JP2015068668A - Appearance inspection device - Google Patents
Appearance inspection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015068668A JP2015068668A JP2013201158A JP2013201158A JP2015068668A JP 2015068668 A JP2015068668 A JP 2015068668A JP 2013201158 A JP2013201158 A JP 2013201158A JP 2013201158 A JP2013201158 A JP 2013201158A JP 2015068668 A JP2015068668 A JP 2015068668A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- image
- unit
- appearance
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
本発明は、表面に光沢を有する対象物の外観を検査する外観検査装置に関する。 The present invention relates to an appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of an object having gloss on the surface.
従来より、立体的な対象物に光を照射して撮像し、撮像結果に基づいて対象物の外観を検査する装置が利用されている。例えば、特許文献1の外観検査装置では、電子回路基板上のドーム状半田の外観を検査する際に、ドーム状半田の左右両側から平行光が照射された状態で第1の画像が取得され、ドーム状半田の前後両側から平行光が照射された状態で第2の画像が取得される。そして、第1の画像データと第2の画像データとの差の絶対値である合成画像が求められ、合成画像上に帯状の陰が放射状に存在する場合、ドーム状半田へのチップ部品の搭載不良が検出される。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been used an apparatus that irradiates light on a three-dimensional object and picks up an image, and inspects the appearance of the object based on an image pickup result. For example, in the appearance inspection apparatus of
また、特許文献2の形状認識装置では、被検査物を撮像するカメラと、カメラを中心として回転する照明部とが設けられ、照明部の照明位置を変更しつつ被検査物の撮像が順次行われる。当該形状認識装置では、照明位置の変化に従って、被検査物上の突起(不良形状)の影が変化するため、突起の形状を推定することが可能となる。
In addition, the shape recognition device of
ところで、対象物の外観を検査する装置として、撮像部により取得された対象物(すなわち、被検査物)の検査画像と、予め準備された良品の画像である基準画像とを比較して、対象物の外観の良否を判定するものがある。このような装置において、表面に光沢を有する対象物の外観検査を行おうとすると、対象物に対する照明光の入射角等により、対象物のエッジ部等に輝きが生じ、周囲の部位よりも明るくなる。このため、対象物と良品との間の形状差が、形状不良として検出する必要がない程度の僅かな形状差であっても、当該形状差による輝きの範囲が大きく異なる場合、対象物の形状が不良と判断される可能性がある。また、基準画像を取得した際と検査画像を取得した際とで照明光の入射角が僅かに異なる場合等にも、エッジ部等における輝きが良品と対象物との間で大きく異なり、対象物の形状が不良と判断される場合がある。 By the way, as an apparatus for inspecting the appearance of an object, the inspection image of the object (that is, the object to be inspected) acquired by the imaging unit is compared with a reference image that is a good image prepared in advance. There is one that determines the quality of the appearance of an object. In such an apparatus, when an appearance inspection of an object having a glossy surface is performed, the edge portion of the object is brilliant due to the incident angle of illumination light on the object, and becomes brighter than the surrounding parts. . For this reason, even if the shape difference between the object and the non-defective product is a slight shape difference that does not need to be detected as a shape defect, May be judged as bad. In addition, even when the incident angle of the illumination light is slightly different between when the reference image is acquired and when the inspection image is acquired, the brightness at the edge portion differs greatly between the non-defective product and the target object. In some cases, the shape of this is determined to be defective.
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、対象物の光沢による影響を抑制し、高精度な検査を実現することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to suppress the influence of the gloss of an object and realize a highly accurate inspection.
