JP2771721B2 - Cryogenic refrigerator - Google Patents
Cryogenic refrigeratorInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は極低温冷凍機に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryogenic refrigerator.
【0002】[0002]
【従来の技術】図6は、例えば特公昭46−30433
号公報(アメリカ特許629271)に示された、従来
の極低温冷凍機を示す構成図である。この極低温冷凍機
はギフォード・マクマホンサイクルの冷凍機である。図
において、1は作動ガス(例えばヘリウム)であり、2
は作動ガス1を吸気する吸気バルブ、3は作動ガス1を
排気する排気バルブである。4は第1段膨張室で、5は
往復運動して作動ガス1を移動させる第1段ディスプレ
ーサー、6は気体の寒冷を蓄冷する第1段蓄冷器で、こ
の中に第1段蓄冷材、例えば燐青銅の円盤状の金網を積
層したものが収納されている。7は第1段膨張室4の作
動ガス1が第1段ディスプレーサー5の外周を流れるこ
とを防止する第1段シール、8は第1段膨張室4の寒冷
を外部に伝える第1段冷凍ステージ、9は第1段シリン
ダである。10は第2段膨張室で、11は往復運動して
作動ガス1を移動させる第2段ディスプレーサー、12
は気体の寒冷を蓄冷する第2段蓄冷器で、この内部には
第2段蓄冷材、例えば鉛の小球が収納されている。13
は第2段膨張室10の作動ガス1が第2段ディスプレー
サー11の外周を流れることを防止する第2段シール、
14は第2段膨張室10の寒冷を外部に伝える第2段冷
凍ステージ、15は第2段シリンダである。16は各デ
ィスプレーサー5、11を駆動するためのモ−タ、17
はモ−タ16の駆動力を伝える駆動軸、18は回転運動
を直線運動に変換するクランクである。19は作動ガス
1を圧縮する圧縮機、20は高圧側の圧力変動を小さく
する高圧バッファタンク、21は低圧側の圧力変動を小
さくする低圧バッファタンク、22は高圧と低圧の差圧
を一定に保つ差圧保持装置である。23は第1段冷凍ス
テージで吸収される冷凍量Q1 で、24は第2段ステー
ジで吸収される冷凍量Q2 である。2. Description of the Related Art FIG. 6 shows, for example, Japanese Patent Publication No. 46-30433.
FIG. 1 is a configuration diagram showing a conventional cryogenic refrigerator shown in Japanese Patent Application Publication (US Pat. No. 629271). This cryogenic refrigerator is a Gifford McMahon cycle refrigerator. In the figure, reference numeral 1 denotes a working gas (for example, helium);
Is an intake valve for taking in the working gas 1, and 3 is an exhaust valve for taking out the working gas 1. Reference numeral 4 denotes a first-stage expansion chamber, 5 denotes a first-stage displacer for reciprocating and moving the working gas 1, and 6 denotes a first-stage regenerator for storing cold gas. For example, a stack of disk-shaped wire meshes of phosphor bronze is stored. Reference numeral 7 denotes a first-stage seal for preventing the working gas 1 in the first-stage expansion chamber 4 from flowing around the outer periphery of the first-stage displacer 5, and reference numeral 8 denotes a first-stage refrigeration for transmitting the cold of the first-stage expansion chamber 4 to the outside. The stage 9 is a first stage cylinder. 10 is a second-stage expansion chamber, 11 is a second-stage displacer for reciprocating and moving the working gas 1, 12
Is a second-stage regenerator for storing cold gas, and contains therein a second-stage regenerative material, for example, lead balls. 13
Is a second-stage seal that prevents the working gas 1 in the second-stage expansion chamber 10 from flowing around the outer periphery of the second-stage displacer 11;
Reference numeral 14 denotes a second-stage refrigeration stage for transmitting the cold of the second-stage expansion chamber 10 to the outside, and reference numeral 15 denotes a second-stage cylinder. 16 is a motor for driving each displacer 5, 11;
Is a drive shaft for transmitting the driving force of the motor 16, and 18 is a crank for converting rotary motion into linear motion. 19 is a compressor that compresses the working gas 1, 20 is a high-pressure buffer tank that reduces pressure fluctuations on the high pressure side, 21 is a low pressure buffer tank that reduces pressure fluctuations on the low pressure side, and 22 is a constant pressure difference between high pressure and low pressure. It is a differential pressure holding device that keeps. 23 is a refrigeration quantity Q 1 is absorbed by the first stage cooling stage 24 is a refrigeration amount Q 2 to which is absorbed by the second stage.
