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JP2013148825A - Optical module - Google Patents

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JP2013148825A
JP2013148825A JP2012011149A JP2012011149A JP2013148825A JP 2013148825 A JP2013148825 A JP 2013148825A JP 2012011149 A JP2012011149 A JP 2012011149A JP 2012011149 A JP2012011149 A JP 2012011149A JP 2013148825 A JP2013148825 A JP 2013148825A
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beam splitter
light
light receiving
receiving element
optical
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JP2012011149A
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Japanese (ja)
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Tomohiko Yahagi
智彦 矢萩
Takeshi Yamashita
武 山下
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Lumentum Japan Inc
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Oclaro Japan Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate electrical coupling of all of light receiving elements for realizing wavelength locker even without using a support member expressly meant for a light receiving element.SOLUTION: A first light receiving element (18-1) that is a rear incidence type light receiving element is disposed on a top face of a first beam splitter (16-1), an optical filter (17) is disposed on a top face of a second beam splitter (16-2), and a second light receiving element (18-2) that is a rear incidence type light receiving element is disposed on a top face of the optical filter (17). Here, the first beam splitter (16-1) emits branched light from the top face thereof and the second beam splitter (16-2) emits branched light from the top face thereof.

Description

本発明は、光モジュールに関する。   The present invention relates to an optical module.

光通信モジュールの送信側用の光源には、出射光の波長を変更出来、変更可能な帯域から所望の波長の光を選択し出射する機能を有するものがある。以下ではそのような光源を波長可変光素子と呼ぶ。波長可変光素子を使用した送信側の光モジュールは、発振波長を変更可能な帯域から所望の波長に制御するため、波長ロッカーと呼ばれるフィードバック制御を用いることがある。波長ロッカーの一例として、光源を出射した光の光強度と、透過光の波長に依存し透過率が変化する特性を持つ光フィルタを透過した光の光強度とを、比較することで所望の波長からのずれを検出し、フィードバック制御を行う構成がある。   Some light sources for the transmission side of an optical communication module have a function of changing the wavelength of emitted light and selecting and emitting light of a desired wavelength from a changeable band. Hereinafter, such a light source is referred to as a wavelength tunable optical element. An optical module on the transmission side using a wavelength tunable optical element may use feedback control called a wavelength locker to control the oscillation wavelength from a band that can be changed to a desired wavelength. As an example of a wavelength locker, by comparing the light intensity of light emitted from a light source with the light intensity of light transmitted through an optical filter whose transmittance varies depending on the wavelength of transmitted light, a desired wavelength is compared. There is a configuration in which a deviation from the position is detected and feedback control is performed.

例えば、特許文献1には波長ロッカーを搭載した送信用光モジュールの一例が記載されている。特許文献1に記載された波長ロッカーは、光源となる光素子から出射された光を、レンズを用いて平行光にした後、光線の一部を分岐させる光学素子(ビームスプリッター)を二つ用いて、出射光の光強度検出用光線と、光フィルタを透過した光強度検出用光線とに分岐する構成を持つ。   For example, Patent Document 1 describes an example of a transmission optical module equipped with a wavelength locker. The wavelength locker described in Patent Document 1 uses two optical elements (beam splitters) that branch light partially after collimating light emitted from an optical element serving as a light source using a lens. Thus, the light intensity detection light beam of the emitted light and the light intensity detection light beam transmitted through the optical filter are branched.

一般的に光強度検出には光強度を電流に変換する受光素子を用い、高光結合効率を確保する目的と、電気的結合のための配線の目的から、受光素子専用の支持部材を必要とする。専用の支持部材を使用すると、波長ロッカーを構成するために必要となる領域と、支持部材用のコストとが拡大し、送信側の光モジュールの小型化及び低コスト化に対し課題となる。   In general, a light receiving element that converts light intensity into electric current is used for light intensity detection, and a support member dedicated to the light receiving element is required for the purpose of ensuring high optical coupling efficiency and the purpose of wiring for electrical coupling. . When a dedicated support member is used, the area required for configuring the wavelength locker and the cost for the support member are increased, which is a problem for downsizing and cost reduction of the optical module on the transmission side.

