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JP2012149914A - Apparatus and method for inspecting degradation of printed wiring board - Google Patents

Apparatus and method for inspecting degradation of printed wiring board Download PDF

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JP2012149914A
JP2012149914A JP2011006994A JP2011006994A JP2012149914A JP 2012149914 A JP2012149914 A JP 2012149914A JP 2011006994 A JP2011006994 A JP 2011006994A JP 2011006994 A JP2011006994 A JP 2011006994A JP 2012149914 A JP2012149914 A JP 2012149914A
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printed circuit
circuit board
deterioration
inspection
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Application number
JP2011006994A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuki Nakano
一機 中野
Masao Kanetani
雅夫 金谷
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a degradation inspection apparatus capable of repairing or exchanging a printed wiring board or a circuit (inspection portion) disposed on a printed wiring board prior to the occurrence of a failure without damaging the printed wiring board.SOLUTION: An apparatus for inspecting degradation of a printed wiring board comprises a pulse generator 51 for outputting a pulse wave, a probe 32, an oscilloscope 53 and a computer 60. The probe 32 is used for applying the pulse wave to a wiring pattern formed on a printed wiring board to be connected to an inspection portion. The oscilloscope 53 measures, through the probe 32, a reflection wave obtained by the pulse wave reflected by the printed wiring board. The computer 60 determines the degradation of the printed wiring board or the inspection portion on the basis of the reflection wave measured with respect to the printed wiring board or the inspection portion and a reference wave for comparison.

Description

この発明に関し、特に、プリント基板および電子部品の検査部位の使用または経年変化による劣化を電気的に検査する劣化検査装置および劣化検査方法に関する。   More particularly, the present invention relates to a deterioration inspection apparatus and a deterioration inspection method for electrically inspecting deterioration due to use or aging of printed circuit boards and electronic parts.

電子機器に搭載される基板の長期信頼性への要求が高まると同時に、基板の低コスト化、部品の小型化・複雑化、高密度実装化に伴って、耐用年数に対する寿命までの実効値(期間)が低下している。   At the same time as the demand for long-term reliability of boards mounted on electronic devices is increasing, the effective value for the service life for the service life is reduced as the cost of the board is reduced, the parts are reduced in size and complexity, and the density is increased. Period) is decreasing.

たとえば、工場等の大規模システムおよび社会インフラ系に用いられる基板は、長期運用により寿命が尽きて故障した場合にシステムの停止に伴う損害は大きくなるので、故障前に定期的に交換が行われている。必要以上の定期交換は、基板代およびシステムの計画停止に伴う費用が大きくかかるので、非破壊で各部品および基板の寿命を測定することで余寿命を評価することが求められている。   For example, boards used in large-scale systems such as factories and social infrastructure systems are damaged regularly due to long-term operation and will be damaged when the system is shut down. ing. Periodic replacement more than necessary is costly due to the cost of the board and the planned outage of the system. Therefore, it is required to evaluate the remaining life by measuring the life of each component and board in a non-destructive manner.

非破壊の基板の劣化検査手法としては、画像による比較検査、ファンクションテストやインサーキットテスト(ICT)等がある。画像による比較検査では使用に伴い汚れた基板の検査は難しく、また外観から部品の劣化を見分けることは難しい。   Nondestructive substrate deterioration inspection methods include comparative inspection using images, function test, in-circuit test (ICT), and the like. In comparison inspection by image, it is difficult to inspect a board that has become dirty with use, and it is difficult to distinguish the deterioration of components from the appearance.

また、ファンクションテストでは、動作不良を引き起こす故障発生前に、故障の原因となる基板または基板上の電子部品の動作の異常を検出することは難しい。さらに、ICTでは、基板実装状態においては各部品は他の部品の影響を受けるために劣化の検出および劣化部の特定が困難である。   In the function test, it is difficult to detect an abnormality in the operation of the board or the electronic component on the board that causes the failure before the occurrence of the failure that causes the malfunction. Furthermore, in ICT, since each component is influenced by other components in the board mounted state, it is difficult to detect deterioration and specify a deteriorated portion.

基板の劣化を評価するために、たとえば、特開2003−232836号公報(特許文献1)に開示された基板および基板の検査方法が考案されている。   In order to evaluate the deterioration of the substrate, for example, a substrate and a substrate inspection method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-232728 (Patent Document 1) have been devised.

特開2003−232836号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-232728

しかし、特開2003−232836号公報に開示された技術では、実際には各部品によって温度や湿度や電流量の大小による劣化量の加速係数が異なる上に、各部品自体が寿命にばらつきを持つために正確な寿命評価はできない。   However, in the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-232728, the acceleration factor of the deterioration amount due to the magnitude of temperature, humidity, and current amount differs depending on each component, and each component itself varies in life. Therefore, accurate life evaluation cannot be performed.

さらに、検査用の代表部品を用いて評価する手法でも、部品ごとに環境変数が劣化に及ぼす影響量の加速係数が異なり、また部品自体がばらつくために正確な評価はできない。   Furthermore, even with the method of evaluating using representative parts for inspection, the acceleration coefficient of the influence amount of environmental variables on deterioration differs for each part, and the part itself varies, so that accurate evaluation cannot be performed.

本発明の目的は、プリント基板を破壊することなく、故障発生前にプリント基板またはプリント基板上の回路の修理もしくは交換を容易にできる劣化検査装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a deterioration inspection apparatus that can easily repair or replace a printed circuit board or a circuit on the printed circuit board before failure occurs without destroying the printed circuit board.

この発明に係るプリント基板の劣化検査装置は、検査波形発生部と、この検査波形発生部からの出力波形を検査部位まで伝送させるための波形伝送部と、この検査波形発生部からの波形が検査部位から反射された反射波形を検出する反射波形検出部と、この反射波形検出部が検出した反射波形および比較のための参照用波形に基づいて、検査部位の劣化状態を判断する演算処理部を備えている。   The deterioration inspection apparatus for a printed circuit board according to the present invention includes an inspection waveform generation unit, a waveform transmission unit for transmitting an output waveform from the inspection waveform generation unit to an inspection site, and a waveform from the inspection waveform generation unit. A reflection waveform detection unit that detects a reflection waveform reflected from the part, and an arithmetic processing unit that determines a deterioration state of the examination part based on the reflection waveform detected by the reflection waveform detection part and a reference waveform for comparison. I have.

この発明によれば、プリント基板またはプリント基板上の回路(以下、検査部位とも称する。)を破壊することなく、プリント基板またはプリント基板上の回路の劣化の状態が故障発生前にわかる。その結果、劣化しているプリント基板またはプリント基板上の部品の修理もしくは交換を容易にできる。   According to the present invention, the state of deterioration of the printed circuit board or the circuit on the printed circuit board can be known before the failure occurs without destroying the printed circuit board or the circuit on the printed circuit board (hereinafter also referred to as an inspection site). As a result, it is possible to easily repair or replace a deteriorated printed circuit board or a component on the printed circuit board.

実施の形態1に従うプリント基板劣化検査装置1の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the printed circuit board deterioration test | inspection apparatus 1 according to Embodiment 1. FIG. 図1のプリント基板劣化検査装置1のインターフェース部30の概略的な構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the interface part 30 of the printed circuit board degradation inspection apparatus 1 of FIG. 実際にプリント基板20とプリント基板劣化検査装置1とを接続した図である。It is the figure which connected the printed circuit board 20 and the printed circuit board degradation inspection apparatus 1 actually. 図2のインターフェース部30の一部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a part of an interface unit 30 in FIG. 2. 参照電圧波形70および参照電圧波形70に、複数の判定閾値を段階的に加減した波形71〜76である。The reference voltage waveform 70 and the reference voltage waveform 70 are waveforms 71 to 76 obtained by gradually adding or subtracting a plurality of determination thresholds. 実施の形態2に従うプリント基板劣化検査装置2の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the printed circuit board deterioration test | inspection apparatus 2 according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態2を用いて別のプリント基板220を検査する場合の接続関係の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a connection relationship when another printed circuit board 220 is inspected using the second embodiment.

以下、この発明の各実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、同一または相当する部分には同一の参照符号を付して、その説明を繰り返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

[実施の形態1]
図1は、実施の形態1に従うプリント基板劣化検査装置1の構成を示すブロック図である。図1を参照して、プリント基板劣化検査装置1は、時間領域反射率計(TDR)50と、高周波伝送部40とインターフェース部30と、コンピュータ60とを含む。
[Embodiment 1]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 according to the first embodiment. Referring to FIG. 1, printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 includes a time domain reflectometer (TDR) 50, a high-frequency transmission unit 40, an interface unit 30, and a computer 60.

TDR50は、急峻な立ち上がりのパルス波を出力するパルス発生器51と、パルス発生器51の出力ノード52における電圧波形を測定する測定機としてのオシロスコープ53とを含む。パルス発生器51およびオシロスコープ53は、高周波伝送部40によってインターフェース部30の同軸コネクタ35と接続される。   The TDR 50 includes a pulse generator 51 that outputs a steep rising pulse wave, and an oscilloscope 53 as a measuring instrument that measures a voltage waveform at an output node 52 of the pulse generator 51. The pulse generator 51 and the oscilloscope 53 are connected to the coaxial connector 35 of the interface unit 30 by the high frequency transmission unit 40.

パルス発生器51から出力されたパルス波は、インターフェース部30を介してプリント基板20に印加される。   The pulse wave output from the pulse generator 51 is applied to the printed circuit board 20 via the interface unit 30.

オシロスコープ53は、パルス発生器51の出力ノード52の電圧波形を測定する。パルス発生器51から出力されたパルス波は、プリント基板20上のコンデンサ、抵抗、IC素子の回路が設置されている基板上の各場所から反射される。オシロスコープ53は、これによって生じた反射波(以下、測定電圧波形とも称する。)を検出する。   The oscilloscope 53 measures the voltage waveform at the output node 52 of the pulse generator 51. The pulse wave output from the pulse generator 51 is reflected from each place on the printed circuit board 20 where the capacitors, resistors, and IC element circuits are installed. The oscilloscope 53 detects a reflected wave (hereinafter also referred to as a measurement voltage waveform) generated thereby.

オシロスコープ53によって測定電圧波形は、デジタル変換されてコンピュータ60に出力される。   The measurement voltage waveform is digitally converted by the oscilloscope 53 and output to the computer 60.

高周波伝送部40は、TDR50と接続される同軸コネクタ44と、端子43Aにおいて、同軸コネクタ44に接続される同軸リレー43と、端子43Bと接地電位との間に接続されている抵抗45と、端子43Cにおいて、同軸リレー43と接続される同軸ケーブル41Aと、同軸ケーブル41Aと接続される同軸リレー42Aと、同軸リレー42Aのリレー端子の一端で接続される同軸ケーブル41Bと、同軸ケーブル41Bと接続される次段の同軸リレー42Bと、次段の同軸リレー端子42Bと接続される接続用同軸ケーブル46とを含む。   The high-frequency transmission unit 40 includes a coaxial connector 44 connected to the TDR 50, a terminal 43A, a coaxial relay 43 connected to the coaxial connector 44, a resistor 45 connected between the terminal 43B and the ground potential, and a terminal 43C, the coaxial cable 41A connected to the coaxial relay 43, the coaxial relay 42A connected to the coaxial cable 41A, the coaxial cable 41B connected at one end of the relay terminal of the coaxial relay 42A, and the coaxial cable 41B. A next stage coaxial relay 42B and a connection coaxial cable 46 connected to the next stage coaxial relay terminal 42B.