請求項1に記載の発明は、表面に光沢を有する対象物の外観を検査する外観検査装置であって、対象物に対して光の照射方向を変更しつつ光を照射する照明部と、前記対象物を撮像する撮像部と、前記照明部および前記撮像部を制御することにより、前記照明部からの光の照射方向がそれぞれ異なる前記対象物の複数の個別検査画像を取得する撮像制御部と、前記複数の個別検査画像から合成検査画像を生成し、前記合成検査画像と予め準備された基準画像とに基づいて前記対象物の外観を検査する検査部とを備え、前記検査部が、前記合成検査画像上の各画素に対応する前記複数の個別検査画像の画素の画素値に基づいて代表画素値を取得し、前記代表画素値を前記各画素の画素値に決定する画像合成部と、前記合成検査画像と前記基準画像とを比較し、前記合成検査画像と前記基準画像との差異を検出する検出部とを備える。
The invention according to
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の外観検査装置であって、前記画像合成部において取得される前記代表画素値が、前記複数の個別検査画像の画素のうち最も暗い画素の画素値である。
The invention according to
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の外観検査装置であって、前記画像合成部において取得される前記代表画素値が、前記複数の個別検査画像の画素の画素値の平均である。
The invention according to claim 3 is the appearance inspection apparatus according to
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の外観検査装置であって、前記検査部による前記合成検査画像の生成よりも前に、前記複数の個別検査画像の明るさの相違を低減する補正を行う補正部をさらに備える。 According to a fourth aspect of the present invention, in the visual inspection apparatus according to any one of the first to third aspects, brightness of the plurality of individual inspection images is generated before the synthetic inspection image is generated by the inspection unit. The image forming apparatus further includes a correction unit that performs correction to reduce the difference.
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし4のいずれかに記載の外観検査装置であって、前記照明部が、前記対象物に対する相対位置が異なる複数の光出射部を備え、前記撮像制御部が、前記複数の光出射部からの光の出射を制御する。 A fifth aspect of the present invention is the visual inspection apparatus according to any one of the first to fourth aspects, wherein the illumination unit includes a plurality of light emitting units having different relative positions with respect to the object, and the imaging The control unit controls the emission of light from the plurality of light emitting units.
本発明では、対象物の光沢による影響を抑制し、高精度な検査を実現することができる。 In the present invention, it is possible to suppress the influence of the gloss of the object and realize a highly accurate inspection.
図1は、本発明の一の実施の形態に係る外観検査装置1を示す平面図である。図2は、外観検査装置1を示す側面図である。外観検査装置1は、表面に光沢を有する立体的な対象物9の外観を検査する装置である。
FIG. 1 is a plan view showing an
対象物9は、例えば、鍛造により形成された金属部品であり、その表面は微小な凹凸を有する梨地状である。換言すれば、対象物9の表面は、光を乱反射しつつ、光沢を有する。図1および図2に示す例では、対象物9は、クランクのコネクタシャフトである。対象物9の表面の光沢度は、好ましくは、約20〜約60である。光沢度とは、正反射光の割合や、拡散反射光の方向分布等に注目して、物体表面の光沢の程度を一次元的に表す指標である。光沢度は、JIS等の工業規格の光沢度測定方法に準拠した光沢計を利用して測定される。対象物9の表面では、上下面と側面との境界部等が、角部が除去された形状(いわゆる、R形状)となっている。
The
