JP2551277B2 - 光学式回転角度検出装置 - Google Patents
光学式回転角度検出装置Info
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- JP2551277B2 JP2551277B2 JP3243308A JP24330891A JP2551277B2 JP 2551277 B2 JP2551277 B2 JP 2551277B2 JP 3243308 A JP3243308 A JP 3243308A JP 24330891 A JP24330891 A JP 24330891A JP 2551277 B2 JP2551277 B2 JP 2551277B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、物体の回転角度を非
接触で検出するために、受光素子として、光位置検知素
子を用いて検出するようにした、光位置検出形の光学式
回転角度検出装置に関する。
接触で検出するために、受光素子として、光位置検知素
子を用いて検出するようにした、光位置検出形の光学式
回転角度検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、高い耐久性,信頼性をもって、物
体の回転角度を検出するため、電気的接触を用いる可変
抵抗器を用いた回転角度検出装置に代わり、回転物体よ
り放射、あるいは回転物体で反射,透過される光を抵抗
層を備えた光位置検知素子で受光し、この光位置検知素
子での受光位置により、非接触に前記回転物体の回転角
度を検出する光学式回転角度検出装置が用いられてい
る。
体の回転角度を検出するため、電気的接触を用いる可変
抵抗器を用いた回転角度検出装置に代わり、回転物体よ
り放射、あるいは回転物体で反射,透過される光を抵抗
層を備えた光位置検知素子で受光し、この光位置検知素
子での受光位置により、非接触に前記回転物体の回転角
度を検出する光学式回転角度検出装置が用いられてい
る。
【0003】このような回転角度検出装置の例として、
特開昭61−246620号公報や、特開昭61−12
4821号公報に示される光学式回転角度検出装置が知
られている。このような従来例について、以下に説明す
る。
特開昭61−246620号公報や、特開昭61−12
4821号公報に示される光学式回転角度検出装置が知
られている。このような従来例について、以下に説明す
る。
【0004】図18は上記特開昭61−246620号
公報に示された従来の光学式回転角度検出装置の構成図
であり、図19は光位置検知素子の説明図、図20は特
開昭61−124821号公報に示された従来の別の光
学式回転角度検出装置の構成図であり、図21はその光
位置検知素子部の平面図である。
公報に示された従来の光学式回転角度検出装置の構成図
であり、図19は光位置検知素子の説明図、図20は特
開昭61−124821号公報に示された従来の別の光
学式回転角度検出装置の構成図であり、図21はその光
位置検知素子部の平面図である。
【0005】以下、この二つの従来例を例にとり説明す
る。まず、図18の例から説明する。この図18におい
て、2は回転物体(図示せず)に連結した回転軸、3は
光源、8は受光軸が半径方向に配置された光位置検知素
子である。
る。まず、図18の例から説明する。この図18におい
て、2は回転物体(図示せず)に連結した回転軸、3は
光源、8は受光軸が半径方向に配置された光位置検知素
子である。
【0006】この光位置検知素子8のリード81,8
3,82は検出手段としての検出回路10の入力端子T
1 〜T3 にそれぞれ接続されており、入力端子T2 はア
ースされている。
3,82は検出手段としての検出回路10の入力端子T
1 〜T3 にそれぞれ接続されており、入力端子T2 はア
ースされている。
【0007】また、20は回動スリットである。この回
動スリット20は、回転角度にしたがって、半径が変化
する螺旋状スリット21が穿がかれ、回転軸2と同軸一
体に回転するようになっている。
動スリット20は、回転角度にしたがって、半径が変化
する螺旋状スリット21が穿がかれ、回転軸2と同軸一
体に回転するようになっている。
【0008】22は固定スリット板である。この固定ス
リット板22は光源3の光軸を含み、光位置検知素子8
と平行な固定スリット23が穿がかれている。この固定
スリット23と螺旋状スリット21は互いに交差するよ
うに配置されている。
リット板22は光源3の光軸を含み、光位置検知素子8
と平行な固定スリット23が穿がかれている。この固定
スリット23と螺旋状スリット21は互いに交差するよ
うに配置されている。
【0009】一方、検出回路10の上記入力端子T1 ,
T3 には、光位置検知素子8のリード81,82からの
出力電流i1 ,i2 が入力されるようになっている。こ
れらの出力電流i1 ,i2 はそれぞれ電流電圧変換回路
101,102に入力されて、電圧V1 ,V2 に変換さ
れるようになっている。
T3 には、光位置検知素子8のリード81,82からの
出力電流i1 ,i2 が入力されるようになっている。こ
れらの出力電流i1 ,i2 はそれぞれ電流電圧変換回路
101,102に入力されて、電圧V1 ,V2 に変換さ
れるようになっている。
【0010】電流電圧変換回路101,102で変換さ
れた電圧V1 ,V2 は加算回路103で加算されるよう
になっているとともに、電圧V2 は増幅回路106で増
幅されて、出力端子T4 から電圧Vθが出力されるよう
になっている。
れた電圧V1 ,V2 は加算回路103で加算されるよう
になっているとともに、電圧V2 は増幅回路106で増
幅されて、出力端子T4 から電圧Vθが出力されるよう
になっている。
【0011】加算回路103の出力は比較積分回路10
4の反転入力端に入力されるようになっている。比較積
分回路104の非反転入力端には、基準電圧が印加され
ており、この基準電圧と加算回路103の出力とを比較
積分回路104で比較して、加算結果が所定値となるよ
うに発光回路105を介して、光源3の発光強度を制御
するようになっている。
4の反転入力端に入力されるようになっている。比較積
分回路104の非反転入力端には、基準電圧が印加され
ており、この基準電圧と加算回路103の出力とを比較
積分回路104で比較して、加算結果が所定値となるよ
うに発光回路105を介して、光源3の発光強度を制御
するようになっている。
