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JP2014164175A - Illumination device and projector - Google Patents

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JP2014164175A
JP2014164175A JP2013035961A JP2013035961A JP2014164175A JP 2014164175 A JP2014164175 A JP 2014164175A JP 2013035961 A JP2013035961 A JP 2013035961A JP 2013035961 A JP2013035961 A JP 2013035961A JP 2014164175 A JP2014164175 A JP 2014164175A
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JP
Japan
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light
light source
prism
incident
optical path
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Withdrawn
Application number
JP2013035961A
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Japanese (ja)
Inventor
Junichi Okamoto
純一 岡本
Akihiro Kashiwagi
章宏 柏木
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an illumination device capable of effectively reducing a speckle.SOLUTION: An illumination device (2b) includes: a light source device (7); a superposition optical system (10) to which light is made incident from the light source device; and an optical path shift device (9) for temporally changing the incident position of the light emitted from the light source device to the superimposition optical system.

Description

本発明は、照明装置、及びプロジェクターに関する。   The present invention relates to a lighting device and a projector.

従来から、表示装置の一つとしてプロジェクターが知られている(例えば、特許文献1参照)。プロジェクターは、例えば、照明装置からの光を光変調装置で変調することで画像を形成し、この画像を投写レンズなどでスクリーンに投写する。   Conventionally, a projector is known as one of display devices (see, for example, Patent Document 1). For example, the projector forms an image by modulating light from the illumination device with a light modulation device, and projects the image onto a screen using a projection lens or the like.

照明装置の光源には、各種光源が用いられ、可干渉性を有する光(コヒーレント光)を発するコヒーレント光源が用いられることもある。コヒーレント光源は、レーザダイオード(LD)、スーパールミネッセンスダイオード(SLD)などを用いた固体光源、短アークのランプ光源などである。例えば、レーザー光源を用いたプロジェクターは、レーザー光源の波長域が狭いために色再現範囲を十分に広くすることができ、小型化や構成部品の削減も可能である。   Various light sources are used as the light source of the illumination device, and a coherent light source that emits coherent light (coherent light) may be used. The coherent light source is a solid light source using a laser diode (LD), a super luminescence diode (SLD) or the like, a short arc lamp light source, or the like. For example, since a projector using a laser light source has a narrow wavelength range of the laser light source, the color reproduction range can be sufficiently widened, and the size and the number of components can be reduced.

ところで、コヒーレント光源を用いたプロジェクターにより表示を行うと、画像を観察する観察者に、いわゆるスペックルが認識されることがある。スペックルは、光の干渉により明点と暗点が縞模様あるいは斑模様に分布するパターンであり、観察者に対してぎらつき感を与え、画像鑑賞時に不快感を与えることがある。そのため、スペックルを認識されにくくする(以下、スペックルを「低減する」という)技術の案出が期待される。   By the way, when display is performed by a projector using a coherent light source, a so-called speckle may be recognized by an observer who observes an image. Speckle is a pattern in which bright spots and dark spots are distributed in a striped pattern or a spotted pattern due to light interference, which gives an observer a glare and may cause discomfort when viewing an image. Therefore, it is expected to devise a technique that makes it difficult to recognize speckle (hereinafter referred to as “reducing speckle”).

スペックルを低減する技術の一つとして、特許文献1には、投写レンズの瞳面上に形成されるスポットを、この瞳面上で光軸周りに回転させる技術が提案されている。特許文献1の技術によれば、スクリーン上の各点に入射する光線の角度分布が時間的に変化し、スペックのパターンが時間的に変化することになる。結果として、観察者にはスペックルが時間的に重畳(積分)されて観察され、スペックルが低減される。   As one of the techniques for reducing speckles, Patent Document 1 proposes a technique for rotating a spot formed on the pupil plane of a projection lens around the optical axis on the pupil plane. According to the technique of Patent Document 1, the angular distribution of rays incident on each point on the screen changes with time, and the spec pattern changes with time. As a result, speckles are observed and superimposed on the observer in terms of time (integration), and speckles are reduced.

特開2009−216843号公報JP 2009-216843 A

上述の技術には、スペックルを効果的に低減する上で、改善の余地がある。例えば、瞳面上で瞳像を移動させる手法では、瞳像自体のパターンは変化しないのでスペックルを十分に低減できない。また、投写レンズの有効瞳(有効径)を大きくしなければならないため、投写レンズの大型化、高コスト化を招く。本発明は、スペックルを効果的に低減できる照明装置、及びプロジェクターを提供することを目的とする。   The above-described technology has room for improvement in reducing speckle effectively. For example, in the method of moving the pupil image on the pupil surface, the speckle cannot be sufficiently reduced because the pattern of the pupil image itself does not change. In addition, since the effective pupil (effective diameter) of the projection lens must be increased, the projection lens is increased in size and cost. It is an object of the present invention to provide an illumination device and a projector that can effectively reduce speckle.

本発明の第1の態様の照明装置は、光源装置と、光源装置からの光が入射する重畳光学系と、光源装置から射出された光の重畳光学系への入射位置を時間的に変化させる光路シフト装置と、を備える。   The illumination device according to the first aspect of the present invention temporally changes a light source device, a superimposing optical system into which light from the light source device is incident, and an incident position of the light emitted from the light source device into the superimposing optical system. An optical path shift device.

この照明装置は、被照明領域上の各点に入射する光の角度分布が時間的に変化する。そのため、スペックルのパターンが時間的に変化し、スペックルのパターンが視認されにくくなる。   In this illuminating device, the angular distribution of light incident on each point on the illuminated region changes with time. Therefore, the speckle pattern changes with time, and the speckle pattern becomes difficult to be visually recognized.

第1の態様の照明装置において、光路シフト装置は、光源装置からの光を透過させ、重畳光学系の光軸の方向と交差する回転軸の周りに回転する第1プリズムを備えていてもよい。   In the illumination device of the first aspect, the optical path shift device may include a first prism that transmits light from the light source device and rotates around a rotation axis that intersects the direction of the optical axis of the superposition optical system. .

この照明装置は、第1プリズムの回転に伴って光源装置と均一化光学系との間の光路が変化するので、スペックルのパターンが視認されにくくなる。   In this illuminating device, the optical path between the light source device and the uniformizing optical system changes with the rotation of the first prism, so that the speckle pattern is less visible.

第1の態様の照明装置において、第1プリズムは、光源装置からの光が入射する第1面と、第1面に平行な第2面とを有していてもよい。   In the illumination device of the first aspect, the first prism may have a first surface on which light from the light source device is incident and a second surface parallel to the first surface.

この照明装置は、第1面に入射する際の光の光路と第2面から射出される際の光の光路とがほぼ平行になる。   In this illumination device, the optical path of light when entering the first surface and the optical path of light when exiting from the second surface are substantially parallel.

第1の態様の照明装置において、第1プリズムは、その回転軸に直交する断面形状が正方形であってもよい。   In the illumination device of the first aspect, the first prism may have a square cross-sectional shape orthogonal to the rotation axis.

この照明装置において、第1プリズムの各面に入射する際の光の光路と各面から射出される際の光の光路とがほぼ平行になる。また、この照明装置は、第1プリズムの断面形状が正方形であるので、この正方形の中心を通る軸周りでプリズムを回転させることで、回転に伴う振動の発生を抑制できる。   In this illumination device, the optical path of light when entering the surfaces of the first prism and the optical path of light when exiting from each surface are substantially parallel. Further, in this illumination device, since the first prism has a square cross-sectional shape, rotation of the prism around an axis passing through the center of the square can suppress the occurrence of vibration associated with the rotation.

第1の態様の照明装置において、第1プリズムは、その回転軸に直交する断面形状が長方形であってもよい。   In the illumination device according to the first aspect, the first prism may have a rectangular cross-sectional shape orthogonal to the rotation axis.

この照明装置において、第1プリズムの各面に入射する際の光の光路と各面から射出される際の光の光路とがほぼ平行になる。また、この照明装置は、第1プリズムの断面形状の長方形の長辺を含む面に光が入射する状態と、短辺を含む面に光が入射する状態とで光路の変化が異なる。そのため、この照明装置は、被照明領域の各点に入射する際の光の角度分布のバリエーションを増やすことができ、スペックルを格段に低減できる。   In this illumination device, the optical path of light when entering the surfaces of the first prism and the optical path of light when exiting from each surface are substantially parallel. Further, in this illumination device, the change in the optical path differs between a state in which light is incident on the surface including the long side of the rectangular shape of the first prism and a state in which light is incident on the surface including the short side. Therefore, this illuminating device can increase variations in the angular distribution of light when entering each point of the illuminated area, and can significantly reduce speckle.

第1の態様の照明装置において、第1プリズムの回転速度は、毎秒6回転以上であってもよい。   In the illumination device of the first aspect, the rotation speed of the first prism may be 6 rotations or more per second.

第1プリズムの断面形状が正方形または長方形である場合に、光源装置からの光は、第1プリズムが1回転する間に4つの面のいずれかに入射する。そのため、この照明装置は、被照明領域に入射する光の角度分布が1/24秒以下の期間に切り替わることになり、スペックルを格段に低減できる。   When the cross-sectional shape of the first prism is square or rectangular, the light from the light source device enters one of the four surfaces while the first prism rotates once. For this reason, in this illumination device, the angular distribution of light incident on the illuminated area is switched to a period of 1/24 seconds or less, and speckle can be significantly reduced.

第1の態様の照明装置において、光路シフト装置は、第1プリズムからの光を透過させ、重畳光学系の光軸の方向と交差する回転軸の周りに回転する第2プリズムを備えていてもよい。   In the illumination device according to the first aspect, the optical path shift device may include a second prism that transmits light from the first prism and rotates around a rotation axis that intersects the direction of the optical axis of the superposition optical system. Good.

この照明装置において、光路シフト装置による光路のシフト量は、第1プリズムの回転角および第2プリズムの回転角に応じて変化する。そのため、この照明装置は、光路のバリエーションを増やすことができ、被照明領域の各点に入射する際の光の角度分布のバリエーションを増やすことができるので、スペックルを格段に低減できる。   In this illumination device, the amount of shift of the optical path by the optical path shift device changes according to the rotation angle of the first prism and the rotation angle of the second prism. Therefore, this illumination device can increase variations in the optical path, and can increase variations in the angular distribution of light when entering each point of the illuminated area, so that speckle can be significantly reduced.

第1の態様の照明装置において、第2プリズムの回転軸は、第1プリズムの回転軸の方向と交差していてもよい。   In the illumination device of the first aspect, the rotation axis of the second prism may intersect the direction of the rotation axis of the first prism.

この照明装置は、第1プリズムの回転による光路のシフト方向と第2プリズムの回転による光路のシフト方向が異なるので、被照明領域の各点に入射する際の光の角度分布のバリエーションを増やすことができ、スペックルを格段に低減できる。   In this illumination device, the shift direction of the optical path due to the rotation of the first prism is different from the shift direction of the optical path due to the rotation of the second prism, so that the variation of the angular distribution of the light when entering each point of the illuminated area is increased. And speckle can be greatly reduced.

第1の態様の照明装置において、光源装置は、入射位置が変化する方向に対して交差する方向に配列された複数の光源を含んでいてもよい。   In the illumination device according to the first aspect, the light source device may include a plurality of light sources arranged in a direction crossing a direction in which the incident position changes.

この照明装置において、光源装置から射出される光は、複数の光源の配列方向に分布することになる。この照明装置は、光源装置から射出される光が分布する方向と交差する方向に光路を変化させるので、被照明領域の各点に入射する際の光の角度分布の変化量を増すことができ、スペックルを格段に低減できる。   In this lighting device, light emitted from the light source device is distributed in the arrangement direction of the plurality of light sources. Since this illumination device changes the optical path in the direction intersecting with the direction in which the light emitted from the light source device is distributed, the amount of change in the angular distribution of light when entering each point of the illuminated area can be increased. , Speckle can be greatly reduced.

第1の態様の照明装置は、第1の期間において、複数の光源のうち第1の光源の発光量が複数の光源のうち他の光源の発光量と異なり、第2の期間において、複数の光源のうち第2の光源の発光量が第1の期間における第2の光源の発光量と異なるように、光源装置を制御する光源制御装置を備えていてもよい。   In the lighting device of the first aspect, the light emission amount of the first light source among the plurality of light sources is different from the light emission amount of the other light sources among the plurality of light sources in the first period, and the plurality of light sources in the second period You may provide the light source control apparatus which controls a light source device so that the light emission amount of the 2nd light source among light sources may differ from the light emission amount of the 2nd light source in a 1st period.

この照明装置は、光源装置から射出される光のパターンが第1の期間と第2の期間とで変化するので、被照明領域の各点に入射する際の光の角度分布のバリエーションを増すことができ、スペックルを格段に低減できる。   In this illumination device, since the pattern of light emitted from the light source device changes between the first period and the second period, variations in the angular distribution of light when entering each point of the illuminated area are increased. And speckle can be greatly reduced.

第1の態様の照明装置において、光源制御装置は、複数の光源のうち互いに隣り合う光源の発光量のそれぞれをともに減少または増加させてもよい。   In the illumination device of the first aspect, the light source control device may reduce or increase each of the light emission amounts of the light sources adjacent to each other among the plurality of light sources.

この照明装置は、被照明領域の各点に入射する際の光の角度分布の変化量を増すことができ、スペックルを格段に低減できる。   This illuminating device can increase the amount of change in the angular distribution of light when entering each point of the illuminated region, and can significantly reduce speckle.

第1の態様の照明装置において、光源制御装置は、複数の光源のうち互いに隣り合う光源の、一方の光源の発光量を減少させる際に、互いに隣り合う光源の他方の光源の発光量を増加させてもよい。   In the illumination device of the first aspect, the light source control device increases the light emission amount of the other light source adjacent to each other when reducing the light emission amount of one of the light sources adjacent to each other among the plurality of light sources. You may let them.

この照明装置は、スペックルを低減できるとともに、一方の光源の発光量の減少分を他方の光源の発光量の増加分で補うことができ、光源装置から射出される光の光量の変化を抑制できる。   This lighting device can reduce speckles, and can compensate for the decrease in the amount of light emitted from one light source with the increase in the amount of light emitted from the other light source, suppressing changes in the amount of light emitted from the light source device. it can.

第1の態様の照明装置において、重畳光学系は、光路シフト装置からの光が入射する複数のレンズ要素を含むレンズアレイと、複数のレンズ要素のそれぞれからの光を被照明領域上で互いに重畳させる重畳レンズと、を含んでいてもよい。   In the illumination device of the first aspect, the superimposing optical system superimposes the lens array including a plurality of lens elements on which light from the optical path shift device is incident and the light from each of the plurality of lens elements on the illuminated area. And a superimposing lens to be included.

この照明装置は、光路シフト装置からの光をレンズアレイの複数のレンズ要素に空間的に振り分けるとともに、レンズ要素からの光を被照明領域にて重畳するので、被照明領域の照度分布を均一化できる。   This illuminating device spatially distributes the light from the optical path shift device to a plurality of lens elements of the lens array and superimposes the light from the lens elements in the illuminated area, so that the illuminance distribution in the illuminated area is made uniform it can.

第1の態様の照明装置において、重畳光学系は、光が入射する入射端面、及び該入射端面から入射した光が射出される射出端面を有する光学ロッドと、光学ロッドの射出端面と被照明領域とを光学的に共役にするリレー系と、を含んでいてもよい。   In the illumination device according to the first aspect, the superimposing optical system includes: an incident end face on which light is incident; an optical rod having an exit end face from which light incident from the incident end face is emitted; an exit end face of the optical rod; And a relay system that optically conjugates.

この照明装置は、光学ロッドの射出端面での照度分布が均一化され、この射出端面と被照明領域とが光学的に共役になるので、被照明領域での照度分布が均一化される。   In this illuminating device, the illuminance distribution on the exit end face of the optical rod is made uniform, and the exit end face and the illuminated area are optically conjugate, so the illuminance distribution in the illuminated area is made uniform.

