JP2014195031A

JP2014195031A - 通気性シート

Info

Publication number: JP2014195031A
Application number: JP2013071377A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Nomura; 健一野村; Yoji Ushijima; 洋史牛島; Noriko Iwase; 典子岩瀬; Kengo Noguchi; 健吾野口; Takeshi Kobayashi; 剛小林; Masaaki Kawabe; 雅章川部
Original assignee: Japan Vilene Co Ltd; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Current assignee: Japan Vilene Co Ltd; National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date: 2013-03-29
Filing date: 2013-03-29
Publication date: 2014-10-09

Abstract

【課題】ステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する通気性シートであって、基材の表面へ望む態様でインクを印刷付与できる通気性シートを提供する。
【解決手段】前記通気性シートは、湿式不織布層を備えることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、ステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する通気性シートに関する。

電気機器の小型化に伴い、小型化や軽量化された、あるいは厚さの薄い、例えば集積回路や配線材あるいは電子基板などの電子部品（以降、合わせて電子部品と称することがある）の開発が求められている。このような要望を満足できる技術として、近年、プリンテッドエレクトロニクスという技術分野が注目を浴びている。
プリンテッドエレクトロニクスとは、導電性成分を含んだインクや非導電性成分を含んだインク、あるいは、半導体成分を含んだインクなどの各種インク（以降、プリンテッドエレクトロニクスに使用される各種インクを、インクと称することがある）を、フィルム基材や、例えば、不織布、織物、編物などの布帛などの基材の表面に印刷付与し、前記基材の表面に電子部品を形成する技術分野である。
プリンテッドエレクトロニクスに係る技術を用いることで、例えば、フィルムや布帛などの軽くて薄い基材上に電子部品を形成できるため、更に、電子部品を小型化や軽量化する、あるいは厚さを薄くすることができる。また、柔軟性を有する基材の表面に電子部品を形成することで、フレキシブルな電子部品を調製できる。

基材へインクを印刷付与して基材の表面に電子部品を形成する際、基材を吸気穴が設けられたステージに吸引固定することが行われている。
しかし、フレキシブルな基材を吸引固定した場合、前記ステージに空けられた前記吸気穴に基材の一部が引き込まれることがあり、基材の表面における前記吸気穴上の部分が陥没したり、前記吸気穴付近の部分に皺が形成されることがあった。
そして、表面に陥没や皺が形成された基材へインクを印刷付与した場合には、基材の表面にインクが正確に印刷付与されず、電子部品の破断やショートあるいは動作不良を招く原因となった。

基材を吸気穴が設けられたステージに吸引固定した際に、表面に陥没や皺が形成されるのを防止できる方法として、特開２０１２−６１５５６号公報（以降、特許文献１と称する）には、真空吸着装置の吸着面（吸気穴が設けられたステージ）と基材の間にカーディングした不織布の積層体を介在させ、カーディングした不織布と基材を接触させた状態で、基材を吸着面上に吸引固定する方法が開示されている。

特開２０１２−６１５５６号公報（特許請求の範囲、段落０００９、００１８、００２２など）

本発明者らは、基材の表面に陥没や皺が発生するのを防ぎインクを印刷付与するため、特許文献１が開示する積層体のような、カーディングしてなる不織布層を備えた通気性シートの使用を試みた。つまり、吸気穴を備えるステージと基材の間に、カーディングしてなる不織布層を備えた通気性シートを介在させ、基材をステージに吸引固定して基材の表面へインクを印刷付与することを検討した。
しかし、上述のようにして基材の表面へインクを印刷付与したにも関わらず、基材の表面にインクの印刷付与されていない部分が生じたり、意図しない部分にインクが印刷付与されるといった問題が発生することがあった。特に、フレキシブルな基材を採用すると共に、基材の表面へマイクロメートルオーダーあるいはそれを下回るスケールで電子部品を形成しようとした際に、上述の問題は顕著に発生するものであった。
そのため、ステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する通気性シートであって、基材の表面へ望む態様でインクを印刷付与できる通気性シートが求められている。