図1および図2に示すように、外観検査装置1は、支持部2と、撮像部4と、照明部5とを備える。支持部2は、上面が平坦なテーブルである。対象物9は、支持部2の上面に載置されることにより、支持部2により下方から支持される。撮像部4は、支持部2上の対象物9の斜め上方に配置されて対象物9を撮像する。撮像部4は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)などを有するデジタルカメラである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
照明部5は、対象物9の斜め上方に配置される複数の光出射部51を備える。図1および図2に示す例では、4つの光出射部51が設けられる。対象物9に対する当該複数の光出射部51の相対位置は互いに異なる。各光出射部51は、例えば、LED(Light Emitting Diode)光源である。各光出射部51は、他の種類の光源であってもよい。各光出射部51からの光の出射および出射停止(すなわち、点灯および消灯)は、他の光出射部51から独立して個別に制御される。照明部5では、複数の光出射部51からの光の出射および出射停止が切り替えられることにより、対象物9に対する光の照射方向を変更しつつ対象物9に対して光が照射される。
The
図3は、外観検査装置1の制御部6の機能を示すブロック図である。制御部6は、各種演算処理を行うCPU、基本プログラムを記憶するROM、および、各種情報を記憶するRAM等をバスラインに接続した一般的なコンピュータシステムの構成となっている。図3では、制御部6に接続される他の構成の一部を併せて示す。
FIG. 3 is a block diagram illustrating functions of the control unit 6 of the
制御部6は、記憶部61と、撮像制御部62と、補正部63と、検査部64とを備える。記憶部61は、後述する基準画像等の様々な情報を記憶する。撮像制御部62は、撮像部4および照明部5を制御することにより、支持部2上の対象物9の画像を取得する。撮像制御部62は、複数の光出射部51(図1および図2参照)からの光の出射を個別に制御する出射制御部621を備える。補正部63は、対象物9の画像に対する補正を行う。検査部64は、対象物9の外観を検査し、対象物9に形状不良が存在する場合、当該形状不良を検出する。検査部64は、画像合成部641と、検出部642とを備える。
The control unit 6 includes a
図4は、外観検査装置1による対象物9の外観検査の流れを示す図である。外観検査が行われる際には、まず、図1に示すように、対象物9が支持部2上に載置される。続いて、出射制御部621により照明部5が制御されることにより、複数の光出射部51のうち1つの光出射部51が点灯され、当該光出射部51から対象物9に対して光が照射される。また、他の光出射部51は消灯される。次に、撮像制御部62により撮像部4が制御されることにより、図5に示すように、対象物9を含む画像(以下、「個別検査画像81」という。)が取得される(ステップS11)。
FIG. 4 is a diagram showing a flow of appearance inspection of the
図5に示す個別検査画像81では、対象物9上に形状欠陥である凹部(以下、「欠陥凹部91」という。)が存在し、当該欠陥凹部91にて光出射部51からの光が反射して周囲の部位よりも明るく輝く。個別検査画像81において、欠陥凹部91に対応して周囲と明るさが異なる領域を「第1領域82」という。また、個別検査画像81では、対象物9の上述の境界部等の一部において、対象物9の光沢に起因して光出射部51からの光が反射され、周囲の部位よりも明るく輝く領域が生じる。このように、対象物9の境界部等において光沢に起因して輝く(いわゆる、テカる)領域を「第2領域83」という。図5では、図の理解を容易にするために、対象物9に平行斜線を付し、第1領域82および第2領域83を黒く塗りつぶす。図6においても同様である。
In the
1つの個別検査画像81が取得されると、出射制御部621による制御により、点灯中の光出射部51が消灯され、他の1つの光出射部51が点灯される。これにより、照明部5から対象物9へと照射される光の照射方向が変更される(ステップS12,S13)。そして、ステップS11に戻り、撮像部4により対象物9の個別検査画像81が取得される。当該個別検査画像81では、照明部5からの光の照射方向が図5に示す個別検査画像81の取得時と異なるため、対象物9上における第2領域83の位置および大きさが、図5に示す位置および大きさとは異なる。一方、対象物9上における欠陥凹部91の位置および大きさは変わらないため、第1領域82の位置および大きさは図5に示す位置および大きさとおよそ同様である。
When one
外観検査装置1では、撮像制御部62による制御により、所定数(例えば、4つ)の個別検査画像81が取得されるまで、点灯する光出射部51を変更して(すなわち、対象物9に対する光の照射方向を変更して)個別検査画像81を取得することが繰り返される(ステップS11〜S13)。これにより、光出射部51からの光の照射方向がそれぞれ異なる対象物9の複数の個別検査画像81が取得される。当該複数の個別検査画像81は、補正部63へと送られる。
In the
