JP2531261B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JP2531261B2 JP2531261B2 JP1094815A JP9481589A JP2531261B2 JP 2531261 B2 JP2531261 B2 JP 2531261B2 JP 1094815 A JP1094815 A JP 1094815A JP 9481589 A JP9481589 A JP 9481589A JP 2531261 B2 JP2531261 B2 JP 2531261B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- link
- links
- base
- swivel
- gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
- B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
この発明は、物品を積載して搬送すべき搬送台を旋回
とともに往復直進させる搬送装置であって、とくに各連
結部が連結ピン等の回転軸によって構成され、塵埃の発
生をできるだけ抑えるとともに、各一対のリンクの形状
を動作時に相互に干渉しないような形状とし同一平面上
に配置することにより薄型化した装置に関する。
とともに往復直進させる搬送装置であって、とくに各連
結部が連結ピン等の回転軸によって構成され、塵埃の発
生をできるだけ抑えるとともに、各一対のリンクの形状
を動作時に相互に干渉しないような形状とし同一平面上
に配置することにより薄型化した装置に関する。
従来の搬送装置について、以下に図面を参照しながら
説明する。 第４図は従来例の平面図、第５図は同じくその側面図
である。第４図において、リンク51を共有する形で同形
の第1,第２の各平行クランク機構が連結される。すなわ
ち、第１の平行クランク機構はリンク51,52,53,54から
なり、第２の平行クランク機構はリンク51,55,56,57か
らなる。ここで、リンク51,52,55,53,57はそれぞれ基リ
ンク，第１リンク，第２リンク，第３リンク，第４リン
クに相当する。また、リンク51,52,55の有効長、リンク
53,54,56,57の有効長はそれぞれ同じである。各リンク
の両側端部は符号を付けていない連結ピンにより回転可
能な状態で連結される。 第５図において、61は旋回台で、リンク52に固着され
紙面に平行な旋回軸線Ｖのまわりに回動する。このＶ軸
を旋回中心として旋回させることにより、旋回台および
搬送台を含めた本搬送機構本体を任意の方向へ回転させ
ることが可能である。なおこのＶ軸の位置は、本搬送装
置の占有面積を最小限とし他の装置との干渉を咲けるこ
とを目的に、第４図において、駆動軸線Ｕ（後述の駆動
軸62の軸線と一致）の位置からリンク53の有効長のほぼ
半分の距離だけ下方の位置に決定される。 第５図おいて、リンク53のリンク52との連結部には駆
動軸62が固着され、また駆動軸62は旋回台61に回動可能
に軸支される。12は物品が載置されるべき搬送台で、リ
ンク55に固着される。リンク53のリンク51側の一端には
歯車63が連結ピンと同軸に固着され、またリンク57のリ
ンク51側の一端にも歯車64が連結ピンと同軸に固定され
る。歯車63と歯車64は同径で互いに噛み合っている。 この従来例の動作は次の通りである。第４図におい
て、駆動軸62が回動されると、第１の平行クランク機構
に属するリンク53が回動される。また、歯車63も、リン
ク53とともに回動される。平行クランク機構によりリン
ク51とリンク52は平行を保つので、リンク51に対して歯
車63は駆動軸62と同じ大きさの角速度で回動される。歯
車62が回動されると、それとかみ合う歯車64が同じ大き
さで逆方向の角速度で回動されるので、第２の平行クラ
ンク機構に属するリンク57も共に回動される。したがっ
て、第２の平行クランク機構に属するリンク55に固着さ
れた搬送台12は、駆動軸62の駆動軸線Ｕを含みリンク5
2,リンク55と直交する平面を挟んでこの平面と直角に、
かつ、その両側にわたり往復直進し、その往復直進の行
程には思案点ないし死点は存在しない。
説明する。 第４図は従来例の平面図、第５図は同じくその側面図
である。第４図において、リンク51を共有する形で同形
の第1,第２の各平行クランク機構が連結される。すなわ
ち、第１の平行クランク機構はリンク51,52,53,54から
なり、第２の平行クランク機構はリンク51,55,56,57か
らなる。ここで、リンク51,52,55,53,57はそれぞれ基リ
ンク，第１リンク，第２リンク，第３リンク，第４リン
クに相当する。また、リンク51,52,55の有効長、リンク
53,54,56,57の有効長はそれぞれ同じである。各リンク
の両側端部は符号を付けていない連結ピンにより回転可
能な状態で連結される。 第５図において、61は旋回台で、リンク52に固着され
紙面に平行な旋回軸線Ｖのまわりに回動する。このＶ軸
