JP2019027967A

JP2019027967A - Sensor module and vibration detection unit

Info

Publication number: JP2019027967A
Application number: JP2017148844A
Authority: JP
Inventors: 正展大江; Masanobu Oe
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2017-08-01
Filing date: 2017-08-01
Publication date: 2019-02-21

Abstract

【課題】センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能なセンサモジュールを提供することができる。【解決手段】センサモジュールは、振動する被検体に対して磁力により取り付けられる。センサモジュールは、振動センサと、ケースとを備える。ケースは、振動センサを収容する。ケースは、センサモジュールの被検体への取り付けに際して、被検体のうちのセンサモジュールが取り付けられる面である取り付け面と対向するケース対向面を有する。ケース対向面には、取り付け面に設けられる被検体係合部に対して、ケース対向面に沿った方向への相対的な運動が規制されるように係合するケース係合部が設けられている。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor module capable of accurately having the same position and the same orientation before and after mounting the sensor module. A sensor module is magnetically attached to a vibrating subject. The sensor module includes a vibration sensor and a case. The case houses the vibration sensor. The case has a case facing surface facing the mounting surface, which is the surface on which the sensor module of the subject is mounted, when the sensor module is mounted on the subject. The case facing surface is provided with a case engaging portion that engages with the subject engaging portion provided on the mounting surface so that relative movement in the direction along the case facing surface is restricted. There is. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、センサモジュールおよび振動検知ユニットに関するものである。 The present invention relates to a sensor module and a vibration detection unit.

工場における設備の保守作業の一環として、設備の状態を各種のセンサによって検出し、その検出値に基づいて設備の異常を判断する作業が行われる場合がある。例えば、加速度センサ等の振動を検出可能な振動センサを備える振動検出装置を操業中の設備に取り付け、設備の異常が判断される（例えば、特許文献１）。 As part of equipment maintenance work in a factory, there are cases where the state of equipment is detected by various sensors and an abnormality of the equipment is determined based on the detected values. For example, a vibration detection device including a vibration sensor capable of detecting vibration such as an acceleration sensor is attached to a facility in operation, and abnormality of the facility is determined (for example, Patent Document 1).

特開２０１６−０５２１３７号公報JP-A-2006-052137

振動センサを備えるセンサモジュールは、振動センサを収容するケースを備える。ケースが振動する被検体に取り付けられて、ケース内のセンサモジュールが振動を検知する。被検体の振動のうち所定の方向の振動を検知するように、センサモジュールは取り付けられる。 A sensor module including a vibration sensor includes a case that houses the vibration sensor. The case is attached to the subject that vibrates, and the sensor module in the case detects the vibration. The sensor module is attached so as to detect vibration in a predetermined direction among vibrations of the subject.

センサモジュールによる振動の検知状態の保守等の観点から、センサモジュールを交換する必要が生じる場合がある。また、センサモジュールを一旦取り外した後に再度取り付ける場合もある。このとき、取り付け後のセンサモジュールが取り外す前のセンサモジュールと同一の位置および同一の向きに取り付けられないと、検出された振動のデータを取り外す前のデータと比較するのが難しくなるおそれがある。そのため、取り付けの前後で位置および向きが同じとなることが望ましい。 From the standpoint of maintaining the vibration detection state by the sensor module, it may be necessary to replace the sensor module. In some cases, the sensor module is removed and then attached again. At this time, if the sensor module after attachment is not attached at the same position and in the same direction as the sensor module before removal, it may be difficult to compare the detected vibration data with the data before removal. Therefore, it is desirable that the position and orientation are the same before and after attachment.

そこで、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能なセンサモジュールを提供することを目的の１つとする。 Accordingly, it is an object of the present invention to provide a sensor module that can be accurately placed in the same position and in the same orientation before and after attachment when the sensor module is attached.

本願のセンサモジュールは、振動する被検体に対して磁力により取り付けられる。センサモジュールは、振動センサと、ケースとを備える。ケースは、振動センサを収容する。ケースは、センサモジュールの被検体への取り付けに際して、被検体のうちのセンサモジュールが取り付けられる面である取り付け面と対向するケース対向面を有する。ケース対向面には、取り付け面に設けられる被検体係合部に対して、ケース対向面に沿った方向への相対的な運動が規制されるように係合するケース係合部が設けられている。 The sensor module of the present application is attached to a vibrating subject by a magnetic force. The sensor module includes a vibration sensor and a case. The case houses a vibration sensor. The case has a case facing surface that faces a mounting surface that is a surface to which the sensor module of the subject is attached when the sensor module is attached to the subject. The case facing surface is provided with a case engaging portion that engages the subject engaging portion provided on the attachment surface so that relative movement in the direction along the case facing surface is restricted. Yes.

上記センサモジュールによれば、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能なセンサモジュールを提供することができる。 According to the sensor module, it is possible to provide a sensor module that can be accurately placed in the same position and in the same direction before and after the sensor module is attached.

実施の形態１におけるセンサモジュールの構造を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing a structure of a sensor module in Embodiment 1. FIG. 実施の形態１における被検体および被検体係合部の構造を示す概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view showing a structure of a subject and a subject engaging portion in the first embodiment. センサモジュールと、被検体とが係合する状態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the state which a sensor module and a test object engage. センサモジュールおよび被検体の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a sensor module and a subject. センサモジュールおよび被検体の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a sensor module and a subject. 実施の形態１の第１の変形例を示す概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view showing a first modification example of the first embodiment. 実施の形態１の第１の変形例における被検体および被検体係合部の構造を示す概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view showing the structure of a subject and a subject engaging portion in a first modification of the first embodiment. 実施の形態１の第２の変形例を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a second modification example of the first embodiment. 実施の形態１の第２の変形例における被検体および被検体係合部の構造を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a structure of a subject and a subject engaging portion in a second modification of the first embodiment. 実施の形態２におけるセンサモジュールの構造を示す概略斜視図である。6 is a schematic perspective view showing a structure of a sensor module in Embodiment 2. FIG. 実施の形態２におけるセンサモジュールの正面図である。6 is a front view of a sensor module according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２におけるセンサモジュールの背面図である。6 is a rear view of a sensor module according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２におけるセンサモジュールの平面図である。6 is a plan view of a sensor module according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２におけるセンサモジュールの底面図である。6 is a bottom view of a sensor module according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２におけるセンサモジュールの右側面図である。6 is a right side view of a sensor module according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２におけるセンサモジュールの左側面図である。6 is a left side view of a sensor module according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２におけるセンサモジュールの斜視図である。6 is a perspective view of a sensor module according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態２における被検体および被検体係合部の構造を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a structure of a subject and a subject engaging portion in the second embodiment. 実施の形態２におけるセンサモジュールの第１の変形例を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a first modification of the sensor module in the second embodiment. 実施の形態２の第１の変形例における被検体および被検体係合部の構造を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a structure of a subject and a subject engaging portion in a first modification of the second embodiment. 実施の形態２におけるセンサモジュールの第２の変形例を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a second modification of the sensor module in the second embodiment. 実施の形態２の第２の変形例における被検体および被検体係合部の構造を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing the structure of a subject and a subject engaging portion in a second modification of the second embodiment. 実施の形態２におけるセンサモジュールの第３の変形例を示す概略斜視図である。FIG. 10 is a schematic perspective view showing a third modification of the sensor module in the second embodiment. 実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュールの正面図である。It is a front view of the sensor module of the 3rd modification of Embodiment 2. 実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュールの背面図である。It is a rear view of the sensor module of the 3rd modification of Embodiment 2. 実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュールの平面図である。FIG. 10 is a plan view of a sensor module of a third modification example of the second embodiment. 実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュールの底面図である。It is a bottom view of the sensor module of the 3rd modification of Embodiment 2. 実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュールの右側面図である。It is a right view of the sensor module of the 3rd modification of Embodiment 2. 実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュールの左側面図である。It is a left view of the sensor module of the 3rd modification of Embodiment 2. 実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュールの斜視図である。It is a perspective view of the sensor module of the 3rd modification of Embodiment 2. FIG.

［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。 [Description of Embodiment of Present Invention]
First, embodiments of the present invention will be listed and described.

（１）本願のセンサモジュールは、振動する被検体に対して磁力により取り付けられる。センサモジュールは、振動センサと、ケースとを備える。ケースは、振動センサを収容する。ケースは、センサモジュールの被検体への取り付けに際して、被検体のうちのセンサモジュールが取り付けられる面である取り付け面と対向するケース対向面を有する。ケース対向面には、取り付け面に設けられる被検体係合部に対して、ケース対向面に沿った方向への相対的な運動が規制されるように係合するケース係合部が設けられている。 (1) The sensor module of the present application is attached to a vibrating subject by magnetic force. The sensor module includes a vibration sensor and a case. The case houses a vibration sensor. The case has a case facing surface that faces a mounting surface that is a surface to which the sensor module of the subject is attached when the sensor module is attached to the subject. The case facing surface is provided with a case engaging portion that engages the subject engaging portion provided on the attachment surface so that relative movement in the direction along the case facing surface is restricted. Yes.