この点、専用の支持部材を用いずに光源の光強度及び光フィルタの透過光強度を受光素子で検出する構成の一例が特許文献2に記載されている。特許文献2(例えば、図1)に記載された構成は、立方体のビームスプリッタで光線を二つに分岐し、一方の分岐光が出射する面に受光素子のみを直接接合し、もう一方の分岐光が出射する面に光フィルタと受光素子を連結して直接接合するという構成である。   In this regard, Patent Document 2 describes an example of a configuration in which a light receiving element detects the light intensity of a light source and the transmitted light intensity of an optical filter without using a dedicated support member. In the configuration described in Patent Document 2 (for example, FIG. 1), a light beam is branched into two by a cubic beam splitter, and only a light receiving element is directly joined to a surface from which one branched light is emitted, and the other branch. In this configuration, an optical filter and a light receiving element are connected and directly joined to a surface from which light is emitted.

特開2011−124444号公報JP 2011-124444 A 特開2002−299745号公報JP 2002-299745 A

波長ロッカーを構成するためには、光結合のみではなく電気的結合も実現する必要がある。受光素子を含む光学素子の電気的結合は一般的に、光モジュール上方に光学素子の電極部が現れるように配置し、光モジュール上方から伝導性ワイヤを押し当てワイヤ接続する。   In order to configure the wavelength locker, it is necessary to realize not only optical coupling but also electrical coupling. In general, electrical coupling of the optical elements including the light receiving element is arranged such that the electrode portion of the optical element appears above the optical module, and a conductive wire is pressed from above the optical module to connect the wires.

特許文献2(例えば、図1)の場合、波長ロッカーを実現するための二つの受光素子のうち、電極部が光モジュール上方を向くものは多くても一つであるため、両方の受光素子に関し、ワイヤ接続を簡易に行うことは困難である。   In the case of Patent Document 2 (for example, FIG. 1), since at least one of the two light receiving elements for realizing the wavelength locker has the electrode portion facing the upper side of the optical module, it relates to both of the light receiving elements. It is difficult to easily perform wire connection.

本発明は、受光素子専用の支持部材を用いない場合でも、波長ロッカーを実現するための受光素子の全部の電気的結合を容易に行えるようにすることである。   An object of the present invention is to make it possible to easily perform all electrical coupling of a light receiving element for realizing a wavelength locker even when a support member dedicated to the light receiving element is not used.

上記課題を解決するために本発明に係る光モジュールは、プラットフォーム基板に設置され、光を出射する波長可変光素子と、前記プラットフォーム基板に設置され、前記波長可変光素子から出射された光を透過光と分岐光とに分岐する第1のビームスプリッタと、前記第1のビームスプリッタから出射された分岐光の光強度を検出する第1受光素子と、前記プラットフォーム基板に設置され、前記第1のビームスプリッタから出射された透過光を、透過光と分岐光とに分岐する第2のビームスプリッタと、前記第2のビームスプリッタから出射された分岐光が通過する光フィルタと、前記光フィルタを通過した光の光強度を検出する第2の受光素子と、を備え、前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子は、裏面入射型受光素子であり、前記第1の受光素子は、前記第1のビームスプリッタと第2のビームスプリッタとのうちの一方のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面に設置され、前記光フィルタは、前記第1のビームスプリッタと第2のビームスプリッタとのうちの他方のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面に設置され、前記第2の受光素子は、前記光フィルタの面のうちの、前記他方のビームスプリッタに接している面とは反対の面に設置され、前記第1のビームスプリッタは、前記第1のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面から分岐光を出射し、前記第2のビームスプリッタは、前記第2のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面から分岐光を出射することを特徴とする。前記第1の受光素子は、前記第1のビームスプリッタもしくは前記第2のビームスプリッタと接している面とは反対の面にて、電気的結合のための配線がされてよいし、前記第2の受光素子は、前記光フィルタと接している面とは反対の面にて、電気的結合のための配線がされてよい。   In order to solve the above problems, an optical module according to the present invention is installed on a platform substrate and emits light, and a wavelength tunable optical element that is installed on the platform substrate and transmits light emitted from the wavelength tunable optical element. A first beam splitter that branches into light and branched light; a first light receiving element that detects the light intensity of the branched light emitted from the first beam splitter; and A second beam splitter for branching the transmitted light emitted from the beam splitter into a transmitted light and a branched light; an optical filter through which the branched light emitted from the second beam splitter passes; and the optical filter And a second light receiving element for detecting the light intensity of the light, and the first light receiving element and the second light receiving element are back-illuminated light receiving elements, The first light receiving element is installed on a surface of one of the first beam splitter and the second beam splitter opposite to the surface in contact with the platform substrate. The optical filter is disposed on a surface of the other of the first beam splitter and the second beam splitter that is opposite to the surface in contact with the platform substrate, The second light receiving element is installed on the surface of the optical filter opposite to the surface in contact with the other beam splitter, and the first beam splitter is connected to the first beam splitter. Branching light is emitted from a surface of the surface opposite to the surface in contact with the platform substrate, and the second beam splitter includes the second beam splitter. Of the faces, to the surface in contact with the platform substrate, characterized in that emits branched light from the opposite side. The first light receiving element may be wired for electrical coupling on a surface opposite to the surface in contact with the first beam splitter or the second beam splitter, The light receiving element may be wired for electrical coupling on a surface opposite to the surface in contact with the optical filter.

