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JP2024034078A - Optical element drive device, camera module, and camera mounting device - Google Patents

Optical element drive device, camera module, and camera mounting device Download PDF

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JP2024034078A JP2022138085A JP2022138085A JP2024034078A JP 2024034078 A JP2024034078 A JP 2024034078A JP 2022138085 A JP2022138085 A JP 2022138085A JP 2022138085 A JP2022138085 A JP 2022138085A JP 2024034078 A JP2024034078 A JP 2024034078A
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ois
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optical element
passive
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智之 村上
Tomoyuki Murakami
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Mitsumi Electric Co Ltd
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Mitsumi Electric Co Ltd
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Abstract

To provide a highly reliable optical element drive device, a camera module, and a camera mounting device with which it is possible to stabilize movement motion of a movable part.SOLUTION: An optical element drive device comprises: a stationary unit; a movable unit that includes an optical element; a drive unit of an ultrasonic motor type that is located to an active-side member composed of one of the stationary unit and the movable unit, and that moves the movable unit to the stationary unit; and a power transmission unit that connects a passive-side member composed of the other of the stationary unit and the movable unit and the drive unit together, and that transmits motive force of the drive unit to the passive-side member. The drive unit includes a resonance unit having a pair of arms that vibrates, and the power transmission unit includes a passive member that is sandwiched while being urged by the pair of arms, and a connecting member that connects the passive member and the passive-side member together, the connecting member being elastically deformable.SELECTED DRAWING: Figure 10

Description

本発明は、光学素子駆動装置、カメラモジュール、及びカメラ搭載装置に関する。 The present invention relates to an optical element driving device, a camera module, and a camera mounting device.

一般に、スマートフォン等の携帯端末には、小型のカメラモジュールが搭載されている。このようなカメラモジュールには、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うオートフォーカス機能(以下「AF機能」と称する、AF:Auto Focus)及び撮影時に生じる振れ(振動)を光学的に補正して画像の乱れを軽減する振れ補正機能(以下「OIS機能」と称する、OIS:Optical Image Stabilization)を有する光学素子駆動装置が適用される(例えば特許文献1)。 Generally, mobile terminals such as smartphones are equipped with a small camera module. Such camera modules have an autofocus function (hereinafter referred to as "AF function") that automatically adjusts the focus when photographing a subject, and an optical system that reduces shake (vibration) that occurs during shooting. An optical element driving device having an optical image stabilization (OIS) function (hereinafter referred to as "OIS function") that corrects and reduces image disturbance is applied (for example, Patent Document 1).

AF機能及びOIS機能を有する光学素子駆動装置は、レンズ部を光軸方向に移動させるためのオートフォーカス駆動ユニット(以下「AF駆動ユニット」と称する)と、レンズ部を光軸方向に直交する平面内で移動させるための振れ補正駆動ユニット(以下「OIS駆動ユニット」と称する)と、を備える。特許文献1では、AF駆動ユニット及びOIS駆動ユニットに、超音波モーター型の駆動ユニットが適用されている。 An optical element drive device having an AF function and an OIS function includes an autofocus drive unit (hereinafter referred to as "AF drive unit") for moving the lens part in the optical axis direction, and a plane perpendicular to the optical axis direction to move the lens part. and an image stabilization drive unit (hereinafter referred to as "OIS drive unit") for moving the camera within the camera. In Patent Document 1, an ultrasonic motor type drive unit is applied to the AF drive unit and the OIS drive unit.

超音波モーター型の駆動ユニットは、能動要素である共振部(レゾネーター)を含む。超音波モーター型駆動ユニットは、可動部及び固定部の何れか一方からなる能動側部材に共振部が配置され、受動要素である動力伝達部を介して、可動部及び固定部の何れか他方からなる受動側部材に動力が伝達される。共振部及び動力伝達部は、付勢された状態で接触し、駆動時に互いに摺動する。「能動側部材」とは、駆動ユニットが配置される部材であり、[受動側部材]とは、動力伝達部を介して駆動ユニットと連結される部材である。 The drive unit of the ultrasonic motor type includes an active element, a resonator. In an ultrasonic motor type drive unit, a resonant part is arranged in an active side member consisting of either a movable part or a fixed part, and a resonance part is arranged in an active side member consisting of either a movable part or a fixed part, and the resonance part is transmitted from the other of the movable part or the fixed part via a power transmission part which is a passive element. Power is transmitted to the passive side member. The resonance part and the power transmission part are in contact with each other in a biased state and slide against each other when driven. The "active member" is a member on which the drive unit is arranged, and the "passive member" is a member connected to the drive unit via the power transmission section.

国際公開第2015/123787号International Publication No. 2015/123787

一般に、超音波モーター型の駆動ユニットにおいては、可動部の移動方向と、動力の伝達方向とが一致するように、能動要素、受動要素、可動部及び固定部等の設計が行われる。しかしながら、取付公差等によって、能動要素に対する受動要素の取付角度と、固定部に対する可動部の取付角度とにずれが生じることがある。このずれは、能動要素及び受動要素の接触状態にも影響を与え、両部材が摺動し難い状態となるため、可動部へ伝達する動力の発生が不安定になる虞がある。 Generally, in an ultrasonic motor type drive unit, the active element, passive element, movable part, fixed part, etc. are designed so that the moving direction of the movable part matches the direction of power transmission. However, due to mounting tolerances and the like, a deviation may occur between the mounting angle of the passive element to the active element and the mounting angle of the movable part to the fixed part. This deviation also affects the contact state between the active element and the passive element, making it difficult for both members to slide, which may lead to unstable generation of power transmitted to the movable part.

本発明の目的は、可動部の移動動作の安定化を図ることができる、信頼性の高い光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a highly reliable optical element drive device, camera module, and camera mounting device that can stabilize the movement of a movable part.

本発明に係る光学素子駆動装置は、
固定部と、
光学素子を含む可動部と、
前記固定部及び前記可動部のうちの何れか一方からなる能動側部材に配置され、前記固定部に対して前記可動部を移動させる超音波モーター型の駆動部と、
前記固定部及び前記可動部のうちの何れか他方からなる受動側部材と前記駆動部とを連結し、前記駆動部の動力を前記受動側部材に伝達する動力伝達部と、
を備え、
前記駆動部は、振動する一対のアームを有する共振部を有し、
前記動力伝達部は、
一対の前記アームに付勢された状態で挟持される受動部材と、
前記受動部材と前記受動側部材とを連結する連結部材と、を有し、
前記連結部材は、弾性変形可能である。
The optical element driving device according to the present invention includes:
a fixed part;
a movable part including an optical element;
an ultrasonic motor-type drive unit that is disposed on an active side member consisting of either the fixed part or the movable part and moves the movable part with respect to the fixed part;
a power transmission section that connects the driving section and a passive side member consisting of the other of the fixed section and the movable section, and transmits the power of the driving section to the passive side member;
Equipped with
The driving section has a resonating section having a pair of vibrating arms,
The power transmission section is
a passive member held between the pair of arms in a biased state;
a connecting member that connects the passive member and the passive side member,
The connecting member is elastically deformable.

本発明に係るカメラモジュールは、
上記の光学素子駆動装置と、
前記可動部に装着される光学素子と、
前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える。
The camera module according to the present invention includes:
The above optical element driving device,
an optical element attached to the movable part;
An imaging unit that captures a subject image formed by the optical element.

本発明に係るカメラ搭載装置は、
情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
上記のカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える。
The camera-mounted device according to the present invention includes:
A camera-equipped device that is an information device or a transportation device,
The above camera module,
An image processing unit that processes image information obtained by the camera module.

本発明によれば、能動要素から受動要素への動力伝達を安定化し、駆動性能の向上を図ることができる、信頼性の高い光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置が提供される。 According to the present invention, there is provided a highly reliable optical element drive device, camera module, and camera mounting device that can stabilize power transmission from an active element to a passive element and improve drive performance.

図1A、図1Bは、本発明の一実施の形態に係るカメラモジュールを搭載するスマートフォンを示す図である。FIG. 1A and FIG. 1B are diagrams showing a smartphone equipped with a camera module according to an embodiment of the present invention. 図2は、カメラモジュールの外観斜視図である。FIG. 2 is an external perspective view of the camera module. 図3は、光学素子駆動装置の外観斜視図である。FIG. 3 is an external perspective view of the optical element driving device. 図4は、光学素子駆動装置の外観斜視図である。FIG. 4 is an external perspective view of the optical element driving device. 図5は、光学素子駆動装置の分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of the optical element driving device. 図6は、光学素子駆動装置の分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of the optical element driving device. 図7は、AFユニットの分解斜視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view of the AF unit. 図8は、AFユニットの分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view of the AF unit. 図9A、図9Bは、OIS駆動ユニットの拡大図である。9A and 9B are enlarged views of the OIS drive unit. 図10A、図10Bは、OIS駆動ユニットにおける動力伝達機構の模式図である。10A and 10B are schematic diagrams of the power transmission mechanism in the OIS drive unit. 図11A、図11Bは、AF駆動ユニットの拡大図である。11A and 11B are enlarged views of the AF drive unit. 図12A、図12Bは、車載用カメラモジュールを搭載するカメラ搭載装置としての自動車を示す図である。12A and 12B are diagrams showing an automobile as a camera mounting device equipped with an on-vehicle camera module.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings.

図1A、図1Bは、本発明の一実施の形態に係るカメラモジュールAを搭載するスマートフォンM(カメラ搭載装置の一例)を示す図である。図1AはスマートフォンMの正面図であり、図1BはスマートフォンMの背面図である。 1A and 1B are diagrams showing a smartphone M (an example of a camera-equipped device) equipped with a camera module A according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a front view of the smartphone M, and FIG. 1B is a rear view of the smartphone M.

スマートフォンMは、2つの背面カメラOC1、OC2からなるデュアルカメラを有する。本実施の形態では、背面カメラOC1、OC2に、カメラモジュールAが適用されている。 Smartphone M has a dual camera consisting of two rear cameras OC1 and OC2. In this embodiment, camera module A is applied to rear cameras OC1 and OC2.

カメラモジュールAは、AF機能及びOIS機能を備え、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うとともに、撮影時に生じる振れ(振動)を光学的に補正して像ぶれのない画像を撮影することができる。 Camera module A is equipped with an AF function and an OIS function, and not only automatically focuses when photographing a subject, but also optically corrects shake (vibration) that occurs during photographing to photograph images without image blur. be able to.

図2は、カメラモジュールAの外観斜視図である。図3及び図4は、実施の形態に係る光学素子駆動装置1の外観斜視図である。図4は、図3をZ軸周りに90°回転した状態を示す。図2~4に示すように、実施の形態では、直交座標系(X,Y,Z)を使用して説明する。後述する図においても共通の直交座標系(X,Y,Z)で示している。 FIG. 2 is an external perspective view of the camera module A. 3 and 4 are external perspective views of the optical element driving device 1 according to the embodiment. FIG. 4 shows a state in which FIG. 3 is rotated by 90 degrees around the Z axis. As shown in FIGS. 2 to 4, the embodiment will be described using an orthogonal coordinate system (X, Y, Z). The figures to be described later are also shown using a common orthogonal coordinate system (X, Y, Z).

