JP2016171202A - Electronic device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、回路基板に発熱素子が実装された電子装置に関する。 The present invention relates to an electronic device in which a heating element is mounted on a circuit board.
従来、上記電子装置の一例として、特許文献1に開示された電子部品モジュールがある。この電子部品モジュールは、基板と、基板の第1面に設けられた複数の外部端子と、複数の外部端子に囲まれた領域に設けられた半導体チップ(以下、発熱素子)とを備えている。また、電子部品モジュールは、実装基板に実装されている。 Conventionally, as an example of the electronic apparatus, there is an electronic component module disclosed in Patent Document 1. The electronic component module includes a substrate, a plurality of external terminals provided on the first surface of the substrate, and a semiconductor chip (hereinafter referred to as a heating element) provided in a region surrounded by the plurality of external terminals. . The electronic component module is mounted on a mounting board.
実装基板は、自身を貫通する放熱ビアと、放熱ビア上に接続された熱拡散パターンとが設けられている。そして、電子部品モジュールは、発熱素子の背面が熱拡散パターンに接続された状態で実装基板に実装されている。 The mounting substrate is provided with a heat radiating via that penetrates itself and a heat diffusion pattern connected on the heat radiating via. The electronic component module is mounted on the mounting board with the back surface of the heat generating element connected to the heat diffusion pattern.
ところで、発熱素子は、背面に電極が形成されているものもある。このような場合、電子部品モジュールが実装基板に実装された電子装置は、発熱素子の電極が熱拡散パターンに接続されることになる。また、電子装置は、実装基板を貫通している放熱ビアに熱拡散パターンが接続されている。よって、電子装置は、発熱素子から発せられた熱を熱拡散パターンから放熱ビアを介して放熱できる。 Incidentally, some heating elements have electrodes formed on the back surface. In such a case, in the electronic device in which the electronic component module is mounted on the mounting substrate, the electrode of the heating element is connected to the thermal diffusion pattern. In the electronic device, a thermal diffusion pattern is connected to a heat dissipation via that penetrates the mounting substrate. Therefore, the electronic device can dissipate the heat generated from the heating element from the heat diffusion pattern through the heat dissipation via.
しかしながら、電子装置は、熱拡散パターンを介して発熱素子の電極と接続された放熱ビアが実装基板を貫通している。このため、電子装置は、発熱素子の電極が外部と絶縁されていない。よって、電子部品モジュールは、発熱素子の放熱と絶縁とが両立されていないという問題がある。 However, in the electronic device, the heat radiating via connected to the electrode of the heat generating element through the thermal diffusion pattern penetrates the mounting substrate. For this reason, in the electronic device, the electrode of the heating element is not insulated from the outside. Therefore, the electronic component module has a problem that heat dissipation and insulation of the heating element are not compatible.
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、発熱素子の絶縁と放熱を両立できる電子装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide an electronic device that can achieve both insulation and heat dissipation of a heating element.
上記目的を達成するために本発明は、
回路基板(10)と、
回路基板に実装され、回路基板との対向面の反対面に電極が形成されており、動作することで発熱する発熱素子(20)と、
発熱素子から発せられた熱を放熱する部材であり、電極に電気的及び機械的に接続された放熱基板(30,30a,30b)と、を備え、
放熱基板は、
積層された複数の樹脂層(311,321,331)と、
複数の樹脂層における発熱素子と対向した表面に露出し、電極と接続された対向側導体(322)と、
複数の樹脂層における対向側導体とは反対側の表面に露出した反対側導体(332)と、を含み、
反対側導体は、複数の樹脂層の一部によって対向側導体と電気的に絶縁されていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides:
A circuit board (10);
A heating element (20) mounted on a circuit board and having an electrode formed on the opposite side of the surface facing the circuit board, and generating heat by operation;
A member that dissipates heat generated from the heating element, and includes a heat dissipating substrate (30, 30a, 30b) electrically and mechanically connected to the electrode,
The heat dissipation board is
A plurality of laminated resin layers (311, 321, 331);
An opposing conductor (322) exposed on the surface of the plurality of resin layers facing the heating element and connected to the electrode;
An opposite conductor (332) exposed on the surface opposite to the opposite conductor in the plurality of resin layers,
The opposite conductor is electrically insulated from the opposite conductor by a part of the plurality of resin layers.