また、前記光モジュールは、前記第2のビームスプリッタから出射された透過光を出力してよい。また、前記光モジュールは、前記第2のビームスプリッタから出射された透過光を変調する変調素子をさらに備え、前記変調素子により変調された光を出力してもよい。   The optical module may output transmitted light emitted from the second beam splitter. The optical module may further include a modulation element that modulates the transmitted light emitted from the second beam splitter, and may output light modulated by the modulation element.

本発明によれば、受光素子専用の支持部材を用いない場合でも、波長ロッカーを実現するための受光素子の全部の電気的結合を容易に行える。   According to the present invention, even when a support member dedicated to a light receiving element is not used, the entire electrical coupling of the light receiving elements for realizing the wavelength locker can be easily performed.

本発明の一実施形態に係る光モジュールの内部を上方から見た様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the inside of the optical module which concerns on one Embodiment of this invention was seen from upper direction. 本発明の一実施形態に係る光モジュールの内部を側面から見た様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the inside of the optical module which concerns on one Embodiment of this invention was seen from the side surface. 変形例における光モジュールの内部を上方から見た様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the inside of the optical module in a modification was seen from upper direction. 変形例における光モジュールの内部を側面から見た様子を示す図である。It is a figure which shows a mode that the inside of the optical module in a modification was seen from the side surface.

図1Aと図1Bは、本実施形態に係る光モジュール1の構成の一例を示す図である。図1Aは、光モジュール1の内部を光モジュール1の上方から見た様子を示している。図1Bは、光モジュール1の内部を光モジュール1の側面から見た様子を示している。   1A and 1B are diagrams illustrating an example of the configuration of the optical module 1 according to the present embodiment. FIG. 1A shows a state in which the inside of the optical module 1 is viewed from above the optical module 1. FIG. 1B shows a state in which the inside of the optical module 1 is viewed from the side surface of the optical module 1.

本実施形態に係る光モジュール1は、例えば、筐体10内に熱電クーラー(以下、TECと表記する)11、プラットフォーム基板12、光源である波長可変光素子13、第1のレンズ14、第2のレンズ15、第1のビームスプリッタ16−1、第2のビームスプリッタ16−2、光フィルタ17(エタロンフィルタ)、第1の受光素子18−1、及び第2の受光素子18−2と、を備える。   The optical module 1 according to this embodiment includes, for example, a thermoelectric cooler (hereinafter referred to as TEC) 11, a platform substrate 12, a wavelength tunable optical element 13 that is a light source, a first lens 14, and a second lens in a housing 10. Lens 15, first beam splitter 16-1, second beam splitter 16-2, optical filter 17 (etalon filter), first light receiving element 18-1, and second light receiving element 18-2, Is provided.

