JP2012182303A - 太陽電池バックシート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明樹脂フィルム(10)、接着剤(20)、透明ガスバリアフィルム(30)、接着剤(20)、透明樹脂フィルム(10)をこの順で積層した太陽電池バックシート(1)であって、前記透明ガスバリアフィルムが、原子層堆積法(ALD法)を用いて形成されたバリア層を有してなることを特徴とする太陽電池バックシート。
【選択図】図1
Description
従来技術において、ALD法やプラズマALD法を透明ガスバリアフィルムの作製に適用し、これを太陽電池バックシートに採用することは開示も示唆もされていない。
図2に示すような太陽電池バックシートを作製した。透明樹脂フィルム(10a)として50μm厚のPETフィルムを用いた。このPETフィルム上に、接着剤(20a)をコートし、その上に透明ガスバリアフィルム(30a)を積層し、さらに接着剤(20b)をコートし、その上に50μm厚のPETフィルムからなる透明樹脂フィルム(10b)を積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、ALD法で10nmのAlOx膜(32a)を100μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜した。この際、原料ガスはトリメチルアルミニウム(以下TMAという)、パージガスとしてAr、反応ガスとしてDryAirを用いた。
図2に示すような太陽電池バックシートを作製した。透明樹脂フィルム(10a)として50μm厚のPETフィルムを用いた。このPETフィルム上に、接着剤(20a)をコートし、その上に透明ガスバリアフィルム(30a)を積層し、さらに接着剤(20b)をコートし、その上に50μm厚のPETフィルムからなる透明樹脂フィルム(10b)を積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、ALD法で20nmのAlOx膜(32a)を100μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜した。この際、原料ガスはTMA、パージガスとしてAr、反応ガスとしてDryAirを用いた。
図2に示すような太陽電池バックシートを作製した。透明樹脂フィルム(10a)として50μm厚のPETフィルムを用いた。このPETフィルム上に、接着剤(20a)をコートし、その上に透明ガスバリアフィルム(30a)を積層し、さらに接着剤(20b)をコートし、その上に50μm厚のPETフィルムからなる透明樹脂フィルム(10b)を積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、抵抗加熱法によりAl材料を蒸発させ、厚み20nmのAlOx膜(32a)を100μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させた。
図2に示すような太陽電池バックシートを作製した。透明樹脂フィルム(10a)として50μm厚のPETフィルムを用いた。このPETフィルム上に、接着剤(20a)をコートし、その上に透明ガスバリアフィルム(30a)を積層し、さらに接着剤(20b)をコートし、その上に50μm厚のPETフィルムからなる透明樹脂フィルム(10b)を積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、電子ビーム蒸着法によりAl材料を蒸発させ、厚み20nmのAlOx膜(32a)を100μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させた。
図2に示すような太陽電池バックシートを作製した。透明樹脂フィルム(10a)として50μm厚のPETフィルムを用いた。このPETフィルム上に、接着剤(20a)をコートし、その上に透明ガスバリアフィルム(30a)を積層し、さらに接着剤(20b)をコートし、その上に50μm厚のPETフィルムからなる透明樹脂フィルム(10b)を積層した。透明ガスバリアフィルム(30a)は、スパッタリング法によりAl材料をスパッタリングし、厚み20nmのAlOx膜(32a)を100μm厚のPETフィルム(31a)上に成膜させた。
水蒸気透過度をMOCON法により測定した。用いた測定器はMOCON AQUATRAN model1により、40℃、90%Rhにて測定した。
10a、10b・・・PETフィルム
20、20a、20b・・・接着剤
30、30a・・・透明ガスバリアフィルム
31a・・・PETフィルム
32a・・・AlOx蒸着膜
Claims (5)
- 透明樹脂フィルム、接着剤、透明ガスバリアフィルム、接着剤、透明樹脂フィルムをこの順で積層した太陽電池バックシートであって、
前記透明ガスバリアフィルムが、原子層堆積法(ALD法)を用いて形成されたバリア層を有してなることを特徴とする太陽電池バックシート。 - 該ALD法が、プラズマを用いたプラズマALD法であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池バックシート。
- 該透明ガスバリアフィルムのバリア層が、AlnOx、AlOx、SiOx、SinNx、SiNx、TiOx、NbnOx、NbOx、TanOx、TaOx、ZrOx、MgOxおよびZnOx(式中、n、xは任意の実数を表す)から選択された少なくとも一種からなることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池バックシート。
- 該透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度が1g/m2/day以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の太陽電池バックシート。
- 該透明樹脂フィルムの一方、又は両方が、紫外線カット機能を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の太陽電池バックシート。
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