JP2015055631A - ディスプレー用パネルの検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ディスプレー用パネルを連続的かつ迅速に検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】ディスプレー用パネル検査装置は、パネルが装着されるパネル装着部を有するパネル装着ジグ１２と、パネルの下部に光を照射するためにパネル装着ジグに設けられるバックライト１５と、パネル装着ジグに装着されるパネルを撮影するための撮影装置１８と、撮影装置を移動させる撮影装置移動ユニット３４とを含む。撮影装置は、レンズ部がパネルに向けるように配置される検査カメラ２０と、パネルに対する検査カメラの撮影角度が変わるように検査カメラを回転させる検査カメラ回転装置２３と、検査カメラ回転装置を支持するフレーム２２と、検査カメラが撮影するパネルの上部に光を照射するための照明装置２１と、フレームに結合されて照明装置を支持するとともに照明装置の光照射の角度が変わるように照明装置を動かす照明装置運動ユニット２５とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ディスプレー用パネルの検査装置に関し、より詳しくは、各種ディスプレー用パネルを迅速かつ正確に検査することができるディスプレー用パネルの検査装置に関する。

最近、スマートフォン、デジタルＴＶ、タブレットＰＣ、ノート・パソコン、ＰＭＰ、ナビゲーションなどの多様なデジタル機器が発売開始されながら、平板表示装置やタッチスクリーンなどに用いられるディスプレー用パネルの需要が増加している。

平板表示装置としては、液晶表示装置（ＬＣＤ）、プラズマ表示装置（ＰＤＰ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）などがある。液晶表示装置の場合、軽量、薄型、低電力駆動、フールカラー、高解像度具現などの特徴により、各種デジタル機器のディスプレー装置で広く用いられている。

液晶表示装置は、光の透過率を制御する液晶表示パネルに偏光板とバックライトユニットとを取り付けて製造する。プラズマ表示装置は、相互対向する二つのパネルに相互交差する電極を配列して製造する。このような液晶表示装置やプラズマ表示装置を含めて各種平板表示装置は、平板表示パネルに透明保護板など多様な機能のパネルを取り付けて製造する。

タッチスクリーンは、各種平板表示装置の表示面に設けられてユーザーが表示装置を見ながら望む情報を選択するように用いられる入力装置である。タッチスクリーンは、抵抗膜方式（Resistive Type）、靜電容量方式（Capacitive Type）、電気磁場形方式（Electro-Magnetic Type）、ソー方式（Saw Type）、及び赤外線方式（Infrared Type）などがある。このようなタッチスクリーンは、透明な材質のウィンドーパネルに透明電極パネルを取り付けて製造する。

このように平板表示装置やタッチスクリーンなどのパネル型ディスプレーに用いられるディスプレー用パネルは複数のパネル素子を取り付けて製造する。ディスプレー用パネルを構成する複数のパネル素子を取り付ける方法としては、いずれか一つのパネル素子の一側面まわりに両面テープを取り付けて他のパネル素子をこれに合着して二つのパネル素子を取り付ける方法がある。このような二つのパネル素子を部分的に接着する方法はパネル素子を加圧する時、両面テープが配置されない二つのパネル素子間のギャップ（gap）が崩れて不良が発生する問題が起こることができる。

他の方法として、ＯＣＡなどの接着フィルムで二つのパネル素子間の見合わせる面全体を接着する方法がある。このようなパネル素子の取り付け方法は、パネル素子の加圧時、二つのパネル素子間の微細間隔の崩れる問題は発生しないが、接着面積が広いから、取り付け作業時に更に注意が要求される。

また、接着しようとする二つのパネル素子間に硬化性溶剤を塗布し、これを硬化させて接合する方法も知られている。

このように多様な方法で複数のパネル素子を取り付けてディスプレー用パネルを製造することにおいて、パネル素子とパネル素子との間に気泡が生ずるとか、異物が流入することがある。また、製造過程において、ディスプレー用パネルの表面に染みや傷が生ずることができる。このようなディスプレー用パネルの欠陷は最終製品の不良につながるから、ディスプレー用パネルの製造時、必須に検査過程を経なければならない。ディスプレー用パネルを検査する方法としては、カメラでディスプレー用パネルを撮影し、撮影されたイメージをコンピューターで分析する方法がある。

ディスプレー用パネルの検査装置の一例として、特許文献１（２００８年１２月３１日公開）にはＬＣＤパネルの外観全体を撮影してＬＣＤパネルの外観に対する不良状態の検査を行なう検査装置が開示されている。前記公報に開示された検査装置は、ＬＣＤパネルを底面と垂直になるように立てた後、高解像度カメラを用いてＬＣＤパネルの外観を撮影する。

韓国公開特許第２００８−０１１３６２１号公報

しかしながら、上述のとおり、従来の検査装置は、カメラをロボットユニットを用いて移動させながらディスプレー用パネルに対する部分的な撮影を連続的に行なうことによってディスプレー用パネルの全体イメージを獲得することで、ディスプレー用パネルを構成する複数のパネル素子のうち、最外郭に配置されるパネル素子をカメラで撮影するには問題がないが、内側に配置されるパネル素子や、内側に配置されるパネル素子間の接着面を検査することには困難がある。

本発明は、このような点を勘案して案出されたもので、本発明の目的は、ディスプレー用パネルの表面と内部の検査対象部位に安定的かつ正確に光を照射しつつ、ディスプレー用パネルの検査対象部位を撮影してディスプレー用パネルを正確かつ精密に検査することができるディスプレー用パネルの検査装置を提供することである。

前記目的を達成するための本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、ディスプレー用パネルが装着されるパネル装着部を有するパネル装着ジグと、前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの下部に光を照射するために前記パネル装着ジグに設けられるバックライトと、前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルを撮影するための撮影装置と、前記撮影装置が前記ディスプレー用パネルを部分的に連続して撮影するように前記撮影装置を移動させる撮影装置移動ユニットとを含む。前記撮影装置は、そのレンズ部が前記ディスプレー用パネルに向けるように配置される検査カメラと、前記ディスプレー用パネルに対する前記検査カメラの撮影角度が変わるように前記検査カメラを回転させる検査カメラ回転装置と、前記検査カメラ回転装置を支持するフレームと、前記検査カメラが撮影する前記ディスプレー用パネルの上部に光を照射するための照明装置と、前記フレームに結合されて前記照明装置を支持するとともに、前記ディスプレー用パネルに対する前記照明装置の光照射の角度が変わるように前記照明装置を動かす照明装置運動ユニットとを含む。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記パネル装着部に装着される前記ディスプレー用パネルを駆動させるために前記パネル装着ジグと電気的に連結される駆動ドライバーを更に含むことができる。

前記照明装置運動ユニットは、前記照明装置を回転させる照明装置の回転装置を含むことができる。

前記照明装置運動ユニットは、前記照明装置を前記撮影装置側に前進させたり前記撮影装置から遠くなるように後退させる第１の照明装置の移動装置と、前記照明装置を前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルに近くなるように下降させたり前記ディスプレー用パネルから遠くなるように上昇させる第２の照明装置の移動装置とを更に含むことができる。

前記撮影装置移動ユニットは、前記撮影装置を前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルの長さ方向に移動させる第１の撮影装置の移動装置と、前記撮影装置を前記ディスプレー用パネルの幅方向に移動させる第２の撮影装置の移動装置と、前記撮影装置を上下方向に移動させる撮影装置の昇降装置とを含むことができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記パネル装着ジグを多方向にティルティングさせるパネル装着ジグ・ティルティング装置を更に含むことができる。

前記パネル装着ジグ・ティルティング装置は、前記パネル装着ジグを多方向にティルティング可能に支持するピボット軸と、前記パネル装着ジグを押引して前記パネル装着ジグを底面と平行する第１のティルティング中心線を中心にティルティングさせる第１のティルティング・アクチュエーターと、前記パネル装着ジグを押引して前記パネル装着ジグを底面と平行しつつ、前記第１のティルティング中心線と交差する第２のティルティング中心線を中心にティルティングさせる第２のティルティング・アクチュエーターとを含むことができる。

前記パネル装着ジグ・ティルティング装置は、前記パネル装着ジグと結合されて底面と平行に配置される第１の支持軸と、前記第１のティルティング・プレートを押引して前記パネル装着ジグを前記第１の支持軸を中心にティルティングさせる第１のティルティング・アクチュエーターと、前記パネル装着ジグの下部に底面と平行しつつ、前記第１の支持軸と交差するように配置される第２の支持軸と、前記第２の支持軸を中心にしてティルティングされることができるように前記第２の支持軸と結合されて前記第１の支持軸と前記第１のティルティング・アクチュエーターを支持するティルティング・プレートと、前記ティルティング・プレートを押引して前記ティルティング・プレートを前記第２の支持軸を中心にティルティングさせる第２のティルティング・アクチュエーターとを含むことができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記パネル装着ジグが搭載され、ターンテーブル回転装置により間歇回転して前記パネル装着ジグを回転経路に沿って移送させるターンテーブルを更に含み、前記撮影装置は、前記回転経路上に前記パネル装着ジグが停止するように用意される撮影ゾーンに設けられることができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記回転経路の前記撮影装置よりも上流に設けられて前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルに取り付けされた保護フィルムを前記ディスプレー用パネルから脱離する保護フィルムの脱離装置を更に含むことができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記保護フィルムの脱離装置により前記ディスプレー用パネルから脱離される前記保護フィルムが装着されるように前記ターンテーブル上に設けられる保護フィルムの装着板を更に含むことができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記回転経路の前記撮影装置よりも下流に設けられて前記パネル装着ジグに装着されて前記撮影ゾーンを通過した前記ディスプレー用パネルの上面に保護フィルムを取り付ける保護フィルム取り付け装置を更に含むことができる。

前記保護フィルム取り付け装置は、前記保護フィルムを把持して前記ディスプレー用パネルの上面に運搬する保護フィルム把持機構と、前記保護フィルム把持機構と結合されて前記保護フィルム把持機構を移動させる移動ユニットを含み、前記移動ユニットは、前記保護フィルム把持機構を上下方向に移動させる昇降装置と、前記保護フィルム把持機構を前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行する第１の方向に移動させる第１の移動装置と、前記保護フィルム把持機構を前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行して前記第１の方向と交差する第２の方向に移動させる第２の移動装置とを含むことができる。

前記保護フィルム取り付け装置は、前記ディスプレー用パネルの上面に運搬された前記保護フィルムを前記ディスプレー用パネルの上面に加圧して圧搾させる加圧ローラーを有する保護フィルム圧搾装置を更に含むことができる。

前記保護フィルム取り付け装置は、前記加圧ローラーを前記ディスプレー用パネルの上面に運搬された前記保護フィルム側に加圧するためのローラー加圧装置を更に含むことができる。