【0003】次に動作について説明する。図7はこの冷
凍機のPV線図である。縦軸は第2段膨張室10の圧力
を、横軸は同じく容積を示す。まず、図7におけるDの
状態では、第2段ディスプレーサー11は最下端にあ
り、また吸気バルブ2が閉じ排気バルブ3が開いている
ので、第2段膨張室10の圧力は低圧になっている。D
−Aでは、排気バルブ3が閉じ吸気バルブ2が開き圧力
が低圧の状態から高圧の状態になる。この時無効容積空
間にある低圧の状態のヘリウムガス1は高圧の状態に断
熱的に圧縮されるので第2段蓄冷器12の低温部の温度
が上昇する。次にA−Bでは、各ディスプレーサー5、
11が上方に動き、それに伴い圧縮機19から高圧の作
動ガス1が各蓄冷器6、12で冷却されつつ各膨張室
4、10に導入される。各蓄冷器6、12には、温度勾
配がついており第1段蓄冷器6の上端は例えば300K
で下端は50Kになっており、第2段蓄冷器12の上端
は例えば50Kで下端は約10Kになる。そこで、第1
段膨張室4に導入される作動流体1は約50K、第2段
膨張室10に導入される作動流体1は約10Kまで冷却
される。このとき第2段シール13部分から高温の作動
流体1が第2段膨張室10の部分に流入すると熱負荷に
なるので第2段シールには精密な加工が施されリ−クを
極力小さくしている。Bは容積が最大になった状態であ
る。この時各蓄冷器は作動流体1によって加熱されるの
で始めの温度分布より高い温度分布になっている。B−
Cでは、吸気バルブ2を閉じ排気バルブ3を開く。この
時、作動ガス1が高圧の状態から低圧の状態に膨張し各
膨張室4、10で寒冷が発生する。Next, the operation will be described. FIG. 7 is a PV diagram of the refrigerator. The vertical axis indicates the pressure in the second-stage expansion chamber 10, and the horizontal axis indicates the same volume. First, in the state D in FIG. 7, the second stage displacer 11 is at the lowermost end, and the intake valve 2 is closed and the exhaust valve 3 is open, so that the pressure in the second stage expansion chamber 10 becomes low. I have. D
In -A, the exhaust valve 3 is closed, the intake valve 2 is opened, and the pressure changes from a low pressure state to a high pressure state. At this time, the low-pressure helium gas 1 in the invalid volume space is adiabatically compressed to a high-pressure state, so that the temperature of the low-temperature portion of the second-stage regenerator 12 rises. Next, in AB, each displacer 5,
11 moves upward, and the high-pressure working gas 1 is introduced from the compressor 19 into the expansion chambers 4 and 10 while being cooled by the regenerators 6 and 12. Each of the regenerators 6 and 12 has a temperature gradient, and the upper end of the first-stage regenerator 6 is, for example, 300K.
The lower end is 50K, and the upper end of the second stage regenerator 12 is, for example, 50K and the lower end is about 10K. Therefore, the first
The working fluid 1 introduced into the stage expansion chamber 4 is cooled to about 50K, and the working fluid 1 introduced into the second stage expansion chamber 10 is cooled to about 10K. At this time, when the high-temperature working fluid 1 flows into the second-stage expansion chamber 10 from the second-stage seal 13, a thermal load is applied. ing. B is a state where the volume is maximized. At this time, since each regenerator is heated by the working fluid 1, the temperature distribution is higher than the initial temperature distribution. B-
In C, the intake valve 2 is closed and the exhaust valve 3 is opened. At this time, the working gas 1 expands from a high pressure state to a low pressure state, and cold occurs in each of the expansion chambers 4 and 10.
