JP2014200829A - はんだ供給ニードル用位置確認治具付きはんだ付け装置及び位置確認治具 - Google Patents

Abstract

【課題】はんだ供給ニードルのメンテナンスを行ったあと、該はんだ供給ニードルが元の設定位置に正しく復元されているか否かの確認を行うことができるはんだ付け装置を得る。
【解決手段】はんだ付け対象５にレーザービーム７を投射するレーザーヘッド１と、設定位置で前記はんだ付け対象５に線状はんだ６を供給するはんだ供給ニードル３と、位置設定を一旦解除されたあと元の位置に戻された該はんだ供給ニードル３が前記設定位置に復元されているか否かを確認するための位置確認治具２５とを有し、該位置確認治具２５は、位置設定されたはんだ供給ニードル３と平行に延びるリニアガイド２８と、該リニアガイド２８に沿って摺動自在のスライドブロック２９と、該スライドブロック２９に前記リニアガイド２８と平行に形成され、該スライドブロック２９を前記リニアガイド２８に沿って摺動させたとき前記設定位置にあるはんだ供給ニードル３が嵌合するニードル挿入孔３０とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、レーザービームと線状はんだとを使用して半導体チップ等の電子部品を自動的にはんだ付けするはんだ付け装置に関するものであり、更に詳しくは、線状はんだを供給するはんだ供給ニードルの位置確認を行うための位置確認治を備えたはんだ付け装置と位置確認治具とに関するものである。

自動はんだ付けロボットのアームに取り付けたレーザーヘッドから半導体チップ等のはんだ付け対象に向けてレーザービームを投射し、前記レーザーヘッドに付設したはんだ供給ニードルから送り出される線状はんだを溶融させて前記はんだ付け対象をはんだ付けするレーザー式自動はんだ付け装置は、例えば特許文献１に記載されているように従来より公知である。

このようなレーザー式自動はんだ付け装置においては、前記線状はんだを多数のはんだ付けポイントに向けて繰り返し正確に送り出すことが必要であり、そのためには、前記はんだ供給ニードルが、前記レーザーヘッドに対してはんだ供給のための最適位置となるような位置（設定位置）に正確かつ確実に取り付けられていることが不可欠である。

その一方で、前記はんだ供給ニードルは、定期的な点検や清掃、交換等を必要とするため、その都度前記レーザーヘッドから一旦取り外したりねじを緩めたりすることによって位置設定を解除し、点検や清掃等が終了したあと再びレーザーヘッドの元の位置に取り付けるといった作業を行わなければならず、その際、該はんだ供給ニードルの位置が元の設定位置に正しく復元されているか否かを確認する必要があり、従来は、その確認作業に多くの時間と手間がかかるという問題があった。

特開２００２−１５２１号公報

本発明の課題は、はんだ供給ニードルの位置設定を一旦解除したあと元の位置に復元させた場合に、該はんだ供給ニードルが元の設定位置に正しく復元されているか否かの確認を簡単且つ正確に行うことができるようにすることにある。

前記課題を解決するため、本発明によれば、はんだ付け対象にレーザービームを投射するレーザーヘッドと、該レーザーヘッドに位置調整可能に付設され、設定位置において前記はんだ付け対象に線状はんだを供給するはんだ供給ニードルと、位置設定を一旦解除されたあと元の位置に戻された前記はんだ供給ニードルが前記設定位置にあるか否かを確認するための位置確認治具とを有し、前記レーザーヘッドは、前記レーザービームをはんだ付け対象に投射してはんだ付けを行うはんだ付け位置と、前記はんだ供給ニードルの位置確認を行うための確認位置とに移動可能であり、前記位置確認治具は、はんだ付け装置の前記レーザーヘッドとは別の場所に取り付けられていて、前記レーザーヘッドが前記確認位置に移動した状態において前記位置設定されたはんだ供給ニードルと平行に延びるリニアガイドと、該リニアガイドに沿って摺動自在のスライドブロックと、該スライドブロックに前記リニアガイドと平行に形成され、該スライドブロックを前記リニアガイドに沿って摺動させたとき前記設定位置にあるはんだ供給ニードルの先端が挿入可能なニードル挿入孔とを有することを特徴とするはんだ供給ニードル用位置確認治具付きはんだ付け装置が提供される。

