JP2011027734A - Device for inspection of textured surface - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は肌理のある面の検査のための方法および装置に関する。本発明においては、車両ボディの表面に関連して説明するが、上記装置は、例えば床面や家具など他の面にも適用可能である。肌理のある面とは完全に平らな面ではなく、どちらかというと(規則的または統計的に分布した)起伏のある部分や高低差があるような面であると理解される。従って、肌理のある面は、水平に拡がることに加えて鉛直断面形状のある外形であることを特徴とする。ところが、人間の目ではこのようなミクロンの領域における高低差を定量的に評価できず、肌理の影響が見えるだけである。 The present invention relates to a method and apparatus for the inspection of textured surfaces. Although the present invention will be described in relation to the surface of the vehicle body, the above apparatus can be applied to other surfaces such as a floor surface and furniture. It is understood that a textured surface is not a completely flat surface, but rather a surface with undulating parts (regular or statistical distribution) or elevation differences. Therefore, the textured surface is characterized by an outer shape having a vertical cross-sectional shape in addition to spreading horizontally. However, the human eye cannot quantitatively evaluate the height difference in the micron region, and only the influence of the texture can be seen.
従来技術によると、このような起伏を検知する様々な装置や方法が知られている。このように、起伏のある部分自体を測定する、例えば、いわゆるホンメル計測器が知られている。しかしながら、これらの装置は比較的複雑であり、被検査面と常に機械的に接触していることが求められる。加えて、他の種類の面測定器が知られているが、これらも同様に面自体を物理的に(特に感知により)測定する。 According to the prior art, various devices and methods for detecting such undulations are known. Thus, for example, a so-called Hommel measuring device is known which measures the undulating portion itself. However, these devices are relatively complex and are required to always be in mechanical contact with the surface to be inspected. In addition, other types of surface measuring devices are known, but these also measure the surface itself physically (especially by sensing) as well.
さらに、面を検査するための装置および方法が従来技術によって知られているが、これらは例えば、色、輝度、またはDOI(画像の鮮明度)などのパラメータを調べるために面を光学的に測定するものである。このような測定器は、特に品質保証の領域で使用され、特に比較される2面の差異が把握されなければならない場合に使用される。しかしながら、この場合にも、実際の定量的差異によって決定されるというよりも、人間の知覚に頼っている。 Furthermore, devices and methods for inspecting a surface are known from the prior art, which measure the surface optically to examine parameters such as color, brightness, or DOI (image sharpness), for example. To do. Such a measuring instrument is used particularly in the area of quality assurance, particularly when the difference between the two surfaces to be compared has to be grasped. However, this case also relies on human perception rather than being determined by actual quantitative differences.
この場合、検査結果が常に曖昧さを含むという問題が生じる。さらに、最終的な解析において、このような測定器は観察者の目にもわかるような面の画像をできる限り客観的に示すために面を検査することに使用される。 In this case, there arises a problem that the inspection result always includes ambiguity. Furthermore, in the final analysis, such a measuring instrument is used to inspect the surface in order to show as objectively as possible an image of the surface that can also be seen by the observer's eyes.
この場合、観察者の脳では対象物の光学的検知を行う際、通常、経験的記憶を引き出すという現象が起こり、その結果、面を正確に評価にすることができる。このように、観察者は自身の経験に基づく観察によって特定の面を構成する材料を推測することができる。 In this case, in the observer's brain, when optically detecting the object, a phenomenon of drawing out empirical memory usually occurs, and as a result, the surface can be accurately evaluated. Thus, the observer can guess the material which comprises a specific surface by observation based on own experience.
つまり、本発明の目的は、面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する方法と装置を提供することである。 That is, an object of the present invention is to provide a method and apparatus for objectively evaluating a surface, particularly a textured surface, without performing mechanical measurement of the surface.