前記保護フィルム取り付け装置は、前記保護フィルムを吸着して前記ディスプレー用パネルの上面に運搬するように複数の吸入口を有する保護フィルム把持機構と、前記保護フィルム把持機構に吸着された前記保護フィルムを前記ディスプレー用パネルの上面に加圧して圧搾させるために前記保護フィルム把持機構の一端に転がり運動可能に結合される加圧ローラーと、前記保護フィルム把持機構がヒンジ結合され、前記保護フィルム把持機構を移動させる移動ユニットと、前記加圧ローラーが前記ディスプレー用パネルの上面に接近して前記保護フィルム把持機構に吸着された前記保護フィルムを前記ディスプレー用パネルの上面に加圧するように前記保護フィルム把持機構を傾けるローラー加圧装置とを含むことができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記回転経路の前記撮影装置よりも下流に設けられて前記パネル装着ジグに装着されて前記撮影装置を通過した前記ディスプレー用パネルの上面に取り付けられた保護フィルム上に（位置）マークを表示するためのマーキング装置と、前記撮影装置から撮影イメージの提供を受けてその撮影イメージを分析して前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルの欠陥有無を判断し、前記マーキング装置の動作を制御する制御装置とを更に含み、前記制御装置は前記撮影装置が撮影した前記ディスプレー用パネルの撮影イメージに欠陷があれば前記マーキング装置を制御して前記ディスプレー用パネルの上面に取り付けられた保護フィルム上に（欠陥位置）マークを表示することができる。

前記マーキング装置は、前記保護フィルム上に（欠陥位置）マークを表示することができるマーカーと、前記マーカーを上下方向に移動させる昇降装置と、前記マーカーを前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行する第１の方向に移動させる第１の移動装置と、前記マーカーを前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行して前記第１の方向と交差する第２の方向に移動させる第２の移動装置とを含むことができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面をクリーニングするために前記回転経路の前記撮影装置よりも上流に設けられるクリーニング装置を更に含むことができる。

前記クリーニング装置は、前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面にエアを噴射して前記ディスプレー用パネルの上面から異物を吹き飛ばすエアクリーナーを含むことができる。

前記クリーニング装置は、前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面に接して回転移動して前記ディスプレー用パネルの上面から異物を引き離すクリーニングローラーを有するローラークリーナーを含むことができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、前記回転経路の前記撮影装置よりも下流に設けられて前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルを前記パネル装着ジグの外部に運搬するパネル運搬装置と、前記撮影装置から撮影イメージの提供を受けてその撮影イメージを分析して前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルの欠陥有無を判断して前記パネル運搬装置の動作を制御する制御装置とを更に含み、前記制御装置は、前記ディスプレー用パネルの欠陥有無に基づいて、前記パネル運搬装置により運搬される前記ディスプレー用パネルの運搬位置が異なるように調整することができる。

本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、ディスプレー用パネルをパネル装着ジグに装着し、バックライトでディスプレー用パネルの下部で光を照射し、照明装置でディスプレー用パネルの上部で光を照射しつつ検査カメラでディスプレー用パネルの表面だけではなく、ディスプレー用パネルの内部領域を撮影してディスプレー用パネルに対する多様な欠陷を検出することができる。

また、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、ディスプレー用パネルをパネル装着ジグに装着してディスプレー用パネルに電源を供給してディスプレー用パネルを作動させつつディスプレー用パネルの表面及び内部領域を検査カメラで撮影することで、ディスプレー用パネルのパターン不良や色素子不良などディスプレー用パネルの作動上の欠陷を容易に検出することができる。

また、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、検査カメラ回転装置で検査カメラを回転させてディスプレー用パネルに対する検査カメラの撮影角度を多様に変化させることができ、検査カメラの撮影領域に合わせて照明装置運動ユニットで照明装置の光照射の角度及び光照射の領域を多様に変更させることができる。したがって、照明装置で照射される光を検査カメラの多様な撮影領域で集中させることができて当該検査部位に対する最適の撮影イメージを獲得することができ、ディスプレー用パネルに対する検査の正確度及び信頼度を高めることができる。

また、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、ディスプレー用パネルが装着されるパネル装着ジグをターンテーブル上に複数で装着してターンテーブルを一定角度ずつ間歇回転させつつ、ディスプレー用パネルのローディング、ディスプレー用パネルのクリーニング、ディスプレー用パネルの撮影、ディスプレー用パネルに保護フィルムの取り付け、ディスプレー用パネル上に欠陥部位の表示、ディスプレー用パネルのアンローディングなどの作業を連続的に行なうことにより、多数のディスプレー用パネルを迅速かつ効果的に検査することができ、欠陷のあるディスプレー用パネルを効果的に取り除くことができる。

また、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、ディスプレー用パネルが装着される複数のパネル装着ジグを回転するターンテーブルに装着することで、検査対象となるディスプレー用パネルをターンテーブル上に用意される回転経路に沿って移送させつつ、ディスプレー用パネルに対する検査を行なうことができる。したがって、別に設置空間を占めないでコンパクトした構造が可能である。

また、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置は、パネル検査機でディスプレー用パネルを検査した後、マーキング装置を通じて欠陷のあるディスプレー用パネル上に欠陥位置や欠陥可否を自動で表示することができる。したがって、欠陷のあるディスプレー用パネルに対する修理作業や、組立または包装などの後続作業が円滑に行なうようにして、作業者がディスプレー用パネルの欠陥位置を容易に把握するようにして、ディスプレー用パネルに発生する欠陷に対する分析作業が容易に行なうようにする。

本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す斜視図である。 本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す正面図である。 本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のディスプレー用パネルの検査方法を説明するための図である。 本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す斜視図である。 本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す正面図である。 本発明の第３の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す斜視図である。 本発明の第３の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のパネル装着ジグ及びパネル装着ジグ・ティルティング装置を示す正面図である。 本発明の第３の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のパネル装着ジグ及びパネル装着ジグ・ティルティング装置を示す平面図である。 本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す平面図である。 本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のパネル装着ジグとクリーニング装置及びその周辺構成とを示す図である。 本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のパネル装着ジグと、保護フィルム取り付け装置と、マーキング装置及びその周辺構成とを示す斜視図である。 本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置の保護フィルム取り付け装置及びマーキング装置の作用を説明するための図である。 本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置の保護フィルム取り付け装置及びマーキング装置の作用を説明するための図である。 本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置の保護フィルム取り付け装置及びマーキング装置の作用を説明するための図である。

以下、添付図面に基づいて本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置に対して詳細に説明する。

本発明を説明することにおいて、図面に示された構成要素の大きさや形状などは、説明の明瞭性と便宜のために誇張または単純化されて現われることができる。また、本発明の構成及び作用を考慮して特別に定義された用語はユーザー、運用者の意図または慣例によって変わることができる。このような用語は、本明細書全般にわたった内容に基づいて本発明の技術的思想に符合する意味と概念に解釈されなければならない。

図１は、本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す斜視図であり、図２は、本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示す正面図であり、図３は、本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のディスプレー用パネルの検査方法を説明するための図である。

図１ないし図３に示すように、本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）は、検査対象となるディスプレー用パネル（Ｐ）が装着されるパネル装着ジグ（１２）と、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）を撮影するための検査カメラ（２０）及び検査カメラ（２０）が撮影するディスプレー用パネル（Ｐ）の上部に光を照射するための照明装置（２１）を有する撮影装置（１８）と、撮影装置（１８）を移動させる撮影装置移動ユニット（３４）と、装置の全般的な動作を制御する制御装置（４６）とを含む。このような本発明の第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）は検査カメラ（２０）でディスプレー用パネル（Ｐ）を撮影して撮影したディスプレー用パネル（Ｐ）のイメージを制御装置（４６）が分析することで、ディスプレー用パネル（Ｐ）の製造過程や運搬過程においてディスプレー用パネル（Ｐ）の表面に生じた染みや傷、ディスプレー用パネル（Ｐ）の内部に流入された気泡や異物、またはディスプレー用パネル（Ｐ）のパターン不良、ディスプレー用パネル（Ｐ）の色素子不良など、ディスプレー用パネル（Ｐ）の多様な欠陷を検出することができる。

ここで、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）が検査することができる検査対象となるディスプレー用パネル（Ｐ）は、液晶パネルなどの平板表示装置やタッチスクリーン、または、その外、種々の製品を構成する多様なディスプレー用パネルになることができる。そして、ディスプレー用パネルの検査装置（１０）が検査することができるディスプレー用パネル（Ｐ）の検査領域は、ディスプレー用パネル（Ｐ）の表面だけではなく、順に積層されてディスプレー用パネル（Ｐ）を構成するパネル素子とパネル素子との間の接着層などディスプレー用パネル（Ｐ）の内部領域である。

パネル装着ジグ（１２）はディスプレー用パネル（Ｐ）が装着されるパネル装着部（１３）と、パネル装着部（１３）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）と電気的に接続することができるコネクター（１４）とを有する。パネル装着部（１３）はディスプレー用パネル（Ｐ）が収容されるようにディスプレー用パネル（Ｐ）の形状及び大きさに対応する溝状からなり、パネル装着部（１３）にディスプレー用パネル（Ｐ）が装着されると、ディスプレー用パネル（Ｐ）の端子部（未図示）がコネクター（１４）と電気的に接続されることができる。

パネル装着ジグ（１２）のパネル装着部（１３）にはバックライト（１５）が設けられる。バックライト（１５）はパネル装着部（１３）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の下部に光を照射するためのものである。検査カメラ（２０）でパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）を撮影する時、バックライト（１５）でパネル装着部（１３）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）に光を照射すると、ディスプレー用パネル（Ｐ）の内部を更に明確に撮影することができる。

バックライト（１５）は駆動ドライバー（１６）から電源の供給を受けて作動する。駆動ドライバー（１６）はパネル装着ジグ（１２）の内部に設けられ、バックライト（１５）を作動させて、コネクター（１４）を通じてパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）に電源を供給することでディスプレー用パネル（Ｐ）を駆動させる。ディスプレー用パネル（Ｐ）に電源を供給してディスプレー用パネル（Ｐ）を作動させつつ検査カメラ（２０）でディスプレー用パネル（Ｐ）を撮影すると、ディスプレー用パネル（Ｐ）の作動中の欠陥可否を確認することができる。

本発明において、パネル装着ジグ（１２）の具体的な構造、例えば、パネル装着部（１３）の設置個数や、バックライト（１５）の設置位置や設置個数、コネクター（１４）の設置個数や設置位置などは示されたものに限定されず多様に変更されることができる。パネル装着部（１３）の場合、示すように溝形態以外にディスプレー用パネル（Ｐ）が安着される他の構造に変更されることができる。そして、バックライト（１５）や、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）に対する電源供給構造や、制御方法も多様に変更されることができる。

