JP2021025926A - 振動センサの自己診断方法及び自己診断機能付き振動センサシステム - Google Patents

Abstract

【課題】自己診断のための検査信号を不要にし、汎用品のセンサをそのまま使用できるコストの安い振動センサの自己診断方法を提供する。【解決手段】振動する機器に取り付けられる振動センサの自己診断方法であって、振動センサで機器の振動データを計測するステップＳ１と、振動データを積分するステップＳ２と、振動データの積分値と基準値を比較して振動センサが異常であるか否かを診断するステップＳ３とを有し、振動データの積分値を所定期間の周期で記録するステップＳ６と、ステップＳ６で記録した積分値を統計処理するステップＳ８とを有し、診断するステップＳ３は、統計処理で求めた統計データと当該統計データに対応する基準値とを比較して振動センサが異常であるか否かを診断する。【選択図】図４

Description

本発明は、振動センサの自己診断方法及び自己診断機能付き振動センサシステムに関する。

モータ等の動力源を備える産業機器等の稼働時に生じる振動をモニタリングすることで、機器の予知保全を行う場合がある。予知保全とは、機器の正常時に生じる振動と故障に至る過程で生じる振動とに差が有ることに着目し、機器が故障する前にメンテナンスを行うことである。

その振動のモニタリングは、機器によって決められた期間ごとに定期的に行われる。定期的に行う理由は、振動計測機が高価なためである。したがって、振動の計測、記録、及び評価を、機器によって異なる期間ごとに行う必要あり、メンテナンス従事者の負担は大きくなる。

メンテナンス従事者の負担を軽減する方法として、常時、振動センサを機器に取り付けてモニタリングする方法が考えられる。近年のセンサデバイスの発達により、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）構造を持つ、安価で高性能な加速度センサが普及するようになった。

このような安価なセンサを用いることで、対象機器ごとにセンサを常時設置できモニタリングできるようになる。ただし、これらの安価なセンサは、民生機器への使用を前提に設計・製造されたものが殆どである。よって、産業機器への使用を考慮した高い信頼性が確認できていないものが多い。

高い信頼性が確認できていない現状において、センサの常時設置を可能にするためにはセンサに自己診断機能を持たせるのが有効である。自己診断機能を持つセンサとしては、例えば特許文献１に開示されたものが知られている。

特許第５０９９５２２号

しかしながら、特許文献１に開示された技術は、センサ本体に所定の大きさの検査信号（疑似加速度信号）を印加する必要がある。よって、自己診断のための構成が複雑になる。また、センサ本体に検査信号を入力する必要性から、ゼンサ本体は汎用品の何れでも良いということにならない。つまり従来の技術は、構成が複雑であり、各々のセンサ仕様に対応させた検査信号が必要であることからコストが高くなるという課題がある。

本発明は、自己診断のための検査信号を不要にし、汎用品のセンサをそのまま使用できるコストの安い振動センサの自己診断方法及び自己診断機能付き振動センサシステムを提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の一態様に係る振動センサの自己診断方法は、振動する機器に取り付けられる振動センサの自己診断方法であって、前記振動センサで前記機器の振動データを計測するステップと、前記振動データを積分するステップと、前記振動データの積分値と基準値を比較して前記振動センサが異常であるか否かを診断するステップとを有する。

また、本発明の他の態様に係る自己診断機能付き振動センサシステムは、振動する機器に取り付けられる自己診断機能付き振動センサシステムであって、前記機器の振動データを計測する振動センサと、前記振動データを積分する積分部と、前記振動データの積分値と基準値を比較して前記振動センサが異常であるか否かを診断する診断部とを備える。

本発明によれば、自己診断のための検査信号を不要にし、汎用品のセンサをそのまま使用できるコストの安い振動センサの自己診断方法及び自己診断機能付き振動センサシステムを提供することができる。

第１の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステムの機能構成例を示すブロック図である。 第１の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステムの動作手順を示すフローチャートである。 第２の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステムの機能構成例を示すブロック図である。 第２の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステムの動作手順を示すフローチャートである。 第３の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステムの機能構成例を示すブロック図である。 第３の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステムの動作手順を示すフローチャートである。 第１の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステムの具体例を示す機能構成図である。 図７に示す自己診断機能付き振動センサシステムの各部の波形の例を模式的に示す図である。