このように、本発明は、回路基板と、回路基板に実装された発熱素子と、発熱素子から発せられた熱を放熱する放熱基板とを備えている。放熱基板は、積層された複数の樹脂層と、複数の樹脂層の両面に露出した対向側導体と反対側導体とが設けられている。そして、本発明は、対向側導体が発熱素子の電極と接続され、反対側導体が複数の樹脂層の一部によって対向側導体と電気的に絶縁されている。 As described above, the present invention includes a circuit board, a heating element mounted on the circuit board, and a heat dissipation board that dissipates heat generated from the heating element. The heat dissipation substrate is provided with a plurality of laminated resin layers and opposing and opposite conductors exposed on both surfaces of the plurality of resin layers. In the present invention, the opposing conductor is connected to the electrode of the heating element, and the opposite conductor is electrically insulated from the opposing conductor by a part of the plurality of resin layers.
このため、本発明は、発熱素子から発せられた熱を対向側導体から樹脂層の一部及び反対側導体を介して放熱できる。更に、本発明は、発熱素子の電極が接続された対向側導体と反対側導体とが樹脂層の一部によって電気的に絶縁されているため、発熱素子の電極を外部と絶縁できる。このように、本発明は、発熱素子の絶縁と放熱を両立できる。 For this reason, this invention can radiate the heat | fever emitted from the heat generating element through a part of resin layer and the opposite conductor from the opposing conductor. Furthermore, according to the present invention, since the opposing conductor and the opposite conductor to which the electrode of the heating element is connected are electrically insulated by a part of the resin layer, the electrode of the heating element can be insulated from the outside. Thus, the present invention can achieve both insulation and heat dissipation of the heating element.
なお、特許請求の範囲、及びこの項に記載した括弧内の符号は、ひとつの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、発明の技術的範囲を限定するものではない。 The reference numerals in parentheses described in the claims and in this section indicate the correspondence with the specific means described in the embodiments described later as one aspect, and the technical scope of the invention is as follows. It is not limited.
以下において、図面を参照しながら、発明を実施するための複数の形態を説明する。各形態において、先行する形態で説明した事項に対応する部分には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する場合がある。各形態において、構成の一部のみを説明している場合は、構成の他の部分については先行して説明した他の形態を参照し適用することができる。 Hereinafter, a plurality of embodiments for carrying out the invention will be described with reference to the drawings. In each embodiment, portions corresponding to the matters described in the preceding embodiment may be denoted by the same reference numerals and redundant description may be omitted. In each embodiment, when only a part of the configuration is described, the other configurations described above can be applied to other portions of the configuration.