本目的は、本発明の請求項1の方法および請求項11の装置によって達成される。効果的な実施形態やさらなる展開事項は下位クレームの要旨を構成する。
This object is achieved by the method of
本発明の肌理のある面の光学検査の方法における一つの工程では、被検査面上に放射線を照射する。さらなる方法の工程では、画像は、面上に照射され、面で反射される放射線の少なくとも一部から受信され、さらなる工程では、記録された画像の位置分解評価を行い、この画像を特徴付ける少なくとも1つの値を決定する。 In one step of the method for optical inspection of a textured surface of the present invention, radiation is irradiated onto the surface to be inspected. In a further method step, the image is received from at least a part of the radiation irradiated onto the surface and reflected from the surface, and in a further step a position-resolved evaluation of the recorded image is performed and at least one characterizing this image. Determine one value.
本発明によると、特徴値を使用しながら、および面の(既知または決定された)特性の少なくとも1つを使用しながら、面を特徴付ける量が調べられる。画像を特徴付ける値とは、例えば、各画素の輝度値または色値とすることができる。この特徴値は、例えば、分散などの統計的特徴値としてもよい。加えて、特徴値は、例えば、配列を成す複数の個別値から成るものであってもよい。 According to the present invention, the amount characterizing the surface is examined using the feature value and using at least one of the (known or determined) properties of the surface. The value that characterizes the image can be, for example, the luminance value or color value of each pixel. This feature value may be a statistical feature value such as variance. In addition, the feature value may be composed of, for example, a plurality of individual values forming an array.
面を特徴付けるパラメータとは、面の凹凸を特徴付けるパラメータとすることができ、この場合にも、比較基準となる定性的な値とすることができる。 The parameter that characterizes the surface can be a parameter that characterizes the unevenness of the surface, and in this case, it can also be a qualitative value as a comparison reference.
このように、例えば、特徴パラメータは、被検査面が基準面に対して許容範囲内にまだあるかどうかを示す値とすることができる。これは、例えば、車体パーツまたは車内パーツを交換しなければならない車両において重要であり、測定方法によって、交換される車体パーツの光学的模様が観察者によって光学的に同一に見えるか、すでに異なって見えるかを決めなければならない。 Thus, for example, the characteristic parameter can be a value indicating whether the surface to be inspected is still within the allowable range with respect to the reference surface. This is important, for example, in vehicles where body parts or interior parts must be replaced, depending on the measurement method, the optical pattern of the body parts to be replaced appears to be optically the same by the observer or is already different. You have to decide what you can see.
面の(既知または決定された)少なくとも1つのさらなる特性の使用において、実際には使用者は(少なくとも無意識下では)同じように経験に基づいて値を導き出すということが考慮されている。これにより、例えば、カラーカメラまたはグレースケールカメラなどの画像記録装置から得られる画像は、例えば、明点および暗点を多数含むことがある。しかしながら、これらの明点および暗点には多数の原因があり得、例えば、面の多色部分または効果顔料に起因するかもしれないし、あるいは単色肌理のある面に由来するかもしれない。 In the use of at least one further property (known or determined) of a surface, it is considered that in practice the user derives a value based on experience as well (at least unconsciously). Thereby, for example, an image obtained from an image recording apparatus such as a color camera or a gray scale camera may include a large number of bright spots and dark spots, for example. However, these bright and dark spots can have a number of causes, for example, due to multicolored portions of the surface or effect pigments, or from a monochromatic textured surface.
(例えば特定の色とともに)肌理のある面が測定されるという情報が事前に装置に提供されていれば、既存の特性に基づいてカメラの評価画像の現実的な評価が可能である。このようにして、本発明の範囲において、経験に基づいて色の印象を評価する人間の脳の活動形態をシミュレートすることを初めて提案する。一方、既知の特性を使わずに、複数の測定を行うことも可能である。また、既知の特性としてさらなるパラメータを使用することも可能である。 If information that the textured surface is measured (for example, with a specific color) is provided to the device in advance, a realistic evaluation of the camera evaluation image is possible based on existing characteristics. Thus, for the first time within the scope of the present invention, it is proposed to simulate a human brain activity pattern that evaluates color impressions based on experience. On the other hand, it is possible to perform a plurality of measurements without using known characteristics. It is also possible to use further parameters as known properties.