撮影装置（１８）はパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）を撮影するためのレンズ部（２０ａ）を有する検査カメラ（２０）と、検査カメラ（２０）が撮影するディスプレー用パネル（Ｐ）の上部に光を照射するための照明装置（２１）とを含む。検査カメラ（２０）と照明装置（２１）は一つの撮影装置移動ユニット（３４）によって同時に動くように一つのフレーム（２２）に装着される。検査カメラ（２０）はフレーム（２２）に設けられた検査カメラ回転装置（２３）に結合され、照明装置（２１）はフレーム（２２）に設けられた照明装置運動ユニット（２５）に結合される。

検査カメラ回転装置（２３）は検査カメラ（２０）を回転させることによってディスプレー用パネル（Ｐ）に対する検査カメラ（２０）の撮影角度を変化させることができる。ディスプレー用パネル（Ｐ）に対する検査時、検査カメラ（２０）はディスプレー用パネル（Ｐ）の表面だけではなく、ディスプレー用パネル（Ｐ）の内部、例えば、複数で積層されてディスプレー用パネル（Ｐ）を構成するそれぞれのパネル素子など、またはパネル素子同士間の接着層なども撮影するようになる。このようにディスプレー用パネル（Ｐ）の多くの部分を検査カメラ（２０）で撮影することにおいて、ディスプレー用パネル（Ｐ）の撮影部位により検査カメラ回転装置（２３）で検査カメラ（２０）を回転させて検査カメラ（２０）の撮影角度を変化させることで、当該検査部位に対する最適の撮影イメージを獲得することができる。

照明装置（２１）は検査カメラ（２０）がディスプレー用パネル（Ｐ）の鮮明なイメージを獲得するようにディスプレー用パネル（Ｐ）の検査カメラ（２０）が撮影する部分に光を照射する。通常、検査カメラ（２０）は一回の撮影でディスプレー用パネル（Ｐ）の部分的なイメージを獲得することができ、数回の撮影を通じてディスプレー用パネル（Ｐ）の全体イメージを獲得するようになる。検査カメラ（２０）が一回の撮影でディスプレー用パネル（Ｐ）から獲得するイメージは線形イメージである。したがって、照明装置（２１）は検査カメラ（２０）が撮影するディスプレー用パネル（Ｐ）の線形的な部分に集中的に光を照射することが好ましく、このために照明装置（２１）に備えられるランプ（２１ａ）は線光源の形態からなることがよい。もちろん、ランプ（２１ａ）の構造や出射光の形態、光照射の領域などは検査カメラ（２０）が一回撮影することができる領域の大きさや形態などによって多様に変更されることができる。

照明装置（２１）は照明装置運動ユニット（２５）により動くことで、ディスプレー用パネル（Ｐ）の検査カメラ（２０）が撮影する部分に集中的に光を照射することができる。照明装置運動ユニット（２５）は照明装置（２１）を回転させる照明装置の回転装置（２６）と、照明装置（２１）を底面と平行する方向に移動させる第１の照明装置の移動装置（２７）と、照明装置（２１）を底面と垂直である上下方向に移動させる第２の照明装置の移動装置（２８）とを含む。

照明装置運動ユニット（２５）により照明装置（２１）が上・下・左・右に移動及び回転することで、ディスプレー用パネル（Ｐ）に対する照明装置（２１）の光照射の角度及び光照射の領域が変わるようになる。例えば、図２に示すように、検査カメラ（２０）がパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の表面領域を撮影する場合、照明装置運動ユニット（２５）は照明装置（２１）をディスプレー用パネル（Ｐ）の表面に光を円滑に照射することができる位置に移動させる。そして、図３に示すように、検査カメラ（２０）がパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の内部領域を撮影する場合、照明装置運動ユニット（２５）は照明装置（２１）を動かしてディスプレー用パネル（Ｐ）の内部に光を円滑に照射することができる位置に移動させる。

照明装置の回転装置（２６）は、第１の移動部材（２９）に結合されて第１の移動部材（２９）とともに動き、第１の移動部材（２９）は第１の照明装置の移動装置（２７）により検査カメラ（２０）側に前進したり検査カメラ（２０）から遠くなるように後退するようになる。第１の移動部材（２９）は、フレーム（２２）にスライド移動可能に結合される第２の移動部材（３０）にスライド移動可能に結合される。第２の移動部材（３０）には底面と平行する第１のガイド溝（３１）が備えられて、第１の移動部材（２９）はこの第１のガイド溝（３１）に沿って直線移動するようになる。第１の照明装置の移動装置（２７）が作動すると、第１の移動部材（２９）と、これに結合された照明装置の回転装置（２６）及び照明装置の回転装置（２６）に結合された照明装置（２１）がともに検査カメラ（２０）側に前進したり検査カメラ（２０）から後退するようになる。第１の照明装置の移動装置（２７）は第２の移動部材（３０）に結合される。

第２の移動部材（３０）はフレーム（２２）に結合された第２の照明装置の移動装置（２８）によりフレーム（２２）が上下方向に用意された第２のガイド溝（３２）に沿って直線移動する。第２の移動部材（３０）が第２の照明装置の移動装置（２８）により動かれると、第２の移動部材（３０）に順に結合された第１の移動部材（２９）、照明装置の回転装置（２６）及び照明装置（２１）がパネル装着ジグ（１２）側に下降したりパネル装着ジグ（１２）の上方に上昇するようになる。

本発明において、照明装置（２１）を動かすための照明装置運動ユニット（２５）の具体的な構造は示したものに限定されず多様に変更されることができる。例えば、照明装置（２１）とフレーム（２２）との間に配置される照明装置の回転装置（２６）と、第１の照明装置の移動装置（２７）及び第２の照明装置の移動装置（２８）との配置順序は示したものと異なるように変更されることができ、照明装置（２１）と照明装置運動ユニット（２５）との結合構造も多様に変更されることができる。また、照明装置の回転装置（２６）と第１の照明装置の移動装置（２７）及び第２の照明装置の移動装置（２８）のそれぞれの具体的な構造や、これら間の結合構造も他の形態に変更されることができる。この以外に、照明装置運動ユニット（２５）は照明装置（２１）を上・下・左・右に移動及び回転させる構造以外に、照明装置（２１）を動かして照明装置（２１）の光照射の角度を変更する他の構造に変更されることができる。

検査カメラ（２０）と照明装置（２１）は一つのフレーム（２２）に結合されて撮影装置移動ユニット（３４）により共に動く。撮影装置移動ユニット（３４）は撮影装置（１８）を上下方向に移動させる撮影装置の昇降装置（３５）と、撮影装置（１８）をパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に移動させる第１の撮影装置の移動装置（３６）と、撮影装置（１８）をディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に移動させる第２の撮影装置の移動装置（３７）とを含む。

撮影装置（１８）のフレーム（２２）には連結部材（２４）が備えられ、この連結部材（２４）は上下方向に配置された支持柱（３８）にスライド移動可能に結合される。撮影装置の昇降装置（３５）は支持柱（３８）に結合されて連結部材（２４）を押引することで連結部材（２４）を支持柱（３８）に上下方向に用意されたレール溝（３９）に沿って直線移動させる。撮影装置の昇降装置（３５）の作動で連結部材（２４）と撮影装置（１８）が昇降するようになる。

支持柱（３８）はパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に移動するように設けられる第１のスライダー（４０）に結合される。第１のスライダー（４０）はパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に移動するように設けられる第２のスライダー（４１）上に設けられる。第２のスライダー（４１）上にはパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に配置される第１のガイドレール（４２）が備えられ、第１のスライダー（４０）は第１の撮影装置の移動装置（３６）により第１のガイドレール（４２）に沿って直線移動するようになる。第１の撮影装置の移動装置（３６）は第２のスライダー（４１）に結合される。第１の撮影装置の移動装置（３６）の作用で撮影装置（１８）が第１のスライダー（４０）とともに図２の“Ａ”に示したもののようなディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に移動することができ、撮影装置（１８）は移動しつつディスプレー用パネル（Ｐ）を部分的に連続撮影してディスプレー用パネル（Ｐ）の全体部分を撮影することができる。

第１のスライダー（４０）が結合された第２のスライダー（４１）は第２の撮影装置の移動装置（３７）によって動く。第２の撮影装置の移動装置（３７）の作用で第２のスライダー（４１）は支柱（４４）上にパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に延長された第２のガイドレール（４３）に沿って直線移動するようになる。第２の撮影装置の移動装置（３７）は支柱（４４）に結合される。第２の撮影装置の移動装置（３７）の作用で第２のスライダー（４１）と、これに結合された第１のスライダー（４０）及び撮影装置（１８）がディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に動くことができる。

このように、撮影装置（１８）は撮影装置移動ユニット（３４）により、上・下・前・後・左・右方向に動きつつ、パネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の全体部分を円滑に撮影することができる。撮影装置（１８）を動かすこのような撮影装置移動ユニット（３４）の具体的な構造は示したものに限定されず多様に変更されることができる。例えば、撮影装置の昇降装置（３５）と、第１の撮影装置の移動装置（３６）及び第２の撮影装置の移動装置（３７）との配置順序は示したものと異なるように変更されることができ、撮影装置（１８）と撮影装置移動ユニット（３４）との結合構造も多様に変更されることができる。また、撮影装置の昇降装置（３５）と第１の撮影装置の移動装置（３６）及び第２の撮影装置の移動装置（３７）とのそれぞれの具体的な構造や、これら間の結合構造も他の形態に変更されることができる。この以外に、撮影装置移動ユニット（３４）は撮影装置（１８）を上・下・前・後・左・右方向に直線移動させる構造以外に、撮影装置（１８）がパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）を部分的に連続して撮影するように撮影装置（１８）を動かす他の構造に変更されることができる。

上述のとおり、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）はディスプレー用パネル（Ｐ）をパネル装着ジグ（１２）に装着し、バックライト（１５）でディスプレー用パネル（Ｐ）の下部で光を照射し、照明装置（２１）でディスプレー用パネル（Ｐ）の上部で光を照射しつつ検査カメラ（２０）でディスプレー用パネル（Ｐ）の表面だけではなく、ディスプレー用パネル（Ｐ）の内部領域を撮影してディスプレー用パネル（Ｐ）に対する多様な欠陷を検出することができる。

また、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）はディスプレー用パネル（Ｐ）をパネル装着ジグ（１２）に装着し、ディスプレー用パネル（Ｐ）に電源を供給してディスプレー用パネル（Ｐ）を作動させつつ、ディスプレー用パネル（Ｐ）の表面及び内部領域を検査カメラ（２０）で撮影することにより、ディスプレー用パネル（Ｐ）のパターン不良や色素子不良などのディスプレー用パネル（Ｐ）の作動上の欠陷を容易に検出することができる。

また、本発明に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）は検査カメラ回転装置（２３）で検査カメラ（２０）を回転させてディスプレー用パネル（Ｐ）に対する検査カメラ（２０）の撮影角度を多様に変化させることができ、検査カメラ（２０）の撮影領域に合わせて照明装置運動ユニット（２５）で照明装置（２１）の光照射の角度及び光照射の領域を多様に変更させることができる。したがって、照明装置（２１）で照射される光を検査カメラ（２０）の多様な撮影領域で集中させて当該検査部位に対する最適の撮影イメージを獲得することができ、ディスプレー用パネル（Ｐ）に対する検査正確度及び信頼度を高めることができる。