本発明は、真空吸着装置のステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する通気性シートであって、基材の表面へ望む態様でインクを印刷付与できる通気性シートの提供を目的とする。

前記課題は、本発明による、ステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する、湿式不織布層を備えた通気性シートにより解決することができる。

本発明者らは上述の問題の発生原因を調べたところ、特許文献１が開示する積層体のようなカーディングしてなる不織布層を備えた通気性シートを使用して吸引固定されている基材の表面に、マイクロメートルオーダーのスケールで極小の陥没や皺が形成され易いことを見出した。そして、基材の表面にマイクロメートルオーダーあるいはそれを下回るスケールで電子部品を形成しようとする場合には、これら極小の陥没や皺の存在によってインクの印刷付与が上手くいかなくなることを見出した。

そして、この問題の発生原因として次の理由が考えられた。
カーディングしてなる不織布が備える孔径は均一性に乏しい傾向がある。そのため、ステージに設けられた吸気穴による吸気が、ステージ上に載せたカーディングしてなる不織布層を備えた通気性シートにおいて孔径の大きな部分など一部分に偏り作用し易くなり、前記通気性シートの基材側の表面全体へ吸気が均一に作用し難い。
その結果、吸気穴による吸気が基材における前記通気性シート側主面の一部に偏り作用して、前記通気性シート上に載せ吸引固定した基材に、極小の陥没や皺が発生し易いと考えられた。
更に、通気性シートの基材側の表面全体へ吸気が均一に作用し難い場合には、基材をステージへ満足に吸引固定することが困難になる傾向があった。そして、満足に吸引固定がなされない場合には、基材の表面へインクを印刷付与する際に基材が移動して、インクの印刷付与が上手くいかないおそれがあった。

また、カーディングしてなる不織布は表面の平滑性に劣る傾向がある。そのため、カーディングしてなる不織布層上に基材が載せられ、前記カーディングしてなる不織布と基材が接触した状態で吸引固定が行われた場合には、前記カーディングしてなる不織布の表面形状に沿って基材の表面に凹凸が生じ易い。その結果、更に、前記通気性シート上に載せ吸引固定した基材に、極小の陥没や皺が発生し易いと考えられた。

本発明者らは上述の問題を解決するため検討を続けた結果、通気性シートが湿式不織布層を備えていることにより、基材の表面にマイクロメートルオーダーのスケールで極小の陥没や皺が形成されるのを防ぐことができて、基材の表面へ望む態様でインクを印刷付与できることを見出した。

この理由は完全に明らかになっていないが、湿式不織布が備える孔径は均一性に優れる傾向がある。その結果、ステージに設けられた吸気穴による吸気が、ステージ上に載せた通気性シートにおいて一部分に偏り作用するのを防止できて、通気性シートの基材側の表面全体へ吸気が均一に作用し易い。
その結果、吸気穴による吸気が基材における通気性シート側主面の一部に偏り作用するのを防止して、前記通気性シート上に載せ吸引固定した基材に、極小の陥没や皺が発生するのを防止できる。
また、湿式不織布は表面の平滑性に優れる傾向がある。そのため、湿式不織布層上に基材が載せられ、前記湿式不織布と基材が接触した状態で吸引固定が行われた場合であっても、基材の表面に凹凸が生じ難い。その結果、更に、前記通気性シート上に載せ吸引固定した基材に、極小の陥没や皺が発生するのを防止できる。
そのため、本発明の通気性シートは、基材の表面へ望む態様でインクを印刷付与できる。

本発明の通気性シートの使用時における、模式的断面図である。実施例および比較例で使用したステージを、基材側からみた模式的平面図である。図２のステージにおいて、顕微鏡写真を撮影した部分を示す模式的平面図である。

