JP2728455B2 - Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing method - Google Patents
Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing methodInfo
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- JP2728455B2 JP2728455B2 JP63233430A JP23343088A JP2728455B2 JP 2728455 B2 JP2728455 B2 JP 2728455B2 JP 63233430 A JP63233430 A JP 63233430A JP 23343088 A JP23343088 A JP 23343088A JP 2728455 B2 JP2728455 B2 JP 2728455B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気デイスク装置および該磁気デイスク装置
における情報の記録再生方法に係り、特に、コンピユー
タ等の上位装置の外部記憶装置として使用するのに好適
な磁気デイスク装置、該磁気デイスク装置に使用される
薄膜磁気ヘツド及び該磁気デイスク装置における情報の
記録再生方法に関する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk device and a method of recording and reproducing information in the magnetic disk device, and more particularly to a magnetic disk device used as an external storage device of a host device such as a computer. The present invention relates to a suitable magnetic disk device, a thin-film magnetic head used in the magnetic disk device, and a method for recording and reproducing information in the magnetic disk device.
磁気デイスク装置の記憶容量の増大に伴つて、磁気デ
イスクのトラツク密度はますます増加する傾向にある。As the storage capacity of magnetic disk devices increases, the track density of magnetic disks tends to increase.
このため磁気デイスク装置に搭載する薄膜磁気ヘツド
の磁気コアのトラツク幅寸法も小さくなる方向にある。For this reason, the track width dimension of the magnetic core of the thin-film magnetic head mounted on the magnetic disk device tends to decrease.
薄膜磁気ヘツドは、磁気デイスクに対向している面に
露出している上部磁気コアと下部磁気コアとが磁気ギヤ
ツプを構成する非磁性材料からなる絶縁膜を介在して磁
気回路を形成する。In the thin-film magnetic head, a magnetic circuit is formed with an upper magnetic core and a lower magnetic core exposed on a surface facing a magnetic disk with an insulating film made of a non-magnetic material constituting a magnetic gap interposed therebetween.
そうして記録媒体、例えば磁気デイスクに対する書き
込み又は読み出しを行う。Thus, writing or reading on a recording medium, for example, a magnetic disk is performed.
この磁気ギヤツプ部分に発生する磁界の大きさが記録
密度を左右する記録媒体の磁化状態に影響を与える。The magnitude of the magnetic field generated in the magnetic gap affects the magnetization state of the recording medium which affects the recording density.
薄膜磁気ヘツドの磁気デイスクに対向している面に露
出している上部磁気コア及び下部磁気コアの形状が、磁
気デイスク装置の記録密度を決める主要な要因となる。The shapes of the upper magnetic core and the lower magnetic core exposed on the surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk are the main factors that determine the recording density of the magnetic disk device.
磁気デイスクに対向している面に露出している磁気コ
アの形状については、これまで多くの検討がなされてい
る。Many studies have been made on the shape of the magnetic core exposed on the surface facing the magnetic disk.
そのうち、上部磁気コアの長さと下部磁気コアの長さ
との差に着目した例は少なく、特開昭55−87323号公報
や信学技報Vol.85,No.137,MR85−22(1985)において言
及されているのみである。Of these, there are few examples focusing on the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-87323 and IEICE Technical Report Vol.85, No.137, MR85-22 (1985) Are only mentioned in
特開昭55−87323号公報には、上部磁気コアの長さを
下部磁気コアの長さよりも小さくすることにより、製造
ばらつきに起因するアツプラウンド状態と呼ばれる好ま
しくない形状が回避できることが述べられている。Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-87323 states that by making the length of the upper magnetic core smaller than the length of the lower magnetic core, it is possible to avoid an undesired shape called an around state due to manufacturing variations. I have.
また、信学技報Vol.85,No.137,MR85−22(1985)に
は、上部磁気コアと下部磁気コアとの長さの差と、磁気
コア側端部ににじみ出す磁界の大きさとの関係について
計算機シミユレーシヨンを用いて検討されている。Also, IEICE Technical Report Vol.85, No.137, MR85-22 (1985) describes the difference in length between the upper magnetic core and the lower magnetic core, and the magnitude of the magnetic field oozing at the end of the magnetic core. Has been studied using computer simulation.
そして、前記磁界のにじみ出しは書き込み及び読み出
し特性に悪影響を与えるので、上部磁気コアと下部磁気
コアとの長さの差はゼロであることが望ましいと述べて
いる。In addition, it is described that the difference between the lengths of the upper magnetic core and the lower magnetic core is desirably zero because the bleeding of the magnetic field adversely affects the write and read characteristics.
前記特開昭55−87323号公報記載の従来技術は、高記
録密度化に適した磁界分布を得るために上部磁気コアの
長さと下部磁気コアの長さとの差をいくらに規定すれば
良いかということに関しては言及されていない。In the prior art described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-87323, what is the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core in order to obtain a magnetic field distribution suitable for high recording density? There is no mention of that.
また、前記信学技報Vol.85,No.137,MR85−22(1985)
記載の従来技術は、トラツク幅が狭くなつた場合には、
磁界のにじみ出しが書き込み及び読み出し特性を改善す
るという点については言及されていない。In addition, the aforementioned IEICE Technical Report Vol.85, No.137, MR85-22 (1985)
The described prior art, when the track width becomes narrow,
No mention is made that the bleeding of the magnetic field improves the write and read characteristics.
更に、両従来技術ともに、磁気デイスク装置を高記録
密度化する上で、磁気デイスクのトラツク密度と、上部
磁気コアの長さと下部磁気コアの長さとの差との最適関
係に対しては、何ら新しい知見を与えるものではない。Furthermore, in both of the prior arts, in order to increase the recording density of the magnetic disk device, there is no description about the optimum relationship between the track density of the magnetic disk and the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core. It does not give new knowledge.
本発明の目的は、前記従来技術においては考慮されて
いなかつた、磁気デイスクのトラツク密度と、上部磁気
コアの長さと下部磁気コアの長さとの差の最適値との関
係を明らかにし、この条件を考慮して、高記録密度化に
ともなうS/N比を高くし、かつオフトラツク特性を良好
にした磁気デイスク装置を提供することにある。An object of the present invention is to clarify the relationship between the track density of the magnetic disk and the optimum value of the difference between the length of the upper magnetic core and the length of the lower magnetic core, which has not been considered in the prior art, and In view of the above, it is an object of the present invention to provide a magnetic disk device in which the S / N ratio is increased with the increase in recording density and the off-track characteristics are improved.
本発明の目的は、特にトラツク密度が1インチ当り18
00トラツク以上である磁気デイスク装置に用いられる薄
膜磁気ヘツドの、記録媒体に対向している面に露出して
いる磁気コア形状が具備する条件を明らかにし、かかる
薄膜磁気ヘツドを搭載した磁気デイスク装置を提供する
ことにある。It is an object of the present invention to achieve a track density of 18
Clarify the conditions of the thin-film magnetic head used for the magnetic disk device having a track length of 00 or more and the shape of the magnetic core exposed on the surface facing the recording medium, and provide a magnetic disk device equipped with such a thin-film magnetic head. Is to provide.
本発明の他の目的は、トラツク密度が1インチ当り18
00トラツク以上である磁気デイスク装置に用いられる薄
膜磁気ヘツド及び磁気デイスクが具備する構成を明らか
にし、かかる薄膜磁気ヘツド及び磁気デイスクを提供す
ることにある。Another object of the invention is to provide a track density of 18 / inch.
It is an object of the present invention to clarify a thin-film magnetic head and a configuration provided in a magnetic disk used for a magnetic disk device having a track or more, and to provide such a thin-film magnetic head and a magnetic disk.
更に本発明の他の目的は、トラツク密度が1インチ当
り1800トラツク以上である磁気デイスク装置を用いた磁
気デイスク装置を提供することにある。Still another object of the present invention is to provide a magnetic disk device using a magnetic disk device having a track density of 1800 or more tracks per inch.
更に本発明の他の目的は、かかる磁気デイスク装置に
おける情報の記録再生方法を提供することにある。It is still another object of the present invention to provide a method for recording and reproducing information in such a magnetic disk device.
本発明の磁気デイスク装置は、情報を記録する磁気デ
イスクと、磁気デイスクに対して情報の書き込み及び読
み出しを行う薄膜磁気ヘツドと、磁気デイスクを回転さ
せる手段と、薄膜磁気ヘツドの位置決め手段とを有す
る。The magnetic disk device of the present invention has a magnetic disk for recording information, a thin-film magnetic head for writing and reading information to and from the magnetic disk, a means for rotating the magnetic disk, and a means for positioning the thin-film magnetic head. .