図1Bに示すように、光モジュール1の筐体10の底面の上には、TEC11が配置されている。また、TEC11の上にはプラットフォーム基板12が配置されている。そして、プラットフォーム基板12の上には、波長可変光素子13と、第1のレンズ14と、第1のビームスプリッタ16−1と、第2のビームスプリッタ16−2と、第2のレンズ15と、が配置されている。波長可変光素子13と、第1のレンズ14と、第1のビームスプリッタ16−1と、第2のビームスプリッタ16−2と、第2のレンズ15と、は波長可変素子13の光軸上に配置されている。なお、第1のビームスプリッタ16−1及び第2のビームスプリッタ16−2は、共に、二つの直角プリズムを接合したキューブ形状を有し、二つの直角プリズムの接合面で入射光を透過光と分岐光とに分岐する機能を持つ。   As shown in FIG. 1B, the TEC 11 is disposed on the bottom surface of the housing 10 of the optical module 1. A platform substrate 12 is disposed on the TEC 11. On the platform substrate 12, the variable wavelength optical element 13, the first lens 14, the first beam splitter 16-1, the second beam splitter 16-2, and the second lens 15 are provided. , Is arranged. The wavelength tunable optical element 13, the first lens 14, the first beam splitter 16-1, the second beam splitter 16-2, and the second lens 15 are on the optical axis of the wavelength tunable element 13. Is arranged. Both the first beam splitter 16-1 and the second beam splitter 16-2 have a cube shape in which two right-angle prisms are joined, and incident light is transmitted as transmitted light at the joint surface of the two right-angle prisms. Has the function of branching to branch light.

また、第1のビームスプリッタ16−1の上面には第1の受光素子18−1が配置されている。そのため、第1の受光素子18−1は第1のビームスプリッタ16−1によって支持される。ここで、第1の受光素子18−1は、裏面入射型受光素子であり、その受光面23が第1のビームスプリッタ16−1の上面に接合するように配置される。そのため、第1の受光素子18−1の2つの電極24−1(アノード及びカソード)が上方に向く。従って、外部のフィードバック制御装置(不図示)のとの導電性ワイヤ21を用いたワイヤ接続、すなわち電気的結合が簡単に行えるようになっている。なお、第1のビームスプリッタ16−1の上面と受光面23との接合には、光を透過し、かつ接合部で生じる反射を抑えるよう屈折率を調整した接合材を用いる。   The first light receiving element 18-1 is disposed on the upper surface of the first beam splitter 16-1. Therefore, the first light receiving element 18-1 is supported by the first beam splitter 16-1. Here, the first light receiving element 18-1 is a back-illuminated light receiving element, and is arranged so that the light receiving surface 23 is bonded to the upper surface of the first beam splitter 16-1. Therefore, the two electrodes 24-1 (anode and cathode) of the first light receiving element 18-1 face upward. Therefore, wire connection using the conductive wire 21 with an external feedback control device (not shown), that is, electrical coupling can be easily performed. Note that, for joining the upper surface of the first beam splitter 16-1 and the light receiving surface 23, a joining material whose refractive index is adjusted so as to transmit light and suppress reflection generated at the joining portion is used.

また、第2のビームスプリッタ16−2の上面には光フィルタ17が配置され、光フィルタ17の上面には第2の受光素子18−2が配置されている。そのため、第2の受光素子18−2は第2のビームスプリッタ16−2及び光フィルタ17によって支持される。ここで、第2の受光素子18−2も、裏面入射型受光素子であり、その受光面22が光フィルタ17の上面に接合するように配置される。そのため、第2の受光素子18−2の2つの電極24−2(アノード及びカソード)が上方に向くこととなり、第2の受光素子18−2に関しても電気的結合が簡単に行えるようになっている。なお、第2のビームスプリッタ16−2の上面と光フィルタ17との接合及び光フィルタ17の上面と受光面22との接合は、第1のビームスプリッタ16−1の上面と受光面23との接合と同様に、光を透過し、かつ接合部で生じる反射を抑えるよう屈折率を調整した接合材を用いる。   An optical filter 17 is disposed on the upper surface of the second beam splitter 16-2, and a second light receiving element 18-2 is disposed on the upper surface of the optical filter 17. Therefore, the second light receiving element 18-2 is supported by the second beam splitter 16-2 and the optical filter 17. Here, the second light receiving element 18-2 is also a back-illuminated light receiving element, and is arranged so that the light receiving surface 22 is bonded to the upper surface of the optical filter 17. Therefore, the two electrodes 24-2 (anode and cathode) of the second light receiving element 18-2 face upward, and electrical coupling can be easily performed with respect to the second light receiving element 18-2. Yes. In addition, the upper surface of the second beam splitter 16-2 and the optical filter 17 and the upper surface of the optical filter 17 and the light receiving surface 22 are bonded to each other between the upper surface of the first beam splitter 16-1 and the light receiving surface 23. Similar to the bonding, a bonding material whose refractive index is adjusted so as to transmit light and suppress reflection generated at the bonding portion is used.