補正部63では、複数の個別検査画像81の明るさの相違を低減する補正が行われる(ステップS14)。具体的には、各個別検査画像81について、全ての画素の画素値の合計である合計画素値が、個別検査画像81の全体の明るさとして取得される。複数の個別検査画像81の合計画素値は、互いに異なる場合がある。複数の個別検査画像81の合計画素値の差は、例えば、複数の光出射部51から出射される光の強度差や、複数の光出射部51と対象物9との間のそれぞれの距離の差に起因する。そこで、複数の個別検査画像81の合計画素値が互いにおよそ等しくなるように(すなわち、各個別検査画像81全体の明るさが互いにおよそ等しくなるように)、各個別検査画像81に対応する補正係数が決定される。そして、各個別検査画像81の全ての画素の画素値に対して補正係数が乗算されることにより、各個別検査画像81が補正され、複数の個別検査画像81の明るさの相違が低減される。補正部63により補正された複数の個別検査画像81は、検査部64へと送られる。
In the
検査部64では、補正部63による補正済みの複数の個別検査画像81から合成検査画像が生成される(ステップS15)。具体的には、検査部64の画像合成部641により、補正済みの複数の個別検査画像81において同じ画素位置に位置する複数の画素が抽出され、当該複数の画素の画素値に基づいて当該画素位置に対応する代表画素値が取得される。本実施の形態では、4つの個別検査画像81から同じ位置に位置する4つの画素が抽出され、当該4つの画素のうち最も暗い画素の画素値が代表画素値として取得される。当該代表画素値は、合成検査画像における上述の画素位置に位置する画素の画素値となる。
In the
画像合成部641では、個別検査画像81上の全ての画素位置について、上記と同様の方法により各画素位置に対応する代表画素値(すなわち、最も暗い画素の画素値)が取得され、当該代表画素値が、合成検査画像の各画素位置に位置する画素の画素値に決定される。換言すれば、画像合成部641により、合成検査画像上の各画素について、各画素に対応する複数の個別検査画像81の画素の画素値に基づいて代表画素値が取得される、当該代表画素値が合成検査画像の各画素の画素値として決定される。これにより、図6に示す合成検査画像84が取得される。
In the
図6に示すように、合成検査画像84では、各画素位置において複数の個別検査画像81の最も暗い画素の画素値が代表画素値とされるため、複数の個別検査画像81においてそれぞれ異なる位置に位置する第2領域83(すなわち、対象物9の光沢に起因してテカる領域)は現れない。あるいは、合成検査画像84では、第2領域83が縮小される。一方、複数の個別検査画像81においておよそ同様の位置に位置する第1領域82(すなわち、欠陥凹部91により周囲の部位よりも明るく輝く領域)は、合成検査画像84においても対象物9上の対応する位置に現れる。
As shown in FIG. 6, in the
検査部64では、合成検査画像84と図7に示す予め準備された基準画像80とに基づいて対象物9の外観が検査される(ステップS16)。基準画像80は、形状欠陥を有していない対象物である良品90を対象として、上述のステップS11〜S15を行うことにより取得される。すなわち、基準画像80は、照明部5からの光の照射方向がそれぞれ異なる良品90の複数の個別検査画像から、上述の合成検査画像84の生成と同様の手法により生成された合成検査画像である。図7では、図の理解を容易にするために、良品90に平行斜線を付す。図7に示すように、基準画像80には、形状欠陥による第1領域82、および、対象物の光沢による第2領域83は存在しない。
In the
検査部64による上述の外観検査では、検出部642において、図6に示す合成検査画像84と図7に示す基準画像80との差が求められ、所定の閾値により二値化されることにより、図8に示す差分画像85が生成される。詳細には、合成検査画像84の画像データと基準画像80の画像データとの差分データが求められて二値化されることにより、差分画像85の画像データが生成される。差分画像85では、対象物9の良品90と一致する部位は現れず、欠陥凹部91に対応する第1領域82が現れる。図8では、図の理解を容易にするために、対象物9を二点鎖線にて示し、第1領域82を黒く塗りつぶす。そして、検出部642により、差分画像85上の第1領域82が、対象物9における形状欠陥として検出される。換言すれば、検出部642では、合成検査画像84と基準画像80とが比較され、合成検査画像84と基準画像80との差異が、対象物9の形状欠陥として検出される。
In the above-described appearance inspection by the
以上に説明したように、外観検査装置1では、照明部5からの光の照射方向がそれぞれ異なる対象物9の複数の個別検査画像81が取得され、当該複数の個別検査画像81から合成検査画像84が生成される。合成検査画像84の生成の際には、合成検査画像84上の各画素について、各画素に対応する複数の個別検査画像81の画素の画素値に基づいて代表画素値が取得され、当該代表画素値が上記各画素の画素値に決定される。これにより、複数の個別検査画像81において対象物9上のそれぞれ異なる位置に現れる第2領域83が、合成検査画像84上に現れることを抑制または防止することができる。
As described above, in the
外観検査装置1では、合成検査画像84と基準画像80との差異が、対象物9の形状欠陥として検出される。合成検査画像84では、上述のように、第2領域83の出現が防止または抑制されるため、周囲の部位と明るさが異なる第1領域82および第2領域83から、形状欠陥に起因する第1領域82を容易に抽出することができる。その結果、対象物9の光沢による影響を抑制し、高精度な外観検査を実現することができる。
In the
