膜により被覆されているため、その金属薄膜が劣化する
ことがなく、従って表示欠陥を生じることもなく、著し
く反射型液晶表示装置の信頼性を増大させることが可能
となる。尚、この他、透明導電薄膜による電極が光反射
性金属薄膜と接触導通しているため、その抵抗値を著し
く低下させることが可能となり、電極間のクロストーク
を防止して表示の均質性を向上させることも可能とな
る。
膜により被覆されているため、その金属薄膜が劣化する
ことがなく、従って表示欠陥を生じることもなく、著し
く反射型液晶表示装置の信頼性を増大させることが可能
となる。尚、この他、透明導電薄膜による電極が光反射
性金属薄膜と接触導通しているため、その抵抗値を著し
く低下させることが可能となり、電極間のクロストーク
を防止して表示の均質性を向上させることも可能とな
る。
【0050】さらに走査側電極板の基板上に光反射性金
属薄膜を成膜し、この金属薄膜上に実質的に非晶質の透
明導電薄膜を成膜し、次いでフォトリソグラフィ法によ
り、これら透明導電薄膜とその下層の光反射性金属薄膜
とを順次エッチングし、パターニングして、走査側電極
をパターン形成して走査側電極板を製造するため、目的
とするパターンの光反射性金属薄膜と透明導電薄膜とに
よる走査側電極を精度良くパターン形成することが可能
となる。
属薄膜を成膜し、この金属薄膜上に実質的に非晶質の透
明導電薄膜を成膜し、次いでフォトリソグラフィ法によ
り、これら透明導電薄膜とその下層の光反射性金属薄膜
とを順次エッチングし、パターニングして、走査側電極
をパターン形成して走査側電極板を製造するため、目的
とするパターンの光反射性金属薄膜と透明導電薄膜とに
よる走査側電極を精度良くパターン形成することが可能
となる。
【0051】さらにまた、本発明の反射型液晶表示装置
においては光散乱層を、透明樹脂と、非晶質材料からな
り前記透明樹脂中に分散される光散乱材とからなること
を特徴としている。これにより、光散乱材と透明樹脂と
の界面で屈折して光散乱材中を透過する光の偏光面が回
転して液晶表示装置の表示品位を低下させる(偏光面の
回転により表示装置前面の偏光膜の光透過率が変化し、
画面のコントラストが低下する)ことを防止できる。
においては光散乱層を、透明樹脂と、非晶質材料からな
り前記透明樹脂中に分散される光散乱材とからなること
を特徴としている。これにより、光散乱材と透明樹脂と
の界面で屈折して光散乱材中を透過する光の偏光面が回
転して液晶表示装置の表示品位を低下させる(偏光面の
回転により表示装置前面の偏光膜の光透過率が変化し、
画面のコントラストが低下する)ことを防止できる。
【図1】本発明の実施例1に係る反射型液晶表示装置の
側断面図。
側断面図。
【図2】本発明の実施例2に係る反射型液晶表示装置の
側断面図。
側断面図。
1…走査側電極板 2…信号側電極板 3…液晶 4…
走査側電極板 5…信号側電極板 11…ガラス基板 12…光反射性金属薄膜 13…透
明導電薄膜(透明電極) 21…ガラス基板(透明) 22…有機ブラックストラ
イプ 23R、23G、23B…カラーフィルター層 24…
光散乱層 25…透明電極 41…ガラス基板 42…光反射性金属薄膜 43…透
明導電膜(透明電極) 51…ガラス基板(透明) 53R、53G、53B…
着色光散乱層 55…透明電極
走査側電極板 5…信号側電極板 11…ガラス基板 12…光反射性金属薄膜 13…透
明導電薄膜(透明電極) 21…ガラス基板(透明) 22…有機ブラックストラ
イプ 23R、23G、23B…カラーフィルター層 24…
光散乱層 25…透明電極 41…ガラス基板 42…光反射性金属薄膜 43…透
明導電膜(透明電極) 51…ガラス基板(透明) 53R、53G、53B…
着色光散乱層 55…透明電極
Claims (9)
- 【請求項1】液晶を駆動するための走査側電極を基板上
に配設した走査側電極板と、信号側電極を基板上に配設
したもう一方の信号側電極板と、前記両電極が対向する
よう向かい合わせた両電極板の間に挟持された液晶とか
