JP2019010483A - 磁界計測装置および計測磁界表示方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 磁気シールドルームと、
前記磁気シールドルームの内部に配置される磁気センサと、
前記磁気シールドルームの外部に配置される参照用磁気センサと、
前記磁気センサからの磁界時系列データ及び前記参照用磁気センサからの環境磁界時系列データが入力される演算装置とを有し、
前記演算装置は、前記磁界時系列データに含まれる環境磁界の大きさを、前記磁界時系列データと前記環境磁界時系列データから求めた推定環境磁界時系列データとの所定の評価関数を最小とするように求め、かつ、前記推定環境磁界時系列データを求めるにあたり、前記環境磁界時系列データに対して前記磁気シールドルームの周波数毎の磁界低減効果を適用する磁界計測装置。 - 請求項1において、
前記磁気センサは1軸の磁界成分を検出する超電導磁気センサであり、
前記参照用磁気センサは、複数軸の磁界成分を検出する常温磁気センサであり、
前記所定の評価関数は、前記磁界時系列データとそれぞれ重み付けをした前記複数軸ごとの前記推定環境磁界時系列データとの差の総和として表される磁計計測装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記推定環境磁界時系列データを求めるにあたり、さらに前記磁気センサの構造に基づく磁界低減効果及び前記磁気センサの出力に加えられるアナログフィルタの磁界低減効果を適用する磁界計測装置。 - 請求項1において、
前記磁気シールドルームの周囲に設けられ、前記磁気センサが検出する軸方向の磁界を発生するアクティブキャンセル用コイルと、
前記軸方向の環境磁界を計測するアクティブキャンセル用磁気センサと、
前記アクティブキャンセル用磁気センサで計測した環境磁気を打ち消すための磁界を前記アクティブキャンセル用コイルに発生させる制御回路とを有する磁計計測装置。 - 請求項1において、
複数の前記磁気センサがアレイ状に配置されて、複数チャンネルの磁気センサアレイを構成し、
前記演算装置は、前記磁気センサアレイのチャンネルごとに、前記磁界時系列データと前記所定の評価関数を最小とするように重み付けをした前記推定環境磁界時系列データとの一致度を算出する磁界計測装置。 - 請求項5において、
表示装置を有し、
前記表示装置は、前記磁界時系列データから前記所定の評価関数を最小とするように重み付けをした前記推定環境磁界時系列データにより環境磁界を低減した計測磁界を表示する磁界計測装置。 - 請求項6において、
前記複数のチャンネルごとの一致度を前記表示装置に表示し、
前記表示装置は、前記一致度の大きさを識別可能に表示する磁界計測装置。 - 請求項6において、
前記表示装置は、前記演算装置が前記推定環境磁界時系列データを求めるための設定画面を有し、
前記設定画面において、前記磁気シールドルームの磁気シールド率の周波数特性を表示する磁界計測装置。 - 磁気シールドルームの内部に配置される複数チャンネルの磁気センサアレイのそれぞれから磁界時系列データを取得し、
前記磁界時系列データの取得と同時に、前記磁気シールドルームの外部に配置される参照用磁気センサから環境磁界時系列データを取得し、
前記環境磁界時系列データに対して前記磁気シールドルームの周波数毎の磁界低減効果を含む磁界計測装置の磁界低減効果を適用して推定環境磁界時系列データを求め、
前記磁界時系列データに含まれる環境磁界の大きさを、前記磁界時系列データと前記推定環境磁界時系列データとの所定の評価関数を最小とするように求め、
前記磁気センサアレイのチャンネルごとに、前記磁界時系列データと前記所定の評価関数を最小とするように重み付けをした前記推定環境磁界時系列データとの一致度を算出し、
前記磁気センサアレイのチャンネルごとの前記一致度を表示装置に表示し、
前記参照用磁気センサを用いた環境磁界低減処理の可否を定めるしきい値の設定を受け、
前記一致度が前記しきい値以上のチャンネルについては、前記磁界時系列データから前記所定の評価関数を最小とするように重み付けをした前記推定環境磁界時系列データにより環境磁界を低減した計測磁界を表示し、前記一致度が前記しきい値未満のチャンネルについては、前記磁界時系列データを表示する計測磁界表示方法。 - 請求項9において、
前記磁気センサアレイはそれぞれ1軸の磁界成分を検出する超電導磁気センサがアレイ状に配置されて構成され、
前記参照用磁気センサは、複数軸の磁界成分を検出する常温磁気センサであり、
前記所定の評価関数は、前記磁界時系列データとそれぞれ重み付けをした前記複数軸ごとの前記推定環境磁界時系列データとの差の総和である計測磁界表示方法。 - 請求項9において、
前記磁界計測装置の磁界低減効果として、さらに前記磁気センサアレイを構成する磁気センサの構造に基づく磁界低減効果及び前記磁気センサの出力に加えられるアナログフィルタの磁界低減効果を含む計測磁界表示方法。
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