JP2019111630A - 旋回動作に追従する配線・配管の保護装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インデックステーブル等の旋回ユニットに接続された複数の配線・配管をコンパクトに保護しつつ、旋回ユニットの旋回動作に順応して配線・配管が自由に移動し、配線・配管への負担が掛かることのないようにする旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。【解決手段】複数の配線・配管を旋回ユニットの旋回軸線に沿って配置してなる配線・配管群５０に、配線・配管群５０の一面側に配置される第１の固定部材５８と、配線・配管群５０を挟んで第１の固定部材５８と対向する他面側に配置されて、第１の固定部材５８と連結固定される第２の固定部材６０と、を有して複数本の配線・配管を結束保持する結束具５２を設けた。【選択図】図７

Description

本発明は、旋回動作に追従する配線・配管の保護装置に関するものであり、特に、半導体製造装置のインデックステーブル上に複数配置されるチャックテーブル等の旋回動作に順応して配線・配管が自由に移動し、配線・配管への負担が掛かることのないようにする旋回動作に追従する配線・配管の保護装置に関するものである。

例えば、半導体ウエハの裏面（一方面）を研削する半導体製造装置における平面加工装置では、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）を各々吸着保持する複数のチャックを有したインデックステーブル、粗研削用砥石、精研削用砥石、及び裏面洗浄装置等を備えている（例えば、特許文献１参照）。

その平面加工装置によれば、ウエハ加工時にウエハを保持するチャックは、インデックステーブル上に等間隔で複数配置されており、これら複数のチャックはインデックステーブルの中心を軸としてインデックステーブルと共に旋回するようになっている。このインデックステーブルには、チャックテーブル上に配置されたチャックの吸着・旋回操作等を行うための電気配線や配管等（以下、これらを総称して「配線・配管」という）が複数接続されており、インデックステーブルが旋回する時に、これらの配線・配管が破損しないように保護する必要がある。

そこで、インデックステーブル等の旋回動作部が旋回するときに、配線・配管が破損しないように保護する構造として、インデックステーブルの旋回軸にロータリージョイントやクラッチを設け、旋回動作部との切り離しを行うことにより、旋回時に配線・配管を追従させない方法が提案されている。

また、別の保護構造として、リンク状のケーブル保護部材（ケーブルベア（登録商標））を円周上に配置して、旋回動作に追従するようにしたケーブルの保護方法も知られている（例えば、特許文献２参照）。

特許第４５５３８６８号公報 特開平５−６９３８１号公報

しかし、前者のインデックステーブルの旋回軸に、ロータリージョイントやクラッチを設けて旋回動作部との切り離しを行う方法は、構造が複雑になる上、ロータリージョイントのジョイント部におけるシールの劣化による漏れ等が懸念される問題点があった。

一方、後者のリンク状のケーブル保護部材（ケーブルベア）を円周上に配置して、旋回動作に追従するようにしたケーブルの保護方法では、ケーブル保護部材が占める空間が大きく、複数の配線・配管を収容するには広いスペースが必要となる。また、ケーブル保護部材は、配線・配管同士が擦れ合ったり、押し潰されたりする恐れがあるため、ケーブル保護部材内を配線・配管の数に応じて仕切る必要がある。このため、多くのケーブルを収容するには不向きであるという問題点があった。

また、近年では、装置の省スペース化、低背化が要求されており、インデックステーブルの構造は小型化が求められている。

そこで、インデックステーブル等の旋回ユニットに接続された複数の配線・配管をコンパクトに保護しつつ、旋回ユニットの旋回動作に順応して配線・配管が自由に移動し、配線・配管への負担が掛かることのないようにする旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、旋回不能に配置された固定ユニットと、前記固定ユニットとの間に空間を設けて旋回可能に配置された旋回ユニットと、一端側を前記固定ユニットに連結し、他端側を前記旋回ユニットと一体に旋回可能に連結した可撓性を有する複数の配線・配管で構成された配線・配管群と、を備え、前記旋回ユニットの旋回時に前記配線・配管群を旋回追従移動可能にした配線・配管の保護装置であって、前記配線・配管群は、前記複数の配線・配管を前記旋回ユニットの旋回軸線に沿って列状に配置して構成され、前記配線・配管群の一面側に配置された第１の固定部材と、前記配線・配管群を挟んで前記第１の固定部材と対向する他面側に配置され、前記第１の固定部材と連結固定されて前記複数本の配線・配管を結束保持する第２の固定部材と、を有する結束具を備える、旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。