【0012】次に、図18の光学式回転角度検出装置の
動作について説明する。発光回路105により、光源3
が光を回動スリット板20の方向に投射すると、光位置
検知素子8には、投射光のうち、回動スリット板20の
螺旋状スリット21と固定スリット板22の固定スリッ
ト23の交差領域を通過する光のみが到達する。
動作について説明する。発光回路105により、光源3
が光を回動スリット板20の方向に投射すると、光位置
検知素子8には、投射光のうち、回動スリット板20の
螺旋状スリット21と固定スリット板22の固定スリッ
ト23の交差領域を通過する光のみが到達する。
【0013】したがって、回動スリット板20が回転軸
2とともに回転すると、この交差領域は半径方向に移動
し、光位置検知素子8上での受光位置は半径方向に移動
して、回動スリット板20の回転角度により変化するた
め、この受光位置を検出することにより、回転軸2の回
転角度を検出する。
2とともに回転すると、この交差領域は半径方向に移動
し、光位置検知素子8上での受光位置は半径方向に移動
して、回動スリット板20の回転角度により変化するた
め、この受光位置を検出することにより、回転軸2の回
転角度を検出する。
【0014】上記光位置検知素子8は図19に示すよう
に、光電変換素子8aを透明抵抗層8b,バイアス電極
8cで挾持し、透明抵抗層8bの両端に検出電極8
d1 ,8d2 を設けた構造の半導体光位置検知素子であ
り、検出電極8d1 ,8d2 には、それぞれ上述のリー
ド81,82が接続され、バイアス電極8cには、リー
ド83から所定のバイアス電位(ここでは、接地の場合
を示す)が与えられている。
に、光電変換素子8aを透明抵抗層8b,バイアス電極
8cで挾持し、透明抵抗層8bの両端に検出電極8
d1 ,8d2 を設けた構造の半導体光位置検知素子であ
り、検出電極8d1 ,8d2 には、それぞれ上述のリー
ド81,82が接続され、バイアス電極8cには、リー
ド83から所定のバイアス電位(ここでは、接地の場合
を示す)が与えられている。
【0015】このような光位置検知素子8に光束が入射
すると、入射光束は透明抵抗層8bを透過し、光電変換
層8aで光電変換されて、その光電流i1 ,i2 が透明
抵抗層8bをその両端の検出電極8dに向かって流れ
る。
すると、入射光束は透明抵抗層8bを透過し、光電変換
層8aで光電変換されて、その光電流i1 ,i2 が透明
抵抗層8bをその両端の検出電極8dに向かって流れ
る。
【0016】このとき、光電流i1 ,i2 の大きさは、
各検出電極8d1 ,8d2 までの距離により異なるた
め、リード81側の検出電極8d1 からの受光位置Xは
光電流i1 ,i2 より、 X=L×i2 /(i1 +i2 ) …(1) で求められる。この(1)式におけるLは光位置検知素
子8の受光長である、そこで、上記図18の検出回路に
おいて、この光電流i1 ,i2 をそれぞれ電流電圧変換
回路101,102で電圧V1 ,V2 に変換し、加算回
路103で(V1+V2 )を求め、この加算結果(V1
+V2 )が所定の一定値となるように、比較積分回路1
04で発光回路105を介して、光源3の発光強度を制
御し、一方の光電流i2 に相当する電圧V2 を増幅回路
106で所定のゲインを掛けて出力することにより、光
位置検知素子8の受光位置Xに相当し、回動スリット板
20の回転角度θに対応した回転角度出力Vθを出力端
子T4 から得られる。
各検出電極8d1 ,8d2 までの距離により異なるた
め、リード81側の検出電極8d1 からの受光位置Xは
光電流i1 ,i2 より、 X=L×i2 /(i1 +i2 ) …(1) で求められる。この(1)式におけるLは光位置検知素
子8の受光長である、そこで、上記図18の検出回路に
おいて、この光電流i1 ,i2 をそれぞれ電流電圧変換
回路101,102で電圧V1 ,V2 に変換し、加算回
路103で(V1+V2 )を求め、この加算結果(V1
+V2 )が所定の一定値となるように、比較積分回路1
04で発光回路105を介して、光源3の発光強度を制
御し、一方の光電流i2 に相当する電圧V2 を増幅回路
106で所定のゲインを掛けて出力することにより、光
位置検知素子8の受光位置Xに相当し、回動スリット板
20の回転角度θに対応した回転角度出力Vθを出力端
子T4 から得られる。
【0017】次に、図20に示す従来の別の光学式回転
角度検出装置について説明する。この図20は断面図と
して示したものであり、ケース1に回転軸受11が設け
られており、この回転軸受11により、回転軸2が回転
可能に支持されている。
角度検出装置について説明する。この図20は断面図と
して示したものであり、ケース1に回転軸受11が設け
られており、この回転軸受11により、回転軸2が回転
可能に支持されている。
【0018】この回転軸2の一端に回動スリット部30
が支持されている。回動スリット部30は回転軸2と一
体的に回転し、かつ透光体で形成されている。この回動
スリット部材30は周囲を光反射層31で覆うととも
に、光源3に対向する部分と、光位置検知素子8に対向
する部分の光反射層31を除去して、各々光源側スリッ
ト32、受光側スリット33を設けている。
が支持されている。回動スリット部30は回転軸2と一
体的に回転し、かつ透光体で形成されている。この回動
スリット部材30は周囲を光反射層31で覆うととも
に、光源3に対向する部分と、光位置検知素子8に対向
する部分の光反射層31を除去して、各々光源側スリッ
ト32、受光側スリット33を設けている。
【0019】光源3は回転軸2の一端の延長上にケース
1に固定して配置され、回転軸2に直交するケース1の
面の光源3と回転スリット部材30を挾んで反対側の面
に図21に示すように、回転軸2を中心とする環状の受
光面を有する光位置検知素子8を素子支持基板9上に形
成している。
1に固定して配置され、回転軸2に直交するケース1の
面の光源3と回転スリット部材30を挾んで反対側の面
に図21に示すように、回転軸2を中心とする環状の受
光面を有する光位置検知素子8を素子支持基板9上に形
成している。
【0020】次に、動作について説明する。図20にお
いて、光源3から回転軸2の方向に光を投射すると、そ
の一部が回動スリット部材30の光源側スリット32よ
り透光体中に入射され、反射光層31により形成された
第1の反射面で半径方向に偏向される。
いて、光源3から回転軸2の方向に光を投射すると、そ
の一部が回動スリット部材30の光源側スリット32よ
