JP2014074475A - Linear guide device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば、半導体製造装置、工作機械、測定機器などで用いられるリニアガイド装置に関する。 The present invention relates to a linear guide device used in, for example, a semiconductor manufacturing apparatus, a machine tool, and a measuring instrument.
従来より、クリーン環境において使用されるリニアガイド装置(直動案内軸受装置としては、グリースなどの潤滑剤がスライダ外部へ漏れ出し周辺環境を汚染しないように密封性を高める工夫がされたものが提案されている。
しかし、潤滑剤は、古くなると潤滑性能が劣化するため、定期的に補給する必要があり、必然的に古い潤滑剤が外部へ押し出されることによって周辺環境を汚染する問題があった。一方、潤滑剤の補給を怠ると、潤滑不具合を起こし、リニアガイド装置の早期破壊に至ることがあった。
このような問題を解決するために、スライダ内に潤滑剤を回収する部分を設け、そこに余分な潤滑剤を回収する潤滑剤回収部品を備えたリニアガイド装置が特許文献1に開示されている。
Conventionally, linear guide devices used in a clean environment (for linear motion guide bearing devices, a device that has been devised to improve the sealing performance so that grease and other lubricants do not leak out of the slider and contaminate the surrounding environment has been proposed. Has been.
However, when the lubricant becomes old, the lubrication performance deteriorates. Therefore, it is necessary to replenish the lubricant periodically, and there is a problem that the old lubricant is inevitably polluted and the surrounding environment is contaminated. On the other hand, if the lubricant is not replenished, a lubrication failure may occur and the linear guide device may be destroyed at an early stage.
In order to solve such a problem, Patent Document 1 discloses a linear guide device provided with a portion for collecting a lubricant in a slider and provided with a lubricant collecting part for collecting excess lubricant. .
図5は、特許文献1に開示された従来のリニアガイド装置の構成を示す斜視図である。図5に示すように、このリニアガイド装置100は、案内レール110が、軸を上下方向へ向けて設置面(図示せず)に設置されている。また、スライダ本体120の移動方向両端面にそれぞれ接合されている、二つのエンドキャップ130a,130bのうち、下方に配置されるエンドキャップ130aの、スライダ本体120と対向する面と反対側の面には、ケース部200が取り付けられている。そして、多孔質構造を有し、潤滑剤を吸収可能な物性を有する潤滑剤吸収部140が、ケース部200によって、案内レール110と接触した状態で保持されている。
このような構成のリニアガイド装置100は、案内レール110とスライダ本体120との間から漏出して下方へ流れる潤滑剤を、潤滑剤吸収部140によって吸収することにより、潤滑剤の飛散を防止する構成となっている。
FIG. 5 is a perspective view showing a configuration of a conventional linear guide device disclosed in Patent Document 1. As shown in FIG. As shown in FIG. 5, in this
The
しかしながら、特許文献1に開示されたリニアガイド装置においても、潤滑剤回収部品が多孔質構造の吸収プレートで構成されているため、吸収プレートから漏出した潤滑剤が周辺環境を汚染するという問題は依然解消されなかった。
そこで、本発明は上記の問題点に着目してなされたものであり、その目的は、スライダの作動性低下や潤滑剤の漏出を防ぎ、周辺環境の汚染を防止するリニアガイド装置を提供することにある。
However, even in the linear guide device disclosed in Patent Document 1, since the lubricant recovery component is composed of an absorption plate having a porous structure, the problem that the lubricant leaked from the absorption plate contaminates the surrounding environment still remains. It was not solved.
Accordingly, the present invention has been made paying attention to the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a linear guide device that prevents the operability of the slider and the leakage of the lubricant and prevents contamination of the surrounding environment. It is in.