この構成によれば、旋回ユニットの旋回軸線に沿って列状に配置された複数の配線・配管でなる配線・配管群を、第１の固定部材と第２の固定部材で挟んでコンパクトに結束固定することができる。また、配線・配管群を旋回軸線に沿って列状に配置して結束することにより、旋回ユニットの旋回動作時に、各配線・配管を同一曲線にして屈曲させて追従させることができ、配線・配管に負担を掛けることなく、旋回ユニットの旋回動作を可能にする。さらに、配線・配管の多少の太さや組み合わせ等が変わって第１の固定部材と第２の固定部材との間に収容可能となり、第１の固定部材と第２の固定部材で挟んでの結束が確保できる。また、リンクがないため、保護部材同士の摩擦及び発塵が少ない。さらに、結束具で結束した配線・配管群を外周方向に複数配置することで、スペースを取ることなく、より多くの配線・配管を収容とて保護することができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記第１の固定部材と前記第２の固定部材は、それぞれ上下両端に、内側へ向かって折曲された水平部と前記水平部から外側へ向かって折曲された垂直部とを一体に有し、前記第１の固定部材の前記垂直部と前記第２の固定部材の前記垂直部は、互いに向き合わせて連結固定される、旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。

この構成によれば、列状に配置された複数の配線・配管を第１の固定部材と第２の固定部材で挟むとともに、互いに向き合わせて配置された垂直部同士を連結固定する構造とすることにより、配線・配管に応じた保持空間は簡単に確保することができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記結束具は、前記配線・配管群と前記第１の固定部材、及び、前記配線・配管群と前記第２の固定部材の間に、それぞれクッション材を配置した、請求項１又は２に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。

この構成によれば、旋回ユニットの旋回軸線に沿って配置した配線・配管群と第１の固定部材、及び、配線・配管群と第２の固定部材の間に配置したクッション材の緩衝により、配線・配管群と第１の固定部材同士、及び、配線・配管群と第２の固定部材同士が擦れ合ったり、押し潰し合ったりして破損するのを防止し、配線・配管への負担を掛けずに保持できる。

請求項４に記載の発明は、請求項１、２又は３に記載の構成において、前記配線・配管群と対応する位置に矩形状の窓孔を設けて中抜き形状にして配置される第１の保護部材をさらに備えた、旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。

この構成によれば、第１の保護部材の窓孔により、配線・配管群の屈曲に対して同一の曲げ軌道で旋回動作をすることができ、配線・配管群へ負担が掛かるのを防止することができる。

請求項５に記載の発明は、請求項１、２、３又は４に記載の構成において、第１の保護部材が有する窓孔の上下のうち、少なくとも一方は、前記配線・配管群の上下端に当接して前記配線・配管群を支持する、旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。

この構成によれば、配線・配管群の上下端は、第１の保護部材の窓孔との当接によって上下方向の移動が規制され、配線・配管群の整列状態が崩れるのを防止し、配線・配管への負担が掛かるのを無くすことができる。

請求項６に記載の発明は、請求項１、２、３、４又は５に記載の構成において、前記配線・配管群が、前記固定ユニットと前記旋回ユニットとの間の前記空間内に、半径方向へ向かって重ねて複数収容されているとともに、各前記配線・配管群の間に屈曲可能な可撓性を有する板状の第２の保護部材を各々介装してなる、旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。

この構成によれば、旋回ユニットに各々接続された複数の配線・配管群を半径方向に向かって重ね、これを環状空間内に配置するので省スペース化が可能になる。また、各配線・配管群との間に、それぞれ可撓性を有する第２の保護部材を介装しているので、各配線・配管群同士が擦れ合って損傷するのを防止し、保護できる。