また、本発明によれば、レーザーヘッドではんだ付け対象にレーザービームを投射し、はんだ供給ニードルから前記はんだ付け対象に供給される線状はんだを溶融させてはんだ付けするはんだ付け装置に取り付けて、前記はんだ供給ニードルが線状はんだを供給するための設定位置にあるか否かを確認するために使用される位置確認治具であって、前記はんだ付け装置に取り付けられた状態で前記はんだ供給ニードルと平行に延びるリニアガイドと、該リニアガイドに沿って摺動自在のスライドブロックと、該スライドブロックに前記リニアガイドと平行に形成されたニードル挿入孔とを有し、該ニードル挿入孔に前記はんだ供給ニードルの先端が挿入可能か否かによって該はんだ供給ニードルが前記設定位置にあるか否かを確認するように構成された位置確認治具が提供される。

本発明において、前記位置確認治具は、前記はんだ付け装置に取り付けるための取付部材と、該取付部材に前記レーザーヘッドの軸線と平行な軸線を中心に角度調節自在に連結されたガイド部材とを有し、該ガイド部材に、前記リニアガイドが形成されると共に前記スライドブロックが支持されていることが望ましい。

本発明によれば、位置設定された状態のはんだ供給ニードルの先端が挿入可能なニードル挿入孔を有する位置確認治具をはんだ付け装置に取り付け、メンテナンス等のためはんだ供給ニードルの位置設定を一旦解除したあと元の位置に復元させた場合に、該はんだ供給ニードルの先端が前記ニードル挿入孔内に挿入できるか否かを確認することにより、前記はんだ供給ニードルが元の設定位置に正しく復元されているか否かを簡単且つ正確に判定することができ、正しく復元されていない場合には、前記はんだ供給ニードルの先端が前記ニードル挿入孔内に挿入されるように調整することにより、該はんだ供給ニードルを元の設定位置に簡単に復元させることができる。

本発明に係るはんだ付け装置の要部の側面図である。 図１の正面図である。 レーザーヘッドの拡大図である。 位置確認治具の側面図である。 位置確認治具の正面図である。 図５におけるＶＩ−ＶＩ線での断面図である。

図１及び図２は、本発明に係るはんだ付け装置の一実施形態を示すものである。このはんだ付け装置は、制御装置によって自動制御される不図示のはんだ付けロボットのアームに取り付けられたレーザーヘッド１と、該レーザーヘッド１にニードル支持機構２によって位置調整自在に支持されたはんだ供給ニードル３と、はんだ付け対象である半導体チップ等の電子部品をはんだ付け位置に搬送する搬送コンベア４とを有し、前記レーザーヘッド１を、図１に鎖線で示すはんだ付け位置Ａに移動させた状態で、前記搬送コンベア４で搬送されたはんだ付け対象５に対し、前記ニードル支持機構２によって正確に位置設定された前記はんだ供給ニードル３から線状はんだ６を供給すると共に、前記レーザーヘッド１の先端の投射口からレーザービーム７を投射することにより、該レーザービーム７で前記線状はんだ６を溶融させて前記はんだ付け対象５をはんだ付けするものである。

前記レーザーヘッド１の内部には、半透鏡や光学レンズ等の光学部品が該レーザーヘッド１の中心軸線である第１軸線Ｌ１に沿って内蔵され、該レーザーヘッド１の側面にはファイバー接続部１０が形成されていて、このファイバー接続部１０に、図示しないレーザー発振器から延びる光ファイバー１１の先端部が接続され、該光ファイバー１１から前記第１軸線Ｌ１と直角に入射したレーザービームが、前記半透鏡によって前記第１軸線Ｌ１方向に４５度向きを変えられたあと、前記光学レンズを通って前記投射口からはんだ付け対象５に焦点を合わせた状態で投射されるようになっている。しかし、このようなレーザーヘッド１の内部構造は公知であって、本発明の要旨とも直接関係がないため、前記光学部品の図示は省略されている。

図３からも明らかなように、前記はんだ供給ニードル３は、大径のニードルホルダー１２と、該ニードルホルダー１２の先端に一直線状に連結された細径のニードル本体１３とからなり、前記ニードルホルダー１２の基端部に、図示しないはんだ供給装置から延びる合成樹脂製のはんだ送りチューブ１４が接続され、該はんだ送りチューブ１４を通じて前記ニードルホルダー１２内に送り込まれた線状はんだ６を、前記ニードル本体１３の先端からはんだ付け対象５に向けて供給するものである。

