JP2015041104A - Colored photosensitive resin composition, and color filter and display device including the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、着色感光性樹脂組成物、これを含むカラーフィルタおよび表示装置に関するものである。 The present invention relates to a colored photosensitive resin composition, a color filter including the same, and a display device.
カラーフィルタは、撮像素子、液晶表示装置(LCD)などに広く用いられるもので、その応用範囲が急速に拡大している。カラー液晶表示装置や撮像素子などに用いられるカラーフィルタは、通常、ブラックマトリックスがパターン形成された基板上に、赤色、緑色および青色の各色に相当する顔料を含む着色感光性樹脂組成物をスピンコーティングによって均一に塗布した後、加熱乾燥(以下、「予備焼成」とも言う。)して形成された塗膜を露光、現像し、必要によってさらに加熱硬化(以下、「後焼成」とも言う。)する操作を色ごとに繰り返し、各色の画素を形成することによって製造されている。ここで、パターンが形成されるブラックマトリックスは、通常、黒色感光性樹脂組成物で形成する。 Color filters are widely used in image sensors, liquid crystal display devices (LCDs), and the like, and their application range is rapidly expanding. Color filters used in color liquid crystal display devices and image sensors are usually spin-coated with a colored photosensitive resin composition containing pigments corresponding to red, green, and blue colors on a substrate on which a black matrix is patterned. The coating film formed by heating and drying (hereinafter also referred to as “pre-baking”) is exposed and developed, and if necessary, further heat-cured (hereinafter also referred to as “post-baking”). It is manufactured by repeating the operation for each color and forming pixels of each color. Here, the black matrix on which the pattern is formed is usually formed of a black photosensitive resin composition.
このような着色感光性樹脂組成物として、顔料および結合剤樹脂と共に、光重合性化合物および光重合開始剤を含む組成物が多く使用されている。 As such a colored photosensitive resin composition, many compositions containing a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator are used together with a pigment and a binder resin.
最近、着色感光性樹脂組成物は、工程上の歩留まりを向上させるために、少ない露光量でも同等の感度および密着性を有する着色感光性樹脂組成物が要求されている。 Recently, in order to improve the yield in the process, the colored photosensitive resin composition is required to have the same sensitivity and adhesion even with a small exposure amount.
また、最近、着色感光性樹脂組成物の着色材料は、高色純度および高輝度などの要求性能を満足させるためにより微粒化されている。したがって、これを用いて画素を形成する時、生地に形成させた着色層は、現像時に除去されない現像残渣の問題を抱えている。これを解決するための従来の技術は、結合剤樹脂の酸価と分子量または結合剤樹脂および組成物の酸価を調整する方法などが一般的であるが、その適用範囲に限界があり、酸価を過度に高くする場合は、密着性が不足したり、表面不良の原因となり、また、金属酸化膜やシリコン窒化膜上に残る残渣までは解決しにくいという問題があった。 Recently, the coloring material of the colored photosensitive resin composition has been made finer in order to satisfy required performance such as high color purity and high luminance. Therefore, when forming a pixel using this, the colored layer formed on the cloth has a problem of development residue that is not removed during development. A conventional technique for solving this is generally a method of adjusting the acid value and molecular weight of the binder resin or the acid value of the binder resin and the composition. When the value is excessively high, there is a problem that adhesion is insufficient, a surface defect is caused, and residues remaining on the metal oxide film and the silicon nitride film are difficult to solve.
本発明は、オキシムエステル系化合物を含む光重合開始剤、および4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンを含む溶剤を用いて着色感光性樹脂組成物を製造することにより、保存安定性、感度および密着性に優れたカラーフィルタおよび表示装置を製造することを目的とする。 In the present invention, a photopolymerization initiator containing an oxime ester compound and a solvent containing 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone are used to produce a colored photosensitive resin composition. And it aims at manufacturing the color filter and display apparatus excellent in adhesiveness.
上記の目的を達成するために、本発明は、着色剤、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記光重合開始剤は、下記一般式(1)のオキシムエステル系化合物を含み、前記溶剤は、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンを含むことを特徴とする、着色感光性樹脂組成物を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention provides a colored photosensitive resin composition comprising a colorant, an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a solvent, wherein the photopolymerization initiator comprises: The coloring photosensitive resin composition characterized by including the oxime ester type compound of following General formula (1), and the said solvent containing 4-hydroxy-4-methyl- 2-pentanone is provided.
前記R1は、炭素数1〜8のアルキル基、OR3基、ハロゲン基で置換された炭素数6〜10のアリール基、またはハロゲン基で置換された炭素数7〜24のアリールアルキル基であり、前記R2は、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、または炭素数7〜24のアリールアルキル基であり、前記R3は、炭素数1〜20のアルキル基、または炭素数1〜20のアルコキシ基である。 R 1 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an OR 3 group, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms substituted with a halogen group, or an arylalkyl group having 7 to 24 carbon atoms substituted with a halogen group. And R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 24 carbon atoms, and R 3 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. Group or an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms.
また、本発明は、前記着色感光性樹脂組成物を含む、カラーフィルタを提供する。 The present invention also provides a color filter comprising the colored photosensitive resin composition.
さらに、本発明は、前記カラーフィルタを含む、表示装置を提供する。 Furthermore, the present invention provides a display device including the color filter.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合開始剤として前記一般式(1)のオキシムエステル系化合物、および溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンを含むことにより、保存安定性、感度および密着性に優れたカラーフィルタを製造することができる。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains the oxime ester compound of the general formula (1) as a photopolymerization initiator and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone as a solvent, so that the storage stability is improved. A color filter having excellent sensitivity and adhesion can be produced.
また、前記カラーフィルタは、現像工程中にパターンの短絡が発生しにくい利点があって、カラーフィルタの生産性を向上させることができる。 In addition, the color filter has an advantage that pattern short-circuiting hardly occurs during the development process, and the productivity of the color filter can be improved.
以下、本発明をより詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
本発明は、着色剤、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、前記光重合開始剤は、下記一般式(2)のオキシムエステル系化合物を含み、前記溶剤は、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンを含むことを特徴とする、着色感光性樹脂組成物に関するものである。 The present invention is a colored photosensitive resin composition comprising a colorant, an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a solvent, wherein the photopolymerization initiator is an oxime represented by the following general formula (2): The present invention relates to a colored photosensitive resin composition comprising an ester compound, wherein the solvent comprises 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone.
前記R1は、炭素数1〜8のアルキル基、OR3基、ハロゲン基で置換された炭素数6〜10のアリール基、またはハロゲン基で置換された炭素数7〜24のアリールアルキル基であり、前記R2は、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、または炭素数7〜24のアリールアルキル基であり、前記R3は、炭素数1〜20のアルキル基、または炭素数1〜20のアルコキシ基である。 R 1 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an OR 3 group, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms substituted with a halogen group, or an arylalkyl group having 7 to 24 carbon atoms substituted with a halogen group. And R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 24 carbon atoms, and R 3 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. Group or an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms.
前記一般式(2)が含まれている光重合開始剤を用いると、前記光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の吸光度は、405nmにおいて0.5以上となり、405nmのレーザ露光器で露光してカラーフィルタのパターンを形成する時、開始効率が高くなり、過剰の光重合開始剤を用いなくても、着色感光性樹脂組成物の高い感度および優れた信頼性を得ることができる。 When the photopolymerization initiator containing the general formula (2) is used, the absorbance of the propylene glycol methyl ether acetate solution containing the photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more is 0.5 at 405 nm. As described above, when a color filter pattern is formed by exposure with a 405 nm laser exposure device, the initiation efficiency is high, and the high sensitivity and excellent sensitivity of the colored photosensitive resin composition can be obtained without using an excessive photopolymerization initiator. Reliable.
また、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンが含まれている溶剤を用いることで、前記光重合開始剤の溶解度を増加させることができる。 Moreover, the solubility of the said photoinitiator can be increased by using the solvent in which 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone is contained.
前記組成物で製造された着色感光性樹脂組成物は、高濃度および高透過率を発現することができ、分散安定性がよくて時間変化による特性に優れ、カラーフィルタを構成する着色パターンを形成する原料として有用に使用可能であり、着色感光性樹脂組成物は、必要によって、追加的に添加剤を含むことができる。 The colored photosensitive resin composition produced with the composition can express a high concentration and high transmittance, has good dispersion stability, excellent characteristics due to time change, and forms a colored pattern constituting a color filter. The colored photosensitive resin composition can contain an additive as necessary.
以下、本発明の着色感光性樹脂組成物を各成分別に詳細に説明する。 Hereinafter, the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail for each component.
(A)着色剤
前記着色剤は、1種以上の顔料、1種以上の染料、またはこれらの混合物を含むことを特徴とする。
(A) Colorant The colorant contains one or more pigments, one or more dyes, or a mixture thereof.
(a1)顔料
前記顔料は、当該分野で一般的に使用される有機顔料または無機顔料を使用することができる。また、前記顔料は、必要によって、レジン処理、酸性基または塩基性基の導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面のグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、またはイオン交換法などによるイオン性不純物の除去処理などを施すこともできる。
(A1) Pigment As the pigment, an organic pigment or an inorganic pigment generally used in the art can be used. If necessary, the pigment may be atomized by a resin treatment, a surface treatment using a pigment derivative having an acidic group or a basic group introduced, a pigment surface graft treatment with a polymer compound or the like, or a sulfuric acid atomization method. It is also possible to perform a treatment, a cleaning treatment with an organic solvent or water for removing impurities, a removal treatment of ionic impurities by an ion exchange method, or the like.
前記有機顔料は、印刷インク、インクジェットインクなどに使用される各種の顔料を使用することができ、具体的には、水溶性アゾ顔料、不溶性アゾ顔料、フタロシアニン顔料、キナクリドン顔料、イソインドリノン顔料、イソインドリン顔料、ペリレン顔料、ペリノン顔料、ジオキサジン顔料、アントラキノン顔料、ジアントラキノニル顔料、アントラピリミジン顔料、アンサンスロン顔料、インダントロン顔料、フラバントロン顔料、ピラントロン顔料、ジケトピロロピロール顔料などが挙げられる。 As the organic pigment, various pigments used for printing ink, inkjet ink, and the like can be used. Specifically, a water-soluble azo pigment, an insoluble azo pigment, a phthalocyanine pigment, a quinacridone pigment, an isoindolinone pigment, Examples thereof include isoindoline pigments, perylene pigments, perinone pigments, dioxazine pigments, anthraquinone pigments, dianthraquinonyl pigments, anthrapyrimidine pigments, ansanthrone pigments, indanthrone pigments, flavantron pigments, pyranthrone pigments, and diketopyrrolopyrrole pigments.
また、前記無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩などの金属化合物を使用することができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン、カーボンブラック、有機ブラック顔料、チタンブラック、および赤色、緑色および青色を混合して黒色を呈する顔料などの金属の酸化物または複合金属酸化物などが挙げられる。 Further, as the inorganic pigment, metal compounds such as metal oxides and metal complex salts can be used. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, Examples thereof include antimony, carbon black, organic black pigments, titanium black, and metal oxides or composite metal oxides such as pigments that are mixed with red, green, and blue to exhibit black.
特に、前記有機顔料および無機顔料としては、具体的には、色指数(The society of Dyers and Colourists出版)でピグメントとして分類されている化合物が挙げられ、より具体的には、以下のような色指数(C.I.)番号の顔料が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。 In particular, examples of the organic pigment and the inorganic pigment include compounds classified as pigments by a color index (published by The Society of Dyers and Colorists), and more specifically, the following colors: Examples include, but are not necessarily limited to, pigments having index (CI) numbers.
