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JP2012224755A - Highly transparent polyimide precursor and resin composition using the same, polyimide molded article and method for producing the molding, plastic substrate, protective film, and electronic component and display device having the film - Google Patents

Highly transparent polyimide precursor and resin composition using the same, polyimide molded article and method for producing the molding, plastic substrate, protective film, and electronic component and display device having the film Download PDF

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JP2012224755A
JP2012224755A JP2011093946A JP2011093946A JP2012224755A JP 2012224755 A JP2012224755 A JP 2012224755A JP 2011093946 A JP2011093946 A JP 2011093946A JP 2011093946 A JP2011093946 A JP 2011093946A JP 2012224755 A JP2012224755 A JP 2012224755A
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resin composition
polyimide
film
polyimide precursor
protective film
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JP2011093946A
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Takashi Ono
敬司 小野
Naoko Sugawara
尚子 菅原
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HD MicroSystems Ltd
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Hitachi Chemical DuPont Microsystems Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition which has sufficient transparency even if it is subjected to a heating treatment at a high temperature of 300°C or more and has excellent chemical resistance, to provide a polyimide molded article using the resin composition, and to provide a method for producing the polyimide molded article, or the like.SOLUTION: A polyimide precursor has a repeating unit represented by general formula (I). The resin composition includes the polyimide precursor. The polyimide molded article is obtained by heating the resin composition. A plastic substrate is formed from the polyimide molding. A protective film is formed from the polyimide molding. An electronic component and a display device each have the protective film. In the formula (I), X represents a diamine residue having ether bond and biphenyl skeleton.

Description

本発明は、透明性、薬液耐性、耐熱性及び機械特性に優れるポリイミド前駆体、該ポリイミド前駆体を含有する樹脂組成物、該樹脂組成物を成形してなるポリイミド成形体に関する。また、該成形体からなるプラスチック基板及び保護膜、又は該基板及び該保護膜を備えた電気・電子部品、並びに該ポリイミド成形体の製造方法に関する。   The present invention relates to a polyimide precursor excellent in transparency, chemical resistance, heat resistance and mechanical properties, a resin composition containing the polyimide precursor, and a polyimide molded body formed by molding the resin composition. The present invention also relates to a plastic substrate and a protective film made of the molded body, or an electric / electronic component including the substrate and the protective film, and a method for producing the polyimide molded body.

一般に、ポリイミド樹脂は、高い耐熱性に加え、絶縁性に優れた電気特性、並びに耐摩耗性及び寸法安定性といった機械強度を有する。このような特性を併せ持つことから、フレキシブルプリント基板のベースフィルムなどの電気・電子産業分野で広く用いられている。近年、表示装置の分野では、耐破損性の向上、軽量化、薄型化等の要望から、基板ガラスやカバーガラスをプラスチック基板に置き換えることが検討されている。表示装置とは、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、電子ペーパー等を差す。特に、携帯電話、電子手帳、ラップトップ型パソコン等の携帯情報端末などの移動型情報通信機器用表示装置では、プラスチック基板に対する強い要望がある。さらに、耐熱性や機械特性に加え、高い視認性の実現及び透過型ディスプレイへの適用の観点から透明性にも優れる樹脂材料の開発が強く求められている。   In general, a polyimide resin has not only high heat resistance, but also electrical characteristics excellent in insulation, and mechanical strength such as wear resistance and dimensional stability. Since it has such characteristics, it is widely used in the electric and electronic industries such as a base film of a flexible printed circuit board. In recent years, in the field of display devices, replacement of a substrate glass or a cover glass with a plastic substrate has been studied in order to improve breakage resistance, reduce the weight, and reduce the thickness. A display device includes a liquid crystal display, an organic electroluminescence display, electronic paper, and the like. In particular, there is a strong demand for a plastic substrate in a display device for mobile information communication equipment such as a portable information terminal such as a mobile phone, an electronic notebook, or a laptop personal computer. Furthermore, in addition to heat resistance and mechanical properties, there is a strong demand for the development of a resin material that is excellent in transparency from the viewpoint of realizing high visibility and application to a transmissive display.

しかし、一般にポリイミド樹脂は、分子内共役及び電荷移動錯体の形成により、黄褐色に着色する。その解決策として、ポリイミド樹脂へフッ素を導入すること、主鎖に屈曲性を与えること、嵩高い側鎖を導入すること等により、電荷移動錯体の形成を阻害し、透明性を発現させる方法が提案されている(非特許文献1)。また、電荷移動錯体を形成しない半脂環式又は全脂環式ポリイミド樹脂を用いることにより透明性を発現させる方法も提案されている(特許文献1〜3)。   However, in general, a polyimide resin is colored yellowish brown due to intramolecular conjugation and formation of a charge transfer complex. As a solution to this, there is a method of inhibiting the formation of a charge transfer complex and introducing transparency by introducing fluorine into the polyimide resin, imparting flexibility to the main chain, introducing bulky side chains, etc. It has been proposed (Non-Patent Document 1). In addition, a method of expressing transparency by using a semi-alicyclic or fully alicyclic polyimide resin that does not form a charge transfer complex has been proposed (Patent Documents 1 to 3).

特開2002−348374号公報JP 2002-348374 A 特開2005−015629号公報JP 2005-015629 A 特開2009−286706号公報JP 2009-286706 A

Polymer(米国)、第47巻、p.2337−2348、2006年Polymer (USA), vol. 47, p. 2337-2348, 2006

一方、表示装置に用いられるプラスチック基板にはレジストプロセスにおける耐性が求められている。レジストプロセスでは、レジストを剥離する際に有機溶剤(レジストストリッパー)が用いられることが多く、これらの薬液に対する耐性が必要である。しかし特許文献1〜3のようなフッ素化モノマーや脂環式モノマーから得られるポリイミド樹脂は、レジストプロセスの際にポリイミド樹脂にクラックが発生するという問題があった。   On the other hand, a plastic substrate used in a display device is required to have resistance in a resist process. In the resist process, an organic solvent (resist stripper) is often used when removing the resist, and resistance to these chemicals is required. However, polyimide resins obtained from fluorinated monomers and alicyclic monomers as in Patent Documents 1 to 3 have a problem that cracks occur in the polyimide resin during the resist process.

そこで、本発明は、300℃以上の高温で加熱処理しても十分な透明性を有し、薬液耐性に優れるポリイミド前駆体とそれを含有する樹脂組成物を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a polyimide precursor that has sufficient transparency even when heat-treated at a high temperature of 300 ° C. or more and is excellent in chemical resistance, and a resin composition containing the same.

また、本発明は、前記樹脂組成物を加熱処理して得られる成形体、成形体からなるプラスチック基板及び保護膜、該基板及び保護膜を備えた電気・電子部品と、その製造方法の提供をするものである。   In addition, the present invention provides a molded body obtained by heat-treating the resin composition, a plastic substrate and a protective film made of the molded body, an electric / electronic component including the substrate and the protective film, and a method for producing the same. To do.

本発明は、(a)一般式(I)で示される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体を提供する。   The present invention provides (a) a polyimide precursor having a repeating unit represented by the general formula (I).

Figure 2012224755
(一般式(I)中、Xはエーテル結合とビフェニル骨格を有するジアミン残基を示す)
また、本発明のポリイミド前駆体は、一般式(I)で示される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体が、一般式(II)で示される繰り返し単位を有することが好ましい。
Figure 2012224755
(In the general formula (I), X represents a diamine residue having an ether bond and a biphenyl skeleton)
In the polyimide precursor of the present invention, the polyimide precursor having a repeating unit represented by the general formula (I) preferably has a repeating unit represented by the general formula (II).

Figure 2012224755
(一般式(II)中、nは、1〜3の整数を示す)
Figure 2012224755
(In general formula (II), n represents an integer of 1 to 3)

また、本発明は、前記のポリイミド前駆体を含有する樹脂組成物を提供する。さらに本発明の樹脂組成物は(b)有機溶剤を含有することが好ましい。   Moreover, this invention provides the resin composition containing the said polyimide precursor. Further, the resin composition of the present invention preferably contains (b) an organic solvent.