なお、以降の説明において、同軸ケーブル41A、41Bおよび同軸リレー42A、42Bをそれぞれ同軸ケーブル41、同軸リレー42とも称する。   In the following description, the coaxial cables 41A and 41B and the coaxial relays 42A and 42B are also referred to as a coaxial cable 41 and a coaxial relay 42, respectively.

また、高周波伝送部40は、同軸ケーブル41および同軸リレー42のように複数段設置することができ、それにより、所望の検査部位にパルス波を伝送させる。   Moreover, the high frequency transmission part 40 can be installed in multiple stages like the coaxial cable 41 and the coaxial relay 42, and, thereby, transmits a pulse wave to a desired test | inspection site | part.

コンピュータ60は、同軸リレー42A、42Bを制御する。これにより、同軸リレー42は、所望の検査部位へパルス波を伝送させる。また、複数の接続用同軸ケーブル46のいずれかによって、パルス発生器51から出力されたパルス波がインターフェース部30に伝送される。   The computer 60 controls the coaxial relays 42A and 42B. Thereby, the coaxial relay 42 transmits a pulse wave to a desired inspection site. In addition, the pulse wave output from the pulse generator 51 is transmitted to the interface unit 30 by any of the plurality of connection coaxial cables 46.

次に、インターフェース部30は、高周波伝送部40に含まれる接続用同軸ケーブル46と接続される同軸コネクタ35と、同軸コネクタ35に接続されるセミリジッド同軸ケーブル36と、セミリジッド同軸ケーブル36に接続される基板実装型高周波リレー37とを含む。   Next, the interface unit 30 is connected to the coaxial connector 35 connected to the connection coaxial cable 46 included in the high-frequency transmission unit 40, the semi-rigid coaxial cable 36 connected to the coaxial connector 35, and the semi-rigid coaxial cable 36. Board-mounted high-frequency relay 37.

なお、インターフェース部30は、セミリジッド同軸ケーブル36と基板実装型高周波リレー37とを複数段配置することができ、それにより、所望の検査部位にパルス波を伝送させる。   Note that the interface unit 30 can have a plurality of stages of semi-rigid coaxial cables 36 and board-mounted high-frequency relays 37, thereby transmitting a pulse wave to a desired inspection site.

さらに、インターフェース部30は、最終段の基板実装型高周波リレー37の各リレー端子と接続されるための複数のマイクロストリップライン34と、マイクロストリップライン34に接続されるプローブ32を含む。   Further, the interface unit 30 includes a plurality of microstrip lines 34 to be connected to each relay terminal of the final stage board-mounted high frequency relay 37, and a probe 32 connected to the microstrip line 34.

複数の同軸コネクタ35によって高周波伝送部40と接続される。コンピュータ60が基板実装型高周波リレー37を制御し、パルス波伝送経路を切り替える。伝送経路の切り替えにより、パルス発生器51から出力されたパルス波は複数のプローブ32のいずれかに伝送される。   A plurality of coaxial connectors 35 are connected to the high-frequency transmission unit 40. The computer 60 controls the board mounted high frequency relay 37 to switch the pulse wave transmission path. By switching the transmission path, the pulse wave output from the pulse generator 51 is transmitted to one of the plurality of probes 32.

また、実際に劣化検査する際に、高周波伝送部40の同軸リレー43の接続を端子43Aから端子43Bに切り替えて、その後、プリント基板とインターフェース部30とを接続すると、同軸リレー43の端子43Bに接続されている抵抗45を介して、プリント基板等に蓄積されている残留電荷を除去することができる。   When actually inspecting deterioration, the connection of the coaxial relay 43 of the high-frequency transmission unit 40 is switched from the terminal 43A to the terminal 43B, and then the printed circuit board and the interface unit 30 are connected to the terminal 43B of the coaxial relay 43. Residual charges accumulated on a printed circuit board or the like can be removed through the connected resistor 45.

すべての伝送経路を一通り抵抗45に接続して残留電荷を除去後、同軸リレー端子43Bを43Aに切り替えて、TDR50をプリント基板20に接続すれば、耐電圧が低いTDR50は保護され、また、過剰な電流が流れることによるプリント基板20に実装された部品の破壊を防ぐことができる。   After all the transmission paths are connected to the resistor 45 to remove the residual charge, the coaxial relay terminal 43B is switched to 43A and the TDR 50 is connected to the printed circuit board 20, so that the TDR 50 having a low withstand voltage is protected. It is possible to prevent the components mounted on the printed circuit board 20 from being destroyed due to excessive current flowing.

図2は、図1のプリント基板劣化検査装置1のインターフェース部30の概略的な構成を示す図である。図2では、さらに、検査部位であるプリント基板20の概略的な構成も併せて示す。   FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of the interface unit 30 of the printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 of FIG. FIG. 2 also shows a schematic configuration of the printed circuit board 20 that is an inspection site.

図4は、図2のインターフェース部30の一部の拡大図である。図2、図4では、断面部分にハッチングを付している。   FIG. 4 is an enlarged view of a part of the interface unit 30 of FIG. 2 and 4, the cross-sectional portion is hatched.

図2、図4を参照して、プリント基板20は、絶縁性基板21に配線パターンが形成されたプリント配線板20Aに、多数の電子部品が実装されたものである。配線パターンは、スルーホール22の導電層や、この導電層に接続されたランド23、24などを含む。   2 and 4, a printed circuit board 20 is obtained by mounting a large number of electronic components on a printed wiring board 20A in which a wiring pattern is formed on an insulating substrate 21. The wiring pattern includes a conductive layer of the through hole 22 and lands 23 and 24 connected to the conductive layer.

プリント基板劣化検査装置1は、プリント基板20に実装された電子部品の劣化状態を検査する。図2には、検査部位の1つとして、アルミ電解コンデンサ26が示されている。アルミ電解コンデンサ26は、プリント基板に実装される様々な部品の中で最も寿命が問題となる部品である。すなわち、アルミ電解コンデンサ26は、劣化状態を検査する必要がある部品である。   The printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 inspects the deterioration state of the electronic component mounted on the printed circuit board 20. FIG. 2 shows an aluminum electrolytic capacitor 26 as one of the inspection parts. The aluminum electrolytic capacitor 26 is a component that has the longest lifetime among various components mounted on a printed circuit board. That is, the aluminum electrolytic capacitor 26 is a component that needs to be inspected for deterioration.

通常、アルミ電解コンデンサ26が用いられている回路では、アルミ電解コンデンサ26の電極間に電圧をかけるとアルミ電解コンデンサ26とは別のルートを通って電流が流れてくる。さらに、特性改善のためにアルミ電解コンデンサ26は複数個並列で使用されることが多い。このため、プリント基板実装状態にあるアルミ電解コンデンサ26の特性を測定することは難しい。   Normally, in a circuit in which the aluminum electrolytic capacitor 26 is used, when a voltage is applied between the electrodes of the aluminum electrolytic capacitor 26, a current flows through a route different from that of the aluminum electrolytic capacitor 26. Further, in order to improve the characteristics, a plurality of aluminum electrolytic capacitors 26 are often used in parallel. For this reason, it is difficult to measure the characteristics of the aluminum electrolytic capacitor 26 mounted on the printed circuit board.

そこで、プリント基板劣化検査装置1は、検査部位であるアルミ電解コンデンサの劣化状態を時間領域反射率測定(TDR法)によって検査する。   Therefore, the printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 inspects the deterioration state of the aluminum electrolytic capacitor, which is the inspection portion, by time domain reflectance measurement (TDR method).

図2を参照して、インターフェース部30は、絶縁性基板33と、絶縁性基板33上に形成されたマイクロストリップライン34と、複数のプローブ32と、複数のプローブ32が埋め込まれた絶縁性のブロック31と、セミリジッド同軸ケーブル36と、基板実装型高周波リレー37と、位置決めピン38と、プッシュピン39とを含む。   Referring to FIG. 2, the interface unit 30 includes an insulating substrate 33, a microstrip line 34 formed on the insulating substrate 33, a plurality of probes 32, and an insulating material in which the plurality of probes 32 are embedded. A block 31, a semi-rigid coaxial cable 36, a board-mounted high-frequency relay 37, a positioning pin 38, and a push pin 39 are included.

プローブ32は、プリント基板20の複数の検査部位を一度に検査するために複数個設けられている。プローブ32は、劣化状態を検査する部品に配線距離が最も近く、かつ検査される部品の隣接する部品から配線距離が遠い位置にあるランド24もしくはスルーホール22の導電層にプロービングでき、かつ、検査部位の極性を考慮して配置する。   A plurality of probes 32 are provided to inspect a plurality of inspection parts of the printed circuit board 20 at a time. The probe 32 can be probed to the conductive layer of the land 24 or the through hole 22 that has the wiring distance closest to the component to be inspected for deterioration and the distance from the adjacent component to be inspected. Arrange it in consideration of the polarity of the part.

また、TDR測定では高周波のパルス波を伝達するためにグランド線が重要であるため、プローブ32は、プリント基板劣化検査装置1のグランドとプリント基板20のグランドとを接続するために、さらに複数個設けられている。   Further, since ground lines are important for transmitting high-frequency pulse waves in TDR measurement, a plurality of probes 32 are connected to connect the ground of the printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 and the ground of the printed circuit board 20. Is provided.

また、プローブ32は、プリント基板20の電源ラインおよびグランド線のランド24もしくはスルーホール22の導電層に多数の点でプロービングできるように配置されている。   The probe 32 is arranged on the power supply line of the printed circuit board 20 and the land 24 of the ground line or the conductive layer of the through hole 22 so that it can be probed at a number of points.

この配置により、プリント基板20の電源ラインおよびグランド線は、TDR50の測定時のグランド線としても利用することができる。   With this arrangement, the power line and the ground line of the printed circuit board 20 can also be used as a ground line when measuring the TDR 50.

図3は、実際にプリント基板20とプリント基板劣化検査装置1とを接続した図である。図3を参照して、インターフェース部30の位置決めピン38が、プリント基板20の基準穴25を貫通する。これにより、プリント基板20とインターフェース部30との位置あわせがされる。また、プッシュピン39よる外力で、プリント基板20は、インターフェース部30に押し当てられる。具体的には、プリント基板20上のランド24とプローブ32とが、接触不良なく接続される。   FIG. 3 is a diagram in which the printed circuit board 20 and the printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 are actually connected. Referring to FIG. 3, the positioning pin 38 of the interface unit 30 passes through the reference hole 25 of the printed circuit board 20. As a result, the printed circuit board 20 and the interface unit 30 are aligned. Further, the printed circuit board 20 is pressed against the interface unit 30 by an external force from the push pin 39. Specifically, the land 24 on the printed circuit board 20 and the probe 32 are connected without contact failure.