り透光体中に入射され、反射光層31により形成された
第1の反射面で半径方向に偏向される。
【0021】さらに、透光体中を透過して、同じく光反
射層31により形成された第2の反射面で、光源3と回
転スリット部材30を挾んで、反対方向に配置された光
位置検知素子8の方向に偏向された後、この透過光のう
ち、受光側スリット33を透過した光が光位置検知素子
8に入射する。
射層31により形成された第2の反射面で、光源3と回
転スリット部材30を挾んで、反対方向に配置された光
位置検知素子8の方向に偏向された後、この透過光のう
ち、受光側スリット33を透過した光が光位置検知素子
8に入射する。
【0022】したがって、回転スリット部材30の回転
とともに、光位置検知素子8への光入射位置が変化し、
これを図18で示した検出回路10で検出して、回転軸
2の回転角度出力Vθを得る。
とともに、光位置検知素子8への光入射位置が変化し、
これを図18で示した検出回路10で検出して、回転軸
2の回転角度出力Vθを得る。
【0023】
【発明が解決しようとする課題】従来の光学式回転角度
検出装置は以上のように構成されているので、回転角度
検出部にスリット光学系を用いていたため、以下に述べ
るような課題があった。
検出装置は以上のように構成されているので、回転角度
検出部にスリット光学系を用いていたため、以下に述べ
るような課題があった。
【0024】すなわち、図18に示すスリット光学系に
おいては、光源3からの投射光のうち、回転スリット2
1と固定スリット23の交差領域を通過する光のみが光
位置検知素子8に入射するようにしているため、光源3
の光束利用率が極めて低くなって、光位置検知素子8で
の照度が低く、光電流i1 ,i2 が非常に小さい。
おいては、光源3からの投射光のうち、回転スリット2
1と固定スリット23の交差領域を通過する光のみが光
位置検知素子8に入射するようにしているため、光源3
の光束利用率が極めて低くなって、光位置検知素子8で
の照度が低く、光電流i1 ,i2 が非常に小さい。
【0025】この結果、光位置検知素子8の温度変化に
よる暗電流成分が無視できず、位置検出のS/N比が非
常に悪く、逆に照度を上げようと、光源3の放射強度を
上げると、光源3の寿命が短くなるといった課題があっ
た。
よる暗電流成分が無視できず、位置検出のS/N比が非
常に悪く、逆に照度を上げようと、光源3の放射強度を
上げると、光源3の寿命が短くなるといった課題があっ
た。
【0026】また、回転角度変化を光位置検知素子8の
半径方向の受光位置で検出するようにしているため、ス
リットを細くせずに、精度を上げようとすると、半径方
向に検出距離をのばさざるを得ず、装置が大型になると
いう課題もあった。
半径方向の受光位置で検出するようにしているため、ス
リットを細くせずに、精度を上げようとすると、半径方
向に検出距離をのばさざるを得ず、装置が大型になると
いう課題もあった。
【0027】さらに、図20,図21に示すスリット光
学系においては、図19のスリット光学系よりも光束利
用効率はよいものの、やはり同様な検出精度上の問題が
あるとともに、光位置検知素子8の受光面でのスポット
径が受光側スリット33よりかなり大きくなるため、光
位置検知素子8の受光長を有効に利用できず、検出角度
範囲が狭い場合や、逆に検出角度範囲が2πに近い場合
の測定には、不向きであるといった課題もあった。
学系においては、図19のスリット光学系よりも光束利
用効率はよいものの、やはり同様な検出精度上の問題が
あるとともに、光位置検知素子8の受光面でのスポット
径が受光側スリット33よりかなり大きくなるため、光
位置検知素子8の受光長を有効に利用できず、検出角度
範囲が狭い場合や、逆に検出角度範囲が2πに近い場合
の測定には、不向きであるといった課題もあった。
【0028】この発明は、上記のような課題を解消する
ためになされたもので、角度検出範囲の大小にかかわら
ず、精度よく回転角度が検出でき、かつ、小型で長寿命
の光学式回転角度検出装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、角度検出範囲の大小にかかわら
ず、精度よく回転角度が検出でき、かつ、小型で長寿命
の光学式回転角度検出装置を得ることを目的とする。
【0029】
【課題を解決するための手段】この発明に係る光学式回
転角度検出装置は、回転軸の一端側の固定部材に回転軸
と同軸に配置された光源と、コリメータ手段と、光源と
同側で回転軸と直交する面内に光源を囲んで環状に形成
された光位置検知素子と、90°の挾角を有する二つの
反射面からなる180°偏向手段と、少なくとも180
°偏向手段および回転軸と一体的に回動されるコンデン
サ手段とを設けたものである。
転角度検出装置は、回転軸の一端側の固定部材に回転軸
と同軸に配置された光源と、コリメータ手段と、光源と
同側で回転軸と直交する面内に光源を囲んで環状に形成
された光位置検知素子と、90°の挾角を有する二つの
反射面からなる180°偏向手段と、少なくとも180
°偏向手段および回転軸と一体的に回動されるコンデン
サ手段とを設けたものである。
【0030】
【作用】この発明においては、光源より回転軸方向に放
射した放射光をコリメータ手段で平行光束に変換し、こ
の平行光束を回転軸と一体に回転する180°偏向手段
により偏向させ、偏向された平行光束をコンデンサ手段
により位置検知素子上に集光させて、回転軸の回転角度
を光位置検知素子上の集光位置により検出する。
射した放射光をコリメータ手段で平行光束に変換し、こ
の平行光束を回転軸と一体に回転する180°偏向手段
により偏向させ、偏向された平行光束をコンデンサ手段
により位置検知素子上に集光させて、回転軸の回転角度
を光位置検知素子上の集光位置により検出する。
【0031】
【実施例】以下、この発明の光学式回転角度検出装置の
実施例について図面に基づき説明する。図1はその第1
の実施例の構成を示す断面図である。図2は図1におけ
る光位置検知素子の部分の平面図である。
実施例について図面に基づき説明する。図1はその第1
の実施例の構成を示す断面図である。図2は図1におけ
る光位置検知素子の部分の平面図である。
【0032】まず、この図1、図2により説明する。図
1、図2において、図18〜図21で示した上記従来例
と同一または相当部分には、同一符号を付して述べる。
図1における1は固定部材としてのケースであり、この
ケース1には、回転軸受11が固定されており、回転軸