C.I.ピグメントイエロー13、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、180および185;C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65および71;C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、208、215、216、224、242、254、255および264;C.I.ピグメントバイオレット14、19、23、29、32、33、36、37および38;C.I.ピグメントブルー15(15:3、15:4、15:6など)、21、28、60、64および76;C.I.ピグメントグリーン7、10、15、25、36、47および58;C.I.ピグメントブラウン28;C.I.ピグメントブラック1および7などの顔料が挙げられる。 C. I. Pigment Yellow 13, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 180 and 185; I. Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65 and 71; C.I. I. Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 208, 215, 216, 224, 242, 254, 255 and 264; I. Pigment violet 14, 19, 23, 29, 32, 33, 36, 37 and 38; I. Pigment Blue 15 (15: 3, 15: 4, 15: 6, etc.), 21, 28, 60, 64 and 76; C.I. I. Pigment Green 7, 10, 15, 25, 36, 47 and 58; C.I. I. Pigment brown 28; C.I. I. And pigments such as CI Pigment Black 1 and 7.
好ましくは、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、185;C.I.ピグメントオレンジ38;C.I.ピグメントレッド255;C.I.ピグメントバイオレット23;C.I.ピグメントブルー15:3、15:6;およびC.I.ピグメントグリーン7、36、58からなる群より選択される1種以上を使用する。 Preferably, C.I. I. Pigment yellow 138, 139, 150, 185; I. Pigment orange 38; C.I. I. Pigment red 255; C.I. I. Pigment violet 23; C.I. I. Pigment blue 15: 3, 15: 6; and C.I. I. One or more selected from the group consisting of CI Pigment Green 7, 36, 58 is used.
前記顔料は、顔料の粒径が均一に分散した顔料分散液を使用することが好ましい。顔料の粒径を均一に分散させるための方法の例としては、顔料分散剤(a2)を含有させて分散処理する方法などが挙げられ、前記方法によって顔料が溶液中に均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。 The pigment is preferably a pigment dispersion in which the particle diameter of the pigment is uniformly dispersed. Examples of the method for uniformly dispersing the pigment particle diameter include a method of dispersing by adding a pigment dispersant (a2). The pigment is uniformly dispersed in the solution by the above method. A pigment dispersion can be obtained.
(a2)顔料分散剤
前記顔料分散剤は、顔料の脱凝集および安定性維持のために添加するもので、顔料分散剤の具体例としては、陽イオン系、陰イオン系、非イオン系、両性系、ポリエステル系、ポリアミン系などの界面活性剤などが挙げられ、これらは、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
(A2) Pigment dispersant The pigment dispersant is added to disaggregate and maintain stability of the pigment. Specific examples of the pigment dispersant include cationic, anionic, nonionic, and amphoteric. These include surfactants such as polyesters, polyesters, and polyamines, and these can be used alone or in combination of two or more.
前記陽イオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩およびラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアミン塩または4級アンモニウム塩などが挙げられる。 Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride, or quaternary ammonium salts.
前記陰イオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムおよびオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムおよびラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムおよびドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。 Specific examples of the anionic surfactant include higher alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, and the like. And alkyl aryl sulfonates such as sodium dodecyl naphthalene sulfonate.
前記非イオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、およびポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。 Specific examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan Examples include fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitol fatty acid esters, glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene fatty acid esters, and polyoxyethylene alkylamines.
その他、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、およびポリエチレンイミン類などが挙げられる。 Other examples include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, and polyethyleneimines.
また、前記顔料分散剤は、ブチルメタアクリレート(BMA)またはN,N−ジメチルアミノエチルメタアクリレート(DMAEMA)を含むアクリレート系分散剤(以下、アクリレート系分散剤)を含むことが好ましい。前記アクリレート系分散剤の市販品としては、DISPER BYK−2000、DISPER BYK−2001、DISPER BYK−2070、またはDISPER BYK−2150などが挙げられ、前記アクリレート系分散剤は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができる。 The pigment dispersant preferably contains an acrylate dispersant (hereinafter referred to as an acrylate dispersant) containing butyl methacrylate (BMA) or N, N-dimethylaminoethyl methacrylate (DMAEMA). Examples of commercially available acrylate dispersants include DISPER BYK-2000, DISPER BYK-2001, DISPER BYK-2070, and DISPER BYK-2150. The acrylate dispersants may be used alone or in combination of two or more. Can be used as a mixture.
前記顔料分散剤は、アクリレート系分散剤のほか、他の樹脂タイプの顔料分散剤を使用することもできる。前記他の樹脂タイプの顔料分散剤としては、公知の樹脂タイプの顔料分散剤、特に、ポリウレタン、ポリアクリレートに代表されるポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸の(部分的)アミン塩、ポリカルボン酸のアンモニウム塩、ポリカルボン酸のアルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアミドホスフェート塩、ヒドロキシル基−含ポリカルボン酸のエステル、およびこれらの改質生成物、またはフリー(free)カルボキシル基を有するポリエステルとポリ(低級アルキレンイミン)との反応によって形成されたアミド、またはこれらの塩のような油質の分散剤;(メト)アクリル酸−スチレンコポリマー、(メト)アクリル酸−(メト)アクリレートエステルコポリマー、スチレン−マレイン酸コポリマー、ポリビニルアルコール、またはポリビニルピロリドンのような水溶性樹脂または水溶性ポリマー化合物;ポリエステル;改質ポリアクリレート;エチレンオキシド/プロピレンオキシドの付加生成物;およびホスフェートエステルなどが挙げられる。 As the pigment dispersant, other resin type pigment dispersants can be used in addition to the acrylate-based dispersant. Examples of the other resin-type pigment dispersants include known resin-type pigment dispersants, in particular, polycarboxylic acid esters represented by polyurethane and polyacrylate, unsaturated polyamides, polycarboxylic acids, and polycarboxylic acid (partial). A) amine salts, ammonium salts of polycarboxylic acids, alkylamine salts of polycarboxylic acids, polysiloxanes, long-chain polyaminoamide phosphate salts, esters of hydroxyl groups-containing polycarboxylic acids, and their modified products, or free (Free) Oily dispersants such as amides formed by the reaction of polyesters having carboxyl groups with poly (lower alkyleneimines), or salts thereof; (meth) acrylic acid-styrene copolymers, (meth) acrylic Acid- (meth) acrylate ester copolymer, styrene - maleic acid copolymer, polyvinyl alcohol or water-soluble resin or a water-soluble polymeric compounds such as polyvinyl pyrrolidone; polyesters; modified polyacrylate; ethylene oxide / propylene oxide addition product of; and and phosphate esters.
前記他の樹脂タイプの顔料分散剤の市販品には、陽イオン系樹脂分散剤としては、例えば、BYK(ビック)ケミー社の商品名:DISPER BYK−160、DISPER BYK−161、DISPER BYK−162、DISPER BYK−163、DISPER BYK−164、DISPER BYK−166、DISPER BYK−171、DISPER BYK−182、DISPER BYK−184;BASF社の商品名:EFKA−44、EFKA−46、EFKA−47、EFKA−48、EFKA−4010、EFKA−4050、EFKA−4055、EFKA−4020、EFKA−4015、EFKA−4060、EFKA−4300、EFKA−4330、EFKA−4400、EFKA−4406、EFKA−4510、EFKA−4800;Lubirzol社の商品名:SOLSPERS−24000、SOLSPERS−32550、NBZ−4204/10;川研ファインケミカル社の商品名:ヒノアクト(HINOACT)T−6000、ヒノアクトT−7000、ヒノアクトT−8000;味の素社の商品名:アジスパー(AJISPER)PB−821、アジスパーPB−822、アジスパーPB−823;共栄社化学社の商品名:フローレン(FLORENE)DOPA−17HF、フローレンDOPA−15BHF、フローレンDOPA−33、フローレンDOPA−44などが挙げられる。 Examples of commercially available products of the other pigment-type pigment dispersants include, for example, BYK (BIC) Chemie's trade names: DISPER BYK-160, DISPER BYK-161, DISPER BYK-162. , DISPER BYK-163, DISPER BYK-164, DISPER BYK-166, DISPER BYK-171, DISPER BYK-182, DISPER BYK-184; BASF Corporation trade names: EFKA-44, EFKA-46, EFKA-47, EFKA -48, EFKA-4010, EFKA-4050, EFKA-4055, EFKA-4020, EFKA-4015, EFKA-4060, EFKA-4300, EFKA-4330, EFKA-4400, EFKA-4406, E KA-4510, EFKA-4800; trade names of Lubilzol: SOLSPERS-24000, SOLSPERS-32550, NBZ-4204 / 10; trade names of Kawaken Fine Chemicals: HINOACT T-6000, Hinoact T-7000, Hinoact T-8000; Ajinomoto brand names: AJISPER PB-821, Ajisper PB-822, Azisper PB-823; Kyoeisha Chemical brand names: FLORENE DOPA-17HF, FLOREN DOPA-15BHF, FLOREN DOPA -33, florene DOPA-44 and the like.
前記アクリレート系分散剤のほか、他の樹脂タイプの顔料分散剤は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができ、アクリレート系分散剤と併用して使用することもできる。 In addition to the acrylate-based dispersant, other resin-type pigment dispersants can be used alone or in admixture of two or more, and can also be used in combination with an acrylate-based dispersant.
前記顔料分散剤は、顔料中の固形分100重量部に対して5〜60重量部、好ましくは15〜50重量部で含まれる。前記顔料分散剤の含有量が60重量部を超えると、粘度が高くなり、5重量部未満の場合には、顔料の微粒化が難しかったり、分散後のゲル化などの問題を引き起こすことがある。 The pigment dispersant is contained in an amount of 5 to 60 parts by weight, preferably 15 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the solid content in the pigment. When the content of the pigment dispersant exceeds 60 parts by weight, the viscosity increases, and when it is less than 5 parts by weight, it may be difficult to atomize the pigment or cause problems such as gelation after dispersion. .
(a3)染料
前記染料は、有機溶剤に対する溶解性を有するものであれば制限なく使用することができる。好ましくは、有機溶剤に対する溶解性を有し、かつ、アルカリ現像液に対する溶解性および耐熱性、耐溶剤性などの信頼性を確保可能な染料を使用することが好ましい。
(A3) Dye The dye can be used without limitation as long as it has solubility in an organic solvent. Preferably, it is preferable to use a dye that has solubility in an organic solvent and can secure reliability such as solubility in an alkali developer, heat resistance, and solvent resistance.
前記染料としては、スルホン酸やカルボン酸などの酸性基を有する酸性染料、酸性染料と窒素含有化合物の塩、酸性染料のスルホンアミド体などとこれらの誘導体から選択されたものを使用することができ、これら以外にも、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料、およびこれらの誘導体も選択されてよい。好ましくは、前記染料は、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)内に染料として分類されている化合物、または染色ノート(色染社)に記載されている公知の染料が挙げられる。 As the dye, an acid dye having an acid group such as sulfonic acid or carboxylic acid, a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound, a sulfonamide of an acid dye, or a derivative thereof can be used. Besides these, azo, xanthene, and phthalocyanine acid dyes, and derivatives thereof may also be selected. Preferably, the dye may be a compound classified as a dye in the color index (published by The Society of Dyers and Colorists), or a known dye described in a dye note (Color Dye).