第9図に、磁気デイスク装置に用いられる薄膜磁気ヘ
ツドの、記録媒体に対向している面に露出している磁気
コア及び磁気ギヤツプ部分の拡大図の一例を示す。FIG. 9 shows an example of an enlarged view of the magnetic core and the magnetic gap portion of the thin-film magnetic head used in the magnetic disk device, which are exposed on the surface facing the recording medium.
上部磁気コア21の磁気ギヤツプ22を臨む辺の長さをCW
U(μm)とおき、下部磁気コア23の磁気ギヤツプ22を
臨む辺の長さをCWD(μm)とおく。The length of the side of the upper magnetic core 21 facing the magnetic gap 22 is CW
U (μm), and the length of the side of the lower magnetic core 23 facing the magnetic gap 22 is CWD (μm).
本発明は、磁気デイスクのトラツク密度(Tr)が1800
(トラツク/インチ)以上の条件でCWUとCWDとの差(Δ
CW)が、 0<ΔCW≦5000/Tr(μm) 好ましくは0.2≦ΔCW≦5000/Tr(μm) の関係を満足することにある。In the present invention, the track density (Tr) of the magnetic disk is 1800.
(Track / inch) The difference between CWU and CWD (Δ
CW) is such that 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr (μm), preferably 0.2 ≦ ΔCW ≦ 5000 / Tr (μm).
更に、CWU又はCWDの何れか長い方が磁気デイスクのト
ラツクピツチより短くトラツク幅より長いことにある。Further, the longer one of CWU and CWD is shorter than the track pitch of the magnetic disk and longer than the track width.
ここで、磁気デイスクのトラツクピツチとトラツク幅
との関係を、仮りにCWUを短くした場合について第10図
に示す。FIG. 10 shows the relationship between the track pitch and the track width of the magnetic disk in the case where the CWU is shortened.
トラツク幅50とは、磁気デイスクに対して情報が記録
されている幅をいい、CWU又はCWDのいずれか短い方の幅
が決定される。The track width 50 refers to the width in which information is recorded on the magnetic disk, and the shorter width of CWU or CWD is determined.
また、磁気デイスクのトラツクピツチ51とは、トラツ
ク幅50にガイドバンド55を加えた幅であり、隣接する情
報が重ならないように設けられた保護帯である。The track pitch 51 of the magnetic disk is a width obtained by adding the guide band 55 to the track width 50, and is a protection band provided so that adjacent information does not overlap.
なお、符号52は上部磁気コアを、符号53は下部磁気コ
アを、符号54は磁気ギヤツプ部分をそれぞれ示す。Reference numeral 52 denotes an upper magnetic core, reference numeral 53 denotes a lower magnetic core, and reference numeral 54 denotes a magnetic gap.
これにより、S/N比を高く、かつ、オフトラツク特性
を良好にできることを見出した。As a result, it has been found that the S / N ratio can be increased and the off-track characteristics can be improved.
つまり、本発明はトラツク密度の高密度化に対応して
S/N比を高くし、かつ、オフトラツク特性を良好にする
ためには、トラツク密度に対応して磁気コアの形状を高
精度に制御することが必要であるとの着想に基づいてい
る。In other words, the present invention responds to the increase in track density.
Based on the idea that in order to increase the S / N ratio and improve the off-track characteristics, it is necessary to control the shape of the magnetic core with high accuracy in accordance with the track density.
前記関係式を満足するΔCWの最適範囲は、磁気デイス
クのトラツク密度が1800(トラツク/インチ)未満の場
合でも成立する。The optimum range of ΔCW satisfying the above relational expression is satisfied even when the track density of the magnetic disk is less than 1800 (track / inch).
トラツク密度が低い場合は、磁気デイスク装置のS/N
比はΔCW以外の要因による影響が大きいため、実質的に
ΔCWの値を規定する必要がなかつた。If the track density is low, the S / N of the magnetic disk
Since the ratio is greatly affected by factors other than ΔCW, it is not necessary to substantially define the value of ΔCW.
しかし、トラツク密度が1800(トラツク/インチ)以
上の場合は、ΔCWの値が磁気デイスク装置のS/N比に対
して大きな影響を与えることを見出した。However, it has been found that when the track density is 1800 (track / inch) or more, the value of ΔCW greatly affects the S / N ratio of the magnetic disk device.
つまり、トラツク密度が1800(トラツク/インチ)以
上のような高記録密度の磁気デイスク装置では、磁気デ
イスクのトラツクピツチは約14μm程度になる。That is, in a magnetic disk device having a high recording density such as a track density of 1800 (track / inch) or more, the track pitch of the magnetic disk is about 14 μm.
これに対応して、情報を記録する薄膜磁気ヘツドの磁
気デイスクに対向している面に露出している磁気コア形
状も小さくなる。Correspondingly, the shape of the magnetic core exposed on the surface of the thin-film magnetic head for recording information that faces the magnetic disk also becomes smaller.
こうしないと隣接する情報を読んでしまい、S/N比が
悪くなり、精度よく情報を再生することができなくな
る。Otherwise, the adjacent information will be read, the S / N ratio will deteriorate, and the information cannot be reproduced with high accuracy.
更に、情報の書き込みの重要な要因であるCWU又はCWD
の小さい方の幅は、トラツク幅となり、ガイドバンドを
考慮すると磁気デイスクのトラツクピツチより更に小さ
くならざるをえない。In addition, CWU or CWD, which is an important factor in writing information,
Is smaller than the track pitch of the magnetic disk in consideration of the guide band.
しかし、磁気コアは、製造工程を考慮すると小さくす
ることができず、また小さすぎると有効な情報を読み出
すことができない。However, the magnetic core cannot be made small in consideration of the manufacturing process, and if it is too small, effective information cannot be read.
こうした状況下において、磁気コアの形状,寸法は重
要であり、磁気デイスク装置の位置決め精度を考慮する
と、CWUとCWDとの差をゼロにするよりはむしろ差を設け
て、そこに発生するにじみ出す磁界を有効に利用すべき
であることを見出した。Under these circumstances, the shape and dimensions of the magnetic core are important, and in consideration of the positioning accuracy of the magnetic disk device, the difference between CWU and CWD is made rather than zero, and bleeding occurs there. It has been found that the magnetic field should be used effectively.
にじみ出し磁界を制御するには、CWU及びCWDを厳密に
規定する必要があり、CWUとCWDとの差に生じたにじみ出
す磁界を情報の読み出しに用い、広く情報を読み出しオ
フトラツク特性を向上させる。In order to control the oozing magnetic field, it is necessary to strictly define the CWU and CWD. The oozing magnetic field generated by the difference between CWU and CWD is used for reading information, and information is widely read to improve off-track characteristics.
また、本発明の効果は、磁気コア部分の左右端部にお
ける磁界のにじみ出しによつて得られるものであるか
ら、上部磁気コアの磁気ギヤツプを臨む辺の長さ(CW
U)と下部磁気コアの磁気ギヤツプを臨む辺の長さ(CW
D)との左右端部におけるそれぞれの差(ΔCW′)が磁
気コアの左右端部のいずれにおいても、 0<ΔCW′≦2500/Tr(μm) 好ましくは0.1≦ΔCW′≦2500/Tr(μm) の関係を満足する。Further, since the effect of the present invention is obtained by oozing out the magnetic field at the left and right ends of the magnetic core portion, the length of the side of the upper magnetic core facing the magnetic gap (CW
U) and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CW
The difference (ΔCW ′) between the left and right ends of the magnetic core is 0 <ΔCW ′ ≦ 2500 / Tr (μm), preferably 0.1 ≦ ΔCW ′ ≦ 2500 / Tr (μm). Satisfies the relationship.
これにより、前述の場合と同様に、S/N比を高くし、
かつ、オフトラツク特性を良好にできることを見出し
た。As a result, as in the case described above, the S / N ratio is increased,
In addition, they have found that off-track characteristics can be improved.
更に、実際の製造工程を考慮すると、ΔCWの下限値は
0.2μmであり、ΔCW′の下限値は0.1μmであることが
望ましい。Furthermore, considering the actual manufacturing process, the lower limit of ΔCW is
Preferably, the lower limit of ΔCW ′ is 0.1 μm.
また、磁気コアの左右端部における磁界のにじみを均
一に保ち、オフトラツク特性を良好にするためには、上
部磁気コアが下部磁気コアの書き込み及び読み出し方向
における中心対称軸に対して略対称に配置されているこ
とが望ましいことを見出した。Also, in order to keep the bleeding of the magnetic field at the left and right ends of the magnetic core uniform and to improve the off-track characteristics, the upper magnetic core is arranged substantially symmetrically with respect to the central symmetry axis in the writing and reading directions of the lower magnetic core. It is found that it is desirable to be.