図1に示すように、電子装置100は、回路基板10と、回路基板10に実装された発熱素子20と、発熱素子20から発せられた熱を放熱する放熱基板30と、を備えて構成されている。この電子装置100は、たとえば自動車に搭載される電子制御装置等に適用される。
As shown in FIG. 1, the
回路基板10は、一面と、一面の反対面とを有しており、一面に発熱素子20が実装されている。よって、回路基板10の一面は、実装面と言い換えることができる。また、回路基板10は、反対面に、発熱素子20や、その他の回路素子などの電子部品が実装されていてもよい。
The
回路基板10は、複数層の絶縁層が積層された絶縁基材11と配線とが形成されている。絶縁基材11は、エポキシ樹脂などの絶縁樹脂やセラミックスなどを主成分とするものを採用できる。
The
回路基板10は、配線の一部として、内層配線12、表層配線13、ランド15が形成されている。内層配線12は、絶縁基材11を介して積層されている。表層配線13は、絶縁基材11に設けられた貫通穴の表面に形成されためっきなどである。ランド15は、絶縁基材11の一面及び反対面に形成されている。内層配線12、表層配線13、ランド15は、銅などの金属を主成分とするものを採用できる。
In the
なお、回路基板10は、貫通穴に埋め込み樹脂14が埋設されている。また、回路基板10は、ランド15の一部が露出するように、ランド15の縁部を覆っているソルダーレジスト16が形成されている。
The
発熱素子20は、動作することで発熱する回路素子である。発熱素子20は、例えば、パワートランジスタやIGBTなどの半導体素子を採用できる。また、発熱素子20は、回路基板10との対向面の反対面に電極が形成されている。発熱素子20は、ベアチップ状態であってもよいし、パッケージ状態であってもよい。
The
なお、発熱素子20は、回路基板10との対向面にも電極が形成されていてもよい。本実施形態では、発熱素子20の対向面側の電極が、接合材を介して回路基板10に実装されている例を採用している。詳述すると、発熱素子20の対向面側の電極が、回路基板10のランド15に接合材を介して電気的及び機械的に接続されている。なお、接合材は、はんだや銀ペーストなどの導電性の接合部材を適用できる。
The
放熱基板30は、発熱素子20の電極に電気的及び機械的に接続されている。また、電子装置100は、図2に示すように、発熱素子20に対向して放熱基板30が設けられていればよい。つまり、放熱基板30は、発熱素子20上に設けられていればよい。言い換えると、電子装置100は、回路基板10の実装面全域に対向して放熱基板30を設ける必要がない。よって、電子装置100は、自身の体格を大きくなることを抑制できる。
The
放熱基板30は、図3に示すように、コア層31と、第1ビルドアップ層32と、第2ビルドアップ層33とを備えて構成されている。このように、本実施形態では、ビルドアップ基板を放熱基板30として採用している。
As shown in FIG. 3, the
コア層31は、第1樹脂層311と、内層導体312と、めっき部313とを備えて構成されている。第1樹脂層311は、エポキシ樹脂などを主成分として構成された電気絶縁性の樹脂層である。第1樹脂層311は、特許請求の範囲における複数の樹脂層のうちの一層である。内層導体312は、銅などの金属を主成分として形成されており、第1樹脂層311の両面に形成されている。内層導体312は、例えば、平板形状を有している。
The
めっき部313は、銅などの金属を主成分として形成されており、第1樹脂層311を貫通して両内層導体312を接続している。めっき部313は、特許請求の範囲における第1層間接続部313に相当する。なお、符号314は、第1樹脂層311の貫通穴に埋設された充填部314である。充填部314は、埋め込み樹脂部とも言える。
The
第1ビルドアップ層32は、第2樹脂層321と、対向側導体322と、レーザビア323とを備えて構成されている。第1ビルドアップ層32は、コア層31の発熱素子20側に積層されている。第2樹脂層321は、エポキシ樹脂などを主成分として構成された電気絶縁性の樹脂層である。第2樹脂層321は、特許請求の範囲における複数の樹脂層のうちの一層である。
The
対向側導体322は、銅などの金属を主成分として形成されており、二層の内層導体312の一方に対向して第2樹脂層321の表面に形成されている。対向側導体322は、発熱素子20の電極に電気的及び機械的に接続されている部位である。対向側導体322は、例えば、平板形状を有している。また、対向側導体322は、発熱素子20の電極と対向する面が矩形形状を有しており、発熱素子20の電極における対向側導体322との対向面の全域と接続されている。
The opposing
レーザビア323は、銅などの金属を主成分として形成されており、第2樹脂層321に埋設されている。そして、レーザビア323は、対向側導体322と、対向側導体322と対向している内層導体312とを接続している。なお、レーザビア323は、特許請求の範囲における第2層間接続部に相当する。また、レーザビア323は、発熱素子20の電極に対向する領域に集中して複数個設けると、放熱性を向上できるので好ましい。
The laser via 323 is formed with a metal such as copper as a main component, and is embedded in the