カメラモジュールAは、例えば、スマートフォンMで実際に撮影が行われる場合に、X軸方向が上下方向(又は左右方向)、Y軸方向が左右方向(又は上下方向)、Z軸方向が前後方向となるように搭載される。すなわち、Z軸方向が光軸方向であり、図中上側(+Z側)が光軸方向受光側、下側(-Z側)が光軸方向結像側である。また、Z軸に直交するX軸方向及びY軸方向を「光軸直交方向」と称し、XY面を「光軸直交面」と称する。 For example, when the camera module A actually takes a picture with the smartphone M, the X-axis direction is the up-down direction (or the left-right direction), the Y-axis direction is the left-right direction (or the up-down direction), and the Z-axis direction is the front-back direction. It will be installed as follows. That is, the Z-axis direction is the optical axis direction, the upper side (+Z side) in the figure is the light receiving side in the optical axis direction, and the lower side (−Z side) is the imaging side in the optical axis direction. Further, the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to the Z-axis are referred to as "optical axis orthogonal directions", and the XY plane is referred to as "optical axis orthogonal plane".

図2~4に示すように、カメラモジュールAは、AF機能及びOIS機能を実現する光学素子駆動装置1、円筒形状のレンズバレルにレンズが収容されてなるレンズ部2、及びレンズ部2により結像された被写体像を撮像する撮像部3等を備える。すなわち、光学素子駆動装置1は、光学素子としてレンズ部2を駆動するレンズ駆動装置である。 As shown in FIGS. 2 to 4, the camera module A includes an optical element drive device 1 that realizes an AF function and an OIS function, a lens section 2 in which a lens is housed in a cylindrical lens barrel, and a lens section 2. It includes an imaging unit 3 and the like that captures the captured image of the subject. That is, the optical element driving device 1 is a lens driving device that drives the lens section 2 as an optical element.

撮像部3は、光学素子駆動装置1の光軸方向結像側に配置される。撮像部3は、例えば、イメージセンサー基板301、イメージセンサー基板301に実装される撮像素子302及び制御部303を有する。撮像素子302は、例えば、CCD(charge-coupled device)型イメージセンサー、CMOS(complementary metal oxide semiconductor)型イメージセンサー等により構成され、レンズ部2により結像された被写体像を撮像する。制御部303は、例えば、制御ICで構成され、光学素子駆動装置1の駆動制御を行う。光学素子駆動装置1は、イメージセンサー基板301に搭載され、機械的かつ電気的に接続される。なお、制御部303は、イメージセンサー基板301に設けられてもよいし、カメラモジュールAが搭載されるカメラ搭載機器(実施の形態では、スマートフォンM)に設けられてもよい。 The imaging unit 3 is arranged on the imaging side of the optical element driving device 1 in the optical axis direction. The imaging unit 3 includes, for example, an image sensor board 301, an image sensor 302 mounted on the image sensor board 301, and a control unit 303. The image sensor 302 is configured by, for example, a CCD (charge-coupled device) type image sensor, a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) type image sensor, or the like, and captures a subject image formed by the lens unit 2. The control unit 303 is composed of, for example, a control IC, and controls the drive of the optical element drive device 1 . The optical element driving device 1 is mounted on the image sensor substrate 301 and mechanically and electrically connected to it. Note that the control unit 303 may be provided on the image sensor board 301 or may be provided on a camera-equipped device (in the embodiment, the smartphone M) on which the camera module A is mounted.

光学素子駆動装置1は、外側をカバー24で覆われている。カバー24は、光軸方向から見た平面視で矩形状の有蓋四角筒体である。実施の形態では、カバー24は、平面視で正方形状を有している。カバー24は、光軸方向受光側の面(上面)に略円形の開口241を有する。レンズ部2は、カバー24の開口241から外部に臨む。レンズ部2は、カバー24の開口面よりも受光側に突出するように配置されてもよい。カバー24は、光学素子駆動装置1のOIS固定部20のベース21(図5参照)に、例えば、接着により固定される。 The optical element driving device 1 is covered with a cover 24 on the outside. The cover 24 is a rectangular lidded square cylinder when viewed from above in the optical axis direction. In the embodiment, the cover 24 has a square shape in plan view. The cover 24 has a substantially circular opening 241 on the light receiving side surface (upper surface) in the optical axis direction. The lens portion 2 faces the outside through the opening 241 of the cover 24. The lens portion 2 may be arranged so as to protrude from the opening surface of the cover 24 toward the light receiving side. The cover 24 is fixed to the base 21 (see FIG. 5) of the OIS fixing section 20 of the optical element driving device 1, for example, by adhesive.

図5、図6は、実施の形態に係る光学素子駆動装置1の分解斜視図である。図7、図8は、AFユニット10Aの分解斜視図である。図6、図8は、それぞれ、図5、図7をZ軸周りに90°回転させた状態を示す。 5 and 6 are exploded perspective views of the optical element driving device 1 according to the embodiment. 7 and 8 are exploded perspective views of the AF unit 10A. 6 and 8 respectively show the state in which FIG. 5 and FIG. 7 are rotated by 90 degrees around the Z axis.

図5~図8に示すように、本実施の形態に係る光学素子駆動装置1は、OIS可動部10、OIS固定部20、X軸方向駆動ユニット50X、Y軸方向駆動ユニット50Y、及びOIS支持部41、42を備える。 As shown in FIGS. 5 to 8, the optical element driving device 1 according to the present embodiment includes an OIS movable section 10, an OIS fixed section 20, an X-axis direction drive unit 50X, a Y-axis direction drive unit 50Y, and an OIS support. It includes sections 41 and 42.

OIS可動部10は、振れ補正時に光軸直交面内で移動する部分である。OIS可動部10は、AFユニット10A及び第2ステージ13を含む。OIS固定部20は、OIS支持部41を介してOIS可動部10が接続される部分である。 The OIS movable part 10 is a part that moves within a plane perpendicular to the optical axis during shake correction. The OIS movable section 10 includes an AF unit 10A and a second stage 13. The OIS fixed part 20 is a part to which the OIS movable part 10 is connected via the OIS support part 41.

OIS可動部10は、OIS固定部20に対して光軸方向に離間して配置され、OIS支持部41、42を介してOIS固定部20と連結される。OIS可動部10とOIS固定部20は、OIS用付勢部材30によって、互いに近づく方向に付勢されている。OIS用付勢部材30は、例えば、光学素子駆動装置1の平面視における四隅に配置される。 The OIS movable part 10 is arranged apart from the OIS fixed part 20 in the optical axis direction, and is connected to the OIS fixed part 20 via the OIS support parts 41 and 42. The OIS movable section 10 and the OIS fixed section 20 are urged toward each other by an OIS urging member 30. The OIS biasing members 30 are arranged, for example, at the four corners of the optical element driving device 1 in a plan view.

OIS用付勢部材30は、例えば、引張コイルバネで構成され、OIS可動部10とOIS固定部20を連結する。本実施の形態では、OIS用付勢部材30の一端は、ベース21の配線(図示略)に接続され、他端は、第1ステージ12の端子金具162に接続されている。OIS用付勢部材30は、AF駆動ユニット70及びY軸方向駆動ユニット50Yへの給電ラインとして機能する。 The OIS biasing member 30 is composed of, for example, a tension coil spring, and connects the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20. In this embodiment, one end of the OIS biasing member 30 is connected to wiring (not shown) of the base 21, and the other end is connected to the terminal fitting 162 of the first stage 12. The OIS biasing member 30 functions as a power supply line to the AF drive unit 70 and the Y-axis direction drive unit 50Y.

OIS用付勢部材30は、OIS可動部10とOIS固定部20を連結したときの引張荷重を受けて、OIS可動部10とOIS固定部20が互いに近づくように作用する。これにより、OIS可動部10は、OIS用付勢部材30によって、光軸方向に付勢された状態(ベース21に押し付けられた状態)で、XY面内で移動可能に保持される。したがって、OIS可動部10をがたつきのない安定した状態で保持することができる。なお、OIS用付勢部材30には、振動を抑制するダンパー材(図示略)が配置されてもよい。 The OIS biasing member 30 receives a tensile load when the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20 are connected, and acts so that the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20 approach each other. Thereby, the OIS movable part 10 is held movably within the XY plane while being biased in the optical axis direction (pressed against the base 21) by the OIS biasing member 30. Therefore, the OIS movable part 10 can be held in a stable state without rattling. Note that a damper material (not shown) that suppresses vibration may be disposed on the OIS biasing member 30.

OIS支持部41は、OIS固定部20として機能するベース21に対して、OIS可動部10として機能する第2ステージ13を、光軸方向に離間した状態で支持する。本実施の形態では、OIS支持部41は、ベース21と第2ステージ13の間に転動可能な状態で介在する4個のボールで構成されている。なお、OIS支持部41を構成するボールの数は、適宜変更することができる。 The OIS support section 41 supports the second stage 13, which functions as the OIS movable section 10, with respect to the base 21, which functions as the OIS fixed section 20, while being spaced apart in the optical axis direction. In this embodiment, the OIS support section 41 is composed of four balls that are rotatably interposed between the base 21 and the second stage 13. Note that the number of balls forming the OIS support section 41 can be changed as appropriate.

OIS支持部42は、OIS固定部20として機能する第2ステージ13に対して、OIS可動部10として機能する第1ステージ12を、光軸方向に離間した状態で支持する。本実施の形態では、OIS支持部42は、第2ステージ13と第1ステージ12の間に転動可能な状態で介在する4個のボールで構成されている。なお、OIS支持部42を構成するボールの数は、適宜変更することができる。 The OIS support section 42 supports the first stage 12, which functions as the OIS movable section 10, with respect to the second stage 13, which functions as the OIS fixed section 20, while being spaced apart in the optical axis direction. In this embodiment, the OIS support section 42 is composed of four balls that are rotatably interposed between the second stage 13 and the first stage 12. Note that the number of balls forming the OIS support section 42 can be changed as appropriate.

本実施の形態では、X軸方向の移動に関しては、AFユニット10Aを含むOIS可動部10の全体が可動体として移動する。一方、Y軸方向の移動に関しては、AFユニット10Aだけが可動体として移動する。つまり、Y軸方向の移動に関しては、第2ステージ13は、ベース21とともにOIS固定部20を構成する。 In this embodiment, regarding movement in the X-axis direction, the entire OIS movable section 10 including the AF unit 10A moves as a movable body. On the other hand, regarding movement in the Y-axis direction, only the AF unit 10A moves as a movable body. That is, regarding movement in the Y-axis direction, the second stage 13 and the base 21 constitute the OIS fixing part 20.