【0004】膨張した作動ガス1は第1段冷凍ステージ
8で冷凍量Q1 23の一部の熱量を受け、第2段冷凍ス
テージ14では冷凍量Q2 24の一部の熱量を受ける。
作動ガス1は次に各蓄冷器6、12を冷却したのち圧縮
機19に戻る。Cの状態は各膨張室4、10の圧力が低
圧になった状態である。C−Dでは各ディスプレーサー
5、11が下方に動き低圧になった作動ガス1を排出す
る。この時に排出される膨張した作動ガス1も第1段冷
凍ステージ8で冷凍量Q1 23の残りの熱量を受け、第
2段冷凍ステージ14では同じく冷凍量Q2 24の残り
の熱量を受ける。作動ガス1は次に各蓄冷器6、12を
冷却したのち圧縮機19に戻る。このときは第2段シー
ル13部分から低温の作動ガス1がリ−クすると低温の
作動ガス1の一部がが蓄冷器12を冷却せずに流出する
ので損失が生じる。この理由からも第2段シール13に
は精密な加工が必要である。B−Dの過程では各蓄冷器
6、12は冷却されるのでサイクルの始めの温度分布に
戻っている。The expanded working gas 1 receives a part of the refrigeration amount Q 1 23 in the first stage refrigeration stage 8 and a part of the refrigeration amount Q 2 24 in the second stage refrigeration stage 14.
The working gas 1 then cools the regenerators 6 and 12 before returning to the compressor 19. The state of C is a state in which the pressure of each of the expansion chambers 4 and 10 has become low. In CD, the displacers 5, 11 move downward to discharge the low-pressure working gas 1. Working gas 1 inflated is discharged at this time also received the remaining heat of the refrigeration quantity Q 1 23 in the first stage cooling stage 8, the second stage cooling stage 14 also receives the remaining heat of the refrigeration quantity Q 2 24. The working gas 1 then cools the regenerators 6 and 12 before returning to the compressor 19. At this time, if the low-temperature working gas 1 leaks from the second-stage seal 13 part, a part of the low-temperature working gas 1 flows out without cooling the regenerator 12, causing a loss. For this reason, the second-stage seal 13 requires precise processing. In the process of BD, the regenerators 6 and 12 are cooled and thus return to the temperature distribution at the beginning of the cycle.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来の極低温冷凍機は
以上のように構成されていたのでシール部から漏れた温
度の高いヘリウムガスが蓄冷器で冷却されずに低温の膨
張空間に流入し膨張空間の熱負荷になり効率を低下させ
るという問題点があった。Since the conventional cryogenic refrigerator is constructed as described above, high-temperature helium gas leaking from the seal portion flows into the low-temperature expansion space without being cooled by the regenerator. There is a problem that the thermal load is applied to the expansion space and the efficiency is reduced.
【0006】本発明は上記のような問題点を解決するた
めになされたもので、冷凍能力の低下を防止し、効率の
良い極低温冷凍機を得ることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a cryogenic refrigerator that can prevent a decrease in refrigeration capacity and is efficient.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係わる極低温冷
凍機は、膨張機の作動流体のシール部をディスプレーサ
ーの高温側に設けるとともに上記シール部の高温側に流
路抵抗部とバッファー容積部とを設けたものである。ま
た、流路抵抗部をシールにより構成したものである。 In a cryogenic refrigerator according to the present invention, a seal portion of a working fluid of an expander is displaced by a displacer.
And a flow path resistance portion and a buffer volume portion are provided on the high temperature side of the seal portion. Ma
In addition, the flow path resistance portion is configured by a seal.
【0008】また、膨張機のシールがシールする部分の
流路に補助蓄冷器を設けたものである。[0008] Further, an auxiliary regenerator is provided in a flow path at a portion where the seal of the expander seals.