受11に回転軸2が回転可能に支持されている。
1、図2において、図18〜図21で示した上記従来例
と同一または相当部分には、同一符号を付して述べる。
図1における1は固定部材としてのケースであり、この
ケース1には、回転軸受11が固定されており、回転軸
受11に回転軸2が回転可能に支持されている。
【0033】この回転軸2の一端側に、回転軸2と同軸
に光源3がケース1の内周面に配置されている。この光
源3はここではLED(発光ダイオード)を用いた場合
を例示している。この光源3上にコリメータ手段として
のコリメータレンズ4の焦点位置がくるように、コリメ
ータレンズ4が配置されている。
に光源3がケース1の内周面に配置されている。この光
源3はここではLED(発光ダイオード)を用いた場合
を例示している。この光源3上にコリメータ手段として
のコリメータレンズ4の焦点位置がくるように、コリメ
ータレンズ4が配置されている。
【0034】絞り部材5により、コリメータレンズ4が
支持されており、この絞り部材4は光源3との光軸を合
わせるように、光源3の外周面に嵌合して固定してお
り、光源とともに絞り部材5が検出回路10(図18と
同じ)の検出回路基板10aに取り付けられている。検
出回路基板10aはケース1の底面に固定されている。
支持されており、この絞り部材4は光源3との光軸を合
わせるように、光源3の外周面に嵌合して固定してお
り、光源とともに絞り部材5が検出回路10(図18と
同じ)の検出回路基板10aに取り付けられている。検
出回路基板10aはケース1の底面に固定されている。
【0035】6はプリズムレンズであり、このプリズム
レンズ6は入射光を全反射により反射する第1の反射面
61と、この第1の反射面61と90°の挾角を有し、
第1の反射面61での反射光を全反射により再度反射し
て入射光方向に偏向する第2の反射面62とからなる1
80°偏向部と、第2の反射面62での反射光を光位置
検知素子8に集光するコンデンサレンズ部63と一体に
形成したものである。
レンズ6は入射光を全反射により反射する第1の反射面
61と、この第1の反射面61と90°の挾角を有し、
第1の反射面61での反射光を全反射により再度反射し
て入射光方向に偏向する第2の反射面62とからなる1
80°偏向部と、第2の反射面62での反射光を光位置
検知素子8に集光するコンデンサレンズ部63と一体に
形成したものである。
【0036】このようなプリズムレンズ6、コリメータ
レンズ3はポリメチルメタアクリレート(PMMA)、
ポリカーボネイト(PC)などの光学プラスチックで成
型されたプラスチック成型品を用いれば、安価にでき
る。
レンズ3はポリメチルメタアクリレート(PMMA)、
ポリカーボネイト(PC)などの光学プラスチックで成
型されたプラスチック成型品を用いれば、安価にでき
る。
【0037】また、8は光位置検知素子である。この光
位置検知素子8は光源3と同じ側に図2に示すごとく、
光源3、すなわち、回転軸2を中心とした半径上に受光
面が来るように、円環状の素子支持基板9上に、円環状
にバイアス電極8c、幅約1〜2mm程度の光電変換層8
a、透明電極層8bを積層して形成し、その両終端に検
出電極8dを配したものであり、素子支持基板9が検出
回路基板10aに固定されている。
位置検知素子8は光源3と同じ側に図2に示すごとく、
光源3、すなわち、回転軸2を中心とした半径上に受光
面が来るように、円環状の素子支持基板9上に、円環状
にバイアス電極8c、幅約1〜2mm程度の光電変換層8
a、透明電極層8bを積層して形成し、その両終端に検
出電極8dを配したものであり、素子支持基板9が検出
回路基板10aに固定されている。
【0038】光位置検知素子8としては、光電変換層8
aがアモルファスシリコンからなる光位置検知素子8が
環状の受光面をもつ素子を安価に製作するのに適してお
り、この場合、光源3は受光感度、発光効率の点より緑
色あるいは赤色の可視光LEDを用いるのがよい。
aがアモルファスシリコンからなる光位置検知素子8が
環状の受光面をもつ素子を安価に製作するのに適してお
り、この場合、光源3は受光感度、発光効率の点より緑
色あるいは赤色の可視光LEDを用いるのがよい。
【0039】7は回転軸2の一端に接合され、プリズム
レンズ6をその入射面が光源3の光軸とほぼ垂直とな
り、そのコンデンサ部63の焦点位置に光位置検知素子
8が来るように、支持固定し、回転軸2と一体に回転す
る回動部材である。
レンズ6をその入射面が光源3の光軸とほぼ垂直とな
り、そのコンデンサ部63の焦点位置に光位置検知素子
8が来るように、支持固定し、回転軸2と一体に回転す
る回動部材である。
【0040】なお、図では、光源3とコリメータレンズ
4を別々にしたものを示しているが、光源3にコリメー
タレンズ4を内蔵した平行光LEDを用いてもよく、ま
た、180°偏向部はその反射面61に45°入射をな
す場合を示したが、反射面61,62の挾角が90°あ
れば、入射角度が45°でなくてもよい。
4を別々にしたものを示しているが、光源3にコリメー
タレンズ4を内蔵した平行光LEDを用いてもよく、ま
た、180°偏向部はその反射面61に45°入射をな
す場合を示したが、反射面61,62の挾角が90°あ
れば、入射角度が45°でなくてもよい。
【0041】次に、図1、図2で示すこの発明の第1の
実施例の動作について説明する。光源3より放射された
光はコリメータレンズ4、絞り部材5を透過して、所定
径の平行光束となって、回動部材7に固定されたプリズ
ムレンズ6に入射する。プリズムレンズ6への入射光
は、まず、第1の反射面61で回転軸半径方向に反射さ
れ、次に、第1の反射面61と90°の挾角をもつ第2
の反射面62で再度反射されて、入射光方向に180°
偏向された後、コンデンサレンズ部63により、光位置
検知素子8の受光面上にスポット光12aとなって集束
する。
実施例の動作について説明する。光源3より放射された
光はコリメータレンズ4、絞り部材5を透過して、所定
径の平行光束となって、回動部材7に固定されたプリズ
ムレンズ6に入射する。プリズムレンズ6への入射光
は、まず、第1の反射面61で回転軸半径方向に反射さ
れ、次に、第1の反射面61と90°の挾角をもつ第2
の反射面62で再度反射されて、入射光方向に180°
偏向された後、コンデンサレンズ部63により、光位置
検知素子8の受光面上にスポット光12aとなって集束
する。
【0042】回転軸2が回動すると、このスポット光1
