JP2763261B2 - 吸着パッド - Google Patents
吸着パッドInfo
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- JP2763261B2 JP2763261B2 JP5322596A JP32259693A JP2763261B2 JP 2763261 B2 JP2763261 B2 JP 2763261B2 JP 5322596 A JP5322596 A JP 5322596A JP 32259693 A JP32259693 A JP 32259693A JP 2763261 B2 JP2763261 B2 JP 2763261B2
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- suction
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- sucked
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを吸着し、例え
ばロボット等の移動手段によって他の場所に移動後、こ
のワークを離すことにより移載する吸着パッドに関し、
詳細には薄いシート状のフイルムを吸着するのに適した
吸着パッドに係るものである。
ばロボット等の移動手段によって他の場所に移動後、こ
のワークを離すことにより移載する吸着パッドに関し、
詳細には薄いシート状のフイルムを吸着するのに適した
吸着パッドに係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、積載された板状体は種々の手
段からなる移載装置を介して移動され、その移載するワ
ークの例えば板状体を支持する手段として吸着パッドを
使用することは知られている。
段からなる移載装置を介して移動され、その移載するワ
ークの例えば板状体を支持する手段として吸着パッドを
使用することは知られている。
【０００３】例えば特開平３−２９３２３７号の公報に
は、中心部に吸引孔を有する吸盤本体の外側に中間薄膜
を配設し、この中間薄膜の外周縁を吸盤本体の外周縁よ
り外方に突出して設け、前記中間薄膜を外側から押さえ
る補強盤を配設し、この補強盤の中心部を前記吸盤本体
の中心部に固着し、且つ補強盤の外周縁を中間薄膜の外
周縁よりも外方に突出して設けた吸着パッドが開示さ
れ、また先に本出願人が提案した実公平５−４４３７５
号の公報には、外周部分に形成するリブ部を有する縦断
面皿状のゴムまたは柔軟な樹脂製カップ体と、該カップ
体に一体成形した補強部材と、該補強部材に対応するカ
ップ体内面に通気する部分を有するように形成した同心
円状の凸状部とからなる吸着具において、前記リブ部と
前記同心円状の凸状部にかけてのカップ体内面で、かつ
前記補強部材の外周部から前記リブ部の付根部分の領域
に同心円状の補助リブ部を設け、しかも該補助リブ部の
高さが前記同心円状の凸状部の高さより０．２〜３ｍｍ
高く、かつ前記リブ部の高さよりも低い吸着部、さらに
実公昭５５−１１８７８号の公報には、積層フイルムを
その側端部付近において吸着するように取付枠に枢着し
たチャックと、該チャックを積層フイルムに吸着した状
態において前記枢軸を中心に回動せしめ該フイルムの端
部を他の積層フイルムから離隔するための駆動手段とか
らなり、前記チャック部はその下方開口部に柔軟なシー
トが配され、その周辺部がシール部材により囲繞された
吸着部を具備しており、この吸着部には複数個の真空孔
がシートを貫いて設けられており、更に真空孔にはシー
トの裏側に位置するように金網あるいは織布が張設さ
れ、前記積層フイルムの端部を離隔した状態で取出すよ
うに構成したフイルムの自動取出し装置が開示され、さ
らには特開平２−８３１８０号の公報には、接続金具を
介して真空引きを行なうエアチューブに接続される接続
筒を一端面中央に具え他端面を大径とされ中心に前記接
続筒に連通する吸引孔を具えた段付の円板部を有する支
持金具と、この支持金具の前記円板部に円板部周面の段
部により係合固着されスカート部を具えたゴムパッドと
を有するものにおいて、前記スカート部の包囲する空間