第2ビルドアップ層33は、第3樹脂層331と、反対側導体332とを備えて構成されている。第2ビルドアップ層33は、コア層31の発熱素子とは反対側に積層されている。第3樹脂層331は、エポキシ樹脂などを主成分として構成された電気絶縁性の樹脂層である。第3樹脂層331は、特許請求の範囲における複数の樹脂層のうちの一層である。反対側導体332は、第3樹脂層331を介して、内層導体312の他方に対向して配置されている。反対側導体332は、第3樹脂層331の外部に露出している。また、反対側導体332は、放熱基板30における主放熱部と言うことができる。反対側導体332は、例えば、平板形状を有している。
The
放熱基板30は、周知のビルドアップ基板の製造方法によって製造できる。このため、第2樹脂層321及び第3樹脂層331は、100μm以下の厚みで形成できる。例えば、ビルドアップ層は、60μm程度の厚みで形成できる。
The
なお、放熱基板30は、本出願人による特開2014−82474号公報に記載された基板10を採用できる。よって、放熱基板30の構成及び製造方法に関しては、特開2014−82474号公報を参照されたい。
In addition, the board |
また、放熱基板30は、本発明の一例に過ぎない。つまり、本発明は、これに限定されない。本発明は、積層された複数の樹脂層と、複数の樹脂層における発熱素子20と対向した表面に露出し発熱素子20の電極と接続された対向側導体と、複数の樹脂層における対向側導体とは反対側の表面に露出した反対側導体とを含む放熱基板であれば採用できる。そして、本発明は、放熱基板の反対側導体が、複数の樹脂層の一部によって対向側導体と電気的に絶縁されていれば目的と達成できる。よって、本発明の放熱基板は、PALAPとして知られる一括熱プレスにて製造された樹脂基板であっても採用できる。なお、PALAPは登録商標である。
The
ここで、電子装置100の製造方法に関して説明する。まず、本製造方法では、図4に示すように、回路基板10を準備する。回路基板10は、周知の製造方法で製造できる。次に、本製造方法では、図5に示すように、発熱素子20を放熱基板30に実装する。つまり、本製造方法では、発熱素子20の電極と、放熱基板30の対向側導体322とを電気的及び機械的に接続する。その後、本製造方法は、放熱基板30が接続された発熱素子20を回路基板に実装する。これによって、本製造方法は、電子装置100を製造できる。
Here, a method for manufacturing the
以上のように、電子装置100は、回路基板10と、回路基板10に実装された発熱素子20と、発熱素子20から発せられた熱を放熱する放熱基板30とを備えている。放熱基板30は、積層された複数の樹脂層311,321,331と、複数の樹脂層311,321,331の両面に露出した対向側導体322と反対側導体332とが設けられている。そして、電子装置100は、対向側導体322が発熱素子20の電極と接続され、反対側導体332が第3樹脂層331によって対向側導体322と電気的に絶縁されている。
As described above, the
このため、電子装置100は、発熱素子20から発せられた熱を対向側導体322から第3樹脂層331及び反対側導体332などを介して放熱できる。更に、電子装置100は、発熱素子20の電極が接続された対向側導体322と反対側導体332とが第3樹脂層331によって電気的に絶縁されているため、発熱素子20の電極を外部と絶縁できる。このように、電子装置100は、発熱素子20の絶縁と放熱を両立できる。
For this reason, the
言い換えると、電子装置100は、60〜100μm程度のビルドアップ層である第3樹脂層331で、放熱基板30における対向側導体322に電気的に接続された部位と、反対側導体332とを電気的に絶縁できる。よって、電子装置100は、発熱素子20から放熱基板30における対向側導体322に電気的に接続された部位に伝達された熱を、反対側導体332に熱伝達しやすい。このため、電子装置100は、発熱素子20の絶縁と放熱を両立できる。
In other words, in the
更に、電子装置100は、放熱基板30を備えているため、回路基板10に放熱経路を設ける必要がない。この場合、電子装置100は、放熱経路を確保するために、回路基板10における配線の引き回しを変更する必要がない。つまり、回路基板10は、放熱経路を考慮した配線の引き回しとする必要がない。よって、電子装置100は、回路基板10に放熱経路が設けられた場合よりもコストを抑えることができる。
Furthermore, since the
以上、本発明の好ましい実施形態について説明した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態に何ら制限されることはなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。以下に、本発明の変形例1〜3に関して説明する。上述の実施形態及び変形例1〜3は、夫々単独で実施することも可能であるが、適宜組み合わせて実施することも可能である。本発明は、実施形態において示された組み合わせに限定されることなく、種々の組み合わせによって実施可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Below, the modifications 1-3 of this invention are demonstrated. The above-described embodiment and Modifications 1 to 3 can be implemented independently, but can be implemented in appropriate combination. The present invention is not limited to the combinations shown in the embodiments, and can be implemented by various combinations.
