JP2014160882A5 - 自動材料ハンドリングシステムの材料加工の間における処理量低減装置及び方法 - Google Patents

Claims (22)

1. 自動材料ハンドリングシステムの材料加工の間における処理量低減装置であって、
   １個又はそれ以上のロードポート、及び自動材料ハンドリングシステムから材料ポッドを受け取るように構成される１個又はそれ以上の保管位置を備えた前端部を有する材料加工ツールと、１個又はそれ以上の保管位置はそれぞれ、１個又はそれ以上のロードポートの対応する１個と横に一列に水平に並んで配置されることと、
   前記前端部に取り付けられる少なくとも１個の可動バッファとを含み、
   該バッファは平行移動機構を含み、該バッファは前記１個又はそれ以上の保管位置の１個から前記１個又はそれ以上のロードポートの対応する１個に、材料ポッドを前記前端部と平行に直線的に移動させるように構成され、又は該バッファは該材料ポッドを前記１個又はそれ以上のロードポートの１個から受け取ると共に、１個又はそれ以上の保管位置の対応する１個に、該材料ポッドを前記前端部と平行に直線的に移動させるように構成され、或いはこれらの構成の両者に構成されており、該バッファは、材料ポッドを下方からバッファ上に支持すると共に、平行移動中における前記材料ハンドリングシステムによる材料ポッドへのアクセスを可能にするように構成され、１個又はそれ以上の保管位置はそれぞれ前記前端部において材料ポッドを下方から支持するように構成され、
   １個又はそれ以上の保管位置はそれぞれ、任意の１個又はそれ以上の保管位置にある材料ポッドが、前記バッファによって移動させられる必要なく、前記自動材料ハンドリングシステムによってアクセス可能であるように構成される
   こととを特徴とする装置。
2. 前記平行移動機構は、ポッドをロードポート及び該ロードポートの側方に配置される保管位置の間で水平方向に平行移動させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記バッファは前記ポッドを前記ポッドの回転運動によって移動させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
4. 前記バッファは、前記ポッドを前記ポッドの回転運動の間に略水平な向きに維持するように構成されることを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 前記バッファはポッドキャリア及び２個又はそれ以上のピボットアームを含み、各ピボットアームは第１端部が該ポッドキャリアに回動可能に取り付けられると共に、第２端部が回動点に回動可能に取り付けられ、該回動点は該ピボットアームが回転する時に互いに略平行な状態を維持するように配置されることを特徴とする請求項４に記載の装置。
6. 前記バッファはポッドキャリア及び２個又はそれ以上の軌道を含み、該２個又はそれ以上の軌道は第１及び第２軌道を含み、該第１及び第２軌道夫々は略同じ形状を有すると共に略同一平面上にある第１及び第２経路に従い、該ポッドキャリアは２個又はそれ以上の軸受けを含み、該軸受けは互いに略固定位置関係にあり、各軸受けは該第１及び第２軌道の異なる軌道を進むように構成され、該第１及び第２経路は互いにオフセットさせられることにより、前記ポッドキャリアが強制的に該軌道に沿って進められ、これにより、該ポッドキャリアが該軌道に沿って進む時に略水平なままであることを特徴とする請求項４に記載の装置。
7. 前記バッファはポッドキャリア及び２個又はそれ以上の軌道を含み、該２個又はそれ以上の軌道は第１及び第２軌道を含み、該第１及び第２軌道夫々は略同じ形状を有すると共に略同一平面上にある交差する閉ループの第１及び第２経路に従い、該ポッドキャリアは２個又はそれ以上の軸受けを含み、該軸受けは互いに略固定位置関係にあり、各軸受けは該第１及び第２軌道の異なる軌道を進むように構成され、該第１及び第２経路は互いにオフセットさせられることにより、前記ポッドキャリアが強制的に該軌道に沿って進められ、これにより、該ポッドキャリアが該軌道に沿って進む時に略水平なままであることを特徴とする請求項４に記載の装置。
8. 前記１個又はそれ以上の保管位置は、ロードポートの側方に配置される保管位置を含み、前記バッファは、前記ポッドを前記ポッドの回転運動によって前記１個又はそれ以上のロードポートのうちの１個又はそれ以上と、前記保管位置との間で移動させると共に該ポッドの該回転運動の間に該ポッドを略水平な向きに維持するように構成される回転機構を含み、前記バッファは更に、異なるポッドを前記ロードポート及び該ロードポートの側方に配置される前記保管位置の間で水平方向に平行移動させるように構成される平行移動機構を含み、これにより、該バッファは１個のポッドを回転運動によって移動させると共に、第２ポッドを平行移動運動によって移動させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
9. 前記バッファは、第１ポッド及び第２ポッドを、前記ツール前端部付近の保管位置及び前記ロードポートの１個の間で、略同時に取り替えるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
10. 前記バッファは前記第１ポッドを前記ポッドの回転運動によって移動させるように構成されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
11. 前記バッファは前記第１ポッドを前記ポッドの回転運動の間に略水平な向きに維持するように構成されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