なお、第1のビームスプリッタ16−1の上面とは、第1のビームスプリッタ16−1の底面(すなわち、プラットフォーム基板12に接合する面)とは反対の面のことであり、第2のビームスプリッタ16−2の上面とは、第2のビームスプリッタ16−2の底面(すなわち、プラットフォーム基板12に接合する面)とは反対の面のことである。また、光フィルタ17の上面とは、光フィルタ17の底面(すなわち、第2のビームスプリッタ16−2の上面に接合する面)とは反対の面のことである。   Note that the upper surface of the first beam splitter 16-1 is a surface opposite to the bottom surface of the first beam splitter 16-1 (that is, the surface bonded to the platform substrate 12), and the second beam splitter 16-1. The upper surface of the splitter 16-2 is a surface opposite to the bottom surface of the second beam splitter 16-2 (that is, the surface bonded to the platform substrate 12). The upper surface of the optical filter 17 is a surface opposite to the bottom surface of the optical filter 17 (that is, the surface bonded to the upper surface of the second beam splitter 16-2).

以下、光モジュール1の動作について説明する。本実施形態に係る光モジュール1では、波長可変光素子13から出力された光が第1のレンズ14を通過して平行光となり、第1のビームスプリッタ16−1に入射される。そして、第1のビームスプリッタ16−1は、入射された光を透過光と分岐光とに分岐し、該透過光を第2のビームスプリッタ16−2へと出射するとともに、該分岐光をその上面から第1の受光素子18−1へと出射する。すなわち、第1のビームスプリッタ16−1は、透過光を光軸方向に出射し、分岐光を光軸に対して垂直な方向に出射する。分岐光は第1の受光素子18−1に入射される。第1の受光素子18−1により分岐光の光強度が検出され、検出された光強度は導電性ワイヤ21を介して上記フィードバック制御装置に電気的に送られることになる。   Hereinafter, the operation of the optical module 1 will be described. In the optical module 1 according to the present embodiment, the light output from the wavelength tunable optical element 13 passes through the first lens 14 and becomes parallel light, and is incident on the first beam splitter 16-1. Then, the first beam splitter 16-1 branches the incident light into transmitted light and branched light, emits the transmitted light to the second beam splitter 16-2, and transmits the branched light to the second light splitter 16-2. The light is emitted from the upper surface to the first light receiving element 18-1. That is, the first beam splitter 16-1 emits the transmitted light in the optical axis direction and emits the branched light in a direction perpendicular to the optical axis. The branched light is incident on the first light receiving element 18-1. The light intensity of the branched light is detected by the first light receiving element 18-1, and the detected light intensity is electrically sent to the feedback control device via the conductive wire 21.

第1のビームスプリッタ16−1から出射された透過光は、第2のビームスプリッタ16−2に入射される。第2のビームスプリッタ16−2は、入射された光を透過光と分岐光とに分岐し、透過光を光ファイバ19へと出射し、分岐光をその上面から光フィルタ17へと出力する。すなわち、第2のビームスプリッタ16−2は、透過光を光軸方向に出射し、分岐光を光軸に対して垂直な方向に出射する。透過光は、第2のレンズ15に入射される。透過光は、第2のレンズ15で収束され、光ファイバ19に結合入射する。光ファイバ19に結合入射した光は、光ファイバ19から外部へ出力されることとなる。   The transmitted light emitted from the first beam splitter 16-1 is incident on the second beam splitter 16-2. The second beam splitter 16-2 splits the incident light into transmitted light and branched light, emits the transmitted light to the optical fiber 19, and outputs the branched light to the optical filter 17 from its upper surface. That is, the second beam splitter 16-2 emits the transmitted light in the optical axis direction and emits the branched light in a direction perpendicular to the optical axis. The transmitted light is incident on the second lens 15. The transmitted light is converged by the second lens 15 and incident on the optical fiber 19. The light coupled and incident on the optical fiber 19 is output from the optical fiber 19 to the outside.