上述のように、外観検査装置1では、画像合成部641において取得される代表画素値が、複数の個別検査画像81の画素のうち最も暗い画素の画素値である。これにより、第2領域83が合成検査画像84上に現れることを、より一層抑制または防止することができる。その結果、対象物9の光沢による影響をさらに抑制し、対象物9の外観検査の精度を向上することができる。
As described above, in the
外観検査装置1では、合成検査画像84が生成される際に取得される代表画素値は、必ずしも複数の個別検査画像81の画素のうち最も暗い画素の画素値である必要はない。例えば、複数の個別検査画像81を取得する際に、照明部5が対象物9を挟んで撮像部4のおよそ反対側に位置する場合、合成検査画像84が生成される際に取得される代表画素値は、複数の個別検査画像81の画素の画素値の平均であることが好ましい。このように、照明部5からの光が、対象物9の検査対象となる面および撮像部4に対して逆光となる場合、上述のように、画素値の平均を代表画素値とすることにより、対象物9の光沢による影響をさらに抑制し、対象物9の外観検査の精度を向上することができる。
In the
また、外観検査装置1では、検査部64による合成検査画像84の生成よりも前に、補正部63により、複数の個別検査画像81の明るさの相違を低減する補正が行われる。これにより、複数の個別検査画像81において、複数の光出射部51から出射される光の強度差や、複数の光出射部51と対象物9との間のそれぞれの距離の差等による影響を除去または抑制することができる。その結果、合成検査画像84の生成の際に、各画素に対応する代表画素値を精度良く求めることができ、対象物9の外観検査の精度をより一層向上することができる。
In the
上述のように、照明部5は、対象物9に対する相対位置が互いに異なる複数の光出射部51を備える。そして、出射制御部621により、当該複数の光出射部51からの光の出射が制御されることにより、光出射部51からの光の照射方向を容易に変更することができる。また、対象物9に対する光の照射方向が容易に変更可能な照明部5を、低コストにて製造することができる。
As described above, the
上述の外観検査装置1については、様々な変更が可能である。
Various changes can be made to the
例えば、外観検査装置1では、個別検査画像81を取得する際に、複数の光出射部51のうち2つ以上の光出射部51が点灯されてもよい。照明部5では、点灯される光出射部51の数を変更することにより、照明部5から対象物9への光の照射方向のみならず、対象物9へと照射される光の明るさも容易に変更することができる。
For example, in the
照明部5は、必ずしも複数の光出射部51を備える必要はなく、1つの光出射部51と、当該光出射部51を対象物9の周囲にて移動する移動機構とを備えていてもよい。移動機構により光出射部51の位置が変更されることにより、照明部5から対象物9への光の照射方向が変更される。あるいは、照明部5は、1つの光出射部51と、対象物9を支持する支持部2を水平に回転させる回転機構を備えていてもよい。当該回転機構により、支持部2および支持部2に固定された撮像部4が、支持部2の中心を通るとともに上下方向を向く回転軸を中心として回転する。これにより、照明部5から対象物9への光の照射方向が変更される。
The
外観検査装置1では、複数の個別検査画像81の明るさの相違が小さい場合には、補正部63による補正は省略されてよい。また、合成検査画像84が生成される際に取得される代表画素値は、必ずしも最も暗い画素の画素値や画素値の平均である必要はなく、複数の個別検査画像81の画素の画素値に基づいて様々な方法にて求められてよい。
In the
個別検査画像81における対象物9の位置が、基準画像80における良品90の位置とずれている場合、パターンマッチング等により、対象物9の位置が良品90の位置と一致するように個別検査画像81に対する処理が施されることが好ましい。当該処理は、合成検査画像84の生成(ステップS15)よりも前に行われることが好ましい。
When the position of the
図1に示す外観検査装置1では、支持部2上にて停止している対象物9に対して外観検査が行われるが、移動中の対象物9に対して外観検査が行われてもよい。例えば、ベルトコンベヤ等により所定の移動経路上を搬送される対象物9に対して、当該移動経路に沿って配置された照明部5からの対象物9に対する光の照射方向を変更しつつ撮像部4により複数の個別検査画像81が取得されてもよい。この場合、上述のパターンマッチング等による対象物9と良品90との位置合わせが行われる。
In the
上述の例では、欠陥凹部91の検出について説明したが、外観検査装置1により検出される形状欠陥は、凸部や他の様々な形状であってもよい。この場合も、合成検査画像84において第2領域83の出現が抑制または防止されるため、形状欠陥に起因する第1領域82を容易に抽出することができる。その結果、対象物9の光沢による影響を抑制し、高精度な外観検査を実現することができる。
In the above example, the detection of the
上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。 The configurations in the above-described embodiments and modifications may be combined as appropriate as long as they do not contradict each other.