一方、磁気デイスク装置の記録密度を高くするために
は、トラツク密度のみでなく、線記録密度をも高める必
要がある。On the other hand, in order to increase the recording density of the magnetic disk device, it is necessary to increase not only the track density but also the linear recording density.
線記録密度が高くなるとS/N比は低下するため、本発
明により規定したΔCW又はΔCW′の値の制御はより重要
になつてくる。Since the S / N ratio decreases as the linear recording density increases, the control of the value of ΔCW or ΔCW ′ specified by the present invention becomes more important.
そこで、検討の結果、線記録密度が1インチ当り30キ
ロビツト以上にすることが望ましい。Therefore, as a result of the study, it is desirable that the linear recording density be 30 kilobits per inch or more.
更に、面記録密度についても同様に検討の結果、面記
録密度が1平方インチ当り54メガビツト以上にすること
が望ましい。Further, as a result of a similar study on the areal recording density, it is desirable that the areal recording density be 54 megabits per square inch or more.
以上述べたように、上部磁気コアの磁気ギヤツプを臨
む辺の長さと下部磁気コアの磁気ギヤツプを臨む辺の長
さとの差を高精度に制御し、最適範囲内に設定すること
により、磁気デイスク装置の高記録密度が可能となり、
S/N比を高くしかつオフトラツク特性を良好にすること
ができる。As described above, the difference between the length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core is controlled with high precision, and is set within an optimum range, so that the magnetic disk can be set. High recording density of the device becomes possible,
The S / N ratio can be increased and the off-track characteristics can be improved.
本発明における薄膜磁気ヘッドの前記磁気ディスクと
の対向面に露出している上部磁気コアが、前記下部磁気
コアと略平行な中心部と、前記下部磁気コアから離れる
方向に延長している左右端部とを有すること、前記薄膜
磁気ヘッドの前記磁気ディスクとの対向面に露出してい
る前記上部磁気コアが、前記下部磁気コアと略平行な中
心部と、前記下部磁気コアから離れる方向に延長してい
る左右端部とを有すること、前記薄膜磁気ヘッドの前記
磁気ディスクとの対向面に露出している上部磁気コアお
よび下部コアが、磁気コアの書き込み及び読み出し方向
における中心対称軸に対して略対称に配置されているこ
と、前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気ディスクとの対向面
に露出している上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の
長さが、前記下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長
さより短いことが好ましい。An upper magnetic core of the thin-film magnetic head according to the present invention, which is exposed on a surface facing the magnetic disk, has a central portion substantially parallel to the lower magnetic core, and left and right ends extending in a direction away from the lower magnetic core. The upper magnetic core exposed on the surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk has a central portion substantially parallel to the lower magnetic core, and extends in a direction away from the lower magnetic core. Upper and lower cores exposed on the surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk, with respect to the central symmetry axis in the write and read directions of the magnetic core. The length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core exposed on the surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk is substantially symmetrical. It is preferably shorter than the length of the side facing the magnetic gap of the core.
また、本発明における磁気ディスクが、1インチ当り
30キロビット以上の線記録密度を有すること、前記磁気
ディスクが、該磁気ディスク表面に保磁力が600エルス
テッド以上でかつ厚さが0.35μm以下である磁性体を有
することが好ましい。In addition, the magnetic disk according to the present invention
Preferably, the magnetic disk has a linear recording density of 30 kilobits or more, and the magnetic disk has a magnetic material having a coercive force of 600 Oe or more and a thickness of 0.35 μm or less on the surface of the magnetic disk.
一方、磁気コアの辺の長さのみではなく、磁気コア側
端部の角度のちがいによつても、磁界のにじみ出し方が
変化するので、これについても検討を行つた。On the other hand, not only the length of the side of the magnetic core but also the angle of the end portion on the side of the magnetic core changes the manner of bleeding of the magnetic field.
その結果、有効な磁界のにじみ出し領域を形成させる
ためには、上記磁気コアが磁気ギヤツプを臨む辺の長さ
(CWU)又は下部磁気コアが磁気ギヤツプを臨む辺の長
さ(CWD)の何れか短い方の磁気コアについて、磁気コ
アの側端部と磁気コアの磁気ギヤツプを臨む辺とのなす
角(θS)上部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さ
(CWU)又は下部磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長
さ(CWD)のいずれか長い方の磁気コアについて、該磁
気コアの側端辺と該磁気コアの磁気ギャップを臨む辺と
のなす角度(θL)を、 45゜≦θS≦150゜ の範囲内に制御することが望ましい。As a result, in order to form an effective magnetic field oozing area, the length of the side where the magnetic core faces the magnetic gap (CWU) or the length of the side where the lower magnetic core faces the magnetic gap (CWD) is determined. For the shorter magnetic core, the angle (θ S ) between the side end of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap (θ S ) Length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core (CWU) or lower magnetic core The angle (θ L ) between the side end of the magnetic core facing the magnetic gap and the side of the magnetic core facing the magnetic gap, whichever is the longer of the length of the side facing the magnetic gap (CWD), is 45 It is desirable to control within the range of {≦ θ S ≦ 150}.
θS<45゜では、磁気コア端部が磁気飽和状態にな
り、書き込み又は読み出し時の雑音が増加し有効な磁界
が得られない。When θ S <45 °, the end of the magnetic core is in a magnetically saturated state, the noise at the time of writing or reading increases, and an effective magnetic field cannot be obtained.
また、θS>150゜では、実質的にトラツク幅が大き
くなり、やはり有効な磁界が得られない。If θ S > 150 °, the track width becomes substantially large, and an effective magnetic field cannot be obtained.
一方、有効な磁界のにじみ出し領域を形成させるため
に、CWU又はCWDの何れか長い方の磁気コアについて、磁
気コアの側端辺と磁気コアの磁気ギヤツプを臨む辺との
なす角(θL)を、 91゜≦θL≦150゜ の範囲内に制御することが望ましい。On the other hand, in order to form an effective magnetic field bleeding area, the angle (θ L) between the side edge of the magnetic core and the side of the magnetic core facing the magnetic gap for the longer magnetic core of CWU or CWD. ) Is desirably controlled within the range of 91 ° ≦ θ L ≦ 150 °.
更に、前記のθS及びθLについては、各々の最適範
囲を同時に満足する構造にすれば、一層大きな効果が得
られることを見出した。Furthermore, it has been found that a greater effect can be obtained if the structure is such that the above-mentioned θ S and θ L satisfy the respective optimum ranges simultaneously.
これにより、有効な磁界のにじみ出し領域を形成し、
読み出し時のオフトラツク特性やクロストーク特性を良
好に保つことができる。This forms an effective magnetic field bleed area,
It is possible to maintain good off-track characteristics and crosstalk characteristics during reading.
一方、第9図においては、CWUがCWDより短い場合の磁
気コア形状の例を示し説明したが、CWUがCWDより長い場
合も、本発明の効果は何ら損われることはない。On the other hand, FIG. 9 shows an example of the shape of the magnetic core when the CWU is shorter than the CWD. However, even when the CWU is longer than the CWD, the effect of the present invention is not impaired at all.
しかし、実際の磁気ヘツドの製造工程を考慮するとCW
UがCWDよりも長い場合は、ラツプラウンド状態を避ける
ために、下部磁気コアの側部に下部磁気コアと同じ膜厚
の非磁性平坦化材を設ける必要が生ずる。However, considering the actual magnetic head manufacturing process, CW
When U is longer than CWD, it is necessary to provide a nonmagnetic planarizing material having the same thickness as the lower magnetic core on the side of the lower magnetic core in order to avoid a wraparound state.
この非磁性絶縁材の膜厚を精度よく形成するためめに
は、煩雑な工程が必要であることから、CWU又はCWDより
も短い方が望ましい。In order to accurately form the film thickness of the non-magnetic insulating material, a complicated process is required.
従来の薄膜磁気ヘツドは、上部磁気コアの磁気ギヤツ
プを臨む辺の長さ(CWU)を加工する場合、導体コイル
や絶縁膜によつて形成される高さ約10〜20μmの段差部
分の下部において、上部磁気コアのパターンを形成して
いる。When processing the length of the side (CWU) of the upper magnetic core facing the magnetic gap, the conventional thin-film magnetic head has a lower part of a step portion having a height of about 10 to 20 μm formed by a conductor coil and an insulating film. And a pattern of the upper magnetic core.