また、第2のビームスプリッタ16−2の上面から出射された光は、光フィルタ17に入射される。第2のビームスプリッタ16−2の上面から出射された光は、光フィルタ17を透過したのち、第2の受光素子18−2に入射する。第2の受光素子18−2では、受光する光が光フィルタ17を透過しているため、波長可変光素子13からの出射光の波長に依存した光強度が検出される。検出された光強度は導電性ワイヤ21を介して上記フィードバック制御装置に電気的に送られることになる。   The light emitted from the upper surface of the second beam splitter 16-2 is incident on the optical filter 17. The light emitted from the upper surface of the second beam splitter 16-2 passes through the optical filter 17 and then enters the second light receiving element 18-2. In the second light receiving element 18-2, the received light is transmitted through the optical filter 17, so that the light intensity depending on the wavelength of the light emitted from the wavelength variable optical element 13 is detected. The detected light intensity is electrically sent to the feedback control device via the conductive wire 21.

上述のように、第1の受光素子16−1及び第2の受光素子16−2それぞれで検出された光強度は、フィードバック制御装置に電気的に送られる。そして、フィードバック制御装置は、電気的に送られてきた光強度に基づき、特定の波長が出力される様に波長可変光素子13をフィードバック制御する。つまり、波長ロッカーが実現される。   As described above, the light intensities detected by the first light receiving element 16-1 and the second light receiving element 16-2 are electrically sent to the feedback control device. Then, the feedback control device feedback-controls the wavelength tunable optical element 13 so that a specific wavelength is output based on the light intensity transmitted electrically. That is, a wavelength locker is realized.

このように、光モジュール1では、第1の受光素子18−1は、第1のビームスプリッタ16−1によって支持され、第2の受光素子18−2は、第2のビームスプリッタ16−2及び光フィルタ17によって支持される。このため、専用の支持部材を用いずとも、第1の受光素子18−1及び第2の受光素子18−2が支持される。しかも、裏面入射型受光素子である第1の受光素子18−1が、その受光面23が第1のビームスプリッタ16−1の上面に接合するように配置され、且つ、裏面入射型受光素子である第2の受光素子18−2が、その受光面22が、第2のビームスプリッタ16−2の上面に配置された光フィルタ17の上面に接合するように配置されるので、第1の受光素子18−1及び第2の受光素子18−2の双方に関し、電気的結合を容易に行える。   As described above, in the optical module 1, the first light receiving element 18-1 is supported by the first beam splitter 16-1, and the second light receiving element 18-2 includes the second beam splitter 16-2 and the second beam splitter 16-2. Supported by an optical filter 17. Therefore, the first light receiving element 18-1 and the second light receiving element 18-2 are supported without using a dedicated support member. In addition, the first light receiving element 18-1 which is a back-illuminated light receiving element is arranged so that the light receiving surface 23 is bonded to the upper surface of the first beam splitter 16-1, and the back-illuminated light receiving element is used. Since a certain second light receiving element 18-2 is disposed such that its light receiving surface 22 is bonded to the upper surface of the optical filter 17 disposed on the upper surface of the second beam splitter 16-2, the first light receiving element 18-2 is provided. Both the element 18-1 and the second light receiving element 18-2 can be easily electrically coupled.

なお、本発明は上記実施形態に限定されたものではない。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment.

例えば、上記実施形態では波長可変光素子の前方出力を使用する構成を例示したが、後方出力を使用してもよい。   For example, in the above embodiment, the configuration using the front output of the wavelength tunable optical element is illustrated, but the rear output may be used.

また、例えば、波長可変光素子13に反射光が戻り、発振状態が不安定になることを避けるため、第1のレンズ14と第1のビームスプリッタ16−1との間にアイソレータを追加配置してもよい。   Further, for example, an isolator is additionally arranged between the first lens 14 and the first beam splitter 16-1 in order to avoid that the reflected light returns to the wavelength tunable optical element 13 and the oscillation state becomes unstable. May be.