前記ニードルホルダー１２とニードル本体１３とは着脱自在に連結されている。このため、前記ニードルホルダー１２の先端部には、外周に雄ねじが切られた雄側連結部１２ａが形成され、前記ニードル本体１３の基端部には、内周に雌ねじが切られた雌側連結部１３ａが形成され、この雌側連結部１３ａが前記雄側連結部１２ａに螺着されている。

前記はんだ供給ニードル３は、前記ニードルホルダー１２を支持するニードル支持部材１７により、前記第１軸線Ｌ１に対して傾斜する第２軸線Ｌ２に沿って位置調整自在なるように支持され、該ニードル支持部材１７は、前記第１軸線Ｌ１と平行に配設されたニードル支持ロッド１８の先端の連結部１８ａに、前記第１軸線Ｌ１と直交する第３軸線Ｌ３を中心に角度調整自在なるように連結され、前記ニードル支持ロッド１８は、前記レーザーヘッド１に取付リング１９を介して前記第１軸線Ｌ１の回りに角度調整自在に取り付けられたブラケット２０に、Ｘ−Ｙ調整機構２１を介して前記第１軸線Ｌ１と平行する方向（図の上下方向）に位置調整自在なるように支持されている。
前記ニードル支持ロッド１８には目盛り１８ｂが付され、一旦上下方向に位置決めしたあと、メンテナンス等のためにその位置決めを解除した場合でも、位置決めした時の目盛り１８ｂの位置に再固定することより、元の位置に簡単に復元できるようになっている。

前記Ｘ−Ｙ調整機構２１は、前記ブラケット２０に固定された再下段の第１部材２１ａと、該第１部材２１ａ上に前記第３軸線Ｌ３と平行する方向（Ｙ方向）に位置調節自在に載置された中段の第２部材２１ｂと、該第２部材２１ｂ上に前記第３軸線Ｌ３と直交する方向（Ｘ方向）に位置調節自在に載置された最上段の第３部材２１ｃとを有するもので、該第３部材２１ｃに形成されたロッド支持部２１ｄに前記ニードル支持ロッド１８が支持されている。従って、前記ブラケット２０、Ｘ−Ｙ調整機構２１、ニードル支持ロッド１８、ニードル支持部材１７は、前記ニードル支持機構２を構成するものである。

そして、前記ニードル支持機構２の前記各部材の位置や角度等を調整することにより、前記はんだ供給ニードル３の先端の位置を、前記はんだ付け対象５に合わせて正確に位置決め（位置設定）することができるようになっている。
位置設定された前記はんだ供給ニードル３は、前記レーザーヘッド１の第１軸線Ｌ１に対して傾斜した姿勢を占め、前記第１軸線Ｌ１上に位置するはんだ付け対象５即ちはんだ付けポイントに対し、線状はんだ６を斜め上方から供給する。

前記レーザーヘッド１の上端にはＣＣＤカメラ２２が取り付けられ、このＣＣＤカメラ２２で、前記半透鏡及び光学レンズ等を通してはんだ付け対象５を正面から撮像できるようになっている。このＣＣＤカメラ２２で撮像された画像は、図示しないモニター画面に映し出され、前記レーザービームの投射スポットとはんだ付けポイントとの位置決めと、前記はんだ供給ニードル３の位置設定とに利用される。

前記レーザーヘッド１を使用してはんだ付けするときは、該レーザーヘッド１を、図１に鎖線で示すはんだ付け位置Ａに移動させた状態で、前記ニードル支持機構２を構成する前記各部材の位置や角度等を調整することにより、前記はんだ供給ニードル３の先端の位置を、前記はんだ付け対象５（従ってレーザーヘッド１の第１軸線Ｌ１）に合わせて正確に位置決め即ち位置設定する。そのあと、前記搬送コンベア４ではんだ付け位置Ａに次々に搬送されてくるはんだ付け対象５に対し、前記はんだ供給ニードル３から線状はんだ６を供給すると共に、前記レーザーヘッド１の先端の投射口から前記第１軸線Ｌ１に沿ってレーザービーム７を投射することにより、該レーザービーム７で前記線状はんだ６を溶融させて前記はんだ付け対象５をはんだ付けする。