さらに、本発明は、前記樹脂組成物を加熱することで得られるポリイミド成形体を提供する。また、前記ポリイミド成形体からなるプラスチック基板又は保護膜を提供する。さらに、前記プラスチック基板又は保護膜を有する電子部品及び表示装置を提供する。また、前記樹脂組成物を基材上に塗布、乾燥して樹脂膜を形成する工程と、前記乾燥後の樹脂膜を加熱処理する工程とを含むポリイミド成形体の製造方法を提供する。   Furthermore, this invention provides the polyimide molded body obtained by heating the said resin composition. Moreover, the plastic substrate or protective film which consists of said polyimide molded object is provided. Furthermore, an electronic component and a display device having the plastic substrate or the protective film are provided. Moreover, the manufacturing method of the polyimide molded body which includes the process of apply | coating and drying the said resin composition on a base material and forming a resin film, and the process of heat-processing the resin film after the said drying is provided.

本発明によれば、300℃以上の加熱処理後も十分な透明性を有し、薬液耐性に優れる樹脂組成物を提供することができる。また、ポリイミドの本来の特性である耐熱性、機械強度を兼ね備えたポリイミド成形体を付与する樹脂組成物を提供することができる。本発明の透明なポリイミド成形体は、無色で高透明性、高耐熱性を示し、さらに薬液耐性にすぐれるので、フレキシブルディスプレイ基板や保護膜等として好適に用いることができる。該フレキシブルディスプレイ基板又は保護膜を備えた電気・電子部品(各種電子デバイスにおける電気絶縁膜および液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、電子ペーパー、太陽電池など)の提供が可能である。   According to the present invention, it is possible to provide a resin composition that has sufficient transparency even after heat treatment at 300 ° C. or more and is excellent in chemical resistance. Moreover, the resin composition which provides the polyimide molded body which has the heat resistance and mechanical strength which are the original characteristics of a polyimide can be provided. The transparent polyimide molded body of the present invention is colorless and highly transparent, exhibits high heat resistance, and is excellent in chemical resistance. Therefore, it can be suitably used as a flexible display substrate or a protective film. It is possible to provide electrical / electronic components (electrical insulating films and liquid crystal displays in various electronic devices, organic electroluminescence displays, electronic paper, solar cells, etc.) provided with the flexible display substrate or protective film.

以下に、本発明にかかるポリイミド前駆体、樹脂組成物、ポリイミド成形体とその製造方法及び保護膜を有する電子部品の実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of an electronic component having a polyimide precursor, a resin composition, a polyimide molded body, a manufacturing method thereof, and a protective film according to the present invention will be described in detail. In addition, this invention is not limited by this embodiment.

[(a)ポリイミド前駆体]
本発明のポリイミド前駆体は、(a)一般式(I)で示される繰り返し単位を有する。
[(A) Polyimide precursor]
The polyimide precursor of the present invention has (a) a repeating unit represented by the general formula (I).

Figure 2012224755
(一般式(I)中、Xはエーテル結合とビフェニル骨格を有するジアミン残基を示す)
Figure 2012224755
(In the general formula (I), X represents a diamine residue having an ether bond and a biphenyl skeleton)

また、ポリイミド前駆体は、薬液耐性をより向上させる観点から一般式(II)で示される繰り返し単位を有することが好ましい。   Moreover, it is preferable that a polyimide precursor has a repeating unit shown by general formula (II) from a viewpoint of improving a chemical | medical solution tolerance more.

Figure 2012224755
(一般式(II)中、nは、1〜3の整数を示す)
Figure 2012224755
(In general formula (II), n represents an integer of 1 to 3)

一般にポリイミド前駆体は、テトラカルボン酸二無水物及びその誘導体からなる群より選ばれる少なくとも一種のテトラカルボン酸類と、少なくとも一種のジアミン類とを重合させることにより得られるポリアミド酸である。   Generally, a polyimide precursor is a polyamic acid obtained by polymerizing at least one tetracarboxylic acid selected from the group consisting of tetracarboxylic dianhydrides and derivatives thereof and at least one diamine.

本発明の(a)ポリイミド前駆体の合成に用いるテトラカルボン酸類としては、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸が挙げられ,立体構造としては(1R,2S,4S,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸(HS)若しくは,(1S,2S,4R,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸(HH)であるものが好ましい。合成時の反応性の観点から(1S,2S,4R,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸(HH)を用いることが好ましい。   Examples of the tetracarboxylic acids used for the synthesis of the polyimide precursor (a) of the present invention include 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid, and the three-dimensional structure is (1R, 2S, 4S, 5R) -cyclohexane. Preferred is tetracarboxylic acid (HS) or (1S, 2S, 4R, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic acid (HH). From the viewpoint of reactivity during synthesis, it is preferable to use (1S, 2S, 4R, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic acid (HH).

本発明のポリイミド前駆体の合成に用いるジアミン類としては、芳香族ジアミンが挙げられる。具体的には、エーテル結合及びビフェニル骨格を有するジアミンであり、例えば、下記の化合物が挙げられる。   Examples of diamines used for the synthesis of the polyimide precursor of the present invention include aromatic diamines. Specifically, it is a diamine having an ether bond and a biphenyl skeleton, and examples thereof include the following compounds.

Figure 2012224755
(nは、1〜3の整数を示す)
入手のしやすさ及び薬液耐性をより向上させる観点から、4,4′−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルを用いることが好ましい。
Figure 2012224755
(N represents an integer of 1 to 3)
It is preferable to use 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl from the viewpoint of improving availability and chemical resistance.

[(a)ポリイミド前駆体合成]
本発明の(a)成分であるポリイミド前駆体は、従来公知のポリアミド酸の合成方法で合成することができる。例えば、溶媒に所定量のジアミン類を溶解させた後、得られたジアミン溶液に、テトラカルボン酸を乾燥機で160℃、24時間加熱し脱水閉環させることで得られるテトラカルボン酸二無水物を所定量添加し、撹拌する。各モノマー成分を溶解させるときには、必要に応じて加熱してもよい。反応温度は−30〜200℃であることが好ましく、20〜180℃であることがより好ましく、30〜100℃であることがさらに好ましい。そのまま室温(20〜25℃)、あるいは適当な反応温度で撹拌を続け、ポリアミド酸の粘度が一定になった時点を反応の終点とする。粘度はE型粘度計(東機産業株式会社製)用い、25℃にて測定した。前記反応は、使用するテトラカルボン酸二無水物とジアミン類の種類にもよるが、通常3〜100時間で完了できる。
[(A) Polyimide precursor synthesis]
The polyimide precursor which is the component (a) of the present invention can be synthesized by a conventionally known polyamic acid synthesis method. For example, after dissolving a predetermined amount of diamines in a solvent, tetracarboxylic dianhydride obtained by subjecting the resulting diamine solution to dehydration ring closure by heating tetracarboxylic acid with a dryer at 160 ° C. for 24 hours. Add a predetermined amount and stir. When dissolving each monomer component, you may heat as needed. The reaction temperature is preferably −30 to 200 ° C., more preferably 20 to 180 ° C., and further preferably 30 to 100 ° C. Stirring is continued as it is at room temperature (20 to 25 ° C.) or at an appropriate reaction temperature, and the end point of the reaction is determined when the viscosity of the polyamic acid becomes constant. The viscosity was measured at 25 ° C. using an E-type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.). Although the said reaction is based also on the kind of tetracarboxylic dianhydride and diamine to be used, it can be completed normally in 3 to 100 hours.