【0009】[0009]
【作用】上記のように構成された極低温冷凍機において
は、ディスプレーサーの高温側に設けたシール部の高温
側に流路抵抗部例えばクリアランス流路とバッファー容
積部とを設けている。サイクルのD−Aでは高温部から
低温部へ流体が流れる。このとき膨張室が低圧であるの
で従来のシール構造ではシールの前後に高い圧力差が生
じ流体が漏れていたが、本発明の構造ではシールの上部
(高温側)のバッファー容積部の圧力は流路抵抗、即ち
クリアランスを適当に調節すれば膨張室の圧力とほぼ同
じにする事ができる。そこでシール前後の圧力差が小さ
くなりシールからの漏れが少なくなり、熱損失が低減さ
れる。また、流路抵抗部をシールにより構成したので、
高精度加工を要せず簡便に流路抵抗部を形成できる。 [Action] In the arrangement cryogenic refrigerator as described above, the high temperature of the seal portion provided on the hot side of the displacer
On the side , a flow path resistance section, for example, a clearance flow path and a buffer volume section are provided. In the cycle DA, fluid flows from the high temperature section to the low temperature section. At this time, since the pressure in the expansion chamber is low, a high pressure difference occurs before and after the seal in the conventional seal structure, and the fluid leaks. However, in the structure of the present invention, the pressure in the buffer volume above the seal (high temperature side) is increased. By appropriately adjusting the passage resistance, that is, the clearance, the pressure in the expansion chamber can be made substantially the same. Therefore, the pressure difference between before and after the seal is reduced, so that leakage from the seal is reduced, and heat loss is reduced. Also, since the flow path resistance part is configured by a seal,
The flow path resistance portion can be easily formed without requiring high precision processing.
【0010】また、シール部に補助蓄冷器を設けている
ので、シール部から漏れた高温のヘリウムガスが補助蓄
冷器で冷却され膨張空間に導入され、而して熱損失が低
減される。Further, since the auxiliary regenerator is provided in the seal portion, high-temperature helium gas leaking from the seal portion is cooled by the auxiliary regenerator and introduced into the expansion space, thereby reducing heat loss.
【0011】[0011]
【実施例】実施例1. 図1は本発明の実施例1の極低温冷凍機の要部を示す構
成図であり、1〜24は上記従来装置と全く同一のもの
である。25は流路抵抗部、この場合はクリアランス流
路、26はバッファー容積部であり、ともにディスプレ
ーサーの高温側に設けたシール部の高温側に設けられて
いる。 [Embodiment 1] FIG. 1 is a configuration diagram showing a main part of a cryogenic refrigerator according to a first embodiment of the present invention, wherein 1 to 24 are exactly the same as the above-described conventional apparatus. Reference numeral 25 denotes a flow path resistance part, in this case, a clearance flow path, and reference numeral 26 denotes a buffer volume part, both of which are displays.
On the hot side of the seal provided on the hot side of the heat sink
I have.
【0012】上記のように構成された極低温冷凍機にお
いては、シール部にクリアランス流路25とバッファー
容積部26を設けている。サイクルのD−Aでは高温部
から低温部へ流体が流れる。このとき第2段膨張室10
は低圧であるので従来のシール構造では第2段シール1
3の前後に高い圧力差が生じ流体が漏れ損失が発生して
いた。しかし本実施例の構造ではシールの上部のバッフ
ァー容積部26の圧力はクリアランス流路26のクリア
ランスを適当に調節すれば第2段膨張室10の圧力とほ
ぼ同じにする事ができるので、シール前後の圧力差が小
さくなりシールからの漏れが少なくなる。またサイクル
のB−Cでは低温部から高温部へ流体が流れるが上記作
用と同様にして圧力差が小さくなり漏れが減少し、第2
段蓄冷器12との熱交換が促進されるので損失を低減さ
せる効果がある。In the cryogenic refrigerator configured as described above, a clearance channel 25 and a buffer volume 26 are provided in the seal portion. In the cycle DA, fluid flows from the high temperature section to the low temperature section. At this time, the second stage expansion chamber 10
Is a low pressure, so that the second-stage seal 1
A high pressure difference occurred before and after No. 3 and a fluid leakage loss occurred. However, in the structure of the present embodiment, the pressure in the buffer volume 26 above the seal can be made substantially the same as the pressure in the second-stage expansion chamber 10 by appropriately adjusting the clearance of the clearance flow passage 26. And the leakage from the seal is reduced. In the cycle BC, fluid flows from the low-temperature section to the high-temperature section. However, in the same manner as described above, the pressure difference is reduced, and the leakage is reduced.
Since heat exchange with the step cool storage unit 12 is promoted, there is an effect of reducing loss.