を旋回中心として旋回させることにより、旋回台および
搬送台を含めた本搬送機構本体を任意の方向へ回転させ
ることが可能である。なおこのＶ軸の位置は、本搬送装
置の占有面積を最小限とし他の装置との干渉を咲けるこ
とを目的に、第４図において、駆動軸線Ｕ（後述の駆動
軸62の軸線と一致）の位置からリンク53の有効長のほぼ
半分の距離だけ下方の位置に決定される。 第５図おいて、リンク53のリンク52との連結部には駆
動軸62が固着され、また駆動軸62は旋回台61に回動可能
に軸支される。12は物品が載置されるべき搬送台で、リ
ンク55に固着される。リンク53のリンク51側の一端には
歯車63が連結ピンと同軸に固着され、またリンク57のリ
ンク51側の一端にも歯車64が連結ピンと同軸に固定され
る。歯車63と歯車64は同径で互いに噛み合っている。 この従来例の動作は次の通りである。第４図におい
て、駆動軸62が回動されると、第１の平行クランク機構
に属するリンク53が回動される。また、歯車63も、リン
ク53とともに回動される。平行クランク機構によりリン
ク51とリンク52は平行を保つので、リンク51に対して歯
車63は駆動軸62と同じ大きさの角速度で回動される。歯
車62が回動されると、それとかみ合う歯車64が同じ大き
さで逆方向の角速度で回動されるので、第２の平行クラ
ンク機構に属するリンク57も共に回動される。したがっ
て、第２の平行クランク機構に属するリンク55に固着さ
れた搬送台12は、駆動軸62の駆動軸線Ｕを含みリンク5
2,リンク55と直交する平面を挟んでこの平面と直角に、
かつ、その両側にわたり往復直進し、その往復直進の行
程には思案点ないし死点は存在しない。
以上説明したように従来の技術では、装置の動作中に
リンク53,54,56,57の配置状態が一直線になっても干渉
しないように高さを変えて配置されるため、高さ方向の
寸法が４本のリンクだけでもリンクの厚さの４倍以上と
なり、動作面に直角方向の装置寸法を薄くすることが困
難であった。 この発明の課題は、従来の技術がもつ上記の問題点を
解消し、動作性能を損なわずに従来より薄型な搬送装置
を提供することにある。
リンク53,54,56,57の配置状態が一直線になっても干渉
しないように高さを変えて配置されるため、高さ方向の
寸法が４本のリンクだけでもリンクの厚さの４倍以上と
なり、動作面に直角方向の装置寸法を薄くすることが困
難であった。 この発明の課題は、従来の技術がもつ上記の問題点を
解消し、動作性能を損なわずに従来より薄型な搬送装置
を提供することにある。
この課題を解決するために、第１の発明に係わる搬送
装置は、 一つの基リンクを共有する形で連結された２組の平行
クランク機構と； 一方の組の平行クランク機構に属する第1,第２のリン
クの基リンクの側とは異なる他方の端部を軸支する駆動
軸，従動軸を有し、旋回軸線のまわりに旋回される旋回
台と； 他方の組の平行クランク機構に属する第3,第４のリン
クの基リンクの側とは異なる他方の端部に軸支され、前
記旋回台と共に旋回軸線のまわりに旋回され物品を載置
されるべき搬送台と； 前記基リンクの各端部に回転可能に設けられ互いに噛
み合う一対の同径第1,第２の各歯車と；を備え、 この第1,第２の各歯車の軸の各端部の一方が前記各平
行クランク機構に属し前記各歯車に対応する各リンクの
端部に固着され、前記各歯車の各端部の他方が前記各リ
ンクの端部に軸支されて前記各平行クランク機構が互い
に連動可能にされ、かつこの各平行リンク機構に属する
第1,第２のリンクおよび第3,第４のリンクは、隣り合う
リンク同士が一直線状の配置状態となった場合でも相互
に干渉しない形状とすることにより前記それぞれのリン
クは同一平面上に配置される。
装置は、 一つの基リンクを共有する形で連結された２組の平行
クランク機構と； 一方の組の平行クランク機構に属する第1,第２のリン
クの基リンクの側とは異なる他方の端部を軸支する駆動
軸，従動軸を有し、旋回軸線のまわりに旋回される旋回
台と； 他方の組の平行クランク機構に属する第3,第４のリン
クの基リンクの側とは異なる他方の端部に軸支され、前
記旋回台と共に旋回軸線のまわりに旋回され物品を載置
されるべき搬送台と； 前記基リンクの各端部に回転可能に設けられ互いに噛
み合う一対の同径第1,第２の各歯車と；を備え、 この第1,第２の各歯車の軸の各端部の一方が前記各平
行クランク機構に属し前記各歯車に対応する各リンクの
端部に固着され、前記各歯車の各端部の他方が前記各リ
ンクの端部に軸支されて前記各平行クランク機構が互い
に連動可能にされ、かつこの各平行リンク機構に属する
第1,第２のリンクおよび第3,第４のリンクは、隣り合う
リンク同士が一直線状の配置状態となった場合でも相互
に干渉しない形状とすることにより前記それぞれのリン
クは同一平面上に配置される。
本発明に係わる搬送装置では、駆動軸によって２組の
平行クランク機構のうちの一方の平行クランク機構に属
する第３のリンクが回動される。第３のリンクには第１
の歯車が固着され、この第１の歯車は第３のリンクとと