前記染料の具体例には、C.I.ソルベント染料として、C.I.ソルベントレッド8、45、49、89、111、122、125、130、132、146および179;C.I.ソルベントブルー5、35、36、37、44、59、67および70;C.I.ソルベントバイオレット8、9、13、14、36、37、47および49;C.I.ソルベントイエロー4、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99および162;C.I.ソルベントオレンジ2、7、11、15、26および56;C.I.ソルベントグリーン1、3、4、5、7、28、29、32、33、34および35などの染料が挙げられる。 Specific examples of the dye include C.I. I. As a solvent dye, C.I. I. Solvent Red 8, 45, 49, 89, 111, 122, 125, 130, 132, 146 and 179; C.I. I. Solvent Blue 5, 35, 36, 37, 44, 59, 67 and 70; C.I. I. Solvent violet 8, 9, 13, 14, 36, 37, 47 and 49; C.I. I. Solvent Yellow 4, 14, 15, 23, 24, 38, 62, 63, 68, 82, 94, 98, 99 and 162; C.I. I. Solvent Orange 2, 7, 11, 15, 26 and 56; C.I. I. And dyes such as Solvent Green 1, 3, 4, 5, 7, 28, 29, 32, 33, 34 and 35.
前記C.I.ソルベント染料の中でも、C.I.ソルベントレッド8、49、89、111、122、132、146および179;C.I.ソルベントブルー35、36、44、45および70;C.I.ソルベントバイオレット13が、有機溶媒に対する溶解性に優れ、好ましくは、C.I.ソルベントレッド8、122および132である。 C. above. I. Among solvent dyes, C.I. I. Solvent Red 8, 49, 89, 111, 122, 132, 146 and 179; I. Solvent Blue 35, 36, 44, 45 and 70; C.I. I. Solvent Violet 13 is excellent in solubility in an organic solvent, preferably C.I. I. Solvent Red 8, 122 and 132.
また、C.I.アシッド染料として、C.I.アシッドレッド1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、66、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、182、183、195、198、206、211、215、216、217、227、228、249、252、257、258、260、261、266、268、270、274、277、280、281、308、312、315、316、339、341、345、346、349、382、383、394、401、412、417、418、422および426;C.I.アシッドイエロー1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、38、40、42、54、65、72、73、76、79、98、99、111、112、113、114、116、119、123、128、134、135、138、139、140、144、150、155、157、160、161、163、168、169、172、177、178、179、184、190、193、196、197、199、202、203、204、205、207、212、214、220、221、228、230、232、235、238、240、242、243および251;C.I.アシッドオレンジ6、7、8、10、12、26、50、51、52、56、62、63、64、74、75、94、95、107、108、169および173;C.I.アシッドブルー1、7、9、15、18、23、25、27、29、40、42、45、51、62、70、74、80、83、86、87、90、92、96、103、112、113、120、129、138、147、150、158、171、182、192、210、242、243、256、259、267、278、280、285、290、296、315、324:1、335および340;C.I.アシッドバイオレット6B、7、9、17、19および66;C.I.アシッドグリーン1、3、5、9、16、25、27、50、58、63、65、80、104、105、106および109などの染料が挙げられる。 In addition, C.I. I. As an acid dye, C.I. I. Acid Red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57, 66, 73, 80, 87, 88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 195, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227, 228, 249, 252, 257, 258, 260, 261, 266, 268, 270, 274, 277, 280, 281, 308, 312, 315, 316, 339, 341, 345, 346, 349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422 and 426; I. Acid Yellow 1, 3, 7, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 38, 40, 42, 54, 65, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184, 190, 193, 196, 197, 199, 202, 203, 204, 205, 207, 212, 214, 220, 221, 228, 230, 232, 235, 238, 240, 242, 243 and 251; I. Acid Orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169 and 173; I. Acid Blue 1, 7, 9, 15, 18, 23, 25, 27, 29, 40, 42, 45, 51, 62, 70, 74, 80, 83, 86, 87, 90, 92, 96, 103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267, 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335 and 340; C.I. I. Acid Violet 6B, 7, 9, 17, 19 and 66; C.I. I. And dyes such as Acid Green 1, 3, 5, 9, 16, 25, 27, 50, 58, 63, 65, 80, 104, 105, 106 and 109.
前記C.I.アシッド染料のうち、C.I.アシッドレッド92;C.I.アシッドブルー80、90;およびC.I.アシッドバイオレット60が、有機溶媒に対する溶解度に優れる。 C. above. I. Among acid dyes, C.I. I. Acid Red 92; I. Acid Blue 80, 90; and C.I. I. Acid Violet 60 has excellent solubility in organic solvents.
また、C.I.ダイレクト染料として、C.I.ダイレクトレッド79、82、83、84、91、92、96、97、98、99、105、106、107、172、173、176、177、179、181、182、184、204、207、211、213、218、220、221、222、232、233、234、241、243、246および250;C.I.ダイレクトイエロー2、33、34、35、38、39、43、47、50、54、58、68、69、70、71、86、93、94、95、98、102、108、109、129、136、138および141;C.I.ダイレクトオレンジ34、39、41、46、50、52、56、57、61、64、65、68、70、96、97、106および107;C.I.ダイレクトブルー38、44、57、70、77、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、166、167、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、196、198、199、200、207、209、210、212、213、214、222、228、229、237、238、242、243、244、245、247、248、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275および293;C.I.ダイレクトバイオレット47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103および104;C.I.ダイレクトグリーン25、27、31、32、34、37、63、65、66、67、68、69、72、77、79および82などの染料が挙げられる。 In addition, C.I. I. As a direct dye, C.I. I. Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246 and 250; I. Direct Yellow 2, 33, 34, 35, 38, 39, 43, 47, 50, 54, 58, 68, 69, 70, 71, 86, 93, 94, 95, 98, 102, 108, 109, 129, 136, 138 and 141; C.I. I. Direct orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106 and 107; C.I. I. Direct Blue 38, 44, 57, 70, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119, 137, 149, 150, 153, 155, 156, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 172, 173, 188, 189, 190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248, 250, 251, 252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275 and 293; . I. Direct violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103 and 104; I. Examples thereof include dyes such as direct green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, and 82.
また、C.I.モーダント染料として、C.I.モーダントイエロー5、8、10、16、20、26、30、31、33、42、43、45、56、61、62および65;C.I.モーダントレッド1、2、3、4、9、11、12、14、17、18、19、22、23、24、25、26、30、32、33、36、37、38、39、41、43、45、46、48、53、56、63、71、74、85、86、88、90、94および95;C.I.モーダントオレンジ3、4、5、8、12、13、14、20、21、23、24、28、29、32、34、35、36、37、42、43、47および48;C.I.モーダントブルー1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83および84;C.I.モーダントバイオレット1、2、4、5、7、14、22、24、30、31、32、37、40、41、44、45、47、48、53および58;C.I.モーダントグリーン1、3、4、5、10、15、19、26、29、33、34、35、41、43および53などの染料が挙げられる。 In addition, C.I. I. As a modern dye, C.I. I. Modern yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 61, 62 and 65; C.I. I. Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94 and 95; I. Modern orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47 and 48; C.I. I. Modern Blue 1, 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83 and 84; I. Modern violet 1, 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53 and 58; I. Dyes such as modern green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, and 53 may be mentioned.
前記染料は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。 The dyes can be used alone or in combination of two or more.
前記着色剤中の染料の含有量は、着色剤中の固形分の総重量に対して0.5〜80重量%含まれ、0.5〜60重量%が好ましく、1〜50重量%がより好ましい。前記着色剤中の染料の含有量が前記0.5〜80重量%で含まれると、パターン形成後、有機溶媒によって染料が溶出する信頼性低下の問題を防止することができ、感度が高くなる。 The content of the dye in the colorant is 0.5 to 80% by weight, preferably 0.5 to 60% by weight, more preferably 1 to 50% by weight based on the total weight of the solid content in the colorant. preferable. When the content of the dye in the colorant is 0.5 to 80% by weight, it is possible to prevent the problem of lowering the reliability of the dye eluting with an organic solvent after pattern formation, and the sensitivity is increased. .
前記着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の固形分の総重量に対して5〜60重量%、好ましくは10〜45重量%で含まれる。前記着色剤が前記5〜60重量%で含まれる場合には、薄膜を形成した時、画素の色濃度が十分であり、現像時に非画素部の脱落性が低下せず、残渣が発生しにくい。 The content of the colorant is 5 to 60% by weight, preferably 10 to 45% by weight, based on the total weight of the solid content in the colored photosensitive resin composition. When the colorant is contained in the amount of 5 to 60% by weight, the color density of the pixel is sufficient when a thin film is formed, the drop-off property of the non-pixel portion does not deteriorate during development, and a residue is hardly generated. .
本発明において、着色感光性樹脂組成物中の固形分の重量とは、着色感光性樹脂組成物の溶剤を除いた残りの成分の総重量を意味する。 In the present invention, the weight of the solid content in the colored photosensitive resin composition means the total weight of the remaining components excluding the solvent of the colored photosensitive resin composition.
(B)アルカリ可溶性樹脂
パターンを形成する時の現像処理工程で用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有するために、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体を必須成分として共重合して製造する。
(B) Manufactured by copolymerizing an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group as an essential component in order to be soluble in an alkaline developer used in the development processing step when forming an alkali-soluble resin pattern. To do.
前記カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体は、具体例としては、アクリル酸、メタアクリル酸、クロトン酸などのモノカルボン酸類;フマル酸、メサコン酸、イタコン酸などのジカルボン酸類;ジカルボン酸類の無水物;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートなどの両末端にカルボキシル基と水酸基を有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類などが挙げられ、アクリル酸、メタアクリル酸が好ましい。 Specific examples of the ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group include monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid; dicarboxylic acids such as fumaric acid, mesaconic acid, and itaconic acid; Anhydrides; mono (meth) acrylates of polymers having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, and acrylic acid and methacrylic acid are preferred.
アルカリ可溶性樹脂に追加的な現像性を確保するために、水酸基を付与することができる。前記水酸基を付与するための方法には、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と水酸基を有するエチレン性不飽和単量体とを共重合して製造する方法、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体の共重合体にグリシジル基を有する化合物を追加的に反応させて製造する方法、およびカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と水酸基を有するエチレン性不飽和単量体との共重合体に追加的にグリシジル基を有する化合物を反応させて製造する方法などがある。 In order to secure additional developability to the alkali-soluble resin, a hydroxyl group can be added. Examples of the method for imparting a hydroxyl group include a method in which an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group are copolymerized and an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group. A method of producing a copolymer of saturated monomers by additionally reacting a compound having a glycidyl group, and an ethylenically unsaturated monomer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group For example, there is a method in which a copolymer is additionally reacted with a compound having a glycidyl group.
前記水酸基を有するエチレン性不飽和単量体の具体例としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、N−ヒドロキシエチルアクリルアミドなどがあり、その中でも、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートが好ましく、前記水酸基を有するエチレン性不飽和単量体は、2種以上を組み合わせて使用することができる。 Specific examples of the ethylenically unsaturated monomer having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3- There are phenoxypropyl (meth) acrylate, N-hydroxyethyl acrylamide, etc. Among them, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is preferable, and the ethylenically unsaturated monomer having the hydroxyl group is used in combination of two or more. can do.