1 外観検査装置
4 撮像部
5 照明部
9 対象物
51 光出射部
62 撮像制御部
63 補正部
64 検査部
80 基準画像
81 個別検査画像
84 合成検査画像
641 画像合成部
642 検出部
S11〜S16 ステップ
DESCRIPTION OF
Claims (5)
対象物に対して光の照射方向を変更しつつ光を照射する照明部と、
前記対象物を撮像する撮像部と、
前記照明部および前記撮像部を制御することにより、前記照明部からの光の照射方向がそれぞれ異なる前記対象物の複数の個別検査画像を取得する撮像制御部と、
前記複数の個別検査画像から合成検査画像を生成し、前記合成検査画像と予め準備された基準画像とに基づいて前記対象物の外観を検査する検査部と、
を備え、
前記検査部が、
前記合成検査画像上の各画素に対応する前記複数の個別検査画像の画素の画素値に基づいて代表画素値を取得し、前記代表画素値を前記各画素の画素値に決定する画像合成部と、
前記合成検査画像と前記基準画像とを比較し、前記合成検査画像と前記基準画像との差異を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする外観検査装置。 An appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of an object having gloss on the surface,
An illumination unit that emits light while changing the direction of light irradiation on the object;
An imaging unit for imaging the object;
By controlling the illumination unit and the imaging unit, an imaging control unit that acquires a plurality of individual inspection images of the object with different irradiation directions of light from the illumination unit;
An inspection unit that generates a composite inspection image from the plurality of individual inspection images, and inspects the appearance of the object based on the composite inspection image and a reference image prepared in advance;
With
The inspection unit is
An image composition unit that obtains representative pixel values based on pixel values of pixels of the plurality of individual inspection images corresponding to the pixels on the composite inspection image, and determines the representative pixel values as pixel values of the pixels; ,
A detector that compares the composite inspection image with the reference image and detects a difference between the composite inspection image and the reference image;
An appearance inspection apparatus comprising:
前記画像合成部において取得される前記代表画素値が、前記複数の個別検査画像の画素のうち最も暗い画素の画素値であることを特徴とする外観検査装置。 The appearance inspection apparatus according to claim 1,
The appearance inspection apparatus, wherein the representative pixel value acquired in the image composition unit is a pixel value of a darkest pixel among the pixels of the plurality of individual inspection images.
前記画像合成部において取得される前記代表画素値が、前記複数の個別検査画像の画素の画素値の平均であることを特徴とする外観検査装置。 The appearance inspection apparatus according to claim 1,
The appearance inspection apparatus, wherein the representative pixel value acquired in the image composition unit is an average of pixel values of pixels of the plurality of individual inspection images.
前記検査部による前記合成検査画像の生成よりも前に、前記複数の個別検査画像の明るさの相違を低減する補正を行う補正部をさらに備えることを特徴とする外観検査装置。 The appearance inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3,
An appearance inspection apparatus further comprising a correction unit that performs correction to reduce a difference in brightness of the plurality of individual inspection images before the generation of the combined inspection image by the inspection unit.