このようなパターン形成法を用いてCWUの値を下部磁
気コアの磁気ギヤツプを臨む辺の長さ(CWD)の値に対
して制御しても、本発明の効果は得られるが、実際の製
造工程を考慮すると、段差部分の下部において磁気コア
の寸法を高精度に加工することは困難が伴う。Even if the value of CWU is controlled with respect to the value of the length of the side facing the magnetic gap (CWD) of the lower magnetic core using such a pattern forming method, the effect of the present invention can be obtained, but the actual manufacturing Considering the process, it is difficult to process the dimensions of the magnetic core with high precision below the step.
そこで、さらにトラツク密度を向上させるために、磁
気コアのトラツク幅の高精度化を容易に実現するための
一例として、第3図に示すような形状の磁気コアを見出
した。Therefore, in order to further improve the track density, a magnetic core having a shape as shown in FIG. 3 has been found as an example for easily realizing a highly accurate track width of the magnetic core.
これは、上部磁気コア31が、下部磁気コア33の磁気ギ
ヤツプ32を臨む辺(CWD)よりもΔCWだけ短い辺(CWU)
を有している中心部(図中で示す)と、その中心部に
比べて下部磁気コアから離れる方向に延長している両端
部(図中で示す)とから成つていることを特徴として
いる。This is because the upper magnetic core 31 has a side (CWU) shorter by ΔCW than the side (CWD) of the lower magnetic core 33 facing the magnetic gap 32.
, And two end portions (shown in the figure) extending in a direction away from the lower magnetic core as compared with the center portion. .
更に第3図に示した形状の薄膜磁気ヘツドの製造方法
を示す。Further, a method of manufacturing a thin-film magnetic head having the shape shown in FIG. 3 will be described.
下部磁気コアを作成した後、下部磁気コアの側部及び
上両端部に非磁性絶縁層を堆積し、下部磁気コア上部に
溝を形成する。After forming the lower magnetic core, a non-magnetic insulating layer is deposited on the side and upper ends of the lower magnetic core, and a groove is formed above the lower magnetic core.
その後、磁気ギヤツプ膜を形成し、上部磁気コアを堆
積する。Thereafter, a magnetic gap film is formed, and an upper magnetic core is deposited.
これにより第3図に示した形状の薄膜磁気ヘツドにお
いては、前記磁気コアのトラツク幅はCWUの値で決まる
ため、段差の小さい状態で高精度CWU寸法を加工制御す
ることができる。Thus, in the thin-film magnetic head having the shape shown in FIG. 3, the track width of the magnetic core is determined by the value of CWU, so that it is possible to control the processing of the high-precision CWU dimension with a small step.
検討の結果、第3図に示した形状の薄膜磁気ヘツドに
おいても、第9図に示した形状の薄膜磁気ヘツドに対し
て述べたのと同様に、1800(トラツク/インチ)以上の
トラツク密度を有する磁気デイスク装置に対しては、 0<ΔCW≦5000/Tr(μm) の式を満足するようにΔCWの値を定める必要があること
を見出した。As a result of the study, the thin film magnetic head having the shape shown in FIG. 3 has a track density of 1800 (track / inch) or more, as described for the thin film magnetic head having the shape shown in FIG. It has been found that the value of ΔCW needs to be determined so as to satisfy the following expression: 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr (μm).
また、上部磁気コア31の中心部と下部磁気コア33と
の左右端部におけるそれぞれの差(ΔCW′)に関して
も、 0<ΔCW′≦2500/Tr(μm) の式を満足することが望ましいことを見出した。Further, it is preferable that the difference (ΔCW ′) between the center of the upper magnetic core 31 and the left and right ends of the lower magnetic core 33 satisfies the following expression: 0 <ΔCW ′ ≦ 2500 / Tr (μm) Was found.
更に、実際の製造工程を考慮すると、ΔCWの下限値は
0.2μmであり、ΔCW′の下限値は0.1μmであることが
望ましい。Furthermore, considering the actual manufacturing process, the lower limit of ΔCW is
Preferably, the lower limit of ΔCW ′ is 0.1 μm.
また、上部磁気コア31と下部磁気コア33とを書き込み
及び読み出し方向における同一の軸に対して略対称に配
置するのが望ましいこと、線記録密度が1インチ当り30
キロビツト以上及び面記録密度が1平方インチ当り54メ
ガビツト以上にすることが望ましいこと、及び上部磁気
コアの側端部角度(第3図中θSで示す)と下部磁気コ
アの側端部角度(第3図中θLで示す)とについては、
それぞれ 45゜≦θS≦150゜ 91゜≦θL≦150゜ を満たすことが望ましいことを同様に見出した。Further, it is desirable that the upper magnetic core 31 and the lower magnetic core 33 be disposed substantially symmetrically with respect to the same axis in the writing and reading directions.
It is desirable to Kirobitsuto more and areal recording density is 54 Megabitsuto or more per square inch and side edge angle of the upper magnetic core (Fig. 3 in indicated by theta S) and the side end portion angle of the lower magnetic core ( (Indicated by θ L in FIG. 3)
It has also been found that it is preferable to satisfy 45 ° ≦ θ S ≦ 150 ° and 91 ° ≦ θ L ≦ 150 °, respectively.
即ち述べたような高記録密度化を達成するためには、
磁気デイスク上の記録媒体となる磁性体の保磁力を大き
くし、かつ、膜厚を薄くする必要がある。That is, in order to achieve the high recording density described above,
It is necessary to increase the coercive force of the magnetic material serving as the recording medium on the magnetic disk and to reduce the film thickness.
本発明の効果を達成するためには、保磁力600エルス
テツド以上、かつ、膜厚0.35μm以下の磁性体を用いる
ことが望ましい。In order to achieve the effects of the present invention, it is desirable to use a magnetic material having a coercive force of at least 600 Oe and a film thickness of at most 0.35 μm.
また、磁気コアから有効な磁界を充分大きく発生させ
るために、飽和磁束密度が1テスラ以上の単層膜又は1
層以上の非磁性膜を介在した多層膜から成る磁気コアを
用いることが望ましく、導体コイルのターン数を18ター
ン以上とすることが望ましい。In order to generate a sufficiently large effective magnetic field from the magnetic core, a single-layer film or a single-layer film having a saturation magnetic flux density of 1 Tesla or more is used.
It is desirable to use a magnetic core composed of a multilayer film having at least two non-magnetic films interposed, and it is desirable that the number of turns of the conductor coil be 18 turns or more.
また、磁気デイスクに対する読み出し及び書き込み効
率を高めて、高記録密度化を達成するためには、磁気ヘ
ツドの浮上量を小さくする必要があり、本発明において
は0.25μm以下とすることが望ましい。In order to increase the read / write efficiency of the magnetic disk and achieve a higher recording density, it is necessary to reduce the flying height of the magnetic head. In the present invention, it is desirable that the flying height is 0.25 μm or less.
本発明で述べた薄膜磁気ヘツドは、上部磁気コアと下
部磁気コアとの幅の差を最適化することにより、書き込
み磁界のにじみ出しと読み出し時におけるノイズの小さ
い領域との最適な組合せを達成して、磁気デイスク装置
のS/N比を高め、オフトラツク特性を良好にするところ
にある。The thin-film magnetic head described in the present invention achieves the optimum combination of the bleeding of the write magnetic field and the area of low noise at the time of reading by optimizing the difference in width between the upper magnetic core and the lower magnetic core. Therefore, the S / N ratio of the magnetic disk device is increased to improve the off-track characteristics.
したがつて、この薄膜磁気ヘツドが情報の書き込み及
び読み出しを同一のヘツドで行なうインダクテイブタイ
プである場合により本発明の効果が大きい。Therefore, the effect of the present invention is greater when the thin-film magnetic head is an inductive type in which writing and reading of information are performed by the same head.
しかし、例えば、書き込みをインダクテイブタイプで
行ない、読み出しを磁気抵抗効果を用いたMRタイプで行
なうような複合タイプの薄膜磁気ヘツドに関する場合で
も、少なくとも書き込み用に用いる薄膜磁気ヘツドに対
して本発明を適用すれば、本発明の効果が達成される。However, for example, even in the case of a composite type thin film magnetic head in which writing is performed by an inductive type and reading is performed by an MR type using a magnetoresistive effect, the present invention is applied to at least the thin film magnetic head used for writing. By applying, the effect of the present invention is achieved.
本発明は、薄膜磁気ヘツドの磁気コア形状とそれを用
いた磁気デイスク装置の記録密度との関係に起因するも
のであるから、薄膜磁気ヘツドの製造方法に関して制限
を加えるものではない。The present invention is based on the relationship between the shape of the magnetic core of the thin-film magnetic head and the recording density of a magnetic disk device using the same, and therefore does not limit the method of manufacturing the thin-film magnetic head.
