JP2016105417A - 抽出構造体を備えた導光体の製造方法及びその方法で製造された導光体 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2006年5月18日に出願された米国仮出願第60/747,609号の優先権を主張するものであり、その仮出願の内容は参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、光抽出構造体、光抽出構造体アレイ、及び/又は光抽出構造体アレイのマスター型を製造する方法に関し、別の観点では、この方法により製造された光抽出構造体、光抽出構造体アレイ、及び/又は光抽出構造体アレイのマスター型に関する。本発明は、光抽出構造体アレイを備えた導光体、及び導光体を備えた物品にも関する。
不均一な分布を有する複数個の光抽出構造体を備えた光抽出構造体アレイであって、光抽出構造体がそれぞれ主軸線及び少なくとも1つの形状因子を有し、複数個の光抽出構造体が全体に渡って面密度、少なくとも1つの形状因子、及び主軸線に変化を示す、光抽出構造体アレイ;
不均一な分布を有する複数個の光抽出構造体を備えた光抽出構造体アレイであって、光抽出構造体がそれぞれ幾何学的形状を有し、少なくとも1つの光抽出構造体の幾何学的形状が切頭非球面体である、光抽出構造体アレイ;
アレイを備えた導光体;及び
導光体を備えた光学デバイス(例えば、背面照明ディスプレイ又は背面照明キーパッド)。
本特許出願で使用する場合:
「平均表面粗さ」は、光抽出構造体の実際の表面特性の平均偏差及びその平均表面特性を意味する。
「硬化」は、重合及び/又は架橋を引き起こすことを意味する。
光反応組成物内で使用するのに好適な反応種には、硬化性の化学種と非硬化性の化学種の双方が挙げられる。硬化性の化学種が一般に好ましく、又硬化性の化学種には、例えば、付加重合性モノマー及びオリゴマーと付加架橋性ポリマー(例えばアクリレート、メタクリレート、及びスチレンなどの特定のビニル化合物を含む、ラジカル重合性又は架橋性のエチレン系不飽和の化学種)、更には、カチオン重合性モノマー及びオリゴマーとカチオン架橋性ポリマー(この化学種は最も一般的には酸開始されており、又この化学種には、例えばエポキシ、ビニルエーテル、シアネートエステルなどが挙げられる)、その他同種のもの、並びにそれらの混合物が挙げられる。
この光開始剤系は多光子光開始剤系であるが、これは、そのような系を使用することにより、光の集束ビームの焦点領域に重合作用を制限又は限定することが可能となるからである。そのような系は好ましくは、少なくとも1つの多光子光増感剤と、少なくとも1つの光開始剤(又は電子受容体)と、任意選択による少なくとも1つの電子供与体とを含む二成分又は三成分系である。そのような多成分系は感度の向上をもたらすことができ、光反応をより短い期間で成し遂げることが可能であり、それによって、サンプル及び/又は露光系の1つ以上の成分の動きに起因する問題が生じる可能性が減じられる。
光反応組成物の多光子光開始剤系における使用に好適な多光子光増感剤は、十分な光に露光されると少なくとも2つの光子を同時に吸収しうるものである。好ましくは、光増感剤は、フルオレセインよりも大きい(即ち、3’,6’−ジヒドロキシスピロ[イソベンゾフラン−1(3H),9’−[9H]キサンテン]3−オンよりも大きい)二光子吸収断面積を有している。一般に、好ましい断面は、C.ズ(Xu)及びW.W.ウェブ(W. W. Webb)によりJ.Opt.Soc.Am.B、13巻、481頁(1996年)(それは、マーダー(Marder)及びペリー(Perry)によりPCT国際公開特許WO98/21521、85頁18〜22列に引用されている)に記載された方法で測定される約50×10−50cm4秒/光子を超えることができる。
光反応性組成物の多光子光開始剤系に有用な電子供与体化合物は、電子を光増感剤の電子励起状態に供与できるこれらの化合物(光増感剤自身以外)である。そのような化合物は、任意選択により、光開始剤系の多光子感光性を増大させ、それによって光反応性組成物の光反応を成し遂げるのに必要な露光を減少させるために使用することができる。電子供与体化合物は好ましくは、ゼロより大きく且つp−ジメトキシベンゼンの酸化電位以下である酸化電位を有している。好ましくは、酸化電位は、標準的な飽和カロメル電極(「S.C.E.」)に対して約0.3ボルトと1ボルトの間である。