前記照明部が、前記対象物に対する相対位置が異なる複数の光出射部を備え、
前記撮像制御部が、前記複数の光出射部からの光の出射を制御することを特徴とする外観検査装置。 The appearance inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The illumination unit includes a plurality of light emitting units having different relative positions with respect to the object,
The appearance inspection apparatus, wherein the imaging control unit controls light emission from the plurality of light emitting units.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013201158A JP2015068668A (en) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | Appearance inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013201158A JP2015068668A (en) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | Appearance inspection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015068668A true JP2015068668A (en) | 2015-04-13 |
Family
ID=52835487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013201158A Pending JP2015068668A (en) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | Appearance inspection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015068668A (en) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018034051A1 (en) | 2016-08-18 | 2018-02-22 | 株式会社Screenホールディングス | Inspection apparatus and inspection method |
WO2018216495A1 (en) | 2017-05-26 | 2018-11-29 | 新東工業株式会社 | Inspection device and casting system |
JP2019160327A (en) * | 2019-04-16 | 2019-09-19 | 株式会社マーケットヴィジョン | Image recognition system |
JP2019160328A (en) * | 2019-04-16 | 2019-09-19 | 株式会社マーケットヴィジョン | Image recognition system |
WO2020066415A1 (en) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社Screenホールディングス | Three-dimensional shape inspection device, three-dimensional shape inspection method, three-dimensional shape inspection program, and computer |
WO2021167768A1 (en) * | 2020-02-21 | 2021-08-26 | Applied Materials, Inc. | Method and system for inspection of products |
WO2022131279A1 (en) * | 2020-12-17 | 2022-06-23 | 日立Astemo株式会社 | Appearance inspection device and appearance inspection method |
CN115131346A (en) * | 2022-08-29 | 2022-09-30 | 江苏万容机械科技有限公司 | Fermentation tank processing procedure detection method and system based on artificial intelligence |
EP4184150A4 (en) * | 2020-07-15 | 2024-01-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Imaging system, inspection system, information processing device, information processing method and program thereof, and imaging control method and program thereof |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1010051A (en) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Fanuc Ltd | Applying condition detecting device using vision sensor |
JP2000171409A (en) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Ntt Fanet Systems Corp | Visual examination method and apparatus |
JP2004109094A (en) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Honda Electron Co Ltd | Surface inspection apparatus and method |
JP2005077272A (en) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Olympus Corp | Method for inspecting defect |
JP2007170838A (en) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Ryusyo Industrial Co Ltd | Visual inspection apparatus |
WO2009099142A1 (en) * | 2008-02-06 | 2009-08-13 | Nikon Corporation | Surface inspecting apparatus and surface inspecting method |
JP2011163766A (en) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Omron Corp | Image processing method and image processing system |
JP2012154707A (en) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Stanley Electric Co Ltd | Foreign matter inspection device of lead terminal |
JP2014055845A (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Aisin Seiki Co Ltd | Component inspection apparatus and component inspection method |
-
2013
- 2013-09-27 JP JP2013201158A patent/JP2015068668A/en active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1010051A (en) * | 1996-06-25 | 1998-01-16 | Fanuc Ltd | Applying condition detecting device using vision sensor |
JP2000171409A (en) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Ntt Fanet Systems Corp | Visual examination method and apparatus |
JP2004109094A (en) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Honda Electron Co Ltd | Surface inspection apparatus and method |
JP2005077272A (en) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Olympus Corp | Method for inspecting defect |
JP2007170838A (en) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Ryusyo Industrial Co Ltd | Visual inspection apparatus |
WO2009099142A1 (en) * | 2008-02-06 | 2009-08-13 | Nikon Corporation | Surface inspecting apparatus and surface inspecting method |
JP2011163766A (en) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Omron Corp | Image processing method and image processing system |
JP2012154707A (en) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Stanley Electric Co Ltd | Foreign matter inspection device of lead terminal |
