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JP2921853B2 - Method for producing silver member having protective layer - Google Patents

Method for producing silver member having protective layer

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JP2921853B2
JP2921853B2 JP9445489A JP9445489A JP2921853B2 JP 2921853 B2 JP2921853 B2 JP 2921853B2 JP 9445489 A JP9445489 A JP 9445489A JP 9445489 A JP9445489 A JP 9445489A JP 2921853 B2 JP2921853 B2 JP 2921853B2
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gas
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孝典 南谷
吉野  信幸
孝行 田尻
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SHICHIZUN TOKEI KK
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、気相合成法を用いて保護層を被覆した銀部
材およびその製造方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a silver member coated with a protective layer using a vapor phase synthesis method and a method for producing the same.

〔従来の技術とその課題〕[Conventional technology and its problems]

銀は古来より金と並んで装飾的価値の高いものとして
珍重されてきた。特にヨーロッパにおいては、銀のもつ
独特の色調、やわらかい質感が好まれ数多くの銀製品が
愛用されている。
Silver has been prized as a decorative material alongside gold since ancient times. Especially in Europe, the unique color tone and soft texture of silver are preferred, and many silver products are favored.

ところが銀は本来、耐硫化性に対して致命的ともいえ
る欠点を有しており、大気中放置だけでも銀表面は次第
に変色し、その色調、質感が失なわれてしまうため恒常
的に銀のもつ外観を保つためには、定期的に銀表面の硫
化物を除去する必要があった。
However, silver originally has a defect that can be said to be fatal to sulfuration resistance, and even if it is left alone in the air, the silver surface gradually discolors and its color tone and texture are lost, so silver In order to maintain the appearance, it was necessary to periodically remove the sulfide on the silver surface.

この欠点を克服し、銀本来の色調、質感を長期に保存
するための手段として銀合金化、銀表面への有機被膜塗
布、銀表面への無機被膜コードなどが考えられてきたが
いずれも不充分である。具体的にいえば、銅添加による
スターリングシルバーおよびマグネシウム、ニッケル添
加においては銀の硬質化は認められるが耐硫化性に対し
ては全く改善されない。パラジウム添加による銀合金化
によっては耐硫化性は改善されるものの反面、純粋の銀
との色調差が大きくなり違和感を生ずる。ラッカーコー
トに代表される銀表面への有機被膜塗布においても耐硫
化性の改善は認えられるが、塗布層が厚いことによる色
調、質感の変化が大きい。ロジウムフラッシュメッキな
どのような銀表面への無機被膜コートにおいては、無機
被膜が有するピンホールのための耐硫化性が不充分であ
るなどそれぞれの問題を残しており、現状ではいずれの
手法においても満足な特性が得られていないのが実状で
ある。
Silver alloying, organic coating on silver surface, inorganic coating cord on silver surface, etc. have been considered as means for overcoming this drawback and preserving the original color tone and texture of silver for a long period of time, but none of them have been considered unacceptable. Is enough. Specifically, when sterling silver and magnesium and nickel are added by adding copper, silver is hardened, but sulfidation resistance is not improved at all. Although the sulfidation resistance is improved by silver alloying by adding palladium, the difference in color tone from pure silver is increased, causing a sense of incongruity. Although the improvement of the sulfuration resistance is observed in the application of an organic coating on a silver surface typified by a lacquer coat, the change in color tone and texture due to the thick coating layer is large. In the case of inorganic film coating on the silver surface such as rhodium flash plating, each problem remains, such as insufficient sulfuration resistance due to the pinholes of the inorganic film. In fact, satisfactory characteristics have not been obtained.

本発明は、かかる従来技術にかんがみ、銀本来の色調
を保持したままで耐硫化性を改善し得る構造を有した銀
部材を提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a silver member having a structure capable of improving sulfidation resistance while maintaining the original color tone of silver in view of the related art.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

ここでいう銀部材とは、純粋な銀のもつ外観色調から
の色差がL表色系評価において、 を満足するものをすべて含んでいる。このため、純銀に
卑金属もしくは貴金属を添加した銀合金、あるいは任意
の基板上にメッキもしくは蒸着法により形成された銀膜
においても、上記特性を満足する限りここでは銀部材の
範疇に属する。
The silver member here means that the color difference from the appearance color tone of pure silver is L * a * b * color system evaluation, Includes everything that satisfies. Therefore, a silver alloy obtained by adding a base metal or a noble metal to pure silver, or a silver film formed on an arbitrary substrate by plating or vapor deposition is also included in the category of a silver member as long as the above characteristics are satisfied.