ベース21は、例えば、ポリアリレート(PAR)、PARを含む複数の樹脂材料を混合したPARアロイ(例えば、PAR/PC)、又は液晶ポリマーからなる成形材料で形成される。ベース21は、平面視で矩形状の部材であり、中央に円形の開口211を有する。 The base 21 is formed of, for example, a molding material made of polyarylate (PAR), a PAR alloy (for example, PAR/PC) that is a mixture of a plurality of resin materials containing PAR, or a liquid crystal polymer. The base 21 is a rectangular member in plan view, and has a circular opening 211 in the center.

ベース21は、X軸方向駆動ユニット50Xが配置されるOISモーター固定部212を有する。OISモーター固定部212は、例えば、ベース21の外周縁のX軸に沿う一辺に、光軸方向受光側に向けて突出して形成され、X軸方向駆動ユニット50Xを保持可能な形状を有している。ベース21は、OIS可動部10のX軸方向の移動に関して、能動側部材として機能する。 The base 21 has an OIS motor fixing part 212 on which the X-axis direction drive unit 50X is arranged. The OIS motor fixing part 212 is formed, for example, on one side of the outer peripheral edge of the base 21 along the X-axis so as to protrude toward the light receiving side in the optical axis direction, and has a shape capable of holding the X-axis direction drive unit 50X. There is. The base 21 functions as an active member regarding the movement of the OIS movable section 10 in the X-axis direction.

ベース21は、OIS支持部41を介して、OIS可動部10の第2ステージ13をX軸方向に移動可能に支持する。ベース21は、光軸方向受光側の面に、OIS支持部41が配置されるOISボール保持部214を有する。OISボール保持部214は、例えば、平面視でX軸方向に延びる矩形形状を有する溝である。OISボール保持部214は、例えば、底面側に向けて溝幅が狭くなるように断面形状が略V字状(テーパー形状)に形成される。本実施の形態では、OISボール保持部214は、ベース21の四隅の近傍に設けられ、OISボール保持部214に配置された4つのOIS支持部41によって、OIS可動部10(第2ステージ13)が4点で支持されている。 The base 21 supports the second stage 13 of the OIS movable section 10 via the OIS support section 41 so as to be movable in the X-axis direction. The base 21 has an OIS ball holding part 214 on the light receiving side surface in the optical axis direction, on which the OIS supporting part 41 is arranged. The OIS ball holding portion 214 is, for example, a groove having a rectangular shape extending in the X-axis direction in plan view. For example, the OIS ball holding portion 214 is formed to have a substantially V-shaped (tapered) cross-sectional shape so that the groove width becomes narrower toward the bottom side. In this embodiment, the OIS ball holding section 214 is provided near the four corners of the base 21, and the OIS movable section 10 (second stage 13) is is supported by 4 points.

ベース21には、例えば、インサート成形により、端子金具22及び端子金具22に接続された配線(図示略)が配置される。端子金具22は、ベース21から露出し、イメージセンサー基板301と電気的に接続される。また、配線は、OIS用付勢部材30と電気的に接続される。AF駆動ユニット70のAF駆動ユニット70及びY軸方向駆動ユニット50YのY軸方向駆動ユニット50Yへの給電は、OIS用付勢部材30を介して行われる。なお、ベース21にセンサー基板を配置し、センサー基板の配線と端子金具22とが電気的に接続されてもよい。 A terminal fitting 22 and wiring (not shown) connected to the terminal fitting 22 are arranged on the base 21 by, for example, insert molding. The terminal fitting 22 is exposed from the base 21 and is electrically connected to the image sensor board 301. Further, the wiring is electrically connected to the OIS biasing member 30. Power is supplied to the AF drive unit 70 of the AF drive unit 70 and the Y-axis direction drive unit 50Y of the Y-axis direction drive unit 50Y via the OIS biasing member 30. Note that a sensor board may be placed on the base 21 and the wiring of the sensor board and the terminal fittings 22 may be electrically connected.

ベース21には、OIS可動部10のX軸方向及びY軸方向における位置、並びに、AF可動部11のZ軸方向における位置を検出する位置検出センサーが配置されてもよい。位置検出センサーには、例えば、ホール素子又はTMR(Tunnel Magneto Resistance)センサー等の磁気センサーを適用できる。この場合、磁気センサーに対向するようにOIS可動部10(例えば、第1ステージ12)及びAF可動部11にマグネットが配置される。なお、フォトリフレクター等の光センサーによりOIS可動部10のX軸方向及びY軸方向の位置、並びに、AF可動部11のZ軸方向の位置を検出するようにしてもよい。 A position detection sensor that detects the position of the OIS movable part 10 in the X-axis direction and the Y-axis direction and the position of the AF movable part 11 in the Z-axis direction may be arranged on the base 21. For example, a magnetic sensor such as a Hall element or a TMR (Tunnel Magneto Resistance) sensor can be applied to the position detection sensor. In this case, magnets are arranged in the OIS movable section 10 (for example, the first stage 12) and the AF movable section 11 so as to face the magnetic sensor. Note that the position of the OIS movable section 10 in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the position of the AF movable section 11 in the Z-axis direction may be detected by an optical sensor such as a photoreflector.

第2ステージ13は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第2ステージ13は、AF可動部11に対応する部分に開口131を有する。 The second stage 13 is a member having a substantially rectangular shape when viewed in plan from the optical axis direction, and is made of, for example, a liquid crystal polymer. The second stage 13 has an opening 131 in a portion corresponding to the AF movable section 11.

第2ステージ13において、X軸方向駆動ユニット50Xに対応する部分132は、径方向外側にはみ出すことなくX軸方向駆動ユニット50Xを配置できるように、径方向内側に凹んで形成されている。また、第2ステージ13において、Y軸方向駆動ユニット50Yに対応する部分133も同様に、径方向内側に凹んで形成されている(以下、「OISモーター固定部132、133」と称する)。 In the second stage 13, a portion 132 corresponding to the X-axis direction drive unit 50X is formed to be recessed inward in the radial direction so that the X-axis direction drive unit 50X can be arranged without protruding outward in the radial direction. Furthermore, in the second stage 13, a portion 133 corresponding to the Y-axis direction drive unit 50Y is similarly formed to be recessed inward in the radial direction (hereinafter referred to as "OIS motor fixing portions 132, 133").

OISモーター固定部132には、X軸方向動力伝達部60Xが固定される。OISモーター固定部133には、Y軸方向動力伝達部60Yが固定される。第2ステージ13は、OIS可動部10のX軸方向及びY軸方向の移動に関して、受動側部材として機能する。 An X-axis direction power transmission section 60X is fixed to the OIS motor fixing section 132. A Y-axis direction power transmission section 60Y is fixed to the OIS motor fixing section 133. The second stage 13 functions as a passive member with respect to the movement of the OIS movable section 10 in the X-axis direction and the Y-axis direction.

第2ステージ13は、OIS支持部42を介して、AFユニット10Aの第1ステージ12をY軸方向に移動可能に支持する。第2ステージ13は、光軸方向受光側の面(上面)に、OIS支持部42が配置されるOISボール保持部134を有する。OISボール保持部134は、例えば、平面視でY軸方向に延びる矩形形状を有する溝である。OISボール保持部134は、例えば、底面側に向けて溝幅が狭くなるように断面形状が略V字状(テーパー形状)に形成される。本実施の形態では、OISボール保持部134は、第2ステージ13の四隅の近傍に設けられ、OISボール保持部134に配置された4つのOIS支持部42によって、AFユニット10A(第1ステージ12)が4点で支持されている。 The second stage 13 supports the first stage 12 of the AF unit 10A via the OIS support part 42 so as to be movable in the Y-axis direction. The second stage 13 has an OIS ball holding section 134 on the light receiving side surface (upper surface) in the optical axis direction, on which the OIS supporting section 42 is arranged. The OIS ball holding portion 134 is, for example, a groove having a rectangular shape extending in the Y-axis direction in plan view. For example, the OIS ball holding portion 134 has a substantially V-shaped (tapered) cross-sectional shape so that the groove width becomes narrower toward the bottom side. In this embodiment, the OIS ball holding section 134 is provided near the four corners of the second stage 13, and the four OIS supporting sections 42 arranged on the OIS ball holding section 134 support the AF unit 10A (the first stage 12 ) is supported by 4 points.

第2ステージ13の光軸方向結像側の面(下面)には、ベース21のOISボール保持部214とZ軸方向において対向する位置に、OIS支持部41を保持するボール保持部(図示略)が形成されている。OIS支持部41は、ベース21及び第1ステージ12のOISボール保持部により、多点接触で挟持される。したがって、OIS支持部41を構成するボールは、安定してX軸方向に転動する。 On the surface (lower surface) of the second stage 13 on the imaging side in the optical axis direction, there is a ball holding part (not shown) that holds the OIS support part 41 at a position facing the OIS ball holding part 214 of the base 21 in the Z-axis direction. ) is formed. The OIS support section 41 is held between the base 21 and the OIS ball holding section of the first stage 12 with multi-point contact. Therefore, the balls forming the OIS support portion 41 stably roll in the X-axis direction.

AFユニット10Aは、AF可動部11、第1ステージ12、AF駆動ユニット70及びAF支持部15を含む。 The AF unit 10A includes an AF movable section 11, a first stage 12, an AF drive unit 70, and an AF support section 15.

第1ステージ12は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第1ステージ12は、AF可動部11に対応する部分に略円形状の開口121を有する。 The first stage 12 is a member having a substantially rectangular shape when viewed in plan from the optical axis direction, and is made of, for example, a liquid crystal polymer. The first stage 12 has a substantially circular opening 121 in a portion corresponding to the AF movable section 11 .

第1ステージ12において、X軸方向駆動ユニット50Xに対応する部分122は、径方向外側にはみ出すことなくX軸方向駆動ユニット50Xを配置できるように、径方向内側に凹んで形成されている。また、第1ステージ12において、Y軸方向駆動ユニット50Yに対応する部分123も同様に、径方向内側に凹んで形成されている(以下、「OISモーター固定部122、123」と称する)。 In the first stage 12, a portion 122 corresponding to the X-axis direction drive unit 50X is formed to be recessed inward in the radial direction so that the X-axis direction drive unit 50X can be arranged without protruding outward in the radial direction. Furthermore, in the first stage 12, a portion 123 corresponding to the Y-axis direction drive unit 50Y is similarly formed to be recessed inward in the radial direction (hereinafter referred to as "OIS motor fixing portions 122, 123").

OISモーター固定部123には、Y軸方向駆動ユニット50Yが固定される。第1ステージ12は、OIS可動部10のY軸方向の移動に関して、能動側部材として機能する。 A Y-axis direction drive unit 50Y is fixed to the OIS motor fixing part 123. The first stage 12 functions as an active member regarding the movement of the OIS movable section 10 in the Y-axis direction.