もに回動される。一方の平行クランク機構により、第３
のリンクが回動されても基リンクと第１のリンクは平行
を保つので、基リンクに対して第１の歯車は駆動軸と同
じ大きさの角速度で回動される。 また、他方の平行クランク機構に属し第３のリンクと
向き合って対をなす第４のリンクには、第１の歯車と噛
み合う第２の歯車が固着されている。基リンクに対して
第１の歯車が回動すると、第２の歯車は駆動軸と同じ大
きさで逆方向の角速度で回動され、さらに第４のリンク
も回動される。したがって、駆動軸によって第３のリン
クが回動され、第1,第２の各歯車を介して第４のリンク
が同じ大きさで逆方向に回動されて、第２のリンクに固
着された搬送台は、駆動軸の軸線を含み第1,第２の角リ
ンクと直交する平面を挟んでこの平面と直角に、かつそ
の両側にわたり往復直進する。しかも、その往復直進の
過程には思案点ないしは死点が存在しない。 しかも同時に、旋回台が旋回軸線のまわりに回動され
ると、これに軸支される駆動軸とともに搬送台は旋回軸
線のまわりに回動される。このように、搬送台は旋回軸
線のまわりに旋回運動するとともに往復運動し、その直
進行程は第３のリンクの有効長のほぼ４倍となる。そし
て、基リンクに連結された各一対のリンク同士は、互い
に向き合って対をなす例えば偏平なＵ字形であるから、
同一平面上に配置可能である。したがって、動作面に直
角な方向のリンクの部分の厚さはリンク２個分の厚さに
なる。
平行クランク機構のうちの一方の平行クランク機構に属
する第３のリンクが回動される。第３のリンクには第１
の歯車が固着され、この第１の歯車は第３のリンクとと
もに回動される。一方の平行クランク機構により、第３
のリンクが回動されても基リンクと第１のリンクは平行
を保つので、基リンクに対して第１の歯車は駆動軸と同
じ大きさの角速度で回動される。 また、他方の平行クランク機構に属し第３のリンクと
向き合って対をなす第４のリンクには、第１の歯車と噛
み合う第２の歯車が固着されている。基リンクに対して
第１の歯車が回動すると、第２の歯車は駆動軸と同じ大
きさで逆方向の角速度で回動され、さらに第４のリンク
も回動される。したがって、駆動軸によって第３のリン
クが回動され、第1,第２の各歯車を介して第４のリンク
が同じ大きさで逆方向に回動されて、第２のリンクに固
着された搬送台は、駆動軸の軸線を含み第1,第２の角リ
ンクと直交する平面を挟んでこの平面と直角に、かつそ
の両側にわたり往復直進する。しかも、その往復直進の
過程には思案点ないしは死点が存在しない。 しかも同時に、旋回台が旋回軸線のまわりに回動され
ると、これに軸支される駆動軸とともに搬送台は旋回軸
線のまわりに回動される。このように、搬送台は旋回軸
線のまわりに旋回運動するとともに往復運動し、その直
進行程は第３のリンクの有効長のほぼ４倍となる。そし
て、基リンクに連結された各一対のリンク同士は、互い
に向き合って対をなす例えば偏平なＵ字形であるから、
同一平面上に配置可能である。したがって、動作面に直
角な方向のリンクの部分の厚さはリンク２個分の厚さに
なる。
本発明に係わる搬送装置の実施例について以下に図面
を参照しながら説明する。 第１図は、本発明の実施例の平面図、第２図は同じく
その側面図である。第１図において、有効長が等しく、
偏平なＵ字形のリンク73,リンク74が各一方の端部が駆
動軸80,従動軸90によって旋回第72に回動可能に連結さ
れ、各他方の端部が駆動軸80,従動軸90と等しい軸間距
離の軸81,82によって、基リンクとしての歯車台71に回
動可能に連結される。また、この軸81,軸82に、リンク7
3と同形のリンク77,リンク74と同形のリンク77の各一方
の端部がそれぞれ連結され、他方の端部が搬送台75に各
軸81,82の軸間距離と等しく、駆動軸80,従動軸90を含む
直線上で連結されることによって、同形の２組の平行リ
ンクが形成される。また、リンク73と軸81、リンク77と
軸82とはそれぞれ固着され、同径の互いに噛み合う各歯
車83,84を介して連結される。リンク74と軸82、リンク7
6と軸81は、それぞれ回転可能である。旋回台72は、紙
面と直交する旋回軸線Ｖのまわりに回動可能である。な
お、旋回軸線Ｖは軸線と平行で、かつこれとリンク73の
有効長のほぼ1/2だけ下方に位置する。 この実施例の動作は次のとおりである。第１図におい
て、リンク73が駆動軸80によって反時計方向に回転され
ると、これを追従してリンク74も従動軸90を中心に反時
計方向に同じ角速度で回転される。駆動軸80の回転はリ
ンク73,歯車83,歯車84を介して、リンク77を軸82を中心
に、リンク73と逆方向に同じ角速度で回転させ、またこ
れに追従してリンク76も、軸81を中心にリンク77と同方
向に同じ角速度で回転する。その結果、搬送台75は、駆
動軸80,従動軸90を通る平面上を紙面に沿って右方向へ
直進する。第３図において、一点鎖線はリンク73がもっ
とも右方向へ伸びきったときを示す。言いかえれば、搬
送台75のとり得るもっとも右方の位置が一点鎖線で示さ