12. 前記バッファはポッドキャリア及び２個又はそれ以上のピボットアームを含み、各ピボットアームは第１端部が該ポッドキャリアに回動可能に取り付けられると共に、第２端部が回動点に回動可能に取り付けられており、該回動点は該ピボットアームが回転する時に互いに略平行なままであるように配置されることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
13. 前記バッファはポッドキャリア及び２個又はそれ以上の軌道を含み、該２個又はそれ以上の軌道は第１及び第２軌道を含み、該第１及び第２軌道夫々は略同じ形状を有すると共に略同一平面上にある第１及び第２経路に従い、該ポッドキャリアは該ポッドに取り付けられる２個又はそれ以上の軸受けを含み、該軸受けは互いに略固定位置関係にあり、各軸受けは該第１及び第２軌道の異なる軌道を進むように構成されており、該第１及び第２経路は、該ポッドキャリアが該軌道に沿って進む時に略水平なままであるように、互いにオフセットされていることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
14. 前記バッファはポッドキャリア及び２個又はそれ以上の軌道を含み、該２個又はそれ以上の軌道は第１及び第２軌道を含み、該第１及び第２軌道夫々は略同じ形状を有すると共に略同一平面上にある交差する閉ループの第１及び第２経路に従い、該ポッドキャリアは２個又はそれ以上の軸受けを含み、該軸受けは互いに略固定位置関係にあり、各軸受けは該第１及び第２軌道の異なる軌道を進むように構成されており、該第１及び第２経路は互いにオフセットされることにより、該ポッドキャリアが強制的に前記軌道に沿って進められ、これにより、該ポッドキャリアが該軌道に沿って進む時に略水平なままであることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
15. 前記１個又はそれ以上の保管位置は、前記ロードポートのうちの１個の側方に配置される保管位置を含み、前記バッファは、前記ポッドを前記ポッドの回転運動によって前記１個又はそれ以上のロードポートのうちの１個又はそれ以上と、前記保管位置との間で移動させると共に該ポッドの該回転運動の間に該ポッドを略水平な向きに維持するように構成される回転機構を含み、前記バッファは更に、異なるポッドを前記ロードポート及び該ロードポートの側方に配置された前記保管位置の間において水平方向に平行移動させるように構成される平行移動機構を含み、これにより、該バッファは１個のポッドを該ポッドの回転運動によって移動させると共に、第２ポッドを平行移動運動によって移動させるように構成されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
16. 前記材料加工ツールはウェハ加工ツールであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
17. 前記ウェハ加工ツールは計測ツール、ウェハ表面検査ツール、又は薄層計測ツールであることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
18. 前記材料ポッドは前面開閉搬送ポッド（ＦＯＵＰ）であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
19. 前記ツールは隣り合う２個以上のロードポートを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
20. 前記ツールは隣り合う３個以上のロードポートを含み、第１ロードポートは第２及び第３ロードポートの間に置かれ、第１可動バッファは該第２ロードポートに近接して配置されると共に、第２可動バッファは該第３ロードポートに近接して配置されることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
21. 前記１個以上の保管位置は、前記材料ポッドのタグからの情報を読み取ると共に、情報をシステム制御装置へ供給するように構成されるタグリーダを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
22. １個又はそれ以上のロードポート、及び自動材料ハンドリングシステムから１個又はそれ以上の材料ポッドを受け取るように構成される１個又はそれ以上の保管位置を備えた前端部を有する１個又はそれ以上の材料加工ツールを有するシステムにおいて、材料加工の間における自動材料ハンドリングシステムの処理量低減方法であって、
    前記１個又はそれ以上の保管位置の１個又はそれ以上から１個又はそれ以上の材料ポッドを受け取る工程であって、前記１個又はそれ以上の保管位置はそれぞれ、１個又はそれ以上のロードポートの対応する１個と横に一列に水平に並んで配置される工程と、
    前記１個又はそれ以上の保管位置の１個から前記１個又はそれ以上のロードポートの対応する１個に、前記１個又はそれ以上の材料ポッドを前記前端部と平行に直線的に移動させるための平行移動機構を有する可動バッファにより、前記１個又はそれ以上の材料ポッドを移動させると共に、前記１個又はそれ以上のポッドを下方から支持する工程、又は
    該１個又はそれ以上の材料ポッドを前記１個又はそれ以上のロードポートの１個又はそれ以上から受け取り、且つ前記可動バッファにより、前記ロードポートから１個又はそれ以上の保管位置の対応する１個に、前記１個又はそれ以上の材料ポッドを水平方向に平行移動させると共に、前記１個又はそれ以上の材料ポッドを下方から支持する工程、
    或いは上記工程の両者とを含み、
    前記１個又はそれ以上の材料ポッドは、下方から支持されると共に、前記前端部における任意の１個又はそれ以上の保管位置において、前記バッファによって移動させられる必要なく、前記自動材料ハンドリングシステムによってアクセス可能であることを特徴とする方法。