内にこの空間を径方向に複数箇に分割するスカート部を
有する環状ゴムパッドを設けて前記空間を複数箇の環状
空間に分割し、これ等の環状空間内には円周方向に分布
して複数箇の隔離スカート部を設けてこれ等の環状空間
を円周方向に複数箇の吸引空間に分割し、前記円板部に
は前記吸引孔に連通し前記各吸引空間に開口する吸引小
孔を設け、前記吸引孔開口部および各吸引小孔開口部に
はそれ等の設けられた吸引空間内の圧力がそれ等自体内
の圧力より大なる時に、閉鎖される弁板を設けた吸着パ
ッドが開示されている。
は、中心部に吸引孔を有する吸盤本体の外側に中間薄膜
を配設し、この中間薄膜の外周縁を吸盤本体の外周縁よ
り外方に突出して設け、前記中間薄膜を外側から押さえ
る補強盤を配設し、この補強盤の中心部を前記吸盤本体
の中心部に固着し、且つ補強盤の外周縁を中間薄膜の外
周縁よりも外方に突出して設けた吸着パッドが開示さ
れ、また先に本出願人が提案した実公平５−４４３７５
号の公報には、外周部分に形成するリブ部を有する縦断
面皿状のゴムまたは柔軟な樹脂製カップ体と、該カップ
体に一体成形した補強部材と、該補強部材に対応するカ
ップ体内面に通気する部分を有するように形成した同心
円状の凸状部とからなる吸着具において、前記リブ部と
前記同心円状の凸状部にかけてのカップ体内面で、かつ
前記補強部材の外周部から前記リブ部の付根部分の領域
に同心円状の補助リブ部を設け、しかも該補助リブ部の
高さが前記同心円状の凸状部の高さより０．２〜３ｍｍ
高く、かつ前記リブ部の高さよりも低い吸着部、さらに
実公昭５５−１１８７８号の公報には、積層フイルムを
その側端部付近において吸着するように取付枠に枢着し
たチャックと、該チャックを積層フイルムに吸着した状
態において前記枢軸を中心に回動せしめ該フイルムの端
部を他の積層フイルムから離隔するための駆動手段とか
らなり、前記チャック部はその下方開口部に柔軟なシー
トが配され、その周辺部がシール部材により囲繞された
吸着部を具備しており、この吸着部には複数個の真空孔
がシートを貫いて設けられており、更に真空孔にはシー
トの裏側に位置するように金網あるいは織布が張設さ
れ、前記積層フイルムの端部を離隔した状態で取出すよ
うに構成したフイルムの自動取出し装置が開示され、さ
らには特開平２−８３１８０号の公報には、接続金具を
介して真空引きを行なうエアチューブに接続される接続
筒を一端面中央に具え他端面を大径とされ中心に前記接
続筒に連通する吸引孔を具えた段付の円板部を有する支
持金具と、この支持金具の前記円板部に円板部周面の段
部により係合固着されスカート部を具えたゴムパッドと
を有するものにおいて、前記スカート部の包囲する空間
内にこの空間を径方向に複数箇に分割するスカート部を
有する環状ゴムパッドを設けて前記空間を複数箇の環状
空間に分割し、これ等の環状空間内には円周方向に分布
して複数箇の隔離スカート部を設けてこれ等の環状空間
を円周方向に複数箇の吸引空間に分割し、前記円板部に
は前記吸引孔に連通し前記各吸引空間に開口する吸引小
孔を設け、前記吸引孔開口部および各吸引小孔開口部に
はそれ等の設けられた吸引空間内の圧力がそれ等自体内
の圧力より大なる時に、閉鎖される弁板を設けた吸着パ
ッドが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】吸着部を吸着用の薄
膜を含む多層構造にして表面に凹凸のある製品、部品等
を吸着する特開平３−２９３２３７号の公報の吸着パッ
ドや、特定な高さの補助リブ部を特異な場所に配設し、
しなり、たわみあるいは傾き等が生じすい板状体を安全
確実に吸着する実公平５−４４３７５号の公報の吸着パ
ッドでは、例えば薄いシート状のフイルムを吸着すると
吸引に伴い吸引孔にフイルムが吸い込まれ、該フイルム
のしわによってパッドの周縁に設けたリップ部にリーク
が発生して吸着不良を生じ易く、ひとたび吸い込まれた
フイルムは吸着解放時にそのしわを伸張するには他の手
段を別途必要とする問題があり、積層フイルムを吸着し
て取り出す実公昭５５−１１８７８号のものは、吸着孔
にフイルムの吸い込みは金網によって防止され、さらに