一般に、特定の光増感剤及び光開始剤と共に使用するのに好適な電子供与体化合物は、(例えば、米国特許第4,859,572号(ファリド(Farid)ら)において述べられている)3つの成分の酸化電位及び還元電位を比較することによって選択することができる。そのような電位は、実験的に(例えば、R.J.コックス(R. J. Cox)によって「写真感度(Photographic Sensitivity)」の第15章(Chapter 15)、Academic Press(1973)で述べられている方法によって)測定することができ、又、N.L.ワインバーグ(Weinburg)監修、有機電解合成の技術パートII、化学の技術、5巻(1975年)、及びC.K.マン(Mann)及びK.K.バーンズ(Barnes)非水系における電気化学反応(1970年)から得ることができる。これらの電位は、相対的なエネルギー関係を反映するものであり、電子供与体化合物を選択する指針として使用することができる。
Ar3B−(n−C4H9)N+(CH3)4
Ar3B−(n−C4H9)N+(n−C4H9)4
Ar3B−(n−C4H9)Li+
Ar3B−(n−C4H9)N+(C6H13)4
Ar3B−−(C4H9)N+(CH3)3(CH2)2CO2(CH2)2CH3
Ar3B−−(C4H9)N+(CH3)3(CH2)2OCO(CH2)2CH3
Ar3B−−(sec−C4H9)N+(CH3)3(CH2)2CO2(CH2)2CH3
Ar3B−−(sec−C4H9)N+(C6H13)4
Ar3B−−(C4H9)N+(C8H17)4
Ar3B−−(C4H9)N+(CH3)4
(p−CH3O−C6H4)3B−(n−C4H9)N+(n−C4H9)4
Ar3B−−(C4H9)N+(CH3)3(CH2)2OH
ArB−(n−C4H9)3N+(CH3)4
ArB−(C2H5)3N+(CH3)4
Ar2B−(n−C4H9)2N+(CH3)4
Ar3B−(C4H9)N+(C4H9)4
Ar4B−N+(C4H9)4
ArB−(CH3)3N+(CH3)4
(n−C4H9)4B−N+(CH3)4
Ar3B−(C4H9)P+(C4H9)4
(式中、Arは、フェニル、ナフチル、置換(好ましくは、フッ素置換)フェニル、置換ナフチル及び多数の縮合芳香環を有するその類の基)加えてテトラメチルアンモニウムn−ブチルトリフェニルホウ酸塩及びテトラブチルアンモニウムn−ヘキシル−トリス(3−フルオロフェニル)ホウ酸塩、並びにこれらの混合物が挙げられる。
光反応性組成物の反応種に好適な光開始剤(即ち、電子受容体化合物)は、電子励起状態の多光子光増感剤から電子を受容し、結果として、少なくとも1つのフリーラジカル及び/又は酸が形成されることによって感光化することが可能な光開始剤である。そのような光開始剤には、ヨードニウム塩(例えば、ジアリールヨードニウム塩)、スルホニウム塩(例えば、所望によりアルキル基又はアルコキシ基で置換されており、又任意選択により、隣接アリール部分を橋渡ししている2,2’オキシ基を有するトリアリールスルホニウム塩)、その他同種のもの、及びそれらの混合物がある。
メチルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート
ジメチルフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート
トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート
トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩
ジフェニルナフチルスルホニウムヘキサフルオロヒ酸塩
トリトリルスルホニウム(tritolysulfonium)ヘキサフルオロホスフェート
アニシルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩
4−ブトキシフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート
4−クロロフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート
トリ(4−フェノキシフェニル)スルホニウムヘキサフルオロホスフェート
ジ(4−エトキシフェニル)メチルスルホニウムヘキサフルオロヒ酸塩