前記グリシジル基を有する化合物の具体例としては、ブチルグリシジルエーテル、グリシジルプロピルエーテル、グリシジルフェニルエーテル、2−エチルヘキシルグリシジルエーテル、グリシジルブチレート、グリシジルメチルエーテル、エチルグリシジルエーテル、グリシジルイソプロピルエーテル、t−ブチルグリシジルエーテル、ベンジルグリシジルエーテル、グリシジル4−t−ブチルベンゾエート、グリシジルステアレート、アリールグリシジルエーテル、およびメタアクリル酸グリシジルエステルなどがあり、好ましくは、ブチルグリシジルエーテル、アリールグリシジルエーテル、メタアクリル酸グリシジルエステルが挙げられ、前記グリシジル基を有する化合物は、2種以上を組み合わせて使用することができる。 Specific examples of the compound having a glycidyl group include butyl glycidyl ether, glycidyl propyl ether, glycidyl phenyl ether, 2-ethylhexyl glycidyl ether, glycidyl butyrate, glycidyl methyl ether, ethyl glycidyl ether, glycidyl isopropyl ether, t-butyl glycidyl. Examples include ether, benzyl glycidyl ether, glycidyl 4-t-butylbenzoate, glycidyl stearate, aryl glycidyl ether, and glycidyl methacrylate, preferably butyl glycidyl ether, aryl glycidyl ether, and glycidyl methacrylate. The compounds having a glycidyl group can be used in combination of two or more.
前記アルカリ可溶性樹脂の製造時に共重合可能な不飽和単量体は下記に例示されるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。 Although the unsaturated monomer copolymerizable at the time of manufacture of the said alkali-soluble resin is illustrated below, it is not necessarily limited to these.
共重合が可能な不飽和結合を有する重合単量体の具体例としては、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、p−クロロスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルなどの芳香族ビニル化合物;N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−o−メチルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メトキシフェニルマレイミド、N−m−メトキシフェニルマレイミド、N−p−メトキシフェニルマレイミドなどのN−置換マレイミド系化合物;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレートなどのアルキル(メタ)アクリレート類;シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレートなどの脂環族(メタ)アクリレート類;2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、N−ヒドロキシエチルアクリルアミドなどのヒドロキシエチル(メタ)アクリレート類;フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートなどのアリール(メタ)アクリレート類;3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、2−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、2−(メタクリロイルオキシメチル)−4−トリフルオロメチルオキセタンなどの不飽和オキセタン化合物などがある。 Specific examples of the polymerizable monomer having an unsaturated bond capable of copolymerization include styrene, vinyltoluene, α-methylstyrene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, Aromatic vinyl compounds such as o-vinyl benzyl methyl ether, m-vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether; N- Cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-phenylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-o-methylphenylmaleimide, Nm- N-substituted maleimide compounds such as tilphenylmaleimide, Np-methylphenylmaleimide, N-o-methoxyphenylmaleimide, Nm-methoxyphenylmaleimide, Np-methoxyphenylmaleimide; methyl (meth) acrylate, Ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, t-butyl ( Alkyl (meth) acrylates such as meth) acrylate; cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.02,6] decan-8-yl (Meta) Alicyclic (meth) acrylates such as acrylate, 2-dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate; 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4 -Hydroxyethyl (meth) acrylates such as hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, N-hydroxyethylacrylamide; aryl such as phenyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate (Meth) acrylates; 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-trifluoromethylo Cetane, 3- (methacryloyloxy) -2-phenyl oxetane, and the like 2- (methacryloyloxy) oxetane, 2- (methacryloyloxy) -4-unsaturated oxetane compounds such as trifluoromethyl oxetane.
前記例示した単量体は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。 The monomers exemplified above can be used alone or in combination of two or more.
アルカリ可溶性樹脂の染料との相溶性および着色感光性樹脂組成物の保存安定性を確保するために、酸価は30〜150mgKOH/gであることが好ましい。アルカリ可溶性樹脂の酸価が30mgKOH/g未満の場合、着色感光性樹脂組成物の現像速度が遅く、150mgKOH/gを超える場合、基板との密着性が減少してパターンの短絡が発生しやすく、染料との相溶性の問題が発生し、着色感光性樹脂組成物内の染料が析出したり保存安定性が低下して粘度が上昇しやすい。 In order to ensure the compatibility of the alkali-soluble resin with the dye and the storage stability of the colored photosensitive resin composition, the acid value is preferably 30 to 150 mgKOH / g. When the acid value of the alkali-soluble resin is less than 30 mgKOH / g, the development speed of the colored photosensitive resin composition is slow, and when it exceeds 150 mgKOH / g, the adhesion with the substrate is reduced, and a pattern short circuit is likely to occur. There is a problem of compatibility with the dye, and the dye in the colored photosensitive resin composition is precipitated or the storage stability is lowered and the viscosity is likely to increase.
また、前記アルカリ可溶性樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の固形分の総重量に対して10〜80重量%、好ましくは10〜70重量%である。前記アルカリ可溶性樹脂の含有量が10〜80重量%であれば、現像液の溶解性に優れてパターン形成が容易であり、現像時に露光部の画素部分の膜の減少が防止され、非画素部分の脱落性が良好になる。 Moreover, content of the said alkali-soluble resin is 10 to 80 weight% with respect to the total weight of solid content in a coloring photosensitive resin composition, Preferably it is 10 to 70 weight%. If the content of the alkali-soluble resin is 10 to 80% by weight, the developer is excellent in solubility and pattern formation is easy, and the reduction of the film of the pixel portion of the exposed portion during development is prevented. The drop-off property is improved.
(C)光重合性化合物
前記光重合性化合物(C)は、下記の光重合開始剤(D)の作用で重合可能な化合物でなければならない。
(C) Photopolymerizable compound The photopolymerizable compound (C) must be a compound that can be polymerized by the action of the following photopolymerization initiator (D).
官能基数は特に限定されるものではないが、2官能以上の多官能光重合性化合物が好ましく、重合性に優れて硬化が十分に起こり得る3官能以上の多官能光重合性化合物がより好ましい。 The number of functional groups is not particularly limited, but a polyfunctional photopolymerizable compound having two or more functional groups is preferable, and a polyfunctional photopolymerizable compound having three or more functional groups that is excellent in polymerizability and can be cured sufficiently is more preferable.
2官能光重合性化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−1,3−ジメタアクリルオキシプロパン、2−ヒドロキシ−1−アクリロキシ−3−メタアクリルオキシプロパンなどがある。 Specific examples of the bifunctional photopolymerizable compound include 2-hydroxy-1,3-dimethacryloxypropane and 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryloxypropane.
3官能以上の多官能光重合性化合物の具体例としては、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートなどがあり、2種以上を組み合わせて使用することができる。市販品には、商品名701(NK ESTER)、701A(NK ESTER)、A−TMM−3L(NK ESTER)、KAYARAD DPHA(日本化薬)などがある。 Specific examples of the trifunctional or higher functional polyfunctional photopolymerizable compound include pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate, and two or more kinds can be used in combination. Commercially available products include trade names 701 (NK ESTER), 701A (NK ESTER), A-TMM-3L (NK ESTER), KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) and the like.
前記光重合性化合物(C)は、着色感光性樹脂組成物中の固形分の総重量に対して5〜45重量%で含まれ、7〜45重量%で含まれることが好ましい。前記光重合性化合物(C)が前記5〜45重量%の範囲に含まれる場合、画素部の強度や平滑性が良好になる。 The photopolymerizable compound (C) is contained in an amount of 5 to 45% by weight, preferably 7 to 45% by weight, based on the total weight of the solid content in the colored photosensitive resin composition. When the photopolymerizable compound (C) is contained in the range of 5 to 45% by weight, the strength and smoothness of the pixel portion are improved.
(D)光重合開始剤
光重合開始剤(D)は、下記の一般式(3)で表されるエチルカルバゾール構造にNO2の置換されたオキシムエステル系化合物(d1)を含むことを特徴とする。また、前記光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.5以上でなければならない。
(D) Photopolymerization initiator The photopolymerization initiator (D) includes an oxime ester compound (d1) in which an ethyl carbazole structure represented by the following general formula (3) is substituted with NO 2. To do. In addition, the absorbance at 405 nm of a propylene glycol methyl ether acetate solution containing the photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more must be 0.5 or more.
前記R1は、炭素数1〜8のアルキル基、OR3基、ハロゲン基で置換された炭素数6〜10のアリール基、またはハロゲン基で置換された炭素数7〜24のアリールアルキル基であり、前記R2は、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、または炭素数7〜24のアリールアルキル基であり、前記R3は、炭素数1〜20のアルキル基、または炭素数1〜20のアルコキシ基である。 R 1 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an OR 3 group, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms substituted with a halogen group, or an arylalkyl group having 7 to 24 carbon atoms substituted with a halogen group. And R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 24 carbon atoms, and R 3 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. Group or an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms.
前記一般式(3)のオキシムエステル系化合物を含む光重合開始剤が0.01重量%以上の濃度で含まれているプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液で405nmにおける吸光度が0.5以上の場合、405nmのレーザ露光器で露光してパターンを形成する時、開始効率が高く、過剰の光重合開始剤を使用しなくても、着色感光性樹脂組成物の優れた感度および信頼性を得ることができる。 When the photopolymerization initiator containing the oxime ester compound of the general formula (3) is contained in a concentration of 0.01% by weight or more and the absorbance at 405 nm is 0.5 or more, 405 nm When the pattern is formed by exposure with a laser exposure device, the starting efficiency is high, and the excellent sensitivity and reliability of the colored photosensitive resin composition can be obtained without using an excessive photopolymerization initiator. .
また、本発明の効果を阻害しない範囲内で、前記以外の光重合開始剤(d2)を追加的に併用することもできる。前記光重合開始剤(d2)の例としては、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物、ビイミダゾール系化合物、およびチオキサントン系化合物からなる群より選択される1種以上の化合物を使用することが好ましい。 In addition, a photopolymerization initiator (d2) other than those described above can be additionally used within the range not impairing the effects of the present invention. As an example of the photopolymerization initiator (d2), one or more compounds selected from the group consisting of acetophenone compounds, benzophenone compounds, triazine compounds, biimidazole compounds, and thioxanthone compounds are used. Is preferred.
前記アセトフェノン系化合物の具体例としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケータル、2−ヒドロキシ−1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]プロパン−1−オン、および2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オンなどが挙げられる。 Specific examples of the acetophenone-based compound include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylcatetal, 2-hydroxy-1- [4- (2-hydroxyethoxy). ) Phenyl] -2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one, and 2- (4-methylbenzyl) ) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one and the like.
前記ベンゾフェノン系化合物の具体例としては、ベンゾフェノン、0−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、および2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどがある。 Specific examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl 0-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, and 2,4,6-trimethylbenzophenone.
前記トリアジン系化合物の具体例としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、および2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。 Specific examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4 -Methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2 , 4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4- Diethylamino-2-methylphenol Nyl) ethenyl] -1,3,5-triazine and 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine It is done.
前記ビイミダゾール化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、または4,4’,5,5’位のフェニル基がカルボアルコキシ基によって置換されているイミダゾール化合物などが挙げられる。これらのうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、および2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。 Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl). -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2 ' -Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2-bis (2,6-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'- Examples thereof include tetraphenyl-1,2′-biimidazole, and an imidazole compound in which the phenyl group at the 4,4 ′, 5,5 ′ position is substituted with a carboalkoxy group. Of these, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-Tetraphenylbiimidazole and 2,2-bis (2,6-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole are preferred.
前記チオキサントン系化合物の具体例としては、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、および1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどがある。 Specific examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, and 1-chloro-4-propoxythioxanthone.