はんだ付け作業が一定時間行われると、前記レーザーヘッド１は図示しない待機位置に移動し、前記はんだ供給ニードル３に対し、清掃や点検あるいは交換等のメンテナンスが行われる。そのため該はんだ供給ニードル３の位置設定は一旦解除される。例えば、通常のメンテナンスにおいては、はんだ送り時に細径のニードル本体１３の内部を線状はんだ６が摺動するため、該内周にはんだ屑等の異物が付着し、はんだの送り抵抗が増大したりはんだ詰まり等を生じるため、該ニードル本体１３が前記ニードルホルダー１２から取り外され、その清掃が行われる。

そして、清掃完了後に前記ニードル本体１３は前記ニードルホルダー１２に再螺着されるが、このとき、該ニードル本体１３が、前記ニードル本体１３に、前記第２軸線Ｌ２に対して傾いた状態で螺着されたり、細径の該ニードル本体１３が湾曲したりすることにより、該ニードル本体１３の先端の位置が設定位置からずれることがある。そのため、このはんだ付け装置には、前記ニードル本体１３の先端が正確に元の設定位置に復元されているか否かを確認するための位置確認治具２５が、前記レーザーヘッド１とは別の場所、例えば、図示したように前記搬送コンベア４の側面に取り付けられている。

前記位置確認治具２５は、図４−図６からも明らかなように、前記搬送コンベア４の側面に取り付けるための取付部材２６と、該取付部材２６に前記レーザーヘッド１の第１軸線Ｌ１と平行な第４軸線Ｌ４の回りに角度調節可能なるように載置されたガイド部材２７とを有し、該ガイド部材２７に、前記第１軸線Ｌ１に対して傾斜するリニアガイド２８が形成されると共に、スライドブロック２９が該リニアガイド２８に沿って摺動自在に支持され、該スライドブロック２９に、前記ニードル本体１３の先端の外径より僅かに大きい内径を有するニードル挿入孔３０が、前記リニアガイド２８と平行に形成されている。

前記取付部材２６は、前記第１軸線Ｌ１と平行即ち図の上下方向に延びる固定用プレート２６ａと、該固定用プレート２６ａの下端部から前記第１軸線Ｌ１と直交する方向即ち水平方向に延びるベースプレート２６ｂとを有していて、前記固定用プレート２６ａが前記搬送コンベア４の側面に固定され、前記ベースプレート２６ｂの上面に前記ガイド部材２７が載置されている。
前記固定用プレート２６ａの前記搬送コンベア４に対する固定は、該固定用プレート２６ａの取付孔２６ｃ内に挿通したねじ３１ａを、前記搬送コンベア４の側面の凹溝４ａ内に挿入したナット３１ｂに螺着することにより行われる。

前記ガイド部材２７は、前記ベースプレート２６ｂ上に載置された水平な調整プレート３２と、該調整プレート３２の一端から上向きに立ち上がり、上端部が前記第１軸線Ｌ１に対して傾斜する側面視形状が略三角形をなすアングルプレート３３と、該アングルプレート３３の上端部から該上端部と等角度傾斜する姿勢で側方に突出するリニアガイドベース３４とを有し、該リニアガイドベース３４の上面にレール状をした前記リニアガイド２８が形成されている。該リニアガイド２８の前記第１軸線Ｌ１に対する傾斜角度は、位置設定された前記はんだ供給ニードル３の前記第１軸線Ｌ１に対する傾斜角度と等しく、従って、該リニアガイド２８と前記はんだ供給ニードル３とは互いに平行をなしている。

前記調整プレート３２の下面の凹部内には、前記第４軸線Ｌ４を中心軸線とする円柱状の軸ピン３５がねじ３６で固定され、該軸ピン３５が、前記ベースプレート２６ｂに形成されたピン孔３７内に回動自在に嵌合している。また、前記調整プレート３２の側端部寄りの位置には、前記第４軸線Ｌ４を曲率中心とする円弧状かつ長孔状のボルト挿通孔３８が形成され、前記ベースプレート２６ｂには、該ボルト挿通孔３８内に挿通したボルト３９を螺着するための螺子孔４０が形成されていて、前記ガイド部材２７の前記第４軸線Ｌ４を中心とする角度調整を、前記ボルト挿通孔３８の長さの範囲内（約±１５度）で行うことができるようになっている。

前記スライドブロック２９は、前記リニアガイド２８が嵌合する嵌合溝４１ａを下面に備えたスライドベース４１と、該スライドベース４１の上面に固定されたスライドプレート４２と、該スライドプレート４２の上面に設けられたゲージプレート４３とを有し、該ゲージプレート４３の先端部に前記ニードル挿入孔３０が形成されている。また、該ゲージプレート４３の側面にはハンドル４４が取り付けられ、該ハンドル４４によって前記スライドブロック２９全体が前記リニアガイド２８に沿って移動操作される。