4−アセトニルフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート
4−チオメトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート
ジ(メトキシスルホニルフェニル)メチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩
ジ(ニトロフェニル)フェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩
ジ(カルボメトキシフェニル)メチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート
4−アセトアミドフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート
ジメチルナフチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート
トリフルオロメチルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート
p−(フェニルチオフェニル)ジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩
10−メチルフェノキサチイニウムヘキサフルオロホスフェート
5−メチルチアンスレニニウムヘキサフルオロホスフェート
10−フェニル−9,9−ジメチルチオキサンテニウムヘキサフルオロホスフェート
10−フェニル−9−オキソチオキサンテニウムテトラフルオロボレート
5−メチル−10−オキソチアンスレニウムテトラフルオロボレート
5−メチル−10,10−ジオキソチアンスレニウムヘキサフルオロホスフェート
好ましいスルホニウム塩には、トリアリールスルホニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩(例えば、サートマー社(Sartomer Company)から入手可能なSarCat(商標)SR1010)、トリアリールスルホニウムヘキサフルオロホスフェート(例えば、サートマー社(Sartomer Company)から入手可能なSarCat(商標)SR1011)、及びトリアリールスルホニウムヘキサフルオロホスフェート(例えば、サートマー社(Sartomer Company)から入手可能なSarCat(商標)KI85)などのトリアリール置換塩が挙げられる。
反応種、多光子光増感剤、電子供与体化合物、及び光開始剤は、上述の方法によって又は当該技術分野において既知の他の方法で調製することができ、又、多数のものが商業的に入手可能である。これらの4つの構成成分は、「安全光」の条件下で、混合の任意の順序及び方法を使用して(任意選択的に、かき混ぜ又は攪拌を用いて)混合することができるが、ときには(貯蔵寿命及び熱的安定性の観点から)光開始剤を最後に(且つ、他の構成成分の溶解を促進するために任意選択で用いられる加熱工程の後に)添加するのが好ましい。溶媒を組成物の構成成分と相当に反応しないように選定するという条件で、所望により溶媒を使用することができる。好適な溶媒には、例えば、アセトン、ジクロロメタン、及びアセトニトリルが挙げられる。又、反応種自体が、ときには他の構成成分の溶媒として働くことができる。
発明の方法を実施するにあたり、光反応性組成物は、多光子吸収が行われる条件で光に露光され、それにより露光前の光反応性組成物と比べて異なる溶解度特性(例えば、特定の溶媒中でより小さい又はより大きい溶解度)の領域をもたらす。前記露光は、十分な光の強度を得ることができる任意の既知の手段で達成できる。
本発明の方法は、種々のサイズ及び幾何学的形状又は表面外形部(例えば、凸構造及び凹構造の両方を含む)の光抽出構造体を備えたアレイを弾力的に制御可能に提供するために使用できる。また一方、前記方法は、少なくとも1つの形状因子がアレイ内の位置の関数としてある程度変化する光抽出構造体アレイ及び/又は光抽出構造体の分布が不均一である光抽出構造体アレイを提供するのに特に好適である。例えば、アレイ全体に渡って光抽出構造体の高さ及び/又は間隔の空間的変化が制御されたアレイは、光抽出の均一性及び効率を修正するのに有効である。