第1ステージ12は、AF支持部15を介して、AF可動部11を光軸方向に移動可能に支持する。第1ステージ12は、開口121の内周面に、AF支持部15が配置されるAFボール保持部124を有する。本実施の形態では、AFボール保持部124は、平面視における第1ステージ12の四隅のうちの対角に位置する2箇所に設けられている。AFボール保持部124は、光軸方向に沿って延在し、溝底に向かって溝幅が狭くなるように断面形状が略V字状(テーパー形状)に形成されている。 The first stage 12 supports the AF movable section 11 via the AF support section 15 so as to be movable in the optical axis direction. The first stage 12 has an AF ball holding part 124 on the inner circumferential surface of the opening 121, in which the AF support part 15 is arranged. In this embodiment, the AF ball holding portions 124 are provided at two diagonally located locations among the four corners of the first stage 12 in plan view. The AF ball holding portion 124 extends along the optical axis direction, and has a substantially V-shaped (tapered) cross-sectional shape so that the groove width becomes narrower toward the groove bottom.

第1ステージ12の光軸方向結像側の面(下面)には、第2ステージ13のOISボール保持部134とZ軸方向において対向する位置に、OIS支持部42を保持するOISボール保持部(図示略)が形成されている。OIS支持部42は、第1ステージ12及び第2ステージ13のOISボール保持部により、多点接触で挟持される。したがって、OIS支持部42を構成するボールは、安定してY軸方向に転動する。 On the surface (lower surface) of the first stage 12 on the imaging side in the optical axis direction, there is an OIS ball holding part that holds the OIS support part 42 at a position facing the OIS ball holding part 134 of the second stage 13 in the Z-axis direction. (not shown) is formed. The OIS support part 42 is held between the OIS ball holding parts of the first stage 12 and the second stage 13 with multi-point contact. Therefore, the balls forming the OIS support portion 42 stably roll in the Y-axis direction.

第1ステージ12は、開口121の内周面に、AF駆動ユニット70が配置されるAFモーター固定部125を有する。AFモーター固定部125は、例えば、平面視における第1ステージ12の四隅のうちの対角に位置する2箇所に設けられる。AFモーター固定部125には、例えば、AFモーター固定金具126(図11参照)が取り付けられ、AFモーター固定金具126によってAF駆動ユニット70のAF共振部71が保持される。第1ステージ12は、AF可動部11のZ軸方向の移動に関して、能動側部材として機能する。 The first stage 12 has an AF motor fixing part 125 on the inner peripheral surface of the opening 121, in which the AF drive unit 70 is disposed. The AF motor fixing portions 125 are provided, for example, at two diagonally located locations among the four corners of the first stage 12 in plan view. For example, an AF motor fixture 126 (see FIG. 11) is attached to the AF motor fixture 125, and the AF resonator 71 of the AF drive unit 70 is held by the AF motor fixture 126. The first stage 12 functions as an active member regarding the movement of the AF movable section 11 in the Z-axis direction.

第1ステージ12には、AF駆動ユニット70及びY軸方向駆動ユニット50Yへの給電ラインが配置される。本実施の形態では、第1ステージ12の光軸方向受光側の面に、4つの金属板161が物理的に分離した状態で配置されている。4つの金属板161は、それぞれ、第1ステージ12の四隅から露出している端子金具162と接続される。ベース21の配線(図示略)からOIS用付勢部材30、端子金具162及び金属板161を介して、AF駆動ユニット70及びY軸方向駆動ユニット50Yへの給電が行われる。 A power supply line to the AF drive unit 70 and the Y-axis direction drive unit 50Y is arranged on the first stage 12. In this embodiment, four metal plates 161 are physically separated and arranged on the light-receiving side surface of the first stage 12 in the optical axis direction. The four metal plates 161 are respectively connected to terminal fittings 162 exposed from the four corners of the first stage 12. Power is supplied from wiring (not shown) of the base 21 to the AF drive unit 70 and the Y-axis direction drive unit 50Y via the OIS biasing member 30, the terminal fittings 162, and the metal plate 161.

AF可動部11は、レンズ部2(図2参照)を保持するレンズホルダーであり、ピント合わせ時に光軸方向に移動する。AF可動部11は、第1ステージ12(AF固定部)に対して径方向内側に離間して配置され、AF支持部15を介して第1ステージ12に付勢された状態で支持される。 The AF movable section 11 is a lens holder that holds the lens section 2 (see FIG. 2), and moves in the optical axis direction during focusing. The AF movable section 11 is arranged radially inwardly and spaced apart from the first stage 12 (AF fixed section), and is supported while being biased by the first stage 12 via the AF support section 15 .

AF可動部11は、例えば、ポリアリレート(PAR)、PARを含む複数の樹脂材料を混合したPARアロイ、液晶ポリマー等で形成される。AF可動部11は、筒状のレンズ収容部111を有する。レンズ収容部111の内周面には、レンズ部2が、例えば、接着により固定される。 The AF movable part 11 is formed of, for example, polyarylate (PAR), a PAR alloy obtained by mixing a plurality of resin materials including PAR, a liquid crystal polymer, or the like. The AF movable section 11 has a cylindrical lens housing section 111. The lens portion 2 is fixed to the inner circumferential surface of the lens housing portion 111 by, for example, adhesive.

AF可動部11は、レンズ収容部111の外周面において、AF駆動ユニット70に対応する位置に、AF動力伝達部80が固定されるAFモーター固定部112を有する。AF可動部11は、AF可動部11のZ軸方向の移動に関して、受動側部材として機能する。 The AF movable section 11 has an AF motor fixing section 112 on the outer peripheral surface of the lens housing section 111 at a position corresponding to the AF drive unit 70 to which the AF power transmission section 80 is fixed. The AF movable section 11 functions as a passive member regarding movement of the AF movable section 11 in the Z-axis direction.

AF可動部11は、レンズ収容部111の外周面において、第1ステージ12のAFボール保持部124と径方向において対向する位置に、AF支持部15を保持するAFボール保持部114を有する。AF支持部15は、第1ステージ12及びAF可動部11のAFボール保持部により、多点接触で挟持される。したがって、AF支持部15を構成するボールは、安定してZ軸方向に転動する。 The AF movable section 11 has an AF ball holding section 114 that holds the AF support section 15 on the outer circumferential surface of the lens housing section 111 at a position facing the AF ball holding section 124 of the first stage 12 in the radial direction. The AF support section 15 is held between the first stage 12 and the AF ball holding section of the AF movable section 11 with multi-point contact. Therefore, the balls forming the AF support section 15 stably roll in the Z-axis direction.

AF支持部15は、第1ステージ12(AF固定部)に対して、AF可動部11を径方向に離間した状態で支持する。本実施の形態では、AF支持部15は、第1ステージ12とAF可動部11の間に転動可能な状態で介在する4個のボールで構成されている。なお、AF支持部15を構成するボールの数は、適宜変更することができる。 The AF support section 15 supports the AF movable section 11 in a radially spaced state with respect to the first stage 12 (AF fixed section). In this embodiment, the AF support section 15 is composed of four balls that are rotatably interposed between the first stage 12 and the AF movable section 11. Note that the number of balls constituting the AF support section 15 can be changed as appropriate.

X軸方向駆動ユニット50X及びY軸方向駆動ユニット50Yは、OIS可動部10をX軸方向及びY軸方向に移動させる、超音波モーター型のアクチュエーターである。図9Aに示すように、X軸方向駆動ユニット50Xは、能動側部材であるベース21に配置され、X軸方向動力伝達部60Xを介して、受動側要素である第2ステージ13と連結される。また、図9Bに示すように、Y軸方向駆動ユニット50Yは、能動側部材である第1ステージ12に配置され、Y軸方向動力伝達部60Yを介して、受動側要素である第2ステージ13と連結される。X軸方向駆動ユニット50X及びX軸方向動力伝達部60Xと、Y軸方向駆動ユニット50Y及びY軸方向動力伝達部60Yとは、互いに直交する辺に沿って配置される。 The X-axis direction drive unit 50X and the Y-axis direction drive unit 50Y are ultrasonic motor type actuators that move the OIS movable section 10 in the X-axis direction and the Y-axis direction. As shown in FIG. 9A, the X-axis direction drive unit 50X is arranged on the base 21, which is an active side member, and is connected to the second stage 13, which is a passive side element, via the X-axis direction power transmission section 60X. . Further, as shown in FIG. 9B, the Y-axis direction drive unit 50Y is arranged on the first stage 12, which is an active side member, and is connected to the second stage 13, which is a passive side element, via the Y-axis direction power transmission section 60Y. is connected with. The X-axis direction drive unit 50X and the X-axis direction power transmission section 60X, and the Y-axis direction drive unit 50Y and the Y-axis direction power transmission section 60Y are arranged along mutually orthogonal sides.

X軸方向駆動ユニット50X及びX軸方向動力伝達部60Xは、X軸に沿って延在するように配置され、OIS可動部10全体をX軸方向に移動させる。本実施の形態では、X軸方向駆動ユニット50Xがベース21のOISモーター固定部212に固定され、X軸方向動力伝達部60Xが第2ステージ13のOISモーター固定部132に固定されている。 The X-axis direction drive unit 50X and the X-axis direction power transmission section 60X are arranged to extend along the X-axis, and move the entire OIS movable section 10 in the X-axis direction. In this embodiment, the X-axis direction drive unit 50X is fixed to the OIS motor fixing part 212 of the base 21, and the X-axis direction power transmission part 60X is fixed to the OIS motor fixing part 132 of the second stage 13.

Y軸方向駆動ユニット50Yは、Y軸に沿って延在するように配置され、OIS可動部10のAFユニット10AのみをY軸方向に移動させる。本実施の形態では、Y軸方向駆動ユニット50Yが第1ステージ12のOISモーター固定部123に固定され、Y軸方向動力伝達部60Yが第2ステージ13のOISモーター固定部133に固定されている。 The Y-axis direction drive unit 50Y is arranged to extend along the Y-axis, and moves only the AF unit 10A of the OIS movable section 10 in the Y-axis direction. In this embodiment, the Y-axis direction drive unit 50Y is fixed to the OIS motor fixing part 123 of the first stage 12, and the Y-axis direction power transmission part 60Y is fixed to the OIS motor fixing part 133 of the second stage 13. .

以下において、X軸方向駆動ユニット50X及びY軸方向駆動ユニット50Yを合わせて、「OIS駆動ユニット50X、50Y」と称する。また、X軸方向動力伝達部60X及びY軸方向動力伝達部60Yを合わせて、「OIS動力伝達部60X、60Y」と称する。 In the following, the X-axis direction drive unit 50X and the Y-axis direction drive unit 50Y are collectively referred to as "OIS drive units 50X, 50Y." Furthermore, the X-axis direction power transmission section 60X and the Y-axis direction power transmission section 60Y are collectively referred to as "OIS power transmission sections 60X, 60Y."

