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JP2014168896A - Cleaning device of liquid droplet discharge head - Google Patents

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JP2014168896A
JP2014168896A JP2013041934A JP2013041934A JP2014168896A JP 2014168896 A JP2014168896 A JP 2014168896A JP 2013041934 A JP2013041934 A JP 2013041934A JP 2013041934 A JP2013041934 A JP 2013041934A JP 2014168896 A JP2014168896 A JP 2014168896A
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Japan
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cleaning
droplet discharge
gap
nozzle
discharge device
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Application number
JP2013041934A
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Japanese (ja)
Inventor
Shumpei Kamono
俊平 鴨野
Toshihiro Kanematsu
俊宏 金松
Tetsuya Yohira
哲也 余平
Hiroyuki Miyata
弘幸 宮田
Osamu Mizuta
治 水田
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning device of a liquid droplet discharge device in which deterioration of the productivity and cleaning ability is suppressed to low levels even if nozzle arrays are increased.SOLUTION: A cleaning device 10 of a liquid droplet discharge device includes: a liquid droplet discharge head 1 in which multiple nozzles 2 for discharging droplets are arranged; a cleaning plate 11 which forms a gap G with a discharge surface of the liquid droplet discharge head 1 (a nozzle plate 3); pressurizing means 18 which pumps a fluid from jet holes 13, 14 provided at positions facing each other into the gap G; and negative pressure means 17 which suctions the fluid in the gap G from a suction hole 12 provided at the cleaning plate 11.

Description

本発明は、多数の吐出口から液滴を吐出する液体吐出ヘッドの洗浄装置に関するものである。   The present invention relates to a liquid ejection head cleaning device that ejects liquid droplets from a number of ejection ports.

従来、半導体素子や電子回路などの微細な配線パターンを形成するデバイス製造方法としては、フォトリソグラフィー法が多く利用されてきた。しかし、フォトリソグラフィー法は、トップダウン型のプロセスであり、材料の利用効率が低く、さらに装置が高価であり、工程が複雑で長いため、製造コストを上昇させる原因となっている。   Conventionally, a photolithography method has been widely used as a device manufacturing method for forming a fine wiring pattern such as a semiconductor element or an electronic circuit. However, the photolithography method is a top-down type process, has low material utilization efficiency, is expensive, and has complicated and long processes, which increases the manufacturing cost.

そのため、近年ではボトムアップ型のプロセスである印刷法、例えば、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、インクジェット印刷などによるデバイス製造方法に注目が集まっている。これらの印刷法では、金属などの導電性微粒子や有機半導体を溶解させたインクなどを不導体基材上に塗布し、焼成を行うことでパターンを形成する。特にインクジェット印刷は、電極や絶縁体、半導体などを不導体基材上に直接描画することができ、マスクなどの装置が不要であるため、安価なデバイス製造方法や少量多品種に対応した製造方法として注目が集まっている。   Therefore, in recent years, attention has been focused on device manufacturing methods such as printing methods that are bottom-up processes, such as offset printing, flexographic printing, screen printing, and ink jet printing. In these printing methods, a pattern is formed by applying conductive fine particles such as metal or ink in which an organic semiconductor is dissolved onto a non-conductive substrate and firing. In particular, inkjet printing can draw electrodes, insulators, semiconductors, etc. directly on a non-conductive substrate, and does not require a mask or other device. As attention has been gathered.

デバイスの製造にインクジェット印刷(ピエゾ方式・静電方式・バブルジェット(登録商標)方式など)を用いる場合、通常の画像形成と比べて高いインク吐出精度と長期の吐出安定性とが求められる。インクジェット印刷において、ノズル孔内で固化したインクや吐出面に付着したごみなどは、インクの吐出形状・吐出速度・吐出方向にバラツキを生じさせ、インクの吐出精度の低下を招く。また、ノズルからの溶媒の蒸発に起因するインク粘度の部分的な上昇(高濃度インク部)や気泡の混入によって、吐出精度の低下と吐出安定性の低下が起きる。そのため、高い吐出精度と吐出安定性とを達成するためには、ノズル孔内や吐出面の状態を常に最適にしておく必要がある。   When ink-jet printing (piezo method, electrostatic method, bubble jet (registered trademark) method, etc.) is used for manufacturing a device, higher ink discharge accuracy and long-term discharge stability are required as compared with normal image formation. In ink jet printing, ink solidified in the nozzle holes and dust attached to the ejection surface cause variations in the ejection shape, ejection speed, and ejection direction of the ink, leading to a decrease in ink ejection accuracy. In addition, due to the partial increase in ink viscosity (high density ink portion) due to the evaporation of the solvent from the nozzle and the mixing of bubbles, the discharge accuracy and the discharge stability are lowered. Therefore, in order to achieve high discharge accuracy and discharge stability, it is necessary to always optimize the state of the nozzle hole and the discharge surface.

そこで、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)には、パージング処理、キャッピング処理、ワイピング処理などの洗浄処理により、インク吐出機能の回復が行なわれている。また、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)の吐出面を撥液性のあるコーティングで覆うことにより、吐出面の清浄性を保つ工夫がされている。   Therefore, the ink ejection function is recovered in the inkjet head (droplet ejection head) by cleaning processes such as a purging process, a capping process, and a wiping process. In addition, a device has been devised to maintain the cleanliness of the ejection surface by covering the ejection surface of the inkjet head (droplet ejection head) with a liquid-repellent coating.

上記パージング処理とは、インクの吐出の圧力より高い圧力をノズル付近のインクにかけ、ノズルから強制的にインクを捨てる動作のことである。高濃度インク部の排出や気泡の除去によりノズルを詰まらせないようにすることができる。しかし、パージング処理は、全てのノズルに均等に圧力を掛けることが難しいため、全てのノズルに対してインク吐出機能を回復させることが難しい。ノズルは他の複数のノズルと連通しているため、インク固化物で遮蔽された吐出不能のノズルがある場合は、近接する吐出可能なノズルから圧力の開放が行われるためである。また、パージング処理では、吐出面に付着したごみやインク固化物などの除去はできない。   The purging process is an operation in which a pressure higher than the ink discharge pressure is applied to the ink near the nozzle and the ink is forcibly discarded from the nozzle. It is possible to prevent the nozzles from being clogged by discharging the high density ink portion or removing bubbles. However, in the purging process, it is difficult to uniformly apply pressure to all the nozzles, and thus it is difficult to recover the ink ejection function for all the nozzles. This is because, since the nozzle communicates with a plurality of other nozzles, when there is a nozzle that cannot be ejected and is blocked by the solidified ink, the pressure is released from the adjacent ejectable nozzle. Further, the purging process cannot remove dust adhering to the ejection surface or ink solidified material.

上記キャッピング処理とは、吐出面にキャップ構造を当接させて外部と隔離し、キャップ構造内に負圧を発生させ、ノズル内のインクを吸引する動作である。しかし、キャッピング処理では、インク固化物で遮蔽されている吐出不能なノズルがある場合は、近接する吐出可能なノズルからインクが排出される。そのため、パージング処理と同様に、全てのノズルに対してインクの吐出機能を回復させることが難しい。   The capping process is an operation of bringing the cap structure into contact with the ejection surface to isolate it from the outside, generating a negative pressure in the cap structure, and sucking ink in the nozzles. However, in the capping process, when there is a nozzle that cannot be ejected that is blocked by the solidified ink, the ink is ejected from the adjacent ejectable nozzle. Therefore, it is difficult to restore the ink ejection function for all the nozzles, as in the purging process.

上記ワイピング処理とは、特許文献1にあるように、吐出面をブレード状部材により払拭することによって、吐出面に付着したゴミやインク固化物を除去する動作のことである。しかし、ワイピング処理では、ブレード状部材と吐出面との接触による磨耗が発生するため、摩耗埃などのゴミが発生するという問題があった。また、多くのインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)は吐出面を撥水処理しているため、ブレード状部材が吐出面に接触することで撥水効果が薄れるという問題があった。さらに、インクは粘着力をもった高分子が含まれることが多いことに加え、吐出面の撥水効果の低下を防ぐ接触圧でブレード状部材を接触させないとならないため、ブレード部材では十分な洗浄ができないという問題もあった。   The wiping process is an operation of removing dust and ink solidified matter adhering to the ejection surface by wiping the ejection surface with a blade-like member, as disclosed in Patent Document 1. However, in the wiping process, wear due to contact between the blade-like member and the discharge surface occurs, and thus there is a problem that dust such as wear dust is generated. Further, since many ink jet heads (droplet discharge heads) have a water repellent treatment on the discharge surface, there is a problem that the water repellent effect is reduced when the blade-shaped member comes into contact with the discharge surface. Furthermore, in addition to the fact that the ink often contains an adhesive polymer, the blade member must be brought into contact with a contact pressure that prevents the water-repellent effect on the ejection surface from being lowered. There was also a problem that it was not possible.

そこで、特許文献2には、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)のノズル列毎に真空ノズルを非接触で配置し、真空ノズルをノズルの列方向に移動させながら、吐出面やノズル孔内の洗浄を行う装置が提案されている。この装置による洗浄によれば、パッシング処理やキャッピング処理などに比べ、ノズル毎の洗浄能力のバラツキを少なくすることができる。また、吐出面と真空ノズルとは非接触であるため、吐出面をブレード部材で払拭する場合に比べ、摩耗塵などのゴミの発生や吐出面の破損(傷、撥水処理剥がれなど)を抑制することができる。   Therefore, in Patent Document 2, a vacuum nozzle is arranged in a non-contact manner for each nozzle row of an inkjet head (droplet discharge head), and the discharge surface and the nozzle hole are cleaned while moving the vacuum nozzle in the nozzle row direction. An apparatus for performing the above has been proposed. According to the cleaning by this apparatus, it is possible to reduce the variation in the cleaning ability of each nozzle as compared with the passing process or the capping process. In addition, since the discharge surface is not in contact with the vacuum nozzle, the generation of dust such as wear dust and damage to the discharge surface (scratches, peeling of water repellent treatment, etc.) are suppressed compared to wiping the discharge surface with a blade member. can do.

