JP2781189B2

JP2781189B2 - 部品の直線寸法を測定するための広域装置

Info

Publication number: JP2781189B2
Application number: JP63507580A
Authority: JP
Inventors: ダニエリ，フランコ
Original assignee: Marposs SpA
Current assignee: Marposs SpA
Priority date: 1987-10-09
Filing date: 1988-09-12
Publication date: 1998-07-30
Anticipated expiration: 2013-07-30
Also published as: WO1989003511A1; EP0334923A1; JPH01503090A; DE3870861D1; US5054205A; KR890701990A; IT1213698B; KR960009753B1; EP0334923B1; IT8703639A0

Description

【発明の詳細な説明】技術分野本発明は、例えば部品の直径などのような直線寸法を
測定するために好適な測定装置に関する。

背景技術直線を測定する装置に対して示される要望には、広い
範囲の寸法を扱うことができ、しかも再現性および精度
に優れていることが先ず挙げられ、フレキシブル生産シ
ステムの出現と共にこのような要求に応えられる装置の
提供が待たれている。特に、研削加工中の部品の測定の
ためにこのような要望を満たす装置が必要とされてい
る。この場合には上記の要求に加えて装置全体が小型で
あること、堅牢であること、一方、苛酷な作業環境下で
の再現性、素早い応答性なども要求される。装置全体の
小型化は研削加工中に難しい合わせ作業を行なう必要を
なくし、また部品の取り付け取外し作業を容易にするた
めにも重要である。

これらの作業が行われる間、装置全体は滑り部材ある
いは回転アーム等の手段により作業位置から移動させら
れるが、小型の装置がこの移動において有利に働くこと
が自ずと明らかである。これと同時に装置には測定対象
が広い範囲にわたり、しかも高い精度が得られるように
変換器と共に寸法を小型化された撰抜きの機構が採用さ
れねばならない。

英国特許第2057688号には上記の両立し難い要求に折
り合いをつけるには最良であるも、所望の働きを得るに
は相応しくない装置が開示されている。この公知の装置
は縦に並置された２つの滑り部材を備え、その位置がデ
ィジタル式測定ユニットによって検知されるようになっ
ている。各滑り部材は部品の直径部分に当てるために使
用される触子を備えた回転アームを支持している。回転
アームの位置は変換器により検出され、フィードバック
ループを通して調節器でモータを制御する制御信号がつ
くられる。モータはこの信号に従って滑り部材およびモ
ータと共軸に支持されるステム部材によって滑り部材を
駆動する。この制御方式は２個の変換器により検出され
た信号値を零値に維持しているので、部品直径の値が２
個のディジタル測定ユニットの信号を組み合わせて得ら
れる。

この装置は再現性および精度について高い能力を備え
ているとはいい難い。ディジタル測定ユニットの信号の
みに依存する測定方法の好不調によってもたらされる誤
差は別としても、滑り部材、ディジタル測定ユニットお
よび部品の配列の仕方は必然的に小さくない誤差を伴な
う。

たとえば、アッベの原理からは最適条件での測定ユニ
ットの位置は、部品の中心を縦方向に通る平面からの距
離が零になるべきであるが、真直度が維持されないた
め、また案内手段に沿って動かされるときに生じる避け
られない誤差により測定ユニットの位置が大きく狂わさ
れてしまう。

さらに、この公知の装置は覆いや密封デバイス等で保
護することが困難であるとしても、開放構造に近い、す
なわち貧弱な保護部材しか持たないものである。

また、縦方向の大きさは滑り部材とモータとを並置さ
せ、ディジタル測定ユニットを別々に配置しているにも
かかわらず、相当な長さである。

一方、米国特許第3400573号には上述した装置に類似
する多くの特徴、特に制御装置に特徴を有する装置が開
示されている。この装置には単一の変換器および測定ヘ
ッドとして複数の空気センサーが使用されている。この
装置の各部分では、特に縦方向の大きさが相当に長い。