また、前記光重合開始剤は、本発明の着色感光性樹脂組成物の感度を向上させるために、光重合開始補助剤(d3)をさらに含むことができる。本発明にかかる着色感光性樹脂組成物は、光重合開始補助剤(d3)を含むことにより、感度がより高くなり、生産性を向上させることができる。 The photopolymerization initiator may further contain a photopolymerization initiation auxiliary agent (d3) in order to improve the sensitivity of the colored photosensitive resin composition of the present invention. When the colored photosensitive resin composition according to the present invention contains the photopolymerization initiation auxiliary agent (d3), the sensitivity becomes higher and the productivity can be improved.
前記光重合開始補助剤(d3)は、例えば、アミン化合物、カルボン酸化合物、およびチオール基を有する有機硫黄化合物からなる群より選択される1種以上の化合物が好ましく使用できる。 As the photopolymerization initiation auxiliary agent (d3), for example, one or more compounds selected from the group consisting of an amine compound, a carboxylic acid compound, and an organic sulfur compound having a thiol group can be preferably used.
前記アミン化合物としては、芳香族アミン化合物を使用することが好ましく、具体的には、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称:ミヒラーケトン)、および4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどを使用することができる。 As the amine compound, an aromatic amine compound is preferably used. Specifically, aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, and triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethyl Ethyl aminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (Common name: Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like can be used.
前記カルボン酸化合物は、芳香族ヘテロ酢酸類であることが好ましく、具体的には、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、およびナフトキシ酢酸などが挙げられる。 The carboxylic acid compound is preferably an aromatic heteroacetic acid, specifically, phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid. , Dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid.
前記チオール基を有する有機硫黄化合物の具体例は、2−メルカプトベンゾチアゾール、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、およびテトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)などが挙げられる。 Specific examples of the organic sulfur compound having a thiol group include 2-mercaptobenzothiazole, 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl)- 1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), and tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate).
前記光重合開始剤は、本発明の着色感光性樹脂組成物中の固形分の総重量に対して0.1〜30重量%、好ましくは1〜20重量%含まれるとよい。前記光重合開始剤が前記0.1〜30重量%の範囲内にあれば、着色感光性樹脂組成物の感度が高くなり、露光時間が短縮して生産性が向上し、高い解像度を維持することができる。また、前記組成物を用いて形成した画素部の強度と前記画素部の表面における平滑性が良好になり得る。 The photopolymerization initiator is contained in an amount of 0.1 to 30% by weight, preferably 1 to 20% by weight, based on the total weight of the solid content in the colored photosensitive resin composition of the present invention. When the photopolymerization initiator is in the range of 0.1 to 30% by weight, the sensitivity of the colored photosensitive resin composition is increased, the exposure time is shortened, the productivity is improved, and high resolution is maintained. be able to. Further, the strength of the pixel portion formed using the composition and the smoothness on the surface of the pixel portion can be improved.
前記一般式(3)のオキシムエステル系化合物(d1)は、全体光重合開始剤の総重量に対して10〜100重量%、好ましくは20〜100重量%を含む。全体光重合開始剤中において一般式(3)のオキシムエステル系化合物(d1)の割合が10重量%未満の場合、染料による感度の低下を克服することができず、現像工程中にパターンの短絡が発生しやすい。 The oxime ester compound (d1) of the general formula (3) contains 10 to 100% by weight, preferably 20 to 100% by weight, based on the total weight of the total photopolymerization initiator. When the proportion of the oxime ester compound (d1) of the general formula (3) is less than 10% by weight in the entire photopolymerization initiator, the decrease in sensitivity due to the dye cannot be overcome, and a pattern short circuit occurs during the development process. Is likely to occur.
また、前記光重合開始補助剤(d3)を追加的に使用する場合、前記光重合開始補助剤(d3)は、本発明の着色感光性樹脂組成物中の固形分の総重量に対して0.1〜30重量%、好ましくは1〜20重量%含まれるとよい。前記光重合開始補助剤(d3)の含有量が前記0.1〜30重量%の範囲内にあれば、着色感光性樹脂組成物の感度がより高くなり、前記組成物を用いて形成されるカラーフィルタの生産性が向上する効果が発生する。 When the photopolymerization initiation auxiliary agent (d3) is additionally used, the photopolymerization initiation auxiliary agent (d3) is 0 with respect to the total weight of the solid content in the colored photosensitive resin composition of the present invention. 0.1 to 30% by weight, preferably 1 to 20% by weight. When the content of the photopolymerization initiation auxiliary (d3) is in the range of 0.1 to 30% by weight, the sensitivity of the colored photosensitive resin composition is further increased and formed using the composition. The effect of improving the productivity of the color filter occurs.
(E)溶剤
本発明において、溶剤は、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンを必ず含むことを特徴とする。
(E) Solvent In the present invention, the solvent necessarily contains 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone.
また、前記溶剤は、着色感光性樹脂組成物に含まれる他の成分を溶解させるのに効果的なものであれば、通常の着色感光性樹脂組成物で使用される溶剤を特に制限することなく使用することができ、特に、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、またはアミド類などが好ましい。 Further, the solvent is not particularly limited as long as it is effective for dissolving other components contained in the colored photosensitive resin composition, and the solvent used in the ordinary colored photosensitive resin composition is not particularly limited. In particular, ethers, aromatic hydrocarbons, ketones, alcohols, esters, amides and the like are preferable.
前記エーテル類としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、およびジエチレングリコールジブチルエーテルなどが挙げられる。 Examples of the ethers include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, and diethylene glycol dibutyl ether. .
前記芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、およびメシチレンなどが挙げられる。 Examples of the aromatic hydrocarbons include benzene, toluene, xylene, and mesitylene.
前記ケトン類としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、およびシクロヘキサノンなどが挙げられる。 Examples of the ketones include methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone.
前記アルコール類としては、例えば、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、およびグリセリンなどが挙げられる。 Examples of the alcohols include ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, and glycerin.
前記エステル類としては、例えば、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルアセテート、ブチルアセテート、アミルアセテート、メチルラクテート、エチルラクテート、ブチルラクテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシ−1−ブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、メチル3−メトキシプロピオネート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、2−アミノ−2−メチル−1,3−プロパンジオール、2−アミノ−2−エチル−1,3−プロパンジオール、エチルラクテート、プロピレングリコール、n−プロピルエーテル、エチル−3−エトキシプロピオネート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3−メトキシ−1−ブチルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、1,2−プロピレングリコールジアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ガンマブチロラクトン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、1,3−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、およびγ−ブチロラクトンなどが挙げられる。 Examples of the esters include ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl acetate, butyl acetate, amyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate, 3- Methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxy-1-butyl acetate, methoxypentyl acetate, ethylene glycol monoacetate, ethylene glycol diacetate, methyl 3-methoxypropionate, propylene glycol methyl ether acetate, 2-amino-2 -Methyl-1,3-propanediol, 2-amino-2-ethyl-1,3-propanediol, ethyl lactate, propylene glycol, n-propyl ester Ter, ethyl-3-ethoxypropionate, propylene glycol monobutyl ether, 3-methoxy-1-butyl acetate, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 1,2-propylene glycol diacetate, dipropylene glycol monomethyl ether, Ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether, gamma butyrolactone, diethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, 1,3-butylene glycol diacetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate ethylene glycol monomethyl ether acetate Ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monoacetate, diethylene glycol diacetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol monoacetate, propylene glycol diacetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene carbonate, propylene carbonate, and Examples thereof include γ-butyrolactone.
前記例示した溶剤のうち、塗布性および乾燥性の面で、沸点が100℃〜200℃の有機溶剤が好ましく、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、エチルラクテート、ブチルラクテート、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチルなどを用いることができる。 Among the above-exemplified solvents, organic solvents having a boiling point of 100 ° C. to 200 ° C. are preferable in terms of coating properties and drying properties. For example, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, ethyl lactate, butyl Lactate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate and the like can be used.
前記例示した溶剤は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができ、本発明の着色感光性樹脂組成物の総重量に対して60〜90重量%、好ましくは70〜85重量%含まれるとよい。前記溶剤が前記60〜90重量%の範囲であれば、ロールコータ、スピンコータ、スリットアンドスピンコータ、スリットコータ(ダイコータともいう)、インクジェットなどの塗布装置で塗布した時、塗布性が良好になる効果を提供する。 The above exemplified solvents may be used alone or in admixture of two or more, and are 60 to 90% by weight, preferably 70 to 85% by weight, based on the total weight of the colored photosensitive resin composition of the present invention. It should be included. When the solvent is in the range of 60 to 90% by weight, the coating property is improved when applied by a coating device such as a roll coater, a spin coater, a slit and spin coater, a slit coater (also referred to as a die coater), or an ink jet. provide.
また、前記4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンは、本発明の着色感光性樹脂組成物中の溶剤の総重量に対して5〜20重量%含まれることが好ましい。前記4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンの含有量が5重量%未満の場合、着色感光性樹脂組成物中の染料が析出して異物が発生することがあり、コントラストが減少することがある。また、20重量%を超える場合、着色感光性樹脂組成物の分散性が低下して粘度が上昇する問題が発生する。 The 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone is preferably contained in an amount of 5 to 20% by weight based on the total weight of the solvent in the colored photosensitive resin composition of the present invention. When the content of the 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone is less than 5% by weight, the dye in the colored photosensitive resin composition may precipitate and foreign matter may be generated, and the contrast may be reduced. is there. Moreover, when it exceeds 20 weight%, the dispersibility of a coloring photosensitive resin composition falls and the problem which a viscosity raises generate | occur | produces.
(F)添加剤
前記添加剤は、必要によって、選択的に添加できるものであって、例えば、他の高分子化合物、硬化剤、界面活性剤、密着促進剤、紫外線吸収剤、および凝集防止剤からなる群より選択される1種以上を含むことができる。
(F) Additive The additive can be selectively added as necessary. Examples thereof include other polymer compounds, curing agents, surfactants, adhesion promoters, ultraviolet absorbers, and anti-aggregation agents. 1 or more types selected from the group consisting of can be included.
前記他の高分子化合物の具体例としては、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタンなどの熱可塑性樹脂などが挙げられる。 Specific examples of the other polymer compounds include curable resins such as epoxy resins and maleimide resins, thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and polyurethane. Is mentioned.
前記硬化剤は、深部硬化および機械的強度を高めるために使用され、硬化剤の具体例としては、エポキシ化合物、多官能イソシアネート化合物、メラミン化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。 The curing agent is used to enhance deep curing and mechanical strength, and specific examples of the curing agent include epoxy compounds, polyfunctional isocyanate compounds, melamine compounds, oxetane compounds and the like.
前記硬化剤において、エポキシ化合物の具体例としては、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、その他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、または前記エポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂、およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族エポキシ化合物、ブタジエン(共)重合体エポキシ化物、イソプレン(共)重合体エポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレート(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。 Specific examples of the epoxy compound in the curing agent include bisphenol A epoxy resin, hydrogenated bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, hydrogenated bisphenol F epoxy resin, novolac epoxy resin, and other aromatics. Epoxy resins, alicyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, or brominated derivatives of the above epoxy resins, epoxy resins, and aliphatic, alicyclic or aromatic epoxies other than brominated derivatives thereof Examples thereof include compounds, butadiene (co) polymer epoxidized products, isoprene (co) polymer epoxidized products, glycidyl (meth) acrylate (co) polymers, and triglycidyl isocyanurate.