また、特許文献3には、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)に対向させてクリーニングプレートを配置し、その間の空間に形成されるギャップに流体を送り出すことにより、吐出面やノズル孔内の洗浄を行う装置が提案されている。具体的には、ヘッドの短手方向一端側に設けられた送出口からギャップ内に流体を送り出し、吐出面に付着したインクやゴミを取り込んだ流体を、ヘッドの長手方向他端側に設けられた吸引口で吸引、又は回収槽に回収する。特許文献3に記載される装置による洗浄によれば、パッシング処理やキャッピング処理などに比べ、ノズル毎の洗浄能力のバラツキを少なくすることができる。また、吐出面とクリーニングプレートとは非接触で、吐出面に接触するのが流体である。そのため、吐出面をブレード部材で払拭する場合に比べ、摩耗塵などのゴミの発生や吐出面の破損(傷、撥水処理剥がれなど)を抑制することができる。   Further, in Patent Document 3, a cleaning plate is disposed so as to face an ink jet head (droplet discharge head), and a fluid is sent out to a gap formed in a space therebetween, thereby cleaning the discharge surface and the nozzle hole. An apparatus for performing has been proposed. Specifically, a fluid is fed into the gap from a delivery outlet provided on one end side in the short direction of the head, and a fluid that takes in ink or dust adhering to the ejection surface is provided on the other end side in the longitudinal direction of the head. Suction through the suction port or collect in the collection tank. According to the cleaning by the apparatus described in Patent Document 3, the variation in the cleaning ability for each nozzle can be reduced as compared with the passing process and the capping process. The discharge surface and the cleaning plate are not in contact with each other, and the fluid is in contact with the discharge surface. Therefore, it is possible to suppress the generation of dust such as wear dust and damage to the discharge surface (scratches, peeling of the water repellent treatment, etc.) as compared with the case where the discharge surface is wiped with a blade member.

しかしながら、高解像度化と生産性の向上のため、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)は、ヘッドの短手方向にも多数のノズル列が配置されることが多くなっている。特許文献2に記載される装置において、多数のノズル列が配置される場合には、真空ノズルの中心部からずれているノズルには十分な吸引力が働かないという問題がある。そのため、多数のノズル列が配置される場合には、全ノズルに対して真空ノズルを走査する必要が生じ、タクトタイムが増加し生産性が低下してしまう。真空ノズルのノズル径・形状を大きくし、多ノズルを同時に洗浄するという方法もあるが、十分な吸引力を確保するには排気量の大きなポンプが必要となり、コストの増加などの生産性低下につながるという問題がある。   However, in order to increase resolution and improve productivity, inkjet heads (droplet ejection heads) are often arranged with a large number of nozzle rows in the short direction of the head. In the apparatus described in Patent Document 2, when a large number of nozzle rows are arranged, there is a problem that a sufficient suction force does not act on a nozzle that is displaced from the center of the vacuum nozzle. Therefore, when a large number of nozzle rows are arranged, it is necessary to scan the vacuum nozzles with respect to all the nozzles, and the tact time is increased and the productivity is lowered. Although there is a method of increasing the nozzle diameter and shape of the vacuum nozzle and simultaneously cleaning multiple nozzles, a pump with a large displacement is required to secure sufficient suction power, which reduces productivity such as increased costs. There is a problem of being connected.

また、特許文献3に記載される装置において、多数のノズル列が配置される場合には、流体の移動方向の上流側のノズルから排出されたインクやゴミが、下流側にある吐出面に再付着し、吐出面を汚染するという問題があった。さらに、上流側に行くほど下流側に配置された吸引口と離れることになるため、上流側のノズル孔内又は吐出面に対しては、十分な吸引力が得られないという問題もあった。   In addition, in the apparatus described in Patent Document 3, when a large number of nozzle rows are arranged, the ink and dust discharged from the upstream nozzles in the fluid movement direction are recycled to the discharge surface on the downstream side. There was a problem of adhering and contaminating the discharge surface. Furthermore, since it is separated from the suction port arranged on the downstream side as it goes upstream, there is a problem that a sufficient suction force cannot be obtained in the nozzle hole on the upstream side or the discharge surface.

本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、ノズル列が増えても、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さい液滴吐出装置の洗浄装置を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a cleaning device for a droplet discharge device that has a low degree of decrease in productivity and cleaning ability even when the number of nozzle rows increases. .

上記課題を解決するため、請求項1の発明は、液滴を吐出する複数のノズルが配列された液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の洗浄装置において、上記液滴吐出ヘッドの吐出面との間にギャップを形成するクリーニングプレートと、互いに向き合う位置に設けられた少なくとも一対の送出口から該ギャップ内に流体を送り出す送出手段と、該クリーニングプレートに設けられた少なくともひとつの吸引口から該ギャップ内の流動体を吸引する吸引手段とを備えることを特徴とするものである。   In order to solve the above problems, the invention of claim 1 is directed to a cleaning device for a droplet discharge device including a droplet discharge head in which a plurality of nozzles for discharging droplets are arranged. A cleaning plate that forms a gap therebetween, delivery means for delivering fluid into the gap from at least a pair of delivery ports provided at positions facing each other, and the gap from at least one suction port provided in the cleaning plate And a suction means for sucking the fluid inside.

本発明においては、ノズル孔内や液滴吐出ヘッドの吐出面に付着したインクやゴミは、送出手段によってギャップ内に送出された流体に取り込まれて吸引手段により回収され、一度に多くのノズル孔内や吐出面の洗浄が可能となる。よって、ノズル列が増えても、真空ノズルなどの吸引手段のみで洗浄を行う場合に比べ、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さい。また、本発明においては、互いに向き合う位置(ギャップの両端側)に設けられた一対の送出口からギャップ内に流体を送り出す。よって、一端側に設けられた送出口から一方向に流体を送り出す場合に下流側で洗浄後のインクやゴミが再付着していた領域の一部は、一端側の送出口と向き合う位置に設けられた他端側の送出口から送り出される流体により洗浄されることになる。また、吸引口がクリーニングプレートに設けられているため、送出口と吸引口との距離は、クリーングプレートを挟んで送出口と吸引口とが配置される場合に比べ小さくなり、ギャップ内に吸引力が及びやすい。つまり、ギャップの両端側の送出口から流体を流す本発明は、同じ数のノズル列をもつギャップの一端側の送出口からのみ流体を送出する場合に比べ洗浄能力が高く、ノズル列が多くなっても洗浄能力の低下の度合いが小さいといえる。このように、本発明は、ノズル列が増えても、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さいという優れた効果がある。   In the present invention, ink or dust adhering to the nozzle hole or the discharge surface of the droplet discharge head is taken into the fluid sent into the gap by the sending means and collected by the suction means, and many nozzle holes are collected at once. The inside and the discharge surface can be cleaned. Therefore, even if the number of nozzle rows increases, the degree of decrease in productivity and cleaning ability is small as compared with the case where cleaning is performed only by suction means such as vacuum nozzles. Moreover, in this invention, a fluid is sent out in a gap from a pair of delivery port provided in the position (both end side of a gap) which mutually faces. Therefore, when the fluid is sent in one direction from the delivery port provided on one end side, a part of the area where the ink and dust after washing are reattached on the downstream side is provided at a position facing the delivery port on the one end side. It is cleaned by the fluid sent out from the delivery port on the other end side. In addition, since the suction port is provided in the cleaning plate, the distance between the delivery port and the suction port is smaller than when the delivery port and the suction port are arranged across the clean plate, and the suction force is in the gap. It is easy to reach. In other words, the present invention in which fluid flows from the outlets at both ends of the gap has higher cleaning ability and more nozzle rows than when fluid is sent only from the outlets at one end of the gap having the same number of nozzle rows. However, it can be said that the degree of decrease in the cleaning ability is small. As described above, the present invention has an excellent effect that the degree of decrease in productivity and cleaning ability is small even if the number of nozzle rows increases.

第1の実施形態に係る洗浄装置の全体構成を示す構成図。The lineblock diagram showing the whole cleaning device composition concerning a 1st embodiment. (a)は第1の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図。(A) is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the first embodiment, and (b) is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus. (a)は第2の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は第2・第3の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図、(c)は第3の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(d)は第4の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図。(A) is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the second embodiment, (b) is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the second and third embodiments, (c). FIG. 4 is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the third embodiment, and FIG. 4D is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the fourth embodiment. (a)は第5の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図。(A) is a side view which shows the structure of the principal part of the washing | cleaning apparatus which concerns on 5th Embodiment, (b) is a top view which shows the structure of the principal part of the washing | cleaning apparatus. (a)は第6、第7、第8の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図、(c)は第7の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図、(d)は第8の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図。(A) is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the sixth, seventh and eighth embodiments, (b) is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus, and (c) is the seventh. The top view which shows the structure of the washing | cleaning apparatus principal part which concerns on this embodiment, (d) is a top view which shows the structure of the washing | cleaning apparatus principal part which concerns on 8th Embodiment. (a)は複数のノズルが4列に千鳥配置されたノズルプレートを洗浄するための、第8の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図。(A) is a side view showing a configuration of a main part of a cleaning apparatus according to an eighth embodiment for cleaning a nozzle plate in which a plurality of nozzles are arranged in a staggered manner in four rows, and (b) is a main part of the same cleaning apparatus. FIG. 第9の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図。The side view which shows the structure of the washing | cleaning apparatus principal part which concerns on 9th Embodiment. (a)(b)(c)は第9の実施形態に係る洗浄装置の洗浄工程を説明する工程図。(A), (b), (c) is process drawing explaining the washing | cleaning process of the washing | cleaning apparatus which concerns on 9th Embodiment.

以下、本発明を液滴吐出装置であるインクジェットヘッドの洗浄装置に適用した実施形態について図面を参照して説明する。
[第1の実施形態]
図1は、第1の実施形態に係る洗浄装置の全体構成を示す構成図である。図2(a)は第1の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図1及び図2に示すインクジェットヘッド1は、複数のノズル2が2列に千鳥配置された液滴吐出ヘッドたるノズルプレート3を備えている。
Hereinafter, an embodiment in which the present invention is applied to an inkjet head cleaning apparatus which is a droplet discharge apparatus will be described with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 is a configuration diagram showing the overall configuration of the cleaning apparatus according to the first embodiment. 2A is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the first embodiment, and FIG. 2B is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus. An inkjet head 1 shown in FIGS. 1 and 2 includes a nozzle plate 3 that is a droplet discharge head in which a plurality of nozzles 2 are arranged in a staggered manner in two rows.

第1の実施形態に係る洗浄装置10は、図1に示すように、インクジェットヘッド1のノズルプレート3を外部から隔離する隔離手段である洗浄槽100を備えている。インクジェットヘッド1の洗浄時には、洗浄槽100の開口部101に向けてインクジェットヘッド1が下降し、洗浄槽100の開口部101にノズルプレート3が挿入される。洗浄されたインクやゴミを洗浄槽の外側、すなわち印刷プロセスが行われる他の空間を汚染するのを防止するためである。   As shown in FIG. 1, the cleaning apparatus 10 according to the first embodiment includes a cleaning tank 100 that is an isolation unit that isolates the nozzle plate 3 of the inkjet head 1 from the outside. When cleaning the inkjet head 1, the inkjet head 1 is lowered toward the opening 101 of the cleaning tank 100, and the nozzle plate 3 is inserted into the opening 101 of the cleaning tank 100. This is to prevent the washed ink and dust from contaminating the outside of the washing tank, that is, the other space where the printing process is performed.