本願のセンサモジュールは、振動する被検体に対して磁力により取り付けられる。このようにすることで、振動する被検体にセンサモジュールを容易に取り付けたり、被検体からセンサモジュールを取り外したりすることができる。また、被検体の取り付け面には、被検体係合部が設けられる。ケースは被検体の取り付け面と対向するケース対向面を有する。ケース対向面にはケース係合部が設けられる。ケース係合部と、被検体係合部とは、ケース対向面に沿った方向への相対的な運動を規制するように係合する。このようにすることで、ケース係合部と被検体係合部とを係合させて、被検体係合部に対するケースの相対的な移動を規制することができる。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 The sensor module of the present application is attached to a vibrating subject by a magnetic force. In this way, the sensor module can be easily attached to or removed from the subject that vibrates. A subject engagement portion is provided on the mounting surface of the subject. The case has a case facing surface facing the mounting surface of the subject. A case engaging portion is provided on the case facing surface. The case engaging portion and the subject engaging portion engage so as to restrict relative movement in the direction along the case facing surface. By doing in this way, a case engagement part and a subject engagement part can be engaged, and the relative movement of a case with respect to a subject engagement part can be controlled. For this reason, when mounting the sensor module, it can be accurately positioned in the same position and in the same direction before and after mounting.

このように、本願のセンサモジュールによれば、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能なセンサモジュールを提供することができる。 Thus, according to the sensor module of the present application, it is possible to provide a sensor module that can be accurately placed in the same position and in the same direction before and after the attachment of the sensor module.

（２）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、被検体係合部に対して嵌合する形状を有するようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (2) In the sensor module, the case engaging portion may have a shape that is fitted to the subject engaging portion. By doing in this way, at the time of attachment of a sensor module, it can be in the same position and the same direction more accurately before and after attachment.

（３）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、被検体係合部に設けられる被検体側第一凹部に係合するケース側第一凸部を含むようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、被検体係合部における被検体側第一凹部と、ケース係合部におけるケース側第一凸部とは係合する。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (3) In the sensor module, the case engaging portion may include a case-side first convex portion that engages with a subject-side first concave portion provided in the subject engaging portion. By doing so, when the sensor module is attached to the subject, the subject-side first concave portion in the subject engaging portion and the case-side first convex portion in the case engaging portion are engaged. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment.

（４）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、被検体側第一凹部内に設けられる被検体側第二凹部に係合するように、ケース側第一凸部に設けられるケース側第二凸部を含むようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、ケース係合部におけるケース側第二凸部と、被検体係合部における被検体側第二凹部とは係合する。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (4) In the sensor module, the case engaging portion is provided on the case side first convex portion so as to engage with the subject side second concave portion provided in the subject side first concave portion. Two convex portions may be included. By doing so, when the sensor module is attached to the subject, the case-side second convex portion in the case engaging portion and the subject-side second concave portion in the subject engaging portion are engaged. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment.

（５）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、被検体側第一凹部内に設けられる被検体側第三凸部に係合するように、ケース側第一凸部に設けられるケース側第三凹部を含むようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、ケース係合部におけるケース側第三凹部と、被検体係合部における被検体側第三凸部とは係合する。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (5) In the sensor module, the case engaging portion is provided on the case-side first convex portion so as to engage with the subject-side third convex portion provided in the subject-side first concave portion. A third recess may be included. By doing so, when the sensor module is attached to the subject, the case-side third concave portion in the case engaging portion and the subject-side third convex portion in the subject engaging portion are engaged. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment.

（６）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、被検体係合部に設けられる被検体側第一凸部に係合するケース側第一凹部を含むようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、ケース係合部におけるケース側第一凹部と、被検体係合部における被検体側第一凸部とは係合する。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (6) In the sensor module, the case engaging portion may include a case side first concave portion that engages with a subject side first convex portion provided in the subject engaging portion. By doing so, when the sensor module is attached to the subject, the case-side first concave portion in the case engaging portion and the subject-side first convex portion in the subject engaging portion are engaged. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment.

（７）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、被検体側第一凸部内に設けられる被検体側第二凸部に係合するように、ケース側第一凹部に設けられるケース側第二凹部を含むようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、ケース係合部におけるケース側第二凹部と、被検体係合部における被検体側第二凸部とは係合する。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (7) In the sensor module, the case engaging portion is provided in the case side first concave portion so as to engage with the subject side second convex portion provided in the subject side first convex portion. Two recesses may be included. By doing so, when the sensor module is attached to the subject, the case-side second concave portion in the case engaging portion and the subject-side second convex portion in the subject engaging portion are engaged. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment.

（８）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、被検体側第一凸部内に設けられる被検体側第三凹部に係合するように、ケース側第一凹部に設けられるケース側第三凸部を含むようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、ケース係合部におけるケース側第三凸部と、被検体係合部における被検体側第三凹部とは係合する。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (8) In the sensor module, the case engaging portion is provided in the case-side first concave portion so as to engage with the subject-side third concave portion provided in the subject-side first convex portion. You may make it include a convex part. Thus, when the sensor module is attached to the subject, the case-side third convex portion in the case engaging portion and the subject-side third concave portion in the subject engaging portion are engaged. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment.

（９）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、ケース対向面側から見て、重心から外周までの距離が外周の周方向において変化する形状を有するようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、ケースの相対的な運動をさらに規制することができる。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 (9) In the sensor module, the case engaging portion may have a shape in which the distance from the center of gravity to the outer periphery changes in the circumferential direction of the outer periphery when viewed from the case facing surface side. In this way, when the sensor module is attached to the subject, the relative movement of the case can be further restricted. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment.

（１０）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、磁石からなるようにしてもよい。このようにすることで、磁性体からなる設置対象を含む被検体に対して、磁石による磁力によって取り付けできる。 (10) In the sensor module, the case engaging portion may be made of a magnet. By doing in this way, it can attach to the subject containing the installation object which consists of a magnetic body with the magnetic force by a magnet.

（１１）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、複数の磁石体と、複数の磁石体を離隔するように保持する磁石保持部とを含むようにしてもよい。このようにすることで、種々の表面形状を有し、磁性体からなる設置対象を含む被検体に対して、センサモジュールを安定して設置することができる。 (11) In the sensor module, the case engaging portion may include a plurality of magnet bodies and a magnet holding portion that holds the plurality of magnet bodies so as to be separated from each other. By doing in this way, a sensor module can be stably installed with respect to the subject which has various surface shapes and contains the installation object which consists of magnetic bodies.

（１２）上記センサモジュールにおいては、ケース係合部は、ケース係合部の表面に配置される弾性部材をさらに備えるようにしてもよい。このようにすることで、センサモジュールを被検体に対し安定して取り付けることができる。 (12) In the sensor module, the case engaging portion may further include an elastic member disposed on a surface of the case engaging portion. By doing so, the sensor module can be stably attached to the subject.

（１３）上記センサモジュールにおいては、振動センサは、少なくとも第一の方向と第一の方向と交差する第二の方向との振動を検知するようにしてもよい。このようにすることで、被検体の振動のうち、２軸以上の所定方向の振動を検知することができる。 (13) In the sensor module, the vibration sensor may detect vibration in at least a first direction and a second direction intersecting the first direction. By doing so, it is possible to detect vibrations in two or more axes in a predetermined direction among the vibrations of the subject.

（１４）本願の振動検知ユニットは、上記センサモジュールと、被検体に取り付け可能な被検体係合部と、を含む。 (14) The vibration detection unit of the present application includes the sensor module and a subject engagement portion that can be attached to the subject.

本願の振動検知ユニットは、被検体に取り付け可能な被検体係合部と、被検体係合部と係合してケース対向面に沿った方向への相対的な運動を規制するように設けられたケース係合部を含む上記センサモジュールと、を含む。そのため、本願の振動検知ユニットによれば、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能な振動検知ユニットを提供することができる。 The vibration detection unit of the present application is provided so as to restrict the relative movement in the direction along the case facing surface by engaging with the subject engaging portion that can be attached to the subject and the subject engaging portion. A sensor module including a case engaging portion. Therefore, according to the vibration detection unit of the present application, it is possible to provide a vibration detection unit that can be accurately placed in the same position and in the same direction before and after the attachment of the sensor module.

［本願発明の実施形態の詳細］
次に、本願のセンサモジュールの一実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。 [Details of the embodiment of the present invention]
Next, an embodiment of the sensor module of the present application will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１におけるセンサモジュールの構造を示す概略斜視図である。図１を参照して、センサモジュール１は、振動センサ１０と、ケース２０と、ケーブル５０と、を備える。センサモジュール１は、センサヘッドと呼ばれる部材である。振動センサ１０は、ケース２０内に収容される。なお、図１において振動センサ１０を概略的に示す。振動センサ１０は、例えば、基板上にセンサが実装された構造を有する。振動センサ１０は、少なくとも第一の方向と第一の方向と交差する第二の方向との振動を検知可能であることが好ましい。振動センサ１０は、本実施の形態においては、第一の方向と、第一の方向と直交する第二の方向と、第一の方向および第二の方向のそれぞれと直交する第三の方向との振動を検知可能である。図１におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の３軸の方向の振動を振動センサ１０は検知可能である。ケーブル５０は、ケース２０に収容される振動センサ１０と電気的に接続される。振動センサ１０において得られた検知信号をケーブル５０の他方端側に接続される振動検知装置等に伝送する。 (Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic perspective view showing the structure of the sensor module in the first embodiment. With reference to FIG. 1, the sensor module 1 includes a vibration sensor 10, a case 20, and a cable 50. The sensor module 1 is a member called a sensor head. The vibration sensor 10 is accommodated in the case 20. FIG. 1 schematically shows the vibration sensor 10. For example, the vibration sensor 10 has a structure in which the sensor is mounted on a substrate. The vibration sensor 10 is preferably capable of detecting vibrations in at least a first direction and a second direction that intersects the first direction. In the present embodiment, the vibration sensor 10 includes a first direction, a second direction orthogonal to the first direction, and a third direction orthogonal to each of the first direction and the second direction. Can be detected. The vibration sensor 10 can detect vibrations in the three axis directions of the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction in FIG. The cable 50 is electrically connected to the vibration sensor 10 housed in the case 20. The detection signal obtained in the vibration sensor 10 is transmitted to a vibration detection device connected to the other end of the cable 50.