米国特許第3996669号には一方の滑り部材が他方の滑
り部材を超えて配置される縦形の滑り部材を備えた測定
装置が開示されている。ここで、滑り部材は各々位置検
出用変換器と協働し合ってその機能を果たし、かつ測定
ヘッドを支持する。滑り部材はステムを介して相応の能
力を持つモータにより駆動され、フレームに静止してい
る案内ロッドと協働してその機能を果たしている。この
装置は縦方向に沿って相当な長さに構成され、また複数
の位置検出用変換器および複数の測定ヘッドの配列の仕
方に特徴を有する。すなわち、これらの測定ヘッドは駆
動用ステムおよび滑り部材を案内するためのロッドに対
して相対するように各々配置され、大きな測定誤差を生
じさせる可能性がある。この装置もまた開放構造であ
り、信頼できる保護および密封装置を提供するには適当
でない。

米国特許第3996669号は、一つの測定ヘッドを支えて
動作する単一の滑り部材を有する測定装置を開示してお
り、位置検出用変換器の同様な配置が測定ヘッドの配置
と併せて示されている。

発明の開示本発明の目的は上記した両立し難い要求になお一層の
折り合いをつけ、望ましい機能が得られるようにするこ
とである。

本発明によれば、部品の直線寸法を測定するための装
置は、一つのフレームと、平行にかつ並べて置かれた２
個の滑り部材と、この滑り部材に各々結合された２個の
位置検出用変換器と、滑り部材を独立した方法で駆動す
るための２基のモータおよび伝動装置を有する制御手段
と、各々関係する滑り部材に固定された２個の測定ヘッ
ドと、位置検出用変換器、測定ヘッドおよびモータにそ
れぞれ接続され、モータを制御し、かつ部品寸法を決定
するための処理および制御手段とを具備するものであ
る。各滑り部材は直線状の案内ロッドと、この案内ロッ
ドの一方の側に位置するように端部に結合され、測定ヘ
ッドを支持する。第１の支持部材と、案内ロッドと結合
されると共に、第１の支持部材に関して部分的に反対側
に位置するように案内ロッドに対して直角方向に延長し
て設けられた第２の支持部材とをそれぞれ備えている。
第２の支持部材は案内ロッドに結合された部分と、モー
タによって駆動される伝動装置に結合された部分とを有
している。滑り部材に結合された位置検出用変換器は測
定ヘッドと案内ロッドとの間に配置される。

本発明の他の実施例によれば、上述した装置の構造は
実質的に半分、つまり測定ヘッド等を備えた単一の滑り
部材を有する装置を得るように限定したものとすること
が可能である。

本発明は、特に、単一あるいは二つの滑り部材の変位
方向に沿う全体寸法が極めて小さく、しかも動的な測定
状態の中でも高い精度および再現性が得られる測定装置
を提供するものである。また、本発明は極めて堅牢な構
造かつ研削盤のような工作機械での加工中の部品測定の
ように苛酷な作業環境下で使われる装置のための効果的
な保護ならびに密封装置に好適な装置を提供する。この
構造は研削盤やターニング盤における加工後の測定、機
上も機械の外での測定も含めて、にも有用である。

この種の装置においては次のような利点がある。摩擦
および測定誤差を引き起こすかも知れない変形が減少さ
せられ、残余の測定誤差は容易にかつ全面的に補償され
る。装置構造は、特に、アッベの原理から導かれる最適
な測定条件に相当近づけることができる。さらに、測定
値は測定ヘッドが幾分小さい範囲内で操作されるとき、
その同じ時間の間、測定ヘッドを備えた滑り部材に結合
された位置検出用変換器の信号を組み合わせることによ
り得ることが可能である。