(変形例1)
変形例1の電子装置110は、図6に示すように、モールド樹脂40が形成されている点が電子装置100と異なる。
(Modification 1)
As shown in FIG. 6, the
電子装置110は、回路基板10の実装面にモールド樹脂40が設けられている。モールド樹脂40は、回路基板10の実装面と、発熱素子20と、放熱基板30の一部とに密着した状態で、これらを封止している。言い換えると、モールド樹脂40は、回路基板10の実装面と、発熱素子20と、放熱基板30の一部を覆っている。また、モールド樹脂40は、放熱基板30の反対側導体332が露出した状態で、回路基板10の実装面などを封止している。更に、モールド樹脂40は、回路基板10と発熱素子20との接合部や、発熱素子20と放熱基板30との接合部などにも密着して封止している。
In the
電子装置110は、電子装置100と同様の効果を奏することができる。更に、電子装置110は、モールド樹脂40を備えているため、発熱素子20などを保護できると共に、電子装置100よりも、回路基板10と発熱素子20との接合部や発熱素子20と放熱基板30との接合部の寿命を延ばすことができる。なお、モールド樹脂40は、後程説明する変形例2の電子装置120、変形例3の電子装置130に設けることもできる。
The
(変形例2)
変形例2の電子装置120は、図7に示すように、放熱基板30aの構成、及び放熱基板30aと回路基板10の接続構造が電子装置100と異なる。
(Modification 2)
As shown in FIG. 7, the
放熱基板30aは、回路基板10と対向した位置に、対向側導体322と電気的に接続された接続ランド34aを有している。接続ランド34aは、例えば、内層導体312やレーザビア323を介して、対向側導体322と電気的に接続されている。
The
放熱基板30aは、接続ランド34aが、回路基板10の配線の一部であるランド15に導電性のはんだ50を介して電気的に接続されている。このように、電子装置120は、放熱基板30aと回路基板10とが、接続ランド34a及びはんだ50を介して接続されている。なお、はんだ50は、特許請求の範囲における接続部材に相当する。電子装置120は、はんだ50のかわりに、銀ペーストなども採用できる。
In the
また、電子装置120は、図7に示すように、ランド15と、はんだ50との間にターミナル60が設けられていてもよい。つまり、電子装置120は、はんだ50の厚みを厚くすることなく、接続ランド34aとランド15とを接続するために、ターミナル60を備えていてもよい。言い換えると、電子装置120は、はんだ50によって接続ランド34aとランド15とを確実に接続できるように、ターミナル60を備えている。よって、ターミナル60の厚みは、発熱素子20の厚みから、はんだ50の厚みを引いた程度の厚みである。これによって、電子装置120は、はんだ50の厚みを抑えつつ、はんだ50によって接続ランド34aとランド15とを機械的に接続できる。
In the
電子装置120は、電子装置100と同様の効果を奏することができる。更に、電子装置120は、発熱素子20の電極と、電子装置120の外部機器とを電気的に接続するための取り出し部を回路基板10に形成できる。
The
(変形例3)
変形例3の電子装置130は、図8に示すように、放熱基板30bの構成、及び放熱基板30bと回路基板10の接続構造が電子装置100と異なる。
(Modification 3)
As shown in FIG. 8, the electronic device 130 of Modification 3 is different from the
回路基板10は、複数の発熱素子20が実装されている。これに対して、放熱基板30bは、各発熱素子20に個別に対向した複数の対向側導体322が設けられている。なお、各対向側導体322は、図9に示すように、第1樹脂層311、第2樹脂層321、第3樹脂層331によって互いに絶縁されている。
A plurality of
一方、反対側導体332は、第3樹脂層331によって、各対向側導体322と電気的に絶縁されている。このため、反対側導体332は、複数の発熱素子20に対して一つ設けられていればよい。つまり、反対側導体332は、複数の対向側導体322の反対側導体332への投影領域の全域をカバーするように設けられている。
On the other hand, the
電子装置130は、電子装置100と同様の効果を奏することができる。更に、電子装置130は、複数の発熱素子20を互いに絶縁しつつ、一括で放熱することができる。
The electronic device 130 can achieve the same effect as the
10 回路基板、11 樹脂基材、12 内層配線、13 表層配線、14 埋め込み樹脂、15 ランド、16ソルダーレジスト、20 発熱素子、30 放熱基板、31 コア層、311 第1樹脂層、312 内層導体、313 めっき部、314 充填部、32 第1ビルドアップ層、321 第2樹脂層、322 対向側導体、323 レーザビア、33 第2ビルドアップ層、331 第3樹脂層、332 反対側導体、100〜130 電子装置
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記回路基板に実装され、前記回路基板との対向面の反対面に電極が形成されており、動作することで発熱する発熱素子(20)と、
前記発熱素子から発せられた熱を放熱する部材であり、前記電極に電気的及び機械的に接続された放熱基板(30,30a,30b)と、を備え、
前記放熱基板は、
積層された複数の樹脂層(311,321,331)と、
複数の前記樹脂層における前記発熱素子と対向した表面に露出し、前記電極と接続された対向側導体(322)と、
複数の前記樹脂層における前記対向側導体とは反対側の表面に露出した反対側導体(332)と、を含み、
前記反対側導体は、複数の前記樹脂層の一部によって前記対向側導体と電気的に絶縁されていることを特徴とする電子装置。 A circuit board (10);
A heating element (20) mounted on the circuit board and having an electrode formed on the opposite side of the surface facing the circuit board, and generating heat by operation;
A member that dissipates heat generated from the heating element, and includes a heat dissipation substrate (30, 30a, 30b) electrically and mechanically connected to the electrode,
The heat dissipation substrate is