金型挿入体などの複製ツールは、上記のように調製した光抽出構造体アレイをマスター型として使用することにより調製可能である。つまり、別の材料をマスター型に配置して、アレイの逆の像を有する金型挿入体を調製することができる。その後、引き続き次のアレイの調製に使用可能な金型挿入体を外し、マスター型を取り出すことができる。金型挿入体は、アレイの逆の像の形状の型空間を有するであろう。金属製の複製ツールは、ニッケルなどの金属をマスター型に電気メッキ又は電鋳した後、マスター型を取り外すことにより、マスター型から製造可能である。シリコーン製の複製ツールは、マスター型にシリコーン樹脂を硬化させた後、マスター型を取り外すことにより製造可能である。
本発明の光抽出構造体アレイを備えた導光体は、ポリカーボネート、ポリアクリレート(ポリメチルメタクリレートなど)、ポリスチレン、及びガラスなどの光学的に好適な広範な種々の材料から製造可能であり、好ましい材料はポリアクリレート及びポリカーボネートなどの高屈折率のものである。導光体は、好ましくは、上記の複製ツールに注入形成可能な樹脂を金型形成、型押し、硬化、ないしは別の方法で成型することにより製造される。最も好ましくは、注入形成及び硬化技術を使用する。導光体を金型形成、型押し、又は硬化する方法は、当業者には周知であろう。望ましい場合には、導光体の1以上の面の少なくとも一部(例えば、光抽出構造体の内面又は凹面)に既知の方法でコーティング(例えば、薄い金属の反射コーティング)を適用してもよい。個々の導光体の設計は、望ましい場合には、ブリオートリサーチオーガニゼーション社(Breault Research Organization, Inc.)の「ASAP」、オプティカルリサーチアソシエイツ社(Optical Research Associates, Inc.)の「コードV(Code V)」及び「ライトツールズ(Light Tools)」、i−サイトミッションテクノロジー社(i-Cyt Mission Technology, Inc.)のオプティカルソフトウェアディビジョン(Optica Software Division)の「ライカ(Rayica)」、ラムダリサーチ社(Lambda Research, Inc.)の「トレースプロ(Trace Pro)」、及びゼマックスディベロップメント社(Zemax Development Corporation)の「ゼマックス(ZEMAX)」などの好適なレイトレーシングモデリングソフトウェアを使用することで実際に製造する必要なく評価することができる。
「SR1012」は、ペンシルベニア州エクストン(Exton)のサートマー社(Sartomer Co., Inc.)から得られたジアリールヨードニウムヘキサフルオロアンチモン酸塩を指し、
「ストリッパブルSU−8(Strippable SU-8)」は、マサチューセッツ州ニュートン(Newton)のマイクロケム社(MicroChem Corp.)から得られたSU−8 XP KMPRエポキシ製ネガフォトレジストを指し、
「SU−8」は、マサチューセッツ州ニュートン(Newton)のマイクロケム社(MicroChem Corp.)から得られたSU−8 2150エポキシ製ネガフォトレジストを指す。
光抽出構造体アレイの製造
円形のシリコンウェハ(直径10.2cm(4インチ)、フロリダ州ウエストパームビーチ(West Palm Beach)のウェハワールド社(Wafer World, Inc.)から入手)を、約10分間、濃硫酸と30重量%水性過酸化水素の3:1容量/容量(v/v)混合物に漬けることにより洗浄した。ウェハを次に脱イオン水、続いてイソプロパノールですすぎ、その後、空気流下で乾燥した。次に、ウェハをXPオムニコート(XP OmniCoat)プライマー(マサチューセッツ州ニュートンのマイクロケム社(MicroChem Corp.))で5秒間500回転/分(RPM)、続いて25秒間2700RPMでスピンコートした。その後、ウェハを200℃のホットプレート上に1分間置いて乾燥した。
光抽出構造体アレイの製造
円形のシリコンウェハ(直径10.2cm(4インチ)、フロリダ州ウエストパームビーチ(West Palm Beach)のウェハワールド社(Wafer World, Inc.)から入手)を、XPオムニコート(XP OmniCoat)プライマー(マサチューセッツ州ニュートンのマイクロケム社)を5秒間500回転/分(RPM)で、続いて25秒間2700RPMでスピンコートした。その後、ウェハを200℃のホットプレート上に1分間置いて乾燥した。
この実施形態は、本発明の方法で製造されたものであり、別記の実施例1に記載されている。