得られたポリアミド酸(ポリイミド前駆体)を含有する溶液(以下、ポリアミド酸溶液という)の全量に対し、ポリアミド酸成分(以下、溶質という)は、塗膜形成性の観点から5〜60質量%であることが好ましく、10〜50質量%であることがさらに好ましく、10〜40質量%であることが特に好ましい。このポリアミド酸溶液中の溶質(樹脂不揮発分)の割合は、あらかじめ質量の分かっている金属シャーレに(1g程度を目安に)ポリアミド酸溶液をとり質量(金属シャーレ及びポリアミド酸の質量、以下、加熱前の質量という)を測定し、その後200℃のホットプレート上で2時間加熱して溶媒が十分に揮発したあとの質量(金属シャーレ及び溶質の質量、以下、加熱後の質量という)を測定し、(加熱後の質量−金属シャーレの質量)÷(加熱前の質量−金属シャーレの質量)×100を計算することで求められる。   The polyamic acid component (hereinafter referred to as solute) is 5 to 60% by mass from the viewpoint of the film-forming property with respect to the total amount of the solution (hereinafter referred to as polyamic acid solution) containing the obtained polyamic acid (polyimide precursor). It is preferable that it is 10-50 mass%, and it is especially preferable that it is 10-40 mass%. The ratio of the solute (resin non-volatile content) in the polyamic acid solution is determined by taking the polyamic acid solution into a metal petri dish having a known mass (about 1 g as a guide) and the mass (mass of the metal petri dish and polyamic acid, hereinafter heating) Measure the mass after heating for 2 hours on a hot plate at 200 ° C. (the mass of the metal petri dish and solute, hereinafter referred to as the mass after heating). , (Mass after heating−mass of metal petri dish) ÷ (mass before heating−mass of metal petri dish) × 100.

本発明のポリアミド酸を合成する場合に用いられる溶媒は、ジアミン類とテトラカルボン酸類、および生じたポリアミド酸を溶解することのできる溶剤であれば特に制限はされない。このような溶剤の具体例としては、非プロトン性溶媒、フェノール系溶媒、エーテル及びグリコール系溶媒等が挙げられる。具体的には、非プロトン性溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−メチルカプロラクタム、1,3−ジメチルイミダゾリジノン、テトラメチル尿素等のアミド系溶媒;γ-ブチロラクトン、γ-バレロラクトン等のラクトン系溶媒;ヘキサメチルホスホリックアミド、ヘキサメチルホスフィントリアミド等の含りん系アミド系溶媒;ジメチルスルホン、ジメチルスルホキシド、スルホラン等の含硫黄系溶媒;シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等のケトン系溶媒;ピコリン、ピリジンなどの3級アミン系溶媒;酢酸(2−メトキシ−1−メチルエチル)などのエステル系溶媒等が挙げられる。フェノール系溶媒としては、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール等が挙げられる。エーテル及びグリコール系溶媒としては、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン、ビス[2−(2−メトキシエトキシ)エチル]エーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等が挙げられる。なかでも、溶解性及び塗膜形成性の観点からN−メチル−2−ピロリドンが好ましい。これらの反応溶媒は単独で又は2種類以上混合して用いてもよい。   The solvent used for synthesizing the polyamic acid of the present invention is not particularly limited as long as it is a solvent that can dissolve diamines and tetracarboxylic acids and the resulting polyamic acid. Specific examples of such solvents include aprotic solvents, phenol solvents, ethers and glycol solvents. Specifically, as the aprotic solvent, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-methylcaprolactam, 1,3-dimethylimidazolidinone, tetramethyl Amide solvents such as urea; Lactone solvents such as γ-butyrolactone and γ-valerolactone; Phosphorus amide solvents such as hexamethylphosphoric amide and hexamethylphosphine triamide; dimethyl sulfone, dimethyl sulfoxide, sulfolane, etc. Sulfur-containing solvents; ketone solvents such as cyclohexanone and methylcyclohexanone; tertiary amine solvents such as picoline and pyridine; ester solvents such as acetic acid (2-methoxy-1-methylethyl). Phenol solvents include phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,3-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol and the like can be mentioned. Examples of ether and glycol solvents include 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, and bis [2- (2-methoxyethoxy) ethyl] ether. , Tetrahydrofuran, 1,4-dioxane and the like. Of these, N-methyl-2-pyrrolidone is preferable from the viewpoints of solubility and film-forming properties. These reaction solvents may be used alone or in combination of two or more.

本発明のポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の分子量は、重量平均分子量で10000〜500000であることが好ましく、10000〜300000であることがより好ましく、20000〜300000であることがさらに好ましい。ここで、重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー法(GPC、装置は株式会社日立製作所製、カラムは日立化成工業株式会社製ゲルパック)を用いて、標準ポリスチレン換算により求めることができる。分子量が10000より小さいと、加熱成形により膜を成形しにくく、膜を成形できても機械特性に乏しくなる。分子量が500000よりも大きいと、ポリアミド酸の合成時に分子量をコントロールするのが難しく、また適度な粘度の樹脂組成物を得ることが難しくなる。   The molecular weight of the polyamic acid (polyimide precursor) of the present invention is preferably 10,000 to 500,000 in terms of weight average molecular weight, more preferably 10,000 to 300,000, and even more preferably 20,000 to 300,000. Here, a weight average molecular weight can be calculated | required by standard polystyrene conversion using the gel permeation chromatography method (GPC, apparatus is Hitachi Ltd. make, a column is Hitachi Chemical Co., Ltd. gel pack). If the molecular weight is less than 10,000, it is difficult to form a film by thermoforming, and even if the film can be formed, the mechanical properties are poor. When the molecular weight is larger than 500,000, it is difficult to control the molecular weight during the synthesis of polyamic acid, and it becomes difficult to obtain a resin composition having an appropriate viscosity.

本発明のポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の溶液粘度は、25℃で500〜200000mPa・sであることが好ましく、2000〜100000mPa・sであることがより好ましく、5000〜30000mPa・sであることがさらに好ましい。ここで、粘度はE型粘度計(東機産業株式会社製VISCONIC EHD)を用い、25℃にて測定した。粘度が500mPa・sより低いと膜形成の際の塗布がしにくく、200000mPa・sより高いと合成の際の撹拌が困難になるという問題が生じる。しかし、ポリアミド酸合成の際にここに示す高粘度になったとしても、反応終了後に溶媒を添加して撹拌することで、取扱い性のよい粘度のポリアミド酸を得る事も可能である。   The solution viscosity of the polyamic acid (polyimide precursor) of the present invention is preferably 500 to 200,000 mPa · s at 25 ° C, more preferably 2000 to 100,000 mPa · s, and more preferably 5000 to 30000 mPa · s. Further preferred. Here, the viscosity was measured at 25 ° C. using an E-type viscometer (VISCONIC EHD manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.). When the viscosity is lower than 500 mPa · s, it is difficult to apply the film during film formation, and when it is higher than 200000 mPa · s, there is a problem that stirring during synthesis becomes difficult. However, even when the high viscosity shown here is obtained during the synthesis of the polyamic acid, it is possible to obtain a polyamic acid having a good handleability by adding a solvent after the reaction and stirring.

[(b)有機溶剤]
本発明の樹脂組成物は必要に応じて(b)有機溶剤を用いることが好ましい。(b)有機溶剤は、本発明のポリイミド前駆体(ポリアミド酸)を溶解できるものであれば特に制限はなく、このような溶媒としては前記(a)ポリイミド前駆体(ポリアミド酸)の合成時に用いることのできる溶媒として記載したものを用いることができる。(b)有機溶剤は(a)ポリアミド酸の合成時に用いられる反応溶媒と同一でも異なってもよい。(b)成分の含有量は樹脂組成物の25℃における粘度が、0.5Pa・s〜100Pa・sとなるように調整して加える。
[(B) Organic solvent]
The resin composition of the present invention preferably uses (b) an organic solvent as necessary. The (b) organic solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the polyimide precursor (polyamide acid) of the present invention. Such a solvent is used at the time of synthesizing the (a) polyimide precursor (polyamide acid). What was described as a solvent which can be used can be used. (B) The organic solvent may be the same as or different from the reaction solvent used in the synthesis of (a) polyamic acid. (B) Content of a component is adjusted and added so that the viscosity in 25 degreeC of a resin composition may be set to 0.5 Pa.s-100 Pa.s.

また、(b)有機溶剤の常圧における沸点は、60〜210℃が好ましく、100〜205℃がより好ましく、140〜180℃がさらに好ましい。沸点が210℃より高いと、乾燥工程が長時間必要となり、60℃より低いと、乾燥工程において膜表面に荒れや、膜中に気泡が入り清浄な膜が得られない可能性がある。   Moreover, 60-210 degreeC is preferable, the boiling point in the normal pressure of (b) organic solvent has more preferable 100-205 degreeC, and 140-180 degreeC is further more preferable. If the boiling point is higher than 210 ° C., a drying process is required for a long time. If the boiling point is lower than 60 ° C., the film surface may be roughened in the drying process, or bubbles may enter the film and a clean film may not be obtained.