本発明の第2の態様のプロジェクターは、第1の態様の照明装置の照明装置と、照明装置からの光により画像を形成する画像形成系と、画像形成系が形成した画像を投写する投写系と、を備える。   A projector according to a second aspect of the present invention includes an illumination device of the illumination device according to the first aspect, an image forming system that forms an image with light from the illumination device, and a projection system that projects an image formed by the image forming system. And comprising.

このプロジェクターは、画像の観察者にスペックルが視認されにくいので、画像を高品位で表現できる。   In this projector, speckles are not easily seen by the observer of the image, so that the image can be expressed with high quality.

本発明の第2の態様のプロジェクターにおいて、画像形成系は、被照明領域に配列される複数の画素のそれぞれに設けられた第1のマイクロレンズと、第1のマイクロレンズとともにアフォーカル光学系を構成する第2のマイクロレンズとを含んでいてもよい。   In the projector according to the second aspect of the present invention, the image forming system includes a first microlens provided in each of the plurality of pixels arranged in the illuminated region, and an afocal optical system together with the first microlens. A second microlens to be configured may be included.

このプロジェクターは、画像を示す光の角度分布が画像形成系で変化することが抑制されるので、画像が投写される投写面上の各点に入射する光の角度分布を高精度に制御でき、スペックルを効果的に低減できる。   Since this projector suppresses the change in the angle distribution of the light indicating the image in the image forming system, the angle distribution of the light incident on each point on the projection surface on which the image is projected can be controlled with high accuracy. Speckle can be effectively reduced.

第1実施形態のプロジェクターを示す図である。It is a figure which shows the projector of 1st Embodiment. 照明装置、画像形成装置、色合成系、及び投写系を示す図である。It is a figure which shows an illuminating device, an image forming apparatus, a color composition system, and a projection system. フレネル回折式中のパラメータの定義を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the definition of the parameter in a Fresnel diffraction type. 開口関数を時間的に変化させる原理を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the principle which changes an aperture function in time. 光路シフト装置による光路の変化を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the change of the optical path by an optical path shift apparatus. 第1変形例の光路シフト装置の第1プリズムを示す図である。It is a figure which shows the 1st prism of the optical path shift apparatus of a 1st modification. 第1プリズムの回転に伴う光路の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the optical path accompanying rotation of a 1st prism. 第2変形例による照明装置を示す図である。It is a figure which shows the illuminating device by a 2nd modification. 第3変形例による照明装置を示す図である。It is a figure which shows the illuminating device by a 3rd modification. 第4変形例による照明装置を示す図である。It is a figure which shows the illuminating device by a 4th modification. 第5変形例による照明装置の光源装置を示す図である。It is a figure which shows the light source device of the illuminating device by a 5th modification. レーザー光源の制御の一例を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows an example of control of a laser light source. 点灯パターンと発光パターンの時間的な変化を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the temporal change of a lighting pattern and a light emission pattern. 複数のレーザー光源の一部を消灯したときの瞳像の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the pupil image when a part of several laser light source is light-extinguished. 画像形成装置の一例を示す図である。1 is a diagram illustrating an example of an image forming apparatus. 画像形成装置の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of an image forming apparatus. 画像形成装置の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of an image forming apparatus. 画像形成装置の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of an image forming apparatus. 第2実施形態の照明装置および画像形成系を示す図である。It is a figure which shows the illuminating device and image forming system of 2nd Embodiment. 光学ロッドを示す図である。It is a figure which shows an optical rod. 光学ロッドおよびリレー光学系を示す図である。It is a figure which shows an optical rod and a relay optical system. 光学ロッドの入射端面に形成される光源像のパターンの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the pattern of the light source image formed in the incident end surface of an optical rod. 光源像のパターンに対応して形成される瞳像を示す図である。It is a figure which shows the pupil image formed corresponding to the pattern of a light source image.

[第1実施形態]
第1実施形態について説明する。ここでは、まず、本実施形態のプロジェクターの概略を説明し、次いで照明装置などのプロジェクターの各部の詳細について説明する。
[First Embodiment]
A first embodiment will be described. Here, the outline of the projector of this embodiment will be described first, and then the details of each part of the projector such as the illumination device will be described.

図1は、第1実施形態のプロジェクター1を示す図である。プロジェクター1は、DVDプレイヤー、PCなどの信号源から供給される画像データに従って画像を形成し、形成した画像をスクリーンや壁などの投写面SC(表示画面)に投写する。   FIG. 1 is a diagram illustrating a projector 1 according to the first embodiment. The projector 1 forms an image according to image data supplied from a signal source such as a DVD player or a PC, and projects the formed image onto a projection surface SC (display screen) such as a screen or a wall.

プロジェクター1は、照明系2と、照明系2からの照明光により画像を形成する画像形成系3と、画像形成系3が形成した画像を投写する投写系4と、プロジェクター1の各部を制御する制御系5とを備える。本実施形態のプロジェクター1は、いわゆる3板式のプロジェクターであり、赤緑青の各色の画像を個別に形成し、形成した3色の画像を色合成系6によって合成することで、フルカラーの画像を表現可能である。   The projector 1 controls an illumination system 2, an image forming system 3 that forms an image with illumination light from the illumination system 2, a projection system 4 that projects an image formed by the image forming system 3, and each part of the projector 1. And a control system 5. The projector 1 according to the present embodiment is a so-called three-plate projector, and forms a full-color image by individually forming images of each color of red, green, and blue, and combining the formed three-color images by the color composition system 6. Is possible.

照明系2は、赤色の照明光を射出する照明装置2aと、緑色の照明光を射出する照明装置2bと、青色の照明光を射出する照明装置2cとを含む。これら照明装置は、いずれも同様の構成であり、それぞれ光源装置7及び照明光学系8を含む。   The illumination system 2 includes an illumination device 2a that emits red illumination light, an illumination device 2b that emits green illumination light, and an illumination device 2c that emits blue illumination light. Each of these illumination devices has the same configuration, and includes a light source device 7 and an illumination optical system 8, respectively.

画像形成系3は、赤色の画像を形成する画像形成装置3aと、緑色の画像を形成する画像形成装置3bと、青色の画像を形成する画像形成装置3cとを含む。照明系2の各色用の照明装置と画像形成装置とは、1対1で対応している。   The image forming system 3 includes an image forming apparatus 3a that forms a red image, an image forming apparatus 3b that forms a green image, and an image forming apparatus 3c that forms a blue image. There is a one-to-one correspondence between the illumination device for each color of the illumination system 2 and the image forming apparatus.

各画像形成装置は、対応する各照明装置からの照明光により各色の画像を形成し、各色の画像に応じた画像光を射出する。例えば、赤色用の画像形成装置3aは、赤色用の照明装置2aからの照明光(赤色光)により、赤色の画像を形成する。画像形成装置3aは、画像に応じた光(画像光)を射出する。赤以外の色用の画像形成装置についても、赤色用の画像形成装置3aと同様に、形成した各色の画像に応じた各色の画像光を射出する。   Each image forming apparatus forms an image of each color with illumination light from each corresponding illumination device, and emits image light corresponding to the image of each color. For example, the red image forming apparatus 3a forms a red image with illumination light (red light) from the red illumination apparatus 2a. The image forming apparatus 3a emits light (image light) corresponding to the image. Similarly to the image forming apparatus 3a for red, the image forming apparatus for colors other than red emits image light of each color corresponding to the formed image of each color.

画像形成系3から射出された各色の画像光は、色合成系6に入射する。色合成系6は、例えばダイクロイックプリズムであり、入射光の波長に応じて入射光を反射又は透過させる2つの波長分離膜を含む。1つの波長分離膜は、赤色光と緑色光とを透過させるとともに青色光を反射させる特性である。もう一つの波長分離膜は、緑色光と青色光とを透過させるとともに赤色光を反射させる特性である。   The image light of each color emitted from the image forming system 3 enters the color synthesis system 6. The color composition system 6 is, for example, a dichroic prism, and includes two wavelength separation films that reflect or transmit incident light according to the wavelength of incident light. One wavelength separation film transmits red light and green light and reflects blue light. Another wavelength separation film has a characteristic of transmitting green light and blue light and reflecting red light.

画像形成系3から色合成系6に入射した各色光は、波長分離膜での反射または透過により、進行方向が揃って色合成系6から出射する。色合成系6から出射した画像光は、投写系4に入射する。投写系4は、いわゆる投写レンズであり、画像形成系3が形成した画像を投写面SCに拡大投写する。   Each color light incident on the color synthesis system 6 from the image forming system 3 is emitted from the color synthesis system 6 with the traveling direction aligned by reflection or transmission at the wavelength separation film. Image light emitted from the color synthesis system 6 enters the projection system 4. The projection system 4 is a so-called projection lens, and enlarges and projects the image formed by the image forming system 3 on the projection surface SC.

次に、プロジェクター1の各部について、より詳しく説明する。本実施形態において、各色用の照明装置はいずれも同様の構成であり、各色用の画像形成装置はいずれも同様の構成である。そのため、緑色の画像に対応するシステムの構成を代表的に説明し、他色の画像に対応するシステムの説明を簡略化あるいは省略することがある。   Next, each part of the projector 1 will be described in more detail. In the present embodiment, the illumination devices for each color have the same configuration, and the image forming apparatuses for each color have the same configuration. Therefore, the configuration of the system corresponding to the green image is typically described, and the description of the system corresponding to the other color image may be simplified or omitted.

図2は、照明装置2b、画像形成装置3b、色合成系6、及び投写系4を示す図である。照明装置2bは、画像形成装置3bにおける複数の画素が配列された領域を、ケーラー照明法などによりほぼ均一な明るさで照明する。照明装置2bは、被照明領域IRの各点に入射する光の角度分布を時間的に変化させることで、スペックルが視認されることを抑制できる。   FIG. 2 is a diagram showing the illumination device 2 b, the image forming device 3 b, the color composition system 6, and the projection system 4. The illuminating device 2b illuminates a region in which a plurality of pixels in the image forming device 3b are arranged with substantially uniform brightness by a Kohler illumination method or the like. The illumination device 2b can suppress the speckle from being visually recognized by temporally changing the angular distribution of the light incident on each point of the illuminated area IR.

照明装置2bは、光源装置7、及び照明光学系8を備える。照明光学系8は、光源装置7からの光の照度分布を被照明領域IR(画像形成装置3b)において均一化しつつ、被照明領域IR上の各点に入射する光の角度分布を時間的に変化させる。   The illumination device 2 b includes a light source device 7 and an illumination optical system 8. The illumination optical system 8 temporally changes the angular distribution of light incident on each point on the illuminated area IR while uniformizing the illuminance distribution of the light from the light source device 7 in the illuminated area IR (image forming apparatus 3b). Change.

光源装置7は、例えば、レーザー光源を含み、可干渉性を有する光として緑色のレーザー光を発する。   The light source device 7 includes, for example, a laser light source, and emits green laser light as coherent light.

照明光学系8は、光路シフト装置9および重畳光学系10を含む。本実施形態において、重畳光学系10は、フライアイレンズ13、フライアイレンズ14、及び重畳レンズ15を含む。光源装置7から射出された光は、光路シフト装置9を介して、重畳光学系10に含まれているフライアイレンズ13に入射する。光路シフト装置9は、光源装置7から射出された光のフライアイレンズ13への入射位置を時間的に変化させる。光路シフト装置9の詳細については、後述する。重畳光学系10は、光路シフト装置9を経由した光が入射する位置に配置され、被照明領域IRでの照度分布を均一化する。また、重畳光学系10は、重畳光学系10の互いに異なる位置に入射した光を、被照明領域IR上の各点で互いに重畳させる。   The illumination optical system 8 includes an optical path shift device 9 and a superimposing optical system 10. In the present embodiment, the superimposing optical system 10 includes a fly eye lens 13, a fly eye lens 14, and a superimposing lens 15. The light emitted from the light source device 7 enters the fly-eye lens 13 included in the superimposing optical system 10 via the optical path shift device 9. The optical path shift device 9 temporally changes the incident position of the light emitted from the light source device 7 on the fly-eye lens 13. Details of the optical path shift device 9 will be described later. The superimposing optical system 10 is disposed at a position where light passing through the optical path shift device 9 is incident, and uniformizes the illuminance distribution in the illuminated region IR. Further, the superimposing optical system 10 superimposes light incident on different positions of the superimposing optical system 10 at each point on the illuminated region IR.

フライアイレンズ13は、所定面に二次元的に配列された複数のレンズ要素13aを含む。複数のレンズ要素13aが配列される所定面は、光源装置7において光が射出される光射出領域7aを含む面とほぼ平行である。複数のレンズ要素13aが配列される所定面の法線方向を重畳光学系10の光軸15aとする。   The fly-eye lens 13 includes a plurality of lens elements 13a arranged two-dimensionally on a predetermined surface. The predetermined surface on which the plurality of lens elements 13 a are arranged is substantially parallel to the surface including the light emission region 7 a where light is emitted from the light source device 7. The normal direction of the predetermined surface on which the plurality of lens elements 13 a are arranged is defined as the optical axis 15 a of the superposition optical system 10.

複数のレンズ要素13aのそれぞれは、光源装置7の光射出領域7aを含む面と光学的に共役な面(以下、第1共役面16という)を形成する。換言すると、レンズ要素13aのそれぞれは、第1共役面16上に光源像(二次光源)を形成する。   Each of the plurality of lens elements 13a forms a surface optically conjugate with the surface including the light emission region 7a of the light source device 7 (hereinafter referred to as the first conjugate surface 16). In other words, each of the lens elements 13 a forms a light source image (secondary light source) on the first conjugate surface 16.

フライアイレンズ14は、二次元的に配列された複数のレンズ要素14aを含む。レンズ要素14aが配列される面は、フライアイレンズ13が形成する第1共役面16の位置またはその近傍に配置される。フライアイレンズ14のレンズ要素14aのそれぞれには光源像が形成され、フライアイレンズ14(第1共役面16)には複数の光源像を含む発光パターンが形成される。   The fly-eye lens 14 includes a plurality of lens elements 14a arranged two-dimensionally. The surface on which the lens elements 14a are arranged is disposed at or near the position of the first conjugate surface 16 formed by the fly-eye lens 13. A light source image is formed on each lens element 14a of the fly-eye lens 14, and a light emission pattern including a plurality of light source images is formed on the fly-eye lens 14 (first conjugate surface 16).

重畳レンズ15は、フライアイレンズ14のレンズ要素14aのそれぞれから射出された光を、ほぼ同一の領域(被照明領域IR)に重畳する。重畳レンズ15は、例えば、球面レンズや非球面レンズのような所定軸周りで回転対称な1または2以上のレンズを含む。この所定軸は、重畳レンズ15の光軸(照明光学系8の光軸)に相当し、光源装置7の光射出領域7a、フライアイレンズ13が形成する第1共役面16に対してほぼ垂直である。   The superimposing lens 15 superimposes the light emitted from each of the lens elements 14a of the fly-eye lens 14 on substantially the same region (illuminated region IR). The superimposing lens 15 includes, for example, one or more lenses that are rotationally symmetric about a predetermined axis, such as a spherical lens or an aspherical lens. The predetermined axis corresponds to the optical axis of the superimposing lens 15 (the optical axis of the illumination optical system 8), and is substantially perpendicular to the first conjugate surface 16 formed by the light emission region 7a of the light source device 7 and the fly-eye lens 13. It is.

本実施形態においては、フライアイレンズ14と重畳レンズ15との間の光路に、偏光変換素子11が設けられている。この偏光変換素子11は、画像形成装置3bに入射する光の偏光状態がほぼ直線偏光になるように、フライアイレンズ14から入射した光の偏光状態を変換する。また、本実施形態においては、重畳レンズ15と被照明領域IRとの間の光路中には、フィールドレンズ19が設けられている。   In the present embodiment, the polarization conversion element 11 is provided in the optical path between the fly-eye lens 14 and the superimposing lens 15. The polarization conversion element 11 converts the polarization state of the light incident from the fly-eye lens 14 so that the polarization state of the light incident on the image forming apparatus 3b is substantially linearly polarized light. In the present embodiment, a field lens 19 is provided in the optical path between the superimposing lens 15 and the illuminated area IR.