一方、図４は、本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示した斜視図であり、図５は、本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示した正面図である。

図４及び図５に示された本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（４８）はディスプレー用パネル（Ｐ）が装着されるパネル装着ジグ（１２）と、検査カメラ（２０）及び照明装置（２１）を有する撮影装置（１８）と、撮影装置（１８）を移動させる撮影装置移動ユニット（３４）と、装置の全般的な動作を制御する制御装置（４６）と、パネル装着ジグ（１２）を多方向にティルティングさせるパネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）とを含む。このような本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（４８）は上述した第１の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）に比べ、パネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）を更に含むことで、パネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）以外の残り構成は上述のとおりである。

パネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）は底面に配置される支柱（５０）に結合されてパネル装着ジグ（１２）の下面に結合されてパネル装着ジグ（１２）を多方向にティルティング可能に支持するピボット軸（５１）と、パネル装着ジグ（１２）を押引してパネル装着ジグ（１２）をティルティングさせるための第１のティルティング・アクチュエーター（５５）及び第２のティルティング・アクチュエーター（６１）とを含む。ピボット軸（５１）の一端にはパネル装着ジグ（１２）の下面に備えられたソケット（５３）にピボット結合されるボール（５２）が備えられ、ピボット軸（５１）の他端は支柱（５０）に固定される。ピボット軸（５１）のボール（５２）とパネル装着ジグ（１２）とのピボット結合部位にはパネル装着ジグ（１２）のティルティング基準点になるピボットジョイント（Ａ）が用意される。

パネル装着ジグ（１２）のティルディング動作は支柱（５０）に設けられる第１のティルティング・アクチュエーター（５５）及び第２のティルティング・アクチュエーター（６１）からなる。すなわち、第１のティルティング・アクチュエーター（５５）はパネル装着ジグ（１２）を底面と平行にピボットジョイント（Ａ）を通過する第１のティルティング中心線を中心にティルティングさせて、第２のティルティング・アクチュエーター（６１）はパネル装着ジグ（１２）を底面と平行に第１のティルティング中心線とピボットジョイント（Ａ）で交差する第２のティルティング中心線を中心にティルティングさせる。第１のティルティング・アクチュエーター（５５）の作用と第２のティルティング・アクチュエーター（６１）との作用の組合でパネル装着ジグ（１２）はピボットジョイント（Ａ）を中心にして多方向にティルティングされることができる。本実施例において、第１のティルティング中心線はピボットジョイント（Ａ）を通過しつつ、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に延長される仮想線であり、第２のティルティング中心線はピボットジョイント（Ａ）を通過しつつ、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に延長される仮想線である。

第１のティルティング・アクチュエーター（５５）はアクチュエーター本体（５６）と、アクチュエーター本体（５６）に進退可能に結合される作動ロッド（５７）と、アクチュエーター本体（５６）を支持する支持ロッド（５８）とを含む。作動ロッド（５７）はパネル装着ジグ（１２）に結合されたソケット（５９）にピボット結合され、支持ロッド（５８）は支柱（５０）に結合されたソケット（６０）にピボット結合される。作動ロッド（５７）がパネル装着ジグ（１２）に加える力の作用点はピボットジョイント（Ａ）から外れた部分に位置する。第１のティルティング・アクチュエーター（５５）の作動ロッド（５７）が前進したり後退すると、パネル装着ジグ（１２）がピボットジョイント（Ａ）を通過する第１のティルティング中心線を中心にして時計方向又は反時計方向に回転することができる。

第２のティルティング・アクチュエーター（６１）は第１のティルティング・アクチュエーター（５５）の同じ構造からなることで、アクチュエーター本体（６２）と、アクチュエーター本体（６２）に進退可能に結合される作動ロッド（６３）と、アクチュエーター本体（６２）を支持する支持ロッド（６４）とを含む。作動ロッド（６３）はパネル装着ジグ（１２）に結合されたソケット（６５）にピボット結合され、支持ロッド（６４）は支柱（５０）に結合されたソケット（６６）にピボット結合される。作動ロッド（６３）がパネル装着ジグ（１２）に加える力の作用点はピボットジョイント（Ａ）から外れた部分に位置する。第２のティルティング・アクチュエーター（６１）の作動ロッド（６３）が前進したり後退すると、パネル装着ジグ（１２）がピボットジョイント（Ａ）を通過する第２のティルティング中心線を中心にして時計方向又は反時計方向に回転することができる。

本実施例において、パネル装着ジグ（１２）は上述のようなボールジョイント結合構造以外に多方向にティルティングされる他の結合構造で支柱（５０）と結合されることができる。そして、第１のティルティング・アクチュエーター（５５）及び第２のティルティング・アクチュエーター（６１）は示した構造以外にパネル装着ジグ（１２）を押引する他の構造に変更されることができ、ティルティング・アクチュエーターの個数や配置構造も多様に変更されることができる。第１のティルティング・アクチュエーター（５５）及び第２のティルティング・アクチュエーター（６１）の構造により第１のティルティング・アクチュエーター（５５）と支柱（５０）との結合構造、第２のティルティング・アクチュエーター（６１）と支柱（５０）との結合構造、第１のティルティング・アクチュエーター（５５）とパネル装着ジグ（１２）との結合構造、第２のティルティング・アクチュエーター（６１）とパネル装着ジグ（１２）との結合構造は多様に変更されることができる。また、第１のティルティング中心線や第２のティルティング中心線はパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向や長さ方向に配置されるものに限定されず、ピボットジョイント（Ａ）で相互交差する多様な仮想線になることができる。

上述のとおり、本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（４８）はディスプレー用パネル（Ｐ）が装着されるパネル装着ジグ（１２）がパネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）により多方向にティルティングされることができる。したがって、パネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）でパネル装着ジグ（１２）を多方向にティルティングさせることで、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）を検査カメラ（２０）が最適の鮮明な撮影イメージを獲得する姿勢に合わせることができる。すなわち、本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（４８）のパネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）はディスプレー用パネル（Ｐ）の姿勢を検査カメラ（２０）の撮影面と平行に合わせることができる。

パネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）の動作は、多様な方法で制御されることができるが、例えば、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の姿勢を検出することができる姿勢検出装置を設け、パネル装着ジグ（１２）にディスプレー用パネル（Ｐ）が装着される時ごとにディスプレー用パネル（Ｐ）の姿勢を検出し、検出されたディスプレー用パネル（Ｐ）の姿勢に合わせてパネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）を作動させてディスプレー用パネル（Ｐ）の姿勢を検査カメラ（２０）の姿勢に合わせることができる。この以外に、検査カメラ（２０）の位置や配置角度によりパネル装着ジグ・ティルティング装置（４９）を作動させてディスプレー用パネル（Ｐ）の姿勢を検査カメラ（２０）の撮影面と平行に合わせることができる。

一方、図６は、本発明の第３の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示した斜視図であり、図７は、本発明の第３の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のパネル装着ジグ及びパネル装着ジグ・ティルティング装置を示した正面図であり、図８は、本発明の第３の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置のパネル装着ジグ及びパネル装着ジグ・ティルティング装置を示した平面図である。

図６ないし図８に示すように、本発明の第３の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（６８）は、上述した本発明の第２の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（４８）に比べてパネル装着ジグ・ティルティング装置（７０）の構造が変更されたことで、その以外のパネル装着ジグ（１２）と、撮影装置（１８）と、撮影装置（１８）とを移動させる撮影装置移動ユニット（３４）と、装置の全般的な動作を制御する制御装置（４６）の構造や動作は上述のとおりである。

図６ないし図８に示すように、パネル装着ジグ・ティルティング装置（７０）は底面に配置される支柱（７１）の上面に配置される第１の支持軸（７２）と、第１の支持軸（７２）を中心にして回転するティルティング・プレート（７３）と、ティルティング・プレート（７３）をティルティングさせるための第１のティルティング・アクチュエーター（７６）と、ティルティング・プレート（７３）の上面に配置されてパネル装着ジグ（１２）が回転可能に結合される第２の支持軸（８３）と、パネル装着ジグ（１２）をティルティングさせるための第２のティルティング・アクチュエーター（８６）とを含む。

第１の支持軸（７２）は支柱（７１）の上面にパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に配置される。支柱（７１）には一対の軸支持部材（７４）が備えられ、第１の支持軸（７２）はこれら一対の軸支持部材（７４）に支持される。第１の支持軸（７２）の中間にはティルティング・プレート（７３）の下面に用意された第１のベアリング（７５）が結合される。ティルティング・プレート（７３）は第１のベアリング（７５）を通じて第１の支持軸（７２）に回転可能に結合される。したがって、ティルティング・プレート（７３）は第１の支持軸（７２）を中心にして回転することができる。第１の支持軸（７２）はティルティング・プレート（７３）の中央に位置する。

ティルティング・プレート（７３）は支柱（７１）に設けられる第１のティルティング・アクチュエーター（７６）によってティルティングされる。第１のティルティング・アクチュエーター（７６）はアクチュエーター本体（７７）とアクチュエーター本体（７７）に進退可能に結合される作動ロッド（７８）とを含む。アクチュエーター本体（７７）は支柱（７１）にヒンジ結合されて作動ロッド（７８）はティルティングプレート（７３）にヒンジ結合される。図８に示すように、第１のティルティング・アクチュエーター（７６）の作動ロッド（７８）がティルティング・プレート（７３）に加える力の作用点（Ｌ１）は第１の支持軸（７２）から外れた部分に位置する。

支柱（７１）の上面には一対の支持部材（７９）が備えられ、アクチュエーター本体（７７）は第１の支持軸（７２）と平行する方向に配置されるヒンジピン（８０）によって一対の支持部材（７９）に回転可能に結合される。そして、ティルティング・プレート（７３）の下面には一対の支持部材（８１）が備えられ、作動ロッド（７８）は第１の支持軸（７２）と平行する方向に配置されるヒンジピン（８２）によって一対の支持部材（８１）に回転可能に結合される。第１のティルティング・アクチュエーター（７６）の作動ロッド（７８）が前進したり後退することで、ティルティング・プレート（７３）が第１の支持軸（７２）を中心にして時計方向または反時計方向に回転することができる。

本発明において、第１の支持軸（７２）とティルティング・プレート（７３）との結合構造は示したものに限定されない。すなわち、第１の支持軸（７２）がティルティング・プレート（７３）の下面に結合されて第１のベアリング（７５）が支柱（７１）の上面に備えられることもできる。この外、第１の支持軸（７２）とティルティング・プレート（７３）との結合構造は、第１の支持軸（７２）が支柱（７１）とティルティング・プレート（７３）との間に配置されてティルティング・プレート（７３）が第１の支持軸（７２）を中心にして回転する多様な構造に変更されることができる。