この際、プリント基板20をたわませるとプリント基板20に損傷を与えたり、また、プリント基板20とインターフェース部30に接触不良が生じたりするため、プッシュピン39は適切に分散配置されている。   At this time, if the printed circuit board 20 is bent, the printed circuit board 20 may be damaged, or a contact failure may occur between the printed circuit board 20 and the interface unit 30. Therefore, the push pins 39 are appropriately distributed.

図4を参照して、プローブ32は、円筒部32Aと、円筒部32Aの両端にそれぞれ挿入された第1、第2の接触子32B、32Cと、接触子32B、32Cの間に設けられたバネ部材32Dとを含む。第1の接触子32Bは、検査部位のプリント基板20のランド24と電気的に接触する。良好な電気的接触を得るために、接触子32Bの端部は王冠状に突出した形状を有する。第2の接触子32Cは、絶縁性基板33に形成されたマイクロストリップライン34と電気的に接触する。接触子32Cは、マイクロストリップライン34を介して同軸コネクタ35に接続される。   Referring to FIG. 4, the probe 32 is provided between the cylindrical portion 32A, the first and second contacts 32B and 32C inserted at both ends of the cylindrical portion 32A, and the contacts 32B and 32C. Spring member 32D. The first contact 32B is in electrical contact with the land 24 of the printed circuit board 20 at the inspection site. In order to obtain a good electrical contact, the end of the contact 32B has a shape protruding in a crown shape. The second contact 32 </ b> C is in electrical contact with the microstrip line 34 formed on the insulating substrate 33. The contact 32 </ b> C is connected to the coaxial connector 35 via the microstrip line 34.

バネ部材32Dは、接触子32B、32Cを円筒部32Aの両端から突出するように付勢する。これによって、プローブ32とプリント基板20のランド24との間、およびプローブ32とマイクロストリップライン34との間の電気的接触を確実にする。   The spring member 32D biases the contacts 32B and 32C so as to protrude from both ends of the cylindrical portion 32A. This ensures electrical contact between the probe 32 and the land 24 of the printed circuit board 20 and between the probe 32 and the microstrip line 34.

さらにプローブ32とマイクロストリップライン34との間の電気的接触が確実に取れるように、マイクロストリップライン34の表面は金メッキされていることが好ましい。   Furthermore, the surface of the microstrip line 34 is preferably gold-plated so as to ensure electrical contact between the probe 32 and the microstrip line 34.

なお、マイクロストリップライン34が形成された絶縁性基板33は、検査部位のプリント基板20に応じて交換可能な構成となっている。   The insulating substrate 33 on which the microstrip line 34 is formed is configured to be replaceable according to the printed circuit board 20 at the inspection site.

再び図1を参照して、インターフェース部30の各基板実装型高周波リレー37は、各プローブ32と個別に対応し、各プローブ32と同軸コネクタ35とを接続するマイクロストリップライン34に設けられる。コンピュータ60は、同軸リレー42および基板実装型高周波リレー37のリレー端子を切り替えることによって、TDR50に接続されるプローブ32を順次切り替える。こうして、プリント基板劣化検査装置1は、各プローブ32に接続された図2のプリント基板に実装された複数の部品(コンデンサ、抵抗、IC素子)および基板の劣化の状態を順々に検査する。   Referring again to FIG. 1, each board-mounted high-frequency relay 37 of the interface unit 30 corresponds to each probe 32 individually, and is provided on a microstrip line 34 that connects each probe 32 and the coaxial connector 35. The computer 60 sequentially switches the probes 32 connected to the TDR 50 by switching the relay terminals of the coaxial relay 42 and the board-mounted high-frequency relay 37. In this way, the printed circuit board deterioration inspection apparatus 1 sequentially inspects a plurality of components (capacitors, resistors, IC elements) mounted on the printed circuit board of FIG.

すなわち、多数の測定点を順々に測定することにより、何百点もの部品を短時間で測定することができる。特に、短時間で劣化検査を行なう必要がある場合(定期メンテナンスなど)でも、実施の形態1により、プリント基板上に実装された部品の劣化の状態を短時間で検査できる。   That is, hundreds of parts can be measured in a short time by measuring a large number of measurement points in order. In particular, even when it is necessary to perform a deterioration inspection in a short time (periodic maintenance or the like), the first embodiment can check the deterioration state of components mounted on the printed circuit board in a short time.

次に、コンピュータ60の構成について説明する。コンピュータ60は、中央処理装置、メモリ回路、および信号の入出力のためのインターフェース回路などを含む。機能的に見ると、コンピュータ60は、測定制御部64と、波形演算部61と、記憶部62と、判定部63とを含む。   Next, the configuration of the computer 60 will be described. The computer 60 includes a central processing unit, a memory circuit, an interface circuit for inputting and outputting signals, and the like. Viewed functionally, the computer 60 includes a measurement control unit 64, a waveform calculation unit 61, a storage unit 62, and a determination unit 63.

測定制御部64は、パルス発生器51がパルス波を出力するタイミング、およびオシロスコープが電圧を測定するタイミングを制御する。さらに、測定制御部64は、高周波伝送部40の同軸リレー42とインターフェース部30の基板実装型高周波リレー37を切り替えることによって、たとえば、検査部位のアルミ電解コンデンサ26が接続されている回路とTDR50とを選択的に接続する。こうして、パルス発生器51から出力されたパルス波は、インターフェース部30のマイクロストリップライン34、プローブ32、図2のプリント基板20の配線パターンを介して、検査部位であるアルミ電解コンデンサ26に到達する。アルミ電解コンデンサ26の劣化の状態に応じて生じた反射波は逆の経路をたどってパルス発生器51に戻り、オシロスコープ53によって検出される。   The measurement control unit 64 controls the timing at which the pulse generator 51 outputs a pulse wave and the timing at which the oscilloscope measures the voltage. Further, the measurement control unit 64 switches between the coaxial relay 42 of the high-frequency transmission unit 40 and the board-mounted high-frequency relay 37 of the interface unit 30, for example, a circuit to which the aluminum electrolytic capacitor 26 at the test site is connected, the TDR 50, and the like. Selectively connect. In this way, the pulse wave output from the pulse generator 51 reaches the aluminum electrolytic capacitor 26 as the inspection site via the microstrip line 34 of the interface unit 30, the probe 32, and the wiring pattern of the printed board 20 of FIG. . The reflected wave generated according to the deterioration state of the aluminum electrolytic capacitor 26 returns to the pulse generator 51 along the reverse path and is detected by the oscilloscope 53.

波形演算部61は、オシロスコープ53によって測定電圧波形のデータに基づいた種々の波形を生成する。波形演算部61は、微分演算部65と、特徴量抽出部66とを含む。   The waveform calculator 61 generates various waveforms based on the measured voltage waveform data using the oscilloscope 53. The waveform calculation unit 61 includes a differential calculation unit 65 and a feature amount extraction unit 66.

波形演算部61により、測定電圧波形から直接特徴量を抽出することができる。また、加えて、測定電圧波形を微分演算部65において微分した後に特徴量抽出部66で特徴量を抽出することもできる。微分演算部65において微分することで、測定電圧波形からプローブ32の接触抵抗成分を取り除いたり、時間変化に注目した特徴量を抽出したりすることが可能となる。たとえば、波形演算部61は測定電圧波形のデータを時間微分し、特定の時間内の微分値の最大値を抽出することができる。   The feature amount can be directly extracted from the measured voltage waveform by the waveform calculation unit 61. In addition, after the measured voltage waveform is differentiated by the differentiation calculation unit 65, the feature amount extraction unit 66 can extract the feature amount. By differentiating in the differential calculation unit 65, it is possible to remove the contact resistance component of the probe 32 from the measured voltage waveform, or to extract a feature amount focused on time change. For example, the waveform calculation unit 61 can time-differentiate the data of the measured voltage waveform and extract the maximum value of the differential value within a specific time.

記憶部62は、良好な参照用のプリント基板に対してTDR50によって測定電圧波形を参照用の電圧波形(以下、参照電圧波形とも称する。)およびその電圧波形を微分した微分波形(以下、参照微分波形とも称する。)を参照用の波形データとして記憶する。さらに記憶部62は、各測定点の各時間における複数の判定閾値および波形演算部61が生成する各特徴量(以下、参照特徴量とも称する。)に対する閾値を記憶する。   The storage unit 62 uses a TDR 50 to measure a reference voltage waveform (hereinafter also referred to as a reference voltage waveform) and a differential waveform obtained by differentiating the voltage waveform (hereinafter referred to as a reference differential) with respect to a good reference printed circuit board. (Also referred to as a waveform) is stored as reference waveform data. Furthermore, the storage unit 62 stores a plurality of determination threshold values at each time at each measurement point and a threshold value for each feature amount (hereinafter also referred to as a reference feature amount) generated by the waveform calculation unit 61.

判定部63には、測定電圧波形と、測定電圧波形を微分演算部65において微分された微分波形と、特徴量抽出部66から抽出された特徴量とが入力される。   The determination unit 63 receives the measurement voltage waveform, the differential waveform obtained by differentiating the measurement voltage waveform by the differentiation calculation unit 65, and the feature amount extracted from the feature amount extraction unit 66.

判定部63は、検査部位に応じて、測定電圧波形、微分波形および特徴量を任意に選択し、記憶部62に記憶された対応する参照電圧波形、参照微分波形および参照特徴量とをそれぞれ比較する。   The determination unit 63 arbitrarily selects a measurement voltage waveform, a differential waveform, and a feature amount according to the examination site, and compares the corresponding reference voltage waveform, reference differential waveform, and reference feature amount stored in the storage unit 62, respectively. To do.

具体的には、判定部63は、記憶部62に記憶されている各時間における複数の判定閾値のどの間にあたるかにより劣化度を判断する。また、判定部63は、種々の特徴量が記憶部62に記憶されている複数の判定閾値のどの間にあたるかにより劣化度を判断する。
なお、TDR法による測定を行なっているため、時間的分解能に位置情報が含まれる。このため、プローブ点からの検査部位の位置と反射波の測定時間との間に関係に考慮して、判定閾値は、測定時間および検査部位の特性に対応して設けている。
Specifically, the determination unit 63 determines the degree of deterioration depending on which of a plurality of determination threshold values at each time is stored in the storage unit 62. Further, the determination unit 63 determines the degree of deterioration according to which of the plurality of determination threshold values stored in the storage unit 62 are various feature amounts.
Since measurement is performed by the TDR method, position information is included in the temporal resolution. For this reason, in consideration of the relationship between the position of the examination site from the probe point and the measurement time of the reflected wave, the determination threshold is provided corresponding to the measurement time and the characteristics of the examination site.