次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。又、以下に示す実施の形態は、技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、構成及び手順等を下記のものに特定するものでない。この実施の形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。

［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステム（以降、振動センサシステムと略す）の機能構成例を示すブロック図である。図１に示す振動センサシステム１００は、モータ等の動力源を備える産業機器に取り付けられ、機器の振動をモニタリングすると共に自己診断する機能を備えた振動センサシステムである。

機器への取り付けは、振動センサシステム１００を構成する筐体（図示せず）を、例えば磁石等で機器に貼り付けて行う。機器への取り付けは、例えばネジを用いてリジッドに固定してもよい。その取り付けは、機器の振動を検出できるように固定できればどのような方法であっても構わない。以降において説明する他の実施の形態についても同様である。

振動センサシステム１００は、振動センサ１０、積分部２０、及び診断部３０を備える。なお、図１において、機器の振動をモニタリングするための機能部の表記は省略する。また、電源部、表示部、及び制御部等の一般的な構成の表記も省略している。

図２は、振動センサシステム１００の動作手順を示すフローチャートである。図１と図２を参照して振動センサシステム１００の動作を説明する。

振動センサ１０は、ＭＥＭＳ構造の静電容量型又はピエゾ抵抗型等の汎用品の加速度センサである。これらの加速度センサは、重力加速度も検出可能であり、検出した加速度は例えば電圧値等のアナログ量で出力する。

これらの加速度センサの検出軸は3軸を備えるものが一般的である。以降の説明においては、例えば鉛直方向の加速度を検出する例で説明を行う。なお、鉛直方向と直交する2方向については、鉛直方向と同様に加速度センサの出力信号を処理すればよい。

振動センサ１０は機器の振動データを計測する（ステップＳ１）。例えば、鉛直方向の振動を検出する場合は、振動センサ１０の加速度の検出軸を鉛直方向に合わせる。

機器が稼働していない場合の振動センサ１０の出力は、重力加速度1Gに対応した直流電圧（一定の電圧）を出力する。機器が稼働すると、そのプラス方向（例えば上）及びマイナス方向（例えば下）の加速度（振動）に対応する交流電圧を出力する。

積分部２０は、振動センサ１０が出力する振動データ（交流電圧）を積分（平均）する（ステップＳ２）。積分部２０は、受動部品で構成した積分回路で構成してもよいし、演算増幅器を用いた積分回路で構成してもよい。又は、振動センサ１０の出力する交流電圧をＡＤコンバータで離散化データ（ディジタル値）に変換し、その離散化データを積分（積算）するようにしてもよい。交流電圧をＡＤコンバータで離散化データに変換する例については後述する。

振動センサ１０は校正済みの汎用品である。したがって、振動センサ１０が正常で機器が移動していない場合は、＋方向の加速度と−方向の加速度は等しいので、振動データを積分した値は0になる。つまり、移動せずにその場で振動しているということは、ある期間で考えると速度≒0とみなせる事ができ、その場合の加速度を積分した値も0である。なお、この例では鉛直方向の加速度を検出しているので、その値は重力加速度の１G分オフセットした値になる。

振動センサ１０が劣化し故障に至る過程では、振動データを積分した値は0にならない場合がある。診断部３０は、その変化を検出する。

診断部３０は、基準値３１と判定部３２を備える。基準値３１は、例えば所定の電圧である。判定部３２は、例えば演算増幅器で構成したコンパレータである。診断部３０は、振動データの積分値と基準値を比較して振動センサが異常であるか否かを診断する（ステップＳ３）。なお、振動センサ１０の故障の状況によっては、振動データを積分した値がプラスになる場合とマイナスになる場合がある。その両方の変化を検出する場合、診断部３０は2つ（2系統）用意する。

基準値３１は、通常の使用環境では有り得ない値で、且つ異常時を検出できる値に設定する。例えば、振動センサ１０の温度特性を考慮し、仕様上あり得る値よりも大きな値に基準値を設定する。

そのように基準値３１を設定すると、振動センサ１０が正常な場合は、基準値３１よりも積分した値の方が小さいので判定部３２の出力は0（低電圧）である。一方、振動センサ１０が異常な場合は、基準値３１よりも積分した値の方が大きいので判定部３２の出力は1（高電圧）である。このように、所定の基準値３１と比較することで、振動センサ１０が異常であるか否かを診断することができる。