図面の簡単な説明本発明を添付された図面により詳細に説明する。

第１図は部品の直径を測定するための２個の触子を備
えた本発明の測定装置の側面図である。

第２図は第１図に示された測定装置の平面図（第１図
の上方から見た）である。

第３図は第１図に示された測定装置の正面図（第１図
の右方から見た）である。

第４図は第１図に示された測定装置の背面図（第１図
の左方から見た）である。

第５図は第２図のＶ−Ｖ矢視線に沿って切断して示す
断面図である。

第６図は第５図に示される測定装置をVI-VI矢視線に
沿って切断して示す断面図である。

第７図は第６図に示された測定装置をVII-VII矢視線
に沿って切断して示す断面図である。

第８図は本発明の測定装置の処理および制御装置を示
すブロック図である。

発明を実施するための最良の形態第１図ないし第４図において、測定装置は、ほぼ角柱
形状を有する包囲体１により基本的部分を構成され、図
示しない内部支持フレームにその装置を固定するための
複数のボルト用の穴を備えた背面仕切壁50（第４図参
照）を定めるフレームを備えている。このフレーム、
（円筒研削盤上にて研削が行われる間、部品の一箇所な
いしそれ以上の直径を測定するための代表的な応用に従
っている）は部品の取付け、取外しのために後方位置か
ら測定位置まで動作させられる滑り部材上に装着されて
いる。円筒状の支持、案内用ロッド３、４は装置を横切
る方向に沿って並置され、かつ包囲体１に対して軸方向
に移動可能に構成されている。このロッド３、４は包囲
体１の上面および下面仕切壁を通り抜けて出てくる端部
を有する。

また、このロッド３、４は包囲体１の天井と底面とに
各々固定されたケーシング５、６内に収容される２基の
モータによって駆動される。ロッド３、４のそれぞれの
端部に結合された第１の支持部材は支持板７、８を有す
る。この支持板７、８は互いに向きが逆方向に向けられ
て取付けられているが、同一の形状を備えている。この
ためロッド４に結合された支持板８についてのみ説明す
る。支持板８は第１図に示されるため、支持板７につい
ては簡略のためここには示されていない。支持板８はほ
ぼＣ形に形成され、外側ウィング９を備えている。支持
板８はロッド４の予測できない過度の変形を防止するの
に適する構造となっており、平衡構造、事実上は３点ヒ
ンジを備えた単純な機構を形成するためにロッド４の両
端に結合される。この目的のために支持板８は円筒状ヒ
ンジに同化される厚さの薄い領域10、11を介してロッド
４の上端部に固く固定され、他方はねじ14′を介してロ
ッド４の下端部にそれぞれ固定され、実質的に第３のヒ
ンジを形成するように適当な平面（図示せず）上に接し
ている。

一方、測定ヘッド15、16は支持板７、８の中央に備え
られる脚に固定される。このうち、測定ヘッド15は第１
図に示されるが、支持板７は省略されている。この測定
ヘッド15、16は装置の対称に形成された長手方向平面か
ら等しい距離に、互いに180°づつ向きを変えてそれぞ
れ配置される。そして、測定ヘッド15、16には部品17の
相対する点で正反対の向きに接触するために用いられる
触子20、21を支えるアーム部材の外材18、19が備えられ
る。ここで、部品17は装置の測定範囲の中間値と一致す
る直径を有する。そして、第１図中の符号17′、17″は
測定範囲の両端部と一致する直径を有する他の部品（あ
るいは同じ部品の他の部分）を示している。アーム部材
の外材18、19は共にロッド３、４の軸および測定ヘッド
15、16のケーシングを直角に横切る方向に、（このた
め、触子20、21は常に装置の対称に形成された長手方向
平面内に配置される）かつ長手方向に沿って延長され
る。

第１図に形状を完全に示される測定ヘッド15、16のケ
ーブル22、23はケーブル締付装置24、25を介して包囲体
１の内側に届くように延長される。コネクタ26、27は包
囲体１の背面仕切壁に固定される。