OIS駆動ユニット50X、50Yは、それぞれ、OIS共振部51及びOIS圧電素子52を有する。OIS動力伝達部60X、60Yは、それぞれ、受動部材61及び連結部材62を有する。 The OIS drive units 50X and 50Y each have an OIS resonator 51 and an OIS piezoelectric element 52. The OIS power transmission sections 60X and 60Y each include a passive member 61 and a connecting member 62.

OIS圧電素子52は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。OIS共振部51の胴部(符号略)を挟み込むように、2枚のOIS圧電素子52が配置される。 The OIS piezoelectric element 52 is, for example, a plate-shaped element made of a ceramic material, and generates vibration by applying a high frequency voltage. Two OIS piezoelectric elements 52 are arranged so as to sandwich the body (not shown) of the OIS resonator 51 .

OIS共振部51は、導電性材料で形成され、OIS圧電素子52の振動を受けて共振する。OIS共振部51は、所定の導電性、せん断強度、硬度、比重、ヤング率等を有する金属であればよく、例えば、ステンレス綱が好適である。 The OIS resonator 51 is made of a conductive material, and resonates when the OIS piezoelectric element 52 vibrates. The OIS resonator 51 may be made of a metal having predetermined conductivity, shear strength, hardness, specific gravity, Young's modulus, etc., and is preferably made of stainless steel, for example.

X軸方向駆動ユニット50XのOIS共振部51及びOIS圧電素子52は、ベース21の配線(図示略)と電気的に接続される。Y軸方向駆動ユニット50YのOIS共振部51及びOIS圧電素子52は、給電ラインとして機能する金属板161と電気的に接続される。 The OIS resonator 51 and the OIS piezoelectric element 52 of the X-axis direction drive unit 50X are electrically connected to wiring (not shown) of the base 21. The OIS resonator 51 and the OIS piezoelectric element 52 of the Y-axis direction drive unit 50Y are electrically connected to a metal plate 161 that functions as a power supply line.

OIS共振部51は、OIS圧電素子52に挟持される略矩形状の胴部(符号略)及び胴部の上部及び下部からX軸方向又はY軸方向に延在する2つのアーム511、512を有する。2つのアーム511、512は略対称的な形状を有し、それぞれの自由端部がOIS動力伝達部60X、60Yの受動部材61に当接し、OIS圧電素子52の振動に共振して対称的に変形する。 The OIS resonator 51 includes a substantially rectangular body (not shown) held between the OIS piezoelectric elements 52 and two arms 511 and 512 extending from the upper and lower parts of the body in the X-axis direction or the Y-axis direction. have The two arms 511 and 512 have a substantially symmetrical shape, and their respective free ends abut the passive members 61 of the OIS power transmission sections 60X and 60Y, resonate with the vibration of the OIS piezoelectric element 52, and move symmetrically. transform.

本実施の形態では、2つのアーム511、512は、OIS動力伝達部60X、60Yの受動部材61と当接する当接面が内側を向き、対向するように形成されている。OIS共振部51とOIS動力伝達部60X、60Y(受動部材61)とが当接した状態でOIS共振部51が共振することにより、OIS圧電素子52の振動運動がOIS動力伝達部60X、60Yの直線運動に変換される。 In this embodiment, the two arms 511 and 512 are formed so that the contact surfaces that contact the passive members 61 of the OIS power transmission sections 60X and 60Y face inward and face each other. When the OIS resonance section 51 resonates with the OIS power transmission sections 60X, 60Y (passive member 61) in contact with each other, the vibration motion of the OIS piezoelectric element 52 is caused by the vibration motion of the OIS power transmission sections 60X, 60Y. converted into linear motion.

OIS共振部51は、少なくとも2つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、OIS共振部51は、2つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。異なる挙動とは、OIS動力伝達部60X、60YをX軸方向又はY軸方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。 The OIS resonator 51 has at least two resonant frequencies, and deforms with different behavior for each resonant frequency. In other words, the overall shape of the OIS resonant section 51 is set so that it deforms with different behaviors for two resonant frequencies. The different behaviors are a behavior in which the OIS power transmission units 60X and 60Y are moved forward in the X-axis direction or the Y-axis direction, and a behavior in which they are moved backward.

受動部材61は、OIS共振部51の一対のアーム511、512に付勢された状態で挟持される。受動部材61は、剛体で構成されており、アーム511、512よりも変形しにくい。受動部材61は、例えば、ジルコニア等のセラミック材料からなるブロック部材である。なお、受動部材61は、ステンレス等の金属材料からなるブロックの表面(少なくともOIS共振部51と接触する面)に、セラミック材料からなるコーティング層を形成した部材であってもよい。 The passive member 61 is held between the arms 511 and 512 of the OIS resonator 51 while being biased. The passive member 61 is made of a rigid body and is less likely to deform than the arms 511 and 512. The passive member 61 is, for example, a block member made of a ceramic material such as zirconia. The passive member 61 may be a member in which a coating layer made of a ceramic material is formed on the surface of a block made of a metal material such as stainless steel (at least the surface that comes into contact with the OIS resonator 51).

また、受動部材61において、アーム511、512によって挟持される方向の幅は、アーム511、512の先端(受動部材61と当接する部分)の離間幅よりも大きい。アーム511、512の間に受動部材61を嵌め込むと、アーム511、512が押し拡げられるように変形するため、アーム511、512に復元力が生じる。アーム511、512に生じた復元力によって、アーム511、512の間に受動部材61が付勢された状態で保持される。 Furthermore, the width of the passive member 61 in the direction in which it is held between the arms 511 and 512 is larger than the width of separation between the tips of the arms 511 and 512 (portions that come into contact with the passive member 61). When the passive member 61 is fitted between the arms 511 and 512, the arms 511 and 512 are deformed so as to be pushed apart, so that a restoring force is generated in the arms 511 and 512. The restoring force generated in the arms 511 and 512 holds the passive member 61 between the arms 511 and 512 in a biased state.

受動部材61が2つの板状部材で構成され、受動部材61に生じる復元力を利用してアーム511、512に対して受動部材61が付勢される場合、受動部材61とアーム511、512との当接状態は、受動部材61の移動に伴い変化し、駆動性能が不安定となる虞がある。これに対して、本実施の形態では、受動部材61とアーム511、512との当接状態は、受動部材61が移動しても変化しないので、安定した駆動性能を得ることができる。 When the passive member 61 is composed of two plate-like members and the passive member 61 is urged against the arms 511 and 512 using the restoring force generated in the passive member 61, the passive member 61 and the arms 511 and 512 The contact state changes as the passive member 61 moves, and there is a possibility that the driving performance may become unstable. In contrast, in the present embodiment, the state of contact between the passive member 61 and the arms 511, 512 does not change even if the passive member 61 moves, so that stable driving performance can be obtained.

連結部材62は、受動部材61と受動側部材である第2ステージ13とを連結する。連結部材62は、例えば、ステンレス材等の金属材料で形成される。連結部材62は、受動部材61に固定される固定部62aと、固定部62aから延びて第2ステージ13に連結する弾性部62bとを有する。 The connecting member 62 connects the passive member 61 and the second stage 13, which is a passive member. The connecting member 62 is made of a metal material such as stainless steel, for example. The connecting member 62 includes a fixed part 62 a fixed to the passive member 61 and an elastic part 62 b extending from the fixed part 62 a and coupled to the second stage 13 .

弾性部62aは、弾性変形可能であり、例えば、板バネで形成される。連結部材62は、弾性部62aが可動部の移動方向に延在するように配置される。弾性部62aは、板厚方向に変形(撓み)可能で、可動部の移動方向には変形困難である。弾性部62aは、取付公差等によって生じうる可動部の移動方向D1と動力の伝達方向D2の位置ずれを吸収する。 The elastic portion 62a is elastically deformable and is formed of, for example, a plate spring. The connecting member 62 is arranged such that the elastic portion 62a extends in the moving direction of the movable portion. The elastic portion 62a can be deformed (flexed) in the thickness direction, but is difficult to deform in the direction of movement of the movable portion. The elastic portion 62a absorbs a positional deviation between the moving direction D1 of the movable portion and the power transmission direction D2 that may occur due to mounting tolerances or the like.

一般に、光学素子駆動装置1では、可動部の移動方向D1(ベース21又は第1ステージ12に対する第2ステージ13の相対的な移動方向)と、動力の伝達方向D2とが一致するように、能動要素(OIS共振部51)、受動要素(OIS動力伝達部60X、60Y)等の設計が行われる。しかしながら、取付公差等によって、例えば、能動要素に対する受動要素の取付角度と、固定部に対する可動部の取付角度とにずれが生じることがある。この場合、OIS動力伝達部60X、60Yが剛体で形成されていると、可動部の移動方向D1に対して、動力の伝達方向D2が傾斜することとなり、OIS共振部51とOIS動力伝達部60X、60Yが摺動し難い状態となる。その結果、可動部へ伝達する動力の発生が不安定となる虞がある(図10B参照)。 Generally, in the optical element driving device 1, the active part is moved so that the moving direction D1 of the movable part (the relative moving direction of the second stage 13 with respect to the base 21 or the first stage 12) matches the power transmission direction D2. Elements (OIS resonance part 51), passive elements (OIS power transmission parts 60X, 60Y), etc. are designed. However, due to mounting tolerances and the like, for example, a deviation may occur between the mounting angle of the passive element to the active element and the mounting angle of the movable part to the fixed part. In this case, if the OIS power transmission parts 60X and 60Y are formed of rigid bodies, the power transmission direction D2 is inclined with respect to the moving direction D1 of the movable part, and the OIS resonance part 51 and the OIS power transmission part 60X , 60Y become difficult to slide. As a result, the generation of power transmitted to the movable part may become unstable (see FIG. 10B).

これに対して、本実施の形態では、能動側部材であるベース21及び第1ステージ12に配置されたOIS駆動ユニット50X、50Yと、受動側部材である第2ステージ13とが、連結部材62を有するOIS動力伝達部60X、60Yを介して接続されている。これにより、能動要素に対する受動要素の取付角度と、固定部に対する可動部の取付角度とに位置ずれが生じても、連結部材62の弾性部62aによって位置ずれが吸収されるので、可動部の移動方向D1と動力の伝達方向D2とが一致する(図10A参照)。したがって、OIS共振部51とOIS動力伝達部60X、60Yとの摺動が維持され、OIS支持部41、42のボールの転動動作がスムーズに行われ、可動部の移動動作が安定する。 In contrast, in the present embodiment, the OIS drive units 50X and 50Y arranged on the base 21 and the first stage 12, which are active side members, and the second stage 13, which is a passive side member, are connected to the connecting member 62. They are connected via OIS power transmission sections 60X and 60Y. As a result, even if a positional deviation occurs between the mounting angle of the passive element to the active element and the mounting angle of the movable part to the fixed part, the positional deviation is absorbed by the elastic part 62a of the connecting member 62, so that the movable part can move. The direction D1 and the power transmission direction D2 match (see FIG. 10A). Therefore, the sliding movement between the OIS resonance part 51 and the OIS power transmission parts 60X, 60Y is maintained, the rolling motion of the balls of the OIS support parts 41, 42 is performed smoothly, and the moving operation of the movable part is stabilized.

