Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2699298B2 - Ultrasonic motor drive circuit - Google Patents

Ultrasonic motor drive circuit

Info

Publication number
JP2699298B2
JP2699298B2 JP6132897A JP13289794A JP2699298B2 JP 2699298 B2 JP2699298 B2 JP 2699298B2 JP 6132897 A JP6132897 A JP 6132897A JP 13289794 A JP13289794 A JP 13289794A JP 2699298 B2 JP2699298 B2 JP 2699298B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase difference
ultrasonic motor
frequency
voltage
vibrator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP6132897A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07143775A (en
Inventor
忠雄 ▲高▼木
重正 佐藤
和男 袴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP6132897A priority Critical patent/JP2699298B2/en
Publication of JPH07143775A publication Critical patent/JPH07143775A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2699298B2 publication Critical patent/JP2699298B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は超音波モータの駆動回路
に関する。 【0002】 【従来の技術】圧電体と弾性体とからなるステータと、
ロータとから構成される超音波モータが新しい駆動源と
して注目されている。この超音波モータを高効率で駆動
させるためには、圧電体への入力周波数を最適値もしく
はその近傍の値に設定しなければならない。 【0003】ところが、その最適値は温度等の環境条件
の変動や経時変化、もしくは超音波モータのステータと
ロータとの間の加圧力の変動等に影響を受けて変化する
ために常時最適な入力周波数を検知して、入力周波数を
制御する必要がある。例えば、本願出願人の出願である
特開昭59−204477号に開示されているように、
圧電素子の入力電圧が印加されていない部分から励振に
よって生ずる電圧をモニター電圧として検出し、この検
出結果に基づいて最適周波数の値を求める方法がある。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】ところが、特開昭59
−204477号の第4図に示されているように、1つ
のモニター電圧に対応する周波数が2値あるため、どち
らの周波数に合わせるかの判断が必要になり、超音波モ
ータの駆動回路の構成が複雑になるという問題点があっ
た。 そこで本発明は、超音波モータの駆動回路の構成
が複雑になることなく、超音波モータを所望の状態で駆
動できる超音波モータの駆動回路を提供することを目的
とする。 【0005】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、電気機械変換素子と弾性体とを備え、
前記電気機械変換素子に駆動信号が引加されることで振
動を発生する振動子と、該振動子との間で相対運動を行
う相対運動部材とを有する超音波モーターの駆動回路に
おいて、前記振動子における、前記駆動信号が印加され
ていない部分から、該振動子の振動状態に応じて電圧を
発生する電圧発生手段と、前記電圧発生手段から得られ
る電圧と前記駆動信号の電圧との第1位相差を算出する
位相差算出手段と、第2位相差を予め設定する位相差設
定手段と、前記位相差算出手段で得られた前記第1位相
差に関する量と前記位相差設定手段で設定した前記第2
位相差に関する量とを比較する比較手段と、前記比較手
段で比較された前記第1位相差と前記第2位相差とのず
れ方向に基づいて、前記駆動信号の周波数のズラシ方向
を決定する制御手段とを設けた。 【0006】 【作用】本発明では、位相差算出手段が電圧発生手段か
ら得られる電圧と駆動信号の電圧から第1位相差を算出
し、比較手段が第1位相差と位相差設定手段で設定され
た第2位相差とを比較する。図2に示すように、前記第
1位相差に対応する周波数の値は1つしかない。そのた
め、制御手段は、前記第1位相差に関する量と前記第2
位相差とのずれ方向に基づいて、前記電気機械変換素子
に印加する駆動信号の周波数のズラシ方向を決定するこ
とができる。 【0007】 【実施例】図1及び図2は本発明の実施例であり、図1
は超音波モーターの駆動回路図を示し、図2は前記駆動
回路の特性図を示す。図1において、発振器1は周波数
fのパルスを波形整形器2に出力し、この波形整形器2
は入力されたパルスを波形整形して正弦波にし、増幅器
4及び移相器3に出力する。移相器3は入力された正弦
波の位相をπ/2移相して出力し、増幅器5に入力す
る。増幅器4,5はそれぞれ入力された正弦波を増幅し
て出力する。そして、増幅された正弦波は、超音波モー
ターのステータ6(圧電体及び弾性体から成る)の圧電
体表面に形成された電極6a,6bに入力される。ステ
ータ6の電極は、6a〜6dの4領域に分割されてい
て、電極6a,6bには前述のように位相の異なる正弦
波が入力され、電極6cにはグランドが接続されいる。
また、電極6dは入力電圧が印加されていない部分であ
る。電極6a・6c間及び電極6b・6c間には整合用
インダクタンス7及び8がそれぞれ並列に接続されてい
る。 【0008】位相差検出回路9は、電極6aへの入力電
圧と、入力電圧の印加されていない電極6dが励振によ
って生じる電圧(以後、モニター電圧と呼ぶ)とを検出
して、その位相差θを算出する。位相差検出回路9は、
この検出した位相差θを比較器10に入力する。比較器
10は、位相差検出回路9からの出力θと、リファレン