前記硬化剤において、オキセタン化合物の具体例としては、カーボネートビスオキセタン、キシレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。 Specific examples of the oxetane compound in the curing agent include carbonate bisoxetane, xylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and cyclohexanedicarboxylate bisoxetane.
前記硬化剤は、硬化剤と共に、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合可能にする硬化補助化合物を併用することができる。前記硬化補助化合物は、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などがある。前記多価カルボン酸無水物類は、エポキシ樹脂硬化剤として市販されるものを用いることができる。前記エポキシ樹脂硬化剤の具体例としては、アデカハードナーEH−700(アデカ工業(株)製造)、リカシッドHH(新日本理化(株)製造)、MH−700(新日本理化(株)製造)などが挙げられる。前記例示した硬化剤は、単独または2種以上を混合して使用することができる。 The curing agent can be used in combination with a curing auxiliary compound that enables ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound and the oxetane skeleton of the oxetane compound together with the curing agent. Examples of the curing auxiliary compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators. What is marketed as an epoxy resin hardening | curing agent can be used for the said polyhydric carboxylic acid anhydrides. Specific examples of the epoxy resin curing agent include ADEKA HARDNER EH-700 (manufactured by ADEKA INDUSTRY CO., LTD.), RIKACID HH (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), MH-700 (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.) Is mentioned. The exemplified curing agents can be used alone or in admixture of two or more.
前記界面活性剤は、着色感光性樹脂組成物の被膜の形成をより向上させるために使用することができ、シリコーン系、フッ素系、エステル系、陽イオン系、陰イオン系、非イオン系、両性界面活性剤などが好ましく使用可能であり、具体的には、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などが挙げられる。また、前記シリコーン系界面活性剤は、例えば、市販品として、ダウコーニング東レシリコーン社のDC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA、SH8400などがあり、GE東芝シリコーン社のTSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460、TSF−4452などがある。前記フッ素系界面活性剤は、例えば、市販品として、大日本インキ化学工業社のメガピースF−470、F−471、F−475、F−482、F−489などがある。また、その他使用可能な市販品としては、KP(信越化学工業(株))、ポリフロー(POLYFLOW)(共栄社化学(株))、エフトップ(EFTOP)(トーケムプロダクツ社)、メガファック(MEGAFAC)(大日本インキ化学工業(株))、フロラード(Flourad)(住友スリーエム(株))、アサヒガード(Asahi guard)、サーフロン(Surflon)(以上、旭硝子(株))、ソルスパース(SOLSPERSE)(Lubrisol)、EFKA(EFKAケミカルズ社)、PB821(味の素(株))、Disperbyk−series(BYK−chemi)などが挙げられる。前記例示された界面活性剤は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。 The surfactant can be used to further improve the formation of a colored photosensitive resin composition film, and is based on silicone, fluorine, ester, cationic, anionic, nonionic, amphoteric. Surfactants and the like can be preferably used. Specifically, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified Examples thereof include polyurethanes and polyethyleneimines. Examples of the silicone surfactant include commercially available products such as DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH8400 manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd., TSF-4440, TSF-4300, TSF- 4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4442, and the like. Examples of the fluorosurfactant include Megapiece F-470, F-471, F-475, F-482, and F-489 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc. as commercially available products. Other commercially available products include KP (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (POLYFLOW) (Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), FTOP (EFTOP) (Tochem Products), MegaFac (MEGAFAC) (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), Florad (Sumitomo 3M), Asahi guard, Surflon (above, Asahi Glass Co., Ltd.), SOLSPERSE (Lubrisol) , EFKA (EFKA Chemicals), PB821 (Ajinomoto Co., Inc.), Disperbyk-series (BYK-chemi), and the like. The exemplified surfactants can be used alone or in combination of two or more.
前記密着促進剤の種類は特に限定されず、使用可能な密着促進剤の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。前記例示した密着促進剤は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。前記密着促進剤は、着色感光性樹脂組成物中の固形分の総重量に対して、通常0.01〜10重量%、好ましくは0.05〜2重量%含まれるとよい。 The kind of the adhesion promoter is not particularly limited, and specific examples of the adhesion promoter that can be used include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, and N- (2-aminoethyl). ) -3-Aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxy Propylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltri Methoxysilane 3 isocyanate propyl trimethoxysilane, and 3-isocyanate propyl triethoxy silane. The exemplified adhesion promoters can be used alone or in combination of two or more. The adhesion promoter is usually contained in an amount of 0.01 to 10% by weight, preferably 0.05 to 2% by weight, based on the total weight of the solid content in the colored photosensitive resin composition.
前記紫外線吸収剤の種類は特に限定しないが、使用可能な具体例としては、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾチリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。 Although the kind of the ultraviolet absorber is not particularly limited, specific examples that can be used include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzothiazole, alkoxybenzophenone, and the like. Can be mentioned.
前記凝集防止剤の種類は特に限定しないが、使用可能な具体例としては、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。 The type of the anti-aggregation agent is not particularly limited, and specific examples that can be used include sodium polyacrylate.
本発明の着色感光性樹脂組成物の製造方法を、例を挙げて説明すれば下記の通りである。 The method for producing the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described with reference to examples.
まず、前記着色剤(A)中の顔料(a1)を溶剤(E)と混合して、顔料の平均粒径が0.2μm以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させる。この時、必要によって、顔料分散剤(a2)、アルカリ可溶性樹脂(B)の一部または全部、または染料(a3)を溶剤(E)と共に混合させて、溶解または分散させることができる。 First, the pigment (a1) in the colorant (A) is mixed with the solvent (E) and dispersed using a bead mill or the like until the average particle size of the pigment is about 0.2 μm or less. At this time, if necessary, the pigment dispersant (a2), a part or all of the alkali-soluble resin (B), or the dye (a3) can be mixed with the solvent (E) to be dissolved or dispersed.
前記混合された分散液に、染料(a3)、アルカリ可溶性樹脂の残部(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)と、必要によって、添加剤(F)および溶剤(E)を所定の濃度となるようにさらに添加して、本発明にかかる着色感光性樹脂組成物を製造することができる。 In the mixed dispersion, the dye (a3), the remainder of the alkali-soluble resin (B), the photopolymerizable compound (C), the photopolymerization initiator (D), and, if necessary, an additive (F) and a solvent ( The colored photosensitive resin composition according to the present invention can be produced by further adding E) to a predetermined concentration.
また、本発明は、着色感光性樹脂組成物で製造されたカラーフィルタおよびこれを備えた表示装置を提供する。 Moreover, this invention provides the color filter manufactured with the coloring photosensitive resin composition, and a display apparatus provided with the same.
前記着色感光性樹脂組成物を下記の通りにして基材上に塗布し、光硬化および現像してパターンを形成することによって製造することができる。 It can manufacture by apply | coating the said colored photosensitive resin composition on a base material as follows, and photocuring and developing and forming a pattern.
まず、着色感光性樹脂組成物を基板(通常はガラス)または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層上に塗布した後、加熱乾燥することにより、溶剤などの揮発成分を除去して平滑な塗膜を得る。 First, a colored photosensitive resin composition is applied on a substrate (usually glass) or a layer made of a solid content of a colored photosensitive resin composition previously formed, and then dried by heating to remove volatile components such as a solvent. Remove to obtain a smooth coating.
塗布方法としては、例えば、スピンコート、柔軟塗布法、ロール塗布法、スリットアンドスピンコートまたはスリットコート法などによって実施されてよい。塗布後、加熱乾燥(プリベーク)、または減圧乾燥後に加熱して溶剤などの揮発成分を揮発させる。ここで、加熱温度は、通常70〜200℃、好ましくは80〜130℃である。加熱乾燥後の塗膜の厚さは、通常1〜8μm程度である。このようにして得られた塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを通して紫外線を照射する。この時、露光部全体に均一に平行光線が照射され、また、マスクと基板との正確な位置合わせが行われるように、マスクアライナやステッパなどの装置を用いることが好ましい。紫外線を照射すると、紫外線の照射された部位の硬化が行われる。 As the coating method, for example, spin coating, soft coating method, roll coating method, slit and spin coating, or slit coating method may be used. After application, heat drying (pre-baking) or drying after reduced pressure heats to volatilize volatile components such as a solvent. Here, heating temperature is 70-200 degreeC normally, Preferably it is 80-130 degreeC. The thickness of the coating after heat drying is usually about 1 to 8 μm. The coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays through a mask for forming a target pattern. At this time, it is preferable to use an apparatus such as a mask aligner or a stepper so that parallel light rays are uniformly irradiated on the entire exposure unit and accurate alignment between the mask and the substrate is performed. When the ultraviolet ray is irradiated, the portion irradiated with the ultraviolet ray is cured.
前記紫外線としては、g線(波長:436nm)、h線、i線(波長:365nm)などを用いることができる。紫外線の照射量は、必要によって適切に選択できるものであり、本発明ではこれを限定しない。硬化の終わった塗膜を現像液に接触させて非露光部を溶解して現像すると、目的のパターン形状を有するスペーサを得ることができる。 As the ultraviolet rays, g-line (wavelength: 436 nm), h-line, i-line (wavelength: 365 nm), or the like can be used. The irradiation amount of ultraviolet rays can be appropriately selected as necessary, and is not limited in the present invention. When the cured coating film is brought into contact with a developing solution to dissolve the non-exposed portion and developed, a spacer having a target pattern shape can be obtained.
前記現像方法は、液添加法、デイッピング法、スプレー法などのいずれでも構わない。また、現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。前記現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。前記アルカリ性化合物は、無機および有機アルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素2ナトリウム、リン酸2水素ナトリウム、リン酸水素2アンモニウム、リン酸2水素アンモニウム、リン酸2水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。 The developing method may be any of a liquid addition method, a dipping method, a spray method, and the like. Further, the substrate may be tilted at an arbitrary angle during development. The developer is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant. The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound. Specific examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate. , Potassium silicate, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, ammonia and the like. Specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. Etc.
これら無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01〜10重量%であり、より好ましくは0.03〜5重量%である。 These inorganic and organic alkaline compounds can be used alone or in combination of two or more. The concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.03 to 5% by weight.
前記アルカリ現像液中の界面活性剤は、非イオン系界面活性剤、陰イオン系界面活性剤、または陽イオン系界面活性剤からなる群より選択される少なくとも1つを使用することができる。 As the surfactant in the alkaline developer, at least one selected from the group consisting of a nonionic surfactant, an anionic surfactant, or a cationic surfactant can be used.
前記非イオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。 Specific examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan Examples include fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitol fatty acid esters, glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene fatty acid esters, and polyoxyethylene alkylamines.
前記陰イオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。 Specific examples of the anionic surfactant include higher alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, And alkyl aryl sulfonates such as sodium dodecyl naphthalene sulfonate.
前記陽イオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアミン塩、または4級アンモニウム塩などが挙げられる。これら界面活性剤は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。 Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride, or quaternary ammonium salts. These surfactants can be used alone or in combination of two or more.
前記現像液中の界面活性剤の濃度は、通常0.01〜10重量%、好ましくは0.05〜8重量%、より好ましくは0.1〜5重量%である。現像後、水洗し、また、必要によって、150〜230℃で10〜60分のポストベークを行うこともできる。 The concentration of the surfactant in the developer is usually 0.01 to 10% by weight, preferably 0.05 to 8% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. After development, it is washed with water, and if necessary, post-baking can be performed at 150 to 230 ° C. for 10 to 60 minutes.