そのため、面は複数の方向から記録できる。同様にして、例えば、特定の画像が多色面に由来するか、あるいは肌理のある面に由来するかを調べることが可能である。面を特徴付けるパラメータは、肌理のある面を測定することなく決定することが好ましい。 Therefore, the surface can be recorded from a plurality of directions. Similarly, for example, it is possible to examine whether a specific image is derived from a multicolor surface or a textured surface. The parameters characterizing the surface are preferably determined without measuring a textured surface.
これは、特徴パラメータが、ホンメル測定器または層厚測定などによって機械的に面を測定することで直接的に求められるわけではなく、本発明における光学検査を用いて間接的に求められることを意味する。特に、問題となっている面の高低差も測定しないことが好ましく、経験に基づく値を使用することのみによって画像を評価することが好ましい。 This means that the characteristic parameter is not directly obtained by measuring the surface mechanically by a Hommel measuring device or a layer thickness measurement, but indirectly by using the optical inspection in the present invention. To do. In particular, it is preferable not to measure the height difference of the surface in question, and it is preferable to evaluate the image only by using values based on experience.
さらなる効果的な方法では、記録された画像の評価結果は基準データと比較される。このようにして、画像を評価するために、例えば、統計的特徴値などの特定の特徴値を設定し、これを基準値と比較することが可能である。例えば、ユーザが特定の面を基準面と光学的に区別することできるかどうかについての報告といった比較結果をユーザに送信することができる。 In a further effective method, the evaluation result of the recorded image is compared with reference data. In this way, it is possible to set a specific feature value, such as a statistical feature value, for example, and compare it with a reference value in order to evaluate the image. For example, a comparison result can be sent to the user, such as a report as to whether the user can optically distinguish a particular surface from the reference surface.
さらなる効果的な方法では、面の定性的な検査を行う。これは、面の正確な定量的詳細は提供されていないが、基準に対して定性的比較のみがなされ、この定性的比較のみに基づいて結果が導かれることを意味する。 A further effective method is to perform a qualitative inspection of the surface. This means that accurate quantitative details of the surface are not provided, but only a qualitative comparison is made to the criteria and the result is derived based on this qualitative comparison alone.
さらなる効果的な方法では、画像について、少なくとも2つの角度から少なくとも照射および/または記録が行われる。これにより、2つの放射線源からそれぞれ異なる角度で面上に光を照射することが可能となるとともに、画像記録装置で2つの放射線源から照射された光を(好ましくは遅延して)記録することが可能になる。このような異なる角度での照明の結果、2つの測定値を同じような方法で得られ、これらの結果から面の凹凸についての結果が導かれる。一方、このように角度を多数得られるように、1つの光源に対し2つの画像記録装置を使用することも可能である。この場合、2つの異なる測定に合わせて光源を2回作動させることができる。また、複数の光源および複数の画像記録装置を備えることも可能である。 In a further effective way, the image is at least illuminated and / or recorded from at least two angles. This makes it possible to irradiate light on the surface from two radiation sources at different angles, and to record (preferably with delay) the light emitted from the two radiation sources by the image recording apparatus. Is possible. As a result of illumination at such different angles, two measurements are obtained in a similar way, and these results lead to a result for surface irregularities. On the other hand, it is also possible to use two image recording apparatuses for one light source so that many angles can be obtained in this way. In this case, the light source can be actuated twice for two different measurements. It is also possible to provide a plurality of light sources and a plurality of image recording devices.
さらなる効果的な方法では、標準光を使って面を照射する。いわゆるD65照明が可能な光源を使用することが好ましい。 A more effective method is to illuminate the surface using standard light. It is preferable to use a light source capable of so-called D65 illumination.