チャックのシリンダーによる首振りで残存フイルムの負
圧対策をも設けてあるが、吸着面に不慮の孔があれば吸
着力は急減し、移動中に脱落する問題があり、その問題
の吸着力の低減防止を計った特開平２−８３１８０号の
ものは、パッド内に複数のリング状の吸引空間を設け、
該吸引空間内に設けた吸引小孔に弁板を設けて吸引を遮
断可能な構成で、ワークの穿孔部分から侵入する空気の
防止を計り他の吸引空間の負圧を維持するものである
が、弁板の作動遅れから発生する他の吸引空間への空気
の回り込みは避けられず、吸引力の低下は免れないとい
う問題があった。
膜を含む多層構造にして表面に凹凸のある製品、部品等
を吸着する特開平３−２９３２３７号の公報の吸着パッ
ドや、特定な高さの補助リブ部を特異な場所に配設し、
しなり、たわみあるいは傾き等が生じすい板状体を安全
確実に吸着する実公平５−４４３７５号の公報の吸着パ
ッドでは、例えば薄いシート状のフイルムを吸着すると
吸引に伴い吸引孔にフイルムが吸い込まれ、該フイルム
のしわによってパッドの周縁に設けたリップ部にリーク
が発生して吸着不良を生じ易く、ひとたび吸い込まれた
フイルムは吸着解放時にそのしわを伸張するには他の手
段を別途必要とする問題があり、積層フイルムを吸着し
て取り出す実公昭５５−１１８７８号のものは、吸着孔
にフイルムの吸い込みは金網によって防止され、さらに
チャックのシリンダーによる首振りで残存フイルムの負
圧対策をも設けてあるが、吸着面に不慮の孔があれば吸
着力は急減し、移動中に脱落する問題があり、その問題
の吸着力の低減防止を計った特開平２−８３１８０号の
ものは、パッド内に複数のリング状の吸引空間を設け、
該吸引空間内に設けた吸引小孔に弁板を設けて吸引を遮
断可能な構成で、ワークの穿孔部分から侵入する空気の
防止を計り他の吸引空間の負圧を維持するものである
が、弁板の作動遅れから発生する他の吸引空間への空気
の回り込みは避けられず、吸引力の低下は免れないとい
う問題があった。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】かかる問題の解決を計
るため本発明は、薄いシート状フイルムを吸着するため
の吸着パッド１であって、該吸着パッドは減圧用の吸引
孔８を有する剛性材からなる円筒容器状の外部カップ体
７の内側に減圧用の吸引孔６を有する剛性材からなる円
筒容器状の内部カップ体５を取付けた構造からなり、内
部カップ体５には、内壁３側に複数個の小孔２を穿設し
た剛性材からなる蓋部３’を螺着して内部に真空溜４を
形成し、外部カップ体７の側壁内面と内部カップ体側壁
外面とで他方の真空溜９と共に被吸着フイルム面側に連
通するスリット１０とを形成し、外部カップ体５の側壁
外周縁にはゴムあるいは柔軟な樹脂からなるリップ部１
３を接着したリング１２を螺着し、さらに、内壁３、リ
ング１２およびリップ部１３の吸着面には被吸着フイル
ムと当接するとともに吸引溝１７、１９を形成する柔軟
性材からなる当接板１６、１８を設け、内部カップ体５
の側壁周端面には、被吸着フイルムが吸着された時に蓋
部３’に穿設した小孔２群とスリット１０との間の通気
を遮断する柔軟性材からなる仕切部１１を設け、これら
の当接板１６、１８、仕切り部１１の吸着面、押圧され
た時のリップ部１３の先端部が平面を形成するように
し、吸着パッドを被吸着フイルムに押圧したときに当接
板１６、１８および仕切り部１１の吸着面、リップ部１
３の先端部を介して、蓋部３’、内部カップ体５、外部
カップ体７、リング１２からなる広い面で被吸着フイル
ムを平らに押圧した状態で吸着するようにした吸着パッ
ドを提供する。
るため本発明は、薄いシート状フイルムを吸着するため
の吸着パッド１であって、該吸着パッドは減圧用の吸引
孔８を有する剛性材からなる円筒容器状の外部カップ体
７の内側に減圧用の吸引孔６を有する剛性材からなる円
筒容器状の内部カップ体５を取付けた構造からなり、内
部カップ体５には、内壁３側に複数個の小孔２を穿設し
た剛性材からなる蓋部３’を螺着して内部に真空溜４を
形成し、外部カップ体７の側壁内面と内部カップ体側壁
外面とで他方の真空溜９と共に被吸着フイルム面側に連
