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JP2014122719A - Workload lifting system for vertical vacuum furnace - Google Patents

Workload lifting system for vertical vacuum furnace Download PDF

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JP2014122719A
JP2014122719A JP2012277908A JP2012277908A JP2014122719A JP 2014122719 A JP2014122719 A JP 2014122719A JP 2012277908 A JP2012277908 A JP 2012277908A JP 2012277908 A JP2012277908 A JP 2012277908A JP 2014122719 A JP2014122719 A JP 2014122719A
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JP
Japan
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reciprocating
lifting
vacuum furnace
lifting device
reciprocating lifting
Prior art date
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Pending
Application number
JP2012277908A
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Japanese (ja)
Inventor
A Moller Craig
エー. モーラー,クライグ
Hamid Jake
ハミド,ジェイク
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Ipsen Inc
Original Assignee
Ipsen Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lifting device for a vertical vacuum furnace capable of being reassembled and positioned on a customer site in short time.SOLUTION: A vertical vacuum furnace assembly 10 includes: first and second support modules 16 and 18 arranged to be distanced from each other and aligned in parallel; first and second reciprocating lifting mechanisms attached to the first and second support modules 16 and 18, respectively; and motive power means, coupled to the reciprocating lifting mechanisms, for driving the reciprocating lifting mechanisms, respectively. First and second trolleys are operatively connected to the first and second reciprocating lifting mechanisms, respectively so as to be engaged with payload. The vertical vacuum furnace assembly 10 also includes control systems 22 and 24, connected to the first and second motive power means, for enabling the first and second trolleys to reciprocate by controlling the first and second reciprocating lifting mechanisms connected to operate, respectively. In addition to the vertical vacuum furnace assembly 10 including the lifting device, the support modules and a bottom head assembly 30 are provided for the lifting device.

Description

本発明は、真空熱処理炉に関するもので、詳しくは、垂直に配向された真空炉及び同真空炉内へワークロード(work load)を持ち上げ及び真空炉からワークロードを降下させるための装置に関するものである。   The present invention relates to a vacuum heat treatment furnace, and more particularly to a vertically oriented vacuum furnace and an apparatus for lifting a work load into and lowering a workload from the vacuum furnace. is there.

横型構造又は縦型構造を有する工業用真空熱処理炉が知られている。横型構造を有する真空炉においては、熱処理される一処理量の部品(a work load of parts)は、その一処理量の部品を水平に並進させる装置によって炉のチャンバ内に搬入される。縦型構造を有する真空炉においては、一処理量の部品を工場のフロアーから、高い位置にある炉チャンバまで持ち上げるためにリフティング装置が用いられている。   Industrial vacuum heat treatment furnaces having a horizontal structure or a vertical structure are known. In a vacuum furnace having a horizontal structure, a work load of parts to be heat-treated is carried into the furnace chamber by a device that translates the one throughput part horizontally. In a vacuum furnace having a vertical structure, a lifting device is used to lift a throughput of parts from the factory floor to a higher furnace chamber.

縦型真空炉用のリフティングシステムの公知の構造は、四点リフティング装置を採用している。この装置は、通常、一処理量の部品が均一に持ち上げられるように同期して作動する四つのボールねじを有している。それらボールねじを互いに同期して作動する状態に維持させるために、マルチギアボックスと、カップリングを備えた連結シャフトが用いられている。そのようなリフトの公知の構造は、製造所において組立てられ且つ位置合わせされ、次に、輸送のために分解しなければならない多くの部品から構成されている。炉がカスタマサイトに届いた時に、リフト装置を、再び組み立て且つ再び位置合わせしなければならない。それは、時間の掛る作業であって、通常、配送時間スケジュールに数日の日数を余分に付け加えてしまうこととなる。   A known structure of a lifting system for a vertical vacuum furnace employs a four-point lifting device. The device typically has four ball screws that operate in synchronism so that a single throughput part is lifted uniformly. In order to keep these ball screws operating in synchronization with each other, a multi-gearbox and a connecting shaft with a coupling are used. The known structure of such lifts consists of a number of parts that must be assembled and aligned at the factory and then disassembled for transport. When the furnace arrives at the customer site, the lift device must be reassembled and realigned. This is a time consuming work and usually adds an extra number of days to the delivery time schedule.

公知のリフト機構において用いられているギアボックス、駆動シャフト及びカップリングは、一処理量の部品を昇降動させるために作動する時に、かなりの量のノイズを発生する。駆動シャフトとモータシャフトとギアボックスシャフトとボールねじシャフトとを接続するカップリングは、時間の経過によって緩むようになる。それが起こった時には、一つ又はそれ以上のボールねじが他のボールねじと同期動作しなくなる。そのような非同期動作は、リフティング機構の壊滅的なダメージを齎すことがあり得る。ボールねじが極端にその同期がとれていない場合には、一処理量の部品自体、炉内のホットゾーンさえも、ダメージを受けることがあり得る。   Gearboxes, drive shafts and couplings used in known lift mechanisms generate a significant amount of noise when operating to raise and lower a throughput amount of parts. The coupling that connects the drive shaft, the motor shaft, the gear box shaft, and the ball screw shaft becomes loose over time. When that happens, one or more ball screws will not synchronize with the other ball screws. Such asynchronous operation can cause catastrophic damage to the lifting mechanism. If the ball screw is extremely unsynchronized, the single throughput part itself, even the hot zone in the furnace, can be damaged.