れる。 この右側の終端点から、駆動軸80が時計方向に回転す
るにしたがって、搬送台75を左方向に直進させ、第３図
において二点鎖線で示した状態になったときが、搬送台
75のとり得るもっとも左方の位置である。 左右の各終端点間の距離Ｌがこの搬送装置の直進行程
となり、リンク73の有効長の４倍となる。同時に第３図
において、旋回台72が旋回軸線Ｖのまわりに旋回される
と、搬送台75も旋回軸線Ｖのまわりに旋回される。すな
わち、搬送台75は旋回軸線Ｖのまわりの旋回運動ととも
に、この旋回の各方向に前記のように往復直進運動をす
ることになる。また、同一平面上に配置されているリン
ク73,リンク74、およびリンク76,リンク77は、搬送台75
が右方の終端点から左方の終端点に移動するまで、駆動
軸80,従動軸90がこの移動直線上に位置し、各リンクが
隣り合う各軸80,90を避け得るようにＵ字形をしている
から、互いに当接することなく移動可能である。したが
って、この第４実施例の４個の各リンク73,74,76,77の
紙面に直角方向の寸法は、各リンク２個分の厚さです
む。
を参照しながら説明する。 第１図は、本発明の実施例の平面図、第２図は同じく
その側面図である。第１図において、有効長が等しく、
偏平なＵ字形のリンク73,リンク74が各一方の端部が駆
動軸80,従動軸90によって旋回第72に回動可能に連結さ
れ、各他方の端部が駆動軸80,従動軸90と等しい軸間距
離の軸81,82によって、基リンクとしての歯車台71に回
動可能に連結される。また、この軸81,軸82に、リンク7
3と同形のリンク77,リンク74と同形のリンク77の各一方
の端部がそれぞれ連結され、他方の端部が搬送台75に各
軸81,82の軸間距離と等しく、駆動軸80,従動軸90を含む
直線上で連結されることによって、同形の２組の平行リ
ンクが形成される。また、リンク73と軸81、リンク77と
軸82とはそれぞれ固着され、同径の互いに噛み合う各歯
車83,84を介して連結される。リンク74と軸82、リンク7
6と軸81は、それぞれ回転可能である。旋回台72は、紙
面と直交する旋回軸線Ｖのまわりに回動可能である。な
お、旋回軸線Ｖは軸線と平行で、かつこれとリンク73の
有効長のほぼ1/2だけ下方に位置する。 この実施例の動作は次のとおりである。第１図におい
て、リンク73が駆動軸80によって反時計方向に回転され
ると、これを追従してリンク74も従動軸90を中心に反時
計方向に同じ角速度で回転される。駆動軸80の回転はリ
ンク73,歯車83,歯車84を介して、リンク77を軸82を中心
に、リンク73と逆方向に同じ角速度で回転させ、またこ
れに追従してリンク76も、軸81を中心にリンク77と同方
向に同じ角速度で回転する。その結果、搬送台75は、駆
動軸80,従動軸90を通る平面上を紙面に沿って右方向へ
直進する。第３図において、一点鎖線はリンク73がもっ
とも右方向へ伸びきったときを示す。言いかえれば、搬
送台75のとり得るもっとも右方の位置が一点鎖線で示さ
れる。 この右側の終端点から、駆動軸80が時計方向に回転す
るにしたがって、搬送台75を左方向に直進させ、第３図
において二点鎖線で示した状態になったときが、搬送台
75のとり得るもっとも左方の位置である。 左右の各終端点間の距離Ｌがこの搬送装置の直進行程
となり、リンク73の有効長の４倍となる。同時に第３図
において、旋回台72が旋回軸線Ｖのまわりに旋回される
と、搬送台75も旋回軸線Ｖのまわりに旋回される。すな
わち、搬送台75は旋回軸線Ｖのまわりの旋回運動ととも
に、この旋回の各方向に前記のように往復直進運動をす
ることになる。また、同一平面上に配置されているリン
ク73,リンク74、およびリンク76,リンク77は、搬送台75
が右方の終端点から左方の終端点に移動するまで、駆動
軸80,従動軸90がこの移動直線上に位置し、各リンクが
隣り合う各軸80,90を避け得るようにＵ字形をしている
から、互いに当接することなく移動可能である。したが
って、この第４実施例の４個の各リンク73,74,76,77の
紙面に直角方向の寸法は、各リンク２個分の厚さです
む。
したがって、この発明によれば、従来の技術に比べ次
のようなすぐれた効果がある。 （１） 機構の主要な部分の各連結部は回転軸であるか
らその部分での塵埃の発生は極めて低い水準に抑えられ
る。 （２） 各一対のリンク同士は、動作時に一直線状の配
置状態となった場合でも相互に干渉しないよう互いに向
き合って対をなす、例えば、偏平なＵ字形の形状とする
ことにより、動作面に直角方向の装置寸法を小さくする
ことができる。
のようなすぐれた効果がある。 （１） 機構の主要な部分の各連結部は回転軸であるか
らその部分での塵埃の発生は極めて低い水準に抑えられ
る。 （２） 各一対のリンク同士は、動作時に一直線状の配
置状態となった場合でも相互に干渉しないよう互いに向
き合って対をなす、例えば、偏平なＵ字形の形状とする
ことにより、動作面に直角方向の装置寸法を小さくする
ことができる。