以上のような構成の照明光学系8は、光源装置7から射出されて光路シフト装置9を経由した光を、フライアイレンズ13のレンズ要素13aごとに複数の部分光束に分割する。照明光学系8は、フライアイレンズ13によって分割された複数の部分光束を、重畳レンズ15によって被照明領域IR上にて重畳する。そのため、被照明領域IR上での照度分布が均一化される。   The illumination optical system 8 configured as described above divides the light emitted from the light source device 7 and passed through the optical path shift device 9 into a plurality of partial light beams for each lens element 13 a of the fly-eye lens 13. The illumination optical system 8 superimposes a plurality of partial light beams divided by the fly-eye lens 13 on the illuminated area IR by the superimposing lens 15. Therefore, the illuminance distribution on the illuminated area IR is made uniform.

図2の画像形成装置3bは、例えば透過型の液晶ライトバルブであり、複数の画素を有する液晶パネル17と、液晶パネル17の入射側(光源装置7側)に配置された偏光板18aと、液晶パネル17の射出側(投写系4側)に配置された偏光板18bとを含む。偏光板18aの入射側における被照明領域IRの近傍には、フィールドレンズ19が配置されている。   An image forming apparatus 3b in FIG. 2 is, for example, a transmissive liquid crystal light valve, and includes a liquid crystal panel 17 having a plurality of pixels, a polarizing plate 18a disposed on the incident side (light source device 7 side) of the liquid crystal panel 17, And a polarizing plate 18b disposed on the exit side (projection system 4 side) of the liquid crystal panel 17. A field lens 19 is disposed in the vicinity of the illuminated region IR on the incident side of the polarizing plate 18a.

入射側の偏光板18aは、液晶パネル17において複数の画素が配列される面(以下、画素配置面という)に平行な第1方向の直線偏光を通し、第1方向に直交する第2方向の直線偏光を遮光(吸収)する。液晶パネル17は、画像制御装置20によって制御され、各画素に入射した光の偏光状態を画素ごとに変化させる(変調する)。画像制御装置20は、例えば図1に示した制御系5の一部である。   The incident-side polarizing plate 18a transmits linearly polarized light in a first direction parallel to a surface on which a plurality of pixels are arranged in the liquid crystal panel 17 (hereinafter referred to as a pixel arrangement surface), and extends in a second direction orthogonal to the first direction. Blocks (absorbs) linearly polarized light. The liquid crystal panel 17 is controlled by the image control device 20, and changes (modulates) the polarization state of light incident on each pixel for each pixel. The image control device 20 is a part of the control system 5 shown in FIG. 1, for example.

射出側の偏光板18bは、例えば、その透過軸が入射側の偏光板18aの透過軸と直交するように配置される。画像制御装置20は、画像データに基づいて液晶パネル17を制御して、各画素を通った光の偏光状態を制御することにより、偏光板18aと液晶パネル17と偏光板18bの透過率を画素ごとに制御する。このようにして、画像形成装置3bは、画像データに規定された画像を形成する。   The exit-side polarizing plate 18b is disposed, for example, so that its transmission axis is orthogonal to the transmission axis of the incident-side polarizing plate 18a. The image control device 20 controls the liquid crystal panel 17 based on the image data, and controls the polarization state of the light passing through each pixel, thereby changing the transmittance of the polarizing plate 18a, the liquid crystal panel 17 and the polarizing plate 18b to the pixel. Control every. In this way, the image forming apparatus 3b forms an image defined in the image data.

図1を参照して説明したように、画像形成装置3bから出射した画像光は、色合成系6を介して投写系4に入射する。投写系4は、画像形成装置3b(物体面)と光学的に共役な像面を形成し、この像面に配置される投写面SC上には、画像形成装置3bが形成した画像が投写される。   As described with reference to FIG. 1, the image light emitted from the image forming apparatus 3 b enters the projection system 4 via the color synthesis system 6. The projection system 4 forms an image plane optically conjugate with the image forming apparatus 3b (object plane), and the image formed by the image forming apparatus 3b is projected onto the projection plane SC arranged on this image plane. The

投写系4には、照明光の源になる光源像(フライアイレンズ14)と光学的に共役な第2共役面21が形成される。第2共役面21は、いわゆる瞳面であり、第2共役面21には、画像形成装置3bから射出された光の角度分布に応じたパターンのスポット(瞳像、角度像などとも呼ばれる)が形成される。   In the projection system 4, a second conjugate surface 21 optically conjugate with the light source image (fly eye lens 14) that becomes the source of illumination light is formed. The second conjugate plane 21 is a so-called pupil plane, and the second conjugate plane 21 has a spot (also called a pupil image, an angle image, etc.) of a pattern corresponding to the angular distribution of light emitted from the image forming apparatus 3b. It is formed.

ところで、可干渉性を有する光を照明に用いて画像を形成する場合には、例えば投写面SCを経由した画像光の干渉により、明点と暗点が縞模様あるいは斑模様に分布するパターン(スペックル)が視認されることがある。スペックルが画像の観察者に視認されると、観察者にぎらつき感を与えることがあり、画像表示の品位が低下することがある。   By the way, when an image is formed by using coherent light for illumination, for example, a pattern in which bright spots and dark spots are distributed in a striped pattern or a spotted pattern due to interference of image light via the projection plane SC ( Speckle) may be visible. When the speckle is visually recognized by an observer of the image, it may give the viewer a glare, and the quality of the image display may be deteriorated.

スペックルを視認されにくくする方式の一つに、スクリーン上のスペックルのパターンを時間的に変化させる時間多重方式が挙げられる。この方式では、観察者が視認できないほどの周波数(例えば、24Hz以上)でスペックルのパターンを変化させることで、時間積分されたスペックルのコントラストが低下し、観察者には特定の明暗のパターンが視認されにくい。例えば、無相関のパターンが1/24秒以下の間にN回切り替わるとスペックルのコントラストは、1/√Nに低下する。   One of the methods for making the speckles less visible is a time multiplexing method in which the speckle pattern on the screen is temporally changed. In this method, the speckle pattern is changed at a frequency that cannot be visually recognized by the observer (for example, 24 Hz or more), so that the time-integrated speckle contrast decreases, and the observer has a specific light-dark pattern. Is difficult to see. For example, if the uncorrelated pattern is switched N times within 1/24 seconds or less, the speckle contrast is reduced to 1 / √N.

ここで、図3および下記の式(1)を参照しつつ、スペックルのパターンについて説明する。図3は、フレネル回折式(下記の式(1))中のパラメータの定義を説明するための図である。   Here, the speckle pattern will be described with reference to FIG. 3 and the following equation (1). FIG. 3 is a diagram for explaining the definition of parameters in the Fresnel diffraction equation (the following equation (1)).

Figure 2014164175
Figure 2014164175

図3において、符号x、yは第2共役面21(投写系4の瞳面)上の座標を示し、符号x’、y’は投写面SC(スクリーン)上の座標を示す。ここでは、説明の便宜上、第2共役面21および投写面SCがXY平面(図2参照)と平行であるものとする。XY平面は光軸15aと直交する平面である。図3中の符号Rは、第2共役面21から投写面SCまでの距離を示す。   In FIG. 3, symbols x and y indicate coordinates on the second conjugate plane 21 (the pupil plane of the projection system 4), and symbols x 'and y' indicate coordinates on the projection plane SC (screen). Here, for convenience of explanation, it is assumed that the second conjugate plane 21 and the projection plane SC are parallel to the XY plane (see FIG. 2). The XY plane is a plane orthogonal to the optical axis 15a. A symbol R in FIG. 3 indicates a distance from the second conjugate plane 21 to the projection plane SC.

下記の式(1)は、いわゆるフレネル回折式であり、左辺のu(x’,y’)は投写面SC上の振幅分布、右辺のAは振幅、iは虚数単位、kは波数(伝播定数)、λは画像光の波長、f(x,y)は開口関数である。スペックルのパターンは、投写面SC上の振幅分布u(x’,y’)と対応関係があることから、開口関数f(x,y)に応じて変化すると類推される。本実施形態の照明装置は、第2共役面21上での明暗のパターンを示す開口関数f(x,y)を時間的に変化させることにより、スペックルのパターンを変化させ、スペックルを低減できる。   The following equation (1) is a so-called Fresnel diffraction equation, u (x ′, y ′) on the left side is the amplitude distribution on the projection surface SC, A on the right side is the amplitude, i is the imaginary unit, and k is the wave number (propagation). Constant), λ is the wavelength of the image light, and f (x, y) is the aperture function. Since the speckle pattern has a corresponding relationship with the amplitude distribution u (x ′, y ′) on the projection surface SC, it is assumed that the speckle pattern changes according to the aperture function f (x, y). The illumination device according to the present embodiment changes the speckle pattern by temporally changing the aperture function f (x, y) indicating the bright and dark pattern on the second conjugate plane 21, thereby reducing speckle. it can.

図4は、開口関数f(x,y)を時間的に変化させる原理を説明するための図である。図4において、符号13a1および符号13a2は、それぞれ、フライアイレンズ13の複数のレンズ要素13aから任意に選択される1つのレンズ要素を示す。同様に、符号14a1および符号14a2は、それぞれ、フライアイレンズ14の複数のレンズ要素14aから任意に選択される1つのレンズ要素を示す。   FIG. 4 is a diagram for explaining the principle of changing the aperture function f (x, y) with time. In FIG. 4, reference numerals 13 a 1 and 13 a 2 indicate one lens element arbitrarily selected from the plurality of lens elements 13 a of the fly-eye lens 13. Similarly, reference numerals 14a1 and 14a2 denote one lens element arbitrarily selected from the plurality of lens elements 14a of the fly-eye lens 14, respectively.

レンズ要素13a1から射出された光(以下、部分光束Laという)は、レンズ要素14a1を通って、被照明領域IRの全体に照射される。レンズ要素13a2から射出された光(以下、部分光束Lbという)は、レンズ要素14a2を通って、被照明領域IRの全体に照射される。   Light emitted from the lens element 13a1 (hereinafter referred to as a partial light beam La) passes through the lens element 14a1 and is irradiated on the entire illuminated area IR. Light emitted from the lens element 13a2 (hereinafter referred to as a partial light beam Lb) passes through the lens element 14a2 and is irradiated to the entire illuminated area IR.

ここで、部分光束Laの光量と部分光束Lbの光量の和が一定である状態においては、部分光束Laの光量と部分光束Lbの光量が変化した場合であっても、被照明領域IRでの明るさが変化しない。一方で、被照明領域IR上の各点に入射する光の角度分布は、被照明領域IRに対するレンズ要素14a1の相対位置と、被照明領域IRに対するレンズ要素14a2の相対位置とが異なるので、部分光束Laと部分光束Lbの光量の変化に応じて変化する。   Here, in a state where the sum of the light amount of the partial light beam La and the light amount of the partial light beam Lb is constant, even if the light amount of the partial light beam La and the light amount of the partial light beam Lb are changed, The brightness does not change. On the other hand, the angular distribution of the light incident on each point on the illuminated area IR is different from the relative position of the lens element 14a1 with respect to the illuminated area IR and the relative position of the lens element 14a2 with respect to the illuminated area IR. It changes according to the change of the light quantity of the light beam La and the partial light beam Lb.

すなわち、フライアイレンズ13に入射する際の光のパターン(光強度の空間分布)が時間的に変化することで、フライアイレンズ14に形成される光源像のパターンが時間的に変化し、この光源像と光学的に共役な第2共役面21(投写系4の瞳面)上での瞳像のパターンすなわち開口関数f(x,y)が時間的に変化する。   That is, the light pattern (spatial distribution of light intensity) when entering the fly-eye lens 13 changes with time, so that the pattern of the light source image formed on the fly-eye lens 14 changes with time. The pattern of the pupil image on the second conjugate plane 21 (the pupil plane of the projection system 4) optically conjugate with the light source image, that is, the aperture function f (x, y) changes with time.

本実施形態の照明系2(照明装置2b)は、光源装置7とフライアイレンズ13(重畳光学系10)との間の光路上に光路シフト装置9を備える。光路シフト装置9は、光源装置7から射出された光のフライアイレンズ13(重畳光学系10)への入射位置を時間的に変化させる。これにより、フライアイレンズ13に入射する光のパターンが時間的に変化し、結果として開口関数f(x,y)が時間的に変化する。   The illumination system 2 (illumination device 2b) of this embodiment includes an optical path shift device 9 on the optical path between the light source device 7 and the fly-eye lens 13 (superimposing optical system 10). The optical path shift device 9 temporally changes the incident position of the light emitted from the light source device 7 to the fly-eye lens 13 (superimposing optical system 10). Thereby, the pattern of the light incident on the fly-eye lens 13 changes with time, and as a result, the aperture function f (x, y) changes with time.

次に、光路シフト装置9について詳しく説明する。図2に示すように、光路シフト装置9は、重畳光学系10の光軸15aの方向と交差する回転軸50の周りに回転する第1プリズム51を備える。第1プリズム51は、光軸15aに垂直な回転軸50の周りで回転可能に設けられており、電動モーターなどの駆動部52から供給されるトルクによって回転する。   Next, the optical path shift device 9 will be described in detail. As shown in FIG. 2, the optical path shift device 9 includes a first prism 51 that rotates around a rotation axis 50 that intersects the direction of the optical axis 15 a of the superimposing optical system 10. The first prism 51 is provided so as to be rotatable around a rotation axis 50 perpendicular to the optical axis 15a, and is rotated by torque supplied from a drive unit 52 such as an electric motor.

第1プリズム51は、光源装置7からの光が入射する位置に配置されており、光源装置7からの光を透過させる。第1プリズム51は、光源装置からの光が入射する第1面51aと、第1面に平行な第2面51bとを有する。本実施形態において、第1プリズム51は、回転軸50に直交する断面形状が正方形状であり、第1面51aに垂直な第3面51cおよび第4面51dを有する。第3面51cと第4面51dは、互いに平行である。回転軸50は、例えば、第1プリズム51の回転軸50に直交する断面(正方形)の中心(重心)を通る軸である。   The first prism 51 is disposed at a position where the light from the light source device 7 is incident, and transmits the light from the light source device 7. The 1st prism 51 has the 1st surface 51a in which the light from a light source device injects, and the 2nd surface 51b parallel to a 1st surface. In the present embodiment, the first prism 51 has a square cross section perpendicular to the rotation axis 50, and has a third surface 51c and a fourth surface 51d perpendicular to the first surface 51a. The third surface 51c and the fourth surface 51d are parallel to each other. The rotation axis 50 is an axis that passes through the center (center of gravity) of a cross section (square) orthogonal to the rotation axis 50 of the first prism 51, for example.

図5は、光路シフト装置9による光路の変化を説明するための図である。図5において、第1プリズム51の回転角は、光源装置7からの光が第1面51aの法線方向から第1面51aに入射する回転位置を基準位置(0°)とした場合の、基準位置からの第1プリズム51の回転位置を示す。   FIG. 5 is a diagram for explaining the change of the optical path by the optical path shift device 9. In FIG. 5, the rotation angle of the first prism 51 is obtained when the rotation position where the light from the light source device 7 is incident on the first surface 51a from the normal direction of the first surface 51a is the reference position (0 °). The rotational position of the first prism 51 from the reference position is shown.

図5において、回転角が0°の状態において第1面51aに入射した光は、第1プリズム51の内部を通って第2面51bから射出される。回転角が0度の状態においては、第1面51aへ入射する光が第1面51aおよび第2面51bで屈折しないので、第1面51aへの入射側の光路(以下、入射側光路Lx1という)と第2面51bからの射出側の光路(以下、射出側光路Lx2という)とは、同軸である。   In FIG. 5, the light incident on the first surface 51 a in a state where the rotation angle is 0 ° is emitted from the second surface 51 b through the inside of the first prism 51. In the state where the rotation angle is 0 degree, the light incident on the first surface 51a is not refracted by the first surface 51a and the second surface 51b, so that the light path on the incident side to the first surface 51a (hereinafter referred to as the incident-side optical path Lx1). And the exit-side optical path from the second surface 51b (hereinafter referred to as the exit-side optical path Lx2) are coaxial.