振動センサ１０が正常な場合は、ステップＳ１〜Ｓ３の動作を繰り返す（ステップＳ３の正常のループ）。異常な場合は、異常と自己診断して動作を終了する（ステップＳ４）。自己診断の結果を異常と判定した場合は、その旨を表示し、又は報知（アラーム出力、異常信号の出力等）をする。表示は、例えばＬＥＤ等を点灯してもよいし、表示部（図示せず）に表示してもよい。

このように本実施形態に係る振動センサシステム１００は、振動する機器に取り付けられる振動センサシステムであって、機器の振動データを計測する振動センサ１０と、振動データを積分する積分部２０と、振動データの積分値と基準値を比較して振動センサ１０が異常であるか否かを診断する診断部３０とを備える。

また、振動センサシステム１００は、振動センサ１０の自己診断方法を提供する。その自己診断方法は、振動する機器に取り付けられる振動センサ１０の自己診断方法であって、振動センサ１０で機器の振動データを計測するステップＳ１と、振動データを積分するステップＳ２と、振動データの積分値と基準値を比較して振動センサ１０が異常であるか否かを診断するステップＳ３とを有する

本実施形態によれば、機器の振動に基づいて振動センサ１０の正常と異常を診断するので、所定の検査信号を印加する必要がない。したがって、所定の検査信号が不要なため汎用品の振動センサをそのまま使用することができる。よって、振動センサシステム１００のコストを下げることができる。また、異常となった又は劣化した振動センサの交換を促すので、モニタリングのダウンタイムを最小化することができる。

［第２の実施の形態］
図３は、第２の実施の形態に係る振動センサシステムの機能構成例を示すブロック図である。図３に示す振動センサシステム２００は、記録部４０と統計処理部５０を備える点で、振動センサシステム１００（図１）と異なる。また、基準値３１と異なる基準値６１を含む診断部６０を備える点で、振動センサシステム１００と異なる。

また、振動センサシステム２００は、振動センサ１０の出力する交流電圧をＡＤコンバータで離散化データに変換する点で、振動センサシステム１００と異なる。

記録部４０は、振動データの積分値を所定期間の周期で記録する。統計処理部５０は、記録部４０に記録した積分値を統計処理する。診断部６０は、統計処理部５０で求めた統計データと当該統計データに対応する基準値とを比較して振動センサ１０が異常であるか否かを診断する。記録部４０、統計処理部５０、及び診断部６０はディジタル信号を処理する。

図４は、振動センサシステム２００の動作手順を示すフローチャートである。図３と図４を参照して振動センサシステム２００の動作を説明する。

振動センサ１０で計測した機器の振動データは、所定の単位期間が経過するまでの間（ステップＳ５のＮＯ）、積分部２０において積分される（ステップＳ２）。所定の単位期間は、振動データを一回積分する計測時間である。所定の単位期間は、例えば数ms〜数秒の時間である。なお所定の単位期間は、サンプリング時間、又は積分時間と称しても良い。

所定の単位期間の間、振動データを積分した積分値は記録部４０に記録される（ステップＳ６）。

上記のステップＳ１〜Ｓ６の処理は、所定期間が経過する度に繰り返される（ステップＳ７のＹＥＳ）。所定期間は、例えば、1秒、1分、１時間、及び半日等の何れかといった期間（サンプリング周期）である。所定の単位期間と所定期間は、予めメンテナンス従事者によって設定される。記録部４０は、所定期間の周期で、例えば一回の積分値と積算された積分値の2つを繰り返し記録する（ステップＳ６）。

このように振動データは、所定の単位期間で積分され、所定期間の間隔を空けて間欠測定される。なお、所定期間を設定しないで振動データを連続測定してもよい。その場合の所定の単位期間は連続した時間であり、所定期間は0である。

統計処理部５０は、記録部４０に記録された積分値を統計処理する（ステップＳ８）。統計処理は、例えば、積分値の平均、分散、及び移動平均等のあらゆる統計データを求める処理を適用することができる。

診断部６０は、統計処理部５０で求めた統計データと当該統計データに対応する基準値とを比較して振動センサ１０が異常であるか否かを診断する（ステップＳ３）。統計処理した積分値が基準値よりも大きい場合は、振動センサ１０の自己診断を異常と判定し（ステップＳ４）、動作を終了する。統計処理した積分値が基準値よりも小さい場合は、振動センサ１０の自己診断を正常と判定（ステップＳ３の正常）し、ステップＳ７のＹＥＳを介してステップＳ１からの処理を繰り返す。