ら構成される反射型液晶表示装置において、 上記走査側電極が、基板上に設けた平面視ストライプ状
若しくは矩形状パターンの光反射性金属薄膜と、この金
属薄膜を覆って液晶側に配置された透明導電薄膜からな
る平面視ストライプ状パターンの透明電極との2層構成
の電極であり、 他方、上記信号側電極が、少なくとも透明基板上に設け
た透明樹脂と該透明樹脂中に分散される非晶質材料とか
らなる光散乱材により形成された光散乱層上に前記走査
側電極と直交する方向に配置された平面視ストライプ状
パターンの透明導電薄膜からなる電極であることを特徴
とする反射型液晶表示装置。 - 【請求項2】請求項1記載の反射型液晶表示装置におい
て、 前記信号側電極板の基板と前記光散乱層との間に、透過
光を着色する赤、緑、青、又はシアン、マゼンタ、イエ
ローの三色のカラーフィルター層を備えることを特徴と
する反射型液晶表示装置。 - 【請求項3】請求項1記載の反射型液晶表示装置におい
て、 前記光散乱層が、透過光を赤、緑、青、又はシアン、マ
ゼンタ、イエローの三色毎に着色する色材を含有するこ
とを特徴とする反射型液晶表示装置。 - 【請求項4】請求項1〜3のいずれか1項記載の反射型
液晶表示装置において、 前記光散乱層を構成する透明樹脂の屈折率と光散乱材の
屈折率とを異ならせたことを特徴とする反射型液晶表示
装置。 - 【請求項5】請求項4記載の反射型液晶表示装置におい
て、 前記光散乱材が、径1μm以下の微粒子からなることを
特徴とする反射型液晶表示装置。 - 【請求項6】請求項1〜5のいずれか1項記載の反射型
液晶表示装置において、 光反射性金属薄膜の成膜後に形成する透明導電薄膜が実
質的に非晶質の透明導電薄膜であることを特徴とする反
射型液晶表示装置。 - 【請求項7】液晶を駆動するための走査側電極を基板上
に配設した走査側電極板と、信号側電極を少なくとも透
明基板上に配設したもう一方の信号側電極板とを製造
し、前記両電極を対向するよう向かい合わせた両電極板
の間に液晶を挟持して製造する反射型液晶表示装置の製
造方法において、 基板の片面上に光反射性金属薄膜を成膜し、この金属薄
膜上に透明導電薄膜を成膜し、次いでフォトリソグラフ
ィ法によりこれら透明導電薄膜と前記光反射性金属薄膜
を順次パターンエッチングして、平面視ストライプ状の
透明導電薄膜と、平面視ストライプ状若しくは矩形状の
光反射性金属薄膜との二層による走査側電極をパターン
形成して走査側電極板を製造し、 他方、別の透明基板の片面上に、必要に応じてカラーフ
ィルター層をパターン形成した後に、透明樹脂と該透明
樹脂中に分散される非晶質材料とからなる光散乱材を用
いて光散乱層を形成し、該光散乱層上に前記走査側電極
の平面視ストライプ状パターンの透明導電薄膜と直交す
る方向に平面視ストライプ状の透明な信号側電極をパタ
ーン形成して信号側電極板を製造し、 こうして得られた前記走査側電極板の走査側電極面と信
号側電極板の信号側電極面との間に液晶を挟持すること
を特徴とする反射型液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項8】請求項7記載の反射型液晶表示装置の製造
方法において、光反射性金属薄膜の成膜後に形成する透
明導電薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄膜であること
を特徴とする反射型液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項9】請求項7又は請求項8記載の反射型液晶表
示装置の製造方法において、光反射性金属薄膜の成膜後
に形成する透明導電薄膜が実質的に非晶質の透明導電薄
膜であって、そのパターン形成後に加熱を行うことを特
徴とする反射型液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
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