本発明の通気性シートは、湿式不織布層を備えている。
湿式不織布層を構成する繊維の繊維成分の種類は適宜選択するものであるが、例えば、ポリオレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、炭化水素の一部をシアノ基またはフッ素或いは塩素といったハロゲンで置換した構造のポリオレフィン系樹脂など）、スチレン系樹脂、ポリエーテル系樹脂（ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、フェノール系樹脂、メラミン系樹脂、ユリア系樹脂、エポキシ系樹脂、変性ポリフェニレンエーテル、芳香族ポリエーテルケトンなど）、ポリエステル系樹脂（ポリエチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリアリレート、全芳香族ポリエステル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂など）、ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド系樹脂（例えば、芳香族ポリアミド樹脂、芳香族ポリエーテルアミド樹脂、ナイロン樹脂など）、二トリル基を有する樹脂（例えば、ポリアクリロニトリルなど）、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリスルホン系樹脂（ポリスルホン、ポリエーテルスルホンなど）、フッ素系樹脂（ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデンなど）、セルロース系樹脂、ポリベンゾイミダゾール樹脂、アクリル系樹脂（例えば、アクリル酸エステルあるいはメタクリル酸エステルなどを共重合したポリアクリロニトリル系樹脂、アクリロニトリルと塩化ビニルまたは塩化ビニリデンを共重合したモダアクリル系樹脂など）など、公知の有機ポリマーからなることができる。

なお、これらの有機ポリマーは、直鎖状ポリマーまたは分岐状ポリマーのいずれからなるものでも構わず、また有機ポリマーがブロック共重合体やランダム共重合体でも構わず、また有機ポリマーの立体構造や結晶性の有無がいかなるものでも、特に限定されるものではない。更には、複数の有機ポリマーを混ぜ合わせたものでも良く、特に限定されるものではない。

湿式不織布層を構成する繊維は、例えば、溶融紡糸法、乾式紡糸法、湿式紡糸法、直接紡糸法（メルトブロー法、スパンボンド法、静電紡糸法など）、複合繊維から一種類以上の樹脂成分を吸着することで繊維径が細い繊維を抽出する方法、繊維を叩解して分割された繊維を得る方法など公知の方法により得ることができる。
繊維は、一種類あるいは複数種類の樹脂成分から構成されてなるものでも構わず、一般的に複合繊維と称される、例えば、芯鞘型、海島型、サイドバイサイド型、オレンジ型などの複合繊維を使用することができる。
繊維の繊度は特に限定するものではないが、繊度は０．０１〜２０ｄｔｅｘであるのが好ましく、０．１〜６ｄｔｅｘであるのがより好ましい。また、繊維長も特に限定するものではないが、短繊維や長繊維あるいは連続繊維を使用することができるが、短繊維を用いることで湿式不織布層における繊維の絡合を均一化し易く、表面が平滑で孔径が均一化された湿式不織布を得ることができる。
孔径が均一な湿式不織布であると、ステージの吸気穴による吸気が湿式不織布の内部空間を均等に通過して、もう一方の主面へ吸気が均一に作用できるため、更に、基材の表面に陥没や皺が生じるのを防止できる通気性シートを提供でき好ましい。

上述のようにして用意した繊維を用いて、湿式不織布を調製する方法は適宜選択するものであり、限定されるものではなく従来公知の方法で調製することができる。
湿式不織布の調製方法として、例えば、水平長網方式、傾斜ワイヤー型短網方式、円網方式、又は長網・円網コンビネーション方式により、スラリー中に分散させた繊維を抄き上げ抄紙して湿式繊維ウェブを調製する。
次いで、調製した湿式繊維ウェブを繊維一体化処理へ供することで、湿式繊維ウェブを構成する繊維同士を絡合あるいは接着して、湿式不織布を調製する。なお、湿式繊維ウェブを単体で繊維一体化処理へ供しても、複数の湿式繊維ウェブを積層させて繊維一体化処理へ供してもよい。特に、例えば、湿式繊維ウェブの抄紙条件、繊維配向、湿式繊維ウェブを構成する繊維の種類、空隙率などの物性が互いに異なる湿式繊維ウェブを積層させてなる積層体を、繊維一体化処理へ供することで調製された湿式不織布は、更に湿式不織布層の孔径が均一となる傾向があり好ましい。