さらなる効果的な方法では、面の材料、面の反射性、面の色特性、面の凹凸特性、面の輝度コントラスト、またはこれらの組み合わせなどの特性群から面のさらなる特性を選択する。このさらなる特性は、経験のみに基づいて面の光学的印象を得ている観察者の経験を考慮している。 A further effective method is to select additional properties of the surface from a group of properties such as surface material, surface reflectivity, surface color properties, surface roughness properties, surface brightness contrast, or combinations thereof. This additional property allows for the experience of an observer who has obtained an optical impression of the surface based solely on experience.
さらなる効果的な方法では、拡散または無向性の放射線を面上に照射する。別の方法では、シミュレートする自然光によっては、有向性の放射線も使用することができる。 A further effective method irradiates the surface with diffuse or omnidirectional radiation. Alternatively, directed radiation can be used depending on the natural light being simulated.
特徴値が統計量であると効果的である。これは、例えば、正規分布、算術平均、幾何平均、分散、エントロピー、フラクタル要素、または同時生起行列、あるいは、1または2次元画像を評価するための他の数学的方法とすることができる。 It is effective that the feature value is a statistic. This can be, for example, a normal distribution, arithmetic mean, geometric mean, variance, entropy, fractal element, or co-occurrence matrix, or other mathematical method for evaluating one or two dimensional images.
特徴値は、位置分解画像の多数の個別値の評価を通して決定されることが好ましい。これにより、例えば、異なる段階の輝度を表す複数の画素を使用することができる。 The feature value is preferably determined through evaluation of a number of individual values of the position-resolved image. Thereby, for example, a plurality of pixels representing different levels of luminance can be used.
放射線は、拡散放射線および有向放射線のいずれでもよく、測定過程において、これら2種類の放射線を組み合わせることもできる。加えて、例えば、環状分節光源を使用して、多角的な照明を行うことが可能である。さらに、収束または発散放射線あるいは任意にいわゆるウルブリヒト球を使用することも可能である。 The radiation may be either diffuse radiation or directed radiation, and these two types of radiation can be combined in the measurement process. In addition, for example, an annular segmented light source can be used to provide diversified illumination. Furthermore, it is also possible to use convergent or divergent radiation or optionally so-called Ulbricht spheres.
さらなる効果的な方法では、人間の目による画像評価方法をシミュレートする。 A further effective method simulates an image evaluation method with the human eye.
本発明は、さらに、被検査面に対して所定の角度で放射線を照射する少なくとも1つの放射装置および当該放射装置によって面上に照射され面で反射された放射線の少なくとも一部を記録する少なくとも1つの画像記録装置を含む、肌理のある面の光学的検査のための装置に関する。この場合、画像記録装置は位置分解画像を記録するのに適しており、加えて、この画像を特徴付ける少なくとも1つの値を決定する処理装置が備えられている。 The present invention further records at least one radiation device that irradiates radiation at a predetermined angle with respect to the surface to be inspected, and at least one portion that records at least a portion of radiation irradiated onto the surface and reflected by the radiation device. The invention relates to an apparatus for optical inspection of textured surfaces, including two image recording devices. In this case, the image recording device is suitable for recording a position-resolved image, and in addition, a processing device for determining at least one value characterizing the image is provided.
本発明によれば、処理装置は、特徴値を使用しながら、並びに、面の(既知または決定された)少なくとも1つの別の特性を使用しながら、面を特徴付ける値を決定するように設計されている。画像記録装置は、カラー画像カメラまたは白黒画像カメラであると効果的である。 According to the present invention, the processing device is designed to determine a value that characterizes a surface while using the feature value as well as using at least one other characteristic (known or determined) of the surface. ing. It is effective that the image recording apparatus is a color image camera or a monochrome image camera.