光源装置7からの光は、回転角が所定の角度以下(例えば、15°)の状態において、そのほとんどが第1面51aに入射する。第1面51aに入射した光は、第1面51aと第2面51bとで屈折して、第2面51bから射出される。本実施形態において、第1面51aと第2面51bは互いに平行であるので、入射側光路Lx1と射出側光路Lx2は、互いに平行である。また光軸15a(Z軸方向)の方向と交差する方向(ここではX軸方向)の位置が互いにずれている。つまり、射出側光路Lx2は入射側光路Lx1からX軸方向にシフトしている。   Most of the light from the light source device 7 is incident on the first surface 51a when the rotation angle is not more than a predetermined angle (for example, 15 °). The light incident on the first surface 51a is refracted by the first surface 51a and the second surface 51b and is emitted from the second surface 51b. In the present embodiment, since the first surface 51a and the second surface 51b are parallel to each other, the incident side optical path Lx1 and the emission side optical path Lx2 are parallel to each other. The positions in the direction (here, the X-axis direction) intersecting the direction of the optical axis 15a (Z-axis direction) are shifted from each other. That is, the emission side optical path Lx2 is shifted from the incident side optical path Lx1 in the X-axis direction.

入射側光路Lx1と射出側光路Lx2とのシフト量(以下、光路シフト量dという)は、第1プリズム51の屈折率と、第1面51aと第2面51bとの間隔と、第1プリズム51の回転角によって定まる。換言すると、光路シフト量は、第1プリズム51の回転角に応じて変化し、第1プリズム51の回転角が時間的に変化することで光路シフト量dも時間的に変化する。   The shift amount between the incident side optical path Lx1 and the exit side optical path Lx2 (hereinafter referred to as the optical path shift amount d) includes the refractive index of the first prism 51, the distance between the first surface 51a and the second surface 51b, and the first prism. It is determined by the rotation angle of 51. In other words, the optical path shift amount changes according to the rotation angle of the first prism 51, and the optical path shift amount d also changes with time as the rotation angle of the first prism 51 changes with time.

回転角が所定の角度以上(例えば、30°)になると、光源装置7からの光は、第1面51aと第3面51cとに入射するようになる。光源装置7からの光のうち第1面51aに入射した光(以下、第1部分光Baという)は、第1面51aおよび第2面51bで屈折して、その射出側光路が第1部分光Baの入射側光路に対してX軸方向にシフトする。光源装置7からの光のうち第3面51cに入射した光(以下、第2部分光Bbという)は、第3面51cおよび第4面51dで屈折して、その射出側光路が第2部分光Bbの入射側光路に対してX軸方向にシフトする。第1部分光Baの射出側光路と第2部分光Bbの射出側光路は、X軸方向の位置が互いにずれており、ここでは互いに重複しない光路である。   When the rotation angle is equal to or greater than a predetermined angle (for example, 30 °), the light from the light source device 7 enters the first surface 51a and the third surface 51c. Of the light from the light source device 7, the light incident on the first surface 51 a (hereinafter referred to as the first partial light Ba) is refracted by the first surface 51 a and the second surface 51 b, and its emission side optical path is the first portion. Shift in the X-axis direction with respect to the incident-side optical path of the light Ba. Of the light from the light source device 7, the light incident on the third surface 51c (hereinafter referred to as the second partial light Bb) is refracted by the third surface 51c and the fourth surface 51d, and the emission side optical path is the second portion. Shift in the X-axis direction with respect to the incident side optical path of the light Bb. The exit-side optical path of the first partial light Ba and the exit-side optical path of the second partial light Bb are offset from each other in the X-axis direction, and here are optical paths that do not overlap each other.

回転角が所定の角度よりも大きくなるにつれて、第1面51aに入射する光の光量(光源装置7からの光に対する第1部分光Baの割合)が減少するとともに、第3面51cに入射する光の光量(光源装置7からの光に対する第2部分光Bbの割合)が増加する。ここでは、回転角が45°になると、光源装置7からの光の約半分が第1面51aに入射し、残りの約半分が第3面51cに入射する。回転角が約45°である状態において、第1部分光Baの射出側光路と第2部分光Bbの射出側光路は、第1プリズム51の回転軸50と光の進行方向を含む面に関して、対称的になる。   As the rotation angle becomes larger than a predetermined angle, the amount of light incident on the first surface 51a (ratio of the first partial light Ba to the light from the light source device 7) decreases and enters the third surface 51c. The amount of light (the ratio of the second partial light Bb to the light from the light source device 7) increases. Here, when the rotation angle is 45 °, about half of the light from the light source device 7 is incident on the first surface 51a, and the remaining half is incident on the third surface 51c. In a state where the rotation angle is about 45 °, the exit side optical path of the first partial light Ba and the exit side optical path of the second partial light Bb are related to the rotation axis 50 of the first prism 51 and the plane including the light traveling direction. Become symmetrical.

また、第1部分光Baの射出側光路と第2部分光Bbの射出側光路は、回転角が45°から90°まで変化する間に、回転角が0°から45°まで変化する間の光路の変化の態様とYZ面に関して対称的に変化する。例えば、回転角が60°(45°+15°)である状態の第1部分光Baの射出側光路は、30°(45°−15°)である状態の第1部分光Baの射出側光路に対し、YZ面に関して対称的になる。回転角が90°になると、光源装置7からの光が第3面51cに対して法線方向から入射するようになり、回転角が0°の状態と同じ状態になる。このようにして、光路シフト装置9は、光源装置7から射出された光のフライアイレンズ13(重畳光学系10)への入射位置を時間的に変化させる。   In addition, the emission side optical path of the first partial light Ba and the emission side optical path of the second partial light Bb are between the rotation angles changing from 0 ° to 45 ° while the rotation angles change from 45 ° to 90 °. It changes symmetrically with respect to the change of the optical path and the YZ plane. For example, the emission side optical path of the first partial light Ba in a state where the rotation angle is 60 ° (45 ° + 15 °) is the emission side optical path of the first partial light Ba in a state of 30 ° (45 ° −15 °). On the other hand, it becomes symmetrical with respect to the YZ plane. When the rotation angle reaches 90 °, the light from the light source device 7 enters the third surface 51c from the normal direction, which is the same as the state where the rotation angle is 0 °. In this way, the optical path shift device 9 temporally changes the incident position of the light emitted from the light source device 7 to the fly-eye lens 13 (superimposing optical system 10).

光路シフト装置9は、回転角が90°変化する間に、回転角が0°から90°まで変化するときと同様に光源装置7から射出された光のフライアイレンズ13(重畳光学系10)への入射位置を変化させる。第1プリズム51が1回転する間に4周期分の入射位置の変化を行う。そのため、第1プリズム51の回転速度を毎秒6回転以上にすると、入射位置が1秒間に24回以上(1周期が1/24秒以下)変化し、被照明領域IRの各点に入射する光の角度分布が1/24秒以下の周期で変化する。その結果、スペックルのパターンが、人間が識別できる速度以上(周期が1/24秒以下)で変化し、観察者に固定のパターンとして視認されにくくなる。   The optical path shift device 9 has a fly-eye lens 13 (superimposing optical system 10) for light emitted from the light source device 7 in the same manner as when the rotation angle changes from 0 ° to 90 ° while the rotation angle changes by 90 °. Change the incident position to. While the first prism 51 makes one rotation, the incident position is changed for four periods. Therefore, when the rotation speed of the first prism 51 is set to 6 rotations per second or more, the incident position changes 24 times or more per second (one cycle is 1/24 seconds or less), and the light incident on each point of the illuminated region IR. The angular distribution changes with a period of 1/24 seconds or less. As a result, the speckle pattern changes at a speed higher than a human-identifiable speed (period is 1/24 seconds or less), and is less likely to be visually recognized by a viewer as a fixed pattern.

以上のような構成の本実施形態の照明装置2bは、光路シフト装置9により、重畳光学系10に入射する光の位置すなわち照射パターンを時間的に変化させるので、瞳像のパターン(開口関数f(x,y))を時間的に変化させることができ、スペックルを効果的に低減できる。また、この照明装置2bを備えるプロジェクター1は、画像の観察者にスペックルが視認されにくいので、画像の表示品質の低下を抑制できる。   In the illuminating device 2b of the present embodiment configured as described above, the position of the light incident on the superimposing optical system 10, that is, the irradiation pattern, is temporally changed by the optical path shift device 9, so that the pupil image pattern (aperture function f (X, y)) can be changed with time, and speckle can be effectively reduced. Moreover, since the projector 1 provided with this illumination device 2b is difficult for the viewer of the image to see the speckles, it is possible to suppress the deterioration of the display quality of the image.

また、プロジェクター1は、投写系4の外部の装置(照明装置2b)により瞳像のパターンを時間的に変化させるので、投写される光の角度分布を調整する装置を投写系4に設ける場合と比較して、投写系4の大型化、高コスト化などを避けることができる。また、プロジェクター1は、投写面SCの瞳面上で固定のパターンの瞳像を移動させる方式と比較して、投写系4の瞳面の有効径を広げる必要性が低いので、投写系4の大型化、高コスト化などを避けることができる。   In addition, since the projector 1 temporally changes the pattern of the pupil image by a device outside the projection system 4 (illumination device 2b), a device for adjusting the angle distribution of the projected light is provided in the projection system 4. In comparison, an increase in the size and cost of the projection system 4 can be avoided. Further, the projector 1 is less required to increase the effective diameter of the pupil plane of the projection system 4 than the method of moving a fixed pattern pupil image on the pupil plane of the projection plane SC. Larger and higher cost can be avoided.

次に、照明装置2bの変形例について説明する。   Next, a modified example of the lighting device 2b will be described.

[第1変形例]
図6は、第1変形例の光路シフト装置9の第1プリズム51を示す図である。本変形例において、第1プリズム51は、その回転軸に直交する断面形状が長方形であり、断面形状の長辺の長さが短辺の長さと異なる。第1プリズム51は、断面形状の長方形のうちの長辺を含む第1面51aおよび第2面51bと、断面形状の長方形のうちの短辺を含む第3面51cおよび第4面51dとを有する。第1面51aと第2面51bとの間隔は、断面形状の短辺の長さに相当し、第3面51cと第4面51dとの間隔は、断面形状の長辺の長さに相当する。
[First Modification]
FIG. 6 is a diagram illustrating the first prism 51 of the optical path shift device 9 of the first modification. In the present modification, the first prism 51 has a rectangular cross-sectional shape orthogonal to the rotation axis, and the long side length of the cross-sectional shape is different from the short side length. The first prism 51 includes a first surface 51a and a second surface 51b including long sides of a cross-sectional rectangle, and a third surface 51c and a fourth surface 51d including short sides of the cross-sectional rectangle. Have. The distance between the first surface 51a and the second surface 51b corresponds to the length of the short side of the cross-sectional shape, and the distance between the third surface 51c and the fourth surface 51d corresponds to the length of the long side of the cross-sectional shape. To do.

第1プリズム51の入射側光路と射出側光路との光路シフト量は、第1プリズム51において光が入射してくる面と、この面に入射した光が第1プリズム51から射出される面との間隔に応じた量である。そのため、長辺を含む第1面51aに入射する光の光路シフト量d1は、短辺を含む第3面51cに入射する光の光路シフト量d2と異なる。   The optical path shift amount between the incident-side optical path and the exit-side optical path of the first prism 51 is based on the surface on which light is incident on the first prism 51 and the surface on which light incident on this surface is emitted from the first prism 51. It is an amount according to the interval. Therefore, the optical path shift amount d1 of the light incident on the first surface 51a including the long side is different from the optical path shift amount d2 of the light incident on the third surface 51c including the short side.

図7は、第1プリズム51の回転に伴う光路の変化を示す図である。図7(a)には、第1プリズム51の回転軸に直交する断面形状が正方形である場合の光路変化を示し、図7(b)には、第1プリズム51の回転軸に直交する断面形状が長方形である場合の光路変化を示した。   FIG. 7 is a diagram showing a change in the optical path accompanying the rotation of the first prism 51. 7A shows an optical path change when the cross-sectional shape orthogonal to the rotation axis of the first prism 51 is a square, and FIG. 7B shows a cross-section orthogonal to the rotation axis of the first prism 51. The optical path change when the shape is rectangular is shown.

図7(a)に示すように、第1プリズム51の断面形状が正方形である場合の光路変化は、回転角が0°から45°まで変化する間の態様(第1態様)と、回転角が45°から90まで変化する間の態様(第2態様)を含み、第1態様と第2態様は、前述したようにYZ面に平行な面に関して対称的である。   As shown in FIG. 7A, the optical path change when the cross-sectional shape of the first prism 51 is square includes a mode (first mode) during which the rotation angle changes from 0 ° to 45 °, and a rotation angle. Includes a mode (second mode) during which the angle changes from 45 ° to 90 °, and the first mode and the second mode are symmetrical with respect to a plane parallel to the YZ plane as described above.

図7(b)に示すように、第1プリズム51の断面形状が長方形である場合の光路変化は、回転角が0°から45°まで変化する間の態様と、回転角が45°から90まで変化する間の態様とが、YZ面に平行な面に関して非対称的である。そのため、断面形状が正方形である場合よりも光路変化のバリエーションが多様になり、被照明領域IRの各点に入射する光の角度分布の変化のバリエーションが多様になる。その結果、スペックルのパターンの変化のバリエーションが多様になり、スペックルを効果的に低減できる。   As shown in FIG. 7B, the optical path change when the cross-sectional shape of the first prism 51 is rectangular includes a mode in which the rotation angle changes from 0 ° to 45 °, and a rotation angle from 45 ° to 90 °. The aspect while changing to is asymmetric with respect to a plane parallel to the YZ plane. Therefore, the variation of the optical path change is more diversified than the case where the cross-sectional shape is a square, and the variation of the change of the angular distribution of the light incident on each point of the illuminated region IR is diversified. As a result, the variation of the change of the speckle pattern is diversified, and the speckle can be effectively reduced.

なお、第1プリズム51の回転軸50(図2参照)に直交する面における第1プリズム51の断面形状は、矩形でなくてもよい。第1プリズム51として互いに平行な面を有するものを用いる場合には、断面形状が矩形のプリズムの他に平行四辺形、ひし形、台形、六角形、八角形などの多角形のプリズム、また、多角形の角を丸めた形状のプリズムなどを用いることができる。また、第1プリズム51として互いに平行な面を有していなくてもよく、第1プリズム51の形状は、第1プリズム51からの光を重畳光学系10がのみこめるように適宜変更できる。   Note that the cross-sectional shape of the first prism 51 on the surface orthogonal to the rotation axis 50 (see FIG. 2) of the first prism 51 may not be rectangular. When the first prism 51 having parallel surfaces is used, in addition to a prism having a rectangular cross-sectional shape, a polygonal prism such as a parallelogram, rhombus, trapezoid, hexagon, octagon, etc. A prism having a rounded corner shape or the like can be used. Further, the first prism 51 may not have surfaces parallel to each other, and the shape of the first prism 51 can be changed as appropriate so that the superimposing optical system 10 can swallow light from the first prism 51.

[第2変形例]
図8は、第2変形例による照明装置2bを示す図である。この照明装置2bにおいて、光路シフト装置9は、第1プリズム51からの光が入射する位置に配置された第2プリズム53を備える。
[Second Modification]
FIG. 8 is a diagram illustrating an illumination device 2b according to a second modification. In the illumination device 2b, the optical path shift device 9 includes a second prism 53 disposed at a position where light from the first prism 51 enters.

第2プリズム53は、光軸15aの方向と交差する回転軸54の周りで回転可能なように設けられている。第2プリズム53は、電動モータ等の駆動部から供給されるトルクによって、回転軸54の周りに回転する。本変形例において、第2プリズム53の回転軸54は、第1プリズム51の回転軸50とほぼ平行である。回転軸54は、例えば、回転軸54に直交する断面での第2プリズム53の形状の中心(重心)を通るように設定される。回転軸54に直交する面での第2プリズム53の断面形状は、本変形例においては正方形であるが、第1変形例で説明したような長方形でもよいし、矩形以外の形状でもよい。   The second prism 53 is provided so as to be rotatable around a rotation axis 54 that intersects the direction of the optical axis 15a. The second prism 53 rotates around the rotation shaft 54 by torque supplied from a drive unit such as an electric motor. In this modification, the rotation axis 54 of the second prism 53 is substantially parallel to the rotation axis 50 of the first prism 51. The rotating shaft 54 is set so as to pass through the center (center of gravity) of the shape of the second prism 53 in a cross section orthogonal to the rotating shaft 54, for example. The cross-sectional shape of the second prism 53 on the plane orthogonal to the rotation axis 54 is a square in the present modification, but may be a rectangle as described in the first modification, or a shape other than a rectangle.