請求項７に記載の発明は、請求項１、２、３、４、５又は６に記載の構成において、前記旋回ユニットが半導体製造装置の複数のチャックテーブルを配置しているインデックステーブルである、旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供する。

この構成によれば、複数のチャックテーブルを配置しているインデックステーブルに接続された複数の配線・配管をコンパクトにまとめて保護しつつ、インデックステーブルの旋回動作に追従させることができる、半導体製造装置の構造を得ることが可能になる。

発明によれば、旋回ユニットの旋回軸線に沿って配置された複数本の配線・配管を第１の固定部材と第２の固定部材で挟んで結束固定しているので、その配線・配管は旋回ユニットの旋回動作に順応して自由に移動することができる。これにより、複数の配線・配管をコンパクトにまとめて結束し、配線・配管に掛かる負担を軽減することができる。また、保護装置で保護した配線・配管群を外周方向に複数重ねて配置することで、スペースを取ることなく、より多くの配線・配管を収容することができ、装置の省スペース化、低背化が可能になる。

本発明の実施の形態に係る旋回動作に追従する配線・配管の保護装置の一実施例として示す半導体製造装置における平面加工装置の全体斜視図。 図１に示した同上平面加工装置の平面図。 図１及び図２に示した同上平面加工装置の要部構造を示す斜視図。 インデックステーブルを取り外した状態で示す、図３に示したインデックスステージの斜視図であり、図３のＡ部に相当する部分の斜視図。 図４に示したインデックスステージの概略平面図。 図５に示したインデックスステージにおけるＢ−Ｂ線に相当する部分における配線・配管ユニットの断面図。 同上配線・配管ユニットの要部斜視図。 図７のＣ−Ｃ断面図。 同上配線・配管ユニットの動作説明図で、インデックスステージが初期位置配置されている図。 同上配線・配管ユニットの動作説明図で、インデックスステージが初期位置から９０°回転した時の図。 同上配線・配管ユニットの動作説明図で、インデックスステージが初期位置から１８０°回転した時の図。 同上配線・配管ユニットの動作説明図で、インデックスステージが初期位置から２７０°回転した時の図。

本発明は、インデックステーブル等の旋回ユニットに接続された複数の配線・配管をコンパクトに保護しつつ、旋回ユニットの旋回動作に順応して配線・配管が自由に移動し、配線・配管への負担が掛かることのないようにする旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を提供するという目的を達成するために、旋回不能に配置された固定ユニットと、前記固定ユニットとの間に空間を設けて旋回可能に配置された旋回ユニットと、一端側を前記固定ユニットに連結し、他端側を前記旋回ユニットと一体に旋回可能に連結した可撓性を有する複数の配線・配管で構成された配線・配管群と、を備え、前記旋回ユニットの旋回時に前記配線・配管群を旋回追従移動可能にした配線・配管の保護装置であって、前記配線・配管群は、前記複数の配線・配管を前記旋回ユニットの旋回軸線に沿って列状に配置して構成され、前記配線・配管群の一面側に配置された第１の固定部材と、前記配線・配管群を挟んで前記第１の固定部材と対向する他面側に配置され、前記第１の固定部材と連結固定されて前記複数本の配線・配管を結束保持する第２の固定部材と、を有する結束具を備える、ことにより実現した。

以下、本発明を実施するための形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明では、実施形態の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。また、以下の説明では、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明の保護装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。

図１は本発明に係る旋回動作に追従する配線・配管の保護装置を適用した半導体製造装置における平面加工装置１０を示す全体斜視図であり、図２は図１に示した平面加工装置１０の平面図である。

図１及び図２に示すように、平面加工装置１０の本体１２には、カセット収納ステージ１４、アライメントステージ１６、粗研削ステージ１８、精研削ステージ２０、研磨ステージ２２、研磨布洗浄ステージ２３、研磨布ドレッシングステージ２７、及びウエハ洗浄ステージ２４が設けられている。