繊維一体化処理は適宜選択することができるが、例えば、水流によって繊維同士を絡合する方法、繊維同士をバインダで接着する方法、あるいは、湿式繊維ウェブが熱可塑性樹脂を備える場合には、湿式繊維ウェブを加熱処理することで前記熱可塑性樹脂を溶融して繊維同士を接着する方法、などを挙げることができる。
また、湿式繊維ウェブを加熱処理する方法として、例えば、カレンダーロールにより加熱加圧する方法、熱風乾燥機により加熱する方法、無圧下で赤外線を照射する方法などを用いることができる。

湿式不織布層の目付、厚さ、嵩密度、通気度などの諸特性は、特に限定されるべきものではなく、適宜調整するのが好ましいが、湿式不織布層の目付は、５ｇ／ｍ^２以上であるのが好ましく、５０ｇ／ｍ^２以上であるのがより好ましく、８０ｇ／ｍ^２以上であるのが最も好ましい。なお、湿式不織布層の目付の上限は適宜調整するが、１０００ｇ／ｍ^２以下であるのが現実的である。
また、湿式不織布層の厚さは、１０〜１０００μｍであるのが好ましく、１００〜８００μｍであるのがより好ましく、２００〜５００μｍであるのが最も好ましい。

嵩密度の高い湿式不織布であると、湿式不織布の表面に存在する繊維の割合が多くなり、表面の平滑性が更に優れる傾向があり好ましい。一方、嵩密度が高すぎると、湿式不織布の通気性が低くなり基材を吸引固定し難くなるおそれがあることから、嵩密度は、０．０１〜１．０ｇ／ｃｍ^３であるのが好ましく、０．０５〜０．５ｇ／ｃｍ^３であるのがより好ましく、０．１〜０．２５ｇ／ｃｍ^３であるのが最も好ましい。
湿式不織布の通気度は適宜調整するが、通気度は０．１（ｃｍ^３／ｃｍ^２／ｓ）以上であるのが好ましく、１（ｃｍ^３／ｃｍ^２／ｓ）以上であるのがより好ましく、５０（ｃｍ^３／ｃｍ^２／ｓ）以上であるのが最も好ましい。なお、湿式不織布層の通気度の上限は適宜調整するが、２００（ｃｍ^３／ｃｍ^２／ｓ）以下であるのが現実的である。

なお、本発明では、目付とは面積１ｍ^２あたりの質量をいう。厚さとは厚さ測定器（デジマチック標準外側マイクロメータ（ＭＤＣ−ＭＪ／ＰＪ）１／１０００ｍｍ（株）ミツトヨ）により計測した、５００ｇ荷重時測定値の５点の厚さの算術平均値をいう。嵩密度は目付（単位：ｇ／ｍ^２）を厚さ（μｍ）で除した値をいう。通気度はＪＩＳＬ１０９６に規定されるフラジール形法により測定された値をいう。

上述のようにして調製した湿式不織布は、単体で本発明に係る通気性シートとして使用することができるが、湿式不織布の一方の主面または両主面に、他の通気性部材を積層してなる積層体を通気性シートとして使用してもよい。
他の通気性部材は、例えば、不織布や織物あるいは編物などの布帛や、通気性フィルムあるいは通気性発泡体などの通気性や通液性を有する素材から構成された、シート状の部材である。なお、通気性部材は複数の素材を積層するなど組み合わせることで構成してもよい。

他の通気性部材は、上述した湿式不織布を構成する繊維成分として挙げた公知の有機ポリマーと同様の成分を用いて調製することができる。
他の通気性部材が織物や編物である場合、上述した湿式不織布の構成繊維の調製方法と同様の方法で調製した繊維を、織るあるいは編むことで布帛を構成することができる。
他の通気性部材が不織布である場合、不織布を調製可能な繊維ウェブの調製方法として、例えば、上述の繊維をカード機に供するなどして絡合させる乾式法などを用いることができる。また、繊維ウェブを構成する繊維同士を繊維一体化する方法は、上述した湿式繊維ウェブを供する繊維一体化処理と同様の方法を採用することができる。あるいは、直接紡糸法（メルトブロー法、スパンボンド法、静電紡糸法など）を用いて、繊維を調製すると共に捕集して不織布を調製してもよい。