第2プリズム53は、第1プリズム51からの光を透過させる。第2プリズム53は、第1プリズム51と同様の原理により、第1プリズム51と重畳光学系10との間の光路を時間的に変化させる。本変形例において、重畳光学系10に入射する光の入射位置が変化(シフト)する方向は、光軸15a(Z軸方向)に垂直、かつ第1プリズム51の回転軸50(Y軸方向)に垂直な方向(X軸方向)である。   The second prism 53 transmits the light from the first prism 51. The second prism 53 temporally changes the optical path between the first prism 51 and the superimposing optical system 10 based on the same principle as the first prism 51. In this modification, the direction in which the incident position of light incident on the superposition optical system 10 changes (shifts) is perpendicular to the optical axis 15a (Z-axis direction) and the rotation axis 50 (Y-axis direction) of the first prism 51. Is a direction perpendicular to (X-axis direction).

本変形例において、第2プリズム53を介して重畳光学系10に入射する際の光の光路は、第1プリズム51の回転角および第2プリズム53の回転角に応じて変化する。そのため、本変形例の照明装置2bは、光路変化のバリエーションが多様になり、被照明領域IRの各点に入射する光の角度分布の変化のバリエーションが多様になる。結果として、スペックルのパターンの変化のバリエーションが多様になり、スペックルを効果的に低減できる。   In this modification, the optical path of light when entering the superimposing optical system 10 via the second prism 53 changes according to the rotation angle of the first prism 51 and the rotation angle of the second prism 53. For this reason, the illumination device 2b of the present modification has various variations in optical path changes, and various variations in the angular distribution of light incident on each point of the illuminated region IR. As a result, the variation of the change in the speckle pattern is diversified, and the speckle can be effectively reduced.

なお、第2プリズム53の回転角は、重畳光学系10に入射する光の入射位置が時間的に変化するように、適宜設定される。例えば、第2プリズム53の回転角は、第1プリズム51の回転角と常に同じでもよい。例えば、第2プリズム53は、図5と同様の定義の回転角が第1プリズム51の回転角と同じ状態から、第1プリズム51と同じ回転速度で回転すると、第1プリズム51と回転角が常に同じになる。   The rotation angle of the second prism 53 is appropriately set so that the incident position of the light incident on the superimposing optical system 10 changes with time. For example, the rotation angle of the second prism 53 may always be the same as the rotation angle of the first prism 51. For example, when the second prism 53 rotates at the same rotational speed as that of the first prism 51 from a state in which the rotational angle defined in the same manner as in FIG. It will always be the same.

また、第2プリズム53の回転角は、回転中の一部で第1プリズム51の回転角と異なっていてもよい。例えば、第2プリズム53は、回転角が第1プリズム51の回転角と同じ状態から、第1プリズム51と異なる回転速度で回転すると、回転中の一部で第1プリズム51と回転角が異なることになる。   Further, the rotation angle of the second prism 53 may be different from the rotation angle of the first prism 51 in a part during rotation. For example, when the rotation angle of the second prism 53 is the same as the rotation angle of the first prism 51 and rotates at a rotation speed different from that of the first prism 51, the rotation angle of the second prism 53 is different from that of the first prism 51. It will be.

また、第2プリズム53の回転角は、回転中に常に第1プリズム51の回転角と異なっていてもよい。例えば、第2プリズム53は、回転角が第1プリズム51の回転角と異なる状態から、第1プリズム51と同じ回転速度で回転すると、回転中に常に第1プリズム51と回転角が異なることになる。   Further, the rotation angle of the second prism 53 may always be different from the rotation angle of the first prism 51 during the rotation. For example, when the second prism 53 rotates at the same rotational speed as the first prism 51 from a state in which the rotation angle is different from the rotation angle of the first prism 51, the rotation angle is always different from that of the first prism 51 during the rotation. Become.

[第3変形例]
図9は、第3変形例による照明装置2bを示す図である。この照明装置2bにおいて、光路シフト装置9の第2プリズム53の回転軸54が、重畳光学系10の光軸15aの方向と第1プリズム51の回転軸50の方向と交差する。
[Third Modification]
FIG. 9 is a diagram showing an illumination device 2b according to a third modification. In this illumination device 2 b, the rotation axis 54 of the second prism 53 of the optical path shift device 9 intersects the direction of the optical axis 15 a of the superposition optical system 10 and the direction of the rotation axis 50 of the first prism 51.

本変形例において、第1プリズム51の回転によって光路がシフトする方向はX軸方向であり、第2プリズム53の回転によって光路がシフトする方向はY軸方向である。すなわち、本変形例の照明装置2bは、重畳光学系10に入射する光の入射位置を2方向に変化させることができる。そのため、本変形例の照明装置2bは、光路変化のバリエーションが多様になり、被照明領域IRの各点に入射する光の角度分布の変化のバリエーションが多様になる。結果として、スペックルのパターンの変化のバリエーションが多様になり、スペックルを効果的に低減できる。   In this modification, the direction in which the optical path is shifted by the rotation of the first prism 51 is the X-axis direction, and the direction in which the optical path is shifted by the rotation of the second prism 53 is the Y-axis direction. That is, the illumination device 2b of the present modification can change the incident position of the light incident on the superposition optical system 10 in two directions. For this reason, the illumination device 2b of the present modification has various variations in optical path changes, and various variations in the angular distribution of light incident on each point of the illuminated region IR. As a result, the variation of the change in the speckle pattern is diversified, and the speckle can be effectively reduced.

なお、上述の実施形態、変形例においては、光路シフト装置9のプリズムが回転軸周りの正方向と逆方向のうち一方の方向に回転する例を説明したが、光路シフト装置9のプリズムは、正方向と逆方向の双方に回転する態様でもよい。   In the above-described embodiment and modification, the example in which the prism of the optical path shift device 9 rotates in one of the forward direction and the reverse direction around the rotation axis has been described. A mode of rotating in both the forward direction and the reverse direction is also possible.

[第4変形例]
図10は、第4変形例による照明装置2bを示す図である。この照明装置2bにおいて、光路シフト装置9は、光源装置7からの光が入射するミラー55と、ミラー55で反射した光を重畳光学系10に導くミラー56と、ミラー55を移動する移動部57とを備える。
[Fourth Modification]
FIG. 10 is a diagram showing an illumination device 2b according to a fourth modification. In the illumination device 2b, the optical path shift device 9 includes a mirror 55 on which light from the light source device 7 is incident, a mirror 56 that guides the light reflected by the mirror 55 to the superimposing optical system 10, and a moving unit 57 that moves the mirror 55. With.

ミラー55は、光源装置7の光の射出方向15bに対して、非垂直に傾いている。ミラー56は、光軸15aに対して、非垂直に傾いている。ミラー55とミラー56は、例えば、互いにほぼ平行になるように配置される。移動部57は、ミラー55を、ミラー55に垂直な面内の方向に沿って移動させる。例えば、移動部57によるミラー55の移動方向は、光源装置7の光の射出方向に垂直な方向である。   The mirror 55 is inclined non-perpendicular with respect to the light emission direction 15 b of the light source device 7. The mirror 56 is tilted non-perpendicular with respect to the optical axis 15a. For example, the mirror 55 and the mirror 56 are disposed so as to be substantially parallel to each other. The moving unit 57 moves the mirror 55 along a direction in a plane perpendicular to the mirror 55. For example, the moving direction of the mirror 55 by the moving unit 57 is a direction perpendicular to the light emission direction of the light source device 7.

本変形例において、光源装置7からの光は、移動部57によるミラー55の移動に伴ってミラー55上の入射位置が時間的に変化し、ミラー56上での入射位置が時間的に変化する。そのため、このような光路シフト装置9によっても、重畳光学系10に入射する光の入射位置を光軸15aの方向と交差する方向に時間的に変化させることができる。   In the present modification, the incident position on the mirror 55 of the light from the light source device 7 changes in time with the movement of the mirror 55 by the moving unit 57, and the incident position on the mirror 56 changes in time. . Therefore, also with such an optical path shift device 9, the incident position of the light incident on the superimposing optical system 10 can be temporally changed in a direction intersecting the direction of the optical axis 15a.

なお、ミラー55の移動方向は、光源装置7の光の射出方向と平行であってもよいし、交差していてもよい。また、光路シフト装置9は、ミラー55を移動させる代わりにミラー56を移動させる構成でもよいし、ミラー55およびミラー56を移動させる構成でもよい。ミラー55およびミラー56の双方を移動させる場合に、各ミラーの移動速度と、双方のミラーの相対位置は、重畳光学系10に入射する光の入射位置が変化するように適宜設定できる。また、ミラー55とミラー56は、互いに平行でなくてもよい。光路シフト装置9は、ミラー55とミラー56の一方または双方を回転させることで光路をシフトする構成でもよく、ミラーの回転および併進移動の双方により光路をシフトする構成でもよい。   The moving direction of the mirror 55 may be parallel to or intersecting with the light emission direction of the light source device 7. The optical path shift device 9 may be configured to move the mirror 56 instead of moving the mirror 55, or may be configured to move the mirror 55 and the mirror 56. When both the mirror 55 and the mirror 56 are moved, the moving speed of each mirror and the relative position of both mirrors can be appropriately set so that the incident position of the light incident on the superimposing optical system 10 changes. Further, the mirror 55 and the mirror 56 may not be parallel to each other. The optical path shift device 9 may be configured to shift the optical path by rotating one or both of the mirror 55 and the mirror 56, or may be configured to shift the optical path by both rotation and translation of the mirror.

[第5変形例]
図11は、第5変形例による照明装置2bの光源装置7を示す図である。光源装置7は、可干渉性の光を射出する複数の光射出領域を有し、光射出領域のそれぞれから射出される光の光量(以下、セル光量という)を調整可能である。光源装置7は、いわゆるレーザー光源アレイであり、複数のレーザー光源60を含む。光源装置7において、複数の光射出領域のそれぞれは、各レーザー光源60の光射出口に相当する。
[Fifth Modification]
FIG. 11 is a diagram showing the light source device 7 of the illumination device 2b according to the fifth modification. The light source device 7 has a plurality of light emission regions that emit coherent light, and can adjust the light amount (hereinafter referred to as cell light amount) of light emitted from each of the light emission regions. The light source device 7 is a so-called laser light source array, and includes a plurality of laser light sources 60. In the light source device 7, each of the plurality of light emission regions corresponds to a light emission port of each laser light source 60.

光源装置7において、複数のレーザー光源60は、二次元的に配列されている。しかし、少なくとも、光路が変化する方向(X軸方向)に対して交差する方向(Y軸方向)に複数の光が並ぶように複数のレーザー光源60を配置すればよい。本変形例においては、複数のレーザー光源60は、少なくともY軸方向に配列されており、Y軸方向に並ぶ複数のレーザー光源60からの光線は、光路シフト装置9から射出される際にY軸方向に並んでいる。   In the light source device 7, the plurality of laser light sources 60 are two-dimensionally arranged. However, the plurality of laser light sources 60 may be arranged so that the plurality of lights are arranged at least in the direction (Y-axis direction) intersecting the direction in which the optical path changes (X-axis direction). In the present modification, the plurality of laser light sources 60 are arranged at least in the Y-axis direction, and light beams from the plurality of laser light sources 60 arranged in the Y-axis direction are emitted from the optical path shift device 9 in the Y-axis direction. It is lined up in the direction.

レーザー光源60は、供給電力に応じた光量のレーザー光を発する固体光源である。そのため、光源装置7は、各レーザー光源60への供給電力を調整することで、各光射出領域から射出される光の光量(セル光量)を調整可能である。   The laser light source 60 is a solid light source that emits a laser beam having a light amount corresponding to the supplied power. Therefore, the light source device 7 can adjust the light amount (cell light amount) emitted from each light emission region by adjusting the power supplied to each laser light source 60.

なお、セル光量は0を含む概念であり、例えばレーザー光源60に電力が供給されずにレーザー光源が消灯している状態では、セル光量は0である。すなわち、セル光量は、レーザー光源60の点灯と消灯を切替えることで調整でき、またレーザー光源60を点灯させたまま発光量を減らすことでも調整できる。   Note that the cell light amount is a concept including 0. For example, when the laser light source is turned off without power being supplied to the laser light source 60, the cell light amount is 0. That is, the cell light amount can be adjusted by switching the laser light source 60 on and off, and can also be adjusted by reducing the light emission amount while the laser light source 60 is turned on.

光源装置7の各レーザー光源60への供給電力は、光源制御装置61によって制御される。光源制御装置61は、本変形例において照明装置2bの一部であり、例えば光源装置7の一部である。光源制御装置61は、各レーザー光源60への供給電力を制御することにより、各レーザー光源60(光射出領域)の発光量(すなわちセル光量)を制御する。例えば、光源制御装置61は、レーザー光源60への電力供給を開始させることで、このレーザー光源60を消灯から点灯に切り替える。また、光源制御装置61は、レーザー光源60への電力供給を停止させることで、レーザー光源60を点灯から消灯へ切り替える。   The power supplied to each laser light source 60 of the light source device 7 is controlled by the light source control device 61. The light source control device 61 is a part of the illumination device 2 b in the present modification, for example, a part of the light source device 7. The light source controller 61 controls the amount of light emitted from each laser light source 60 (light emission region) (that is, the amount of cell light) by controlling the power supplied to each laser light source 60. For example, the light source control device 61 switches the laser light source 60 from off to on by starting power supply to the laser light source 60. Further, the light source control device 61 switches the laser light source 60 from turning on to turning off by stopping the power supply to the laser light source 60.

また、光源制御装置61は、レーザー光源60の点灯時に、レーザー光源60への供給電力を増減させることで、このレーザー光源60の発光量を増減させる。レーザー光源60がパルス駆動である場合に、供給電力を増減させる手法としては、レーザー光源60へ供給される電流値(パルス振幅)を増減させる手法(例えば振幅変調)と、レーザー光源60へ電流が供給される時間(パルス幅)を増減させる手法(パルス幅変調)の一方または双方を用いてもよい。   Further, the light source control device 61 increases or decreases the light emission amount of the laser light source 60 by increasing or decreasing the power supplied to the laser light source 60 when the laser light source 60 is turned on. When the laser light source 60 is pulse-driven, as a method for increasing / decreasing the supply power, a method for increasing / decreasing the current value (pulse amplitude) supplied to the laser light source 60 (for example, amplitude modulation), and a current to the laser light source 60 are used. One or both of methods (pulse width modulation) for increasing or decreasing the supplied time (pulse width) may be used.

図12は、光源制御装置61によるレーザー光源60の制御の一例を示すタイミングチャートである。図12において、第1〜第3のレーザー光源は、それぞれ、複数のレーザー光源60から任意に選択され、例えばY軸方向に並ぶ3つのレーザー光源である。図12において、横軸はレーザー光源が駆動されている間の時刻、縦軸はレーザー光源に供給される電力(電流値)のレベルを示す。符号PHは供給電力のハイレベル、符号PLは供給電力のローレベルを示す。例えば、レベルPHは、レーザー光源が所定の光量を発光する供給電力であり、レベルPLはレーザー光源が発光しない供給電力(端的には0)である。レベルPLは、レベルPHよりも少ない光量をレーザー光源が発光する供給電力でもよい。   FIG. 12 is a timing chart showing an example of control of the laser light source 60 by the light source control device 61. In FIG. 12, the first to third laser light sources are each arbitrarily selected from a plurality of laser light sources 60, and are, for example, three laser light sources arranged in the Y-axis direction. In FIG. 12, the horizontal axis indicates the time during which the laser light source is being driven, and the vertical axis indicates the level of power (current value) supplied to the laser light source. Reference sign PH indicates a high level of supply power, and reference sign PL indicates a low level of supply power. For example, the level PH is supply power at which the laser light source emits a predetermined amount of light, and the level PL is supply power at which the laser light source does not emit light (in short, 0). The level PL may be power supplied by the laser light source that emits less light than the level PH.