これは、本発明における処理装置が、画像データに基づき結果を供給するのみでなく、さらに上述の追加的特性も使用することを意味する。しかしながら、この既知の特性は、面に対して行われたさらなる測定による結果であってもよい。この場合、評価される測定として、面の同一領域においてさらなる測定が効果的に行われる。装置が、少なくとも1つの特徴値、あるいは既知または決定された特性を特徴付ける値を格納する記憶装置を含むと効果的である。 This means that the processing device according to the invention not only supplies the results based on the image data, but also uses the additional characteristics described above. However, this known property may be the result of further measurements made on the surface. In this case, as a measurement to be evaluated, a further measurement is effectively performed in the same area of the surface. It is advantageous if the device comprises a storage device for storing at least one feature value or a value characterizing a known or determined characteristic.
さらに、記憶装置に、被検査面についての少なくとも1つの特徴値、好ましくは複数の特徴値を記憶装置に格納する。特徴値は、例えば、色特性などの面の光学的特性を示す値とすることができる。 Further, at least one feature value, preferably a plurality of feature values for the surface to be inspected is stored in the storage device. For example, the characteristic value may be a value indicating optical characteristics of a surface such as color characteristics.
装置のさらなる効果的な実施形態では、少なくとも1つのさらなる放射装置または少なくとも1つのさらなる画像記録装置を含む。この場合、放射装置および画像記録装置を筐体内に備えるのが効果的であり、この筐体は、被検査面に対する開口部が一つのみあり、他の箇所は閉じられていることが好ましい。 In a further advantageous embodiment of the device, it comprises at least one further radiation device or at least one further image recording device. In this case, it is effective to provide the radiation device and the image recording device in the housing, and it is preferable that this housing has only one opening with respect to the surface to be inspected and the other portions are closed.
さらなる効果的な実施形態では、画像記録装置は面に対して90°の角度に配置される。 In a further advantageous embodiment, the image recording device is arranged at a 90 ° angle to the plane.
さらなる効果的な実施形態では、装置は、検知された少なくとも1つの特徴値を基準値と比較する比較器を含む。装置によって出される数値は、差または比率などの相対量であると効果的であるが、加重係数を使用することもできる。 In a further advantageous embodiment, the apparatus includes a comparator that compares the detected at least one feature value with a reference value. The numerical value provided by the device is effectively a relative quantity such as a difference or a ratio, but weighting factors can also be used.
さらなる効果的な実施形態は添付の図面に示される。 Further advantageous embodiments are shown in the accompanying drawings.
図1は面10を検査するための本発明の装置1を示す。この場合、この面10は特に肌理のある面である。つまり平らではない。符号22は筐体を示し、その内部には第1放射装置2および画像記録装置4が配置される。この場合、筐体22は遮光性を持つように設計されており、唯一の開口14を通して面10を照射することができ、面の画像を記録できる。放射装置2は面10を照射する(ビームS2参照)。
FIG. 1 shows an
面10で反射または散乱した放射線は画像記録装置4によって記録される。つまり、画像記録装置4が照射された面10の画像を記録する。筐体の内部は、好ましくは光を吸収するように作製され、外部反射によって誤った測定値が与えられないようにする。しかしながら、行われる測定によっては、筐体の内面も反射するように作製し、筐体の内面がいわゆるウルブリヒト球を成すようにしてもよい。
The radiation reflected or scattered by the
この場合、放射装置2は光源として1つ以上の発光ダイオードを含むことができる。このようにして、白色LEDを使用することができるが、照射光の色特性の変動性を保つため、または、例えばD65光のような標準光を生成するために、異なる色の複数のLEDを使用することも可能である。加えて、ハロゲンランプ、キセノン(フラッシュ)ランプ、白熱ランプ、レーザーなどのその他の光源を照明の目的で使用することができる。
In this case, the
さらに、光源から面10までの光路中に、レンズなどの図示しない屈折素子またはスクリーンを備えることができる。
Furthermore, a refraction element (not shown) such as a lens or a screen can be provided in the optical path from the light source to the
画像記録装置によって供給される対応画像データKは、完全な状態で指定された処理装置8に送られる。この場合、データKは、画像記録装置4によって記録された画像またはカラー画像またはグレースケール画像のいずれかのみを含む。処理装置8は順にこの記録画像を評価するが、このとき処理装置8はこの目的のためにさらなるデータEを使用する。このさらなるデータEは、データKが得られる特定の測定値からは得られない。このように、データEはデータKに依存しておらず、具体的には、データEはデータKから独立して取得される。 Corresponding image data K supplied by the image recording device is sent to the designated processing device 8 in a complete state. In this case, the data K includes only either an image recorded by the image recording device 4 or a color image or a grayscale image. The processing device 8 evaluates this recorded image in turn, at which time the processing device 8 uses further data E for this purpose. This further data E is not obtained from the specific measurement from which data K is obtained. Thus, the data E does not depend on the data K. Specifically, the data E is acquired independently of the data K.