他の通気性部材が通気性フィルムあるいは通気性発泡体である場合、その調製方法は適宜選択されるものであり限定されるものではないが、例えば、溶融状態の有機ポリマーを型に流し込み成型、発泡処理するなど、公知の方法で調製できる。
なお、通気性フィルムあるいは通気性発泡体が両主面間を貫通する貫通穴を有する態様である場合、例えば、貫通穴の大きさ、配置、貫通穴の中心同士の間隔などは適宜調整するものであるが、貫通穴の中心同士の間隔が離れすぎていると、湿式不織布層の主面へ作用する吸気が不均一となり、基材の表面に極小の陥没や皺が形成され易くなるおそれがある。また、貫通穴の中心同士の間隔が近すぎると、通気性フィルム自体の形状保持機能、および/または、湿式不織布層よりもステージ側に通気性フィルムが存在していることにより発揮される、通気性フィルムによる湿式不織布層の形状保持機能が低下して、湿式不織布層が変形して、基材の表面に極小の陥没や皺が形成され易くなるおそれがある。そのため、前記間隔の長さは貫通孔の穴の大きさにもよるが、２０ｍｍ〜１ｍｍであるのが好ましく、１０ｍｍ〜５ｍｍであるのがより好ましい。

他の通気性部材の目付、厚さ、嵩密度などの諸特性は、特に限定されるべきものではなく、適宜調整するのが好ましい。
他の通気性部材が、例えば、目付が５０〜２００ｇ／ｍ^２の範囲であり、厚みが５０〜２００μｍの範囲である通気性フィルムである場合、前記通気性フィルムは剛性に優れる傾向があり、湿式不織布と前記通気性フィルムを積層してなる通気性シートにおいて、吸引固定時に湿式不織布層が変形するのを防ぐことができ好ましい。

湿式不織布と他の通気性部材の積層方法は適宜調整するのが好ましいが、各部材をただ重ね合わせるだけの方法、各部材を構成する有機ポリマーを溶融させることで積層一体化する方法、各部材をバインダによって積層一体化する方法などを採用することができる。

また、少なくとも通気性シートにおける基材の主面と接触する側の主面に、湿式不織布が露出するように積層がなされていると、通気性シート上に基材を載せ吸引固定した際に、基材の一方の主面が平らな状態でステージに吸引固定されて、基材の表面に凹凸が生じるのを防ぎ易くでき好ましい。

更に、通気性シートが通気性フィルムなどの湿式不織布よりも剛性に優れる通気性部材を備えている場合、前記通気性部材は通気性シートにおいて湿式不織布層よりも、ステージ側に存在しているのが好ましい。このような積層態様の通気性シートであると、剛性に優れる前記通気性部位の存在によって湿式不織布がステージ側から支持されて、吸引固定によって変形し難くなる傾向がある。

本発明の通気性シートの使用方法について、本発明の通気性シートの使用時における、模式的断面図である図１を用いて説明する。
まず、吸気穴（２）を備えたステージ（１）を用意する。次いで、ステージ（１）の一方の主面上に通気性シート（３）を載せ、前記通気性シート（３）の露出している主面上に基材（４）を載せる。このとき、ステージ（１）と基材（４）の間に通気性シート（３）が介在する状態となる。
次いで、ステージ（１）における通気性シート（３）側に存在する空気などの気体を、ステージ（１）の吸気穴（２）から吸引することで、通気性シート（３）を間に介在させた状態で、基材（４）をステージ（１）側に向かい吸引固定する。
最後に、印刷ノズルなどのインク付与部材（５）からインクを吐出することで、吸引固定された基材（４）の露出している表面へインクが付与され、基材（４）の表面に電子部品が印刷形成される。

なお、上述ではインクジェット印刷などの、インクを基材へ吐出するインク付与部材（５）を用いた電子部品の印刷方法について説明したが、印刷方法については限定されるものではなく適宜選択するものであり、例えば、オフセット印刷やスクリーン印刷などの方法を採用することができる。
また、その際に使用するインク付与部材（５）の種類については限定されるものではなく、採用する印刷方法に伴い適宜選択するものであり、例えば、ローラや転写板などの印刷技術に使用される各種転写装置を用いることができる。