縦型真空炉用の公知のリフト機構は、コイルスプリングを介して炉のボトムリフティング構造に接触するリフティングポイントを有している。そのリフト機構は、機械的リミットスイッチが切れるまでボトムドアを炉に向けて持ち上げるよう作動することにより、リフティング構造がそれの完全に持ち上げられた最終位置にあることを示す。この最終的に持ち上げられた位置において、ボトムリフティング構造が炉の容器の上部に接しているので、スプリングが少量圧縮される。機械的スィツチが、適切に調整されていない場合には、又は、調整不良となった場合には、スプリングは過度に縮んで、リフティング構造とドアが曲げダメージを受けることがあり得る。   Known lift mechanisms for vertical vacuum furnaces have a lifting point that contacts the furnace bottom lifting structure via a coil spring. The lift mechanism operates to lift the bottom door toward the furnace until the mechanical limit switch is turned off, indicating that the lifting structure is in its fully lifted final position. In this final lifted position, the bottom lifting structure is in contact with the top of the furnace vessel so that the spring is compressed a small amount. If the mechanical switch is not properly adjusted, or if it is misadjusted, the spring can shrink too much and the lifting structure and door can be bent.

縦型真空炉用の公知のリフティングシステムに関連する上述した問題を考慮すると、公知のリフティングシステムに関連するその問題を克服する、縦型真空炉用のリフティング装置を確保することが望まれる。   In view of the above-mentioned problems associated with known lifting systems for vertical vacuum furnaces, it is desirable to ensure a lifting device for vertical vacuum furnaces that overcomes the problems associated with known lifting systems.

本発明による縦型真空炉内に一処理量の部品を持ち上げるためのリフティングシステムは、二つのボールねじを有し、それらボールねじの各々は、サーボ型モータによって駆動され、エンコーダー及び/又はレゾルバを用いて位置フィードバックを齎す電気的サーボ駆動システムを介して互いに動きが同期される。各ボールねじは、トラック内を案内されるエレベータを昇降動させるように構成され且つ配置されている。ボールねじとモータと共にエレベータシステムは、縦型炉のレッグ構造に組み込まれている。このレッグ/エレベータ/ボールねじ/モータの組合体は、搬送やエンドユーザサイトにおける据え付けのために完全なままとなっているモジュール組立体である。   A lifting system for lifting a throughput part in a vertical vacuum furnace according to the present invention has two ball screws, each of which is driven by a servo-type motor and has an encoder and / or resolver. The movements are synchronized with each other via an electrical servo drive system that uses position feedback. Each ball screw is constructed and arranged to raise and lower an elevator guided in the track. The elevator system along with the ball screw and motor is integrated into the leg structure of the vertical furnace. This leg / elevator / ball screw / motor combination is a modular assembly that remains intact for transport and installation at the end user site.

ギアボックスやシャフトやカップリングが存在しないので、リフティングエレベータの動きは非常に静かである。サーボモータが、各ボールねじに直接連結されている。サーボ駆動システムは、エレベータの走行端の近くでエレベータの動きを加速及び減速させるためにプログラミングすることができる。これは、リフティング構造とエレベータのピックアップポイントと間のスプリングを除去することを可能にさせる。エンコーダーのフィードバックによってエレベータが完全に上昇した位置又は完全に下降した位置に正確に位置決めされる。   Since there are no gearboxes, shafts or couplings, the movement of the lifting elevator is very quiet. A servo motor is directly connected to each ball screw. The servo drive system can be programmed to accelerate and decelerate the movement of the elevator near the traveling end of the elevator. This makes it possible to remove the spring between the lifting structure and the pickup point of the elevator. With the feedback of the encoder, the elevator is accurately positioned in the fully raised or fully lowered position.

本発明によるリフトシステムの別の長所は、エレベータ機構上のボールねじ取付けポイントが、ボールねじに対して殆ど又は全く応力を与えないズレ(misalignment)を可能にする接続リンケージ(jointed linkage)を有していることである。   Another advantage of the lift system according to the invention is that the ball screw mounting point on the elevator mechanism has a connected linkage that allows a misalignment with little or no stress on the ball screw. It is that.

上述した発明の概要も以下に記載する詳細な説明も、添付図面を参照することにより明確に理解されるであろう。   The foregoing summary, as well as the following detailed description, will be clearly understood by reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明による縦型真空炉組立体の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a vertical vacuum furnace assembly according to the present invention. 図2は、図1に示した縦型真空炉組立体の正面図である。FIG. 2 is a front view of the vertical vacuum furnace assembly shown in FIG. 図3は、図1に示した縦型真空炉組立体において用いられるレッグ組立体の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a leg assembly used in the vertical vacuum furnace assembly shown in FIG. 図4は、図3に示したレッグ組立体の背面図である。FIG. 4 is a rear view of the leg assembly shown in FIG. 図5は、図1に示した縦型真空炉において用いられるボトムヘッド組立体(bottom head assembly)の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a bottom head assembly used in the vertical vacuum furnace shown in FIG. 図6は、図5に示したボトムヘッド組立体の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the bottom head assembly shown in FIG. 図7は、図5に示したボトムヘッド組立体の正面図である。FIG. 7 is a front view of the bottom head assembly shown in FIG. 図8は、図3に示したレッグ組立体において用いられるエレベータトローリー(elevator trolley)の正面斜視図である。FIG. 8 is a front perspective view of an elevator trolley used in the leg assembly shown in FIG. 3. 図9は、図8に示したエレベータトローリーの背面斜視図である。FIG. 9 is a rear perspective view of the elevator trolley shown in FIG. 図10は、図3に示したレッグ組立体において用いられるボールねじジャッキの斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of a ball screw jack used in the leg assembly shown in FIG. 図11は、図10に示したボールねじジャッキの正面図である。FIG. 11 is a front view of the ball screw jack shown in FIG. 図12は、図1に示した縦型真空炉において用いられるサーボモータ制御システムのブロック図である。12 is a block diagram of a servo motor control system used in the vertical vacuum furnace shown in FIG.