サー11から出力される予め設定された最適位相差θ
OPT とを比較してそのずれ量Δθを出力する。この最適
位相差θOPT は、電極6c下の圧電体部分の分極方向や
ステータの減衰やステータに駆動されるロータの圧接力
等により固有に決定される値(即ち個々の超音波モータ
ーに固有の値)である。このθOPT は、実験的に求めら
れ、初期段階でリファレンサー11に設定しておき安定
的に使用できる。なお、実験的に求められる最適位相差
θOPT は、超音波モーターの最大回転数となる位相差で
あってもよく、また、超音波モーターが所望の速度とな
る位相差であってもよい。θf換算器12は、位相差の
ズレΔθを入力して、入力周波数fを最適値にするため
にこの入力周波数fの変位方向と変位量をこのズレ量Δ
θから換算して求め、発振器1を制御する。本実施例で
は、比較器10、リファレンサー11およびθf換算器
12によって制御手段13を構成している。また、圧電
体が電気機械変換素子として、ロータが相対運動部材と
して機能する。 【0009】次に、図2を用いて超音波モータの最大回
転数となる最適位相差θopt を選択した場合の実施例の
動作を説明する。図2は横軸に周波数fを、縦軸に超音
波モーターの回転数N及び位相差算出回路9から出力さ
れる位相差θをそれぞれ取ってある。今、超音波モータ
ーの特性は超音波モーターの回転数Nの周波数特性とし
て曲線NA で示され且つ位相差算出回路9から出力され
る位相差θの周波数特性として曲線θA で示されるもの
とする。この時すなわち時刻Aにおいて、位相差算出回
路9から出力された位相差θと最適位相差θopt とを比
較器10により比較し、その出力を受けてθf換算器1
2は発振器1を最適周波数を出力するように制御する。
その時、曲線θA において、最適位相差θopt に対応す
る周波数が最適入力周波数となる。この入力周波数の最
適値は周波数fA で示される。 【0010】そして、その後、時刻Bにおいて、各種条
件の変化(超音波モーターの駆動による変化及び表面波
モーターに加わる外的条件の変化)等により、回転数N
の周波数特性が曲線NB のように移り変わるとする。し
かし、入力周波数はfA であるために、回転数はN1
(N1<Nmax )に落ちてしまう。このとき、位相差θ
の周波数特性は、回転数の周波数特性のシフトに従って
シフトするので、位相差θの周波数特性は曲線θB のよ
うになる。その結果、時刻Bでは前述した如く入力周波
数はfA であるので、位相差算出回路9は時刻Bでの位
相差θ1 を比較器10に出力する。比較器10では、入
力された位相差θ1 と最適位相差θopt とを比較して、
そのズレ量Δθをθf換算器12に出力する。θf換算
器12では、ズレ量Δθを周波数のズレ量Δfに換算し
て発振器1にフィードバックする。そうすると、発振器
1はズレ量Δfに基づき入力周波数fB を出力する。す
なわち、位相差算出回路9から出力される位相差θが最
適周波数θopt にいつでも一致するように制御すること
により、超音波モーターの駆動効率を高効率に維持して
いる。次の時刻でも同様に位相差θと最適位相差θopt
とを比較してズレ量Δθを求めて発振器1にフィードバ
ックして最適入力周波数を出力させると言う動作を繰り
返す。 【0011】尚、曲線θA , θB は増加あるいは減少を
示す曲線であるので、このズレ量Δθを求めると、ズレ
量Δfに基づく入力周波数fの変位方向及び大きさが決
定されることになる。従って、ズレ量Δθに基づき入力
周波数fをどちら方向にどの程度変化させればよいか知
ることができる。従って、ズレ量Δθを求めることによ
り、周波数のズレ量Δfを求め発振器1にフィードバッ
クして最大回転数を与える入力周波数を決定できるよう
になっているので、超音波モーターは常に最大回転数で
回転でき高効率な駆動ができる。 【0012】 【発明の効果】本発明によれば、電圧発生手段から得ら
れる電圧と駆動信号の電圧から算出される第1位相差に
対応する周波数の値は1つしかない。そのため、前記第
1位相差に関する量と前記第2位相差とのずれ方向に基
づいて、前記電気機械変換素子に印加する駆動信号の周
波数のズラシ方向を決定することができる。 【0013】これにより、簡単な構成で超音波モ−タを
所望の状態で駆動することができる。また、第2位相差
の値の取り方によっては、希望の速度で駆動することが
でき、更に、超音波モータを駆動する周波電圧を希望の
周波数帯域に限定したりすることができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a driving circuit for an ultrasonic motor. [0002] A stator comprising a piezoelectric body and an elastic body;
An ultrasonic motor composed of a rotor and a rotor has attracted attention as a new drive source. In order to drive this ultrasonic motor with high efficiency, the input frequency to the piezoelectric body must be set to an optimum value or a value near the optimum value. However, the optimum value is always affected by changes in environmental conditions such as temperature, changes over time, or changes in the pressurizing force between the stator and the rotor of the ultrasonic motor. It is necessary to detect the frequency and control the input frequency. For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-204477 filed by the present applicant,