通するスリット１０とを形成し、外部カップ体５の側壁
外周縁にはゴムあるいは柔軟な樹脂からなるリップ部１
３を接着したリング１２を螺着し、さらに、内壁３、リ
ング１２およびリップ部１３の吸着面には被吸着フイル
ムと当接するとともに吸引溝１７、１９を形成する柔軟
性材からなる当接板１６、１８を設け、内部カップ体５
の側壁周端面には、被吸着フイルムが吸着された時に蓋
部３’に穿設した小孔２群とスリット１０との間の通気
を遮断する柔軟性材からなる仕切部１１を設け、これら
の当接板１６、１８、仕切り部１１の吸着面、押圧され
た時のリップ部１３の先端部が平面を形成するように
し、吸着パッドを被吸着フイルムに押圧したときに当接
板１６、１８および仕切り部１１の吸着面、リップ部１
３の先端部を介して、蓋部３’、内部カップ体５、外部
カップ体７、リング１２からなる広い面で被吸着フイル
ムを平らに押圧した状態で吸着するようにした吸着パッ
ドを提供する。
【０００６】
【作用】フイルムは複数の小孔とスリット、仕切部で押
圧された状態で吸引されることにより該孔に引き込まれ
ることなく吸着支持され、吸引流路の異なる分割した真
空溜と仕切部とを設けることにより片方にリークが生じ
ても他方で吸着支持により脱落防止が計られ、複数の真
空溜の減圧に時間差、あるいは減圧中に他方を加圧すれ
ば、被吸着体の吸着解放も容易となる。
圧された状態で吸引されることにより該孔に引き込まれ
ることなく吸着支持され、吸引流路の異なる分割した真
空溜と仕切部とを設けることにより片方にリークが生じ
ても他方で吸着支持により脱落防止が計られ、複数の真
空溜の減圧に時間差、あるいは減圧中に他方を加圧すれ
ば、被吸着体の吸着解放も容易となる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は図２のＡ−Ａ視した本発明の縦断
面図を示し、図２は図１に示した吸着パッドを内面板側
からみた平面図を示す。
細に説明する。図１は図２のＡ−Ａ視した本発明の縦断
面図を示し、図２は図１に示した吸着パッドを内面板側
からみた平面図を示す。
【０００８】吸着パッド１は、天井の中心部に吸引孔６
を設け、内壁３側に複数個の小孔２、２・・を穿設した
円筒容器状の蓋部３’を螺着して真空溜４を形成した内
部カップ体５を、他の吸引孔８を天井の片隅に設けた円
筒容器状の外部カップ体７に螺着して該外部カップ体７
の側壁内面と前記内部カップ体の側壁外面とで他方の真
空溜９を周設し、外部カップ体７と内部カップ体５との
側壁端で環状のスリット１０を形成する。
を設け、内壁３側に複数個の小孔２、２・・を穿設した
円筒容器状の蓋部３’を螺着して真空溜４を形成した内
部カップ体５を、他の吸引孔８を天井の片隅に設けた円
筒容器状の外部カップ体７に螺着して該外部カップ体７
の側壁内面と前記内部カップ体の側壁外面とで他方の真
空溜９を周設し、外部カップ体７と内部カップ体５との
側壁端で環状のスリット１０を形成する。
【０００９】内部カップ体５の側壁周端面には、蓋部
３’に穿設した小孔２、２・・と前記スリット１０との
間の通気を遮断するゴムあるいは柔軟な樹脂板からなる
仕切部１１を貼着して設ける。外部カップ体７の側壁外
周縁にはつば部１４を配設し、該カップ体の側壁外周縁
に螺着したリング１２と接着するゴムあるいは柔軟な樹
脂からなるリップ部１３を、前記つば部１４にパッキン
１５を押圧するように螺着して取り付ける。該リップ部
１３と蓋部３’に穿設した小孔２、２・・とスリット１
０からなる皿状の内壁３に設けた吸着面には、被吸着体
と当接するゴムあるいは柔軟な樹脂からなる当接板１６
を小孔２を挟んで貼着することにより、その小孔２、２
・・へ通気する複数の吸引溝１７を設ける。また外部カ
ップ体７、リング１２およびリップ部１３の端面に前記
の当接板１６と同様なゴムあるいは柔軟な樹脂からなる
当接板１８を放射状に貼着し、スリット１０への通気を
助長する他の吸引溝１９を配設する。
３’に穿設した小孔２、２・・と前記スリット１０との
間の通気を遮断するゴムあるいは柔軟な樹脂板からなる
仕切部１１を貼着して設ける。外部カップ体７の側壁外
周縁にはつば部１４を配設し、該カップ体の側壁外周縁