なお、使用するステージ（１）に設けられた吸気穴（２）の、例えば、大きさ、形状、数、あるいは、吸気穴（２）同士の配置態様などは適宜調整するものであり、限定されるものではない。
また、基材（４）の種類や態様は、電子部品の印刷形成の条件、ステージ（１）における吸気穴（２）の態様などにより適宜調整する。

以下に、本発明の実施例を記載するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

《湿式不織布Ａの調製方法》
芯鞘型複合繊維Ａ（芯成分：ポリプロピレン樹脂（融点：１６０℃）、鞘成分：高密度ポリエチレン樹脂（融点：１２０℃）、繊度：０．８ｄｔｅｘ、繊維長：５ｍｍ）と、別の芯鞘型複合繊維Ｂ（芯成分：ポリプロピレン樹脂（融点：１６０℃）、鞘成分：高密度ポリエチレン樹脂（融点：１２０℃）、繊度：１．７ｄｔｅｘ、繊維長：５ｍｍ）を、（芯鞘型複合繊維Ａ：芯鞘型複合繊維Ｂ＝５０質量％：５０質量％）の質量比率で含むスラリーを形成した後、円網方式に抄紙して湿式繊維ウェブＡを形成した。
次いで、湿式繊維ウェブＡを温度１４０℃に設定した熱風循環式乾燥機により乾燥した後、温度１４０℃に設定した熱風乾燥機へ供し、更に、熱カレンダーロールにて厚みを調整し湿式不織布Ａ（目付：８１ｇ／ｍ^２、厚さ：３８０μｍ、通気度：５０ｃｍ／ｓｅｃ、嵩密度：０．２１ｇ／ｃｍ^３）を調製した。

《湿式不織布Ｂの調製方法》
構成繊維として芯鞘型複合繊維Ａのみを含むスラリーを形成した後、円網方式に抄紙して湿式繊維ウエブＢを形成した。
次いで、湿式繊維ウエブＢを温度１４０℃に設定した熱風循環式乾燥機により乾燥した後、温度１４０℃に設定した熱風乾燥機へ供し、湿式不織布Ｂ（目付：８０ｇ／ｍ^２、厚さ：４６０μｍ、通気度：７０ｃｍ／ｓｅｃ、嵩密度：０．１７ｇ／ｃｍ^３）を調製した。

《乾式不織布の調製方法》
ポリエチレンテレフタレート繊維Ａ（繊度：０．９ｄｔｅｘ、繊維長：３８ｍｍ、融点：２６０℃）、ポリエチレンテレフタレート繊維Ｂ（繊度：２．２ｄｔｅｘ、繊維長：５１ｍｍ、融点：２６０℃）、更に別の芯鞘型複合繊維Ｃ（芯成分：ポリエチレンテレフタレート樹脂（融点：２６０℃）、鞘成分：低融点ポリエチレンテレフタレート樹脂（融点：１４０℃）、繊度：２．２ｄｔｅｘ、繊維長：５１ｍｍ）を、（ポリエチレンテレフタレート繊維Ａ：ポリエチレンテレフタレート繊維Ｂ：芯鞘型複合繊維Ｃ＝５０質量％：２０質量％：３０質量％）の質量比率で混繊し、カード機へ供して乾式繊維ウェブを形成した。
次いで、温度１００℃に設定したリライアントプレス機にて厚みを調整し、カーディングしてなる乾式不織布（目付：２５０ｇ／ｍ^２、厚さ：２ｍｍ、通気度：７０ｃｍ／ｓｅｃ、嵩密度：０．１３ｇ／ｃｍ^３）を調製した。

《通気性フィルムＡの調製方法》
ポリエチレンテレフタレートフィルム（目付：１００ｇ／ｍ^２、厚さ：７５μｍ、ＫＯＫＵＹＯ社製、品番：ＶＦ−２０）の主面に、レーザーカッターを用いて千鳥状に貫通穴（直径：０．１５ｍｍ）を空けて、通気性フィルムＡを調製した。
なお、通気性フィルムＡの主面において、隣接する貫通穴の中心間の距離は１ｍｍであった。