JP2014055845A (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-27 | Aisin Seiki Co Ltd | Component inspection apparatus and component inspection method |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190022764A (en) | 2016-08-18 | 2019-03-06 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | Inspection device and inspection method |
WO2018034051A1 (en) | 2016-08-18 | 2018-02-22 | 株式会社Screenホールディングス | Inspection apparatus and inspection method |
US10942131B2 (en) | 2016-08-18 | 2021-03-09 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Inspection apparatus and inspection method |
US11158041B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-10-26 | Sintokogio, Ltd. | Inspection device and casting system |
WO2018216495A1 (en) | 2017-05-26 | 2018-11-29 | 新東工業株式会社 | Inspection device and casting system |
KR20200012838A (en) | 2017-05-26 | 2020-02-05 | 신토고교 가부시키가이샤 | Inspection device and casting system |
EP3546927A4 (en) * | 2017-05-26 | 2020-09-09 | Sintokogio, Ltd. | Inspection device and casting system |
JP7153514B2 (en) | 2018-09-25 | 2022-10-14 | 株式会社Screenホールディングス | 3D shape inspection device, 3D shape inspection method, 3D shape inspection program, computer |
WO2020066415A1 (en) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社Screenホールディングス | Three-dimensional shape inspection device, three-dimensional shape inspection method, three-dimensional shape inspection program, and computer |
JP2020051762A (en) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社Screenホールディングス | Three-dimensional shape inspection device, three-dimensional shape inspection method, three-dimensional shape inspection program, and computer |
JP2019160328A (en) * | 2019-04-16 | 2019-09-19 | 株式会社マーケットヴィジョン | Image recognition system |
JP2019160327A (en) * | 2019-04-16 | 2019-09-19 | 株式会社マーケットヴィジョン | Image recognition system |
WO2021167768A1 (en) * | 2020-02-21 | 2021-08-26 | Applied Materials, Inc. | Method and system for inspection of products |
US11733178B2 (en) | 2020-02-21 | 2023-08-22 | Applied Materials, Inc. | Method and system for inspection of products |
EP4184150A4 (en) * | 2020-07-15 | 2024-01-17 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Imaging system, inspection system, information processing device, information processing method and program thereof, and imaging control method and program thereof |
WO2022131279A1 (en) * | 2020-12-17 | 2022-06-23 | 日立Astemo株式会社 | Appearance inspection device and appearance inspection method |
JP7579130B2 (en) | 2020-12-17 | 2024-11-07 | 日立Astemo株式会社 | Visual inspection device and visual inspection method |
CN115131346A (en) * | 2022-08-29 | 2022-09-30 | 江苏万容机械科技有限公司 | Fermentation tank processing procedure detection method and system based on artificial intelligence |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015068668A (en) | Appearance inspection device | |
US10613037B2 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
US10705029B2 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
JP6629455B2 (en) | Appearance inspection equipment, lighting equipment, photography lighting equipment | |
TWI626438B (en) | Inspection apparatus and article manufacturing method | |
US20160267647A1 (en) | Information processing apparatus, information processing method, and storage medium | |
KR20070092607A (en) | Defect inspection device and defect inspection method | |
JP5174540B2 (en) | Wood defect detection device | |
TW201531695A (en) | Automatic appearance inspection device | |
JP5124705B1 (en) | Solder height detection method and solder height detection device | |
US10533952B2 (en) | Method of inspecting a terminal of a component mounted on a substrate and substrate inspection apparatus | |
JP6745150B2 (en) | Lighting device and image inspection device | |
TWI495867B (en) | Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method | |
JP2017120232A (en) | Inspection device | |
JP2019109071A (en) | Image processing system, image processing program, and method for processing image | |
CN114324344A (en) | Non-lambert surface inspection system for line scanning | |
KR101358370B1 (en) | Semiconductor package inspection apparatus and inspection method thereof | |
TWI687672B (en) | Optical inspection system and image processing method thereof | |
JP5959430B2 (en) | Bottle cap appearance inspection device and appearance inspection method | |
JP2015210226A (en) | Visual inspection device and visual inspection method | |
JP6260175B2 (en) | Sign panel inspection system, sign panel inspection method | |
WO2019117802A1 (en) | A system for obtaining 3d images of objects and a process thereof | |
KR101442666B1 (en) | Vision inspection apparatus comprising light part of plural line | |
JP2022142661A (en) | Color unevenness evaluation device, color unevenness evaluation system, color unevenness evaluation method and program | |
JP4967132B2 (en) | Defect inspection method for object surface |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170914 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180308 |