しかし、高精度に磁気コア端部位置を決定するための
パターン形成方法としては、スパツタリング法で作製し
た磁性材料をドライ又はウエツトエツチングしてパター
ンを形成する方法を用いることが望ましく、又は、ホト
レジストをマスク材として選択めつき法を用いてパター
ンを形成する方法を用いることが望ましい。However, as a pattern forming method for determining the end position of the magnetic core with high accuracy, it is desirable to use a method of forming a pattern by dry or wet etching a magnetic material produced by a sputtering method, or a photoresist. It is preferable to use a method of forming a pattern by using a selective plating method with a mask material.
更に、こうした磁気デイスク装置に使用する薄膜磁気
ヘツドについても、ΔCWが 0<ΔCW≦5000/Tr (Trは磁気デイスクのトラツク密度を示す。) の関係を満たすことが必要である。Further, the thin-film magnetic head used in such a magnetic disk device also needs to satisfy the relationship of ΔCW of 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr (Tr indicates the track density of the magnetic disk).
また、こうした磁気デイスク装置を使用する記録シス
テムについては、上位装置としてコンピユータシステム
等と接続し、記憶容量の大きいシステムができる。Further, a recording system using such a magnetic disk device can be connected to a computer system or the like as a higher-level device, and a system having a large storage capacity can be obtained.
本発明における薄膜磁気ヘツドは、前記下部磁気コア
の側部及び上両端部に非磁性絶縁層を有し、該非磁性絶
縁層により形成された前記下部磁気コアにおける溝の底
部で最も磁気ギャップの短い部分を形成することが好ま
しい。The thin-film magnetic head according to the present invention has a non-magnetic insulating layer on both sides and upper ends of the lower magnetic core, and has the shortest magnetic gap at the bottom of the groove in the lower magnetic core formed by the non-magnetic insulating layer. It is preferred to form a part.
本発明は、トラツク密度が1インチ当り1800トラツク
以上である磁気デイスクを有する高記録密度の磁気デイ
スク装置に対して用いる薄膜磁気ヘツドの、記録媒体に
対向している面に露出している磁気コアの形状が具備す
べき要件を明らかにしたものである。The present invention relates to a magnetic core exposed on a surface facing a recording medium of a thin-film magnetic head used for a high recording density magnetic disk apparatus having a magnetic disk having a track density of 1800 tracks or more per inch. This clarifies the requirements that the shape should have.
すなわち、上部磁気コアの磁気ギヤツプを臨む辺の長
さ(以下「CWU」とする)と下部磁気コアの磁気ギヤツ
プを臨む辺の長さ(以下「CWD」とする)との差を磁気
デイスク装置の有する磁気デイスクのトラツク密度に対
応して、最適化することにより、高記録密度に対して、
S/N比を高めオフトラツク特性を良好にしたものであ
る。That is, the difference between the length of the upper magnetic core facing the magnetic gap (hereinafter referred to as “CWU”) and the length of the lower magnetic core facing the magnetic gap (hereinafter referred to as “CWD”) is determined by the magnetic disk device. By optimizing according to the track density of the magnetic disk possessed by, for high recording density,
The S / N ratio is increased to improve the off-track characteristics.
本発明者らは、記録媒体対向面において第4図に示し
たような形状の磁気コアを有する薄膜磁気ヘツドを用い
て、磁気コアから発生する磁界の大きさを検討した。The present inventors studied the magnitude of the magnetic field generated from the magnetic core by using a thin-film magnetic head having a magnetic core having a shape as shown in FIG.
その結果、第4図(1)に示したように磁気ギヤツプ
の延長線上、つまり図中のZ方向で、記録媒体対向面に
垂直な方向に薄膜磁気ヘツドの浮上量(第4図(2))
だけ離れた点の、記録媒体長手方向の磁界強さは、磁気
ギヤツプの延長線上Z方向の距離が大きくなるに従つて
減少することを見出した。As a result, as shown in FIG. 4 (1), the flying height of the thin-film magnetic head is on an extension of the magnetic gap, that is, in the Z direction in the figure, in a direction perpendicular to the recording medium facing surface (FIG. 4 (2)). )
It has been found that the magnetic field strength in the longitudinal direction of the recording medium at a point farther away decreases as the distance in the Z direction on the extension of the magnetic gap increases.
また、CWUとCWDとの差(以下「ΔCW」とする)が大き
くなると、ある一定の磁界の強さHaが得られるZ方向の
距離W0,W1,W2は増加するが次第にW200に近づくことを第
4図(3)より見出した。When the difference between CWU and CWD (hereinafter referred to as “ΔCW”) increases, the distances W 0 , W 1 , and W 2 in the Z direction at which a certain magnetic field strength Ha is obtained increase, but gradually increase by W. It was found from FIG. 4 (3) that it approached 200 .
この添字0,1,2,200はΔCWの値を示し、これにより、
ΔCWの差が大きくなつても、にじみ出す磁界には限界が
あることがわかる。The subscripts 0, 1, 2, and 200 indicate the value of ΔCW, and
It can be seen that there is a limit to the oozing magnetic field even if the difference in ΔCW is large.
この距離W0,W1,W200の値は、それぞれ磁気コアから発
生する磁界のにじみ出し幅に相当している。The values of the distances W 0 , W 1 , and W 200 correspond to the oozing width of the magnetic field generated from the magnetic core, respectively.
したがつて、ΔCWの値に対する磁界のにじみ出し幅の
関係が求められ、これに応じて、一定のトラツク幅の薄
膜磁気ヘツドを用いた場合の信号強度とΔCWとの関係が
求められる。Accordingly, the relationship between the value of ΔCW and the bleeding width of the magnetic field is determined, and accordingly, the relationship between the signal intensity and ΔCW when a thin film magnetic head having a constant track width is used is determined.
この結果を第5図の曲線Sに示す。 The result is shown as a curve S in FIG.
一方、読み出し時の雑音強度について検討した結果、
ΔCWの値が増加するに従つて、隣接するトラツクからの
クロストーク雑音及びオフトラツク雑音が増加し、第5
図の曲線Nに示す関係を有する。On the other hand, as a result of examining the noise intensity at the time of reading,
As the value of ΔCW increases, crosstalk noise and off-track noise from adjacent tracks increase, and the fifth
It has the relationship shown in the curve N in the figure.
したがつて、磁気デイスク装置の性能を表わす信号雑
音比(S/N比)とΔCWとの関係は第6図に示したように
なり、 0<ΔCW<ΔCWlim の範囲では、ΔCW=0の場合に比べてS/N比を高くでき
ることを見出した。Accordingly, the relationship between the signal-to-noise ratio (S / N ratio) representing the performance of the magnetic disk device and ΔCW is as shown in FIG. 6, and in the range of 0 <ΔCW <ΔCW lim , ΔCW = 0. It has been found that the S / N ratio can be increased as compared with the case.
更に、磁気デイスクのトラツク密度を大きくすると、
第6図に併せて示したように、S/N比が低下し、かつ、
ΔCWlimの値もΔCWlim′まで減少することを見出した。Furthermore, when the track density of the magnetic disk is increased,
As also shown in FIG. 6, the S / N ratio decreased, and
The value of ΔCW lim was also found to be reduced to ΔCW lim '.
そこで磁気デイスクのトラツク密度(Tr)とΔCWlim
との関係について検討した結果、第7図に示したよう
に、トラツク密度の逆数(1/Tr)に対してΔCWlimの値
はほぼ比例関係にあり、比例係数はほぼ5000となつた。Therefore, the track density (Tr) of the magnetic disk and ΔCW lim
As a result, as shown in FIG. 7, the value of ΔCW lim was almost proportional to the reciprocal of the track density (1 / Tr), and the proportional coefficient was almost 5,000.
また、ΔCWlimの値を左右端部について考慮し、CWUと
CWDとの左右端部におけるそれぞれの差(以下「ΔC
W′」とすると)とトラツク密度の逆数(1/Tr)との関
係を検討すると、比例関数はほぼ2500となることを見出
した。Also, considering the value of ΔCW lim for the left and right ends, CWU and
Each difference at the left and right ends from CWD (hereinafter “ΔC
Examining the relationship between W ′ ”) and the reciprocal of the track density (1 / Tr), we found that the proportional function was approximately 2500.
したがつて、磁気デイスクのトラツク密度が、1イン
チ当り1800トラツク以上の高記録密度の磁気デイスク装
置においては、 0<ΔCW≦5000/Tr 又は 0<ΔCW′≦2500/Tr の要件を満たすことにより、ΔCW=0又はΔCW′=0の
場合よりもS/N比を高くできると考えられる。Therefore, in a magnetic disk device having a high recording density of 1800 or more tracks per inch, the magnetic disk must satisfy the condition of 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr or 0 <ΔCW ′ ≦ 2500 / Tr. , ΔCW = 0 or ΔCW ′ = 0, it is considered that the S / N ratio can be increased.