ケース２０は、直方体状の形状を有する。ケース２０は、振動する被検体を取り付ける面であるケース対向面２１を有する。ケース２０は、ケーブル５０が接続されるケーブル接続面２２を有する。ケース対向面２１と、ケーブル接続面２２とは、直方体状のケース２０の一の辺を共有する２つの面に対応する。ケース２０は、磁性体からなる材料を含む。本実施の形態においては、ケース２０を構成する材料は、鉄等の磁性体からなる。 The case 20 has a rectangular parallelepiped shape. The case 20 has a case facing surface 21 which is a surface to which a vibrating subject is attached. The case 20 has a cable connection surface 22 to which the cable 50 is connected. The case facing surface 21 and the cable connection surface 22 correspond to two surfaces sharing one side of the rectangular parallelepiped case 20. The case 20 includes a material made of a magnetic material. In the present embodiment, the material constituting the case 20 is made of a magnetic material such as iron.

図１を参照して、ケース対向面２１にはケース係合部２３が設けられる。ケース係合部２３を構成する材料は、本実施の形態においては、鉄等の磁性体からなる。ケース係合部２３は、ケース側第一凹部２３１を含む。ケース側第一凹部２３１は、図１のＺ軸方向に凹む。本実施の形態においては、ケース係合部２３は、ケース対向面２１側から見た形状において、重心Ｇから外周までの距離が、外周の周方向において変化する形状を有し、より詳細には、矩形状に凹んだ形状であるケース側第一凹部２３１を有する。図１を参照して、Ｚ軸方向からケース係合部２３を見て、ケース係合部２３は、重心Ｇから外周までの距離Ｌ_１と距離Ｌ_２とは異なる形状を有する。ケース側第一凹部２３１は、側壁面２３２と、下面２３３とから規定される。下面２３３は、正方形状の形状を有する。 Referring to FIG. 1, a case engaging portion 23 is provided on the case facing surface 21. In the present embodiment, the material constituting the case engaging portion 23 is made of a magnetic material such as iron. The case engaging portion 23 includes a case side first recess 231. The case-side first recess 231 is recessed in the Z-axis direction of FIG. In the present embodiment, the case engaging portion 23 has a shape in which the distance from the center of gravity G to the outer periphery changes in the circumferential direction of the outer periphery in the shape viewed from the case facing surface 21 side. The case-side first concave portion 231 has a rectangular concave shape. Referring to FIG. 1, looking at the case engaging portion 23 from the Z-axis direction, the case engaging portion 23 has a different shape than the distance L ₁ and the distance L ₂ from the center of gravity G to the outer periphery. The case-side first recess 231 is defined by the side wall surface 232 and the lower surface 233. The lower surface 233 has a square shape.

図２は、実施の形態１における被検体および被検体係合部の構造を示す概略斜視図である。被検体３０は、例えば、振動する被検体であるモーター等である。図２を参照して、被検体３０は、センサモジュール１を取り付ける面である取り付け面３１を有する。センサモジュール１の被検体３０への取り付けに際して、取り付け面３１と、ケース対向面２１とは対向する。取り付け面３１には被検体係合部３２が配置される。被検体係合部３２は、平板状の磁石からなる。被検体係合部３２は、被検体３０に対して接着剤により貼り付けられ配置される。このようにすることで、容易に被検体係合部３２を被検体３０に貼り付けることができる。 FIG. 2 is a schematic perspective view showing the structure of the subject and the subject engaging portion in the first embodiment. The subject 30 is, for example, a motor that is a vibrating subject. Referring to FIG. 2, the subject 30 has an attachment surface 31 that is a surface to which the sensor module 1 is attached. When the sensor module 1 is attached to the subject 30, the attachment surface 31 and the case facing surface 21 face each other. A subject engagement portion 32 is disposed on the attachment surface 31. The subject engagement portion 32 is made of a flat magnet. The subject engaging part 32 is attached to the subject 30 with an adhesive and arranged. In this way, the subject engaging part 32 can be easily attached to the subject 30.

被検体係合部３２は、被検体側第一凸部３２１を含む。被検体係合部３２は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース係合部２３と係合する形状を有する。被検体側第一凸部３２１は、図２のＺ軸方向に突出する。被検体側第一凸部３２１は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース側第一凹部２３１と係合する形状を有する。本実施の形態において、被検体側第一凸部３２１は、ケース側第一凹部２３１と嵌合する形状を有する。より具体的には、被検体側第一凸部３２１は、ケース側第一凹部２３１の形状に対応するように直方体状の形状を有する。被検体側第一凸部３２１は、側壁面３２２と、上面３２３と、を含む。上面３２３は、正方形状の形状を有する。上面３２３の一辺の長さは、下面２３３の一辺の長さと一致するか、またはやや小さく形成される。 The subject engagement portion 32 includes a subject-side first convex portion 321. The subject engagement portion 32 has a shape that engages with the case engagement portion 23 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. The subject-side first convex portion 321 protrudes in the Z-axis direction in FIG. The subject-side first convex portion 321 has a shape that engages with the case-side first concave portion 231 so that relative movement in the direction along the case facing surface 21 of the case 20 is restricted. In the present embodiment, the subject-side first convex portion 321 has a shape that fits with the case-side first concave portion 231. More specifically, the subject-side first convex portion 321 has a rectangular parallelepiped shape so as to correspond to the shape of the case-side first concave portion 231. The subject-side first convex portion 321 includes a side wall surface 322 and an upper surface 323. The upper surface 323 has a square shape. The length of one side of the upper surface 323 is equal to the length of one side of the lower surface 233 or is formed slightly smaller.

図３は、センサモジュール１および被検体３０を示す概略断面図である。図３を参照して、ケース係合部２３は、弾性部材６０をさらに含む。弾性部材６０は、ケース係合部２３の表面に配置される。弾性部材６０は、ケース側第一凹部２３１における下面２３３に配置される。このようにすることで、被検体側第一凸部３２１における上面３２３と弾性部材６０とが接触する際に、弾性部材６０が上面３２３の形状に合わせて変形する。その結果、センサモジュール１を被検体３０に対して安定して取り付けできる。弾性部材６０は、弾性シートからなる。弾性シートは弾性体であるゴムからなる。 FIG. 3 is a schematic sectional view showing the sensor module 1 and the subject 30. Referring to FIG. 3, case engaging portion 23 further includes an elastic member 60. The elastic member 60 is disposed on the surface of the case engaging portion 23. The elastic member 60 is disposed on the lower surface 233 of the case-side first recess 231. By doing in this way, when the upper surface 323 and the elastic member 60 in the first convex portion 321 on the subject side come into contact with each other, the elastic member 60 is deformed according to the shape of the upper surface 323. As a result, the sensor module 1 can be stably attached to the subject 30. The elastic member 60 is made of an elastic sheet. The elastic sheet is made of rubber which is an elastic body.

図４は、センサモジュール１と、被検体３０とが係合する状態を示す概略斜視図である。図５は、センサモジュール１および被検体３０を示す概略断面図である。被検体３０にセンサモジュール１を取り付けた際に、センサモジュール１のケース係合部２３は、被検体係合部３２に対して係合し、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向（図４においてＸ軸方向およびＹ軸方向）への相対的な運動が規制される。ケース側第一凹部２３１と、被検体側第一凸部３２１とは係合する。ケース側第一凹部２３１における下面２３３と、被検体側第一凸部３２１における上面３２３とは接触する。ケース側第一凹部２３１における側壁面２３２と、被検体側第一凸部３２１における側壁面３２２とは接触する。以上から、センサモジュールを被検体に取り付けた際に、被検体係合部３２における被検体側第一凸部３２１と、ケース係合部におけるケース側第一凹部２３１とは嵌合する。このため、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。なお、ケース２０におけるケース対向面２１の反対側の面２４にセンサモジュール１の取り付けの目印となるマーク２５が設けられている。マーク２５としては、例えば、Ｘ軸方向を示す目印となるマークまたは取り付け方向の目印となるマーク等である。 FIG. 4 is a schematic perspective view showing a state where the sensor module 1 and the subject 30 are engaged. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the sensor module 1 and the subject 30. When the sensor module 1 is attached to the subject 30, the case engaging portion 23 of the sensor module 1 is engaged with the subject engaging portion 32, and the direction along the case facing surface 21 of the case 20 (FIG. 4, relative movement in the X-axis direction and the Y-axis direction) is restricted. The case-side first concave portion 231 and the subject-side first convex portion 321 are engaged. The lower surface 233 of the case-side first concave portion 231 and the upper surface 323 of the subject-side first convex portion 321 are in contact with each other. The side wall surface 232 in the case-side first concave portion 231 and the side wall surface 322 in the subject-side first convex portion 321 are in contact with each other. From the above, when the sensor module is attached to the subject, the subject-side first convex portion 321 in the subject engaging portion 32 and the case-side first concave portion 231 in the case engaging portion are fitted. For this reason, when attaching the sensor module, it is possible to make the same position and the same orientation more accurately before and after the attachment. A mark 25 serving as a mark for mounting the sensor module 1 is provided on the surface 24 of the case 20 opposite to the case facing surface 21. The mark 25 is, for example, a mark serving as a mark indicating the X-axis direction or a mark serving as a mark in the mounting direction.