このため、本発明においては銀部材表面に保護層を形
成するに際して、銀部材がプラズマ電位に対して負の電
位関係を有するような条件下で、炭化水素ガスを主成分
とするガスを導入したプラズマ重合法を用いることを特
徴とする。上記のような電位関係で形成された保護層
は、従来に比して可視域短波長領域での透過率特性が改
善され、外観上、銀部材単体との比較においても有意差
は認識されず、かつプラズマ重合法を用いることによ
り、ピンホールのない膜が形成されることから結果とし
て、銀本来の色調を有した、耐硫化性にすぐれた銀部材
の提供が可能となる。
For this reason, in the present invention, when forming the protective layer on the surface of the silver member, a gas containing a hydrocarbon gas as a main component was introduced under such a condition that the silver member has a negative potential relationship with the plasma potential. It is characterized by using a plasma polymerization method. The protective layer formed in the above-described potential relationship has improved transmittance characteristics in the visible short wavelength region as compared with the conventional one, and no significant difference is recognized even in comparison with the silver member alone in appearance. In addition, since a film without pinholes is formed by using the plasma polymerization method, it is possible to provide a silver member having an original color tone of silver and excellent in sulfuration resistance.

さらに、上記のようにして銀部材表面に保護層を形成
した後、II a、III a、IV a、V a、II b、III b、IV b
族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素の酸化物
あるいは窒化物、もしくはダイヤモンド膜あるいは硬質
カーボン膜を積層することにより、銀本来の色調を有
し、耐硫化性にすぐれ、かつ耐摩耗性を有した銀部材の
提供が可能となる。以下、詳細については実施例を用い
て説明する。
Further, after forming the protective layer on the silver member surface as described above, IIa, IIIa, IVa, Va, IIb, IIIb, IVb
By laminating an oxide or nitride of at least one element selected from group III elements, or a diamond film or a hard carbon film, it has the original color tone of silver, has excellent sulfuration resistance, and has abrasion resistance It is possible to provide a silver member having the following. Hereinafter, the details will be described using embodiments.

〔実施例1〕 本発明に用いた装置構成を第1図に示す。減圧状態に
排気された真空槽1内には、高周波電源に接続されたカ
ソード電極2と、アノード電極3が相対配置され、さら
にその間にガス導入管4が導入されている。基板として
の銀部材5はアノード電極3上に保持され、以下の工程
に従って成膜処理される。まず、所定の真空度まで排気
後、ガス導入管に設けられた小穴(図示せず)を通して
アルゴンガスを導入し、カソード電極に高周波電力を供
給することにより、グロー放電を発生させる。この時、
アノード電極電位がプラズマ電位に対して負の設定値を
とるようにアノード電極に直流電圧を印加することによ
り、アノード電極上に保持された銀部材は電位的にプラ
ズマ電位に対して負となるため、アルゴンイオンよりボ
ンバードクリーニングされる。ついで、導入ガス種をア
ルゴンガスから炭化水素ガスに切り換え、設定時間、放
電を行なうことにより、銀部材上には目的の炭化水素の
重合体からなる保護膜が形成される。具体的な形成条件
および得られた保護膜の特性について以下に述べる。
Example 1 FIG. 1 shows the structure of the apparatus used in the present invention. In a vacuum chamber 1 evacuated to a reduced pressure, a cathode electrode 2 connected to a high-frequency power supply and an anode electrode 3 are disposed relative to each other, and a gas introduction pipe 4 is introduced therebetween. The silver member 5 as a substrate is held on the anode electrode 3 and is subjected to a film forming process according to the following steps. First, after evacuation to a predetermined degree of vacuum, an argon gas is introduced through a small hole (not shown) provided in the gas introduction pipe, and high-frequency power is supplied to the cathode electrode to generate glow discharge. At this time,
By applying a DC voltage to the anode electrode so that the anode electrode potential takes a negative set value with respect to the plasma potential, the silver member held on the anode electrode becomes electrically negative with respect to the plasma potential. And bombarded with argon ions. Then, the introduced gas type is switched from argon gas to hydrocarbon gas, and discharge is performed for a set time, whereby a protective film made of a target hydrocarbon polymer is formed on the silver member. Specific forming conditions and characteristics of the obtained protective film are described below.