粗研削ステージ１８、精研削ステージ２０、研磨ステージ２２は、図２において二点鎖線で示す仕切板２６によって仕切られ、仕切板２６により各々のステージ１８、２０、２２で使用する加工液が隣接するステージに飛散するのが防止されている。

仕切板２６は、インデックステーブル２８に固定されるとともに、インデックステーブル２８に配置されたウエハを各々吸着保持する４台のチャック（保持手段に相当）３０、３２、３４、３６を仕切るように十字形状に形成されている。

チャック３０、３２、３４、３６は、インデックステーブル２８の図２中に点線で示す旋回動作部３８の旋回軸線３８ａを中心とする円周上に、略９０°の間隔をもって配置されている。

図３及び図４は、図１及び図２に示した平面加工装置１０の要部構造を示す斜視図である。すなわち、図３は、旋回動作部３８と、旋回動作部３８に組み付けられたインデックステーブル２８と、インデックステーブル２８に配置された仕切板２６と、インデックステーブル２８に配置されたチャック３０、３２、３４、３６等を一体化した状態を示す斜視図である。一方、図４は、図３のＡ部詳細図で、図３に示すインデックステーブル２８と、インデックステーブル２８に配置された仕切板２６と、インデックステーブル２８に配置されたチャック３０、３２、３４、３６等を取り外して見た斜視図である。

そして、この平面加工装置１０では、インデックステーブル２８が旋回動作部３８の旋回軸線３８ａを中心として水平に９０°ずつ順次旋回されて、その旋回により、ウエハを吸着保持したチャック３０、３２、３４、３６を９０°間隔で設けられている所定の位置に搬送して、搬送した位置で所定の処理が行われるようになっている。

さらに、平面加工装置１０の構成を説明すると、旋回動作部３８は、図４に示すように固定ユニット３８Ａと旋回ユニット３８Ｂを備えている。

固定ユニット３８Ａは、平面加工装置１０の固定部である本体１２に旋回不能に設けられた基台４０を有し、また基台４０の中心には図２において点線で示すモータ４２が配置されている。モータ４２は、図示しないが固定子である固定部と固定部に対し往復旋回駆動する回転子である旋回部とでなり、回転子軸は旋回動作部３８の旋回軸線３８ａと同心で、インデックステーブル２８に向かって垂直に配置されている。その回転子軸には、旋回ユニット３８Ｂが一体に回動可能にして取り付けられている。

また、基台４０上には、円環状の内周壁面４４ａを形成している保護壁板材４４が、旋回ユニット３８Ｂの外周を囲むようにして配置されている。

旋回ユニット３８Ｂは、モータ４２の回転子軸と一体に回動する円柱状をした旋回動作部４６を有し、旋回動作部４６の上面に旋回軸線３８ａを同軸としてインデックステーブル２８を固定して取り付けている。そして、保護壁板材４４は、固定ユニット３８Ａの壁面、すなわち保護壁板材４４の内周壁面４４ａと、旋回ユニット３８Ｂの壁面、すなわち旋回動作部３８の外周壁面３８ｂ（モータ４２の壁面４２ａを含む場合もある）との間に、旋回ユニット３８Ｂに連結された複数の配線・配管を結束した配線・配管群５０を収容する環状の空間４８を形成するようにして、基台４０上に取り付けられている。

配線・配管群５０は、インデックステーブル２８上に配置されたチャック３０、３２、３４、３６の吸着・回転操作等を行うための電気配線や冷却液等を供給するための配管（ホース）等の集まりである。ここでの配線・配管群５０は、複数の電気配線及び配管が両壁面４４ａ、４２ａ（３８ｂ）に沿って、すなわち旋回動作部３８の旋回軸線３８ａに沿って列状に配置されて平板ケーブル状にし、これを結束具５２で結束保持して屈曲可能な平板ケーブル状を保った構造となっている。この平板ケーブル状に結束保持された配線・配管群５０は、図６に図５のＢ−Ｂ線に相当する部分の拡大断面図として示すように、平板ケーブル状に結束保持されている各配線・配管群５０の間に、可撓性を有する板状をした第２の保護部材５６を配置させて、環状の空間４８内において、その環状の空間４８の半径方向に向かって複数枚、層状に重ねて設けられている。なお、本実施例では、平板ケーブル状に結束保持された、３枚の配線・配管群５０と、配線・配管群５０の間、及び、両端側に各々配置された、合計４枚の屈曲可能な第２の保護部材５６とを設けている。この第２の保護部材５６は、配線・配管群５０の屈曲と一緒に、配線・配管群５０の形状に倣うようにして概略Ｕ字状をした湾曲部５０ａと近似の状態に屈曲する。