光源制御装置61は、時刻t0からt1までの期間T1(第1の期間)において、第1のレーザー光源への供給電力をレベルPLに維持することで、第1のレーザー光源を消灯状態に維持する。また、光源制御装置61は、期間T1において、第2のレーザー光源及び第3のレーザー光源への供給電力をレベルPHに維持することで、第2のレーザー光源及び第3のレーザー光源を点灯状態に維持する。   The light source control device 61 maintains the first laser light source in the extinguished state by maintaining the power supplied to the first laser light source at the level PL during a period T1 (first period) from time t0 to t1. To do. Further, the light source control device 61 maintains the supply power to the second laser light source and the third laser light source at the level PH in the period T1, thereby turning on the second laser light source and the third laser light source. To maintain.

光源制御装置61は、時刻t1に、第1のレーザー光源への供給電力をレベルPHに切り替えることで第1のレーザー光源を点灯させ、かつ第2のレーザー光源への供給電力をレベルPLに切り替えることで第2のレーザー光源を消灯させる。光源制御装置61は、時刻t1からt2までの期間T2(第2の期間)において、第1のレーザー光源及び第3のレーザー光源を点灯状態に維持し、第2のレーザー光源を消灯状態に維持する。同様に、光源制御装置61は、時刻t2から時刻t3までの期間T3(第3の期間)において、第1のレーザー光源及び第2のレーザー光源を点灯状態に維持し、第3のレーザー光源を消灯状態に維持する。   At time t1, the light source control device 61 switches on the power supplied to the first laser light source to the level PH to turn on the first laser light source and switches the power supplied to the second laser light source to the level PL. This turns off the second laser light source. The light source control device 61 maintains the first laser light source and the third laser light source in the on state and maintains the second laser light source in the off state during the period T2 (second period) from time t1 to t2. To do. Similarly, the light source control device 61 maintains the first laser light source and the second laser light source in a lighting state during a period T3 (third period) from time t2 to time t3, and turns on the third laser light source. Keep it off.

以上のように、光源制御装置61は、複数のレーザー光源60のうち点灯状態にあるレーザー光源60の組み合わせ(以下、点灯パターンという)が期間T1と期間T2とで変わるように、レーザー光源60を制御する。換言すると、光源制御装置61は、光源装置7から射出される光の空間分布(発光パターン)が期間T1と期間T2とで変わるように、レーザー光源60を制御する。期間T1と期間T2のそれぞれの長さは、例えば、人間が画像の変化を知覚できる時間以下に設定され、1/24秒以下であってもよいし、1/30秒以下であってもよい。   As described above, the light source control device 61 changes the laser light source 60 so that the combination of the laser light sources 60 that are lit among the plurality of laser light sources 60 (hereinafter referred to as lighting patterns) changes between the period T1 and the period T2. Control. In other words, the light source control device 61 controls the laser light source 60 so that the spatial distribution (light emission pattern) of the light emitted from the light source device 7 changes between the period T1 and the period T2. The lengths of the period T1 and the period T2, for example, are set to be equal to or shorter than the time during which a human can perceive a change in the image, and may be 1/24 seconds or less, or 1/30 seconds or less. .

図13は、光源装置7の点灯パターンと発光パターンの時間的な変化を説明するための図である。図13(b)は、レーザー光源アレイの発光パターンを模式的に表した図である。図13(a)に示す点灯パターンにおいて複数のレーザー光源60が全点灯しており、この状態に対応する図13(b)の発光パターンLP1は、明部LP2で占められている。図13(c)に示す点灯パターンにおいて、一部のレーザー光源(符号60aで示す)が消灯しているとともに残りのレーザー光源(符号60bで示す)が点灯しており、この状態に対応する図13(d)の発光パターンLP3は、全点灯時の発光パターンLP1と比較して、明部LP2よりも暗い暗部LP4を含むパターンになっている。このように、光源制御装置61は、光源装置7の点灯パターンを時間的に変化させる。   FIG. 13 is a diagram for explaining temporal changes in the lighting pattern and the light emission pattern of the light source device 7. FIG. 13B is a diagram schematically showing a light emission pattern of the laser light source array. In the lighting pattern shown in FIG. 13A, the plurality of laser light sources 60 are all lit, and the light emission pattern LP1 of FIG. 13B corresponding to this state is occupied by the bright portion LP2. In the lighting pattern shown in FIG. 13C, some laser light sources (indicated by reference numeral 60a) are turned off and the remaining laser light sources (indicated by reference numeral 60b) are turned on. The light emission pattern LP3 of 13 (d) is a pattern including a dark portion LP4 that is darker than the light portion LP2 as compared with the light emission pattern LP1 at the time of full lighting. Thus, the light source control device 61 changes the lighting pattern of the light source device 7 with time.

発光パターンが時間的に変化すると、光源装置7から射出された光の重畳光学系10への入射位置が時間的に変化し、フライアイレンズ14と光学的に共役な第2共役面21(投写系4の瞳面)における光の強度分布(瞳像)が時間的に変化する。   When the light emission pattern changes with time, the incident position of the light emitted from the light source device 7 on the superimposing optical system 10 changes with time, and the second conjugate surface 21 (projection) optically conjugate with the fly-eye lens 14. The light intensity distribution (pupil image) on the pupil plane of the system 4 changes with time.

図14は、複数のレーザー光源60の一部を消灯したときの第2共役面21における明るさ分布(瞳像)の変化の一例を示す図である。図14(a)は複数のレーザー光源60をすべて点灯した状態に対応し、図14(b)は複数のレーザー光源60の一部を消灯した状態に対応する。第2共役面21(投写系4の瞳面)は、光源像(フライアイレンズ14)と光学的に共役であるので、第2共役面21における明るさ分布(スポットの分布)は、フライアイレンズ14における明るさの分布と対応関係がある。   FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a change in brightness distribution (pupil image) on the second conjugate plane 21 when some of the plurality of laser light sources 60 are turned off. 14A corresponds to a state in which all of the plurality of laser light sources 60 are turned on, and FIG. 14B corresponds to a state in which some of the plurality of laser light sources 60 are turned off. Since the second conjugate plane 21 (the pupil plane of the projection system 4) is optically conjugate with the light source image (fly eye lens 14), the brightness distribution (spot distribution) on the second conjugate plane 21 is fly-eye. There is a correspondence relationship with the brightness distribution in the lens 14.

複数のレーザー光源60をすべて点灯させた状態において、フライアイレンズ14のレンズ要素14aのそれぞれには、光源像が形成される。複数のレーザー光源60の一部を消灯させた状態においては、消灯させたレーザー光源60に由来する光源像が形成されないことになり、第2共役面21に暗部LP4ができる。このように、照明装置2bは、複数のレーザー光源60のうち少なくとも1つを選択して点灯と消灯とを切り替え、選択するレーザー光源60を時間経過とともに変えていくことで、瞳像を効果的に時間的に変化させることができる。   In a state where all of the plurality of laser light sources 60 are turned on, a light source image is formed on each of the lens elements 14 a of the fly-eye lens 14. In a state where a part of the plurality of laser light sources 60 is turned off, a light source image derived from the turned off laser light sources 60 is not formed, and a dark portion LP4 is formed on the second conjugate surface 21. As described above, the illumination device 2b effectively selects a pupil image by selecting at least one of the plurality of laser light sources 60, switching between turning on and off, and changing the laser light source 60 to be selected over time. Can be changed over time.

本変形例の照明装置2bは、光路シフト装置9により重畳光学系10へ入射する光の入射位置を時間的に変化させるだけでなく、光源制御装置61により光源装置7の発光パターンを時間的に変化させることによっても重畳光学系10へ入射する光の入射位置を時間的に変化させる。そのため、照明装置2bは、瞳像の変化のバリエーションを増やすことができ、スペックルを効果的に低減できる。   The illumination device 2b of this modification not only changes the incident position of the light incident on the superimposing optical system 10 by the optical path shift device 9, but also temporally changes the light emission pattern of the light source device 7 by the light source control device 61. The incident position of the light incident on the superimposing optical system 10 is also temporally changed by changing the position. Therefore, the illuminating device 2b can increase the variation of the pupil image change, and can effectively reduce speckle.

例えば、光路シフト装置9は、重畳光学系10へ入射する光の入射位置をX軸方向に時間的に変化させ、光源制御装置は、Y軸方向に並ぶレーザー光源60のうち点灯しているレーザー光源60の組み合わせを時間的に変化させる。これにより、瞳像のパターンは、X軸方向とY軸方向のそれぞれに変化することになるので、照明装置2bは、スペックルを効果的に低減できる。   For example, the optical path shift device 9 temporally changes the incident position of light incident on the superimposing optical system 10 in the X-axis direction, and the light source control device turns on a laser that is lit among the laser light sources 60 aligned in the Y-axis direction. The combination of the light sources 60 is changed with time. Thereby, the pattern of the pupil image changes in each of the X-axis direction and the Y-axis direction, so that the illumination device 2b can effectively reduce speckle.

なお、光源制御装置61は、複数のレーザー光源60のうち点灯状態にあるレーザー光源60の数が期間T1と期間T2とで同じになるように、光源装置7を制御する。これにより、光源装置7から射出される光量が期間T1と期間T2とでほぼ同じになり、照明装置2bは、被照明領域IR(画像形成系3)を期間T1と期間T2とでほぼ同じ明るさで照明する。   Note that the light source control device 61 controls the light source device 7 so that the number of laser light sources 60 that are turned on among the plurality of laser light sources 60 is the same in the period T1 and the period T2. As a result, the amount of light emitted from the light source device 7 becomes substantially the same in the period T1 and the period T2, and the illumination device 2b has the same brightness in the illuminated region IR (image forming system 3) in the period T1 and the period T2. Now illuminate.

なお、光源装置7から光が射出される期間の各時刻に消灯状態に維持されるレーザー光源60の数は、1つでもよいし、2以上でもよい。また、点灯状態にあるレーザー光源60の数を期間T1と期間T2とで同じにする代わりに、光源装置7から射出される光の光量が期間T1と期間T2とでほぼ同じになるように、点灯させるレーザー光源60の発光量を調整してもよい。また、照明装置2bは、例えばダイナミックレンジを広げるために、光源装置7から射出される光の光量を期間T1と期間T2とで異ならせてもよい。   Note that the number of the laser light sources 60 that are kept off at each time during which light is emitted from the light source device 7 may be one or two or more. Further, instead of making the number of the laser light sources 60 in the lit state the same in the period T1 and the period T2, the amount of light emitted from the light source device 7 is substantially the same in the period T1 and the period T2. The light emission amount of the laser light source 60 to be turned on may be adjusted. Moreover, the illuminating device 2b may vary the amount of light emitted from the light source device 7 between the period T1 and the period T2, for example, in order to widen the dynamic range.

なお、複数のレーザー光源60のうち、各期間に点灯状態に維持されるレーザー光源60の組み合わせ(点灯パターン)は、適宜、変更できる。例えば、光源制御装置61は、互いに隣接する少なくとも2つのレーザー光源のそれぞれへの供給電力を、ともに減少または増加させてもよい。すなわち、光源制御装置61は、二次元的に配列された複数のレーザー光源60のうち、行方向に並ぶ2以上のレーザー光源60を一括して消灯状態にしてもよいし、列方向に並ぶ2以上のレーザー光源60を一括して消灯状態にしてもよい。これにより、瞳像のパターンの変化量を増すことができるので、照明装置2bは、スペックルを効果的に低減できる。   In addition, the combination (lighting pattern) of the laser light sources 60 maintained in the lighting state in each period among the plurality of laser light sources 60 can be appropriately changed. For example, the light source control device 61 may reduce or increase the power supplied to each of at least two laser light sources adjacent to each other. That is, the light source control device 61 may turn off two or more laser light sources 60 arranged in the row direction out of the plurality of laser light sources 60 arranged two-dimensionally, or may be arranged in the column direction 2. The above laser light sources 60 may be turned off collectively. Thereby, since the variation | change_quantity of the pattern of a pupil image can be increased, the illuminating device 2b can reduce a speckle effectively.

なお、光源制御装置61は、複数のレーザー光源60の少なくとも1部への供給電力を、複数のレーザー光源60のうちで相対的に小さくするとともに、供給電力が相対的に小さいレーザー光源60に隣接するレーザー光源60への供給電力を、複数のレーザー光源60のうちで相対的に大きくしてもよい。このような照明装置2bは、供給電力を減少させたレーザー光源60の発光量の減少分を、供給電力を増加させたレーザー光源60の発光量の増加分で補うことができる。また、供給電力を減少させたレーザー光源60は発熱量が減少し、このレーザー光源60に隣り合うレーザー光源60の供給電力を増加させるので、供給電力を増加させるレーザー光源60の放熱性を確保することができる。   Note that the light source control device 61 makes the power supplied to at least one part of the plurality of laser light sources 60 relatively small among the plurality of laser light sources 60 and is adjacent to the laser light source 60 having relatively small power supply. The power supplied to the laser light source 60 may be relatively increased among the plurality of laser light sources 60. Such an illuminating device 2b can make up for the decrease in the light emission amount of the laser light source 60 whose supply power has been reduced by the increase in the light emission amount of the laser light source 60 whose supply power has been increased. In addition, the laser light source 60 with the reduced power supply reduces the amount of heat generation, and the power supply of the laser light source 60 adjacent to the laser light source 60 is increased. Therefore, the heat dissipation of the laser light source 60 that increases the power supply is ensured. be able to.

なお、図12の例では、第1の期間(期間T1)と第2の期間(期間T2)は、重複していないが、第1の期間と第2の期間は、一部が重複し、かつ他の一部が重複しなくてもよい。この場合には、第1の期間のうち第2の期間に重複しない期間と、第1の期間のうち第2の期間に重複する期間と、第2の期間のうち第1の期間に重複しない期間とで、点灯パターンが異なることになり、第1の期間の開始から第2の期間の終了までの間に点灯パターンを3種類に変化させることができる。   In the example of FIG. 12, the first period (period T1) and the second period (period T2) do not overlap, but the first period and the second period partially overlap, And the other part does not need to overlap. In this case, the first period does not overlap with the second period, the first period overlaps with the second period, and the second period does not overlap with the first period. The lighting pattern differs depending on the period, and the lighting pattern can be changed into three types from the start of the first period to the end of the second period.

[第6変形例]
上記の実施形態では、画像形成装置3bとして透過型の液晶ライトバルブを用いている。透過型の液晶ライトバルブでは、画素Pの周辺部を覆う遮光層(ブラックマトリクス)が設けられている。遮光層の開口部が画素Pに対応する。遮光層は照明光の一部を遮光するために、照明光の利用効率が低下する。そのため、透過型の液晶ライトバルブにおいては、画素ごとにマイクロレンズを設ける場合がある。しかし、マイクロレンズの屈折力が大きい場合、本発明によるスペックル低減効果が低減される場合がある。そこで、本変形例では、画像形成装置3bがアフォーカル光学系を備えることで、スペックル低減効果の低減を抑えている。
[Sixth Modification]
In the above embodiment, a transmissive liquid crystal light valve is used as the image forming apparatus 3b. In the transmissive liquid crystal light valve, a light shielding layer (black matrix) that covers the periphery of the pixel P is provided. The opening of the light shielding layer corresponds to the pixel P. Since the light shielding layer shields part of the illumination light, the use efficiency of the illumination light is reduced. Therefore, in a transmissive liquid crystal light valve, a microlens may be provided for each pixel. However, when the refractive power of the microlens is large, the speckle reduction effect according to the present invention may be reduced. Therefore, in this modification, the image forming apparatus 3b includes an afocal optical system, thereby suppressing a reduction in speckle reduction effect.