(形成条件) ガス種およびガス流量:エチレンガス80毎分標準立方セ
ンチ 基板:純銀板 高周波電力:100ワット 成膜真空度:0.5トール 基板温度:80℃ プラズマ電位に対するアノード電極電位 :−30V 成膜レート:毎分100オングストローム 上記条件により作成されるサンプルをサンプル(A)
とする。アノード電極電位をプラズマ電位とした(アノ
ード電極をプラズマ中にフローティング状態で設置)こ
と以外は、上記と同様にして純銀板上に膜を形成したサ
ンプルをサンプル(B)として、純銀板単体との特性比
較を行なった。以下に可視域での反射率特性、色差測定
および耐硫化テストの結果を表1及び第2図、第3図に
順次示す。
(Formation conditions) Gas type and gas flow rate: Ethylene gas 80 standard cubic centimeters per minute Substrate: Pure silver plate High frequency power: 100 Watt Deposition of vacuum: 0.5 Torr Substrate temperature: 80 ° C Anode potential to plasma potential: -30 V Rate: 100 angstroms per minute Sample created under the above conditions (A)
And A sample in which a film was formed on a pure silver plate in the same manner as described above was used as a sample (B) except that the anode electrode potential was set to a plasma potential (the anode electrode was set in a floating state in the plasma). The characteristics were compared. Table 1 and the results of the color difference measurement and the sulfurization resistance test in the visible region are shown in Table 1, FIG. 2 and FIG.

まず、可視域での反射率特性の比較・評価をよりはっ
きりさせるために、サンプル(A)、サンプル(B)に
おける保護膜膜厚を3,000オングストロームに設定した
時の結果を第2図に示す。これより、純銀板上を保護膜
を形成することにより、主に可視域短波長領域での反射
率が低下すること、およびプラズマ電位に対するアノー
ド電極電位を負とすることにより、短波長領域での反射
率特性が改善されることが判る。これはおそらく成膜時
の基板表面へのイオン衝撃の有向が保護膜の成膜レー
ト、短波長領域での吸収特性などに影響を及ぼすためと
考えられるが、メカニズムの詳細については不明であ
る。
First, in order to make comparison and evaluation of the reflectance characteristics in the visible region more clear, the results when the thickness of the protective film in the samples (A) and (B) are set to 3,000 Å are shown in FIG. Thus, by forming a protective film on a pure silver plate, the reflectivity in the visible region and in the short wavelength region is reduced, and by setting the anode electrode potential to the plasma potential to be negative, It can be seen that the reflectance characteristics are improved. This is probably because the direction of ion bombardment on the substrate surface during film formation affects the film formation rate of the protective film, absorption characteristics in the short wavelength region, etc., but details of the mechanism are unknown. .

ついで、保護膜膜厚を1,000オングストロームに設定
したサンプル(A)、サンプル(B)に対して色差測定
を行なった結果を表1に示す。ここでは、純銀板表面に
保護膜を形成することによる外観変化をL
色系の色差ΔEを用いて評価した。
Next, Table 1 shows the results of color difference measurement of the samples (A) and (B) in which the thickness of the protective film was set to 1,000 angstroms. Here, the change in appearance due to the formation of the protective film on the surface of the pure silver plate was evaluated using the color difference ΔE * of the L * a * b * color system.

通常ΔE3については、色差を判別することは非
常に難しいとされており、このことからサンプル(A)
はサンプル(B)に比して、純銀板と非常に近い外観を
呈しているのが判る。
It is generally considered that it is very difficult to determine the color difference for ΔE * 3.
It can be seen that the sample has an appearance very similar to a pure silver plate as compared with the sample (B).

さらに、上記と同様に保護膜膜厚を1,000オングスト
ロームに設定したサンプル(A)、サンプル(B)の耐
硫化テスト結果を第3図に示す。この時の耐硫化テスト
条件は以下の通りである。
Further, FIG. 3 shows the results of the sulfuration resistance test of the samples (A) and (B) in which the thickness of the protective film was set to 1,000 Å in the same manner as above. The sulfuration resistance test conditions at this time are as follows.