第1図は本発明の一実施例を示す磁気デイスク装置の
概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a magnetic disk device showing one embodiment of the present invention.
磁気デイスク装置は、第1図に示す符号1〜8の構成
要素及びボイスコイルモータ制御回路を有する。The magnetic disk device has components indicated by reference numerals 1 to 8 shown in FIG. 1 and a voice coil motor control circuit.
符号1はベース,符号2はスピンドルである。 Reference numeral 1 denotes a base, and reference numeral 2 denotes a spindle.
一つのスピンドルに図のように複数枚の円板状の磁気
デイスク4が取り付けられる。A plurality of disk-shaped magnetic disks 4 are attached to one spindle as shown in the figure.
第1図では、1つのスピンドルに五枚の磁気デイスク
を設けた例が示されているが、五枚に限るものではな
い。FIG. 1 shows an example in which five magnetic disks are provided on one spindle, but the number is not limited to five.
また、このように一つのスピンドルに複数枚の磁気デ
イスクを設けたものを複数個設置してもよい。Further, a plurality of magnetic disks provided with a plurality of magnetic disks on one spindle may be provided.
符号3はスピンドル2を駆動し、磁気デイスクを回転
するためのモータである。Reference numeral 3 denotes a motor for driving the spindle 2 and rotating the magnetic disk.
符号5はデータ用磁気ヘツドを示し、符号5aは位置決
め用磁気ヘツドを示している。Reference numeral 5 denotes a magnetic head for data, and reference numeral 5a denotes a magnetic head for positioning.
符号6はキヤリツジ、符号7はボイスコイル、符号8
はマグネツトである。Reference numeral 6 denotes a carriage, reference numeral 7 denotes a voice coil, reference numeral 8
Is a magnet.
ボイスコイル7とマグネツト8によりボイスコイルモ
ータが構成される。The voice coil motor is constituted by the voice coil 7 and the magnet 8.
そして符号6,符号7,符号8の要素によりヘツドの位置
決めがなされる。The head is positioned by the elements denoted by reference numerals 6, 7, and 8.
ボイスコイル7と磁気ヘツド5及び5aとは、ボイスコ
イルモータ制御回路を介して接続されている。The voice coil 7 and the magnetic heads 5 and 5a are connected via a voice coil motor control circuit.
第1図において、上位装置とは、たとえばコンピユー
タシステムを示す。In FIG. 1, the host device indicates, for example, a computer system.
第2図は、第1図における薄膜磁気ヘツド5の磁気デ
イスク7に対向している面に露出している磁気コアの拡
大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a magnetic core exposed on the surface of the thin-film magnetic head 5 facing the magnetic disk 7 in FIG.
更に、第11図に薄膜磁気ヘツドの構成図を示す。 FIG. 11 shows a configuration diagram of the thin-film magnetic head.
符号1は基板を、符号2は平坦面を形成するための下
地膜を示す。Reference numeral 1 denotes a substrate, and reference numeral 2 denotes a base film for forming a flat surface.
下地膜2上に磁性材料より成る下部磁気コア3及び磁
気ギヤツプGを構成する絶縁膜6を介して上部磁気コア
4が堆積される。An upper magnetic core 4 is deposited on a base film 2 via a lower magnetic core 3 made of a magnetic material and an insulating film 6 constituting a magnetic gap G.
絶縁膜6の内部には、導体コイル5が形成され電気的
に磁界を誘起している。A conductor coil 5 is formed inside the insulating film 6 to electrically induce a magnetic field.
符号7は、保護膜を示し、上部磁気コア4上に堆積さ
れている。Reference numeral 7 denotes a protective film, which is deposited on the upper magnetic core 4.
第2図に示す磁気コアは第11図中の斜線部分を示して
いる。The magnetic core shown in FIG. 2 shows a hatched portion in FIG.
第2図は、本発明を適用したトラツク密度が、1イン
チ当り2500トラツクである磁気デイスク装置に用いた薄
膜磁気ヘツドの記録媒体対向面に露出している部分の磁
気コア形状を表している。FIG. 2 shows the shape of the magnetic core of the portion of the thin film magnetic head exposed to the recording medium facing surface used in a magnetic disk device having a track density of 2500 tracks per inch to which the present invention is applied.
第2図(a)は、磁気コアとしてマグネトロンスパツ
タリング法で作製した磁性材料を用い、これをイオンビ
ームエツチング法でパターン形成して作製した薄膜磁気
ヘツド磁気デイスクに対向している面に露出している部
分の磁気コアの形状を表している。FIG. 2 (a) shows a magnetic core made of a magnetron sputtering method as a magnetic core and exposed on a surface facing a thin-film magnetic head magnetic disk made by patterning the magnetic material with an ion beam etching method. It shows the shape of the magnetic core in the portion indicated by the dotted line.
第2図における上部磁気コア11の磁気ギヤツプ12を臨
む辺の長さ(CWU)は6.9μmであり、下部磁気コア13の
磁気ギヤツプ12を臨む辺の長さ(CWD)は8.7μmであ
る。In FIG. 2, the length (CWU) of the side of the upper magnetic core 11 facing the magnetic gap 12 is 6.9 μm, and the length of the side of the lower magnetic core 13 facing the magnetic gap 12 (CWD) is 8.7 μm.
また、上部磁気コア11と下部磁気コア13とは、磁気デ
イスク対向面について書き込み及び読み出し方向に対す
る同一の軸に対称となるように配置した。The upper magnetic core 11 and the lower magnetic core 13 are arranged so as to be symmetric about the same axis in the writing and reading directions with respect to the magnetic disk facing surface.
この薄膜磁気ヘツドを用いて、磁気デイスク装置に対
する書き込み及び読み出し特性を検討したところ、CWU
=6.9μm,CWD=9.1μmの磁気ヘツドを用いた場合に比
べてS/N比が4.3%増加した。Using this thin-film magnetic head, we examined the write and read characteristics for a magnetic disk device.
= 6.9 μm, the S / N ratio increased by 4.3% as compared with the case of using a magnetic head with CWD = 9.1 μm.
一方、第2図(b)は、下部磁気コア16としてマグネ
トロンスパツタ法で作製した磁性材料を用い、これをイ
オンビームエツチング法でパターン形成し、上部磁気コ
ア14としてホトレジストをマスク材とした選択めつき法
でパターン形成して作製した薄膜磁気ヘツドの形成を表
している。On the other hand, FIG. 2 (b) shows that the lower magnetic core 16 is made of a magnetic material manufactured by a magnetron sputter method, is patterned by an ion beam etching method, and the upper magnetic core 14 is formed by using a photoresist as a mask material. This figure shows the formation of a thin-film magnetic head formed by pattern formation by the plating method.
上部磁気コア14の磁気ギヤツプ15を臨む辺の長さ(CW
U)は7.0μmであり、下部磁気コア16の磁気ギヤツプ15
を臨む辺の長さ(CWU)は8.6μmである。Length of the side of the upper magnetic core 14 facing the magnetic gap 15 (CW
U) is 7.0 μm, and the magnetic gap 15 of the lower magnetic core 16 is
Is 8.6 μm.
また、磁気コアの左右両端部におけるそれぞれの差は
0.9μm及び0.7μmであつた。The difference between the left and right ends of the magnetic core is
They were 0.9 μm and 0.7 μm.
この薄膜磁気ヘツドを用いて、磁気デイスク装置に対
する書き込み及び読み出し特性を検討したところ、CWU
=7.0μm,CWD=9.5μmの磁気ヘツドを用いた場合に比
べてS/N比が8.6%増加した。Using this thin-film magnetic head, we examined the write and read characteristics for a magnetic disk device.
The S / N ratio was increased by 8.6% as compared with the case of using a magnetic head having a CWD = 7.0 μm and CWD = 9.5 μm.
第8図は、本発明を適用したトラツク密度が、1イン
チ当り3000トラツクである磁気デイスク装置を用いた薄
膜磁気ヘツドの記録媒体対向面に露出している部分の磁
気コア形状を表している。FIG. 8 shows the shape of the magnetic core of the portion of the thin film magnetic head exposed to the recording medium facing surface using a magnetic disk device having a track density of 3000 tracks per inch to which the present invention is applied.
磁気コアとしてマグネトロンスパツタ法で作製した磁
性材料を用い、これをイオンビームエツチング法でパタ
ーン形成して作製した薄膜磁気ヘツドの形状を表してい
る。This figure shows the shape of a thin-film magnetic head produced by using a magnetic material produced by a magnetron sputter method as a magnetic core and forming a pattern by ion beam etching.