前記スライドブロック２９は、前記リニアガイド２８に対して非固定の状態に配設されていて、前進端と後退端の位置が決められており、通常は、図３に示すように、自重によって後退端の位置まで移動し、この位置に停止している。前記前進端と後退端の位置は変更可能とすることができる。また、前記スライドブロック２９は、例えば前記ハンドル４４を回転させるなどの締付操作により、前記リニアガイド２８に沿った任意の位置に固定できるように構成されていても良い。

前記位置確認治具２５で前記はんだ供給ニードル３の位置確認を行うためには、該位置確認治具２５が、位置設定された状態にある前記はんだ供給ニードル３の先端が前記ニードル挿入孔３０内に挿入できるように、正確に位置決めされた状態で前記搬送コンベア４に固定されている必要がある。そのため、前述したように、はんだ付けを行うに先立って前記はんだ供給ニードル３の位置設定を行ったあと、該はんだ供給ニードル３に合わせて前記位置確認治具２５の位置決めを行い、その位置に該位置確認治具２５を固定する。

即ち、前記はんだ供給ニードル３の位置設定を行ったあと、前記レーザーヘッド１を、図１に実線で示す確認位置Ｂの近傍に移動させ、この確認位置Ｂの近傍において、前記スライドブロック２９をハンドル４４で図１に鎖線で示すようにリニアガイド２８に沿って前進端の位置かあるいは前進端近くの所定の位置までスライドさせたとき、前記ニードル挿入孔３０内に前記はんだ供給ニードル３の先端が一定の深さまで挿入されるように、前記レーザーヘッド１の位置や、前記搬送コンベア４に対する位置確認治具２５の位置、前記取付部材２６に対する前記ガイド部材２７の第４軸線Ｌ４を中心とした角度等を微調整し、微調整終了後に、その位置を基準位置（確認位置）Ｂと定め、前記制御装置にレーザーヘッド１の座標登録を行い、前記位置確認治具２５は前記搬送コンベア４にねじ３１ａとナット３１ｂとで固定し、前記ガイド部材２７はボルト３９で前記ベースプレート２６ｂに固定する。

そして、メンテナンスのため位置設定を一旦解除されたあと元の位置に戻された前記はんだ供給ニードル３が、前記設定位置に正しく復元されている否かを確認する場合は、前記レーザーヘッド１を、前記待機位置から図１に実線で示す確認位置Ｂに移動させ、この確認位置Ｂにおいて、前記スライドブロック２９を、ハンドル４４により、図１に鎖線で示すように、リニアガイド２８に沿って前進端の位置かあるいは前進端近くの所定の位置までスライドさせ、前記ニードル挿入孔３０内に前記はんだ供給ニードル３の先端が一定の深さまで挿入できるか否かを確認する。

ここで、前記ニードル挿入孔３０内に前記はんだ供給ニードル３の先端が挿入された場合には、該はんだ供給ニードル３は設定位置に復元されていることになるので、そのままはんだ付け作業を再開することができる。

しかし、前記ニードル挿入孔３０内に前記はんだ供給ニードル３の先端が挿入されない場合は、該はんだ供給ニードル３が設定位置に復元されていないことになるので、ニードル本体１３の先端が前記ニードル挿入孔３０内に嵌合するように調整する。この場合、前述したようにニードル本体１３を前記ニードルホルダー１２から取り外し、そのあと再装着したケースでは、該ニードル本体１３が前記ニードル本体１３に傾いた状態で螺着されたり、細径のニードル本体１３が湾曲したりすることにより、該ニードル本体１３の先端の位置が設定位置からずれることが多いため、前記ニードル本体１３を前記ニードル本体１３に対して真っ直ぐに装着し直したり、前記ニードル本体１３の曲がりを矯正したりするといったような、位置ずれの原因を解消するための措置を施すことにより、前記はんだ供給ニードル３を設定位置に復元させることができる。