2aが光位置検知素子8の受光面上を移動する。したが
って、光位置検知素子8の光入射位置は回動部材7、す
なわち、回転軸2の回転角度と等しくなり、従来装置と
同様に、その電流出力、すなわち、光電流i1 ,i2 が
検出回路基板10a上に実装されている検出回路10に
導びかれて、光入射位置Xに相当する回転角度出力Vθ
が出力される。
2aが光位置検知素子8の受光面上を移動する。したが
って、光位置検知素子8の光入射位置は回動部材7、す
なわち、回転軸2の回転角度と等しくなり、従来装置と
同様に、その電流出力、すなわち、光電流i1 ,i2 が
検出回路基板10a上に実装されている検出回路10に
導びかれて、光入射位置Xに相当する回転角度出力Vθ
が出力される。
【0043】この第1の実施例においては、光位置検知
素子8上のスポット光径はコンデンサレンズ63とコリ
メータレンズ4の各焦点距離fcn,fc1の比、fcn/f
c1で与えられ、たとえばfcn/fc1=1であれば、通常
数100μmであるLEDの光源3の大きさがそのまま
光位置検知素子8に投影されるため、光源3からの放射
光のほとんどが光位置検知素子8上に微小スポットとし
て集光される。
素子8上のスポット光径はコンデンサレンズ63とコリ
メータレンズ4の各焦点距離fcn,fc1の比、fcn/f
c1で与えられ、たとえばfcn/fc1=1であれば、通常
数100μmであるLEDの光源3の大きさがそのまま
光位置検知素子8に投影されるため、光源3からの放射
光のほとんどが光位置検知素子8上に微小スポットとし
て集光される。
【0044】したがって、光束利用効率が極めてよく、
光位置検知素子8上で照度を光源3の駆動電流をそれほ
ど大きくしなくても、十分大きくとれるため、光位置検
知素子8の暗電流などの誤差が無視でき、位置検出のS
/N比が向上することで、位置検出精度を上げられると
ともに、光源3の寿命も長くできて、長期に亘り精度の
よい位置検出ができるという利点がある。
光位置検知素子8上で照度を光源3の駆動電流をそれほ
ど大きくしなくても、十分大きくとれるため、光位置検
知素子8の暗電流などの誤差が無視でき、位置検出のS
/N比が向上することで、位置検出精度を上げられると
ともに、光源3の寿命も長くできて、長期に亘り精度の
よい位置検出ができるという利点がある。
【0045】さらに、スポット光径は上記焦点距離の比
fcn/fc1を(1)以下とすることにより、微小にでき
る。すなわち、この第1の実施例においては、光位置検
知素子8のスポット光径が微小にでき、受光面の端から
端までを有効に検出できることから、検出角度範囲が狭
くても、精度よく検出できるとともに、最大検出角度範
囲をほぼ2πとすることもできる。また、小径の受光面
の光位置検知素子であっても、精度よく検出できるた
め、装置を小型なものにできるという利点もある。
fcn/fc1を(1)以下とすることにより、微小にでき
る。すなわち、この第1の実施例においては、光位置検
知素子8のスポット光径が微小にでき、受光面の端から
端までを有効に検出できることから、検出角度範囲が狭
くても、精度よく検出できるとともに、最大検出角度範
囲をほぼ2πとすることもできる。また、小径の受光面
の光位置検知素子であっても、精度よく検出できるた
め、装置を小型なものにできるという利点もある。
【0046】図3ないし図8は上記第1の実施例に利用
できる光学系の構成を示す斜視図である。まず、図3か
ら述べる。この図3に示す光学系は、光位置検知素子8
上に微小スポット光12aを集光させるものであり、9
0°挾角をなす二つの反射面61,62を持つ台形プリ
ズムと片凸レンズによるコンデンサレンズ部63を一体
化したプリズムレンズ6を示すものであるが、上記反射
面61,62にAlなどの金属を蒸着して、反射鏡を形
成すれば、さらに反射率が向上し、光位置検知素子8上
の照度が向上する。
できる光学系の構成を示す斜視図である。まず、図3か
ら述べる。この図3に示す光学系は、光位置検知素子8
上に微小スポット光12aを集光させるものであり、9
0°挾角をなす二つの反射面61,62を持つ台形プリ
ズムと片凸レンズによるコンデンサレンズ部63を一体
化したプリズムレンズ6を示すものであるが、上記反射
面61,62にAlなどの金属を蒸着して、反射鏡を形
成すれば、さらに反射率が向上し、光位置検知素子8上
の照度が向上する。
【0047】次に、図4に示す光学系について述べる。
この図4では、回動部材7に90°挾角をなす二つの平
面反射鏡13a,13bとコンデンサレンズ14を支持
固定して図3の場合と同一の光学系を構成したものであ
る。
この図4では、回動部材7に90°挾角をなす二つの平
面反射鏡13a,13bとコンデンサレンズ14を支持
固定して図3の場合と同一の光学系を構成したものであ
る。
【0048】図5の光学系の場合は、回動部材7の表面
にメッキ,蒸着などで、鏡面に形成して、平面反射鏡7
1と放物面鏡72を形成したものである。この放物面鏡
72で光位置検知素子8の方向に偏向させるとともに、
その受光面に集光させるようにしたものである。このよ
うな光学系を用いれば、装置をより安価に構成できる。
にメッキ,蒸着などで、鏡面に形成して、平面反射鏡7
1と放物面鏡72を形成したものである。この放物面鏡
72で光位置検知素子8の方向に偏向させるとともに、
その受光面に集光させるようにしたものである。このよ
うな光学系を用いれば、装置をより安価に構成できる。
【0049】次に、図6の光学系について説明する。9
0°挾角をなす二つの反射面61,62を持つ台形プリ
ズムと円筒凸レンズ部64を一体化したプリズムレンズ
6で、光位置検知素子8上に長軸が光位置検知素子8の
半径方向で、長さが光位置検知素子8の幅より長い短冊
状集束光12bを集光させるものである。
0°挾角をなす二つの反射面61,62を持つ台形プリ
ズムと円筒凸レンズ部64を一体化したプリズムレンズ
6で、光位置検知素子8上に長軸が光位置検知素子8の
半径方向で、長さが光位置検知素子8の幅より長い短冊
状集束光12bを集光させるものである。
【0050】この図6の光学系では、光位置検知素子8
の中心と光源3の取付位置が多少ずれても、また、回転
軸2に多少ガタがあって揺動しても、集束光12bが光
位置検知素子8を外れることがないという利点がある。
の中心と光源3の取付位置が多少ずれても、また、回転
軸2に多少ガタがあって揺動しても、集束光12bが光
位置検知素子8を外れることがないという利点がある。