また、下部磁気コア83を作製した後、その側部及び上
端部に非磁性絶縁材料84を堆積し、下部磁気コア83上部
に溝85を形成して磁気ギヤツプ膜82を形成した。After the lower magnetic core 83 was manufactured, a nonmagnetic insulating material 84 was deposited on the side and upper ends thereof, and a groove 85 was formed on the lower magnetic core 83 to form a magnetic gap film 82.
この方法を用いることにより、CWU寸法を高精度に制
御することができた。By using this method, the CWU dimensions could be controlled with high accuracy.
上部磁気コア81の磁気ギヤツプを臨む辺の長さ(CW
U)は6.0μmであり、下部磁気コア83の磁気ギヤツプを
臨む辺の長さ(CWD)は7.2μmである。Length of the side of the upper magnetic core 81 facing the magnetic gap (CW
U) is 6.0 μm, and the length (CWD) of the lower magnetic core 83 facing the magnetic gap is 7.2 μm.
この薄膜磁気ヘツドを用いて、磁気デイスク装置に対
する書き込み及び読み出し特性を検討したところ、CWU
=6.0μm,CWD=8.0μmの磁気ヘツドを用いた場合に比
べてS/N比が8.6%増加した。Using this thin-film magnetic head, we examined the write and read characteristics for a magnetic disk device.
The S / N ratio was increased by 8.6% as compared with the case of using a magnetic head having a CWD = 6.0 μm and CWD = 8.0 μm.
本発明によれば、1インチ当り1800トラツク以上のト
ラツク密度を有する磁気デイスク装置に対して、高いS/
N比を示す薄膜磁気ヘツドが達成できるため、記録密度
の大きい磁気デイスク装置が実現できる。According to the present invention, for a magnetic disk device having a track density of 1800 or more tracks per inch, a high S /
Since a thin-film magnetic head exhibiting an N ratio can be achieved, a magnetic disk device having a high recording density can be realized.
さらに、かかる高記録密度の磁気デイスク装置に用い
られる薄膜磁気ヘツドの磁気コア形状など具備すべき要
件を明らかにできた。Further, the requirements to be provided, such as the shape of the magnetic core of the thin-film magnetic head used in such a high-recording-density magnetic disk device, were clarified.
また、かかる高記録密度の磁気デイスク装置に使用さ
れる薄膜磁気ヘツド及び磁気デイスクが明らかにでき
た。Further, a thin-film magnetic head and a magnetic disk used in such a high-recording-density magnetic disk device have been clarified.
【図面の簡単な説明】 第1図は、本発明の磁気デイスク装置の一実施例を示す
概略構成図、第2図,第3図及び第8図は、本発明の一
実施例を示す薄膜磁気ヘツドの磁気デイスク対向面にお
ける磁気コア形状を表わす正面図、第4図は、磁気ギヤ
ツプの延長線方向距離と磁界強さとの関係を表わす特性
図、第5図は、上部磁気コアと下部磁気コアとの差と信
号及び雑音強度との関係を表わす特性図、第6図は、上
部磁気コアと下部磁気コアとの差とS/N比との関係を表
わす特性図、第7図は、トラツク密度の逆数と薄膜磁気
ヘツドの上部磁気コアと下部磁気コアとの差の量限界値
との関係を表わす特性図、第9図は、一般的な薄膜磁気
ヘツドの磁気コア形状を表わす正面図、第10図は、磁気
デイスクにおけるトラツクと薄膜磁気ヘツドとの関係
図、第11図は薄膜磁気ヘツドの構成図である。 11,14……上部磁気コア、12,15……磁気ギヤツプ、13,1
6……下部磁気コア。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of a magnetic disk device according to the present invention, and FIGS. 2, 3 and 8 are thin films showing an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a front view showing the shape of the magnetic core on the surface of the magnetic head facing the magnetic disk, FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the extension distance of the magnetic gap and the magnetic field strength, and FIG. FIG. 6 is a characteristic diagram showing the relationship between the difference between the core and the signal and noise intensity, FIG. 6 is a characteristic diagram showing the relationship between the difference between the upper magnetic core and the lower magnetic core, and the S / N ratio, and FIG. FIG. 9 is a characteristic diagram showing the relationship between the reciprocal of the track density and the limit value of the difference between the upper magnetic core and the lower magnetic core of the thin-film magnetic head. FIG. Fig. 10 shows the relationship between tracks on magnetic disks and thin-film magnetic heads. , FIG. 11 is a configuration view of a thin film magnetic head. 11,14: Upper magnetic core, 12,15: Magnetic gap, 13,1
6 ... Lower magnetic core.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土屋 正利 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 芦田 栄次 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 森尻 誠 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 山崎 秀樹 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 杉田 愃 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 福井 宏 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 岩倉 忠幸 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 相原 誠 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社 日立製作所日立研究所内 (72)発明者 斉藤 真 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 鍬塚 俊一郎 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 池田 宏 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 斉藤 翼生 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Masatoshi Tsuchiya 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside Hitachi, Ltd.Hitachi Research Laboratory Co., Ltd. (72) Inventor Eiji Ashida 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Research, Ltd. In-house (72) Inventor Makoto Morishiri 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Pref.Hitachi, Ltd.Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd. (72) Inventor Hideki Yamazaki 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Pref.Hitachi, Ltd. Sugita Sen 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture, Hitachi, Ltd.Hitachi Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Hiroshi Fukui 4026 Kuji-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture, Hitachi, Ltd.Hitachi Laboratory, Hitachi, Ltd. 4026 Kuji-cho Hitachi Research Laboratory, Ltd.Hitachi Laboratory (72) Inventor Makoto Aihara 4026 Kuji-cho, Hitachi, Japan Hitachi, Ltd.Hitachi Research Laboratory, Ltd. (72) Inventor Makoto Saito 1-280 Higashi Koikebo, Kokubunji-shi, Tokyo Inside, Hitachi, Ltd.Central Research Laboratory, Inc. (72) Inventor Shun-ichiro Kuezuka, Kanagawa Prefecture 2880 Kozu, Hitachi, Ltd.Odawara Plant, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Hiroshi Ikeda 2880 Kofu, Odawara, Kanagawa Prefecture, Ltd.Odawara Plant, Hitachi, Ltd. (72) Tsubasa Saito 2880, Kozu, Kozuhara, Odawara, Kanagawa Prefecture Odawara factory
Claims (7)
れ、一端が下部磁気コアの一端に接し、他端が下部磁気
コアの他端と磁気ギャップを介して対向する上部磁気コ
アと、前記両磁気コア間に磁気回路と交差するように巻
回された導体コイルと、上部磁気コアと下部磁気コアと
の間に介在した絶縁層とを具備し、トラック密度(Tr)
が1800TPI以上の磁気ディスクを有する磁気ディスク装
置に具備される薄膜磁気ヘッドにおいて、前記磁気ディ
スクとの対向面に露出している前記薄膜磁気ヘッドの磁
気ギャップを臨む磁気コアの辺の長さが上部磁気コアと
下部磁気コアとで異なり、両辺の差(ΔCW,単位μm)
が 0<ΔCW≦5000/Tr の関係を満たすことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。A lower magnetic core; and an upper magnetic core formed on the lower magnetic core, one end of which contacts one end of the lower magnetic core and the other end of which faces the other end of the lower magnetic core via a magnetic gap. A conductor coil wound between the two magnetic cores so as to intersect with the magnetic circuit, and an insulating layer interposed between the upper magnetic core and the lower magnetic core;
In a thin-film magnetic head provided in a magnetic disk drive having a magnetic disk of 1800 TPI or more, the length of the side of the magnetic core facing the magnetic gap of the thin-film magnetic head exposed on the surface facing the magnetic disk has an upper side. Difference between magnetic core and lower magnetic core, difference between both sides (ΔCW, unit μm)
Satisfies the relationship of 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr.
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記磁気ディスクとの対向面に露出している前記薄膜磁
気ヘッドの磁気ギャップを臨む磁気コアの辺の長さが上
部磁気コアと下部磁気コアとで異なり、両辺の差(ΔC
W,単位μm)が磁気ディスクトラック密度(Tr)1800TP
I以上のもので、 0<ΔCW≦5000/Tr の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。2. A magnetic disk for recording information, a thin-film magnetic head for writing and reading information to and from the magnetic disk, a unit for rotating the magnetic disk, and a unit for positioning the thin-film magnetic head. In the magnetic disk drive, the length of the side of the magnetic core facing the magnetic gap of the thin-film magnetic head exposed on the surface facing the magnetic disk differs between the upper magnetic core and the lower magnetic core, and the difference between the two sides is different. (ΔC
W, unit μm) is magnetic disk track density (Tr) 1800TP
A magnetic disk drive, which satisfies the relationship of 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr.