There is a method in which a voltage generated by excitation from a portion of the piezoelectric element to which no input voltage is applied is detected as a monitor voltage, and an optimum frequency value is obtained based on the detection result. [0004] However, Japanese Unexamined Patent Publication No.
As shown in FIG. 4 of US Pat. No. 4,204,477, since there are two frequencies corresponding to one monitor voltage, it is necessary to determine which frequency to match, and the configuration of the drive circuit of the ultrasonic motor is required. However, there was a problem that it became complicated. Accordingly, an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor drive circuit that can drive an ultrasonic motor in a desired state without complicating the configuration of the ultrasonic motor drive circuit. In order to achieve the above object, the present invention provides an electromechanical transducer and an elastic body,
In a drive circuit of an ultrasonic motor having a vibrator that generates vibration when a drive signal is applied to the electromechanical transducer and a relative motion member that performs relative motion between the vibrator and the vibration element, A voltage generating means for generating a voltage from a portion of the element to which the drive signal is not applied in accordance with the vibration state of the vibrator; and a first of a voltage obtained from the voltage generating means and a voltage of the drive signal. A phase difference calculating means for calculating a phase difference, a phase difference setting means for presetting a second phase difference, and an amount related to the first phase difference obtained by the phase difference calculating means and set by the phase difference setting means. The second
Comparing means for comparing an amount related to a phase difference; and control for determining a direction of a frequency shift of the drive signal based on a shift direction between the first phase difference and the second phase difference compared by the comparing means. Means. In the present invention, the phase difference calculating means calculates the first phase difference from the voltage obtained from the voltage generating means and the voltage of the drive signal, and the comparing means sets the first phase difference and the phase difference setting means. The second phase difference is compared with the second phase difference. As shown in FIG. 2, there is only one frequency value corresponding to the first phase difference. Therefore, the control means is configured to determine the amount of the first phase difference
The direction in which the frequency of the drive signal applied to the electromechanical transducer is shifted can be determined based on the direction of deviation from the phase difference. FIG. 1 and FIG. 2 show an embodiment of the present invention.