このようにして、例えば、色に関するデータや面の材料などの面10の既知の特徴データを格納する記憶装置24からさらなるデータEを取得することも可能である。さらには、記憶装置26も備え、上述の面に関する既存のデータを格納することができ、さらには、対応する基準面の基準データまたは上記の面の他の領域に記録されたデータおよび/または異なるタイミングで記録されたデータおよび/または異なる角度で記録されたデータを格納できる。
In this way, it is also possible to obtain further data E from the
符号18は、検出された特徴値と格納されている基準値を比較し、その比較結果を供給する比較器を示す。
処理装置8はデータEを考慮し、結果値Gをディスプレイ装置16に供給する。結果値Gは、例えば、被検査面が特定の標準範囲にあるかどうかの情報を表す純粋に定性的な値でもよい。
The processing device 8 considers the data E and supplies the result value G to the
符号12は、面10に対してさらなる角度で配置され、放射方向S2に沿って面上に光を照射するさらなる放射装置を示す。これにより、面の対応する定性画像が2種類の測定によって取得可能である。一方の測定は放射装置2の照明によって行い、他方の測定は放射装置12の照明によって行う。このとき2つの放射方向S1とS2および面10から画像記録装置4の方向に延びる放射方向S3は同一面にあるようにすると効果的である。しかしながら、例えば、検出器または放射線源は測定面外に配置することも可能である。
放射装置2と12は、例えばD65光などの標準光を照射することが好ましい。この場合、これら2つの放射装置を同時に作動することが可能であるが、順次作動することも可能である。どちらの場合においても、これらの放射装置は、異なる色の光を面上に照射することが可能である。さらに、面を検査するために、スクリーンおよびフィルタ装置28もそれぞれ放射路S1、S2、S3に配置することができる。符号29と30は、放射装置2と12から面までの放射路にそれぞれ配置されるさらなるスクリーンおよび/またはフィルタ装置を示す。
The
放射線源は連続モードで動作することができるが、パルス的または非連続的な動作も可能である。このようなパルス的動作は周辺光を補償できる。この場合、この補償は、周辺光のみで記録された画像と(周辺光に加えて)照明をつけて記録されたさらなる画像を比較することによって達成される。 The radiation source can operate in continuous mode, but pulsed or non-continuous operation is also possible. Such pulsed operation can compensate for ambient light. In this case, this compensation is achieved by comparing an image recorded with ambient light only and a further image recorded with illumination (in addition to ambient light).
さらに、放射装置、フィルタ、放射検知装置から構成される全体の配置を、例えば、Vλ曲線などの所定の分光感度分布に従うように、スペクトル的に適応させることが可能である。 Furthermore, the overall arrangement of the radiation device, the filter and the radiation detection device can be spectrally adapted to follow a predetermined spectral sensitivity distribution such as, for example, a Vλ curve.