本変形例による画像形成装置3bの構成について説明する。図15は、画像形成装置3bの一例を示す図である。画像形成装置3bは、アフォーカル光学系30を備え、このアフォーカル光学系30は、第1のマイクロレンズ31aおよび第2のマイクロレンズ31bを含む。本例において、第1のマイクロレンズ31aと第2のマイクロレンズ31bは、同じ光学部材上に設けられたレンズアレイであり、この光学部材は、液晶層32の入射側に配置されている。   The configuration of the image forming apparatus 3b according to this modification will be described. FIG. 15 is a diagram illustrating an example of the image forming apparatus 3b. The image forming apparatus 3b includes an afocal optical system 30, and the afocal optical system 30 includes a first micro lens 31a and a second micro lens 31b. In this example, the first microlens 31 a and the second microlens 31 b are lens arrays provided on the same optical member, and this optical member is disposed on the incident side of the liquid crystal layer 32.

本例のアフォーカル光学系30は、いわゆるケプラー式であり、第1のマイクロレンズ31aおよび第2のマイクロレンズ31bは、それぞれ正のパワー(屈折力)を有する凸レンズである。第1のマイクロレンズ31aは、画素Pごとに、液晶層32に対する照明光の入射側に設けられている。第2のマイクロレンズ31bは、第1のマイクロレンズ31aの焦点位置と液晶層32との間に配置されている。   The afocal optical system 30 of this example is a so-called Kepler type, and the first microlens 31a and the second microlens 31b are convex lenses each having a positive power (refractive power). The first microlens 31 a is provided for each pixel P on the incident light incident side with respect to the liquid crystal layer 32. The second micro lens 31 b is disposed between the focal position of the first micro lens 31 a and the liquid crystal layer 32.

画像形成装置3bは、画素Pの周辺部を覆う遮光層33(ブラックマトリクス)を備え、アフォーカル光学系30は、各画素Pに入射してくる光束が遮光層33の開口部に収まるように、ビーム径を縮小する。そのため、画像形成装置3bでは、遮光層33での光のロスが少なくなり、光の利用効率が高くなる。   The image forming apparatus 3 b includes a light shielding layer 33 (black matrix) that covers the periphery of the pixel P, and the afocal optical system 30 is configured so that the light beam incident on each pixel P is accommodated in the opening of the light shielding layer 33. Reduce the beam diameter. Therefore, in the image forming apparatus 3b, the light loss in the light shielding layer 33 is reduced, and the light use efficiency is increased.

また、アフォーカル光学系30は、各画素Pへ入射する光束を平行光束にするので、画像形成装置3bを通る光の角度分布に及ぼす画像形成装置3bの影響を減らすことができる。そのため、照明装置2bが時間的に変化させる光の角度分布を、第2共役面21上での瞳像に反映させやすくなり、スペックルを視認されにくくする効果を高めることができる。   In addition, since the afocal optical system 30 converts the light beam incident on each pixel P into a parallel light beam, the influence of the image forming device 3b on the angular distribution of light passing through the image forming device 3b can be reduced. Therefore, it becomes easy to reflect the angle distribution of the light which the illuminating device 2b changes temporally in the pupil image on the 2nd conjugate plane 21, and the effect which makes it difficult to visually recognize a speckle can be heightened.

図16〜図18は、それぞれ、画像形成装置3bの他の例を示す図である。図16に示す画像形成装置3bにおいて、アフォーカル光学系30は、いわゆるガリレオ式であり、第1のマイクロレンズ31aが正のパワーを有する凸レンズであり、第2のマイクロレンズ31bが負のパワーを有する凹レンズである。ガリレオ式のアフォーカル光学系30は、ケプラー式よりも光路長を短くできる。   16 to 18 are diagrams showing other examples of the image forming apparatus 3b. In the image forming apparatus 3b shown in FIG. 16, the afocal optical system 30 is a so-called Galileo type, the first microlens 31a is a convex lens having a positive power, and the second microlens 31b has a negative power. It is a concave lens. The Galileo afocal optical system 30 can make the optical path length shorter than the Kepler type.

図17に示す画像形成装置3bにおいて、アフォーカル光学系30は、ケプラー式であり、第1のマイクロレンズ31aと第2のマイクロレンズ31bがいずれも正のパワーを有する凸レンズである。本例において、第1のマイクロレンズ31aと第2のマイクロレンズ31bは、それぞれ、別の光学部材に設けられたレンズアレイである。第1のマイクロレンズ31aは、液晶層32に対する入射側に配置されており、その焦点位置が例えば液晶層32の内部に配置される。第2のマイクロレンズ31bは、液晶層32に対する光の射出側に配置されている。   In the image forming apparatus 3b shown in FIG. 17, the afocal optical system 30 is a Kepler type, and the first microlens 31a and the second microlens 31b are both convex lenses having positive power. In this example, the first microlens 31a and the second microlens 31b are lens arrays provided on separate optical members, respectively. The first microlens 31 a is disposed on the incident side with respect to the liquid crystal layer 32, and the focal position thereof is disposed, for example, inside the liquid crystal layer 32. The second microlens 31 b is disposed on the light emission side with respect to the liquid crystal layer 32.

ケプラー式のアフォーカル光学系30を用いる場合に、本例のように、第1のマイクロレンズ31aと第2のマイクロレンズ31bとの間の光路を液晶層32の配置スペースに利用することで、例えば画像形成装置3bを薄型にできる。また、ケプラー式のアフォーカル光学系30は、ガリレオ式と比較して、遮光層33の開口を通る際の光のビーム径を絞りやすいので、遮光層33での光のロスを減らしやすい。   When the Kepler type afocal optical system 30 is used, by using the optical path between the first microlens 31a and the second microlens 31b as the arrangement space of the liquid crystal layer 32 as in this example, For example, the image forming apparatus 3b can be thinned. In addition, the Kepler afocal optical system 30 can easily reduce the beam diameter of light when passing through the opening of the light shielding layer 33 as compared with the Galileo system, so that loss of light in the light shielding layer 33 can be easily reduced.

図18に示す画像形成装置3bにおいて、アフォーカル光学系30は、ガリレオ式であり、第1のマイクロレンズ31aが正のパワーを有する凸レンズ、第2のマイクロレンズ31bが負のパワーを有する凹レンズである。第1のマイクロレンズ31aは、液晶層32の入射側に配置されており、第2のマイクロレンズ31bは、液晶層32の射出側に配置されている。このような画像形成装置3bは、例えばケプラー式と比較して、格段に薄型にできる。   In the image forming apparatus 3b shown in FIG. 18, the afocal optical system 30 is of the Galileo type, the first micro lens 31a is a convex lens having a positive power, and the second micro lens 31b is a concave lens having a negative power. is there. The first microlens 31 a is disposed on the incident side of the liquid crystal layer 32, and the second microlens 31 b is disposed on the exit side of the liquid crystal layer 32. Such an image forming apparatus 3b can be made much thinner than, for example, a Kepler type.

本変形例の照明装置2bは、重畳光学系10に入射する光の入射位置を光路シフト装置9により時間的に変化させるので、瞳像のパターンを時間的に変化させることができ、スペックルを効果的に低減できる。また、この照明装置2bを備えるプロジェクター1は、画像の観察者にスペックルが視認されにくいので、画像の表示品質の低下を抑制できる。   In the illumination device 2b of this modification, the incident position of the light incident on the superimposing optical system 10 is temporally changed by the optical path shift device 9, so that the pattern of the pupil image can be temporally changed, and the speckle can be changed. It can be effectively reduced. Moreover, since the projector 1 provided with this illumination device 2b is difficult for the viewer of the image to see the speckles, it is possible to suppress the deterioration of the display quality of the image.

また、本変形例のプロジェクター1は、投写系4の外部の装置(照明装置2b)により瞳像のパターンを時間的に変化させるので、投写系4の大型化、高コスト化などを避けることができる。また、プロジェクター1は、投写面SCの瞳面上で固定のパターンの瞳像を移動させる方式と比較して、投写系4の瞳面の有効径を広げる必要性が低いので、投写系4の大型化、高コスト化などを避けることができる。   Further, in the projector 1 of this modification, the pupil image pattern is temporally changed by a device (illumination device 2b) outside the projection system 4, so that the projection system 4 can be prevented from becoming large and expensive. it can. Further, the projector 1 is less required to increase the effective diameter of the pupil plane of the projection system 4 than the method of moving a fixed pattern pupil image on the pupil plane of the projection plane SC. Larger and higher cost can be avoided.

また、本変形例の画像形成装置3bはアフォーカル光学系30を備えているので、画像形成装置3bを通る光の角度分布に及ぼす画像形成装置3bの影響を減らすことができる。そのため、照明装置2bが時間的に変化させる光の角度分布を、第2共役面21上での瞳像に反映させやすくなり、スペックルを視認されにくくする効果をさらに高めることができる。   In addition, since the image forming apparatus 3b of the present modification includes the afocal optical system 30, it is possible to reduce the influence of the image forming apparatus 3b on the angular distribution of light passing through the image forming apparatus 3b. Therefore, it becomes easy to reflect the angle distribution of the light which the illuminating device 2b changes temporally in the pupil image on the 2nd conjugate plane 21, and the effect which makes a speckle difficult to visually recognize can be heightened further.

[第2実施形態]
第2実施形態について説明する。図19は、第2実施形態の照明装置2bおよび画像形成系3(画像形成装置3b)を示す図である。光路シフト装置9は、第1実施形態で説明した光路シフト装置と同じ構成を備えている。この照明装置2bは、重畳光学系10bの構成が第1実施形態と異なっている。本実施形態において、重畳光学系10は、インプットレンズ35と光学ロッド36、及びリレー光学系37を含む。
[Second Embodiment]
A second embodiment will be described. FIG. 19 is a diagram illustrating the illumination device 2b and the image forming system 3 (image forming device 3b) according to the second embodiment. The optical path shift device 9 has the same configuration as the optical path shift device described in the first embodiment. This illumination device 2b is different from the first embodiment in the configuration of the superimposing optical system 10b. In the present embodiment, the superimposing optical system 10 includes an input lens 35, an optical rod 36, and a relay optical system 37.

光路シフト装置9からの光はインプットレンズ35に入射する。インプットレンズ35は、光路シフト装置9からの光を、光学ロッド36の入射端面36aに収まるように集光する。インプットレンズ35は、例えば所定軸に関して軸対称なレンズを含む。   The light from the optical path shift device 9 enters the input lens 35. The input lens 35 condenses the light from the optical path shift device 9 so as to be within the incident end face 36 a of the optical rod 36. The input lens 35 includes, for example, a lens that is axisymmetric with respect to a predetermined axis.

図20は、光学ロッド36を示す図である。光学ロッド36は、いわゆるロッドインテグレータ(ロッドレンズ)などである。光学ロッド36の中心軸を重畳光学系10の光軸8aとする。光学ロッド36は光軸8aに平行な方向に延びる四角柱状の光学部材である。光学ロッド36は、入射端面36a、内面36b、及び射出端面36cを有する。入射端面36aと射出端面36cは、互いにほぼ平行であり、それぞれ光軸8aとほぼ直交する。内面36bは、入射端面36aと射出端面36cとを結ぶ4つの側面の内面であり、光軸8aとほぼ平行である。   FIG. 20 is a view showing the optical rod 36. The optical rod 36 is a so-called rod integrator (rod lens) or the like. The central axis of the optical rod 36 is the optical axis 8a of the superposition optical system 10. The optical rod 36 is a quadrangular prism-shaped optical member extending in a direction parallel to the optical axis 8a. The optical rod 36 has an incident end face 36a, an inner face 36b, and an exit end face 36c. The incident end face 36a and the exit end face 36c are substantially parallel to each other and are substantially orthogonal to the optical axis 8a. The inner surface 36b is an inner surface of four side surfaces connecting the incident end surface 36a and the exit end surface 36c, and is substantially parallel to the optical axis 8a.

入射端面36aは、例えば、インプットレンズ35により光源像が形成される位置又はその近傍に配置される。入射端面36aには、光源装置7から射出された光がインプットレンズ35(図19参照)を介して入射する。入射端面36aに入射する際の光の角度分布は、光路シフト装置9により時間的に変化する光路に応じた分布になる。   For example, the incident end surface 36a is disposed at or near the position where the light source image is formed by the input lens 35. The light emitted from the light source device 7 enters the incident end surface 36a via the input lens 35 (see FIG. 19). The angular distribution of light when entering the incident end face 36a is a distribution according to the optical path that changes with time by the optical path shift device 9.

例えば、光学ロッド36の入射端面36aに入射する光のうち相対的に広がり角が大きい成分(広角成分)は、光軸8aから相対的に遠い光路を通った光に相当する。また、光学ロッド36の入射端面36aに入射する光のうち相対的に広がり角が小さい成分(望遠成分)は、光軸8aから相対的に近い光路を通った光に相当する。   For example, a component having a relatively large divergence angle (wide angle component) in the light incident on the incident end surface 36a of the optical rod 36 corresponds to light passing through an optical path relatively far from the optical axis 8a. In addition, a component having a relatively small divergence angle (telephoto component) in the light incident on the incident end surface 36a of the optical rod 36 corresponds to light passing through an optical path relatively close to the optical axis 8a.

光学ロッド36の入射端面36aに入射した光は、内面36bでの多重反射により射出端面36cに導かれる。内面36bでの光の反射回数は、角度成分ごとに異なっており、広角成分の反射回数は望遠成分の反射回数よりも多い。光学ロッド36の射出端面36cには、内面36bでの反射回数が0回の光束と、図20に示すような反射回数が1回の光束Lb、反射回数が2回の光束Lcなどの反射回数が互いに異なる複数の光束が重畳され、これにより射出端面36cでの照度分布が均一化される。   The light incident on the incident end surface 36a of the optical rod 36 is guided to the exit end surface 36c by multiple reflection at the inner surface 36b. The number of reflections of light on the inner surface 36b is different for each angle component, and the number of reflections of the wide-angle component is larger than the number of reflections of the telephoto component. On the exit end surface 36c of the optical rod 36, the number of reflections such as a light beam with zero reflection on the inner surface 36b, a light beam Lb with one reflection as shown in FIG. 20, and a light beam Lc with two reflections as shown in FIG. Are superimposed on each other, and the illuminance distribution on the exit end face 36c is made uniform.

図21は、光学ロッド36およびリレー光学系37を示す図である。リレー光学系37は、光学ロッド36の射出端面36cと光学的に共役な面(被照明領域IR)を形成する。光源装置7からの光の照度分布は、光学ロッド36の射出端面36cで均一化されるので、射出端面36cと共役な被照明領域IRにおいても均一化される。このように、重畳光学系10は、光源装置7の複数の光射出領域(レーザー光源60)からの光束を被照明領域IRで互いに重畳することで、被照明領域IRにおける照度分布を均一にする。   FIG. 21 is a diagram showing the optical rod 36 and the relay optical system 37. The relay optical system 37 forms a surface (illuminated region IR) optically conjugate with the emission end surface 36c of the optical rod 36. Since the illuminance distribution of the light from the light source device 7 is made uniform at the exit end face 36c of the optical rod 36, it is also made uniform in the illuminated region IR conjugate with the exit end face 36c. As described above, the superimposing optical system 10 makes the illuminance distribution in the illuminated region IR uniform by superimposing the light beams from the plurality of light emission regions (laser light sources 60) of the light source device 7 on the illuminated region IR. .

ところで、リレー光学系37には、インプットレンズ35により形成される光源像と共役な第3共役面38(いわゆる瞳面)が形成される。この第3共役面38は、図2に示した投写系4の第2共役面21とも光学的に共役である。照明装置2bは、重畳光学系10に入射する際の光路を光路シフト装置9により時間的に変化させることで、第3共役面38におけるスポットのパターンを時間的に変化させ、投写系4の第2共役面21における瞳像のパターンを時間的に変化させる。   Incidentally, the relay optical system 37 is formed with a third conjugate plane 38 (so-called pupil plane) conjugate with the light source image formed by the input lens 35. This third conjugate plane 38 is also optically conjugate with the second conjugate plane 21 of the projection system 4 shown in FIG. The illuminating device 2b changes the spot pattern on the third conjugate plane 38 with time by changing the optical path at the time of entering the superimposing optical system 10 with the optical path shift device 9, thereby changing the first pattern of the projection system 4. 2 The pupil image pattern on the conjugate plane 21 is changed with time.