そして、第１のティルティング・アクチュエーター（７６）は示した構造以外にティルティング・プレート（７３）を押引する他の構造に変更されることができる。第１のティルティング・アクチュエーター（７６）の構造によって第１のティルティング・アクチュエーター（７６）と支柱（７１）との結合構造や、第１のティルティング・アクチュエーター（７６）とティルティング・プレート（７３）との結合構造も変わることができる。

ティルティング・プレート（７３）上の第２の支持軸（８３）はティルティング・プレート（７３）の上面にパネル装着ジグ（１２）に置かれるディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に配置される。ティルティング・プレート（７３）には一対の軸支持部材（８４）が備えられ、第２の支持軸（８３）はこれら一対の軸支持部材（８４）に支持される。第２の支持軸（８３）の中間にはパネル装着ジグ（１２）の下面に用意された第２のベアリング（８５）が結合される。パネル装着ジグ（１２）は第２のベアリング（８５）を通じて第２の支持軸（８３）に回転可能に結合される。したがって、パネル装着ジグ（１２）は第２の支持軸（８３）を中心にして回転することができる。第２の支持軸（８３）は第１の支持軸（７２）と垂直に交差するようにパネル装着ジグ（１２）の中央に位置する。

パネル装着ジグ（１２）はティルティング・プレート（７３）に設けられる第２のティルティング・アクチュエーター（８６）によってティルティングされる。第２のティルティング・アクチュエーター（８６）はアクチュエーター本体（８７）とアクチュエーター本体（８７）に進退可能に結合される作動ロッド（８８）とを含む。アクチュエーター本体（８７）はティルティング・プレート（７３）にヒンジ結合されて作動ロッド（８８）はパネル装着ジグ（１２）にヒンジ結合される。図８に示すように、第２のティルティング・アクチュエーター（８６）の作動ロッド（８８）がパネル装着ジグ（１２）に加える力の作用点（Ｌ２）は第２の支持軸（８３）から脱した部分に位置する。

ティルティング・プレート（７３）の上面には一対の支持部材（８９）が備えられ、アクチュエーター本体（８７）は第２の支持軸（８３）と平行する方向に配置されるヒンジピン（９０）によって一対の支持部材（８９）に回転可能に結合される。そして、パネル装着ジグ（１２）の下面には一対の支持部材（９１）が備えられ、作動ロッド（８８）は第２の支持軸（８３）と平行する方向に配置されるヒンジピン（９２）によって一対の支持部材（９１）に回転可能に結合される。第２のティルティング・アクチュエーター（８６）の作動ロッド（８８）が前進したり後退することで、パネル装着ジグ（１２）が第２の支持軸（８３）を中心にして時計方向又は反時計方向に回転することができる。

本発明において、第２の支持軸（８３）とパネル装着ジグ（１２）との結合構造は示したものに限定されない。すなわち、第２の支持軸（８３）がパネル装着ジグ（１２）の下面に結合されて第２のベアリング（８５）がティルティング・プレート（７３）の上面に備えられることもできる。この外、第２の支持軸（８３）とパネル装着ジグ（１２）との結合構造は第２の支持軸（８３）がティルティング・プレート（７３）とパネル装着ジグ（１２）との間に配置されてパネル装着ジグ（１２）が第２の支持軸（８３）を中心にして回転する多様な構造に変更されることができる。

そして、第２のティルティング・アクチュエーター（８６）は示した構造以外にパネル装着ジグ（１２）を押引する他の構造に変更されることができる。第２のティルティング・アクチュエーター（８６）の構造によって第２のティルティング・アクチュエーター（８６）とティルティング・プレート（７３）との結合構造や第２のティルティング・アクチュエーター（８６）とパネル装着ジグ（１２）との結合構造も変わることができる。

このようなパネル装着ジグ・ティルティング装置（７０）は第１のティルティング・アクチュエーター（７６）がティルティング・プレート（７３）をパネル装着ジグ（１２）に置かれるディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に配置される第１の支持軸（７２）を中心に回転させ、第２のティルティング・アクチュエーター（８６）がパネル装着ジグ（１２）をパネル装着ジグ（１２）に置かれるディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に配置される第２の支持軸（８３）を中心に回転させることで、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）を多様な方向と角度で傾けることができる。したがって、検査カメラ（２０）の位置や配置角度によりディスプレー用パネル（Ｐ）の姿勢を検査カメラ（２０）に合わせることができる。また、第１の支持軸（７２）がティルティング・プレート（７３）の回転中心軸を成し、第２の支持軸（８３）がパネル装着ジグ（１２）の回転中心軸を成すことで、パネル装着ジグ（１２）が安定的にティルティングされることができる。

図面にはパネル装着ジグ・ティルティング装置（７０）の第１の支持軸（７２）がティルティング・プレート（７３）の中央に配置され、第２の支持軸（８３）がパネル装着ジグ（１２）の中央に配置されて、これらが直交するものと示したが、第１の支持軸（７２）はティルティング・プレート（７３）の中央に偏心されるように配置され、第２の支持軸（８３）はパネル装着ジグ（１２）の中央に偏心されるように配置されることもでき、第１の支持軸（７２）と第２の支持軸（８３）は直交しないで交差するように配置されることができる。また、第１の支持軸（７２）はティルティング・プレート（７３）の対角方向に配置され、第２の支持軸（８３）はパネル装着ジグ（１２）の対角方向に配置されることもできる。

一方、図９は、本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置を示した平面図である。

図９に示された本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（１００）は底面と平行に配置されるターンテーブル（１０５）と、ディスプレー用パネル（Ｐ）が装着されることができるようにターンテーブル（１０５）上に設けられる複数のパネル装着ジグ（１２）と、パネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）をクリーニングするためのクリーニング装置（１１５）と、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）を撮影するための検査カメラ（２０）及び検査カメラ（２０）が撮影するディスプレー用パネル（Ｐ）の上部に光を照射するための照明装置（２１）を有する撮影装置（１８）と、撮影装置（１８）を移動させる撮影装置移動ユニット（３４）と、検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）上に保護フィルム（Ｆ）を取り付ける保護フィルム取り付け装置（１２５）と、欠陷のあるディスプレー用パネル（Ｐ）上にマークを表示するためのマーキング装置（１５５）と、撮影装置（１８）が撮影したイメージを分析してディスプレー用パネル（Ｐ）の欠陷を検出して装置の全般的な動作を制御する制御装置（４６）とを含む。ここで、パネル装着ジグ（１２）と、撮影装置（１８）及び撮影装置移動ユニット（３４）は、上述のとおりである。

ターンテーブル（１０５）は底面と平行に置かれて底面と垂直である軸を回転中心にして回転する。ターンテーブル（１０５）はターンテーブル回転装置（１０６）によって回転し、ターンテーブル（１０５）上には複数のパネル装着ジグ（１２）の移送経路になる円形の回転経路（Ｃ）が用意される。ターンテーブル回転装置（１０６）はターンテーブル（１０５）を一定角度ずつ間歇回転させて、これにより回転経路（Ｃ）中にはターンテーブル（１０５）に設けられたパネル装着ジグ（１２）が停止する複数の作業ゾーン（Ｚ１〜Ｚ４）が用意される。ターンテーブル（１０５）には４個のパネル装着ジグ（１２）が設けられて制御装置（４６）はターンテーブル回転装置（１０６）を制御してターンテーブル（１０５）を９０°ずつ間歇回転させる。

回転経路（Ｃ）中にはローディング・ゾーン（Ｚ１）、クリーニング・ゾーン（Ｚ２）、撮影ゾーン（Ｚ３）及び保護フィルム取り付けゾーン（Ｚ４）など４個の作業ゾーン（Ｚ１〜Ｚ４）がターンテーブル（１０５）の回転方向に沿って順に用意される。ローディング・ゾーン（Ｚ１）にはパネル装着ジグ（１２）にディスプレー用パネル（Ｐ）をローディングするためのパネル運搬装置（１１０）と、パネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）から保護フィルム（Ｆ）を引き離すための保護フィルムの脱離装置（１１２）が設けられる。クリーニング・ゾーン（Ｚ２）にはパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）をクリーニングするためのクリーニング装置（１１５）が設けられて、撮影ゾーン（Ｚ３）にはパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）を撮影するための撮影装置（１８）が設けられる。保護フィルム取り付けゾーン（Ｚ４）には保護フィルム取り付け装置（１２５）とマーキング装置（１５５）及びパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）をパネル装着ジグ（１２）の外部に運搬するためのパネル運搬装置（１５８）が設けられる。

ローディング・ゾーン（Ｚ１）や保護フィルム取り付けゾーン（Ｚ４）に設けられるパネル運搬装置（１１０）（１５８）ではディスプレー用パネル（Ｐ）を把持してパネル装着ジグ（１２）に装着するとか、パネル装着ジグ（１２）から分離して外部に運搬する多様な構造が用いられることができる。そして、保護フィルムの脱離装置（１１２）ではディスプレー用パネル（Ｐ）に取り付けられた保護フィルム（Ｆ）を把持してディスプレー用パネル（Ｐ）から脱離して他の位置に移動させる多様な構造が用いられることができる。

図９及び図１０に示すように、ターンテーブル（１０５）には複数のパネル装着ジグ（１２）と結合されてパネル装着ジグ（１２）を回転させるパネル装着ジグ回転装置（１０８）と、ディスプレー用パネル（Ｐ）から脱離される保護フィルム（Ｆ）が装着されることができる複数の保護フィルム装着板（１０９）が設けられる。

保護フィルム装着板（１０９）はターンテーブル（１０５）上にそれぞれのパネル装着ジグ（１２）に接するように複数が設けられる。保護フィルム装着板（１０９）はローディング・ゾーン（Ｚ１）で保護フィルムの脱離装置（１１２）がパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）から脱離した保護フィルム（Ｆ）を保管するためのものである。ディスプレー用パネル（Ｐ）に取り付けられた保護フィルム（Ｆ）のディスプレー用パネル（Ｐ）との接触面は、いくらかの粘着性を有するが、保護フィルム装着板（１０９）に置かれた保護フィルム（Ｆ）を再使用しようとすれば保護フィルム（Ｆ）が保護フィルム装着板（１０９）から容易に分離しなければならない。このために保護フィルム装着板（１０９）はその表面がテプロンなどの低摩擦物質でコーティングされる等、低摩擦物質からなることがよい。

図面にはパネル装着ジグ（１２）の個数と同じ個数の保護フィルム装着板（１０９）がターンテーブル（１０５）上に設けられたと示したが、保護フィルム装着板（１０９）の設置個数はパネル装着ジグ（１２）の設置個数や、パネル装着ジグ（１２）に備えられるパネル装着部（１３）の個数などにより多様に変更されることができる。そして、各作業ゾーンに設けられる装置の構造や作用などによって回転経路（Ｃ）上においてパネル装着ジグ（１２）を回転させる必要がない場合にパネル装着ジグ回転装置（１０８）は省略されることができる。また、パネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）から脱離した保護フィルム（Ｆ）を再使用しない場合などには保護フィルム装着板（１０９）が省略されることもできる。