この場合、各処理装置および記憶装置24、26、8は、図1に示されるのとは異なり、筐体22の外部には配置されず、好ましくは当該筐体内に配置されるか、そこに備えられている電子機器の一部内に配置される。前述のスクリーンは面の光沢効果を決定するために使用できる。しかしながら、スクリーンは、画像評価、つまり、画像の限定領域のみが評価される“ソフトウェアスクリーン”によって作製することも可能である。
In this case, each processing device and the
符号30は、例えば、放射装置2と12および任意に画像記録装置を制御するための制御装置を示す。これにより、特定の測定モードという枠組みの中で2つの放射装置2と12によって面を順に照射することが可能となり、2つの画像は処理装置8によって評価される。
符号34は、装置1が矢印P1に沿って面に対して動くことを可能にするローリング装置またはホイールを示す。符号K1は、画像記録装置から供給され、値Eの代わりまたは値Eに追加して画像評価のために使用することもできる、さらなる値を示す。
加えて、装置1は、装置が取り扱う面10に対する光路を決定する図示しない距離測定装置を含む。これにより、いずれの場合にも、配置相関を持つように面を測定することができる。このような距離測定装置はホイール34と連結することができる。また、装置1をスタンドに配置し、こうすることによって、面10に対して定められたとおりに移動させることも可能である。
In addition, the
本特許出願書類に示される特徴は、単独または組み合わせにおいて、従来技術と比較して新規性を持つ限りにおいて、本発明の本質であると主張する。 The features presented in this patent application document, alone or in combination, claim to be the essence of the present invention as long as they have novelty compared to the prior art.
1 装置
2 放射装置
4 画像記録装置、検知装置
8 処理装置
10 面
14 開口
16 ディスプレイ装置
18 比較器
22 筐体
24 記憶装置
26 記憶装置
28 スクリーン
30 制御装置
34 ホイール
S1、S2、S3 方向
DESCRIPTION OF
Claims (17)
前記面(10)上に照射され、前記面(10)で反射した前記放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、
記録された前記画像の位置分解評価および前記画像を特徴付ける少なくとも1つの値(K)の決定を行う工程と
を含む、特に肌理のある面(10)の光学的検査のための方法であって、
前記面を特徴付けるパラメータ(G)は、前記特徴値(K)を使用し、かつ、前記面の既知または決定された少なくとも1つのさらなる特性(E)を使用して決定されることを特徴とする方法。 Irradiating the surface to be inspected (10) with radiation;
Receiving an image of at least a portion of the radiation irradiated on the surface (10) and reflected by the surface (10);
A method for optical inspection of a particularly textured surface (10), comprising the step of position-resolved evaluation of the recorded image and determination of at least one value (K) characterizing the image,
The parameter (G) characterizing the surface is determined using the feature value (K) and using at least one known or determined further characteristic (E) of the surface. Method.
前記放射装置(2)によって前記面(10)上に照射され、前記面(10)で反射される前記放射線の少なくとも一部を記録し、位置分解画像を記録するのに適した少なくとも1つの画像記録装置(4)と、
前記画像を特徴付ける少なくとも1つの値を決定する処理装置(8)と
を備える肌理のある面(10)の光学的検査のための装置であって、
前記処理装置(8)は、特徴値(K)を使用し、かつ、前記面(10)の既知または決定された少なくとも1つのさらなる特性(E)を使用して、前記面(10)を特徴付けるパラメータを決定するように設計されていることを特徴とする装置。 At least one radiation device (2) for irradiating the surface to be examined with radiation at a predetermined angle;
At least one image suitable for recording a position-resolved image by recording at least a part of the radiation irradiated onto the surface (10) by the radiation device (2) and reflected by the surface (10) A recording device (4);
A device for optical inspection of a textured surface (10) comprising a processing device (8) for determining at least one value characterizing the image,
The processor (8) characterizes the surface (10) using a feature value (K) and using at least one known or determined further characteristic (E) of the surface (10) A device characterized in that it is designed to determine parameters.
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