上記課題を解決するための本発明の請求項1に係るリニアガイド装置は、案内レールと、該案内レールの長手方向に相対移動するスライダ本体の両端面にエンドキャップを装着してなるスライダと、このスライダのスライダ本体に形成された転動体転動溝と前記案内レールの外表面に形成された転動体転動溝との間に転動自在に設けられた多数の転動体と、前記スライダのエンドキャップ端面に設けられたサイドシールと回収ユニットと、を具備してなるリニアガイド装置において、
前記サイドシールには前記案内レールの長手方向に対をなす複数のリップ部が形成され、前記複数のリップ部のうちの一方のリップ部により前記案内レールの表面の余分な潤滑剤を回収する回収ユニットの正面部に回収孔が形成され、前記回収孔の周囲に潤滑剤の構成要素である基油または添加剤を吸収するスポンジが設けられ、
前記回収ユニットの側面には、潤滑剤の構成要素である増ちょう剤を排出する排出孔が複数設けられたことを特徴としている。
請求項1の発明によれば、前記回収ユニットの側面と底面とに設けられたスポンジに潤滑剤の構成要素である基油または添加剤を定期的に吸収できる。また、前記回収ユニットの側面に設けられた排出孔から、定期的に溜まった潤滑剤の構成要素である増ちょう剤を排出(吸引)できる。そのため、スライダ内部の潤滑剤の量を定量に保ち、潤滑剤の漏出を防ぎ、結果として、周辺環境の汚染を防止することができる。
A linear guide device according to claim 1 of the present invention for solving the above-mentioned problems is a guide rail, and a slider formed by attaching end caps to both end faces of a slider body that relatively moves in the longitudinal direction of the guide rail, A number of rolling elements provided between the rolling element rolling grooves formed on the slider body of the slider and the rolling element rolling grooves formed on the outer surface of the guide rail, In a linear guide device comprising a side seal provided on an end cap end face and a recovery unit,
The side seal is formed with a plurality of lip portions that are paired in the longitudinal direction of the guide rail, and one of the plurality of lip portions collects excess lubricant on the surface of the guide rail. A recovery hole is formed in the front portion of the unit, and a sponge that absorbs a base oil or an additive constituting a lubricant is provided around the recovery hole.
A side surface of the recovery unit is provided with a plurality of discharge holes for discharging a thickener as a component of the lubricant.
According to invention of Claim 1, the base oil or additive which is a component of a lubrication agent can be regularly absorbed into the sponge provided in the side surface and bottom face of the said collection | recovery unit. Further, the thickener, which is a component of the lubricant that has been collected regularly, can be discharged (sucked) from the discharge hole provided in the side surface of the recovery unit. Therefore, it is possible to keep the amount of lubricant inside the slider constant, prevent leakage of the lubricant, and as a result, prevent contamination of the surrounding environment.
また、本発明の請求項2に係るリニアガイド装置は、請求項1に記載のリニアガイド装置において、前記回収ユニットの正面部には、側面部に沿って突出部が形成されたことを特徴としている。
請求項2の発明によれば、前記回収ユニットと、その正面部側に設置されるサイドシールとの密閉性を向上させるので、潤滑剤の漏出による周辺環境の汚染をさらに防止することができる。
The linear guide device according to a second aspect of the present invention is the linear guide device according to the first aspect, characterized in that a protrusion is formed along the side surface of the front portion of the recovery unit. Yes.
According to invention of Claim 2, since the sealing property of the said collection | recovery unit and the side seal installed in the front part side is improved, the contamination of the surrounding environment by the leakage of a lubricant can further be prevented.