検査対象になるディスプレー用パネル（Ｐ）はターンテーブル（１０５）上の回転経路（Ｃ）のうち、ローディング・ゾーン（Ｚ１）においてパネル運搬装置（１１０）によってパネル装着ジグ（１２）に装着される。そして、ディスプレー用パネル（Ｐ）に取り付けられた保護フィルム（Ｆ）はローディング・ゾーン（Ｚ１）において保護フィルムの脱離装置（１１２）によってディスプレー用パネル（Ｐ）から脱離されて保護フィルム装着板（１０９）上に移送される。このようにパネル装着ジグ（１２）に装着された後、保護フィルム（Ｆ）が脱離されたディスプレー用パネル（Ｐ）はターンテーブル（１０５）の回転によってクリーニング・ゾーン（Ｚ２）に移送される。

図９及び図１０に示すように、クリーニング・ゾーン（Ｚ２）においてパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）はクリーニング装置（１１５）によってクリーニングされる。クリーニング装置（１１５）はディスプレー用パネル（Ｐ）の上面をクリーニングするためのもので、エアクリーナー（１１６）とローラークリーナー（１２０）とを含む。

エアクリーナー（１１６）はパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の上面にエアを噴射してディスプレー用パネル（Ｐ）の上面から異物を吹き飛ばすためのもので、エア噴射のためのエア噴射機構（１１７）と、エア噴射機構（１１７）を移動させるためのエア噴射機構の移動装置（１１８）とを含む。エア噴射機構（１１７）はエア供給チューブ（１１９）を通じてエア供給装置（未図示）と連結され、ディスプレー用パネル（Ｐ）の上面にエアを噴射する。エア噴射機構の移動装置（１１８）はエア噴射機構（１１７）を移動させてエア噴射機構（１１７）がディスプレー用パネル（Ｐ）の上面全体にエアを噴射するようにする。

ローラークリーナー（１２０）はクリーニング・ローラー（１２１）と、クリーニング・ローラー（１２１）を移動させるためのローラー移動装置（１２２）とを含む。クリーニング・ローラー（１２１）はディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に接して転がり移動してディスプレー用パネル（Ｐ）の上面で異物を引き離す。クリーニング・ローラー（１２１）はその外面に粘着性があってディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に接して転がり移動する時にディスプレー用パネル（Ｐ）上面の異物がクリーニング・ローラー（１２１）に取り付けられて除去することができる。クリーニング・ローラー（１２１）はローラー移動装置（１２２）に結合されたローラー支持部材（１２３）に回転可能に結合されて、ローラー移動装置（１２２）はクリーニング・ローラー（１２１）をディスプレー用パネル（Ｐ）に沿って移動させる。

ディスプレー用パネル（Ｐ）がパネル装着ジグ（１２）に装着されてクリーニング・ゾーン（Ｚ２）に移送されると、まず、エアクリーナー（１１６）が作動してディスプレー用パネル（Ｐ）上面の異物を吹き飛ばす。以後、ローラークリーナー（１２０）が作動してエアクリーナー（１１６）によって除去されなかったディスプレー用パネル（Ｐ）上面の異物をクリーニング・ローラー（１２１）で引き離す。もちろん、エアクリーナー（１１６）とローラークリーナー（１２０）との動作方法は多様に変更されることができる。そして、エアクリーナー（１１６）やローラークリーナー（１２０）との具体的な構造は示したものに限定されず多様に変更されることができる。また、クリーニング装置（１１５）はエアクリーナー（１１６）やローラークリーナー（１２０）を含む構造以外に、パネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の上面にある異物を取り除く多様な他の構造に変更されることができる。

クリーニング装置（１１５）によってクリーニングされたディスプレー用パネル（Ｐ）はターンテーブル（１０５）の回転によってクリーニング・ゾーン（Ｚ２）で撮影ゾーン（Ｚ３）に移送される。撮影ゾーン（Ｚ３）でパネル装着ジグ回転装置（１０８）はパネル装着ジグ（１２）を９０°回転させて、撮影装置（１８）が撮影装置移動ユニット（３４）によって移動しつつ撮影ゾーン（Ｚ３）に移送されたディスプレー用パネル（Ｐ）を部分的に連続撮影して撮影イメージを制御装置（４６）に提供する。このような撮影装置（１８）や撮影装置移動ユニット（３４）の作用は前述のとおりである。

検査カメラ（２０）がディスプレー用パネル（Ｐ）の撮影イメージを制御装置（４６）に提供すると、制御装置（４６）は撮影イメージを分析してディスプレー用パネル（Ｐ）の欠陥部位を捜し出して、ディスプレー用パネル（Ｐ）の欠陥可否を判断する。また、制御装置（４６）は撮影イメージの分析結果に基づいてマーキング装置（１５５）などの動作を制御するが、このような制御装置（４６）の具体的な制御方法は、後述することにする。

撮影ゾーン（Ｚ３）で撮影装置（１８）によって検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）はターンテーブル（１０５）の回転によって保護フィルム取り付けゾーン（Ｚ４）に移送される。図９及び図１１に示すように、保護フィルム取り付けゾーン（Ｚ４）にはディスプレー用パネル（Ｐ）上に保護フィルム（Ｆ）を取り付けるための保護フィルム取り付け装置（１２５）と、ディスプレー用パネル（Ｐ）の欠陥位置や欠陥可否を表示するためのマーキング装置（１５５）と、ディスプレー用パネル（Ｐ）をパネル装着ジグ（１２）からアンローディングするためのパネル運搬装置（１５８）が設けられる。保護フィルム取り付けゾーン（Ｚ４）でパネル装着ジグ回転装置（１０８）はパネル装着ジグ（１２）を９０°回転させて、撮影ゾーン（Ｚ３）で回転したパネル装着ジグ（１２）を元の姿勢に復帰させる。

図９、図１１及び図１２を参照すれば、保護フィルム取り付け装置（１２５）は、保護フィルム（Ｆ）を運搬するための保護フィルム運搬装置（１２６）と、ディスプレー用パネル（Ｐ）上に運搬された保護フィルム（Ｆ）をディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に圧搾するための保護フィルム圧搾装置（１４５）とを含む。保護フィルム運搬装置（１２６）と保護フィルム圧搾装置（１４５）はマーキング装置（１５５）とともに支持機構（１３３）に結合される。保護フィルム運搬装置（１２６）は保護フィルム（Ｆ）を把持するための保護フィルム把持機構（１２７）と、保護フィルム把持機構（１２７）を移動させる移動ユニット（１３５）とを含む。

保護フィルム把持機構（１２７）は、その一端が移動ユニット（１３５）によって動く支持機構（１３３）に結合されたブラケット（１２８）にヒンジ結合される。保護フィルム把持機構（１２７）の一面には吸入力を発生するための複数の吸入口（１２９）が備えられる。複数の吸入口（１２９）は保護フィルム把持機構（１２７）中に用意される流路（１３０）と連結され、この流路（１３０）は吸入力発生装置（未図示）に連結された真空チューブ（１３１）と連結される。吸入力発生装置で発生する吸入力は複数の吸入口（１２９）に伝達し、これによって保護フィルム（Ｆ）が保護フィルム把持機構（１２７）の一面に取り付けられることができる。吸入口（１２９）を通じる保護フィルム把持機構（１２７）の吸入力発生動作は制御装置（４６）によって制御される。

移動ユニット（１３５）は支持機構（１３３）と結合される昇降装置（１３６）と、保護フィルム把持機構（１２７）が結合された支持機構（１３３）をパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の上面と平行する第１の方向に移動させる第１の移動装置（１３７）と、支持機構（１３３）をディスプレー用パネル（Ｐ）の上面と平行に前記第１の方向と交差する第２の方向に移動させる第２の移動装置（１３８）とを含む。ここで、第１の方向はパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向であり、第２の方向はパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向である。

昇降装置（１３６）は第１のスライダー（１３９）に結合され、第１のスライダー（１３９）は第１の移動装置（１３７）によって直線移動する。第１のスライダー（１３９）は第２のスライダー（１４０）上に結合され、第２のスライダー（１４０）は第２の移動装置（１３８）に直線移動する。第２のスライダー（１４０）にはパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の幅方向に配置された第１のガイドレール（１４１）が用意され、第１のスライダー（１３９）は第１の移動装置（１３７）によって第１のガイドレール（１４１）に沿って直線移動するようになる。第１の移動装置（１３７）は第２のスライダー（１４０）に結合される。第２のスライダー（１４０）は底面に置かれる支柱（１４３）にパネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）の長さ方向に配置される第２のガイドレール（１４２）にスライド移動可能に結合され、第２の移動装置（１３８）によって第２のガイドレール（１４２）に沿って直線移動するようになる。

保護フィルム把持機構（１２７）は移動ユニット（１３５）により上・下・前・後・左・右方向に動きつつ保護フィルム装着板（１０９）に置かれた保護フィルム（Ｆ）をパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）上に運搬することができる。

保護フィルム圧搾装置（１４５）は保護フィルム運搬装置（１２６）によってディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に運搬された保護フィルム（Ｆ）をディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に加圧するための加圧ローラー（１４６）と、加圧ローラー（１４６）をディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に運搬された保護フィルム（Ｆ）側に加圧するためのローラー加圧装置（１４８）と、移動ユニット（１３５）とを含む。ここで、移動ユニット（１３５）は保護フィルム運搬装置（１２６）の移動ユニット（１３５）のようなもので、保護フィルム運搬装置（１２６）と保護フィルム圧搾装置（１４５）は移動ユニット（１３５）とを共有する。

加圧ローラー（１４６）は保護フィルム把持機構（１２７）に結合されたローラー支持体（１４７）に回転可能に結合される。ローラー加圧装置（１４８）のボディー（１４９）は支持機構（１３３）に結合されたブラケット（１５１）にヒンジ結合され、ローラー加圧装置（１４８）の作動ロッド（１５０）は保護フィルム把持機構（１２７）に結合されたブラケット（１５２）にヒンジ結合される。したがって、ローラー加圧装置（１４８）の作動ロッド（１５０）がボディー（１４９）から前進すると、保護フィルム把持機構（１２７）及びここに結合されたローラー支持体（１４７）が支持機構（１３３）に結合されたブラケット（１５１）のヒンジ結合部を中心に回転して傾くことができる。

図１２に示すように、パネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）が保護フィルムの取り付けゾーン（Ｚ４）に移送されると、保護フィルム把持機構（１２７）が移動ユニット（１３５）によって動いて保護フィルム装着板（１０９）に装着されている保護フィルム（Ｆ）を把持した後、ディスプレー用パネル（Ｐ）上に運搬する。この時、保護フィルム（Ｆ）の一部は加圧ローラー（１４６）の下部に位置する。