添付図面、特に、図1及び2を茲で参照すると、本発明による真空炉10が示されている。この真空炉10は、垂直な向き有し、真空炉が配置される施設のフロアーに対して持ち上げられている。真空炉10は、圧力/真空容器12と真空ポンプ14とを有している。圧力/真空容器12は、第一のレッグ組立体16と第二のレッグ組立体18とを含んだ一対のレッグ組立体によって支持されている。レッグ組立体16,18の上端に作業台20が取り付けられている。制御キャビネット(control cabinet)22と制御コンソール(control console)24が、好ましくは、真空炉10に近接させて設けられている。   Referring to the accompanying drawings, and more particularly to FIGS. 1 and 2, a vacuum furnace 10 according to the present invention is shown. The vacuum furnace 10 has a vertical orientation and is lifted with respect to the floor of the facility where the vacuum furnace is located. The vacuum furnace 10 has a pressure / vacuum vessel 12 and a vacuum pump 14. The pressure / vacuum vessel 12 is supported by a pair of leg assemblies including a first leg assembly 16 and a second leg assembly 18. A work table 20 is attached to the upper ends of the leg assemblies 16 and 18. A control cabinet 22 and a control console 24 are preferably provided close to the vacuum furnace 10.

圧力/真空容器12は、下端に開口28を備えた本体26を有している。また、圧力/真空容器12は、真空炉が一処理量の金属部品を加熱処理するために運転させられる時に開口28を閉塞するために移動可能なボトムヘッド組立体30を有している。圧力/真空容器12の本体26は、複数の支持アームによってレッグ組立体16,18に取り付けられている。支持アーム40a,40b,40c,40dは、圧力容器本体26の前部をレッグ組立体16,18の前部に取り付けるために設けられている。圧力容器本体26の後部をレッグ組立体16,18の後部に取り付けるために同様な一群の支持アーム(図示せず)が設けられている。   The pressure / vacuum vessel 12 has a body 26 with an opening 28 at the lower end. The pressure / vacuum vessel 12 also has a bottom head assembly 30 that is movable to close the opening 28 when the vacuum furnace is operated to heat treat a throughput metal part. The body 26 of the pressure / vacuum vessel 12 is attached to the leg assemblies 16, 18 by a plurality of support arms. The support arms 40a, 40b, 40c, and 40d are provided to attach the front portion of the pressure vessel body 26 to the front portions of the leg assemblies 16 and 18. A similar group of support arms (not shown) are provided to attach the rear portion of the pressure vessel body 26 to the rear portions of the leg assemblies 16,18.

茲で図3及び図4を参照すると、レッグ組立体16の構成が一層詳細に示されている。レッグ組立体18は、レッグ組立体16と実質的に同様に構成され配置されている。従って、レッグ組立体16についてのみ記述することとする。   3 and 4, the construction of the leg assembly 16 is shown in more detail. Leg assembly 18 is constructed and arranged in substantially the same manner as leg assembly 16. Accordingly, only the leg assembly 16 will be described.

レッグ組立体16は、一対の支柱32a,32bを含んでいる。支柱32a,32bは、クロスビーム(cross beam)34とフロアープレート(floor plate)35とに一体に接続されている。フロアープレート35は、支柱32a,32bの下部に、好ましくは、溶接によって取り付けられている。クロスビーム34は、支柱32a,32bの下端と上端に対する中間の位置において支柱32a,32bの間に取り付けられている。   The leg assembly 16 includes a pair of support columns 32a and 32b. The columns 32 a and 32 b are integrally connected to a cross beam 34 and a floor plate 35. The floor plate 35 is preferably attached to the lower part of the columns 32a and 32b by welding. The cross beam 34 is attached between the columns 32a and 32b at a position intermediate between the lower ends and the upper ends of the columns 32a and 32b.

また、レッグ組立体16は、圧力容器本体に相対してボトムヘッド組立体30を昇降動させるために構成されたエレベータ機構46を含んでいる。エレベータ機構46は、機械的リフティング装置、好ましくは、ボールねじジャッキ50と、リフティング装置に作動的に連結されたリフティングトローリー(lifting trolley)52を含んでいる。支柱32a,32bの対向面には、案内チャネル42a,42bが夫々形成又は取付けられている。案内チャネル42a,42bは、レッグ組立体16に沿って移動するリフティングトローリーのためのトラックを提供している。図10に更に詳細に図示したボールねじジャッキ50は、公知の構成に従って、ねじ軸58とボールナット59とを有している。ドライブギアボックス60が、その一端においてねじ軸58に連結されている。ドライブギアボックス60は、電気的ドライブモータ51を該ギアボックスに取り付けるためのモータ取り付け具61を含んでいる。図10及び11に示したボールねじジャッキに代えて機械ねじジャッキ(machine−screw jack)を用いることができることについては、当業者に理解されるであろう。   The leg assembly 16 also includes an elevator mechanism 46 configured to raise and lower the bottom head assembly 30 relative to the pressure vessel body. The elevator mechanism 46 includes a mechanical lifting device, preferably a ball screw jack 50, and a lifting trolley 52 operatively coupled to the lifting device. Guide channels 42a and 42b are formed or attached to the opposing surfaces of the columns 32a and 32b, respectively. Guide channels 42 a, 42 b provide a track for a lifting trolley that moves along the leg assembly 16. The ball screw jack 50 illustrated in more detail in FIG. 10 has a screw shaft 58 and a ball nut 59 according to a known configuration. A drive gear box 60 is connected to the screw shaft 58 at one end thereof. The drive gearbox 60 includes a motor attachment 61 for attaching the electric drive motor 51 to the gearbox. It will be appreciated by those skilled in the art that a machine-screw jack can be used in place of the ball screw jack shown in FIGS.