図5は、参照電圧波形70および参照電圧波形70に、複数の判定閾値を段階的に加減した波形71〜76である。また、図5の縦軸を電圧とし、横軸を時間としている。   FIG. 5 shows waveforms 71 to 76 obtained by gradually adding or subtracting a plurality of determination thresholds to the reference voltage waveform 70 and the reference voltage waveform 70. Also, the vertical axis in FIG. 5 is voltage, and the horizontal axis is time.

上述したように、TDR法による測定では、その測定時間の長さにより、プローブ点から検査部位の位置がわかる。早い時間に現れる波形ほどプローブ点に近い部品からの反射波になるために、部品ごとに判定区間を定めることができる。   As described above, in the measurement by the TDR method, the position of the examination site can be known from the probe point by the length of the measurement time. Since a waveform appearing earlier is a reflected wave from a component closer to the probe point, a determination section can be defined for each component.

たとえば、プリント基板上に部品A、部品B、部品Cがプローブ点からの近い順に部品A、B、Cが配置されているとき、以下の時間帯の測定電圧波形を確認することで部品A、B、Cの劣化の状態を判断できる。   For example, when the components A, B, and C are arranged on the printed circuit board in the order from the probe point, the components A, B, and C are checked by checking the measurement voltage waveforms in the following time zones. The state of deterioration of B and C can be determined.

まず、部品Aについては、図5の最初の時間帯(t1〜t2)の測定電圧波形を確認し、部品Bについては、次の時間帯(t2〜t3)の測定電圧波形を確認し、部品Cでは、最後の時間帯(t3〜t4)の測定電圧波形を確認することで、劣化の状態が確認できる。   First, for the component A, the measurement voltage waveform in the first time zone (t1 to t2) in FIG. 5 is confirmed, and for the component B, the measurement voltage waveform in the next time zone (t2 to t3) is confirmed. In C, the state of deterioration can be confirmed by confirming the measurement voltage waveform in the last time zone (t3 to t4).

参照電圧波形70は、良好な参照用のプリント基板に対してTDR50によって測定電圧波形であり、劣化の状態を判定するための波形である。   The reference voltage waveform 70 is a voltage waveform measured by the TDR 50 for a good printed circuit board for reference, and is a waveform for determining the state of deterioration.

波形71は、参照電圧波形70に、各時間帯に応じた第1の閾値を加えた波形である。波形72は、各時間帯に応じた参照電圧波形70に第1の閾値を減じた波形である。   A waveform 71 is a waveform obtained by adding a first threshold value corresponding to each time zone to the reference voltage waveform 70. The waveform 72 is a waveform obtained by subtracting the first threshold value from the reference voltage waveform 70 corresponding to each time zone.

また、波形73は、参照電圧波形70に、各時間帯に応じた第2の閾値を加えた波形である。波形74は、各時間帯に応じた参照電圧波形70に第2の閾値を減じた波形である。   A waveform 73 is a waveform obtained by adding a second threshold corresponding to each time zone to the reference voltage waveform 70. A waveform 74 is a waveform obtained by subtracting the second threshold value from the reference voltage waveform 70 corresponding to each time zone.

さらに、波形75は、参照電圧波形70に、各時間帯に応じた第3の閾値を加えた波形である。波形76は、各時間帯に応じた参照電圧波形70に第3の閾値を減じた波形である。   Further, the waveform 75 is a waveform obtained by adding a third threshold value corresponding to each time zone to the reference voltage waveform 70. A waveform 76 is a waveform obtained by subtracting the third threshold value from the reference voltage waveform 70 corresponding to each time zone.

ここで、測定電圧波形を用いて、検査部位の劣化の状態の判定をする場合を説明する。
図示していない測定電圧波形と参照電圧波形70に第1から第3の閾値を加減した波形71〜波形76を直接比較して、検査部位の劣化の状態を判定する。
Here, a case will be described in which the state of deterioration of the examination site is determined using the measured voltage waveform.
The waveform 71 to the waveform 76 obtained by adding or subtracting the first to third thresholds to the measurement voltage waveform (not shown) and the reference voltage waveform 70 are directly compared to determine the state of deterioration of the examination site.

たとえば、図示していない測定電圧波形が、すべての時間帯において、波形71と波形72の間に納まっているときには、測定された検査部位の劣化状態が、第1状態にあると判定する。   For example, when a measurement voltage waveform (not shown) is included between the waveform 71 and the waveform 72 in all time zones, it is determined that the measured deterioration state of the examination site is in the first state.

また、測定電圧波形が、ある時間帯において、波形71および波形72の間に測定電圧波形が納まっていないが、波形73および波形74の間に納まっている場合、その時間帯に対応する検査部位の劣化状態が、第2状態にあると判定する。   Further, when the measurement voltage waveform does not fit between the waveform 71 and the waveform 72 in a certain time zone, but falls within the waveform 73 and the waveform 74, the examination site corresponding to the time zone It is determined that the deterioration state is in the second state.

そして、測定電圧波形が、ある時間帯において、波形73および波形74の間に測定電圧波形が納まっていないが、波形75および波形76の間に納まっている場合、その時間帯に対応する検査部位の劣化状態が、第3状態にあると判定する。   When the measurement voltage waveform does not fit between the waveform 73 and the waveform 74 in a certain time zone, but falls within the waveform 75 and the waveform 76, the examination site corresponding to that time zone It is determined that the deterioration state is in the third state.

さらに、測定電圧波形が、ある時間帯において、波形75および波形76の間にも測定電圧波形が納まっていない場合は、その時間帯に対応する検査部位の劣化状態が、第4状態にあると判断できる。   Furthermore, when the measurement voltage waveform does not fit between the waveform 75 and the waveform 76 in a certain time zone, the deterioration state of the examination site corresponding to that time zone is in the fourth state. I can judge.

また、別の例として、図示していない測定電圧波形と参照電圧波形70の差の絶対値が、すべての時間帯において、第1の閾値の範囲内に納まっているときには、測定された検査部位の劣化状態が、第1状態にあると判定する。   As another example, when the absolute value of the difference between the measurement voltage waveform (not shown) and the reference voltage waveform 70 is within the first threshold range in all time zones, the measured examination site is measured. It is determined that the deterioration state is in the first state.

また、測定電圧波形と参照電圧波形70の差の絶対値が、ある時間帯において、第1の閾値の範囲内に測定電圧波形が納まっていないが、第2の閾値の範囲内に納まっている場合、その時間帯に対応する検査部位の劣化状態が、第2状態にあると判定する。   In addition, the absolute value of the difference between the measured voltage waveform and the reference voltage waveform 70 is within the second threshold range, although the measured voltage waveform does not fall within the first threshold range within a certain time period. In this case, it is determined that the deterioration state of the examination site corresponding to the time zone is in the second state.

そして、測定電圧波形と参照電圧波形70の差の絶対値が、ある時間帯において、第2の閾値の範囲内に測定電圧波形が納まっていないが、第3の閾値の範囲内に納まっている場合、その時間帯に対応する検査部位の劣化状態が、第3状態にあると判定する。   Then, the absolute value of the difference between the measurement voltage waveform and the reference voltage waveform 70 is within the third threshold range, although the measurement voltage waveform does not fall within the second threshold range within a certain time period. In this case, it is determined that the degradation state of the examination site corresponding to the time zone is in the third state.

さらに、ある時間帯において、第3の閾値の範囲内にも測定電圧波形が納まっていない場合は、その時間帯に対応する検査部位の劣化状態が、第4状態にあると判断する。   Further, if the measured voltage waveform does not fall within the third threshold value within a certain time zone, it is determined that the degradation state of the examination site corresponding to that time zone is in the fourth state.

たとえば、判定された第1状態から第4状態に対して、第1状態は「正常使用範囲内」、第2状態は「次回メンテナンスの際、検査部位の再度確認必要」、第3状態は「検査部位に対応する部品を交換が必要」、第4状態は「プリント基板の稼動停止後、基板全体を交換が必要」など予め定義しておくとにより、プリント基板または検査部位に対する劣化の状態を簡易にユーザーが容易に判定することができる。   For example, with respect to the determined first to fourth states, the first state is “within normal use range”, the second state is “requires confirmation of the examination site at the next maintenance”, and the third state is “ If the parts corresponding to the inspection part need to be replaced ”and the fourth state is defined in advance such as“ the entire board needs to be replaced after the operation of the printed circuit board is stopped ”, the state of deterioration of the printed circuit board or the inspection part can be determined. The user can easily make a determination.

なお、第1〜3の閾値は、上記の例に限られない。すなわち、閾値は、任意に設定できる。また、微分波形、特徴量を用いて検査部位の劣化の状態を判定する場合も同じであるので、ここでは説明を繰り返さない。   The first to third threshold values are not limited to the above example. That is, the threshold value can be set arbitrarily. The same applies to the case where the deterioration state of the examination region is determined using the differential waveform and the feature amount, and therefore the description thereof will not be repeated here.

さらに、実施の形態1により、単純な2端子間の抵抗値だけではなく、様々な特性の変化量を検出し、劣化の状態を判断することが可能となる。   Further, according to the first embodiment, it is possible to detect not only a simple resistance value between two terminals but also a change amount of various characteristics to determine a deterioration state.

たとえば、各周波数に対するインピーダンスの変化をとらえることにより、基板の層間剥離、トランジスタの特性変化、ICの入力インピーダンスの変化、コンデンサの等価直列抵抗の変化等を検出することが可能となる。   For example, by detecting changes in impedance with respect to each frequency, it is possible to detect delamination of substrates, changes in transistor characteristics, changes in IC input impedance, changes in equivalent series resistance of capacitors, and the like.

測定電圧波形に対する特性の変化をとらえることにより、トランジスタの特性変化、ダイオードの特性変化等を検出することが可能となる。   By capturing changes in characteristics with respect to the measured voltage waveform, it is possible to detect transistor characteristic changes, diode characteristic changes, and the like.

また、時定数情報の変化をとらえることによりコンデンサの静電容量、コイルのインダクタンス変化等を検出することが可能となる。   Further, it is possible to detect a change in capacitance of the capacitor, a change in inductance of the coil, and the like by detecting changes in the time constant information.

さらに、時間的分解能により位置情報を含むため、劣化した部品の位置を特定することが可能となる。   Further, since the position information is included with the temporal resolution, the position of the deteriorated part can be specified.

以上により、この劣化検査装置を用いて、抵抗、静電容量等の値を絶対的に正確に求めることはできない。しかし、この劣化検査装置は、プリント基板または検査部位の劣化の状態について、相対的に様々な特性を一度に広範囲に簡便に検査できる。これにより、検査部位の劣化の状態を容易に判定することができる。   As described above, values such as resistance and capacitance cannot be obtained absolutely accurately using this deterioration inspection apparatus. However, this deterioration inspection apparatus can easily and relatively inspect a wide variety of characteristics at once with respect to the state of deterioration of the printed circuit board or the inspection site. Thereby, the state of degradation of the examination site can be easily determined.