上記洗浄槽100のインクジェットヘッド1に対向する上面部には、弾性体102が設置されている。インクジェットヘッド1と洗浄槽100とが弾性体102を介して当接することにより、インクジェットヘッド1と洗浄槽100との密着性及び密閉性を保つことができる。そして、この洗浄槽100は、三方弁103を介して負圧手段104に接続されており、洗浄槽100内を減圧することが可能となっている。また、三方弁103を大気側に接続することにより洗浄槽100内を大気圧に戻すことが可能となっている。これにより、本実施形態に係る洗浄装置10は、後述するクリーニングプレートによる洗浄とは別にキャッピング処理を行うことも可能である(以下に説明する実施形態についても同様である)。キャッピング処理では、洗浄槽100内の減圧により、ノズル3内の高濃度インクなどを吸引し、ノズル3内でのインクの詰まりを解消することができる。   An elastic body 102 is installed on the upper surface of the cleaning tank 100 facing the inkjet head 1. By bringing the inkjet head 1 and the cleaning tank 100 into contact with each other via the elastic body 102, it is possible to maintain the adhesion and sealing properties between the inkjet head 1 and the cleaning tank 100. And this washing tank 100 is connected to the negative pressure means 104 via the three-way valve 103, and the inside of the washing tank 100 can be decompressed. Moreover, it is possible to return the inside of the washing tank 100 to atmospheric pressure by connecting the three-way valve 103 to the atmosphere side. Thereby, the cleaning apparatus 10 according to the present embodiment can perform the capping process separately from the cleaning by the cleaning plate described later (the same applies to the embodiments described below). In the capping process, the ink in the nozzle 3 can be eliminated by sucking the high-density ink in the nozzle 3 by reducing the pressure in the cleaning tank 100.

そして、第1の実施形態に係る洗浄装置10は、図1及び図2(a)に示すように、ノズルプレート3の吐出面3aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート11を備えている。このクリーニングプレート11は、図示しないアクチュエータによって図1中上下方向に往復移動可能で、ギャップ調整が可能となっている。ギャップ間距離(吐出面とクリーニングプレートとの距離)は、好ましくは100μm〜1cm、より好ましくは0.5mm〜8mm、さらに好ましくは1mm〜5mmである。ギャップ間距離を調整することにより、ギャップGを流れる流体の流量を調整することができ、後述する吸引孔による吸引力を調整することができる(以下に説明する実施形態についても同様である)。   The cleaning apparatus 10 according to the first embodiment includes a cleaning plate 11 that forms a gap G between the nozzle plate 3 and the ejection surface 3a, as shown in FIGS. 1 and 2A. . The cleaning plate 11 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 1 by an actuator (not shown) so that the gap can be adjusted. The distance between the gaps (the distance between the ejection surface and the cleaning plate) is preferably 100 μm to 1 cm, more preferably 0.5 mm to 8 mm, and still more preferably 1 mm to 5 mm. By adjusting the distance between the gaps, the flow rate of the fluid flowing through the gap G can be adjusted, and the suction force by the suction holes described later can be adjusted (the same applies to the embodiments described below).

また、このクリーニングプレート11は、図2(b)に示すように、吐出面3aの全領域以上を覆う大きさではなく、吐出面3aの略半分の領域を覆う大きさに形成されている。クリーニングプレート11は、図示しないアクチュエータにより、吐出面3aとの間のギャップGを維持しながらヘッドの長手方向となるノズルの列方向(図中矢印Y方向)に往復移動可能である。これにより、クリーニングプレート11は、小型化を図りつつ、吐出面3aの全領域を洗浄できるようになっている。なお、上記クリーニングプレート11は、可動である代わりに吐出面の全領域を覆う大きさであってもよい。   In addition, as shown in FIG. 2B, the cleaning plate 11 is not sized to cover the entire area of the ejection surface 3a, but is sized to cover a substantially half area of the ejection surface 3a. The cleaning plate 11 can reciprocate in the nozzle row direction (the arrow Y direction in the figure), which is the longitudinal direction of the head, while maintaining a gap G between the cleaning plate 11 and the ejection surface 3a by an actuator (not shown). Thereby, the cleaning plate 11 can wash | clean the whole area | region of the discharge surface 3a, aiming at size reduction. The cleaning plate 11 may be sized to cover the entire area of the ejection surface instead of being movable.

上記クリーニングプレート11の中央部(二列のノズル列の中心線に対向する位置)には吸引口となる吸引孔12が吐出面3aに対して直交する方向に貫通するように設けられている。この吸引孔12は、図1に示すように、廃液槽16とバルブとを介して吸引手段となる負圧手段17に接続されている。これにより、後述するように、洗浄の際に出たインクとごみを廃液漕16内に回収することができるようになっている。このとき、ノズル2の中心軸と吸引孔12の中心軸とがずれていることにより、複数のノズル列をもつ場合でも、各ノズル列を走査する必要がない。   A suction hole 12 serving as a suction port is provided in the central portion of the cleaning plate 11 (position facing the center line of the two nozzle rows) so as to penetrate in a direction perpendicular to the ejection surface 3a. As shown in FIG. 1, the suction hole 12 is connected to a negative pressure means 17 serving as a suction means through a waste liquid tank 16 and a valve. As a result, as will be described later, the ink and dust discharged during cleaning can be collected in the waste liquid tank 16. At this time, since the center axis of the nozzle 2 and the center axis of the suction hole 12 are shifted, it is not necessary to scan each nozzle row even when a plurality of nozzle rows are provided.

そして、上記洗浄装置10は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向(図中矢印X方向)両端部に、上記ギャップG内に流体を送り出す送出口となる3対の噴射孔13a、13b、13c、14a、14b、14cを備えている。これら噴射孔13、14は、図1に示すように、バルブを介して送出手段たる加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けてノズルの行方向(図中矢印X方向)に噴射する。図2(a)に示すように、噴射孔13から噴射された流体は、吐出面3aに沿って右方向に進んで吸引孔12に到達し、噴射孔14から噴射された流体は、吐出面3aに沿って左方向に進んで吸引孔12に到達する。なお、ここで用いる流体には、気体であれば、空気・窒素・アルゴンなど、液体であればインクが可溶な物、好ましくはインク溶媒を用いることが望ましい(以下に説明する実施形態についても同様である)。   The cleaning device 10 has three pairs of injection holes 13a and 13b serving as outlets for sending fluid into the gap G at both ends in the row direction (arrow X direction in the figure) of the nozzle, which is the short direction of the head. , 13c, 14a, 14b, and 14c. As shown in FIG. 1, these injection holes 13 and 14 are connected to a pressurizing means 18 serving as a delivery means via a valve, and the pressurized fluid is directed into the gap G in the row direction of the nozzle (see FIG. Injected in the middle arrow X direction). As shown in FIG. 2A, the fluid ejected from the ejection hole 13 proceeds to the right along the ejection surface 3a to reach the suction hole 12, and the fluid ejected from the ejection hole 14 is ejected from the ejection surface. It proceeds to the left along 3a and reaches the suction hole 12. As the fluid used here, it is desirable to use a material that is soluble in ink, such as air, nitrogen, or argon if it is a gas, preferably an ink solvent (also in the embodiments described below). The same).

また、これら噴射孔13、14は、図2(b)に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート11の往復移動と連動して、ノズルの列方向(図中矢印Y方向)に往復移動可能に構成されている。これにより、上述したように、噴射孔を多く設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。   Further, as shown in FIG. 2B, these injection holes 13 and 14 are reciprocated in the nozzle row direction (arrow Y direction in the figure) in conjunction with the reciprocating movement of the cleaning plate 11 by an actuator (not shown). It is configured to be movable. Accordingly, as described above, it is not necessary to install many injection holes, and the apparatus can be reduced in size and cost.

上記構成の洗浄装置10においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔13、14から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引孔12は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル2内や吐出面3aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により中央部(吸引孔12の上方)に集められ、吸引孔12を通して廃液槽16内に回収される。上述した洗浄装置10は、吐出面3aにブレードを払拭させる場合に比べ、吐出面3aの摩耗による塵埃の発生や、吐出面3aの破損(傷・撥水処理の剥がれなど)を防止することができる。   In the cleaning apparatus 10 having the above-described configuration, the pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 13 and 14 disposed at both ends of the nozzle in the row direction. At the same time, the suction hole 12 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the inside of the nozzle 2 and the ejection surface 3 a are collected in the central portion (above the suction hole 12) by the fluid ejected into the gap G, and collected in the waste liquid tank 16 through the suction hole 12. Is done. The above-described cleaning device 10 can prevent generation of dust due to wear of the discharge surface 3a and damage to the discharge surface 3a (such as scratches and peeling of the water-repellent treatment) as compared with the case where the blade is wiped on the discharge surface 3a. it can.

なお、上記クリーングプレート11には、吐出面3aに対向する面に撥水処理を施すことが好ましい。洗浄の際にでたインクやゴミがクリーニングプレート11に付着するのを防ぐことが可能である。これにより、ギャップGにインクやゴミが残留することなく、これらを吸引孔12により排出させることができる(以下に説明する実施形態についても同様である)。   The clean plate 11 is preferably subjected to water repellent treatment on the surface facing the ejection surface 3a. It is possible to prevent ink and dust generated during cleaning from adhering to the cleaning plate 11. Accordingly, ink or dust does not remain in the gap G, and these can be discharged by the suction holes 12 (the same applies to the embodiments described below).

[第2の実施形態]
図3(a)は第2の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図3に示すインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)4は、複数のノズル5が四列に千鳥配置されたノズルプレート6を備えている。
[Second Embodiment]
FIG. 3A is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the second embodiment, and FIG. 3B is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus. An inkjet head (droplet discharge head) 4 shown in FIG. 3 includes a nozzle plate 6 in which a plurality of nozzles 5 are arranged in a staggered manner in four rows.

第2の実施形態に係る洗浄装置は、図3(a)に示すように、ノズルプレート6の吐出面6aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート21を備えている。クリーニングプレート21は、第1の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図3(a)中上下方向に往復移動可能で、ギャップ調整が可能となっている。また、クリーニングプレート21は、図示しないアクチュエータにより、吐出面6aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動可能である。これにより、クリーニングプレート21は、小型化を図りつつ、吐出面6aの全領域を洗浄できるようになっている。   The cleaning device according to the second embodiment includes a cleaning plate 21 that forms a gap G between the nozzle plate 6 and the ejection surface 6a, as shown in FIG. As described in the first embodiment, the cleaning plate 21 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 3A by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 21 can be reciprocated in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining a gap G between the cleaning plate 21 and the ejection surface 6a by an actuator (not shown). Thereby, the cleaning plate 21 can wash | clean the whole area | region of the discharge surface 6a, aiming at size reduction.