本発明の着色感光性樹脂組成物を使用し、上記のような各工程を経て、基板上に特定のパターンを形成することができる。 Using the colored photosensitive resin composition of the present invention, a specific pattern can be formed on the substrate through the above-described steps.
以下、本発明を具体的に説明するために実施例を挙げて詳細に説明する。しかし、本発明にかかる実施例は、様々な異なる形態に変形可能であり、本発明の範囲が以下に詳述する実施例に限定されると解釈されてはならない。本発明の実施例は、当業界における平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。
<顔料分散組成物の製造>
製造例1.顔料分散組成物(M1)の製造
顔料としてC.I.ピグメントレッド254 13.5重量部、顔料分散剤としてDISPERBYK−2001(BYK社製造)5.0重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート61.5重量部、および4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン20重量部を、ビーズミルによって12時間混合および分散して、顔料分散組成物M1を製造した。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. However, the embodiments according to the present invention can be modified into various different forms, and the scope of the present invention should not be construed to be limited to the embodiments detailed below. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art.
<Production of pigment dispersion composition>
Production Example 1 As a production pigment of the pigment dispersion composition (M1), C.I. I. Pigment Red 254 13.5 parts by weight, DISPERBYK-2001 (manufactured by BYK) as a pigment dispersant 5.0 parts by weight, propylene glycol monomethyl ether acetate 61.5 parts by weight as a solvent, and 4-hydroxy-4-methyl-2 -20 parts by weight of pentanone was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to produce a pigment dispersion composition M1.
製造例2.顔料分散組成物(M2)の製造
顔料としてC.I.ピグメントグリーン58 13.5重量部、顔料分散剤としてDISPERBYK−2001(BYK社製造)5.0重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート61.5重量部、および4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン20重量部を、ビーズミルによって12時間混合および分散して、顔料分散組成物M2を製造した。
Production Example 2 As a production pigment of the pigment dispersion composition (M2), C.I. I. Pigment Green 58 13.5 parts by weight, DISPERBYK-2001 (manufactured by BYK) as a pigment dispersant 5.0 parts by weight, propylene glycol monomethyl ether acetate 61.5 parts by weight as a solvent, and 4-hydroxy-4-methyl-2 -A pigment dispersion composition M2 was prepared by mixing and dispersing 20 parts by weight of pentanone by a bead mill for 12 hours.
製造例3.顔料分散組成物(M3)の製造
顔料としてC.I.ピグメントレッド254 13.5重量部、顔料分散剤としてDISPERBYK−2001(BYK社製造)5.0重量部、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート81.5重量部を、ビーズミルによって12時間混合および分散して、顔料分散組成物M3を製造した。
Production Example 3 As a production pigment of the pigment dispersion composition (M3), C.I. I. 13.5 parts by weight of Pigment Red 254, 5.0 parts by weight of DISPERBYK-2001 (manufactured by BYK) as a pigment dispersant, and 81.5 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours. A pigment dispersion composition M3 was produced.
合成例1.アルカリ可溶性樹脂の合成
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート120重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル80重量部、AIBN2重量部、アクリル酸13重量部、ベンジルメタアクリレート10重量部、4−メチルスチレン57重量部、メチルメタアクリレート20重量部、n−ドデシルメルカプト3重量部を投入し、窒素雰囲気に切り替えた。その後、撹拌し、反応液の温度を110℃に上昇させて6時間反応した。前記方法で製造されたアルカリ可溶性樹脂の固形分の酸価は100.2mgKOH/gであり、GPCで測定した重量平均分子量Mwは約15110であった。
Synthesis Example 1 In a flask equipped with a synthetic stirrer of alkali-soluble resin, thermometer, reflux condenser, dropping funnel and nitrogen introduction tube, 120 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, 80 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether, 2 parts by weight of AIBN, acrylic acid 13 parts by weight, 10 parts by weight of benzyl methacrylate, 57 parts by weight of 4-methylstyrene, 20 parts by weight of methyl methacrylate, and 3 parts by weight of n-dodecyl mercapto were added and switched to a nitrogen atmosphere. Then, it stirred and raised the temperature of the reaction liquid to 110 degreeC, and reacted for 6 hours. The acid value of the solid content of the alkali-soluble resin produced by the above method was 100.2 mgKOH / g, and the weight average molecular weight Mw measured by GPC was about 15110.
合成例2.光重合開始剤(d1)の合成
Step1.
窒素雰囲気の反応器に、AlCl337.3gとジクロロエタン112.0gを投入し、温度を5℃に維持して撹拌した。アセチルクロライド溶液17.27gに、ジクロロエタン240.3gおよびニトロカルバゾール48.1gを溶解し、前記溶解した溶液を1時間、反応器に滴下した。その後、温度を15℃に上昇させて2時間さらに撹拌した。前記反応液に蒸留水を投入し、洗浄および分離後に、溶媒を乾燥して、純度94%の反応物1を得た。
Synthesis Example 2 Synthesis of photopolymerization initiator (d1) Step 1.
In a nitrogen atmosphere reactor, 37.3 g of AlCl 3 and 112.0 g of dichloroethane were charged, and the temperature was maintained at 5 ° C. and stirred. In 17.27 g of the acetyl chloride solution, 240.3 g of dichloroethane and 48.1 g of nitrocarbazole were dissolved, and the dissolved solution was added dropwise to the reactor for 1 hour. Thereafter, the temperature was raised to 15 ° C. and further stirred for 2 hours. Distilled water was added to the reaction solution, and after washing and separation, the solvent was dried to obtain a reaction product 1 having a purity of 94%.
Step2.
窒素雰囲気の反応器に、前記反応物1 35.0g、塩酸ヒドロキシルアミン11.1g、酢酸ナトリウム15.1g、エタノール90g、蒸留水30gを投入し、温度を80℃に維持して5時間、撹拌した。その後、蒸留水を投入し、析出物を分離および乾燥して、純度92%の反応物2を得た。
Step2.
A reactor in a nitrogen atmosphere was charged with 35.0 g of the above reactant 1, 11.1 g of hydroxylamine hydrochloride, 15.1 g of sodium acetate, 90 g of ethanol, and 30 g of distilled water, and the mixture was stirred for 5 hours while maintaining the temperature at 80 ° C. did. Thereafter, distilled water was added, and the precipitate was separated and dried to obtain a reaction product 2 having a purity of 92%.
Step3.
窒素雰囲気の反応器に、反応物2 26.0g、ジクロロメタン78gを投入し、常温で撹拌した。その後、酢酸無水物15.0gをジクロロエタン15.0gで希釈した混合溶液を1時間、反応器に滴下した後、1時間撹拌した。撹拌後、蒸留水を投入し、数回洗浄した後、ジクロロメタンを蒸発させて、純度90%の化学式(4)を得た。化学式(4)は、一般式(3)のR1およびR2がメチル基の構造で、下記のように表すことができる。また、下記の化学式(4)の化合物は、0.01重量%の濃度のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液で405nmにおける吸光度が0.523と測定された。
Step3.
In a nitrogen atmosphere reactor, 26.0 g of the reaction product 2 and 78 g of dichloromethane were added and stirred at room temperature. Thereafter, a mixed solution obtained by diluting 15.0 g of acetic anhydride with 15.0 g of dichloroethane was dropped into the reactor for 1 hour, followed by stirring for 1 hour. After stirring, distilled water was added, washed several times, and then dichloromethane was evaporated to obtain a chemical formula (4) having a purity of 90%. The chemical formula (4) is a structure in which R 1 and R 2 in the general formula (3) are methyl groups, and can be represented as follows. In addition, the compound of the following chemical formula (4) was measured to have an absorbance at 405 nm of 0.523 in a propylene glycol methyl ether acetate solution having a concentration of 0.01% by weight.
<着色感光性樹脂組成物の製造>
実施例1.
前記製造例1で製造した顔料分散組成物M1 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、合成例2で製造した光重合開始剤(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.52)0.71重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン0.72重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.48重量部を混合して、実施例1の着色感光性樹脂組成物を製造した。
<Production of colored photosensitive resin composition>
Example 1.
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M1 produced in Production Example 1, 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound, synthesis 0.71 parts by weight of the photopolymerization initiator produced in Example 2 (the absorbance at 405 nm of a propylene glycol methyl ether acetate solution containing the photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more) is 4- (as a solvent). A colored photosensitive resin composition of Example 1 was produced by mixing 0.72 parts by weight of hydroxy-4-methyl-2-pentanone and 45.48 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
実施例2.
前記製造例2で製造した顔料分散組成物M2 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、合成例2で製造した光重合開始剤(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.52)0.71重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン0.72重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.48重量部を混合して、実施例2の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Example 2
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M2 produced in Production Example 2, 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound, synthesis 0.71 parts by weight of the photopolymerization initiator produced in Example 2 (the absorbance at 405 nm of a propylene glycol methyl ether acetate solution containing the photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more) is 4- (as a solvent). A colored photosensitive resin composition of Example 2 was produced by mixing 0.72 parts by weight of hydroxy-4-methyl-2-pentanone and 45.48 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
実施例3.
前記製造例1で製造した顔料分散組成物M1 36.94重量部、染料としてC.I.ソルベントイエロー21 0.26重量部、合成例1で製造した樹脂10.79重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.59重量部、合成例2で製造した光重合開始剤(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.52)0.72重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン1.11重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.59重量部を混合して、実施例3の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Example 3 FIG.
36.94 parts by weight of pigment dispersion composition M1 produced in Production Example 1 and C.I. I. 0.26 parts by weight of Solvent Yellow 21; 10.79 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.59 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as the photopolymerizable compound, and the photopolymerization initiator produced in Synthesis Example 2. (A propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more has an absorbance at 405 nm of 0.52) 0.72 parts by weight, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone as a solvent 1.11 parts by weight and 46.59 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were mixed to produce a colored photosensitive resin composition of Example 3.
実施例4.
前記製造例2で製造した顔料分散組成物M2 36.94重量部、染料としてC.I.ソルベントイエロー21 0.26重量部、合成例1で製造した樹脂10.79重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.59重量部、合成例2で製造した光重合開始剤(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.52)0.72重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン1.11重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.59重量部を混合して、実施例4の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Example 4
36.94 parts by weight of pigment dispersion composition M2 produced in Production Example 2 and C.I. I. 0.26 parts by weight of Solvent Yellow 21; 10.79 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.59 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as the photopolymerizable compound, and the photopolymerization initiator produced in Synthesis Example 2. (A propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more has an absorbance at 405 nm of 0.52) 0.72 parts by weight, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone as a solvent A colored photosensitive resin composition of Example 4 was produced by mixing 1.11 parts by weight and 46.59 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例1.
前記製造例1で製造した顔料分散組成物M1 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、光重合開始剤としてIrgacure OXE−01(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.013、BASF社)0.71重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン0.72重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.48重量部を混合して、比較例1の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 1
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M1 produced in Production Example 1, 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound, light Irgacure OXE-01 as a polymerization initiator (absorbance at 405 nm of propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more at 0.013, BASF) 0.71 part by weight, as a solvent A colored photosensitive resin composition of Comparative Example 1 was produced by mixing 0.72 parts by weight of 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone and 45.48 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例2.
前記製造例1で製造した顔料分散組成物M1 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、光重合開始剤としてIrgacure OXE−02(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.004、BASF社)0.71重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン0.72重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.48重量部を混合して、比較例2の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 2
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M1 produced in Production Example 1, 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound, light Irgacure OXE-02 as a polymerization initiator (absorbance at 405 nm of a propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more at 0.004, BASF) 0.71 part by weight, as a solvent A colored photosensitive resin composition of Comparative Example 2 was produced by mixing 0.72 parts by weight of 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone and 45.48 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例3.