茲で図8及び9を参照すると、リフティングトローリー52は、一対のL字状のサイドプレート70a,70bを含んでいる。サイドプレートは、上側クロスビーム72と下側クロスバー74に一体に接続されている。図示実施形態においては、下側クロスバー74は、互いに平行に離間した一対のバー74´,74´´から構成されている。上側クロスビーム72は、好ましくはサイドプレート70a,70bの間の中間位置において形成された開口88を有している。開口88は、ボールねじジャッキ50のねじ軸58が貫通することができるように寸法付けされ且つ位置合わせされている。リフティングトローリー52は、ボールねじジャッキ50をトローリー52に連結するためのボールねじ取り付け具組立体76を有している。下側クロスバー74のバー74´,74´´の間にリフトバー(lift bar)80a,80bが取り付けられている。ボールねじジャッキ50をリフティングトローリー52に接続するためのブラケット78が設けられている。図8及び9の実施形態において示されているように、ブラケット78は、中央開口89と複数のボルト穴とを有した取り付けプレート79を有している。その中央開口は、ボールねじジャッキ50のねじ軸58がリフティングトローリー52を貫通することを許容するように寸法付けされている。ボルト穴は、ボールねじジャッキ50のボールナット59を取り付けブラケット78に取り付けるために設けられている。   8 and 9, the lifting trolley 52 includes a pair of L-shaped side plates 70a and 70b. The side plate is integrally connected to the upper cross beam 72 and the lower cross bar 74. In the illustrated embodiment, the lower cross bar 74 is composed of a pair of bars 74 ′ and 74 ″ spaced apart from each other in parallel. The upper cross beam 72 preferably has an opening 88 formed at an intermediate position between the side plates 70a and 70b. The opening 88 is dimensioned and aligned so that the screw shaft 58 of the ball screw jack 50 can pass therethrough. The lifting trolley 52 has a ball screw attachment assembly 76 for connecting the ball screw jack 50 to the trolley 52. Between the bars 74 ′ and 74 ″ of the lower cross bar 74, lift bars 80 a and 80 b are attached. A bracket 78 for connecting the ball screw jack 50 to the lifting trolley 52 is provided. As shown in the embodiment of FIGS. 8 and 9, the bracket 78 has a mounting plate 79 having a central opening 89 and a plurality of bolt holes. The central opening is dimensioned to allow the screw shaft 58 of the ball screw jack 50 to pass through the lifting trolley 52. The bolt hole is provided to attach the ball nut 59 of the ball screw jack 50 to the mounting bracket 78.

取り付けブラケット78は、リンクバー82a,82b,82c,82dによってリフトバー80a,80bに連結されている。リンクバー82a,82bは、ピボットピン84a,84bによってリフトバー80aと取り付けブラケット78との間に旋回自在に連結されている。リフトバーと取り付けブラケットとの間のリンクバーによって提供される接続リンケージは、エレベータトローリーとボールねじシャフトとの軽微なミスアライメントが生じた場合に、ボールねじジャッキへかなりの横応力が付加されることを防止する。   The mounting bracket 78 is connected to the lift bars 80a and 80b by link bars 82a, 82b, 82c and 82d. The link bars 82a and 82b are pivotally connected between the lift bar 80a and the mounting bracket 78 by pivot pins 84a and 84b. The connection linkage provided by the link bar between the lift bar and the mounting bracket ensures that significant lateral stress is applied to the ball screw jack in the event of minor misalignment between the elevator trolley and the ball screw shaft. To prevent.

エンドプレート70aの外向き面には案内ホィール又はベアリング180a,180bが設けられている。同様に、エンドプレート70bの外向き面には案内ホィール180c,180dが設けられている。案内ホィール180a,180bは、夫々、取り付けパッド182a,182bに接触してエンドプレート70aに取り付けられている。同様に、案内ホィール180c,180dは、夫々、取り付けパッド182c,182dに接触してエンドプレート70bに取り付けられている。案内ホィール180a〜180dは、レッグ組立体16の案内チャネル42a,42bにぴったり嵌り合って走行するように寸法付けされ且つ配置されている。   Guide wheels or bearings 180a and 180b are provided on the outward face of the end plate 70a. Similarly, guide wheels 180c and 180d are provided on the outward face of the end plate 70b. The guide wheels 180a and 180b are attached to the end plate 70a in contact with the attachment pads 182a and 182b, respectively. Similarly, the guide wheels 180c and 180d are attached to the end plate 70b in contact with the attachment pads 182c and 182d, respectively. The guide wheels 180a-180d are sized and arranged to run snugly against the guide channels 42a, 42b of the leg assembly 16.

エンドプレート70a,70bは、L字状に形成されて、側方に伸びた足部86a,86bを有している。足部86a,86bは、詳細に後述する圧力/真空容器のボトムヘッド組立体のための支持構造と係合するように構成され且つ配置されている。   The end plates 70a and 70b are formed in an L shape and have side portions 86a and 86b extending laterally. The feet 86a, 86b are constructed and arranged to engage a support structure for the pressure / vacuum vessel bottom head assembly, which will be described in detail below.

当業者にとって明らかであるように、レッグ組立体16,18の構造的特徴によって、それらが真空炉と共に搬送される前にそれらをモジュールとして予め組み立てることができるという利点が提供される。レッグ組立体を予め組立られたモジュールとして搬送することが可能であるということにより、真空炉を搬送し且つユーザーの施設において真空炉を組み立てるのに必要とされる時間がかなり短縮させられる。更に、各レッグ組立体に関するリフティング機構の間に必要とされる機械的リンケージが存在しないということが上述した内容から明らかである。こうして、レッグ組立体16,18のモジュール構造によって、そのようなリンケージの取り付けの必要性と、公知のリフト機構において必要とされるリフティング機構とリンケージとの適切なアライメントとリアライメントの必要性が回避される。リフティング機構の間の機械的リンケージの通常一部である、マルチギアボックス,駆動シャフト及びカップリングを省略することにより、かなり静かな運転の実現という結果に至る。   As will be apparent to those skilled in the art, the structural features of the leg assemblies 16, 18 provide the advantage that they can be preassembled as a module before they are transported with the vacuum furnace. The ability to transport the leg assembly as a pre-assembled module significantly reduces the time required to transport the vacuum furnace and assemble the vacuum furnace at the user's facility. Furthermore, it is clear from the above that the required mechanical linkage does not exist between the lifting mechanisms for each leg assembly. Thus, the modular construction of the leg assemblies 16, 18 avoids the need for such linkage attachment and the need for proper alignment and realignment of the lifting mechanism and linkage required in known lift mechanisms. Is done. Omitting the multi-gearbox, drive shaft and coupling, which are usually part of the mechanical linkage between the lifting mechanisms, results in a fairly quiet operation.