また、上記クリーニングプレート21の中央部(ノズル四列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔22が設けられている。この吸引孔22は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   Further, a suction hole 22 serving as a suction means is provided in the central portion of the cleaning plate 21 (position facing the center line of the four nozzle rows). The suction hole 22 is connected to the negative pressure means 17 through the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, the ink and dust discharged during the cleaning can be collected in the waste liquid tank 16.

そして、上記洗浄装置20は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向(図中矢印X方向)両端部に、上記ギャップG内に流体を送り出す3対の噴射孔23a、23b、23c、24a、24b、24cを備えている。これら噴射孔23、24は、第1の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けて噴射する。   The cleaning device 20 includes three pairs of injection holes 23a, 23b, 23c, and 24a that send fluid into the gap G at both ends of the nozzle in the row direction (arrow X direction in the figure), which is the short direction of the head. , 24b, 24c. As described in the first embodiment, these injection holes 23 and 24 are connected to the pressurizing means 18 through a valve, and inject the pressurized fluid into the gap G.

ここで、上記噴射孔23、24の噴射方向は、図3(b)に示すように、クリーニングプレートの進行方向に向かって、ノズルの行方向(図中矢印X方向)から角度αの傾きがつけられている。これにより、噴射孔23、24から噴射される流体は、交差することになり、角度αが0度となる噴射孔から噴射される流体に比べ、クリーニングプレート21の中央部で衝突した時の飛散方向が進行方向に限定される。つまり、ノズル5内や吐出面6aから離脱したゴミやインクの飛散方向を進行方向に限定することが可能である。これにより、洗浄後の吐出面6aに洗浄後のインクやゴミが再付着する範囲を狭めることができるのである。なお、角度αは5度〜85度の間が好ましく、より好ましくは15〜75度、さらに好ましくは30〜60度である。   Here, as shown in FIG. 3B, the injection direction of the injection holes 23 and 24 is inclined at an angle α from the nozzle row direction (the arrow X direction in the figure) toward the traveling direction of the cleaning plate. It is attached. As a result, the fluids ejected from the ejection holes 23 and 24 intersect each other, and are scattered when colliding at the center of the cleaning plate 21 as compared with the fluid ejected from the ejection holes having an angle α of 0 degrees. The direction is limited to the traveling direction. In other words, it is possible to limit the scattering direction of dust and ink separated from the nozzle 5 and the discharge surface 6a to the traveling direction. As a result, it is possible to narrow the range in which the washed ink and dust are reattached to the washed ejection surface 6a. The angle α is preferably between 5 degrees and 85 degrees, more preferably 15 to 75 degrees, and still more preferably 30 to 60 degrees.

また、これら噴射孔23、24は、図3(b)に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート21の往復移動と連動して、ノズルの列方向(図中矢印Y方向)に往復移動可能であり。これにより、上述したように、例えば、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。   Further, as shown in FIG. 3B, these injection holes 23 and 24 reciprocate in the nozzle row direction (arrow Y direction in the figure) in conjunction with the reciprocating movement of the cleaning plate 21 by an actuator (not shown). It is movable. Thereby, as described above, for example, it is not necessary to install a large number of injection holes, and the apparatus can be reduced in size and cost.

上記構成の洗浄装置20においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔23、24から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引孔22は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル5内や吐出面6aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により中央部(吸引孔22の上方)に集められ、吸引孔22を通して廃液槽16内に回収される。   In the cleaning device 20 having the above-described configuration, the pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 23 and 24 arranged at both ends in the row direction of the nozzle. At the same time, the suction hole 22 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the nozzle 5 and the ejection surface 6 a are collected in the central portion (above the suction hole 22) by the fluid ejected into the gap G, and collected in the waste liquid tank 16 through the suction hole 22. Is done.

[第3の実施形態]
図3(c)は第3の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図である。図3(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。
[Third Embodiment]
FIG.3 (c) is a side view which shows the structure of the principal part of the washing | cleaning apparatus based on 3rd Embodiment. FIG.3 (b) is a top view which shows the structure of the principal part of the washing | cleaning apparatus.

第3の実施形態に係る洗浄装置30は、図3(c)に示すように、ノズルプレート6の吐出面6aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート31を備えている。クリーニングプレート31は、第1の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図3(c)中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート31は、図示しないアクチュエータにより、吐出面6aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動可能である。これにより、クリーニングプレート31は、小型化を図りつつ、吐出面6aの全領域を洗浄できるようになっている。   As shown in FIG. 3C, the cleaning device 30 according to the third embodiment includes a cleaning plate 31 that forms a gap G between the nozzle plate 6 and the ejection surface 6 a. As described in the first embodiment, the cleaning plate 31 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 3C by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 31 can be reciprocated in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining a gap G between the cleaning plate 31 and the ejection surface 6a by an actuator (not shown). Thereby, the cleaning plate 31 can wash | clean the whole area | region of the discharge surface 6a, aiming at size reduction.

また、上記クリーニングプレート31の中央部(ノズル列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔32が設けられている。この吸引孔32は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   Further, a suction hole 32 as a suction means is provided in the central portion of the cleaning plate 31 (position facing the center line of the nozzle row). The suction hole 32 is connected to the negative pressure means 17 through the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, the ink and dust discharged during the cleaning can be collected in the waste liquid tank 16.

そして、上記洗浄装置30は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向(図中矢印X方向)両端部に、上記ギャップG内に流体を送り出す3対の噴射孔33a、33b、33c、34a、34b、34cを備えている。これら噴射孔33、34は、第1の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けて噴射する。   The cleaning device 30 has three pairs of injection holes 33a, 33b, 33c, and 34a that feed fluid into the gap G at both ends of the nozzle in the row direction (arrow X direction in the figure), which is the short direction of the head. , 34b, 34c. As described in the first embodiment, these injection holes 33 and 34 are connected to the pressurizing means 18 through a valve, and inject the pressurized fluid into the gap G.

ここで、上記噴射孔33、34の噴射方向は、第2の実施形態で説明したように、クリーニングプレート31の進行方向に向かってノズルの行方向(図中矢印X方向)から角度αの傾きがつけられている。さらに、これら噴射孔33、34は、吐出面6aに対して角度を持って配置され、噴射孔33、34の流体噴射方向の延長線(図中、点線で示す)が最外ノズル列5‘の外側で吐出面6aと交わっている。噴射孔33、34は、より吐出面6aに近い部分に流体の流れを発生させることができ、流体は吐出面6aやクリーニングプレート31との摩擦による流体損失を少なくすることができる。これにより、吸引孔32による吸引力を増加させることができる。なお、噴射孔を傾ける角度は、図3(b)(c)に示すように、必ずしも両方向に持たせる必要はなく、どちらか一方を持たせるだけでも良い。   Here, as described in the second embodiment, the injection direction of the injection holes 33 and 34 is inclined at an angle α from the nozzle row direction (arrow X direction in the figure) toward the traveling direction of the cleaning plate 31. Is attached. Further, these injection holes 33 and 34 are arranged at an angle with respect to the ejection surface 6a, and an extension line (indicated by a dotted line in the figure) of the injection holes 33 and 34 in the fluid injection direction is the outermost nozzle row 5 ′. It intersects with the discharge surface 6a outside. The ejection holes 33 and 34 can generate a fluid flow in a portion closer to the ejection surface 6 a, and the fluid can reduce fluid loss due to friction with the ejection surface 6 a and the cleaning plate 31. Thereby, the suction force by the suction hole 32 can be increased. In addition, as shown to FIG.3 (b) (c), the angle which inclines an injection hole does not necessarily need to have in both directions, and it is sufficient to have either one.

また、これら噴射孔33、34は、図3(b)に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート31の往復移動と連動して、ノズルの列方向(図中矢印Y方向)に往復移動が可能である。これにより、上述したように、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。   Further, as shown in FIG. 3B, these injection holes 33 and 34 are reciprocated in the nozzle row direction (arrow Y direction in the figure) in conjunction with the reciprocating movement of the cleaning plate 31 by an actuator (not shown). It is possible to move. Accordingly, as described above, it is not necessary to install a large number of injection holes, and the apparatus can be reduced in size and cost.

上記構成の洗浄装置30においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔33、34から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引孔32は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル5内や吐出面6aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により中央部(吸引孔32の上方)に集められ、吸引孔32を通して廃液槽16内に回収される。   In the cleaning device 30 having the above-described configuration, the pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 33 and 34 arranged at both ends in the row direction of the nozzle. At the same time, the suction hole 32 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the nozzle 5 and the ejection surface 6 a are collected in the central portion (above the suction hole 32) by the fluid ejected into the gap G and collected in the waste liquid tank 16 through the suction hole 32. Is done.

[第4の実施形態]
図3(d)は、第4の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図である。
[Fourth Embodiment]
FIG.3 (d) is a side view which shows the structure of the principal part of the washing | cleaning apparatus based on 4th Embodiment.

第4の実施形態に係る洗浄装置は、図3(d)に示すように、インクジェットヘッド6の吐出面6aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート41を備えている。クリーニングプレート41は、第1の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図3(d)中上下方向に往復移動が可能で、ギャップ調整が可能となっている。また、クリーニングプレート41は、図示しないアクチュエータにより、吐出面6aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート41は、小型化を図りつつ、吐出面6aの全領域を洗浄できるようになっている。   As shown in FIG. 3D, the cleaning device according to the fourth embodiment includes a cleaning plate 41 that forms a gap G between the ejection surface 6 a of the inkjet head 6. As described in the first embodiment, the cleaning plate 41 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 3D by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 41 can be reciprocated in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining the gap G between the cleaning plate 41 and the ejection surface 6a by an actuator (not shown). Thereby, the cleaning plate 41 can wash | clean the whole area | region of the discharge surface 6a, aiming at size reduction.

上記クリーニングプレート41の中央部(四つのノズル列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔42が設けられている。さらに、この吸引孔42の両隣には、吸引孔42より幅が小さく形成される副吸引孔45、46が設けられている。これらの吸引孔42や副吸引孔45、46は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、ノズル列が多い場合でも、より確実に洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   A suction hole 42 as a suction means is provided in the central portion of the cleaning plate 41 (position facing the center line of the four nozzle rows). Further, on both sides of the suction hole 42, auxiliary suction holes 45 and 46 having a width smaller than that of the suction hole 42 are provided. The suction holes 42 and the sub suction holes 45 and 46 are connected to the negative pressure means 17 via the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, even when there are a large number of nozzle rows, the ink and dust discharged during cleaning can be more reliably collected in the waste liquid tank 16.