AF駆動ユニット70は、AF可動部11をZ軸方向に移動させる、超音波モーター型のアクチュエーターである。図11A、図11Bに示すように、AF駆動ユニット70は、能動側部材である第1ステージ12に配置され、AF動力伝達部80を介して、受動要素であるAF可動部11と連結される。図11Aは、AF駆動ユニット70をAF可動部11に取り付けた状態を示す。 The AF drive unit 70 is an ultrasonic motor type actuator that moves the AF movable section 11 in the Z-axis direction. As shown in FIGS. 11A and 11B, the AF drive unit 70 is arranged on the first stage 12, which is an active side member, and is connected to the AF movable section 11, which is a passive element, via the AF power transmission section 80. . FIG. 11A shows a state in which the AF drive unit 70 is attached to the AF movable section 11.

本実施の形態では、AF可動部11と第1ステージ12との間に、2つのAF駆動ユニット70が配置されている。AF駆動ユニット70は、アーム711、712がZ軸方向に延在するように、第1ステージ12のAFモーター固定部125に固定される。 In this embodiment, two AF drive units 70 are arranged between the AF movable section 11 and the first stage 12. The AF drive unit 70 is fixed to the AF motor fixing part 125 of the first stage 12 so that arms 711 and 712 extend in the Z-axis direction.

AF駆動ユニット70は、AF共振部71及びAF圧電素子72を有する。AF動力伝達部80は、光軸方向に所定の長さを有する2枚のAFプレート81を有する。 The AF drive unit 70 includes an AF resonance section 71 and an AF piezoelectric element 72. The AF power transmission section 80 includes two AF plates 81 having a predetermined length in the optical axis direction.

AF圧電素子72は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。AF共振部71の胴部(符号略)を挟み込むように、2枚のAF圧電素子72が配置される。 The AF piezoelectric element 72 is, for example, a plate-shaped element made of a ceramic material, and generates vibration by applying a high frequency voltage. Two AF piezoelectric elements 72 are arranged so as to sandwich the body (not shown) of the AF resonator 71 .

AF共振部71は、導電性材料で形成され、AF圧電素子72の振動を受けて共振する。AF共振部71は、所定の導電性、せん断強度、硬度、比重、ヤング率等を有する金属であればよく、例えば、OIS共振部51と同様に、ステンレス綱が好適である。 The AF resonator 71 is formed of a conductive material and resonates upon receiving the vibration of the AF piezoelectric element 72. The AF resonator 71 may be made of metal having predetermined conductivity, shear strength, hardness, specific gravity, Young's modulus, etc. For example, like the OIS resonator 51, stainless steel is suitable.

AF共振部71及びAF圧電素子72は、給電ラインとして機能する金属板161と電気的に接続される。 The AF resonator 71 and the AF piezoelectric element 72 are electrically connected to a metal plate 161 that functions as a power supply line.

AF共振部71は、AF圧電素子72に挟持される略矩形状の胴部(符号略)及び胴部からZ軸方向に延在する2つのアーム711、712を有する。2つのアーム711、712は略対称的な形状を有し、それぞれの自由端部がAF動力伝達部80のAFプレート81に当接し、AF圧電素子72の振動に共振して対称的に変形する。 The AF resonator 71 has a substantially rectangular body (not shown) held between the AF piezoelectric elements 72 and two arms 711 and 712 extending from the body in the Z-axis direction. The two arms 711 and 712 have a substantially symmetrical shape, and their respective free ends abut against the AF plate 81 of the AF power transmission unit 80, and are deformed symmetrically by resonating with the vibration of the AF piezoelectric element 72. .

本実施の形態では、2つのアーム711、712は、AFプレート81と当接する面が外側を向いて形成されており、自由端部がAFプレート81で挟持されるように配置されている。AF共振部71とAF動力伝達部80(AFプレート81)とが当接した状態でAF共振部71が共振することにより、AF圧電素子72の振動運動がAF動力伝達部80の直線運動に変換される。 In this embodiment, the two arms 711 and 712 are formed so that the surfaces that contact the AF plate 81 face outward, and are arranged so that their free ends are sandwiched between the AF plate 81. When the AF resonance part 71 resonates when the AF resonance part 71 and the AF power transmission part 80 (AF plate 81) are in contact with each other, the vibration motion of the AF piezoelectric element 72 is converted into the linear motion of the AF power transmission part 80. be done.

AF共振部71は、OIS共振部51と同様に、少なくとも2つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、AF共振部71は、2つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。 Like the OIS resonance section 51, the AF resonance section 71 has at least two resonance frequencies, and deforms with different behavior for each resonance frequency. In other words, the overall shape of the AF resonance section 71 is set so that it deforms with different behaviors for two resonance frequencies.

AFプレート81は、例えば、チタン銅、ニッケル銅、ステンレス等の金属材料からなる硬質の板状部材である。AFプレート81は、AF共振部71のアーム711、712と当接するように、移動方向に沿ってAF可動部11のAFモーター固定部112に配置される。AFプレート81は、AF可動部11に固定され、AF可動部11と一体的に移動可能となっている。 The AF plate 81 is a hard plate-like member made of a metal material such as titanium copper, nickel copper, or stainless steel. The AF plate 81 is arranged on the AF motor fixing part 112 of the AF movable part 11 along the moving direction so as to come into contact with the arms 711 and 712 of the AF resonating part 71 . The AF plate 81 is fixed to the AF movable section 11 and is movable integrally with the AF movable section 11.

AFプレート81は、AF可動部11のAFモーター固定部112に配置された付勢部材82とAF共振部71との間に介在する。AFプレート81は、付勢部材82によって、AF共振部71のアーム711、712に向けて付勢された状態で保持される。なお、付勢部材82は、例えば、板バネで構成されてもよいし、コイルバネや硬質ゴムなどの弾性体を適用してもよい。 The AF plate 81 is interposed between the biasing member 82 disposed on the AF motor fixed part 112 of the AF movable part 11 and the AF resonance part 71. The AF plate 81 is held in a biased state toward the arms 711 and 712 of the AF resonator 71 by the biasing member 82 . Note that the biasing member 82 may be composed of, for example, a plate spring, or may be made of an elastic body such as a coil spring or hard rubber.

光学素子駆動装置1において、AF駆動ユニット70に電圧を印加すると、AF圧電素子72が振動し、AF共振部71が周波数に応じた挙動で変形する。AF駆動ユニット70の駆動力により、AF動力伝達部80がZ軸方向に摺動される。これに伴い、AF可動部11がZ軸方向に移動し、ピント合わせが行われる。AF支持部15がボールで構成されているので、AF可動部11はZ軸方向にスムーズに移動することができる。また、AF駆動ユニット70とAF動力伝達部80は、付勢された状態で当接しているだけなので、当接部分をZ軸方向に大きくするだけで、光学素子駆動装置1の低背化を損なうことなく、AF可動部11の移動ストロークを容易に長くすることができる。 In the optical element drive device 1, when a voltage is applied to the AF drive unit 70, the AF piezoelectric element 72 vibrates, and the AF resonant section 71 deforms in a manner that corresponds to the frequency. The AF power transmission section 80 is slid in the Z-axis direction by the driving force of the AF drive unit 70. Along with this, the AF movable section 11 moves in the Z-axis direction, and focusing is performed. Since the AF support part 15 is made of a ball, the AF movable part 11 can move smoothly in the Z-axis direction. Furthermore, since the AF drive unit 70 and the AF power transmission section 80 are only in contact with each other in a biased state, the height of the optical element drive device 1 can be reduced by simply increasing the size of the contact portion in the Z-axis direction. The movement stroke of the AF movable section 11 can be easily lengthened without damage.

光学素子駆動装置1において、OIS駆動ユニット50X、50Yに電圧を印加すると、OIS圧電素子52が振動し、OIS共振部51が周波数に応じた挙動で変形する。OIS駆動ユニット50X、50Yの駆動力により、OIS動力伝達部60X、60YがX軸方向又はY軸方向に摺動される。これに伴い、OIS可動部10がX軸方向又はY軸方向に移動し、振れ補正が行われる。OIS支持部41、42がボールで構成されているので、OIS可動部10はX軸方向又はY軸方向にスムーズに移動することができる。 In the optical element drive device 1, when a voltage is applied to the OIS drive units 50X and 50Y, the OIS piezoelectric element 52 vibrates, and the OIS resonator 51 deforms in a manner that corresponds to the frequency. The OIS power transmission sections 60X, 60Y are slid in the X-axis direction or the Y-axis direction by the driving force of the OIS drive units 50X, 50Y. Along with this, the OIS movable section 10 moves in the X-axis direction or the Y-axis direction, and shake correction is performed. Since the OIS support parts 41 and 42 are formed of balls, the OIS movable part 10 can move smoothly in the X-axis direction or the Y-axis direction.

具体的には、X軸方向駆動ユニット50Xが駆動され、X軸方向動力伝達部60XがX軸方向に移動する場合、X軸方向駆動ユニット50Xが配置されているベース21から第2ステージ13に動力が伝達される。このとき、第1ステージ12と第2ステージ13とで挟持されているOIS支持部42は、X軸方向に転動できないので、第2ステージ13に対する第1ステージ12のX軸方向の位置は維持される。一方、第2ステージ13とベース21とで挟持されているOIS支持部41は、X軸方向に転動できるので、ベース21に対して第2ステージ13がX軸方向に移動する。第1ステージ12も第2ステージ13に追従してX軸方向に移動することになる。 Specifically, when the X-axis direction drive unit 50X is driven and the X-axis direction power transmission section 60X moves in the X-axis direction, from the base 21 where the X-axis direction drive unit 50X is arranged to the second stage 13. Power is transmitted. At this time, since the OIS support part 42 held between the first stage 12 and the second stage 13 cannot roll in the X-axis direction, the position of the first stage 12 in the X-axis direction with respect to the second stage 13 is maintained. be done. On the other hand, since the OIS support portion 41 held between the second stage 13 and the base 21 can roll in the X-axis direction, the second stage 13 moves in the X-axis direction with respect to the base 21. The first stage 12 also follows the second stage 13 and moves in the X-axis direction.