図５は、結束具５２で結束して平板状に結束保持されている、図４に示す配線・配管群５０の構造を模式的に示す平面図である。配線・配管群５０は、可撓性を有し、また図５からも明らかのように、中間の一部を概略Ｕ字状に曲げて、遊動可能な状態に弛ませて環状の空間４８内に収容され、一端側を固定ユニット３８Ａにコネクタ５４Ａを介して連結固定しているとともに、他端側を旋回ユニット３８Ｂにコネクタ５４Ｂを介して連結固定している。ここでの配線・配管群５０の長さは、旋回動作部４６がインデックステーブル２８と共に少なくも２７０°回転できるように、中間に前記概略Ｕ字状に曲げた湾曲部５０ａを設けるようにして、円周方向の延伸長を予測した余裕長さとし、旋回動作部４６の旋回時に何ら配線・配管群５０に有害な負担が掛かることがないようにしている。

図７は結束具５２で平板状に結束保持されている一層分だけの配線・配管群５０を示した斜視図で、図８は図７のＣ−Ｃ線拡大断面図である。次に、図７及び図８を使用して、配線・配管群５０及び結束具５２の構成を更に説明する。

結束具５２は、列状に配置した配線・配管群５０の一面に配置される第１の固定部材５８と、第１の固定部材５８と配線・配管群５０を挟んで対向する他面側に配置される第２の固定部材６０と、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０を互いに固定する上下１対の連結部材６２と、クッション材６４と、第１の保護部材６６等を備えている。

第１の固定部材５８と第２の固定部材６０は、互いに対称に形成されたものであり、実質的に同一部材である。すなわち、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０は、板状金属材（本実施例では鉄）であり、配線・配管群５０の各面と対向して配置される本体部５８ａ、６０ａと、本体部５８ａ、６０ａの上下端からそれぞれ内側へ向かって略直角に折曲された水平部５８ｂ、６０ｂと、水平部５８ｂ、６０ｂの先端から外側へ向かって略直角に折曲された垂直部５８ｃ、６０ｃと、を備えている。また、垂直部５８ｃ、６０ｃには、それぞれ連結部材６２を装着させるための図示しない取付孔が各々に形成されている。

第１の保護部材６６は、配線・配管群５０と共に屈曲可能な可撓性を有する樹脂製のシート材であり、配線・配管群５０の上下面にそれぞれ沿って配置される上下１対の部材である。第１の保護部材６６は、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０の各垂直部５８ｃ、６０ｃで各々両側から挟まれて中抜き形状の状態で配線・配管群５０に取り付けられる。第１の保護部材６６には、結束具５２が取り付けられる部分に、垂直部５８ｃ、６０ｃの取付孔に対応して図示しない貫通孔が設けられているとともに、舌片５８ｄ、６０ｄに対応して舌片６６ｄが設けられている。また、取り付けられた状態では、配線・配管群５０と対応する位置に、矩形状の窓孔６６Ａが設けられるようにして型抜きされている。

クッション材６４は、例えばスポンジ等、弾力性を有する柔軟な樹脂製の部材である。クッション材６４は、第１の固定部材５８の本体部５８ａと配線・配管群５０の一面との間と、第２の固定部材６０の本体部６０ａと配線・配管群５０の他面との間にそれぞれ配置され、本体部５８ａ、６０ａと略同じ幅で形成されている。