そして、上記洗浄装置40は、ヘッドの短手方向となるノズルの行方向(図中矢印X方向)両端部に、上記ギャップG内に流体を送り出す3対の噴射孔43a、43b、43c、44a、44b、44cを備えている。これら噴射孔43、44は、第1の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けて噴射する。そして、これら噴射孔は、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレートの移動と連動して、ノズルの列方向(図中矢印Y方向)に往復移動が可能に構成されている。これにより、上述したように、噴射孔を多く設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。   The cleaning device 40 has three pairs of injection holes 43a, 43b, 43c, and 44a that feed the fluid into the gap G at both ends of the nozzle in the row direction (arrow X direction in the figure), which is the short direction of the head. , 44b, 44c. These injection holes 43 and 44 are connected to the pressurizing means 18 via valves as described in the first embodiment, and inject the pressurized fluid into the gap G. These injection holes are configured to be able to reciprocate in the nozzle row direction (arrow Y direction in the figure) in conjunction with the movement of the cleaning plate by an actuator (not shown). Accordingly, as described above, it is not necessary to install many injection holes, and the apparatus can be reduced in size and cost.

上記構成の洗浄装置40においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔43、44から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引42は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル5内や吐出面6aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により、吸引孔42、副吸引孔45、46を通して廃液槽16内に回収される。   In the cleaning device 40 having the above-described configuration, the pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 43 and 44 disposed at both ends in the row direction of the nozzle. At the same time, the suction 42 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the inside of the nozzle 5 and the discharge surface 6a are collected into the waste liquid tank 16 through the suction holes 42 and the sub suction holes 45 and 46 by the fluid ejected into the gap G.

[第5の実施形態]
図4(a)は第5の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図4に示すインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)1は、複数のノズル2が2列に千鳥配置されたノズルプレート3を備えている。
[Fifth Embodiment]
FIG. 4A is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the fifth embodiment, and FIG. 4B is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus. An inkjet head (droplet discharge head) 1 shown in FIG. 4 includes a nozzle plate 3 in which a plurality of nozzles 2 are arranged in a staggered manner in two rows.

第5の実施形態に係る洗浄装置は、図4(a)に示すように、ノズルプレート3の吐出面3aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート51を備えている。クリーニングプレート51は、第1の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図4(a)中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート51は、図示しないアクチュエータにより、吐出面3aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート51は、小型化を図りつつ、吐出面3aの全領域を洗浄できるようになっている。   As shown in FIG. 4A, the cleaning apparatus according to the fifth embodiment includes a cleaning plate 51 that forms a gap G between the nozzle plate 3 and the ejection surface 3 a. As described in the first embodiment, the cleaning plate 51 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 4A by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 51 can be reciprocated in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining a gap G between the cleaning plate 51 and the ejection surface 3a by an actuator (not shown). As a result, the cleaning plate 51 can clean the entire area of the ejection surface 3a while reducing the size.

上記クリーニングプレート51の中央部(ノズル二列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔52が設けられている。この吸引孔52は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   A suction hole 52 as a suction means is provided in the central portion of the cleaning plate 51 (position facing the center line of the two nozzle rows). The suction hole 52 is connected to the negative pressure means 17 via the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, the ink and dust discharged during the cleaning can be collected in the waste liquid tank 16.

そして、上記クリーニングプレート51の上面には、図4(a)に示すように、ノズルプレート3の吐出面3aが嵌合する溝51aが形成されている。また、クリーニングプレート51のノズルの行方向両端部、すなわち溝51aを形成する立設部51b、51cには、3対の噴射孔53a、53b、53c、54a、54b、54cが設けられている。洗浄装置50は、クリーニングプレート51と噴射孔53、54とを一体に同一部材で構成しているため、噴射孔を別体で構成する場合に比べ、部品点数を減らすことができ、低コスト化が可能となる。また、後述するように、噴射孔からの流体の噴射方向の向きの調整も簡便である。   Further, as shown in FIG. 4A, a groove 51 a into which the discharge surface 3 a of the nozzle plate 3 is fitted is formed on the upper surface of the cleaning plate 51. Further, three pairs of injection holes 53a, 53b, 53c, 54a, 54b, and 54c are provided at both ends in the row direction of the nozzle of the cleaning plate 51, that is, the standing portions 51b and 51c that form the groove 51a. In the cleaning device 50, since the cleaning plate 51 and the injection holes 53 and 54 are integrally formed of the same member, the number of parts can be reduced and the cost can be reduced compared to the case where the injection holes are formed separately. Is possible. In addition, as will be described later, the adjustment of the direction of the ejection direction of the fluid from the ejection holes is also simple.

上記クリーニングプレート51に設けられた噴射孔53、54は、第1の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けてノズルの行方向(図中矢印X方向)に噴射する。図4(a)に示すように、噴射孔53から噴射された流体は、吐出面3aに沿って右方向に進んで吸引孔52に到達し、噴射孔54から噴射された流体は、吐出面3aに沿って左方向に進んで吸引孔52に到達する。このとき、噴射孔53、54の開口部がギャップGに近接して設置されるため、噴射孔を別体で構成する場合に比べ、噴射孔53、54から流体をギャップGに向けて効率よく流すことが可能となる。   As described in the first embodiment, the injection holes 53 and 54 provided in the cleaning plate 51 are connected to the pressurizing means 18 via the valve, and the pressurized fluid is put into the gap G. The nozzle is directed in the row direction (arrow X direction in the figure). As shown in FIG. 4A, the fluid ejected from the ejection hole 53 proceeds to the right along the ejection surface 3a and reaches the suction hole 52, and the fluid ejected from the ejection hole 54 is ejected from the ejection surface. It proceeds to the left along 3a and reaches the suction hole 52. At this time, since the openings of the injection holes 53 and 54 are installed close to the gap G, the fluid is efficiently directed from the injection holes 53 and 54 toward the gap G as compared with the case where the injection holes are formed separately. It is possible to flow.

また、これら噴射孔53、54は、図4(b)に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート51の往復移動と連動して、ノズル列の方向(図中矢印Y方向)に往復移動が可能である。これにより、上述したように、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。   Further, as shown in FIG. 4B, these injection holes 53 and 54 reciprocate in the direction of the nozzle row (in the direction of arrow Y in the figure) in conjunction with the reciprocating movement of the cleaning plate 51 by an actuator (not shown). It is possible to move. Accordingly, as described above, it is not necessary to install a large number of injection holes, and the apparatus can be reduced in size and cost.

上記構成の洗浄装置50においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔53、54から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引孔52は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル2内や吐出面3aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により中央部(吸引孔52の上方)に集められ、吸引孔52を通して廃液槽16内に回収される。   In the cleaning device 50 having the above-described configuration, the pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 53 and 54 arranged at both ends in the row direction of the nozzle. At the same time, the suction hole 52 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the nozzle 2 and the ejection surface 3 a are collected in the central portion (above the suction hole 52) by the fluid ejected into the gap G and collected in the waste liquid tank 16 through the suction hole 52. Is done.

[第6の実施形態]
図5(a)は第6の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(b)は同洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。図5に示すインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)1は、複数のノズル2が2列に千鳥配置されたノズルプレート3を備えている。
[Sixth Embodiment]
FIG. 5A is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the sixth embodiment, and FIG. 5B is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus. An inkjet head (droplet discharge head) 1 shown in FIG. 5 includes a nozzle plate 3 in which a plurality of nozzles 2 are arranged in a staggered manner in two rows.

第6の実施形態に係る洗浄装置60は、図5(a)に示すように、ノズルプレート3の吐出面3aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート61を備えている。クリーニングプレート61は、第1の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図5(a)中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート61は、図示しないアクチュエータにより、吐出面3aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート61は、小型化を図りつつ、吐出面3aの全領域を洗浄できるようになっている。   As shown in FIG. 5A, the cleaning device 60 according to the sixth embodiment includes a cleaning plate 61 that forms a gap G with the ejection surface 3 a of the nozzle plate 3. As described in the first embodiment, the cleaning plate 61 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 5A by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 61 can reciprocate in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining a gap G between the cleaning plate 61 and the ejection surface 3a by an actuator (not shown). As a result, the cleaning plate 61 can clean the entire area of the ejection surface 3a while reducing the size.

上記クリーニングプレート61の中央部(ノズル二列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔62が設けられている。この吸引孔62は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   A suction hole 62 serving as suction means is provided in the central portion of the cleaning plate 61 (position facing the center line of the two nozzle rows). The suction hole 62 is connected to the negative pressure means 17 through the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, the ink and dust discharged during the cleaning can be collected in the waste liquid tank 16.

また、上記クリーニングプレート61のノズルの行方向両端部には、吸引孔62と略平行方向に三対の噴射孔63a、63b、63c、64a、64b、64cが設けられている。これら噴射孔63、64の開口部は、吐出面3aに対して直交する方向から所定の角度の傾きがつけられ、流体の噴射方向の延長線(図中点線で示す)が最外ノズル列2‘の外側で吐出面3aと交わるようになっている。これら噴射孔63、64は、第1の実施形態で説明したように、加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けて噴射する。噴射孔63、64は、より吐出面3aに近い部分に流体の流れを発生させることができ、流体は吐出面3aやクリーニングプレート61との摩擦による流体損失を少なくすることができる。これにより、吸引孔62による吸引力を増加させることができる。   Further, three pairs of injection holes 63 a, 63 b, 63 c, 64 a, 64 b, and 64 c are provided at both ends of the cleaning plate 61 in the row direction in a direction substantially parallel to the suction holes 62. The openings of the ejection holes 63 and 64 are inclined at a predetermined angle from the direction orthogonal to the ejection surface 3a, and an extension line (indicated by a dotted line in the figure) of the fluid ejection direction is the outermost nozzle row 2. It intersects with the discharge surface 3a on the outer side of '. These injection holes 63 and 64 are connected to the pressurizing unit 18 as described in the first embodiment, and inject the pressurized fluid into the gap G. The ejection holes 63 and 64 can generate a fluid flow in a portion closer to the discharge surface 3a, and the fluid can reduce fluid loss due to friction with the discharge surface 3a and the cleaning plate 61. Thereby, the suction force by the suction hole 62 can be increased.

上記構成の洗浄装置60においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔63、64から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引孔62は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル2内や吐出面3aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により中央部(吸引孔62の上方)に集められ、吸引孔62を通して廃液槽16内に回収される。   In the cleaning device 60 having the above-described configuration, the pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 63 and 64 arranged at both ends in the row direction of the nozzle. At the same time, the suction hole 62 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the nozzle 2 and the ejection surface 3 a are collected in the central portion (above the suction hole 62) by the fluid ejected into the gap G and collected in the waste liquid tank 16 through the suction hole 62. Is done.

[第7の実施形態]
図5(a)は第7の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(c)は第7の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。
[Seventh Embodiment]
FIG. 5A is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the seventh embodiment, and FIG. 5C is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the seventh embodiment.