【0051】図7の光学系では、回動部材7に90°挾
角をなす二つの平面反射鏡13a,13bと円筒コンデ
ンサレンズ15を支持固定して、図6と同一の光学系を
構成したものである。
角をなす二つの平面反射鏡13a,13bと円筒コンデ
ンサレンズ15を支持固定して、図6と同一の光学系を
構成したものである。
【0052】また、図8の光学系の場合は、回転部材7
の表面に、メッキ,蒸着などで鏡面を形成して、平面反
射鏡71と片側放物面鏡73を形成したものであり、片
側放物面鏡73で光位置検知素子8方向に偏向させると
ともに、その受光面に焦点を合わせて、短冊状集束光1
2bを集光させるようにしたものであり、図5と同様、
光学系の簡素化で装置をより安価に構成できる。
の表面に、メッキ,蒸着などで鏡面を形成して、平面反
射鏡71と片側放物面鏡73を形成したものであり、片
側放物面鏡73で光位置検知素子8方向に偏向させると
ともに、その受光面に焦点を合わせて、短冊状集束光1
2bを集光させるようにしたものであり、図5と同様、
光学系の簡素化で装置をより安価に構成できる。
【0053】図9は上記第1の実施例に適用される光位
置検知素子部の他の実施例の平面図である。この図9の
場合には、リング状支持基板9の上に回転角度にしたが
って、半径が変化する螺旋状の光位置検知素子8を設け
たものであり、光学系としては、短冊状集束光12bを
集光させる図6〜図8の光学系を用いる。この図9の光
位置検知素子部を用いることにより、2π回転角の検出
が可能である。
置検知素子部の他の実施例の平面図である。この図9の
場合には、リング状支持基板9の上に回転角度にしたが
って、半径が変化する螺旋状の光位置検知素子8を設け
たものであり、光学系としては、短冊状集束光12bを
集光させる図6〜図8の光学系を用いる。この図9の光
位置検知素子部を用いることにより、2π回転角の検出
が可能である。
【0054】次に、この発明の第2の実施例の光学式回
転角度検出装置について説明する。図10はこの第2の
実施例の構成を示す断面図である。この図10において
図1とは異なり、コリメータ手段をも回動部材7の側に
設けたものである。
転角度検出装置について説明する。図10はこの第2の
実施例の構成を示す断面図である。この図10において
図1とは異なり、コリメータ手段をも回動部材7の側に
設けたものである。
【0055】この図10において、光源3から放射され
た光は、光源3の外周縁を嵌合して芯出しされた絞り部
材51を透過した後、回動部材7に固定されたプリズム
レンズ6に入射し、光源3上に焦点をもつコリメートレ
ンズ部65で平行光束に変換された後、90°挾角をも
つ二つの反射面鏡61,62で全反射されて、入射光方
向に180°偏向され、最後にコンデンサレンズ部63
で光位置検知素子8上にスポット光12aとして集光さ
れる。
た光は、光源3の外周縁を嵌合して芯出しされた絞り部
材51を透過した後、回動部材7に固定されたプリズム
レンズ6に入射し、光源3上に焦点をもつコリメートレ
ンズ部65で平行光束に変換された後、90°挾角をも
つ二つの反射面鏡61,62で全反射されて、入射光方
向に180°偏向され、最後にコンデンサレンズ部63
で光位置検知素子8上にスポット光12aとして集光さ
れる。
【0056】この図10のような構造によれば、コリメ
ートレンズ部65をプリズムレンズ6と一体化したた
め、光学系がより簡素になるとともに、プリズムレンズ
6に光源3、光位置検知素子8をともに近接させること
ができ、装置をより薄型化することができるという利点
がある。
ートレンズ部65をプリズムレンズ6と一体化したた
め、光学系がより簡素になるとともに、プリズムレンズ
6に光源3、光位置検知素子8をともに近接させること
ができ、装置をより薄型化することができるという利点
がある。
【0057】図11〜図17は図10で示したこの発明
の第2の実施例に適用できる光学系の構成を示す斜視図
である。
の第2の実施例に適用できる光学系の構成を示す斜視図
である。
【0058】まず、図11の場合は、図10で示した第
2の実施例における光学系と同じであり、光位置検知素
子8上に微小スポット光12aを集光させるものであ
り、90°挾角をなす二つの反射面61,62を持つ台
形プリズムの他の一面に二つの片凸レンズ部を形成し
て、各々コリメートレンズ部65、コンデンサレンズ部
63としたプリズムレンズ6である。この二つの反射面
61,62に金属鏡を形成すれば、さらに反射率が向上
し、光位置検知素子8上の照度が向上する。
2の実施例における光学系と同じであり、光位置検知素
子8上に微小スポット光12aを集光させるものであ
り、90°挾角をなす二つの反射面61,62を持つ台
形プリズムの他の一面に二つの片凸レンズ部を形成し
て、各々コリメートレンズ部65、コンデンサレンズ部
63としたプリズムレンズ6である。この二つの反射面
61,62に金属鏡を形成すれば、さらに反射率が向上
し、光位置検知素子8上の照度が向上する。
【0059】図12の場合は、図11におけるコンデン
サレンズ部63の代わりに、円筒コンデンサレンズ部6
4を形成したものであり、光位置検知素子8上に短冊状
集束光12bを集光させる。
サレンズ部63の代わりに、円筒コンデンサレンズ部6
4を形成したものであり、光位置検知素子8上に短冊状
集束光12bを集光させる。
【0060】図13の光学系では、回動部材7の表面に
メッキ、蒸着などで、鏡面を形成して、光軸が平行で、
かつ焦点が各々光源3、光位置検知素子8上にある放物
面鏡74、片側放物面鏡73を形成したものであり、放
物面鏡74で光源3の放射光を半径方向に反射させると
ともに、平行光束に変換し、片側放物面鏡73で再度入
射方向に反射させるとともに、光位置検知素子8上に短
冊状集束光12bを集光させる。
メッキ、蒸着などで、鏡面を形成して、光軸が平行で、
かつ焦点が各々光源3、光位置検知素子8上にある放物
面鏡74、片側放物面鏡73を形成したものであり、放
物面鏡74で光源3の放射光を半径方向に反射させると
ともに、平行光束に変換し、片側放物面鏡73で再度入
射方向に反射させるとともに、光位置検知素子8上に短
冊状集束光12bを集光させる。
【0061】なお、片側放物面鏡73の代わりに放物面
鏡72を用いて、光位置検知素子8上に微小スポット光
12aを集光させてもよい。このような光学系を用いれ
ば、同様に装置をより安価に構成できる。
鏡72を用いて、光位置検知素子8上に微小スポット光