連結部材６２は、本実施例ではボルト６２ａとナット６２ｂとでなる。しかし、連結部材６２は、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０を固定できるものであれば、ボルト・ナット以外であってもよい。

次に、このように構成された結束具５２を使用して、配線・配管群５０を平板状に結束保持する組み立て手順について説明する。

まず、本体部５８ａ、６０ａの内面にクッション材６４を各々取り付けた第１の固定部材５８及び第２の固定部材６０を用意する。また、第１の固定部材５８の垂直部５８ｃの取付孔には、外側から内側へ向かって連結部材６２のボルト６２ａを挿入して取り付けておく。次いで、第１の固定部材５８の上下の垂直部５８ｃの内面側にそれぞれ、第１の保護部材６６の上下の舌片６６ｄの取付孔をボルト６２ａに各々係合させるようにして、第１の固定部材５８の上下に第１の保護部材６６を各々取り付ける。

次に、複数の配線・配管を縦一列に並べた状態で配線・配管群５０を形成し、この配線・配管群５０の両側に第１の固定部材５８と第２の固定部材６０を各々配置し、更に第１の固定部材５８と第２の固定部材６０とで配線・配管群５０を、クッション材６４を介して挟む。この時、第２の固定部材６０の垂直部６０ｃの取付孔にボルト６２ａを挿入させて、垂直部５８ｃと垂直部６０ｃを、第１の保護部材６６の舌片６６ｄを介して密着させる。その後、第２の固定部材６０の垂直部６０ｃを通って外側に突出しているボルト６２ａの先端側にナット６２ｂを取り付けて締め付けると、クッション材６４と配線・配管群５０を間に挟んだ状態で第１の固定部材５８と第２の固定部材６０とが連結固定される。そして、図６及び図８に示すように、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０とで形成された断面略長四角形状の枠内に、配線・配管群５０が縦一列に配置された状態で結束保持される。

この結束保持状態では、図８に示すように第１の保護部材６６の窓孔６６ａが、配線・配管群５０の上下の端面にそれぞれ緩く当接されて、配線・配管群５０の上下方向の移動を緩く規制する。さらに、この結束保持状態では、配線・配管群５０は、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０で間にクッション材６４を介して挟まれているので、配線・配管群５０に負荷をかけることなく旋回移動をすることができる。この結束構造では、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０との間の空間を十分に確保することができ、配線・配管の太さや組み合わせ等が多少変わっても第１の固定部材５８と第２の固定部材６０との間に収容可能となり、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０で挟んでの確実な結束が可能になる。また、リンクがないため、保護部材同士の摩擦及び発塵が少ない。また、第１の保護部材６６は、中抜き形状のため配線・配管群５０が屈曲するとき、第１の保護部材６６との曲率が同一となり、配線・配管群５０に対して同一の軌道で旋回可能になるとともに、結束具５２内での配線・配管群５０の遊びを許容することができる。

また、この配線・配管群５０を結束するための結束具５２は、配線・配管群５０の長さに応じて、所定の間隔で複数個取り付けられ、この結束具５２で結束保持された配線・配管群５０は、屈曲可能な可撓性を有する平板ケーブル状に形成される。

また、このように平板ケーブル状に形成された配線・配管群５０は、一端側がコネクタ５４Ａを介して固定ユニット３８Ａに連結固定されるとともに、他端側がコネクタ５４Ｂを介して旋回ユニット３８Ｂに連結固定され、かつ、中間部分に概略Ｕ字状に曲げた湾曲部５０ａを設けた状態で使用される。また、固定ユニット３８Ａと旋回ユニット３８Ｂに取り付けられる配線・配管群５０は、その取り付けの際、図５及び図６に示すように、樹脂材でシート状に形成された第２の保護部材５６を間に介在させ、複数枚を層状に重ねて配置される。第２の保護部材５６は、配線・配管群５０の屈曲に倣って自由に屈曲できるようになっている。