一方、測定装置の内部構造は第５図ないし第７図を参
照して説明される。ここでは簡略を目的として、いくつ
かの要素は図示を省略されている。これまでの説明で既
に行なわれたように測定装置は本質的に二重かつ対称な
構造を備えているので、多くの要素の説明は、図中、同
一の番号で示された要素に対し、明らかな変更部分と共
に適用するものとする。

第６図および第７図中、包囲体１の側面封鎖要素につ
いては図示しないものとする。

ロッド３、４は、それと関係する穴の中で包囲体１の
上面および下面仕切壁に固定された２組のブッシングか
ら構成される密封および案内手段により縦方向に案内さ
れる。第５図にはロッド３と係合するブッシング29およ
びロッド４と係合するブッシング28′が示される。包囲
体１の上面および下面仕切壁には２組のセンタ30、31、
30′、31′が装着されており、２本のシャフト34、34′
がこれを中心として回転する。

ケーシング６内に収容されたモータ36はベルト39およ
びプーリィ40を介してシャフト34を駆動するためのプー
リィ38が固定されたシャフト37を備えている。

測定ヘッド15と同じ側に配置される部分43を有する第
２の支持部材42がロッド３に設けられる。この部分43は
ロッド３に固定されており、位置検出用変換器72の滑り
部44を支持している。位置検出用変換器72は増分形であ
り、そのスケール45は包囲体１の正面仕切壁46に固く結
合した支持要素に固定されている。

第２の支持部材42はほぼ万能形の継手47を備えてい
る。この継手47は支持部材42と、これと併せて測定ヘッ
ド15および滑り部44とを縦向きに直動させる力に限り支
持部材42に伝達するためにシャフト34と結合される。こ
の結果、シャフト34、37、ベルト39、プーリィ38、40お
よび継手47を有する伝動手段はロッド３ならびに第１お
よび第２の支持部材７、42を有する滑り部材を駆動す
る。第２の支持部材42は包囲体１の背面仕切壁50の方向
に延長され、その端は後側仕切壁50にカップリング54を
介して固定されたロッド53の外面との間に少量の遊びを
保って係合されるフォーク部で尽きる。ロッド53は円周
部分の一部に縦方向に沿って配置される２本のフェライ
ト棒55、56が固定される平面部を備えるように円筒形に
形成される。

また、第２の支持部材42はフェライト棒55、56を有す
る補償変換器73、74（第５図参照）の２個の部材58、59
を支える縦形の角柱57によって構成された支持材を備え
ている。第５図および第７図に示される部材58、59は図
示されないケーブルによって導かれる電気巻線を支える
支持材により構成される。

角柱57、57′は包囲体１の開口60、61、60′、61′を
通って縦方向に移動する。角柱57、57′の両端は実際上
ケーシング５、６内に収容されている。

したがって、ロッド53、53′は次の二つの機能を果た
すことになる。一つはフォーク部52、52′と協働するこ
とにより回転防止装置として働く。このため、シャフト
34、34′の回転動作はロッド３、４と共に第２の支持部
材42、42′の移動を生じさせる。他の機能は補償変換器
の基準直線定現としての機能である。フェライト棒55、
56、55′、56′の使用は均一な磁気特性を提供するため
に優れて好ましい。

マイクロスイッチ63、64、63′、64′は包囲体１の上
面および下面仕切壁に固定された停止片65、66、65′、
66′と共働して第２の支持部材42、42′の上下動作の各
終点を制御する。

測定ヘッド15、16はアーム部材の内側断面形状の相違
は別として、米国特許第4356634号および第4370812号に
説明されるように製作される。

測定される部品が不連続な面を有する場合、アーム部
材の動作をある程度減速気味にする必要があり、測定ヘ
ッド15、16は、例えばシリコンオイルのような減衰性の
ある液体により満たされる。

測定ヘッド15、16およびアーム部材の特に外材18、19
はアーム部材の回転動作における支点となるため、そこ
に生じる応力を軽減するように構成される。すなわち、
ヘッドの小さい動作範囲内でそれぞれの触子および関係
する第１図に触子21および支点のためのものが符号68と
して示されるようにヘッドの案内ロッドに対してほぼ直
角方向に沿って配置される。