茲で図5,6及び7を参照すると、圧力/真空炉12のためのボトムヘッドの好ましい実施形態が示されている。そのボトムヘッド組立体102は、コンパクトにさせるための略フラットな外形を有している。ボトムヘッド102は、略円形のプレート104を有し、この円形プレート104は、圧力容器本体の底部に形成された開口を閉塞するように寸法付けされている。このプレート104には、好ましくは、シールリング107を受ける周溝が形成されている。プレート104の周回りにはフランジ106が形成されていて、このフランジ106は、圧力/真空容器本体26に形成された開口28の回りの対応の嵌め合いフランジと係合されるように寸法付け且つ配置されている。フラットなボトムヘッド構造は、高いガス焼入れ圧力、例えば、約2バールよりも大きいガス圧力が真空炉において用いられない場合に、好適である。従って、約2バールよりも大きなガス焼入れ圧力が用いられる場合には、圧力容器基準の要件に適合するために従来の皿状又はドーム状のボトムヘッドを用いなければならない。   Referring now to FIGS. 5, 6 and 7, a preferred embodiment of the bottom head for the pressure / vacuum furnace 12 is shown. The bottom head assembly 102 has a substantially flat outer shape for making it compact. The bottom head 102 has a generally circular plate 104 that is dimensioned to close an opening formed in the bottom of the pressure vessel body. The plate 104 is preferably formed with a circumferential groove for receiving the seal ring 107. A flange 106 is formed around the circumference of the plate 104 and is dimensioned to be engaged with a corresponding mating flange around the opening 28 formed in the pressure / vacuum vessel body 26 and Has been placed. A flat bottom head structure is preferred when high gas quenching pressures, eg, gas pressures greater than about 2 bar, are not used in a vacuum furnace. Thus, if a gas quenching pressure greater than about 2 bar is used, a conventional dished or dome shaped bottom head must be used to meet pressure vessel standard requirements.

一対の支持ビーム108a,108bが、プレート104の外側に取り付けられて、互いに離間して平行になって該プレートを横切って伸びている。それら支持ビームは、プレート104を越えて伸びた部分を有している。より詳しくは、支持ビーム108aは伸長部110a,110bを有し、支持ビーム108bは伸長部112a,112bを有している。伸長部110a,110bは、リフティングトローリー52の足部86a,86bと係合するように構成されている。同様に、伸長部112a,112bは、レッグ組立体18に関するリフティングトローリーの対応の足部と係合するように構成されている。図7に示されているように、プレート104の外側から上下方向に支持レッグ114a,114bが伸びている。その支持レッグ114a,114bの後ろに支持レッグ114a,114bから離間して第二の対の支持レッグが設けられているが、それらは図7には図示されていない。これら支持レッグは、ボトムヘッド組立体102がフロアー上に載置されている時に、プレート104に対して剛性を付与すると共にボトムヘッド組立体102を支持するように構成且つ配置されている。また、これら支持レッグは、リフティングトローリーが支持ビーム108a,108bの伸長部110a,110b,112a,112bと簡単に係合することができるように、フロアーの上方に十分な高さを提供するように寸法付けされている。   A pair of support beams 108a, 108b are attached to the outside of the plate 104 and extend across the plate in parallel and spaced apart from each other. The support beams have portions that extend beyond the plate 104. More specifically, the support beam 108a has extended portions 110a and 110b, and the support beam 108b has extended portions 112a and 112b. The extending portions 110 a and 110 b are configured to engage with the feet 86 a and 86 b of the lifting trolley 52. Similarly, the extensions 112a, 112b are configured to engage corresponding feet of the lifting trolley associated with the leg assembly 18. As shown in FIG. 7, support legs 114 a and 114 b extend from the outside of the plate 104 in the vertical direction. A second pair of support legs is provided behind the support legs 114a, 114b and spaced from the support legs 114a, 114b, which are not shown in FIG. These support legs are constructed and arranged to provide rigidity to the plate 104 and support the bottom head assembly 102 when the bottom head assembly 102 is placed on the floor. These support legs also provide a sufficient height above the floor so that the lifting trolley can easily engage the extensions 110a, 110b, 112a, 112b of the support beams 108a, 108b. Dimensioned.

プレート104の内側の中央領域には複数のソケット又はレセプタクル118が配置且つ取り付けられている。これらレセプタクル118は、垂直に伸びて、炉床レール(furnace hearth rails)を支持する支柱を受けるように寸法付けされている(例えば、図1を参照)。中央領域プレートをカバーするためにプレート104の内側にはカバープレート122が取り付けられている。カバープレート122は、プレート104の内側面に固定されたスペーサリング124上に位置して該スペーサリング124に取り付けられている。カバープレート122は、レセプタクル118が貫通して伸びることを許容する開口を有している。好ましくは、ボトムヘッド組立体102は、熱処理サイクル中に炉において発生させられる異常な高温からヘッド組立体を冷却するための手段を含んでいる。その冷却手段は、好ましくは、冷却液ジャケットとして機能する閉塞された空間を区画している、スペーサリング124とカバープレート122との組合せ体によって実現される。冷却液ジャケットは、好ましくは、プレート104の内側面を横切るように、水のような冷却液の流れを向けるためのチャネル(図示せず)を有している。それらチャネルは、好ましくは、プレート104の中央領域の略全面が冷却液と接することができるように配置されている。そのチャネル配列は、プレート104が十分に冷却されることを担保するために、ボトムヘッド組立体102の冷却に悪影響を及ぼすデッドフロースポット(dead−flow spots)又は渦流がないように、当業者は簡単に設計することができる。カバープレートは、ボトムヘッド組立体102が圧力/真空容器本体26に対する閉塞位置にある時に、冷却チャネルを真空炉の内部から分離させる。   A plurality of sockets or receptacles 118 are disposed and attached to the central region inside the plate 104. These receptacles 118 are dimensioned to extend vertically and receive struts that support furnace heart rails (see, for example, FIG. 1). A cover plate 122 is attached inside the plate 104 to cover the central area plate. The cover plate 122 is positioned on the spacer ring 124 fixed to the inner surface of the plate 104 and attached to the spacer ring 124. Cover plate 122 has an opening that allows receptacle 118 to extend therethrough. Preferably, the bottom head assembly 102 includes means for cooling the head assembly from the unusually high temperatures generated in the furnace during the heat treatment cycle. The cooling means is preferably realized by a combination of a spacer ring 124 and a cover plate 122 defining a closed space that functions as a coolant jacket. The coolant jacket preferably has channels (not shown) for directing a flow of coolant, such as water, across the inner surface of the plate 104. The channels are preferably arranged such that substantially the entire surface of the central region of the plate 104 can contact the coolant. Those skilled in the art will know that the channel arrangement is free of dead-flow spots or vortices that adversely affect the cooling of the bottom head assembly 102 to ensure that the plate 104 is sufficiently cooled. It can be designed easily. The cover plate separates the cooling channel from the interior of the vacuum furnace when the bottom head assembly 102 is in a closed position relative to the pressure / vacuum vessel body 26.