(耐硫化テスト条件) (NH42S・2H2O:H2O=1:1 温度:25℃ 相対温度:100% 設定時間放置 テスト前の純銀板と、テスト後の各サンプルの外観差
を色差ΔEとして評価した。図から明らかなように、
純銀板では短時間の放置で大幅なΔE変化が認めら
れ、耐硫化性が全くないことが判る。一方、純銀板に保
護膜を形成することにより、耐硫化性は大幅に改善さ
れ、特に本実施例のサンプル(A)においては、60分放
置後も純銀板とほとんど同様の外観品質を維持してお
り、その効果は非常に大きいといえる。
(Sulfuration resistance test conditions) (NH 4 ) 2 S ・ 2H 2 O: H 2 O = 1: 1 Temperature: 25 ℃ Relative temperature: 100% Leaving for a set time Appearance of pure silver plate before test and each sample after test The difference was evaluated as the color difference ΔE * . As is clear from the figure,
In a pure silver plate, a large change in ΔE * was observed after leaving for a short time, indicating that there was no sulfidation resistance at all. On the other hand, by forming the protective film on the pure silver plate, the sulfidation resistance was greatly improved. In particular, in the sample (A) of this example, the appearance quality almost the same as that of the pure silver plate was maintained even after standing for 60 minutes. The effect is very large.

また、純銀板上に形成する保護膜膜厚と耐硫化性改善
効果との相関を検討したところ、200オングストローム
以上の膜厚で効果が確認されたが、特性の再現性、外観
品質との兼ね合いから、膜厚は500〜10,000オングスト
ローム程度が望ましい。
In addition, when the correlation between the thickness of the protective film formed on a pure silver plate and the effect of improving sulfidation resistance was examined, the effect was confirmed at a film thickness of 200 Å or more. Therefore, the thickness is desirably about 500 to 10,000 angstroms.

上記以外にも、テープテストによる密着性評価人工汗
テストによる耐食性評価などを行ない、本実施例の純銀
板上に形成した保護膜が実用レベルで充分に効果を有す
ることを確認している。
In addition to the above, adhesion evaluation by a tape test, corrosion resistance evaluation by an artificial sweat test, and the like were performed, and it was confirmed that the protective film formed on the pure silver plate of this example was sufficiently effective at a practical level.

プラズマ電位に対するアノード電極電位を設定する手
段として、本実施例では、アノード電極に外部から直流
電圧を印加する方式を示したが、これ以外にもカソード
電極に直流電圧を重畳することによっても同様の状況は
設定でき、この場合にも、本実施例と同様に特性の改善
が図られる。
In this embodiment, as a means for setting the anode electrode potential with respect to the plasma potential, a method in which a DC voltage is externally applied to the anode electrode has been described. However, the same applies when a DC voltage is superimposed on the cathode electrode. The situation can be set, and also in this case, the characteristics can be improved as in the present embodiment.

また、ガス種においても、本実施例で用いたエチレン
以外にも、チタン、アセチレン、ベンゼンなどの炭化水
素ガスが使用できる。
As for the gas type, hydrocarbon gases such as titanium, acetylene, and benzene can be used in addition to ethylene used in this embodiment.

〔実施例2〕 実施例1のサンプル(A)作成条件と同様にして、銀
部材上に膜厚500オングストロームの保護膜を形成した
後、モノシランガスと酸素ガスを導入し下記条件でプラ
ズマ中で分解、反応させることにより、膜厚10,000オン
グストロームの透明な酸化シリコン膜を積層した。
Example 2 A protective film having a thickness of 500 Å was formed on a silver member in the same manner as in the preparation of the sample (A) of Example 1, and then monosilane gas and oxygen gas were introduced. By reacting, a transparent silicon oxide film having a thickness of 10,000 Å was laminated.

(酸化シリコン膜形成条件) ガス種およびガス流量:モノシランガス 20 毎分標準立方センチ 酸 素 ガ ス 60 毎分標準立方センチ 高周波電力:100ワット 成膜真空度:0.5トール 基板温度:80℃ 成膜レート:毎分200オングストローム 上記条件で作成したサンプルをサンプル(C)とし、
純銀板単体との耐摩耗性比較をスガ摩耗試験機を用いて
行なった結果を表2に示す。
(Silicon oxide film formation conditions) Gas type and gas flow rate: Monosilane gas 20 standard cubic centimeters per minute Oxygen gas 60 standard cubic centimeters per minute High frequency power: 100 watts Deposition vacuum: 0.5 Torr Substrate temperature: 80 ° C Deposition rate : 200 angstroms per minute The sample created under the above conditions is referred to as sample (C).
Table 2 shows the results of a comparison of the wear resistance of the pure silver plate alone with a Suga abrasion tester.