[その他の成分]
本発明による樹脂組成物は、上記(a)成分、(b)成分の他に、(1)接着性付与剤、(2)界面活性剤又はレベリング剤、(3)溶剤等を含有しても良い。
[Other ingredients]
The resin composition according to the present invention may contain (1) an adhesion-imparting agent, (2) a surfactant or a leveling agent, (3) a solvent, etc., in addition to the components (a) and (b). good.

[その他の成分:(1)接着性付与剤]
本発明の樹脂組成物は、硬化膜の基板との接着性を高めるために、有機シラン化合物、アルミキレート化合物等の(1)接着性付与剤を含有しても良い。
[Other components: (1) Adhesiveness imparting agent]
The resin composition of the present invention may contain (1) an adhesion-imparting agent such as an organic silane compound and an aluminum chelate compound in order to enhance the adhesion of the cured film to the substrate.

有機シラン化合物としては、例えば、ビニルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、尿素プロピルトリエトキシシラン、メチルフェニルシランジオール、エチルフェニルシランジオール、n−プロピルフェニルシランジオール、イソプロピルフェニルシランジオール、n−ブチルフェニルシランジオール、イソブチルフェニルシランジオール、tert−ブチルフェニルシランジオール、ジフェニルシランジオール、エチルメチルフェニルシラノール、n−プロピルメチルフェニルシラノール、イソプロピルメチルフェニルシラノール、n−ブチルメチルフェニルシラノール、イソブチルメチルフェニルシラノール、tert−ブチルメチルフェニルシラノール、エチルn−プロピルフェニルシラノール、エチルイソプロピルフェニルシラノール、n−ブチルエチルフェニルシラノール、イソブチルエチルフェニルシラノール、tert−ブチルエチルフェニルシラノール、メチルジフェニルシラノール、エチルジフェニルシラノール、n−プロピルジフェニルシラノール、イソプロピルジフェニルシラノール、n−ブチルジフェニルシラノール、イソブチルジフェニルシラノール、tert−ブチルジフェニルシラノール、フェニルシラントリオール、1,4−ビス(トリヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(メチルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(エチルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(プロピルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ブチルジヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジメチルヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジエチルヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジプロピルヒドロキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(ジブチルヒドロキシシリル)ベンゼン等が挙げられる。   Examples of the organic silane compound include vinyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, urea propyltriethoxysilane, methylphenylsilanediol, ethylphenylsilanediol, n- Propylphenylsilanediol, isopropylphenylsilanediol, n-butylphenylsilanediol, isobutylphenylsilanediol, tert-butylphenylsilanediol, diphenylsilanediol, ethylmethylphenylsilanol, n-propylmethylphenylsilanol, isopropylmethylphenylsilanol, n-butylmethylphenylsilanol, isobutylmethylphenylsilanol, tert-butylmethylphenylsilanol Ethyl n-propylphenylsilanol, ethylisopropylphenylsilanol, n-butylethylphenylsilanol, isobutylethylphenylsilanol, tert-butylethylphenylsilanol, methyldiphenylsilanol, ethyldiphenylsilanol, n-propyldiphenylsilanol, isopropyldiphenylsilanol, n-butyldiphenylsilanol, isobutyldiphenylsilanol, tert-butyldiphenylsilanol, phenylsilanetriol, 1,4-bis (trihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (methyldihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis ( Ethyldihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (propyldihydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (butyldihi Loxysilyl) benzene, 1,4-bis (dimethylhydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (diethylhydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (dipropylhydroxysilyl) benzene, 1,4-bis (dibutylhydroxysilyl) ) Benzene and the like.

アルミキレート化合物としては、例えば、トリス(アセチルアセトネート)アルミニウム、アセチルアセテートアルミニウムジイソプロピレート等が挙げられる。   Examples of the aluminum chelate compound include tris (acetylacetonate) aluminum, acetylacetate aluminum diisopropylate, and the like.

これらの(1)接着性付与剤を用いる場合は、(a)成分100質量部に対して、0.1〜20質量部含有させるのが好ましく、0.5〜10質量部含有させるのがより好ましい。   When these (1) adhesion imparting agents are used, it is preferable to contain 0.1 to 20 parts by mass, and more preferably 0.5 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of component (a). preferable.

[その他の成分:(2)界面活性剤あるいはレベリング剤]
また、本発明のポリイミド樹脂組成物は、塗布性、例えばストリエーション(膜厚のムラ)を防いだりするために、適当な(2)界面活性剤あるいはレベリング剤を含有しても良い。このような界面活性剤あるいはレベリング剤としては、例えば、ポリオキシエチレンウラリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル等が挙げられる。
[Other components: (2) Surfactant or leveling agent]
Further, the polyimide resin composition of the present invention may contain an appropriate (2) surfactant or leveling agent in order to prevent coating properties, for example, striation (film thickness unevenness). Examples of such surfactants or leveling agents include polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenol ether, and the like.

市販品としては、メガファックスF171、F173、R−08(大日本インキ化学工業株式会社(DIC株式会社)製、商品名)、フロラードFC430、FC431(住友スリーエム株式会社製、商品名)、オルガノシロキサンポリマーKP341、KBM303、KBM403、KBM803(信越化学工業株式会社製、商品名)等が挙げられる。   Commercially available products include Megafax F171, F173, R-08 (trade name, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. (DIC Corporation)), Florard FC430, FC431 (trade name, manufactured by Sumitomo 3M Limited), organosiloxane Examples thereof include polymers KP341, KBM303, KBM403, and KBM803 (trade name, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

[樹脂組成物]
樹脂組成物の製造方法は、特に限定されるものではないが、例えば、(a)ポリイミド前駆体(ポリアミド酸)を合成した時の反応溶媒と(b)有機溶剤が同一の場合には、(a)ポリアミド酸溶液に、室温(25℃)〜80℃の温度範囲で、(b)成分及び必要に応じて他の添加剤を添加して、攪拌混合する方法が挙げられる。この攪拌混合は撹拌翼を備えたスリーワンモータ(新東化学株式会社製)、自転公転ミキサー等の装置を用いることができる。また必要に応じて40〜100℃の熱を加えても良い。(a)ポリアミド酸を合成した時の反応溶媒と(b)有機溶剤が異なる場合には、合成したポリアミド酸溶液中の反応溶媒を、再沈殿や溶媒留去の方法により除去し、(a)ポリアミド酸を得た後に、室温〜80℃の温度範囲で、(b)有機溶剤及び必要に応じて他の添加剤を添加して、攪拌混合することにより得る方法が挙げられる。
[Resin composition]
Although the manufacturing method of a resin composition is not specifically limited, For example, when (a) the reaction solvent at the time of synthesize | combining a polyimide precursor (polyamic acid) and (b) the organic solvent are the same, a) In the temperature range of room temperature (25 ° C.) to 80 ° C., the component (b) and other additives as required are added to the polyamic acid solution, followed by stirring and mixing. For this stirring and mixing, an apparatus such as a three-one motor (manufactured by Shinto Chemical Co., Ltd.) equipped with a stirring blade, a rotation and revolution mixer, or the like can be used. Moreover, you may add the heat | fever of 40-100 degreeC as needed. (A) When the reaction solvent used when synthesizing the polyamic acid is different from the organic solvent (b), the reaction solvent in the synthesized polyamic acid solution is removed by reprecipitation or solvent distillation, and (a) Examples thereof include a method obtained by adding (b) an organic solvent and, if necessary, other additives and stirring and mixing in the temperature range of room temperature to 80 ° C. after obtaining the polyamic acid.

本発明の樹脂組成物の25℃における粘度は、使用用途・目的にもよるが、塗布工程における作業性の観点から、0.5〜100Pa・sであることが好ましく、1〜30Pa・sであることがより好ましく、5〜20Pa.sであることがさらに好ましい。   The viscosity at 25 ° C. of the resin composition of the present invention is preferably 0.5 to 100 Pa · s, preferably 1 to 30 Pa · s from the viewpoint of workability in the coating process, although it depends on the intended use and purpose. More preferably, it is 5-20 Pa.s. More preferably, it is s.