また、例えば、波長可変光素子13に反射光が戻り、発振状態が不安定になることを避けるため、第1のビームスプリッタ16−1及び第2のビームスプリッタ16−2とのうちの少なくとも一方を傾けて搭載してもよい。   In addition, for example, in order to avoid that reflected light returns to the wavelength tunable optical element 13 and the oscillation state becomes unstable, at least one of the first beam splitter 16-1 and the second beam splitter 16-2. It may be mounted at an angle.

また、例えば、第1のビームスプリッタ16−1と第2のビームスプリッタ16−2と、を間隔を空けずに連結してもよい。また、例えば、ワイヤ接続はプラットフォーム基板に導電性の薄膜を配し、前記導電性薄膜を中継してもよい。   Further, for example, the first beam splitter 16-1 and the second beam splitter 16-2 may be connected without a gap. Further, for example, the wire connection may be performed by arranging a conductive thin film on the platform substrate and relaying the conductive thin film.

また、例えば、第1の受光素子16−1を第2のビームスプリッタ16−2の上面に配置するとともに、光フィルタ17を第1のビームスプリッタ16−1の上面に配置し且つ第2の受光素子18−2を光フィルタ17の上面に配置してもよい。   Further, for example, the first light receiving element 16-1 is disposed on the upper surface of the second beam splitter 16-2, and the optical filter 17 is disposed on the upper surface of the first beam splitter 16-1, and the second light receiving element. The element 18-2 may be disposed on the upper surface of the optical filter 17.

また、例えば、光モジュール1は、第2のビームスプリッタ16−2から出射された透過光を変調する素子を備えてもよい。以下、この態様(以下、変形例と表記する)について説明する。   For example, the optical module 1 may include an element that modulates transmitted light emitted from the second beam splitter 16-2. Hereinafter, this aspect (hereinafter referred to as a modified example) will be described.

図2Aは変形例における光モジュール1の内部を上面から見た様子を示し、図2Bは側面から見た様子を示す。   FIG. 2A shows a state in which the inside of the optical module 1 in the modified example is viewed from above, and FIG. 2B shows a state in which the inside is viewed from the side.

変形例では、光モジュール1に、さらに、熱電クーラー11−1(TEC11−1)、TEC11−1の上に配置されたプラットフォーム基板12−1、第3のレンズ25、光変調器26と、が備えられる。上記実施形態においてプラットフォーム基板12に配置されていた素子のうち第2のレンズ15だけが、プラットフォーム基板12−1の上に配置される。また、プラットフォーム基板12−1の上には、第2のレンズ15の他に、光変調器26と、第3のレンズ25と、が配置されている。   In the modification, the optical module 1 further includes a thermoelectric cooler 11-1 (TEC11-1), a platform substrate 12-1, a third lens 25, and an optical modulator 26 disposed on the TEC11-1. Provided. Of the elements disposed on the platform substrate 12 in the above embodiment, only the second lens 15 is disposed on the platform substrate 12-1. In addition to the second lens 15, an optical modulator 26 and a third lens 25 are disposed on the platform substrate 12-1.

変形例では、第2のビームスプリッタ16−2から出射された透過光は、第2のレンズ15に入射し、収束され、光変調器26に結合入射する。光変調器26は、入射した光に対して光変調や増幅などの処理を施す。そして、処理された光は、第3のレンズ25を経由して、光ファイバ19に結合入射し、光ファイバ19から外部へ出力される。   In the modified example, the transmitted light emitted from the second beam splitter 16-2 is incident on the second lens 15, converged, and coupled and incident on the optical modulator 26. The light modulator 26 performs processing such as light modulation and amplification on the incident light. The processed light is coupled and incident on the optical fiber 19 via the third lens 25 and is output to the outside from the optical fiber 19.

1 光モジュール、10 筐体、11,11−1 熱伝クーラー(TEC)、12,12−1 プラットフォーム基板、13 波長可変光素子、14 第1のレンズ、15 第2のレンズ、16−1 第1のビームスプリッタ、16−2 第2のビームスプリッタ、17 光フィルタ、18−1 第1の受光素子、18−2 第2の受光素子、19 光ファイバ、21 導電性ワイヤ、22,23 受光面、24−1,24−2 電極、25 第3のレンズ、26 光変調器。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical module, 10 Housing | casing, 11, 11-1 Heat transfer cooler (TEC), 12, 12-1 Platform substrate, 13 Wavelength variable optical element, 14 1st lens, 15 2nd lens, 16-1 1st 1 beam splitter, 16-2 second beam splitter, 17 optical filter, 18-1 first light receiving element, 18-2 second light receiving element, 19 optical fiber, 21 conductive wire, 22, 23 light receiving surface , 24-1, 24-2 electrodes, 25 third lens, 26 light modulator.