本実施の形態１のセンサモジュールにおいては、振動する被検体３０に対して磁力により取り付けられる。このようにすることで、振動する被検体３０にセンサモジュール１を容易に取り付けたり、被検体３０からセンサモジュール１を取り外したりすることができる。また、被検体３０の取り付け面３１には、被検体係合部３２が設けられる。ケース２０は被検体３０の取り付け面３１と対向するケース対向面２１を有する。ケース対向面２１にはケース係合部２３が設けられる。ケース係合部２３と、被検体係合部３２とは、ケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動を規制するように係合する。このようにすることで、ケース係合部２３と被検体係合部３２とを係合させて、被検体係合部３２に対するケース２０の相対的な移動を規制することができる。このため、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 In the sensor module of the first embodiment, the sensor module is attached to the vibrating subject 30 by magnetic force. In this way, the sensor module 1 can be easily attached to the vibrating subject 30 and the sensor module 1 can be detached from the subject 30. A subject engagement portion 32 is provided on the attachment surface 31 of the subject 30. The case 20 has a case facing surface 21 that faces the mounting surface 31 of the subject 30. A case engaging portion 23 is provided on the case facing surface 21. The case engaging portion 23 and the subject engaging portion 32 are engaged so as to restrict relative movement in the direction along the case facing surface 21. By doing so, the case engagement portion 23 and the subject engagement portion 32 can be engaged, and the relative movement of the case 20 with respect to the subject engagement portion 32 can be restricted. For this reason, when the sensor module 1 is attached, it can be accurately placed in the same position and in the same direction before and after the attachment.

このように、本実施の形態１のセンサモジュール１によれば、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能なセンサモジュール１を提供することができる。 Thus, according to the sensor module 1 of the first embodiment, when the sensor module 1 is attached, it is possible to provide the sensor module 1 that can be accurately placed in the same position and orientation before and after the attachment. .

なお、上記実施の形態では、振動センサ１０は、３軸の方向の振動を検知可能な振動センサとしたが、これに限らず、１軸の方向の振動を検知可能な振動センサであってもよい。このようにすることで、被検体の振動のうち、１軸の方向の振動を検知することができる。この場合の１軸の方向としては、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のいずれかである。また、振動センサ１０は、２軸の方向の振動を検知可能な振動センサであってもよい。このようにすることで、被検体の振動のうち、２軸の方向の振動を検知することができる。この場合の２軸の方向としては、例えば、Ｘ軸方向およびＹ軸方向、Ｘ軸方向およびＺ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向である。 In the above-described embodiment, the vibration sensor 10 is a vibration sensor that can detect vibration in the direction of three axes. However, the vibration sensor 10 is not limited to this, and may be a vibration sensor that can detect vibration in the direction of one axis. Good. By doing in this way, the vibration of the direction of one axis among the vibrations of the subject can be detected. In this case, the direction of one axis is, for example, one of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction. Further, the vibration sensor 10 may be a vibration sensor that can detect vibrations in the biaxial directions. By doing so, it is possible to detect the vibration in the biaxial direction among the vibrations of the subject. The biaxial directions in this case are, for example, the X axis direction and the Y axis direction, the X axis direction and the Z axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction.

なお、上記実施の形態では、ケース側第一凹部２３１は、矩形状に凹んだ形状を有するとしたが、これに限らず、多角柱状に凹んだ形状、一部の領域に曲面を有するように凹んだ形状等であってもよい。 In the above embodiment, the case-side first concave portion 231 has a shape that is recessed in a rectangular shape. However, the shape is not limited to this, and a shape that is recessed in a polygonal column shape and a curved surface in a part of the region. It may be a concave shape.

なお、上記実施の形態では、被検体側第一凸部３２１は、直方体状の形状を有するとしたが、これに限らず、ケース側第一凹部２３１の形状に対応して、多角柱状の形状、一部の領域に曲面を有するように突出した形状等であってもよい。 In the above embodiment, the subject-side first convex portion 321 has a rectangular parallelepiped shape. However, the shape is not limited to this, and a polygonal columnar shape corresponding to the shape of the case-side first concave portion 231 is used. Alternatively, it may have a shape protruding so as to have a curved surface in a part of the region.

なお、上記実施の形態では、被検体係合部３２は、被検体３０に対して接着剤により貼り付けられ配置されるとしたが、これに限らず、螺子部材等により取り付けられてもよい。また、被検体３０が鉄等の磁性体からなり、被検体係合部３２として磁力が大きい磁石を用いる場合には、接着剤や螺子部材を用いずに被検体係合部３２を被検体３０に載置して磁力により取り付けられてもよい。 In the above embodiment, the subject engaging portion 32 is attached to the subject 30 with an adhesive, but is not limited thereto, and may be attached by a screw member or the like. Further, when the subject 30 is made of a magnetic material such as iron and a magnet having a large magnetic force is used as the subject engaging portion 32, the subject engaging portion 32 is attached to the subject 30 without using an adhesive or a screw member. And may be attached by magnetic force.

なお、上記実施の形態では、被検体係合部３２は磁石からなり、ケース係合部２３を構成する材料は磁性体としたが、これに限らず、被検体係合部３２およびケース係合部２３のうち一方が磁石からなり、他方を構成する材料が磁性体である構成としてもよい。より具体的には、ケース係合部２３が磁石からなり、被検体係合部３２を構成する材料が磁性体であるようにしてもよい。また、被検体係合部３２およびケース係合部２３の両方が磁石からなるようにしてもよい。この場合、被検体係合部３２およびケース係合部２３のうちの一方がＮ極の磁極を有する磁石からなり、他方がＳ極の磁極を有する磁石からなるようにしてもよい。このように磁石を用いることで、被検体３０にセンサモジュール１をより安定して取り付けできる。 In the above embodiment, the subject engaging portion 32 is made of a magnet, and the material constituting the case engaging portion 23 is a magnetic body. However, the present invention is not limited to this, and the subject engaging portion 32 and the case engaging portion are made. One of the portions 23 may be a magnet, and the material constituting the other may be a magnetic body. More specifically, the case engaging portion 23 may be made of a magnet, and the material constituting the subject engaging portion 32 may be a magnetic material. Further, both the subject engaging part 32 and the case engaging part 23 may be made of magnets. In this case, one of the subject engaging portion 32 and the case engaging portion 23 may be made of a magnet having an N pole magnetic pole, and the other may be made of a magnet having an S pole magnetic pole. By using a magnet in this way, the sensor module 1 can be attached to the subject 30 more stably.

なお、上記実施の形態では、ケース係合部２３が、弾性部材６０を含むとしたが、これに限らず、被検体係合部３２が、弾性部材６０をさらに含むようにしてもよい。より具体的には、弾性部材６０は、被検体係合部３２の表面に配置されるようにしてもよい。弾性部材６０は、被検体側第一凸部３２１の上面３２３に配置されるようにしてもよい。ケース側第一凹部２３１における下面２３３と弾性部材６０とが接触する際に、弾性部材６０が下面２３３の形状に合わせて変形する。その結果、センサモジュール１を被検体３０に対して安定して取り付けできる。 In the above embodiment, the case engaging portion 23 includes the elastic member 60. However, the present invention is not limited thereto, and the subject engaging portion 32 may further include the elastic member 60. More specifically, the elastic member 60 may be disposed on the surface of the subject engaging portion 32. The elastic member 60 may be disposed on the upper surface 323 of the subject-side first convex portion 321. When the lower surface 233 and the elastic member 60 in the case-side first recess 231 come into contact with each other, the elastic member 60 is deformed according to the shape of the lower surface 233. As a result, the sensor module 1 can be stably attached to the subject 30.

図６は、実施の形態１におけるセンサモジュール１の第１の変形例を示す概略斜視図である。図６を参照して、ケース係合部２３は、ケース側第一凹部２３１内に設けられるケース側第二凹部２７１をさらに含む。ケース側第二凹部２７１は、図６におけるＺ軸方向に凹む。本実施の形態においても、ケース係合部２３は、ケース対向面２１側から見た形状において、重心Ｇから外周までの距離が、外周の周方向において変化する形状を有し、より詳細には、矩形状に凹んだ形状であるケース側第一凹部２３１を有する。ケース側第二凹部２７１は、矩形状の１つの隅を含むようにして、下面２３３からさらに矩形状に凹むように設けられる。このようにすることで、被検体係合部３２に対するケース係合部２３の位置を合わせやすくすることができ、センサモジュール１の取り付けが容易となる。なお、ケース側第二凹部２７１は、下面２３３の中央領域に設けられてもよい。ケース側第二凹部２７１は、側壁面２７２と、下面２７３とにより規定される。 FIG. 6 is a schematic perspective view showing a first modification of the sensor module 1 in the first embodiment. Referring to FIG. 6, case engagement portion 23 further includes a case-side second recess 271 provided in case-side first recess 231. The case-side second recess 271 is recessed in the Z-axis direction in FIG. Also in the present embodiment, the case engaging portion 23 has a shape in which the distance from the center of gravity G to the outer periphery changes in the circumferential direction of the outer periphery in the shape viewed from the case facing surface 21 side. The case-side first concave portion 231 has a rectangular concave shape. The case-side second recess 271 is provided so as to be further recessed in a rectangular shape from the lower surface 233 so as to include one corner of the rectangle. By doing so, the position of the case engaging portion 23 with respect to the subject engaging portion 32 can be easily aligned, and the sensor module 1 can be easily attached. The case-side second recess 271 may be provided in the central region of the lower surface 233. The case-side second recess 271 is defined by the side wall surface 272 and the lower surface 273.