図22は、光学ロッド36の入射端面36aに形成される光源像のパターンLP5の一例を示す図である。図23は、図22の光源像のパターンに対応して第3共役面38に形成されるスポットのパターンLP5(瞳像)を示す図である。図22において、符号40a〜40dは、それぞれ、光路シフト装置9を介して互いに異なる光路を通った光のスポットを示す。   FIG. 22 is a diagram showing an example of a light source image pattern LP5 formed on the incident end face 36a of the optical rod 36. As shown in FIG. FIG. 23 is a diagram showing a spot pattern LP5 (pupil image) formed on the third conjugate plane 38 corresponding to the light source image pattern of FIG. In FIG. 22, reference numerals 40 a to 40 d indicate light spots that pass through different optical paths through the optical path shift device 9.

図20に示したように、光学ロッド36の射出端面36cの各点には、内面36bでの反射回数が異なる複数の光束が入射する。そのため、光学ロッド36の射出側から観察すると、入射端面36aを含む面上に、光源像の実像Im1と複数の虚像Im2とが配列されているように見える。本例において、第3共役面38は、入射端面36aとほぼ共役な関係にあるので、第3共役面38上には、図23に示すような実像Im1に対応するパターン41aと虚像Im2に対応する複数のパターン41bとが配列される。パターン41aとパターン41bは、光学ロッド36の内面36bに相当する境界線42に関して線対称なパターン(鏡像、反転像)である。   As shown in FIG. 20, a plurality of light beams having different numbers of reflections on the inner surface 36b are incident on each point of the emission end surface 36c of the optical rod 36. Therefore, when observed from the exit side of the optical rod 36, it appears that the real image Im1 and the plurality of virtual images Im2 of the light source image are arranged on the surface including the incident end surface 36a. In this example, since the third conjugate plane 38 has a substantially conjugate relationship with the incident end face 36a, the third conjugate plane 38 corresponds to the pattern 41a corresponding to the real image Im1 and the virtual image Im2 as shown in FIG. A plurality of patterns 41b are arranged. The pattern 41 a and the pattern 41 b are patterns (mirror image, inverted image) that are line symmetric with respect to the boundary line 42 corresponding to the inner surface 36 b of the optical rod 36.

ここで、第3共役面38上でスポット40aと共役な領域43aは、互いに交差する境界線42aおよび境界線42bの近傍に配置されるものとする。境界線42aに関して領域43aと対称な領域43b、境界線42bに関して領域43bと対称な領域43c、境界線42aに関して領域43cと対称な領域43dは、それぞれ、スポット40aと共役な領域である。また、境界線42cに関して領域43aと対称な領域43e、境界線42dに関して領域43eと対称な領域43f、境界線42cに関して領域43fと対称な43gも、それぞれ、光射出領域40aと共役な領域である。そのため、スポット40aの明るさが変化すると、多数の領域(図23の例では9個の領域)の明るさが一括して変化することになる。従って、第3共役面38上の光源像のパターンの変化が大きくなる。   Here, it is assumed that the region 43a conjugate with the spot 40a on the third conjugate plane 38 is arranged in the vicinity of the boundary line 42a and the boundary line 42b that intersect each other. A region 43b symmetric with the region 43a with respect to the boundary line 42a, a region 43c symmetric with the region 43b with respect to the boundary line 42b, and a region 43d symmetric with the region 43c with respect to the boundary line 42a are regions conjugated with the spot 40a. The region 43e symmetric with the region 43a with respect to the boundary line 42c, the region 43f symmetric with the region 43e with respect to the boundary line 42d, and the region 43g symmetric with the region 43f with respect to the boundary line 42c are also conjugate regions with the light emitting region 40a. . Therefore, when the brightness of the spot 40a changes, the brightness of a large number of areas (9 areas in the example of FIG. 23) collectively changes. Accordingly, the change in the pattern of the light source image on the third conjugate plane 38 becomes large.

本実施形態の照明装置2bは、光路シフト装置9により光路を時間的に変化させるので、インプットレンズ35(重畳光学系10)への光の入射位置が時間的に変化する。これにより、観察者にスペックルが視認されにくくなる。また、光路シフト装置9が時間的に変化させる光路の1つに対応する光源像(例えばスポット40a)は、第3共役面38上の複数の領域と対応関係になるので、光路シフト装置9による光路の変化に比べて、第3共役面38上の瞳像のパターンの変化を大きくすることができ、スペックルを効果的に低減できる。   In the illuminating device 2b of the present embodiment, the optical path is temporally changed by the optical path shift device 9, so that the incident position of light on the input lens 35 (superimposing optical system 10) changes temporally. This makes it difficult for the observer to see the speckles. Further, since the light source image (for example, the spot 40a) corresponding to one of the optical paths which the optical path shift device 9 changes with time is in correspondence with a plurality of regions on the third conjugate plane 38, the optical path shift device 9 Compared with the change in the optical path, the change in the pattern of the pupil image on the third conjugate plane 38 can be increased, and the speckle can be effectively reduced.

なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではない。上記の実施形態で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、上記の実施形態で説明した要件の少なくとも1つは、省略されることある。   The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment. The requirements described in the above embodiments can be combined as appropriate. In addition, at least one of the requirements described in the above embodiment may be omitted.

なお、上述の実施形態においては、画像形成装置ごとに照明装置が設けられているが、複数の画像形成装置に対して1つの照明装置が設けられていてもよい。例えば、照明装置は、複数の色光を含む光(端的には白色光)から各色光を分離し、各色光を各色用の画像形成装置に導く構成でもよい。白色光を発生させる光源装置としては、例えば、赤色のレーザー光を発するレーザー光源と、緑色のレーザー光を発するレーザー光源と、青色のレーザー光を発するレーザー光源とを備え、各色のレーザー光をダイクロイックプリズムまたはダイクロイックミラーで合成する構成でよい。また、白色光を発生させる光源装置は、発光ダイオードなどの固体光源、メタルハライドランプなどの短アークのランプ光源などを含むものでものでもよい。   In the above-described embodiment, an illuminating device is provided for each image forming apparatus, but one illuminating device may be provided for a plurality of image forming apparatuses. For example, the illumination device may be configured to separate each color light from light including a plurality of color lights (in short, white light) and guide each color light to the image forming apparatus for each color. The light source device that generates white light includes, for example, a laser light source that emits red laser light, a laser light source that emits green laser light, and a laser light source that emits blue laser light, and each color laser light is dichroic. The composition may be made by a prism or a dichroic mirror. The light source device that generates white light may include a solid light source such as a light emitting diode, a short arc lamp light source such as a metal halide lamp, and the like.

なお、重畳光学系10の少なくとも一部は、光源装置7の一部として設けられていてもよい。例えば、図2に示した照明装置2bにおいて、光源装置7は、フライアイレンズ13およびフライアイレンズ14を含む光学ユニットであってもよい。この場合に、光源装置7は、レーザー光源60の発光量を調整することにより、フライアイレンズ14のレンズ要素14aのそれぞれから射出される光の光量を調整可能である。そのため、この光源装置7は、フライアイレンズ14のレンズ要素14aのそれぞれが光射出領域に相当する。   Note that at least a part of the superimposing optical system 10 may be provided as a part of the light source device 7. For example, in the illuminating device 2b shown in FIG. 2, the light source device 7 may be an optical unit including the fly-eye lens 13 and the fly-eye lens 14. In this case, the light source device 7 can adjust the amount of light emitted from each of the lens elements 14 a of the fly-eye lens 14 by adjusting the light emission amount of the laser light source 60. Therefore, in the light source device 7, each of the lens elements 14a of the fly-eye lens 14 corresponds to a light emission region.

なお、上記の実施形態において、プロジェクター1は、三板式の透過型液晶を備えたプロジェクターであるが、各色の画像を時間順次で投写し、各色の画像が時間的に積分されて観察されることでフルカラーの画像が表現される形態でもよい。プロジェクター1が表示する画像の色数に限定はなく、単色の画像を表示するものでもよいし、3色(3チャンネル)の色光でフルカラー画像を表現する代わりに2または4以上の色光で画像を表示するものでもよい。   In the above embodiment, the projector 1 is a projector including a three-plate transmissive liquid crystal, but images of each color are projected sequentially in time, and the images of each color are integrated and observed over time. In this case, a full color image may be expressed. The number of colors of the image displayed by the projector 1 is not limited, and a single color image may be displayed. Instead of expressing a full color image with three colors (three channels) of color light, an image is displayed with two or more color lights. It may be displayed.

なお、画像形成装置に用いられる光変調器は、透過型の液晶装置の他に、反射型の液晶装置、デジタルミラーデバイス等であってもよい。光変調器は、HTPS(High Temperature Poly−Silicon)技術、LCOS(Liquid Crystal on Silicon)技術などによるライトバルブでもよく、図16〜図18に示したような遮光膜33(ブラックマトリックス)を備えていなくてもよい。光変調器として液晶装置以外の光変調器を使用する場合は、フィールドレンズ19を省略してもよい。   The light modulator used in the image forming apparatus may be a reflective liquid crystal device, a digital mirror device, or the like in addition to the transmissive liquid crystal device. The light modulator may be a light valve based on HTPS (High Temperature Poly-Silicon) technology, LCOS (Liquid Crystal on Silicon) technology, or the like, and includes a light shielding film 33 (black matrix) as shown in FIGS. It does not have to be. When an optical modulator other than the liquid crystal device is used as the optical modulator, the field lens 19 may be omitted.

1 プロジェクター、2a〜2c 照明装置、3a〜3c 画像形成装置、4 投写系、7 光源装置、9 光路シフト装置、10 重畳光学系、13〜14 フライアイレンズ、15 重畳レンズ、36 光学ロッド、37 リレー光学系、50 回転軸、51 第1プリズム、53 第2プリズム、54 回転軸、IR 被照明領域、SC 投写面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Projector, 2a-2c Illuminating device, 3a-3c Image forming apparatus, 4 Projection system, 7 Light source device, 9 Optical path shift device, 10 Superimposing optical system, 13-14 Fly eye lens, 15 Superimposing lens, 36 Optical rod, 37 Relay optical system, 50 rotation axis, 51 first prism, 53 second prism, 54 rotation axis, IR illuminated area, SC projection plane

Claims (16)

光源装置と、
前記光源装置からの光が入射する重畳光学系と、
前記光源装置から射出された光の前記重畳光学系への入射位置を時間的に変化させる光路シフト装置と、を備える照明装置。
A light source device;
A superimposing optical system into which light from the light source device is incident;
An illumination device comprising: an optical path shift device that temporally changes an incident position of light emitted from the light source device to the superimposing optical system.
前記光路シフト装置は、
前記光源装置からの光を透過させ、前記重畳光学系の光軸の方向と交差する回転軸の周りに回転する第1プリズムを備える
請求項1に記載の照明装置。
The optical path shift device is
The illuminating device according to claim 1, further comprising a first prism that transmits light from the light source device and rotates around a rotation axis that intersects an optical axis direction of the superimposing optical system.
前記第1プリズムは、前記光源装置からの光が入射する第1面と、前記第1面に平行な第2面とを有する
請求項2記載の照明装置。
The lighting device according to claim 2, wherein the first prism has a first surface on which light from the light source device is incident and a second surface parallel to the first surface.
前記第1プリズムは、その回転軸に直交する断面形状が正方形である
請求項3記載の照明装置。
The lighting device according to claim 3, wherein the first prism has a square cross-sectional shape perpendicular to the rotation axis.
前記第1プリズムは、その回転軸に直交する断面形状が長方形である
請求項3記載の照明装置。
The lighting device according to claim 3, wherein the first prism has a rectangular cross-sectional shape orthogonal to a rotation axis thereof.
前記第1プリズムの回転速度は、毎秒6回転以上である
請求項4または5記載の照明装置。
The lighting device according to claim 4, wherein a rotation speed of the first prism is 6 rotations or more per second.
前記光路シフト装置は、
前記第1プリズムからの光を透過させ、前記重畳光学系の光軸の方向と交差する回転軸の周りに回転する第2プリズムを備える
請求項2〜6のいずれか一項記載の照明装置。
The optical path shift device is
The illumination device according to any one of claims 2 to 6, further comprising a second prism that transmits light from the first prism and rotates around a rotation axis that intersects an optical axis direction of the superimposing optical system.
前記第2プリズムの回転軸は、前記第1プリズムの回転軸の方向と交差する
請求項7記載の照明装置。
The illuminating device according to claim 7, wherein the rotation axis of the second prism intersects the direction of the rotation axis of the first prism.
前記光源装置は、前記入射位置が変化する方向に対して交差する方向に配列された複数の光源を含む
請求項1〜8のいずれか一項記載の照明装置。
The illuminating device according to claim 1, wherein the light source device includes a plurality of light sources arranged in a direction intersecting a direction in which the incident position changes.
第1の期間において、前記複数の光源のうち第1の光源の発光量が前記複数の光源のうち他の光源の発光量と異なり、第2の期間において、前記複数の光源のうち第2の光源の発光量が前記第1の期間における前記第2の光源の発光量と異なるように、前記光源装置を制御する光源制御装置を備える
請求項9記載の照明装置。
In the first period, the amount of light emitted from the first light source among the plurality of light sources is different from the amount of light emitted from other light sources in the plurality of light sources, and the second amount out of the plurality of light sources in the second period. The lighting device according to claim 9, further comprising: a light source control device that controls the light source device so that a light emission amount of the light source is different from a light emission amount of the second light source in the first period.
前記光源制御装置は、前記複数の光源のうち互いに隣り合う光源の発光量のそれぞれをともに減少または増加させる
請求項10記載の照明装置。
The illuminating device according to claim 10, wherein the light source control device decreases or increases each of light emission amounts of light sources adjacent to each other among the plurality of light sources.
前記光源制御装置は、前記複数の光源のうち互いに隣り合う光源の、一方の光源の発光量を減少させる際に、前記互いに隣り合う光源の他方の光源の発光量を増加させる
請求項10記載の照明装置。
The said light source control apparatus increases the emitted light amount of the other light source of the said adjacent light source, when reducing the emitted light amount of one light source of the light sources adjacent to each other among these light sources. Lighting device.
前記重畳光学系は、
前記光路シフト装置からの光が入射する複数のレンズ要素を含むレンズアレイと、
前記複数のレンズ要素のそれぞれからの光を前記被照明領域上で互いに重畳させる重畳レンズと、を含む
請求項1〜12のいずれか一項に記載の照明装置。
The superimposing optical system includes:
A lens array including a plurality of lens elements on which light from the optical path shifting device is incident;
The illuminating device according to claim 1, further comprising: a superimposing lens that superimposes light from each of the plurality of lens elements on the illuminated area.
前記重畳光学系は、
光が入射する入射端面、及び該入射端面から入射した光が射出される射出端面を有する光学ロッドと、
前記光学ロッドの射出端面と前記被照明領域とを光学的に共役にするリレー系と、を含む
請求項1〜12のいずれか一項に記載の照明装置。
The superimposing optical system includes:
An optical rod having an incident end face to which light is incident and an exit end face from which light incident from the incident end face is emitted;
The illuminating device according to claim 1, further comprising: a relay system that optically conjugates the emission end face of the optical rod and the illuminated region.
請求項1〜14のいずれか一項に記載の照明装置と、
前記照明装置からの光により画像を形成する画像形成系と、
前記画像形成系が形成した画像を投写する投写系と、を備えるプロジェクター。
The lighting device according to any one of claims 1 to 14,
An image forming system for forming an image with light from the illumination device;
And a projection system that projects an image formed by the image forming system.
前記画像形成系は、
前記被照明領域に配列される複数の画素のそれぞれに設けられた第1のマイクロレンズと、
前記第1のマイクロレンズとともにアフォーカル光学系を構成する第2のマイクロレンズとを含む
請求項15に記載のプロジェクター。
The image forming system includes:
A first microlens provided in each of a plurality of pixels arranged in the illuminated region;
The projector according to claim 15, further comprising: a second microlens that forms an afocal optical system together with the first microlens.
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