[ポリイミド成形体]
本発明のポリイミド成形体は、本発明の樹脂組成物を塗布、乾燥して得られた樹脂膜を形成し、これを加熱処理(イミド化)することにより得ることが出来る。また、該ポリイミド成形体は、使用用途・目的により、膜状、フィルム状、シート状等の形態から選ばれる。
[Polyimide molded product]
The polyimide molded body of the present invention can be obtained by forming a resin film obtained by applying and drying the resin composition of the present invention and subjecting it to heat treatment (imidization). The polyimide molded body is selected from forms such as a film shape, a film shape, and a sheet shape depending on the intended use and purpose.

ポリイミド成形体の製造方法は、(1)本発明の樹脂組成物を基材上に塗布する工程、(2)塗布した樹脂膜を80〜200℃の熱で乾燥し、樹脂膜を形成する工程、(3)乾燥後の樹脂膜を加熱処理する工程として300℃以上の加熱により、樹脂組成物中のポリイミド前駆体をイミド化する工程からなる。   The method for producing a polyimide molded body includes (1) a step of applying the resin composition of the present invention on a substrate, and (2) a step of drying the applied resin film with heat at 80 to 200 ° C. to form a resin film. (3) The step of heat-treating the resin film after drying comprises a step of imidizing the polyimide precursor in the resin composition by heating at 300 ° C. or higher.

(1)塗布工程
塗布工程で使用される塗布方法は、特に制限はなく、所望の塗布厚や樹脂組成物の粘度などに応じて、公知の塗布方法を適宜選択して使用できる。具体的には、ドクターブレード、ナイフコーター、エアナイフコーター、ロールコーター、ロータリーコーター、フローコーター、ダイコーター、バーコーター等の塗布方法、スピンコート、スプレイコート、ディップコート等の塗布方法、スクリーン印刷やグラビア印刷等に代表される印刷技術を応用することもできる。樹脂組成物を塗布する基材としては、その後の工程の乾燥温度における耐熱性を有し、剥離性が良好であれば特に限定されない。例えば、ガラス、シリコンウエハ等からなる基材、PET(ポリエチレンテレフタレート)、OPP(延伸ポリプロピレン)等からなる支持体が挙げられる。また、基材としては他に、ガラス基板、ステンレス、アルミナ、銅、ニッケル等の金属基板、ポリエチレングリコールテレフタレート、ポリエチレングリコールナフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルホン、ポリフェニレンスルフィド等の樹脂基板などが用いられる。樹脂膜中に残留した有機溶剤が除去され、イミド化反応が進行する。
(1) Application | coating process The application | coating method used at an application | coating process does not have a restriction | limiting in particular, According to desired application | coating thickness, the viscosity of a resin composition, etc., it can select and use a well-known application | coating method suitably. Specifically, doctor blades, knife coaters, air knife coaters, roll coaters, rotary coaters, flow coaters, die coaters, bar coaters and other coating methods, spin coating, spray coating, dip coating and other coating methods, screen printing and gravure Printing techniques represented by printing and the like can also be applied. The substrate on which the resin composition is applied is not particularly limited as long as it has heat resistance at the drying temperature in the subsequent steps and has good peelability. Examples thereof include a substrate made of glass, a silicon wafer or the like, and a support made of PET (polyethylene terephthalate), OPP (stretched polypropylene) or the like. Other base materials include glass substrates, metal substrates such as stainless steel, alumina, copper, nickel, polyethylene glycol terephthalate, polyethylene glycol naphthalate, polycarbonate, polyimide, polyamideimide, polyetherimide, polyetheretherketone, poly A resin substrate such as ether sulfone, polyphenylene sulfone, or polyphenylene sulfide is used. The organic solvent remaining in the resin film is removed, and the imidization reaction proceeds.

本発明の樹脂組成物の塗布厚は、目的とする成形体の厚さと樹脂組成物中の樹脂不揮発分の割合により適宜調整されるものであるが、通常1〜1000μm程度である。樹脂不揮発分は上述の方法により求めることができる。塗布工程は、通常室温で実施されるが、粘度を下げて作業性を良くする目的で樹脂組成物を40〜80℃の範囲で加温して実施してもよい。   The coating thickness of the resin composition of the present invention is appropriately adjusted depending on the thickness of the objective molded article and the ratio of the resin non-volatile content in the resin composition, but is usually about 1 to 1000 μm. The resin non-volatile content can be obtained by the method described above. The coating step is usually performed at room temperature, but the resin composition may be heated in the range of 40 to 80 ° C. for the purpose of reducing the viscosity and improving workability.

塗布工程に続き、(2)乾燥工程を行う。乾燥工程は、有機溶媒除去の目的で行われる。乾燥工程はホットプレート、箱型乾燥機やコンベヤー型乾燥機などの装置を利用することができ、80〜200℃で行うことが好ましく、100〜150℃で行うことがより好ましい。   Following the coating process, (2) a drying process is performed. The drying step is performed for the purpose of removing the organic solvent. A drying process can utilize apparatuses, such as a hotplate, a box-type dryer, and a conveyor type dryer, It is preferable to carry out at 80-200 degreeC, and it is more preferable to carry out at 100-150 degreeC.

続いて(3)加熱工程を行う。この加熱工程は(2)乾燥工程で樹脂膜中に残留した有機溶媒の除去を行うとともに、樹脂組成物中のポリアミド酸のイミド化反応を進行させる工程である。加熱工程は、イナートガスオーブン、ホットプレート、箱型乾燥機、コンベヤー型乾燥機等の装置を用いて行う。またこの工程は前記(2)乾燥工程と同時に行っても、逐次的に行っても良い。空気雰囲気下でも良いが、安全性及び酸化防止の観点から、不活性ガス雰囲気下で行うことが推奨される。不活性ガスとしては窒素、アルゴンなどが挙げられる。加熱温度は、(b)有機溶剤の種類にもよるが、250℃〜400℃が好ましく、300〜350℃であることがより好ましい。250℃より低いとイミド化が不十分となり、400℃より高いと膜が着色しやすい、耐熱がもたないと言う問題が生じる恐れがある。加熱時間は、通常0.5〜3時間程度である。   Subsequently, (3) a heating step is performed. This heating step is a step of (2) removing the organic solvent remaining in the resin film in the drying step and advancing the imidization reaction of the polyamic acid in the resin composition. A heating process is performed using apparatuses, such as an inert gas oven, a hot plate, a box type dryer, and a conveyor type dryer. Further, this step may be performed simultaneously with the (2) drying step or sequentially. Although it may be in an air atmosphere, it is recommended to carry out in an inert gas atmosphere from the viewpoint of safety and oxidation prevention. Examples of the inert gas include nitrogen and argon. Although heating temperature is based also on the kind of (b) organic solvent, 250 to 400 degreeC is preferable and it is more preferable that it is 300 to 350 degreeC. If it is lower than 250 ° C., imidization becomes insufficient, and if it is higher than 400 ° C., the film is likely to be colored, and there may be a problem that heat resistance is not provided. The heating time is usually about 0.5 to 3 hours.

また、ポリイミド成形体の使用用途・目的によっては、(3)加熱工程の後、(4)基材から樹脂組成物を剥離する剥離工程が必要となる。この剥離工程は、基材上の成形体を室温〜50℃程度まで冷却後、実施される。剥離作業を容易に実施するため、本発明の樹脂組成物を塗布する前に、必要に応じて基材へ離型剤を塗布しておいてもよい。係る離型剤としては、植物油系、シリコン系、フッ素系、アルキッド系等の離型剤が挙げられる。   Further, depending on the intended use and purpose of the polyimide molded body, (4) a peeling step of peeling the resin composition from the base material is required after the heating step. This peeling process is implemented after cooling the molded object on a base material to room temperature-about 50 degreeC. In order to easily perform the peeling operation, a release agent may be applied to the substrate as necessary before applying the resin composition of the present invention. Examples of such release agents include vegetable oil-based, silicon-based, fluorine-based and alkyd-based release agents.