以後、図１３に示すように、保護フィルム圧搾装置（１４５）のローラー加圧装置（１４８）が作動して保護フィルム把持機構（１２７）及びここに結合されたローラー支持体（７５）を傾けて、この時、加圧ローラー（１４６）が保護フィルム（Ｆ）をディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に密着させる。加圧ローラー（１４６）が保護フィルム（Ｆ）をディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に密着させた後、移動ユニット（１３５）の作用で加圧ローラー（１４６）がディスプレー用パネル（Ｐ）の上面の保護フィルム（Ｆ）に接して転がり移動する。この時、保護フィルム把持機構（１２７）に取り付けられている保護フィルム（Ｆ）は加圧ローラー（１４６）によって引かれて保護フィルム把持機構（１２７）で徐々に分離しつつディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に密着される。このように保護フィルム把持機構（１２７）に取り付けられている保護フィルム（Ｆ）を傾けて加圧ローラー（１４６）に徐々にディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に密着させれば、ディスプレー用パネル（Ｐ）と保護フィルム（Ｆ）との間に気泡が流入されることを防止することができる。

マーキング装置（１５５）は保護フィルム（Ｆ）上にディスプレー用パネル（Ｐ）の欠陥可否や欠陥位置に対するマークを表示するためのものでマーカー（１５６）と、マーカー（１５６）を移動させる移動ユニット（１３５）とを含む。マーカー（１５６）ではインクなどの着色剤で保護フィルム（Ｆ）上に多様な形態のマークを表示することや、粘着性の表示マークを保護フィルム（Ｆ）に取り付けることや、保護フィルム（Ｆ）にスクラッチ形態のマークを表示することなどの多様な構造が用いられることができる。移動ユニット（１３５）は保護フィルム運搬装置（１２６）及び保護フィルム圧搾装置（１４５）の移動ユニット（１３５）のようなもので、保護フィルム運搬装置（１２６）と保護フィルム圧搾装置（１４５）及びマーキング装置（１５５）は移動ユニット（１３５）とを共有する。

移動ユニット（１３５）が支持機構（１３３）を多方向に移動させることで、支持機構（１３３）に結合されたマーカー（１５６）はパネル装着ジグ（１２）に装着されたディスプレー用パネル（Ｐ）の多様な位置にマークを表示するようにパネル装着ジグ（１２）の上に多様な方向に移動することができる。

ディスプレー用パネル（Ｐ）に保護フィルム（Ｆ）が取り付けられると、制御装置（４６）が当該ディスプレー用パネル（Ｐ）に対する撮影イメージの分析結果に基づいてマーキング装置（１５５）の動作を制御する。すなわち、図１４に示すように、制御装置（４６）はディスプレー用パネル（Ｐ）の撮影イメージ分析結果、ディスプレー用パネル（Ｐ）に欠陷が存在する場合、当該ディスプレー用パネル（Ｐ）上にマーカー（１５６）を移動させてディスプレー用パネル（Ｐ）上に欠陥可否を表示する等、ディスプレー用パネル（Ｐ）の欠陥位置にマークを表示する。

本実施例において、保護フィルム把持機構（１２７）と加圧ローラー（１４６）及びマーカー（１５６）とを移動させるための移動ユニット（１３５）の具体的な構造は示したものに限定されず多様に変更されることができる。例えば、昇降装置（１３６）と、第１の移動装置（１３７）及び第２の移動装置（１３８）の配置順序は示したものに限定されず多様に変更されることができ、移動ユニット（１３５）と保護フィルム把持機構（１２７）、加圧ローラー（１４６）、マーカー（１５６）などの結合構造も多様に変更されることができる。また、昇降装置（１３６）と、第１の移動装置（１３７）及び第２の移動装置（１３８）とのそれぞれの具体的な構造や、これら間の結合構造も他の形態に変更されることができる。この他、移動ユニット（１３５）は支持機構（１３３）を上・下・前・後・左・右方向に直線移動させる構造以外に、支持機構（１３３）を動かす他の構造に変更されることができる。

保護フィルムの取り付けゾーン（Ｚ４）においてディスプレー用パネル（Ｐ）に対する保護フィルム（Ｆ）の取り付け作業及びマーク表示作業が完了すれば、パネル運搬装置（１５８）が作動してパネル装着ジグ（１２）からディスプレー用パネル（Ｐ）をアンローディングする。この時、パネル運搬装置（１５８）は欠陷が検出されたディスプレー用パネル（Ｐ）に対する運搬位置と欠陷が検出されないディスプレー用パネル（Ｐ）に対する運搬位置を異なるようにできる。例えば、パネル運搬装置（１５８）は欠陷が検出されたディスプレー用パネル（Ｐ）は不良品の保管位置に、欠陷が検出されなかったディスプレー用パネル（Ｐ）は正常品の保管位置に運搬することができる。

上述のとおり、本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）はディスプレー用パネル（Ｐ）が装着されるパネル装着ジグ（１２）をターンテーブル（１０５）上に複数で装着してターンテーブル（１０５）を一定角度ずつ間歇回転させつつ、ディスプレー用パネル・ローディング、ディスプレー用パネル・クリーニング、ディスプレー用パネル検査、ディスプレー用パネルに保護フィルム取り付け、ディスプレー用パネル上に欠陥部位の表示、ディスプレー用パネル・アンローディングなどの作業を連続的に行なうことで、多数のディスプレー用パネル（Ｐ）を迅速かつ効果的に検査することができ、欠陷があるディスプレー用パネル（Ｐ）を捜し出すことができる。

また、本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）はディスプレー用パネル（Ｐ）が装着される複数のパネル装着ジグ（１２）を回転するターンテーブル（１０５）に装着することで、検査対象になるディスプレー用パネル（Ｐ）をターンテーブル（１０５）上に用意される回転経路（Ｃ）に沿って移送させつつ、ディスプレー用パネル（Ｐ）に対する検査を行なうことができる。したがって、別に設置空間を占めないでコンパクトした構造が可能である。

また、本発明の第４の実施例に係るディスプレー用パネルの検査装置（１０）は撮影装置（１８）でディスプレー用パネル（Ｐ）を検査した後、マーキング装置（１５５）を通じて欠陷があるディスプレー用パネル（Ｐ）上に欠陥位置や欠陥可否を自動で表示することができる。したがって、ディスプレー用パネル（Ｐ）に対する修理作業や、組立又は包装などの後続作業が円滑に行なうようにし、作業者がディスプレー用パネル（Ｐ）の欠陥位置を容易に把握するようにし、ディスプレー用パネル（Ｐ）に発生する欠陷に対する分析作業が容易に行なうようにする。

本実施例において、パネル装着ジグ（１２）に装着されるディスプレー用パネル（Ｐ）が移送される回転経路（Ｃ）中に用意される作業ゾーンの種類や、各作業ゾーンに設けられる装置は示したものに限定されず多様に変更されることができる。例えば、ローディング・ゾーン（Ｚ１）でディスプレー用パネル（Ｐ）のローディング作業だけではなく、検査及びマーキング済みディスプレー用パネル（Ｐ）のアンローディング作業が行なうこともできる。そして、ディスプレー用パネル（Ｐ）がローディングされる位置と、ディスプレー用パネル（Ｐ）から保護フィルム（Ｆ）が脱離される位置は分離することもでき、検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）に保護フィルム（Ｆ）を取り付ける作業と、ディスプレー用パネル（Ｐ）に取り付けられた保護フィルム（Ｆ）にマークを表示する位置は分離することもできる。

また、回転経路（Ｃ）中にマーキング装置（１５５）は省略されることができる。この場合、検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）に対する欠陥可否や欠陥位置の表示なしに検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）に保護フィルム（Ｆ）を取り付ける作業だけ行なった後、ディスプレー用パネル（Ｐ）がパネル装着ジグ（１２）でアンローディングされることができる。

また、検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）に保護フィルム（Ｆ）を取り付ける保護フィルム取り付け装置（１２５）は示すように保護フィルム運搬装置（１２６）と保護フィルム圧搾装置（１４５）とを含む構造以外に、保護フィルム（Ｆ）を把持してディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に取り付ける多様な他の構造に変更されることができる。

また、図面においては、マーキング装置（１５５）と、保護フィルム取り付け装置（１２５）及び保護フィルム圧搾装置（１４５）が一つの移動ユニット（１３５）を共有すると示したが、マーキング装置（１５５）と、保護フィルム取り付け装置（１２５）及び保護フィルム圧搾装置（１４５）は移動ユニット（１３５）を個別的に備えて共に動かないで個別的に動くことができる。その他の変更例として、マーキング装置（１５５）が一つの移動ユニット（１３５）を備えて個別的に動き、保護フィルム取り付け装置（１２５）と保護フィルム圧搾装置（１４５）とが、その他の一つの移動ユニット（１３５）を共有して保護フィルム取り付け装置（１２５）と保護フィルム圧搾装置（１４５）とが共に動くこともできる。

その他、保護フィルム運搬装置（１２６）は示すように、吸入力を通じて保護フィルム（Ｆ）を吸着し、これを運搬する保護フィルム把持機構（１２７）を有する構造以外に、保護フィルム（Ｆ）を把持して運搬する多様な他の構造に変更されることができる。保護フィルム圧搾装置（１４５）も示した構造に限定されず、保護フィルム（Ｆ）をディスプレー用パネル（Ｐ）の上面に圧搾させる他の構造に変更されることができる。

そして、保護フィルム取り付け装置（１２５）は、検査前にディスプレー用パネル（Ｐ）から脱離されて保護フィルム装着板（１０９）に置かれた保護フィルム（Ｆ）を検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）に再度取り付けず、外部から供給される新たな保護フィルム（Ｆ）を検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）に取り付けることもできる。

また、回転経路（Ｃ）中にパネル運搬装置（１１０）（１５８）と、保護フィルムの脱離装置（１１２）及び保護フィルム取り付け装置（１２５）は省略されることができる。この場合、ディスプレー用パネル（Ｐ）をパネル装着ジグ（１２）にローディングする作業や、パネル装着ジグ（１２）からディスプレー用パネル（Ｐ）をアンローディングする作業は作業者によって受動で行なうこともできる。そして、ディスプレー用パネル（Ｐ）から保護フィルム（Ｆ）を脱離する作業と検査済みディスプレー用パネル（Ｐ）に再度保護フィルム（Ｆ）を取り付ける作業も作業者によって受動で行なうことができる。

前述とともに図面に示した本発明の実施例は、本発明の技術的思想を限定することに解釈されてはいけない。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲に記載の事項によってだけ制限され、本発明の技術分野において通常の知識を有する者は、本発明の技術的思想を多様な形態で改良及び変更することが可能である。したがって、このような改良及び変更は、当該技術分野において通常の知識を有する者に自明なことである限り、本発明の保護範囲に属するようになる。