さらに、プリント基板または検査部位が故障する前の変化を詳細に検出することが可能となる。これにより、プリント基板または検査部位が故障発生前に交換等を行い、突発的なシステム停止に基づく大規模な損失を防ぐことができる。   Furthermore, it becomes possible to detect in detail the change before the printed circuit board or the inspection site fails. As a result, the printed circuit board or the inspection site can be replaced before the failure occurs, and a large-scale loss due to a sudden system stop can be prevented.

次に、具体的に、プリント基板上にあるコンデンサ、抵抗、IC素子の劣化の状態の検査手順について、詳しく述べる。   Next, the inspection procedure for the state of deterioration of capacitors, resistors, and IC elements on the printed circuit board will be specifically described in detail.

まず、プリント基板上にあるコンデンサの劣化検査について説明する。コンデンサにはいくつかの種類が存在するが、電解系のコンデンサは基板に実装される部品の中でしばしば寿命が問題となる部品のうちのひとつである。   First, the deterioration inspection of the capacitor on the printed circuit board will be described. Although there are several types of capacitors, electrolytic capacitors are one of components that often have a problem with their lifetime among components mounted on a substrate.

基板上にあるコンデンサは、周囲に別のコンデンサが多数用いられることが多い。また、回路の別のルートを通って電流が流れてくるため、基板実装状態において、コンデンサの特性を測定することが難しい。   Many capacitors on the substrate are often used around them. In addition, since the current flows through another route of the circuit, it is difficult to measure the characteristics of the capacitor when mounted on the board.

コンデンサの劣化を正確に測定するために、検査部位のコンデンサの一端は正極に、他端は負極に接続され、この正極になるべく近い位置にある信号線と負極になるべく近く位置にあるグランド線とをプロービングすることが望ましい。   In order to accurately measure the deterioration of the capacitor, one end of the capacitor at the inspection site is connected to the positive electrode, the other end is connected to the negative electrode, a signal line as close as possible to the positive electrode and a ground line as close as possible to the negative electrode Probing is desirable.

なお、検査部位のコンデンサの近傍に別のコンデンサがある場合は、別のコンデンサから遠い位置にあって検査部位のコンデンサの端点と接続されている信号線またはグランド線をプロービングできれば好ましい。具体的には、検査部位のコンデンサの劣化の状態を測定するため、プロービング用の信号線およびグランド線の間に、抵抗、IC素子が挟まっているような場合でも検査することを可能になる。   In the case where there is another capacitor in the vicinity of the capacitor at the test site, it is preferable that the signal line or the ground line connected to the end point of the capacitor at the test site can be probed at a position far from the other capacitor. Specifically, since the state of deterioration of the capacitor at the inspection site is measured, it is possible to inspect even when a resistor or an IC element is sandwiched between the probing signal line and the ground line.

また、コンデンサの劣化が進行してくるとしてくると等価直列抵抗が増加し、容量が減少する。ただし、通常、高信頼性が要求される基板は、その基板上にあるコンデンサの多少の等価直列抵抗の変化および容量の変化に対してマージンをもつように設計されている。   In addition, when the deterioration of the capacitor progresses, the equivalent series resistance increases and the capacitance decreases. However, usually, a board that requires high reliability is designed to have a margin against a slight change in equivalent series resistance and a change in capacitance of a capacitor on the board.

しかし、その許容範囲内であっても、劣化している状態をそのままにしておくと、劣化がさらに進行し、故障に至る可能性がある。あるいは、他の部品に許容範囲を超えた電流等の負担がかかり、そのために他の部品が故障してしまう可能性もある。やはり、コンデンサの劣化をその特性変化の変化により容易に検出することが必要になる。   However, even if it is within the allowable range, if the deteriorated state is left as it is, the deterioration further proceeds and a failure may occur. Alternatively, a load such as an electric current exceeding an allowable range is applied to other components, which may cause other components to fail. After all, it is necessary to easily detect the deterioration of the capacitor by the change in its characteristic change.

具体的には、この等価直列抵抗が増加すると図示していない測定電圧波形は、図5の時刻t1から時刻t2の間にある波形のように初期時点での波形の傾きよりも小さくなる。   Specifically, when this equivalent series resistance increases, the measured voltage waveform (not shown) becomes smaller than the slope of the waveform at the initial time point, as in the waveform between time t1 and time t2 in FIG.

よって、このように、予め測定された特徴量を設定し、この特徴量を劣化の指標とし、この指標からある閾値を超えた段階で基板を交換する必要があると判断することができる。   Therefore, in this way, it is possible to determine that it is necessary to set a feature amount measured in advance, use this feature amount as an indicator of deterioration, and replace the substrate when a certain threshold value is exceeded from this indicator.

このような特徴量として、たとえば、2つの測定電圧間が変化するのにかかる時間や微分波形の最小値などがあげられる。   Examples of such a feature amount include the time required for a change between two measurement voltages and the minimum value of a differential waveform.

また、他にも測定電圧波形の時間積分値もあげられる。この時間積分値を特徴量としている理由は、以下のとおりである。信号線とグランド線が絶縁されている場合には、測定電圧波形はある程度時間が経過するとパルス波の電圧と一致し、それまでの電圧低下量の積分値はコンデンサに蓄えられたエネルギーと相関性がある。また、一般にコンデンサに蓄えられるエネルギーはコンデンサの容量によって変化するので、測定電圧波形の電圧低下量の積分値からコンデンサの容量の時間変化を検出することが可能となるからである。   In addition, the time integration value of the measured voltage waveform is also included. The reason why the time integral value is used as the feature amount is as follows. When the signal line and the ground line are insulated, the measured voltage waveform matches the pulse wave voltage after a certain amount of time, and the integrated value of the voltage drop until that time is correlated with the energy stored in the capacitor. There is. In addition, since the energy stored in the capacitor generally varies depending on the capacitance of the capacitor, it is possible to detect the time variation of the capacitance of the capacitor from the integrated value of the voltage drop amount of the measured voltage waveform.

なお、この方法は、TDR測定器の時間分解能が低く、隣接するコンデンサとの切り分けが難しい際に特に有効な手段である。   This method is a particularly effective means when the time resolution of the TDR measuring device is low and it is difficult to separate the adjacent capacitors.

次に、基板上にある抵抗の検査について説明する。抵抗の劣化原因としては、たとえば、高温での長期間の使用による抵抗上昇等がある。なお、抵抗上昇が起こると、測定電圧波形は上昇するので、抵抗の位置に対応した時間の電圧波形の上昇をとらえることで検出することができる。   Next, the inspection of the resistance on the substrate will be described. As a cause of resistance deterioration, for example, there is an increase in resistance due to long-term use at a high temperature. When the resistance rises, the measured voltage waveform rises, and can be detected by capturing the voltage waveform rise for the time corresponding to the resistance position.

また、抵抗の短絡が起これば、測定電圧波形は下降するので抵抗の位置に対応した時間の測定電圧波形の下降をとらえることで検出することができる。   Further, if a short circuit of the resistor occurs, the measured voltage waveform is lowered, so that it can be detected by detecting the fall of the measured voltage waveform for the time corresponding to the position of the resistor.

抵抗の劣化状態を正確に測定するため、検査部位の抵抗の近傍にある信号線とグランド線の間に検査部位の抵抗が挟み込みこまれるようにし、プロービングされる。なお、グランド線はプリント基板20のグランド線および電源ラインを利用することもできる。このような方法で検出した測定電圧波形を比較することで、抵抗の劣化の状態を判断できる。   In order to accurately measure the deterioration state of the resistance, the resistance of the test site is sandwiched between the signal line and the ground line in the vicinity of the resistance of the test site and probed. Note that the ground line and the power supply line of the printed circuit board 20 can be used as the ground line. By comparing measured voltage waveforms detected by such a method, it is possible to determine the state of resistance degradation.

次に、基板上にあるIC素子の検査について説明する。一般的に、IC素子の劣化原因として多いのは、パッケージの劣化によるワイヤー断線やリーク電流の増加等があげられる。   Next, the inspection of the IC element on the substrate will be described. Generally, there are many causes of IC element deterioration, such as wire breakage due to package deterioration and an increase in leakage current.

従来の測定方法(インサーキットテスト等)では、IC素子の高い入出力インピーダンスは、回路上の他の経路の低インピーダンスにより検出がうまくできない。従って、IC素子の劣化を容易に判断することが難しい。   In the conventional measurement method (in-circuit test or the like), the high input / output impedance of the IC element cannot be detected well due to the low impedance of other paths on the circuit. Therefore, it is difficult to easily determine the deterioration of the IC element.

しかし、実施の形態1による測定では、少なくともIC素子と基板とを電気的接続しているボンディングワイヤ程度までは、パルス波形が十分な強度をもって到達するので、容易に劣化検査を行なうことが十分に可能になる。   However, in the measurement according to the first embodiment, the pulse waveform reaches with sufficient strength at least to the extent of the bonding wire that electrically connects the IC element and the substrate. It becomes possible.

具体的には、ボンディングワイヤが断線しているときは、IC素子の抵抗上昇が起こり測定電圧波形も上昇する。したがって、ボンディングワイヤの位置に対応した時間の測定電圧波形の上昇を検出し、劣化の状態を判断することができる。   Specifically, when the bonding wire is disconnected, the resistance of the IC element increases and the measured voltage waveform also increases. Therefore, it is possible to detect an increase in the measured voltage waveform for a time corresponding to the position of the bonding wire and determine the state of deterioration.

また、リーク電流が増加しているときは、IC素子の抵抗低下が起こり測定電圧波形も下降する。従って、抵抗の位置に対応した時間の波形の下降を検出し、劣化の状態を判断することができる。   When the leak current is increasing, the resistance of the IC element is lowered and the measured voltage waveform is also lowered. Accordingly, it is possible to detect the fall of the waveform of the time corresponding to the position of the resistor and determine the state of deterioration.

なお、オシロスコープの性能および回路により決定される測定電圧波形の状態によっては、十分に時間が経過した時点での波形の乖離量を比較した方が検出しやすく、劣化の状態を判断しやすい場合もある。   Depending on the performance of the oscilloscope and the state of the measured voltage waveform determined by the circuit, it may be easier to detect the waveform deviation when a sufficient amount of time has passed, and it may be easier to determine the state of deterioration. is there.

次に、基板配線等の検査について説明する。一般的に、基板配線等の劣化原因として多いのは、基板の長期間の運用による劣化により、抵抗上昇、リーク電流増加、基板の絶縁体の絶縁性能の低下等が考えられる。   Next, inspection of substrate wiring and the like will be described. In general, the most common causes of deterioration of the substrate wiring and the like are an increase in resistance, an increase in leakage current, a decrease in the insulation performance of the insulator of the substrate, and the like due to deterioration due to long-term operation of the substrate.

通常の直流を用いる電気的検査では直流抵抗値に影響しない基板の絶縁体の劣化を検出することは難しい。   It is difficult to detect the deterioration of the substrate insulator that does not affect the DC resistance value in an electrical inspection using ordinary DC.