得られたポリイミド成形体は、用途に応じて、レジストプロセスによりパターンを形成することもできる。レジストプロセスは例えば、(3)加熱工程又は(4)剥離工程の後、レジストを塗布し、露光及び現像などによりパターンを形成する。レジスト材料及びエッチングに用いられる材料は、通常のレジストプロセスで用いられるものであれば、特に制限はない。例えば、一般に良く知られたエッチング溶液としては、ヒドラジン水和物、水酸化カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液などがある。またこれらの湿式エッチングの他に、酸素プラズマエッチング、酸素スパッタエッチングなど乾式方法をとることもできる。パターン形成後、有機溶剤を用いてレジストをポリイミド成形体から剥離する。かかる有機溶剤としては、エタノールアミン、NMP、DMSO等が挙げられ、これらの混合物を用いることもできる。   The obtained polyimide molded body can also form a pattern by a resist process according to a use. In the resist process, for example, after (3) the heating step or (4) the peeling step, a resist is applied, and a pattern is formed by exposure and development. The resist material and the material used for etching are not particularly limited as long as they are used in a normal resist process. For example, generally well-known etching solutions include hydrazine hydrate, potassium hydroxide aqueous solution, sodium hydroxide aqueous solution and the like. In addition to these wet etchings, dry methods such as oxygen plasma etching and oxygen sputter etching can also be employed. After pattern formation, the resist is peeled off from the polyimide molded body using an organic solvent. Examples of the organic solvent include ethanolamine, NMP, DMSO and the like, and a mixture thereof can also be used.

本発明に係るポリイミド成形体の製造方法は、膜厚1〜500μmのポリイミド成形体を製造する場合に有用である。膜厚1〜100μmのポリイミド成形体を製造することが、本発明の効果をより向上させるため、好ましい。   The method for producing a polyimide molded body according to the present invention is useful for producing a polyimide molded body having a thickness of 1 to 500 μm. It is preferable to produce a polyimide molded body having a thickness of 1 to 100 μm because the effects of the present invention are further improved.

本発明のポリイミド成形体の製造後の残存有機溶剤量は、2質量%以下が好ましく、1質量%以下がより好ましく、0.5質量%以下がさらに好ましい。   The amount of the remaining organic solvent after the production of the polyimide molded body of the present invention is preferably 2% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, and further preferably 0.5% by mass or less.

本発明のポリイミド成形体の機械的物性は、引張弾性率が、幅方向及び操作方向共に1.5GPa以上であることが好ましく、1.7〜6.5GPaであることがより好ましい。引張強さは45MPa以上であることが好ましく、50〜200MPaであることがより好ましい。破断伸びは50〜150%であることが好ましく、80〜150%であることがより好ましい。これらの機械特性は全て引っ張り試験装置の引っ張り試験により求めることができる。ポリイミド成形体がこれらの機械的物性を有していれば、光通信分野、表示装置分野に利用されるポリイミド成形体としては十分な靭性を有するとされ、実用的に用いることが出来る。   As for the mechanical properties of the polyimide molded body of the present invention, the tensile elastic modulus is preferably 1.5 GPa or more in both the width direction and the operation direction, and more preferably 1.7 to 6.5 GPa. The tensile strength is preferably 45 MPa or more, and more preferably 50 to 200 MPa. The elongation at break is preferably 50 to 150%, more preferably 80 to 150%. All of these mechanical properties can be determined by a tensile test using a tensile test apparatus. If the polyimide molded body has these mechanical properties, it is considered to have sufficient toughness as a polyimide molded body used in the fields of optical communication and display devices, and can be used practically.

本発明のポリイミド成形体のガラス転移温度(Tg)は、通常、250〜400℃、好ましくは300〜400℃が推奨される。光通信分野、表示装置分野に利用されるポリイミド成形体として十分な耐熱性を有すると評される値である。ガラス転移温度は、後述の実施例に記載した方法にて得られた値である。   The glass transition temperature (Tg) of the polyimide molded body of the present invention is usually 250 to 400 ° C, preferably 300 to 400 ° C. This value is regarded as having sufficient heat resistance as a polyimide molded body used in the fields of optical communication and display devices. The glass transition temperature is a value obtained by the method described in Examples described later.

本発明のポリイミド成形体の透明性は、400nm以上における透過率が、膜厚10μmで80%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。光通信分野、表示装置分野に利用されるポリイミド成形体として十分な透明性を有すると評される値である。   The transparency of the polyimide molded body of the present invention is such that the transmittance at 400 nm or more is preferably 80% or more, more preferably 90% or more at a film thickness of 10 μm. This value is regarded as having sufficient transparency as a polyimide molded body used in the fields of optical communication and display devices.

[プラスチック基板・保護膜/電気・電子部品]
本発明のプラスチック基板及び保護膜は、上記ポリイミド成形体からなることを特徴とする。その製造方法は、従来公知の製造方法を用いることができる。例えば、本発明の樹脂組成物を仮固定基材に塗布し、乾燥及び加熱を行い、次いで上記レジストプロセスを行い、透明導電膜(ITO)基板、薄膜トランジスタ(TFT)基板として用いられるプラスチック基板として使用することができる。また、本発明の樹脂組成物を仮固定基材に塗布し、乾燥及び加熱を行い、仮固定基材から剥離してフィルムとして用いることができる。
[Plastic substrate / Protective film / Electric / electronic parts]
The plastic substrate and protective film of the present invention are characterized by comprising the above polyimide molded body. As the manufacturing method, a conventionally known manufacturing method can be used. For example, the resin composition of the present invention is applied to a temporary fixing substrate, dried and heated, and then subjected to the resist process, which is used as a plastic substrate used as a transparent conductive film (ITO) substrate and a thin film transistor (TFT) substrate. can do. The resin composition of the present invention can be applied to a temporarily fixed substrate, dried and heated, peeled from the temporarily fixed substrate, and used as a film.

プラスチック基板及び保護膜は、本発明のポリイミド成形体が耐熱性、透明性及び靭性を有することから、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の電子部品に使用することができる。具体的には、カバーフィルム、薄膜トランジスタ(TFT)基板等として電子部品に用いることが出来る。また、電子ペーパーなどの、フレキシブルディスプレイ基板、カラーフィルター用保護膜等として用いることもできる。さらに、透明伝導フィルム基板、TFT基板などのガラス基板代替として、表示装置分野に利用できる。また光ファイバー、光導波路などの光通信分野にも利用可能である。さらに、太陽電池の表面保護フィルム等としても用いることができる。   Since the polyimide molded body of the present invention has heat resistance, transparency and toughness, the plastic substrate and the protective film can be used for electronic parts such as liquid crystal displays, organic electroluminescence displays, and field emission displays. Specifically, it can be used for an electronic component as a cover film, a thin film transistor (TFT) substrate, or the like. Further, it can be used as a flexible display substrate such as electronic paper, a protective film for a color filter, and the like. Furthermore, it can be used in the field of display devices as an alternative to glass substrates such as transparent conductive film substrates and TFT substrates. It can also be used in the field of optical communications such as optical fibers and optical waveguides. Furthermore, it can also be used as a surface protective film for solar cells.

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further more concretely, this invention is not limited to these Examples.

[ポリマーIの合成]
攪拌機、温度計を備えた0.2リットルのフラスコ中に、N−メチルピロリドン63.2g(637mmol)と4,4′-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル11.1g(30.0mmol)を仕込み、撹拌溶解した後、シクロヘキサンテトラカルボン酸を乾燥機で(160℃、24時間)加熱し脱水閉環させた(1R,2S,4S,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物6.72g(30.0mmol)を添加し、十分攪拌し完全に溶解させた。その後、分子量が一定となるまで約70時間撹拌しポリアミック酸(ポリイミド前駆体)を得た(以下、ポリマーIとする)。ポリマーIのGPC法標準ポリスチレン換算により求めた重量平均分子量は89,000、分散度は2.4であった。
[Synthesis of Polymer I]
A 0.2-liter flask equipped with a stirrer and a thermometer was charged with 63.2 g (637 mmol) of N-methylpyrrolidone and 11.1 g (30.0 mmol) of 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl. After stirring and dissolving, cyclohexanetetracarboxylic acid was heated in a dryer (160 ° C., 24 hours) and dehydrated and ring-closed (1R, 2S, 4S, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic dianhydride 6.72 g (30. 0 mmol) was added and stirred well to dissolve completely. Then, it stirred for about 70 hours until molecular weight became fixed, and obtained the polyamic acid (polyimide precursor) (henceforth polymer I). The weight average molecular weight of polymer I determined by GPC standard polystyrene conversion was 89,000, and the degree of dispersion was 2.4.