茲で図12を参照すると、本発明によるリフト装置の動作をコントロールするための好ましい構成が示されている。コントロールシステム90は、ボトムヘッド及び/又はリフティング機構のダメージを回避するレベル状態でボトムヘッド組立体を昇降動させることができるように、ボールねじドライブの動きをインターロックすると共にリフトモータの作動を同期させるための手段を設けることによりリフト装置のフェールセーフ動作(failsafe operation)を齎すように構成されている。コントロールシステム90は、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)100と、マスタサーボドライブ回路(master servo drive circuit)92と、フォロワーサーボドライブ回路(follower servo drive circuit)94を有している。リフトモータ50がマスタサーボドライブ回路92に接続されている。エンコーダー96がモータ50の駆動シャフトに機械的に連結されている。同様に、リフトモータ55がフォロワーサーボドライブ回路94に接続され、レゾルバ(resolver)98がモータ55の駆動シャフトに機械的に連結されている。   Referring now to FIG. 12, a preferred arrangement for controlling the operation of the lift device according to the present invention is shown. The control system 90 interlocks the movement of the ball screw drive and synchronizes the operation of the lift motor so that the bottom head assembly can be raised and lowered at a level that avoids damage to the bottom head and / or lifting mechanism. By providing the means for making it, it is comprised so that the fail safe operation (failsafe operation) of a lift apparatus may be heeded. The control system 90 includes a programmable logic controller (PLC) 100, a master servo drive circuit 92, and a follower servo drive circuit 94. A lift motor 50 is connected to the master servo drive circuit 92. An encoder 96 is mechanically connected to the drive shaft of the motor 50. Similarly, a lift motor 55 is connected to a follower servo drive circuit 94, and a resolver 98 is mechanically coupled to the drive shaft of the motor 55.

PLC100は、炉の操作者によって出力されるコマンドに応えてボトムヘッド組立体を昇降動させるためにリフトモータ50,55を作動させるための電気指令信号を提供するようにプログラミングされたプロセッサを含んでいる。操作者のコマンドは、プッシュボタンのような典型的な手段によって、又は、キーボードによって、PCLに入力させることができる。PLC100は、ボトムヘッド組立体102がそれの上昇位置又は下降位置にあるか否かを示す状況情報をマスタサーボドライブ回路及びフォロワーサーボドライブ回路から受けるようにプログラミングされている。PLCがボトムヘッド組立体の位置を決定した時に、PLCは、移動することが可能であることを示すインターロック信号をサーボドライブ回路へ送る。マスタサーボドライブ回路92は、指令信号を受け、第一のフィードバック信号をPLCへ送るためにPLC100に接続されている。フォロワーサーボドライブ回路94は、指令信号を受け、マスタサーボドライブ回路92を介してPLCにフィードバック信号を提供するためにマスタサーボドライブ回路92に接続されている。また、PLCは、マスタサーボドライブ回路とフォロワーサーボドライブ回路からのフィードバック信号をモニターすると共にリフトモータ50,55の間の同期性を維持するための最新の指令信号を提供するようプログラミングされている。フィードバック信号は、位置及び/又は速度を示すものであってもよい。エンコーダー96は、リフトモータ50の駆動シャフトの回転に基づいて第一のフィードバック信号を発生するように構成されている。エンコーダー96は、第一のフィードバック信号をマスタサーボドライブ回路92に伝えるためにマスタサーボドライブ回路92に接続されている。同様に、レゾルバ98は、リフトモータ55の駆動シャフトの回転に基づいて第二のフィードバック信号を発生するように構成されている。レゾルバ98は、第二のフィードバック信号をフォロワーサーボドライブ回路94に伝えるためにフォロワーサーボドライブ回路94に接続されている。好ましくは、このシステムは、リフトコントローラに接続されたホーミングリミットスイッチ(homing limit switch)(図示せず)を含んでいる。そのホーミングリミットスイッチは、リフティング機構が完全に下降された位置にあることを検出するように位置決めされ、システムが位置表示に対してシステム自体をゼロに設定するようにリフトコントローラに信号を送るように作動する。   The PLC 100 includes a processor programmed to provide electrical command signals for operating the lift motors 50, 55 to raise and lower the bottom head assembly in response to commands output by the furnace operator. Yes. Operator commands can be entered into the PCL by typical means such as push buttons or by a keyboard. The PLC 100 is programmed to receive status information from the master servo drive circuit and the follower servo drive circuit indicating whether the bottom head assembly 102 is in its raised or lowered position. When the PLC determines the position of the bottom head assembly, the PLC sends an interlock signal to the servo drive circuit indicating that it can move. The master servo drive circuit 92 is connected to the PLC 100 to receive a command signal and send a first feedback signal to the PLC. The follower servo drive circuit 94 is connected to the master servo drive circuit 92 for receiving a command signal and providing a feedback signal to the PLC via the master servo drive circuit 92. The PLC is also programmed to monitor the feedback signals from the master servo drive circuit and the follower servo drive circuit and to provide the latest command signal to maintain the synchronism between the lift motors 50,55. The feedback signal may be indicative of position and / or velocity. The encoder 96 is configured to generate a first feedback signal based on the rotation of the drive shaft of the lift motor 50. The encoder 96 is connected to the master servo drive circuit 92 in order to transmit the first feedback signal to the master servo drive circuit 92. Similarly, the resolver 98 is configured to generate a second feedback signal based on the rotation of the drive shaft of the lift motor 55. The resolver 98 is connected to the follower servo drive circuit 94 to transmit a second feedback signal to the follower servo drive circuit 94. Preferably, the system includes a homing limit switch (not shown) connected to the lift controller. The homing limit switch is positioned to detect that the lifting mechanism is in a fully lowered position, so that the system signals the lift controller to set the system itself to zero for position indication. Operate.