しかし、TDR法を用いた検査では信号線とグランド線間の絶縁体内に発生する電磁波をとらえることができる。このため、基板の絶縁体の誘電率・透磁率の変化を検出し、絶縁性能の劣化を判断することができる。具体的には、抵抗値信号線を印加電圧・温度が高い場所等の劣化が予測される場所の配線にプロービングし、グランド線をプリント基板20の接地地点および電源線にプロービングする。   However, in the inspection using the TDR method, electromagnetic waves generated in the insulator between the signal line and the ground line can be captured. For this reason, it is possible to detect the deterioration of the insulation performance by detecting the change in the dielectric constant and permeability of the insulator of the substrate. Specifically, the resistance signal line is probed to the wiring where the degradation is predicted such as the place where the applied voltage / temperature is high, and the ground line is probed to the grounding point of the printed circuit board 20 and the power supply line.

[実施の形態2]
図6は、実施の形態2に従うプリント基板劣化検査装置2の構成を示すブロック図である。
[Embodiment 2]
FIG. 6 is a block diagram showing a configuration of printed circuit board deterioration inspection apparatus 2 according to the second embodiment.

図6を参照して、プリント基板劣化検査装置2は、プリント基板120と、高周波伝送部140、時間領域反射率計(TDR)150と、コンピュータ160と、プリント基板120上の回路素子(たとえば、アルミ電解コンデンサ126、抵抗127、IC素子128等)とを含む。   Referring to FIG. 6, printed circuit board deterioration inspection apparatus 2 includes printed circuit board 120, high-frequency transmission unit 140, time domain reflectometer (TDR) 150, computer 160, and circuit elements (for example, An aluminum electrolytic capacitor 126, a resistor 127, an IC element 128, and the like.

高周波伝送部140には、TDR150と接続されるマイクロストリップライン134と、基板実装型高周波リレー137A〜137F(以下、基板実装型高周波リレー137とも称する。)と、同軸コネクタ135と、同軸コネクタ135どうしを接続する接続用同軸ケーブル146と、残留電荷を除去する抵抗145とを含む。   The high-frequency transmission unit 140 includes a microstrip line 134 connected to the TDR 150, board-mounted high-frequency relays 137A to 137F (hereinafter also referred to as board-mounted high-frequency relay 137), a coaxial connector 135, and coaxial connectors 135. A connection coaxial cable 146 and a resistor 145 for removing residual charges.

さらに、プリント基板劣化検査装置2は、通信部170と表示部171とを含む。測定制御部164が、通信部170および表示部171を制御している。   Furthermore, the printed circuit board deterioration inspection apparatus 2 includes a communication unit 170 and a display unit 171. The measurement control unit 164 controls the communication unit 170 and the display unit 171.

通信部170は、コンピュータ160から情報を受けて、検査部位の劣化の状態の判定結果や基板実装型高周波リレー137A〜137Fの制御情報を出力する。また、表示部171も、コンピュータ160から情報を受けて、検査部位の劣化の状態の判定結果、基板実装型高周波リレー137A〜137Fの制御情報を表示することができる。   The communication unit 170 receives information from the computer 160 and outputs the determination result of the deterioration state of the examination site and the control information of the board mounted high frequency relays 137A to 137F. The display unit 171 can also receive information from the computer 160 and display the determination result of the deterioration state of the examination site and the control information of the board-mounted high-frequency relays 137A to 137F.

この実施の形態2では、TDR150、高周波伝送部140およびコンピュータ160がプリント基板120にあらかじめすべてが組み込まれていると想定しているが、特にこれに限られない。   In the second embodiment, it is assumed that the TDR 150, the high-frequency transmission unit 140, and the computer 160 are all incorporated in the printed circuit board 120 in advance. However, the present invention is not limited to this.

図6を参照して、TDR150は、2チャンネルDDS(Direct Digital Synthesizer)154と、2チャンネルDDS154からの信号に合わせて高速パルスを発生させる高速コンパレータ151(以下、コンパレータ151とも称する。)と、2チャンネルDDS154からの別の信号に合わせてサンプリングを行なう広帯域高速A/Dコンバータ153(以下、A/Dコンバータ153とも称する。)とを含む。   Referring to FIG. 6, TDR 150 includes a two-channel DDS (Direct Digital Synthesizer) 154, a high-speed comparator 151 (hereinafter also referred to as comparator 151) that generates a high-speed pulse in accordance with a signal from two-channel DDS 154. A broadband high-speed A / D converter 153 (hereinafter also referred to as A / D converter 153) that performs sampling in accordance with another signal from channel DDS 154.

ここで、コンパレータ151は、急峻な立ち上がりのパルス波を出力するパルス発生器としての役割を果たす。A/Dコンバータ153は、コンパレータ151から出力されたパルス波の反射波の波形を測定するオシロスコープとしての役割を果たす。   Here, the comparator 151 serves as a pulse generator that outputs a steep rising pulse wave. The A / D converter 153 serves as an oscilloscope that measures the waveform of the reflected wave of the pulse wave output from the comparator 151.

なお、TDR150の時間分解能を上げる方法には、たとえば、2チャンネルDDS154の周波数をごくわずかにずらすことにより、等価サンプリング法によって安価で容易に実現することができる。   Note that a method for increasing the time resolution of the TDR 150 can be easily realized at a low cost by an equivalent sampling method, for example, by slightly shifting the frequency of the two-channel DDS 154.

プリント基板120上のたとえばある抵抗値に整合したマイクロストリップライン134および基板実装型高周波リレー137とを介して、TDR150と検査部位とを接続する。なお、コンピュータ160は、基板実装型高周波リレー137を制御する。この制御により、基板実装型高周波リレー137は、コンパレータ151から発生したパルス波の伝送先を所望の検査部位に切り替える。   The TDR 150 and the inspection site are connected via, for example, a microstrip line 134 matched with a certain resistance value on the printed circuit board 120 and a board-mounted high-frequency relay 137. The computer 160 controls the board mounted high frequency relay 137. With this control, the board-mounted high-frequency relay 137 switches the transmission destination of the pulse wave generated from the comparator 151 to a desired inspection site.

次に、コンピュータ160の構成について説明する。コンピュータ160は、中央処理装置、メモリ回路、および信号の入出力のためのインターフェース回路などを含む。機能的に見ると、コンピュータ160は、測定制御部164と、波形演算部161と、記憶部162と、判定部163とを含む。   Next, the configuration of the computer 160 will be described. The computer 160 includes a central processing unit, a memory circuit, an interface circuit for inputting and outputting signals, and the like. Viewed functionally, the computer 160 includes a measurement control unit 164, a waveform calculation unit 161, a storage unit 162, and a determination unit 163.

なお、コンピュータ160はプリント基板120にすでに組み込まれているマイコン(マイクロコンピュータ)などでその機能を代用できる。   Note that the function of the computer 160 can be replaced by a microcomputer (microcomputer) already incorporated in the printed circuit board 120.

測定制御部164は、コンパレータ151がパルス波を出力するタイミングを制御する。さらに、測定制御部164は、基板実装型高周波リレー137A〜137Fを切り替えることによって、検査部位とTDR150とを選択的に接続する。こうして、コンパレータ151から出力されたパルス波は、基板実装型高周波リレー137A〜137Fおよびマイクロストリップライン134を介して、検査部位に到達する。検査部位の劣化の状態に応じて生じた反射波は逆の経路をたどってTDR150に戻り、A/Dコンバータ153によって検出される。   The measurement control unit 164 controls the timing at which the comparator 151 outputs a pulse wave. Furthermore, the measurement control unit 164 selectively connects the examination site and the TDR 150 by switching the board-mounted high-frequency relays 137A to 137F. Thus, the pulse wave output from the comparator 151 reaches the examination site via the board-mounted high frequency relays 137A to 137F and the microstrip line 134. The reflected wave generated according to the state of deterioration of the examination site returns to the TDR 150 along the reverse path and is detected by the A / D converter 153.

波形演算部161は、A/Dコンバータ153によって測定電圧波形のデータに基づいた種々の波形を生成する。波形演算部161は、第1の微分演算部165、第2の微分演算部167とインピーダンス変換部166とを含む。   The waveform calculator 161 generates various waveforms based on the measured voltage waveform data by the A / D converter 153. The waveform calculation unit 161 includes a first differential calculation unit 165, a second differential calculation unit 167, and an impedance conversion unit 166.

第1の微分演算部165は、A/Dコンバータ153によって測定電圧波形のデータを時間微分する。なお、第1の微分演算部165に入力された測定電圧波形はデジタルデータであるので、微分は差分商で近似できる。   The first differentiation calculation unit 165 uses the A / D converter 153 to time-differentiate the measured voltage waveform data. Note that the measured voltage waveform input to the first differentiation operation unit 165 is digital data, so that the differentiation can be approximated by a difference quotient.

インピーダンス変換部166は、A/Dコンバータ153によって変換された測定電圧波形のデータに基づいて、出力ノード152から検査対象であるプリント基板側を見たインピーダンスの波形を算出する。   Based on the measured voltage waveform data converted by the A / D converter 153, the impedance converter 166 calculates an impedance waveform when the printed circuit board side to be inspected is viewed from the output node 152.

第2の微分演算部167は、インピーダンス変換部166によって算出されたインピーダンス波形を時間微分する。なお、インピーダンス波形はデジタルデータとして与えられるので、微分は差分商で近似できる。   The second differentiation calculation unit 167 performs time differentiation on the impedance waveform calculated by the impedance conversion unit 166. Since the impedance waveform is given as digital data, the differentiation can be approximated by a difference quotient.

記憶部162は、良好な参照用のプリント基板に対してTDR150によって測定電圧波形を参照用の電圧波形として記憶する。さらに記憶部162は、参照用の電圧波形の微分波形、および参照用の電圧波形に基づいて算出されたインピーダンスの微分波形を記憶する。   The storage unit 162 stores the measurement voltage waveform as a reference voltage waveform by the TDR 150 for a good reference printed circuit board. Further, the storage unit 162 stores the differential waveform of the reference voltage waveform and the differential waveform of the impedance calculated based on the reference voltage waveform.

判定部163は、検査用のプリント基板に対して測定電圧波形、測定電圧波形の微分波形、およびインピーダンスの微分波形を、記憶部162に記憶された参照用のプリント基板に対する参照電圧波形、参照電圧波形の微分波形、およびインピーダンスの微分波形とそれぞれ比較する。   The determination unit 163 displays the measurement voltage waveform, the differential waveform of the measurement voltage waveform, and the differential waveform of the impedance with respect to the printed circuit board for inspection, the reference voltage waveform and the reference voltage for the reference printed circuit board stored in the storage unit 162. The differential waveform of the waveform and the differential waveform of the impedance are respectively compared.

電圧波形比較の結果に基づいて、判定部163は、検査部位の劣化の状態の判定を行なう。劣化の状態の判定基準の詳細については実施の形態1と同じであるので、ここでは説明を繰り返さない。   Based on the result of the voltage waveform comparison, the determination unit 163 determines the state of deterioration of the examination site. Since the details of the criterion for determining the deterioration state are the same as those in the first embodiment, description thereof will not be repeated here.