Claims (38)
- (a)光反応性組成物を提供する工程であって、該光反応性組成物が、
(1)酸又はラジカル開始化学反応を受けることが可能な少なくとも1つの反応性種と、
(2)少なくとも1つの多光子光開始剤系と、を含む、工程と、
(b)前記組成物の少なくとも一部を少なくとも2つの光子を同時に吸収させるのに十分な光に撮像的に露光する工程であって、これにより少なくとも1つの酸又はラジカル開始化学反応を誘発し、該組成物が、前記光に露光され、該撮像的露光が、光抽出構造体のアレイの少なくとも表面を画定するのに有効なパターンで行われ、該光抽出構造体のそれぞれが、少なくとも1つの形状因子を有し、該光抽出構造体のアレイが、均一又は不均一な分布を有する工程と、を含む、方法。 - 前記方法が、前記組成物の生じた露光部分又は生じた非露光部分を除くことにより該組成物を現像する工程を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記方法が、前記組成物の少なくとも一部を撮像的に露光した後、該組成物の少なくとも一部を任意の残りの未反応光反応性組成物の少なくとも一部が反応するのに十分な光に非撮像的に露光する工程を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 前記形状因子が、高さ、長さ、幅、及び幾何学的形状から選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記幾何学的形状が、錐体、非球面体、切頭非球面体、切頭錐体、及びこれらの組み合わせから選択される、請求項4に記載の方法。
- 前記幾何学的形状が、底面及び側壁を有し、該側壁が該底面において90°未満の垂直正接角度を示す、請求項4に記載の方法。
- 少なくとも1つの前記光抽出構造体の前記形状因子の少なくとも1つが、別の該光抽出構造体の少なくとも1つの対応する形状因子と異なる、請求項1に記載の方法。
- 前記分布が不均一である、請求項1に記載の方法。
- 前記分布が不均一であり、前記形状因子の少なくとも1つが前記アレイ全体に渡って変化する、請求項1に記載の方法。
- 前記形状因子が高さである、請求項9に記載の方法。
- 前記形状因子が前記アレイ全体に渡って規則的に変化する、請求項9に記載の方法。
- 前記光抽出構造のアレイの面密度が該アレイ全体に渡って変化し、及び/又は少なくとも1つの形状因子が該アレイ全体に渡って変化する、請求項1に記載の方法。
- 前記光抽出構造体の少なくとも過半数が、300ミクロン未満の高さ、500ミクロン未満の長さ又は幅、及び操作波長の半分未満の平均表面粗さを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記アレイが5〜75%の範囲のフィルファクタを有する、請求項1に記載の方法。
- 前記光抽出構造体の少なくとも2つが平行でない主軸線を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記反応性種が、硬化性種である、請求項1に記載の方法。
- 前記反応性種が、非硬化性種である、請求項1に記載の方法。
- 前記多光子光開始剤系が、光化学的有効量の
(a)同時に少なくとも2つの光子を吸収できる少なくとも1つの多光子光増感剤と、
(b)所望により前記光増感剤の電子励起状態に電子を供与できる該多光子光増感剤と異なる少なくとも1つの電子供与体と、
(c)該光増感剤の電子励起状態から電子を受容することにより光増感され、少なくとも1つのフリーラジカル及び/又は酸を形成できる少なくとも1つの光開始剤と、を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記方法が、前記光反応性組成物を基材に供給し、該組成物と該基材の間に境界面を位置決めする工程を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記撮像的露光が、所望の三次元光抽出構造体の複数個の平面スライスの少なくとも周辺を走査し、同時にスライス厚さ未満の光抽出構造体の表面粗さを実現するように該スライス厚さを変化させることにより行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記方法が、一光子法を使用して行われる非撮像的露光を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記アレイが、マスター型を含み、該マスター型が、複製用のツールを製造するために使用される、請求項1に記載の方法。