本発明のサーボドライブコントロールシステムは、リフティング機構の間にマルチギアボックス,シャフト及びカップリングを含む機械的リンケージを必要とすることなく、各レッグ組立体に関するリフティング機構の同期運動を齎す。そのような機械的リンケージを省略することによって、顧客の施設での真空炉の組立において必要とされる時間をかなり短縮させる結果となる。リフティング機構は、縦型真空炉用の公知のリフティング機構よりも作動中にかなり静かである。更に、機械的リンケージを省略することにより、長い期間の使用から齎されるミスアライメントの問題が回避される。また、本発明によるコントロールシステムは、正確な昇降動サイクルを齎し、且つ、エレベータ部品の何れかの偶発的ダメージを回避することができるように、駆動機構が発生するトルク又はリフティング力に関連して自己制御するようにプログラミング可能になっている。リフティング機構のためのドライブは、エレベータ部品の偶発的なダメージを実質的に回避するために、リフティング機構が発生するトルク又はリフティング力に関連して自己制御するようになっている。   The servo drive control system of the present invention allows for the synchronous motion of the lifting mechanism for each leg assembly without the need for mechanical linkage including a multi-gearbox, shaft and coupling between the lifting mechanisms. Omitting such mechanical linkage results in a considerable reduction in the time required in the assembly of the vacuum furnace at the customer's facility. The lifting mechanism is much quieter in operation than known lifting mechanisms for vertical vacuum furnaces. Further, by omitting the mechanical linkage, the misalignment problem that is discouraged from long-term use is avoided. The control system according to the invention also relates to the torque or lifting force generated by the drive mechanism so as to ensure an accurate lifting cycle and avoid accidental damage to any of the elevator parts. Programmable to self-control. The drive for the lifting mechanism is self-regulated in relation to the torque or lifting force generated by the lifting mechanism to substantially avoid accidental damage to the elevator parts.

本明細書において用いた用語及び表現は、本発明を説明するために用いたに過ぎないものであって、本発明を何ら限定するものではない。そのような用語及び表現を用いたからと言って、そのことに、上述した特徴又は工程の何らかの均等物又はその一部を排除する意図はない。従って、本発明の範囲及び要旨の範囲内で様々な修正を加えることができることが認められる。よって、本発明は、上述した発明の範囲に属する変形例を包含するものである。   The terms and expressions used in this specification are merely used to describe the present invention, and do not limit the present invention in any way. The use of such terms and expressions is not intended to exclude any equivalents or portions of the features or processes described above. Accordingly, it will be appreciated that various modifications can be made within the scope and spirit of the invention. Accordingly, the present invention includes modifications that fall within the scope of the invention described above.

Claims (10)