図７は、第１の変形例における被検体３０および被検体係合部３２の構造を示す概略斜視図である。図７を参照して、被検体係合部３２は、被検体側第一凸部３２１内に設けられる被検体側第二凸部３７１を含む。被検体係合部３２は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース係合部２３と係合する形状を有する。被検体側第二凸部３７１は、ケース側第二凹部２７１の形状に対応するように設けられる。被検体側第二凸部３７１は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース側第二凹部２７１と係合する形状を有する。本実施の形態において、被検体側第二凸部３７１は、ケース側第二凹部２７１と嵌合する形状を有する。より具体的には、被検体側第二凸部３７１は、ケース側第二凹部２７１の形状に対応するように、矩形状に突出する形状を有する。被検体側第二凸部３７１は、側壁面３７２と、上面３７３とを含む。上面３７３の一辺の長さは、下面２７３の一辺の長さと一致するか、またはやや小さく形成される。 FIG. 7 is a schematic perspective view showing the structure of the subject 30 and the subject engaging portion 32 in the first modification. Referring to FIG. 7, the subject engaging portion 32 includes a subject side second convex portion 371 provided in the subject side first convex portion 321. The subject engagement portion 32 has a shape that engages with the case engagement portion 23 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. The subject-side second convex portion 371 is provided so as to correspond to the shape of the case-side second concave portion 271. The subject-side second convex portion 371 has a shape that engages with the case-side second concave portion 271 so that relative movement in the direction along the case facing surface 21 of the case 20 is restricted. In the present embodiment, the subject-side second convex portion 371 has a shape that fits with the case-side second concave portion 271. More specifically, the subject-side second convex portion 371 has a shape protruding in a rectangular shape so as to correspond to the shape of the case-side second concave portion 271. The subject-side second convex portion 371 includes a side wall surface 372 and an upper surface 373. The length of one side of the upper surface 373 coincides with the length of one side of the lower surface 273, or is formed slightly smaller.

センサモジュール１を被検体３０に取り付けた際に、ケース係合部２３は被検体係合部３２に対して係合し、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制される。より具体的には、被検体係合部３２における被検体側第一凸部３２１と、ケース係合部におけるケース側第一凹部２３１とは嵌合する。さらに、ケース係合部２３におけるケース側第二凹部２７１と、被検体係合部３２における被検体側第二凸部３７１とは嵌合する。このため、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 When the sensor module 1 is attached to the subject 30, the case engaging portion 23 engages with the subject engaging portion 32, and relative movement in the direction along the case facing surface 21 of the case 20 is performed. Be regulated. More specifically, the subject-side first convex portion 321 in the subject engaging portion 32 and the case-side first concave portion 231 in the case engaging portion are fitted. Further, the case-side second concave portion 271 in the case engaging portion 23 and the subject-side second convex portion 371 in the subject engaging portion 32 are fitted. For this reason, when the sensor module 1 is attached, the sensor module 1 can be placed in the same position and in the same direction more accurately before and after the attachment.

図８は、実施の形態１におけるセンサモジュール１の第２の変形例を示す概略斜視図である。図８を参照して、ケース係合部２３は、ケース側第一凹部２３１内に設けられるケース側第三凸部２８１をさらに含む。ケース側第三凸部２８１は、図８におけるＺ軸方向に突出する。本実施の形態においても、ケース係合部２３は、ケース対向面２１側から見た形状において、重心Ｇから外周までの距離が、外周の周方向において変化する形状を有し、より詳細には、矩形状に凹んだ形状であるケース側第一凹部２３１を有する。ケース側第三凸部２８１は、矩形状の１つの隅を含むようにして、下面２３３から矩形状に突出するように設けられる。このようにすることで、被検体係合部３２に対するケース係合部２３の位置を合わせやすくすることができ、センサモジュール１の取り付けが容易となる。なお、ケース側第三凸部２８１は、下面２３３の中央領域に設けられるようにしてもよい。ケース側第三凸部２８１は、側壁面２８２と、上面２８３とを含む。 FIG. 8 is a schematic perspective view showing a second modification of the sensor module 1 in the first embodiment. Referring to FIG. 8, case engaging portion 23 further includes a case side third convex portion 281 provided in case side first concave portion 231. The case-side third convex portion 281 protrudes in the Z-axis direction in FIG. Also in the present embodiment, the case engaging portion 23 has a shape in which the distance from the center of gravity G to the outer periphery changes in the circumferential direction of the outer periphery in the shape viewed from the case facing surface 21 side. The case-side first concave portion 231 has a rectangular concave shape. The case side third convex portion 281 is provided so as to protrude from the lower surface 233 into a rectangular shape so as to include one rectangular corner. By doing so, the position of the case engaging portion 23 with respect to the subject engaging portion 32 can be easily aligned, and the sensor module 1 can be easily attached. The case-side third convex portion 281 may be provided in the central region of the lower surface 233. The case side third convex portion 281 includes a side wall surface 282 and an upper surface 283.

図９は、第２の変形例における被検体３０および被検体係合部３２の構造を示す概略斜視図である。図９を参照して、被検体係合部３２は、被検体側第一凸部３２１内に設けられる被検体側第三凹部３８１をさらに含む。被検体係合部３２は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース係合部２３と係合する形状を有する。被検体側第三凹部３８１は、ケース側第三凸部２８１の形状に対応するように設けられる。被検体側第三凹部３８１は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース側第三凸部２８１と係合する形状を有する。本実施の形態において、被検体側第三凹部３８１は、ケース側第三凸部２８１と嵌合する形状を有する。より具体的には、被検体側第三凹部３８１は、ケース側第三凸部２８１の形状に対応するように、矩形状に凹んだ形状を有する。被検体側第三凹部３８１は、側壁面３８２と、下面３８３とにより規定される。下面３８３の一辺の長さは、上面２８３の一辺の長さと一致するか、またはやや大きく形成される。 FIG. 9 is a schematic perspective view showing the structure of the subject 30 and the subject engaging portion 32 in the second modified example. Referring to FIG. 9, the subject engagement portion 32 further includes a subject-side third concave portion 381 provided in the subject-side first convex portion 321. The subject engagement portion 32 has a shape that engages with the case engagement portion 23 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. The subject-side third concave portion 381 is provided so as to correspond to the shape of the case-side third convex portion 281. The subject-side third concave portion 381 has a shape that engages with the case-side third convex portion 281 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. In the present embodiment, the subject-side third concave portion 381 has a shape that fits with the case-side third convex portion 281. More specifically, the subject-side third concave portion 381 has a shape recessed in a rectangular shape so as to correspond to the shape of the case-side third convex portion 281. The subject-side third recess 381 is defined by the side wall surface 382 and the lower surface 383. The length of one side of the lower surface 383 is equal to or slightly larger than the length of one side of the upper surface 283.

センサモジュール１を被検体３０に取り付けた際に、ケース係合部２３は、被検体係合部３２に対して係合し、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制される。より具体的には、被検体係合部３２における被検体側第一凸部３２１と、ケース係合部におけるケース側第一凹部２３１とは嵌合する。さらに、ケース係合部２３におけるケース側第三凸部２８１と、被検体係合部３２における被検体側第三凹部３８１とは嵌合する。このため、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 When the sensor module 1 is attached to the subject 30, the case engaging portion 23 engages with the subject engaging portion 32, and the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21. Is regulated. More specifically, the subject-side first convex portion 321 in the subject engaging portion 32 and the case-side first concave portion 231 in the case engaging portion are fitted. Further, the case side third convex portion 281 in the case engaging portion 23 and the subject side third concave portion 381 in the subject engaging portion 32 are fitted. For this reason, when the sensor module 1 is attached, the sensor module 1 can be placed in the same position and in the same direction more accurately before and after the attachment.

図５を参照して、本発明の一実施形態に係る振動検知ユニット３は、被検体３０に取り付け可能な被検体係合部３２と、被検体係合部３２と係合してケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動を規制するように設けられたケース係合部２３を含むセンサモジュール１と、を含む。そのため、振動検知ユニット３によれば、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能な振動検知ユニット３を提供することができる。 Referring to FIG. 5, the vibration detection unit 3 according to one embodiment of the present invention is configured to engage with the subject engagement portion 32 that can be attached to the subject 30 and the subject engagement portion 32 to face the case. Sensor module 1 including a case engaging portion 23 provided to restrict relative movement in a direction along 21. Therefore, according to the vibration detection unit 3, it is possible to provide the vibration detection unit 3 that can be accurately placed in the same position and in the same direction before and after the attachment of the sensor module 1.

（実施の形態２）
次に、本願のセンサモジュール１の実施の形態２について説明する。図１０は、実施の形態２におけるセンサモジュール１の構造を示す概略斜視図である。実施の形態２は、基本的には実施の形態１の場合と同様の構成を有する。しかし、実施の形態２においては、ケース係合部２３と、被検体係合部３２との構造が、実施の形態１の場合と異なっている。以下、実施の形態１の場合とは異なる点について説明する。 (Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the sensor module 1 of the present application will be described. FIG. 10 is a schematic perspective view showing the structure of the sensor module 1 according to the second embodiment. The second embodiment basically has the same configuration as that of the first embodiment. However, in the second embodiment, the structures of the case engaging portion 23 and the subject engaging portion 32 are different from those in the first embodiment. Hereinafter, differences from the case of the first embodiment will be described.