- 前記ツールが、導光体を製造するために使用される、請求項22に記載の方法。
- (a)光反応性組成物を提供する工程であって、該光反応性組成物が、
(1)酸又はラジカル開始化学反応を受けることが可能な少なくとも1つの硬化性種と、
(2)光化学的有効量の
(i)フルオレセインより大きい二光子吸収断面を有する多光子光増感剤、
(ii)所望によりアルキルアリールホウ酸塩類、三級芳香族アルキルアミン類及びこれらの混合物から選択される少なくとも1つの電子供与体、及び
(iii)ヨードニウム塩類、スルホニウム塩類及びこれらの混合物から選択される少なくとも1つの光開始剤、とを含む少なくとも1つの多光子光開始剤系と、を含む、工程と、
(b)前記組成物の少なくとも一部を少なくとも2つの光子を同時に吸収させるのに十分な光に撮像的に露光する工程であって、これにより該組成物が前記光に露光された箇所で、少なくとも1つの酸又はラジカル開始化学反応が誘発され、該撮像的露光が、光抽出構造体のアレイの少なくとも表面を画定するのに有効なパターンで行われ、該光抽出構造体のそれぞれが、高さ、長さ、幅、及び幾何学的形状から選択される少なくとも1つの形状因子を有し、該光抽出構造体のアレイが不均一な分布を有し、該光抽出構造体のアレイが、前記アレイ全体に渡って面密度及び/又は少なくとも1つの該形状因子に変化を示す、工程と、
(c)前記組成物の生じた非露光部分の少なくとも一部を除くことにより、該組成物を現像する工程と、を含む、方法。 - 前記組成物の少なくとも一部を撮像的に露光し、該組成物を現像した後、前記方法が、該組成物の少なくとも一部を、前記光反応性組成物の任意の残りの非露光部分の少なくとも一部の反応を行うのに十分な光に非撮像的に露光する工程を含む、請求項24に記載の方法。
- 前記方法が、前記光反応性組成物を基材に供給する工程、及び該組成物と該基材との間に境界面を位置決めする工程を更に含み、前記撮像的露光が、所望の三次元光抽出構造体の複数個の平面スライスの少なくとも周辺を走査し、同時にスライス厚さ未満の光抽出構造体の表面粗さを実現するように該スライス厚さを変化させることにより行われる、請求項24に記載の方法。
- 前記形状因子の少なくとも1つが前記アレイ全体に渡って変化する、請求項24に記載の方法。
- 前記形状因子の少なくとも1つが前記アレイ全体に渡って規則的に変化する、請求項24に記載の方法。
- 前記面密度と少なくとも1つの前記形状因子との両方が前記アレイ全体に渡って変化する、請求項24に記載の方法。
- 前記幾何学的形状が、錐体、非球面体、切頭非球面体、切頭錐体、及びこれらの組み合わせから選択される、請求項24に記載の方法。
- 不均一な分布を有する複数個の光抽出構造体を備えた光抽出構造体アレイであって、該光抽出構造体のそれぞれが主軸線及び少なくとも1つの形状因子を有し、該複数個の光抽出構造体が、該複数個全体に渡る、面密度と、少なくとも1つの該形状因子と、該主軸線とにおいて、変化を示す、光抽出構造体アレイ。
- 前記変化が、前記面密度と、前記形状因子と、前記主軸線との中の少なくとも1つにおいて、前記複数個の光抽出構造体全体に渡って不規則的である、請求項31に記載の光抽出構造体アレイ。
- 前記光抽出構造体の少なくとも1つが、切頭錐体、切頭非球面体、及びこれらの組み合わせから選択される幾何学的形状を有する、請求項31に記載の光抽出構造体アレイ。
- 不均一な分布を有する複数個の光抽出構造体を備えた光抽出構造体アレイであって、該光抽出構造体のそれぞれが幾何学的形状を有し、少なくとも1つの該光抽出構造体の該幾何学的形状が切頭非球面体である、光抽出構造体アレイ。
- 請求項31に記載の光抽出構造体アレイを備えた、導光体。
- 請求項34に記載の光抽出構造体アレイを備えた、導光体。
- 請求項35に記載の導光体を備えた、光学デバイス。
- 請求項36に記載の導光体を備えた、光学デバイス。
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US74760906P | 2006-05-18 | 2006-05-18 | |
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