12aを集光させてもよい。このような光学系を用いれ
ば、同様に装置をより安価に構成できる。
【0062】図14〜図17はこの発明の光学式回転角
度検出装置の第3の実施例の光学系に適用される光学系
の一部を示す斜視図である。この第3の実施例では、上
記第1、第2の実施例における絞り部材5の代わりに、
回動する側の光学系の180°偏向部、コリメータレン
ズ部、コンデンサレンズ部を除く部分に、図14〜図1
7で示すような絞り部材17を形成したものである。
度検出装置の第3の実施例の光学系に適用される光学系
の一部を示す斜視図である。この第3の実施例では、上
記第1、第2の実施例における絞り部材5の代わりに、
回動する側の光学系の180°偏向部、コリメータレン
ズ部、コンデンサレンズ部を除く部分に、図14〜図1
7で示すような絞り部材17を形成したものである。
【0063】図14の光学系では、プリズムレンズ6の
入射面に、入射光軸の中心に所定の直径で、絞り部材1
7を形成し、入射面の他の部分を無反射コート16で覆
ったものであり、光源3の周辺光の前記入射面での反射
による光位置検知素子8上の迷光を除去する。
入射面に、入射光軸の中心に所定の直径で、絞り部材1
7を形成し、入射面の他の部分を無反射コート16で覆
ったものであり、光源3の周辺光の前記入射面での反射
による光位置検知素子8上の迷光を除去する。
【0064】次に、図15の光学系について述べる。こ
の図15では、プリズムレンズ6の入射面に、入射光軸
を中心に所定の直径で絞り部材17を形成し、二つの反
射面61,62、コンデンサレンズ部63を除くその他
の面を無反射コート16で覆ったものであり、外部から
プリズムレンズ6に当たる迷光ばかりでなく、内部で発
生する迷光をも除去できる。
の図15では、プリズムレンズ6の入射面に、入射光軸
を中心に所定の直径で絞り部材17を形成し、二つの反
射面61,62、コンデンサレンズ部63を除くその他
の面を無反射コート16で覆ったものであり、外部から
プリズムレンズ6に当たる迷光ばかりでなく、内部で発
生する迷光をも除去できる。
【0065】図16の光学系の場合は、回動部材7上の
平面反射鏡71で反射される。
平面反射鏡71で反射される。
【0066】また、図17の光学系では、プリズムレン
ズ6のコリメートレンズ部65およびコンデンサレンズ
部63の表面に絞り部材17を形成し、二つの反射面6
1,62を除き、その他の面を無反射コート16で覆っ
たものであり、2連絞りと同等の迷光除去効果がある。
ズ6のコリメートレンズ部65およびコンデンサレンズ
部63の表面に絞り部材17を形成し、二つの反射面6
1,62を除き、その他の面を無反射コート16で覆っ
たものであり、2連絞りと同等の迷光除去効果がある。
【0067】すなわち、このような図14〜図17の実
施例においては、絞り部材5が不要となるばかりでな
く、光源3の周辺光が可動側の光学系で反射して生ずる
光位置検知素子8上の迷光が除去できるとともに、光学
系の内部に侵入した迷光も除去でき、光位置検知素子8
上のスポット光が明瞭となるため光位置検出精度がさら
に向上できるという利点がある。
施例においては、絞り部材5が不要となるばかりでな
く、光源3の周辺光が可動側の光学系で反射して生ずる
光位置検知素子8上の迷光が除去できるとともに、光学
系の内部に侵入した迷光も除去でき、光位置検知素子8
上のスポット光が明瞭となるため光位置検出精度がさら
に向上できるという利点がある。
【0068】また、上記角実施例は、光源3と光位置検
知素子8をそれぞれ別々に検出回路基板10aに半田付
けなどで取り付けた場合を示したが、ガラスなどの支持
基板上に光源3と光位置検知素子8を同時に形成しても
よいし、検出回路基板10aの表面の一部を処理して、
光源3と光位置検知素子8を検出回路基板10aの上に
形成してもよい。
知素子8をそれぞれ別々に検出回路基板10aに半田付
けなどで取り付けた場合を示したが、ガラスなどの支持
基板上に光源3と光位置検知素子8を同時に形成しても
よいし、検出回路基板10aの表面の一部を処理して、
光源3と光位置検知素子8を検出回路基板10aの上に
形成してもよい。
【0069】さらに、コリメート手段、180°偏向手
段、コンデンサ手段からなる光学系は図示する以外の種
々のレンズ、反射鏡、プリズムなどを組み合わせて構成
できることはいうまでもない。
段、コンデンサ手段からなる光学系は図示する以外の種
々のレンズ、反射鏡、プリズムなどを組み合わせて構成
できることはいうまでもない。
【0070】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、回転
軸方向に光源から光を放射させ、この放射光をコリメー
タ手段により平行光束に変換し、この平行光束を180
°偏向手段により180°偏向させて光源を囲んで環状
に形成された光位置検知素子側に導いて集光させ、回転
軸と少なくとも180°偏向手段とを一体的に回転さ
せ、回転軸の回転角度を光位置検知素子の集光位置によ
り検出するように構成したので、角度検出範囲の大小に
無関係に、精度よく回転角度を検出することができると
ともに、小型で長寿命かつ安価にできるという効果があ
る。
軸方向に光源から光を放射させ、この放射光をコリメー
タ手段により平行光束に変換し、この平行光束を180
°偏向手段により180°偏向させて光源を囲んで環状
に形成された光位置検知素子側に導いて集光させ、回転
軸と少なくとも180°偏向手段とを一体的に回転さ
せ、回転軸の回転角度を光位置検知素子の集光位置によ
り検出するように構成したので、角度検出範囲の大小に
無関係に、精度よく回転角度を検出することができると
ともに、小型で長寿命かつ安価にできるという効果があ
る。
【図1】この発明の第1の実施例による光学式回転角度
検出装置の構成を示す断面図である。
検出装置の構成を示す断面図である。
【図2】同上第1の実施例における光位置検知素子部の
平面図である。
平面図である。