A plurality of laminated resin layers (311, 321, 331);
A facing conductor (322) exposed on the surface of the plurality of resin layers facing the heating element and connected to the electrode;
An opposite conductor (332) exposed on a surface opposite to the opposite conductor in the plurality of resin layers,
The electronic device, wherein the opposite conductor is electrically insulated from the opposite conductor by a part of the plurality of resin layers.
前記接続ランドは、前記回路基板の配線の一部に、導電性の接続部材(50)を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子装置。 The heat dissipation board (30a) has a connection land (34a) electrically connected to the opposing conductor at a position facing the circuit board,
The electronic device according to claim 1, wherein the connection land is electrically connected to a part of the wiring of the circuit board via a conductive connection member.
前記放熱基板(30b)は、各発熱素子に個別に対向した複数の前記対向側導体が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子装置。 The circuit board is mounted with a plurality of the heating elements,
3. The electronic device according to claim 1, wherein the heat radiating substrate is provided with a plurality of the opposing conductors individually facing the heat generating elements. 4.
コア層(31)と、前記コア層の前記発熱素子側に積層された第1ビルドアップ層(32)と、前記コア層の前記発熱素子とは反対側に積層された第2ビルドアップ層(33)と、を備えており、
前記コア層は、複数の前記樹脂層のうちの一層である第1樹脂層(311)と、前記第1樹脂層の両面に形成された内層導体(312)と、前記第1樹脂層を貫通して両内層導体を接続している導体で形成された第1層間接続部(313)と、を含み、
前記第1ビルドアップ層は、複数の前記樹脂層のうちの一層である第2樹脂層(321)と、両内層導体の一方に対向して前記第2樹脂層の表面に形成された前記対向側導体(322)と、前記第2樹脂層に埋設され、前記対向側導体と対向している前記内層導体とを接続している導体で形成された第2層間接続部(323)と、を含み、
前記第2ビルドアップ層は、複数の前記樹脂層のうちの一層である第3樹脂層(331)と、前記第3樹脂層を介して、両内層導体の他方に対向して配置された前記反対側導体(332)と、を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子装置。 The heat dissipation substrate is
A core layer (31), a first buildup layer (32) stacked on the heating element side of the core layer, and a second buildup layer (stacked on the opposite side of the core layer to the heating element) ( 33), and
The core layer penetrates the first resin layer (311), which is one of the resin layers, inner layer conductors (312) formed on both surfaces of the first resin layer, and the first resin layer. And a first interlayer connection portion (313) formed of a conductor connecting both inner layer conductors,
The first buildup layer includes a second resin layer (321), which is one of the plurality of resin layers, and the facing formed on the surface of the second resin layer so as to face one of the inner layer conductors. A side conductor (322) and a second interlayer connection part (323) formed of a conductor embedded in the second resin layer and connecting the inner layer conductor facing the opposing side conductor; Including
The second buildup layer is arranged to face the other of the inner conductors through the third resin layer (331) which is one of the plurality of resin layers and the third resin layer. The electronic device according to claim 1, further comprising an opposite conductor (332).
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