Shows a drive circuit diagram of the ultrasonic motor, and FIG. 2 shows a characteristic diagram of the drive circuit. In FIG. 1, an oscillator 1 outputs a pulse having a frequency f to a waveform shaper 2, and the waveform shaper 2
The waveform of the input pulse is shaped into a sine wave and output to the amplifier 4 and the phase shifter 3. The phase shifter 3 shifts the phase of the input sine wave by π / 2 and outputs the shifted sine wave. The amplifiers 4 and 5 amplify and output the input sine waves, respectively. Then, the amplified sine wave is input to the electrodes 6a and 6b formed on the surface of the piezoelectric body of the stator 6 (comprising a piezoelectric body and an elastic body) of the ultrasonic motor. The electrodes of the stator 6 are divided into four regions 6a to 6d. Sine waves having different phases are input to the electrodes 6a and 6b as described above, and the ground is connected to the electrode 6c.
The electrode 6d is a portion where no input voltage is applied. Matching inductances 7 and 8 are connected in parallel between the electrodes 6a and 6c and between the electrodes 6b and 6c. The phase difference detection circuit 9 detects an input voltage to the electrode 6a and a voltage (hereinafter referred to as a monitor voltage) generated by excitation of the electrode 6d to which no input voltage is applied, and detects a phase difference θ. Is calculated. The phase difference detection circuit 9
The detected phase difference θ is input to the comparator 10. The comparator 10 outputs the output θ from the phase difference detection circuit 9 and the preset optimal phase difference θ output from the reference 11.
OPT and outputs the deviation amount Δθ. The optimum phase difference θ OPT is a value uniquely determined by the polarization direction of the piezoelectric portion below the electrode 6c, the damping of the stator, the pressure contact force of the rotor driven by the stator, and the like (that is, the value unique to each ultrasonic motor). Value). The θ OPT is experimentally obtained, and can be set in the referrer 11 at an initial stage and used stably. The optimum phase difference θ OPT obtained experimentally may be a phase difference at which the ultrasonic motor has the maximum number of revolutions, or a phase difference at which the ultrasonic motor has a desired speed. The θf converter 12 receives the deviation Δθ of the phase difference and calculates the displacement direction and the displacement amount of the input frequency f in order to optimize the input frequency f.
The oscillator 1 is controlled by calculating from θ. In this embodiment, the control means 13 is constituted by the comparator 10, the referrer 11, and the θf converter 12. Further, the piezoelectric body functions as an electromechanical transducer, and the rotor functions as a relative motion member. Next, the operation of the embodiment when the optimum phase difference θ opt which becomes the maximum number of revolutions of the ultrasonic motor is selected will be described with reference to FIG. In FIG. 2, the horizontal axis indicates the frequency f, and the vertical axis indicates the rotational speed N of the ultrasonic motor and the phase difference θ output from the phase difference calculating circuit 9. Now, it is assumed that the characteristics of the ultrasonic motor are indicated by a curve NA as the frequency characteristics of the rotational speed N of the ultrasonic motor and by the curve θA as the frequency characteristics of the phase difference θ output from the phase difference calculating circuit 9. At this time, that is, at time A, the comparator 10 compares the phase difference θ output from the phase difference calculating circuit 9 with the optimum phase difference θopt, and receives the output to receive the θf converter 1
2 controls the oscillator 1 to output the optimum frequency.