下端に開口を有する圧力/真空容器と、
前記圧力/真空容器の前記開口を閉塞するように寸法付けされたボトムヘッド組立体と、
離間して平行に整合配置されて、前記圧力/真空容器を垂直の向きで支持するための第一及び第二の支持モジュールと、
前記第一及び第二の支持モジュールの各々に取り付けられた第一及び第二の往復リフティング機構と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に連結されて、前記往復リフティング機構を駆動させるための第一及び第二の動力手段と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に作動的に接続されて、前記ボトムヘッド組立体と係合するように構成された第一及び第二のトローリーと、
前記第一及び第二の動力手段に接続されて、前記第一及び第二の往復リフティング機構の動作を制御することにより前記第一及び第二のトローリーを昇降動可能にさせるコントロールシステムを有する縦型真空炉組立体。
A pressure / vacuum vessel having an opening at the lower end;
A bottom head assembly dimensioned to close the opening of the pressure / vacuum vessel;
First and second support modules spaced apart and aligned in parallel to support the pressure / vacuum vessel in a vertical orientation;
First and second reciprocating lifting mechanisms attached to each of the first and second support modules;
First and second power means coupled to the first and second reciprocating lifting mechanisms for driving the reciprocating lifting mechanism;
First and second trolleys operatively connected to the first and second reciprocating lifting mechanisms and configured to engage the bottom head assembly;
A vertical system having a control system connected to the first and second power means and enabling the first and second trolleys to move up and down by controlling the operations of the first and second reciprocating lifting mechanisms. Type vacuum furnace assembly.
離間して平行に整合配置された第一及び第二の支持レッグと、
前記第一及び第二の支持レッグの間に取り付けられた往復リフティング機構と、
前記往復リフティング機構に作動的に接続されたトローリーと、
前記往復リフティング機構に接続されて、前記往復リフティング機構を駆動させるための動力手段を有する縦型真空炉用支持モジュール。
First and second support legs spaced apart and aligned in parallel;
A reciprocating lifting mechanism attached between the first and second support legs;
A trolley operatively connected to the reciprocating lifting mechanism;
A support module for a vertical vacuum furnace, having power means connected to the reciprocating lifting mechanism to drive the reciprocating lifting mechanism.
前記動力手段が前記往復リフティング機構に直接連結されている、請求項2に記載の支持モジュール。   The support module according to claim 2, wherein the power means is directly connected to the reciprocating lifting mechanism. 略円形のスチールプレートと、
前記スチールプレートの周回りに形成されたフランジと、
前記スチールプレートの外側面に取り付けられた第一及び第二のリフティングビームと、
前記スチールプレートの内側面に取り付けられて、前記スチールプレート上のワークロードを支持するための手段を有する縦型真空炉用ボトムヘッド組立体。
A substantially circular steel plate;
A flange formed around the steel plate;
First and second lifting beams attached to the outer surface of the steel plate;
A bottom head assembly for a vertical vacuum furnace attached to the inner surface of the steel plate and having means for supporting a workload on the steel plate.
前記スチールプレートの内側面に沿って冷却液を循環させるための冷却液ジャケットを有している、請求項3に記載のボトムヘッド組立体。   The bottom head assembly according to claim 3, further comprising a coolant jacket for circulating coolant along an inner surface of the steel plate. 前記冷却液ジャケットが、
前記冷却液ジャケット内で前記スチールプレートの前記内側面に沿って冷却液を誘導させるためのチャネルと、
前記スチールパネルに形成されて、冷却液が前記チャネル内に流入することを許容するインレットと、
前記インレットから遠位で前記スチールプレートに形成されて、前記冷却液が前記チャネルの外へ流出することを許容するアウトレットを有する、請求項5に記載のボトムヘッド組立体。
The coolant jacket is
A channel for inducing a coolant along the inner surface of the steel plate within the coolant jacket;
An inlet formed in the steel panel to allow coolant to flow into the channel;
6. The bottom head assembly of claim 5, having an outlet formed in the steel plate distally from the inlet to allow the coolant to flow out of the channel.
縦型真空炉用のリフティング装置を作動させるためのコントロールシステムであって、
第一の往復ワークロードリフティング装置に接続されて該第一の往復リフティング装置を駆動させるための第一のモータと、
前記第一のモータに接続されて、前記第一の往復ワークロードリフティング装置の縦方向の位置を示す電気的信号を発生する第一のセンサと、
第二の往復ワークロードリフティング装置に接続されて、前記第二の往復リフティング装置を駆動させるための第二のモータと、
前記第二のモータに接続されて、前記第二の往復ワークロードリフティング装置の縦方向の位置を示す電気的信号を発生する第二のセンサと、
前記第一及び第二のモータと前記第一及び第二のセンサに接続されたドライブ回路と、
前記ドライブ回路に接続されて、前記第一及び第二のセンサによって発せられる位置信号を受けるプロセッサを有し、
前記プロセッサが、オペレータから作動コマンドを受けるように構成され、前記位置信号と前記作動コマンドに応じてコマンド信号を発生すると共に該コマンド信号を前記ドライブ回路に送ることにより前記第一及び第二のモータを同期して作動させるようにプログラミングされている、縦型真空炉用のリフティング装置を作動させるためのコントロールシステム。
A control system for operating a lifting device for a vertical vacuum furnace,
A first motor connected to the first reciprocating workload lifting device to drive the first reciprocating lifting device;
A first sensor connected to the first motor for generating an electrical signal indicating a longitudinal position of the first reciprocating workload lifting device;
A second motor connected to a second reciprocating workload lifting device to drive the second reciprocating lifting device;
A second sensor connected to the second motor for generating an electrical signal indicative of a longitudinal position of the second reciprocating workload lifting device;
A drive circuit connected to the first and second motors and the first and second sensors;
A processor connected to the drive circuit for receiving a position signal emitted by the first and second sensors;
The processor is configured to receive an operation command from an operator, generates a command signal in response to the position signal and the operation command, and sends the command signal to the drive circuit, thereby the first and second motors. Control system for operating a lifting device for a vertical vacuum furnace, programmed to operate in sync with each other.
前記ドライブ回路が、
前記第一のモータと前記第一のセンサとプログラマブルロジックコントローラとに接続されたマスタドライブ回路と、
前記第二のモータと前記第二のセンサと前記プログラマブルロジックコントローラとに接続されたフォロワードライブ回路を有する、請求項7に記載のコントロールシステム。
The drive circuit is
A master drive circuit connected to the first motor, the first sensor and a programmable logic controller;
The control system according to claim 7, further comprising a follower drive circuit connected to the second motor, the second sensor, and the programmable logic controller.
離間して平行に整合配置された第一及び第二の支持モジュールと、
前記第一及び第二の支持モジュールの各々に取り付けられた第一及び第二の往復リフティング機構と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に接続されて、前記第一及び第二の往復リフティング機構を駆動させるための第一及び第二の動力手段と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に作動的に接続されて、ペイロードと係合するように構成された第一及び第二のトローリーと、
前記第一及び第二の動力手段に接続されて、前記第一及び第二の往復リフティング機構の作動をコントロールすることにより前記第一及び第二のトローリーを昇降動可能にさせるコントロールシステムを有している縦型真空炉用リフティング装置。
First and second support modules spaced apart and aligned in parallel;
First and second reciprocating lifting mechanisms attached to each of the first and second support modules;
First and second power means connected to the first and second reciprocating lifting mechanisms for driving the first and second reciprocating lifting mechanisms;
First and second trolleys operatively connected to the first and second reciprocating lifting mechanisms and configured to engage a payload;
A control system connected to the first and second power means for controlling the operation of the first and second reciprocating lifting mechanisms to enable the first and second trolleys to move up and down; Lifting device for vertical vacuum furnace.
縦方向に移動されるペイロードを提供する工程と、
前記ペイロードを前記第一及び第二のトローリーに係合させる工程と、
次に、前記リフティング装置を作動させて、前記ペイロードを縦方向に移動させる工程を含んでいる、請求項9に記載のリフティング装置で前記ペイロードを持ち上げる方法。
Providing a payload that is moved longitudinally;
Engaging the payload with the first and second trolleys;
10. The method of lifting the payload with a lifting device according to claim 9, further comprising actuating the lifting device to move the payload longitudinally.
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