【0013】実施例2.また、上記実施例1では流路抵
抗部としてクリアランス流路26を形成したが、図2の
要部構成図に示すように、この部分に第2段シール13
とは別のシール、流路抵抗シール25aを設け、バッフ
ァー容積部26の圧力を第2段膨張室10の圧力とほぼ
同じにするようにしても良い。Embodiment 2 FIG. Further, in the first embodiment, the clearance passage 26 is formed as the passage resistance portion. However, as shown in the main configuration diagram of FIG.
A separate seal, a flow resistance seal 25a, may be provided to make the pressure in the buffer volume 26 substantially equal to the pressure in the second-stage expansion chamber 10.
【0014】実施例3.図3は本発明の実施例3を示す
構成図であり、27は補助蓄冷器である。上記のように
構成された極低温冷凍機においては、第2段シール13
部に補助蓄冷器27が設けてあるので第2段シール13
から漏れた高温のヘリウムガス1は補助蓄冷器27で冷
却され第2段膨張室10に導入されるので熱損失が低減
される。また、この補助蓄冷器27は本来の蓄冷器と同
様に膨張空間が高圧の際に低温のヘリウムガスで冷却さ
れるので連続して損失を低減することが可能となる。Embodiment 3 FIG. FIG. 3 is a block diagram showing a third embodiment of the present invention, and 27 is an auxiliary regenerator. In the cryogenic refrigerator configured as described above, the second-stage seal 13
Since the auxiliary regenerator 27 is provided in the section, the second-stage seal 13
Helium gas 1 leaked from the helium gas is cooled by the auxiliary regenerator 27 and introduced into the second-stage expansion chamber 10, so that heat loss is reduced. Further, since the auxiliary regenerator 27 is cooled by low-temperature helium gas when the expansion space is at a high pressure, the loss can be reduced continuously as in the case of the original regenerator.
【0015】また、上記実施例3では補助蓄冷器27を
ディスプレ−サ側に設置したが、図4の構成図に示すよ
うにシリンダ側に設置しても良い。また、図5の構成図
に示すようにディスプレーサー側とシリンダ側の両方に
設置しても良い。Further, in the third embodiment, the auxiliary regenerator 27 is installed on the display side, but it may be installed on the cylinder side as shown in FIG. Further, as shown in the configuration diagram of FIG. 5, it may be installed on both the displacer side and the cylinder side.
【0016】なお、上記実施例では第2段蓄冷器、第2
段シールに関して述べたが、第1段蓄冷器や第3段蓄冷
器またそれ以上の蓄冷器、シールに適用できる事は明か
である。In the above embodiment, the second-stage regenerator,
Although the description has been made with respect to the stage seal, it is apparent that the present invention can be applied to the first stage regenerator, the third stage regenerator, and further regenerators and seals.
【0017】また、上記実施例ではギフォ−ド・マクマ
ホン冷凍機について述べたが、その他の冷凍サイクル、
例えばスタ−リング冷凍機やビルマイヤ−冷凍機、クロ
−ド冷凍機、ソルベ−冷凍機にも使用できる。また、上
記実施例では2段式冷凍機について述べたが、単段式や
3段以上の冷凍機に使用できることは明かである。In the above-described embodiment, the description is made for the Gifford McMahon refrigerator.
For example, it can be used for a Stirling refrigerator, a Billmeyer refrigerator, a chloride refrigerator, and a Solvay refrigerator. In the above embodiment, a two-stage refrigerator is described, but it is apparent that the present invention can be used for a single-stage refrigerator or a three-stage refrigerator or more.
【0018】[0018]
【発明の効果】本発明の極低温冷凍機は、以上説明した
ように構成されているので、以下に記載されるような効
果がある。膨張機の作動流体のシール部をディスプレー
サーの高温側に設けるとともに上記シール部の高温側に
流路抵抗部とバッファー容積部とを設けたので、シール
部前後の圧力差が小さくなりシールからの漏れが少なく
なり、冷凍効率が向上する。また、流路抵抗部をシール
により構成したので、高精度加工を要せず簡便に形成で
きる。 The cryogenic refrigerator according to the present invention is configured as described above and has the following effects. Display the seal of the working fluid of the expander
Since it is provided on the high temperature side of the sealer and the flow path resistance part and the buffer volume part are provided on the high temperature side of the seal part, the pressure difference before and after the seal part becomes small, leakage from the seal is reduced, and refrigeration efficiency is improved. . Also seals the flow path resistance
, So it can be formed easily without high precision processing.