図９〜図１２は、このように結束具５２で平板ケーブル状に形成された配線・配管群５０の動作を示す動作状態図である。

まず、旋回初期位置の状態を図９とする。図９の状態から旋回動作部３８の旋回ユニット３８Ｂが旋回軸線３８ａを軸に時計回りに９０°旋回されると、層状に重ねられている複数枚の配線・配管群５０は、コネクタ５４Ｂを介して旋回ユニット３８Ｂに固定されている側が、それぞれ旋回動作部３８の外周壁面３８ｂに沿って所定の曲率半径にて旋回する。一方、固定ユニット３８Ａは位置が固定されているため、コネクタ５４Ａを介して固定ユニット３８Ａに固定されている複数の配線・配管群５０の他端側も位置が固定されている。したがって、旋回動作が進むに連れ、一端側は旋回動作部３８の外周壁面３８ｂに沿って所定の曲率半径にて沿う形で、また中間の概略Ｕ字状を保った状態で遊動する。これにより、図９に示す旋回前の状態から、旋回ユニット３８Ｂが旋回角度９０°だけ時計回りに旋回すると、配線・配管群５０は図１０の状態となる。また、旋回ユニット３８Ｂがさらに旋回角度９０°だけ時計回りに１８０°の位置まで旋回すると、配線・配管群５０は図１１の状態となる。また、旋回ユニット３８Ｂがさらに旋回角度９０°だけ時計回りに２７０°の位置まで旋回すると、配線・配管群５０は図１２の状態となる。

また、図１２の状態から、旋回動作部３８の旋回ユニット３８Ｂが旋回軸線３８ａを軸に反時計回りに９０°旋回すると、配線・配管群５０は図１１の状態となる。さらに旋回ユニット３８Ｂが旋回角度９０°だけ反時計回りに旋回すると配線・配管群５０は図１０の状態となる。また、旋回ユニット３８Ｂがさらに旋回角度９０°だけ反時計回りに１８０°の位置まで旋回すると、配線・配管群５０は図９の状態、すなわち旋回初期位置に復帰する。

したがって、この配線・配管群５０を使用した半導体製造装置における平面加工装置１０では、インデックステーブル２８と一緒に旋回する列状に配置された配線・配管群５０が、保護装置である結束具５２における第１の固定部材５８と第２の固定部材６０で挟まれて結束保持され、その結束保持した状態で配線・配管群５０を旋回ユニット３８Ｂの旋回動作に追従させるようにしているので、配線・配管群５０をコンパクトに保持しつつ、配線・配管群５０に負担を掛けることなく、旋回ユニット３８Ｂの旋回動作を可能にする。また、保護装置である結束具５２で保護した配線・配管群５０を環状の空間４８内に、その外周方向に積層した状態で複数配置するようにしているので、スペースを取ることなく、より多くの配線・配管群５０を収容することができる。さらに、配線・配管の多少の太さや組み合わせ等が変わっても、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０とで配線・配管群５０を挟んで結束固定することができる。

また、保護装置である結束具５２の第１の固定部材５８と第２の固定部材６０は、それぞれ上下両端に内側へ向かって折曲された水平部５８ｂ、６０ｂと水平部５８ｂ、６０ｂから外側へ向かって折曲された垂直部５８ｃ、６０ｃとを一体に有し、垂直部５８ｃ、６０ｃ同士を互いに向き合わせて垂直部５８ｃ、６０ｃの間を連結固定している。したがって、列状に配置された複数の配線・配管でなる配線・配管群５０を第１の固定部材５８と第２の固定部材６０で挟むとともに、互いに向き合わせて配置された垂直部５８ｃ、６０ｃ同士を連結部材６２で連結固定すると、第１の固定部材５８と第２の固定部材６０との間に作られた空間内に配線・配管群５０が収容され、配線・配管群５０への負担を掛けずに保持することができる。

また、保護装置である結束具５２には、配線・配管群５０と第１の固定部材５８、及び、配線・配管群５０と第２の固定部材６０の間に、それぞれクッション材６４を配置しているので、クッション材６４の緩衝により、配線・配管群５０と第１の固定部材５８同士、及び、配線・配管群５０と第２の固定部材６０同士が擦れ合ったり、押し潰し合ったりして破損するのを防止できる。

