JP2013250478A5 - - Google Patents

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本発明の転写方法においては、標準的なＬＣＤ用露光装置を用いることができる。この場合、例えば、開口数ＮＡを０．０６〜０．１０、コヒレンスσを０．５〜１．０の範囲とすることができる。こうした露光装置は、一般に、３μm程度を解像限界としている。露光光源としては、３６５〜４３６nm（ｉ線〜ｇ線）を含む光源を用いることが好ましい。

JP2012126114A 2012-06-01 2012-06-01 フォトマスク、フォトマスクの製造方法及びパターンの転写方法 Active JP6093117B2 (ja)

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