【図3】同上第1の実施例に適用できる光学系の構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図4】同上第1の実施例に適用できる光学系の構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図5】同上第1の実施例に適用できる光学系の構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図6】同上第1の実施例に適用できる光学系の構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図7】同上第1の実施例に適用できる光学系の構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図8】同上第1の実施例に適用できる光学系の構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図9】同上第1の実施例に適用される光位置検知素子
部の他の実施例の平面図である。
部の他の実施例の平面図である。
【図10】この発明の第2の実施例による光位置検知素
子部の構成を示す断面図である。
子部の構成を示す断面図である。
【図11】同上第2の実施例に適用できる光学系の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図12】同上第2の実施例に適用できる光学系の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図13】同上第2の実施例に適用できる光学系の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図14】この発明の第3の実施例による光学式回転角
度検出装置に適用できる光学系の構成を示す斜視図であ
る。
度検出装置に適用できる光学系の構成を示す斜視図であ
る。
【図15】同上第3の実施例に適用できる光学系の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図16】同上第3の実施例に適用できる光学系の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図17】同上第3の実施例に適用できる光学系の構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図18】従来の光学式回転角度検出装置の構成図であ
る。
る。
【図19】同上従来の光学式回転角度検出装置に使用さ
れる光位置検知素子の構成説明図である。
れる光位置検知素子の構成説明図である。
【図20】従来の別の光学式回転角度位置検出装置の構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
【図21】図20の光学式回転角度検出装置における光
位置検知素子部の平面図である。
位置検知素子部の平面図である。
1 ケース 2 回転軸 3 光源 4 コリメータレンズ 5 絞り部材 6 プリズムレンズ 61 反射面 62 反射面 63 コンデンサレンズ部 64 円筒コンデンサレンズ 65 コリメートレンズ部 7 回動部材 8 光位置検知素子 9 素子支持基板 10 検出回路 10a 検出回路基板 11 回転軸受 13a 平面反射鏡 13b 平面反射鏡 14 コンデンサレンズ 15 円筒コンデンサ 71 平面反射鏡 72 放物面鏡 73 片側放物面鏡 74 放物面鏡
Claims (1)
- 【請求項1】 回転軸の一端側の固定部材にこの回転軸
と同軸に配置され、上記回転軸方向に光を放射する光源
と、この光源の放射光を平行光束に変換するコリメータ
手段と、上記光源と同側で上記回転軸と直交する面内に
上記光源を囲んで環状に形成された光位置検知素子と、
上記平行光束を上記光位置検知素子側に180°偏向さ
せる90°の挾角を持つ二つの反射面からなる180°
偏向手段と、この180°偏向手段により偏向された上
記平行光束を上記光位置検知素子に集光させるとともに
上記180°偏向手段とともに一体的に回動するコンデ
ンサ手段と、上記回転軸の回転角度を上記光位置検知素
子上の集光位置により検出する検出手段とを備えた光学
式回転角度検出装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3243308A JP2551277B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 光学式回転角度検出装置 |
DE19924230405 DE4230405B4 (de) | 1991-09-12 | 1992-09-11 | Positions-Detektor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3243308A JP2551277B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 光学式回転角度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0579854A JPH0579854A (ja) | 1993-03-30 |
JP2551277B2 true JP2551277B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=17101905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3243308A Expired - Lifetime JP2551277B2 (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-24 | 光学式回転角度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2551277B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228491A (ja) | 2001-02-05 | 2002-08-14 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ用発光光源装置 |
JP4671606B2 (ja) * | 2004-01-15 | 2011-04-20 | 光洋電子工業株式会社 | エンコーダの受光回路 |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP3243308A patent/JP2551277B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0579854A (ja) | 1993-03-30 |
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