《通気性フィルムＢ−Ｄの調製方法》
上述した《通気性フィルムＡの調製方法》の項目において、通気性フィルムの主面において隣接する貫通穴の中心間の距離を変更したこと以外は同様にして、通気性フィルムＢ−Ｄを調製した。
なお、通気性フィルムＢの主面において、隣接する貫通穴の中心間の距離は２．５ｍｍであり、通気性フィルムＣの主面において、隣接する貫通穴の中心間の距離は５ｍｍであり、通気性フィルムＤの主面において、隣接する貫通穴の中心間の距離は１０ｍｍであった。

《ステージの準備》
使用したステージの態様について、実施例および比較例で使用したステージを、基材側からみた模式的平面図である図２を用いて説明する。
ステージの前記模式的平面における、ステージ外形は直径８０ｍｍの円形であり、ステージ中央に直径４ｍｍの中央吸気穴（２ａ）を備えている。また、前記中央吸気穴（２ａ）を中心にして、内径３６ｍｍ、外形４０ｍｍのリング状吸気穴（２ｂ）を備えている。

《基材の準備》
インクを印刷付与する対象となる基材として、ポリカーボネートフィルム（帝人株式会社製、品番：ＳＳ１１０（Ａ）、厚さ：１１０μｍ）を採用した。そして、ポリカーボネートフィルムを一辺６０ｍｍの正方形形状に切り抜き、基材とした。

《実施例１》
湿式不織布Ａを一辺６０ｍｍの正方形形状に切り抜き、通気性シートとした。
そして、通気性シート側からステージが見えないようにして、ステージ上に通気性シートを載せた。次いで、基材側から通気性シートが見えないようにして、通気性シートの露出している主面上に基材を載せた。
その後、ステージの吸気穴から基材側の空気をサクションし、基材へかかる圧力が７０ｋＮ／ｍ^２となるように調整し、基材をステージへ吸引固定した。

《実施例２》
湿式不織布Ａの代わりに湿式不織布Ｂを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、基材をステージへ吸引固定した。

《比較例１》
ステージ上に基材を直接載せたこと以外は、実施例１と同様にして、基材をステージへ吸引固定した。

《比較例２》
湿式不織布Ａの代わりに乾式不織布を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、基材をステージへ吸引固定した。

《実施例３》
湿式不織布Ｂを一辺６０ｍｍの正方形形状に切り抜いた。また、通気性フィルムＡを一辺６０ｍｍの正方形形状に切り抜いた。
次いで、切り抜かれた湿式不織布Ｂおよび通気性フィルムＡの主面同士を対面させ、積層して通気性シートとした。
このようにして調製した通気性シートを使用したこと以外は、実施例１と同様にして、基材をステージへ吸引固定した。なお、このとき通気性シートにおける湿式不織布Ｂの主面が基材の主面と接するようにして、ステージ上に通気性シートを載せた。

《実施例４》
通気性フィルムＡの代わりに通気性フィルムＢを用いたこと以外は、実施例３と同様にして、基材をステージへ吸引固定した。

《実施例５》
通気性フィルムＡの代わりに通気性フィルムＣを用いたこと以外は、実施例３と同様にして、基材をステージへ吸引固定した。

《実施例６》
通気性フィルムＡの代わりに通気性フィルムＤを用いたこと以外は、実施例３と同様にして、基材をステージへ吸引固定した。

《評価》
上述の実施例および比較例のようにして、ステージ上に基材を吸引固定した際の、基材表面を次に説明する測定方法で分析して評価した。
なお、測定方法について、図２のステージにおいて、顕微鏡写真を撮影した部分を示す模式的平面図である図３を用いて説明する。

《基材表面の段差の測定方法》
吸引固定されている状態の露出している基材表面における、ステージの中央吸気穴（２ａ）付近の３次元像をレーザー顕微鏡（ＯＬＹＭＰＵＳ社製、レーザー顕微鏡ＬＥＸＴＯＬＳ３０００）を用いて撮影することで、図３にＡとして図示した、短辺：１．９２ｍｍ、長辺：２．５６ｍｍの長方形形状の範囲を撮影した拡大写真を作成した。
なお、前記拡大写真における各短辺の中心を通過する中心線を作図した際に、前記中心線上における一方の短辺と前記中心線の交点からもう一方の短辺へ向かい０．３ｍｍ離れた点と、中央吸気穴（２ａ）の中心点が重なるようにして拡大写真を撮影した。