１０、４８、６８、１００ ディスプレー用パネルの検査装置
１２ パネル装着ジグ
１３ パネル装着部
１５ バックライト
１６ 駆動ドライバー
１８ 撮影装置
２０ 検査カメラ
２１ 照明装置
２２ フレーム
２３ 検査カメラ回転装置
２４ 連結部材
２５ 照明装置運動ユニット
２６ 照明装置の回転装置
２７、２８ 第１、２の照明装置の移動装置
２９、３０ 第１、２の移動部材
３１、３２ 第１、２のガイド溝
３４ 撮影装置移動ユニット
３５ 撮影装置の昇降装置
３６、３７ 第１の撮影装置の移動装置
３８ 支持柱
４０、１３９ 第１のスライダー
４１、１４０ 第２のスライダー
４２、１４１ 第１のガイドレール
４３、１４２ 第２のガイドレール
４４、５０、７１、１４３ 支柱
４６ 制御装置
４９、７０ パネル装着ジグ・ティルティング装置
５１ ピボット軸
５５、７６ 第１のティルティング・アクチュエーター
６１、８６ 第２のティルティング・アクチュエーター
７２、８３ 第１、２の支持軸
７３ ティルティング・プレート
７５、８５ 第１、２のベアリング
１０５ ターンテーブル
１０６ ターンテーブル回転装置
１０８ パネル装着ジグ回転装置
１０９ 保護フィルム装着板
１１０、１５８ パネル運搬装置
１１５ クリーニング装置
１１６ エアクリーナー
１１７ エア噴射機構
１１８ エア噴射機構の移動装置
１２０ ローラークリーナー
１２１ クリーニング・ローラー
１２２ クリーニング・ローラー移動装置
１２５ 保護フィルム取り付け装置
１２６ 保護フィルム運搬装置
１２７ 保護フィルム把持機構
１３３ 支持機構
１３５ 移動ユニット
１３６ 昇降装置
１３７、１３８ 第１、２の移動装置
１４５ 保護フィルム圧搾装置
１４６ 加圧ローラー
１４８ ローラー加圧装置
１５５ マーキング装置
１５６ マーカー

Claims (22)

1. ディスプレー用パネルが装着されるパネル装着部を有するパネル装着ジグ；
   前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの下部に光を照射するために前記パネル装着ジグに設けられるバックライト；
   前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルを撮影するためにレンズ部が前記ディスプレー用パネルに向けるように配置される検査カメラと、前記ディスプレー用パネルに対する前記検査カメラの撮影角度が変わるように前記検査カメラを回転させる検査カメラ回転装置と、前記検査カメラ回転装置を支持するフレームと、前記検査カメラが撮影する前記ディスプレー用パネルの上部に光を照射するための照明装置と、前記フレームに結合されて前記照明装置を支持するとともに、前記ディスプレー用パネルに対する前記照明装置の光照射の角度が変わるように前記照明装置を動かす照明装置運動ユニットとを有する撮影装置；及び
   前記撮影装置が前記ディスプレー用パネルを部分的に連続して撮影するように前記撮影装置を移動させる撮影装置移動ユニット；を含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
2. 請求項１の記載において、
   前記パネル装着部に装着される前記ディスプレー用パネルを駆動させるために前記パネル装着ジグと電気的に連結される駆動ドライバーを更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
3. 請求項１の記載において、
   前記照明装置運動ユニットは、前記照明装置を回転させる照明装置の回転装置を含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
4. 請求項３の記載において、
   前記照明装置運動ユニットは、前記照明装置を前記検査カメラ側に前進させたり前記検査カメラから遠くなるように後退させる第１の照明装置の移動装置と、
   前記照明装置を前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルに近くなるように下降させたり前記ディスプレー用パネルから遠くなるように上昇させる第２の照明装置の移動装置とを更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
5. 請求項１の記載において、
   前記撮影装置移動ユニットは、前記撮影装置を前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルの長さ方向に移動させる第１の撮影装置の移動装置と、前記撮影装置を前記ディスプレー用パネルの幅方向に移動させる第２の撮影装置の移動装置と、前記撮影装置を上下方向に移動させる撮影装置の昇降装置とを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
6. 請求項１の記載において、
   前記パネル装着ジグを多方向にティルティングさせるパネル装着ジグ・ティルティング装置を更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
7. 請求項６の記載において、
   前記パネル装着ジグ・ティルティング装置は、
   前記パネル装着ジグを多方向にティルティング可能に支持するピボット軸と、
   前記パネル装着ジグを押引して前記パネル装着ジグを底面と平行する第１のティルティング中心線を中心にティルティングさせる第１のティルティング・アクチュエーターと、
   前記パネル装着ジグを押引して前記パネル装着ジグを底面と平行しつつ、前記第１のティルティング中心線と交差する第２のティルティング中心線を中心にティルティングさせる第２のティルティング・アクチュエーターとを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
8. 請求項６の記載において、
   前記パネル装着ジグ・ティルティング装置は、
   前記パネル装着ジグと結合されて底面と平行に配置される第１の支持軸と、
   前記パネル装着ジグを押引して前記パネル装着ジグを前記第１の支持軸を中心にティルティングさせる第１のティルティング・アクチュエーターと、
   前記パネル装着ジグの下部に底面と平行に前記第１の支持軸と交差するように配置される第２の支持軸と、
   前記第２の支持軸を中心にしてティルティングされることができるように前記第２の支持軸と結合されて前記第１の支持軸と前記第１のティルティング・アクチュエーターとを支持するティルティング・プレートと、
   前記ティルティング・プレートを押引して前記ティルティング・プレートを前記第２の支持軸を中心にティルティングさせる第２のティルティング・アクチュエーターとを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
9. 請求項１の記載において、
   前記パネル装着ジグが搭載され、ターンテーブル回転装置により間歇回転して前記パネル装着ジグを回転経路に沿って移送させるターンテーブルを更に含み、
   前記撮影装置は前記回転経路上に前記パネル装着ジグが停止するように用意される撮影ゾーンに設けられることを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
10. 請求項９の記載において、
    前記回転経路の前記撮影装置よりも上流に設けられて、前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルに取り付けられた保護フィルムを前記ディスプレー用パネルから脱離する保護フィルムの脱離装置を更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
11. 請求項１０の記載において、
    前記保護フィルムの脱離装置により前記ディスプレー用パネルから脱離される前記保護フィルムが装着されることができるように前記ターンテーブルの上に設けられる保護フィルム装着板を更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
12. 請求項９の記載において、
    前記回転経路の前記撮影装置よりも下流に設けられて、前記パネル装着ジグに装着されて前記撮影ゾーンを通過した前記ディスプレー用パネルの上面に保護フィルムを取り付ける保護フィルム取り付け装置を更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
13. 請求項１２の記載において、
    前記保護フィルム取り付け装置は、
    前記保護フィルムを把持して前記ディスプレー用パネルの上面に運搬する保護フィルム把持機構と、
    前記保護フィルム把持機構と結合されて前記保護フィルム把持機構を移動させる移動ユニットを含み、
    前記移動ユニットは、
    前記保護フィルム把持機構を上下方向に移動させる昇降装置と、
    前記保護フィルム把持機構を前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行する第１の方向に移動させる第１の移動装置と、
    前記保護フィルム把持機構を前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行に前記第１の方向と交差する第２の方向に移動させる第２の移動装置とを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
14. 請求項１２の記載において、
    前記保護フィルム取り付け装置は、
    前記ディスプレー用パネルの上面に運搬された前記保護フィルムを前記ディスプレー用パネルの上面に加圧して圧搾させる加圧ローラーを有する保護フィルム圧搾装置を更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
15. 請求項１４の記載において、
    前記保護フィルム取り付け装置は、
    前記加圧ローラーを前記ディスプレー用パネルの上面に運搬された前記保護フィルム側に加圧するためのローラー加圧装置を更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
16. 請求項１２の記載において、
    前記保護フィルム取り付け装置は、
    前記保護フィルムを吸着して前記ディスプレー用パネルの上面に運搬するように複数の吸入口を有する保護フィルム把持機構と、
    前記保護フィルム把持機構に吸着された前記保護フィルムを前記ディスプレー用パネルの上面に加圧して圧搾させるために前記保護フィルム把持機構の一端に転がり運動可能に結合される加圧ローラーと、
    前記保護フィルム把持機構がヒンジ結合され、前記保護フィルム把持機構を移動させる移動ユニットと、
    前記加圧ローラーが前記ディスプレー用パネルの上面に接近して前記保護フィルム把持機構に吸着された前記保護フィルムを前記ディスプレー用パネルの上面に加圧するように前記保護フィルム把持機構を傾けるローラー加圧装置とを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
17. 請求項９の記載において、
    前記回転経路の前記撮影装置よりも下流に設けられて、前記パネル装着ジグに装着されて前記撮影装置を通過した前記ディスプレー用パネルの上面に取り付けられた保護フィルム上にマークを表示するためのマーキング装置；及び
    前記撮影装置から提供された撮影イメージを分析して前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルの欠陥有無を判断し、前記マーキング装置の動作を制御する制御装置；を更に含み、
    前記制御装置は前記撮影装置が撮影した前記ディスプレー用パネルの撮影イメージに欠陷があれば前記マーキング装置を制御して前記ディスプレー用パネルの上面に取り付けられた保護フィルム上にマークを表示することを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
18. 請求項１７の記載において、
    前記マーキング装置は、
    前記保護フィルム上にマークを表示することができるマーカーと、
    前記マーカーを上下方向に移動させる昇降装置と、
    前記マーカーを前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行する第１の方向に移動させる第１の移動装置と、
    前記マーカーを前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面と平行して前記第１の方向と交差する第２の方向に移動させる第２の移動装置とを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
19. 請求項９の記載において、
    前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面をクリーニングするために前記回転経路の前記撮影装置よりも上流に設けられるクリーニング装置を更に含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
20. 請求項１９の記載において、
    前記クリーニング装置は、
    前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面にエアを噴射して前記ディスプレー用パネルの上面から異物を吹き飛ばすエアクリーナーを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
21. 請求項１９の記載において、
    前記クリーニング装置は、
    前記パネル装着ジグに装着される前記ディスプレー用パネルの上面に接して回転移動して前記ディスプレー用パネルの上面から異物を引き離すクリーニングローラーを有するローラー・クリーナーを含むことを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。
22. 請求項９の記載において、
    前記回転経路の前記撮影装置よりも下流に設けられて、前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルを前記パネル装着ジグの外部に運搬するパネル運搬装置；及び
    前記撮影装置から提供された撮影イメージを分析して前記パネル装着ジグに装着された前記ディスプレー用パネルの欠陥有無を判断し、前記パネル運搬装置の動作を制御する制御装置；を更に含み、
    前記制御装置は、前記ディスプレー用パネルの欠陥有無に基づいて、前記パネル運搬装置により運搬される前記ディスプレー用パネルの運搬位置が異なるように調整することを特徴とするディスプレー用パネルの検査装置。

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