[ポリマーII〜XIIの合成]
ポリマーIと同様に、表1に示すように配合を行い、ポリマーII〜XIIを合成した。表1のアミン1〜9、酸1〜3及びNMPの数値の単位はmmolである。用いたアミン1〜9及び酸1、2は下記のものである。
アミン1:4,4′-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル
アミン2:p−フェニレンジアミン
アミン3:4,4′‐オキシジアニリン
アミン4:2,2′‐ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
アミン5:1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
アミン6:2,2′−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン
アミン7:ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)スルホン
アミン8:4,4′−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)
アミン9:3,3′−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン
酸1:(1R,2S,4S,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸
酸2:(1S,2S,4R,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸
酸3:3,3′,4,4′−テトラカルボキシジフェニルエーテル
[Synthesis of Polymers II to XII]
In the same manner as for polymer I, blending was performed as shown in Table 1 to synthesize polymers II to XII. The units of numerical values of amines 1 to 9, acids 1 to 3 and NMP in Table 1 are mmoles. The amines 1 to 9 and acids 1 and 2 used are as follows.
Amine 1: 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenylamine 2: p-phenylenediamine amine 3: 4,4′-oxydianiline amine 4: 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine amine 5: 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzenamine 6: 2,2′-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) propanamine 7: bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) Sulfonamine 8: 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine)
Amine 9: 3,3′-bis (trifluoromethyl) benzidine acid 1: (1R, 2S, 4S, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic acid 2: (1S, 2S, 4R, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic acid 3: 3,3 ′, 4,4′-tetracarboxydiphenyl ether

(重量平均分子量の測定条件)
合成したポリマーの重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー法(GPC、装置は、株式会社日立製作所製、カラムは日立化成工業株式会社製ゲルパック)を用いて、標準ポリスチレン換算により求めた。
具体的には、以下の装置及び条件にて、GPCにより各ポリマーの重量平均分子量を測定した。
測定装置:検出器 株式会社日立製作所社製L4000UV
ポンプ:株式会社日立製作所社製L6000
株式会社島津製作所社製C−R4A Chromatopac
測定条件:カラム Gelpack GL−S300MDT−5×2本
溶離液:THF/DMF=1/1(容積比)
LiBr(0.03mol/l)、H3PO4(0.06mol/l)
流速:1.0ml/分、検出器:UV270nm
ポリマー0.5mgに対して溶媒[THF/DMF=1/1(容積比)]1mlの溶液を用いて測定した。
(Measurement conditions for weight average molecular weight)
The weight average molecular weight of the synthesized polymer was determined in terms of standard polystyrene using a gel permeation chromatography method (GPC, apparatus is manufactured by Hitachi, Ltd., column is gel pack manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.).
Specifically, the weight average molecular weight of each polymer was measured by GPC with the following apparatus and conditions.
Measuring device: Detector L4000UV manufactured by Hitachi, Ltd.
Pump: Hitachi Ltd. L6000
C-R4A Chromatopac manufactured by Shimadzu Corporation
Measurement conditions: Column Gelpack GL-S300MDT-5 × 2 eluent: THF / DMF = 1/1 (volume ratio)
LiBr (0.03 mol / l), H 3 PO 4 (0.06 mol / l)
Flow rate: 1.0 ml / min, detector: UV 270 nm
The measurement was performed using a solution of 1 ml of a solvent [THF / DMF = 1/1 (volume ratio)] with respect to 0.5 mg of the polymer.

[実施例1]
(硬化膜の作製)
ポリマーIを塗布しやすい粘度までNMPで希釈し、残存固形分(NV)を測定したところ14質量%であった。ここで、残存固形分は樹脂組成物中の樹脂不揮発分の割合であり、あらかじめ質量の分かっている金属シャーレに(1g程度を目安に)ポリアミド酸溶液をとり質量(金属シャーレ及びポリアミド酸の質量、以下、加熱前の質量という)を測定し、その後200℃のホットプレート上で2時間加熱して溶媒が十分に揮発したあとの質量(金属シャーレ及び溶質の質量、以下、加熱後の質量という)を測定し、(加熱後の質量−金属シャーレの質量)÷(加熱前の質量−金属シャーレの質量)×100を計算することで求められる。
これを5μmのフィルター(ミリポア(Millipore)社製、SLLS025NS)を用いてろ過を行った。得られた樹脂組成物をシリコンウエハ上にスピンコートして、120℃で3分間乾燥し、乾燥膜厚14〜18μmの塗膜を形成した。これをさらにイナートガスオーブンを用いて窒素雰囲気下中フルキュアし、キュア膜厚9〜11μmの硬化膜を得た。イナートガスオーブンによるフルキュアの条件は以下の通りである。
[Example 1]
(Production of cured film)
When the polymer I was diluted with NMP to a viscosity at which it could be easily applied and the residual solid content (NV) was measured, it was 14% by mass. Here, the residual solid content is a ratio of the resin non-volatile content in the resin composition, and the mass (the mass of the metal petri dish and the polyamic acid) is obtained by taking the polyamic acid solution (about 1 g as a guide) into a metal petri dish having a known mass. , Hereinafter referred to as mass before heating), and then heated on a hot plate at 200 ° C. for 2 hours to sufficiently evaporate the solvent (mass of metal petri dish and solute, hereinafter referred to as mass after heating) ) Is measured, and (mass after heating−mass of metal petri dish) ÷ (mass before heating−mass of metal petri dish) × 100 is calculated.
This was filtered using a 5 μm filter (Millipore, SLLS025NS). The obtained resin composition was spin-coated on a silicon wafer and dried at 120 ° C. for 3 minutes to form a coating film having a dry film thickness of 14 to 18 μm. This was further fully cured in a nitrogen atmosphere using an inert gas oven to obtain a cured film having a cured film thickness of 9 to 11 μm. The conditions for full cure with an inert gas oven are as follows.

(イナートガスオーブンによるフルキュアの条件)
装置:光洋サーモシステム株式会社製イナートガスオーブン
条件:昇温 室温〜200℃(5℃/分)
ホールド 200℃(20分)
昇温 200℃〜300℃(5℃/分)
ホールド 300℃(60分)
冷却 300℃〜室温(60分)
(Full cure condition with inert gas oven)
Apparatus: Inert gas oven manufactured by Koyo Thermo System Co., Ltd. Conditions: Temperature rise Room temperature to 200 ° C (5 ° C / min)
Hold 200 ° C (20 minutes)
200 ° C to 300 ° C (5 ° C / min)
Hold 300 ° C (60 minutes)
Cooling 300 ° C to room temperature (60 minutes)

(膜物性の評価)
次に4.9質量%フッ酸水溶液を用いて、この硬化膜をシリコンウエハより剥離し、水洗、乾燥した後、ガラス転移点(Tg)、破断伸び、透過率を調べた。Tgはセイコーインスツル株式会社製TMA/SS6000を用い、昇温速度5℃/分にて熱膨張の変曲点より求めた。破断伸び及び弾性率は株式会社島津製作所製オートグラフAGS−100NHを用いて引っ張り試験より求めた。また、透過率はU−3310(株式会社日立製作所製スペクトロフォトメーター)を用いて測定し、Lambert−Beerの法則を用いて10μm換算した値を求めた。
(Evaluation of film properties)
Next, this cured film was peeled from the silicon wafer using a 4.9% by mass hydrofluoric acid aqueous solution, washed with water, dried, and then examined for glass transition point (Tg), elongation at break, and transmittance. Tg was determined from the inflection point of thermal expansion using a TMA / SS6000 manufactured by Seiko Instruments Inc. at a temperature rising rate of 5 ° C./min. The elongation at break and elastic modulus were determined from a tensile test using an autograph AGS-100NH manufactured by Shimadzu Corporation. Moreover, the transmittance | permeability was measured using U-3310 (Hitachi Ltd. spectrophotometer), and calculated | required the value converted into 10 micrometers using Lambert-Beer's law.