第7の実施形態に係る洗浄装置70は、図5(a)に示すように、ノズルプレート3のノズル吐出3aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート71を備えている。クリーニングプレート71は、第1の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図7(a)中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート71は、図示しないアクチュエータにより、吐出面3aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート71は、小型化を図りつつ、吐出面3aの全領域を洗浄できるようになっている。   As shown in FIG. 5A, the cleaning device 70 according to the seventh embodiment includes a cleaning plate 71 that forms a gap G between the nozzle plate 3 and the nozzle discharge 3 a. As described in the first embodiment, the cleaning plate 71 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 7A by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 71 can be reciprocated in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining a gap G between the cleaning plate 71 and the ejection surface 3a by an actuator not shown. Thus, the cleaning plate 71 can clean the entire area of the ejection surface 3a while reducing the size.

上記クリーニングプレート71の中央部(ノズル二列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔72が設けられている。この吸引孔72は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   A suction hole 72, which is a suction means, is provided in the central portion of the cleaning plate 71 (position facing the center line of the two rows of nozzles). The suction hole 72 is connected to the negative pressure means 17 via the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, the ink and dust discharged during the cleaning can be collected in the waste liquid tank 16.

また、上記クリーニングプレート71のノズルの行方向両端部には、吸引孔72と略平行方向に三対の噴射孔73a、73b、73c、74a、74b、74cが設けられている。これら噴射孔73、74の開口部は、吐出面3aに対して直交する方向から所定の角度の傾きがつけられ、流体の噴射方向の延長線(図中点線で示す)が最外ノズル列2‘の外側で吐出面3aと交わるようになっている。これら噴射孔73、74は、第1の実施形態で説明したように、加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けて噴射する。   Further, three pairs of injection holes 73 a, 73 b, 73 c, 74 a, 74 b, and 74 c are provided at both ends of the cleaning plate 71 in the row direction in a direction substantially parallel to the suction holes 72. The openings of the ejection holes 73 and 74 are inclined at a predetermined angle from the direction orthogonal to the ejection surface 3a, and an extension line (indicated by a dotted line in the drawing) of the fluid ejection direction is the outermost nozzle row 2. It intersects with the discharge surface 3a on the outer side of '. These injection holes 73 and 74 are connected to the pressurizing unit 18 as described in the first embodiment, and inject the pressurized fluid into the gap G.

ここで、上記噴射孔73、74の噴射方向は、図5(c)に示すように、クリーニングプレートの進行方向に向かって、ノズルの行方向(図中矢印X方向)から角度αの傾きがつけられている。これにより、噴射孔73、74から噴射される流体は交差することになり、角度αが0度となる噴射孔から噴射される流体に比べ、クリーニングプレート71の中央部で衝突した時の飛散方向が進行方向に限定される。つまり、ノズル2内や吐出面3aから離脱したゴミやインクの飛散方向を進行方向に限定することが可能である。これにより、洗浄後の吐出面3aに洗浄後のゴミやインク固化物が再付着する範囲を狭めることができるのである。   Here, as shown in FIG. 5C, the injection direction of the injection holes 73 and 74 is inclined at an angle α from the nozzle row direction (arrow X direction in the figure) toward the traveling direction of the cleaning plate. It is attached. As a result, the fluids ejected from the ejection holes 73 and 74 cross each other, and the scattering direction when colliding with the central portion of the cleaning plate 71 compared to the fluid ejected from the ejection holes having an angle α of 0 degrees. Is limited to the direction of travel. That is, it is possible to limit the scattering direction of dust and ink separated from the nozzle 2 and the ejection surface 3a to the traveling direction. As a result, it is possible to narrow the range in which the cleaned dust and ink solidified material are reattached to the cleaned discharge surface 3a.

上記構成の洗浄装置70においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔73、74から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引孔72は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル2内や吐出面3aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により中央部(吸引孔72の上方)に集められ、吸引孔72を通して廃液漕16内に回収される。   In the cleaning device 70 having the above-described configuration, the pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 73 and 74 disposed at both ends in the row direction of the nozzle. At the same time, the suction hole 72 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the nozzle 2 and the ejection surface 3 a are collected in the central portion (above the suction hole 72) by the fluid ejected into the gap G and collected in the waste liquid tank 16 through the suction hole 72. Is done.

[第8の実施形態]
図5(a)は第8の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図、(d)は第8の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す平面図である。
[Eighth Embodiment]
FIG. 5A is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the eighth embodiment, and FIG. 5D is a plan view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the eighth embodiment.

第8の実施形態に係る洗浄装置80は、図5(a)に示すように、ノズルプレート3の吐出面3aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート81を備えている。クリーニングプレート81は、第1の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図5(a)中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート81は、図示しないアクチュエータにより、吐出面3aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート81は、小型化を図りつつ、吐出面3aの全領域を洗浄できるようになっている。   As shown in FIG. 5A, the cleaning device 80 according to the eighth embodiment includes a cleaning plate 81 that forms a gap G with the ejection surface 3 a of the nozzle plate 3. As described in the first embodiment, the cleaning plate 81 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 5A by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 81 can be reciprocated in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining a gap G between the cleaning plate 81 and the ejection surface 3a by an actuator (not shown). Thus, the cleaning plate 81 can clean the entire area of the ejection surface 3a while reducing the size.

上記クリーニングプレート81の中央部(ノズル二列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔82が設けられている。この吸引孔82は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、洗浄の際に出たインクとごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   A suction hole 82 as a suction means is provided in the central portion of the cleaning plate 81 (position facing the center line of the two rows of nozzles). The suction hole 82 is connected to the negative pressure means 17 via the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, the ink and dust discharged during the cleaning can be collected in the waste liquid tank 16.

また、上記クリーニングプレート81のノズルの行方向両端部には、吸引孔62と略平行方向に一対の噴射孔83、84が設けられている。これら噴射孔83、84の開口部は、ノズルの列方向に長尺なスリット状に形成されている。そして、この噴射孔83、84の開口部は、吐出面3aに対して直交する方向から所定の角度の傾きがつけられ、流体の噴射方向の延長線(図中点線で示す)が最外ノズル列2‘の外側で吐出面3aと交わるようになっている。これら噴射孔83、84は、第1の実施形態で説明したように、加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けて噴射する。また、噴射孔83、84は、より吐出面3aに近い部分に流体の流れを発生させることができ、流体は吐出面3aやクリーニングプレート81との摩擦による流体損失を少なくすることができる。これにより、吸引孔82による吸引力を増加させることができる。   In addition, a pair of injection holes 83 and 84 are provided at both ends in the row direction of the nozzle of the cleaning plate 81 in a direction substantially parallel to the suction hole 62. The openings of these injection holes 83 and 84 are formed in a slit shape that is long in the row direction of the nozzles. The openings of the ejection holes 83 and 84 are inclined at a predetermined angle from the direction orthogonal to the ejection surface 3a, and an extension line (indicated by a dotted line in the figure) of the fluid ejection direction is the outermost nozzle. It intersects with the ejection surface 3a outside the row 2 '. As described in the first embodiment, these injection holes 83 and 84 are connected to the pressurizing means 18 and inject the pressurized fluid into the gap G. Further, the ejection holes 83 and 84 can generate a fluid flow in a portion closer to the ejection surface 3a, and the fluid can reduce fluid loss due to friction with the ejection surface 3a and the cleaning plate 81. Thereby, the suction force by the suction hole 82 can be increased.

上記構成の洗浄装置80においては、ノズルの行方向両端部に配置された噴射孔83、84から加圧された流体がギャップG内に噴射される。それと同時に吸引孔82は減圧手段によってギャップG内を減圧する。これにより、ノズル2内や吐出面3aに付着したインクやゴミは、ギャップG内に噴射された流体により中央部(吸引孔62の上方)に集められ、吸引孔82を通して廃液漕16内に回収される。また、上記構成の洗浄装置80においては、ノズル2の径に対して、噴射孔83、84のノズルの列方向の長さが長くなるため、洗浄時にクリーニングプレート81をノズルプレート3と同じ速度で移動させたとしても、ノズル一つ当たりの洗浄時間を長くすることができるというメリットがある。   In the cleaning device 80 configured as described above, pressurized fluid is injected into the gap G from the injection holes 83 and 84 arranged at both ends in the row direction of the nozzle. At the same time, the suction hole 82 depressurizes the gap G by the depressurizing means. As a result, the ink and dust adhering to the nozzle 2 and the ejection surface 3 a are collected in the central portion (above the suction hole 62) by the fluid ejected into the gap G and collected in the waste liquid tank 16 through the suction hole 82. Is done. Further, in the cleaning device 80 having the above configuration, the length of the nozzle holes 83 and 84 in the row direction of the nozzles 83 and 84 is longer than the diameter of the nozzle 2, so that the cleaning plate 81 is moved at the same speed as the nozzle plate 3 during cleaning. Even if it is moved, there is an advantage that the cleaning time per nozzle can be extended.

なお、図5(a)(b)(c)(d)に示した構成の洗浄装置60、70、80は、図6(a)(b)に示すように、複数のノズル5が4列に千鳥配置されたノズルプレート6を備えるインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)4の洗浄装置であってもよい。   In addition, as shown in FIGS. 6A and 6B, the cleaning devices 60, 70, and 80 configured as shown in FIGS. A cleaning device for an inkjet head (droplet discharge head) 4 including nozzle plates 6 arranged in a staggered manner may be used.

[第9の実施形態]
図7は、第9の実施形態に係る洗浄装置主要部の構成を示す側面図。図8(a)(b)(c)は、第9の実施形態に係る洗浄装置の洗浄工程を説明する工程図。図7及び図8に示すインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)1は、複数のノズル2が2列に千鳥配置されたノズルプレート3を備えている。
[Ninth Embodiment]
FIG. 7 is a side view showing the configuration of the main part of the cleaning apparatus according to the ninth embodiment. 8A, 8B, and 8C are process diagrams illustrating a cleaning process of the cleaning device according to the ninth embodiment. An inkjet head (droplet discharge head) 1 shown in FIGS. 7 and 8 includes a nozzle plate 3 in which a plurality of nozzles 2 are arranged in a staggered manner in two rows.

第9の実施形態に係る洗浄装置110は、図7に示すように、ノズルプレート3の吐出面3aとの間にギャップGを形成するクリーニングプレート111を備えている。クリーニングプレート111は、第5の実施形態で説明したように、図示しないアクチュエータによって図7中上下方向に往復移動が可能で、ギャップの調整が可能となっている。また、クリーニングプレート111は、図示しないアクチュエータにより、吐出面3aとの間のギャップGを維持しながらノズルの列方向(図中Y方向)に往復移動が可能である。これにより、クリーニングプレート111は、小型化を図りつつ、吐出面3aの全領域を洗浄できるようになっている。   As illustrated in FIG. 7, the cleaning device 110 according to the ninth embodiment includes a cleaning plate 111 that forms a gap G between the nozzle plate 3 and the ejection surface 3 a. As described in the fifth embodiment, the cleaning plate 111 can be reciprocated in the vertical direction in FIG. 7 by an actuator (not shown), and the gap can be adjusted. The cleaning plate 111 can be reciprocated in the nozzle row direction (Y direction in the figure) while maintaining a gap G between the cleaning plate 111 and the ejection surface 3a by an actuator (not shown). As a result, the cleaning plate 111 can clean the entire area of the ejection surface 3a while reducing the size.