統計データが平均値である場合の基準値は平均値である。また、統計データが分散である場合の基準値は分散である。また、統計データが移動平均である場合の基準値は移動平均である。基準値は、統計データに対応するように予め設定する。

このように本実施形態に係る振動センサシステム２００は、振動データの積分値を所定期間の周期で記録する記録部４０と、記録部４０に記録した積分値を統計処理する統計処理部５０とを備え、診断部６０は、統計処理部５０で求めた統計データと当該統計データに対応する基準値とを比較して振動センサ１０が異常であるか否かを診断する。

また、振動センサシステム２００は、振動センサ１０の自己診断方法を提供する。その自己診断方法は、振動データの積分値を所定期間の周期で記録するステップＳ６と、当該ステップＳ６で記録した積分値を統計処理するステップＳ８とを有し、診断するステップＳ３は、統計処理で求めた統計データと当該統計データに対応する基準値とを比較して振動センサ１０が異常であるか否かを診断する。

本実施形態によれば、第１の実施の形態で得られる効果に加えて、診断を安定化させる効果が得られる。つまり、複数の積分値を統計的に処理した統計データに基づいて機器の異常を診断するので、診断の精度を高めることができる。つまり、平均等の簡単な統計処理でも雑音等の影響を排除することができる。なお、雑音は、振動センサ１０内、及び積分部２０においてフィルター等によって適切に除去されるのが望ましい。

なお、本実施形態に係る記録部４０、統計処理部５０、及び図示しない制御部は、例えばワンチップマイクロコンピュータ等で容易に実現することができる。その場合、統計処理部５０で実行する統計処理は、マイクロコンピュータを構成するマイクロプロセッサの処理手順を表す組み込みソフトウェアで記述される。組み込みソフトウェアは、マイクロコンピュータを構成するＲＯＭに記憶される。このように振動センサシステム２００は、組み込みシステムで実現するのに好適な構成である。

［第３の実施の形態］
図５は、第３の実施の形態に係る振動センサシステムの機能構成例を示すブロック図である。図５に示す振動センサシステム３００は、センサ部１０１、サーバ２０１、及びネットワーク１とで構成される点で上記の実施の形態と異なる。

ゼンサ部１０１は、振動センサ１０、積分部２０、記録部４０、及び送信部７０とを備える。振動センサ１０、積分部２０、及び記録部４０は上記の実施の形態と同じである。

センサ部１０１は、例えばワンチップマイクロコンピュータで構成することができる。その場合の送信部７０は、ワンチップマイクロコンピュータの入出力インターフェースで構成される。

ネットワーク１は、ＬＡＮケーブルを接続した小規模なネットワークからインターネットまで、その規模は限定されない。センサ部１０１の記録部４０に記録された振動データの積分値は、送信部７０からネットワーク１を介してサーバ２０１に送信される。

サーバ２０１は、例えばパーソナルコンピュータで構成される。受信部８０は、パーソナルコンピュータの入力ポートで構成される。統計処理部５０と診断部６０は、上記の実施の形態と同じである。また、表示部９０は、例えばパーソナルコンピュータを構成するディスプレイ装置である。

図６は、振動センサシステム３００の動作手順を示すフローチャートである。図５と図６を参照して振動センサシステム３００の動作を説明する。

振動データを計測するステップＳ１、振動データを積分するステップＳ２、及び振動データの積分値を所定期間記録するステップＳ５までは、振動センサシステム２００と同じである。本実施形態では、記録部４０に記録した積分値を、送信部７０がネットワーク１を介してサーバ２０１に送信する点で上記の実施の形態と異なる。

サーバ２０１は、センサ部１０１から受信した積分値を統計処理する。なお、図６において、積分値を受信する受信ステップの表記は省略している。

このように本実施形態に係る振動センサシステム３００は、振動センサ１０と積分部２０と記録部４０と当該記録部４０に記録した積分値をネットワークを介してサーバに送信する送信部７０とを備えるセンサ部１０１と、ゼンサ部１０１から積分値を受信する受信部８０と統計処理部５０と診断部６０と表示部９０とを備えるサーバ２０１とで構成される。