ここで、測定ヘッド15,16の機能を概説すると、これ
らの測定ヘッド15,16は、それぞれ関連する側の支持体
７あるいは８により一体に支持され、むしろ狭い範囲内
で、それぞれの関連する側の触子20あるいは21の位置に
対応した測定信号を提供する。

測定の再現性および精度に関する限り、装置の正面仕
切壁46に近い位置検出用変換器72、72′の配置が重要で
ある。また、測定ヘッド15、16を支持している支持板
７、８も重要な要素である。

しかしながら、ロッド３、４の傾き加減で部品17の中
心を基準とする位置検出用変換器72、72′の位置が変化
し、測定上の誤差が発生する。補償変換器73、74、7
3′、74′はこのロッド３、４の傾きを検知することに
よりこれらの誤差の補償を効果的に果たす。この測定精
度は、部材58、59と部材58′、59′との間で充分な距離
が見込まれる間は高い。

一方、第８図は装置の測定および駆動手段と処理、表
示および制御手段との間の接続関係を示している。ここ
で、測定ヘッド15,16、位置検出用変換器72,72′および
補償変換器73,74,73′,74′はプログラマブル制御装置7
7に接続され、さらにこの制御装置77は他のプログラマ
ブル制御装置78に接続されている。この制御装置78は、
プログラムキーボードおよびディスプレイ装置を備えた
グループ79ならびにモータ36,36′を制御するための駆
動回路80,80′を備えた研削盤を制御する。

モータ36、36′はロッド３、４の異なる変位速度のよ
うにプログラムパラメータに基づいて独立して駆動され
る。このため、測定ヘッド15、16の働きは部品17の正常
な寸法および研削によって取除かれる予測可能な素材の
値に応じたものとなるはずである。したがって、第８図
に破線83、83′にて描かれたようにモータ36、36′は触
子20、21が部品17と接触している間に限り、測定ヘッド
15、16、位置検出用変換器72、72′の滑り材44、44′お
よび補償変換器73、73′、74、74′の部材58、59、5
8′、59′を共に移動させる。そのあと、モータ36、3
6′は予め決められた間隔の範囲内で測定ヘッド15、16
の測定信号を保持するため制御される。この間隔は直線
の利点を生かすには、多少とも短くてよいが、部品17の
形状誤差によって起こるかも知れない不安定性を抑制す
るためには充分に間をあげる。大体は、測定ヘッド15、
16の信号が上記間隔の範囲内ある（および測定される部
品の直径が研削加工を通して得られる正常な値と異な
る）ときモータ36、36′は停止し、その信号が上記間隔
から外れたときモータ36、36′は始動する。

触子20と部品17の回転中心との間の半径距離を指示す
る測定信号は測定ヘッド15、位置検出用変換器72、補償
変換器73、74の各信号を組み合せて得られる。他の半径
の値、つまり触子21と部品17の回転中心との間の同じ距
離は同じ方法で得られる。二つの半径の値および／また
は二つの半径の合計として得られた直径に従ってプログ
ラマブル制御装置78は研削盤の加工サイクルを制御す
る。

位置検出用変換器72,72′は、その構造からして、む
しろ広い範囲の測定を可能とし、それぞれ関連する側の
フレームの位置に対応する測定信号を提供する。ここ
で、それぞれ関連する側には、案内用ロッド3,4ならび
に第１の支持部材7,8および第２の支持部材8,42′を含
む。位置検出用変換器72,72′および測定ヘッド15,16に
より提供された測定信号は、それぞれ制御装置77へ送ら
れ、ここで組み合されて検査すべき線形寸法を決定す
る。

上記の説明および図面から測定装置の構造を実質的に
半分に限定、つまり測定ヘッドを備えた単一の滑り部材
等を有する形式とすることが可能であることは明らかで
ある。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01B 21/00 - 21/32 G01B 7/00 - 7/34 G01B 5/00 - 5/30