第１図は本発明に係わる実施例の平面図、 第２図は同じくその側面図、 第３図は同じくその動作説明図、 第４図は従来例の側面図、 第５図は従来例の平面図である。
U:駆動軸線、 V:旋回軸線、 51〜57,73,74,76,77:リンク 61,72:旋回台、12,75:搬送台 62,80:駆動軸、90:従動軸、 63,64,83,84:歯車。
Claims (1)
- 【請求項１】一つの基リンクを共有する形で連結された
２組の平行クランク機構と；一方の組の平行クランク機
構に属する第1,第２のリンクの基リンクの側とは異なる
他方の端部を軸支する駆動軸，従動軸を有し、旋回軸線
のまわりに旋回される旋回台と；他方の組の平行クラン
ク機構に属する第3,第４のリンクの基リンクの側とは異
なる他方の端部に軸支され、前記旋回台と共に旋回軸線
のまわりに旋回され物品を装置されるべき搬送台と；前
記基リンクの各端部に回転可能に設けられ互いに噛み合
う一対の同径第1,第２の各歯車と；を備え、この第1,第
２の各歯車の軸の各端部の一方が前記各平行クランク機
構に属し前記各歯車に対応する各リンクの端部に固着さ
れ、前記各歯車の各端部の他方が前記各リンクの端部に
軸支されて前記各平行クランク機構が互いに連動可能に
され、かつ、この各平行リンク機構に属する第1,第２の
リンクおよび第3,第４のリンクは、隣り合うリンク同士
が一直線状の配置状態となった場合でも相互に干渉しな
い形状とすることにより前記それぞれのリンクを同一平
面上に配置したことを特徴とする搬送装置。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9052588 | 1988-07-08 | ||
| JP63-90525 | 1988-07-08 | ||
| JP1-37655 | 1989-02-17 | ||
| JP3765589 | 1989-02-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02292153A JPH02292153A (ja) | 1990-12-03 |
| JP2531261B2 true JP2531261B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=26376786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1094815A Expired - Lifetime JP2531261B2 (ja) | 1988-07-08 | 1989-04-14 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531261B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101992469A (zh) * | 2009-08-18 | 2011-03-30 | 周兴权 | 一种机器人用机械臂的摆动装置 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4217214C1 (en) * | 1992-05-23 | 1993-05-27 | Duerkopp Adler Ag, 4800 Bielefeld, De | Device for moving material from one part to another without increased space requirement - has drive and guide with parallel crank mechanism with rotatable arms and additional arms supported by crank mechanism etc. |
| US5431529A (en) * | 1992-12-28 | 1995-07-11 | Brooks Automation, Inc. | Articulated arm transfer device |
| JP2761438B2 (ja) * | 1993-04-16 | 1998-06-04 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 搬送装置 |
| US6481956B1 (en) | 1995-10-27 | 2002-11-19 | Brooks Automation Inc. | Method of transferring substrates with two different substrate holding end effectors |
| US6299404B1 (en) | 1995-10-27 | 2001-10-09 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with double substrate holders |