また、振動センサシステム３００は、振動センサ１０の自己診断方法を提供する。その自己診断方法は、所定期間記録するステップＳ６で記録した積分値を、ネットワークを介してサーバ２０１に送信するステップＳ９を有し、統計処理するステップＳ８と診断するステップＳ３はサーバ２０１が実行する。

本実施形態によれば、センサ部１０１を、ネットワーク１を介して別の場所に配置されたサーバ２０１で管理することができる。図５では、センサ部１０１を一つしか図示していないが、センサ部１０１の数は容易に増やすことが可能である。複数の振動センサのそれぞれは識別子を付与して識別する。

統計処理部５０は、複数の振動センサから送信される積分値を、識別子と対応付けて処理する。そうすることで、複数の振動センサ１０を、一つのサーバで集中管理することができる。と同時に、それぞれの振動センサ１０が異常であるか否かを監視することができる。

（具体例）
図７は、振動センサシステム１００（図１）の具体例を示す機能構成図である。積分部２０は、一般的な積分回路で構成した例を示す。また、診断部３０は、2つの基準電圧を用いて故障を診断する例を示す。

積分部２０は、一般的な積分回路２１と平滑回路２２で構成される。積分回路２１は、積分抵抗Ｒ１、差動増幅器ＯＰ１、積分コンデンサＣ１で構成される。平滑回路２２は、平滑コンデンサＣ２、平滑抵抗Ｒ２で構成される。差動増幅器ＯＰ１の出力は、平滑抵抗Ｒ２を介して平滑コンデンサＣ２に接続される。

診断部３０は、2つの基準電圧Ｖｔｈと−Ｖｔｈ、2つの差動増幅器ＯＰ２とＯＰ３、及びＮＡＮＤゲートＧ１で構成される。ＮＡＮＤゲートＧ１は診断結果を出力する。

演算増幅器ＯＰ２の非反転入力端子（＋）は平滑コンデンサＣ２に接続され、同反転入力端子（−）は一方の基準電圧Ｖｔｈに接続される。演算増幅器ＯＰ３の反転入力端子（−）は平滑コンデンサＣ２に接続され、同非反転入力端子（＋）は、他方の基準電圧−Ｖｔｈに接続される。演算増幅器ＯＰ２の出力はＮＡＮＤゲートＧ１の一方の入力に接続され、演算増幅器ＯＰ３の出力はＮＡＮＤゲートＧ１の他方の入力に接続される。

基準電圧Ｖｔｈと−Ｖｔｈは、振動センサ１０の0点の電圧が正常な範囲を表す。診断部３０は、振動センサ１０の0点の電圧が−Ｖｔｈ〜Ｖｔｈの範囲内にあれば振動センサ１０を正常と診断する。

図８は、図７に示す具体例の各部の波形例を模式的に示す図である。図８は、振動センサ１０の0点がプラス方向にオフセットして異常になった場合の例を示す。上から順に、振動センサ１０の出力、平滑コンデンサＣ２の電圧ＶＣ２、ＮＡＮＤゲートＧ１の出力のそれぞれの波形例を示す。図８の横方向は時間である。なお、図８においては、重力加速度の影響は無視している。また、差動増幅器ＯＰ１の出力の表記は省略している。

図８に示すように、時刻ｔ１付近の振動センサ１０の出力は、中間電位Ｖｃｃ/2を中心に±に振幅する波形であり、振動センサ１０は正常である。その後、この例では振動センサ１０が何らかの原因で異常となり、0点がプラス方向にオフセットし始め、時刻ｔ３以降で一定の電圧になる。

図８の中段は、振動センサ１０の0点が上記のように変化した場合の平滑コンデンサＣ２の電圧ＶＣ２を示す。図８に示す様に電圧ＶＣ２は、時刻ｔ３で一方の基準電圧Ｖｔｈよりも大きくなる。

平滑コンデンサＣ２の電圧ＶＣ２が基準電圧Ｖｔｈよりも高くなると、演算増幅器ＯＰ２の出力は「0」（低電圧：ＧＮＤ）、演算増幅器ＯＰ３の出力は「1」（高電圧：Ｖｃｃ）である。よって、時刻ｔ１〜ｔ２の間のＮＡＮＤゲートＧ１は、振動センサ１０が異常であることを表す「1」を出力する。