(薬液耐性の評価)
上述の方法でシリコンウエハ上に形成された硬化膜を、ジメチルスルホキシド:モノエタノールアミン=30:70質量比の溶液に80℃で10分間浸漬し、硬化膜の薬液耐性を評価した。硬化膜にクラックが無いものを「○」、クラックが入ったものを「×」として評価した。また、薬液耐性の評価試験前後の膜厚の変化が±0.3%未満のものを「A」、±0.3%以上±0.5%以下のものを「B」、±0.5より大きいものを「C」として評価した。
(Evaluation of chemical resistance)
The cured film formed on the silicon wafer by the above-described method was immersed in a dimethyl sulfoxide: monoethanolamine = 30: 70 mass ratio solution at 80 ° C. for 10 minutes, and the chemical resistance of the cured film was evaluated. A cured film having no crack was evaluated as “◯”, and a crack having a crack was evaluated as “×”. In addition, the change of film thickness before and after the chemical resistance evaluation test is less than ± 0.3% “A”, the change of ± 0.3% to ± 0.5% is “B”, ± 0.5 The larger one was rated as “C”.

[実施例2〜4、比較例1〜8]
実施例1と同様の方法で硬化膜を作製し、ガラス転移点(Tg)、破断伸び、透過率の測定及び薬液耐性の評価を行い、結果をまとめて表1に示した。
[Examples 2 to 4, Comparative Examples 1 to 8]
A cured film was prepared in the same manner as in Example 1, glass transition point (Tg), elongation at break, transmittance measurement and chemical resistance were evaluated. The results are shown in Table 1.

Figure 2012224755
Figure 2012224755

実施例1〜4のように、シクロヘキサンテトラカルボン酸とエーテル結合及びビフェニル骨格を有するジアミンから得られるポリイミド前駆体を含有する樹脂組成物を用いた場合、良好な透過率を示し、かつ薬液耐性に優れた硬化膜を得ることができた。またこれらの硬化膜は、十分な耐熱性及び機械特性を有することが分かった。シクロヘキサンテトラカルボン酸では、Tgは若干低下するが酸1の(1R,2S,4S,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸を用いたものが、酸2の(1S,2S,4R,5R)−シクロヘキサンテトラカルボン酸を用いたものより、透過率が高く、機械的特性にもやや優れる。
一方、ジアミンにエーテル結合とビフェニル骨格を有していない、アミン2のp-フェニレンジアミン(比較例1)、アミン3の4,4′‐オキシジアニリン(比較例2)、アミン4の2,2′‐ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(比較例3)を用いた場合、透過率は比較的に良いが、薬液耐性のクラックや膜厚変化に劣る。さらに、ジアミンにエーテル結合とビフェニル骨格を有していない、アミン5の1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(比較例4)、アミン6の2,2′−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン(比較例5)、アミン7のビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)スルホン(比較例6)、アミン8の4,4′−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)(比較例7)、アミン9の3,3′−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(比較例8)は、87.1〜89.1%の透過率で、実施例より大幅に劣り、薬液耐性のクラックや膜厚変化にも劣る。
本発明の酸成分にシクロヘキサンテトラカルボン酸、ジアミン成分にエーテル結合とビフェニル骨格を有するジアミンを用いることで得られるポリイミド前駆体(ポリアミド酸)を用いたポリイミド樹脂は、透明性と薬液耐性に優れる。
As in Examples 1 to 4, when a resin composition containing a polyimide precursor obtained from a diamine having a cyclohexanetetracarboxylic acid and an ether bond and a biphenyl skeleton is used, it exhibits good transmittance and is resistant to chemicals. An excellent cured film could be obtained. Moreover, it turned out that these cured films have sufficient heat resistance and mechanical characteristics. In cyclohexanetetracarboxylic acid, Tg slightly decreases, but acid 1 (1R, 2S, 4S, 5R) -cyclohexanetetracarboxylic acid uses acid 2 (1S, 2S, 4R, 5R) -cyclohexanetetra. The transmittance is higher than that using carboxylic acid, and the mechanical properties are slightly superior.
On the other hand, p-phenylenediamine of amine 2 (Comparative Example 1), 4,4′-oxydianiline (Comparative Example 2) of amine 3, When 2'-bis (trifluoromethyl) benzidine (Comparative Example 3) is used, the transmittance is relatively good, but it is inferior to chemical-resistant cracks and film thickness changes. Furthermore, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene of amine 5 (Comparative Example 4) and 2,2′-bis (4- (4 of amine 6), which do not have an ether bond and a biphenyl skeleton in diamine. -Aminophenoxy) phenyl) propane (Comparative Example 5), amine 7 bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) sulfone (Comparative Example 6), amine 8 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine) (comparative) Example 7) Amine 9,3'-bis (trifluoromethyl) benzidine (Comparative Example 8) has a transmittance of 87.1 to 89.1%, which is significantly inferior to the examples and is resistant to chemicals. Also inferior to changes in film thickness.
A polyimide resin using a polyimide precursor (polyamide acid) obtained by using cyclohexanetetracarboxylic acid as the acid component of the present invention and a diamine having an ether bond and a biphenyl skeleton as the diamine component is excellent in transparency and chemical resistance.

以上のように、本発明にかかる樹脂組成物を加熱硬化した膜は、透明性及び薬液耐性に優れ、さらに耐熱性及び機械特性に優れているため、ディスプレイ基材や保護膜等として好適に用いることができる。また、該基材又は保護膜を備えた電気・電子部品(各種電子デバイスにおける電気絶縁膜および液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、電子ペーパー、太陽電池など)の提供が可能である。   As described above, a film obtained by heat-curing the resin composition according to the present invention is excellent in transparency and chemical resistance, and further excellent in heat resistance and mechanical properties, and thus is suitably used as a display substrate or a protective film. be able to. In addition, it is possible to provide electrical / electronic components (electrical insulating films and liquid crystal displays in various electronic devices, organic electroluminescence displays, electronic paper, solar cells, and the like) provided with the base material or protective film.

Claims (10)

(a)一般式(I)で示される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体。
Figure 2012224755
(一般式(I)中、Xはエーテル結合とビフェニル骨格を有するジアミン残基を示す)
(A) A polyimide precursor having a repeating unit represented by formula (I).
Figure 2012224755
(In the general formula (I), X represents a diamine residue having an ether bond and a biphenyl skeleton)
一般式(I)で示される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体が、一般式(II)で示される繰り返し単位を有する請求項1に記載のポリイミド前駆体。
Figure 2012224755
(一般式(II)中、nは、1〜3の整数を示す)
The polyimide precursor of Claim 1 in which the polyimide precursor which has a repeating unit shown by general formula (I) has a repeating unit shown by general formula (II).
Figure 2012224755
(In general formula (II), n represents an integer of 1 to 3)
請求項1又は2に記載のポリイミド前駆体を含有する樹脂組成物。   A resin composition containing the polyimide precursor according to claim 1. 有機溶剤を含有する請求項3に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 3 containing an organic solvent. 請求項4に記載の樹脂組成物を加熱することで得られるポリイミド成形体。   The polyimide molded body obtained by heating the resin composition of Claim 4. 請求項5に記載のポリイミド成形体からなるプラスチック基板。   A plastic substrate comprising the polyimide molded body according to claim 5. 請求項5に記載のポリイミド成形体からなる保護膜。   A protective film comprising the polyimide molded body according to claim 5. 請求項6に記載のプラスチック基板又は請求項7に記載の保護膜を有する電子部品。   An electronic component having the plastic substrate according to claim 6 or the protective film according to claim 7. 請求項6に記載のプラスチック基板又は請求項7に記載の保護膜を有する表示装置。   A display device comprising the plastic substrate according to claim 6 or the protective film according to claim 7. 請求項3又は4に記載の樹脂組成物を基材上に塗布、乾燥して樹脂膜を形成する工程と、前記乾燥後の樹脂膜を加熱処理する工程とを含むポリイミド成形体の製造方法。   The manufacturing method of the polyimide molded body which includes the process of apply | coating and drying the resin composition of Claim 3 or 4 on a base material, and forming a resin film, and the process of heat-processing the resin film after the said drying.
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