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】フレーム（１）と、予め決められた第１の方向に沿って並進移動するように
適応させる２個の滑り部材（3;4）と、それぞれ１個の前記滑り部材と連結され、前記第１の方
向と直角の第２の方向に沿い、該滑り部材に隣接して並
ぶ２個の第１の支持部材（7;8）と、前記第２の方向に延びると共に、それぞれ１個の前記滑
り部材と連結され、前記第１の方向に沿い、前記滑り部
材と共に移動するように該滑り部材に連結される第１の
部分（43;43′）および第２の部分（47;47′）を有する
２個の第２の支持部材（42;42′）と、前記滑り部材の位置に応じた信号を与える変換器手段
と、２個のモータ（36;36′）および前記第２の支持部材（4
2;42′）の第２の部分（47;47′）と連結され、独立し
た方法で２個の前記滑り部材を駆動する２個の伝動装置
（34、37-40、47;34′、37′‐40′、47′）を備えた制
御手段と、前記滑り部材に連結された測定手段と、前記モータを制御し、かつ直線寸法を決定する処理およ
び制御手段（77、79、80;77′、79′、80′）と、を備えたものであって、前記滑り部材は前記第１の方向に沿って配置され、前記
第１および第２の方向と直角の第３の方向に沿い、互い
に隣接して並ぶ真線状の案内ロッド（3;4）を備え、前記変換器手段はそれぞれ前記滑り部材と連結され、前
記フレーム（１）に対する前記滑り部材の位置に応じた
第１の測定信号を与える２個の位置検出用変換器（72;7
2′）を有し、前記測定手段はそれぞれ１個の前記第１の支持部材（7;
8）に固定された第２の測定信号を与える２個の測定ヘ
ッド（15;16）を備え、前記第２の支持部材の第１の部分（43;43′）が前記案
内ロッドと共に前記第１の方向に沿って移動するように
該案内ロッドに連結され、前記滑り部材とそれぞれ連結された前記位置検出用変換
器が前記測定ヘッドと前記案内ロッドとの間に配置さ
れ、前記処理および制御手段が前記第１および第２の測定信
号を組み合わせた信号によって前記モータを制御し、か
つ前記直線寸法を決定するために前記位置検出用変換
器、前記測定ヘッドおよび前記モータと接続される、ことを特徴とする部品の直線寸法を測定するための装
置。
【請求項２】前記処理および制御手段がそれぞれ１個の
前記滑り部材と連結され、前記第２の支持部材およびフ
レーム（53;53′）に各々固定された第１の部材（58、5
9;58′、59′）および第２の部材（55、56;55′、5
6′）を備えた２個の副次の位置検出用変換器を有し、
前記案内ロッド（3;4）の異常な傾きから生じた誤差を
保償する保償信号とを与えるための２個の保償装置（7
3、74;73′、74′）を備えており、前記第１および第２
の部材が前記第２の方向に沿い、互いに隣接して並ぶこ
とを特徴とする請求の範囲第１項に従属する装置。
【請求項３】前記第２の支持部材が前記保償装置の第１
の部材を支える支持材を支承する端部を有することを特
徴とする請求の範囲第２項に従属する装置。
【請求項４】前記保償装置の第２の部材が前記案内ロッ
ドとほぼ平行に、かつ機械的な接触を持つことなく、前
記保償装置の副次の位置検出用変換器の第１の部材と対
面するように配置された２本の棒材を備えていることを
特徴とする請求の範囲第３項に従属する装置。
【請求項５】前記フレームが前記案内ロッドとほぼ平行
に配置された２個の固定ロッドを備えると共に、前記第
２の支持部材が前記滑り部材の回転変位を防止するため
に１個の前記固定ロッドとそれぞれ係合するように適応
させる２個の部分（52;52′）を有することを特徴とす
る請求の範囲第４項に従属する装置。