なお、前記メンテナンス時に、前記ニードル本体１３を前記ニードルホルダー１２から取り外す以外に、前記ニードル支持機構２を構成する何れかの部材を緩めたり取り外すなどしてはんだ供給ニードル３の位置設定を解除した場合でも、前記位置確認治具２５を使用し、前記ニードル挿入孔３０内にはんだ供給ニードル３の先端が嵌合するように各部材を再装着あるいは再固定することにより、前記はんだ供給ニードル３を設定位置に復元することが可能である。例えば、前記はんだ供給ニードル３全体をニードル支持部材１７から一旦取り外して該ニードル支持部材１７に再装着した場合や、前記ニードル支持ロッド１８をＸ−Ｙ調整機構２１から取り外したあと該Ｘ−Ｙ調整機構２１に再装着した場合でも、前記位置確認治具２５を使用して前記はんだ供給ニードル３を設定位置に復元することは可能である。

図示した実施形態のはんだ付け装置は、レーザーヘッド１から下向きにレーザービーム７を投射して該レーザーヘッド１の下方に位置するはんだ付け対象５をはんだ付けするタイプのものであるが、図と上下逆に、レーザーヘッド１から上向きにレーザービームを投射して該レーザーヘッド１の上方に位置するはんだ付け対象をはんだ付けするタイプのはんだ付け装置にも、本発明は適用することができる。この場合、前記位置確認治具２５も図の場合とは上下逆向きに配置されることになる。

１ レーザーヘッド
３ はんだ供給ニードル
５ はんだ付け対象
６ 線状はんだ
７ レーザービーム
２５ 位置確認治具
２６ 取付部材
２７ ガイド部材
２８ リニアガイド
２９ スライドブロック
３０ ニードル挿入孔
Ａ はんだ付け位置
Ｂ 確認位置
Ｌ１ レーザーヘッドの軸線（第１軸線）

Claims (4)

1. はんだ付け対象にレーザービームを投射するレーザーヘッドと、該レーザーヘッドに位置調整可能に付設され、設定位置において前記はんだ付け対象に線状はんだを供給するはんだ供給ニードルと、位置設定を一旦解除されたあと元の位置に戻された前記はんだ供給ニードルが前記設定位置にあるか否かを確認するための位置確認治具とを有し、
   前記レーザーヘッドは、前記レーザービームをはんだ付け対象に投射してはんだ付けを行うはんだ付け位置と、前記はんだ供給ニードルの位置確認を行うための確認位置とに移動可能であり、
   前記位置確認治具は、はんだ付け装置の前記レーザーヘッドとは別の場所に取り付けられていて、前記レーザーヘッドが前記確認位置に移動した状態において前記位置設定されたはんだ供給ニードルと平行に延びるリニアガイドと、該リニアガイドに沿って摺動自在のスライドブロックと、該スライドブロックに前記リニアガイドと平行に形成され、該スライドブロックを前記リニアガイドに沿って摺動させたとき前記設定位置にあるはんだ供給ニードルの先端が挿入可能なニードル挿入孔とを有する、
   ことを特徴とするはんだ供給ニードル用位置確認治具付きはんだ付け装置。
2. 前記位置確認治具は、前記はんだ付け装置に取り付けるための取付部材と、該取付部材に前記レーザーヘッドの軸線と平行な軸線を中心に角度調節自在に連結されたガイド部材とを有し、該ガイド部材に、前記リニアガイドが形成されると共に前記スライドブロックが支持されていることを特徴とする請求項１に記載のはんだ付け装置。
3. レーザーヘッドではんだ付け対象にレーザービームを投射し、はんだ供給ニードルから前記はんだ付け対象に供給される線状はんだを溶融させてはんだ付けするはんだ付け装置に取り付けて、前記はんだ供給ニードルが線状はんだを供給するための設定位置にあるか否かを確認するために使用される位置確認治具であって、
   該位置確認治具が前記はんだ付け装置に取り付けられた状態で前記はんだ供給ニードルと平行に延びるリニアガイドと、該リニアガイドに沿って摺動自在のスライドブロックと、該スライドブロックに前記リニアガイドと平行に形成されたニードル挿入孔とを有し、該ニードル挿入孔に前記はんだ供給ニードルの先端が挿入可能か否かによって該はんだ供給ニードルが前記設定位置にあるか否かを確認するように構成されたことを特徴とする位置確認治具。
4. 前記はんだ付け装置に取り付けるための取付部材と、該取付部材に前記レーザーヘッドの軸線と平行な軸線を中心に角度調節自在に連結されたガイド部材とを有し、該ガイド部材に、前記リニアガイドが形成されると共に前記スライドブロックが支持されていることを特徴とする請求項３に記載の位置確認治具。

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