そして、撮影した拡大写真に対し、中心線と平行をなすと共に０．３ｍｍの間隔を有する平行線を２本作図し、更に、前記中心線と平行をなすと共に０．６ｍｍの間隔を有する平行線を２本作図した。
次いで、前記拡大写真における前記中央吸気穴（２ａ）の中心点を中心にして半径２．２ｍｍの円を作図し、前記円と前記中心線および前記平行線との交点を５点作図した。
最後に、交点の高さと中心点の高さの差（段差）を各々測定して、拡大写真における合計５箇所の段差を測定した。

上述と同様にして、吸引固定されている状態の露出している基材表面における、ステージの中央吸気穴（２ａ）付近の異なる位置から、短辺：１．９２ｍｍ、長辺：２．５６ｍｍの長方形形状の範囲を撮影した別の拡大写真（図示せず）を撮影した。
そして、別の拡大写真に中心線および平行線を作成し、半径２．２ｍｍの円との交点を５点作図することで、交点の高さと中心点の高さの差（段差）を各々測定して、別の拡大写真についても同様に、合計５箇所の段差を測定した。
以上のようにして求められた、合計１０箇所の段差の算術平均値を求め、この値を基材の吸引固定時に基材表面に形成された段差（単位：μｍ）とした。

《結果》
実施例および比較例で測定された、各基材表面に形成された段差を、表１にまとめた。
なお、比較例２では、通気性シートとしてカーディングしてなる乾式不織布を用いて基材をステージへ吸引固定することを試みたものの、基材をステージへ満足に吸引固定することができなかった。そのため、基材表面の段差の測定を行う作業の途中で基材が前記通気性シート上から移動して、露出している表面の３次元像（顕微鏡写真）を撮影することができず、比較例２では段差を測定することができなかった。

実施例１−２の基材表面で測定された段差は、比較例１の基材表面で測定された段差よりも、小さいことが判明した。このことから、本発明の通気性シートは、ステージと基材の間に介在させることで、吸引固定した基材表面に極小の陥没や皺が発生するのを防止できるものであった。

また、比較例２において、通気性シートとして湿式不織布Ｂと同一の通気度を備えたカーディングしてなる乾式不織布を用いた場合には、満足に基材の吸引固定を行うことができなかった。そのため、比較例２の通気性シートを使用した場合には、基材の表面へインクを印刷付与する際に基材が移動するおそれがあった。
印刷中に基材が移動すると、基材の表面にインクの印刷付与されていない部分が生じたり、意図しない部分にインクが印刷付与されるといった問題が発生するおそれがある。そのため、カーディングしてなる不織布層を備えた通気性シートは、ステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する通気性シートとして不適なものであると考えられた。

そして、実施例１−２を比較した結果から、通気度の高い湿式不織布層を備えた通気性シートは、更に段差が小さくなり、吸引固定した基材表面に極小の陥没や皺が発生するのを防止できる傾向があることが判明した。
更に、実施例２および実施例３−６を比較した結果から、通気性フィルムおよび湿式不織布層を備えた通気性シートは、更に段差が小さくなり、吸引固定した基材表面に極小の陥没や皺が発生するのを防止できる傾向があることが判明した。

ステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する通気性シートであって、基材の表面へ望む態様でインクを印刷付与できる。

１・・・ステージ
２・・・吸気穴
２ａ・・・中央吸気穴
２ｂ・・・リング状吸気穴
３・・・通気性シート
４・・・基材
５・・・インク付与部材
Ａ・・・拡大写真の撮影範囲

Claims

ステージに吸引固定された基材の表面上に電子部品を印刷形成する際に、前記ステージと前記基材の間に介在させて使用する、湿式不織布層を備えた通気性シート。