上記クリーニングプレート111の中央部(ノズル二列の中心線に対向する位置)には吸引手段である吸引孔112が設けられている。この吸引孔112は、第1の実施形態で説明したように、廃液槽16を介して負圧手段17に接続されている。これにより、洗浄の際に出た洗浄液117、インク、ごみを廃液槽16内に回収することができるようになっている。   A suction hole 112 as a suction means is provided in the central portion of the cleaning plate 111 (position facing the center line of the two nozzle rows). The suction hole 112 is connected to the negative pressure means 17 through the waste liquid tank 16 as described in the first embodiment. As a result, the cleaning liquid 117, ink, and dust discharged at the time of cleaning can be collected in the waste liquid tank 16.

そして、上記クリーニングプレート111の上面には、図7に示すように、ノズルプレート3の吐出面3aが嵌合する溝111aが形成されている。また、クリーニングプレート111のノズルの行方向両端部、すなわち溝111aを形成する立設部111b、111cには、噴射孔113、114が設けられている。   Further, as shown in FIG. 7, a groove 111 a into which the ejection surface 3 a of the nozzle plate 3 is fitted is formed on the upper surface of the cleaning plate 111. In addition, ejection holes 113 and 114 are provided at both ends of the nozzle of the cleaning plate 111 in the row direction, that is, at the standing portions 111b and 111c that form the groove 111a.

上記クリーニングプレート111に設けられた噴射孔113、114は、第1の実施形態で説明したように、バルブを介して加圧手段18に接続されており、加圧された流体をギャップG内に向けてノズル行方向(図中矢印X方向)噴射する。このとき、噴射孔113、114の開口部がギャップGに近接して設置されることになるため、噴射孔を別体で構成する場合に比べ、噴射孔113、114から流体をギャップGに向けて効率よく流すことが可能となる。   As described in the first embodiment, the injection holes 113 and 114 provided in the cleaning plate 111 are connected to the pressurizing means 18 through the valve, and the pressurized fluid is introduced into the gap G. In the nozzle row direction (arrow X direction in the figure) is injected. At this time, since the openings of the injection holes 113 and 114 are installed close to the gap G, the fluid is directed from the injection holes 113 and 114 to the gap G as compared with the case where the injection holes are configured separately. Can flow efficiently.

また、これら噴射孔113、114は、図4(b)に示すように、図示しないアクチュエータにより、上記クリーニングプレート111の往復移動と連動して、ノズルの列方向(図中矢印Y方向)に往復移動が可能である。これにより、上述したように、多数の噴射孔を設置する必要がなく、装置の小型化、低コスト化が可能となる。   Further, as shown in FIG. 4B, these injection holes 113 and 114 are reciprocated in the nozzle row direction (arrow Y direction in the figure) in conjunction with the reciprocating movement of the cleaning plate 111 by an actuator (not shown). It is possible to move. Accordingly, as described above, it is not necessary to install a large number of injection holes, and the apparatus can be reduced in size and cost.

さらに、上記クリーニングプレート111には、吸引孔112の両隣に一対の超音波発生手段115、116が設置されている。この超音波発生手段115、116は、流体の噴射時及び/又は吸引時に吐出面に向かって超音波を発生させ、ノズル2内や吐出面3aに付着したごみやインクを除去するためのエネルギーを与えることができる。特に、インクの除去が難しい場合、例えば、金属粒子が分散されたインクがノズル2内又は吐出面3aに融着した場合でもインクの除去が可能となる。   Further, a pair of ultrasonic wave generating means 115 and 116 is installed on the cleaning plate 111 on both sides of the suction hole 112. The ultrasonic generators 115 and 116 generate ultrasonic waves toward the ejection surface during fluid ejection and / or suction, and use energy for removing dust and ink attached to the nozzle 2 and the ejection surface 3a. Can be given. In particular, when it is difficult to remove the ink, for example, even when the ink in which the metal particles are dispersed is fused in the nozzle 2 or the ejection surface 3a, the ink can be removed.

上記構成の洗浄装置においては、次のような手順により洗浄を行うのが効果的である。図8(a)に示すように、噴射孔113、114からクリーニングプレート111上に洗浄液117を噴射する。そして、図8(b)に示すように、ノズルプレート3を下降させて吐出面3aをクリーニングプレート111上の洗浄液117に当接させる。この状態で超音波発生手段115、116から吐出面3aに向かって超音波を照射する。その後、図8(c)に示すように、噴射孔113、114により流体である気体を噴射しながら吸引孔112から吸引を行い、ゴミやインクを取り込んだ洗浄液117を除去する。   In the cleaning apparatus having the above-described configuration, it is effective to perform cleaning by the following procedure. As shown in FIG. 8A, the cleaning liquid 117 is sprayed onto the cleaning plate 111 from the spray holes 113 and 114. Then, as shown in FIG. 8B, the nozzle plate 3 is lowered to bring the ejection surface 3 a into contact with the cleaning liquid 117 on the cleaning plate 111. In this state, ultrasonic waves are emitted from the ultrasonic wave generation means 115 and 116 toward the ejection surface 3a. Thereafter, as shown in FIG. 8C, suction is performed from the suction holes 112 while ejecting gas as fluid through the ejection holes 113 and 114, and the cleaning liquid 117 that has taken in dust and ink is removed.

なお、上記第1の実施形態乃至第9の実施形態では、複数のノズルが2列又は4列に千鳥配置されたノズルプレートを図示しているが、ノズルの数や配置に制約はない。また、上記吸引孔及び噴射孔の形状に制約はない。例えば噴射孔の内壁には、旋回流を発生させるような形状を形成してもよい。   In the first to ninth embodiments, a nozzle plate in which a plurality of nozzles are arranged in a staggered manner in two or four rows is illustrated, but there is no restriction on the number or arrangement of nozzles. Moreover, there is no restriction | limiting in the shape of the said suction hole and injection hole. For example, a shape that generates a swirling flow may be formed on the inner wall of the injection hole.