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記磁気ディスクは1インチ当り1800トラック以上のト
ラック密度(Tr)を有し、かつ、 前記薄膜磁気ヘッドは、前記磁気ディスクに対向してい
る面に露出している上部磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺の長さ(CWU)と下部磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺の長さ(CWD)との左右端部におけるそれぞれの差
(ΔCW′,単位μm)が、0<ΔCW′≦2500/Tr の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。3. A magnetic disk for recording information, a thin-film magnetic head for writing and reading information to and from the magnetic disk, a unit for rotating the magnetic disk, and a unit for positioning the thin-film magnetic head. In the magnetic disk drive provided, the magnetic disk has a track density (Tr) of 1800 tracks or more per inch, and the thin-film magnetic head has an upper portion exposed on a surface facing the magnetic disk. The difference (ΔCW ′, unit μm) at the left and right ends of the length (CWU) of the side facing the magnetic gap of the magnetic core and the length (CWD) of the lower magnetic core facing the magnetic gap is 0 < A magnetic disk drive characterized by satisfying a relationship of ΔCW ′ ≦ 2500 / Tr.
ヘッドと、 書き込まれた情報を読み出す磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記磁気ディスクは1インチ当り1800トラック以上のト
ラック密度(Tr)を有し、かつ、 前記書き込みに用いられた薄膜磁気ヘッドは、前記磁気
ディスクに対向している面に露出している上部磁気コア
の磁気ギャップを臨む辺の長さ(CWU)と下部磁気コア
の磁気ギャップを臨む辺の長さ(CWD)との差(ΔCW,単
位μm)が、 0<ΔCW≦5000/Tr の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。4. A magnetic disk for recording information, a thin-film magnetic head for writing information to the magnetic disk, a magnetic head for reading written information, means for rotating the magnetic disk, and the thin film A magnetic head positioning means, comprising: a magnetic disk having a track density (Tr) of not less than 1800 tracks per inch, and The difference (ΔCW, unit) between the length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core (CWU) exposed on the surface facing the disk and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core (CWD) μm) satisfies the relationship of 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr.
TPI以上を有する磁気ディスクと、 該磁気ディスクに対して情報の書き込み及び読み出しを
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気ディスクと対向する面に
露出した磁気コアの磁気ギャップを臨む辺の長さが上部
磁気コアと下部磁気コアとで異なり、両辺の差(ΔCW,
単位μm)が、 0<ΔCW≦5000/Tr の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。5. A track density (Tr) of 1800 for recording information.
A magnetic disk device comprising: a magnetic disk having TPI or more; a thin-film magnetic head for writing and reading information to and from the magnetic disk; a unit for rotating the magnetic disk; and a unit for positioning the thin-film magnetic head In the thin-film magnetic head, the length of the side facing the magnetic gap of the magnetic core exposed on the surface facing the magnetic disk differs between the upper magnetic core and the lower magnetic core, and the difference between both sides (ΔCW,
A magnetic disk device characterized by satisfying the following relationship: 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr.
ド・ディスク・アッセンブリ(HDA)と、 書き込み及び読み出しを切り換えるW/R回路と、 上位装置に前記W/R回路を介在して前記HDAを接合するイ
ンターフェイスと、 を具備する磁気ディスク装置において、 前記HDAは、 情報を記録する磁気ディスクと、 該磁気ディスクに対して情報の書き込み又は読み出しを
行う薄膜磁気ヘッドと、 前記磁気ディスクを回転させる手段と、 前記薄膜磁気ヘッドの位置決め手段と、 を具備し、 前記磁気ディスクは1インチ当り1800トラック以上のト
ラック密度(Tr)を有し、かつ、 前記薄膜磁気ヘッドは、前記磁気ディスクに対向してい
る面に露出している上部磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺の長さ(CWU)と下部磁気コアの磁気ギャップを臨む
辺の長さ(CWU)との差(ΔCW,単位μm)が 0<ΔCW≦5000/Tr の関係を満たすことを特徴とする磁気ディスク装置。6. A head disk assembly (HDA) for magnetically writing or reading, a W / R circuit for switching between writing and reading, and joining the HDA to a host device via the W / R circuit. A magnetic disk device comprising: a magnetic disk for recording information; a thin-film magnetic head for writing or reading information to and from the magnetic disk; and means for rotating the magnetic disk. And a positioning means for the thin-film magnetic head, wherein the magnetic disk has a track density (Tr) of 1800 tracks or more per inch, and the thin-film magnetic head faces the magnetic disk. Length of the side facing the magnetic gap of the upper magnetic core (CWU) exposed on the surface and the length of the side facing the magnetic gap of the lower magnetic core The difference between the CWU) (ΔCW, the unit [mu] m) magnetic disk device characterized by satisfying the relationship of 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr.
方法であって、 1インチ当り1800トラック以上のトラック密度(Tr)を
有する磁気ディスクを回転すること、 前記磁気ディスクに対して情報を書き込み又は読み出し
を行う薄膜磁気ヘッドを、前記磁気ディスクにアクセス
すること、 前記磁気ディスクに、前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気デ
ィスクに対向している面に露出している。上部磁気コア
の磁気ギャップを臨む辺の長さ(CWU)又は下部磁気コ
アの磁気ギャップを臨む辺の長さ(CWD)のいずれか短
い方の幅(トラック幅)で、磁気的に情報を書き込むこ
と、 再び、前記磁気ディスクに対して情報を書き込み又は読
み出しを行う薄膜磁気ヘッドを、前記ディスクにアクセ
スすること、 前記磁気ディスクに前記トラック幅で書き込まれた情報
を、CWUとCWDとの差(ΔCW)が 0<ΔCW≦5000/Tr の関係を満たす薄膜磁気ヘッドを用い、ΔCWにおける磁
界のにじみ出し分だけ広く読み出すこと、 を特徴とする情報の記録再生方法。7. A method for recording and reproducing information using a magnetic disk device, comprising: rotating a magnetic disk having a track density (Tr) of 1800 tracks or more per inch; and writing information to the magnetic disk. Alternatively, a thin-film magnetic head for reading is accessed to the magnetic disk, and the thin-film magnetic head is exposed on the surface of the thin-film magnetic head facing the magnetic disk. Information is magnetically written in the shorter width (track width) of the length of the upper magnetic core facing the magnetic gap (CWU) or the length of the lower magnetic core facing the magnetic gap (CWD). Again, a thin-film magnetic head for writing or reading information to or from the magnetic disk is accessed by accessing the disk, and the information written to the magnetic disk at the track width is compared with the difference between CWU and CWD ( (CW) 0 <ΔCW ≦ 5000 / Tr, using a thin-film magnetic head, and reading out a wide area by the amount of the magnetic field bleeding in ΔCW.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63233430A JP2728455B2 (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing method |
DE19893931374 DE3931374C2 (en) | 1988-09-20 | 1989-09-20 | Thin film magnetic head for writing and / or reading information on or from a magnetic disk |
US07/963,039 US5296979A (en) | 1988-09-20 | 1992-10-19 | Magnetic disc apparatus with thin film head suitable for high-density recording |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63233430A JP2728455B2 (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0283801A JPH0283801A (en) | 1990-03-23 |
JP2728455B2 true JP2728455B2 (en) | 1998-03-18 |
Family
ID=16954919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63233430A Expired - Lifetime JP2728455B2 (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Thin-film magnetic head, magnetic disk device using the same, and information recording / reproducing method |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2728455B2 (en) |
DE (1) | DE3931374C2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5137750A (en) * | 1990-11-06 | 1992-08-11 | Seagate Technology, Inc. | Method of making a thin film head with contoured pole face edges for undershoot reduction |
KR930010862A (en) * | 1991-11-12 | 1993-06-23 | 씨릴 제이. 얀순이 | Thin film magnetic head with narrow yoke |
JP2715808B2 (en) * | 1992-06-09 | 1998-02-18 | 株式会社日立製作所 | Method for manufacturing thin-film magnetic head |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4219855A (en) * | 1978-12-21 | 1980-08-26 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic head |
JPS62212910A (en) * | 1986-03-13 | 1987-09-18 | Fujitsu Ltd | Thin film magnetic head |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP63233430A patent/JP2728455B2/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-20 DE DE19893931374 patent/DE3931374C2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3931374A1 (en) | 1990-03-22 |
JPH0283801A (en) | 1990-03-23 |
DE3931374C2 (en) | 1996-01-18 |
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|
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