振動センサ１０のオフセット電圧が逆方向に変化して故障した場合は、平滑コンデンサＣ２の電圧ＶＣ２は、基準電圧−Ｖｔｈよりも低くなる。すると、演算増幅器ＯＰ２の出力は「1」、演算増幅器ＯＰ３の出力は「0」である。

このように、図７に示す構成の振動センサシステム１００は、振動センサ１０が異常であるか否かを診断することができる。図７に示す振動センサ１０は、電圧を出力する加速度センサであればどのような種類の加速度センサであってもよい。

図７に示す振動センサシステム１００は、振動センサ１０が出力するアナログ量を、アナログ回路で連続的に処理するものである。また、振動センサ１０が出力するアナログ量を、離散化データに変換して異常を検出する構成も考えられる。

その場合は、積分部２０の出力するアナログ量を、ＡＤコンバータでディジタル値に変換する。ディジタル量に変換した後は、ディジタル量の大きさに基づいて振動センサ１０の異常を診断する。異常診断する方法は、アナログ量で行う場合と同じである。

以上説明したように、実施の形態に係る自己診断機能付き振動センサシステム１００，２００，３００によれば、自己診断のための検査信号を不要にし、且つ、汎用品のセンサをそのまま使用できるコストの安い振動センサの自己診断方法及び自己診断機能付き振動センサシステムを提供することができる。要するに本実施形態は、高い信頼性が確認できていない安価な民生用の振動センサを用いたモニタリングを、安心して行うことを可能にする。

自己診断機能付き振動センサシステム１００は、最小構成の機能構成例を示す。また、自己診断機能付き振動センサシステム２００は、第１の実施の形態で得られる効果に加えて、診断を安定化させる効果が得られる。また、自己診断機能付き振動センサシステム３００は、上記の実施の形態で得られる効果に加えて、複数の振動センサ１０を、一つのサーバで集中管理することができる。と同時に、それぞれの振動センサ１０が異常であるか否かを監視することができる。

１…ネットワーク、１０…振動センサ、２０…積分部、２１…積分回路、２２…平滑回路、３０，６０…診断部、３１，６１…基準値、３２…判定部、４０…記録部、５０…統計処理部、７０…送信部、８０…受信部、９０…表示部、１００，２００，３００…自己診断機能付き振動センサシステム（振動センサシステム）、１０１…センサ部、２０１…サーバ

Claims (6)

1. 振動する機器に取り付けられる振動センサの自己診断方法であって、
   前記振動センサで前記機器の振動データを計測するステップと、
   前記振動データを積分するステップと、
   前記振動データの積分値と基準値を比較して前記振動センサが異常であるか否かを診断するステップと
   を有することを特徴とする振動センサの自己診断方法。
2. 前記振動データの積分値を所定期間の周期で記録するステップと、
   前記記録するステップで記録した積分値を統計処理するステップとを有し、
   前記診断するステップは、前記統計処理で求めた統計データと当該統計データに対応する基準値とを比較して前記振動センサが異常であるか否かを診断する
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動センサの自己診断方法。
3. 前記記録するステップで記録した積分値を、ネットワークを介してサーバに送信するステップを有し、
   前記統計処理するステップと前記診断するステップは前記サーバが実行する
   ことを特徴とする請求項２に記載の振動センサの自己診断方法。
4. 振動する機器に取り付けられる自己診断機能付き振動センサシステムであって、
   前記機器の振動データを計測する振動センサと、
   前記振動データを積分する積分部と、
   前記振動データの積分値と基準値を比較して前記振動センサが異常であるか否かを診断する診断部と
   を備えることを特徴とする自己診断機能付き振動センサシステム。
5. 前記振動データの積分値を所定期間の周期で記録する記録部と、
   前記記録部に記録した積分値を統計処理する統計処理部とを備え、
   前記診断部は、前記統計処理部で求めた統計データと当該統計データに対応する基準値とを比較して前記振動センサが異常であるか否かを診断する
   ことを特徴とする請求項４に記載の自己診断機能付き振動センサシステム。
6. 前記振動センサと前記積分部と前記記録部と当該記録部に記録した積分値をネットワークを介してサーバに送信する送信部とを備えるセンサ部と、
   前記統計処理部と前記診断部を備える前記サーバとで構成される
   ことを特徴とする請求項５に記載の自己診断機能付き振動センサシステム。
   

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