また、Y軸方向駆動ユニット50Yが駆動され、Y軸方向動力伝達部60YがY軸方向に移動する場合、Y軸方向駆動ユニット50Yが配置されている第1ステージ12から第2ステージ13に動力が伝達される。このとき、第2ステージ13とベース21とで挟持されているOIS支持部41は、Y軸方向に転動できないので、ベース21に対する第2ステージ13のX軸方向の位置は維持される。一方、第1ステージ12と第2ステージ13とで挟持されているOIS支持部42は、Y軸方向に転動できるので、第2ステージ13に対して第1ステージ12がY軸方向に移動することになる。 Further, when the Y-axis direction drive unit 50Y is driven and the Y-axis direction power transmission section 60Y moves in the Y-axis direction, the power is transferred from the first stage 12 where the Y-axis direction drive unit 50Y is disposed to the second stage 13. is transmitted. At this time, since the OIS support part 41 held between the second stage 13 and the base 21 cannot roll in the Y-axis direction, the position of the second stage 13 in the X-axis direction with respect to the base 21 is maintained. On the other hand, since the OIS support part 42 held between the first stage 12 and the second stage 13 can roll in the Y-axis direction, the first stage 12 moves in the Y-axis direction with respect to the second stage 13. It turns out.

光学素子駆動装置1では、例えば、カメラモジュールAの角度振れが相殺されるように、振れ検出部(例えばジャイロセンサー、図示略)からの角度振れを示す検出信号に基づいて、X軸方向駆動ユニット50X及びY軸方向駆動ユニット50Yへの通電電圧が制御される。このとき、位置検出部の検出結果をフィードバックして、OIS可動部10の並進移動を制御してもよい。 In the optical element drive device 1, for example, the X-axis direction drive unit is operated based on a detection signal indicating angular shake from a shake detection section (for example, a gyro sensor, not shown) so that the angular shake of the camera module A is canceled out. The voltage applied to the drive unit 50X and Y-axis direction drive unit 50Y is controlled. At this time, the translational movement of the OIS movable section 10 may be controlled by feeding back the detection result of the position detection section.

このように、実施の形態に係る光学素子駆動装置1は、以下の特徴事項を単独で、又は、適宜組み合わせて備えている。 As described above, the optical element driving device 1 according to the embodiment has the following features singly or in appropriate combinations.

すなわち、OIS可動部10のX軸方向の移動に関して、光学素子駆動装置1は、ベース21(固定部)と、レンズ部2(光学素子)を含む第2ステージ13(可動部)と、ベース21(固定部及び可動部のうちの何れか一方からなる能動側部材)に配置され、ベース21に対して第2ステージ13を移動させる超音波モーター型のX軸方向駆動ユニット50X(駆動部)と、第2ステージ13(固定部及び可動部のうちの何れか他方からなる受動側部材)とX軸方向駆動ユニット50Xとを連結し、X軸方向駆動ユニット50Xの動力を第2ステージ13に伝達するX軸方向動力伝達部60Xと、を備える。X軸方向駆動ユニット50Xは、振動する一対のアーム511、512を有するOIS共振部51を有し、X軸方向動力伝達部60Xは、一対のアーム511、512に付勢された状態で挟持される受動部材61と、受動部材61と第2ステージ13とを連結する連結部材62と、を有し、連結部材62は、弾性変形可能である。これにより、能動要素に対する受動要素の取付角度と、固定部に対する可動部の取付角度とに位置ずれが生じても、連結部材62によって位置ずれが吸収されるので、可動部である第2ステージ13の移動方向D1と動力の移動方向D2とが一致する(図10A参照)。したがって、OIS共振部51とOIS動力伝達部60X、60Yとの摺動が維持され、第2ステージ13を含むOIS可動部10の、ベース21を含むOIS固定部20に対するX軸方向への移動動作が安定し、駆動性能の向上を図ることができ、光学素子駆動装置1、カメラモジュールA及びスマートフォンM(カメラ搭載装置)の信頼性が向上する。 That is, regarding the movement of the OIS movable part 10 in the X-axis direction, the optical element driving device 1 includes a base 21 (fixed part), a second stage 13 (movable part) including the lens part 2 (optical element), and a base 21 (an active side member consisting of either a fixed part or a movable part) and an ultrasonic motor-type X-axis direction drive unit 50X (drive part) that moves the second stage 13 with respect to the base 21; , the second stage 13 (passive side member consisting of the other of a fixed part and a movable part) and the X-axis direction drive unit 50X are connected, and the power of the X-axis direction drive unit 50X is transmitted to the second stage 13. An X-axis direction power transmission section 60X is provided. The X-axis direction drive unit 50X has an OIS resonance section 51 having a pair of vibrating arms 511 and 512, and the X-axis direction power transmission section 60X is held between the two arms 511 and 512 while being biased. The connecting member 62 includes a passive member 61 that connects the passive member 61 and the second stage 13, and the connecting member 62 is elastically deformable. As a result, even if a positional deviation occurs between the mounting angle of the passive element to the active element and the mounting angle of the movable part to the fixed part, the positional deviation is absorbed by the connecting member 62, so that the second stage 13 which is the movable part The moving direction D1 of the power matches the moving direction D2 of the power (see FIG. 10A). Therefore, the sliding movement between the OIS resonance part 51 and the OIS power transmission parts 60X and 60Y is maintained, and the movement operation of the OIS movable part 10 including the second stage 13 in the X-axis direction with respect to the OIS fixed part 20 including the base 21 is maintained. is stabilized, drive performance can be improved, and the reliability of the optical element drive device 1, camera module A, and smartphone M (camera-equipped device) is improved.

また、OIS可動部10のY軸方向の移動に関して、光学素子駆動装置1は、第2ステージ13(固定部)と、レンズ部2(光学素子)を含む第1ステージ12(可動部)と、第1ステージ12(固定部及び可動部のうちの何れか一方からなる能動側部材)に配置され、第2ステージ13に対して第1ステージ12を移動させる超音波モーター型のY軸方向駆動ユニット50Y(駆動部)と、第2ステージ13(固定部及び可動部のうちの何れか他方からなる受動側部材)とY軸方向駆動ユニット50Yとを連結し、Y軸方向駆動ユニット50Yの動力を第2ステージ13に伝達するY軸方向動力伝達部60Yと、を備える。Y軸方向駆動ユニット50Yは、振動する一対のアーム511、512を有するOIS共振部51を有し、Y軸方向動力伝達部60Yは、一対のアーム511、512に付勢された状態で挟持される受動部材61と、受動部材61と第2ステージ13とを連結する連結部材62と、を有し、連結部材62は、弾性変形可能である。これにより、能動要素に対する受動要素の取付角度と、固定部に対する可動部の取付角度とに位置ずれが生じても、連結部材62によって位置ずれが吸収されるので、可動部である第1ステージ12の移動方向D1と動力の移動方向D2とが一致する(図10A参照)。したがって、OIS共振部51とOIS動力伝達部60X、60Yとの摺動が維持され、第1ステージ12を含むOIS可動部10の、第2ステージ13を含むOIS固定部20に対するY軸方向への移動動作が安定し、駆動性能の向上を図ることができ、光学素子駆動装置1、カメラモジュールA及びスマートフォンM(カメラ搭載装置)の信頼性が向上する。 Regarding the movement of the OIS movable part 10 in the Y-axis direction, the optical element driving device 1 includes a second stage 13 (fixed part), a first stage 12 (movable part) including the lens part 2 (optical element), An ultrasonic motor-type Y-axis direction drive unit that is disposed on the first stage 12 (active side member consisting of either a fixed part or a movable part) and moves the first stage 12 with respect to the second stage 13 50Y (driving section), the second stage 13 (passive side member consisting of the other of a fixed section and a movable section), and the Y-axis direction drive unit 50Y, and the power of the Y-axis direction drive unit 50Y is connected. A Y-axis direction power transmission section 60Y that transmits to the second stage 13 is provided. The Y-axis direction drive unit 50Y has an OIS resonance section 51 having a pair of vibrating arms 511 and 512, and the Y-axis direction power transmission section 60Y is held between the pair of arms 511 and 512 while being biased. The connecting member 62 includes a passive member 61 that connects the passive member 61 and the second stage 13, and the connecting member 62 is elastically deformable. As a result, even if a positional deviation occurs between the mounting angle of the passive element to the active element and the mounting angle of the movable part to the fixed part, the positional deviation is absorbed by the connecting member 62. The moving direction D1 of the power matches the moving direction D2 of the power (see FIG. 10A). Therefore, the sliding movement between the OIS resonance part 51 and the OIS power transmission parts 60X and 60Y is maintained, and the OIS movable part 10 including the first stage 12 is moved in the Y-axis direction with respect to the OIS fixed part 20 including the second stage 13. The moving operation is stabilized, driving performance can be improved, and the reliability of the optical element driving device 1, camera module A, and smartphone M (camera-equipped device) is improved.

連結部材62は、金属材料で形成されている。これにより、能動要素に対する受動要素の取付角度と、固定部に対する可動部の取付角度との位置ずれを容易に吸収することができる。 The connecting member 62 is made of a metal material. Thereby, it is possible to easily absorb a positional deviation between the attachment angle of the passive element to the active element and the attachment angle of the movable part to the fixed part.

X軸方向動力伝達部60Xの連結部材62は、受動部材61に固定される固定部61aと、固定部61aから延在して第2ステージ13(可動部)に連結する弾性部62aと、を有し、弾性部62aがX軸方向(可動部の移動方向)に延在するように配置される。これにより、X軸方向における弾性部62bの弾性変形が低減されるため、X軸方向駆動ユニット50Xから第2ステージ13へのX軸方向への動力の伝達が損なわれず、適正な駆動性能を確保することができる。 The connecting member 62 of the X-axis direction power transmission unit 60X includes a fixed part 61a fixed to the passive member 61, and an elastic part 62a extending from the fixed part 61a and connected to the second stage 13 (movable part). The elastic portion 62a is arranged so as to extend in the X-axis direction (the moving direction of the movable portion). As a result, elastic deformation of the elastic portion 62b in the X-axis direction is reduced, so power transmission in the X-axis direction from the X-axis drive unit 50X to the second stage 13 is not impaired, and appropriate drive performance is ensured. can do.

Y軸方向動力伝達部60Yの連結部材62は、受動部材61に固定される固定部61aと、固定部61aから延在して第1ステージ12(可動部)に連結する弾性部62aと、を有し、弾性部62aがY軸方向(可動部の移動方向)に延在するように配置される。これにより、Y軸方向における弾性部62bの弾性変形が低減されるため、Y軸方向駆動ユニット50Yから第2ステージ13へのY軸方向への動力の伝達が損なわれず、適正な駆動性能を確保することができる。 The connecting member 62 of the Y-axis direction power transmission unit 60Y includes a fixed part 61a fixed to the passive member 61, and an elastic part 62a extending from the fixed part 61a and connected to the first stage 12 (movable part). The elastic portion 62a is arranged so as to extend in the Y-axis direction (the moving direction of the movable portion). This reduces elastic deformation of the elastic portion 62b in the Y-axis direction, so transmission of power in the Y-axis direction from the Y-axis drive unit 50Y to the second stage 13 is not impaired, ensuring appropriate drive performance. can do.