プリント基板がTDR150およびコンピュータ160を備えている場合には、このプリント基板自体が、プリント基板または検査部位に対して、劣化検査を自動的におこなうことができる。さらに、検査部位の劣化状態をプリント基板に自己診断させた結果を、プリント基板上または遠隔地に出力したり、または表示したりすることができる。たとえば、通信部を介して、作業者は遠隔検査も可能となる。これにより、検査対象のプリント基板をインターフェース部に設置する等の作業も必要とせず無人での劣化検査が可能になる。なお、無人でプリント基板の劣化検査を行なうときは、通常回路と劣化検査用の信号線を切り離す必要があるため、基板実装型高周波リレー137Fを設けている。   When the printed circuit board includes the TDR 150 and the computer 160, the printed circuit board itself can automatically perform the deterioration inspection on the printed circuit board or the inspection site. Furthermore, the result of self-diagnosis of the degradation state of the inspection site on the printed circuit board can be output or displayed on the printed circuit board or at a remote place. For example, the operator can perform remote inspection via the communication unit. This makes it possible to perform an unattended deterioration inspection without requiring an operation such as installing a printed circuit board to be inspected on the interface unit. When the printed circuit board is inspected for deterioration by an unattended person, it is necessary to separate the normal circuit from the signal line for deterioration inspection, and therefore a board-mounted high-frequency relay 137F is provided.

さらに、定期的にプリント基板が自身で自己の機能の一部を一時停止後に、劣化検査をさせることができる。この劣化検査の反射波形を含む詳細データを記憶部62または外部記憶装置に保持させ、毎回の検査のデータとして取り出せるようにすることもできる。これにより、プリント基板または検査部位の経年劣化を把握できる。   Further, the printed circuit board can periodically inspect the deterioration after temporarily suspending a part of its functions. The detailed data including the reflection waveform of the deterioration inspection can be held in the storage unit 62 or the external storage device so that it can be taken out as data for each inspection. Thereby, the aged deterioration of a printed circuit board or a test | inspection site | part can be grasped | ascertained.

ここで、具体的な検査部位の検査手順について説明する。
プリント基板120は通常の動作をしているときは、TDR150の保護のためおよび配線をつなぐことによる通常動作信号波形への影響を減らすために基板実装型高周波リレー137Fによって通常の回路とTDR150は切り離されている。測定時には、図6を参照して、第1の例として、IC素子128Aの反射波の波形を測定する場合に、TDR150は、基板実装型高周波リレー137A、137F、137B、137Cおよびその間を接続するマイクロストリップライン134を介して、同軸コネクタ135Aに接続されている。
Here, a specific inspection procedure for the inspection site will be described.
When the printed circuit board 120 is operating normally, the normal circuit and the TDR 150 are separated by the board-mounted high-frequency relay 137F in order to protect the TDR 150 and reduce the influence on the normal operation signal waveform by connecting the wiring. It is. At the time of measurement, referring to FIG. 6, as a first example, when measuring the waveform of the reflected wave of the IC element 128A, the TDR 150 connects the board-mounted high frequency relays 137A, 137F, 137B, 137C and between them. It is connected to the coaxial connector 135A via the microstrip line 134.

さらに、同軸コネクタ135Aは接続用同軸ケーブル146の一方端と接続され、一方、接続用同軸ケーブル146の他端は同軸コネクタ135Bと接続される。これにより、同軸コネクタ135Bと接続されたIC128Aの反射波の波形が測定される。   Further, the coaxial connector 135A is connected to one end of the connection coaxial cable 146, while the other end of the connection coaxial cable 146 is connected to the coaxial connector 135B. Thereby, the waveform of the reflected wave of the IC 128A connected to the coaxial connector 135B is measured.

また、同軸コネクタ135A、135Bを図示していない同軸プローブに接続され、この同軸プローブをプリント基板上の導電部が露出している任意の場所でプロービングすることができる。これにより、任意の場所で反射波の波形を測定することもできる。   Further, the coaxial connectors 135A and 135B are connected to a coaxial probe (not shown), and the coaxial probe can be probed at any place where the conductive portion on the printed circuit board is exposed. Thereby, the waveform of a reflected wave can also be measured in arbitrary places.

第2の例として、基板実装型高周波リレー137Cを図6の状態から切り替えると、2つのIC128A、128Bを同時に測定することができる。   As a second example, when the board-mounted high-frequency relay 137C is switched from the state shown in FIG. 6, two ICs 128A and 128B can be measured simultaneously.

第3の例として、基板実装型高周波リレー137Bを図6の状態から切り替えると、抵抗127、その先にあるIC128B、およびスルーホール122を介して繋がっている基板上の他の部品を測定することができる。   As a third example, when the board-mounted high-frequency relay 137B is switched from the state shown in FIG. 6, the resistance 127, the IC 128B ahead thereof, and other parts on the board connected through the through hole 122 are measured. Can do.

第4の例として、基板実装型高周波リレー137B、137Dを図6の状態からそれぞれ切り替えると、2つのIC128A、128Bを同時に測定することができる。この状態でさらに、基板実装型高周波リレー137Eを切り替えると、IC128A、アルミ電解コンデンサ126、およびアルミ電解コンデンサ126の先にあるスルーホール122を介して繋がっている基板上の他の部品を測定することができる。   As a fourth example, when the board mounted high frequency relays 137B and 137D are switched from the state shown in FIG. 6, two ICs 128A and 128B can be measured simultaneously. When the board-mounted high-frequency relay 137E is further switched in this state, the IC 128A, the aluminum electrolytic capacitor 126, and other components on the board connected through the through hole 122 ahead of the aluminum electrolytic capacitor 126 are measured. Can do.

次に、図7は、実施の形態2を用いて別のプリント基板220を検査する場合の接続関係の一例を示す図である。   Next, FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a connection relationship when another printed circuit board 220 is inspected using the second embodiment.

同軸コネクタ135A、135B間をつないでいた図6の接続用同軸ケーブル146を図7のように別のプリント基板220に設けてある別の同軸コネクタ235Aにつなぎかえ、さらに状況に応じて同軸コネクタ135A、235B間や同軸コネクタ135A、235C間につなぎかえることで、1つのTDR150が、さらに多数の測定箇所を測定することが可能となる。具体的には、図7の状態で、TDR150は、基板実装型高周波リレー137A、137F、137B、137Cおよびその間を接続するマイクロストリップライン134を介して、同軸コネクタ135Aに接続される。さらに、同軸コネクタ135Aは接続用同軸ケーブル146Aの一方端と接続され、一方、接続用同軸ケーブル146Aの他端は同軸コネクタ235Aと接続される。これにより、マイクロストリップライン234を介して、同軸コネクタ235Bに接続された抵抗227およびその先に接続されたIC228の反射波の波形が測定される。   The connecting coaxial cable 146 of FIG. 6 connected between the coaxial connectors 135A and 135B is replaced with another coaxial connector 235A provided on another printed circuit board 220 as shown in FIG. By switching between 235B and coaxial connectors 135A and 235C, one TDR 150 can measure a larger number of measurement points. Specifically, in the state of FIG. 7, the TDR 150 is connected to the coaxial connector 135A via the board-mounted high-frequency relays 137A, 137F, 137B, and 137C and the microstrip line 134 that connects between them. Further, the coaxial connector 135A is connected to one end of the connection coaxial cable 146A, while the other end of the connection coaxial cable 146A is connected to the coaxial connector 235A. As a result, the waveform of the reflected wave of the resistor 227 connected to the coaxial connector 235B and the IC 228 connected to the resistor 227 is measured via the microstrip line 234.

また、図7では、接続用同軸ケーブル146Aにより、TDR150の出力波形の経路が確保されるようにプリント基板120とプリント基板220が接続されている。この状態で、図示していない接続用同軸ケーブルを高周波プローブにつなぎかえてプリント基板220上にある測定用のプロービングパッドあるいはプリント基板220上に露出している導電部にプロービングする。こうすることで、1つのTDR150が、さらに多数の検査部位を測定することが可能となる。なお、プリント基板220または検査部位を検査する場合には、記憶部162は、別の基板に関する参照用データを記憶している。   Further, in FIG. 7, the printed circuit board 120 and the printed circuit board 220 are connected by the connection coaxial cable 146 </ b> A so as to ensure the path of the output waveform of the TDR 150. In this state, a connection coaxial cable (not shown) is connected to a high-frequency probe, and probing is performed on a measurement probing pad on the printed circuit board 220 or a conductive portion exposed on the printed circuit board 220. By doing so, one TDR 150 can measure a larger number of examination sites. When inspecting the printed circuit board 220 or the inspection site, the storage unit 162 stores reference data related to another board.

このようにすれば、メンテナンス時においても、特別の検査装置等を持ち込まずにプリント基板の検査を行なうことができ、プリント基板上の任意の位置にある回路自体の劣化の状態を簡易に測定できることになる。   In this way, even during maintenance, the printed circuit board can be inspected without bringing in a special inspection device or the like, and the state of deterioration of the circuit itself at an arbitrary position on the printed circuit board can be easily measured. become.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。また、各実施の形態において説明された技術的思想は、可能な限り組み合わされて実現されることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims. Further, it is intended that the technical ideas described in the embodiments are combined and realized as much as possible.

1,2 プリント基板劣化検査装置、20,120,220 プリント基板、20A プリント配線板、21,33 絶縁性基板、22,122 スルーホール、23,24 ランド、25 基準穴、26,126 アルミ電解コンデンサ、30 インターフェース部、31 ブロック、32 プローブ、32A 円筒部、32B,32C 接触子、32D バネ部材、34,134,234 マイクロストリップライン、35,44,135,135A,135B,235A,235B 同軸コネクタ、36 セミリジッド同軸ケーブル、37,137,137A〜137F 基板実装型高周波リレー、38 位置決めピン、39 プッシュピン、40,140 高周波伝送部、41,41A,41B 同軸ケーブル、42,42A,42B,43,137A〜137E 同軸リレー、43A,43C 同軸リレー端子、45,127,145,227 抵抗、46,146,146A,146B 接続用同軸ケーブル、51 パルス発生器、52,152 出力ノード、53 オシロスコープ、60,160 コンピュータ、61,161 波形演算部、62,162 記憶部、63,163 判定部、64,164 測定制御部、65,165,167 微分演算部、66 特徴量抽出部、70 参照電圧波形、71〜76 波形、128,128A 素子、151 コンパレータ、153 A/Dコンバータ、170 通信部、171 表示部、154 2チャンネルDDS。   1, 2, Printed circuit board deterioration inspection device, 20, 120, 220 Printed circuit board, 20A Printed wiring board, 21, 33 Insulating substrate, 22, 122 Through hole, 23, 24 Land, 25 Reference hole, 26, 126 Aluminum electrolytic capacitor , 30 interface section, 31 block, 32 probe, 32A cylindrical section, 32B, 32C contactor, 32D spring member, 34, 134, 234 microstrip line, 35, 44, 135, 135A, 135B, 235A, 235B coaxial connector, 36 Semi-Rigid Coaxial Cable, 37, 137, 137A to 137F Board Mount Type High Frequency Relay, 38 Positioning Pin, 39 Push Pin, 40, 140 High Frequency Transmission Unit, 41, 41A, 41B Coaxial Cable, 42, 42A, 42B, 43, 13 A to 137E coaxial relay, 43A, 43C coaxial relay terminal, 45, 127, 145, 227 resistor, 46, 146, 146A, 146B coaxial cable for connection, 51 pulse generator, 52, 152 output node, 53 oscilloscope, 60, 160 Computer, 61, 161 Waveform calculation unit, 62, 162 Storage unit, 63, 163 Determination unit, 64, 164 Measurement control unit, 65, 165, 167 Differentiation calculation unit, 66 Feature quantity extraction unit, 70 Reference voltage waveform, 71 ~ 76 waveform, 128, 128A element, 151 comparator, 153 A / D converter, 170 communication unit, 171 display unit, 154 2-channel DDS.