| US5647724A (en) * | 1995-10-27 | 1997-07-15 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with dual substrate holders |
| US6062798A (en) * | 1996-06-13 | 2000-05-16 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
| JP2000150617A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-30 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
| JP2006272523A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Shinmei Ind Co Ltd | ワーク搬送装置 |
| CN109051567B (zh) * | 2018-07-16 | 2024-07-05 | 安庆市恒昌机械制造有限责任公司 | 一种往复运行的机械机构及其工作方法 |
| CN112975910A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-06-18 | 无锡邑文电子科技有限公司 | 一种去胶机用晶圆传送手臂 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6371011A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-31 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 搬送装置 |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP1094815A patent/JP2531261B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101992469A (zh) * | 2009-08-18 | 2011-03-30 | 周兴权 | 一种机器人用机械臂的摆动装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02292153A (ja) | 1990-12-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2531261B2 (ja) | 搬送装置 | |
| KR0158215B1 (ko) | 반송장치 | |
| JPH11188671A (ja) | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 | |
| JPH09323276A (ja) | 搬送装置及びロボットアーム | |
| JP4022461B2 (ja) | 搬送アーム | |
| KR20010062622A (ko) | 반송 아암 | |
| US7591625B2 (en) | Carrying mechanism, a carrying device and a vacuum processing apparatus | |
| JP2001185596A (ja) | 搬送アーム | |
| JPH0642602A (ja) | 同軸駆動部を有する平行リンクロボット | |
| JP2002362738A (ja) | 搬送アーム | |
| JP3652211B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JP2002200583A (ja) | 搬送アーム | |
| JP6858029B2 (ja) | ワーク反転装置 | |
| JPH0871962A (ja) | 搬送ロボット | |
| JP4489999B2 (ja) | 搬送装置及び真空処理装置 | |
| JP3560908B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JP4284118B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
| Ting | Gross motion and classification of manipulators with closed-loop, four-bar chains | |
| JP4463409B2 (ja) | 搬送装置及び真空処理装置 | |
| JP2947182B2 (ja) | 搬送ロボット及び搬送方法 | |
| JP2982565B2 (ja) | 搬送物の搬送経路転向装置 | |
| JPH05246522A (ja) | チェーンコンベヤにおける差動キャリヤ回転装置 | |
| JPH04331090A (ja) | 搬送装置 | |
| JP3022872B1 (ja) | 液晶素子のラビング装置及びラビング方法 | |
| JPS5958257A (ja) | 伝動装置 |