以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
(態様A)
液滴を吐出する複数のノズル2、5などのノズルが配列された液滴吐出ヘッド1、4などの液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の洗浄装置10、20、30、40、50、60、70、80、90、110などの洗浄装置において、上記液滴吐出ヘッドの吐出面との間にギャップGなどのギャップを形成するクリーニングプレート11、21、31、41、51、61、71、81、91、111などのクリーニングプレートと、互いに向き合う位置に設けられた、噴射孔13・14、23・24、33・34、43・44、53・54、63・64、73・74、83・84、93・94、113・114などの少なくとも一対の送出口から流体を該ギャップ内に送り出す加圧手段18などの送出手段と、該クリーニングプレートに設けられた、吸引孔12、22、32、42、52、62、72、82、92、112などの少なくともひとつの吸引口から該ギャップ内の流動体を吸引する負圧手段17などの吸引手段とを備える。
これによれば、第1の実施形態乃至第9の実施形態で説明したように、ズル列が増えても、ノズル列が増えても、生産性や洗浄能力の低下の度合いが小さい。
(態様B)
(態様A)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記一対の送出口は液滴吐出ヘッドの短手方向両側で向き合う位置に配設されている。
これによれば、第1の実施形態乃至第9の実施形態で説明したように、送出手段が長手方向に流体を送り出す場合に比べ洗浄能力が高い。
(態様C)
(態様B)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記クリーニングプレートは、液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能である。
これによれば、第1の実施形態乃至第9の実施形態で説明したように、吐出面の全領域を覆う大きさでクリーニングプレートを構成する場合に比べ、装置の小型化を図ることができる。
(態様D)
(態様B)又は(態様C)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記送出口は液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能である。
これによれば、第1の実施形態乃至第9の実施形態で説明したように、送出手段の数を減らすことができ、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
(態様E)
(態様A)(態様B)(態様C)又は(態様D)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記吸引口は、上記一対の送出口の中間位置に少なくとも一つ配設される。
これによれば、第1の実施形態乃至第9の実施形態で説明したように、ギャップ内のインクやゴミを取り込んだ流体を効率的に回収することができる。
(態様F)
(態様A)(態様B)(態様C)(態様D)又は(態様E)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記一対の送出口からの流動体の送出方向は交差する。
これによれば、第2の実施形態、第3の実施形態、第7の実施形態で説明したように、一対の送出口から送出される流動体同士が衝突するときの、飛散方向を限定することができ、洗浄後の最汚染を抑制することができる。
(態様G)
(態様A)(態様B)(態様C)(態様D)(態様E)又は(態様F)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記送出口からの流動体の送出方向は、上記吐出面に向けられ、その送出方向の延長線が最も外側に配列された最外ノズル列の外側で該吐出面と交わる。
これによれば、第3の実施形態、第6の実施形態〜第8の実施形態で説明したように、流動体送出手段をノズルの近傍に配置することができるので、吐出面やクリーニングプレートとの摩擦による流体損失を少なくすることができる。また、クリーニングプレートの小型化が可能となる。
(態様H)
(態様A)(態様B)(態様C)(態様D)(態様E)(態様F)又は(態様G)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記送出口は上記クリーニングプレートと一体に形成される。
これよれば、第2の実施形態、第5の実施形態〜第9の実施形態で説明したように、装置の小型化、低コスト化を図ることができ、ギャップ内に効率的に流体を送出することが可能である。
(態様I)
(態様A)(態様B)(態様C)(態様D)(態様E)(態様F)(態様G)又は(態様H)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対向する面に撥水性処理が施されている。
これよれば、第1の実施形態で説明したように、ギャップ間に洗浄後のインクやゴミが残留するのを抑制することができる。
(態様J)
(態様A)(態様B)(態様C)(態様D)(態様E)(態様F)(態様G)(態様H)又は(態様I)の液滴吐出装置において、上記クリーニングプレートは、超音波発生手段115などの超音波発生手段を備える。
これによれば、第9の実施形態で説明したように、吐出面やノズル孔内に付着したインクやゴミをより確実に除去することができる。
(態様K)
(態様A)(態様B)(態様C)(態様D)(態様E)(態様F)(態様G)(態様H)(態様I)又は(態様j)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対するギャップを調整できる調整機構を備える。
これよれば、第1の実施形態〜第9の実施形態で説明したように、ギャップを流れる流体の流量の調整により、吸引手段による吸引力の調整が可能となる。
(態様L)
(態様A)(態様B)(態様C)(態様D)(態様E)(態様F)(態様G)(態様H)(態様I)(態様j)又は(態様K)の液滴吐出装置の洗浄装置において、上記液滴吐出ヘッドの吐出面を外部から隔離する隔離手段を備える。
これによれば、第1の実施形態で説明したように、外部から隔離された空間内で液滴吐出ヘッドの洗浄をおこなうことができるため、外部の印刷プロセスが行われる空間を汚すことがない。
What has been described above is merely an example, and the present invention has a specific effect for each of the following modes.
(Aspect A)
Cleaning devices 10, 20, 30, 40, 50 of a droplet discharge device including a droplet discharge head such as a droplet discharge head 1, 4 in which nozzles such as a plurality of nozzles 2, 5 that discharge droplets are arranged. In cleaning apparatuses such as 60, 70, 80, 90, and 110, cleaning plates 11, 21, 31, 41, 51, 61, and 71 that form gaps such as a gap G between the discharge surfaces of the droplet discharge heads. , 81, 91, 111, etc., and jet holes 13, 14, 23, 24, 33, 34, 43, 44, 53, 54, 63, 64, 73, 74, 83, 84, 93, 94, 113, 114, and the like are provided on the cleaning plate, and a delivery means such as a pressurizing means 18 for sending fluid into the gap from at least a pair of delivery ports. Suction means such as negative pressure means 17 for sucking fluid in the gap from at least one suction port such as suction holes 12, 22, 32, 42, 52, 62, 72, 82, 92, 112, etc. Is provided.
According to this, as described in the first to ninth embodiments, the degree of decrease in productivity and cleaning capability is small even if the number of nozzle rows increases or the number of nozzle rows increases.
(Aspect B)
In the cleaning apparatus for a droplet discharge device according to (Aspect A), the pair of delivery ports are disposed at positions facing each other on both sides in the short direction of the droplet discharge head.
According to this, as described in the first to ninth embodiments, the cleaning ability is high as compared with the case where the delivery means sends out the fluid in the longitudinal direction.
(Aspect C)
In the cleaning device for a droplet discharge device according to (Aspect B), the cleaning plate can reciprocate in the longitudinal direction of the droplet discharge head.
According to this, as described in the first to ninth embodiments, the apparatus can be downsized as compared with the case where the cleaning plate is configured to cover the entire area of the ejection surface. .
(Aspect D)
In the cleaning apparatus for a droplet discharge device according to (Aspect B) or (Aspect C), the delivery port can reciprocate in the longitudinal direction of the droplet discharge head.
According to this, as described in the first to ninth embodiments, the number of sending means can be reduced, and the size and cost of the apparatus can be reduced.
(Aspect E)
(Aspect A) (Aspect B) In the cleaning device for a droplet discharge device according to (Aspect C) or (Aspect D), at least one suction port is disposed at an intermediate position between the pair of delivery ports.
According to this, as described in the first to ninth embodiments, it is possible to efficiently recover the fluid that has taken in ink and dust in the gap.
(Aspect F)
(Aspect A) (Aspect B) (Aspect C) In the cleaning device for a droplet discharge device according to (Aspect D) or (Aspect E), the delivery directions of the fluid from the pair of delivery ports intersect.
According to this, as explained in the second embodiment, the third embodiment, and the seventh embodiment, the scattering direction when the fluids sent from the pair of delivery ports collide with each other is limited. And the most contamination after washing can be suppressed.
(Aspect G)
(Aspect A) (Aspect B) (Aspect C) (Aspect D) (Aspect E) or (Aspect F) In the cleaning device for a droplet discharge device, the direction in which the fluid is sent out from the outlet is the discharge surface. The extended line in the delivery direction intersects the discharge surface outside the outermost nozzle row arranged on the outermost side.
According to this, as explained in the third embodiment, the sixth embodiment to the eighth embodiment, the fluid delivery means can be arranged in the vicinity of the nozzle. The fluid loss due to the friction can be reduced. In addition, the cleaning plate can be downsized.
(Aspect H)
(Aspect A) (Aspect B) (Aspect C) (Aspect D) (Aspect E) (Aspect F) In the cleaning device for a droplet discharge device of (Aspect G), the delivery port is formed integrally with the cleaning plate. Is done.
According to this, as described in the second embodiment, the fifth embodiment to the ninth embodiment, the apparatus can be reduced in size and cost, and the fluid can be efficiently delivered into the gap. Is possible.
(Aspect I)
(Aspect A) (Aspect B) (Aspect C) (Aspect D) (Aspect E) (Aspect F) (Aspect G) In the cleaning device for a droplet discharge device of (Aspect H), the cleaning plate is the discharge A water repellent treatment is applied to the surface facing the surface.
According to this, as described in the first embodiment, it is possible to suppress remaining ink and dust after cleaning between the gaps.
(Aspect J)
(Aspect A) (Aspect B) (Aspect C) (Aspect D) (Aspect E) (Aspect F) (Aspect G) (Aspect H) In the droplet discharge device of (Aspect I), the cleaning plate is super Ultrasonic wave generation means such as the sound wave generation means 115 is provided.
According to this, as described in the ninth embodiment, it is possible to more reliably remove ink and dust attached to the ejection surface and the nozzle holes.
(Aspect K)
(Aspect A) (Aspect B) (Aspect C) (Aspect D) (Aspect E) (Aspect F) (Aspect G) (Aspect H) (Aspect I) or (Aspect j) The cleaning plate includes an adjustment mechanism capable of adjusting a gap with respect to the ejection surface.
According to this, as described in the first to ninth embodiments, the suction force by the suction means can be adjusted by adjusting the flow rate of the fluid flowing through the gap.
(Aspect L)
(Aspect A) (Aspect B) (Aspect C) (Aspect D) (Aspect E) (Aspect F) (Aspect G) (Aspect H) (Aspect I) (Aspect j) or (Aspect K) Liquid droplet ejection apparatus The cleaning apparatus includes an isolating means for isolating the ejection surface of the droplet ejection head from the outside.
According to this, as described in the first embodiment, since the droplet discharge head can be cleaned in the space isolated from the outside, the space in which the external printing process is performed is not soiled. .

1、4:インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)
2、5:ノズル
3、6:ノズルプレート
100:洗浄槽
10、20、30、40、50、60、70、80、90、110:洗浄装置
11、21、31、41、51、61、71、81、91、111:クリーニングプレート
12、22、32、42、52、62、72、82、92、112:吸引孔
13、14、23、24、33、34、43、44、53、54、63、64、73、74、83、84、93、94、113、114:噴射孔
115、116:超音波発生手段
1, 4: Inkjet head (droplet ejection head)
2, 5: Nozzle 3, 6: Nozzle plate 100: Cleaning tanks 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 110: Cleaning devices 11, 21, 31, 41, 51, 61, 71 81, 91, 111: Cleaning plates 12, 22, 32, 42, 52, 62, 72, 82, 92, 112: Suction holes 13, 14, 23, 24, 33, 34, 43, 44, 53, 54 63, 64, 73, 74, 83, 84, 93, 94, 113, 114: injection holes 115, 116: ultrasonic wave generating means

特開2012−135918号公報JP 2012-135918 A 特開2011−201308号公報JP 2011-201308 A 特開2012−106503号公報JP 2012-106503 A

Claims (12)

液滴を吐出する複数のノズルが配列された液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記液滴吐出ヘッドの吐出面との間にギャップを形成するクリーニングプレートと、
互いに向き合う位置に設けられた少なくとも一対の送出口から該ギャップ内に流体を送り出す送出手段と、
該クリーニングプレートに設けられた少なくともひとつの吸引口から該ギャップ内の流動体を吸引する吸引手段とを備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In a cleaning device for a droplet discharge device comprising a droplet discharge head in which a plurality of nozzles for discharging droplets are arranged,
A cleaning plate that forms a gap with the discharge surface of the droplet discharge head;
Delivery means for delivering fluid into the gap from at least a pair of delivery ports provided at positions facing each other;
A cleaning device for a droplet discharge device, comprising: suction means for sucking a fluid in the gap from at least one suction port provided in the cleaning plate.
請求項1の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記一対の送出口は液滴吐出ヘッドの短手方向両側で向き合う位置に配設されていることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
The cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1,
The pair of delivery ports are disposed at positions facing each other on both sides in the short direction of the droplet discharge head.
請求項2の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記クリーニングプレートは、液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能であることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
The cleaning device for a droplet discharge device according to claim 2,
The cleaning apparatus for a droplet discharge device, wherein the cleaning plate is capable of reciprocating in the longitudinal direction of the droplet discharge head.
請求項2又は3の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記送出口は液滴吐出ヘッドの長手方向に往復移動が可能であることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 2 or 3,
A cleaning device for a droplet discharge device, wherein the outlet is capable of reciprocating in the longitudinal direction of the droplet discharge head.
請求項1、2、3又は4の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記吸引口は、上記一対の送出口の中間位置に少なくとも一つ配設されることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, or 4,
At least one suction port is disposed at an intermediate position between the pair of delivery ports.
請求項1、2、3、4又は5の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記一対の送出口からの流動体の送出方向は交差することを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, 4 or 5,
A cleaning device for a droplet discharge device, wherein the delivery directions of the fluid from the pair of delivery ports intersect each other.
請求項1、2、3、4、5又は6の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記送出口からの流動体の送出方向は、上記吐出面に向けられ、その送出方向の延長線が最も外側に配列された最外ノズル列の外側で該吐出面と交わることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, 4, 5 or 6,
The fluid delivery direction from the delivery port is directed to the ejection surface, and an extension line of the delivery direction intersects the ejection surface outside the outermost nozzle row arranged on the outermost side. Cleaning device for droplet discharge device.
請求項1、2、3、4、5、6又は7の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記送出口は上記クリーニングプレートと一体に形成されることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6 or 7,
The apparatus for cleaning a droplet discharge device, wherein the delivery port is formed integrally with the cleaning plate.
請求項1、2、3、4、5、6、7又は8の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対向する面に撥水性処理が施されていることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 or 8,
The cleaning apparatus for a droplet discharge device, wherein the cleaning plate is subjected to water repellency treatment on a surface facing the discharge surface.
請求項1、2、3、4、5、6、7、8又は9の液滴吐出装置において、
上記クリーニングプレートは、超音波発生手段を備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, or 9,
The cleaning apparatus for a droplet discharge device, wherein the cleaning plate includes an ultrasonic wave generation unit.
請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9又は10の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記クリーニングプレートは、上記吐出面に対するギャップを調整できる調整機構を備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 or 10,
The cleaning apparatus for a droplet discharge device, wherein the cleaning plate includes an adjustment mechanism capable of adjusting a gap with respect to the discharge surface.
請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10又は11の液滴吐出装置の洗浄装置において、
上記液滴吐出ヘッドの吐出面を外部から隔離する隔離手段を備えることを特徴とする液滴吐出装置の洗浄装置。
In the cleaning device for a droplet discharge device according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10 or 11,
A cleaning device for a droplet discharge device, comprising: an isolation means for isolating the discharge surface of the droplet discharge head from the outside.
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