At that time, in the curve θA, the frequency corresponding to the optimal phase difference θopt becomes the optimal input frequency. The optimum value of the input frequency is indicated by the frequency fA. Then, at time B, due to changes in various conditions (changes due to driving of the ultrasonic motor and changes in external conditions applied to the surface acoustic wave motor), the number of rotations N
Is changed like a curve NB. However, since the input frequency is fA, the rotation speed is N1.
(N1 <Nmax). At this time, the phase difference θ
Is shifted according to the shift of the frequency characteristic of the rotation speed, so that the frequency characteristic of the phase difference θ is as shown by a curve θB. As a result, at time B, the input frequency is fA as described above, so that the phase difference calculation circuit 9 outputs the phase difference θ1 at time B to the comparator 10. The comparator 10 compares the input phase difference θ1 with the optimum phase difference θopt,
The deviation amount Δθ is output to the θf converter 12. The θf converter 12 converts the deviation Δθ into a frequency deviation Δf and feeds it back to the oscillator 1. Then, the oscillator 1 outputs the input frequency fB based on the deviation amount Δf. That is, by controlling the phase difference θ output from the phase difference calculation circuit 9 to always coincide with the optimum frequency θopt, the driving efficiency of the ultrasonic motor is maintained at high efficiency. Similarly, at the next time, the phase difference θ and the optimal phase difference θopt
The operation of obtaining the amount of deviation Δθ by comparing with the above and feeding back to the oscillator 1 to output the optimum input frequency is repeated. Since the curves .theta.A and .theta.B are curves indicating an increase or a decrease, when the deviation .DELTA..theta. Is determined, the displacement direction and the magnitude of the input frequency f based on the deviation .DELTA.f are determined. Therefore, it is possible to know in which direction and how much the input frequency f should be changed based on the deviation amount Δθ. Accordingly, by obtaining the shift amount Δθ, the frequency shift amount Δf is obtained, and the input frequency that gives the maximum rotation speed by feeding back to the oscillator 1 can be determined. Therefore, the ultrasonic motor always rotates at the maximum rotation speed. Highly efficient driving is possible. According to the present invention, there is only one frequency value corresponding to the first phase difference calculated from the voltage obtained from the voltage generating means and the voltage of the drive signal. Therefore, the shift direction of the frequency of the drive signal applied to the electromechanical conversion element can be determined based on the shift direction between the amount related to the first phase difference and the second phase difference. Thus, the ultrasonic motor can be driven in a desired state with a simple configuration. Further, depending on how to take the value of the second phase difference, it is possible to drive at a desired speed, and further, it is possible to limit the frequency voltage for driving the ultrasonic motor to a desired frequency band.

【図面の簡単な説明】 【図1】図1は本発明による超音波モーターの駆動回路
の実施例の回路図である。 【図2】図2は前記駆動回路の回転数の周波数特性及び
位相差の周波数特性を示す図である。 【符号の説明】 1・・・発振器 6・・・超音波モーターのステータ 9・・・位相差算出回路 11・・リファレンサー
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a circuit diagram of an embodiment of a driving circuit for an ultrasonic motor according to the present invention. FIG. 2 is a diagram illustrating a frequency characteristic of a rotation speed and a frequency characteristic of a phase difference of the driving circuit. [Description of Signs] 1 ··· Oscillator 6 ··· Stator of ultrasonic motor 9 ··· Phase difference calculation circuit 11 ··· Referencer

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 1.電気機械変換素子と弾性体とを備え、前記電気機械
変換素子に駆動信号が引加されることで振動を発生する
振動子と、該振動子との間で相対運動を行う相対運動部
材とを有する超音波モーターの駆動回路において、 前記振動子における、前記駆動信号が印加されていない
部分から、該振動子の振動状態に応じて電圧を発生する
電圧発生手段と、 前記電圧発生手段から得られる電圧と前記駆動信号の電
圧との第1位相差を算出する位相差算出手段と、 第2位相差を予め設定する位相差設定手段と、 前記位相差算出手段で得られた前記第1位相差に関する
量と前記位相差設定手段で設定した前記第2位相差に関
する量とを比較する比較手段と、 前記比較手段で比較された前記第1位相差と前記第2位
相差とのずれ方向に基づいて、前記駆動信号の周波数の
ズラシ方向を決定する制御手段とを有することを特徴と
する超音波モーターの駆動回路。
(57) [Claims] A vibrator that includes an electromechanical transducer and an elastic body, and generates a vibration when a drive signal is applied to the electromechanical transducer, and a relative motion member that performs relative motion between the vibrator and the vibrator. A driving circuit for the ultrasonic motor, comprising: a voltage generator that generates a voltage in accordance with a vibration state of the vibrator from a portion of the vibrator to which the drive signal is not applied; Phase difference calculating means for calculating a first phase difference between a voltage and the voltage of the drive signal; phase difference setting means for presetting a second phase difference; and the first phase difference obtained by the phase difference calculating means Comparing means for comparing the amount related to the second phase difference with the amount related to the second phase difference set by the phase difference setting means; and based on a shift direction between the first phase difference and the second phase difference compared by the comparing means. The drive signal Driving circuit of the ultrasonic motor, characterized by a control means for determining a shift direction of the frequency.