また、本発明の請求項3に係るリニアガイド装置は、請求項1又は2に記載のリニアガイド装置において、前記一方のリップ部の形状が、その反対側に位置する他方のリップ部よりも前記案内レールの表面に対する傾斜角度が小さく、かつ前記案内レールの軸方向に長く形成されることを特徴としている。
請求項3の発明によれば、前記一方のリップ部(前記回収ユニットが設置された側のリップ部)の形状が、傾斜角度が小さく、かつ長く形成されることで、前記案内レール上の潤滑剤を掬い上げ易くなる。その結果、前記案内レール上の不要な潤滑剤を前記回収ユニットに効率よく誘導することができ、周辺環境の汚染を防止することができる。
The linear guide device according to claim 3 of the present invention is the linear guide device according to claim 1 or 2, wherein the shape of the one lip portion is more than the other lip portion located on the opposite side. The inclination angle with respect to the surface of the guide rail is small, and the guide rail is long in the axial direction of the guide rail.
According to the invention of claim 3, since the shape of the one lip portion (the lip portion on the side where the recovery unit is installed) is formed with a small inclination angle and a long length, lubrication on the guide rail is achieved. It becomes easy to scoop up the agent. As a result, unnecessary lubricant on the guide rail can be efficiently guided to the recovery unit, and contamination of the surrounding environment can be prevented.
本発明によれば、スライダの作動性低下や潤滑剤の漏出を防ぎ、周辺環境の汚染を防止するリニアガイド装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the linear guide apparatus which prevents the operability fall of a slider and the leakage of a lubricant, and prevents the surrounding environment from being contaminated can be provided.
以下、本発明に係るリニアガイド装置の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明に係るリニアガイド装置の一実施形態における構成を示す図である。また、図2は、本発明に係るリニアガイド装置の一実施形態における回収ユニットの構成を示す図であり、(a)は正面図、(b)は底面図、(c)は背面図、(d)は平面図、(e)は右側面図、(f)は左側面図である。
図1に示すように、リニアガイド装置1は、軸方向に延びる案内レール10と、該案内レール10上に軸方向に相対移動可能に跨架されたスライダ20と、エンドキャップ30と、回収ユニット40と、サイドシール50とを有する。
Embodiments of a linear guide device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration in an embodiment of a linear guide device according to the present invention. FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a recovery unit in an embodiment of the linear guide device according to the present invention, where (a) is a front view, (b) is a bottom view, (c) is a rear view, d) is a plan view, (e) is a right side view, and (f) is a left side view.
As shown in FIG. 1, the linear guide device 1 includes a
<案内レール>
案内レール10の両側面10a,10aには、該案内レール10の軸方向(長手方向)に沿って転動体転動溝11,11が2条ずつ形成されている。
<スライダ>
一方、スライダ20のスライダ本体20aには、その両袖部21,21の内側面に、転動体転動溝11にそれぞれ対向する転動体転動溝22,22が形成されている。そして、これらの対向する両転動体転動溝11,22の間には、転動体の一例としての多数のボールBが転動自在に装填され、これらボールBの転動を介してスライダ20が案内レール10上を軸方向に沿って相対移動できるようになっている。
<Guide rail>
Two rolling
<Slider>
On the other hand, the
<エンドキャップ>
この移動につれて、案内レール10とスライダ20との間に介在するボールBは転動してスライダ20の端部に移動するが、スライダ20を軸方向に継続して移動させていくためには、これらのボールBを無限に循環させる必要がある。