図１１は、実施の形態２におけるセンサモジュール１の正面図である。図１１は、Ｙ軸方向を示す矢印の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図１２は、実施の形態２におけるセンサモジュールの背面図である。図１２は、Ｙ軸方向を示す矢印の向きとは反対の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図１３は、実施の形態２におけるセンサモジュールの平面図である。図１３は、Ｚ軸方向を示す矢印の向きとは反対の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図１４は、実施の形態２におけるセンサモジュールの底面図である。図１４は、Ｚ軸方向を示す矢印の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図１５は、実施の形態２におけるセンサモジュールの右側面図である。図１５は、Ｘ軸方向を示す矢印の向きとは反対の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図１６は、実施の形態２におけるセンサモジュールの左側面図である。図１６は、Ｘ軸方向を示す矢印の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図１７は、実施の形態２におけるセンサモジュールの斜視図である。 FIG. 11 is a front view of the sensor module 1 according to the second embodiment. FIG. 11 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction of the arrow indicating the Y-axis direction. FIG. 12 is a rear view of the sensor module according to the second embodiment. FIG. 12 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction opposite to the direction of the arrow indicating the Y-axis direction. FIG. 13 is a plan view of the sensor module according to the second embodiment. FIG. 13 is a view when the sensor module 1 is viewed from the direction opposite to the direction of the arrow indicating the Z-axis direction. FIG. 14 is a bottom view of the sensor module in the second embodiment. FIG. 14 is a view when the sensor module 1 is viewed from the direction of the arrow indicating the Z-axis direction. FIG. 15 is a right side view of the sensor module according to the second embodiment. FIG. 15 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction opposite to the direction of the arrow indicating the X-axis direction. FIG. 16 is a left side view of the sensor module according to the second embodiment. FIG. 16 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction of the arrow indicating the X-axis direction. FIG. 17 is a perspective view of the sensor module according to the second embodiment.

図１０を参照して、センサモジュール１は、ケース２０と、ケース係合部２３と、ケーブル接続部５１と、ケーブル５０と、を備える。ケーブル接続部５１には、ケーブル５０が接続される。ケース係合部２３は、ケース側第一凸部２４１を含む。ケース側第一凸部２４１は、図１０におけるＺ軸方向に突出する。本実施の形態においても、ケース係合部２３は、ケース対向面２１側から見た形状において、重心Ｇから外周までの距離が、外周の周方向において変化する形状を有し、より詳細には、矩形状に突出した形状であるケース側第一凸部２４１を有する。ケース側第一凸部２４１は、直方体状の形状を有する。ケース側第一凸部２４１は、側壁面２４２と、上面２４３と、を含む。上面２４３は、正方形状の形状を有する。本実施の形態においては、ケース係合部２３は、平板状の磁石からなる。ケース係合部２３は、ケース対向面２１に螺子部材またはビス等によって取り付けられる。 With reference to FIG. 10, the sensor module 1 includes a case 20, a case engaging portion 23, a cable connecting portion 51, and a cable 50. The cable 50 is connected to the cable connection portion 51. The case engaging portion 23 includes a case side first convex portion 241. The case-side first convex portion 241 protrudes in the Z-axis direction in FIG. Also in the present embodiment, the case engaging portion 23 has a shape in which the distance from the center of gravity G to the outer periphery changes in the circumferential direction of the outer periphery in the shape viewed from the case facing surface 21 side. The case-side first convex portion 241 has a shape protruding in a rectangular shape. The case side first convex part 241 has a rectangular parallelepiped shape. Case-side first convex portion 241 includes a side wall surface 242 and an upper surface 243. The upper surface 243 has a square shape. In the present embodiment, the case engaging portion 23 is made of a flat magnet. The case engaging portion 23 is attached to the case facing surface 21 with a screw member or a screw.

図１８は、実施の形態２における被検体３０および被検体係合部３２の構造を示す概略斜視図である。図１８を参照して、被検体係合部３２は、取り付け面３１に設けられた突出部である被検体突出部３０１からなる。被検体突出部３０１は、磁性体からなる材料を含む。本実施の形態においては、被検体突出部３０１は、鉄からなる。被検体突出部３０１は、取り付け面３１に接着剤等で取り付けられる。被検体突出部３０１は、直方体状の形状を有する。被検体突出部３０１は、図１８におけるＺ軸方向に突出する。被検体突出部３０１は、側壁面３０２と、上面３０３と、を含む。被検体突出部３０１は、被検体側第一凹部３３１を含む。被検体係合部３２は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース係合部２３と係合する形状を有する。被検体側第一凹部３３１は、ケース側第一凸部２４１の形状に対応するように設けられる。被検体側第一凹部３３１は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース側第一凸部２４１と係合する形状を有する。本実施の形態においては、被検体側第一凹部３３１は、ケース側第一凸部２４１と嵌合する形状を有する。より具体的には、被検体側第一凹部３３１は、ケース側第一凸部２４１の形状に対応するように、矩形状に凹んだ形状を有する。被検体側第一凹部３３１は、図１８におけるＺ軸方向に凹む。被検体側第一凹部３３１は、側壁面３３２と、下面３３３とから規定される。下面３３３の一辺の長さは、上面２４３の一辺の長さと一致するか、またはやや大きく形成される。 FIG. 18 is a schematic perspective view showing the structure of the subject 30 and the subject engaging portion 32 in the second embodiment. Referring to FIG. 18, the subject engagement portion 32 includes a subject protrusion 301 that is a protrusion provided on the attachment surface 31. The subject protrusion 301 includes a material made of a magnetic material. In the present embodiment, the subject protrusion 301 is made of iron. The subject protrusion 301 is attached to the attachment surface 31 with an adhesive or the like. The subject protrusion 301 has a rectangular parallelepiped shape. The subject protrusion 301 protrudes in the Z-axis direction in FIG. The subject protrusion 301 includes a side wall surface 302 and an upper surface 303. The subject protrusion 301 includes a subject-side first recess 331. The subject engagement portion 32 has a shape that engages with the case engagement portion 23 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. The subject-side first concave portion 331 is provided so as to correspond to the shape of the case-side first convex portion 241. The subject-side first concave portion 331 has a shape that engages with the case-side first convex portion 241 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. In the present embodiment, the subject-side first concave portion 331 has a shape that fits with the case-side first convex portion 241. More specifically, the subject-side first concave portion 331 has a shape recessed in a rectangular shape so as to correspond to the shape of the case-side first convex portion 241. The subject-side first recess 331 is recessed in the Z-axis direction in FIG. The subject-side first recess 331 is defined by the side wall surface 332 and the lower surface 333. The length of one side of the lower surface 333 is equal to or slightly larger than the length of one side of the upper surface 243.

センサモジュール１を被検体３０に取り付けた際に、ケース係合部２３は、被検体係合部３２に対して係合し、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制される。より具体的には、被検体係合部３２における被検体側第一凹部３３１と、ケース係合部２３におけるケース側第一凸部２４１とは嵌合する。このため、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 When the sensor module 1 is attached to the subject 30, the case engaging portion 23 engages with the subject engaging portion 32, and the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21. Is regulated. More specifically, the subject-side first concave portion 331 in the subject engaging portion 32 and the case-side first convex portion 241 in the case engaging portion 23 are fitted. For this reason, when the sensor module 1 is attached, the sensor module 1 can be placed in the same position and in the same direction more accurately before and after the attachment.

上記実施の形態２の構造を有するセンサモジュール１によっても、実施の形態１と同様に、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが可能なセンサモジュール１を提供することができる。 Also by the sensor module 1 having the structure of the second embodiment, as in the first embodiment, when the sensor module 1 is mounted, the sensor module 1 can be accurately positioned in the same position and in the same direction before and after the mounting. Can be provided.

なお、上記実施の形態では、ケース側第一凸部２４１は、直方体状の形状を有するとしたが、これに限らず、多角柱状の形状、一部の領域に曲面を有するように突出した形状等であってもよい。 In the above embodiment, the case-side first convex portion 241 has a rectangular parallelepiped shape. However, the shape is not limited to this, and the shape is a polygonal columnar shape or a shape protruding so as to have a curved surface in a part of the region. Etc.

なお、上記実施の形態では、被検体側第一凹部３３１は、矩形状に凹んだ形状を有するとしたが、これに限らず、ケース側第一凸部２４１の形状に対応して、多角柱状に凹んだ形状、一部の領域に曲面を有するように凹んだ形状等であってもよい。 In the above-described embodiment, the subject-side first concave portion 331 has a rectangular concave shape. However, the shape is not limited to this, and a polygonal column shape corresponding to the shape of the case-side first convex portion 241 is used. It may be a concave shape, a concave shape so as to have a curved surface in a part of the region, or the like.