Claims (12)

プリント基板の検査部位の劣化を検査するプリント基板の劣化検査装置であって、
検査波形発生部と、
前記検査波形発生部からの出力波形を前記検査部位まで伝送させるための波形伝送部と、
前記検査波形発生部からの波形が前記検査部位から反射された反射波形を検出する反射波形検出部と、
前記反射波形検出部が検出した反射波形および比較のための参照用波形に基づいて、前記検査部位の劣化状態を判断する演算処理部とを備えるプリント基板劣化検査装置。
A printed circuit board deterioration inspection apparatus for inspecting deterioration of a printed circuit board inspection site,
Inspection waveform generator,
A waveform transmission unit for transmitting the output waveform from the test waveform generation unit to the test site;
A reflected waveform detector that detects a reflected waveform reflected from the examination site by the waveform from the examination waveform generator;
A printed circuit board deterioration inspection apparatus comprising: an arithmetic processing unit that determines a deterioration state of the inspection region based on a reflection waveform detected by the reflection waveform detection unit and a reference waveform for comparison.
前記演算処理部は、前記参照用波形に予め定められた1または複数の閾値が加減された波形と前記反射波形との比較に基づき、前記検査部位の劣化状態を複数の種別に分類する請求項1に記載のプリント基板劣化検査装置。   The arithmetic processing unit classifies the deterioration state of the examination region into a plurality of types based on a comparison between a waveform obtained by adding or subtracting a predetermined threshold value to the reference waveform and the reflected waveform. The printed circuit board deterioration inspection device according to 1. 前記演算処理部は、前記反射波形と前記参照用波形とを比較し、その差の絶対値が、前記閾値を超えている場合に、前記検査部位が劣化状態であると判定する、請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。   The arithmetic processing unit compares the reflected waveform with the reference waveform, and determines that the examination site is in a deteriorated state when the absolute value of the difference exceeds the threshold value. Printed circuit board deterioration inspection device as described in 1. 前記演算処理部は、前記反射波形の微分波形と前記参照用波形の微分波形とを比較し、その差の絶対値が、前記閾値を超えている場合に、前記検査部位が劣化状態であると判定する、請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。   The arithmetic processing unit compares the differential waveform of the reflected waveform and the differential waveform of the reference waveform, and when the absolute value of the difference exceeds the threshold value, the inspection site is in a deteriorated state. The printed circuit board deterioration inspection device according to claim 2, wherein the determination is made. 前記演算処理部は、前記反射波形と前記反射波形の微分波形とから生成される特徴量と、前記参照用波形と前記参照用波形の微分波形とから生成される参照用特徴量とを比較し、その差の絶対値が、前記閾値を超えている場合に、前記検査部位が劣化状態であると判定する、請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。   The arithmetic processing unit compares the feature quantity generated from the reflected waveform and the differential waveform of the reflected waveform with the reference feature quantity generated from the reference waveform and the differential waveform of the reference waveform. The printed circuit board deterioration inspection apparatus according to claim 2, wherein when the absolute value of the difference exceeds the threshold value, the inspection portion is determined to be in a deteriorated state. 前記演算処理部は、
前記反射波形から前記検査部位の劣化状態を判定するために必要な検査データを生成する波形演算部と、
前記参照用波形に対応する参照用データを記憶する記憶部と、
前記参照用データと前記検査データを比較することにより、前記検査部位の劣化を判定する判定部と、
前記検査波形発生部を制御する測定制御部とをさらに含む、請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。
The arithmetic processing unit includes:
A waveform calculation unit that generates inspection data necessary to determine the deterioration state of the inspection site from the reflected waveform;
A storage unit for storing reference data corresponding to the reference waveform;
A determination unit that determines deterioration of the examination region by comparing the reference data and the examination data;
The printed circuit board deterioration inspection apparatus according to claim 2, further comprising a measurement control unit that controls the inspection waveform generation unit.
前記検査波形発生部は、パルス波を発生するパルス発生器を含む請求項6に記載のプリント基板劣化検査装置。   The printed circuit board deterioration inspection apparatus according to claim 6, wherein the inspection waveform generation unit includes a pulse generator that generates a pulse wave. 前記検査部位は複数個あり、前記波形伝送部は、前記出力波形の伝送先を複数個の前記検査部位のいずれかに切り替える切替部をさらに含み、
前記演算処理部は、前記切替部を制御する請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。
There are a plurality of the examination sites, and the waveform transmission unit further includes a switching unit that switches the transmission destination of the output waveform to any one of the plurality of the examination sites,
The printed circuit board deterioration inspection apparatus according to claim 2, wherein the arithmetic processing unit controls the switching unit.
前記波形伝送部は、前記波形伝送部の伝送線と接地電位との間に接続され、前記プリント基板に蓄積した残留電荷を放電するための抵抗をさらに含む請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。   The printed circuit board deterioration inspection according to claim 2, wherein the waveform transmission unit further includes a resistor connected between a transmission line of the waveform transmission unit and a ground potential, and discharging a residual charge accumulated in the printed circuit board. apparatus. 前記プリント基板劣化検査装置は、前記プリント基板上に設けられ、
前記プリント基板劣化検査装置は、
前記演算処理部の判定結果を前記プリント基板の外部へ出力するための通信部をさらに備える請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。
The printed circuit board deterioration inspection device is provided on the printed circuit board,
The printed circuit board deterioration inspection apparatus is:
The printed circuit board deterioration inspection apparatus according to claim 2, further comprising a communication unit configured to output a determination result of the arithmetic processing unit to the outside of the printed circuit board.
前記プリント基板劣化検査装置は、前記プリント基板上に設けられ、
前記プリント基板劣化検査装置は、
前記演算処理部の判定結果を前記プリント基板の外部へ表示するための表示部をさらに備える請求項2に記載のプリント基板劣化検査装置。
The printed circuit board deterioration inspection device is provided on the printed circuit board,
The printed circuit board deterioration inspection apparatus is:
The printed circuit board deterioration inspection apparatus according to claim 2, further comprising a display unit for displaying a determination result of the arithmetic processing unit to the outside of the printed circuit board.
プリント基板の検査部位の劣化を検査するプリント基板の劣化検査方法であって、
前記検査部位に印加するために、パルス発生器によってパルス波を発生するステップと、
前記パルス波を前記検査部位まで伝送するステップと、
反射波形検出部によって前記パルス波が前記検査部位から反射された反射波形を検出するステップと、
前記反射波形検出部の前記反射波形および比較のための参照用波形に基づいて、前記検査部位の劣化状態を判断するステップとを備えるプリント基板劣化検査方法。
A printed circuit board deterioration inspection method for inspecting deterioration of a printed circuit board inspection site,
Generating a pulse wave by a pulse generator for application to the examination site;
Transmitting the pulse wave to the examination site;
Detecting a reflected waveform in which the pulse wave is reflected from the examination site by a reflected waveform detector;
Determining a deterioration state of the inspection region based on the reflection waveform of the reflection waveform detector and a reference waveform for comparison.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103454569A (en) * 2013-09-23 2013-12-18 镇江艾科半导体有限公司 Semiconductor chip test board
WO2018146747A1 (en) * 2017-02-08 2018-08-16 三菱電機株式会社 Information processing device, information processing method, and information processing program
JP2019045308A (en) * 2017-09-01 2019-03-22 株式会社Ihi Line noise testing device
JP2019045309A (en) * 2017-09-01 2019-03-22 株式会社Ihi Line noise testing device
US10615846B2 (en) 2016-01-18 2020-04-07 Denso Corporation Transmission-path degradation detection apparatus

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11166956A (en) * 1997-12-03 1999-06-22 Nec Corp Lsi logic circuit evaluation device
JP2004354233A (en) * 2003-05-29 2004-12-16 Yamaha Corp Device and method for ic test
JP2007121102A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Nissan Motor Co Ltd Method and apparatus for detecting breakage of electric wire and cable
JP2009287943A (en) * 2008-05-27 2009-12-10 Mitsubishi Electric Corp Board inspection method
JP2010164427A (en) * 2009-01-15 2010-07-29 Mitsubishi Electric Corp Apparatus and method of inspecting printed circuit board

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11166956A (en) * 1997-12-03 1999-06-22 Nec Corp Lsi logic circuit evaluation device
JP2004354233A (en) * 2003-05-29 2004-12-16 Yamaha Corp Device and method for ic test
JP2007121102A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Nissan Motor Co Ltd Method and apparatus for detecting breakage of electric wire and cable
JP2009287943A (en) * 2008-05-27 2009-12-10 Mitsubishi Electric Corp Board inspection method
JP2010164427A (en) * 2009-01-15 2010-07-29 Mitsubishi Electric Corp Apparatus and method of inspecting printed circuit board

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103454569A (en) * 2013-09-23 2013-12-18 镇江艾科半导体有限公司 Semiconductor chip test board
US10615846B2 (en) 2016-01-18 2020-04-07 Denso Corporation Transmission-path degradation detection apparatus
WO2018146747A1 (en) * 2017-02-08 2018-08-16 三菱電機株式会社 Information processing device, information processing method, and information processing program
WO2018146845A1 (en) * 2017-02-08 2018-08-16 三菱電機株式会社 Information processing device, information processing method, and information processing program
JP6425851B1 (en) * 2017-02-08 2018-11-21 三菱電機株式会社 INFORMATION PROCESSING APPARATUS, INFORMATION PROCESSING METHOD, AND INFORMATION PROCESSING PROGRAM
US11435383B2 (en) 2017-02-08 2022-09-06 Mitsubishi Electric Corporation Information processing apparatus, information processing method, and computer readable medium
JP2019045308A (en) * 2017-09-01 2019-03-22 株式会社Ihi Line noise testing device
JP2019045309A (en) * 2017-09-01 2019-03-22 株式会社Ihi Line noise testing device

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