このため、スライダ本体20aの袖部21内に軸方向に貫通する転動体通路23を形成すると共に、スライダ本体20aの両端にそれぞれ略U字状のエンドキャップ30が設置される。そして、このエンドキャップ30に転動体転動溝11,22間と転動体通路23とを連通する半円弧状に湾曲した方向転換路24を形成することにより、転動体無限循環軌道を形成している。
<End cap>
With this movement, the ball B interposed between the
For this reason, the
また、エンドキャップ30の外側の端面30aには、回収ユニット40及びサイドシール50がこの順でスライダ20の軸方向(移動方向)に重ねて設置されている。なお、回収ユニット40は、案内レール10の左右側面部10a,10a及び上面部10bに対して非接触に設置されている。エンドキャップ30、回収ユニット40及びサイドシール50は、例えば、ねじ25等の固定手段を介してスライダ20aに固定されている。
A
<回収ユニット>
回収ユニット40は、図2(a)〜(f)に示すように、中空の略U字形状をなす。
サイドシール50に対向する回収ユニット40の正面部40aには、案内レール10の両側面部10a,10a、及び上面部10bに対向する対向面部40cに沿って、内部に貫通する回収孔41が形成されている。
<Recovery unit>
As shown in FIGS. 2A to 2F, the
A
また、回収ユニット40の正面部40aには、サイドシール50が設けられる向きに向かって突出する突出部42が、側面部40dに沿って形成されている。ここで、側面部40dは、回収ユニット40の表面を構成する全ての面のうち、正面部40a、対向面部40c、及び正面部40aの反対側の背面部40bを除いた面を指す。すなわち、側面部40dは、回収ユニット40の表面を構成する全ての面のうち、サイドシール50に対向する正面部40a,エンドキャップ30に対向する背面部40b、及び案内レール10に対向する対向面部40c以外の面であるため、外部に露出している。
In addition, a
また、側面部40dには、回収ユニット40の内部に貫通する排出孔45が1以上設けられている。排出孔45の設置位置は、側面部40dに設けられれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択されるが、複数設けられる場合には、側面部40dを構成する各面に、軸方向に対称的に設けられることが好ましい。
排出孔45は、通常、ねじ等の取り外し可能な埋栓で閉塞されている。
また、回収ユニット40の背面部40bにも、エンドキャップ30が設けられる向きに向かって突出する突出部42が、側面部40dに沿って形成されてもよい。
Further, the
The
Further, a protruding
<サイドシール>
図3は、本発明に係るリニアガイド装置の一実施形態におけるサイドシールの構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は(a)の3c−3cに沿う部分断面図である。
図3(a)〜(c)に示すように、サイドシール50は、エンドキャップ30及び回収ユニット40と同様に略U字状に形成されて、内周部が案内レール10に摺接するシール面とされており、プレス加工された鋼板5に合成ゴムを焼付接着してなるリップ部52が一体に成型されている。リップ部52は、案内レール10側の先端部が、案内レール10の長手方向(軸方向)に対をなして分岐している。すなわち、リップ部52は、回収ユニット40側に延びて案内レール10に摺接する第1のリップ部52aと、外側(回収ユニット40側とは反対側)に延びて案内レール10に摺接する第2のリップ部52bとを有する。
<Side seal>
3A and 3B are diagrams showing a configuration of a side seal in an embodiment of the linear guide device according to the present invention, in which FIG. 3A is a plan view, FIG. 3B is a front view, and FIG. It is a fragmentary sectional view in alignment with 3c.
As shown in FIGS. 3A to 3C, the
ここで、リップ部52の先端部に形成される第1のリップ部52aの形状は、第2のリップ部52bよりも案内レール10の表面に対する傾斜角度が小さく、かつ案内レール10の軸方向に長く形成されることが好ましい。
また、サイドシール50の回収ユニット40側の面には、第1のリップ部52aに連通して、第1のリップ部52aの先端から掬い上げられた潤滑剤Xを、案内レール10の側面部10a及び上面部10bから離れる方向に誘導し、回収孔41に至らしめる誘導溝53が形成されている。さらに、回収孔41の周囲にスポンジ60が設けられている(図4参照)。
Here, the shape of the
Further, the lubricant X, which is communicated with the
<潤滑剤の回収プロセス>
図4は、本発明に係るリニアガイド装置の一実施形態における案内レール上の不要な潤滑剤を回収ユニットに回収するプロセスを説明する図である。
図4に示すように、排出孔45が埋栓で閉塞された状態で、案内レール10に対してスライダ20を軸方向に移動させたとき、スライダ20から漏れ出て案内レール10上に溜まった潤滑剤Xは、サイドシール50の第1のリップ部52aによって掬い上げられる。
<Lubricant recovery process>
FIG. 4 is a diagram illustrating a process of collecting unnecessary lubricant on the guide rail in the collection unit in one embodiment of the linear guide device according to the present invention.