図１９は、実施の形態２におけるセンサモジュール１の第１の変形例を示す概略斜視図である。図１９を参照して、ケース係合部２３は、ケース側第一凸部２４１に設けられるケース側第二凸部２５１をさらに含む。ケース側第二凸部２５１は、図２０におけるＺ軸方向に突出する。本実施の形態においても、ケース係合部２３は、ケース対向面２１側から見た形状において、重心Ｇから外周までの距離が、外周の周方向において変化する形状を有し、より詳細には、矩形状に突出した形状であるケース側第一凸部２４１を有する。ケース側第二凸部２５１は、矩形状の１つの隅を含むようにして、上面２４３から矩形状に突出するように設けられる。このようにすることで、被検体係合部３２に対するケース係合部２３の位置を合わせやすくすることができ、センサモジュール１の取り付けが容易となる。ケース側第二凸部２５１は、上面２４３の中央領域に配置されるようにしてもよい。ケース側第二凸部２５１は、側壁面２５２と、上面２５３とを含む。 FIG. 19 is a schematic perspective view showing a first modification of the sensor module 1 in the second embodiment. Referring to FIG. 19, the case engaging portion 23 further includes a case side second convex portion 251 provided on the case side first convex portion 241. The case-side second convex portion 251 protrudes in the Z-axis direction in FIG. Also in the present embodiment, the case engaging portion 23 has a shape in which the distance from the center of gravity G to the outer periphery changes in the circumferential direction of the outer periphery in the shape viewed from the case facing surface 21 side. The case-side first convex portion 241 has a shape protruding in a rectangular shape. The case-side second convex portion 251 is provided so as to protrude from the upper surface 243 in a rectangular shape so as to include one rectangular corner. By doing so, the position of the case engaging portion 23 with respect to the subject engaging portion 32 can be easily aligned, and the sensor module 1 can be easily attached. The case-side second convex portion 251 may be disposed in the central region of the upper surface 243. Case-side second convex portion 251 includes a side wall surface 252 and an upper surface 253.

図２０は、第１の変形例における被検体３０および被検体係合部３２の構造を示す概略斜視図である。図２０を参照して、被検体係合部３２は、被検体側第一凹部３３１内に設けられる被検体側第二凹部３４１をさらに含む。被検体係合部３２は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース係合部２３と係合する形状を有する。被検体側第二凹部３４１は、ケース側第二凸部２５１の形状に対応するように設けられる。被検体側第二凹部３４１は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース側第二凸部２５１と係合する形状を有する。本実施の形態においては、被検体側第二凹部３４１は、ケース側第二凸部２５１と嵌合する形状を有する。より具体的には、被検体側第二凹部３４１は、ケース側第二凸部２５１の形状に対応するように、矩形状に凹んだ形状を有する。被検体側第二凹部３４１は、側壁面３４２と、下面３４３とから規定される。下面３４３の一辺の長さは、上面２５３の一辺の長さと一致するか、またはやや大きく形成される。 FIG. 20 is a schematic perspective view showing the structure of the subject 30 and the subject engaging portion 32 in the first modification. Referring to FIG. 20, the subject engagement portion 32 further includes a subject-side second recess 341 provided in the subject-side first recess 331. The subject engagement portion 32 has a shape that engages with the case engagement portion 23 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. The subject-side second concave portion 341 is provided so as to correspond to the shape of the case-side second convex portion 251. The subject-side second concave portion 341 has a shape that engages with the case-side second convex portion 251 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. In the present embodiment, the subject-side second concave portion 341 has a shape that fits with the case-side second convex portion 251. More specifically, the subject-side second concave portion 341 has a shape recessed in a rectangular shape so as to correspond to the shape of the case-side second convex portion 251. The subject-side second recess 341 is defined by the side wall surface 342 and the lower surface 343. The length of one side of the lower surface 343 is equal to or slightly larger than the length of one side of the upper surface 253.

センサモジュール１を被検体３０に取り付けた際に、ケース係合部２３は、被検体係合部３２に対して係合し、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制される。より具体的には、被検体係合部３２における被検体側第一凹部３３１と、ケース係合部２３におけるケース側第一凸部２４１とは嵌合する。さらに、ケース係合部２３におけるケース側第二凸部２５１と、被検体係合部３２における被検体側第二凹部３４１とは嵌合する。このため、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 When the sensor module 1 is attached to the subject 30, the case engaging portion 23 engages with the subject engaging portion 32, and the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21. Is regulated. More specifically, the subject-side first concave portion 331 in the subject engaging portion 32 and the case-side first convex portion 241 in the case engaging portion 23 are fitted. Further, the case-side second convex portion 251 in the case engaging portion 23 and the subject-side second concave portion 341 in the subject engaging portion 32 are fitted. For this reason, when the sensor module 1 is attached, the sensor module 1 can be placed in the same position and in the same direction more accurately before and after the attachment.

図２１は、実施の形態２におけるセンサモジュール１の第２の変形例を示す概略斜視図である。図２１を参照して、ケース係合部２３は、ケース側第一凸部２４１に設けられるケース側第三凹部２６１をさらに含む。ケース側第三凹部２６１は、図２１におけるＺ軸方向に凹む。本実施の形態においても、ケース係合部２３は、ケース対向面２１側から見た形状において、重心Ｇから外周までの距離が、外周の周方向において変化する形状を有し、より詳細には、矩形状に突出した形状であるケース側第一凸部２４１を有する。ケース側第三凹部２６１は、矩形状の１つの隅を含むようにして、上面２４３からさらに矩形状に凹むように設けられる。このようにすることで、被検体係合部３２に対するケース係合部２３の位置を合わせやすくすることができ、センサモジュール１の取り付けが容易となる。ケース側第三凹部２６１は、上面２４３の中央領域に設けられるようにしてもよい。ケース側第三凹部２６１は、側壁面２６２と、下面２６３とから規定される。 FIG. 21 is a schematic perspective view showing a second modification of the sensor module 1 in the second embodiment. Referring to FIG. 21, the case engaging portion 23 further includes a case side third concave portion 261 provided in the case side first convex portion 241. The case-side third recess 261 is recessed in the Z-axis direction in FIG. Also in the present embodiment, the case engaging portion 23 has a shape in which the distance from the center of gravity G to the outer periphery changes in the circumferential direction of the outer periphery in the shape viewed from the case facing surface 21 side. The case-side first convex portion 241 has a shape protruding in a rectangular shape. The case-side third recess 261 is provided so as to be further recessed in a rectangular shape from the upper surface 243 so as to include one corner of the rectangle. By doing so, the position of the case engaging portion 23 with respect to the subject engaging portion 32 can be easily aligned, and the sensor module 1 can be easily attached. The case side third recess 261 may be provided in the central region of the upper surface 243. The case side third recess 261 is defined by the side wall surface 262 and the lower surface 263.

図２２は、第２の変形例における被検体３０および被検体係合部３２の構造を示す概略斜視図である。図２２を参照して、被検体係合部３２は、被検体側第一凹部３３１内に設けられる被検体側第三凸部３５１をさらに含む。被検体係合部３２は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース係合部２３と係合する形状を有する。被検体側第三凸部３５１は、ケース側第三凹部２６１の形状に対応するように設けられる。被検体側第三凸部３５１は、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制されるようにケース側第三凹部２６１と係合する形状を有する。本実施の形態においては、被検体側第三凸部３５１は、ケース側第三凹部２６１と嵌合する形状を有する。より具体的には、被検体側第三凸部３５１は、ケース側第三凹部２６１の形状に対応するように、矩形状に突出する形状を有する。被検体側第三凸部３５１は、側壁面３５２と、上面３５３とを含む。上面３５３の一辺の長さは、下面２６３の一辺の長さと一致するか、またはやや小さく形成される。 FIG. 22 is a schematic perspective view showing the structure of the subject 30 and the subject engaging portion 32 in the second modification. With reference to FIG. 22, the subject engaging portion 32 further includes a subject side third convex portion 351 provided in the subject side first concave portion 331. The subject engagement portion 32 has a shape that engages with the case engagement portion 23 so that the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21 is restricted. The subject-side third convex portion 351 is provided so as to correspond to the shape of the case-side third concave portion 261. The subject-side third convex portion 351 has a shape that engages with the case-side third concave portion 261 so that relative movement in the direction along the case facing surface 21 of the case 20 is restricted. In the present embodiment, the subject-side third convex portion 351 has a shape that fits with the case-side third concave portion 261. More specifically, the subject-side third convex portion 351 has a shape protruding in a rectangular shape so as to correspond to the shape of the case-side third concave portion 261. The subject-side third convex portion 351 includes a side wall surface 352 and an upper surface 353. The length of one side of the upper surface 353 is equal to or slightly smaller than the length of one side of the lower surface 263.

センサモジュール１を被検体３０に取り付けた際に、ケース係合部２３は、被検体係合部３２に対して係合し、ケース２０のケース対向面２１に沿った方向への相対的な運動が規制される。より具体的には、被検体係合部３２における被検体側第一凹部３３１と、ケース係合部２３におけるケース側第一凸部２４１とは嵌合する。さらに、ケース係合部２３におけるケース側第三凹部２６１と、被検体係合部３２における被検体側第三凸部３５１とは嵌合する。このため、センサモジュール１の取り付けに際して、取り付けの前後でより精度良く同じ位置および同じ向きにすることができる。 When the sensor module 1 is attached to the subject 30, the case engaging portion 23 engages with the subject engaging portion 32, and the relative movement of the case 20 in the direction along the case facing surface 21. Is regulated. More specifically, the subject-side first concave portion 331 in the subject engaging portion 32 and the case-side first convex portion 241 in the case engaging portion 23 are fitted. Further, the case-side third concave portion 261 in the case engaging portion 23 and the subject-side third convex portion 351 in the subject engaging portion 32 are fitted. For this reason, when the sensor module 1 is attached, the sensor module 1 can be placed in the same position and in the same direction more accurately before and after the attachment.