純銀板単体では、ビッカース硬度で50〜90Hvと非常に
やわらかいために、耐摩耗性に劣るが、本実施例に述べ
たように、その上部に500オングストロームの保護膜を
介して600〜700Hvのビッカース硬度を有する酸化シリコ
ン膜を被覆することにより、耐硫化性改善に加えて耐摩
耗性が大幅に改善されているのが判る。ここで酸化シリ
コン膜厚は10,000オングストロームに設定しが、0〜3
0,000オングストロームまでは外観的にもほとんど変化
なかった。
The pure silver plate alone has a very soft Vickers hardness of 50 to 90 Hv and is inferior in abrasion resistance. It can be seen that by coating the silicon oxide film having hardness, the abrasion resistance was significantly improved in addition to the improvement in the sulfidation resistance. Here, the silicon oxide film thickness is set to 10,000 angstroms,
Up to 0,000 angstroms, there was almost no change in appearance.

また、耐摩耗性改善のための上部保護膜として本実施
例においては酸化シリコンを使用したが、他にもチタ
ン、亜鉛、タンタル、アルミニウムなどに代表されるII
a、III a、IV a、V a、II b、III b族元素の酸化物、
シリコン窒化物、ダイヤモンド膜あるいは硬質カーボン
膜などのように、純銀板に比して、高硬度で透明な膜で
あれば適用可能である。
Further, in this embodiment, silicon oxide was used as an upper protective film for improving abrasion resistance, but other materials such as titanium, zinc, tantalum, aluminum and the like II
oxides of a, IIIa, IVa, Va, IIb, IIIb elements,
As long as the film is harder and more transparent than a pure silver plate, such as a silicon nitride film, a diamond film or a hard carbon film, the present invention can be applied.

また、形成方法においても、本実施例に述べたプラズ
マCVD法(化学的気相蒸発法)に限定されることなく、
スパッタ法、イオンプレーティング法などのPVD法(物
理的気相蒸発法)、ゾルゲン法などが適用できる。
Also, the forming method is not limited to the plasma CVD method (chemical vapor deposition method) described in the present embodiment.
A PVD method (physical vapor phase evaporation method) such as a sputtering method and an ion plating method, and a solgen method can be applied.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上述べたように、本実施例によれば、従来の銀本来
の色調を保持したままで耐硫化性、耐摩耗性の改善が可
能となるため、古美術品などに代表される展示品、ある
いはメダル、ブローチなどの装飾品に適用することによ
り、長期間、色調の変化しない銀部材が提供できる。
As described above, according to the present embodiment, the sulfuration resistance and the abrasion resistance can be improved while maintaining the original color tone of the conventional silver. Alternatively, by applying the present invention to decorative articles such as medals and broaches, a silver member whose color tone does not change for a long time can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の、銀部材上に保護膜を形成する際に用
いた装置構成を示す説明図であり、第2図および第3図
は、それぞれ本発明の実施例における可視域での反射率
特性および耐硫化特性を示すグラフである。 1……真空槽、 2……カソード電極、 3……アノード電極、 4……ガス導入管、 5……銀部材。
FIG. 1 is an explanatory view showing the structure of an apparatus used when forming a protective film on a silver member according to the present invention. FIGS. 5 is a graph showing reflectance characteristics and sulfuration resistance characteristics. 1 ... vacuum chamber, 2 ... cathode electrode, 3 ... anode electrode, 4 ... gas introduction tube, 5 ... silver member.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】銀部材を配置した減圧容器内に炭化水素を
主成分とするガスを導入し、前記銀部材がプラズマ電位
に対して負の電位になるように設定した状態で、前記銀
部材の表面にプラズマ重合法を用いて炭化水素ガスのプ
ラズマ重合による保護膜を形成することを特徴とする保
護層を有する銀部材の製造方法。
1. A method in which a gas containing hydrocarbon as a main component is introduced into a decompression vessel in which a silver member is disposed, and the silver member is set to have a negative potential with respect to a plasma potential. A method for producing a silver member having a protective layer, characterized in that a protective film is formed on a surface of a substrate by plasma polymerization of a hydrocarbon gas using a plasma polymerization method.
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