As shown in FIG. 4, when the
第1のリップ部52aによって掬い上げられた潤滑剤Xは、図4中の矢印に示すように、サイドシール50の誘導溝53を伝って、スポンジ60により潤滑剤Xの構成要素である基油または添加剤Yは吸収され、潤滑剤Xの構成要素である増ちょう剤Zは回収ユニット40の回収孔41に貯留される。
回収孔41の周囲に設けられたスポンジ60に吸収された基油または添加剤Yは、スポンジ60と供に回収ユニットから取り外すことができる。また、回収孔41に貯留された増ちょう剤Zは、排出孔45の埋栓を外し、吸引ポンプ等の吸引装置(図示せず)を排出孔45に接続して排出することができる。したがって、スライダ20の内部の潤滑剤Xの量を定量に保ち、潤滑剤Xの漏出を防ぎ、結果として、周辺環境の汚染を防止することができる。
The lubricant X scooped up by the
The base oil or additive Y absorbed by the
また、回収ユニット40の正面40aに突出部42が形成されたことによって、回収ユニット40とサイドシール50との密閉性を向上させるので、潤滑剤Xの漏出による周辺環境の汚染をさらに防止することができる。
また、第1のリップ部52aの形状が、第2のリップ部52bに比して、案内レール10の上面部10bに対する傾斜角度が小さく、かつ案内レール10の軸方向に長く形成されることで、案内レール10上の潤滑剤Xを掬い上げ易くなる。その結果、案内レール10上の不要な潤滑剤Xを回収ユニット40に効率よく誘導することができ、周辺環境の汚染を防止することができる。
以上、本発明に係るリニアガイド装置の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。
In addition, since the projecting
Further, the shape of the
As mentioned above, although embodiment of the linear guide apparatus based on this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible unless it deviates from the meaning of this invention.
1 リニアガイド装置
10 案内レール
11 転動体転動溝
20 スライダ
20a スライダ本体
22 転動体転動溝
30 エンドキャップ
40 回収ユニット
40d 側面部
45 排出孔
50 サイドシール
60 スポンジ
B 転動体
X 潤滑剤
Y 基油または添加剤
Z 増ちょう剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (3)
前記サイドシールには前記案内レールの長手方向に対をなす複数のリップ部が形成され、
前記複数のリップ部のうちの一方のリップ部により前記案内レールの表面の余分な潤滑剤を回収する前記回収ユニットの正面部に回収孔が形成され、
前記回収孔の周囲に、潤滑剤の構成要素である基油または添加剤を吸収するスポンジが設けられ、
前記回収孔の側面には潤滑剤の構成要素である増ちょう剤を回収された余分な潤滑剤を排出する排出孔が複数設けられたことを特徴とするリニアガイド装置。 A guide rail, a slider in which end caps are attached to both end faces of the slider main body that moves relative to the longitudinal direction of the guide rail, rolling element rolling grooves formed in the slider main body of the slider, and the outside of the guide rail A linear body comprising a large number of rolling elements provided in a freely rolling manner between rolling element rolling grooves formed on the surface, a side seal provided on an end cap end surface of the slider, and a recovery unit. In the guide device,
The side seal is formed with a plurality of lip portions that are paired in the longitudinal direction of the guide rail,
A recovery hole is formed in the front portion of the recovery unit that recovers excess lubricant on the surface of the guide rail by one lip portion of the plurality of lip portions,
A sponge that absorbs the base oil or additive that is a constituent of the lubricant is provided around the recovery hole,
The linear guide device according to claim 1, wherein a plurality of discharge holes for discharging the excess lubricant recovered from the thickener, which is a component of the lubricant, are provided on a side surface of the recovery hole.
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