JP6132897A 1994-06-15 1994-06-15 Ultrasonic motor drive circuit Expired - Lifetime JP2699298B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6132897A JP2699298B2 (en) 1994-06-15 1994-06-15 Ultrasonic motor drive circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6132897A JP2699298B2 (en) 1994-06-15 1994-06-15 Ultrasonic motor drive circuit

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60090682A Division JPH072023B2 (en) 1985-04-26 1985-04-26 Ultrasonic motor drive circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07143775A JPH07143775A (en) 1995-06-02
JP2699298B2 true JP2699298B2 (en) 1998-01-19

Family

ID=15092108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6132897A Expired - Lifetime JP2699298B2 (en) 1994-06-15 1994-06-15 Ultrasonic motor drive circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2699298B2 (en)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS567669A (en) * 1979-06-29 1981-01-26 Tohoku Metal Ind Ltd Ultrasonic oscillating circuit
JPS59204477A (en) * 1983-05-04 1984-11-19 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Surface wave motor utilizing supersonic wave vibration

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07143775A (en) 1995-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4692649A (en) Driving circuit of a vibration wave motor
JPH072023B2 (en) Ultrasonic motor drive circuit
JP2003319668A (en) Oscillating wave driving device and driving circuit thereof
US7129618B2 (en) Control apparatus capable of low-speed driving of vibration type driving apparatus, actuating apparatus using the control apparatus, control method capable of low-speed driving of vibration type driving apparatus, and storage medium storing program including program codes capable of realizing the control method
JP2737420B2 (en) Ultrasonic motor drive system
JP2699298B2 (en) Ultrasonic motor drive circuit
JP2699299B2 (en) Ultrasonic motor drive circuit
JP2699300B2 (en) Ultrasonic motor drive circuit
JPS61221584A (en) Drive circuit of vibration wave motor
JP2008295269A (en) Drive control unit for vibration motor
JP2699298C (en)
JP2699300C (en)
JP4208753B2 (en) Control device for vibration type drive device, control method for vibration type drive device, control program for vibration type drive device
JP3849031B2 (en) Vibration device and device provided with the same
JP2794692B2 (en) Ultrasonic motor drive circuit
JP2636280B2 (en) Driving method of ultrasonic motor
JPH05168254A (en) Vibration wave motor device
JP3495810B2 (en) Vibration wave motor device
JPH02101974A (en) Ultrasonic motor drive
JPS63299788A (en) Ultrasonic motor driving device
JP4208627B2 (en) Control device, operation device, and control method for vibration type drive device
JPS6292782A (en) Ultrasonic motor device
JPH0583962A (en) Oscillatory wave motor device
JPH02303379A (en) Ultrasonic motor
JPH099652A (en) Driving apparatus for ultrasonic motor

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term