に螺着したリング１２と接着するゴムあるいは柔軟な樹
脂からなるリップ部１３を、前記つば部１４にパッキン
１５を押圧するように螺着して取り付ける。該リップ部
１３と蓋部３’に穿設した小孔２、２・・とスリット１
０からなる皿状の内壁３に設けた吸着面には、被吸着体
と当接するゴムあるいは柔軟な樹脂からなる当接板１６
を小孔２を挟んで貼着することにより、その小孔２、２
・・へ通気する複数の吸引溝１７を設ける。また外部カ
ップ体７、リング１２およびリップ部１３の端面に前記
の当接板１６と同様なゴムあるいは柔軟な樹脂からなる
当接板１８を放射状に貼着し、スリット１０への通気を
助長する他の吸引溝１９を配設する。
【００１０】各吸引孔６、８には図示されないチューブ
を継手を介してつなぎ、該各チューブにはそれぞれを開
閉する電磁弁と減圧用のエジェクタとを連設する。内
部、外部カップ体５、７、蓋部３’、リング１２等の材
質は、ステンレススチール、アルミニューム等の剛性材
を使用し、ゴムあるいは柔軟な樹脂としては、ウレタン
ゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、ビニール、ナイロ
ン、シリコン樹脂等を使用する。
を継手を介してつなぎ、該各チューブにはそれぞれを開
閉する電磁弁と減圧用のエジェクタとを連設する。内
部、外部カップ体５、７、蓋部３’、リング１２等の材
質は、ステンレススチール、アルミニューム等の剛性材
を使用し、ゴムあるいは柔軟な樹脂としては、ウレタン
ゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、ビニール、ナイロ
ン、シリコン樹脂等を使用する。
【００１１】以下、本発明の作用を説明する。移載装置
に配設する複数の吸着パッド１は、そのリップ部１３を
被吸着体に押圧して、図示されない電磁弁とエジェクタ
の作動により吸引孔６、８より真空溜４、９の空気を吸
引して減圧すると、該被吸着体と内壁３との空隙に滞在
する空気は複数の当接板１６、１８に形成される吸引溝
１７、１９を通気し、小孔２から吸引孔６へ、あるいは
スリット１０を経由して吸引孔８へ吸引され、該当接板
１６、１８を介して内壁３に密着すると同時に仕切部１
１とも圧接し、該仕切部を挟んで小孔２、２・・側とス
リット１０側に区分して被吸着体を吸着する。
に配設する複数の吸着パッド１は、そのリップ部１３を
被吸着体に押圧して、図示されない電磁弁とエジェクタ
の作動により吸引孔６、８より真空溜４、９の空気を吸
引して減圧すると、該被吸着体と内壁３との空隙に滞在
する空気は複数の当接板１６、１８に形成される吸引溝
１７、１９を通気し、小孔２から吸引孔６へ、あるいは
スリット１０を経由して吸引孔８へ吸引され、該当接板
１６、１８を介して内壁３に密着すると同時に仕切部１
１とも圧接し、該仕切部を挟んで小孔２、２・・側とス
リット１０側に区分して被吸着体を吸着する。
【００１２】複数の吸着パッド１に吸着された被吸着体
は、図示されない移載装置の作動により所定の位置に移
動され吸着を解除する。複数の真空溜４、９を設けたこ
とにより減圧容量も大きく吸着の確実性をより向上し、
被吸着体から不慮のリークが発生しても小孔２群とスリ
ット１０とに分離された正常な一方での吸着により、吸
着支持して吸着のトラブルを生ずることなく移動でき
る。
は、図示されない移載装置の作動により所定の位置に移
動され吸着を解除する。複数の真空溜４、９を設けたこ
とにより減圧容量も大きく吸着の確実性をより向上し、
被吸着体から不慮のリークが発生しても小孔２群とスリ
ット１０とに分離された正常な一方での吸着により、吸
着支持して吸着のトラブルを生ずることなく移動でき
る。
【００１３】また、複数の小孔２とリング状のスリット
１０とにより被吸着体が例えばフイルム等の薄いシート
状のものでも該孔に引き込まれることなく、略平らな状
態で吸着され、しわもなく開放することができ、図示さ
れない電磁弁の切替えにより真空溜４、９に時間差を付
けた負圧、あるいは一方を負圧、他方を正圧あるいは加
圧にする等もでき、その作用により軽量なフイルム等の
移載完了後の釈放も容易となる。