OIS可動部10のX軸方向の移動に関して、ベース21(能動側部材)及び第2ステージ13(受動側部材)は、OIS支持部41(ボール)によって、相対的に移動可能に支持されている。OIS可動部10のY軸方向の移動に関して、第1ステージ12(能動側部材)及び第2ステージ13(受動側部材)は、OIS支持部42(ボール)によって、相対的に移動可能に指示されている。これにより、ボールの転動を利用して、OIS可動部10をスムーズに移動させることができる。 Regarding the movement of the OIS movable part 10 in the X-axis direction, the base 21 (active side member) and the second stage 13 (passive side member) are supported by an OIS support part 41 (ball) so as to be relatively movable. . Regarding the movement of the OIS movable part 10 in the Y-axis direction, the first stage 12 (active side member) and the second stage 13 (passive side member) are directed to be relatively movable by the OIS support part 42 (ball). ing. Thereby, the OIS movable section 10 can be smoothly moved by utilizing the rolling motion of the ball.

X軸方向動力伝達部60X及びY軸方向動力伝達部60Yにおいて、受動部材62は、一対のアーム511、512よりも変形しにくく、一対のアーム511、512によって挟持される方向における受動部材62の幅は、一対のアーム511、512の離間幅よりも大きい。これにより、受動部材62とアーム511、512との当接状態は、受動部材62が移動しても保持される。受動部材62が2つの板状部材で構成され受動部材62に生じる復元力を利用してアーム511、512に対して受動部材62が付勢される場合に比較して、駆動性能が向上する。 In the X-axis direction power transmission section 60X and the Y-axis direction power transmission section 60Y, the passive member 62 is less likely to deform than the pair of arms 511, 512, and the passive member 62 in the direction sandwiched by the pair of arms 511, 512. The width is larger than the separation width between the pair of arms 511 and 512. Thereby, the state of contact between the passive member 62 and the arms 511, 512 is maintained even if the passive member 62 moves. The driving performance is improved compared to a case where the passive member 62 is composed of two plate-like members and the restoring force generated in the passive member 62 is used to urge the arms 511 and 512.

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。 As above, the invention made by the present inventor has been specifically explained based on the embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and can be modified without departing from the gist thereof.

例えば、実施の形態では、本発明に特徴的な動力伝達構造を、X軸方向駆動ユニット50X及びY軸方向駆動ユニット50Yに適用しているが、AF駆動ユニット70に適用してもよいし、X軸方向駆動ユニット50X及びY軸方向駆動ユニット50Yの何れか一方にだけ適用してもよい。 For example, in the embodiment, the power transmission structure characteristic of the present invention is applied to the X-axis direction drive unit 50X and the Y-axis direction drive unit 50Y, but it may also be applied to the AF drive unit 70. It may be applied only to either the X-axis direction drive unit 50X or the Y-axis direction drive unit 50Y.

また、実施の形態では、X軸方向駆動ユニット50X、Y軸方向駆動ユニット50Y及びAF駆動ユニット70は、いずれも超音波モーター型のアクチュエーターで構成されているが、本発明に特徴的な動力伝達構造が適用されない駆動ユニットについては、超音波モーター型でなくてもよい。 Further, in the embodiment, the X-axis direction drive unit 50X, the Y-axis direction drive unit 50Y, and the AF drive unit 70 are all configured with ultrasonic motor type actuators, but the power transmission characteristic of the present invention is The drive unit to which this structure is not applicable does not need to be of the ultrasonic motor type.

また、実施の形態では、AF機能及びOIS機能を備える光学素子駆動装置1を例示して説明したが、本発明は、AF機能及びOIS機能のうちの一方を備える光学素子駆動装置に対して適用することもできる。 Further, in the embodiment, the optical element driving device 1 having the AF function and the OIS function has been described as an example, but the present invention is applicable to an optical element driving device having one of the AF function and the OIS function. You can also.

実施の形態では、カメラモジュールAを備えるカメラ搭載装置の一例として、カメラ付き携帯端末であるスマートフォンMを挙げて説明したが、本発明は、カメラモジュールとカメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部を有するカメラ搭載装置に適用できる。カメラ搭載装置は、情報機器及び輸送機器を含む。情報機器は、例えば、カメラ付き携帯電話機、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、webカメラ、カメラ付き車載装置(例えば、バックモニター装置、ドライブレコーダー装置)を含む。また、輸送機器は、例えば、自動車、ドローン(無人航空機)を含む。 In the embodiment, the smartphone M, which is a camera-equipped mobile terminal, has been described as an example of a camera-equipped device equipped with a camera module A. However, the present invention provides a camera module that processes image information obtained by the camera module. It can be applied to a camera-equipped device having an image processing section. Camera-equipped devices include information equipment and transportation equipment. Information devices include, for example, a camera-equipped mobile phone, a notebook computer, a tablet terminal, a portable game machine, a web camera, and a camera-equipped vehicle-mounted device (for example, a back monitor device, a drive recorder device). Furthermore, transportation equipment includes, for example, automobiles and drones (unmanned aerial vehicles).

図12A、図12Bは、車載用カメラモジュールVC(Vehicle Camera)を搭載するカメラ搭載装置としての自動車Vを示す図である。図12Aは自動車Vの正面図であり、図12Bは自動車Vの後方斜視図である。自動車Vは、車載用カメラモジュールVCとして、実施の形態で説明したカメラモジュールAを搭載する。図12A、図12Bに示すように、車載用カメラモジュールVCは、例えば前方に向けてフロントガラスに取り付けられたり、後方に向けてリアゲートに取り付けられたりする。この車載用カメラモジュールVCは、バックモニター用、ドライブレコーダー用、衝突回避制御用、自動運転制御用等として使用される。 12A and 12B are diagrams showing an automobile V as a camera mounting device on which a vehicle camera module VC (Vehicle Camera) is mounted. 12A is a front view of the automobile V, and FIG. 12B is a rear perspective view of the automobile V. The automobile V is equipped with the camera module A described in the embodiment as the in-vehicle camera module VC. As shown in FIGS. 12A and 12B, the in-vehicle camera module VC is attached, for example, to a windshield facing forward, or to a rear gate facing rearward. This in-vehicle camera module VC is used for back monitors, drive recorders, collision avoidance control, automatic driving control, and the like.

また、実施の形態では、光学素子としてレンズ部2を駆動する光学素子駆動装置1について説明したが、駆動対象となる光学素子は、ミラーやプリズムなどのレンズ以外の光学素子であってもよい。 Further, in the embodiment, the optical element driving device 1 that drives the lens unit 2 as an optical element has been described, but the optical element to be driven may be an optical element other than a lens, such as a mirror or a prism.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiments disclosed this time should be considered to be illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the claims rather than the above description, and it is intended that all changes within the meaning and range equivalent to the claims are included.

1 光学素子駆動装置
10 OIS可動部(可動部)
12 第1ステージ(能動側部材)
13 第2ステージ(受動側部材)
20 OIS固定部(固定部)
21 ベース(能動側部材)
50X X軸方向駆動ユニット(駆動部)
50Y Y軸方向駆動ユニット(駆動部)
51 OIS共振部(共振部)
511、512 アーム
60X X軸方向動力伝達部(動力伝達部)
60Y Y軸方向動力伝達部(動力伝達部)
61 受動部材
62 連結部材
A カメラモジュール
M スマートフォン(カメラ搭載装置)
1 Optical element drive device 10 OIS movable part (movable part)
12 1st stage (active side member)
13 2nd stage (passive side member)
20 OIS fixed part (fixed part)
21 Base (active side member)
50X X-axis direction drive unit (drive unit)
50Y Y-axis direction drive unit (drive unit)
51 OIS resonance part (resonance part)
511, 512 Arm 60X X-axis direction power transmission section (power transmission section)
60Y Y-axis direction power transmission section (power transmission section)
61 Passive member 62 Connecting member A Camera module M Smartphone (camera mounted device)

Claims (7)

固定部と、
光学素子を含む可動部と、
前記固定部及び前記可動部のうちの何れか一方からなる能動側部材に配置され、前記固定部に対して前記可動部を移動させる超音波モーター型の駆動部と、
前記固定部及び前記可動部のうちの何れか他方からなる受動側部材と前記駆動部とを連結し、前記駆動部の動力を前記受動側部材に伝達する動力伝達部と、
を備え、
前記駆動部は、振動する一対のアームを有する共振部を有し、
前記動力伝達部は、
一対の前記アームに付勢された状態で挟持される受動部材と、
前記受動部材と前記受動側部材とを連結する連結部材と、を有し、
前記連結部材は、弾性変形可能である、
光学素子駆動装置。
a fixed part;
a movable part including an optical element;
an ultrasonic motor-type drive unit that is disposed on an active side member consisting of either the fixed part or the movable part and moves the movable part with respect to the fixed part;
a power transmission section that connects the drive section and a passive side member consisting of the other of the fixed section and the movable section, and transmits the power of the drive section to the passive side member;
Equipped with
The driving section has a resonating section having a pair of vibrating arms,
The power transmission section is
a passive member held between the pair of arms in a biased state;
a connecting member that connects the passive member and the passive side member,
the connecting member is elastically deformable;
Optical element drive device.
前記連結部材は、金属材料で形成される、
請求項1に記載の光学素子駆動装置。
The connecting member is made of a metal material.
The optical element driving device according to claim 1.
前記連結部材は、
前記受動部材に固定される固定部と、
前記固定部から延在して前記可動部に連結する弾性部と、を有し、
前記弾性部が前記可動部の移動方向に延在するように配置される、
請求項1又は2に記載の光学素子駆動装置。
The connecting member is
a fixing part fixed to the passive member;
an elastic part extending from the fixed part and connected to the movable part,
the elastic part is arranged to extend in the moving direction of the movable part;
The optical element driving device according to claim 1 or 2.
前記能動側部材及び前記受動側部材は、ボールによって、相対的に移動可能に支持されている、
請求項1又は2に記載の光学素子駆動装置。
The active side member and the passive side member are supported by a ball so as to be relatively movable.
The optical element driving device according to claim 1 or 2.
前記受動部材は、一対の前記アームよりも変形しにくく、
一対の前記アームによって挟持される方向における前記受動部材の幅は、一対の前記アームの離間幅よりも大きい、
請求項1又は2に記載の光学素子駆動装置。
The passive member is less deformable than the pair of arms,
The width of the passive member in the direction sandwiched by the pair of arms is larger than the separation width of the pair of arms.
The optical element driving device according to claim 1 or 2.
請求項1に記載の光学素子駆動装置と、
前記可動部に装着される光学素子と、
前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える、
カメラモジュール。
The optical element driving device according to claim 1;
an optical element attached to the movable part;
an imaging unit that captures a subject image formed by the optical element;
The camera module.
情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
請求項6に記載のカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える、
カメラ搭載装置。
A camera-equipped device that is an information device or a transportation device,
A camera module according to claim 6;
an image processing unit that processes image information obtained by the camera module;
Camera-equipped device.
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