【請求項６】前記固定ロッドが前記保償装置の２本の棒
材を各々支えるように構成したことを特徴とする請求の
範囲第５項に従属する装置。
【請求項７】前記第１の支持部材（7;8）が前記案内ロ
ッド内部に生じる応力を軽減するために平衡形構造に形
成されることを特徴とする請求の範囲第１項に従属する
装置。
【請求項８】それぞれ前記伝動装置が前記第１の方向に
沿い、１個の前記案内ロッドと共に並進移動する力につ
いて１個の前記第１の支持部材および１個の前記第２の
支持部材への力の伝達を実質的に制限する継手（47;4
7′）を備えていることを特徴とする請求の範囲第１項
に従属する装置。
【請求項９】前記フレームが前記滑り部材の第２の支持
部材および案内ロッドの部分を内蔵させているケーシン
グを備え、このケーシングは案内部を備えた２カ所の貫
通穴および各々前記案内ロッドを通すための密封装置
（28、29）を有し、前記第１の支持部材および前記測定
ヘッドが前記ケーシングに対して外側に配置されること
を特徴とする請求の範囲第１項に従属する装置。
【請求項１０】前記測定ヘッドが各々案内ロッドとほぼ
平行に配置されたケーシングと、前記案内ロッドに対し
て直角方向に延びると共に、支点（68）のまわりに回転
可能に装着され、かつ前記部品と接触するように適応さ
せる触子（20;21）を有するアーム部材（18;19）とを備
え、前記触子と前記支点とが前記案内ロッドとほぼ直角
方向に沿って配置されることを特徴とする請求の範囲第
１項に従属する装置。
【請求項１１】前記処理および制御手段が予め設定され
た間隔の範囲内で出力される前記測定ヘッドの信号をそ
の装置の操作中維持して前記モータの制御を果たすよう
に、前記測定ヘッドおよび前記モータにそれぞれ接続さ
れることを特徴とする請求の範囲第１項に従属する装
置。
【請求項１２】フレーム（１）と、前記フレームに対して予め決められた第１の方向に沿っ
て並進移動するように適応させる滑り部材（３、７、4
2）と、前記滑り部材と連結され、前記第１の方向と直角の第２
の方向に沿い、該滑り部材に隣接して並ぶ第１の支持部
材と、前記第２の方向に延びると共に、前記滑り部材と連結さ
れ、前記第１の方向に沿い、前記滑り部材と共に移動す
るように該滑り部材と連結される第１の部分（43）およ
び第２の部分（47;47′）を有する第２の支持部材（4
2）と、前記滑り部材の位置に応じた信号を与える変換器手段
と、モータ（36）および前記第２の支持部材（42）の第２の
部分（47;47′）と連結され、前記滑り部材を駆動する
伝動装置（34、37-40、47）を備えた制御手段と、前記
滑り部材に連結された測定手段と、前記モータを制御し、かつ直線寸法を決定する処理およ
び制御手段（77、79、80）と、を備えたものであって、前記滑り部材は前記第１の方向に沿って配置され、前記
第１および第２の支持部材の間に置かれる直線状の案内
ロッド（３）を備え、前記変換器手段は前記フレームに対する前記滑り部材の
位置に応じた第１の測定信号を支える位置検出用変換器
（72）を有し、前記測定手段は前記第１の支持部材（７）と固定された
第２の測定信号を与える測定ヘッド（15）を備え、前記第２の支持部材の第１の部分（43）が前記案内ロッ
ドと共に前記第１の方向に沿って移動するように、該案
内ロッドに連結され、前記滑り部材と連結された前記位置検出用変換器が前記
測定ヘッドと前記案内ロッドとの間に配置され、前記処理および制御手段が前記第１および第２の測定信
号を組み合わせた信号によって前記モータを制御し、か
つ直線寸法を決定するために前記位置検出用変換器、前
記測定ヘッドおよび前記モータと接続される、ことを特徴とする部品の直線寸法を測定するための装
置。