前記製造例1で製造した顔料分散組成物M1 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、光重合開始剤としてN−1919(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.015、アデカ社)0.71重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン0.72重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.48重量部を混合して、比較例3の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 3
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M1 produced in Production Example 1, 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound, light N-1919 as a polymerization initiator (absorbance at 405 nm of a propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more at 0.015, Adeka) 0.71 part by weight, 4 as a solvent A colored photosensitive resin composition of Comparative Example 3 was produced by mixing 0.72 parts by weight of -hydroxy-4-methyl-2-pentanone and 45.48 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例4.
前記製造例2で製造した顔料分散組成物M2 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、光重合開始剤としてIrgacure OXE−01(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.013、BASF社)0.71重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン0.72重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.48重量部を混合して、比較例4の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 4
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M2 produced in Production Example 2; 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1; 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound; Irgacure OXE-01 as a polymerization initiator (absorbance at 405 nm of propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more at 0.013, BASF) 0.71 part by weight, as a solvent A colored photosensitive resin composition of Comparative Example 4 was produced by mixing 0.72 parts by weight of 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone and 45.48 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例5.
前記製造例2で製造した顔料分散組成物M2 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、光重合開始剤としてIrgacure OXE−02(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.004、BASF社)0.71重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン0.72重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45.48重量部を混合して、比較例5の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 5
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M2 produced in Production Example 2; 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1; 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound; Irgacure OXE-02 as a polymerization initiator (absorbance at 405 nm of a propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more at 0.004, BASF) 0.71 part by weight, as a solvent A colored photosensitive resin composition of Comparative Example 5 was produced by mixing 0.72 parts by weight of 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone and 45.48 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例6.
前記製造例1で製造した顔料分散組成物M1 36.94重量部、染料としてC.I.ソルベントイエロー21 0.26重量部、合成例1で製造した樹脂10.79重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.59重量部、光重合開始剤としてIrgacure OXE−02(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.004、BASF社)0.72重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン1.11重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.59重量部を混合して、比較例6の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 6
36.94 parts by weight of pigment dispersion composition M1 produced in Production Example 1 and C.I. I. 0.26 parts by weight of Solvent Yellow 21; 10.79 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.59 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound, and Irgacure OXE-02 ( The propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more has an absorbance at 405 nm of 0.004, BASF) 0.72 parts by weight, and 4-hydroxy-4-methyl-2 as a solvent. -A colored photosensitive resin composition of Comparative Example 6 was produced by mixing 1.11 parts by weight of pentanone and 46.59 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例7.
前記製造例1で製造した顔料分散組成物M1 36.94重量部、染料としてC.I.ソルベントイエロー21 0.26重量部、合成例1で製造した樹脂10.79重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.59重量部、光重合開始剤としてN−1919(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.015、アデカ社)0.72重量部、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン1.11重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.59重量部を混合して、比較例7の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 7
36.94 parts by weight of pigment dispersion composition M1 produced in Production Example 1 and C.I. I. 0.26 parts by weight of Solvent Yellow 21; 10.79 parts by weight of the resin prepared in Synthesis Example 1, 3.59 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as the photopolymerizable compound, and N-1919 (light) as the photopolymerization initiator. The propylene glycol methyl ether acetate solution containing a polymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more has an absorbance at 405 nm of 0.015, Adeka Company) 0.72 parts by weight, and 4-hydroxy-4-methyl-2-2 as a solvent. A colored photosensitive resin composition of Comparative Example 7 was produced by mixing 1.11 parts by weight of pentanone and 46.59 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate.
比較例8.
前記製造例3で製造した顔料分散組成物M3 38.89重量部、合成例1で製造した樹脂10.65重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.55重量部、光重合開始剤としてN−1919(0.01重量%の濃度のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.015、アデカ社)0.71重量部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート46.2重量部を混合して、比較例8の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 8.
38.89 parts by weight of the pigment dispersion composition M3 produced in Production Example 3, 10.65 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.55 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as a photopolymerizable compound, light N-1919 as a polymerization initiator (absorbance of 0.015% propylene glycol methyl ether acetate solution at 405 nm is 0.015, Adeka) 0.71 part by weight, propylene glycol monomethyl ether acetate 46.2 as a solvent The colored photosensitive resin composition of Comparative Example 8 was produced by mixing parts by weight.
比較例9.
前記製造例3で製造した顔料分散組成物M3 36.94重量部、染料としてC.I.ソルベントイエロー21 0.26重量部、合成例1で製造した樹脂10.79重量部、光重合性化合物としてKAYARAD DPHA(日本化薬)3.59重量部、合成例2で製造した光重合開始剤(光重合開始剤を0.01重量%以上の濃度で含むプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液の405nmにおける吸光度が0.52)0.72重量部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート47.7重量部を混合して、比較例9の着色感光性樹脂組成物を製造した。
Comparative Example 9
36.94 parts by weight of the pigment dispersion composition M3 produced in Production Example 3 and C.I. I. 0.26 parts by weight of Solvent Yellow 21; 10.79 parts by weight of the resin produced in Synthesis Example 1, 3.59 parts by weight of KAYARAD DPHA (Nippon Kayaku) as the photopolymerizable compound, and the photopolymerization initiator produced in Synthesis Example 2. (The absorbance at 405 nm of a propylene glycol methyl ether acetate solution containing a photopolymerization initiator at a concentration of 0.01% by weight or more is 0.52) 0.72 parts by weight, 47.7 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent By mixing, a colored photosensitive resin composition of Comparative Example 9 was produced.
実験例1.カラーフィルタの製造
実施例1〜4および比較例1〜9の着色感光性樹脂組成物を、スピンコーティング法で2インチ角のガラス基板(コーニング社製造、「EAGLE XG」)上に塗布した後、加熱板上に置いて、100℃の温度で3分間維持して薄膜を形成させた。次に、前記薄膜上に透過率を1〜100%の範囲で階段状に変化させるパターンと、1μm〜50μmのライン/スペースパターンを有する試験フォトマスクを載せて、試験フォトマスクとの間隔を300μmにして紫外線を照射した。この時、紫外線光源は、g、h、i線をすべて含む1KWの高圧水銀灯を用いて40mJ/cm2の照度で照射し、特別な光学フィルタは用いていない。前記紫外線の照射された薄膜を、pH10.5のKOH水溶液現像溶液に2分間浸漬して現像した。前記薄膜の塗布されたガラス板を蒸留水を用いて洗浄した後、窒素ガスを噴射して乾燥し、230℃の加熱オーブンで25分間加熱して、カラーフィルタを製造した。前記製造されたカラーフィルタのフィルム厚さは2.3μmであった。
Experimental Example 1 Color Filter Production After the colored photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 9 were applied on a 2-inch square glass substrate (manufactured by Corning, “EAGLE XG”) by spin coating, The film was placed on a heating plate and maintained at 100 ° C. for 3 minutes to form a thin film. Next, a test photomask having a pattern in which the transmittance is changed stepwise in the range of 1 to 100% and a line / space pattern of 1 μm to 50 μm is placed on the thin film, and the distance from the test photomask is 300 μm. Then, ultraviolet rays were irradiated. At this time, the ultraviolet light source is irradiated with an illuminance of 40 mJ / cm 2 using a 1 KW high-pressure mercury lamp including all g, h, and i rays, and no special optical filter is used. The thin film irradiated with ultraviolet rays was developed by immersing in a KOH aqueous solution developing solution having a pH of 10.5 for 2 minutes. The glass plate coated with the thin film was washed with distilled water, dried by spraying nitrogen gas, and heated in a heating oven at 230 ° C. for 25 minutes to produce a color filter. The film thickness of the manufactured color filter was 2.3 μm.
実験例2.カラーフィルタの製造
試験フォトマスクを用いていないことを除いては、前記実験例1と同様の方法でそれぞれのカラーフィルタを製造した。
Experimental Example 2. Color filter production test Each color filter was produced in the same manner as in Experimental Example 1 except that no photomask was used.
実験例3.実験例1および実験例2のカラーフィルタの物性測定
実験例1で製造したそれぞれのカラーフィルタで密着性およびパターン線幅を測定し、実験例2で製造したそれぞれのカラーフィルタで耐溶剤性を測定した。物性測定の結果を下記の表1に示した。
Experimental Example 3. Measurement of physical properties of color filters of Experimental Example 1 and Experimental Example 2 Adhesion and pattern line width were measured with each color filter manufactured in Experimental Example 1, and solvent resistance was measured with each color filter manufactured in Experimental Example 2. did. The physical property measurement results are shown in Table 1 below.
(1)密着性
生成されたパターンを光学顕微鏡で観察した時、パターン上のむしれ現象の程度を評価した。
○:パターン上のむしれなし、
△:パターン上のむしれ1〜3個、
X:パターン上のむしれ4個以上
(2)パターン線幅
生成されたパターンの線幅を走査電子顕微鏡を用いて測定した。パターンの線幅がフォトマスクの線幅以上と測定された場合、着色感光性樹脂組成物の感度が十分で、線幅が拡大したといえる。
(1) Adhesion When the generated pattern was observed with an optical microscope, the degree of peeling phenomenon on the pattern was evaluated.
○: No peeling on the pattern,
Δ: 1 to 3 peelings on the pattern,
X: 4 or more peelings on the pattern
(2) Pattern line width The line width of the generated pattern was measured using a scanning electron microscope. When the line width of the pattern is measured to be equal to or larger than the line width of the photomask, it can be said that the sensitivity of the colored photosensitive resin composition is sufficient and the line width is increased.
(3)耐溶剤性
常温のNMP溶液に30分間カラーフィルタを浸漬させた後、超純水で洗浄および120℃に加温したホットプレート上に2分間乾燥させた後、浸漬前後の色度を測定した。この時、使用する式は、L*、a*、b*で定義される3次元色度計での色変化を示す下記の数式(1)によって計算され、色変化値が小さいほど、高信頼性のカラーフィルタが製造可能である。
(3) Solvent resistance After immersing the color filter in NMP solution at room temperature for 30 minutes, washing with ultrapure water and drying on a hot plate heated to 120 ° C. for 2 minutes, the chromaticity before and after immersion is then measured. It was measured. At this time, the formula to be used is calculated by the following formula (1) indicating the color change in the three-dimensional colorimeter defined by L *, a *, and b *. The smaller the color change value, the higher the reliability. Color filters can be manufactured.
前記結果を通して、光重合開始剤として前記合成例2で製造した化学式(4)の化合物と、溶剤として4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンを含む本発明の着色感光性樹脂組成物を用いた実施例1〜4のカラーフィルタは、比較例1〜9のカラーフィルタより、密着性、パターン線幅および耐溶剤性においていずれも優れた結果を示した。 Through the above results, the colored photosensitive resin composition of the present invention containing the compound of the chemical formula (4) produced in Synthesis Example 2 as a photopolymerization initiator and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone as a solvent is used. The color filters of Examples 1 to 4 showed superior results in adhesion, pattern line width, and solvent resistance than the color filters of Comparative Examples 1 to 9.
したがって、本発明の着色感光性樹脂組成物は、保存安定性、感度および密着性においてより優れた効果があることが分かった。 Therefore, it turned out that the colored photosensitive resin composition of this invention has the more excellent effect in storage stability, a sensitivity, and adhesiveness.
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