また、第１の保護部材６６には、配線・配管群５０の上下端が納まる窓孔６６ａを設け、配線・配管群５０の上下端をその窓孔６６ａで移動を規制しているので、配線・配管群５０の列状態が崩れるのを防ぎ、配線・配管群５０への負担が掛かるのを防止できる。

なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１０ 平面加工装置
１２ 本体（固定部）
１４ カセット収納ステージ
１６ アライメントステージ
１８ 粗研削ステージ
２０ 精研削ステージ
２２ 研磨ステージ
２３ 研磨布洗浄ステージ
２４ ウエハ洗浄ステージ
２６ 仕切板
２７ 研磨布ドレッシングステージ
２８ インデックステーブル
３０、３２、３４、３６ チャック
３８ 旋回動作部
３８ａ 旋回軸線
３８ｂ 外周壁面
３８Ａ 固定ユニット
３８Ｂ 旋回ユニット
４０ 基台
４２ モータ
４２ａ 壁面（固定ユニットの壁面）
４４ 保護壁板材
４４ａ 壁面（固定ユニットの壁面）
４６ 旋回動作部
４８ 環状の空間
５０ 配線・配管群
５０ａ 湾曲部
５２ 結束具（保護装置）
５４Ａ、５４Ｂ コネクタ
５６ 第２の保護部材
５８ 第１の固定部材
５８ａ 本体部
５８ｂ 水平部
５８ｃ 垂直部
６０ 第２の固定部材
６０ａ 本体部
６０ｂ 水平部
６０ｃ 垂直部
６２ 連結部材
６２ａ ボルト
６２ｂ ナット
６４ クッション材
６６ 第１の保護部材
６６ａ 窓孔

Claims (7)

1. 旋回不能に配置された固定ユニットと、前記固定ユニットとの間に空間を設けて旋回可能に配置された旋回ユニットと、一端側を前記固定ユニットに連結し、他端側を前記旋回ユニットと一体に旋回可能に連結した可撓性を有する複数の配線・配管で構成された配線・配管群と、を備え、前記旋回ユニットの旋回時に前記配線・配管群を旋回追従移動可能にした配線・配管の保護装置であって、
   前記配線・配管群は、前記複数の配線・配管を前記旋回ユニットの旋回軸線に沿って列状に配置して構成され、
   前記配線・配管群の一面側に配置された第１の固定部材と、
   前記配線・配管群を挟んで前記第１の固定部材と対向する他面側に配置され、前記第１の固定部材と連結固定されて前記複数の配線・配管を結束保持する第２の固定部材と、
   を有する結束具を備える、ことを特徴とする旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
2. 前記第１の固定部材と前記第２の固定部材は、それぞれ上下両端に、内側へ向かって折曲された水平部と前記水平部から外側へ向かって折曲された垂直部とを一体に有し、
   前記第１の固定部材の前記垂直部と前記第２の固定部材の前記垂直部は、互いに向き合わせて連結固定される、ことを特徴とする請求項１に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
3. 前記結束具は、前記配線・配管群と前記第１の固定部材、及び、前記配線・配管群と前記第２の固定部材の間に、それぞれクッション材を配置した、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
4. 前記配線・配管群と対応する位置に矩形状の窓孔を設けて中抜き形状にして配置される第１の保護部材をさらに備えた、ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
5. 前記第１の保護部材に設けられた窓孔の上下のうち、少なくとも一方は、前記配線・配管群の上下端に当接して前記配線・配管群を支持する、ことを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
6. 前記配線・配管群が、前記固定ユニットと前記旋回ユニットとの間の前記空間内に、半径方向へ向かって重ねて複数収容されているとともに、各前記配線・配管群の間に屈曲可能な可撓性を有する板状の第２の保護部材を各々介装してなる、ことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。
7. 前記旋回ユニットが半導体製造装置の複数のチャックテーブルを配置しているインデックステーブルである、ことを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６に記載の旋回動作に追従する配線・配管の保護装置。