１０とにより被吸着体が例えばフイルム等の薄いシート
状のものでも該孔に引き込まれることなく、略平らな状
態で吸着され、しわもなく開放することができ、図示さ
れない電磁弁の切替えにより真空溜４、９に時間差を付
けた負圧、あるいは一方を負圧、他方を正圧あるいは加
圧にする等もでき、その作用により軽量なフイルム等の
移載完了後の釈放も容易となる。
【００１４】真空溜４、９、あるいはリップ部１３を螺
着方式とすれば組立が容易で、そのシール性能も確保で
き、また内壁３とリップ部１３先端との収縮高さをリン
グ１２の締め込みによる容易な調整とすることで吸着の
確実性を高める。
着方式とすれば組立が容易で、そのシール性能も確保で
き、また内壁３とリップ部１３先端との収縮高さをリン
グ１２の締め込みによる容易な調整とすることで吸着の
確実性を高める。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、複数の真空溜に複数の小孔と
スリットによる吸着面を設けた吸着パッドにより、吸着
時に片側に吸引漏れが発生しても他方の吸着面で対処
し、トラブルを防止して移動が可能となり、薄いシート
状の被吸着体でも吸引孔に吸い込まれることなく正圧解
放を容易にし、解放されたしわの無い被吸着体により次
工程の処理も容易にでき、一連の自動化が可能となり作
業効率の増大と省力化を計ることができる。
スリットによる吸着面を設けた吸着パッドにより、吸着
時に片側に吸引漏れが発生しても他方の吸着面で対処
し、トラブルを防止して移動が可能となり、薄いシート
状の被吸着体でも吸引孔に吸い込まれることなく正圧解
放を容易にし、解放されたしわの無い被吸着体により次
工程の処理も容易にでき、一連の自動化が可能となり作
業効率の増大と省力化を計ることができる。
【図１】本発明の吸着パッドを図２のＡ−Ａ視した本発
明の縦断面図を示す。
明の縦断面図を示す。
【図２】吸着パッドの内壁側から見た平面図を示す。
【符号の説明】１ ・・・・・・吸着パッド ２・・・・・・小孔 ３・・・・・・内壁 ４、９・・・・真空溜 ５・・・・・・内部カップ体 ６、８・・・・吸引孔 ７・・・・・・外部カップ体 １０・・・・・・スリット １１・・・・・・仕切部 １３・・・・・・リップ部 １６、１８・・・当接板 １７、１９・・・吸引溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B25J 15/06 B65H 3/08 350
Claims (1)
- 【請求項１】薄いシート状フイルムを吸着するための吸
着パッド１であって、該吸着パッドは減圧用の吸引孔８
を有する剛性材からなる円筒容器状の外部カップ体７の
内側に減圧用の吸引孔６を有する剛性材からなる円筒容
器状の内部カップ体５を取付けた構造からなり、内部カ
ップ体５には、内壁３側に複数個の小孔２を穿設した剛
性材からなる蓋部３’を螺着して内部に真空溜４を形成
し、内部カップ体５の形状は外部カップ体７の側壁内面
と内部カップ体側壁外面とで他方の真空溜９と共に被吸
着フイルム面側端部に真空溜９と連通するスリット１０
が形成される形状とし、外部カップ体５の側壁外周縁に
はゴムあるいは柔軟な樹脂からなるリップ部１３を接着
したリング１２を螺着し、さらに、内壁３、リング１２
の吸着面には被吸着フイルムと当接するとともに小孔２
に連通する吸引溝１７、スリット１０に連通する吸引孔
１９を形成する柔軟性材からなる当接板１６、１８を設
け、内部カップ体５の側壁周端面には、被吸着フイルム
が吸着された時に蓋部３’に穿設した小孔２群とスリッ
ト１０との間の通気を遮断する柔軟性材からなる仕切部
１１を設け、これらの当接板１６、１８、仕切り部１１
の吸着面が平面を形成するようにし、吸着パッドのリッ
プ部１３を被吸着フイルムに押圧したときに当接板１
６、１８および仕切り部１１の吸着面で被吸着フイルム
を略平らな状態で吸着するようにしたことを特徴とする
吸着パッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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