Wear.
【0019】また、膨張機のシール部で作動流体をシー
ルする流路部分に補助蓄冷器を設けたので、シール部か
ら漏れた高温の作動流体が補助蓄冷器で冷却され膨張空
間に導入されるので熱損失が低減され、冷凍効率が向上
する。Further, since the auxiliary regenerator is provided in the flow path portion for sealing the working fluid at the seal portion of the expander, the high-temperature working fluid leaked from the seal portion is cooled by the auxiliary regenerator and introduced into the expansion space. Therefore, heat loss is reduced and refrigeration efficiency is improved.
【図1】本発明の実施例1の極低温冷凍機の要部を示す
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a main part of a cryogenic refrigerator according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の実施例2の極低温冷凍機の要部を示す
構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a main part of a cryogenic refrigerator according to a second embodiment of the present invention.
【図3】本発明の実施例3の極低温冷凍機を示す構成図
である。FIG. 3 is a configuration diagram illustrating a cryogenic refrigerator according to a third embodiment of the present invention.
【図4】本発明の実施例3の極低温冷凍機の他の実施態
様を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing another embodiment of the cryogenic refrigerator of Embodiment 3 of the present invention.
【図5】本発明の実施例3の極低温冷凍機の他の実施態
様を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram illustrating another embodiment of the cryogenic refrigerator according to the third embodiment of the present invention.
【図6】従来の極低温冷凍機を示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram showing a conventional cryogenic refrigerator.
【図7】極低温冷凍機のP−V線図である。FIG. 7 is a PV diagram of the cryogenic refrigerator.
1 作動ガス 10 第2段膨張室 11 第2段ディスプレーサー 12 第2段蓄冷器 13 第2段シール 14 第2段冷凍ステージ 15 第2段シリンダ 19 圧縮機 25 クリアランス流路 26 バッファー容積部 27 補助蓄冷器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Working gas 10 2nd stage expansion chamber 11 2nd stage displacer 12 2nd stage regenerator 13 2nd stage seal 14 2nd stage refrigeration stage 15 2nd stage cylinder 19 Compressor 25 Clearance channel 26 Buffer capacity part 27 Auxiliary Regenerator
Claims (3)
サー及び蓄冷器からなる膨張機を備え、作動流体を膨張
させて寒冷を発生させる極低温冷凍機において、上記膨
張機の作動流体のシール部をディスプレーサーの高温側
に設けるとともに上記シール部の高温側に流路抵抗部と
バッファー容積部とを設けたことを特徴とする極低温冷
凍機。1. A compressor, as well as a cylinder, includes a expander consisting displacer and regenerator, in inflating the working fluid cryogenic refrigerator which generates cold, display the seal portion of the working fluid of the expander Sir hot side
Cryogenic refrigerator is characterized by providing a flow path resistance portion and the buffer volume on the high temperature side of the seal portion is provided on.
ることを特徴とする請求項1記載の極低温冷凍機。 2. The flow path resistance part is constituted by a seal.
The cryogenic refrigerator according to claim 1, wherein:
サー及び蓄冷器からなる膨張機を備え、作動流体を膨張
させて寒冷を発生させる極低温冷凍機において、上記膨
張機のシール部で上記作動流体をシールする流路部分に
補助蓄冷器を設けたことを特徴とする極低温冷凍機。 3. A compressor, a cylinder and a display.
Equipped with expander consisting of heat sink and regenerator to expand working fluid
In a cryogenic refrigerator that generates cold by causing
At the seal part of the stretcher, in the flow path part that seals the above working fluid
A cryogenic refrigerator having an auxiliary regenerator.
Priority Applications (1)
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JP3310465A JP2771721B2 (en) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | Cryogenic refrigerator |
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JP3310465A JP2771721B2 (en) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | Cryogenic refrigerator |
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JPH05141800A JPH05141800A (en) | 1993-06-08 |
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Family Cites Families (1)
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JPH0623881Y2 (en) * | 1987-11-09 | 1994-06-22 | 三洋電機株式会社 | Expander |
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