図２３は、実施の形態２におけるセンサモジュール１の第３の変形例を示す概略斜視図である。図２４は、実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュール１の正面図である。図２４は、Ｙ軸方向を示す矢印の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図２５は、実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュール１の第３の変形例の背面図である。図２５は、Ｙ軸方向を示す矢印の向きとは反対の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図２６は、実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュール１の第３の変形例の平面図である。図２６は、Ｚ軸方向を示す矢印の向きとは反対の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図２７は、実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュール１の第３の変形例の底面図である。図２７は、Ｚ軸方向を示す矢印の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図２８は、実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュール１の第３の変形例の右側面図である。図２８は、Ｘ軸方向を示す矢印の向きとは反対の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図２９は、実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュール１の第３の変形例の左側面図である。図２９は、Ｘ軸方向を示す矢印の向きからセンサモジュール１を見た時の図である。図３０は、実施の形態２の第３の変形例のセンサモジュール１の斜視図である。 FIG. 23 is a schematic perspective view illustrating a third modification of the sensor module 1 according to the second embodiment. FIG. 24 is a front view of a sensor module 1 according to a third modification of the second embodiment. FIG. 24 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction of the arrow indicating the Y-axis direction. FIG. 25 is a rear view of a third modification of the sensor module 1 of the third modification of the second embodiment. FIG. 25 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction opposite to the direction of the arrow indicating the Y-axis direction. FIG. 26 is a plan view of a third modification of the sensor module 1 of the third modification of the second embodiment. FIG. 26 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction opposite to the direction of the arrow indicating the Z-axis direction. FIG. 27 is a bottom view of a third modification of the sensor module 1 of the third modification of the second embodiment. FIG. 27 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction of the arrow indicating the Z-axis direction. FIG. 28 is a right side view of the third modification of the sensor module 1 of the third modification of the second embodiment. FIG. 28 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction opposite to the direction of the arrow indicating the X-axis direction. FIG. 29 is a left side view of a third modification of the sensor module 1 of the third modification of the second embodiment. FIG. 29 is a diagram when the sensor module 1 is viewed from the direction of the arrow indicating the X-axis direction. FIG. 30 is a perspective view of a sensor module 1 according to a third modification of the second embodiment.

図２３を参照して、ケース係合部２３は、ケース側第一凸部２４１と、磁石保持部４１と、磁石体４２と、を含む。磁石体４２は、複数の磁石体からなる。本実施の形態においては、磁石体４２は、４つである。磁石体４２は、球状の形状を有する。磁石保持部４１は、磁石体４２を保持する貫通孔が形成されている。磁石保持部４１によって、複数の磁石体４２は離隔するようにして保持される。磁石保持部４１は、弾性を有する弾性部材からなる。本実施の形態においては、磁石保持部４１は、弾性シートからなる。磁石保持部４１は、ケース側第一凸部２４１の上面２４３と接触するように配置される。磁石保持部４１は、取り付け面３１に対向するように配置される。磁石保持部４１は、ケース側第一凸部２４１の上面２４３に螺子部材等により取り付けられる。このようにすることで、種々の表面形状を有し、磁性体からなる設置対象を含む被検体３０に対して、センサモジュール１を安定して設置することができる。 Referring to FIG. 23, case engaging portion 23 includes a case side first convex portion 241, a magnet holding portion 41, and a magnet body 42. The magnet body 42 is composed of a plurality of magnet bodies. In the present embodiment, there are four magnet bodies 42. The magnet body 42 has a spherical shape. The magnet holding part 41 has a through hole for holding the magnet body 42. A plurality of magnet bodies 42 are held apart by the magnet holding portion 41. The magnet holding part 41 is made of an elastic member having elasticity. In the present embodiment, the magnet holding part 41 is made of an elastic sheet. The magnet holding part 41 is arrange | positioned so that the upper surface 243 of the case side 1st convex part 241 may contact. The magnet holding part 41 is disposed so as to face the attachment surface 31. The magnet holding part 41 is attached to the upper surface 243 of the case-side first convex part 241 with a screw member or the like. By doing in this way, the sensor module 1 can be stably installed with respect to the test object 30 which has various surface shapes and contains the installation object which consists of magnetic bodies.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and are not restrictive in any aspect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the meaning described above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本願のセンサモジュールは、センサモジュールの取り付けに際して、取り付けの前後で精度良く同じ位置および同じ向きにすることが求められるセンサモジュールに、特に有利に適用される。 The sensor module of the present application is particularly advantageously applied to a sensor module that is required to be accurately placed in the same position and in the same direction before and after the sensor module is attached.

１センサモジュール
３振動検知ユニット
１０振動センサ
２０ケース
２１ケース対向面
２２ケーブル接続面
２３ケース係合部
２４面
２５マーク
３０被検体
３１取り付け面
３２被検体係合部
４１磁石保持部
４２磁石体
５０ケーブル
５１ケーブル接続部
６０弾性部材
２３１ケース側第一凹部
２３２側壁面
２３３下面
２４１ケース側第一凸部
２４２側壁面
２４３上面
２５１ケース側第二凸部
２５２側壁面
２５３上面
２６１ケース側第三凹部
２６２側壁面
２６３下面
２７１ケース側第二凹部
２７２側壁面
２７３下面
２８１ケース側第三凸部
２８２側壁面
２８３上面
３０１被検体突出部
３０２側壁面
３０３上面
３２１被検体側第一凸部
３２２側壁面
３２３上面
３３１被検体側第一凹部
３３２側壁面
３３３下面
３４１被検体側第二凹部
３４２側壁面
３４３下面
３５１被検体側第三凸部
３５２側壁面
３５３上面
３７１被検体側第二凸部
３７２側壁面
３７３上面
３８１被検体側第三凹部
３８２側壁面
３８３下面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor module 3 Vibration detection unit 10 Vibration sensor 20 Case 21 Case opposing surface 22 Cable connection surface 23 Case engaging part 24 Surface 25 Mark 30 Subject 31 Attachment surface 32 Subject engaging part 41 Magnet holding part 42 Magnet body 50 Cable 51 Cable connection portion 60 Elastic member 231 Case side first concave portion 232 Side wall surface 233 Lower surface 241 Case side first convex portion 242 Side wall surface 243 Upper surface 251 Case side second convex portion 252 Side wall surface 253 Upper surface 261 Case side third concave portion 262 side Wall surface 263 Lower surface 271 Case-side second concave portion 272 Side wall surface 273 Lower surface 281 Case-side third convex portion 282 Side wall surface 283 Upper surface 301 Subject projection portion 302 Side wall surface 303 Upper surface 321 Subject-side first convex portion 322 Side wall surface 323 Upper surface 331 Subject side first recess 332 side Wall surface 333 Lower surface 341 Subject side second concave portion 342 Side wall surface 343 Lower surface 351 Subject side third convex portion 352 Side wall surface 353 Upper surface 371 Subject side second convex portion 372 Side wall surface 373 Upper surface 381 Subject side third concave portion 382 side Wall surface 383 Lower surface

Claims

A sensor module attached to a vibrating subject by magnetic force,
A vibration sensor;
A case for accommodating the vibration sensor,
The case has a case facing surface that faces a mounting surface that is a surface to which the sensor module of the subject is attached when the sensor module is attached to the subject.
The case facing surface has a case engaging portion that engages with a subject engaging portion provided on the mounting surface so that relative movement in a direction along the case facing surface is restricted. A sensor module provided.

The sensor module according to claim 1, wherein the case engagement portion has a shape that fits into the subject engagement portion.

The sensor module according to claim 1, wherein the case engagement portion includes a case-side first convex portion that engages with a subject-side first concave portion provided in the subject engagement portion.

The case engaging portion includes a case side second convex portion provided in the case side first convex portion so as to engage with a subject side second concave portion provided in the subject side first concave portion, The sensor module according to claim 3.

The case engaging portion includes a case side third concave portion provided in the case side first convex portion so as to engage with a subject side third convex portion provided in the subject side first concave portion, The sensor module according to claim 3 or 4.

The said case engaging part contains the case side 1st recessed part engaged with the subject side 1st convex part provided in the said subject engaging part, The any one of Claims 1-5. Sensor module.

The case engagement portion includes a case-side second concave portion provided in the case-side first concave portion so as to engage with a subject-side second convex portion provided in the subject-side first convex portion. Item 7. The sensor module according to Item 6.

The case engaging portion includes a case side third convex portion provided in the case side first concave portion so as to engage with a subject side third concave portion provided in the subject side first convex portion. Item 8. The sensor module according to item 6 or item 7.

The said case engaging part has a shape from which the distance from a gravity center to an outer periphery changes in the circumferential direction of the said outer periphery seeing from the said case opposing surface side. Sensor module.

The sensor module according to claim 1, wherein the case engaging portion is made of a magnet.

The sensor module according to any one of claims 1 to 9, wherein the case engaging portion includes a plurality of magnet bodies and a magnet holding portion that holds the plurality of magnet bodies so as to be separated from each other.

The sensor module according to claim 1, wherein the case engagement part further includes an elastic member disposed on a surface of the case engagement part.

The sensor module according to any one of claims 1 to 12, wherein the vibration sensor detects a vibration in at least a first direction and a second direction intersecting the first direction.

The sensor module according to any one of claims 1 to 13,
A vibration detecting unit including the subject engaging portion attachable to the subject.