Claims (4)

プラットフォーム基板に設置され、光を出射する波長可変光素子と、
前記プラットフォーム基板に設置され、前記波長可変光素子から出射された光を透過光と分岐光とに分岐する第1のビームスプリッタと、
前記第1のビームスプリッタから出射された分岐光の光強度を検出する第1受光素子と、
前記プラットフォーム基板に設置され、前記第1のビームスプリッタから出射された透過光を、透過光と分岐光とに分岐する第2のビームスプリッタと、
前記第2のビームスプリッタから出射された分岐光が通過する光フィルタと、
前記光フィルタを通過した光の光強度を検出する第2の受光素子と、
を備え、
前記第1の受光素子及び前記第2の受光素子は、裏面入射型受光素子であり、
前記第1の受光素子は、前記第1のビームスプリッタと第2のビームスプリッタとのうちの一方のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面に設置され、
前記光フィルタは、前記第1のビームスプリッタと第2のビームスプリッタとのうちの他方のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面に設置され、
前記第2の受光素子は、前記光フィルタの面のうちの、前記他方のビームスプリッタに接している面とは反対の面に設置され、
前記第1のビームスプリッタは、前記第1のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面から分岐光を出射し、
前記第2のビームスプリッタは、前記第2のビームスプリッタの面のうちの、前記プラットフォーム基板に接している面とは反対の面から分岐光を出射すること、
を特徴とする光モジュール。
A tunable optical element installed on the platform substrate and emitting light;
A first beam splitter installed on the platform substrate and for branching light emitted from the wavelength tunable optical element into transmitted light and branched light;
A first light receiving element for detecting the light intensity of the branched light emitted from the first beam splitter;
A second beam splitter installed on the platform substrate and branching the transmitted light emitted from the first beam splitter into a transmitted light and a branched light;
An optical filter through which the branched light emitted from the second beam splitter passes;
A second light receiving element for detecting the light intensity of the light that has passed through the optical filter;
With
The first light receiving element and the second light receiving element are back-illuminated light receiving elements,
The first light receiving element is installed on a surface of one of the first beam splitter and the second beam splitter opposite to the surface in contact with the platform substrate. ,
The optical filter is disposed on a surface of the other beam splitter of the first beam splitter and the second beam splitter that is opposite to the surface in contact with the platform substrate,
The second light receiving element is installed on the surface of the optical filter opposite to the surface in contact with the other beam splitter,
The first beam splitter emits branched light from the surface of the first beam splitter opposite to the surface in contact with the platform substrate,
The second beam splitter emits branched light from a surface of the second beam splitter opposite to a surface in contact with the platform substrate;
An optical module characterized by
請求項1に記載の光モジュールであって、
前記第2のビームスプリッタから出射された透過光を出力すること、
を特徴とする光モジュール。
The optical module according to claim 1,
Outputting the transmitted light emitted from the second beam splitter;
An optical module characterized by
請求項1に記載の光モジュールであって、
前記第2のビームスプリッタ、から出射された透過光を変調する変調素子をさらに備え、
前記変調素子により変調された光を出力すること、
を特徴とする光モジュール。
The optical module according to claim 1,
A modulation element that modulates transmitted light emitted from the second beam splitter;
Outputting light modulated by the modulation element;
An optical module characterized by
請求項1に記載の光モジュールであって、
前記第1の受光素子は、前記第1のビームスプリッタもしくは前記第2のビームスプリッタと接している面とは反対の面にて、電気的結合のための配線がされ、
前記第2の受光素子は、前記光フィルタと接している面とは反対の面にて、電気的結合のための配線がされていること、
を特徴とする光モジュール。
The optical module according to claim 1,
The first light receiving element is wired for electrical coupling on a surface opposite to the surface in contact with the first beam splitter or the second beam splitter,
The second light receiving element has a wiring for electrical coupling on a surface opposite to a surface in contact with the optical filter,
An optical module characterized by
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